KR101910326B1 - 기판 도금장치 - Google Patents

기판 도금장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101910326B1
KR101910326B1 KR1020180073467A KR20180073467A KR101910326B1 KR 101910326 B1 KR101910326 B1 KR 101910326B1 KR 1020180073467 A KR1020180073467 A KR 1020180073467A KR 20180073467 A KR20180073467 A KR 20180073467A KR 101910326 B1 KR101910326 B1 KR 101910326B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
synthetic resin
resin panel
slider
slide
guide
Prior art date
Application number
KR1020180073467A
Other languages
English (en)
Inventor
양미애
Original Assignee
양미애
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 양미애 filed Critical 양미애
Priority to KR1020180073467A priority Critical patent/KR101910326B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101910326B1 publication Critical patent/KR101910326B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2/00Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
    • C23C2/003Apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/02Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
    • B65G49/04Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction
    • B65G49/0409Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2/00Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
    • C23C2/34Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor characterised by the shape of the material to be treated
    • C23C2/36Elongated material
    • C23C2/40Plates; Strips
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

본 발명은 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 기판 도금장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 합성수지패널(1)을 공급하기 위한 공급수단(C)이 구비되고, 상기 공급수단(C)은 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과, 상기 제2 컨베이어장치(22)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 슬라이더(80)로 공급하는 공급유닛(30)으로 구성되어, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 자동으로 공급할 수 있음으로, 작업이 매우 편리하고, 작업효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

기판 도금장치{substrate plating apparatus}
본 발명은 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 기판 도금장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(PCB)은 FRP 등의 합성수지재질로 구성된 합성수지패널의 양면에 구리 등의 도전체를 도금하여, 양면에 도전체층이 형성된 기판을 제작하고, 상기 기판의 도전체층을 애칭하여 회로를 형성함으로써 제작된다.
한편, 상기 합성수지패널의 양면을 도금하여 기판을 제작하는 기판 도금장치는 측방향으로 연장되도록 구비되어 상기 합성수지패널을 측방향과 상하방향으로 이송하도록 구성된 이송수단과, 상기 이송수단의 하측에 일직선을 이루도록 배치된 다수개의 수세조 및 도금조로 구성된다.
이때, 상기 이송수단에는 상기 합성수지패널을 고정하기 위한 고정수단이 구비되어, 상기 고정수단에 고정된 합성수지패널을 측방향으로 이송시킴과 동시에 상하방향으로 승강시킬 수 있도록 구성된다.
따라서, 상기 합성수지패널을 상기 고정수단에 고정하면 상기 이송수단에 의해 고정수단과 합성수지패널이 측방향으로 이송되면서 승강되어, 상기 합성수지패널이 상기 수세조에 순차적으로 담겨져 세척된 후, 상기 도금조에 순차적으로 담겨져 도금된다.
그런데, 이러한 기판 도금장치는 상기 이송수단에 합성수지패널을 공급하는 작업이 수작업으로 이루어짐으로, 작업이 매우 복잡하고, 생산성이 저하되는 문제점이 발생되었다.
이러한 기판 도금장치는 상기 이송수단이 상기 고정수단을 측방향과 상하방향으로 이송할 수 있도록 측방향으로 연장된 직선형태로 구성되며, 이에 따라, 상기 수세조 및 도금조 역시 직선을 이루도록 배치된다.
그리고, 상기 수세조 및 도금조는 다수개로 구성됨으로, 수세조와 도금조를 일직선으로 배치할 경우 넓은 공간이 필요한 문제점이 발생되었다.
따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 방법이 필요하게 되었다.
등록특허 10-0683268호,
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 기판 도금장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 합성수지패널(1)의 양면에 도전체를 도금하여 기판을 제조하는 기판 도금장치에 있어서, 복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제1 도금라인(A)과, 상기 제1 도금라인(A)의 후방에 복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제2 도금라인(B)과, 상기 제1 도금라인(A)의 일측에 구비되어 상기 합성수지패널(1)을 공급하는 공급수단(C)과, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)을 이송 및 승강시켜 합성수지패널(1)이 상기 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨지도록 하는 이송수단(D)을 포함하며, 상기 공급수단(C)은 상기 이송수단(D)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과, 상기 제2 컨베이어장치(22)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 이송수단(D)으로 공급하는 공급유닛(30)을 포함하며, 상기 제2 컨베이어장치(22)는 복수개로 구성되어 상호 측방향으로 이격되도록 구비되고, 상기 공급유닛(30)은 상기 제2 컨베이어장치(22)의 후방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 구비되어 슬라이드구동수단(31a)에 의해 전후진되는 지지대(31)와, 상기 지지대(31)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(32a)에 의해 승강되는 승강대(32)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 승강대(32)에 결합되며 구동모터(33a)에 의해 정역회전되는 회동축(33)과, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 제2 컨베이어장치(22)의 사이에 위치되도록 후단부가 상기 회동축(33)에 고정되어 회동축(33)의 회동에 따라 전방과 상측으로 회동되는 복수개의 회동바(34)와, 상기 회동바(34)의 전단부에 구비되며 작동시 상기 합성수지패널(1)이 상기 회동바(34)에 고정되도록 하는 클램프(35)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 도금장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 이송수단(D)은 지지프레임(40)과, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 도금라인(A)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(52)에 의해 승강되는 제1 슬라이드가이드(50)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제2 도금라인(B)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(62)에 의해 승강되는 제2 슬라이드가이드(60)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 일단과 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 타단에 연결되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되며 전후진구동수단(73,74)에 의해 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 일단과 제1 슬라이드가이드(50)의 타단에 연결되도록 전후진되는 제1 및 제2 이송가이드(71,72)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 구비되며 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정되는 복수개의 슬라이더(80)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 상측에 