KR101857770B1 - 기판 코팅장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 코팅 진행방향을 기준으로 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압을 형성하여 슬릿노즐에서 토출되는 약액이 토출구 전방을 향해 반월형상으로 토출되도록 하여 코팅 성능을 개선한 기판 코팅장치를 제공함을 목적으로 한다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 기판 상에 약액이 도포되는 약액을 토출하는 슬릿 형상의 슬릿노즐; 및 코팅 진행방향을 기준으로 상기 슬릿 노즐의 립(Rib) 전방에 위치하여, 상기 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압공간을 형성하여 상기 슬릿 노즐에서 토출되는 약액이 상기 토출구를 기준으로 전방측으로 치우친 상태로 토출되도록 하는 부압 모듈을 구비하되, 상기 부압 모듈은 상기 슬릿 노즐에 형성된 토출구에 비해 보다 큰 여유 공간을 갖도록 상기 부압공간을 향해 개방된 내부공간부를 형성하며 상기 슬릿 노즐의 립 전방을 둘러싸는 형태로 형성된 흡입부를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

기판 코팅장치{Substrate Coating Apparatus}
본 발명은 기판 코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압을 형성하여 슬릿노즐에서 토출되는 약액이 토출구 전방을 향해 반월형상으로 토출되도록 하여 코팅 성능을 개선한 기판 코팅장치에 관한 것이다.
평판 기판에 약액을 일정한 두께로 균일하게 코팅하는 코팅장치는 다양한 분야에서 사용될 수 있으며, 엘시디(LCD)와 같은 평판 디스플레이의 제조를 위하여 유리 기판 표면에 감광성 수지를 도포하는 코팅공정도 그 중에 하나이다.
디스플레이 기판의 크기가 대형화되면서 약액 코팅방식으로 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 이용하는 슬릿 코팅방식이 널리 사용되고 있다. 슬릿 코팅방식은 피처리 기판의 폭에 해당하는 길이를 갖는 슬릿 노즐을 기판을 따라 이송시키면서 노즐을 통해 약액을 분사하여 도포하는 방식이다.
도 1을 참조하면, 기판 코팅장치(100)는 기판 스테이지(102)에 기판(G)이 고정된 상태에서, 기판(G)의 폭 길이의 슬릿 노즐(110)이 이송수단(120)에 의해 기판(G)을 따라 이송하면서 약액을 도포한다. 약액은 약액 공급부(112)에 의해 대략 1회 코팅 공정에 사용될 양만큼 슬릿 노즐(110)로 공급된 다음에, 슬릿 노즐(110)을 통해 기판(G)으로 분사된다. 코터 장치(100)가 기판(G) 상에 약액, 즉 감광성 수지(PR: Photoresist)를 도포하면, 기판(G)은 건조 공정으로 이송되어 건조된다.
기판(G)에 코팅되는 약액의 두께는 약액의 점성, 코팅 스피드와 코팅 갭 등과 관계가 있어서, 필요한 코팅 두께에 맞는 약액의 점성과 토출 스피드 등을 맞추어야 한다.
예를 들어, 도 2의 (X)에서처럼, 슬릿 노즐(110)에서 토출된 약액(m)은 코팅 진행방향(X)을 기준으로 슬릿 노즐(110)의 립(Rib)(110a) 전단으로 반월형상을 이루며 충분히 토출될 때 슬릿 노즐(110)의 진행 속도 코팅 갭 등이 적당하여 코팅이 제대로 수행될 수 있다.
그러나, 도 2의 (b)에서처럼, 슬릿 노즐(110)을 통해 토출되는 약액(m)의 양이 적거나 코팅 스피드가 너무 빠르면, 슬릿 노즐(110)에서 토출된 약액(m)이 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 후단에 위치하면서 슬릿 노즐(110)의 진행에 의해 끌려오는 형상이 되며, 코팅 갭을 적절하게 채우지 못하고 코팅도 제대로 수행되지 않는다. 반대로, 토출량이 너무 많아도 코팅이 제대로 되지 않는다.
