KR101951313B1 - 약액 공급 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR101951313B1
KR101951313B1 KR1020180060220A KR20180060220A KR101951313B1 KR 101951313 B1 KR101951313 B1 KR 101951313B1 KR 1020180060220 A KR1020180060220 A KR 1020180060220A KR 20180060220 A KR20180060220 A KR 20180060220A KR 101951313 B1 KR101951313 B1 KR 101951313B1
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마혁진
여승철
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(주)도아테크
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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 약액을 저장하는 약액탱크; 상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제1입측라인과 연결되는 유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제1출측라인과 연결되는 배출포트를 구비한 제1필터유닛; 상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제2입측라인과 연결되는 유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제2출측라인과 연결되는 배출포트를 구비한 제2필터유닛;을 포함하며, 상기 제1입측라인에는 상기 제1입측라인을 개폐하는 제1입측밸브 및 상기 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제1입측압력계가 설치되고, 상기 제1출측라인에는 상기 제1필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제1출측압력계가 설치되며, 상기 제2입측라인에는 상기 제2입측라인을 개폐하는 제2입측밸브 및 상기 제2필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제2입측압력계가 설치되고, 상기 제2출측라인에는 상기 제2필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제2출측압력계가 설치되는 약액 공급 시스템을 제공한다.

Description

약액 공급 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING CHEMICAL LIQUID}
본 발명은 약액 공급 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정이나 평판형 디스플레이(FPD) 제조 공정 등에 사용되는 약액을 공급하는 시스템에 관한 것이다.
일반적인 기판 처리 장치는 반도체 집적회로를 갖는 칩 제조에 사용되는 웨이퍼 및 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판의 처리에 사용된다.
이러한 기판 처리 장치에는 기판 상에 다양한 종류의 케미컬 및 유기 용액, 그리고 순수(Deionized Water)를 포함하는 약액이 사용될 수 있다.
예를 들면, LCD, OLED 등의 평판 디스플레이 제조 분야에서 사용되는 습식 세정 장치는 유리 기판 상에 식각액, 세정액 등과 같은 약액을 공급하여 기판 표면에 잔류하는 이물질을 제거한다.
이때, 기존의 평판 디스플레이 제조공정에서는 약액에 포함된 슬러지(Sludge), 파티클(Particle) 등의 이물질을 여과하기 위해 교체형 필터를 사용하고 있으며, 이에 따라 필터의 주기적인 교체 작업이 필수적이다.
그런데 기존에는 필터의 교체 작업 시 약액 공급 시스템의 가동을 정지해야 하므로 제품의 생산성을 저하시키는 것은 물론 필터의 교체에 따른 유지관리비(Runing Cost)가 증가하는 문제가 있었다.
한국공개특허 10-2013-0058261
본 발명의 실시예는 시스템의 가동을 중지하지 않고도 약액의 여과 공정을 지속적으로 진행할 수 있는 약액 공급 시스템을 제공한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 약액 공급 시스템은, 약액을 저장하는 약액탱크; 상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제1입측라인과 연결되는 유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제1출측라인과 연결되는 배출포트를 구비한 제1필터유닛; 상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제2입측라인과 연결되는 유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제2출측라인과 연결되는 배출포트를 구비한 제2필터유닛;을 포함하며, 상기 제1입측라인에는 상기 제1입측라인을 개폐하는 제1입측밸브 및 상기 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제1입측압력계가 설치되고, 상기 제1출측라인에는 상기 제1필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제1출측압력계가 설치되며, 상기 제2입측라인에는 상기 제2입측라인을 개폐하는 제2입측밸브 및 상기 제2필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제2입측압력계가 설치되고, 상기 제2출측라인에는 상기 제2필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제2출측압력계가 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 제1필터유닛 및 상기 제2필터유닛은, 약액이 유입되는 약액유입포트, 필터링된 약액이 배출되는 약액배출포트, 세정액을 배출하는 세정액배출포트를 구비한 필터하우징; 상기 필터하우징 내부에 설치되는 카트리지 형태의 필터; 상기 필터 내부에 위치하며, 세정액이 공급되는 노즐파이프; 상기 