KR101817045B1 - Stripping System for Protect Film Having After-treatment - Google Patents
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 175
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 64
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 claims description 10
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 15
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-ol Chemical compound CCCCC(CC)CO YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 9
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229940022663 acetate Drugs 0.000 description 8
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 8
- XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N butyl butanoate Chemical compound CCCCOC(=O)CCC XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N methyl benzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1 QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 7
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrolidine-3-carboxamide Chemical compound C1C(C(=O)N)CCN1CC1=CC=CC=C1 HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ICMAFTSLXCXHRK-UHFFFAOYSA-N Ethyl pentanoate Chemical compound CCCCC(=O)OCC ICMAFTSLXCXHRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical group CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 4
- OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N butanoic acid ethyl ester Natural products CCCC(=O)OCC OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 4
- MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 4
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229940095102 methyl benzoate Drugs 0.000 description 4
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 3
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940007550 benzyl acetate Drugs 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000005968 1-Decanol Substances 0.000 description 2
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- FMABSXTZZMCAFE-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO.CCCCCCCCCCO FMABSXTZZMCAFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- OVZBYIWZUUXJMN-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)ethanol Chemical compound OCCOCCO.OCCOCCO OVZBYIWZUUXJMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPAYAQMFPGDUKW-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical group CC(=O)OCC1=CC=CC=C1.CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 OPAYAQMFPGDUKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- RXTNIJMLAQNTEG-UHFFFAOYSA-N methylamyl acetate Natural products CCCCC(C)OC(C)=O RXTNIJMLAQNTEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B43/00—Operations specially adapted for layered products and not otherwise provided for, e.g. repairing; Apparatus therefor
- B32B43/006—Delaminating
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/0008—Electrical discharge treatment, e.g. corona, plasma treatment; wave energy or particle radiation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/16—Drying; Softening; Cleaning
- B32B38/162—Cleaning
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C08L79/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
- C11D7/5009—Organic solvents containing phosphorus, sulfur or silicon, e.g. dimethylsulfoxide
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
- C11D7/5013—Organic solvents containing nitrogen
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
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- B32B2310/00—Treatment by energy or chemical effects
- B32B2310/08—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation
- B32B2310/0806—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
- B32B2310/0831—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using UV radiation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
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- Medicinal Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 표면 후처리 장치를 구비한 패널의 표면에 부착된 보호필름을 박리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패널에 구비된 수명이 다된 보호필름을 박리하고, 박리된 후 패널의 표면을 후처리를 통하여 패널에 접착제 등과 같은 이물질이 잔존하지 않도록 할 수 있는 패널의 보호필름 박리시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a device for peeling off a protective film adhered to a surface of a panel having a surface finisher, and more particularly to a device for peeling off a protective film having a shortened life span and provided on a panel, And to prevent a foreign material such as an adhesive from remaining on the panel through post-processing.
최근 디스플레이장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 한층 더 강조되고 있으며 점점 대형화되는 추세이다. 이런 디스플레이장치의 제조시에 액정패널의 표면에 다양한 형태의 대형필름이 부착된다.Recently, display apparatuses have become more important as visual information delivery media, and they are becoming larger and larger. Various types of large films are attached to the surface of the liquid crystal panel in the manufacture of such a display device.
대형필름은 제조전까지 표면에 보호필름이 부착된 상태로 유지되고, 액정패널을 형성하는 기판 또는 글래스와 접합시에는 보호필름이 박리되게 된다.The large film is kept in a state where the protective film is attached to the surface before manufacturing, and the protective film is peeled off when bonded to the substrate or glass forming the liquid crystal panel.
이 때, 대형필름의 표면으로부터 보호필름을 박리하는 작업은 작업자의 수작업에 의해 진행되었다. 작업자가 대형필름의 일단부로부터 보호필름을 분리한 후, 보호필름을 타단부로 이동시키며 수작업으로 박리하게 된다.At this time, the operation of peeling the protective film from the surface of the large film was carried out manually by the operator. After the operator removes the protective film from one end of the large film, the protective film is moved to the other end and is peeled by hand.
이러한 종래 보호필름의 박리작업은 수작업이므로 작업시간이 길고, 작업자의 숙련도에 따라 박리시간이 상이한 단점이 있다. 특히, 크기가 대형일 경우 한명의 작업자가 박리작업을 수행할 수 없어 2명 이상이 협업하게 된다. 따라서, 인건비가 상승하고 작업시간이 길어지므로 연속되는 다음 공정도 지연되어 생산효율이 저하되는 단점이 있다.Such a conventional protective film is peeled off manually because it requires a long working time and has a different peeling time depending on the skill of the operator. Particularly, when the size is large, one worker can not perform the peeling work, so that two or more workers can collaborate. Therefore, since the labor cost is increased and the working time is lengthened, there is a disadvantage in that the production efficiency is lowered due to the delay of the next continuous process.
한편, 보호필름을 자동으로 박리하는 장치가 등록특허 제10-0513244호 "필름 박리방법, 필름 박리장치 및 표시 장치 패널의 제조방법"과 등록특허 제10-0855750호 "표면 보호 필름 박리 방법 및 표면 보호 필름 박리장치" 등에 개시된 바 있으나, 개시된 박리장치들은 기판이나 글래스와 같은 경질 재질의 표면에 부착된 보호필름을 자동으로 박리하는 구성이다.On the other hand, an apparatus for automatically peeling a protective film is disclosed in Japanese Patent Application No. 10-0513244 entitled " Film peeling method, film peeling apparatus and method for manufacturing display panel, "and Patent No. 10-0855750, Protective film peeling apparatus "and the like, the disclosed peeling apparatuses are configured to automatically peel off a protective film attached to the surface of a substrate or a hard material such as glass.
본 발명의 목적은 패널에서 보호필름을 보다 용이하게 박리할 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to provide a protective film peeling system which can more easily peel a protective film from a panel.
또한, 본 발명의 다른 목적은 후처리 장치를 구비함으로 보호필름이 제거된 패널 상에 접착제 등과 같은 이물질이 잔존하지 않고 패널이 표면이 깨긋하게 유지되도록 할 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a protective film peeling system which can maintain a surface of a panel without leaving any foreign material such as adhesive on a panel on which a protective film is removed by having a post-processing device .
또한, 본 발명의 다른 목적은 파단되기 쉬운 필름에 대해서는 패널의 손상없이 용이하게 필름을 박리할 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공하기 위함이다.Another object of the present invention is to provide a protective film peeling system which can easily peel off a film which is likely to be broken without damaging the panel.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 박리된 보호필름의 수거가 용이하고 공정시간을 단축시킬 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공하기 위함이다.It is still another object of the present invention to provide a protective film peeling system which can easily collect the peeled protective film and shorten the processing time.
본 발명의 일측면에 따르면, 본 발명은 보호필름이 구비된 패널에서 상기 보호필름을 박리하는 보호필름 박리장치와 상기 보호필름이 박리된 패널의 표면을 처리하는 후처리 장치로 이루어지는 패널의 보호필름 박리시스템에 있어서, 상기 후처리 장치는, 상기 보호필름이 박리된 패널을 수납하고 내부에 세정액을 구비하는 세정챔버부; 상기 세정챔버에서 배출되는 패널을 열풍으로 건조하는 건조기; 및 상기 건조기 내부에 구비되어 상기 패널의 상부 및 하부 표면으로 파장이 184.9nm 및 253.7nm 중 어느 하나의 자외선을 이용하여 상기 게르마늄 칩의 표면에 2초 내지 3초 동안 자외선을 조사하되 각도를 변경시키면서 조사하는 자외선광원부재;를 포함하는 보호필름 박리시스템을 포함한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a panel protective film comprising a protective film peeling apparatus for peeling the protective film from a panel provided with a protective film, and a post-treatment apparatus for treating the surface of the panel from which the protective film is peeled The post-treatment apparatus according to claim 1, wherein the post-treatment apparatus further comprises: a cleaning chamber part for containing the panel on which the protective film is peeled and having a cleaning liquid therein; A dryer for drying the panel discharged from the cleaning chamber by hot air; And irradiating the surface of the germanium chip with ultraviolet rays for 2 seconds to 3 seconds using ultraviolet rays having wavelengths of 184.9 nm and 253.7 nm to the upper and lower surfaces of the panel, And an ultraviolet light source member for irradiating the ultraviolet light source member.
상기 세정챔버부는, 내부에 세정액과 패널이 구비되는 공간을 구비하는 챔버; 상기 챔버의 내부 하면에 구비되어 세정액을 교반하는 교반기; 상기 챔버의 일측 상부에 구비되어 상기 챔버로 세정액을 공급하는 인렛노즐; 상기 인렛노즐의 하부에 구비되어 상기 챔버 내로 세정액을 추가로 공급하도록 밸브가 구비된 보조인렛노즐; 상기 챔버의 외면에서 상기 챔버의 외면을 감싸도록 구비되어 상기 챔버의 온도를 유지하는 챔버자켓; 및 상기 챔버의 타측 하부에 구비되어 상기 챔버 내의 세정액을 배출시키는 아웃렛노즐;를 포함할 수 있다.The cleaning chamber unit may include: a chamber having a space in which a cleaning liquid and a panel are disposed; An agitator provided on an inner surface of the chamber to agitate the cleaning liquid; An inlet nozzle provided at one side of the chamber to supply a cleaning liquid to the chamber; An auxiliary inlet nozzle provided at a lower portion of the inlet nozzle and having a valve for further supplying a cleaning liquid into the chamber; A chamber jacket surrounding the outer surface of the chamber at an outer surface of the chamber to maintain the temperature of the chamber; And an outlet nozzle provided at a lower portion of the other side of the chamber to discharge the cleaning liquid in the chamber.
상기 건조기는, 상기 건조기의 외부에 구비되어 상기 건조기 내부로 열을 공급하는 히팅자켓을 포함하고, 상기 자외선광원부재는, 상기 패널을 향하여 자외선을 조사하는 원형의 헤드부, 상기 헤드부의 하부에 구비되어 상기 헤드부가 상하좌우 회동이 가능하도록 연결되는 지지스프링부, 상기 지지스프링부의 말단에 구비되어 상기 건조기의 내면과 나사결합하는 고정부로 이루어질 수 있다.The dryer includes a heating jacket provided outside the dryer and supplying heat to the inside of the dryer. The ultraviolet light source member includes a circular head portion for irradiating ultraviolet rays toward the panel, A supporting spring portion connected to the head portion so as to be vertically and horizontally rotatable, and a fixing portion provided at an end of the supporting spring portion and screwed into the inner surface of the dryer.
