KR101959184B1 - 마이크로니들 및 칩 - Google Patents

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KR101959184B1
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마르쿠스 렌룬드
펠레 렝스텐
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아스실리온 에이비
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Abstract

유체들의 추출을 위한 마이크로니들 및 칩이 개시된다. 기판(102) 상에 구비된 마이크로니들(101)은, 종축을 따라 기판 상에 베벨(505)을 갖는 원위 단부(504)에서부터 근위 단부(506)까지 연장되는 연신체(503)를 포함하되; 상기 연신체는 길이 방향으로 연장되고, 유체 경로(508)를 정의하는 모세관 보어(507)를 포함하고; 상기 근위 단부는 기판과 일체로 연결되며, 모세관 보어는 기판의 유체 채널(309)과 유체 연통된다. 상기 원위 단부 내의 모세관 보어의 단면적은 근위 단부 내의 모세관 보어의 단면적보다 크다.

Description

마이크로니들 및 칩
본 발명은 일반적으로 체액들을 샘플링하기 위한 마이크로니들 및 칩에 관한 것이다. 본 발명은 특히 기판 상에 구비된 마이크로니들에 관한 것이다. 마이크로니들은 종축을 따라 기판 상에 베벨을 갖는 원위 단부에서부터 근위 단부까지 연장되는 연신체를 포함하고, 연신체는 길이 방향으로 연장되며 유체 경로를 정의하는 모세관 보어를 포함하고, 근위 단부는 기판에 연결되며, 모세관 보어는 기판의 유체 채널과 유체 연통된다.
마이크로니들을 위한 많은 응용 분야들이 존재하지만, 공개된 마이크로니들의 대다수는 여러 가지 형태의 약물 전달에 관한 것이다. 약물 전달 목적들을 위한 소형화된 니들의 어레이의 개념은 70년대 US 3,964,482까지 거슬러 올라간다. 과학 문헌에서 최초로 보고된 마이크로니들 중 하나는 IEEE Trans Biomed Eng. 1991 Aug; 38(8): 758-68, Campbell et al., "실리콘 기반, 3차원 신경 인터페이스: 피질간(intercortical) 전극 어레이의 제조 공정"에서 4.2 mm x 4.2 mm의 면적 상에 있는 100, 1.5 mm 길이의 니들을 특징으로 하는 면외 실리콘 니들 어레이였다. 결국 바이오 센싱 기술은 21세기까지 있을 것이고, 마이크로 전자장치들은 20세기의 후반까지 있었다. IC(Integrated circuits)는 오늘날 우리의 일상 생활에 엄청난 영향을 주었으며, 대량 생산 바이오 센싱의 비용 편익 및 동일한 소형화의 활용은 임상 진단 및 건강 모니터링을 고가의 실험실들에서 소형 휴대용 소비자 디바이스들로 옮길 수 있다. 측정될 분석물의 샘플링은 바이오 센싱의 전제 조건이다. 과학 논문들에 기술된 많은 설계들은 체액들, 즉 혈액 또는 ISF(interstitial fluid)를 추출하는 목적을 갖는다. 성공적인 혈액 추출은 혈관계에서 자연적인 "과압"의 사용으로 증명되어왔다. 그러나, 확산 또는 다른 메커니즘들을 통해 가압 없이 ISF의 성공적인 추출은 드물거나 존재하지도 않는다.
본 발명의 목적은 이전에 공지된 마이크로니들의 전술한 결점들 및 단점들을 무시하고 개선된 해결책을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 ISF(interstitial fluid)의 용이한 샘플링을 허용하는 최초 정의된 유형의 개선된 마이크로니들을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 첨부된 청구 범위에서 정의된 바와 같은 마이크로니들 및 칩에서 각각 충족된다.
제1 양태에서, 본 발명은 기판 상에 구비된 마이크로니들에 관한 것으로, 종축을 따라 기판 상에 베벨을 갖는 원위 단부에서부터 근위 단부까지 연장되는 연신체를 포함하되, 상기 연신체는 길이 방향으로 연장되고 유체 경로를 정의하는 모세관 보어를 포함하며; 상기 근위 단부는 기판에 일체형으로 연결되고 모세관 보어는 기판의 유체 채널과 유체 연통하며; 상기 원위 단부 내의 모세관 보어의 단면적이 근위 단부 내의 모세관 보어의 단면적보다 큰 것을 특징으로 한다. 베벨은 모세관 보어의 종축에 대해 비스듬한 표면으로서 지칭된다.