위치되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)에 구비된 슬라이더(80)를 측방향으로 슬라이드시키도록 된 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)과, 상기 지지프레임(40)에 구비되어 상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)로 이동된 슬라이더(80)를 상기 제2 및 제1 슬라이드가이드(50,60)로 이동시키는 제1 및 제2 보조슬라이드구동수단(101,102)을 포함하며, 상기 슬라이더(80)는 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되는 슬라이더본체(81)와, 상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 중간부가 상기 슬라이더본체(81)의 전면에 회동가능하게 결합되어 탄성부재(82a)에 의해 하단부가 슬라이더본체(81)의 전면에 밀착되도록 탄성적으로 가압되는 고정편(82)을 포함하고, 상기 지지프레임(40)에는 상기 고정편(82)의 상단을 후방으로 가압하여 상기 고정편(82)의 하단이 상기 슬라이더본체(81)의 전면으로부터 이격되도록 하는 개폐수단(43)이 구비되어, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정된 슬라이더(80)가 상기 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)에 의해 측방향으로 슬라이드되면서 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 제1 이송가이드(71)와 제2 슬라이드가이드(60)와 제2 이송가이드(72)로 이송되어 반복적으로 순환되도록 함과 동시에 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)를 승강시킴으로써, 상기 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(1)이 각각의 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨 세척 및 도금되도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 도금장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 수세조(11)의 내부에는 상기 이송수단(D)에 의해 수세조(11)의 내부로 삽입된 합성수지패널(1)의 전후면에 물을 분사하는 세척수단(13)과, 상기 수세조(11)의 내부에 상호 측방향으로 이격되도록 구비된 복수개의 가이드판(14)이 구비되고, 상기 수세조(11)의 상측에는 상기 수세조(11)에 담긴 후 상승되는 합성수지패널(1)의 전후면에 공기를 분사하여 합성수지패널(1)에 묻은 물기를 제거하는 건조수단(15)이 구비되며, 상기 가이드판(14)은 중앙부에는 하측으로 갈수록 전후방향 폭이 좁아지는 가이드홈(14a)이 형성되고 상단 전후측에는 상기 수세조(11)의 상면에 걸리는 걸림턱(14b)이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 도금장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 슬라이더본체(81)의 하측면에는 상측으로 오목한 결합공(81d)이 형성되고, 상기 제1 슬라이드가이드(50)에는 제1 슬라이드가이드(50)의 상면에서 하측으로 오목한 승강공(54)과 상기 승강공(54)의 중간부에서 제1 슬라이드가이드(50)의 후측면으로 연장된 연장공(55)이 형성되며, 상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 승강공(54)의 내부에 승강가능하게 결합되며 상승시 상단이 상기 결합공(81d)에 결합되어 슬라이더본체(81)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정하며 중간부에는 상기 연장공(55)을 통해 제1 슬라이드가이드(50)의 후방으로 연장된 연장바(55a)가 구비된 고정핀(55)과, 상기 고정핀(55)에 연결되어 상기 고정핀(55)이 상승되도록 탄성적으로 가압하는 탄성부재(56)가 더 구비되며, 상기 지지프레임(40)에는 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 상승되면 상기 연장바(55a)의 상면에 걸려 고정핀(55)이 상승되는 높이를 제한하는 스토퍼(44)가 구비되어, 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 하강되면 상기 고정핀(55)이 상기 결합공(81d)에 결합되어 슬라이더(80)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정하고, 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 상승되면 상기 고정핀(55)이 상기 스토퍼(44)에 걸려 고정핀(55)과 결합공(81d)의 결합이 해제되는 것을 특징으로 하는 기판 도금장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 슬라이더(80)에 구비된 진동감지센서(111)와, 상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하며 경보수단(113)이 구비된 제어수단(112)을 더 포함하며, 상기 제어수단(112)은 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 하강된 상태에서 상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하여 상기 진동감지센서(111)에 기준치 이상의 진동이 감지되면, 상기 슬라이더(80)에 구비된 탄성부재(82a)의 탄성이 약해져 슬라이더(80)에 합성수지패널(1)이 정확히 고정되지 못한 것으로 판단하고, 상기 경보수단(113)을 구동시켜 작업자에게 경고를 하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 도금장치가 제공된다.
본 발명에 따른 합성수지패널(1)을 공급하기 위한 공급수단(C)이 구비되고, 상기 공급수단(C)은 이송수단(D)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과, 상기 제2 컨베이어장치(22)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 슬라이더(80)로 공급하는 공급유닛(30)으로 구성되어, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 자동으로 공급할 수 있음으로, 작업이 매우 편리하고, 작업효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판도금장치를 도시한 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 기판도금장치의 정면도,
도 3은 도 2의 요부를 확대도시한 참고도,
도 4는 본 발명에 따른 기판도금장치의 배면도,
도 5는 도 2의 F-F선 단면을 도시한 측단면도,
도 6은 본 발명에 따른 기판도금장치의 수세조의 분해상태를 도시한 측단면도,
도 7은 본 발명에 따른 기판도금장치의 공급수단을 도시한 평면도,
도 8은 도 2의 G-G선 단면을 도시한 측단면도,
도 9는 본 발명에 따른 기판도금장치의 제1 슬라이드가이드와 슬라이더를 도시한 측단면도,
도 10 내지 도 16은 본 발명에 따른 기판도금장치의 제2 실시예의 작용을 도시한 참고도.
도 17 및 도 18은 본 발명에 따른 기판도금장치의 제2 실시예의 작용을 도시한 측단면도,
도 19는 본 발명에 따른 기판도금장치의 제3 실시예를 도시한 측단면도,
도 20은 본 발명에 따른 기판도금장치의 제3 실시예의 회로구성도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 16은 본 발명에 따른 기판 도금장치를 도시한 것으로, 합성수지패널(1)의 양면에 도전체를 도금하여 기판을 제조하는 것은 종래와 동일하다.
그리고, 상기 기판 도금장치는, 복수개의 수세조(11)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제1 도금라인(A)과, 상기 제1 도금라인(A)의 후방에 복수개의 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제2 도금라인(B)과, 상기 제1 도금라인(A)의 일측에 구비되어 상기 합성수지패널(1)을 공급하는 공급수단(C)과, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)을 이송 및 승강시켜 합성수지패널(1)이 상기 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨지도록 하는 이송수단(D)과, 상기 이송수단(D)에 이송 및 승강되어 제조된 기판을 배출하는 배출수단(E)으로 구성된다.
상기 수세조(11)는 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상면이 개방된 합성수지재질의 통형상으로 구성되어 내부에 물이 저장된 것으로, 상기 합성수지패널(1)을 담가 합성수지패널(1)에 부착된 이물질을 제거하도록 구성된다.
이때, 상기 수세조(11)는 복수개로 구성됨으로, 합성수지패널(1)을 각각의 수세조(11)에 저장된 물에 순차적으로 담가서 반복적으로 세척을 한다.
그리고, 상기 수세조(11)의 하측면에는 내부에 저장된 물이 배출되는 배수구(12)가 형성되고, 상기 수세조(11)의 내부에는 상기 이송수단(D)에 의해 수세조(11)의 내부로 삽입된 합성수지패널(1)의 전후면에 물을 분사하는 세척수단(13)과, 상기 수세조(11)의 내부에 상호 측방향으로 이격되도록 구비된 복수개의 가이드판(14)이 구비되고, 상기 수세조(11)의 상측에는 상기 수세조(11)에 담긴 후 상승되는 합성수지패널(1)의 전후면에 공기를 분사하여 합성수지패널(1)에 묻은 물기를 제거하는 건조수단(15)이 구비된다.
상기 세척수단(13)은 상기 세척조의 내부 전후측에 상하방향으로 연장되도록 구비되며 인접면에는 다수개의 분사노즐(13b)이 상호 마주보도록 구비된 분사관(13a)과, 상기 분사관(13a)과 배수구(12)를 연결하는 순환관(13c)과, 상기 순환관(13c)의 중간부에 구비된 저수탱크(13d) 및 펌프(13e)로 구성된다.
