KR101831517B1 - Assisting apparatus for polishing machine - Google Patents
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Abstract
본 발명은 폴리싱 장치용 보조장치에 관한 것으로, 탈부착수단; 시편연마수단; 및 연결수단; 을 포함하여, 적은 비용으로 자동식 폴리싱 장치의 효과를 얻을 수 있고, 시편을 균일한 평탄도로 연마할 수 있으며, 구조가 간단하여 제작 및 설치가 쉽고 소요 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 연마 도중 시편의 상태를 쉽게 확인할 수 있는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an auxiliary device for a polishing apparatus, comprising: attachment and detachment means; Specimen polishing means; And connecting means; It is possible to obtain the effect of the automatic polishing apparatus at a low cost and to polish the specimen uniformly and flatly, and it is possible to simplify the structure and easy to manufacture and install and to reduce the cost, So that the state can be easily confirmed.
Description
본 발명은 폴리싱 장치용 보조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 적은 비용으로 자동식 폴리싱 장치의 효과를 얻을 수 있고, 시편을 균일한 평탄도로 연마할 수 있으며, 구조가 간단하여 제작 및 설치가 쉽고 소요 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 연마 도중 시편의 상태를 쉽게 확인할 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an auxiliary device for a polishing apparatus, and more particularly, to an automatic polishing apparatus capable of obtaining an effect of an automatic polishing apparatus at a low cost, polishing a sample uniformly and flatly, To an auxiliary device for a polishing apparatus which can not only reduce the cost but also easily confirm the state of the sample during polishing.
일반적으로 조직 및 물성 검사를 위한 시편은 재료의 조직, 조성, 집합 조직 및 상분율 등과 같은 여러가지 정밀 분석을 정확하게 할 수 있도록 표면을 연마하는 전처리 과정을 거친다.In general, specimens for tissue and physical properties are subjected to a pretreatment process to polish the surface so as to accurately perform various precise analyzes such as the texture, composition, texture and phase fraction of the material.
특히, 시편은 광학 현미경 등으로 미세 조직을 관찰하기 위해 균일한 평탄도가 중요하다.Particularly, uniform flatness is important in order to observe the microstructure of the specimen with an optical microscope or the like.
폴리싱 연마공정은 정밀한 연마공정 중의 하나로, 표면거칠기 감소나 가공 변질층 제거 등을 목적으로 사용되며, 시편의 균일한 평탄도 향상을 위해 수동식 연마방법이 선호되고 있다.The polishing polishing process is one of the precision polishing processes. The polishing polishing process is used for reducing the surface roughness and removing the damaged layer, and the manual polishing method is preferred for improving uniformity of the specimen.
수동식 연마방법은 시편을 작업자가 직접 손으로 잡고 수동식 폴리싱 장치의 연마패드, 즉 회전하는 연마패드에 마찰시켜 연마하게 되는데, 시편의 크기가 너무 작거나 얇아서 손으로 잡아 연마하기 어려운 경우 일정 크기의 틀에 플라스틱 용액, 예를 들어 에폭시를 부은 다음 시편을 넣어서 굳힌 뒤 연마하게 된다. In the manual polishing method, the operator grasps the specimen by hand and grinds it by abrading the polishing pad of the manual polishing apparatus, that is, the rotating polishing pad. When the size of the specimen is too small or thin, , A plastic solution, for example epoxy, is poured into it, and then the specimen is poured into it and hardened.
그런데, 이러한 수동식 연마방법은 수작업을 통해 이루어지므로 작업시간이 현저하게 증대될 뿐만 아니라 인건비가 상승하고, 그에 따라 제조단가 또한 증대되는 문제점이 있었다.However, since the manual polishing method is performed manually, the working time is remarkably increased, the labor cost is increased, and the manufacturing cost is increased accordingly.
