KR101769566B1 - 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피검사 접점을 가진 피검사체의 검사장치에 관한 것이다.
검사장치는 상기 피검사체가 안착되는 안착부 및 상기 피검사체를 상기 안착부를 향해 안내할 수 있는 안착슬라이더를 가진 모듈캐리어와; 상기 피검사 접점들에 접촉하는 검사핀을 지지하여 상기 모듈캐리어에 승강 이격 접근가능한 검사캐리어와; 상기 안착슬라이더의 하측에 배치되어 진동을 생성하는 진동발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 피검사체 장착 에러를 보정하고 장착 여유도를 향상시키면서 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다.

Description

검사장치{A TESTING DEVICE}
본 발명은 검사 시에 피검사체, 예를 들면 카메라모듈을 정확하게 안착시켜 검사할 수 있는 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
최근, 스마트폰과 같은 모바일장치에 고성능 카메라가 장착되면서 대량의 카메라모듈에 대한 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치가 사용되고 있다.
카메라모듈은 카메라본체로부터 플렉시블 케이블을 통해 다수의 리드단자가 리셉터클형 커넥터로 노출되어 있다. 카메라모듈 검사장치는 검사를 위해 상기 카메라모듈을 안착시키는 카메라모듈 캐리어와 안착된 카메라모듈의 리드단자에 전기적 신호를 인가하고 수신하기 위해 상기 리셉터클형 커넥터에 삽입되는 플러그형 커넥터가 장착되어 있는 검사헤드를 포함하여 구성된다.
카메라모듈 검사는 먼저 카메라모듈 캐리어의 안착부에 카메라모듈을 넣은 후에, 검사헤드를 카메라모듈 캐리어 상부에 위치시킨 후 하강하여 상기 리셉터클 커넥터에 플러그 커넥터를 삽입되게 함으로써 수행될 수 있다.
검사를 위해 카메라모듈을 카메라모듈 캐리어에 자동 또는 수동으로 장착시킬 때에 카메라모듈이 안착되는 공간은 정밀 검사를 위해 가능한 한 공차를 적게 하는 것이 일반적이다. 그러나 공차가 작으면 정밀 검사에는 유리하나 카메라모듈을 자동 또는 수동으로 장착할 때 카메라모듈이 잘못된 위치에 놓여 검사에러나 검사장치의 손상을 초래하는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 검사 시에 피감사체를 정확하게 안착시켜 검사할 수 있는 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 피검사체의 안착여유도를 확보하면서도 검사의 정확성을 향상시킬 수 있는 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 다수의 피검사 접점을 가진 피검사체의 검사장치는, 상기 피검사체가 안착되는 안착부를 가지는 고정부재와, 상기 피검사체를 상기 안착부를 향해 안내할 수 있는 안착슬라이더를 가진 모듈캐리어와; 상기 피검사 접점들에 접촉하는 복수의 검사핀을 지지하여 상기 모듈캐리어에 승강 이격 접근가능한 검사캐리어와; 상기 안착슬라이더의 하측에 배치되어 진동을 생성하는 진동발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 안착슬라이더는 상기 안착부를 향해 경사진 경사면을 포함하여, 진동발생부의 진동시에 잘못 놓인 피검사체를 안착부로 떨어지도록 할 수 있다.
상기 진동발생부는 상기 피검사체가 상기 모듈캐리어 상에 놓인 후에 소정 시간 동안 진동을 발생하는 것이 바람직하다.
상기 검사장치는 상기 안착부의 하측에 배치된 진공흡입부를 더 포함하며, 상기 안착부는 상기 진공흡입부에 연통하는 적어도 흡입공을 포함할 수 있다.
상기 진공흡입부는 흡입저항에 따라 상기 피검사체가 상기 안착부에 정확하게 안착되었는지를 판단하고, 만일 상기 피검사체가 정확하게 안착된 것으로 판단할 경우 상기 진동발생부의 동작을 정지할 수 있다.
본 발명에 의하면, 피검사체의 모듈캐리어 안착여유도를 증가시킬뿐만 아니라 잘못 놓이더라도 진동에 의해 안착되게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 카메라모듈 검사시스템을 나타내는 블록도,
도 2는 도 1의 검사장치의 사시도,
도 3은 도 2의 모듈캐리어를 상면을 나타낸 사시도,
도 4는 도 2의 검사캐리어의 저면을 나타낸 사시도,
도 5는 도 2의 모듈캐리어의 저면을 나타낸 분해사시도,
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 카메라모듈 검사방법을 나타낸 순서도, 및
도 7 및 8은 도 2의 검사장치의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 카메라모듈 검사장치(1)를 예로 들어 상세히 설명한다. 본 발명에 의한 피검사체 검사시스템은 카메라모듈뿐만 아니라 반도체, 디스플레이 등 각종 전자기기 모듈 또는 부품을 검사할 수 있다.