따라서, 후술하는 바와 같이, 상기 이송수단(D)을 이용하여 상기 합성수지패널(1)을 수세조(11)에 저장된 물에 담근 상태에서 상기 펌프(13e)를 구동시키면, 상기 저수탱크(13d)에 저장된 물이 상기 분사노즐(13b)을 통해 합성수지패널(1)의 전후면으로 분사되어 합성수지패널(1)의 전후면이 세척되도록 한다.
상기 가이드판(14)은 중앙부에는 하측으로 갈수록 전후방향 폭이 좁아지는 가이드홈(14a)이 형성되고 상단 전후측에는 상기 수세조(11)의 상면에 걸리는 걸림턱(14b)이 형성된 것으로, 상호 측방향으로 이격되도록 상기 수세조(11)에 고정되어, 상기 이송수단(D)을 이용하여 합성수지패널(1)을 수세조(11)의 내부로 삽입할 때, 합성수지패널(1)이 상기 가이드홈(14a)에 의해 안내되어 정확하게 상기 수세조(11)의 내부 중앙부로 삽입되도록 한다.
상기 건조수단(15)은 측방향으로 연장되며 수세조(11)에 삽입되는 합성수지패널(1)의 전후측에 위치되도록 상기 수세조(11)의 상측에 고정되며 인접면에는 상호 마주보도록 다수개의 분사노즐(15b)이 구비된 분사관분사관(15a)과, 급기관(15d)을 통해 상기 분사관분사관(15a)에 연결되어 분사관분사관(15a)으로 고압의 공기를 공급하는 에어컴프레서(15c)로 구성된다.
따라서, 상기 수세조(11)에 저장된 물에 합성수지패널(1)을 담가 세척한 후 상승시킬 때, 상기 건조수단(15)을 구동시키면, 상기 에어컴프레서(15c)에 의해 공급된 고압의 공기가 상기 분사노즐(15b)을 통해 상승되는 합성수지패널(1)의 전후면으로 배출되어, 합성수지패널(1)의 전후면에 남아있는 수분을 제거함과 동시에, 상기 합성수지패널(1)에 남아있는 이물질을 제거한다.
상기 도금조(16)는 상면이 개방된 합성수지재질의 통형상으로 구성되어, 내부에는 합성수지의 표면에 도금을 하기 위한 도금액이 저장된 것으로, 상기 이송수단(D)을 이용하여 상기 수세조(11)를 통과한 합성수지패널(1)이 각각의 도금조(16)에 순차적으로 담가서 합성수지패널(1)의 표면에 도전층을 형성함으로써, 기판을 제조할 수 있다.
상기 공급수단(C)은 도 7 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 이송수단(D)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과, 상기 제1 컨베이어장치(21)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 이송수단(D)에 구비된 슬라이더(80)로 공급하는 공급유닛(30)으로 구성된다.
상기 제1 컨베이어장치(21)는 전후방향으로 연장된 로울러컨베이어를 이용하며, 상기 제2 컨베이어장치(22)는 전후방향으로 연장된 벨트컨베이어로 구성된다.
이때, 상기 제2 컨베이어장치(22)는 복수개로 구성되어, 상호 측방향으로 이격되도록 배치된다.
상기 이송유닛(24)은 상기 트레이(23)와 이송유닛(24)의 상측에 측방향으로 연장되도록 구비된 가이드레일(24a)과, 상기 가이드레일(24a)에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되어 측방향으로 슬라이드되면서 승강되는 흡착헤드(24b)로 구성된 것으로, 상기 흡착헤드(24b)가 상기 트레이(23)에 적층된 다수개의 합성수지패널(1)중에서 가장 상측에 위치된 합성수지패널(1)을 흡착하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면 중앙부로 이송하도록 구성된다.
상기 공급유닛(30)은 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 제2 컨베이어장치(22)의 후방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 구비되어 슬라이드구동수단(31a)에 의해 전후진되는 지지대(31)와, 상기 지지대(31)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(32a)에 의해 승강되는 승강대(32)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 승강대(32)에 결합되며 구동모터(33a)에 의해 정역회전되는 회동축(33)과, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 후단부가 상기 회동축(33)에 고정되어 회동축(33)의 회동에 따라 전방과 상측으로 회동되는 복수개의 회동바(34)와, 상기 회동바(34)의 전단부에 구비되며 작동시 상기 합성수지패널(1)이 상기 회동바(34)에 고정되도록 하는 클램프(35)로 구성된다.
상기 지지대(31)는 상면 양측에 상측으로 연장된 가이드부(31b)가 구비된 사각박스형태로 구성된다.
상기 슬라이드구동수단(31a)은 바닥면에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 지지대(31)에 연결된 로드리스실린더를 이용하는 것으로, 후술하는 바와 같이, 상기 합성수지패널(1)이 고정된 슬라이더(80)가 하강될 때, 상기 지지대(31)가 전방으로 전진되도록 함으로써, 합성수지패널(1)이 공급유닛(30)에 간섭되는 것을 방지한다.
상기 승강대(32)는 좌우 한 쌍으로 구성되어, 상기 가이드부(31b)에 승강가능하게 결합된다.
상기 승강구동수단(32a)은 상하방향으로 연장되도록 상기 가이드부(31b)에 구비되어 상기 승강대(32)에 연결되는 에어실린더를 이용한다.
상기 회동축(33)은 양단이 상기 승강대(32)에 회전가능하게 결합된다.
상기 구동모터(33a)는 일측의 승강대(32)에 결합되어 승강대(32)와 함께 승강되는 것으로, 상기 회동축(33)의 일단에 연결되어 회동축(33)을 정역회전시킨다.
상기 회동바(34)는 복수개로 구성되며 상기 제2 컨베이어장치(22)의 사이에 위치되도록 측방향으로 이격되어, 상기 승강대(32)가 승강되거나 회동축(33)이 정역회전될 때, 회동바(34)가 제2 컨베이어장치(22)와 간섭되지 않도록 구성된다.
상기 클램프(35)는 상기 회동바(34)의 선단부에 회동가능하게 결합되어 실린더기구(35a)에 의해 회동되는 것으로, 상기 회동바(34)의 상면에 상기 합성수지패널(1)이 공급된 상태에서 상기 실린더기구(35a)가 신장되면, 회동바(34)의 상면쪽으로 회동되어, 회동바(34)에 올려진 합성수지패널(1)의 상면을 가압함으로써, 합성수지패널(1)이 회동바(34)에 고정되도록 한다.
상기 이송수단(D)은 지지프레임(40)과, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 도금라인(A)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(52)에 의해 승강되는 제1 슬라이드가이드(50)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제2 도금라인(B)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(62)에 의해 승강되는 제2 슬라이드가이드(60)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 일단과 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 타단에 연결되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되며 전후진구동수단(73,74)에 의해 상기 제2 슬라이드가이드(60)와 제1 슬라이드가이드(50)의 단부에 연결되도록 전후진되는 제1 및 제2 이송가이드(71,72)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 구비되며 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정되는 복수개의 슬라이더(80)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 상측에 위치되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)에 구비된 슬라이더(80)를 측방향으로 슬라이드시키도록 된 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)과, 상기 지지프레임(40)에 구비되어 상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)로 이동된 슬라이더(80)를 상기 제2 및 제1 슬라이드가이드(50,60)로 이동시키는 제1 및 제2 보조슬라이드구동수단(101,102)으로 구성된다.
