KR101935180B1 - 초음파 접합 장치 - Google Patents

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마사히로 나카모토
지로마루 츠지노
에이이치 스기모토
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닛산 지도우샤 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 초음파 혼과 혼 팁이 착탈 가능한 것에 있어서, 혼 팁의 내구성을 높게 하는 것을 목적으로 하고, 본 발명에서는, 피접합재(W1, W2)를 초음파 접합하기 위한 초음파 접합 장치(1)이며, 초음파 진동을 발생시키는 초음파 혼(3)과, 피접합재(W1, W2)에 초음파 진동을 전파시키는 혼 팁(4)과, 초음파 혼(3)과 혼 팁(4) 사이에 설치되어, 이것들을 접속하는 접속 부재(7)를 구비하고, 초음파 혼의 선단부에 제1 나사부(33)가 형성되고, 혼 팁의 기단부에 제2 나사부(43)가 형성되고, 접속 부재의 일방측에 제1 나사부에 나사 결합되는 제3 나사부(71)가 형성되고, 접속 부재의 타방측에 제2 나사부에 나사 결합되는 제4 나사부(72)가 형성되고, 초음파 혼의 설치면(35)과 혼 팁의 설치면(42)이 서로 압박되도록, 초음파 혼과 혼 팁이 접속 부재를 개재하여 접속되어 있는 구성으로 하였다.

Description

초음파 접합 장치 {ULTRASONIC WELDING DEVICE}
본 발명은, 피접합재를 초음파 접합하기 위한 초음파 접합 장치에 관한 것이다.
초음파 진동을 발생시키는 진동자를 갖고, 당해 진동자에 연결되는 초음파 혼의 외측면에, 그 내주면에 암나사가 형성된 원형의 오목부를 형성하여, 혼 팁의 팁 베이스를 끼운 상태에서 당해 오목부의 암나사에 접속 부재를 끼워 맞춤시키도록 구성한 초음파 접합 장치가 알려져 있다. 이에 의해, 혼 팁을 착탈 가능한 상태로 초음파 혼에 고정할 수 있다(특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 평10-52768호 공보
그러나, 상기 종래 기술에서는, 혼 팁의 기단부와 팁 베이스의 경계에, 초음파 진동에 의한 응력이 집중되므로, 고가인 혼 팁에 크랙이 발생하여, 그것의 교환 빈도가 높아진다는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 초음파 혼과 혼 팁이 착탈 가능한 것에 있어서, 혼 팁의 내구성이 높은 초음파 접합 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은,
초음파 혼과 혼 팁 사이에 이것들을 접속하는 접속 부재를 설치하고,
접속 부재의 일방측에, 초음파 혼의 제1 나사부에 나사 결합되는 제3 나사부를 형성하고, 접속 부재의 타방측에, 혼 팁의 제2 나사부에 나사 결합되는 제4 나사부를 형성하고,
초음파 혼의 설치면과 혼 팁의 설치면이 서로 압박되도록, 초음파 혼과 혼 팁을 접속 부재를 개재하여 접속함으로써 상기 과제를 해결한다.
본 발명에 따르면, 제1 나사부, 제2 나사부, 제3 나사부 및 제4 나사부를 사용하여, 접속 부재를 개재하여 초음파 혼과 혼 팁을 접속하므로, 초음파 진동에 의한 응력은, 이들 제1∼제4 나사부의 나사 결합면 전체에서 받게 된다. 따라서, 응력 집중을 분산시킬 수 있어, 혼 팁의 내구성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 초음파 접합 장치의 일 실시 형태를 도시하는 전체 정면도이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도이다.
도 2b는 도 2a의 조립 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 ⅡC 화살표도(저면도)이다.
도 3a는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 조립 단면도이다.
도 3c는 도 3b의 ⅢC부의 확대 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도이다.
도 4b는 도 4a의 조립 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도이다.
도 5b는 도 5a의 조립 단면도이다.
이하, 본 발명에 관한 초음파 접합 장치를 구현화한 몇 가지의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 본 발명에 관한 초음파 접합 장치의 일 실시 형태를 도시하는 전체 정면도이다. 먼저, 후술하는 제1 실시 형태∼제4 실시 형태의 초음파 접합 장치(1)에 공통되는 구성을, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 도시하는 초음파 접합 장치(1)는, 제1 피접합재(W1) 상에 제2 피접합재(W2)를 겹친 상태에서 초음파 진동을 가함으로써, 이들 제1 및 제2 피접합재(W1, W2)가 접합부에 의해 서로 접합된 초음파 접합체를 형성하기 위한 장치이며, 알루미늄, 구리 등의 금속 재료로 이루어지는 2개의 피접합재(W1, W2)를 초음파 접합하는 경우를 예로 들어 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
본 실시 형태의 초음파 접합 장치(1)는, 예를 들어 박형 이차 전지의 출력 단자끼리나, 출력 단자와 집전체 등을 접합하는 경우에 사용되지만, 특별히 피접합재(W1, W2)의 용도는 한정되지 않는다. 또한 이하의 실시 형태에서는 2개의 피접합재(W1, W2)를 접합하는 경우를 예로 들어 본 발명을 설명하지만, 필요에 따라서 3개 이상의 피접합재를 접합하는 경우에 사용해도 된다. 또한 본 실시 형태에서는, 동일 재질의 피접합재(W1, W2)끼리를 서로 접합시키는 예에 대해 설명하지만, 특별히 이것에 한정되지 않고, 이종 재료로 이루어지는 피접합재(W1, W2)를 서로 접합시켜도 된다.