최근에 박막 코팅의 요구가 증대되면서 더욱 얇은 코팅을 수행해야 하는 경우에 이러한 코팅 조건을 맞추는 것은 더욱 힘든 과제가 되고 있다.
[관련 기술 문헌]
기본적으로 유사한 발명을 발견하기는 어렵다.
1. 대한민국 공개특허 제10-2015-0039901호 (2015.04.14. 공개)
이 발명은 슬릿 노즐의 양 단부에 약액을 다시 흡입하기 위한 흡입 유로를 형성하는 방법을 개시하고 있다. 토출구로부터 토출된 약액은 흡입 유로를 통해 흡입됨으로써, 약액은 약액 도포 영역에만 도포되고 기판의 양 측부에 불필요하게 약액이 도포되는 것을 방지하고 전반적으로 균일한 코팅을 가능하게 한다.
본 발명의 목적은, 코팅 진행방향을 기준으로 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압을 형성하여 슬릿노즐에서 토출되는 약액이 토출구 전방을 향해 반월형상으로 토출되도록 하여 코팅 성능을 개선한 기판 코팅장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 코팅장치는, 기판 상에 약액이 도포되는 약액을 토출하는 슬릿 형상의 슬릿노즐과, 코팅 진행방향을 기준으로 상기 슬릿 노즐의 립(Rib) 전방에 마련된 부압 모듈을 포함한다. 슬릿 노즐과 별도로 배치되는 부압모듈은 상기 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압공간을 형성함으로써, 슬릿 노즐의 토출구에서 배출되는 약액을 토출구 전방으로 치우친 상태로 토출되도록 잡아당김으로써 토출구 아래에서 반월 형상을 형성하도록 한다. 따라서 슬릿 노즐이 듀얼 슬릿의 형태를 가질 필요가 없다. 또한, 상기 부압공간은 상기 슬릿 노즐에 형성된 토출구에 비해 보다 큰 여유 공간을 갖도록 상기 슬릿 노즐의 립 전방을 둘러싸는 형태로 형성된다. 이와 같이 상기 부압공간이 토출구에 비해 큰 공간을 갖도록 형성됨으로써 약액에 의해 부압 형성이 방해되거나 부압 형성을 위한 임의의 흡기구 등이 막히거나 할 위험이 없어, 부압공간에서 부압 형성이 원활하게 이루어질 수 있게 되며, 슬릿 형상의 토출구 전체 영역에서 토출되는 약액은 부압공간과 토출구 간의 압력차에 의해 토출구의 전방측으로 치우치도록 균일하게 잡아당겨질 수 있게 되므로, 약액의 코팅 품질을 향상시킬 수 있다.
실시 예에 따라, 상기 부압 모듈은 상기 슬릿 노즐에 형성된 토출구에 비해 보다 큰 여유 공간을 갖도록 상기 부압공간을 향해 개방된 내부공간부를 형성하며 상기 슬릿 노즐의 립 전방을 둘러싸는 형태로 형성된 흡입부를 구비한다. 또한, 상기 부압 모듈은 상기 흡입부의 윗부분에 형성된 배출구에 연결된 흡입펌프를 포함하며, 상기 슬릿 노즐의 측면에 고정된다. 흡입 펌프는 상기 부압공간의 공기를 흡입함으로써 부압을 형성한다.
다른 실시 예에 따라, 상기 흡입부의 아랫면은 상기 슬릿노즐과 기판 사이의 코팅 갭 높이 이하에 형성될 수 있으며, 기판으로부터 20~ 300㎛ 높이에 위치하는 것이 바람직하다.
실시 예에 따라, 상기 흡입부의 내부공간부는 상기 기판과 평행하게 배치된 평판 패널 형상을 가질 수도 있고, 상기 토출구를 향하여 경사지게 개방될 수도 있다. 또한, 상기 흡입부의 배출구는 상기 내부공간부의 전방 상측에 마련되어 상기 토출구 전방에 고른 부압을 제공할 수 있는 것이 바람직하다.