노즐파이프에 구비되며, 상기 필터에 세정액을 분사하는 복수의 세정노즐;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 제1필터유닛 및 상기 제2필터유닛은 상기 필터하우징의 상측에 구비되는 하우징캡을 더 포함하며, 상기 필터하우징의 상단에는 외측으로 돌출된 지지플랜지가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 필터의 상단에는 외측으로 돌출된 상부플랜지가 구비되며, 상기 상부플랜지의 위상은 상기 지지플랜지의 위상과 동일할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 약액배출포트는 상기 필터의 내부에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 세정액배출포트는 상기 필터의 외부에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 필터의 하단에는 외측으로 돌출된 하부플랜지가 구비되고, 상기 필터의 하부플랜지 외측에는 혼입방지턱이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 혼입방지턱의 높이는 하부플랜지의 높이보다 높게 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 필터유닛은 노즐파이프를 회전시키는 회전모터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 공정챔버로부터 상기 약액탱크로 약액을 회수하는 약액회수라인을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 약액탱크에 수용된 약액을 가열하는 가열수단을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의한 약액 공급 방법은, 약액탱크로부터 제1필터유닛을 통과시켜 약액을 공정챔버로 공급하는 단계; 상기 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력과 상기 제1필터유닛으로부터 배출되는 약액의 압력의 차가 설정값에 도달할 경우, 상기 제1필터유닛의 가동을 중지하고 제2필터유닛을 가동하여 약액을 여과하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 제1필터유닛의 가동이 중지된 상태에서, 세정액을 공급하여 상기 제1필터유닛을 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 약액 공급 시스템에 복수의 필터유닛을 구비하고, 어느 하나의 필터유닛을 이용하여 약액의 여과 작업을 진행할 경우 다른 필터유닛은 세정 작업 후 대기상태가 되도록 함으로써, 전체 공정의 중단 없이 여과 작업을 수행할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템을 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템의 필터유닛을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템의 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명의 본질과 관계없는 부분은 그에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여할 수 있다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 여기서 사용되는 전문 용어는 단지 특정 실시 예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하도록 의도되지 않으며, 본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해되는 개념으로 해석될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템을 도시한 것이다.
도 1을 참고하면, 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템은 약액탱크(200) 및 공정챔버(100)를 포함하며, 공정챔버(100)는 약액탱크(200)로부터 제공된 약액을 이용하여 소정의 공정을 진행하게 된다.
약액탱크(200)는 공정에 필요한 약액이 저장될 수 있도록 충분한 체적을 가지며, 약액탱크(200)의 내부에는 가열수단(210)이 설치될 수 있다. 가열수단(210)은 약액탱크(200) 내에 저장된 약액의 온도를 공정챔버(100)에서 요구하는 온도로 미리 예열해 줄 수 있다.
약액탱크(200)로부터 공정챔버(100) 측으로 약액을 공급하는 경로에는 필터유닛이 구비된다. 필터유닛은 약액탱크(200)로부터 약액을 제공받아 필터링하고, 필터링된 약액을 공정챔버(100)로 공급해 준다.
필터유닛은 복수로 이루어지는 것이 바람직하며, 복수의 필터유닛은 교대로 약액의 필터링 작업을 진행할 수 있다. 일 실시예에서 필터유닛은 제1필터유닛(300)과 제2필터유닛(400)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 제1필터유닛(300)이 약액의 필터링공정을 수행하는 사이에 제2필터유닛(400)은 가동이 중지된다. 이때, 제1필터유닛(300)과 제2필터유닛(400)에는 각각 세정액공급라인(L40)이 연결되고, 세정액공급라인(L40)은 각 필터유닛의 내부에 설치된 노즐파이프(도 2 참고)에 연결된다.
따라서, 제2필터유닛(400)의 가동이 중지된 상태에서, 세정액공급라인(L40)을 통해 세정액이 공급되어 제2필터유닛(400)의 세정작업이 진행되고, 제2필터유닛(400)에 대한 세정 작업이 완료된 후에는 제1필터유닛(300)의 가동을 중지하고 제2필터유닛(400)으로의 작업 전환이 진행될 수 있다. 이와 같이 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템은 복수의 필터유닛이 구비됨으로써 공정의 중단 없이 계속적인 약액 공급 공정이 진행될 수 있다.
약액탱크(200)의 하부에는 제1약액공급라인(L10)이 연결되고, 제1약액공급라인(L10)은 제1입측라인(L11)과 제2입측라인(L12)으로 분기되며, 제1입측라인(L11)과 제2입측라인(L12)은 각각 제1필터유닛(300)과 제2필터유닛(400)의 입구에 연결된다.