본 실시 형태의 초음파 접합 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 피접합재(W1, W2)가 적재되는 앤빌(anvil)(2)과, 초음파 혼(3)과, 이 초음파 혼(3)에 설치되는 혼 팁(4)과, 진동자(5)와, 가압 장치(6)를 구비한다. 앤빌(2)은, 제1 및 제2 피접합재(W1, W2)가 적재되는 받침 금속 부재이며, 접합하는 2매의 피접합재(W1, W2)를 혼 팁(4)과의 사이에 끼운 상태에서, 혼 팁(4)으로부터 전달되는 초음파 진동 및 가압력을 받아낸다.
초음파 혼(3)은, 도 1 중의 +X 방향을 향해 연장되는 아암부(31)와, 팁 설치부(32)를 갖는다. 아암부(31)는, 연장 방향을 따라 대략 일정한 직경을 갖는 원기둥 형상의 부재이며, 당해 아암부(31)의 기단부(도 1의 좌측 단부)는 진동자(5)에 연결되어 있다. 이에 의해, 진동자(5)에서 발생한 ±X 방향의 초음파 진동(왕복 단진동)이 혼 팁(4)에 전달된다. 팁 설치부(32)는, 아암부(31)의 선단(도 1의 우측 단부)의 근방의 하방에 설치되고, 당해 팁 설치부(32)에는 혼 팁(4)이 설치된다. 이 초음파 혼(3)은, 진동자(5)가 발생하는 초음파 진동의 전달을 가능하게 하기 위해, 적절한 경도를 갖는 재료로 형성되어 있다. 이러한 재료로서, 예를 들어 텅스텐 등의 초경합금을 들 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 팁 설치부(32)의 단면 형상은, 원형 외에 직사각형이어도 된다.
본 실시 형태의 진동자(5)는, 예를 들어 압전 소자로 구성되는 진동자이며, 초음파 혼(3)의 기단부에 접속되어 있다. 이 진동자(5)는, 도 1의 XY 평면을 따른 소정의 진폭 및 주파수로 초음파 진동을 발생하고, 당해 초음파 진동을, 초음파 혼(3) 및 혼 팁(4)을 통해 피접합재(W1, W2)에 전파시킨다.
가압 장치(6)는, 2개의 피접합재(W1, W2)를 접합시킬 때, 앤빌(2) 상에 적재된 피접합재(W1, W2)에 대해 가압력을 인가시키기 위한 장치이며, 예를 들어 에어 실린더나 유압 실린더 등으로 구성되어 있다. 초음파 혼(3)의 기단부측은, 지지 부재(61)에 고정되고, 또한 지지 부재(61)를 개재하여 레일(62) 상에, 당해 레일(62)을 따라 상하 이동 가능한 상태로 설치되어 있다. 가압 장치(6)와 지지 부재(61)는 샤프트(64)에 의해 연결되고, 이에 의해 가압 장치(6)에 의해 인가되는 가압력은, 샤프트(64) 및 지지 부재(61)를 통해 초음파 혼(3)에 전달된다.
혼 팁(4)은, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 설치되어, 초음파 혼(3)을 통해 전달되는 진동자(5)로부터의 초음파 진동을, 피접합재(W1, W2)에 전파시킨다. 이 혼 팁(4)은, 텅스텐 등의 초경합금으로 구성되고, 피접합재(W1, W2)측을 향해 직경 축소되는 테이퍼부(40)를 갖는다(도 2a 참조). 이로 인해, 혼 팁(4)의 선단면(피접합재(W1)와 대향하는 면)(41)의 외경이, 혼 팁(4)의 최소 외경이 된다.