한편, 상기 슬릿 노즐의 립 단부에는, 상기 슬릿 노즐의 토출구에서 토출된 약액이 상기 부압 모듈에 의한 부압에 의해 상기 부압모듈로 빨려들어가지 않도록 저항할 수 있는 평평한 부압저항부가 형성될 수 있으며, 부압저항부는 1mm 이상의 폭을 가지는 것이 바람직하다.
부압 모듈의 실시 예에 따르면, 본 발명의 기판 코팅장치는 상기 슬릿 노즐을 지지하면서 이송시키는 이송모듈을 더 포함한다. 상기 이송모듈은, 상기 기판을 지지하는 기판 플레이트의 양측에 각각 마련된 한 쌍의 갠트리(gantry)와, 상기 기판 플레이트를 가로질러 배치되고 각 단부가 상기 갠트리에 각각 연결되어 상기 슬릿 노즐을 지지하는 브리지드바(bridged bar)를 포함한다.
이 경우, 상기 부압 모듈은 상기 브리지드 바에 지지되어 상기 슬릿 노즐의 전방에 배치된다. 부압 모듈은 상기 브리지드바에 연결된 몸체부와, 상기 몸체부를 관통하여 형성되며 끝단이 부압 공간을 향해 개방되어 있는 흡입유로와, 상기 흡입유로를 통해 공기를 흡입함으로써 상기 부압 공간에 부압을 형성하는 흡입펌프를 포함한다. 실시 예에 따라, 상기 흡입유로는 끝단이 상기 토출구를 향하여 경사진 상태로 개방될 수 있다.
본 발명의 기판 코팅 장치는 코팅 진행방향을 기준으로 슬릿 노즐의 전단에 부압 모듈을 배치함으로써, 슬릿 노즐 토출구 전방에 부압을 형성하여 슬릿노즐에서 토출되는 약액이 토출구 전방을 향해 반월 모양을 형성하게 할 수 있다. 알려진 것처럼, 슬릿노즐에서 토출되는 약액이 슬릿노즐의 전단에서 적절한 반월형상을 형성하면, 더 빠른 속도의 코팅도 가능해지고, 더 얇은 박막 코팅도 불량없이 가능해지며, 코팅 갭도 넉넉하게 유지할 수 있다.
부압을 형성하는 부압 모듈이 슬릿 노즐의 토출구에 비하여 상당한 크기로 마련되기 때문에, 약액에 의해 부압 형성이 방해되거나 부압 형성을 위한 임의의 흡기구 등이 막히거나 할 위험이 없다.
또한, 본 발명은 슬릿 노즐의 전방에 부압 모듈이 위치함으로써, 슬릿 노즐의 이동 중에 작동 오류에 의해 발생될 수 있는 돌발적인 충돌이나 기판 상의 이물질로부터 노즐을 보호할 수 있다.
도 1은 종래의 이물질 감지장치를 구비한 기판 코팅장치를 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 슬릿 코터의 약액 도포 과정을 도시한 측단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅장치를 개략적으로 나타내는 도면,
도 4는 도 3을 A-A로 절단하여 표시한 단면도,
도 5는 도 3의 일 실시 예에 따른 부압 모듈의 사시도,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 코팅장치를 개략적으로 나타낸 도면,
도 7은 도 6의 부압 모듈의 실시 예를 도시한 단면도, 그리고
도 8은 도 6의 부압 모듈의 다른 실시 예를 도시한 단면도이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코팅장치(300)는, 기본적으로 기판(G)이 고정되는 기판 스테이지(102)와, 기판(G) 상에 약액을 도포하는 슬릿 노즐(110)과, 슬릿 노즐(110)에 약액을 공급하는 약액공급부(112)와, 슬릿 노즐(110)을 지지하면서 코팅 진행방향(X)을 따라 슬릿 노즐(110)을 이송할 수 있는 이송모듈(120)을 포함한다.