설명하기에 앞서, 검사장치의 정면을 기준으로 좌우 방향을 X축선, 그리고 상하 방향을 Y축선으로 하여 이하에서의 설명 편의성을 도모한다.
또한, 본 발명에 따른 제1 실시예의 검사장치의 구성은 동일명칭에 대해 동일 도면부호로 기재하였다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 카메라모듈 검사시스템을 나타내는 블록도이다.
카메라모듈 검사시스템은 카메라모듈 검사장치(1), 검사회로(2), 진공흡입부(3), 진동발생부(4), 및 경고발생부(5)를 포함한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 카메라모듈 검사장치(1)를 나타낸 것이다. 카메라모듈 검사장치(1)는 베이스(100) 상에 카메라모듈(10)을 안착시키기 위한 모듈캐리어(200)와 이 모듈캐리어(200)의 상부에 배치되어 승강하여 접근 및 이격되도록 구동되는 검사캐리어(300)를 포함한다.
카메라모듈(10)은 스마트폰과 같은 모바일장치들에 사용되는 소형 카메라로서 카메라 본체부(12) 및 이 카메라본체(12)에 전기신호를 인가하기 위해 노출된 커넥터(11)를 포함하고 있다. 커넥터(11)는 플렉시블 케이블을 통해 카메라 본체(12)에 연결되어 있다. 커넥터(11)는 검사캐리어(300)에 배치된 복수의 플러그형 컨택트에 맞물리기 적합한 복수의 리셉터클형 컨택트를 포함하고 있다. 물론 검사캐리어(300)에 리셉터클형 컨택트가 배치되면 카메라모듈(10)의 커넥터(11)는 플러그형 컨택트를 배치할 수 있다.
베이스(100)는 평판 형상으로 모듈캐리어(200)가 설치되는 지지대 역할을 한다.
도 3은 도 2의 모듈캐리어(200)의 상부를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, 모듈캐리어(200)는 상술한 카메라모듈(10)을 안착부(240), 상기 안착부(240)의 양측을 마주보며 배치된 한 쌍의 안착슬라이더(230), 및 상기 한 쌍의 안착슬라이더(230) 사이에 상기 안착부(240)를 둘러싸도록 이측에 배치된 고정벽부(250)를 포함한다.
한 쌍의 안착슬라이더(230)는 상기 안착부(240)를 중심으로 좌우로 소정간격 이격되어 배치되고, 안착슬라이더(230)를 장착하여 안내하는 가이드홈(222)를 포함하고 있다. 이때, 한 쌍의 안착슬라이더(230) 대신에 하나는 고정하고 나머지 하나의 안착슬라이더(230)만을 수평이동 이동가능하도록 하는 것도 가능하다. 안착슬라이더(230)는 도 5에 나타낸 바와 같이 가이드홈(222)에 배치하되, 스프링과 같은 탄성체(260)에 의해 안착부(240)에서 외곽방향으로 바이어스 되어 있다. 따라서, 슬라이더(230)는 가이드홈(222)에 장착된 상태에서 후술하는 검사캐리어(300)의 가동부재, 예를 들면 핀과 같은 돌기(320)에 의해 강제로 안착부(240)의 좌우 측면을 향해 이동할 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이 안착슬라이더(230)는 안착부(240)에서 좌우 바깥쪽을 향해 낮아지는 제1경사부(232)를 포함하고 있다. 이 제1경사부(232)는 상측에서 하강 접근하는 검사캐리어(300)의 돌기(320)에 접촉할 수 있도록 위치함으로써 돌기(320)가 하강할 때 안착슬라이터(230)를 안착부(240)를 향해 밀 수 있다. 안착슬라이더(230)는 또한 안착부(240)를 향해 낮아지는 제2경사부(234)를 포함할 수 있다. 제2경사부(234)는 후술하는 진동발생부(4)의 진동에 의해 안착슬라이더(230)에 걸쳐진 카메라모듈(10)을 안착부(240)로 떨어지도록 하게 한다.