혼 팁(4)의 선단면(41)에는, 필요에 따라서 질화 처리나 다이아몬드 코팅이 실시되어도 된다. 본 실시 형태의 혼 팁(4)의 선단면(41)은, 도 2c에 도시하는 바와 같이 원 형상으로 되고, 이에 의해, 피접합재(W1, W2)에 초음파 진동을 전파시킬 때, 초음파 진동의 응력이 당해 피접합재(W1, W2) 상에서 국소적으로 집중되는 것이 억제되어, 이것에 의한 피접합재(W1, W2)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 혼 팁(4)을 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 설치할 때, 조임 방향의 이방성이 해소된다. 즉, 혼 팁(4)의 선단면(41)을 원형으로 형성함으로써, 혼 팁(4)을 조일 때에 어디에서 멈추어도 항상 피접합재(W1, W2)와의 접촉면이 원형이 되므로, 장착 작업성을 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 혼 팁(4)은, 그 선단면(41)이 원형이면 되고, 선단면 이외의 단면 형상은 원형 외의 직사각형이어도 된다. 또한 본 실시 형태의 혼 팁(4)의 테이퍼부(40)는, 선단면(41)을 향해 직선적으로 외경이 직경 축소되는 형상이지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 테이퍼부(40)가, 선단면(41)을 향해 곡선적으로 외경이 직경 축소되는 형상이어도 된다. 또한, 원 형상의 선단면(41)을 가짐과 함께 각기둥 형상의 테이퍼부(40)를 갖는 형상이어도 되고, 혼 팁(4) 전체가 대략 일정한 직경을 갖는 원기둥 형상 등이어도 된다.
이상이, 후술하는 제1∼제4 실시 형태에 공통되는 구성이다. 이하, 본 발명에 관한 초음파 접합 장치(1)의 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조에 관한 실시 형태를 설명한다.
《제1 실시 형태》
도 2a는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도, 도 2b는, 도 2a의 조립 단면도, 도 2c는, 도 2a의 ⅡC 화살표도(저면도)이다. 본 실시 형태의 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조는 접속 부재(7)를 포함하여 구성되어 있다.
본 실시 형태에 있어서는, 도 2a에 도시하는 바와 같이, 초음파 혼(3)의 선단부인 팁 설치부(32)에 설치면(35)이 형성되고, 이 설치면(35)에, 소정의 직경을 갖는 제1 나사부(33)가 형성되어 있다. 또한, 혼 팁(4)의 기단부에 설치면(42)이 형성되고, 이 설치면(42)에, 소정의 직경을 갖는 제2 나사부(43)가 형성되어 있다. 본 실시 형태의 제1 나사부(33) 및 제2 나사부(43)는 모두 암나사로 이루어진다.
접속 부재(7)는, 도 2a에 도시하는 바와 같이 중실의 통 형상 부재로 구성되고, 통 형상 부재의 상반부에 제3 나사부(71)가 형성되고, 하반부에 제4 나사부(72)가 형성되어 있다. 본 실시 형태의 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)는, 모두 수나사로 이루어진다. 그리고, 제3 나사부(71)는, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 형성된 제1 나사부(33)에 나사 결합되고, 제4 나사부(72)는 혼 팁(4)에 형성된 제2 나사부(43)에 나사 결합된다. 즉, 제1 나사부(33)와 제3 나사부(71), 제2 나사부(43)와 제4 나사부(72)를 각각 나사 결합시킴으로써, 혼 팁(4)은 접속 부재(7)를 개재하여 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 설치된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 접속 부재(7)의 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)는, 대략 동일한 길이, 직경 및 피치로 되어 있지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 나사부(33)와 제3 나사부(71), 제2 나사부(43)와 제4 나사부(72)가 각각 적절하게 나사 결합되는 관계인 한, 제3 나사부(71)와 제4 나사부(72)는 상이한 길이, 상이한 직경 또는 상이한 피치여도 된다. 또한, 도 2a 및 도 2b에 도시하는 접속 부재(7)는 중실재로 구성되어 있지만, 이것에 한정되지 않고 중공재여도 된다.
본 실시 형태에서는, 초음파 혼(3)의 설치면(35)은, 제1 나사부(33)의 조임 방향(도 2b의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(도 2b의 XY 평면)으로 되어 있다. 또한, 혼 팁(4)의 설치면(42)은, 제2 나사부(43)의 조임 방향(도 2b의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(도 2b의 XY 평면)으로 되어 있다. 이로 인해, 접속 부재(7)에 의해 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 서로 접속되면, 제1 나사부(33)의 주위의 설치면(35)과, 제2 나사부(43)의 주위의 설치면(42)이 서로 밀착되게 된다.
또한, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 형성된 제1 나사부(33)의 축방향의 길이 D1과, 혼 팁(4)에 형성된 제2 나사부(43)의 축방향의 길이 D2의 합계 D1＋D2는, 도 2b에 도시하는 바와 같이, 접속 부재(7)의 축방향의 길이 D3보다 크게 설정되어 있다((D1＋D2)＞D3). 이로 인해, 접속 부재(7)에 의해 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 서로 접속되면, 도 2b에 도시하는 바와 같이, 혼 팁(4)의 제2 나사부(43)의 하부에는 공극(44)이 형성되고, 팁 설치부(32)의 제1 나사부(33)의 상부에는 공극(34)이 형성되게 된다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 초음파 접합 장치(1)에서는, 먼저 접속 부재(7)를 사용함으로써 혼 팁(4)이 초음파 혼(3)에 대해 착탈 가능하게 접속된다. 이에 의해, 장시간의 사용에 의해 혼 팁(4)이 열화되어도, 초음파 혼(3)은 그대로 인채로, 당해 혼 팁(4)만을 교환하면 된다.