제2 양태에서, 본 발명은 칩에 관한 것으로, 기판 상에 일체로 형성된 복수의 마이크로니들을 포함하되, 각각의 마이크로니들은: 종축을 따라 기판 상에 베벨을 갖는 원위 단부에서부터 근위 단부까지 연장되는 연신체를 포함하되, 상기 연신체는 길이 방향으로 연장되고 유체 경로를 정의하는 모세관 보어를 포함하며, 상기 원위 단부 내의 모세관 보어의 단면적은 근위 단부 내의 모세관 보어의 단면적보다 크고; 상기 근위 단부는 기판과 일체로 형성되고 제1 유체 경로는 기판의 유체 채널과 유체 연통하며; 및 기판은 유체 경로를 형성하는 유체 채널을 갖고, 상기 유체 체널은 유체 채널의 깊이보다 더 큰 폭을 갖는다.
제1 양태의 추가적인 또는 대안적인 특징들이 아래에서 설명된다.
마이크로니들의 모세관 보어의 단면적은 길이 방향을 따라 원위 단부에서부터 근위 단부를 향하여 점진적으로 감소할 수 있다. 이는 모세관 보어 내의 유체에 작용하는 모세관력에 의해, 모세관 보어를 통해 향상된 유체 플로우에 기여한다.
(길이 방향에 대해 옆으로) 모세관 보어의 단면은 적어도 하나의 라운딩된 코너를 더 포함할 수 있다. 이는 모세관 보어의 습윤에 기여하고, 유체 플로우에 긍정적인 효과를 갖는다.
모세관 보어는 삼각형 단면을 가질 수 있다. 삼각형 단면이 모세관 보어 내에서 매우 양호한 유체 플로우를 제공하는 것으로 입증되어왔다. 본 출원 내의 삼각형 단면은 실질적으로 삼각형 형상을 갖는 단면들, 즉 볼록한 또는 오목한 형상 또는 직선 형상을 갖는 에지들, 라운딩된 코너들뿐만 아니라 예각들을 갖는 코너들 및 둔각들을 갖는 코너들을 포함한다.
모세관 보어의 벽들은 모세관 보어의 유체 플로우를 향상시키는 친수성 표면들을 포함할 수 있다.
유체 채널은 모세관 보어에, 대기압에 대한 가압을 제공하도록 구성될 수 있으며, 모세관 보어를 통한 유체 플로우가 향상된다. 가압은, 예를 들어, 유체 채널에 연결된 주사기로 형성될 수 있다.
마이크로니들의 연신체는 길이 방향에 대해 반지름 방향으로 연장되는 측방향 홀을 더 포함할 수 있으며, 측방향 홀은 모세관 보어와 유체 연통한다. 이는 모세관 보어에서 막히는 위험이 감소되는 효과를 갖는다.
이하, 제2 양태의 대안적인 또는 추가적인 특징들이 제시된다.
칩에서, 모세관 보어의 벽의 적어도 일부가 유체 채널의 벽의 일부를 형성할 수 있고, 유체 플로우가 향상된다.
칩의 유체 채널은 90도보다 작은 각도 θ를 갖는 방향 변화들을 포함할 수 있다. 유체 채널의 날카로운 밴드들을 회피함으로써, 유체 플로우가 향상된다.
칩은 베이스 기판을 더 포함할 수 있고, 이는 유체 채널과 유체 연통하고, 베이스 기판의 후면에서 개방하는 유체 포트를 포함한다. 이는 센서 요소 또는 추가의 유체 채널들에 연결될 수 있는 샘플링된 유체에 대한 액세스 지점을 제공한다.
유체 포트는 베이스 기판의 후면을 향해 포트의 길이 방향으로 증가하는 영역을 포함할 수 있다. 이는 튜브들 또는 주사기들과 같은 다른 유체 채널들에 대한 유체 기밀 연결을 허용한다.
베이스 기판은 양극/다이렉트 본딩에 의해 기판에 작동 가능하게 연결될 수 있으며, 이는 접착제로 유체 채널들이 막힐 위험 없이 강력한 유체 기밀 씰을 제공한다.