이송모듈(120)은, 기판 스테이지(102) 양측에 각각 마련되는 한 쌍의 갠트리(Gantry,121)와, 한 쌍의 갠트리(121)의 상부를 상호 연결하여 슬릿 노즐(110)을 지지하는 브리지드바(Bridged Bar,123)와, 기판 스테이지(102)의 양측에 코팅 진행방향(X)으로 나란히 배치되어 갠트리(121)의 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드레일(125)과, 갠트리 구동부(미도시)를 포함한다. 갠트리 구동부는 예컨대 자기 부상방식으로 갠트리(121)를 가이드레일(125)을 따라 왕복 운동시킬 수 있다.
코팅을 위해서는 슬릿 노즐(110)과 기판(G)이 상대 이동을 할 수 있으면 충분하므로, 본 발명은 슬릿 노즐(110)이 고정된 기판(G) 위를 수평 이송되는 경우에 한정되는 것이 아니며, 기판(G)이 고정된 슬릿 노즐(110)의 밑으로 이송되는 경우에도 동일하게 적용된다. 예컨대, 코팅 장치에 따라, 별도의 기판 파지수단이 기판(G)을 파지하여 슬릿 노즐(110) 밑으로 이송시킬 수 있다. 이 경우, 이송모듈(120)은 세정 등을 위하여 슬릿 노즐(110)을 이송시키는 역할을 수행하며, 코팅 중인 슬릿 노즐(110)은 이송시키지 않고 고정 지지한다.
아래에서 설명하는 부압 모듈(310)의 동작을 제외한 기본적인 동작은 종래 기술의 설명과 동일하다. 다시 말해, 기판 스테이지(102)에 기판(G)이 고정된 상태에서, 기판(G)의 폭 길이의 슬릿 노즐(110)이 이송모듈(120)에 의해 기판(G)을 따라 이송하면서 토출구(110b)를 통해 약액을 기판(G) 상에 도포한다. 약액은 약액 공급부(112)에 의해 대략 1회 코팅 공정에 사용될 양만큼 슬릿 노즐(110)로 공급된 다음에, 슬릿 노즐(110)을 통해 기판(G)으로 분사된다. 기판 코팅장치(300)가 기판(G) 상에 약액을 도포하면, 기판(G)은 다음 공정으로 이송된다. 앞서 설명한 것처럼, 기판(G)이 별도의 파지 수단에 의해 슬릿 노즐(110) 밑을 수평으로 이송하는 중에 코팅이 수행될 수 있다.
이때, 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)에서 배출되는 약액이 코팅 진행방향(X)을 기준으로 토출구(110b)보다 앞쪽으로 돌출되어 반달 형상을 유지하는 것이 필요하다. 이를 위하여 본 발명의 기판 코팅장치(300)는 코팅 진행방향(X)을 기준으로 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 전방에 기판(G)과 이격되어 마련되는 부압 모듈(310)을 더 포함한다. 부압 모듈(310)은 코팅 중에 슬릿 노즐(110)의 전방에 위치 고정되어, 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b) 전방에 부압공간(310a)을 형성한다.
코팅 공정 중에, 부압 모듈(310)을 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 전방에 위치 고정하는 방법 중에 하나로, 도 3 내지 도 5에 도시된 것처럼 부압 모듈(310)이 슬릿 노즐(110)의 측면에 고정되어 코팅 중에 슬릿 노즐(110)과 함께 이송될 수 있다. 다른 방법으로 도 6에 도시된 것처럼, 부압 모듈(610)이 슬릿 노즐(110)이 아닌 브리지드바(123)에 직접 지지되어 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 전방에 위치고정될 수 있다.
부압 모듈은 아랫면이 부압공간을 향해 개방된 내부 공간부를 형성하고, 그 내부 공간부를 진공으로 만듦으로써, 부압 공간에 부압이 형성되도록 한다. 부압 모듈의 예는 다양하게 설계할 수 있다.