또한, 본 실시 형태의 초음파 접합 장치(1)에서는, 혼 팁(4)의 설치면(42)에는 암나사로 이루어지는 제2 나사부(43)가 형성되고, 초음파 혼(3)의 설치면(35)에는 암나사로 이루어지는 제1 나사부(33)가 형성되어 있다. 또한, 접속 부재(7)의 일방측에는 수나사로 이루어지는 제3 나사부(71)가 형성되고, 타방측에는 수나사로 이루어지는 제4 나사부(72)가 형성되어 있다. 그리고, 혼 팁(4) 및 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)는, 이들 제1 나사부(33)와 제3 나사부(71)가 나사 결합되는 동시에, 제2 나사부(43)와 제4 나사부(72)가 나사 결합됨으로써 고정된다. 이에 의해, 초음파 혼(3)으로부터 혼 팁(4)으로 전달되는 초음파 진동은, 제1 나사부(33)와 제3 나사부(71)의 나사 결합 부분, 및 제2 나사부(43)와 제4 나사부(72)의 나사 결합 부분의 양방에 있어서 분산된다. 그 결과, 초음파 진동에 의한 응력이 팁 설치부(32)나 혼 팁(4)의 일부에 집중되는 것이 억제되어, 이것에 의한 팁 설치부(32) 및 혼 팁(4)의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)와 혼 팁(4)을 접속 부재(7)를 개재하여 접속하면, 초음파 혼(3)의 설치면(35)과 혼 팁(4)의 설치면(42)이 서로 압박되므로, 초음파 진동의 전달 효율의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 팁 설치부(32)나 혼 팁(4)의 강도 향상을 도모하기 위해 당해 팁 설치부(32)나 혼 팁(4)을 대형화할 필요가 없어지므로, 이 관점에서도, 피접합재(W1, W2)에 대한 초음파 진동의 전달 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 형성된 제1 나사(33)의 길이 D1과, 혼 팁(4)에 형성된 제2 나사부(43)의 길이 D2의 합계 D1＋D2가, 접속 부재(7)의 길이 D3보다 크게 설정되어 있다((D1＋D2)＞D3). 이로 인해, 혼 팁(4)을 조여 가면, 혼 팁(4)의 설치면(42)과, 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)의 설치면(35)이 반드시 접촉하여 서로 압박한다. 따라서, 초음파 혼(3)으로부터 혼 팁(4)으로 전달되는 초음파 진동을 당해 접촉 부분에 있어서 더욱 분산시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 혼 팁(4)의 설치면(42)은, 제2 나사부(43)의 조임 방향에 대해 실질적으로 수직인 평탄면이며, 마찬가지로 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)의 설치면(35)도, 제1 나사부(33)의 조임 방향에 대해 실질적으로 수직인 평탄면으로 되어 있다. 이로 인해, 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 접속 부재(7)에 의해 서로 체결되어 고정되면, 제1 및 제2 나사부(33, 43)의 주위에 있어서 설치면(35)과 설치면(42)은, 평탄성에 따른 접촉 면적에서 서로 밀착된다. 이에 의해, 초음파 혼(3)으로부터 혼 팁(4)으로 전달되는 초음파 진동을 당해 밀착 부분에 있어서 확실하게 분산시킬 수 있으므로, 상기한 효과를 더욱 향상할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 혼 팁(4)의 선단면(41)은, 원 형상으로 되어 있다. 이로 인해, 혼 팁(4)을 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 설치할 때, 조임 방향의 이방성이 해소된다. 즉, 혼 팁(4)의 선단면(41)을 원형으로 형성함으로써, 혼 팁(4)을 조일 때에 어디에서 멈추어도 항상 피접합재(W1, W2)와의 접촉면이 원형이 되므로, 장착 작업성을 높일 수 있다. 또한, 혼 팁(4)의 선단면(41)을 원형으로 함으로써, 피접합재(W)에 전파되는 초음파 진동에 의한 응력이, 당해 피접합재(W)에 대해 국소적으로 전파됨으로써 피접합재(W)가 손상되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 혼 팁(4)은 테이퍼부(40)를 가지므로, 초음파 진동이 당해 혼 팁(4) 내를 전파할 때에 작용하는 응력이, 혼 팁(4) 내에 있어서 국소적으로 축적되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 혼 팁(4)의 내구성이 향상된다.
《제2 실시 형태》
도 3a는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도, 도 3b는, 도 3a의 조립 단면도, 도 3c는, 도 3b의 ⅢC부의 확대 단면도이다. 본 실시 형태의 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 접속 부재(7)를 포함하여 구성되어 있지만, 그 형상이 상위하다.