칩 상의 복수의 마이크로니들은 마이크로니들의 원위 단부의 레벨에 있는, 에지에 의해 둘러싸일 수 있다. 이는 테스트 대상의 멤브레인이 마이크로니들의 원위 단부와의 결합 동안 인장되는 효과를 갖는다.
본 발명의 상술한 및 다른 특징들 및 이점들의 보다 완전한 이해는 첨부된 도면을 참조하여 실시예들에 대한 다음의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은 복수의 마이크로니들을 갖는 칩의 개략적인 사시도이다.
도 2는 복수의 마이크로니들을 갖는 칩의 개략적인 평면도이다.
도 3은 유체 채널들을 갖는 기판의 저면도이다.
도 4는 도 2의 C-C 선에 따른 단면도이다.
도 5는 마이크로니들의 단면도이다.
도 6은 마이크로니들의 종축을 따른 단면도이다.
도 7은 유체 채널들을 갖는 기판의 저면도이다.
도 8은 기판 상의 마이크로니들의 개략적인 사시도이다.
도 9는 유체 채널들 및 모세관 보어들을 갖는 기판의 후면의 개략적인 사시도이다.
본 발명은 이하의 통찰에 기초한다. 면밀하게 조사했을 때, 종래 기술의 마이크로니들은 양호한 수율로 제조될 수 없으며, 이들은 포유류에서 안전한 사용을 가능하게 하기에 충분히 견고하지 않거나, 실제 추출이 최소 가능한 폰트로 기술된 여러 가지 경고들로 수행된다는 것이 분명하다. 종래 기술에 설명된 경고들 및 포기들의 예들은, 예를 들어, 돼지 가죽에 대해, 제어된 연구들에서 블리스터들을 갖거나, 추출 전에 제거된, 최외측 피부층, 각질층을 갖는 포유동물들에 대해 입증되어왔다. 따라서 견고한 대량 생산 가능한 설계의 마이크로니들이 발명되고, 설계되며, 실현된다는 것은 매우 놀라웠다고 해도 좋으며, 모세관력들만을 사용하고, 어떠한 서브 압력 또는 흡입도 없이 추출이 수행되는 안전한 추출을 허용한다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 본 발명은 마이크로니들 칩셋의 설계에 관한 것으로, 서로 100 마이크로미터의 최소 거리에 있지만 1mm보다 더 멀리 있지는 않는 어레이 또는 매트릭스로 조직화된 복수의 니들들을 포함하고, 동일한 면에 또는 주변 구조물 약간 아래에 날카로운 팁을 가지며, 팁은 54.7도 베벨을 갖고, 니들은, 막힘 없이 추출을 가능하게 하는 모세관 치수를 갖는 중공 보어, 및 후면 채널들 내의 오정렬된 홀들이 연결하는 수집 채널들/보이드들/캐비티들로 가는 액체에 모세관력들이 작용하는 것을 가능하게 하는 내부 치수들 및 기하학적 구조뿐만 아니라 200 마이크로미터보다 긴 샤프트이다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 본 발명은 상술된 복수의 마이크로니들을 갖는 칩셋을 특징으로 하며:
● 니들은 결정면들에 의해 정의된 날카로운 팁을 갖는다.
● 각 니들의 베벨 슬로프는 111개의 면들에 의해 정의된다.
● 각각의 마이크로니들은 모세관 보어, 예를 들어 단일 모세관 보어를 포함할 수 있다. 이에 의해, 체액은 마이크로니들, 유체 캐비티, 및 유체 출구 포트를 통해 모세관 흡입에 의해 추출될 수 있다.
● 각각의 마이크로니들에는 모세관 보어가 막히는 것을 막기 위해 원위 단부에 캡이 구비될 수 있으며, 모세관 보어로의 적어도 하나의 개구는 마이크로니들의 축방향 또는 길이방향 연장부에 수직인, 마이크로니들의 측방향으로 구비된다.
● 각 마이크로니들의 모세관 보어에는 친수성 표면이 구비될 수 있다. 이에 의해 체액의 모세관 플로우가 보조될 수 있다.