상기 세정액은 50 내지 95 중량부의 아마이드계 용제, 5 내지 15중량부의 아세테이트계 용제, 및 15 내지 30의 알코올계 용제로 이루어지고, 상기 아마이드계 용제는 N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, 디메틸설폭사이드, N-메틸피롤리돈, 포름아마이드로부터 선택된 1종 이상의 화합물이고, 상기 아세테이트계 용제는 벤질아세테이트 (Benzyl acetate), 부틸부티레이트 (Butyl butyrate), 에틸부티레이트 (Ethyl butyrate), 에틸펜타노에이트 (Ethyl pentanoate), 이소부틸아세테이트 (Isobutyl acetate), 메틸베조에이트 (Methyl benzoate), 아밀아세테이트 (Amyl acetate), 2-메톡시에틸아세테이트 (2-methoxyethyl acetate)로부터 선택된 1종 이상의 화합물이며, 상기 알코올계 용제는 에틸알코올 (Ethyl alcohol), 벤질알코올 (Benzyl alcohol), 에틸렌글리콜 (Ethylene glycol), 디에틸렌글리콜 (Diethylene glycol), 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 (Ethylene glycol monomethyl ether), 에틸렌글리콜 에틸에테르 (ethylene glycol ethyl ether), 에릴렌글리콜 프로필에테르 (ethylene glycol propyl ether), 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 (ethylene glycol monobutyl ether), 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 (diethylene glycol monoethyl ether), 1-데칸올 (1-Decanol), 2-에틸헥산올 (2-Ethylhexanol), 옥탄올 (Octanol), 1-헥산올 (1-hexanol), 2-부탄올 (2-Butanol)로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다.Wherein the cleaning liquid comprises 50 to 95 parts by weight of an amide solvent, 5 to 15 parts by weight of an acetate solvent and 15 to 30 of an alcohol solvent, wherein the amide solvent is N, N-dimethylacetamide, N, N- Dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone and formamide. The acetate solvent may be at least one selected from the group consisting of benzyl acetate, butyl butyrate, ethyl butyrate, At least one member selected from ethyl pentanoate, isobutyl acetate, methyl benzoate, amyl acetate and 2-methoxyethyl acetate. Wherein the alcohol solvent is selected from the group consisting of ethyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol ethyl ether, ethylene glycol propyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether, 1-decanol, 2-ethylhexanol, octanol, 1-hexanol, and the like. , And 2-butanol.
상기 보호필름 박리장치는, 하부 및 상부 표면에 각각 보호필름이 부착된 패널을 지지하되 상기 패널의 하부 및 상부가 노출되도록 상기 패널의 모서리 일부에 대응하는 형태로 구비되는 지지프레임과 상기 지지프레임에 패널의 위치를 가이드하는 얼라인기가 구비된 로딩부; 상기 로딩부에서 얼라인된 패널을 픽업하여 수평 이동시키는 패널이송부; 상기 패널이송부에 의해 수평 이동되는 패널의 하부 표면에 접촉되어 하부 보호필름의 외면을 고정하여 박리하는 박리롤러와, 상기 박리롤러의 후방측에 배치되고 박리된 보호필름의 하면에 전방 상향으로 에어를 송풍하여 박리된 보호필름을 상기 박리롤러의 전방측으로 반전 이동시키는 송풍부재를 포함하는 하부필름박리부; 상기 박리롤러의 전방측에서 박리롤러에 의해 박리된 보호필름의 모서리를 박리롤러를 향하여 가압하여 파지 고정하는 필름파지구; 상기 송풍부재에 의해 박리롤러의 전방측으로 반전 이동된 하부 보호필름을 파지하여 수거하는 필름수거부; 하부 보호필름이 박리된 패널이 패널이송부에 의해 이송된 후 안착되는 것으로 상부 보호필름이 박리되는 동안 상기 패널을 진공 흡착하는 언로딩스테이지; 및 상기 패널이송부에 장착되어 상기 패널이송부와 함께 이동되며, 박리롤러로 상기 언로딩스테이지에 흡착된 패널의 상부 보호필름을 점착한 상태에서 상기 패널이송부가 다시 후방측으로 수평 이동됨에 따라 상기 상부 보호필름을 박리하는 상부필름박리부;를 포함할 수 있다.The protective film peeling apparatus includes a support frame supporting a panel having a protective film attached to lower and upper surfaces thereof, the support frame having a shape corresponding to a part of an edge of the panel so that lower and upper portions of the panel are exposed, A popular loading unit for guiding the position of the panel; A panel transferring unit that picks up the panel aligned in the loading unit and horizontally moves the panel; A peeling roller for contacting and peeling the outer surface of the lower protective film by contacting the lower surface of the panel horizontally moved by the conveying portion, a peeling roller disposed on the rear side of the peeling roller, A lower film peeling unit including a blowing member for reversely moving the peeled protective film toward the front side of the peeling roller; A film wave segment for pressing and fixing the edge of the protective film peeled off by the peeling roller toward the peeling roller at the front side of the peeling roller; A film removing unit for holding and collecting the lower protective film reversely moved to the front side of the peeling roller by the air blowing member; An unloading stage for vacuum-adsorbing the panel while the upper protective film is peeled off as the panel in which the lower protective film is peeled is placed after the panel is conveyed by the conveying portion; And the upper protective film of the panel adsorbed by the unloading stage is adhered to the panel by the peeling roller, the panel is horizontally moved back to the rear side while the panel is mounted on the transmitting part, And an upper film peeling portion for peeling off the upper protective film.
상기 얼라인기에는 상기 패널에 구비되는 보호필름의 일 모서리를 들어올리는 필름그립수단과 상기 필름그립수단의 인접한 하부측에서 상기 패널측으로 세정액을 공급하는 세정액공급부를 더 구비하고, 상기 필름그립수단는 상기 얼라인기에서 가역적으로 상하 이동이 가능하도록 연결될 수 있다.The film grip means further comprises a film grip means for lifting one edge of a protective film provided on the panel and a cleaning liquid supply portion for supplying a cleaning liquid to the panel side from an adjacent lower side of the film grip means, It can be connected so as to be movable up and down reversibly in popularity.
상기 필름그립수단은 외면에 다수의 요철을 구비하는 폴리이미드 (polyimide) 수지로 이루어지고, 상기 세정액은 50 내지 95 중량부의 아마이드계 용제, 5 내지 15중량부의 아세테이트계 용제, 및 15 내지 30의 알코올계 용제로 이루어질 수 있다.Wherein the film grip means is made of a polyimide resin having a plurality of concavo-convex portions on its outer surface, and the cleaning liquid contains 50 to 95 parts by weight of an amide solvent, 5 to 15 parts by weight of an acetate solvent, and 15 to 30 alcohol Based solvent.
상기 아마이드계 용제는 N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, 디메틸설폭사이드, N-메틸피롤리돈, 포름아마이드로부터 선택된 1종 이상의 화합물이고, 상기 아세테이트계 용제는 벤질아세테이트 (Benzyl acetate), 부틸부티레이트 (Butyl butyrate), 에틸부티레이트 (Ethyl butyrate), 에틸펜타노에이트 (Ethyl pentanoate), 이소부틸아세테이트 (Isobutyl acetate), 메틸베조에이트 (Methyl benzoate), 아밀아세테이트 (Amyl acetate), 2-메톡시에틸아세테이트 (2-methoxyethyl acetate)로부터 선택된 1종 이상의 화합물이며, 상기 알코올계 용제는 에틸알코올 (Ethyl alcohol), 벤질알코올 (Benzyl alcohol), 에틸렌글리콜 (Ethylene glycol), 디에틸렌글리콜 (Diethylene glycol), 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 (Ethylene glycol monomethyl ether), 에틸렌글리콜 에틸에테르 (ethylene glycol ethyl ether), 에릴렌글리콜 프로필에테르 (ethylene glycol propyl ether), 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 (ethylene glycol monobutyl ether), 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 (diethylene glycol monoethyl ether), 1-데칸올 (1-Decanol), 2-에틸헥산올 (2-Ethylhexanol), 옥탄올 (Octanol), 1-헥산올 (1-hexanol), 2-부탄올 (2-Butanol)로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다.The amide solvent is at least one compound selected from N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone and formamide, and the acetate solvent is benzyl acetate Benzyl acetate, butyl butyrate, ethyl butyrate, ethyl pentanoate, isobutyl acetate, methyl benzoate, amyl acetate, 2-methoxyethyl acetate. The alcohol-based solvent may be at least one selected from the group consisting of ethyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol Diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol ethyl ether, Ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 1-decanol, 2-ethylhexanol (hereinafter referred to as " 2-ethylhexanol, octanol, 1-hexanol, and 2-butanol.
상기 박리롤러는 상기 박리롤러의 외면에 구비되어 상기 보호필름과 집적 접촉하여 상기 보호필름에 마찰력을 제공하고 복수개의 진공홀과 복수개의 마찰모를 구비하는 실리콘커버를 구비하고, 상기 박리롤러는 감압펌프와 연결되어 상기 실리콘커버의 진공홀을 통하여 공기를 흡입하여 상기 보호필름을 고정시키며, 상기 마찰모는 실리콘으로 이루어질 수 있다.Wherein the peeling roller comprises a silicon cover provided on an outer surface of the peeling roller and in contact with the protective film to provide a frictional force to the protective film and having a plurality of vacuum holes and a plurality of friction grooves, And the air is sucked through the vacuum hole of the silicon cover to fix the protective film, and the friction film may be made of silicon.
상기 박리롤러는 순차적으로 구비되고 각각 상이한 크기의 진공홀을 구비하는 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러를 포함하고, 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러는 각각 진공을 제어하는 감압펌프에 연결되며, 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러와 상기 감압펌프 사이에는 각각 스위치를 구비하여 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러의 진공홀을 통한 감압을 개별적으로 제어할 수 있다.The peeling roller includes a first peeling roller to a sixth peeling roller sequentially provided with vacuum holes of different sizes, and the first to sixth peeling rollers are connected to a decompression pump And a switch is provided between the first to sixth peeling rollers and the vacuum pump so that the pressure reduction through the vacuum holes of the first to sixth peeling rollers can be individually controlled.
상기 송풍부재는 상기 박리롤러에 인접하게 구비되어 40℃ 내지 50℃의 에어를 송풍하는 온풍부와, 상기 온풍부에서 상부측으로 나란하게 이격되게 구비되어 10℃ 내지 15℃의 에어를 송풍하는 냉풍부로 이루어질 수 있다.The air blowing member is disposed adjacent to the peeling roller and has a hot air portion blowing air at 40 ° C to 50 ° C and a cold air portion blowing air at 10 ° C to 15 ° C so as to be spaced from the hot air portion, Lt; / RTI >
상기 필름수거부는, 좌우 양측에서 각각 상하로 회동됨에 따라 외측으로 펼쳐졌다가 다시 서로 맞닿도록 내측으로 오므려지게 절첩가능하게 구성되어, 상기 박리롤러의 전방측으로 반전 이동된 하부 보호필름을 파지하는 그립퍼와, 상기 그립퍼를 상하로 회전시키도록 구성되어 상기 그립퍼에 의해 파지된 보호필름을 하측으로 이송 배출하는 그립퍼회전부재를 포함할 수 있다.The film rejection is configured to be folded inwardly so as to be spread outwardly as it is pivoted up and down from both the left and right sides and to come in contact with each other again so as to grip the lower protective film which has been reversely moved to the front side of the peeling roller And a gripper rotating member configured to rotate the gripper up and down to feed and discharge the protective film held by the gripper downward.