제1입측라인(L11)에는 제1입측밸브(V11) 및 제1입측압력계(P11)가 설치되고, 제2입측라인(L12)에는 제2입측밸브(V12) 및 제2입측압력계(P12)가 설치된다.
제1필터유닛(300)과 제2필터유닛(400)의 출구 측에는 각각 제1출측라인(L21)과 제2출측라인(L22)이 연결되며, 제1출측라인(L21)과 제2출측라인(L22)은 제2약액공급라인(L20)으로 합류되고, 제2약액공급라인(L20)은 공정챔버(100)에 연결된다.
제1출측라인(L21)에는 제1출측밸브(V21) 및 제1출측압력계(P21)가 설치되고, 제2출측라인(L22)에는 제2출측밸브(V22) 및 제2출측압력계(P22)가 설치된다.
제1필터유닛(300)과 제2필터유닛(400)은 공급 및/또는 배출되는 약액의 압력에 의해 온/오프가 결정될 수 있다.
예컨대, 제1필터유닛(300)에 이물질이 누적되어 필터가 막힐 경우 제1입측압력계(P11)와 제1출측압력계(P21)의 차압을 측정하고, 그 측정값이 미리 설정된 설정값에 도달하면 제1입측밸브(V11)가 차단된다.
이와 더불어, 제2입측밸브(V12)가 개방되어 약액이 제2필터유닛(400)을 통과하도록 전환됨으로써 약액 공급 시스템은 정지되지 않고 지속적인 가동이 가능하게 된다. 공정챔버(100)에서 사용된 약액은 약액회수라인(L30)을 통해 약액탱크(200)로 회수될 수 있다.
이때, 가동 중지된 제1필터유닛(300)은 세정 과정을 진행하게 된다. 제1필터유닛(300)의 세정 작업은 이후 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템의 필터유닛을 도시한 것이다. 일 실시예에 적용되는 제1필터유닛과 제2필터유닛은 동일한 구성을 갖고 있으므로 이하에서는 제1필터유닛을 토대로 설명한다.
도 2를 참고하면, 일 실시예에 의한 필터유닛은 필터하우징(310), 필터(320), 노즐파이프(340)를 포함한다.
필터하우징(310)은 대략 원통형으로 형성되며, 상면은 개방될 수 있다. 필터하우징(310)의 개방된 상면에는 하우징캡(330)이 체결된다. 필터하우징(310)의 상단에는 지지플랜지(311)가 외측으로 돌출될 수 있다. 따라서 하우징캡(330)은 필터하우징(310)의 지지플랜지(311) 상에 안착 결합될 수 있다.
필터하우징(310)의 상부에는 약액이 유입되는 약액유입포트(312)가 구비되고, 하부에는 여과된 약액이 배출되는 약액배출포트(313)가 구비된다. 약액유입포트(312)에는 제1입측라인(L11, 도 1 참고)이 연결되고, 약액배출포트(314)에는 제1출측라인(L21, 도 1 참고)이 연결된다.
또한, 필터하우징(310)의 하부에는 세정액 및 이물질을 배출하기 위한 세정액배출포트(314)가 형성된다. 세정액배출포트(314)에는 세정액배출라인(L50)이 연결된다.
필터(320)는 필터하우징(310)의 내부에 설치된다. 필터(320)는 카트리지 형태가 적용될 수 있다. 즉, 필터(320)는 원통형으로 형성되며, 상면 및 하면이 개방될 수 있다. 필터(320)로는 메탈 필터가 사용될 수 있다.
필터(320)의 상단에는 외측으로 돌출된 상부플랜지(321)가 구비되고, 필터(320)의 하단에는 외측으로 돌출된 하부플랜지(322)가 구비될 수 있다. 상부플랜지(321)의 상면에는 하우징캡(330)이 안착될 수 있다. 즉, 상부플랜지(321)는 필터하우징(310)의 지지플랜지(311)와 동일 위상을 가지며, 따라서 하우징캡(330)은 필터하우징(310)의 지지플랜지(311) 및 필터(320)의 상부플랜지(321)에 의해 안정적으로 지지될 수 있다.
지지플랜지(311)와 하우징캡(330) 사이 그리고 상부플랜지(321)와 하우징캡(330) 사이에는 각각 기밀을 위한 오링이 구비될 수 있다.