상기 지지프레임(40)은 상기 제1 및 제2 도금라인(B)의 사이에 측방향으로 연장되도록 구비된 사각틀형상의 상부프레임(41)과, 상기 상부프레임(41)의 중간부에서 하측으로 연장된 복수개의 지주(42)로 구성된다.
상기 제1 슬라이드가이드(50)는 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 측방향으로 연장되며 전방 상면에는 상측으로 돌출된 돌출부(51)가 형성된 사각바형상으로 구성된 것으로, 전후측에 구비된 승강브라켓(53)에 의해 상기 지주(42)에 승강가능하게 결합된다.
상기 제2 슬라이드가이드(50)는 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 동일한 형태로 구성되어, 승강브라켓(63)에 의해 상기 지주(42)에 승강가능하게 결합된다.
상기 승강구동수단(52,62)은 상기 지지프레임(40)의 상측에 구비된 구동모터(52a,62a)에 의해 구동되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)를 승강시키도록 구성된다.
이러한 승강구동수단(52,62)은 일반적인 것임으로, 이에 대한 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)는 측단면 형상이 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 측단면형상과 동일하게 구성된 된다.
이때, 제1 이송가이드(71)는 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 우측단에 연결되도록 전진된 상태에서, 전후진구동수단(73)에 의해 도 16에 도시한 바와 같이, 후방으로 슬라이드되어 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 우측단에 연결된다.
그리고, 상기 제2 이송가이드(72)는 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 좌측단에 연결되도록 후퇴된 상태에서, 전후진구동수단(74)에 의해 도 16에 도시한 바와 같이, 전방으로 슬라이드되어 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 좌측단에 연결된다.
상기 전후진구동수단(73,74)은 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 지지프레임(40)에 구비된 구동모터(73a,74a)에 의해 작동되어 상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)를 평행하게 전후진시키도록 구성된다.
이러한 전후진구동수단(73,74)은 일반적인 것임으로, 이에 대한 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
상기 슬라이더(80)는 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되는 슬라이더본체(81)와, 상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 중간부가 상기 슬라이더본체(81)의 전면에 회동가능하게 결합되어 탄성부재(82a)에 의해 하단부가 슬라이더본체(81)의 전면에 밀착되도록 탄성적으로 가압되는 고정편(82)으로 구성된다.
상기 슬라이더본체(81)는 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상하방향으로 연장된 패널형상으로 구성되며 상면 중앙부에는 상기 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)이 걸리는 연장부(81a)가 상측으로 연장된 것으로, 후측면에는 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 돌출부(51) 상면에 안착되는 슬라이드바(81b)와, 상기 슬라이드바(81b)의 후측에 구비되어 상기 돌출부(51)의 후측면에 걸리는 걸림부재(81c)가 구비되어, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 상면에 결합된 상태에서, 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)를 따라 측방향으로 슬라이드되도록 구성된다.
이때, 상기 지지프레임(40)에는 상기 고정편(82)의 상단을 후방으로 가압하여 상기 고정편(82)의 하단이 상기 슬라이더본체(81)의 전면으로부터 이격되도록 하는 개폐수단(43)이 구비된다.
상기 개폐수단(43)은 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 지지프레임(40)에 구비된 지지바(43a)와, 상기 지지바(43a)에 전후방향으로 회동가능하게 결합된 가압바(43b)와, 상기 가압바(43b)에 연결되어 가압바(43b)를 전후방향으로 회동시키는 구동모터(43c)로 구성된다.
상기 지지바(43a)는 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 후측에 위치되도록 상기 상부프레임(41)의 하측면에서 하측으로 연장되도록 구비된다.
상기 가압바(43b)는 호형상으로 벤딩된 바형상으로 구성되어 상기 구동모터(43c)에 의해 전방으로 회동되면 상기 슬라이더(80)의 고정편(82)의 상단을 가압할 수 있도록 구성된다.
이때, 상기 개폐수단(43)은 상기 공급유닛(30)의 후방에 위치되도록 구비되어, 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 슬라이더(80)가 공급유닛(30)의 후방에 위치되도록 정지되면, 해당 슬라이더(80)에 구비된 고정편(82)의 상단을 가압함으로써, 고정편(82)의 하단이 슬라이더본체(81)의 전면으로부터 전방으로 이격되도록 구성된다.
상기 제1 슬라이드구동수단(91)은 도 2에 도시한 바와 같이, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 상부프레임(41)의 하측에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 하측에는 상기 수세조(11)와 도금조(16)의 간격에 대응되도록 하측으로 돌출된 복수개의 걸림부재(93a)가 구비된 푸시바(93)와, 상기 푸시바(93)에 연결되어 신축에 따라 푸시바(93)를 측방향으로 슬라이드시키는 실린더기구(94)로 구성된다.
따라서, 상기 실린더기구(94)가 축소되어 푸시바(93)가 좌측으로 후퇴된 상태에서, 도 14에 도시한 바와 같이, 실린더기구(94)가 신장되어 푸시바(93)가 우측으로 전진되면 상기 걸림부재(81c)가 상기 제1 슬라이드가이드(50)에 결합된 슬라이더(80)의 연장부(81a)를 우측으로 밀어 슬라이더(80)가 수세조(11)의 간격만큼 우측방향으로 반복적으로 슬라이된 후 최종적으로 상기 제1 이송가이드(71)로 이동되도록 한다.
상기 제2 슬라이드구동수단(92)은 상기 제1 슬라이드구동수단(91)과 동일한 형태로 구성되어, 상기 제2 슬라이드가이드(60)에 결합된 슬라이더(80)를 좌측으로 밀어 슬라이더(80)가 도금조(16)의 간격만큼 좌측으로 반복적으로 슬라이드된 후 최종적으로 상기 제2 이송가이드(72)로 이동되도록 한다.
상기 제1 보조슬라이드구동수단(101)은 상기 프레임의 우측 후방에 좌측으로 연장되도록 구비된 에어실린더를 이용하는 것으로, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 제1 이송가이드(71)가 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 우측에 위치되도록 후방으로 슬라이드된 상태에서 상기 제1 보조슬라이드구동수단(101)이 신장되면, 도 14에 도시한 바와 같이, 상기 제1 이송가이드(71)에 결합된 슬라이더(80)가 좌측으로 밀려 상기 제2 슬라이드가이드(60)로 이송된다.
상기 제2 보조슬라이드구동수단(102)은 상기 프레임의 좌측 전방에 우측으로 연장되도록 구비된 에어실린더를 이용하는 것으로, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제2 이송가이드(72)가 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 좌측에 위치되도록 전방으로 슬라이드된 상태에서 상기 제2 보조슬라이드구동수단(102)이 신장되면 상기 제2 이송가이드(72)에 결합된 슬라이더(80)가 우측으로 밀려 상기 제2 슬라이드가이드(60)로 이송된다.