이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 패널에서 보호필름을 보다 용이하게 박리할 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a protective film peeling system that can more easily peel a protective film from a panel.
또한, 본 발명에 따르면 후처리 장치를 구비함으로 보호필름이 제거된 패널 상에 접착제 등과 같은 이물질이 잔존하지 않고 패널이 표면이 깨긋하게 유지되도록 할 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공할 수 있다. In addition, according to the present invention, it is possible to provide a protective film peeling system capable of keeping the surface of a panel in a clean state without leaving any foreign material such as an adhesive on a panel on which a protective film is removed.
또한, 본 발명에 따르면 파단되기 쉬운 필름에 대해서는 패널의 손상없이 용이하게 필름을 박리할 수 있는 보호필름 박리시스템 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a protective film peeling system which can easily peel off a film without damaging the panel with respect to a film which is likely to break.
또한, 본 발명에 따르면 박리된 보호필름의 수거가 용이하고 공정시간을 단축시킬 수 있는 보호필름 박리시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide a protective film peeling system which can easily collect the peeled protective film and shorten the processing time.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리시스템을 나타낸 도면이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 의한 보호필름 박리장치를 나타낸 도면이다.
도 2a는 도 1b의 로딩부의 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 A-A에 따른 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 지지프레임의 사시도이다.
도 3은 도 1b의 패널이송부의 사시도이다.
도 4는 하부필름박리부의 사시도이다.
도 5는 필름수거부의 사시도이다.
도 6 내지 도 12는 본 발명에 일 실시예에 따른 보호필름 박리장치의 작동 상태를 나타낸 도면이다.
13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박리롤러를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 로딩부를 나타낸 도면이다.
도 15는 도 14의 B의 확대도이다.
도 16은 도 14를 이용하여 보호필름의 모서리를 그립하는 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 17은 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 세정챔버부를 나타낸 도면이다.
도 18은 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 건조기를 나타낸 도면이다.
도 19는 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 자외선광원을 나타낸 도면이다.1A is a view illustrating a protective film peeling system according to an embodiment of the present invention.
1B is a view illustrating a protective film peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2a is a perspective view of the loading portion of Figure 1b.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2A.
Figure 2c is a perspective view of the support frame of Figure 2a.
Fig. 3 is a perspective view of the panel-conveying portion of Fig. 1b.
4 is a perspective view of the lower film peeling section.
5 is a perspective view of film rejection.
6 to 12 are views showing an operation state of the protective film peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
13 is a view schematically showing a peeling roller according to another embodiment of the present invention.
14 is a view illustrating a loading unit according to another embodiment of the present invention.
15 is an enlarged view of B in Fig.
FIG. 16 is a view schematically showing a state in which the edges of the protective film are gripped by using FIG. 14. FIG.
FIG. 17 is a view showing a cleaning chamber portion included in the post-treatment apparatus of FIG. 1a.
FIG. 18 is a view showing a dryer provided in the post-treatment apparatus of FIG. 1a.
FIG. 19 is a view showing an ultraviolet light source included in the post-processing apparatus of FIG.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 이하의 설명에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 매체를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 도면에서 본 발명과 관계없는 부분은 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in various forms. In the following description, it is assumed that a part is connected to another part, But also includes a case in which other media are connected to each other in the middle. In the drawings, parts not relating to the present invention are omitted for clarity of description, and like parts are denoted by the same reference numerals throughout the specification.
이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리시스템을 나타낸 도면이다. 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 의한 보호필름 박리장치를 나타낸 도면이다. 도 2a는 도 1b의 로딩부의 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 A-A에 따른 단면도이며, 도 2c는 도 2a의 지지프레임의 사시도이다. 도 3은 도 1b의 패널이송부의 사시도이다. 도 4는 하부필름박리부의 사시도이다. 도 5는 필름수거부의 사시도이다. 1A is a view illustrating a protective film peeling system according to an embodiment of the present invention. 1B is a view illustrating a protective film peeling apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2A is a perspective view of the loading portion of FIG. 1B, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 2A, and FIG. 2C is a perspective view of the support frame of FIG. Fig. 3 is a perspective view of the panel-conveying portion of Fig. 1b. 4 is a perspective view of the lower film peeling section. 5 is a perspective view of film rejection.
본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리시스템은 보호필름이 구비된 패널에서 상기 보호필름을 박리하는 보호필름 박리장치와 상기 보호필름이 박리된 패널의 표면을 처리하는 후처리 장치로 이루어지는 것으로, 상기 보호필름 박리시스템은 상기 보호필름이 박리된 패널을 수납하고 내부에 세정액을 구비하는 세정챔버부; 상기 세정챔버에서 배출되는 패널을 열풍으로 건조하는 건조기; 및 상기 건조기 내부에 구비되어 상기 패널의 상부 및 하부 표면으로 파장이 184.9nm 및 253.7nm 중 어느 하나의 자외선을 이용하여 상기 게르마늄 칩의 표면에 2초 내지 3초 동안 자외선을 조사하되 각도를 변경시키면서 조사하는 자외선광원부재;로 이루어지는 후처리 장치를 포함한다.The protective film peeling system according to an embodiment of the present invention comprises a protective film peeling apparatus for peeling the protective film from a panel having a protective film and a post-processing apparatus for treating the surface of the panel from which the protective film is peeled, Wherein the protective film peeling system comprises: a cleaning chamber part containing a panel on which the protective film is peeled and having a cleaning liquid therein; A dryer for drying the panel discharged from the cleaning chamber by hot air; And irradiating the surface of the germanium chip with ultraviolet rays for 2 seconds to 3 seconds using ultraviolet rays having wavelengths of 184.9 nm and 253.7 nm to the upper and lower surfaces of the panel, And an ultraviolet light source member for irradiating the ultraviolet light source.
또한, 상기 보호필름 박리장치는 하부 및 상부 표면에 각각 보호필름 (F)이 부착된 패널 (P)을 지지하되 상기 패널 (P)의 하부 및 상부가 노출되도록 상기 패널 (P)의 모서리 일부에 대응하는 형태로 구비되는 지지프레임 (12)과 상기 지지프레임 (12)에 패널 (P)의 위치를 가이드하는 얼라인기 (14)가 구비된 로딩부 (10); 상기 로딩부 (10)에서 얼라인된 패널 (P)을 픽업하여 수평 이동시키는 패널이송부 (20) 상기 패널이송부 (10)에 의해 수평 이동되는 패널 (P)의 하부 표면에 접촉되어 하부 보호필름 (F)의 외면을 고정하여 박리하는 박리롤러 (32)와, 상기 박리롤러 (32)의 후방측에 배치되고 박리된 보호필름 (F)의 하면에 전방 상향으로 에어를 송풍하여 박리된 보호필름 (F)을 상기 박리롤러 (32)의 전방측으로 반전 이동시키는 송풍부재 (33)를 포함하는 하부필름박리부 (30); 상기 박리롤러 (32)의 전방측에서 박리롤러 (32)에 의해 박리된 보호필름 (F)의 모서리를 박리롤러 (32)를 향하여 가압하여 파지 고정하는 필름파지구 (34); 상기 송풍부재 (33)에 의해 박리롤러의 전방측으로 반전 이동된 하부 보호필름 (F)을 파지하여 수거하는 필름수거부 (50); 하부 보호필름 (F)이 박리된 패널 (P)이 패널이송부 (20)에 의해 이송된 후 안착되는 것으로 상부 보호필름 (F)이 박리되는 동안 상기 패널 (P)을 진공 흡착하는 언로딩스테이지 (60); 및 상기 패널이송부 (20)에 장착되어 상기 패널이송부 (20)와 함께 이동되며, 박리롤러 (32)로 상기 언로딩스테이지 (60)에 흡착된 패널 (P)의 상부 보호필름 (F)을 점착한 상태에서 상기 패널이송부 (20)가 다시 후방측으로 수평 이동됨에 따라 상기 상부 보호필름 (F)을 박리하는 상부필름박리부 (40);를 포함한다.The protective film peeling device supports a panel P on which a protective film F is attached on the lower and upper surfaces of the panel P so that the lower and upper surfaces of the panel P are exposed, (10) having a support frame (12) provided in a corresponding form and an allegoring (14) for guiding the position of the panel (P) to the support frame (12); A panel transfer unit 20 which picks up the panel P aligned in the loading unit 10 and horizontally moves the transfer unit 20 is brought into contact with the lower surface of the panel P horizontally moved by the transfer unit 10, A peeling roller 32 for fixing and peeling the outer surface of the film F and a protective film F which is disposed on the rear side of the peeling roller 32 and blows air upward in a forward direction, A lower film peeling portion (30) including a blowing member (33) for reversely moving the film (F) to the front side of the peeling roller (32); A film waveguide 34 for pressing and holding the edge of the protective film F peeled off by the peeling roller 32 toward the peeling roller 32 from the front side of the peeling roller 32; A film rejecting unit 50 for holding and picking up the lower protective film F which is reversely moved to the front side of the peeling roller by the blowing member 33; An unloading stage (P) for vacuum adsorbing the panel (P) while the upper protective film (F) is peeled off by the panel (P) from which the lower protective film (F) (60); And the upper protective film F of the panel P adsorbed to the unloading stage 60 by the peeling roller 32. The upper protective film F of the panel P, And an upper
도 1a에 도시된 바와 같이, 본 발명은 패널에서 보호필름을 박리하는 보호필름 박리장치와, 상기 보호필름 박리장치에 의하여 박리된 후 패널의 표면에 잔존하는 이물질 등이 처리되는 후처리 장치로 구분될 수 있다. 이하에서는 도 1a 내지 도 16을 이용하여 보호필름 박리장치에 대해서 우선 설명하고, 이어서 도 17 내지 도 18을 이용하여 후처리 장치에 대해서 설명한다.As shown in FIG. 1A, the present invention is divided into a protective film peeling apparatus for peeling a protective film from a panel, and a post-processing apparatus for peeling off the protective film by the peeling apparatus, . Hereinafter, the protective film peeling apparatus will be described first with reference to Figs. 1A to 16, and then the post-processing apparatus will be described with reference to Figs. 17 to 18. Fig.