따라서, 전술한 바와 같은 문제점이 보완된 폴리싱 장치용 보조장치의 필요성이 대두되고 있다.Accordingly, a need has arisen for an auxiliary device for a polishing apparatus in which the above-mentioned problems are complemented.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 적은 비용으로 자동식 폴리싱 장치의 효과를 얻을 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an auxiliary device for a polishing apparatus which can obtain the effect of an automatic polishing apparatus at a low cost.
또, 시편을 균일한 평탄도로 연마할 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치를 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide an auxiliary device for a polishing apparatus capable of uniformly flattening a specimen.
또한, 구조가 간단하여 제작 및 설치가 쉽고 소요 비용을 절감할 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an auxiliary device for a polishing apparatus which is simple in construction, easy to manufacture and install, and can reduce cost.
또한, 연마 도중 시편의 상태를 쉽게 확인할 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치를 제공함에 있다.It is also an object of the present invention to provide an auxiliary device for a polishing apparatus which can easily confirm the state of a specimen during polishing.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 폴리싱 장치에 탈부착되는 탈부착수단; 시편이 장착되며, 장착된 상기 시편을 상기 폴리싱 장치측을 향해 가압하여 상기 폴리싱 장치를 통해 연마시키는 시편연마수단; 및 상기 탈부착수단과 상기 시편연마수단을 연결하는 연결수단; 을 포함하는 폴리싱 장치용 보조장치에 의해 달성된다.According to the present invention, this object is achieved by a polishing apparatus comprising: a detachment means detachably attached to a polishing apparatus; A specimen polishing means for mounting the specimen and pressing the mounted specimen toward the polishing apparatus side to polish through the polishing apparatus; And connecting means for connecting the attaching / detaching means with the specimen polishing means; And an auxiliary device for a polishing apparatus.
여기서, 상기 탈부착수단은, 탈부착몸체; 및 상기 탈부착몸체에 마련되고, 상기 탈부착몸체가 상기 폴리싱 장치에 장착 또는 분리되도록 상기 탈부착몸체에 공급되는 전원을 온 또는 오프시켜 전자석의 구동여부를 제어하는 스위치; 를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the attachment / detachment means includes a detachable body; A switch provided on the detachable body for controlling whether the electromagnet is driven by turning on or off a power supplied to the detachable body so that the detachable body is mounted on or detached from the polishing apparatus; .
여기서, 상기 시편연마수단은, 상기 시편이 장착되는 시편홀더; 상기 시편홀더에 연결되어 상기 시편홀더를 탄성지지하는 탄성체; 상기 탄성체에 연결되고, 누름 조작이 가능하여 상기 탄성체를 통해 상기 시편홀더에 가압력을 전달하는 누름체; 및 길이방향을 따라 상기 시편홀더와 상기 누름체가 서로 반대방향 외측으로 돌출되도록 상기 시편홀더와 상기 누름체가 내측에 장착되고, 상기 시편홀더와 상기 누름체의 동작을 가이드하는 가이드체; 를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the specimen polishing means may include a specimen holder to which the specimen is mounted; An elastic body connected to the specimen holder and elastically supporting the specimen holder; A pressing member connected to the elastic body and capable of being pressed to transmit a pressing force to the specimen holder through the elastic body; And a guide body mounted on the inside of the specimen holder and the pusher so that the specimen holder and the pusher protrude outward in opposite directions along the longitudinal direction, and guide the operation of the specimen holder and the pusher; .
여기서, 상기 가이드체에는, 상기 누름체의 동작방향을 따라 개방된 개구홀이 형성되고, 상기 시편홀더, 상기 누름체 중 어느 하나 또는 둘이 상기 개구홀을 통해 외부에 노출되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the guide body is provided with an opening hole opened along the operating direction of the pressing body, and either or both of the specimen holder and the pressing body are exposed to the outside through the opening hole.
여기서, 상기 연결수단은, 상기 탈부착수단에 형성되는 지지기둥; 및 상기 지지기둥과 상기 시편연마수단 사이를 연결하는 연결대; 를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the connection means may include: a support column formed in the detachment / attachment means; And a connecting rod connecting the support column and the specimen polishing means; .