노즐파이프(340)는 필터(320)의 내부 중앙에 수직으로 배치된다. 노즐파이프(340)의 상단은 하우징캡(330)을 관통하여 하우징캡(330)의 상측에 돌출되도록 설치될 수 있다.
노즐파이프(340)의 상부에는 순수(DIW)와 같은 세정액이 공급되는 세정액공급구(341)가 구비될 수 있다.
노즐파이프(340)에는 복수의 세정노즐(342)이 구비될 수 있다. 복수의 세정노즐(342)은 세정수를 고압으로 필터(320) 측으로 분사한다.
노즐파이프(340)의 상단에는 회전모터(350)가 설치되며, 회전모터(350)는 노즐파이프(340)를 소정 속도로 회전시킬 수 있다. 따라서, 세정노즐(342)을 통해 필터(320)에 고속으로 세정액을 분사할 때 회전모터(350)의 구동력을 제공받은 노즐파이프(340)는 회전함으로써 필터(320)를 막는 이물을 안정적으로 제거할 수 있다.
한편, 약액배출포트(313)는 필터하우징(310)의 바닥면 중앙에 위치될 수 있다. 즉, 약액유입포트(312)를 통해 유입된 약액은 필터(320)를 통과하면서 여과되며, 여과된 약액만이 공정챔버 측으로 공급될 수 있도록 약액배출포트(313)는 원통형의 필터(320) 내부에 위치될 수 있다.
그리고 세정액배출포트(314)는 필터하우징(310)의 바닥면 테두리 측에 위치될 수 있다. 즉, 필터유닛의 가동이 중지된 상태에서, 필터(320)의 내부에 위치한 노즐파이프(340)를 통해 공급된 세정액이 세정노즐(342)을 통해 필터(320) 측으로 고압 분사되면, 필터(320)에 부착된 이물들이 필터(320)의 외부에 낙하될 수 있도록 세정액배출포트(314)는 필터(320) 외부에 위치될 수 있다.
이때, 필터(320)의 하부플랜지(322) 외측에는 혼입방지턱(323)이 구비될 수 있다. 혼입방지턱(323)의 높이는 하부플랜지(322)의 높이보다 높게 형성될 수 있다. 따라서, 세정노즐(342)에 의해 필터(320)의 외부로 낙하된 이물들은 혼입방지턱(323)에 의해 필터(320)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 공급 시스템의 흐름도이다.
도 3을 참고하면, 약액탱크에 저장된 약액은 펌프의 작동에 의해 제1필터유닛과 제2필터유닛으로 공급된다.
여기서 제1필터유닛과 제2필터유닛은 제1약액공급라인에서 분기된 제1입측라인 및 제2입측라인을 통해 각각 연결되는데, 이때 각각의 입측라인들에는 약액의 공급을 차단하기 위한 제1입측밸브 및 제2입측밸브가 설치될 수 있다.
이에 따라, 약액의 여과 공정 시 작동 중인 필터유닛 중 어느 하나의 여과 효율이 저하될 경우 다른 필터유닛으로 작동을 전환하여 여과공정이 지속적으로 진행되도록 함으로써, 약액의 공급은 중단되지 않고 여과 작업 및 전체 공정은 지속적으로 실시될 수 있다. 여기서 약액에 포함된 이물질은 여과된 후 외부로 배출된다.
예를 들면, 제1필터유닛의 사용 중에 슬러지(Sludge) 등의 이물질이 누적되어 필터가 막힐 경우 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력과 제1필터유닛으로부터 배출되는 약액의 압력에 대한 차이가 설정값에 도달하게 된다. 이와 같이 약액의 유입압력과 배출압력의 차이에 대한 측정값이 설정값에 도달하면, 제어부(도시 생략)는 제1필터유닛의 작동을 중지하고 제2필터유닛의 작동을 실시한다.
제2필터유닛의 사용 중에 제1필터유닛을 자동 세정하여 제2필터유닛이 막힐 경우를 대비할 수 있다. 자동 세정 방법은 카트리지 형태의 필터 내부에 설치된 고압 세정노즐의 고압 분사 및 회전에 의해 실시될 수 있다.