상기 보호필름 박리장치에서, 상기 지지프레임 (12)은 일측이 개방되고 상기 패널 (P)의 3개의 모서리와 대면하도록 구비되도록 서로 대면하는 한쌍의 제1 프레임 (12a), 상기 한쌍의 제1 프레임 (12a)의 일측면을 ㄷ자형태가 되도록 연결하는 제2 프레임 (12b), 상기 상기 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 하부를 연결하고 내부에 복수개의 홀을 구비하는 메쉬부재 (12c), 및 상기 제1 및 제2 프레임 (12a, 12b)의 측면에 구비되는 하나 이상의 열선 (12e)을 포함하고, 상기 제1 및 제2 프레임 (12a, 12b)은 상기 패널 (P)의 3개의 모서리를 지지하도록 단차부 (12d)를 구비할 수 있다.In the protective film peeling apparatus, the
상기 로딩부(10)는 외부로부터 공급된 패널 (P)의 위치를 얼라인하고, 상기 패널 (P)에 구비되는 보호필름 (F)을 전처리하여 하부필름박리부 (30)에서 상기 보호필름 (F)이 용이하게 제거되도록 하기 위한 부분으로, 지지프레임 (12)과 얼라인기 (14), 제1 스테이지화전부재 (16) 및 제1 수평이송부재 (18)로 이루어질 수 있다.The
상기 지지프레임 (12)은 패널 (P)의 하부에서 상기 패널 (P)을 지지하는 부분이고, 상기 지지프레임 (12) 상에 안착되는 패널 (P)은 상기 얼라인기 (14)에 의하여 위치가 가이드될 수 있다. 상기 얼라인기 (14)는 상기 지지프레임 (12)의 일측에 구비될 수 있다.The
상기 지지프레임 (12)은 서로 대면하는 한쌍의 제1 프레임 (12a)과 상기 한쌍의 제1 프레임 (12a)의 일단을 연결하는 하나의 제2 프레임 (12b)으로 이루어지고 상기 제2 프레임 (12b)가 대면하는 면은 개구되어 구비될 수 있다. 서로 연결된 상기 제1 및 제2 프레임 (12a, 12b)은 ㄷ자형태로 연결되고 상기 얼라인기 (14)는 상기 제2 프레임 (12b)과 대면하는 면에 구비될 수 있다. 상기 한쌍의 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 하부에는 메쉬부재 (12c)가 구비될 수 있다. 상기 메쉬부재 (12c)는 금속으로 이루어지는 망상형태로 구비될 수 있다.The
상기 패널 (P)은 지지프레임 (12) 상에 안착될 수 있는데, 상기 지지프레임 (12)에서 개구되는 부분인 상기 제2 프레임 (12b)과 대면하는 면을 통하여 상기 지지프레임 (12)의 한쌍의 제1 프레임 (12a) 사이에 삽입될 수 있다.The panel P may be seated on the
상기 한쌍의 제1 프레임 (12a)와 제2 프레임 (12b)은 단면이 ㄴ자형태로, 상기 패널 (P)이 안착되는 부분이 단차지도록 (12d)구비될 수 있다. 상기 패널 (P)의 측면은 상기 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 내면과 접촉하고, 상기 패널 (P)의 하부는 상기 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 단차지는 부분 (12b)에 의하여 지지되어 상기 메쉬부재 (12c)와 이격되어 대면할 수 있다. 예컨대, 상기 패널 (P)의 하부면과 상기 메쉬부재 (12c)는 서로 이격되어 구비될 수 있다.The
상기 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 내부에는 하나 이상의 열선 (12e)이 구비될 수 있다. 상기 열선 (12e)은 금속으로 이루어진 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)에 열을 전달할 수 있는데, 상기 지지프레임 (12)에 구비된 패널 (P)은 상기 열선 (12e)을 통하여 열을 전달받고 이에 의하여 패널 (P)의 상부 및 하부에 구비되는 보호필름 (F)의 접착제를 녹일 수 있다. 또한 상기 패널 (P)의 상부는 개방되어 있고, 상기 패널 (P)의 하부는 상기 제1 프레임 (12a)과 제2 프레임 (12b)의 단차지는 부분 (12d)을 제외하고는 메쉬부재 (12c)와 이격되어 있다. 이에 의하여 상기 열선 (12e)에 의하여 전달되는 열에 의하여 상기 패널 (P)의 상부 및 하부에 구비되는 보호필름 (F)이 후속하는 공정에서 보다 용이하게 박리될 수 있도록 할 수 있다.One or
상기 얼라인기 (14)는 상기 지지프레임 (12)에 안착된 패널 (P)의 일측 모서리를 밀어서 상기 패널 (P)이 지지프레임 (12)의 내부에 고정되도록 하여 상기 패널 (P)의 배향이 상기 지지프레임 (12)의 배향과 동일하게 할 수 있다. 상기 얼라인기 (14)는 상기 얼라인기 (14)의 하부에 설치된 에어실린더에 의하여 상하 및 좌우의 직선이동할 수 있다. The
상기 제1 스테이지회전부재 (16)는 상기 지지프레임 (12)의 하부에 설치되어 상기 지지프레임 (12)을 수직축을 기준으로 하여 회전시킬 수 있으며, 예컨대 로터리실린더로 이루어질 수 있다. 상기 지지프레임 (12)은 최초에는 제1 스평이송부재 (18)와 나란하게 정렬되어 있다가, 상기 지지프레임 (12)에 패널 (P)이 안착되는 경우에는 제1 스테이지회전부재 (16)의 회전에 의하여 상기 지지프레인 (12)의 모서리 부분이 전방측을 향하도록 45°회전된 상태로 배치된다. 이에 의하여 상기 지지프레임 (12)에 구비되는 패널 (P)은 상기 박리롤러(32)에 의하여 상기 패널 (P)의 모서리 부분부터 박리를 시작하도록 할 수 있다.The first
상기 제1 스테이지회전부재 (16)의 하부에는 제1 수평이송부재 (18)가 구비된다. 상기 제1 수평이송부재(18)는 리니어모터 또는 리드스크류 등으로 구성될 수 있으며 지지프레임 (12)에 안착된 패널 (P)을 후술하는 패널이송부 (20)의 위치로 수평 이송한다.A first horizontal conveying
상기 패널이송부 (20)는 상기 로딩부 (10)로부터 공급되는 패널 (P)을 픽업하여 후술하는 하부필름박리부 (30)와 언로딩스테이지 (60)로 수평 이송시킬 수 있다. 상기 패널이송부 (20)는 제1 픽업부재 (22), 제1 승강부재 (24) 및 제 2수평이송부재 (26)로 이루어질 수 있다.The
상기 제1 픽업부재 (22)는 지지프레임 (12)에 안착되어 이송된 패널 (P)을 상방에서 진공에 의해 흡입하여 픽업하는 부재로 브라켓 상에 다수개가 장착된다. 그리고, 상기 제1 승강부재 (24)는 제1 픽업부재 (22)가 장착된 브라켓을 상하로 승강시키는 것으로 리니어모터, 리드스크류 또는 실린더 등으로 구성될 수 있다. 또한, 상기 제2 수평이송부재 (26)는 상기 제1 승강부재 (24)를 수평 방향으로 이송시키는 것으로 역시 리니어모터 또는 리드스크류 등으로 구성될 수 있다. 이에 따라, 상기 패널이송부 (20)는 지지프레임 (12)에 안착된 패널 (P)을 픽업한 후 후술하는 하부필름박리부 (30)와 언로딩스테이지 (60)까지 수평으로 순차 이송시킨다.The first pick-up
상기 하부필름박리부 (30)는 패널이송부 (20)에 의해 픽업되어 이송된 패널 (P)의 하부 표면에 부착된 보호필름 (F)을 박리할 수 있다. 상기 하부필름박리부 (30)는 박리롤러 (32), 송풍노즐, 클램프, 클램프구동부재, 제2 승강부재(38)로 이루어질 수 있다.The lower
상기 박리롤러 (32)는 상기 박리롤러 (32)의 측면에 구비되는 롤러브라켓 (32a)에 의하여 회전하도록 구비될 수 있으며, 상기 박리롤러 (32)는 회전하면서 상기 패널 (P)의 하부 표면에 구비되는 보호필름 (F)을 고정하여 박리시킬 수 있다.The peeling
상기 박리롤러 (32)는 상기 박리롤러 (32)의 외면에 구비되어 상기 보호필름 (F)과 집적 접촉하여 상기 보호필름 (F)에 마찰력을 제공하고 복수개의 진공홀 (32c)을 구비하는 실리콘커버 (32b)를 구비할 수 있다. 상기 박리롤러 (32)는 감압펌프와 연결되어 상기 실리콘커버 (32b)의 진공홀 (32c)을 통하여 공기를 흡입하여 상기 보호필름 (F)을 고정시킬 수 있다. 상기 실리콘커버 (32b)의 외면에는 실리콘으로 이루어지는 복수개의 마찰모 (32d)를 구비할 수 있다. The peeling
상기 박리롤러 (32)는 내부가 빈 금속으로 이루어지고, 외면에는 상기 실리콘커버 (32b)에 구비되는 진공홀 (32c)에 대응하는 위치에 복수개의 홀을 구비할 수 있다. 상기 박리롤러 (32)는 감압펌프와 연결될 수 있으며, 상기 감압펌프의 전원을 공급하여 홀과 진공홀 (32c)을 통하여 감압시킴으로써 상기 보호필름 (F)을 고정시킬 수 있다.The peeling
상기 실리콘커버 (32b)는 상기 박리롤러 (32)를 고정시키면서 감싸도록 구비될 수 있으며 외면에는 마찰모 (32d)를 구비한 형태로 구비될 수 있다. 상기 실리콘커버 (32b)는 고무와 같은 재질로 보호필름 (F)에 대해서 마찰력을 제공할 수 있으며 상기 실리콘커버 (32b)에 구비된 마찰모 (32d)는 실리콘커버 (32d)의 표면적을 증가시켜 상기 보호필름 (F)의 고정력을 보다 향상시킬 수 있다.The
상기 송풍부재 (33)는 상기 박리롤러에 인접하게 구비되어 40℃ 내지 50℃의 에어를 송풍하는 온풍부 (33a)와, 상기 온풍부 (33a)에서 상부측으로 나란하게 이격되게 구비되어 10℃ 내지 15℃의 에어를 송풍하는 냉풍부 (33b)로 이루어질 수 있다. 상기 온풍부 (33a)와 냉풍부 (33b)는 상하 양측에서 상기 보호필름 (F)측으로 에어를 송풍하여 상기 패널 (P)에서 박리된 보호필름 (F)이 박리롤러에 달라붙는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 박리롤러 (32)와 인접한 하부측에는 온풍부 (33a)를 구비시킴으로써 상기 보호필름 (F)의 접착제를 멜팅시켜 접착력을 감소시킬 수 있으며, 이에 의하여 상기 보호필름 (F)이 박리롤러 (32)에서 탈착되도록 할 수 있다. 또한, 상기 온풍부 (33a)의 상부에는 냉풍부 (33b)를 구비할 수 있는데, 상기 냉풍부 (33b)는 멜팅된 접착제를 냉각시켜 상기 접착제로 먼지 등의 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다.The
상기 온풍부 (33a)를 통하여 배출되는 에어의 온도는 40℃ 내지 50℃일 수 있는데, 40℃ 미만인 경우에는 접착제를 멜팅시키기 충분하지 않고, 50℃ 초과인 경우에는 보호필름 (F)에도 유동성을 부여하여 상기 보호필름 (F)에 에어를 가해서 보호필름 (F)의 위치를 이동시키기가 용이하지 않다. 또한, 상기 냉풍부 (33b)의 온도가 10℃ 미만인 경우에는 상기 온풍부 (33a)에 의하여 온도가 상승한 보호필름 (F)의 온도차에 의하여 표면에 김이 서리거나 물방울이 생기는 등의 문제가 생기고, 15℃ 초과인 경우에는 멜팅된 접착제를 냉각시키기 어렵다.The temperature of the air discharged through the warm-up