안착부(240)는 카메라모듈(10)의 본체(12), 커넥터(11) 및 연결부(13) 모두가 위치되어야 하는 공간을 형성하는 부분으로 정의되는 것이 바람직하다. 즉, 안착부(240)는 카메라모듈(10)의 본체(12), 커넥터(11) 및 연결부(13)의 저면 및 측면에 대응하는 공간을 형성하는 부분, 예를 들면 홈으로 정의된다. 물론, 카메라모듈(10)의 본체(12)가 위치되어야 하는 공간만을 정확히 정의되고 나머지 커넥터(11)나 연결부(13)가 위치하는 공간은 충분히 놓일 수 있도록 확보하는 것으로도 가능하다. 이것은 카메라모듈(10)의 본체 이동에 따라 커넥터(11)나 연결부(13)는 자동으로 수반되어 이동될 수도 있기 때문이다. 안착부(240)는 카메라모듈(10)의 본체(12)가 놓이는 부분에 흡입공(242)을 포함하고 있다. 흡입공(242)은 진공흡입부(3)에서 공기를 흡입함으로써 카메라모듈(10)의 본체(12)를 흡착 고정할 수 있다. 만일, 본체(12)가 안착부(240)에 정확히 놓여 있지 않으면 진공흡입부(3)의 흡입저항이 낮을 것이고, 안착부(240)에 본체(120가 놓이면 흡입저항이 높아질 것이다.
고정벽부(250)는 카메라모듈(10)의 본체(12)가 안착부(240)를 향해 이동될 때 본체(12)의 후면이 안착부(240)를 벗어나는 것을 제한하는 역할을 한다. 이때, 고정벽부(250)는 본체(12)의 후면에 접촉하는 부분을 접촉하는 본체(12)의 형상에 적어도 부분적으로 대응하는 형상을 가지도록 할 수 있다. 이러한 제한은 안착슬라이더의 슬라이더(230)가 카메라모듈(10)을 밀어 안착부(240)에 안착시킬 때 카메라모듈(10)이 정확히 안착부(240)에 안착되도록 할 수 있다.
모듈캐리어(200)는 안착슬라이더(230)의 좌우 외측면, 즉 경사부(232) 끝의 수직면에 인접하여 검사캐리어(300)의 돌기(320)의 단부가 삽입되는 개공(220)을 포함할 수 있다. 이 개공(220)은 검사캐리어(300) 하강 접근 시에 돌기(320)가 다른 부분에 부딪히지 않도록 하기 위한 것이다.
안착슬라이더(230)의 제1경사부(232) 대신에 검사캐리어(300)의 돌기(320)가 안착부(240)를 기준으로 외곽으로 벌어지도록 경사지게 돌출함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다.
모듈캐리어(200)는 상측에서 접근하는 검사캐리어(300)의 검사핀(311)과 카메라모듈(10)의 커넥터(11)가 정확히 맞물리도록 검사캐리어(300)의 정렬핀(310)에 삽입되는 정렬공(210)을 포함하고 있다. 물론 이 정렬공(210)은 모듈캐리어(200)에 배치되는 대신에 검사캐리어(300)에 배치되고, 정렬핀(310)은 모듈캐리어(200)에 배치되는 것도 가능하다.
모듈캐리어(200)는 검사회로(2)에서 전달하는 검사신호를 검사캐리어(300) 측으로 전달하는 복수의 컨택트를 가진 제2커넥터(270)를 포함한다. 제2커넥터(270)는 고정벽부(250)의 인접하여 돌출되어 있다. 제2커넥터(270)는 검사캐리어(300)의 하강시에 후술하는 검사캐리어(300)의 제3커넥터(370)에 맞물려 검사신호를 검사캐리어(300)에 전달한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치(1)의 검사캐리어(300)를 나타낸 도이다. 검사캐리어(300)는 카메라모듈(10)의 본체(12) 상부를 수용하여 지지하는 모듈수용부(340), 카메라모듈(10)의 커넥터(11)에 삽입되는 검사핀(311), 모듈캐리어(200)의 안착슬라이더(230) 경사부(232)에 접촉한 후 개공(220)에 삽입되는 가동부재, 즉 핀과 같은 돌기(320) 및 모듈캐리어(200)의 정렬공(210)에 삽입되는 정렬핀(310)을 포함한다.
모듈수용부(340)는 모듈캐리어(200)의 안착부(240)에 안착된 카메라모듈(10)의 본체(12) 외형에 대응하는 형상을 갖는다. 즉, 모듈수용부(340)는 안착된 카메라모듈(10)의 본체(12)가 커넥터(11)의 높이보다 높게 돌출되어 있기 때문에, 검사캐리어(300)가 모듈캐리어(200)에 안착된 카메라모듈(10)을 향해 하강 접근할 때, 방해가 되지 않도록 카메라모듈(10)의 본체(12)를 위에서부터 수용하도록 한 것이다. 또한 모듈수용부(340)는 검사캐리어(300)의 하강이 완료되었을 때 카메라모듈(10)의 본체(12)를 움직이지 않도록 견고하게 지지하는 역할도 할 수 있다.