● 각각의 마이크로니들은 마이크로니들의 길이 방향을 따라 연장되는 복수의 절단 요소들을 포함할 수 있다. 이에 의해 피부는 체액의 추출을 용이하게 하기 위해 절단되고 개방될 수 있다.
● 니들의 베벨에 돌출된 바와 같이 각 마이크로니들 내의 보어 홀의 둘레는, 팁이 둘레 외부에 있는 방식으로 팁으로부터 떨어져 위치된다.
● 각각의 마이크로니들은 200-1000 ㎛, 바람직하게는 400-900 ㎛, 더욱 바람직하게는 300-600 ㎛의 길이 및 400-800 ㎛의 외부 둘레를 가질 수 있다. 이에 의해, 마이크로니들은 피부의 침투 및 체액의 추출에 적합한 치수들을 갖는다.
● 모세관 시스템을 포함하는 면 상에 돌출된 바와 같은 보어 홀의 부분은 연결 모세관 외부에 있어, 표면 장력을 최소화하는 최대화된 벽면을 생성한다.
● 보어 홀과 모세관 사이의 각 연결부는 최소 접촉각으로 설계되어야 인장 구동 플로우를 가능하게 할 수 있다.
● 유체와 접촉하는 표면들은 친수성이어야 한다.
● 각 니들의 축은 손잡이(hilt)가 없다.
● 수직 보어 홀들은 특정 분자들에 대해 선택적이고 특정한 물질로 충전될 수 있고, 이에 의해 통합 추출 및 센싱 칩셋을 생성할 수 있다. 충전제는, 예를 들어, 글루코오스 옥시다아제 및 카본 분말일 수 있으며, 이에 의해 글루코오스 특이적 추출 및 센싱 칩셋을 생성할 수 있다.
● 복수의 개구들은 마이크로니들의 둘레 주위에, 측방향으로 구비될 수 있다. 적어도 하나의 개구는 마이크로니들의 종방향 연장부를 따라 중간쯤에 구비될 수 있다. 이에 의해, 체액의 추출이 용이해지고, 막힘의 위험이 더 감소된다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 본 발명은 상술한 칩셋을 더 특징으로 하고, 복수의 니들은,
● 마이크로니들의 종방향을 따라 돌출하고, 바람직하게는 15 mm 미만의 직경을 갖는 구조로서 구성된 손가락의 팁을 지지하도록 치수가 정해진 프레임 구조를 갖는다.
● 손가락의 팁을 지지하도록 치수가 정해진 프레임 구조에 의해 적어도 부분적으로 둘러싸여질 수 있다. 이에 의해, 손가락의 팁의 피부가 지지될 수 있고, 적어도 하나의 마이크로니들의 피부로의 침투를 용이하게 하기 위해 인장될 수 있다.
● 니들들의 팁과 적어도 동일한 면으로 돌출되는 주변 구조물에 의해 보호되어, 예를 들어, 여기에 설명된 칩셋의 MEMS 제조의 경우에 웨이퍼들의 취급을 가능하게 할 수 있다.
● 위에서 언급한 복수의 니들에 의해 침투 전에 피부를 신장시키는 주변 구조물을 갖는다.
● 그들의 중공 구조는 체액을 샘플링하기 위한 입구들을 구성한다. 이에 의해, ISF(interstitial fluid)과 같은 체액이 추출될 수 있어, 환자에게 최소의 불편함으로, 센서 내로 도입될 수 있다.
● 상이한 패턴들의 모세관들의 수집 네트워크를 갖고, 장점으로서, 증발 문제들 없이 이루어진 액체의 수집 및 저장이다. 따라서, 칩은 샘플링할 수 있으며, 분석은 엑쓰 시츄(ex situ)로 이루어질 수 있다.
● 수직 보어 홀들과 수집 모세관 사이의 계면을 측방향으로 오정렬하여, 액체가 벽들을 습윤시키고, 따라서 모세관 작용에 의해 후면 상에 수집 채널들을 충전시키는 것을 가능하게 할 수 있다.
● 바늘방석(bed of nails)의 영향을 회피하기 위해 서로 200 마이크론의 최소 거리에 위치되어야 한다.
● 결정학적 방향들로 배향되거나, 또는 바람직하게는 동일한 방향에 있는 베벨을 갖는다.