한편, 상기 패널이송부 (20)의 브라켓 전방측에는 도 1 에 도시된 바와 같이 하부필름박리부 (30)와 동일한 구조를 가지며, 상하 방향이 반전된 상부필름박리부 (40)가 추가로 구비되고, 상기 상부필름박리부 (40)는 후술하는 바와 같이 하부 필름이 박리된 상태로 언로딩스테이지 (60)에 안착된 패널 (P) 상면에 부착된 상부 필름을 박리한다.1, an upper
이때, 상부필름박리부 (40)의 송풍부재는 보호필름 (F)의 후방측에서 전방 하향으로 에어를 송풍하여 보호필름 (F)이 박리롤러에 달라붙는 것을 방지한다. 위에서 언급한 와 같이, 상기 상부필름박리부 (40)의 구성은 하부필름박리부 (30)의 구성과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.At this time, the blowing member of the upper
상기 박리롤러 (32)의 전방측에는 필름파지구 (34)가 구비된다. 상기 필름파지구 (34)는 박리롤러 (32)에 의해 박리된 보호필름 (F)의 모서리를 박리롤러 (32)를 향하여 가압하여 파지하는 부분이다. 상기 필름파지구 (34)는 박리롤러 (32)에 부착된 보호필름 (F)의 모서리 부분을 파지할 수 있다면 그 형상 및 구조에는 제한이 없으나, 도 3 에 도시된 바와 같이, 역T자형 블록체로 구성되고, 후면에는 상기 박리롤러 (32)에 부착된 보호필름 (F)의 모서리를 직접 가압하는 가압돌부 (34a)를 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 가압돌부 (34a)는 보호필름 (F)의 파지시 박리롤러 (32)와의 충격을 완화하기 위해 고무, 실리콘, 우레탄 등의 완충재로 구성되는 것이 바람직하다.On the front side of the peeling
상기 필름파지구 (34)는 박리롤러 (32)에 고정된 보호필름 (F)의 모서리를 가압 및 해제하기 위하여 전후방측으로 수평 이동가능하게 구성되며, 이는 파지구구동부재 (36)에 의해 수행된다. 상기 파지구구동부재 (36)는 전후방향으로 팽창 및 수축 가능한 에어 실린더로 구성되는 것이 바람직하다. The
상기 파지구구동부재 (36)는 좌우 양측에 나란히 배치된 2개의 실린더로 구성되고, 상기 실린더는 각각 별도의 연결구에 의해 상기 필름파지구 (34)에 결합된다. 그리고, 상기 파지구구동부재 (36)의 상부에 상기 박리롤러 (32)와 송풍부재 (33)가 고정 설치된 형태로 구성된다.The
또한, 상기 파지구구동부재 (36)는 제2 승강부재 (38)에 의해 승강 가능하게 구성된다. 상기 제2 승강부재 (38)는 실린더, 리니어모터, 리드스크류 등으로 구성될 수 있으며, 이에 의해 상기 박리롤러 (32)가 상승되어 패널 (P)의 하부 보호필름 (F)을 가압하여 부착한 후 하강하여 박리가 가능하게 한다.Further, the
필름수거부 (50)는 상기 하부필름박리부 (30)의 전방 하측에 배치되어 하부필름박리부 (30)에서 박리된 보호필름 (F)을 파지하여 수거하는 부분으로, 그립퍼 (52), 그립퍼회전부재 (54)로 이루어질 수 있다.The film reject
상기 그립퍼 (52)는 좌우 양측에 각각 상하로 회동되어 서로 벌어지도록 외측으로 펼쳐졌다가 다시 서로 맞닿도록 내측으로 오므려지게 절첩 가능한 구조로 구성된다. 이를 위해, 상기 그립퍼 (52)는 상부의 그립바 (52a)와 하부의 그립바구동부재 (52d)로 구성된다.The
상기 그립바 (52a)는 수직으로 연장 형성된 바(bar) 형상 부재로서 좌우 양측에 하나씩 구비되고, 후방측에는 패널 (P)의 하면 보호필름 (F)을 파지하기 위한 그립돌부 (52b)가 수평 연장 형성된다. 한편, 후술하는 바와 같이, 본 발명에 따른 보호필름 박리장치는 패널 (P)의 상면 보호필름 (F)을 박리하는 추가적인 박리롤러가 구비되는 바, 해당 박리롤러 (32)에 의해 박리된 상면 보호필름 (F)을 수거하기 위해 상기 그립바 (52a)의 전방측에는 패널 (P)의 상면 보호필름 (F)을 파지하기 위한 그립돌부 (52c)가 추가로 구비된다.The grip bars 52a are vertically extended bar-shaped members, one on each side of the right and left sides, and the
상기 그립바구동부재 (52d)는 상기 한쌍의 그립바 (52a)를 서로 반대방향으로 상하 회동시키기 위한 것으로, SMC 사의 'AIR GRIPPER' 등으로 구성될 수 있다. The grip
한편, 상기 그립퍼회전부재 (54)는 상기 그립퍼 (52)를 상하로 회전시켜 박리된 보호필름 (F)을 파지한 후 하측에 배치된 수거박스로 배출할 수 있도록 하는 것으로, 로터리실린더로 구성되는 것이 바람직하다.The
언로딩스테이지 (60)는 보호필름 (F)이 박리된 패널 (P)이 패널이송부 (20)에 의해 이송되어 안착되는 부분으로, 지지프레임 (12)과 동일한 구조의 언로딩스테이지 (60)와 로터리실린더로 구성되는 제2 스테이지회전부재 (62)를 포함한다. 이에 따라, 하부필름박리부 (30)에 의해 하부 보호필름 (F)이 박리된 패널 (P)이 패널이송부 (20)에 의해 언로딩스테이지 (60)에 안착되고, 상부필름박리부 (40)에 의해 상부 보호필름 (F)이 박리된 후, 모서리 부분이 전방을 향하도록 배치되었던 언로딩스테이지 (60)가 제2 스테이지회전부재 (62)에 의해 회전되고, 제2 픽업부재 (72)와 3축이송부재 (74)로 구성되는 언로딩부 (70)에 의해 패널 (P)이 픽업된 후 외부로 반출된다.The unloading
이하에서는 전술한 도 1 내지 도 5에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 생략하고, 도 6 내지 도 12를 참조하여, 본 발명에 따른 보호필름 박리장치가 작동하는 모습을 설명한다. Hereinafter, a description of the protective film peeling apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 12, while omitting duplicate contents from those described in FIGS. 1 to 5.
도 6 내지 도 12는 본 발명에 일 실시예에 따른 보호필름 박리장치의 작동 상태를 나타낸 도면이다.6 to 12 are views showing an operation state of the protective film peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지프레임 (12)에 모서리 부분이 전방을 향하도록 안착된 패널 (P)은 상기 패널이송부 (20)의 제1 픽업부재 (22) 및 제1 승강부재 (24)에 의해 픽업된 후 제2 수평이송부재 (26)에 의해 하부필름박리부 (30)의 상측으로 수평 이송된다.6, the panel P is mounted on the
도 7을 참조하면, 상기 하부필름박리부 (30)의 상측으로 수평 이송된 패널 (P)은 박리롤러 (32)와 맞닿으면서 상기 박리롤러 (32)에 감압펌프의 작용에 의하여 상기 박리롤러 (32)에 구비된 실리콘커버 (32b)의 진공홀 (32c)로 진공을 잡아 상기 보포힐름 (F)이 박리롤러 (32)에 부착된다. 7, the panel P horizontally conveyed to the upper side of the lower
상기 필름파지구 (34)가 박리롤러 (32)측으로 이동되어 맞닿음에 따라 보호필름 (F)의 모서리 부분이 박리롤러 (32)와 필름파지구 (34)에 의해 파지 고정된다. 이 상태에서 패널이송부 (20)가 패널 (P)을 픽업한 상태로 전방측으로 수평 이동됨에 따라 패널 (P)로부터 보호필름 (F)이 전체적으로 박리된다.The edge of the protective film F is grasped and fixed by the peeling
도 8에서, 상기 보호필름 (F)이 박리됨과 동시에, 박리롤러 (32) 전방측에 위치된 송풍부재 (33)로부터 고압의 에어가 송풍되어 박리된 보호필름 (F)은 전방측으로 반전 이송된다. 이때, 도 9에 도시된 바와 같이, 필름수거부 (50)의 그립퍼 (52)가 보호필름 (F)을 파지한 후, 도 10에 도시된 바와 같이 하방측으로 회전되어 보호필름 (F)을 하측에 구비된 수거박스 (미도시)로 투하한다. 이렇게 해서 패널 (P)의 하부 표면에 부착된 보호필름 (F)이 박리 및 수거된다.8, the protective film F is peeled off and the protective film F peeled off from the
한편, 도 10을 참조하면, 패널이송부 (20)는 패널의 하부측 보호필름 (F)이 박리된 패널 (P)을 픽업한 상태로 수평 이동하여 패널 (P)을 언로딩스테이지 (60) 상에 안착시킨다. 그 다음, 도 11에서 패널이송부 (20)의 전방측에 장착된 상부필름박리부 (40)의 박리롤러가 언로딩스테이지 (60) 상에 안착된 패널 (P)의 상부표면의 보호필름 (F)에 맞닿게 되고, 패널이송부 (20)가 다시 후방측으로 수평 이동됨에 따라 상부 보호필름 (F)이 박리된다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 박리된 상부 보호필름 (F)은 필름수거부 (50)의 그립퍼 (52)에 의해 파지된 후 하방측에 배치된 수거박스(미도시)로 수거된다. 이에 따라, 언로딩스테이지 (60)에는 하부 및 상부 보호필름 (F)이 모두 박리된 패널 (P)이 놓여져 있게 되고, 이후 언로딩부 (70)에 의해 패널 (P)이 픽업되어 반출된다.10, the
이하에서, 도 13 내지 도 16c를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 후술할 내용을 제외하고는, 도 1 내지 도 12에서 설명한 실시예에 기재된 내용과 유사하므로 이에 대한 자세한 내용은 생략한다.Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 13 to 16C. Except for the contents to be described later, the contents similar to those described in the embodiments described in Figs. 1 to 12 will be omitted.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박리롤러를 개략적으로 나타낸 도면이다.13 is a view schematically showing a peeling roller according to another embodiment of the present invention.