즉, 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 제1 실시 형태의 접속 부재(7)와 같이 통 형상 부재가 아니라, 일방측에 형성된 제3 나사부(71)와, 타방측에 형성된 제4 나사부(72) 사이에, 한 쌍의 면(74, 75)을 갖는 판상의 판부(73)를 포함하여 구성되어 있다. 본 실시 형태의 제1 나사부(33) 및 제2 나사부(43)가 모두 암나사로 이루어지는 점, 및 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)가 모두 수나사로 이루어지는 점은 제1 실시 형태와 동일하다.
본 실시 형태의 접속 부재(7)의 판부(73)의 한쪽 면(74)(이하, 제1 주면(74))은, 제3 나사부(71)의 축방향(도 3a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(동 도면의 XY 평면)으로 되어 있다. 또한, 접속 부재(7)의 판부(73)의 다른 쪽 면(75)(이하, 제2 주면(75))은, 제4 나사부(72)의 축방향(도 3a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(동 도면의 XY 평면)으로 되어 있다. 이로 인해, 접속 부재(7)에 의해 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 서로 접속되면, 판부(73)의 제1 주면(74)과 초음파 혼(3)의 설치면(35)이 밀착되고, 판부(73)의 제2 주면(75)과 혼 팁(4)의 설치면(42)이 밀착된다. 이에 의해, 초음파 혼(3)의 설치면(35)과 혼 팁(4)의 설치면(42)이 판부(73)를 개재하여 서로 간접적으로 압박되게 된다.
또한 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 제1 나사부(33)의 길이 D1을 제3 나사(71)의 길이 D4보다 길게 함으로써(D1＞D4), 제3 나사부(71)의 상부에 공극(34)이 형성된다. 마찬가지로, 제2 나사부(43)의 길이 D2를 제4 나사부(72)의 길이 D5보다 길게 함으로써(D2＞D5), 제4 나사부(72)의 하부에 공극(44)이 형성된다. 이와 같이 함으로써, 접속 부재(7)를 혼 팁(4) 및 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 각각 접속한 경우에, 판부(73)의 제1 주면(74)은 팁 설치부(32)의 설치면(35)에 반드시 밀착됨과 함께, 판부(73)의 제2 주면(75)은 혼 팁(4)의 설치면(42)에 밀착되게 된다.
또한 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 통 형상 부재가 아니라 축방향의 중앙에 판부(73)를 갖는 형상이므로, 제3 나사부(71)와 판부(73)의 경계부 및 제4 나사부(72)와 판부(73)의 경계부에 응력 집중이 발생할 가능성이 있다. 이로 인해, 도 3a 및 도 3b, 및 그 1개소를 대표하여 도 3c에 확대하여 도시하는 바와 같이, 판부(73)와 제3 나사부(71)의 경계부의 전체 주위에 제1 만곡면(76)이 형성되고, 판부(73)와 제4 나사부(72)의 경계부의 전체 주위에 제2 만곡면(77)이 형성되어 있다. 또한, 초음파 혼(3)의 설치면(35)의 제1 나사부(33)의 에지부에, 선단을 향해 확대 개방되는 제1 환상 경사면(36)이 형성되고, 혼 팁(4)의 설치면(42)의 제2 나사부(43)의 에지부에, 선단을 향해 확대 개방되는 제2 환상 경사면(45)이 형성되어 있다. 이와 같이, 응력 집중될 가능성이 높은 부분을 예리한 형상이 아니라 만곡 형상 또는 테이퍼 형상으로 함으로써, 응력 집중을 억제할 수 있다.
그 밖의 구성은 제1 실시 형태와 기본적으로 동일하므로, 도 3a∼도 3c에 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 여기에 원용한다.
《제3 실시 형태》
도 4a는, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도, 도 4b는, 도 4a의 조립 단면도이다. 본 실시 형태의 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 접속 부재(7)를 포함하여 구성되어 있지만, 그 형상이 상위한 동시에, 제1 나사부(33), 제2 나사부(43), 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)의 구성이 상위하다.
즉, 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 제1 실시 형태의 접속 부재(7)와 같이 통 형상 부재이지만, 중공 형상의 통 형상 부재로 되고, 또한 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)가 모두 암나사로 이루어진다. 즉, 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 너트 형상으로 되어 있다. 또한, 팁 설치부(32)에 형성된 제1 나사부(33)와, 혼 팁(4)의 기단부에 형성된 제2 나사부(43)가 모두 수나사로 이루어진다. 본 실시 형태의 제1 나사부(33)가 제3 나사부(71)에 나사 결합되는 점, 및 제2 나사부(43)가 제4 나사부(72)에 나사 결합되는 점은 제1 실시 형태와 동일하다.
또한, 초음파 혼(3)의 설치면(35)은, 제1 나사부(33)의 조임 방향(도 4a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(도 4a의 XY 평면)으로 되어 있다. 또한, 혼 팁(4)의 설치면(42)은, 제2 나사부(43)의 조임 방향(도 4a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(도 4a의 XY 평면)으로 되어 있다. 이로 인해, 접속 부재(7)에 의해 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 서로 접속되면, 팁 설치부(32)의 설치면(35)과, 혼 팁(4)의 설치면(42)이 서로 밀착되게 된다.