이와 같은 과정을 반복하여 LCD/OLED 생산 장비가 정지 없이 가동할 수 있으므로 생산성 향상에 기여할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100; 공정챔버
200; 약액탱크 210; 가열수단
300; 제1필터유닛 310; 필터하우징
311; 지지플랜지 312; 약액유입포트
313; 약액배출포트 314; 세정액배출포트
320; 필터 321; 상부플랜지
322; 하부플랜지 323; 혼입방지턱
330; 하우징캡 340; 노즐파이프
341; 세정액공급구 342; 세정노즐
350; 회전모터
400; 제2필터유닛
L10: 제1약액공급라인 L11; 제1입측라인
L12; 제2입측라인 L20; 제2약액공급라인
L21; 제1출측라인 L22; 제2출측라인
L30; 약액회수라인
L40; 세정액공급라인
L50; 세정액배출라인
P11; 제1입측압력계 P12; 제2입측압력계
P21; 제1출측압력계 P22; 제2출측압력계
V11; 제1입측밸브 V12; 제2입측밸브
V21; 제1출측밸브 V21; 제2출측밸브

Claims (13)

  1. 약액을 공정챔버로 공급하는 약액 공급 시스템으로서,
    약액을 저장하는 약액탱크;
    상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제1입측라인과 연결되는 약액유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제1출측라인과 연결되는 약액배출포트를 구비한 제1필터유닛;
    상기 약액탱크로부터 약액을 공급받도록 제2입측라인과 연결되는 약액유입포트, 상기 공정챔버로 필터링된 약액을 공급하도록 제2출측라인과 연결되는 약액배출포트를 구비한 제2필터유닛;을 포함하며,
    상기 제1입측라인에는 상기 제1입측라인을 개폐하는 제1입측밸브 및 상기 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제1입측압력계가 설치되고,
    상기 제1출측라인에는 상기 제1필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제1출측압력계가 설치되며,
    상기 제2입측라인에는 상기 제2입측라인을 개폐하는 제2입측밸브 및 상기 제2필터유닛으로 유입되는 약액의 압력을 검출하는 제2입측압력계가 설치되고,
    상기 제2출측라인에는 상기 제2필터유닛에서 배출되는 약액의 압력을 검출하는 제2출측압력계가 설치되며,
    상기 제1필터유닛 및 상기 제2필터유닛은,
    약액이 유입되는 약액유입포트, 필터링된 약액이 배출되는 약액배출포트, 세정액을 배출하는 세정액배출포트를 구비한 필터하우징;
    상기 필터하우징 내부에 카트리지 형태로 설치되며, 상단 및 하단에는 각각 상부플랜지 및 하부플랜지가 구비되며, 상기 하부플랜지의 외측에는 상기 하부플랜지의 높이보다 높게 혼입방지턱이 구비된 필터;
    상기 필터 내부에 회전 가능하게 위치하며, 세정액이 공급되는 노즐파이프;
    상기 노즐파이프에 구비되며, 상기 필터에 세정액을 분사하는 복수의 세정노즐;
    노즐파이프를 회전시키는 회전모터;를 포함하고,
    상기 약액배출포트는 상기 필터의 내부에 위치하며, 상기 세정액배출포트는 상기 필터의 외부에 위치하는 약액 공급 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1필터유닛 및 상기 제2필터유닛은 상기 필터하우징의 상측에 구비되는 하우징캡을 더 포함하며,
    상기 필터하우징의 상단에는 외측으로 돌출된 지지플랜지가 구비되는 약액 공급 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 상부플랜지의 위상은 상기 지지플랜지의 위상과 동일한 약액 공급 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 공정챔버로부터 상기 약액탱크로 약액을 회수하는 약액회수라인을 더 포함하는 약액 공급 시스템.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 약액탱크에 수용된 약액을 가열하는 가열수단을 더 포함하는 약액 공급 시스템.
  12. 제1항의 약액 공급 시스템을 이용하여 약액을 공정챔버로 공급하는 약액 공급 방법으로서,
    약액탱크로부터 제1필터유닛을 통과시켜 약액을 공정챔버로 공급하는 단계;
    상기 제1필터유닛으로 유입되는 약액의 압력과 상기 제1필터유닛으로부터 배출되는 약액의 압력의 차가 설정값에 도달할 경우, 상기 제1필터유닛의 가동을 중지하고 제2필터유닛을 가동하여 약액을 여과하는 단계;
    상기 제1필터유닛의 가동이 중지된 상태에서, 상기 제1필터유닛의 내부로 세정액을 공급하여 상기 제1필터유닛을 세정하는 단계;
    를 포함하는 약액 공급 방법.
  13. 삭제
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