도 13을 참고하면, 본 실시예에 따른 보호필름 박리장치에서, 상기 하부필름박리부 (130)에는 하나 이상의 박리롤러 (131)로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 13, in the protective film peeling apparatus according to the present embodiment, the lower
상기 박리롤러 (131)는 각각 공기가 통과하는 홀을 구비하되 상기 박리롤러 (131)의 외면에는 상기 홀에 대응하는 위치에 대응하는 크기로 구비되는 진공홀 (133)을 구비하는 실리콘커버 (132)를 구비할 수 있다. 또한, 상기 실리콘커버 (132)의 외면에는 실리콘으로 이루어지는 복수개의 마찰모를 구비하여 보호필름과 박리롤러 (131)의 접착면적을 증가시킬 수 있다.The peeling
상기 박리롤러 (131)는 롤러브라켓 (134)에 의하여 회전하도록 구비될 수 있으며, 상기 박리롤러 (32)는 회전하면서 패널에 구비되는 보호필름을 고정하여 박리할 수 있다.The peeling
상기 박리롤러 (131)는 순차적으로 구비되고 각각 상이한 크기의 진공홀을 구비하는 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)를 포함하고, 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)는 각각 개별적으로 감압펌프 (140)에 연결되어 진공여부가 제어될 수 있다. The peeling
상기 제1 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)와 상기 서브모터 (140) 사에는 각각 스위치 (141)를 구비하여 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)의 진공홀 (133)을 통한 감압을 개별적으로 제어할 수 있다.The first to
상기 제1 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)는 각각의 실리콘커버 (132)에 구비되는 진공홀 (133)에 의하여 공기를 흡수하여 보호필름을 고정시킬 수 있는데, 상기 상기 제1 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)에 구비되는 진공홀 (133)은 서로 상이한 크기로 구비될 수 있다.The first to
대면적의 패널의 경우에는 상기 보호필름도 패널에 대응되도록 큰 크기로 구비되고, 상기 보호필름의 크기 보호필름이 패널에 부착되는 강도도 위치에 따라 상이할 수 있다. 본 실시예에 따른 보호필름 박리장치는 상기 제1 내지 제6 박리롤러 (131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f)에서 진공홀 (133)의 흡기 여부 및 흡기 강도를 스위치 (141)를 통하여 제어함으로써 대면적의 패널에 구비되는 보호필름도 보다 효율적으로 제어할 수 있다.In the case of a panel having a large area, the protective film is also provided to have a large size corresponding to the panel, and the strength with which the size protective film of the protective film is attached to the panel may be different depending on the position. The protection film peeling apparatus according to the present embodiment is configured to detect whether the vacuum holes 133 are in the first through
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 로딩부를 나타낸 도면이다. 도 15는 도 14의 B의 확대도이다. 도 16는 도 14를 이용하여 보호필름의 모서리를 그립하는 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.14 is a view illustrating a loading unit according to another embodiment of the present invention. 15 is an enlarged view of B in Fig. FIG. 16 is a view schematically showing a state in which edges of a protective film are gripped using FIG. 14. FIG.
도 14 내지 도 16을 참조하면, 본 실시예에 따른 로딩부 (10)에는 패널이 안착되는 지지프레임 (12)과 상기 지지프레임의 일 측에 구비되어 패널의 위치를 배치하는 얼라인기 (14)가 구비될 수 있다. 14 to 16, the
상기 얼라인기 (14)에는 상기 패널에 구비되는 보호필름의 일 모서리를 들어올리는 필름그립수단 230)과 상기 필름그립수단 (230)의 인접한 하부측에서 상기 패널측으로 세정액을 공급하는 세정액공급부 (240)를 더 구비하고, 상기 필름그립수단 (230)는 상기 얼라인기 (14)에서 가역적으로 상하 이동이 가능하도록 연결될 수 있다.A cleaning
상기 필름그립수단 (230)는 상기 얼라인기 (14)에 구비되는 수직이동홈 (231)을 통하여 상하이동 가능하게 구비되며, 상기 필름그립수단 (230)에서 하부측으로 이격되는 위치에는 세정액공급부 (240)가 구비될 수 있다.The film grip means 230 is vertically movable through the
상기 필름그립수단 (230)는 상기 얼라인기 (14)에 의하여 지지프레임 (12)에 안착된 패널의 표면에 구비되는 보호필름의 모서리를 들어올리도록 구비될 수 있다. 상기 패널에서 보호필름의 모서리를 들어올림으로써 후속하는 보호필름의 박리가 보다 용이하게 수행되도록 할 수 있다. The film grip means 230 may be provided to lift up the edges of the protective film provided on the surface of the panel which is seated on the
상기 필름그립수단 (230)의 하부에는 세정액을 공급하는 세정액공급부 (240)가 더 구비될 수 있는데, 상기 필름그립수단 (230)에 의하여 들어올려진 보호필름의 모서리와 패널 사이에 상기 세정액공급부 (240)를 통하여 배출되는 세정액이 제공될 수 있다. The
상기 세정액은 상기 보호필름에 구비되는 접착제의 일부를 녹여 상기 보호필름이 보다 용이하게 박리되도록 할 수 있다. 또한 통상 패널의 모서리측에는 보호필름의 접착제에 의한 흔적이 남는 경우가 빈번하게 존재하는데, 상기 세정액은 상기 접착제를 녹임으로써 접착제에 의한 흔적이 제거되도록 할 수 있다.The cleaning liquid may dissolve a part of the adhesive included in the protective film so that the protective film may be more easily peeled off. In addition, there is often a case where a mark of the protective film of the protective film is often left on the corner of the panel, and the cleaning liquid may melt the adhesive to remove traces of the adhesive.
상기 필름그립수단 (230)의 하면은 패널의 상면과 접촉하고 상기 필름그립수단 (230)을 일정한 압력으로 하측으로 눌러서 상기 필름그립수단 (230)과 패널이 확실하게 밀착되도록 한다. 이후에, 상기 필름그립수단 (230)을 상기 패널의 상면에서 밀어서 상기 보호필름을 들어올릴 수 있다.The lower surface of the film grip means 230 contacts the upper surface of the panel and presses the film grip means 230 downward with a certain pressure so that the film grip means 230 and the panel are surely brought into close contact with each other. Thereafter, the protective film may be lifted by pushing the film grip means 230 from the upper surface of the panel.
상기 필름그립수단 (230)는 상기 보호필름과 접촉하는 면이 상기 패널에 대해서 경사진 구조로 구비될 수 있다. 상기 필름그립수단 (230)이 패널의 상부에서 직선운동하는 경우, 필름그립수단 (230)에 의하여 상기 보호필름을 효율적으로 분리되도록 할 수 있다.The film grip means 230 may have a structure in which a surface contacting the protective film is inclined with respect to the panel. When the film grip means 230 linearly moves at an upper portion of the panel, the protective film can be efficiently separated by the film grip means 230.
상기 필름그립수단 (230)은 외면에 다수의 요철을 구비하여 매끈하지 않은 표면으로 구비되는 폴리이미드 (polyimide) 수지로 이루어지고, 상기 세정액은 50 내지 95 중량부의 아마이드계 용제, 5 내지 15중량부의 아세테이트계 용제, 및 15 내지 30의 알코올계 용제로 이루어질 수 있다.The film grip means 230 is made of a polyimide resin having an uneven surface provided with a plurality of concavo-convex portions on its outer surface, and the cleaning liquid contains 50 to 95 parts by weight of an amide-based solvent, 5 to 15 parts by weight of Acetate type solvent, and 15 to 30 alcohol type solvent.
상기 아마이드계 용제는 N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, 디메틸설폭사이드, N-메틸피롤리돈, 포름아마이드로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다. 상기 아세테이트계 용제는 벤질아세테이트 (Benzyl acetate), 부틸부티레이트 (Butyl butyrate), 에틸부티레이트 (Ethyl butyrate), 에틸펜타노에이트 (Ethyl pentanoate), 이소부틸아세테이트 (Isobutyl acetate), 메틸베조에이트 (Methyl benzoate), 아밀아세테이트 (Amyl acetate), 2-메톡시에틸아세테이트 (2-methoxyethyl acetate)로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다. 상기 알코올계 용제는 에틸알코올 (Ethyl alcohol), 벤질알코올 (Benzyl alcohol), 에틸렌글리콜 (Ethylene glycol), 디에틸렌글리콜 (Diethylene glycol), 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 (Ethylene glycol monomethyl ether), 에틸렌글리콜 에틸에테르 (ethylene glycol ethyl ether), 에릴렌글리콜 프로필에테르 (ethylene glycol propyl ether), 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 (ethylene glycol monobutyl ether), 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 (diethylene glycol monoethyl ether), 1-데칸올 (1-Decanol), 2-에틸헥산올 (2-Ethylhexanol), 옥탄올 (Octanol), 1-헥산올 (1-hexanol), 2-부탄올 (2-Butanol)로부터 선택된 1종 이상의 화합물 일 수 있다.The amide solvent may be at least one compound selected from N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone and formamide. The acetate solvent may be selected from the group consisting of benzyl acetate, butyl butyrate, ethyl butyrate, ethyl pentanoate, isobutyl acetate, methyl benzoate, , Amyl acetate, and 2-methoxyethyl acetate. The alcoholic solvent may be selected from the group consisting of ethyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol ethyl ether (ethylene glycol ethyl ether), ethylene glycol propyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 1-decanol -Decanol, 2-ethylhexanol, octanol, 1-hexanol, and 2-butanol.
하기에서는 도 17 내지 도 19를 참조하여, 도 1a에 도시된 후처리 장치에 대해서 설명한다.Hereinafter, the post-processing apparatus shown in Fig. 1A will be described with reference to Figs. 17 to 19. Fig.
도 17은 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 세정챔버부를 나타낸 도면이고, 도 18은 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 건조기를 나타낸 도면이다. 도 19는 도 1a의 후처리 장치에 구비되는 자외선광원을 나타낸 도면이다.FIG. 17 is a view showing a cleaning chamber provided in the post-treatment apparatus of FIG. 1a, and FIG. 18 is a view illustrating a dryer provided in the post-treatment apparatus of FIG. FIG. 19 is a view showing an ultraviolet light source included in the post-processing apparatus of FIG.
