KR101847607B1 - Inserting and ejecting apparatus for semiconductor modules - Google Patents

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KR101847607B1 KR1020170009142A KR20170009142A KR101847607B1 KR 101847607 B1 KR101847607 B1 KR 101847607B1 KR 1020170009142 A KR1020170009142 A KR 1020170009142A KR 20170009142 A KR20170009142 A KR 20170009142A KR 101847607 B1 KR101847607 B1 KR 101847607B1
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Abstract

An insert and eject apparatus of a semiconductor module has an advantage of improving work efficiency and relieving fatigue of a worker by simultaneously mounting a plurality of semiconductor modules on a plurality of sockets or separating the plurality of semiconductor modules from the plurality of sockets, wherein the plurality of semiconductor modules are to be individually positioned on the plurality of sockets of a test board having the plurality of sockets aligned in a plurality of rows and columns and a plurality of levers each positioned on both sides of the socket.

Description

반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치{Inserting and ejecting apparatus for semiconductor modules}Technical Field [0001] The present invention relates to an inserting and ejecting apparatus for semiconductor modules,

이 발명은 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 다수개의 반도체 모듈을 한번의 작동을 통해 해당 슬롯에 동시에 장착하거나 분리하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an insert and an ejection apparatus for a semiconductor module, and more particularly, to an insert and an ejection apparatus for a semiconductor module which simultaneously mount or separate a plurality of semiconductor modules located in a slot of a test board through a single operation, .

통상적으로 소정의 반도체 제조공정을 마친 반도체 모듈(반도체 소자)은 그 성능이 제대로 발휘되는지 여부를 반도체 테스트 장비를 통해 검사하고 있다. 상기 반도체 테스트 장비로는 그 일례로 모니터링 번인 테스트 장비(Monitoring Burn-in Tester)가 있다. 통상적인 모니터링 번인 테스트 장비는 반도체 모듈을 소비자에게 공급하기 전에 또는 시스템에 장착하기 전에 초기 불량 모듈을 찾아내기 위한 신뢰성 검사의 일종으로서, 웨이퍼에서 분리된 반도체 칩을 조립공정을 거쳐 패키지한 다음 진행하는 것이 일반적이다.Generally, a semiconductor module (a semiconductor device) that has undergone a predetermined semiconductor manufacturing process is tested through a semiconductor test equipment to see whether its performance is exhibited properly. One example of the semiconductor test equipment is a monitoring burn-in test equipment. The conventional monitoring burn-in test equipment is a kind of reliability test for finding the initial failure module before supplying the semiconductor module to the customer or before mounting the semiconductor module to the customer. The semiconductor chip separated from the wafer is assembled and packaged It is common.

모니터링 번인 테스트 장비를 개략적으로 설명하면, 반도체 모듈을 특정 환경 스트레스 상태에 놓고 결함이나 이상이 있거나, 곧바로 불량이 될 것 같은 모듈을 제거하는 것이다. 이를 위해, 모니터링 번인 테스트 장비에서는 약 80~125℃의 높은 온도로 반도체 모듈에 열적 스트레스를 가하는데 번인 테스트가 진행되는 동안 반도체 모듈은 높은 온도와 높은 전계가 인가된 상태에서 동작하므로 불량 메커니즘이 가속된다. The monitoring burn-in test equipment is roughly described as putting the semiconductor module in a specific environmental stress condition and removing a module that is defective or defective or is likely to become defective immediately. To this end, thermal stress is applied to the semiconductor module at a temperature as high as about 80 to 125 ° C in the monitoring burn-in test equipment. During the burn-in test, the semiconductor module operates in a state in which a high temperature and a high electric field are applied, do.

따라서, 수명이 길지 않은 초기 불량 모듈들은 번인 테스트가 진행되는 동안 가혹조건을 견디지 못하고 불량을 발생시킨다. 이러한 번인 테스트를 통과한 양품의 반도체 모듈은 오랜 기간의 수명을 보장해 줄 수 있기 때문에 시스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Therefore, the initial failure modules having a short life span fail to withstand the severe conditions during the burn-in test and cause defects. Semiconductor modules of this type that have passed the burn-in test can guarantee long-term service life, which can improve system reliability.

한편, 상기와 같은 모니터링 번인 테스트 장비를 비롯한 반도체 테스트 장비를 이용해 반도체 모듈의 불량 여부를 검사함에 있어서는, 다수개의 슬롯이 형성된 테스트 보드(Test Board ; 이하, 'TB'라고도 함)의 슬롯에 반도체 모듈을 각각 장착한 상태에서 상술한 바와 같은 방법으로 불량 여부를 검사하고 있다. In order to inspect the semiconductor module for defects by using the semiconductor test equipment including the monitoring burn-in test equipment as described above, a semiconductor module (not shown) is inserted into a slot of a test board Are inspected for defects in the manner as described above.

그런데, 종래에는 테스트 보드의 슬롯에 반도체 모듈을 장착하거나 분리하는 작업이 작업자의 수작업에 의해 행해졌다. 즉, 반도체 모듈을 테스트 보드의 슬롯에 장착하기 위해서는 작업자가 반도체 모듈을 슬롯에 위치시킨 상태에서 상부에서 하부방향으로 가압한다. 그러면, 반도체 모듈이 슬롯에 완전 삽입됨과 더불어 슬롯 양측에 위치하는 레버가 반도체 모듈의 양측을 클램핑함으로써 장착된다. 그리고, 반도체 모듈을 테스트 보드의 슬롯에서 분리하기 위해서는 작업자가 슬롯 양측에 위치하는 레버를 상부에서 하부방향으로 가압한다. 그러면, 레버가 반도체 모듈의 양측에서 분리됨과 더불어 슬롯에 완전 삽입되어 있던 반도체 모듈이 분리된다. 이 상태에서 작업자가 슬롯의 반도체 모듈을 집어내 테스트 보드 밖으로 인출하면 된다.Conventionally, the operation of attaching or detaching the semiconductor module to or from the slot of the test board has been performed manually by the operator. That is, in order to mount the semiconductor module in the slot of the test board, the operator presses the semiconductor module in the downward direction while the semiconductor module is positioned in the slot. Then, the semiconductor module is fully inserted into the slot, and a lever located on both sides of the slot is mounted by clamping both sides of the semiconductor module. In order to separate the semiconductor module from the slot of the test board, the operator presses the lever located on both sides of the slot from the upper side to the lower side. Then, the lever is separated from both sides of the semiconductor module, and the semiconductor module completely inserted into the slot is separated. In this state, the operator picks up the semiconductor module of the slot and draws it out of the test board.

이렇듯, 종래에는 테스트 보드의 슬롯에 반도체 모듈을 장착하거나 분리함에 있어서, 작업자가 수작업으로 1개씩 처리함에 따라 작업성이 떨어질 뿐만 아니라, 장착 또는 분리 작업을 작업자의 손가락으로 수행함에 따라 작업자의 피로도를 가중시키는 문제점이 있었다.Conventionally, in mounting or removing the semiconductor module in the slot of the test board, not only the workability is lowered by manual operation of the operator, but also the worker's fingers There was a problem of weighting.