● 일체형의, 예를 들어 에칭된 모세관들을 사용하여 니들의 적어도 서브세트 사이의 연결을 가능하게 하는 방식으로 배향된다.
● 모세관 시스템과 모두 결합될 수 있어, 유체 출구 포트로의 모세관 플로우를 가능하게 할 수 있다.
구성들
● 다른 구성에서는, 위에서 설명한 샘플링 칩셋이 센싱 유닛과 함께 사용될 수 있다. 센싱 유닛은 다른 수단에 의해 추출 칩셋에 본딩되거나 부착될 수 있지만, 또한 모세관 또는 동등한 플로우 시스템을 통해 연결될 수 있다.
● 센싱 유닛은 체액, 즉, 글루코오스 센서에서 글루코오스의 레벨을 검출하기 위해 구성될 수 있다. 이에 의해, 체액 내의 글루코오스의 레벨의 신속하고 정확한 검출을 위한 센서가 구비될 수 있다.
● 센서는 체액 내의 락테이트, 이산화탄소, 또는 다른 분자들의 농도 또는 존재를 검출하도록 구성될 수 있다. 이에 의해, 상기 언급된 분자 또는 체액 내의 다른 분자들, 이온들, 또는 바이오마커들의 레벨의 신속하고 정확한 검출을 위한 센서가 제공될 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에서, 칩, 일반적으로 지정된 115은 도 1의 사시도에 도시되어 있다. 칩(115)은 그 위에 배치된 복수의 마이크로니들(101)을 갖는 기판(102)을 포함한다. 각 마이크로니들은 마이크로니들 및 기판(102)을 통해 연장되는 모세관 보어(107)를 포함한다. 상기 문단들에서, 모세관 보어(107)는 수직 홀로 표시된다. 기판(102)은 상부 에지(117)를 갖는 주변 벽(112)을 더 포함한다. 상부 에지(117)는 마이크로니들과 동일한 높이를 가질 수 있다. 이는, 피부의 인장 효과가 달성되기 때문에, 테스트 대상의 손가락이 마이크로니들과 상호작용한다고 가정하면 매우 유용한 것을 입증한다.
도 2에서, 위에서부터 도 1의 칩이 도시된다. 이러한 도면은 기판(102) 상에 마이크로니드들(101)의 배치를 도시한다. 마이크로니들(101)은 바람직하게는, 바늘방석 효과를 회피하기 위해 인접한 마이크로니들, A 및 B의 200 um의 최소 거리로 배치된다. 그러나, 인접한 마이크로니들 사이의 거리는 100 um 내지 1 mm의 간격일 수 있다. 이러한 도면에서는, C-C선이 또한 도시되고, 이러한 가상선은 기판과 마이크로니들을 통해 단면을 정의하기 위해 추후에 사용될 것이다.
도 3에는 마이크로니들 사이의 유체 연통을 제공하는 유체 채널들(309)의 패턴이 도시되어 있다. 이러한 도면은 기판(102)의 후면으로부터의 도면이다. 이러한 도면에서, 마이크로니들의 모세관 보어들(107)이 도시되고, 기판(102)의 유체 채널들(309) 내로 개방한다. 유체 채널들(309)은 바람직하게는 대응하는 깊이보다 큰 폭을 갖는 쉘로우이다. 유체 채널들은 유체 채널(미도시) 내의 유체 플로우를 더 향상시키기 위해 감소하는 단면적을 포함할 수 있다. 유체 채널들은 유체 채널 포트(318) 주위에 나선형 패턴으로 배열된다. 일 실시예에서, 유체 채널들의 패턴은 주면 마이크로니들들(미도시)의 모세관 보어들을 연결시키는 주변 유체 경로를 포함할 수 있다. 이는, 유체 채널(309)이 막히더라도, 유체 플로우가 유체 채널 포트(318)로 허용된다는 효과를 갖는다.