도 17 내지 도 19를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 보호필름 박리시스템에서 상기 후처리 장치는, 상기 보호필름이 박리된 패널을 수납하고 내부에 세정액을 구비하는 세정챔버부 (200); 상기 세정챔버에서 배출되는 패널을 열풍으로 건조하는 건조기 (300); 및 상기 건조기 내부에 구비되어 상기 패널의 상부 및 하부 표면으로 파장이 184.9nm 및 253.7nm 중 어느 하나의 자외선을 이용하여 상기 게르마늄 칩의 표면에 2초 내지 3초 동안 자외선을 조사하되 각도를 변경시키면서 조사하는 자외선광원부재 (400);를 포함할 수 있다.17 to 19, in the protective film peeling system according to the embodiment of the present invention, the post-processing apparatus includes a
상기 세정챔버부 (200)는, 내부에 세정액과 패널이 구비되는 공간을 구비하는 챔버 (210); 상기 챔버 (210)의 내부 하면에 구비되어 세정액을 교반하는 교반기 (220); 상기 챔버 (210)의 일측 상부에 구비되어 상기 챔버 (210)로 세정액을 공급하는 인렛노즐 (250); 상기 인렛노즐 (250)의 하부에 구비되어 상기 챔버 (210) 내로 공기를 공급하도록 밸브 (262)가 구비된 보조인렛노즐 (260); 상기 챔버 (210)의 외면에서 상기 챔버 (210)의 외면을 감싸도록 구비되어 상기 챔버 (210)의 온도를 유지하는 챔버자켓 (230); 및 상기 챔버 (210)의 타측 하부에 구비되어 상기 챔버 (210) 내의 세정액을 배출시키는 아웃렛노즐 (240);를 포함할 수 있다.The
상기 세정챔버부 (200)에서는 보호필름이 박리된 패널에서 상기 보호필름에 의하여 잔존하는 접착제와 상기 접착제에 의하여 부착된 이물질 등을 제거할 수 있다. 상기 세정챔버부 (200)는 내부에 세정액이 구비되어 상기 세정액 중으로 패널이 함침되는 챔버 (210)와 상기 챔버 (210)의 내부에 구비되어 세정액을 교반하는 교반기 (220)가 구비될 수 있다.In the
상기 교반기 (220)는 챔버 (210)의 하부와 연결되어 회전하는 봉형상의 샤프트와 상기 샤프트에 연결되어 세정액을 교반하는 임펠러로 이루어질 수 있다. 상기 임펠러는 샤프트의 상부에 한 개와 상기 상부에서 하부측으로 이격된 부분에 다른 한 개가 구비될 수 있으며, 상기 임펠러에 의하여 상기 세정액을 보다 균일한게 교반할 수 있다. 또한, 상기 임펠러에 의하여 세정액을 시킴으로써 상기 세정액은 상기 패널의 표면을 가격하고 이에 의하여 패널의 표면에 부착된 이물질을 보다 용이하게 제거할 수 있다.The
상기 챔버 (210)에는 인렛노즐 (250)이 구비될 수 있는데, 상기 인렛노즐 (250)을 통하여 세정액이 상기 챔버 (210) 내로 주입되고, 또한 상기 인렛노즐 (250)의 반대측 하부에 구비되는 아웃렛노즐 (240)를 통하여 오염된 세정액을 배출시킬 수 있다. 또한, 상기 인렛노즐 (250)의 하부에는 상기 챔버 (210) 내로 세정액을 추가로 공급하는 보조인렛노즐 (260)이 구비될 수 있다. 상기 보조인렛노즐 (260)에는 밸브 (262)가 구비되어 상기 챔버 (210) 내로 세정액을 추가 공급 정도를 제어할 수 있다.An
상기 인렛노즐 (250)을 통하여 상기 세정액을 상기 챔버 (210) 내로 일괄하여 주입할 수 있다. 이어서 상기 패널을 상기 세정액 중에 함침하여 세척하는 과정에서 상기 패널의 세척 상태 등을 검토하여 보조인렛노즐 (260)을 통하여 세정액을 추가하거나 혹은 첨가제 등을 추가할 수 있다. 상기 보조인렛노즐 (260)은 인렛노즐 (250)보다 작은 단면적으로 구비되어 상기 밸브 (262)에 의하여 제어함으로써 상기 챔버 (210) 내로 세정액의 추가 정도를 섬세하게 제어할 수 있다.The cleaning liquid can be collectively injected into the
상기 건조기 (300)는, 상기 건조기의 외부에 구비되어 상기 건조기 내부로 열을 공급하는 히팅자켓 (301)을 포함할 수 있다. The dryer (300) may include a heating jacket (301) provided outside the dryer and supplying heat to the inside of the dryer.
상기 히팅자켓 (301)은 상기 건조기 (300) 내부로 열을 전달하여 상기 패널의 표면에 잔존하는 세정액 등을 건조시킬 수 있다. 또한, 상기 건조기 (300)의 내부에는 자외선광원부재 (400)가 더 구비될 수 있다. 상기 건조기 (300) 내에서 건조가 완료된 패널의 표면에 상기 자외선광원부재 (400)를 이용하여 자외선을 조사함으로써 상기 패널의 표면을 보다 견고하게 할 수 있고, 이후 이물질이 상기 패널에 부착되는 것을 방지할 수 있다.The
상기 자외선광원부재 (400)에서 조사되는 자외선은 상기 패널의 표면을 개질할 수 있다. 고분자 수지로 이루어진 패널의 표면에 자외선을 조사하면, 상기 고분자 수지의 표면의 화학결합이 분해되고 이것이 공기중의 산소와 결합하여 표면에 카르보닐기(-CO), 카르복실기(-COOH), 히드록실기(-OH) 등의 라디칼이 생성되기 때문에, 표면의 극성이 높아지게 되어 극성이 높은 도료, 착색제, 코팅제 등이 부착되기 쉬워지게 된다. 이 경우 자외선의 에너지가 분자의 결합에너지보다 높아야 하는 것이 최소의 필요조건인 바, 파장이 184.9nm 및 253.7nm의 자와선의 에너지는 각각 647KJ/mol 및 471.5KJ/mol로 카르보닐기(-CO), 카르복실기(-COOH), 히드록실기(-OH)의 분자의 결합에너지보다 높아 라디칼을 효율적으로 형성시킬 수 있다.The ultraviolet light emitted from the ultraviolet
상기 자외선의 각도는 상기 패널의 표면에 대해서 초당 5도 내지 10도의 경사각을 갖도록 변경시키면서 조사할 수 있다. 상기 자외선의 각도를 변경시키면서 조사함으로써 패널에 조사되는 자외선을 보다 균일하게 할 수 있다. 또한, 상기 자외선의 각도의 변형속도가 초당 5도 미만인 경우 상기 자외선이 표면에 미전달되는 부분이 형성되어 표면에 균일하게 자외선이 조사되기 어렵고, 10도를 초과하는 경우에는 일부 중첩되어 자외선이 조사되는 영역이 형성되어 표면 특성이 불균일하게 구비될 수 있다.The angle of the ultraviolet ray may be changed while changing the angle of the ultraviolet ray to 5 to 10 degrees per second with respect to the surface of the panel. The ultraviolet rays irradiated to the panel can be made more uniform by irradiating the ultraviolet rays while changing the angle of the ultraviolet rays. When the angle of deformation of the ultraviolet ray is less than 5 degrees per second, a part where the ultraviolet ray is not transmitted to the surface is formed and the surface is not uniformly irradiated with ultraviolet rays. When the deformation rate is more than 10 degrees, And thus the surface characteristics can be non-uniformly provided.
상기 자외선광원부재 (400)는, 상기 패널을 향하여 자외선을 조사하는 원형의 헤드부 (401), 상기 헤드부 (401)의 하부에 구비되어 상기 헤드부 (410)가 상하좌우 회동이 가능하도록 연결되는 지지스프링부 (402), 상기 지지스프링부 (402)의 말단에 구비되어 상기 건조기 (300)의 내면과 나사결합하는 고정부 (403)로 이루어질 수 있다.The ultraviolet
상기 지지스프링부 (402)는 자바라와 같은 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 헤드부 (401)를 통하여 조사되는 자외선은 상기 지지스프링부 (402)에 의하여 상기 헤드부 (401)의 방향을 다양하게 변형시킬 수 있다. 또한, 상기 고정부 (403)는 상기 건조기 (300)의 내벽에 구비되는 나사산형태의 홈과 나사결합하여 고정될 수 있다. 상기 나사결합은 가역적으로 진행되어 상기 헤드부 (401)의 수명이 완료된 경우 상기 자외선광우너부재 (400)을 용이하게 교체할 수 있다.The support spring portion 402 may be shaped like a bellows and ultraviolet rays irradiated through the head portion 401 may be deformed by the support spring portion 402 in various directions . The fixing part 403 may be screwed into a thread-like groove provided on the inner wall of the
상기 세정액은 50 내지 95 중량부의 아마이드계 용제, 5 내지 15중량부의 아세테이트계 용제, 및 15 내지 30의 알코올계 용제로 이루어질 수 있다. The cleaning liquid may be composed of 50 to 95 parts by weight of an amide-based solvent, 5 to 15 parts by weight of an acetate-based solvent, and 15 to 30 of an alcohol-based solvent.
상기 아마이드계 용제는 N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, 디메틸설폭사이드, N-메틸피롤리돈, 포름아마이드로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다. The amide solvent may be at least one compound selected from N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone and formamide.
상기 아세테이트계 용제는 벤질아세테이트 (Benzyl acetate), 부틸부티레이트 (Butyl butyrate), 에틸부티레이트 (Ethyl butyrate), 에틸펜타노에이트 (Ethyl pentanoate), 이소부틸아세테이트 (Isobutyl acetate), 메틸베조에이트 (Methyl benzoate), 아밀아세테이트 (Amyl acetate), 2-메톡시에틸아세테이트 (2-methoxyethyl acetate)로부터 선택된 1종 이상의 화합물일 수 있다.The acetate solvent may be selected from the group consisting of benzyl acetate, butyl butyrate, ethyl butyrate, ethyl pentanoate, isobutyl acetate, methyl benzoate, , Amyl acetate, and 2-methoxyethyl acetate.
상기 알코올계 용제는 에틸알코올 (Ethyl alcohol), 벤질알코올 (Benzyl alcohol), 에틸렌글리콜 (Ethylene glycol), 디에틸렌글리콜 (Diethylene glycol), 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 (Ethylene glycol monomethyl ether), 에틸렌글리콜 에틸에테르 (ethylene glycol ethyl ether), 에릴렌글리콜 프로필에테르 (ethylene glycol propyl ether), 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 (ethylene glycol monobutyl ether), 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 (diethylene glycol monoethyl ether), 1-데칸올 (1-Decanol), 2-에틸헥산올 (2-Ethylhexanol), 옥탄올 (Octanol), 1-헥산올 (1-hexanol), 2-부탄올 (2-Butanol)로부터 선택된 1종 이상일 수 있다.The alcoholic solvent may be selected from the group consisting of ethyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol ethyl ether (ethylene glycol ethyl ether), ethylene glycol propyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 1-decanol -Decanol, 2-ethylhexanol, octanol, 1-hexanol, and 2-butanol.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.