한국 등록특허 제10-1599459호(등록일자 : 2016.02.25.)Korean Registered Patent No. 10-1599459 (Registered on Feb. 25, 2016)

따라서, 이 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 다수개의 반도체 모듈을 한번의 작동을 통해 해당 슬롯에 동시에 장착하거나 분리함으로써, 작업성을 향상시키면서 작업자의 피로도를 완화시킬 수 있는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor device having a plurality of semiconductor modules located in slots of a test board, And an object of the present invention is to provide an insert and an ejecting apparatus of a semiconductor module that can alleviate the fatigue of an operator while improving the efficiency.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 이 발명의 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치는, 다수열과 행으로 정렬된 다수개의 소켓과 상기 소켓의 양측에 각각 위치하는 다수개의 레버를 갖는 테스트 보드의 상기 다수개의 소켓에 각각 위치할 다수개의 반도체 모듈을 상기 다수개의 소켓에 동시에 장착하거나 분리하기 위한 것으로서, 상기 다수개의 반도체 모듈의 상단을 동시에 가압하여 상기 반도체 모듈을 상기 소켓에 각각 삽입 고정하고 상기 레버로 양측을 각각 클램핑 하도록 하는 인서트 유닛과, 상기 다수개의 레버의 상단을 동시에 가압하여 상기 레버로 인한 상기 반도체 모듈의 클램핑을 해제함과 더불어 상기 소켓으로부터 분리되도록 하는 이젝트 유닛과, 상기 인서트 유닛 및 상기 이젝트 유닛에 동력을 동시에 제공하며 상기 동력에 따라 슬라이드 이동하면서 상기 인서트 유닛 및 상기 이젝트 유닛을 상하방향으로 이동시켜 상기 반도체 모듈을 상기 소켓에 장착하거나 분리하는 슬라이드 유닛, 및 상기 유닛들을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an insert and an ejecting apparatus for a semiconductor module, the socket including a plurality of sockets aligned in a plurality of rows and rows, and a plurality of levers located on both sides of the socket, The semiconductor module is inserted into and fixed to the socket by simultaneously pressing the upper ends of the plurality of semiconductor modules so that both sides of the semiconductor module are respectively inserted into the socket, An ejection unit for simultaneously clamping the upper ends of the plurality of levers to release clamping of the semiconductor module due to the levers and to be separated from the socket; At the same time, A sliding unit for mounting or removing the semiconductor module to or from the socket by moving the insert unit and the eject unit in a vertical direction while moving on a ride, and a control unit for controlling the units.

이 발명은 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 다수개의 반도체 모듈을 한번의 작동을 통해 해당 슬롯에 동시에 장착하거나 분리함으로써, 작업성을 향상시키면서 작업자의 피로도를 완화시킬 수 있는 장점이 있다. The present invention is advantageous in that a plurality of semiconductor modules located in slots of a test board are simultaneously mounted or separated in corresponding slots through a single operation to reduce worker fatigue while improving workability.

도 1 및 도 2는 다수개의 반도체 모듈이 장착된 테스트 보드가 설치된 상태에서 이 발명의 한 실시예에 따른 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치의 구성관계를 각도를 달리하여 도시한 사시도이고,
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 베이스 프레임을 각도를 달리하여 도시한 상세도이고,
도 5는 도 1에 도시된 TB 가이드 레일 유닛의 상세도이고,
도 6은 도 5에 도시된 TB 가이드 레일 유닛에 설치되는 반도체 모듈이 장착된 테스트 보드의 상세도이고,
도 7은 도 1에 도시된 바디 프레임 유닛의 상세도이고,
도 8은 도 7에 도시된 바디 프레임 유닛에 설치되는 슬라이드 유닛, 슬라이드 바디 유닛, 인서트 유닛 및 이젝트 유닛의 결합관계를 도시한 분해 사시도이고,
도 9는 도 8에 도시된 슬라이드 유닛의 상세도이고,
도 10은 도 9에 도시된 슬라이드 부재의 정면도이고,
도 11은 도 8에 도시된 슬라이드 바디 유닛의 상세도이고,
도 12는 도 8에 도시된 인서트 유닛의 상세도이고,
도 13은 도 8에 도시된 이젝트 유닛의 상세도이고,
도 14는 도 1에 도시된 LED 바 유닛의 상세도이고,
도 15는 도 1에 도시된 오삽입 감지 유닛의 상세도이며,
도 16은 도 10에 도시된 슬라이드 부재의 이동에 따른 각 롤러의 위치별 인서트 유닛 및 이젝트 유닛의 작동에 따른 반도체 모듈의 장착 및 분리 상태를 도시한 개략도이다.
1 and 2 are perspective views illustrating a configuration of an insert and an ejecting apparatus of a semiconductor module according to an embodiment of the present invention in a state in which a test board equipped with a plurality of semiconductor modules is installed,
FIGS. 3 and 4 are detailed views of the base frame shown in FIG. 1 with different angles,
Fig. 5 is a detailed view of the TB guide rail unit shown in Fig. 1,
FIG. 6 is a detailed view of a test board on which a semiconductor module mounted on the TB guide rail unit shown in FIG. 5 is mounted,
7 is a detailed view of the body frame unit shown in FIG. 1,
8 is an exploded perspective view showing a coupling relationship between the slide unit, the slide body unit, the insert unit, and the eject unit provided in the body frame unit shown in Fig. 7,
Fig. 9 is a detailed view of the slide unit shown in Fig. 8,
10 is a front view of the slide member shown in Fig. 9,
FIG. 11 is a detailed view of the slide body unit shown in FIG. 8,
Fig. 12 is a detailed view of the insert unit shown in Fig. 8,
13 is a detailed view of the eject unit shown in Fig. 8,
Fig. 14 is a detailed view of the LED bar unit shown in Fig. 1,
Fig. 15 is a detailed view of the erroneous insertion detecting unit shown in Fig. 1,
16 is a schematic view showing the mounting and dismounting state of the semiconductor module according to the operation of the insert unit and the eject unit according to the positions of the respective rollers according to the movement of the slide member shown in Fig.

아래에서, 이 발명에 따른 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치의 양호한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Hereinafter, preferred embodiments of an insert and an ejecting apparatus of a semiconductor module according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 다수개의 반도체 모듈이 장착된 테스트 보드가 설치된 상태에서 이 발명의 한 실시예에 따른 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치의 구성관계를 각도를 달리하여 도시한 사시도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이 실시예에 따른 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치는 테스트 보드의 슬롯에 각각의 반도체 모듈을 장착하거나 분리하는 작업을 기계의 동력을 이용해 동시에 수행할 수 있도록 구성한 것으로서, 그 세부 구성관계에 대해서는 해당 도면을 참고하여 아래에서 설명한다.FIGS. 1 and 2 are perspective views illustrating the configuration of an insert and an ejecting apparatus of a semiconductor module according to an embodiment of the present invention, with a test board having a plurality of semiconductor modules mounted thereon, at different angles. As shown in FIGS. 1 and 2, the inserts and the ejectors of the semiconductor module according to the present embodiment are constructed so that the operation of mounting or dismounting each semiconductor module in the slots of the test board can be performed simultaneously using the power of the machine And the detailed configuration will be described below with reference to the drawings.

도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 베이스 프레임을 각도를 달리하여 도시한 상세도이다. 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스 프레임(100)은 이 실시예의 장치를 구성하는 각각의 구성요소들이 배치될 수 있는 공간을 제공함과 더불어, 제어 유닛을 비롯하여 전원공급 및 제어신호 전달 등을 위한 다양한 구성요소들이 설치된다.FIGS. 3 and 4 are detailed views of the base frame shown in FIG. 1 with different angles. As shown in Figs. 1 to 4, the base frame 100 provides a space in which the respective components constituting the apparatus of this embodiment can be disposed, as well as a control unit, power supply and control signal transmission Various components are installed.

도 5는 도 1에 도시된 TB 가이드 레일 유닛의 상세도이다. 도 5에 도시된 TB 가이드 레일 유닛(200)은 도 3에 도시된 베이스 프레임(100)에 설치되어 도 1에 도시된 테스트 보드를 베이스 프레임(100)의 길이방향으로 슬라이드 이동하도록 가이드 하는 역할을 한다. 따라서, TB 가이드 레일 유닛(200)에는 테스트 보드가 원활하게 슬라이드 이동할 수 있도록 하는 가이드 레일 등을 갖는다. 5 is a detailed view of the TB guide rail unit shown in Fig. The TB guide rail unit 200 shown in FIG. 5 is installed in the base frame 100 shown in FIG. 3 and serves to guide the test board shown in FIG. 1 to slide in the longitudinal direction of the base frame 100 do. Therefore, the TB guide rail unit 200 has guide rails or the like for smoothly sliding the test board.

도 6은 도 5에 도시된 TB 가이드 레일 유닛에 설치되는 반도체 모듈이 장착된 테스트 보드의 상세도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 테스트 보드는 소비자에게 공급하기 전에 또는 시스템에 장착하기 전에 불량 여부를 검사하기 위한 반도체 모듈 다수개를 장착할 수 있도록 구성된다. 즉, 테스트 보드는 다수개의 반도체 모듈이 장착되는 다수개의 슬롯과, 각 슬롯의 양측에 각각 설치되어 반도체 모듈의 양측을 클램핑하여 고정하는 다수개의 레버를 갖는다. 여기서, 다수개의 슬롯은 다수열과 다수행으로 정렬된다.6 is a detailed view of a test board on which a semiconductor module mounted on the TB guide rail unit shown in FIG. 5 is mounted. As shown in FIG. 6, the test board is configured to mount a plurality of semiconductor modules for inspecting defects before supplying them to the customer or before mounting them in the system. That is, the test board has a plurality of slots in which a plurality of semiconductor modules are mounted, and a plurality of levers that are respectively installed on both sides of the slots to clamp and fix both sides of the semiconductor module. Here, a plurality of slots are arranged in a plurality of rows and a plurality of rows.

또한, 테스트 보드는 도 5에 도시된 TB 가이드 레일 유닛(200)을 따라 슬라이드 이동하는 레일을 갖는 브라켓과, 브라켓의 상부에 설치되며 상기 다수개의 슬롯의 단자와 접속하여 그 곳에 장착되는 반도체 모듈의 불량 여부를 기억하는 프로그램이 내장된 기판을 갖는다. 이러한 기판의 표면에는 상기와 같은 다수개의 슬롯과 레버가 설치되고, 전방에는 테스트 보드를 TB 가이드 레일 유닛(200)을 따라 슬라이드 이동시키는데 이용되는 손잡이가 설치되며, 후방에는 베이스 프레임(100)에 설치되는 제어 유닛에 접속되는 접속단자가 형성된다.The test board includes a bracket having rails sliding along the TB guide rail unit 200 shown in FIG. 5, and a semiconductor module mounted on the bracket and connected to the terminals of the plurality of slots, And has a substrate in which a program for memorizing whether or not defective is incorporated. A plurality of slots and levers as described above are provided on the surface of the substrate, and a handle used to slide the test board along the TB guide rail unit 200 is installed at the front of the substrate. A connection terminal to be connected to the control unit is formed.

도 7은 도 1에 도시된 바디 프레임 유닛의 상세도이다. 도 7에 도시된 바디 프레임 유닛(300)은 도 3에 도시된 베이스 프레임(100)에 설치되어 반도체 모듈을 테스트 보드의 슬롯에 장착하거나 분리하기 위한 구성요소들을 지지하는 역할을 한다. 따라서, 바디 프레임 유닛(300)은 반도체 모듈을 장착하거나 분리하기 위해 가해지는 힘에 견딜 수 있는 프레임 구조를 갖되, 그 중량을 줄이기 위해 얇은 판 형태의 프레임을 다수개 배열하여 휨을 방지하도록 구성한 것이다. 또한, 바디 프레임 유닛(300)은 후술할 LED 바 유닛(800) 및 오삽입 감지 유닛(900)이 결합되는 프레임(310)을 더 갖도록 구성된다.7 is a detailed view of the body frame unit shown in Fig. The body frame unit 300 shown in FIG. 7 is installed in the base frame 100 shown in FIG. 3 and serves to support the components for mounting or removing the semiconductor module in the slots of the test board. Accordingly, the body frame unit 300 has a frame structure capable of withstanding the force applied to attach or detach the semiconductor module. In order to reduce the weight, a plurality of thin plate-shaped frames are arranged to prevent warpage. The body frame unit 300 is further configured to have a frame 310 to which an LED bar unit 800 and a false insertion detection unit 900 to be described later are coupled.

도 8은 도 7에 도시된 바디 프레임 유닛에 설치되는 슬라이드 유닛, 슬라이드 바디 유닛, 인서트 유닛 및 이젝트 유닛의 결합관계를 도시한 분해 사시도이다. 도 7에 도시된 바디 프레임 유닛(300)에는 도 8에 도시된 슬라이드 유닛(400), 슬라이드 바디 유닛(500), 인서트 유닛(600) 및 이젝트 유닛(700)이 순차적으로 또는 서로 간에 유기적으로 결합된다.8 is an exploded perspective view showing a coupling relationship of the slide unit, the slide body unit, the insert unit, and the eject unit provided in the body frame unit shown in Fig. The slide unit 400, the slide body unit 500, the insert unit 600 and the eject unit 700 shown in FIG. 8 are sequentially or integrally connected to each other in the body frame unit 300 shown in FIG. do.

도 9는 도 8에 도시된 슬라이드 유닛의 상세도이고, 도 10은 도 9에 도시된 슬라이드 부재의 정면도이다. 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 슬라이드 유닛(400)은 반도체 모듈을 테스트 보드의 슬롯에 장착하거나 분리하기 위한 동력을 인서트 유닛(600) 및 이젝트 유닛(700)에 제공하는 역할을 한다. 이러한 슬라이드 유닛(400)은 서로 간에 마주보게 직렬로 배치되어 동력을 제공하는 한 쌍의 실린더(410)와, 한 쌍의 실린더(410)의 로드를 서로 연결하는 블록(420)과, 블록(420)의 하부 결합되며 한 쌍의 실린더(410)와 직교방향으로 연장되는 연결부재(430), 및 연결부재(430)의 양단부에 각각 결합되며 한 쌍의 실린더(410)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 슬라이드 부재(440)로 구성된다. 따라서, 슬라이드 유닛(400)은 한 쌍의 실린더(410)의 작동에 따라 한 쌍의 슬라이드 부재(440)가 좌우방향으로 슬라이드 이동하게 된다.Fig. 9 is a detailed view of the slide unit shown in Fig. 8, and Fig. 10 is a front view of the slide member shown in Fig. 8 to 10, the slide unit 400 serves to provide the insert unit 600 and the eject unit 700 with power for mounting or removing the semiconductor module in the slot of the test board. The slide unit 400 includes a pair of cylinders 410 arranged in series to face each other to provide power, a block 420 connecting the rods of the pair of cylinders 410 to each other, A pair of cylinders 410 and a pair of cylinders 410. The pair of cylinders 410 are connected to each other by a pair of cylinders 410, And a slide member 440 of FIG. Accordingly, in the slide unit 400, the pair of slide members 440 slide in the left and right directions according to the operation of the pair of cylinders 410.