도 3 내지 도 5의 예에서, 부압 모듈(310)은 아랫면이 부압 공간을 향해 개방된 용기 형상으로 마련되어 슬릿 노즐(110)의 측면에 부착된 것으로서, 아랫면이 부압공간을 향해 개방된 내부공간부를 형성하여 부압공간(310a)을 덮는 형태의 흡입부(311)와, 흡입부(311)의 윗부분에 형성된 배출구(313)와 호스 등으로 연결된 흡입펌프(315)을 구비한다. 흡입펌프(315)는 내부공간부를 포함하는 부압공간(310a)의 공기를 배출구(313)를 통해 흡입함으로써 부압공간(310a)에 부압을 형성한다.
흡입부(311)의 내부공간부는 기판(G)으로부터 이격되어 있고 내부공간부의 아랫면이 기판(G)을 향해 개방되어 있으므로, 내부공간부에서 이어지는 부압공간(310a)이 완전한 진공이 되지는 않는다. 한편, 부압공간(310a)의 부압은 슬릿 노즐(110)에서 토출되는 약액을 코팅 진행방향으로 잡아당기기 위한 것이므로, 코팅진행방향(X)에 수직한 일자형으로 배치된 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b) 전방에서의 부압 유지가 중요하다.
따라서 흡입부(311)의 내부공간부는 기판(G)과 평행하면서 코팅 진행방향으로 연장된 비교적 넓은 평판 패널 형상을 가짐으로써, 기판(G) 상에 비교적 넓은 면에 부압공간(310a)을 형성하는 것이 바람직하다. 흡입부(311)의 배출구(313)는 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)와 반대측, 즉 흡입부(311)의 내부공간부의 전방 상측에 배치됨으로써, 일자형 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)에 대하여 고른 부압을 제공하는 것이 바람직하다. 또한, 흡입부(311)를 형성하는 격벽은 상당한 폭을 가지도록 설계하는 것이 기판(G)사이의 공간에 의한 부압 소실을 최대한 줄이는 방법이다.
한편, 기판(G)의 상면을 기준으로 흡입부(311)의 아랫면의 높이는 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)와 기판(G) 사이의 높이인 코팅 갭(Gap) 을 고려하여 배치하는 것이 바람직하며, 대략 20~300 ㎛ 정도로 정할 수 있으며, 50 ~ 150㎛가 바람직하다.
흡입부(311)의 아랫면은 기판(G)과 반드시 평행할 필요는 없고 슬릿 노즐(110)로부터 제일 먼 전방으로 갈수록 낮아지도록 경사지게 설계함으로써 내부 공간부가 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)를 향해 경사진 형태를 가지도록 할 수 있다. 또한, 흡입부(311)의 내부공간부의 높이와 아랫면의 면적은, 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 세정을 위한 세정수단의 운동범위를 침범하지 않는 범위에서 최대한 낮게 설계하는 것이 바람직하다.
흡입펌프(315)가 작동하여 흡입부(311)의 내부 공간부의 공기를 흡입하기 시작하면, 부압공간(310a)에 부압이 형성된다. 부압공간(310a)은 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b) 전방에 형성되어 있으므로, 코팅을 위해 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)에서 배출되는 약액은 부압공간(310a)에 형성된 부압에 의한 장력을 받게 되어 반월 형상으로 돌출되게 된다.
한편, 슬릿 노즐 립(110a)의 끝단부에 부압저항부(110c)가 형성되는 것이 바람직하다. 부압저항부(110c)는 슬릿 노즐(110)의 토출구(110b)에서 토출된 약액이 부압공간(310a)에 형성된 부압에 의해 부압 모듈(310)의 내부공간부로 빨려 들어가는 것을 저지한다. 부압의 세기에 따라 필요한 부압저항부(110C)의 폭(d)이 달라질 수 있지만, 대략 폭(d) 1mm 이하로 작으면 부압의 크기에 관계없이 약액이 부압 모듈(310)로 빨려 들어갈 수 있으므로, 부압저항부(110C)의 폭(d)은 대략 1mm 이상인 것이 바람직하다.