상기 배출수단(E)은 상기 공급수단(C)과 대응되는 형태로 구성되어, 상기 제2 이송가이드(72)의 좌측 후방에 구비됨으로써, 후술하는 바와 같이, 상기 합성수지패널(1)이 상기 이송수단(D)에 의해 이송되면서 전후면이 도금되어 완성된 기판을 자동으로 배출되도록 한다.
이와 같이 구성된 기판도금장치를 이용하여 기판을 제조하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 공급수단(C)의 공급유닛(30)에 구비된 승강대(32)가 하강되고, 지지대(31)는 전진되며, 상기 회동바(34)가 전방으로 회동된 상태에서, 작업자가 상기 트레이(23)에 합성수지패널(1)을 공급하면, 상기 이송유닛(24)이 합성수지패널(1)을 흡착하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면중앙부로 공급하고, 상기 제1 컨베이어장치(21)와 제2 컨베이어장치(22)가 구동되어, 합성수지패널(1)을 제2 컨베이어장치(22)의 중앙부로 이송한다.
그리고, 상기 제2 컨베이어장치(22)로 합성수지패널(1)이 공급되면, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 승강구동수단(32a)에 의해 승강대(32)와 회동축(33) 및 회동바(34)가 상승되어, 상기 합성수지패널(1)이 회동바(34)에 올려지도록 한 후, 상기 클램프(35)가 회동되어, 합성수지패널(1)을 고정한다.
그리고, 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 구동모터(33a)에 의해 회동축(33)이 상측으로 회전되어 상기 합성수지패널(1)이 수직으로 세워지도록 함과 동시에, 상기 슬라이드구동수단(31a)에 의해 공급유닛(30)이 후퇴되어, 수직으로 세워진 합성수지패널(1)이 상기 슬라이더(80)의 하측에 위치되도록 한다.
그리고, 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 개폐수단(43)이 작동되어 상기 슬라이더(80)의 고정편(82) 상단을 가압함으로써, 고정편(82)의 하단과 슬라이더본체(81)의 사이에 틈이 발생되도록 한 후, 도 13에 도시한 바와 같이, 상기 승강대(32)가 더욱 상승되어 수직으로 세워진 합성수지패널(1)의 상단이 상기 고정편(82)과 슬라이더본체(81)의 사이로 삽입되도록 한다.
그리고, 승강대(32)가 완전히 상승되면, 상기 개폐수단(43)이 후퇴되어, 상기 탄성부재(82a)의 탄성에 의해 고정편(82)의 하단이 슬라이더본체(81)의 전면쪽으로 회동되어, 고정편(82)과 슬라이더본체(81)의 사이에 합성수지패널(1)이 고정되도록 한다.
그리고, 상기 클램프(35)가 회동되어 상기 합성수지패널(1)의 고정을 해제한 후, 공급유닛(30)이 초기위치로 복귀한다.
그리고, 도 14에 도시한 바와 같이, 상기 제1 슬라이드구동수단(91)이 작동되어, 상기 푸쉬바(93)를 우측으로 밀어내면, 상기 걸림부재(93a)에 의해 상기 합성수지패널(1)이 고정된 슬라이더(80)를 우측으로 밀려나가며, 도 15에 도시한 바와 같이, 상기 승강구동수단(52)에 의해 제1 슬라이드가이드(50)가 하강되면, 상기 제1 슬라이드구동수단(91)의 푸시바(93)는 좌측으로 후퇴한다.
그리고, 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 완전히 하강되면, 상기 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(80)이 상기 저수조(11)에 저장된 물에 담기게 된다.
그리고, 제1 슬라이드가이드(50)와 함께 슬라이더(80)가 상승되면, 상기 제1 슬라이드구동수단(91)이 슬라이더(80)를 우측으로 밀어내는 과정을 반복함으로써, 상기 슬라이더(80)가 순차적으로 우측으로 이동하여, 각각의 수세조(2)에 저장된 물에 순차적으로 담겨져 수세되도록 하며, 최종적으로, 상기 슬라이더(80)는 상기 제1 이송가이드(71)로 이송된다.
한편, 도 15에 도시한 바와 같이, 상기 슬라이더(80)가 하강되어 합성수지패널(1)이 수세조(11)에 잠기면, 상기 세척수단(13)이 작동되어, 합성수지패널(1)의 전후면을 세척하고, 슬라이더(80)가 상승될 때, 상기 건조수단(15)이 작동되어, 합성수지패널(1)에 묻어있는 물을 불어내어 제거한다.
그리고, 이와 같이 우측으로 이동된 슬라이더(80)와 합성수지패널(1)이 상기 제1 이송가이드(71)로 이동되면, 도 16에 도시한 바와 같이, 상기 전후진구동수단(73)에 의해 제1 이송가이드(71)가 후방으로 슬라이드되어, 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 우측에 위치되도록 한다.
그리고, 상기 제1 보조슬라이드구동수단(101)에 의해 상기 슬라이더(80)가 좌측으로 밀려 상기 제2 이송가이드(72)로 이송되면, 상기 제2 슬라이드가이드(60)가 승강되어, 슬라이더(80)에 결합된 합성수지패널(1)이 상기 도금조(16)에 담기도록 하고, 제2 슬라이드가이드(60)가 상승되면 상기 제2 슬라이드구동수단(92)이 작동되어 슬라이더(80)를 좌측으로 미는 과정을 반복함으로써, 상기 합성수지패널(1)이 복수개의 도금조(16)에 순차적으로 담겨 도금되어, 최종적으로 기판이 완성되도록 한다.
그리고, 상기 슬라이더(80)가 상기 배출수단(E)의 전방에 도착하면, 상기 배출수단(E)이 작동되어, 슬라이더(80)에 고정된 상태로 완성된 기판은 자동적으로 배출된다.
그리고, 이와 같이 기판이 배출된 슬라이더(80)는 상기 제2 이송가이드(72)로 이송되며, 상기 제2 이송가이드(72)는 도 16에 도시한 바와 같이, 전후진구동수단(74)에 의해 전방으로 이송되어, 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 좌측에 위치되도록 한다.
그리고, 상기 제2 보조슬라이드구동수단(102)에 의해 슬라이더(80)가 우측으로 밀려 제1 슬라이드가이드(50)로 이송됨으로써, 슬라이더(80)가 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 제1 이송가이드(71)와 제2 슬라이드가이드(60) 및 제2 이송가이드(72)를 따라 1회전된다.
그리고, 복수개의 슬라이더(80)에 합성수지패널(1)을 각각 1개씩 고정하고, 전술한 과정을 반복함으로서, 다수개의 합성수지패널(1)을 도금하여 기판을 제조할 수 있다.