한편, 슬라이드 부재(440)는 3열의 슬라이드 홈(441, 442, 443)을 3개씩을 갖도록 구성된다. 즉, 각 열마다 3개씩 총 9개의 슬라이드 홈(441, 442, 443)을 갖도록 구성된다. 구체적으로는, 상부열에는 수평방향으로 형성되어 슬라이드 바디 유닛(500)의 롤러가 각각 위치하는 제1 슬라이드 홈(441)이 형성된다. 그리고, 중간열에는 도면의 좌측에서 우측방향으로 일정 수평구간(정지구간을 포함함)을 갖다가 상향 경사진 후 다시 수평구간(중립구간)을 가진 후 하향 경사진 다음 다시 수평구간(정지구간)을 갖는 캠 구조의 제2 슬라이드 홈(442)이 형성된다. 한편, 제2 슬라이드 홈(442)의 상향 경사구간은 중앙 부위의 수평구간(중립구간)에서 좌측의 수평구간으로 이동시에 후술할 인서트 유닛(600)이 하부방향으로 조금 이동하여 가압부재가 반도체 모듈의 상단에 밀착되어 반도체 모듈이 움직이지 않도록 지탱할 수 있는 이동거리를 제공한다. 이러한 제2 슬라이드 홈(442)에는 인서트 유닛(600)의 롤러가 각각 위치한다.On the other hand, the slide member 440 is configured to have three rows of slide grooves 441, 442, and 443. That is, three slide grooves 441, 442, and 443 are provided in total for each column. Specifically, a first slide groove 441 is formed in the upper row in the horizontal direction, in which the rollers of the slide body unit 500 are respectively positioned. In the middle column, a certain horizontal section (including a stop section) is drawn in the left-to-right direction of the drawing, the upward section is tilted upward and then the horizontal section is again followed by the downward inclination. The second slide groove 442 of the cam structure is formed. On the other hand, when the insert unit 600, which will be described later, moves slightly in the downward direction during the horizontal section (neutral section) of the middle section and the horizontal section on the left side in the upward slope section of the second slide groove 442, So that the semiconductor module can be supported so as not to move. In the second slide groove 442, the rollers of the insert unit 600 are respectively positioned.

그리고, 하부열에는 도면의 좌측에서 우측방향으로 일정 수평구간(정지구간)을 갖다가 상향 경사진 후 다시 수평구간(정지구간을 포함함)을 갖는 캠 구조의 제3 슬라이드 홈(443)이 형성된다. 이러한 제3 슬라이드 홈(443)에는 이젝트 유닛(700)의 롤러가 각각 위치한다. 여기서, 각각의 롤러는 해당 슬라이드 홈(441, 442, 443)을 따라 회전하면서 좌우방향으로 이동 가능하게 위치한다. 따라서, 한 쌍의 실린더(410)가 작동할 경우, 한 쌍의 슬라이드 부재(440)는 정위치에 위치하는 해당 롤러를 따라 좌우방향으로 슬라이드 이동한다.A third slide groove 443 of a cam structure having a horizontal section (including a stop section) is formed again after a certain horizontal section (stop section) is provided in the lower row from the left to the right in the drawing, do. In the third slide groove 443, rollers of the ejection unit 700 are respectively located. Here, the respective rollers are positioned to be movable in the left-right direction while rotating along the slide grooves 441, 442, and 443. Accordingly, when the pair of cylinders 410 is operated, the pair of slide members 440 slide in the left and right directions along the corresponding rollers positioned in the right position.

한편, 제2, 제3 슬라이드 홈(442, 443)은 도면의 제일 좌측에서 서로 간에 가장 멀리 이격된 거리를 갖다가 제일 우측에서 가장 가깝게 이격된 거리를 갖는다. 또한, 제2 슬라이드 홈(442)의 중앙 부위의 수평구간(중립구간) 근처에서 제3 슬라이드 홈(443)의 수평구간이 시작되는 형태로 형성된다. 즉, 제2, 제3 슬라이드 홈(442, 443)은 그 곳에 위치하는 롤러와 함께 작동하는 인서트 유닛(600)과 이젝트 유닛(700)이 중립위치에 있다가 슬라이드 부재(440)가 일측으로 이동할 경우에는 인서트 기능을 하다가 타측으로 이동할 경우에는 이젝트 기능을 선택적으로 하도록 구성된다. 이에 대한 구체적인 작동관계는 후술하겠다.On the other hand, the second and third slide grooves 442 and 443 have the farthest distance from each other and the closest distance from the rightmost side from the leftmost side of the drawing. Also, the horizontal section of the third slide groove 443 is formed in the vicinity of the horizontal section (neutral section) of the central portion of the second slide groove 442. In other words, the second and third slide grooves 442 and 443 are formed such that the insert unit 600 and the ejection unit 700, which operate together with the rollers located there, are in the neutral position and the slide member 440 moves to one side The insert function is selected and the eject function is selectively made when moving to the other side. The specific working relationship will be described later.

한편, 이 실시예의 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치는 한 쌍의 실린더(410)의 정지위치(중립위치 포함)를 제어하기 위한 3개의 실린더 센서와 솔레노이드 밸브를 더 포함하도록 구성되며, 제어 유닛을 통해 그 정지위치가 제어되도록 구성된다. 즉, 상술한 정지구간 및 중립구간의 위치에서 각각의 롤러가 위치한 상태에서 한 쌍의 실린더(410)의 작동이 중지되도록 구성된다.On the other hand, the insert and the ejection apparatus of the semiconductor module of this embodiment are further configured to include three cylinder sensors and solenoid valves for controlling the stop position (including the neutral position) of the pair of cylinders 410, The stop position is configured to be controlled. That is, the operation of the pair of cylinders 410 is stopped when the respective rollers are positioned at the positions of the above-described stop section and neutral section.

도 11은 도 8에 도시된 슬라이드 바디 유닛(500)의 상세도이다. 도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 슬라이드 바디 유닛(500)은 바디 프레임 유닛(300)의 상부 프레임의 측벽과 밀착하는 형태로 배치되어 고정된다. 이러한 슬라이드 바디 유닛(500)은 상기 슬라이드 유닛(400)을 구성하는 한 쌍의 실린더(410)가 각각 고정되는 한 쌍의 고정프레임(510)과, 한 쌍의 고정프레임(520)의 양측에 결합되는 한 쌍의 제1 측면프레임(520)과, 제1 측면프레임(520)에 외측방향으로 돌출되게 결합되되 회전 가능하게 각각 결합되며 슬라이드 부재(440)의 제1 슬라이드 홈(441)에 위치하는 다수개의 제1 롤러(530)를 갖는다. 이때, 제1 롤러(530)는 제1 슬라이드 홈(441)에 대응하는 개수와 위치에 각각 형성된다.11 is a detailed view of the slide body unit 500 shown in FIG. 7 to 11, the slide body unit 500 is disposed and fixed in such a manner as to closely contact the side wall of the upper frame of the body frame unit 300. [ The slide body unit 500 includes a pair of fixed frames 510 to which a pair of cylinders 410 constituting the slide unit 400 are fixed respectively and a pair of fixed frames 510 coupled to both sides of the pair of fixed frames 520. [ A first side frame 520 and a second side frame 520. The first side frame 520 is coupled to the first side frame 520 in an outwardly projecting manner and is rotatably coupled to the first side frame 520, And has a plurality of first rollers 530. At this time, the first rollers 530 are formed at the positions and positions corresponding to the first slide grooves 441, respectively.

한편, 제1 측면프레임(520)의 하부에는 후술할 인서트 유닛(600)의 가이드홈에 삽입되어 인서트 유닛(600)이 좌우로 흔들리지 않으면서 상하방향으로 이동할 수 있도록 하는 다수개의 가이드부재(540)가 각각 형성된다. 따라서, 슬라이드 바디 유닛(500)은 바디 프레임 유닛(300)에 고정된 상태에서 슬라이드 유닛(400)의 슬라이드 부재(440)가 좌우방향으로 자유롭게 슬라이드 이동하도록 지지함과 더불어, 인서트 유닛(600)과 유기적으로 결합되어 상하방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.A plurality of guide members 540 are inserted into the guide grooves of the insert unit 600 to be described later so that the insert unit 600 can be moved up and down without swaying from side to side. Respectively. The slide body unit 500 supports the slide unit 440 of the slide unit 400 to slide freely in the left and right directions while being fixed to the body frame unit 300, And is guided to move up and down.

도 12는 도 8에 도시된 인서트 유닛의 상세도이다. 도 7 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 인서트 유닛(600)은 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 반도체 모듈을 상부에서 하부방향으로 가압하여 슬롯에 장착하기 위한 것으로서, 압력 전달이 가능한 프레임 구조를 갖는다. 즉, 인서트 유닛(600)은 한 쌍의 제2 측면프레임(610)과, 제2 측면프레임(610)에 외측방향으로 돌출되게 결합되되 회전 가능하게 각각 결합되며 슬라이드 부재(440)의 제2 슬라이드 홈(442)에 위치하는 다수개의 제2 롤러(620), 및 하부로 돌출되게 각각 결합되어 반도체 모듈의 상단을 가압하는 다수개의 제1 가압부재(630) 등을 갖는다. 이때, 제2 롤러(620)는 제2 슬라이드 홈(442)에 대응하는 개수와 위치에 각각 형성된다. 그리고, 제1 가압부재(630)는 스프링(640)이 그 사이에 위치한 상태로 프레임에 결합된다. 따라서, 정해진 가압력 이상으로 인서트 유닛(600)이 반도체 모듈을 가압하더라도 스프링(640)에 의해 반도체 모듈의 손상을 예방할 수가 있다. 12 is a detailed view of the insert unit shown in Fig. As shown in FIGS. 7 to 12, the insert unit 600 is for mounting a semiconductor module, which is located in a slot of a test board, from the upper side to the lower side in a slot, and has a frame structure capable of transmitting pressure. In other words, the insert unit 600 includes a pair of second side frames 610, a second side frame 610 and a second side frame 610. The insert unit 600 includes a pair of second side frames 610, A plurality of second rollers 620 located in the grooves 442, and a plurality of first pressing members 630 protruded downward to press the upper end of the semiconductor module. At this time, the second rollers 620 are formed at the positions and positions corresponding to the second slide grooves 442, respectively. Then, the first pressing member 630 is coupled to the frame with the spring 640 therebetween. Therefore, even if the insert unit 600 presses the semiconductor module beyond the predetermined pressing force, the damage of the semiconductor module can be prevented by the spring 640.

한편, 제2 측면프레임(610)의 상부에는 슬라이드 바디 유닛(500)의 가이드부재(540)가 상하방향으로 슬라이드 가능하게 삽입되는 다수개의 제1 가이드홈(650)이 각각 형성된다. 그리고, 제2 측면프레임(610)의 하부에는 후술할 이젝트 유닛(700)의 가이드 베어링이 삽입되어 이젝트 유닛(700)이 좌우로 흔들리지 않으면서 상하방향으로 이동할 수 있도록 하는 다수개의 제2 가이드홈(660)이 각각 형성된다. 따라서, 인서트 유닛(600)은 슬라이드 유닛(400)의 슬라이드 부재(440)와 연동하여 반도체 모듈을 상부에서 하부방향으로 가압하여, 반도체 모듈이 슬롯에 완전 삽입되도록 함과 더불어 슬롯 양측에 위치하는 레버가 반도체 모듈의 양측을 클램핑하도록 한다. 또한, 인서트 유닛(600)은 슬라이드 바디 유닛(500) 및 이젝트 유닛(700)과 유기적으로 결합되어 인서트 유닛(600) 및 이젝트 유닛(700)이 상하방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.On the other hand, a plurality of first guide grooves 650, into which the guide members 540 of the slide body unit 500 are slidably inserted in the vertical direction, are formed on the upper portion of the second side frame 610, respectively. A plurality of second guide grooves (not shown) are formed in the lower portion of the second side frame 610 to allow the guide unit of the eject unit 700 to be described later to be inserted therein so that the eject unit 700 can be moved in the vertical direction 660 are formed. Accordingly, the insert unit 600 is interlocked with the slide member 440 of the slide unit 400 to press the semiconductor module from the upper direction to the lower direction, so that the semiconductor module is completely inserted into the slot, Thereby clamping both sides of the semiconductor module. The insert unit 600 is organically coupled to the slide body unit 500 and the ejection unit 700 to guide the insert unit 600 and the ejection unit 700 to move up and down.

도 13은 도 8에 도시된 이젝트 유닛의 상세도이다. 도 7 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 이젝트 유닛(700)은 테스트 보드의 슬롯 양측에 위치하는 레버를 가압하여 슬롯에 장착된 반도체 모듈을 분리하기 위한 것으로서, 압력 전달이 가능한 프레임 구조를 갖는다. 즉, 이젝트 유닛(700)은 한 쌍의 제3 측면프레임(710)과, 제3 측면프레임(710)에 내측방향으로 돌출되게 결합되되 회전 가능하게 각각 결합되며 슬라이드 부재(440)의 제3 슬라이드 홈(443)에 위치하는 다수개의 제3 롤러(720), 및 하부에 돌출되게 각각 결합되어 반도체 모듈의 양측을 클램핑하는 레버를 가압하는 다수개의 제2 가압부재(730) 등을 갖는다. 이때, 제3 롤러(720)는 제3 슬라이드 홈(443)에 대응하는 개수와 위치에 각각 형성된다.13 is a detailed view of the eject unit shown in Fig. As shown in FIGS. 7 to 13, the eject unit 700 is for separating the semiconductor module mounted on the slot by pressing the lever located on both sides of the slot of the test board, and has a frame structure capable of transmitting pressure. The ejection unit 700 includes a pair of third side frames 710 and third side frames 710. The ejection unit 700 includes a pair of third side frames 710, A plurality of third rollers 720 located in the grooves 443 and a plurality of second pressing members 730 pressing the levers to be protruded from the bottom and clamping both sides of the semiconductor module. At this time, the third rollers 720 are formed at the positions and positions corresponding to the third slide grooves 443, respectively.

한편, 다수개의 제2 가압부재(730) 중에서 일부의 제2 가압부재(730)의 상부에는 인서트 유닛(600)의 다수개의 제2 가이드 홈(660)에 상하방향으로 슬라이드 가능하게 삽입되는 다수개의 가이드 베어링(740)이 각각 형성된다. 따라서, 이젝트 유닛(700)은 슬라이드 유닛(400)의 슬라이드 부재(440)와 연동하여 반도체 모듈의 양측을 클램핑하는 레버를 가압하여 레버에 의한 반도체 모듈의 클램핑을 해제함과 더불어 반도체 모듈을 슬롯에서 분리한다. 또한, 이젝트 유닛(700)은 슬라이드 바디 유닛(500) 및 이젝트 유닛(700)과 유기적으로 결합되어 인서트 유닛(600) 및 이젝트 유닛(700)이 상하방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.On the other hand, a plurality of second pressing members 730 are inserted into the plurality of second guide grooves 660 of the insert unit 600 so as to be slidable in the vertical direction, Guide bearings 740 are respectively formed. Accordingly, the ejecting unit 700 interlocks with the slide member 440 of the slide unit 400 to press the lever for clamping both sides of the semiconductor module, thereby releasing the clamping of the semiconductor module by the lever, Separate. The eject unit 700 is organically coupled to the slide body unit 500 and the eject unit 700 to guide the insert unit 600 and the eject unit 700 to move up and down.

도 14는 도 1에 도시된 LED 바 유닛(800)의 상세도이다. 도 1 및 도 14에 도시된 바와 같이, LED 바 유닛(800)은 바디 프레임 유닛(300)의 프레임(310) 일측에 고정되어 테스트 보드에 접속된 제어 유닛에서 제공되는 정보값에 따라 테스트 보드의 슬롯에 각각 위치하는 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 표시하는 역할을 한다. 따라서, LED 바 유닛(800)은 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 반도체 모듈의 개수만큼의 LED를 갖도록 구성된다. 즉, LED 바 유닛(800)은 바디 프레임 유닛(300)의 프레임(310) 일측에 고정되는 다수개의 고정블록(810)과, 고정블록(810)의 하단에 회전 가능하게 각각 고정하는 다수개의 LED 지지바(820)와, LED 지지바(820)의 일측면에 각각 결합되어 해당 위치의 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 표시하는 LED가 장착된 다수개의 LED 패널(830), 및 다수개의 LED 지지바(820)의 단부를 서로 연결하는 연결바(840)로 구성된다. 따라서, LED 바 유닛(800)을 통해 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 확인하기 위해서는, 고정블록(810)에 대해 LED 지지바(820)를 회전시켜 반도체 모듈의 일측에 LED를 각각 위치시켜, LED의 불빛(빨간 또는 초록)을 통해 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 확인하면 된다. Fig. 14 is a detailed view of the LED bar unit 800 shown in Fig. As shown in FIGS. 1 and 14, the LED bar unit 800 is fixed to one side of the frame 310 of the body frame unit 300, and according to the information value provided in the control unit connected to the test board, And serves to indicate whether defective or non-defective semiconductor modules are located in the slots. Thus, the LED bar unit 800 is configured to have LEDs as many as the number of semiconductor modules located in the slots of the test board. That is, the LED bar unit 800 includes a plurality of fixing blocks 810 fixed to one side of the frame 310 of the body frame unit 300, and a plurality of LEDs 810 fixed to the lower ends of the fixing blocks 810, A plurality of LED panels 830 each of which is coupled to one side of the LED support bar 820 and is equipped with LEDs indicating defective and good products of the semiconductor module at the corresponding positions, And a connecting bar 840 connecting the ends of the bars 820 to each other. Therefore, in order to check whether the semiconductor module is defective or not, the LED support bar 820 is rotated with respect to the fixing block 810 to place the LEDs on one side of the semiconductor module, (Red or green) of the semiconductor module to check whether the semiconductor module is defective or not.

도 15는 도 1에 도시된 오삽입 감지 유닛(900)의 상세도이다. 도 1 및 도 15에 도시된 바와 같이, 오삽입 감지 유닛(900)은 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 반도체 모듈의 오삽입 여부를 감지하는 역할을 한다. 예를 들어, 작업자의 실수로 인해 반도체 모듈의 앞뒤를 달리하여 슬롯에 반도체 모듈을 위치시킬 수가 있다. 그럴 경우, 정상적으로 위치하는 반도체 모듈과 대비해 그 높이가 높아지게 된다. 이 실시예의 오삽입 감지 유닛(900)은 오삽입되는 반도체 모듈의 돌출 높이를 이용해 반도체 모듈의 오삽입 여부를 감지하는 것이다. 이러한 오삽입 감지 유닛(900)은 바디 프레임 유닛(300)의 프레임(310) 일측에 회전 가능하게 결합되는 회전바(910)와, 회전바(910)의 하부쪽으로 연장하여 형성되되 오삽입된 반도체 모듈이 터치되는 길이로 연장되는 다수개의 터치바(920)와, 회전바(910)의 일측에 설치되어 회전바(910)의 회전여부를 감지하는 센서(930), 및 회전바(910)의 타측 하부에 결합되는 회전 복귀용 무게추(940)로 구성된다. 즉, 이 실시예의 오삽입 감지 유닛(900)은 반도체 모듈의 장착 작업을 위해 테스트 보드를 베이스 프레임(100)의 내측방향으로 슬라이드 이동시킴에 있어서, 터치바(920)가 터치되어 회전바(910)가 회전할 경우 이를 센서(930)가 감지하여 반도체 모듈의 오삽입을 감지하는 것이다.Fig. 15 is a detailed view of the erroneous insertion detecting unit 900 shown in Fig. As shown in FIGS. 1 and 15, the erroneous insertion detecting unit 900 detects whether the semiconductor module located in the slot of the test board is erroneously inserted. For example, due to the operator's mistake, the semiconductor module can be positioned in the slot by varying the front and back of the semiconductor module. In this case, the height of the semiconductor module is higher than that of a normally positioned semiconductor module. The erroneous insertion detecting unit 900 of this embodiment senses whether or not the semiconductor module is erroneously inserted using the protruding height of the erroneously inserted semiconductor module. The erroneous insertion detecting unit 900 includes a rotation bar 910 rotatably coupled to one side of the frame 310 of the body frame unit 300 and a rotation bar 910 extending downward from the rotation bar 910, A sensor 930 installed on one side of the rotation bar 910 for detecting whether the rotation bar 910 is rotated and a plurality of touch bars 920 extending from the rotation bar 910 And a weight 940 for rotating and returning coupled to the lower portion of the other side. That is, in the erroneous insertion detecting unit 900 of this embodiment, in sliding the test board inward of the base frame 100 for the mounting operation of the semiconductor module, when the touch bar 920 is touched and the rotary bar 910 The sensor 930 senses the erroneous insertion of the semiconductor module.

아래에서는 앞서 설명한 바와 같이 이 실시예의 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치의 작동관계에 대해 설명한다. Hereinafter, the operating relationship of the insert and the ejecting apparatus of the semiconductor module of this embodiment will be described as described above.

도 16은 도 10에 도시된 슬라이드 부재의 이동에 따른 각 롤러의 위치별 인서트 유닛 및 이젝트 유닛의 작동에 따른 반도체 모듈의 장착 및 분리 상태를 도시한 개략도이다. 도 1 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 반도체 테스트 장비를 이용해 반도체 모듈의 불량 여부를 검사하고자 할 경우에는, 작업자가 테스트 보드의 슬롯에 반도체 모듈을 각각 위치시킨다. 이 상태의 테스트 보드를 TB 가이드 레일 유닛(200)의 상부에 위치시킨 상태에서 바디 프레임 유닛(300)의 내측방향으로 밀어 넣는다. 이때, 다수개의 반도체 모듈 중에서 앞뒤가 바뀐 반대방향으로 반도체 모듈이 소켓에 위치할 경우에는 상술한 오삽입 감지 유닛(900)에 의해 감지된다. 이상이 없을 경우에는 테스트 보드를 작업을 위한 위치까지 삽입한다.16 is a schematic view showing the mounting and dismounting state of the semiconductor module according to the operation of the insert unit and the eject unit according to the positions of the respective rollers according to the movement of the slide member shown in Fig. As shown in FIGS. 1 to 16, when inspecting the semiconductor module for defects using the semiconductor test equipment, the operator places the semiconductor modules in the slots of the test board. The test board in this state is pushed inward of the body frame unit 300 while being positioned on the upper part of the TB guide rail unit 200. At this time, when the semiconductor module is located in the socket in a direction opposite to the front and back of the plurality of semiconductor modules, the semiconductor module is detected by the erroneous insertion detecting unit 900 described above. If there is no abnormality, insert the test board to the position for work.

그런 다음, 반도체 모듈을 장착하기 위한 제어버튼을 눌러 제어 유닛을 통해 한 쌍의 실린더(410)를 작동시킨다. 그러면, 실린더가 작동하여 제1, 제2, 제3 슬라이드 홈(441, 442, 443)의 거의 중앙의 중립구간(중립위치)(도 16의 2번 위치)에 위치하던 각각의 제1, 제2, 제3 롤러(530, 620, 720)가 도 16의 우측으로 점점 이동하여 제일 우측에 위치(도 16의 1번 위치)하게 된다. 즉, 슬라이드 부재(440)가 도면의 좌측으로 점진적으로 이동함에 따라, 제1, 제3 롤러(530, 720)는 제1, 제3 슬라이드 홈(441, 443)을 따라 상대적으로 각각 수평 이동하기 때문에 별다른 작동의 변화가 발생하지 않는다. 하지만, 제2 롤러(620)는 제2 슬라이드 홈(442)을 따라 상대적으로 하향 경사각으로 이동한다. 즉, 인서트 유닛(600)이 점진적으로 하부방향으로 이동하여 제1 가압부재(630)를 통해 반도체 모듈의 상단을 상부에서 하부방향으로 가압한다. 그로 인해, 반도체 모듈이 슬롯에 완전 삽입되고 슬롯 양측에 위치하는 레버에 의해 반도체 모듈의 양측이 클램핑된다. 즉, 인서트 유닛(600)의 한번의 작동을 통해 다수개의 반도체 모듈을 해당 슬롯에 동시에 편리하게 장착할 수가 있다. Then, a control button for mounting the semiconductor module is pressed to actuate the pair of cylinders 410 through the control unit. Then, the cylinder is operated to move the first, second, and third slide grooves 441, 442, and 443, which are located in the neutral section (neutral position) (second position in FIG. 16) 2 and the third rollers 530, 620 and 720 move to the right side of FIG. 16 and move to the rightmost position (position 1 in FIG. 16). That is, as the slide member 440 gradually moves to the left side of the drawing, the first and third rollers 530 and 720 move relatively horizontally along the first and third slide grooves 441 and 443, Therefore, no significant change in operation occurs. However, the second roller 620 moves along the second slide groove 442 at a relatively downward inclination angle. That is, the insert unit 600 gradually moves downward and presses the upper end of the semiconductor module through the first pressing member 630 from the upper direction to the lower direction. As a result, the semiconductor module is fully inserted into the slot and both sides of the semiconductor module are clamped by levers located on both sides of the slot. That is, a plurality of semiconductor modules can be conveniently and simultaneously inserted into corresponding slots through a single operation of the insert unit 600.

