KR101842162B1

KR101842162B1 - 롤 이물질제거장치

Info

Publication number: KR101842162B1
Application number: KR1020160128469A
Authority: KR
Inventors: 이용현
Original assignee: 주식회사 포스코
Priority date: 2016-10-05
Filing date: 2016-10-05
Publication date: 2018-05-14

Abstract

본 발명은 롤 이물질제거장치에 관한 것으로서, 소둔로 내부에 배치되는 케이스; 상기 소둔로 외부에 배치되는 냉각기; 상기 케이스와 상기 냉각기 사이에 배치되는 공급배관; 및 상기 공급 배관의 단부에 배치되는 노즐을 포함하며, 상기 냉각기에 의해 냉각된 가스는 상기 노즐을 통해 이물질이 부착된 롤의 표면에 분사될 수 있다. 이에 따라, 소둔설비 가동중에, 롤의 탈거없이 비접촉 방식으로 롤에 부착된 이물질을 제거할 수 있다.

Description

롤 이물질제거장치{Apparatus for removing alien materials of hearth roll}

본 발명은 롤 이물질제거장치에 관한 것이다. 좀 더 상세하게는, 소둔설비의 가동중에 허스롤 표면에 부착된 이물질을 비접촉으로 제거하는 롤 이물질제거장치에 관한 것이다.

일반적으로, 냉연 공정에서는 냉간 압연된 강판을 가공성을 향상하기 위하여 소둔설비의 소둔로 내에서 760 ~ 850도로 강판을 소둔을 실시하게 된다.

소둔작업에 사용되는 소둔로는 배치형과 연속식으로 구분되는 데 현재는 대량생산을 위한 연속식 소둔로가 주로 사용되고 있다.

도 1은 연속 소둔설비를 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하여 살펴보면, 냉연강판 제조 공정에서 냉간압연기(Reverse Cold Mill, RCM)(11)에 의해 냉간압연된 강판(strip)은 되풀림장치(Pay Off Reel)(12)에 의해 되풀림된 후 용접기(welder)(13)에 의해 용접된다.

다음으로, 강판은 전해청정설비(Electrolytic Cleaning Line, ECL)(14)를 거쳐 오염물질이 제거된 후, 연속 소둔설비(Continuous Annealing Line, CAL)(16)의 입측 ELT(Entry Looping Tower, 15)에서 용접 시간 확보를 위해 잠시 대기한다. 즉, 강판은 연속 소둔설비(16) 입측에서 강판을 용접하는 동안 ELT(15) 내에 일정 기간 머무른다. ELT(15) 내 상부 캐리지(carrage)는 상하로 이동하면서 ELT(15) 내 강판 저장량을 조정하여 연속 소둔설비(16) 입측으로 강판을 공급한다.

강판은 연속 소둔설비(16)를 통과하면서 연속 소둔공정을 거치게 된다.

연속 소둔설비(16)의 소둔로는 예열대(Pre Heating Section, PHS)(21), 가열대(Heating Section, HS)(22), 균열대(Soaking Section, SS)(23) 등을 포함하는 가열 구역과, 서냉대(Slow Cooling Section, SCS)(24), 급냉대(Rapid Cooling Section, RCS)(25), 과시효대(Over Aging Section, OAS)(26), 최종 냉각대(Final Cooling Section, FCS)(27) 등을 포함하는 냉각 구역으로 구분될 수 있다.

예열대(21)는 소둔로의 입측으로 입력되는 강판을 가열대(22)에서 연료 연소로 발생하는 배가스를 이용하여 예열하고, 가열대(22)는 예열대(21)를 통과한 강판을 연료 연소를 통해 직접 가열하여 승온시킨다.

가열대(22)를 통과한 강판은 이후 균열대(23)에서 일정한 온도로 균열 처리되고, 서냉대(24)를 통과하면서 분위기 가스의 순환 냉각을 통해 서냉된다.

또한, 서냉대(24)를 통과한 강판은 급냉대(25)에서 주 가스젯, 쿨링롤, 보조가스젯 등에 의해 급냉되고, 과시효대(26)에서 과시효 처리되어 최종 냉각대(27)에서 최종 냉각된다.

한편, 연속 소둔설비(16)를 통과한 후의 강판은 권취기(Tension Reel, TR)(20)에서의 권취시간 확보를 위해 DLT(Delivery Looping Tower, 17)에 소정 시간 머무른다.

다음으로, 강판은 조질압연기(skin pass mill, SPM)(18)를 통해 조질압연되고, 절단기(19)를 통해 용접부위가 다시 절단된 후 권취기(20)에서 제품별로 권취된다.

즉, 연속 소둔공정은 열간 압연시 형성된 가공조직을 재결정시켜 내부응력을 제거함으로서 냉간가공을 용이하게 하고, 또한 열간 압연시 형성된 탄화물을 고용시켜 내식성을 확보하고, 탈 스케일성을 향상시킴을 목적으로 한다.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 연속 소둔 작업시 스트립 표면에서 박리된 이물질(스케일)이 노내 와류 및 역류현상으로 소둔로 내부의 롤 표면에 부착되는 현상이 발생하게 된다.

고온으로 가열된 롤에 부착된 스케일은 스트립에 접촉하면서 세라믹 롤 표면에 완전히 고착되어 스트립 표면에 흠(Dent)을 발생시키게 되고 스트립 표면 품질에 악영향을 끼치게 되는 문제점이 있다.

이러한 문제점 발생시 롤을 소둔로에서 완전히 탈거시킨 후 롤에 부착되어 있던 스케일이나 이물질, 칩 등을 박리시켜야 한다. 이때, 작업자는 와이어브러쉬나 샌드 페이퍼 등을 이용하여 롤 표면에 있는 각종 스케일이나 이물질을 제거하게 된다.

그러나 상기한 종래기술은 작업자가 롤 표면을 청소하는 데 많은 시간이 소요되어 생산성이 현저하게 저하되고, 또 다른 롤의 오염을 야기시켜 롤의 직경 축소로 인해 롤 수명이 단축되는 문제점이 있다.

또한, 롤의 탈거와 장입에 걸리는 시간이 많이 소요되기 때문에, 노내부의 분위기 온도가 헌팅되는 주원인이 되며, 이로 인해 스트립 표면에 곰보, 소둔스케일과 같은 품질 불량을 초래하게 된다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 소둔설비 가동중에, 롤의 탈거없이 비접촉 방식으로 롤에 부착된 이물질을 제거하는 롤 이물질제거장치를 제공한다.

이물질이 부착된 허스롤에 냉각된 가스를 분사하여 허스롤과 이물질 간의 열팽창 계수 차이 및 가스의 분사력을 통해 허스롤에 부착된 이물질을 제거하는 롤 이물질제거장치를 제공한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따라, 대상 설비의 내부에 배치되는 케이스; 상기 소둔로 외부에 배치되는 냉각기; 상기 케이스와 상기 냉각기 사이에 배치되는 공급배관; 및 상기 공급 배관의 단부에 배치되는 노즐을 포함하며, 상기 냉각기에 의해 냉각된 가스는 상기 노즐을 통해 이물질이 부착된 롤의 표면에 분사되는 롤 이물질제거장치에 의해 달성된다.

또한, 상기 롤 이물질제거장치는 상기 노즐을 통해 분사되는 냉각된 가스가 순환되도록 상기 케이스와 상기 냉각기 사이에 배치되는 흡입배관과 상기 흡입배관에 배치되는 펌프를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 공급배관과 상기 흡입배관은 단열처리될 수 있다.

또한, 상기 케이스는 상기 롤의 일측을 감싸도록 배치되는 케이스 본체와 상기 케이스 본체의 일측에 배치되는 이물질받이부를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 케이스 본체는 상기 롤의 상부에 배치되며, 상기 케이스 본체의 일측에 돌출되게 배치되는 상기 이물질받이부에는 탈락된 이물질이 자중에 의해 쌓일 수 있다.

한편, 상기 대상 설비는 소둔로로 제공되고, 상기 롤은 상기 소둔로 내부에 배치되는 허스롤로 제공되어 적어도 상기 허스롤과 상기 허스롤에 부착된 이물질 간의 열팽창 계수 차이를 매개로 상기 허스롤에 부착된 이물질을 제거하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 가스는 질화수소로 제공될 수 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 롤 이물질제거장치는 소둔설비 가동중에, 롤의 탈거없이 비접촉 방식으로 롤에 부착된 이물질을 제거할 수 있다.

그에 따라, 롤에 부착된 이물질 제거시 롤이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소둔설비 가동중에 롤에 부착된 이물질을 제거하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

이때, 상기 롤 이물질제거장치는 이물질이 부착된 허스롤에 냉각된 가스를 분사하여 허스롤과 이물질 간의 열팽창 계수 차이를 통해 허스롤로부터 이물질을 박리시킬 수 있다.

또한, 가스의 분사력을 통해 허스롤에 부착된 이물질을 제거할 수 있다.

또한, 흡입배관을 배치하여 냉각된 가스를 순환시키는 구조를 구현할 수 있다.

또한, 공급배관과 흡입배관을 단열처리하여 고온의 소둔로 내부의 열에 의해 냉각된 가스가 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 연속 소둔설비를 나타내는 도면이고,
도 2는 롤에 부착된 이물질을 나타내는 도면이고,
도 3은 소둔로의 롤 사이에 배치되는 레일을 나타내는 도면이고,
도 4는 롤에 냉각된 가스가 분사됨에 따라, 롤에 부착된 이물질이 제거되는 메커니즘을 나타내는 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된될 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

실시 예의 설명에 있어서, 어느 한 구성요소가 다른 구성요소의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 구성요소가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 구성요소가 상기 두 구성요소 사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 '상(위) 또는 하(아래)(on or under)'로 표현되는 경우 하나의 구성요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 2 내지 도 4를 참조하여 살펴보면, 본 발명의 일실시예에 따른 롤 이물질제거장치(1)는 대상 설비인 소둔로(2)에 배치되는 롤(3)에 부착된 이물질(4)을 비접촉 방식으로 제거할 수 있다. 여기서, 이물질(4)은 연속 소둔 작업시 스트립 표면에서 박리되어 노내 와류 및 역류현상으로 롤(3) 표면에 부착되는 스케일일 수 있다. 그리고, 상기 스케일은 실리콘(Si), 망간(Mn) 등을 함유하는 산화물일 수 있다.

한편, 롤(3)은 소둔로(2) 내부에 배치되는 허스롤(Hearth Roll)일 수 있다. 여기서, 허스롤(3)은 스트립을 소둔로(2) 내에서 이송시키는데 이용되는 롤로서 복수 개가 소둔로(2) 내부에 배치될 수 있다. 특히, 소둔로(2) 내부에는 고온상태이기 때문에, 허스롤(3)은 고온 특성에 맞도록 설계되어야 한다.

상기 롤 이물질 제거장치(1)는 소둔로(2) 내부에 배치되는 케이스(100), 상기 소둔로(2) 외부에 배치되는 냉각기(200), 케이스(100)와 냉각기(200) 사이에 배치되는 공급배관(300) 및 공급배관(300)의 단부에 배치되는 노즐(400)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 롤 이물질 제거장치(1)는 케이스(100)와 냉각기(200) 사이에 배치되는 흡입배관(500)과 흡입배관(500)에 배치되는 펌프(600)를 포함할 수 있다.

그에 따라, 상기 롤 이물질제거장치(1)는 공급배관(300) 및 흡입배관(500)을 이용하여 냉각된 가스를 순환시키는 구조를 구현할 수 있다.

케이스(100)는 소둔로(2) 내부에 배치될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 케이스(100)는 허스롤(3)의 상부에 배치될 수 있다. 그리고, 케이스(100)에는 공급배관(300)과 흡입배관(500) 각각의 일측이 배치될 수 있다.

도 3을 참조하여 살펴보면, 케이스(100)는 허스롤(3)의 일측을 감싸도록 배치되는 케이스 본체(110)와 케이스 본체(110)의 일측에 배치되는 이물질받이부(120)를 포함할 수 있다.

케이스 본체(110)는 일측에 개구가 형성된 통 형상으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 개구를 통해 허스롤(3)의 일 영역이 케이스 본체(110) 내부에 배치될 수 있다.

케이스 본체(110)는 노즐(400)을 통해 분사되는 가스가 흡입배관(500)을 통해 흡입되도록 상기 가스를 안내할 수 있다.

즉, 케이스 본체(110)는 통 형상으로 형성되고, 상기 개구에는 허스롤(3)의 일 영역이 배치되기 때문에, 노즐(400)을 통해 분사되는 가스는 소둔로(2) 내부로 유출되는 것을 최소화할 수 있다.

노즐(400)을 통해 분사되는 가스에 의해 허스롤(3)에 부착된 이물질(4)이 탈락될 수 있다. 이때, 탈락된 이물질(4)은 이물질받이부(120)에 쌓이게 된다. 그리고, 유지보수시, 이물질받이부(120)에 쌓인 이물질(4)은 제거될 수 있다.

여기서, 이물질받이부(120)는 케이스 본체(110)에서 노즐(400)을 향해 돌출되게 형성될 수 있다.

그리고, 이물질받이부(120)는 소정의 각도로 상방을 향해 경사지게 형성될 수 있다.

예컨데, 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐(400)은 케이스(100) 내부의 일측에 배치되어 허스롤(3)의 표면에 상기 가스를 분사한다. 그리고, 탈락된 이물질(4)은 상기 가스의 분사력과 흡입배관(500)을 통해 형성되는 흡입력에 의해 케이스(100) 내부의 타측으로 이동하게 된다. 그에 따라, 케이스(100) 내부의 타측쪽에 배치되는 이물질받이부(120)에 이물질(4)은 쌓이게 된다.

즉, 상기 가스의 분사력에 의해 탈락된 이물질(4)은 케이스(100) 내부의 타측으로 이동하게 되고, 탈락된 이물질(4)은 자중에 의해 이물질받이부(120)에 쌓이게 된다.

냉각기(200)는 소둔로(2) 외부에 배치될 수 있다. 즉, 냉각기(200)를 소둔로(2) 외부에 배치하여, 냉각기(200)가 소둔로(2) 내부의 고온에 의해 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.

냉각기(200) 내부로 공급되는 가스를 냉각시킨다.

예컨데, 냉각기(200)는 냉매가 이동하는 냉각배관(210)을 이용하여 냉각기 내부에 공급되는 가스를 냉각시킬 수 있다. 그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 가스공급장치(700)는 냉각기(200) 내부로 가스를 공급할 수 있다.

여기서, 상기 가스로는 소둔로(2) 내부의 분위기 가스와 동일한 조성을 갖는 질화수소(HN)가 사용될 수 있다.

그리고, 냉각된 상기 가스는 공급배관(300)을 통해 소둔로(2) 내부로 이송된다. 여기서, 공급배관(300)은 단열 처리가 될 수 있다. 그에 따라, 소둔로(2) 내부의 고열로부터 냉각된 상기 가스가 가열되지 않게 한다.

노즐(400)은 공급배관(300)의 단부에 배치될 수 있다. 이때, 노즐(400)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 케이스 본체(110) 내부에 배치되되, 허스롤(3) 표면을 향해 상기 가스를 분사하도록 배치될 수 있다.

즉, 냉각된 상기 가스는 노즐(400)을 통해 허스롤(3)의 폭방향으로 균일하게 분사될 수 있다. 그에 따라, 냉각된 상기 가스는 허스롤(3) 표면에 부착된 이물질(4)를 제거할 수 있다.

도 4는 롤에 냉각된 가스가 분사됨에 따라, 롤에 부착된 이물질이 제거되는 메커니즘을 나타내는 도면이다.

좀 더 상세하게는, 도 4의 (a)는 허스롤(3)의 표면에 부착 및 성장하는 이물질을 나타내는 도면이고, 도 4의 (b)는 허스롤(3)과 이물질을 냉각하여 열축소에 의해 탈락되는 이물질을 나타내는 도면이고, 도 4의 (c)는 상기 가스의 분사력에 의해 이동하는 이물질을 나타내는 도면이다.

도 4의 (a)를 참조하여 살펴보면, 소둔로(2) 내부를 떠다니던 스케일은 허스롤(4)의 표면에 부착되고 성장하게 된다.

도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 롤 이물질제거장치(1)는 냉각된 가스를 노즐(400)을 통해 분사하여 허스롤(3)과 이물질(4)을 냉각할 수 있다. 허스롤(3)과 이물질(4)은 열 팽창계수가 상이하기 때문에, 허스롤(3)과 이물질(4)은 냉각에 의해 열축소되고, 그에 따라, 이물질(4)은 허스롤(3)로부터 탈락된다.

도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 가스의 분사력에 의해 탈락된 이물질(4)은 상기 가스의 분사력에 의해 이동된 후, 이물질받이부(120)에 쌓이게 된다.

흡입배관(500)은 케이스(100)와 냉각기(200) 사이에 배치된다. 그에 따라, 흡입배관(500)은 노즐(400)을 통해 분사되는 냉각된 가스가 냉각기(200)로 순환되게 한다.

여기서, 흡입배관(500)은 단열 처리가 될 수 있다. 그에 따라, 흡입배관(500)을 통해 순환되는 가스가 소둔로(2) 내부의 고열로부터 가열되지 않게 한다.

펌프(600)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 흡입배관(500)에 배치될 수 있다.

펌프(600)는 케이스(100) 내부에 흡입력을 발생시키고, 흡입배관(500)을 통해 상기 가스가 냉각기(200)로 순환되게 한다.

한편, 상기 롤 이물질제거장치(1)는 주기적으로 구동될 수 있다. 그에 따라, 허스롤(3) 표면에 부착된 이물질(4)을 제거되기 때문에, 허스롤(3) 표면의 조도가 확보될 수 있다. 이에, 초고강도강(AHSS)의 연속 생산에 긍정적인 역할을 하여 CAL 혹은 CGL의 생산성 및 품질 극대화할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 수정과 변경에 관계된 차이점들을 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1 : 롤 이물질제거장치
2 : 소둔로 3 : 롤
4 : 이물질
100 : 케이스 200 : 냉각기
300 : 공급배관 400 : 노즐
500 : 흡입배관 600 : 펌프
700 : 가스공급장치

Claims

소둔로의 내부에 배치되어 롤의 일측을 감싸도록 배치되는 케이스;
상기 소둔로 외부에 배치되는 냉각기;
상기 케이스와 상기 냉각기의 사이에 배치되는 공급배관;
상기 공급 배관의 단부에 배치되는 노즐; 및
상기 케이스와 상기 냉각기 사이에 배치되는 흡입배관과 상기 흡입배관에 배치되는 펌프를 포함하며,
상기 노즐은 상기 케이스 내부에 배치되어 이물질이 부착된 상기 롤의 표면에 상기 냉각기에 의해 냉각된 가스를 분사하고,
상기 노즐에 의해 분사된 가스는 상기 흡입배관과 상기 펌프에 의해 흡입되어 상기 냉각기로 순환되며,
상기 케이스는 상기 롤의 상부에 배치되는 롤 이물질제거장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 공급배관과 상기 흡입배관은 단열처리되는 롤 이물질제거장치.
제1항에 있어서,
상기 케이스는
상기 롤의 일측을 감싸도록 배치되는 케이스 본체와 상기 케이스 본체의 일측에 배치되는 이물질받이부를 포함하는 롤 이물질제거장치.
제4항에 있어서,
상기 케이스 본체는 상기 롤의 상부에 배치되며,
상기 케이스 본체의 일측에 돌출되게 배치되는 상기 이물질받이부에는 탈락된 이물질이 자중에 의해 쌓이는 롤 이물질제거장치.
제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 롤은 상기 소둔로 내부에 배치되는 허스롤로 제공되며,
상기 소둔로 내부에서 고온으로 가열된 상기 허스롤과 상기 허스롤에 부착된 이물질 간의 열팽창 계수 차이를 매개로 상기 허스롤에 부착된 이물질을 제거하도록 구성된 롤 이물질제거장치.
제1항에 있어서,
상기 가스는 질화수소로 제공되는 롤 이물질제거장치.