이와 같이 구성된 기판 도금장치는 복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제1 도금라인(A)과, 상기 제1 도금라인(A)의 후방에 복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제2 도금라인(B)과, 상기 제1 도금라인(A)의 일측에 구비되어 상기 합성수지패널(1)을 공급하는 공급수단(C)과, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)을 이송 및 승강시켜 합성수지패널(1)이 상기 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨지도록 하는 이송수단(D)으로 구성되어, 수세조(11)와 도금조(16)가 2개의 열을 이루도록 배치됨으로, 수세조(11)와 도금조(16)가 1개의 열을 이루도록 배치된 종래의 기판 도금장치에 비해, 측방향 길이가 짧게 되며, 공간활용도를 높일 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 공급수단(C)은 상기 이송수단(D)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와, 상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과, 상기 제2 컨베이어장치(22)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 슬라이더(80)로 공급하는 공급유닛(30)으로 구성되어, 상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 자동으로 상기 이송장치로 공급할 수 있음으로, 작업이 매우 편리한 장점이 있다.
또한, 상기 이송수단(D)은 지지프레임(40)과, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 도금라인(A)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(52)에 의해 승강되는 제1 슬라이드가이드(50)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제2 도금라인(B)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(62)에 의해 승강되는 제2 슬라이드가이드(60)와, 측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 일단과 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 타단에 연결되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되며 전후진구동수단(73,74)에 의해 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 일단과 제1 슬라이드가이드(50)의 타단에 연결되도록 전후진되는 제1 및 제2 이송가이드(71,72)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 구비되며 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정되는 복수개의 슬라이더(80)와, 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 상측에 위치되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)에 구비된 슬라이더(80)를 측방향으로 슬라이드시키도록 된 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)과, 상기 지지프레임(40)에 구비되어 상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)로 이동된 슬라이더(80)를 상기 제2 및 제1 슬라이드가이드(50,60)로 이동시키는 제1 및 제2 보조슬라이드구동수단(101,102)로 구성되어, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정된 슬라이더(80)가 상기 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)에 의해 측방향으로 슬라이드되면서 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 제1 이송가이드(71)와 제2 슬라이드가이드(60)와 제2 이송가이드(72)로 이송되어 반복적으로 순환되도록 함과 동시에 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)를 승강시킴으로써, 상기 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(1)이 각각의 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨 세척 및 도금되도록 함으로써, 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지팬(1)이 효과적으로 도금되도록 할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 수세조(11)의 내부에는 상기 이송수단(D)에 의해 수세조(11)의 내부로 삽입된 합성수지패널(1)의 전후면에 물을 분사하는 세척수단(13)과, 상기 수세조(11)의 내부에 상호 측방향으로 이격되도록 구비된 복수개의 가이드판(14)이 구비되어, 상기 제1 슬라이드가이드(50)를 하강시킬 때, 슬라이더(80)에 결합된 합성수지패널(1)이 상기 세척수단(13)의 분사관(13a)에 간섭되어 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 상기 수세조(11)의 상측에는 상기 수세조(11)에 담긴 후 상승되는 합성수지패널(1)의 전후면에 공기를 분사하여 합성수지패널(1)에 묻은 물기를 제거하는 건조수단(15)이 구비됨으로, 수세조(11)에 담겨 세척된 후 상승되는 합성수지패널(1)에 물이 묻은 상태로 다음번 수세조(11)로 이송되어, 수세조(11)에 담긴 물이 오염되는 것을 방지할 뿐 아니라, 합성수지패널(1)에 남아있을 수 있는 이물질을 다시 한번 제거하여 세척효과를 향상시키는 장점이 있다.
도 17 및 도 18은 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시한 것으로, 상기 슬라이더본체(81)의 하측면에는 상측으로 오목한 결합공(81d)이 형성된다.
상기 결합공(81d)은 상기 슬라이더본체(81)에 구비된 슬라이드바(81b)의 하측면에 원형의 단면형상을 갖도록 구성된다.
그리고, 상기 제1 슬라이드가이드(50)에는 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 돌출부(51) 상면에서 하측으로 오목한 승강공(54)과, 상기 승강공(54)의 중간부에서 제1 슬라이드가이드(50)의 후측면으로 연장된 연장공(55)이 형성된다.
상기 승강공(54)은 상기 제1 슬라이드구동수단(91)에 의해 슬라이더(80)가 측방향으로 슬라이드된 후 정지되었을 때, 상기 결합공(81d)이 형성되는 위치의 하측에 대응되도록 형성된다.
상기 연장공(55)은 상하방향으로 연장된 장공형상으로 구성된다.
또한, 상기 승강공(54)에는 상하방향으로 연장된 바형상으로 구성된 고정핀(55)이 상기 승강공(54)의 내부에 승강가능하게 결합되고, 상기 승강공(54)의 내부 하측에는 상기 고정핀(55)에 연결되어 상기 고정핀(55)이 상승되도록 탄성적으로 가압하는 탄성부재(56)가 구비된다.
상기 고정핀(55)은 상승시 상단이 상기 결합공(81d)에 결합되어 상기 슬라이더본체(81)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정하는 것으로, 중간부에는 상기 연장공(55)을 통해 제1 슬라이드가이드(50)의 후방으로 연장된 연장바(55a)가 구비된다.
상기 탄성부재(56)는 상기 고정핀(55)이 하강되면 압축되어 고정핀(55)을 상측으로 가압하는 압축코일스프링을 이용한다.
그리고, 상기 지지프레임(40)에는 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 상승되면 상기 연장바(55a)의 상면에 걸려 고정핀(55)이 상승되는 높이를 제한하는 스토퍼(44)가 구비된다.
상기 스토퍼(44)는 상기 상부프레임(41)의 하측면에서 하측으로 연장된 바형상으로 구성된 것으로, 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 완전히 상승되었을 때, 하단부가 상기 연장바(55a)를 가압하여, 상기 고정핀(55)의 상단을 상기 결합공(81d)으로부터 하측으로 분리하도록 길이가 조절된다.
따라서, 도 17에 도시한 바와 같이, 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 완전히 상승되면 상기 고정핀(55)이 결합공(81d)으로부터 분리되어 제1 슬라이드가이드(50)가 상기 제1 슬라이드구동수단(91)에 의해 측방향으로 밀려나갈 수 있도록 한다.
그리고, 도 18에 도시한 바와 같이, 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 하강되면, 상기 연장바(55a)가 스토퍼(44)의 하측으로 이격되며, 이에 따라, 상기 고정핀(55)이 제1 슬라이드가이드(50)의 상면으로 돌출되어 상기 결합공(81d)에 삽입됨으로써, 슬라이더(80)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정한다.