한편, 반도체 테스트 장비를 이용해 불량여부가 확인된 반도체 모듈을 테스트 보드의 슬롯에서 분리하고자 할 경우에는, 테스트 보드를 TB 가이드 레일 유닛(200)의 상부에 위치시킨 상태에서 바디 프레임 유닛(300)의 내측방향으로 밀어 넣는다. 그런 다음, 반도체 모듈을 분리하기 위한 제어버튼을 눌러 제어 유닛을 통해 한 쌍의 실린더(410)를 작동시킨다. 그러면, 실린더가 작동하여 제1, 제2, 제3 슬라이드 홈(441, 442, 443)의 거의 중앙의 중립구간(중립위치)(도 16의 2번 위치)에 위치하던 각각의 제1, 제2, 제3 롤러(530, 620, 720)가 도 16의 좌측으로 점점 이동하여 제일 좌측에 위치(도 16의 3번 위치)하게 된다. 즉, 슬라이드 부재(440)가 도면으로 우측으로 점진적으로 이동함에 따라, 제1 롤러(530)는 제1 슬라이드 홈(441)을 따라 상대적으로 수평 이동하기 때문에 별다른 작동의 변화가 발생하지 않고, 제2 롤러(620)는 제2 슬라이드 홈(442)을 따라 상대적으로 하향 경사각으로 조금 이동하다가 수평 이동하기 때문에 약간의 변화가 발생한다. 즉, 인서트 유닛(600)이 하부방향으로 조금 이동하여 제1 가압부재(630)가 반도체 모듈의 상단에 밀착되어 반도체 모듈이 움직이지 않도록 지탱한다. Meanwhile, in order to separate the semiconductor module, which has been confirmed to be defective by using the semiconductor test equipment, from the slot of the test board, the test board is placed on the TB guide rail unit 200, Push inward. Then, a control button for separating the semiconductor module is pressed to actuate the pair of cylinders 410 through the control unit. Then, the cylinder is operated to move the first, second, and third slide grooves 441, 442, and 443, which are located in the neutral section (neutral position) (second position in FIG. 16) 2 and the third rollers 530, 620 and 720 move to the left side of FIG. 16 and move to the leftmost position (position 3 in FIG. 16). That is, since the first roller 530 moves relatively horizontally along the first slide groove 441 as the slide member 440 is gradually moved to the right in the drawing, no significant change in operation occurs, The second roller 620 moves slightly along the second slide groove 442 at a relatively downward inclination angle, and then moves horizontally, so that a slight change occurs. That is, the insert unit 600 slightly moves downward, and the first pressing member 630 is brought into close contact with the upper end of the semiconductor module so that the semiconductor module is not moved.

하지만, 제3 롤러(720)는 제3 슬라이드 홈(443)을 따라 상대적으로 하향 경사각으로 이동한다. 즉, 이젝트 유닛(700)이 점진적으로 하부방향으로 이동하여 제2 가압부재(730)를 통해 반도체 모듈의 양측을 클램핑하는 레버를 가압하여 레버에 의한 반도체 모듈의 클램핑을 해제함과 더불어 반도체 모듈을 슬롯에서 분리한다. 이렇게 반도체 모듈에 대한 레버의 클램핑이 해제되더라도 인서트 유닛(600)의 제1 가압부재(630)가 반도체 모듈의 상단에 밀착되기 때문에 반도체 모듈은 슬롯의 정위치에 위치하게 된다. 이렇듯, 이젝트 유닛(700)의 한번의 작동을 통해 다수개의 반도체 모듈을 해당 슬롯에 동시에 편리하게 분리할 수 있다.However, the third roller 720 moves along the third slide groove 443 at a relatively downward inclination angle. That is, the ejection unit 700 gradually moves downward and presses the lever, which clamps both sides of the semiconductor module through the second pressing member 730, to release the clamping of the semiconductor module by the lever, Remove it from the slot. Even if the lever is not clamped to the semiconductor module, the first pressing member 630 of the insert unit 600 is brought into close contact with the upper end of the semiconductor module, so that the semiconductor module is positioned in the correct position of the slot. As described above, a plurality of semiconductor modules can be conveniently and simultaneously separated into corresponding slots through a single operation of the eject unit 700.

상기와 같은 이젝트 과정이 완료되면 테스트 보드를 바디 프레임 유닛(300)의 바깥쪽으로 슬라이드 이동시킨다. 이 상태에서 LED 바 유닛(800)을 통해 각 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 확인한다. 즉, LED 바 유닛(800)의 고정블록(810)에 대해 LED 지지바(820)를 회전시켜 반도체 모듈의 일측에 LED를 각각 위치시켜, LED의 불빛(빨간 또는 초록)을 통해 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 확인하면 된다. 그런 다음, 작업자가 슬롯의 반도체 모듈을 집어내 테스트 보드 밖으로 인출하되 불량품과 양품을 구별해 인출하면 된다. When the above-described ejection process is completed, the test board is slid to the outside of the body frame unit 300. In this state, the LED bar unit 800 confirms whether each semiconductor module is defective or not. That is, the LED support bar 820 is rotated with respect to the fixing block 810 of the LED bar unit 800 to position the LEDs on one side of the semiconductor module, and the defective (or non-defective) And whether it is good or not. Then, the operator picks up the semiconductor module of the slot, draws it out of the test board, and distinguishes defective and good products and draws out.

이상에서 이 발명의 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치에 대한 기술사항을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 이 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이다. 따라서, 이 발명이 상기에 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 이 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하므로, 그러한 변형예 또는 수정예들 또한 이 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.While the invention has been described with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Examples or modifications will also fall within the scope of the claims of this invention.