도 4는 마이크로니들의 열과 기판(102)을 통과하는 가상선 C-C를 따른 단면도이다. 따라서, 기판은 절개되어 측면으로부터 보여진다. 이 도면에서, 마이크로니들(101)은 절개되어 도시되어 있다. 마이크로니들은 마이크로니들의 재료의 결정면들에 의해 정의된 베벨(505)을 포함한다. 모세관 보어(507)는 유체 채널 포트(318) 및 유체 채널(309)과 유체 연통한다. 기판(102)은 유체 포트(414)를 포함하는 베이스 기판(413)에 작동 가능하게 연결된다. 유체 포트(414)는 경사진 측벽들을 포함할 수 있으며, 다른 디바이스들에 용이하고 유체 기밀 연결을 제공한다. 베이스 기판(413)은 본 분야에 잘 알려진, 양극 또는 다이렉트 본딩과 같은 본딩에 의해 기판(102)에 작동 가능하게 연결될 수 있다.
마이크로니들(101)은 도 5에 더 도시되어 있으며, 마이크로니들이 절개된다. 마이크로니들(101)은 기판(102) 상에 원위 단부(504) 및 근위 단부(506)를 갖는 연신체(503)를 포함한다. 이러한 실시예에서, 마이크로니들은 기판으로부터 일체로 형성된다. 이러한 제조 공정은 다음의 공정 단계들을 포함할 수 있다:
예를 들어, DRIE(Deep Reactive-Ion Etching)를 사용하여, PL(photo-lithography) 및 기판(102)의 건식 에칭에 의해 연신체(503)를 정의하는 단계.
이방성 습식 에칭을 사용하여 원위 단부(504)의 베벨(505)을 정의하는 단계.
기판(102) 상에 포토-레지스트를 적용하고, 이후 베벨(505) 상의 개구를 갖는 마스크를 정의하는 PL을 적용하는 것에 의해, 모세관 보어(507)에 대한 마스크를 정의하는 단계.
베벨(505) 상에 마스크 개구를 통해 기판(102)의 전면으로부터 모세관 보어(507)를 에칭하는 단계.
위에 개요가 설명된 예시적인 공정에서, 기판(102)에 도포된 포토 레지스트는 스프레이 코팅 레지스트 또는 건식 필름 레지스트일 수 있다. 원위 단부(504)의 베벨(507)은 특히 바이오 센싱 어플리케이션들에 특별히 적합한 날카로운 에지를 제공한다. 모세관 보어(507)가 베벨(505) 내에서 개방하여, 모세관 보어(507)의 주변부와 베벨의 날카로운 에지의 팁 사이의 거리가 얻어질 수 있다. 모세관 보어(507)는 연신체(503)의 원위 단부(504)의 베벨(505)에서부터 기판(102)의 근위 단부(506)를 향해 연장된다. 원위 단부(504) 내의 모세관 보어의 단면적은 근위 단부(506) 내의 모세관 보어(507)의 단면적보다 크다. 이러한 방식의 모세관 작용은 향상되고, 모세관 보어(507)를 통한 유체 플로우가 증가한다.
도 6에서 위에서부터 마이크로니들(101)의 실시예가 도시된다. 이 도면에는 모세관 보어(507)의 삼각형 단면(610)이 도시되어 있다. 이러한 어플리케이션에서, 삼각형 단면은 대응하는 코너들과 연결된 3개의 에지들을 갖는 형상을 포함해야 한다. 에지들은 직선형, 곡선형, 볼록 또는 오목할 수 있다. 코너들은 날카롭고, 무디거나, 또는 다르거나 같은 반지름으로 라운딩될 수 있다. 따라서, 이 출원 내에, 에그 또는 심장의 형상을 갖는 단면은 삼각형인 것으로 고려된다. 모세관 보어(610)의 삼각형 형상. 도 6에서, 모세관 보어(507)의 형상은 실질적으로 삼각형이며, 볼록한 베이스는 라운딩된 코너(611)를 통해 직선형 섹션들에 연결된다. 모세관 보어(507)의 이러한 형상은 인간 테스트 대상의 손가락으로부터 ISF를 추출하기에 매우 효율적인 것으로 입증되어왔다.
도 7에는 기판(102)의 후면의 확대도가 도시되어 있다. 기판(102)의 후면의 유체 채널 포트(318)는 다수의 유체 채널들(309)에 연결된다. 이 도면에서 유체 채널(309)의 폭은 지정된 W이고, 만곡된 각도는 지정된 θ이다. 장력 구동식 유체 플로우를 제공하기 위해, 최대 만곡 각도는 90도이다. 모세관 보어들(507)은 또한 유체 채널들(309)에 연결되어, 모세관 보어의 벽(916)의 적어도 일부가 유체 채널(309)의 벽의 일부를 형성할 수 있다. 이는 도 9에 더 도시되어 있다.