여기서, 상기 연결대는, 상기 지지기둥에 대해 회동 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the connecting rod is configured to be rotatable with respect to the support column.
본 발명에 따르면, 적은 비용으로 자동식 폴리싱 장치의 효과를 얻을 수 있는 폴리싱 장치용 보조장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided an auxiliary device for a polishing apparatus capable of obtaining the effect of an automatic polishing apparatus at a low cost.
또, 시편을 균일한 평탄도로 연마할 수 있다.In addition, the specimen can be polished uniformly and flatly.
또한, 구조가 간단하여 제작 및 설치가 쉽고 소요 비용을 절감할 수 있게 된다.Further, the structure is simple, so that it is easy to manufacture and install, and the cost can be reduced.
또한, 연마 도중 시편의 상태를 쉽게 확인할 수 있게 된다.It is also possible to easily confirm the state of the specimen during polishing.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치의 분해도,
도 2는 도 1에 도시된 폴리싱 장치용 보조장치의 결합도,
도 3은 도 2에 도시된 폴리싱 장치용 보조장치의 단면도,
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치를 나타낸 도,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치를 폴리싱 장치에 부착시켜 시편을 연마하는 상태를 나타낸 상태도이다.1 is an exploded view of an auxiliary device for a polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is an assembled view of the auxiliary device for the polishing apparatus shown in FIG. 1;
3 is a cross-sectional view of the auxiliary device for the polishing apparatus shown in Fig. 2,
4 (a) and 4 (b) are views showing an auxiliary device for a polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention;
5 is a state diagram showing a state in which a specimen is polished by attaching an auxiliary device for a polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention to a polishing apparatus.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, an auxiliary device for a polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치의 분해도이고, 도 2는 도 1에 도시된 폴리싱 장치용 보조장치의 결합도이며, 도 3은 도 2에 도시된 폴리싱 장치용 보조장치의 단면도이다.Fig. 1 is an exploded view of an auxiliary device for a polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention, Fig. 2 is an assembled view of the auxiliary device for the polishing apparatus shown in Fig. 1, Fig.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치는 크게 탈부착수단(100)과 시편연마수단(200) 및 연결수단(300)을 포함하여 구성된다.1 to 3, an auxiliary apparatus for a polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention roughly comprises a detachment means 100, a specimen polishing means 200, and a connection means 300.
탈부착수단(100)은 폴리싱 장치, 특히 수동식 폴리싱 장치(도 5의 PM)에 탈부착되는 구성요소로, 탈부착몸체(110)와 스위치(120)를 포함하여 이루어진다.The attaching / detaching means 100 is constituted by a