검사핀(311)은 검사를 위해 검사캐리어(300)가 하강하여 모듈캐리어(200)의 커넥터(11)에 삽입된다. 이 검사핀(311)은 예를 들면 배럴 내에 상하 플런저가 스프링을 사이에 두고 부분삽입되는 포고핀(미도시)이 적용될 수 있다.
가동부재, 즉 4개의 핀과 같은 돌기(320)는 하부에 배치된 모듈캐리어(200)의 안착슬라이더(230) 경사부(232)를 향해 돌출한다. 이 돌기(320)는 검사캐리어(300)의 하강에 따라 안착슬라이더(230)의 경사부(232)에 접촉하면서 안착슬라이더(230)를 안착부(240)를 향해 이동시킨다.
정렬핀(310)은 모듈캐리어(200)의 정렬공(210)을 향해 돌출되어 검사캐리어(300)의 하강시에 정렬공(210)에 삽입된다.
검사캐리어(300)는 모듈캐리어(200)의 제2커넥터(270)에 맞물리는 제3커넥터(370)를 포함한다.
검사캐리어(300)는 제3커넥터(370)와 검사핀(311)을 서로 전기적으로 연결하는 인쇄회로(380)를 포함한다. 인쇄회로(380)는 필요에 따라 저항(미도시)이나 컨덴서(미도시)와 같은 부품들을 포함할 수 있다.
도 2 내지 4에서 나타낸 접촉구동부(230, 320)는 모듈캐리어(200)의 안착슬라이더(230)와 검사캐리어(300)의 가동부재, 즉 돌기(320)를 포함한다. 접촉구동부(230,320)는 도2 내지 4에 나타낸 형태와 반대로 모듈캐리어(200)에 돌기를, 검사캐리어(300)에 안착슬라이더를 배치하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
검사회로(2)는 검사장치(1), 진공흡입부(3), 진동발생부(4) 및 경고발생부(5)를 제어하는 제어부(20)를 포함한다. 제어부(20)는 중앙처리유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), ASICs(application specific integrated circuits), DSPs(digital signal processors), DSPDs (digital signal processing devices), PLDs (programmable logic devices), FPGAs (field programmable gate arrays), 마이크로 컨트롤러(micro-controllers), 마이크로 프로세서(microprocessors) 등을 포함하는 컨트롤보드와 같은 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현될 수 있고, 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다. 제어부(20)는 카메라모듈(10)를 자동으로 업로드하는 모듈로더(미도시)에 연동하여 진동발생부(4)를 동작시킬 수 있다. 즉, 카메라모듈(10)이 모듈캐리어(200) 상에 업로드되면 진동발생장치(4)를 동작시킨다. 제어부(20)는 진공흡입부(3)의 흡입저항을 모니터링하여 소정 임계값 이상일 경우 진동발생부(4)를 정지시킨다. 만일 소정 임계값 이하의 흡입저항을 나타내는 시간이 소정 시간을 초과할 경우에는 경고발생부(5)를 통해 경고를 발생한다. 제어부(20)는 흡입저항을 통해 안착부(240)에 카메라모듈이 안착된 것으로 판단하면 검사장치(1)의 검사캐리어(300)을 하강시킨다. 제어부(20)는 검사캐리어(300)의 하강이 완료되면 검사신호를 제2 및 제3커넥터(270, 370)을 통해 안착된 카메라모듈(10)에 인가한다.
도 5는 도 2의 모듈캐리어의 저면을 나타낸 분해사시도이다.
도시한 바와 같이, 진공흡입부(3)는 카메라모듈(10)을 흡착하여 고정하기 위해 안착부(240)의 하부에 배치된다. 진공흡입부(3)는 안착부(240)의 흡입공(242)에 연통하는 통로만을 도시하고 나머지 구성요소, 예를 들면 진공흡입펌프 등은 생략하였다.
진동발생부(4)는 잘못 놓인 카메라모듈(10)을 안착부(240)로 위치시키기 위해 한 쌍의 안착슬라이더(230)의 각 하부에 배치된다. 진동발생부(4)는 수평진동 또는 상하진동을 수행하는 예를 들면 바이브레이터로 구성될 수 있다. 안착슬라이더(230)의 저면에는 진동발생부(4)를 수용하기 알맞은 홈부(42)를 가진 판상부재(40) 및 상기 홈부(42)에 진동발생부(4)를 수용한 상태에서 상기 판상부재(40)를 덮는 커버(44)가 배치된다.