마지막으로, 도 8에서, 마이크로니들(101)의 원위 단부는 상부 에지(117)의 레벨에 있는 것이 도시되어 있다. 이 에지는 피부와 칩 사이의 접촉시 피부의 인장 효과를 제공한다.
제1 실시예에 관하여 개시된 추가 특징들은 제2 실시예에도 적용될 수 있다.
일 실시예는 실리콘으로 제조된 기판(102)이고, 베이스 기판(413)은 유리로 제조된다.
첨부된 청구 범위는 개시된 실시예들 및 본 발명으로부터 유도될 수 있는 변형예들 및 실행들을 포함하는 본 발명의 범위를 정의하기 위해 작성된다.

Claims (15)

  1. 기판(102) 상에 구비된 마이크로니들(101)로서,
    종축을 따라 기판 상에 베벨(505)을 갖는 원위 단부(504)에서부터 근위 단부(506)까지 연장되는 연신체(503)를 포함하되,
    상기 연신체는 길이 방향으로 연장되고 유체 경로를 정의하는 모
    세관 보어(507)를 포함하고,
    상기 근위 단부는 기판에 연결되고 모세관 보어는 기판의 유체 채
    널(309)과 유체 연통하며;
    상기 마이크로니들은,
    상기 원위 단부 내의 모세관 보어의 단면적은 근위 단부 내의
    모세관 보어의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는, 마이크로니
    들.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모세관 보어의 단면적은 길이 방향을 따라 원위 단부에서부터 근위 단부를 향하여 점진적으로 감소하는, 마이크로니들.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 모세관 보어의 단면은 마이크로니들의 종방향에 대해 수직 방향으로 삼각형 단면(610)을 포함하는, 마이크로니들.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 모세관 보어의 삼각형 단면은 적어도 하나의 라운딩된 코너(611)를 더 포함하는, 마이크로니들.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 모세관 보어는 친수성 표면을 포함하는, 마이크로니들.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연신체는 마이크로니들의 측면으로부터 측방향 홀을 더 포함하고 길이 방향에 대해 반지름 방향으로 연장되며, 상기 측방향 홀은 상기 모세관 보어와 유체 연통하는, 마이크로니들.
  8. 칩(115)으로서,
    기판(102) 상에 일체로 형성된 복수의 마이크로니들(101)를 포함하되, 각각의 마이크로니들은:
    종축을 따라 기판 상에 베벨(505)을 갖는 원위 단부(504)에서부터 근
    위 단부(506)까지 연장되는 연신체(503)를 포함하되,
    상기 연신체는 길이 방향으로 연장되고 유체 경로를 정의하는 모세관
    보어(507)를 포함하며, 상기 원위 단부의 모세관 보어의 단면적(610)
    은 근위 단부 내의 모세관 보어의 단면적보다 크고; 및
    상기 근위 단부는 기판과 일체로 형성되고, 제1 유체 경로는 기판의
    유체 채널(309)과 유체 연통하는, 칩.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기판은 유체 경로를 형성하는 유체 채널을 포함하고, 상기 유체 채널은 유체 채널의 깊이보다 큰 폭을 갖는, 칩.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 모세관 보어의 벽(916)의 적어도 일부는 유체 채널(309)의 벽의 일부를 형성하는, 칩.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 유체 채널은 90도보다 작은 각도(θ)를 갖는 방향 변화들을 포함하는, 칩.
  12. 제8항에 있어서,
    베이스 기판(413)을 더 포함하되, 이는 유체 채널(309)과 유체 연통하고, 베이스 기판의 후면에서 개방하는 유체 포트(414)를 포함하는, 칩.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 유체 포트는 베이스 기판의 후면을 향한 포트의 길이 방향으로 증가하는 영역을 포함하는, 칩.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 베이스 기판(413)은 본딩에 의해 기판(102)에 작동 가능하게 연결되는, 칩.
  15. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 마이크로니들(101)은 마이크로니들의 원위 단부의 레벨에 있는 에지(117)에 의해 둘러싸여 있는, 칩.
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