10 : 로딩부 12 : 지지프레임
14 : 얼라인부재 20 : 패널이송부
30 : 하부필름박리부 32 : 박리롤러
33 : 송풍부재 34 : 필름파지구
40 : 상부필름박리부 50 : 필름수거부
60 : 언로딩스테이지 70 : 언로딩부10: Loading section 12: Support frame
14: aligning member 20: panel is sent
30: lower film peeling section 32: peeling roller
33: air blowing member 34: film wave earth
40: upper film peeling section 50: film rejection
60: unloading stage 70: unloading section
Claims (12)
상기 후처리 장치는,
상기 보호필름이 박리된 패널을 수납하고 내부에 세정액을 구비하는 세정챔버부;
상기 세정챔버에서 배출되는 패널을 열풍으로 건조하는 건조기; 및
상기 건조기 내부에 구비되어 상기 패널의 상부 및 하부 표면으로 파장이 184.9nm 및 253.7nm 중 어느 하나의 자외선을 이용하여 상기 패널의 표면에 2초 내지 3초 동안 자외선을 조사하되 각도를 변경시키면서 조사하는 자외선광원부재;를 포함하는 보호필름 박리시스템.A panel protective film peeling system comprising a protective film peeling device for peeling the protective film from a panel provided with a protective film and a post-processing device for treating the surface of the panel from which the protective film is peeled,
The post-
A cleaning chamber part for containing the panel on which the protective film is peeled and having a cleaning liquid therein;
A dryer for drying the panel discharged from the cleaning chamber by hot air; And
The upper and lower surfaces of the panel are irradiated with ultraviolet rays for 2 seconds to 3 seconds on the surface of the panel using ultraviolet rays having wavelengths of 184.9 nm and 253.7 nm, And an ultraviolet light source member.
상기 세정챔버부는,
내부에 세정액과 패널이 구비되는 공간을 구비하는 챔버;
상기 챔버의 내부 하면에 구비되어 세정액을 교반하는 교반기;
상기 챔버의 일측 상부에 구비되어 상기 챔버로 세정액을 공급하는 인렛노즐;
상기 인렛노즐의 하부에 구비되어 상기 챔버 내로 세정액을 추가로 공급하도록 밸브가 구비된 보조인렛노즐;
상기 챔버의 외면에서 상기 챔버의 외면을 감싸도록 구비되어 상기 챔버의 온도를 유지하는 챔버자켓; 및
상기 챔버의 타측 하부에 구비되어 상기 챔버 내의 세정액을 배출시키는 아웃렛노즐;를 포함하는 보호필름 박리시스템.The method according to claim 1,
The cleaning chamber portion includes:
A chamber having a space in which a cleaning liquid and a panel are provided;
An agitator provided on an inner surface of the chamber to agitate the cleaning liquid;
An inlet nozzle provided at one side of the chamber to supply a cleaning liquid to the chamber;
An auxiliary inlet nozzle provided at a lower portion of the inlet nozzle and having a valve for further supplying a cleaning liquid into the chamber;
A chamber jacket surrounding the outer surface of the chamber at an outer surface of the chamber to maintain the temperature of the chamber; And
And an outlet nozzle provided at the other side of the chamber to discharge the cleaning liquid in the chamber.
상기 건조기는,
상기 건조기의 외부에 구비되어 상기 건조기 내부로 열을 공급하는 히팅자켓을 포함하고,
상기 자외선광원부재는,
상기 패널을 향하여 자외선을 조사하는 원형의 헤드부, 상기 헤드부의 하부에 구비되어 상기 헤드부가 상하좌우 회동이 가능하도록 연결되는 지지스프링부, 상기 지지스프링부의 말단에 구비되어 상기 건조기의 내면과 나사결합하는 고정부로 이루어지는 보호필름 박리시스템.The method according to claim 1,
The dryer includes:
And a heating jacket provided outside the dryer to supply heat to the inside of the dryer,
The ultraviolet light source member
A support spring portion provided at a lower portion of the head portion and connected to rotate the head portion so as to be vertically and horizontally rotatable; a screw portion provided at a distal end of the support spring portion, The protective film peeling system comprising the fixing part.
상기 보호필름 박리장치는,
하부 및 상부 표면에 각각 보호필름이 부착된 패널을 지지하되 상기 패널의 하부 및 상부가 노출되도록 상기 패널의 모서리 일부에 대응하는 형태로 구비되는 지지프레임과 상기 지지프레임에 패널의 위치를 가이드하는 얼라인기가 구비된 로딩부;
상기 로딩부에서 얼라인된 패널을 픽업하여 수평 이동시키는 패널이송부;
상기 패널이송부에 의해 수평 이동되는 패널의 하부 표면에 접촉되어 하부 보호필름의 외면을 고정하여 박리하는 박리롤러와, 상기 박리롤러의 후방측에 배치되고 박리된 보호필름의 하면에 전방 상향으로 에어를 송풍하여 박리된 보호필름을 상기 박리롤러의 전방측으로 반전 이동시키는 송풍부재를 포함하는 하부필름박리부;
상기 박리롤러의 전방측에서 박리롤러에 의해 박리된 보호필름의 모서리를 박리롤러를 향하여 가압하여 파지 고정하는 필름파지구;
상기 송풍부재에 의해 박리롤러의 전방측으로 반전 이동된 하부 보호필름을 파지하여 수거하는 필름수거부;
하부 보호필름이 박리된 패널이 패널이송부에 의해 이송된 후 안착되는 것으로 상부 보호필름이 박리되는 동안 상기 패널을 진공 흡착하는 언로딩스테이지; 및
상기 패널이송부에 장착되어 상기 패널이송부와 함께 이동되며, 박리롤러로 상기 언로딩스테이지에 흡착된 패널의 상부 보호필름을 점착한 상태에서 상기 패널이송부가 다시 후방측으로 수평 이동됨에 따라 상기 상부 보호필름을 박리하는 상부필름박리부;를 포함하는 보호필름 박리시스템.The method according to claim 1,
The protective film peeling apparatus comprises:
A support frame for supporting a panel having a protective film attached to lower and upper surfaces thereof, the support frame having a shape corresponding to a part of an edge of the panel so that a lower portion and an upper portion of the panel are exposed, A popular loading section;
A panel transferring unit that picks up the panel aligned in the loading unit and horizontally moves the panel;
A peeling roller for contacting and peeling the outer surface of the lower protective film by contacting the lower surface of the panel horizontally moved by the conveying portion, a peeling roller disposed on the rear side of the peeling roller, A lower film peeling unit including a blowing member for reversely moving the peeled protective film toward the front side of the peeling roller;
A film wave segment for pressing and fixing the edge of the protective film peeled off by the peeling roller toward the peeling roller at the front side of the peeling roller;
A film removing unit for holding and collecting the lower protective film reversely moved to the front side of the peeling roller by the air blowing member;
An unloading stage for vacuum-adsorbing the panel while the upper protective film is peeled off as the panel in which the lower protective film is peeled is placed after the panel is conveyed by the conveying portion; And
The panel is mounted on the conveying portion, the panel is moved together with the conveying portion, the upper protective film of the panel adsorbed on the unloading stage is adhered by the peeling roller, and as the conveying portion is horizontally moved back to the rear side, And an upper film peeling portion for peeling the protective film.
상기 얼라인기에는 상기 패널에 구비되는 보호필름의 일 모서리를 들어올리는 필름그립수단과 상기 필름그립수단의 인접한 하부측에서 상기 패널측으로 세정액을 공급하는 세정액공급부를 더 구비하고,
상기 필름그립수단는 상기 얼라인기에서 가역적으로 상하 이동이 가능하도록 연결되는 보호필름 박리시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the liner popularity further comprises film grip means for lifting one edge of a protective film provided on the panel and a cleaning liquid supply portion for supplying a cleaning liquid to the panel side from an adjacent lower side of the film grip means,
Wherein the film gripping means is connected to move up and down reversibly in the slant popularity.
상기 박리롤러는 상기 박리롤러의 외면에 구비되어 상기 보호필름과 집적 접촉하여 상기 보호필름에 마찰력을 제공하고 복수개의 진공홀과 복수개의 마찰모를 구비하는 실리콘커버를 구비하고, 상기 박리롤러는 감압펌프와 연결되어 상기 실리콘커버의 진공홀을 통하여 공기를 흡입하여 상기 보호필름을 고정시키며, 상기 마찰모는 실리콘으로 이루어지는 보호필름 박리시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the peeling roller comprises a silicon cover provided on an outer surface of the peeling roller and in contact with the protective film to provide a frictional force to the protective film and having a plurality of vacuum holes and a plurality of friction grooves, And the air is sucked through the vacuum hole of the silicon cover to fix the protective film, and the friction film is made of silicon.
상기 박리롤러는 순차적으로 구비되고 각각 상이한 크기의 진공홀을 구비하는 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러를 포함하고, 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러는 각각 진공을 제어하는 감압펌프에 연결되며, 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러와 상기 감압펌프 사이에는 각각 스위치를 구비하여 상기 제1 박리롤러 내지 제6 박리롤러의 진공홀을 통한 감압을 개별적으로 제어하는 보호필름 박리시스템.6. The method of claim 5,
The peeling roller includes a first peeling roller to a sixth peeling roller sequentially provided with vacuum holes of different sizes, and the first to sixth peeling rollers are connected to a decompression pump And a switch is provided between the first peeling roller, the sixth peeling roller and the decompression pump to separately control the decompression through the vacuum holes of the first to sixth peeling rollers.
상기 송풍부재는 상기 박리롤러에 인접하게 구비되어 40℃ 내지 50℃의 에어를 송풍하는 온풍부와, 상기 온풍부에서 상부측으로 나란하게 이격되게 구비되어 10℃ 내지 15℃의 에어를 송풍하는 냉풍부로 이루어지는 보호필름 박리시스템.6. The method of claim 5,
The air blowing member is disposed adjacent to the peeling roller and has a hot air portion blowing air at 40 ° C to 50 ° C and a cold air portion blowing air at 10 ° C to 15 ° C so as to be spaced from the hot air portion, Gt;
상기 필름수거부는,
좌우 양측에서 각각 상하로 회동됨에 따라 외측으로 펼쳐졌다가 다시 서로 맞닿도록 내측으로 오므려지게 절첩가능하게 구성되어, 상기 박리롤러의 전방측으로 반전 이동된 하부 보호필름을 파지하는 그립퍼와
상기 그립퍼를 상하로 회전시키도록 구성되어 상기 그립퍼에 의해 파지된 보호필름을 하측으로 이송 배출하는 그립퍼회전부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 박리시스템.6. The method of claim 5,
The film-
A gripper for gripping the lower protective film which is reversely moved forward of the peeling roller, the gripper being configured so as to be folded inwardly so as to be inwardly folded so as to be unfolded outwardly as it is rotated upward and downward on both left and right sides,
And a gripper rotating member configured to rotate the gripper up and down to transport and discharge the protective film held by the gripper downward.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170152042A KR101817045B1 (en) | 2017-11-15 | 2017-11-15 | Stripping System for Protect Film Having After-treatment |
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KR20220032414A (en) | 2020-09-07 | 2022-03-15 | (주)세일금형 | Heating device for peeling and removing protective film |
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KR101765297B1 (en) | 2017-02-24 | 2017-08-04 | (주)바로테크 | Protective film peeling device |
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2017
- 2017-11-15 KR KR1020170152042A patent/KR101817045B1/en active IP Right Grant
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