이것에 추가하여, 본 실시 형태에서는, 팁 설치부(32)의 선단의 중앙에 제1 오목부(37)가 형성되고, 혼 팁(4)의 기단부의 중앙에 제2 오목부(46)가 형성되어 있다. 제1 오목부(37)는, 제3 나사부(71)의 축방향의 길이와 동등한 깊이이며, 제3 나사부(71)가 형성된 접속 부재(7)의 단면적과 동등한 단면적을 갖는다. 또한, 제2 오목부(46)는 제4 나사부(72)의 축방향의 길이와 동등한 깊이이며, 제4 나사부(72)가 형성된 접속 부재(7)의 단면적과 동등한 단면적을 갖는다. 즉, 이 제1 오목부(37) 및 제2 오목부(46)는, 도 4b에 도시하는 바와 같이 접속 부재(7)를 사용하여 혼 팁(4)을 팁 설치부(32)에 조립한 경우에, 동 도면에 A-A선으로 나타내는 단면의 단면적, 즉, 접속 부재(7)가 존재하는 부분의 단면적이, 동 도면에 B-B선으로 나타내는 단면의 단면적, 즉, 접속 부재(7)가 존재하지 않는 부분의 단면적과 동등하거나 근사한 크기로 되어 있다.
진동자(5)로부터의 초음파 진동이 아암부(31)에 전달되고, 이것이 혼 팁(4)의 선단면(41)에 전달되는 경우에, 혼 팁(4)의 선단면(41)에 있어서 최대 진폭이 되도록 팁 설치부(32) 및 혼 팁(4)의 형상을 설정하는 것이 바람직하다. 이 경우에, 팁 설치부(32) 및 혼 팁(4)의 단면적을 전체 범위에 걸쳐 동등하게 해 두면, 도 4b에 이점 쇄선으로 나타내는 진동파의 절의 위치를 정확하게 설정하기 쉬워진다. 이 때문에, 본 실시 형태에서는 제1 오목부(37) 및 제2 오목부(46)가 형성되어 있다. 단, 이들 제1 오목부(37) 및 제2 오목부(46)는 본 실시 형태에 필수적인 구성은 아니다.
《제4 실시 형태》
도 5a는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 초음파 혼과 혼 팁의 설치 구조를 도시하는 분해 단면도이며, 도 1의 Ⅱ부에 상당하는 단면도, 도 5b는, 도 5a의 조립 단면도이다. 본 실시 형태의 초음파 혼(3)과 혼 팁(4)의 설치 구조는, 제3 실시 형태와 마찬가지로 접속 부재(7)를 포함하여 구성되어 있지만, 그 형상이 상위하다.
즉, 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 제3 실시 형태의 접속 부재(7)와 같이 통 형상 부재가 아니라, 일방측에 형성된 제3 나사부(71)와, 타방측에 형성된 제4 나사부(72) 사이에, 한 쌍의 면(74, 75)을 갖는 판상의 판부(73)를 포함하여 구성되어 있다. 본 실시 형태의 제1 나사부(33) 및 제2 나사부(43)가 모두 수나사로 이루어지는 점, 및 제3 나사부(71) 및 제4 나사부(72)가 모두 암나사로 이루어지는 점은 제3 실시 형태와 동일하다.
본 실시 형태의 접속 부재(7)의 판부(73)의 한쪽 면(74)(이하, 제1 주면(74))은, 제3 나사부(71)의 축방향(도 5a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(동 도면의 XY 평면)으로 되어 있다. 또한, 접속 부재(7)의 판부(73)의 다른 쪽 면(75)(이하, 제2 주면(75))은, 제4 나사부(72)의 축방향(도 5a의 Z축 방향)에 대해 실질적으로 수직인 평탄면(동 도면의 XY 평면)으로 되어 있다. 이로 인해, 접속 부재(7)에 의해 혼 팁(4)과 팁 설치부(32)가 서로 접속되면, 판부(73)의 제1 주면(74)과 초음파 혼(3)의 설치면(35)이 밀착되고, 판부(73)의 제2 주면(75)과 혼 팁(4)의 설치면(42)이 밀착된다. 이에 의해, 초음파 혼(3)의 설치면(35)과 혼 팁(4)의 설치면(42)이 판부(73)를 개재하여 서로 간접적으로 압박되게 된다.