탈부착몸체(110)는 폴리싱 장치(도 5의 PM; 이하, 수동식 폴리싱 장치라 함)에 직접적으로 부착 또는 분리되는 부분이다.The
스위치(120)는 탈부착몸체(110)에 마련되는 부분으로, 특히 탈부착몸체(110) 내에 배치되는 전자석에 공급되는 전원을 온 또는 오프시켜 전자석의 구동여부를 제어함으로서 탈부착몸체(110)가 수동식 폴리싱 장치(도 5의 PM)에 장착 또는 분리되도록 하게 된다. 여기서, 전원은 탈부착몸체(110)에 별도의 전원공급수단(도시하지 않음), 예를 들어 건전지를 두고 이를 통해 공급하도록 구성하거나, 외부의 콘센트 등을 이용하여 공급하도록 구성될 수 있다.The
시편연마수단(200)은 시편(도 5의 T)이 장착되며, 장착된 시편(도 5의 T)을 수동식 폴리싱 장치(도 5의 PM)측을 향해 가압하여 수동식 폴리싱 장치(도 5의 PM)를 통해 연마시키는 구성요소이다. 본 발명에서 사용되는 시편연마수단(200)은 시편홀더(210)와 탄성체(220), 누름체(230) 및 가이드체(240)를 포함하여 이루어진다.The
시편홀더(210)는 시편(도 5의 T)이 장착되는 부분으로, 원통 형상으로 이루어지나 이러한 형상은 변경 가능하다. 도면상 시편홀더(210)의 상부말단측에는 시편홀더(210)가 하기에 서술하는 가이드체(240)에 결합되도록 하는 걸림부(212)가 형성되고, 걸림부(212)에는 가이드체(240)의 개구홀(242)에 삽입되는 돌출돌기(214)가 형성된다. 그리고, 도면상 시편홀더(210)의 하부말단측에는 시편(도 5의 T)을 장착할 수 있도록 시편장착부(216)가 형성된다.The
이때, 시편(도 5의 T)의 크기가 너무 작거나 얇아서 손으로 잡아 연마하기 어려운 경우 일정 크기의 틀에 플라스틱 용액, 예를 들어 에폭시를 부은 다음 시편(도 5의 T)을 넣어서 굳힌 상태의 시편(도 5의 T), 즉 마운트된 시편(도 5의 T)을 시편장착부(216)에 장착하게 된다.In this case, if the size of the specimen (T in FIG. 5) is too small or too thin to be grasped by hand, it is difficult to grind a plastic solution, such as epoxy, into a fixed size frame, The specimen (T in Fig. 5), i.e., the mounted specimen (T in Fig. 5), is mounted on the
여기서, 시편장착부(216)가 형성되는 시편홀더(210) 부분은 마운트된 시편(도 5의 T)을 좀 더 확실하게 고정시킬 수 있도록 둘레측이 일부 절개된 상태에서 별도의 체결부재를 통해 죄어지거나 풀어질 수 있도록 구성되어 시편장착부(216)에 장착되는 마운트된 시편(도 5의 T)의 둘레측을 강하게 가압하여 고정시킬 수 있고, 연마 후에는 쉽게 마운트된 시편(도 5의 T)을 분리할 수 있도록 구성될 수 있다.Here, the portion of the
탄성체(220)는 시편홀더(210)에 연결되어 시편홀더(210)를 탄성지지하는 부분으로, 스프링이 사용될 수 있다.The
누름체(230)는 시편홀더(210)와 마찬가지로 원통 형상으로 이루어지는데 탄성체(220)에 연결되고, 누름 조작이 가능하여 탄성체(220)를 통해 시편홀더(210)에 가압력을 전달하는 구성요소이다. 이러한 누름체(230)에는 도면상 하부말단측에 하기에 서술하는 가이드체(240)에 결합되도록 하는 걸림부(232)가 형성된다.The pressing
가이드체(240)는 원통형상으로 이루어져 길이방향을 따라 시편홀더(210)와 누름체(230)가 서로 반대방향 외측으로 돌출되도록 시편홀더(210)와 누름체(230)가 내측에 장착되고, 시편홀더(210)와 누름체(230)의 동작을 가이드하는 부분이다. 이러한 가이드체(240)의 형상은 시편홀더(210)와 누름체(230)의 형상에 따라 변경 가능하다. The
가이드체(240)에는 누름체(230)의 동작방향을 따라 개방된 개구홀(242)이 형성되고, 내측에는 전술한 시편홀더(210)와 누름체(230)의 걸림부(212, 232)가 가이드체(240)의 길이방향을 따라 이동할 수 있도록 가이드하는 가이드홈(244)이 형성된다. The
여기서, 개구홀(242)을 통해 시편홀더(210), 누름체(230) 중 어느 하나 또는 둘이 외부에 노출될 수 있다. Here, one or both of the
도시된 도면에서는 개구홀(242)이 가이드체(240)의 하부측에만 형성되어 시편홀더(210)만 외부에 노출되도록 구성되나, 개구홀(242)이 가이드체(240)의 길이방향을 따라 장공 형상으로 형성되도록 하여 시편홀더(210)와 누름체(230)가 모두 외부에 노출되도록 구성될 수도 있다.The
이처럼 시편홀더(210), 누름체(230) 중 어느 하나 또는 둘을 외부에 노출시키는 것은, 작업자가 시편(도 5의 T)을 연마할 때 개구홀(242)의 길이방향을 따라 움직이게 되는 시편홀더(210), 누름체(230) 중 어느 하나 또는 둘을 보면서 누름체(230)를 통한 가압력을 조절할 수 있고, 시편(도 5의 T)이 연마된 정도를 알 수 있도록 하기 위한 것이다.Exposure of one or both of the