따라서, 상기 제1 슬라이드가이드(50)를 하강시켜 상기 합성수지패널(1)이 수세조에 담겨진 상태에서, 상기 세척수단(13)을 이용하여 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(1)의 전후면에 물을 분사할 때, 합성수지패널(1)과 슬라이더(80)가 제1 슬라이드가이드(50)를 따라 측방향으로 유동되어 수세조(11)의 내측면에 충돌하는 등의 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
즉, 상기 세척수단(13)을 이용하여 합성수지패널(1)에 물을 분사하면, 합성수지패널(1)에 임의의 방향으로 외력이 가해지게 되며, 이때, 상기 슬라이더(80)가 측방향으로 밀려 합성수지패널(1)이 수세조(11)의 내측면에 충돌되거나, 다른 구조물에 걸리는 경우가 발생될 수 있는데, 본 실시예의 경우, 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 하강되면, 상기 슬라이더(80)가 상기 고정핀(55)에 의해 움직이지 않도록 고정됨으로, 이러한 문제점이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 제3 실시예를 도시한 것으로, 상기 슬라이더(80)에는 진동감지센서(111)가 구비되고, 상기 진동감지센서(111)에는 제어수단(112)이 연결된다.
상기 제어수단(112)은 경보수단(113)이 구비된 것으로, 도 19에 도시한 바와 같이, 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 하강된 상태에서 상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하여 상기 진동감지센서(111)에 기준치 이상의 진동이 감지되면, 상기 슬라이더(80)에 구비된 탄성부재(82a)의 탄성이 약해져 슬라이더(80)에 합성수지패널(1)이 정확히 고정되지 못한 것으로 판단하여, 상기 경보수단(113)을 구동시킴으로써, 작업자에게 슬라이더(80)를 유지보수하도록 경고하도록 구성된다.
즉, 상기 합성수지패널(1)은 상기 고정편(82)에 구비된 탄성부재(82a)의 탄성에 의해 상기 슬라이더(80)에 고정되는데, 상기 탄성부재(82a)의 탄성이 약해질 경우, 합성수지패널(1)의 고정력이 약해진다.
그리고, 이러한 경우 상기 세척수단(13)을 이용하여 합성수지패널(1)을 세척할 때, 합성수지패널(1)이 비정상적으로 진동을 하게 되며, 심할 경우, 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(1)의 위치가 틀어지거나, 합성수지패널(1)이 슬라이더(80)로부터 이탈될 수 있다.
따라서, 상기 제어수단(112)은 상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하여, 상기 세척수단(13)을 이용하여 합성수지패널(1)을 세척할 때 발생되는 진동을 감지하고, 기준 이상의 진동이 감지되면, 상기 슬라이더(80)에 이상이 발생되거나 또는 합성수지패널(1)의 고정이 부정확한 것으로 판단하고, 상기 경보수단(113)을 구동시켜 작업자에게 경고를 함으로써, 완성된 기판에 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
A. 제1 도금라인 B. 제2 도금라인
C. 공급수단 D. 이송수단
E. 배출수단

Claims (2)

  1. 합성수지패널(1)의 양면에 도전체를 도금하여 기판을 제조하는 기판 도금장치에 있어서,
    복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제1 도금라인(A)과,
    상기 제1 도금라인(A)의 후방에 복수개의 수세조(11) 또는 도금조(16)를 측방향으로 연장된 직선을 이루도록 배치하여 구성된 제2 도금라인(B)과,
    상기 제1 도금라인(A)의 일측에 구비되어 상기 합성수지패널(1)을 공급하는 공급수단(C)과,
    상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)을 이송 및 승강시켜 합성수지패널(1)이 상기 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨지도록 하는 이송수단(D)을 포함하며,
    상기 공급수단(C)은
    상기 이송수단(D)의 일측 전방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상면으로 공급된 합성수지패널(1)을 후방으로 이송하는 제1 컨베이어장치(21)와,
    상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방에 전후방향으로 연장되도록 구비되어 상기 제1 컨베이어장치(21)의 후방으로 배출된 합성수지패널(1)을 지지하는 제2 컨베이어장치(22)와,
    상기 제1 컨베이어장치(21)의 일측에 위치되며 복수개의 합성수지패널(1)이 적층된 트레이(23)와,
    상기 트레이(23)에 적층된 합성수지패널(1)을 픽업하여 상기 제1 컨베이어장치(21)의 상면으로 이송하는 이송유닛(24)과,
    상기 제2 컨베이어장치(22)에 올려진 합성수지패널(1)을 전방으로 회동시켜 세운 후 상측으로 밀어 올려 상기 이송수단(D)으로 공급하는 공급유닛(30)을 포함하며,
    상기 제2 컨베이어장치(22)는 복수개로 구성되어 상호 측방향으로 이격되도록 구비되고,
    상기 공급유닛(30)은
    상기 제2 컨베이어장치(22)의 후방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 구비되어 슬라이드구동수단(31a)에 의해 전후진되는 지지대(31)와,
    상기 지지대(31)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(32a)에 의해 승강되는 승강대(32)와,
    측방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 승강대(32)에 결합되며 구동모터(33a)에 의해 정역회전되는 회동축(33)과,
    전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 제2 컨베이어장치(22)의 사이에 위치되도록 후단부가 상기 회동축(33)에 고정되어 회동축(33)의 회동에 따라 전방과 상측으로 회동되는 복수개의 회동바(34)와,
    상기 회동바(34)의 전단부에 구비되며 작동시 상기 합성수지패널(1)이 상기 회동바(34)에 고정되도록 하는 클램프(35)를 포함하는 것을 특징으로 하며,
    상기 이송수단(D)은
    지지프레임(40)과,
    측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 도금라인(A)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(52)에 의해 승강되는 제1 슬라이드가이드(50)와,
    측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제2 도금라인(B)의 상측에 위치되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되어 승강구동수단(62)에 의해 승강되는 제2 슬라이드가이드(60)와,
    측방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 제1 슬라이드가이드(50)의 일단과 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 타단에 연결되도록 상기 지지프레임(40)에 구비되며 전후진구동수단(73,74)에 의해 상기 제2 슬라이드가이드(60)의 일단과 제1 슬라이드가이드(50)의 타단에 연결되도록 전후진되는 제1 및 제2 이송가이드(71,72)와,
    상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 구비되며 상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정되는 복수개의 슬라이더(80)와,
    상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)의 상측에 위치되어 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)에 구비된 슬라이더(80)를 측방향으로 슬라이드시키도록 된 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)과,
    상기 지지프레임(40)에 구비되어 상기 제1 및 제2 이송가이드(71,72)로 이동된 슬라이더(80)를 상기 제2 및 제1 슬라이드가이드(50,60)로 이동시키는 제1 및 제2 보조슬라이드구동수단(101,102)을 포함하며,
    상기 슬라이더(80)는
    상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)와 제1 및 제2 이송가이드(71,72)에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되는 슬라이더본체(81)와,