또한 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 제1 나사부(33)의 길이 D1을 제3 나사(71)의 길이 D4보다 길게 함으로써(D1＞D4), 제3 나사부(71)의 상부에 공극(34)이 형성된다. 마찬가지로, 제2 나사부(43)의 길이 D2를 제4 나사부(72)의 길이 D5보다 길게 함으로써(D2＞D5), 제4 나사부(72)의 하부에 공극(44)이 형성된다. 이와 같이 함으로써, 접속 부재(7)를 혼 팁(4) 및 초음파 혼(3)의 팁 설치부(32)에 각각 접속한 경우에, 판부(73)의 제1 주면(74)은 팁 설치부(32)의 설치면(35)에 반드시 밀착됨과 함께, 판부(73)의 제2 주면(75)은 혼 팁(4)의 설치면(42)에 밀착되게 된다.
또한 본 실시 형태의 접속 부재(7)는, 통 형상 부재가 아니라 축방향의 중앙에 판부(73)를 갖는 형상이므로, 제3 나사부(71)와 판부(73)의 경계부 및 제4 나사부(72)와 판부(73)의 경계부에 응력 집중이 발생할 가능성이 있다. 이로 인해, 도 5a 및 도 5b에 도시하는 바와 같이, 판부(73)와 제3 나사부(71)의 경계부의 전체 주위에 제1 만곡면(76)이 형성되고, 판부(73)와 제4 나사부(72)의 경계부의 전체 주위에 제2 만곡면(77)이 형성되어 있다. 또한, 초음파 혼(3)의 설치면(35)의 제1 나사부(33)의 에지부에, 선단을 향해 직경 축소되는 제1 환상 경사면(36)이 형성되고, 혼 팁(4)의 설치면(42)의 제2 나사부(43)의 에지부에, 선단을 향해 직경 축소되는 제2 환상 경사면(45)이 형성되어 있다. 이와 같이, 응력 집중될 가능성이 높은 부분을 예리한 형상이 아니라 만곡 형상 또는 테이퍼 형상으로 함으로써, 응력 집중을 억제할 수 있다. 그 밖의 구성은 제3 실시 형태와 기본적으로 동일하므로, 도 5a∼도 5b에 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 여기에 원용한다.
1 : 초음파 접합 장치
2 : 앤빌
3 : 초음파 혼
31 : 아암부
32 : 팁 설치부
33 : 제1 나사부
34 : 공극
35 : 설치면
36 : 제1 환상 경사면
37 : 제1 오목부
4 : 혼 팁
40 : 테이퍼부
41 : 선단면
42 : 설치면
43 : 제2 나사부
44 : 공극
45 : 제2 환상 경사면
46 : 제2 오목부
5 : 진동자
6 : 가압 장치
61 : 지지 부재
62 : 레일
7 : 접속 부재
71 : 제3 나사부
72 : 제4 나사부
73 : 판부
74 : 제1 주면(한쪽 면)
75 : 제2 주면(다른 쪽 면)
76 : 제1 만곡면
77 : 제2 만곡면
W1, W2 : 피접합재

Claims (10)

  1. 혼 팁의 선단면이 피접합재에 접촉하여, 상기 피접합재에 초음파 진동을 전파함으로써, 상기 피접합재를 초음파 접합하는 초음파 접합 장치이며,
    초음파 진동을 발생하는 진동자와,
    상기 진동자에 연결되고, 상기 진동자에서 발생한 초음파 진동이 전파되는 초음파 혼과,
    상기 초음파 혼에 있어서의 상기 진동자와는 반대측에 설치된 설치면에, 접속 부재를 개재하여 설치된 혼 팁을 구비하고,
    상기 초음파 혼의 상기 설치면에, 제1 나사부가 형성되고,
    상기 혼 팁의 기단부측의 설치면에, 제2 나사부가 형성되고,
    상기 접속 부재의 일방측에, 상기 제1 나사부에 나사 결합되는 제3 나사부가 형성되고,
    상기 접속 부재의 타방측에, 상기 제2 나사부에 나사 결합되는 제4 나사부가 형성되고,
    상기 접속 부재는, 상기 제3 나사부와 상기 제4 나사부만으로 이루어지는 너트 형상의 통 형상 부재로 구성되고,
    상기 초음파 혼의 선단부에, 상기 제3 나사부의 축방향의 길이와 동등한 깊이이며, 상기 제3 나사부가 형성된 접속 부재의 단면적과 동등한 단면적을 갖는 제1 오목부가 형성되고,
    상기 혼 팁의 기단부에, 상기 제4 나사부의 축방향의 길이와 동등한 깊이이며, 상기 제4 나사부가 형성된 접속 부재의 단면적과 동등한 단면적을 갖는 제2 오목부가 형성되어 있고,
    상기 초음파 혼의 상기 설치면과 상기 혼 팁의 상기 설치면이 서로 압박되도록, 상기 초음파 혼과 상기 혼 팁이, 상기 접속 부재를 개재하여 설치되어 있고,
    상기 진동자로부터 전파되는 초음파 진동은, 상기 혼 팁의 선단면에서 최대 진폭이 되고, 상기 접속 부재에서 진동파의 절이 되도록 설정되어 있는, 초음파 접합 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 나사부 및 상기 제2 나사부가 수나사로 구성되고, 상기 제3 나사부 및 상기 제4 나사부가 암나사로 구성되어 있고,
    상기 진동자로부터 전파되는 초음파 진동은, 상기 혼 팁의 선단면에서 최대 진폭이 되고, 상기 초음파 혼의 상기 설치면과 상기 혼 팁의 상기 설치면이 서로 압박되는 위치에서 진동파의 절이 되도록 설정되어 있는, 초음파 접합 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 나사부의 길이는, 상기 제3 나사부의 길이보다 길게 형성되고,
    상기 제2 나사부의 길이는, 상기 제4 나사부의 길이보다 길게 형성되어 있는, 초음파 접합 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 혼 팁의 선단면은, 원형으로 형성되어 있는, 초음파 접합 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초음파 혼을 지지함과 함께, 당해 초음파 혼의 상기 설치면에 직교하는 방향으로, 상기 초음파 혼을 이동시키는 가압 장치를 더 구비하고,
    상기 초음파 혼의 이동에 수반하여, 상기 혼 팁이 상기 피접합재를 압박하는, 초음파 접합 장치.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019029324A (ja) * 2017-08-04 2019-02-21 日産自動車株式会社 フィルム外装電池の製造方法
CN112203794B (zh) * 2018-11-20 2022-08-09 株式会社Link-Us 超声波接合装置
KR20200091060A (ko) 2019-01-21 2020-07-30 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US11697172B2 (en) * 2019-09-05 2023-07-11 Ohio State Innovation Foundation Systems and methods for joining and repair using ultrasonic additive manufacturing with a contoured sonotrode
CN111604580A (zh) * 2020-06-20 2020-09-01 东莞市创一铭智能装备有限公司 一种极耳焊接机构
KR102192628B1 (ko) * 2020-07-03 2020-12-17 박상부 팁을 구비한 초음파 진동자 모듈용 혼의 제조 방법
WO2023054733A2 (ja) * 2022-11-07 2023-04-06 株式会社Link-Us 超音波複合振動装置およびこれを用いた超音波接合装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2718537B2 (ja) * 1989-03-03 1998-02-25 オリンパス光学工業株式会社 超音波振動子装置
JP2012043944A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Shibaura Mechatronics Corp 電子部品の実装装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3780926A (en) * 1972-06-02 1973-12-25 Dukane Corp Ultrasonic rigid horn assembly
JPS61157815A (ja) * 1984-12-27 1986-07-17 川崎重工業株式会社 両ねじボルト
JPH02121830A (ja) * 1988-10-31 1990-05-09 Suzuki Motor Co Ltd 超音波ホーン
US5096532A (en) * 1990-01-10 1992-03-17 Kimberly-Clark Corporation Ultrasonic rotary horn
US5222937A (en) * 1991-01-11 1993-06-29 Olympus Optical Co., Ltd. Ultrasonic treatment apparatus
JP2532780B2 (ja) * 1991-01-11 1996-09-11 オリンパス光学工業株式会社 超音波治療装置
JP3239241B2 (ja) * 1992-12-03 2001-12-17 超音波工業株式会社 高温用超音波粘度センサ
JP3149599B2 (ja) * 1993-02-10 2001-03-26 株式会社ニコン 送りねじ装置
JP2911394B2 (ja) * 1995-08-22 1999-06-23 株式会社アルテクス 超音波接合装置及び共振器
US5603444A (en) * 1995-08-22 1997-02-18 Ultex Corporation Ultrasonic bonding machine and resonator thereof
US5772100A (en) * 1996-03-22 1998-06-30 American Technology, Inc. Ultrasonic welder with dynamic nodal horn support
JP2915340B2 (ja) * 1996-03-26 1999-07-05 株式会社アルテクス 超音波接合装置
JP3099942B2 (ja) 1996-08-08 2000-10-16 株式会社アルテクス 超音波振動接合用共振器
JPH11318920A (ja) * 1998-05-12 1999-11-24 Sumitomo Bakelite Co Ltd 外科手術用超音波処置装置のハンドピース
JP3491634B2 (ja) * 2002-09-30 2004-01-26 松下電器産業株式会社 電子部品のボンディングツール
US6841921B2 (en) * 2002-11-04 2005-01-11 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Ultrasonic horn assembly stack component connector
KR100513988B1 (ko) * 2004-09-30 2005-09-09 주식회사 테크소닉 싱글 서포트 방식의 반파장 초음파 진동 시스템
CH700015B1 (de) * 2007-04-04 2010-06-15 Oerlikon Assembly Equipment Ag Ultraschall Transducer.
JP5491081B2 (ja) * 2009-06-22 2014-05-14 株式会社アルテクス 超音波振動金属接合用共振器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2718537B2 (ja) * 1989-03-03 1998-02-25 オリンパス光学工業株式会社 超音波振動子装置
JP2012043944A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Shibaura Mechatronics Corp 電子部品の実装装置

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