특히, 본 발명에서는 시편홀더(210)의 돌출돌기(214)가 개구홀(242)에 삽입되어 장착되도록 구성되어 좀 더 시편홀더(210)가 외부에 잘 노출되도록 하게 되며, 이처럼 시편홀더(210)의 돌출돌기(214)가 개구홀(242)에 장착되어 외부에 노출됨으로써 작업자가 원활하게 가압력을 조절할 수 있고, 시편(도 5의 T)이 연마된 정도를 쉽게 알 수 있다. 이때, 도시되지는 않았으나, 보다 정밀한 시편(도 5의 T)의 연마를 위해 개구홀(242)의 길이방향을 따라 눈금을 형성하도록 구성될 수도 있다.Particularly, in the present invention, the
연결수단(300)은 탈부착수단(100)과 시편연마수단(200)을 연결하는 구성요소로, 지지기둥(310)과 연결대(320)를 포함하여 이루어진다.The
지지기둥(310)은 탈부착수단(100)에 형성되는 부분이고, 연결대(320)는 지지기둥(310)과 시편연마수단(200), 특히 가이드체(240) 사이를 연결하게 된다.The supporting
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치를 나타낸 도이다.4 (a) and 4 (b) are views showing an auxiliary device for a polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
먼저, 도 4의 (a)에 나타나는 것과 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치는 전술한 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치와 거의 유사하게 구성되나, 연결수단(300)의 형상에서 서로 구분된다.First, as shown in Fig. 4 (a), an auxiliary device for a polishing apparatus according to the second embodiment of the present invention is configured to be substantially similar to the auxiliary device for the polishing apparatus according to the above-described first embodiment, (300).
즉, 제1 실시예에서는 연결대(320)가 단순히 지지기둥(310)과 시편연마수단(200)의 가이드체(240) 사이를 연결하게 되나, 제2 실시예에서는 연결대(320)가 힌지(322)를 이용하여 지지기둥(310)에 대해 회동 가능하게 구성된다.That is, in the first embodiment, the connecting
따라서, 시편(도 5의 T)의 연마하던 도중 도 4의 (b)와 같이 연결대(320)를 들어올려 연마중인 시편(도 5의 T)의 상태를 쉽게 확인할 수 있다.Therefore, during the polishing of the test piece (T in FIG. 5), the state of the polishing piece (T in FIG. 5) can be easily ascertained by lifting the connecting
이때, 힌지(322)는 시편(도 5의 T)의 연마시에는 연결대(320)가 회동하지 않도록 고정시키고, 시편(도 5의 T)의 상태를 확인하고자 할 때만 힌지(322)를 풀어주어 연결대(320)가 회동할 수 있도록 하는 구조, 예를 들어 나사나 볼트식으로 연결대(320)와 지지기둥(310)을 체결하는 것이 바람직하다.At this time, the
여기서, 도시되지는 않았으나 연결대(320)가 힌지(322)를 이용하여 지지기둥(310)에 대해 회동 가능하게 구성되는 본 발명의 제2 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치 외에 연결수단(300)의 지지기둥(310)이 힌지 등을 이용하여 탈부착수단(100)의 탈부착몸체(110)에 회동 가능하게 구성되도록 구성할 수도 있다.Here, although not shown, in addition to the auxiliary device for the polishing apparatus according to the second embodiment of the present invention in which the connecting
지금부터는 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치의 동작에 대하여 설명한다. 이때, 본 발명의 제2 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치의 경우 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치의 동작과 거의 동일하므로, 여기에서는 제2 실시예에 대한 설명은 생략한다.The operation of the auxiliary device for a polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention will now be described. At this time, the auxiliary device for the polishing apparatus according to the second embodiment of the present invention is substantially the same as the operation of the auxiliary device for the polishing apparatus according to the first embodiment, so the description of the second embodiment will be omitted here.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치를 폴리싱 장치에 부착시켜 시편을 연마하는 상태를 나타낸 상태도이다.5 is a state diagram showing a state in which a specimen is polished by attaching an auxiliary device for a polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention to a polishing apparatus.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 폴리싱 장치용 보조장치를 사용하여 시편(T)을 연마하고자 하는 경우 우선, 시편(T)을 시편홀더(210)에 장착하게 된다.5, in order to polish the specimen T using the auxiliary device for the polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention, the specimen T is first mounted on the
이때, 시편(T)이 시편홀더(210)에 장착될 수 있는 충분한 크기가 아닌 경우 에폭시를 이용하여 마운트된 시편(T)을 시편홀더(210)의 시편장착부(216)에 장착한다.At this time, if the specimen T is not large enough to be mounted on the
다음, 시편홀더(210)에 장착된 마운트된 시편(T)이 수동식 폴리싱 장치(PM)의 연마패드 상측에 위치하도록 수동식 폴리싱 장치(PM)의 상면 또는 측면에 탈부착수단(100)을 부착시킨다. 이를 위해, 스위치(120)를 동작시켜 탈부착몸체(110) 내의 전자석에 전원을 공급함으로써 전자석의 자성을 통해 탈부착몸체(110)가 수동식 폴리싱 장치(도 5의 PM)에 고정된다.Next, the attaching / detaching means 100 is attached to the upper surface or the side surface of the manual polishing apparatus PM so that the mounted specimen T mounted on the
그리고 수동식 폴리싱 장치(PM)의 내부에 설치된 모터(도시하지 않음)에 결합되어 모터(M)로부터 제공되는 회전력에 의해 연마패드가 회전하고 있는 상태에서 작업자가 누름체(230)를 직접 눌러 가압하면, 탄성체(220)를 통해 시편홀더(210)가 고르게 가압력을 받게 되어 시편홀더(210)에 장착된 시편(T)을 균일한 평탄도로 연마할 수 있게 된다.When the operator directly presses the
이때, 작업자는 가이드체(240)의 개구홀(242)을 통해 노출되는 누름체(230)의 돌출돌기(214)가 하강하는 상태를 보면서 시편(T)을 연마시키는 힘을 조절할 수 있고, 시편(T)이 연마된 정도를 파악할 수 있다. At this time, the operator can adjust the force for polishing the specimen T while observing the state in which the projecting
이처럼 본 발명에 따른 폴리싱 장치용 보조장치는 적은 비용으로 자동식 폴리싱 장치의 효과를 얻을 수 있고, 시편을 균일한 평탄도로 연마할 수 있으며, 구조가 간단하여 제작 및 설치가 쉽고 소요 비용을 절감할 수 있는 유용한 발명이라 할 것이다.As described above, the auxiliary apparatus for a polishing apparatus according to the present invention can obtain the effect of the automatic polishing apparatus at a low cost, polish the sample uniformly and flatly, and is easy to manufacture and install, This is a useful invention.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.