    상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 중간부가 상기 슬라이더본체(81)의 전면에 회동가능하게 결합되어 탄성부재(82a)에 의해 하단부가 슬라이더본체(81)의 전면에 밀착되도록 탄성적으로 가압되는 고정편(82)을 포함하고,
    상기 지지프레임(40)에는 상기 고정편(82)의 상단을 후방으로 가압하여 상기 고정편(82)의 하단이 상기 슬라이더본체(81)의 전면으로부터 이격되도록 하는 개폐수단(43)이 구비되어,
    상기 공급수단(C)에 의해 공급된 합성수지패널(1)이 고정된 슬라이더(80)가 상기 제1 및 제2 슬라이드구동수단(91,92)에 의해 측방향으로 슬라이드되면서 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 제1 이송가이드(71)와 제2 슬라이드가이드(60)와 제2 이송가이드(72)로 이송되어 반복적으로 순환되도록 함과 동시에 상기 제1 및 제2 슬라이드가이드(50,60)를 승강시킴으로써, 상기 슬라이더(80)에 고정된 합성수지패널(1)이 각각의 수세조(11)와 도금조(16)에 순차적으로 담겨 세척 및 도금되도록 하는 것을 특징으로 하며,
    상기 수세조(11)의 내부에는
    상기 이송수단(D)에 의해 수세조(11)의 내부로 삽입된 합성수지패널(1)의 전후면에 물을 분사하는 세척수단(13)과,
    상기 수세조(11)의 내부에 상호 측방향으로 이격되도록 구비된 복수개의 가이드판(14)이 구비되고,
    상기 수세조(11)의 상측에는 상기 수세조(11)에 담긴 후 상승되는 합성수지패널(1)의 전후면에 공기를 분사하여 합성수지패널(1)에 묻은 물기를 제거하는 건조수단(15)이 구비되며,
    상기 가이드판(14)은 중앙부에는 하측으로 갈수록 전후방향 폭이 좁아지는 가이드홈(14a)이 형성되고 상단 전후측에는 상기 수세조(11)의 상면에 걸리는 걸림턱(14b)이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 도금장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 슬라이더본체(81)의 하측면에는 상측으로 오목한 결합공(81d)이 형성되고,
    상기 제1 슬라이드가이드(50)에는 제1 슬라이드가이드(50)의 상면에서 하측으로 오목한 승강공(54)과 상기 승강공(54)의 중간부에서 제1 슬라이드가이드(50)의 후측면으로 연장된 연장공(55)이 형성되며,
    상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 승강공(54)의 내부에 승강가능하게 결합되며 상승시 상단이 상기 결합공(81d)에 결합되어 슬라이더본체(81)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정하며 중간부에는 상기 연장공(55)을 통해 제1 슬라이드가이드(50)의 후방으로 연장된 연장바(55a)가 구비된 고정핀(55)과,
    상기 고정핀(55)에 연결되어 상기 고정핀(55)이 상승되도록 탄성적으로 가압하는 탄성부재(56)가 더 구비되며,
    상기 지지프레임(40)에는 상기 제1 슬라이드가이드(50)가 상승되면 상기 연장바(55a)의 상면에 걸려 고정핀(55)이 상승되는 높이를 제한하는 스토퍼(44)가 구비되어,
    상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 하강되면 상기 고정핀(55)이 상기 결합공(81d)에 결합되어 슬라이더(80)가 측방향으로 유동되지 않도록 고정하고, 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 상승되면 상기 고정핀(55)이 상기 스토퍼(44)에 걸려 고정핀(55)과 결합공(81d)의 결합이 해제되는 것을 특징으로 하며,
    상기 슬라이더(80)에 구비된 진동감지센서(111)와,
    상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하며 경보수단(113)이 구비된 제어수단(112)을 더 포함하며,
    상기 제어수단(112)은 상기 제1 슬라이드가이드(50)와 슬라이더(80)가 하강된 상태에서 상기 진동감지센서(111)의 신호를 수신하여 상기 진동감지센서(111)에 기준치 이상의 진동이 감지되면, 상기 슬라이더(80)에 구비된 탄성부재(82a)의 탄성이 약해져 슬라이더(80)에 합성수지패널(1)이 정확히 고정되지 못한 것으로 판단하고, 상기 경보수단(113)을 구동시켜 작업자에게 경고를 하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 도금장치.
KR1020180073467A 2018-06-26 2018-06-26 기판 도금장치 KR101910326B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180073467A KR101910326B1 (ko) 2018-06-26 2018-06-26 기판 도금장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180073467A KR101910326B1 (ko) 2018-06-26 2018-06-26 기판 도금장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101910326B1 true KR101910326B1 (ko) 2018-10-19

Family

ID=64102164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180073467A KR101910326B1 (ko) 2018-06-26 2018-06-26 기판 도금장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101910326B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110052461A (zh) * 2019-04-11 2019-07-26 四川五环石化装备有限公司 一种车用油箱清洗装置
CN113755775A (zh) * 2021-09-03 2021-12-07 安徽宏源铁塔有限公司 一种垫片镀锌用挂料夹具

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101295339B1 (ko) 2011-06-09 2013-08-09 박경이 도금장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101295339B1 (ko) 2011-06-09 2013-08-09 박경이 도금장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110052461A (zh) * 2019-04-11 2019-07-26 四川五环石化装备有限公司 一种车用油箱清洗装置
CN110052461B (zh) * 2019-04-11 2024-03-08 四川五环石化装备有限公司 一种车用油箱清洗装置
CN113755775A (zh) * 2021-09-03 2021-12-07 安徽宏源铁塔有限公司 一种垫片镀锌用挂料夹具
CN113755775B (zh) * 2021-09-03 2023-06-23 安徽宏源铁塔有限公司 一种垫片镀锌用挂料夹具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101913545B1 (ko) 기판 도금장치
US11065650B2 (en) Nozzle cleaning device and nozzle drying method
KR101285629B1 (ko) 마이크로 드릴비트 세척장치
KR101910326B1 (ko) 기판 도금장치
KR101470195B1 (ko) 수평형 다단 적재식 팔레트 세척장치 및 세척방법
JP5708274B2 (ja) 洗浄装置
JP2006223991A (ja) パレットの洗浄装置
KR101185532B1 (ko) 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법
TWM584801U (zh) 水平斜置方式逐片連續生產的化學沉積設備
KR100721595B1 (ko) 글래스 패드의 세정장치
CN115666004B (zh) 一种印制电路板蚀刻装置及蚀刻方法
TW202104663A (zh) 水平斜置方式逐片連續生產的化學沉積設備及方法
KR101648797B1 (ko) 상자 자동 세척장치
KR101479847B1 (ko) 다단 적재식 팔레트 세척장치 및 세척방법
JPH10114426A (ja) ウェーハ取出装置
CN112239862A (zh) 水平斜置方式逐片连续生产的化学沉积设备及方法
CN215236219U (zh) 一种冲片理片机
JP2016216142A (ja) 搬送機構並びにこれを適用した洗浄装置
JP2921781B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
CN115569949A (zh) 镜片工件的自动擦拭方法及自动擦拭系统
KR100711381B1 (ko) 자동 파우더링 시험장치
JP6325899B2 (ja) 水耕パネルの洗浄装置および方法
JPH07313947A (ja) ワーク洗浄方法および洗浄装置
JPH07299428A (ja) ワーク洗浄方法および洗浄装置
KR100823583B1 (ko) 습식처리장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant