KR101841544B1 - 레이저 가공용 워크 테이블 장치 - Google Patents

레이저 가공용 워크 테이블 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 가공용 워크 테이블 장치에 관한 것으로, 워크 테이블을 베이스 테이블에 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제할 수 있도록 구성함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 다수의 볼트 체결 및 해체 작업을 반복 수행하지 않더라도 편리하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있고, 워크 테이블에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업을 수행할 필요없이 워크 테이블의 교체 작업을 완료할 수 있으며, 베이스 테이블의 내부 공간에 워크 테이블의 내부 유로와 연통되는 유로를 형성하고 베이스 테이블에 피팅 부재를 장착함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 워크 테이블에 대한 피팅 부재 교체 작업을 별도로 수행할 필요가 없고 단순히 워크 테이블을 베이스 테이블에 결합하는 작업만으로 교체 작업을 완료할 수 있어 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치를 제공한다.

Description

레이저 가공용 워크 테이블 장치{WORK TABLE ASSEMBLY FOR LASER CUTTING PROCESS}
본 발명은 레이저 가공용 워크 테이블 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 워크 테이블을 베이스 테이블에 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제할 수 있도록 구성함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 다수의 볼트 체결 및 해체 작업을 반복 수행하지 않더라도 편리하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있고, 워크 테이블에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업을 수행할 필요없이 워크 테이블의 교체 작업을 완료할 수 있으며, 베이스 테이블의 내부 공간에 워크 테이블의 내부 유로와 연통되는 유로를 형성하고 베이스 테이블에 피팅 부재를 장착함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 워크 테이블에 대한 피팅 부재 교체 작업을 별도로 수행할 필요가 없고 단순히 워크 테이블을 베이스 테이블에 결합하는 작업만으로 교체 작업을 완료할 수 있어 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치에 관한 것이다.
최근 반도체 산업은 많은 발전을 해오고 있고, 이에 따라 레이저를 이용하여 반도체 재료기판, 압전 재료기판이나 유리기판 등의 기판을 절단, 스크라이빙 또는 패터닝 등의 가공 기술에 있어서도 많은 발전이 이루어지고 있다.
이러한 레이저 가공 공정은 가공 대상 기판을 워크 테이블 상에 배치하고, 기판 상부에서 레이저 빔을 원하는 위치에 조사하여 진행한다.
도 1은 종래 기술에 따른 일반적인 레이저 가공용 워크 테이블의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 일반적인 레이저 가공용 워크 테이블의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
일반적인 레이저 가공용 워크 테이블(10)은 상면에 기판(20)을 안착시킬 수 있도록 평평한 면으로 이루어지며, 상면에는 기판 안착 영역(11)이 형성된다. 이러한 워크 테이블(10)의 상부에는 레이저 스캐너(30)가 이동 가능하게 구비되어 기판(20)의 커팅 라인(CL)을 따라 레이저 빔(LB)을 조사하고, 이러한 과정을 거쳐 기판(20)은 커팅 라인(CL)을 따라 커팅 가공된다.
이때, 워크 테이블(10)의 상면에는 레이저 빔(LB)의 조사 과정에서 레이저 빔(LB)에 의한 워크 테이블(10) 및 기판(20)의 손상을 방지하기 위해 기판(20)의 커팅 라인(CL)을 따라 빔패스 그루브(12)가 오목홈 형태로 형성된다. 따라서, 레이저 빔(LB)은 기판(20)의 커팅 라인(CL)을 통과하여 빔패스 그루브(12) 측으로 조사된다.
이와 같이 레이저 빔(LB)이 조사되면, 기판(20)을 커팅 라인(CL)을 따라 커팅되어 커팅 라인(CL)의 중심 부분인 유효셀 부분(21)과, 그 외곽 부분인 더미 부분(22)으로 분리된다. 이에 대응하여 워크 테이블(10)의 기판 안착 영역(11)은 빔패스 그루브(12)를 기준으로 그 중심부분에 기판(20)의 유효셀 부분(21)이 안착되는 유효셀 영역(13)이 형성되고, 그 외곽에는 기판(20)의 더미 부분(22)이 안착되는 더미 영역(14)이 형성된다.
유효셀 영역(13)에는 기판(20)의 유효셀 부분(21)을 진공 흡착할 수 있도록 다수개의 유효셀 흡착 유로(15)가 형성되고, 더미 영역(14)에는 기판(20)의 더미 부분(22)을 진공 흡착할 수 있도록 다수개의 더미 흡착 유로(16)가 형성된다. 또한, 워크 테이블(10)의 내부 공간에는 다수개의 유효셀 흡착 유로(15)와 각각 연통되도록 하나의 유효셀 진공 챔버(17)가 형성되고, 다수개의 더미 흡착 유로(16)와 각각 연통되도록 하나의 더미 진공 챔버(18)가 형성된다. 이러한 유효셀 진공 챔버(17) 및 더미 진공 챔버(18)를 통해 진공압을 공급하여 다수개의 유효셀 흡착 유로(15) 및 더미 흡착 유로(16)에 동시에 기판 흡입력을 제공할 수 있으며, 이러한 기판 흡입력에 의해 기판(20)을 워크 테이블(10) 표면에 안착 고정시킬 수 있다. 특히, 유효셀 흡착 유로(15)와 더미 흡착 유로(16)가 각각 별도로 형성되기 때문에, 기판(20)이 유효셀 부분(21)과 더미 부분(22)으로 분리된 이후에도 각각 유효셀 흡착 유로(15) 및 더미 흡착 유로(16)를 통해 워크 테이블(10)에 고정된 상태로 유지된다.
이와 같이 형성된 워크 테이블(10)은 일반적으로 별도의 베이스 테이블(미도시)에 결합 고정되어 사용된다. 이때, 워크 테이블은 가공 대상 기판의 종류에 따라 서로 다른 종류의 워크 테이블이 사용되어야 하므로, 베이스 테이블에 교체 가능하게 결합된다. 예를 들면, 기판의 커팅 라인의 형상이 달라지는 경우, 워크 테이블의 빔패스 그루브의 형상 또한 달라져야 하므로, 이에 대응하여 다른 종류의 워크 테이블이 베이스 테이블에 새롭게 교체 결합되어야 한다.
이 경우, 일반적인 워크 테이블은 베이스 테이블에 다수의 볼트를 통해 결합되므로, 워크 테이블의 교체 작업시 다수의 볼트를 작업자가 모두 풀어내고 다시 체결하는 작업을 반복해야 한다. 또한, 워크 테이블에는 전술한 바와 같이 내부 공간에 다양한 유로 및 챔버가 형성되므로, 이들을 외부 기기와 연결하도록 다수개의 피팅 부재가 결합되는데, 워크 테이블을 교체하는 과정에서 다수개의 피팅 부재들을 모두 해체 및 재결합해야 한다. 또한, 새롭게 교체한 워크 테이블에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업 등을 새롭게 수행해야 한다. 이와 같이 종래의 일반적인 워크 테이블은 그 교체 작업이 매우 복잡하고 불편하며 작업 시간이 오래 걸리는 등의 문제가 있었다.
국내공개특허 제10-2012-0108229호
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 워크 테이블을 베이스 테이블에 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제할 수 있도록 구성함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 다수의 볼트 체결 및 해체 작업을 반복 수행하지 않더라도 편리하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있고, 워크 테이블에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업을 수행할 필요없이 워크 테이블의 교체 작업을 완료할 수 있어 더욱 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 베이스 테이블의 내부 공간에 워크 테이블의 내부 유로와 연통되는 유로를 형성하고 베이스 테이블에 피팅 부재를 장착함으로써, 워크 테이블이 베이스 테이블에 안착 결합됨과 동시에 베이스 테이블의 피팅 부재를 통해 워크 테이블에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있으므로, 워크 테이블 교체 작업시 워크 테이블에 대한 피팅 부재 교체 작업을 별도로 수행할 필요가 없고 단순히 워크 테이블을 베이스 테이블에 결합하는 작업만으로 교체 작업을 완료할 수 있어 더욱 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 기판의 커팅 라인을 따라 레이저 빔을 조사하여 상기 기판을 유효셀 부분과 더미 부분으로 분리되게 커팅 가공할 수 있도록 상기 기판을 안착 고정시키는 레이저 가공용 워크 테이블 장치에 있어서, 상면에 상기 기판이 안착되는 기판 안착 영역이 형성되고, 상기 기판 안착 영역 내에 상기 기판의 커팅 라인을 따라 오목홈 형태로 빔패스 그루브가 형성되는 워크 테이블; 상면에 상기 워크 테이블이 분리 가능하게 결합되는 베이스 테이블; 및 상기 워크 테이블과 상기 베이스 테이블을 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제시키도록 작동하는 원터치 결합 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치를 제공한다.
이때, 상기 원터치 결합 수단은, 상기 워크 테이블의 하면에 돌출되게 형성되는 결합 돌기; 및 상기 워크 테이블의 결합 돌기가 삽입될 수 있도록 상기 베이스 테이블의 상면에 장착되며 상기 결합 돌기가 삽입된 상태에서 공기압에 의해 상기 결합 돌기를 가압 고정하도록 작동하는 공압 클램프를 포함할 수 있다.
또한, 상기 워크 테이블에는 내부 공간에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있도록 워크 에어 유동부가 형성되고, 상기 베이스 테이블에는 상기 워크 테이블이 상기 베이스 테이블에 결합됨에 따라 상기 워크 에어 유동부와 연통되도록 베이스 에어 유동부가 형성되며, 상기 베이스 에어 유동부의 일단에 외부 공압 기기와 연결될 수 있는 피팅 부재가 결합될 수 있다.
또한, 상기 워크 에어 유동부는 상기 기판 안착 영역 중 상기 기판의 유효셀 부분이 안착되는 유효셀 영역에 형성되는 유효셀 흡착 유로와, 상기 기판의 더미 부분이 안착되는 더미 영역에 형성되는 더미 흡착 유로와, 상기 유효셀 흡착 유로와 연결되는 유효셀 유입구와, 상기 더미 흡착 유로와 연결되는 더미 유입구를 포함하고, 상기 베이스 에어 유동부는 상기 워크 테이블이 상기 베이스 테이블에 결합됨에 따라 상기 유효셀 유입구와 연결되는 유효셀 연결 포트와, 상기 더미 유입구와 연결되는 더미 연결 포트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 유효셀 연결 포트와 더미 연결 포트에는 상기 워크 테이블과 밀착 결합될 수 있도록 진공 압착 패드가 장착될 수 있다.
또한, 상기 베이스 에어 유동부는, 상기 유효셀 연결 포트와 상기 베이스 테이블의 일측에 장착된 유효셀 피팅 부재를 연결하는 유효셀 연결 유로와, 상기 더미 연결 포트와 상기 베이스 테이블의 일측에 장착된 더미 피팅 부재를 연결하는 더미 연결 유로를 포함할 수 있다.
또한, 상기 워크 테이블에는 상기 유효셀 흡착 유로 및 더미 흡착 유로가 각각 다수개씩 형성되고, 다수개의 유효셀 흡착 유로가 연통되는 하나의 유효셀 진공 챔버와 다수개의 더미 흡착 유로가 연통되는 하나의 더미 진공 챔버가 형성되며, 상기 유효셀 유입구는 상기 유효셀 진공 챔버와 연통되게 형성되고, 상기 더미 유입구는 상기 더미 진공 챔버와 연통되게 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 워크 테이블을 베이스 테이블에 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제할 수 있도록 구성함으로써, 워크 테이블 교체 작업시 다수의 볼트 체결 및 해체 작업을 반복 수행하지 않더라도 편리하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있고, 워크 테이블에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업을 수행할 필요없이 워크 테이블의 교체 작업을 완료할 수 있어 더욱 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 효과가 있다.
또한, 베이스 테이블의 내부 공간에 워크 테이블의 내부 유로와 연통되는 유로를 형성하고 베이스 테이블에 피팅 부재를 장착함으로써, 워크 테이블이 베이스 테이블에 안착 결합됨과 동시에 베이스 테이블의 피팅 부재를 통해 워크 테이블에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있으므로, 워크 테이블 교체 작업시 워크 테이블에 대한 피팅 부재 교체 작업을 별도로 수행할 필요가 없고 단순히 워크 테이블을 베이스 테이블에 결합하는 작업만으로 교체 작업을 완료할 수 있어 더욱 신속하고 편리한 워크 테이블 교체 작업을 가능하게 하는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 일반적인 레이저 가공용 워크 테이블의 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 종래 기술에 따른 일반적인 레이저 가공용 워크 테이블의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공용 워크 테이블 장치의 외형을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블과 베이스 테이블의 결합 구조를 개략적으로 도시한 분해 사시도,
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블과 베이스 테이블의 내부 유로 연결 구조를 개략적으로 도시한 수직 단면도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스 테이블의 베이스 에어 유동부에 대한 구조를 개략적으로 도시한 수평 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공용 워크 테이블 장치의 외형을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블과 베이스 테이블의 결합 구조를 개략적으로 도시한 분해 사시도이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블과 베이스 테이블의 내부 유로 연결 구조를 개략적으로 도시한 수직 단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스 테이블의 베이스 에어 유동부에 대한 구조를 개략적으로 도시한 수평 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공용 워크 테이블 장치는 기판(20)이 안착되는 워크 테이블(100)과, 워크 테이블(100)이 안착 결합되는 베이스 테이블(200)과, 워크 테이블(100)과 베이스 테이블(200)을 결합 및 결합 해제시키도록 작동하는 원터치 결합 수단(300)을 포함하여 구성된다.
워크 테이블(100)은 배경 기술에서 설명한 바와 같이 기판(20)을 레이저 가공하기 위해 안착시키기 위한 장치이다. 기판(20)은 워크 테이블(100)에 안착되고, 그 상부에 배치된 레이저 스캐너(30)를 이용하여 커팅 라인(CL)을 따라 레이저 빔(LB)이 조사되며, 이를 통해 기판(20)은 커팅 라인(CL)을 기준으로 유효셀 부분(21)과 더미 부분(22)으로 분리되게 커팅 가공된다.
워크 테이블(100)의 상면에는 기판(20)이 안착되는 기판 안착 영역(101)과, 기판 안착 영역(101) 내에 기판(20)의 커팅 라인(CL)을 따라 오목홈 형태로 빔패스 그루브(130)가 형성된다. 레이저 스캐너(30)로부터 조사된 레이저 빔(LB)은 기판(20)의 커팅 라인(CL)을 통과하여 빔패스 그루브(130) 내부 공간으로 조사된다.
기판 안착 영역(101)은 유효셀 영역(102)과 더미 영역(103)으로 분리되며, 유효셀 영역(102)은 빔패스 그루브(130)를 기준으로 중심 부분에 형성되어 기판(20)의 유효셀 부분(21)이 안착되고, 더미 영역(103)은 유효셀 영역(102)의 외부에 형성되어 기판(20)의 더미 부분(22)이 안착된다.
워크 테이블(100)에는 내부 공간에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있도록 다양한 유로 및 챔버를 포함하는 워크 에어 유동부(WT)가 형성되는데, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
이러한 워크 테이블(100)은 하나의 일체형 플레이트 형태로 형성될 수도 있지만, 내부 공간에 전술한 다양한 유로 및 챔버를 형성하는데 용이하도록 상부 테이블(120) 및 하부 테이블(110)으로 분리 형성되어 상호 결합되는 방식으로 제작될 수 있다.
베이스 테이블(200)은 상면에 워크 테이블(100)이 분리 가능하게 결합되도록 평평한 플레이트 형태로 형성되며, 원터치 결합 수단(300)은 워크 테이블(100)과 베이스 테이블(200)을 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제시키도록 작동한다.
이러한 원터치 결합 수단(300)은 도 4에 도시된 바와 같이 워크 테이블(100)의 하면에 돌출되게 형성되는 결합 돌기(310)와, 워크 테이블(100)의 결합 돌기(310)가 삽입될 수 있도록 베이스 테이블(200)의 상면에 장착되며 결합 돌기(310)가 삽입된 상태에서 공기압에 의해 결합 돌기(310)를 가압 고정하도록 작동하는 공압 클램프(320)를 포함하여 구성될 수 있다.
결합 돌기(310)와 공압 클램프(320)는 워크 테이블(100)과 베이스 테이블(200)에 각각 서로 대응되는 위치에 배치되며, 베이스 테이블(200)에는 공압 클램프(320)가 장착될 수 있는 클램프 장착홈(201)이 형성된다(도 7 참조). 또한, 베이스 테이블(200)에는 공압 클램프(320)에 공기압을 제공할 수 있도록 별도의 공기압 유로(미도시)가 형성되고, 공기압 유로에는 피팅 부재가 연결되어 외부 공기압 펌프에 연결될 수 있다.
이러한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블 장치는 워크 테이블(100)과 베이스 테이블(200)이 원터치 결합 수단(300)에 의해 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제될 수 있어 그 교체 작업이 매우 편리하고 신속하게 수행될 수 있다.
즉, 워크 테이블(100)을 베이스 테이블(200)에 정위치 상태로 안착시키면, 워크 테이블(100)의 결합 돌기(310)가 베이스 테이블(200)의 공압 클램프(320)에 삽입되고, 이 상태에서 공압 클램프(320)에 공기압을 공급하여 결합 돌기(310)가 공압 클램프(320)에 가압 고정되도록 하는 방식으로 교체 작업을 원터치 방식으로 편리하게 수행할 수 있다. 이때, 워크 테이블(100)을 베이스 테이블(200)에 정위치 상태로 안착시키는 것은, 워크 테이블의 결합 돌기(310)가 베이스 테이블(200)의 공압 클램프(320)에 삽입되도록 안착시키는 것을 의미한다.
따라서, 다수의 볼트 체결 및 해체 작업을 반복 수행하지 않더라도 편리하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있고, 워크 테이블(100)에 대한 평탄도 작업 및 위치 정렬 작업을 수행할 필요없이 워크 테이블(100)의 교체 작업을 완료할 수 있어 더욱 편리하고 신속한 작업이 가능하다.
한편, 워크 테이블(100)의 내부 공간에는 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있도록 다양한 유로 및 챔버를 포함하는 워크 에어 유동부(WT)가 형성되고, 베이스 테이블(200)에는 워크 테이블(100)이 베이스 테이블(200)에 결합됨에 따라 워크 에어 유동부(WT)와 연통되도록 베이스 에어 유동부(BT)가 형성된다. 이때, 베이스 에어 유동부(BT)의 일단에는 외부 공압 기기와 연결될 수 있는 피팅 부재(400)가 결합된다.
워크 에어 유동부(WT)는 다수개의 유효셀 흡착 유로(140) 및 더미 흡착 유로(150), 다수개의 유효셀 흡착 유로(140) 및 더미 흡착 유로(150)와 각각 별도로 연결되는 유효셀 진공 챔버(141) 및 더미 진공 챔버(151), 유효셀 유입구(145) 및 더미 유입구(155)를 포함할 수 있다.
이러한 워크 에어 유동부(WT)의 구성을 상세히 살펴보면, 먼저, 워크 테이블(100)은 기판(20)이 안착된 상태에서 기판(20)을 흡착 고정할 수 있도록 형성되는데, 이를 위해 유효셀 영역(102)에는 기판(20)의 유효셀 부분(21)을 흡착 고정할 수 있도록 유효셀 흡착 유로(140)가 다수개 형성되고, 더미 영역(103)에는 기판(20)의 더미 부분(22)을 흡착 고정할 수 있도록 더미 흡착 유로(150)가 다수개 형성된다. 유효셀 흡착 유로(140) 및 더미 흡착 유로(150)는 각각 별도의 진공압 장치(미도시)에 연결되어 별도로 작동하도록 구성된다.
즉, 유효셀 흡착 유로(140)는 기판(20)의 유효셀 부분(21)을 흡착할 수 있도록 기판 안착 영역(101) 중 기판(20)의 유효셀 부분(21)이 안착되는 유효셀 영역(102)에 형성되며, 더미 흡착 유로(150)는 기판(20)의 더미 부분(22)을 흡착할 수 있도록 기판 안착 영역(101) 중 기판(20)의 더미 부분(22)이 안착되는 더미 영역(103)에 형성된다.
이와 같이 워크 테이블(100)에 유효셀 흡착 유로(140) 및 더미 흡착 유로(150)가 형성됨으로써, 기판(20)이 레이저 빔에 의해 커팅 완료되어 유효셀 부분(21)과 더미 부분(22)으로 분리된 상태에서도 각각 유효셀 흡착 유로(140)와 더미 흡착 유로(150)에 의해 워크 테이블(100)에 안정적으로 흡착 고정될 수 있으며, 작업 공정에 따라 진공압 장치를 작동 제어하여 유효셀 부분(21) 또는 더미 부분(22)만 독립적으로 진공 흡착 상태를 해제할 수 있다.
유효셀 진공 챔버(141) 및 더미 진공 챔버(151)는 워크 테이블(100)의 내부 공간에 형성된다. 유효셀 진공 챔버(141)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 다수개의 유효셀 흡착 유로(140)에 동시에 연통되도록 유효셀 영역(102)의 하부에 하나의 챔버 형태로 형성된다. 더미 진공 챔버(151)는 다수개의 더미 흡착 유로(150)에 동시에 연통되도록 유효셀 영역(102)의 외곽 영역의 하부에 하나의 챔버 형태로 형성된다.
유효셀 유입구(145)와 더미 유입구(155)는 각각 다수개의 유효셀 흡착 유로(140) 및 다수개의 더미 흡착 유로(150)에 연결되는데, 유효셀 유입구(145)는 유효셀 진공 챔버(141)를 통해 유효셀 흡착 유로(140)와 연결되고, 더미 유입구(155)는 더미 진공 챔버(151)를 통해 더미 흡착 유로(150)와 연결된다.
이때, 유효셀 흡착 유로(140), 유효셀 진공 챔버(141), 더미 흡착 유로(150) 및 더미 진공 챔버(151)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 워크 테이블(100)의 상부 테이블(120) 내부 공간에 형성되고, 유효셀 유입구(145) 및 더미 유입구(155)는 워크 테이블(100)의 하부 테이블(110) 내부 공간에 형성되며, 하부측으로 외부 노출되게 형성된다.
또한, 빔패스 그루브(130)의 내부 공간에는 레이저 가공 중에 레이저 빔이 기판(20) 또는 워크 테이블(100)에 조사됨으로써 미세 파티클(P) 들이 발생하여 축적될 수 있는데(도 2 참조), 이러한 미세 파티클 등의 이물질을 배출할 수 있도록 빔패스 그루브(130)의 하단면에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있도록 에어 홀(160)이 다수개 형성될 수 있다. 이러한 에어 홀(160)은 빔패스 그루브(130)를 따라 일정 간격 이격되게 형성될 수 있는데, 별도의 진공압 펌프 또는 송풍 장치 등을 통해 에어를 송풍하거나 흡입하여 미세 파티클(P) 등의 이물질을 배출시킬 수 있다. 이때, 빔패스 그루브(130)의 하부에는 다수개의 에어 홀(160)과 동시에 연통하도록 에어 연통 유로(161)가 형성될 수 있으며, 진공압 펌프 또는 송풍 장치 등은 이러한 에어 연통 유로(161)에 연결 결합될 수 있다.
베이스 에어 유동부(BT)는 워크 테이블(100)이 베이스 테이블(200)에 결합됨에 따라 유효셀 유입구(145)와 연결되는 유효셀 연결 포트(210)와, 더미 유입구(155)와 연결되는 더미 연결 포트(220)를 포함할 수 있다.
베이스 테이블(200)에는 이러한 유효셀 연결 포트(210)와 더미 연결 포트(220)와 각각 연통되도록 외부 공압 기기와 연결되는 피팅 부재(410,420)가 장착된다. 이때, 베이스 에어 유동부(BT)는 유효셀 연결 포트(210)와 베이스 테이블(200)의 일측에 장착된 유효셀 피팅 부재(410)를 연결하는 유효셀 연결 유로(240)와, 더미 연결 포트(220)와 베이스 테이블(200)의 일측에 장착된 더미 피팅 부재(420)를 연결하는 더미 연결 유로(250)를 더 포함할 수 있다.
또한, 유효셀 연결 포트(210)와 더미 연결 포트(220)에는 워크 테이블(100)의 유효셀 유입구(145) 및 더미 유입구(155)와 각각 밀착 결합될 수 있도록 진공 압착 패드(230)가 장착될 수 있다.
이와 같은 구성에 따라 워크 테이블(100)이 베이스 테이블(200)의 상면에 안착 결합되면, 워크 테이블(100)의 워크 에어 유동부(WT)와 베이스 테이블(200)의 베이스 에어 유동부(BT)가 서로 연통되게 결합되며, 이때, 피팅 부재(400)들은 베이스 테이블(200)의 베이스 에어 유동부(BT)의 일단에 결합되므로, 워크 테이블(100)의 교체 작업시 피팅 부재(400)에 대한 교체 작업이 불필요하여 더욱 편리하고 신속하게 교체 작업을 수행할 수 있다.
좀더 구체적으로는, 워크 테이블(100)이 베이스 테이블(200)의 상면에 결합하면, 워크 테이블(100)의 유효셀 유입구(145)와 베이스 테이블(200)의 유효셀 연결 포트(210)가 진공 압착 패드(230)에 의해 밀봉되게 연결되며, 이와 동시에 워크 테이블(100)의 더미 유입구(155)와 베이스 테이블(200)의 더미 연결 포트(220)가 진공 압착 패드(230)에 의해 밀봉되게 결합된다. 이 상태에서, 유효셀 피팅 부재(410)는 유효셀 연결 유로(240)를 통해 유효셀 연결 포트(210)와 연결되고, 더미 피팅 부재(420)는 더미 연결 유로(250)를 통해 더미 연결 포트(220)와 연결된다.
따라서, 종래 기술과 달리 베이스 테이블(200)에 워크 테이블(100)과 연결되는 다양한 유로를 포함하는 베이스 에어 유동부(BT)가 형성됨과 동시에 피팅 부재(400)가 장착됨으로써, 워크 테이블(100)의 교체 작업시 단순히 워크 테이블(100)을 베이스 테이블(200)에 안착 결합시키는 작업만으로 별도의 피팅 부재 교체 작업 없이 워크 테이블(100)에 대한 피팅 작업을 완료할 수 있으며, 이에 따라 매우 편리하고 신속하게 워크 테이블의 교체 작업을 수행할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 워크 테이블
101: 기판 안착 영역 102: 유효셀 영역
103: 더미 영역
130: 빔패스 그루브
140: 유효셀 흡착 유로 141: 유효셀 진공 챔버
145: 유효셀 유입구
150: 더미 흡착 유로 151: 더미 진공 챔버
155: 더미 유입구
160: 에어 홀 161: 에어 연통 유로
200: 베이스 테이블
210: 유효셀 유입 포트 220: 더미 유입 포트
230: 진공 압착 패드 240: 유효셀 연결 유로
250: 더미 연결 유로
300: 원터치 결합 수단
310: 결합 돌기 320: 공압 클램프
400: 피팅 부재

Claims (7)

  1. 기판의 커팅 라인을 따라 레이저 빔을 조사하여 상기 기판을 유효셀 부분과 더미 부분으로 분리되게 커팅 가공할 수 있도록 상기 기판을 안착 고정시키는 레이저 가공용 워크 테이블 장치에 있어서,
    상면에 상기 기판이 안착되는 기판 안착 영역이 형성되고, 상기 기판 안착 영역 내에 상기 기판의 커팅 라인을 따라 오목홈 형태로 빔패스 그루브가 형성되는 워크 테이블;
    상면에 상기 워크 테이블이 분리 가능하게 결합되는 베이스 테이블; 및
    상기 워크 테이블과 상기 베이스 테이블을 원터치 방식으로 결합 및 결합 해제시키도록 작동하는 원터치 결합 수단
    을 포함하고,
    상기 워크 테이블에는 내부 공간에 에어를 흡입 또는 송풍할 수 있도록 워크 에어 유동부가 형성되고,
    상기 베이스 테이블에는 상기 워크 테이블이 상기 베이스 테이블에 결합됨에 따라 상기 워크 에어 유동부와 연통되도록 베이스 에어 유동부가 형성되며, 상기 베이스 에어 유동부의 일단에 외부 공압 기기와 연결될 수 있는 피팅 부재가 결합되며,
    상기 워크 에어 유동부는 상기 기판 안착 영역 중 상기 기판의 유효셀 부분이 안착되는 유효셀 영역에 형성되는 유효셀 흡착 유로와, 상기 기판의 더미 부분이 안착되는 더미 영역에 형성되는 더미 흡착 유로와, 상기 유효셀 흡착 유로와 연결되는 유효셀 유입구와, 상기 더미 흡착 유로와 연결되는 더미 유입구를 포함하고,
    상기 베이스 에어 유동부는 상기 워크 테이블이 상기 베이스 테이블에 결합됨에 따라 상기 유효셀 유입구와 연결되는 유효셀 연결 포트와, 상기 더미 유입구와 연결되는 더미 연결 포트를 포함하고,
    상기 워크 테이블에는 상기 유효셀 흡착 유로 및 더미 흡착 유로가 각각 다수개씩 형성되고, 다수개의 유효셀 흡착 유로가 연통되는 하나의 유효셀 진공 챔버와 다수개의 더미 흡착 유로가 연통되는 하나의 더미 진공 챔버가 형성되며, 상기 유효셀 유입구는 상기 유효셀 진공 챔버와 연통되게 형성되고, 상기 더미 유입구는 상기 더미 진공 챔버와 연통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원터치 결합 수단은
    상기 워크 테이블의 하면에 돌출되게 형성되는 결합 돌기; 및
    상기 워크 테이블의 결합 돌기가 삽입될 수 있도록 상기 베이스 테이블의 상면에 장착되며 상기 결합 돌기가 삽입된 상태에서 공기압에 의해 상기 결합 돌기를 가압 고정하도록 작동하는 공압 클램프
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유효셀 연결 포트와 더미 연결 포트에는 상기 워크 테이블과 밀착 결합될 수 있도록 진공 압착 패드가 장착되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 에어 유동부는
    상기 유효셀 연결 포트와 상기 베이스 테이블의 일측에 장착된 유효셀 피팅 부재를 연결하는 유효셀 연결 유로와, 상기 더미 연결 포트와 상기 베이스 테이블의 일측에 장착된 더미 피팅 부재를 연결하는 더미 연결 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용 워크 테이블 장치.

  7. 삭제
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