100: 탈부착수단 110: 탈부착몸체
120: 스위치 200: 시편연마수단
210: 시편홀더 212, 232: 걸림부
214: 돌출돌기 216: 시편장착부
220: 탄성체 230: 누름체
240: 가이드체 242: 개구홀
244: 가이드홈 300: 연결수단
310: 지지기둥 320: 연결대
322: 힌지
T: 시편 PM: 수동식 폴리싱 장치100: detachment means 110: detachable body
120: switch 200: specimen polishing means
210:
214: protrusion projection 216: specimen mounting portion
220: elastic body 230: pressing body
240: guide body 242: aperture hole
244: guide groove 300: connecting means
310: Support posts 320: Connections
322: Hinge
T: Specimen PM: Manual polishing machine
Claims (6)
폴리싱 장치에 탈부착되는 탈부착수단;
시편이 장착되며, 장착된 상기 시편을 상기 폴리싱 장치측을 향해 가압하여 상기 폴리싱 장치를 통해 연마시키는 시편연마수단; 및
상기 탈부착수단과 상기 시편연마수단을 연결하는 연결수단;을 포함하되,
상기 시편연마수단은, 상기 시편이 장착되는 시편홀더; 상기 시편홀더에 연결되어 상기 시편홀더를 탄성지지하는 탄성체; 상기 탄성체에 연결되고, 누름 조작이 가능하여 상기 탄성체를 통해 상기 시편홀더에 가압력을 전달하는 누름체; 및 길이방향을 따라 상기 시편홀더와 상기 누름체가 서로 반대방향 외측으로 돌출되도록 상기 시편홀더와 상기 누름체가 내측에 장착되고, 상기 시편홀더와 상기 누름체의 동작을 가이드하는 가이드체;를 포함하고,
상기 가이드체에는, 상기 누름체의 동작방향을 따라 개방된 개구홀이 형성되고, 상기 시편홀더, 상기 누름체 중 어느 하나 또는 둘이 상기 개구홀을 통해 외부에 노출되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치용 보조장치.An auxiliary device for a polishing apparatus,
Detachment means detachably attached to the polishing apparatus;
A specimen polishing means for mounting the specimen and pressing the mounted specimen toward the polishing apparatus side to polish through the polishing apparatus; And
And a connecting means for connecting the attaching / detaching means with the specimen polishing means,
The specimen polishing means includes a specimen holder to which the specimen is mounted; An elastic body connected to the specimen holder and elastically supporting the specimen holder; A pressing member connected to the elastic body and capable of being pressed to transmit a pressing force to the specimen holder through the elastic body; And a guide body mounted on the inside of the specimen holder and the pusher so that the specimen holder and the pusher protrude outward in opposite directions along the longitudinal direction and guide the operation of the specimen holder and the pusher,
Characterized in that the guide body is provided with an opening hole which is opened along the operating direction of the pressing body, and one or both of the specimen holder and the pressing body is exposed to the outside through the opening hole Device.
상기 탈부착수단은,
탈부착몸체; 및
상기 탈부착몸체에 마련되고, 상기 탈부착몸체가 상기 폴리싱 장치에 장착 또는 분리되도록 상기 탈부착몸체에 공급되는 전원을 온 또는 오프시켜 전자석의 구동여부를 제어하는 스위치;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치용 보조장치.The method according to claim 1,
The attachment /
Detachable body; And
A switch provided on the detachable body for controlling whether the electromagnet is driven by turning on or off a power supplied to the detachable body so that the detachable body is mounted on or detached from the polishing apparatus;
And an auxiliary device for the polishing apparatus.
상기 연결수단은,
상기 탈부착수단에 형성되는 지지기둥; 및
상기 지지기둥과 상기 시편연마수단 사이를 연결하는 연결대;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치용 보조장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the connecting means comprises:
A support column formed in the attachment / detachment means; And
A connecting rod connecting the supporting column and the specimen polishing means;
And an auxiliary device for the polishing apparatus.
상기 연결대는,
상기 지지기둥에 대해 회동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치용 보조장치.6. The method of claim 5,
The connecting rod includes:
And is configured to be rotatable with respect to the support column.
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