<다른 실시 예>
앞서 설명한 것처럼, 부압 모듈(310)이 도 6 내지 도 8에 도시된 것처럼 슬릿 노즐(110)이 아닌 브리지드바(123)에 의해 직접 지지되어 슬릿 노즐(110)의 립(110a) 전방에 위치 고정될 수 있다.
도 7의 부압 모듈은 브리지드바(123)에 연결된 몸체부(710)와, 몸체부(710)를 관통하여 형성되며 끝단이 부압 공간을 향해 개방되어 있는 흡입유로(711)를 포함하며, 흡입유로(711)는 외부의 흡입 펌프(315)와 연결된다.
도 8의 부압 모듈은 브리지드바(123)에 연결된 몸체부(810)와, 몸체부(810)를 관통하여 형성되며 끝단이 토출구(110b)를 향해 경사진 상태로 개방되어 있는 흡입유로(811)를 포함하며, 흡입유로(811)는 외부의 흡입 펌프(315)와 연결된다.
종래기술과 비교할 때, 부압 모듈(310)은 더 빠른 코팅 속도에서 더 낮은 약액의 점도 상태로 코팅을 진행할 수 있도록 한다. 당연히 종래기술에 비해, 박막 코팅도 더 효과적으로 수행될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
102: 기판 스테이지 110: 슬릿 노즐
110a: 슬릿 노즐의 립 110b: 슬릿 노즐의 토출구
110c: 부압저항부 112: 약액공급부
120: 이송모듈 121: 갠트리
123: 브리지드 바 125: 가이드 레일
310, 610: 부압 모듈 311: 흡입부
313: 배출구 315: 흡입 펌프
710, 810: 몸체부 711, 811: 흡입유로

Claims (10)

  1. 기판 상에 약액이 도포되는 약액을 토출하는 슬릿 형상의 슬릿노즐; 및
    코팅 진행방향을 기준으로 상기 슬릿 노즐의 립(Rib) 전방에 위치하여, 상기 슬릿 노즐의 토출구 전방에 부압공간을 형성하여 상기 슬릿 노즐에서 토출되는 약액이 상기 토출구를 기준으로 전방측으로 치우친 상태로 토출되도록 하는 부압 모듈을 구비하되,
    상기 부압 모듈은, 아랫면이 상기 부압공간을 향해 개방된 용기 형상으로 마련되어 상기 슬릿 노즐에 형성된 토출구에 비해 보다 큰 여유 공간을 갖도록 상기 아랫면이 상기 부압공간을 향해 개방된 내부공간부를 형성하며 상기 슬릿 노즐의 립 전방을 둘러싸며 상기 부압공간을 덮는 형태로 형성된 흡입부와, 상기 흡입부에 형성된 배출구에 연결되어 상기 내부공간부를 포함하는 상기 부압공간의 공기를 상기 배출구를 통해 흡입함으로써 상기 부압공간에 부압을 형성하는 흡입펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부의 내부공간부는 상기 기판과 평행하게 배치된 평판 패널 형상인 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부의 내부공간부는 상기 토출구를 향하여 경사지게 개방된 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부의 아랫면은 상기 슬릿노즐과 기판 사이의 코팅 갭 높이 이하에 형성된 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 흡입부의 개방된 아랫면은 기판으로부터 20~ 300㎛ 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부의 배출구는 상기 내부공간부의 전방 상측에 마련되어 상기 토출구 전방에 고른 부압을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐의 립 단부에는, 상기 슬릿 노즐의 토출구에서 토출된 약액이 상기 부압 모듈에 의한 부압에 의해 상기 부압모듈로 빨려들어가지 않도록 저항할 수 있는 평평한 부압저항부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 부압저항부는 1mm 이상의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 부압 모듈은
    상기 슬릿 노즐의 측면에 고정된 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
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