100 : 베이스 프레임 200 : TB 가이드 레일 유닛
300 : 바디 프레임 유닛 400 : 슬라이드 유닛
500 : 슬라이드 바디 유닛 600 : 인서트 유닛
700 : 이젝트 유닛 800 : LED 바 유닛
900 : 오삽입 감지 유닛
100: Base frame 200: TB Guide rail unit
300: Body frame unit 400: Slide unit
500: slide body unit 600: insert unit
700: eject unit 800: LED bar unit
900: O insertion detection unit

Claims (10)

다수열과 행으로 정렬된 다수개의 소켓과 상기 소켓의 양측에 각각 위치하는 다수개의 레버를 갖는 테스트 보드의 상기 다수개의 소켓에 각각 위치할 다수개의 반도체 모듈을 상기 다수개의 소켓에 동시에 장착하거나 분리하기 위한 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치로서,
상기 다수개의 반도체 모듈의 상단을 동시에 가압하여 상기 반도체 모듈을 상기 소켓에 각각 삽입 고정하고 상기 레버로 양측을 각각 클램핑 하도록 하는 인서트 유닛과,
상기 다수개의 레버의 상단을 동시에 가압하여 상기 레버로 인한 상기 반도체 모듈의 클램핑을 해제함과 더불어 상기 소켓으로부터 분리되도록 하는 이젝트 유닛과,
상기 인서트 유닛 및 상기 이젝트 유닛에 동력을 동시에 제공하며 상기 동력에 따라 슬라이드 이동하면서 상기 인서트 유닛 및 상기 이젝트 유닛을 상하방향으로 이동시켜 상기 반도체 모듈을 상기 소켓에 장착하거나 분리하는 슬라이드 유닛, 및
상기 유닛들을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
A test board having a plurality of sockets arranged in a plurality of rows and rows and a plurality of levers located on both sides of the socket, the plurality of semiconductor modules to be respectively placed in the plurality of sockets, An insert and an ejecting apparatus for a semiconductor module,
An insert unit for simultaneously pressing the upper ends of the plurality of semiconductor modules, inserting and fixing the semiconductor modules into the socket respectively, and clamping both sides with the levers,
An eject unit for releasing clamping of the semiconductor module due to the lever by pressing the upper ends of the plurality of levers at the same time,
A slide unit that simultaneously supplies power to the insert unit and the eject unit and moves the insert unit and the eject unit in a vertical direction while slidingly moving the insert unit and the eject unit to attach or separate the semiconductor module to or from the socket;
And a control unit for controlling the units. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
청구항 1에 있어서,
상기 인서트 유닛, 상기 이젝트 유닛 및 상기 슬라이드 유닛을 지지하는 바디 프레임 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a body frame unit for supporting the insert unit, the eject unit, and the slide unit.
청구항 2에 있어서,
상기 슬라이드 유닛은 서로 간에 마주보게 직렬로 배치되어 동력을 제공하는 한 쌍의 실린더와, 상기 한 쌍의 실린더의 로드를 서로 연결하는 블록과, 상기 블록의 하부 결합되며 상기 한 쌍의 실린더와 직교방향으로 연장되는 연결부재, 및 상기 연결부재의 양단부에 각각 결합되며 상기 한 쌍의 실린더와 평행하게 배치되는 한 쌍의 슬라이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 2,
The slide unit includes a pair of cylinders disposed in series to face each other to provide power, a block that connects the rods of the pair of cylinders with each other, And a pair of slide members respectively coupled to both ends of the connecting member and arranged in parallel with the pair of cylinders.
청구항 3에 있어서,
상기 바디 프레임 유닛에 고정되어 상기 슬라이드 유닛의 한 쌍의 실린더를 고정하고 상기 한 쌍의 슬라이드 부재가 좌우방향으로 슬라이드 이동하도록 가이드 하는 슬라이드 바디 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 3,
Further comprising a slide body unit fixed to the body frame unit for fixing a pair of cylinders of the slide unit and guiding the pair of slide members to slide in the left and right direction. Device.
청구항 4에 있어서,
상기 슬라이드 부재는 3열의 다수개의 슬라이드 홈을 구비하며,
상부열의 슬라이드 홈은 수평방향으로 형성되어 상기 슬라이드 바디 유닛을 구성하는 롤러를 따라 이동하고,
중간열의 슬라이드 홈은 일측에서 타측으로 일정 수평구간을 갖다가 상향 경사진 후 다시 수평구간을 가진 후 하향 경사진 다음 다시 수평구간을 갖는 캠 구조로 형성되어 상기 인서트 유닛을 구성하는 롤러를 따라 이동하며,
하부열의 슬라이드 홈은 일측에서 타측으로 일정 수평구간을 갖다가 상향 경사진 후 다시 수평구간을 갖는 캠 구조로 형성되어 상기 이젝트 유닛을 구성하는 롤러를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 4,
Wherein the slide member has a plurality of slide grooves in three rows,
The slide groove of the upper row is formed in the horizontal direction and moves along the roller constituting the slide body unit,
The slide groove of the middle row has a certain horizontal section from one side to the other side and is inclined upward, and thereafter is again formed into a cam structure having a horizontal section and then a downwardly inclined section and then a horizontal section again so as to move along the rollers constituting the insert unit ,
Wherein the slide groove of the lower row is formed as a cam structure having a horizontal section from one side to the other side and then inclined upwardly and then again a horizontal section to move along the roller constituting the ejection unit. Device.
청구항 5에 있어서,
상기 중간열의 슬라이드 홈의 상향 경사구간은 상기 이젝트 유닛을 통한 상기 반도체 모듈의 분리시에 상기 반도체 모듈의 상단에 밀착되어 상기 반도체 모듈이 움직이지 않도록 지탱할 수 있도록 상기 인서트 유닛이 하부방향으로 이동하는 이동거리를 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 5,
The upward inclined section of the slide groove of the intermediate row is brought into close contact with the upper end of the semiconductor module at the time of detaching the semiconductor module through the eject unit to move the insert unit in a downward direction Wherein the distance between the first and second surfaces of the semiconductor module is greater than the distance between the first surface and the second surface.
청구항 6에 있어서,
상기 한 쌍의 실린더의 정지위치를 제어하기 위한 3개의 실린더 센서와 솔레노이드 밸브를 더 포함하며,
상기 한 쌍의 실린더의 정지위치는 상기 제어 유닛에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 6,
Further comprising three cylinder sensors and a solenoid valve for controlling the stop positions of the pair of cylinders,
Wherein the stop positions of the pair of cylinders are controlled by the control unit.
청구항 1에 있어서,
상기 인서트 유닛은 하부로 돌출되게 각각 결합되되 스프링이 사이에 위치한 상태로 결합되어 상기 다수개의 반도체 모듈의 상단을 가압하는 다수개의 가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the insert unit comprises a plurality of pressing members which are respectively coupled to the lower portions so as to protrude downwardly and which are coupled with each other with the springs positioned therebetween to press the upper ends of the plurality of semiconductor modules.
청구항 2에 있어서,
상기 바디 프레임 유닛의 프레임 일측에 고정되어 상기 테스트 보드에 접속되는 상기 제어 유닛에서 제공되는 정보값에 따라 상기 테스트 보드의 슬롯에 각각 위치하는 반도체 모듈의 불량품 및 양품 여부를 각각 표시하는 LED 바 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 2,
An LED bar unit which is fixed to one side of a frame of the body frame unit and displays defect and non-defectiveness of semiconductor modules respectively located in slots of the test board according to information values provided by the control unit connected to the test board Further comprising: an insert and an ejecting device for the semiconductor module.
청구항 2에 있어서,
상기 테스트 보드의 슬롯에 위치하는 반도체 모듈의 오삽입 여부를 감지하는 오삽입 감지 유닛을 더 포함하며,
상기 오삽입 감지 유닛은 상기 바디 프레임 유닛의 플레임 일측에 회전 가능하게 결합되는 회전바와, 상기 회전바의 하부쪽으로 연장하여 형성되되 오삽입된 반도체 모듈이 터치되는 길이로 연장되는 다수개의 터치바와, 상기 회전바의 일측에 설치되어 상기 회전바의 회전여부를 감지하는 센서, 및 상기 회전바의 타측 하부에 결합되는 회전 복귀용 무게추를 포함하는 것을 특징으로 반도체 모듈의 인서트 및 이젝트 장치.
The method of claim 2,
Further comprising an erroneous insertion detecting unit for detecting whether the semiconductor module located in the slot of the test board is erroneously inserted,
Wherein the erroneous insertion detecting unit includes: a rotating bar rotatably coupled to one side of the frame of the body frame unit; a plurality of touch bars extending to a lower side of the rotating bar and extending to a length in which the inserted semiconductor module is touched; A sensor installed at one side of the rotary bar for detecting whether the rotary bar is rotated; and a weight for returning rotation coupled to a lower portion of the other side of the rotary bar.
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