경고발생부(5)는 업로드된 카메라모듈(10)이 소정 시간을 지나서도 안착부(240)에 제대로 안착되지 않을 경우에 사용자 또는 관리자에게 경고를 발생하여 알려준다. 경고발생부(5)는 부저, 스피커, 디스플레이, LED 등으로 구현될 수 있다.
이하, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 카메라모듈 검사 시스템의 검사방법을 설명하기 위한 순서도이다.
단계 S110에서, 모듈캐리어(200)의 각 안착슬라이더(230)가 벌어져 있는 상태에서 검사를 위해 카메라모듈(10)를 놓는다. 이때, 검사를 위한 카메라모듈(10)의 업로드는 자동 또는 수동으로 수행할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면 카메라모듈(10)의 장착 여유도가 커서 용이하게 장착될 수 있다.
단계 S120에서, 진동발생부(4)가 동작하여 안착슬라이더(230)에 진동을 가한다. 따라서, 카메라모듈(10)이 안착부(240)에 정확하게 놓이지 않더라도 진동에 의해 안착시킬 수 있다.
단계 S130에서, 진공흡입부(3)가 작동하여 카메라모듈(10)의 본체(12)의 저면을 흡착 고정한다. 이때, 카메라모듈(10)이 안착부(240)에 정확하게 안착되면 진공흡입 저항이 커지고 안착부(240)에 놓여 있지 않으면 흡입저항은 매우 작기 때문에 안착부(240)에 카메라모듈(10)이 정확하게 장착되었는지를 알 수 있다.
단계 S140에서, 안착부(240)에 카메라모듈(10)이 제대로 장착되지 않아 흡입저항이 임계값 이하를 나타내는 시간이 사전 설정된 시간만큼 경과하면 진동에 의해서도 카메라모듈(10)을 안착시키기가 어렵다고 판단하여 진동발생부(4)를 정지시키고 경고를 발생한다. 사용자 또는 관리자는 경고를 통해 카메라모듈(10)을 수동으로 장착시켜 검사를 수행한다.
단계 S150에서, 안착부(240)에 카메라모듈(10)이 제대로 장착되어 흡입저항이 임계값 이상을 나타내면 진동발생부(4)를 정지시킨다.
단계 S160에서, 검사캐리어(300)를 하강시켜 제2커넥터(270)와 제3커넥터(370)를 맞물리고, 검사캐리어(300)의 검사핀(311)과 카메라모듈(10)의 커넥터(11)를 맞물린다.
단계 S170에서, 검사회로(2)는 검사신호를 공급하여 검사를 수행한다.
도 7 및 8은 검사장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 검사캐리어(300)를 하강운동(V)시키면 가장 먼저 모듈캐리어(200)의 제2커넥터(270)와 검사캐리어(300)의 제3커넥터(370)가 맞물린 후, 검사캐리어(300)의 돌기(320)가 슬라이더(230)의 경사부(232)에 접촉한다. 이후 도 8에 나타낸 바와 같이, 돌기(320)가 계속 하강하면 슬라이더(230)를 안착부(240)를 향해 가압함으로써 수평이동(H)하는 슬라이더(230)가 대략적으로 놓인 카메라모듈(10)을 안착부(240)로 위치되도록 할 수 있다.
이후, 돌기(320)는 추가 하강하여 개공(220)으로 들어가고 정확하게 안착부(240)에 안착된 카메라모듈(10)의 커넥터(11)와 검사캐리어(300)의 검사핀(311)이 맞물려 검사신호를 인가할 수 있다. 결과적으로 검사신호는 순차적으로 검사회로(미도시), 제2커넥터(270), 제3커넥터(370), PCB(380), 검사핀(311), 카메라모듈 커넥터(11), 카메라모듈 연결부(13), 및 카메라모듈본체(12)로 전달될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1. 검사장치
2: 검사회로
3: 진공흡입부
4. 진동발생부
10: 카메라모듈
100: 베이스
200: 모듈캐리어
210:정렬공
220: 개공
230: 안착슬라이더:
240: 안착부
250: 고정벽부
270: 제2커넥터
300: 검사캐리어
311: 검사핀
310: 정렬핀
320: 가동부재(돌기)
370: 제3커넥터
380: PCB

Claims (5)

  1. 피검사 접점을 가진 피검사체의 검사장치에 있어서,
    상기 피검사체가 안착되는 안착부 및 상기 피검사체를 상기 안착부를 향해 안내할 수 있는 안착슬라이더를 가진 모듈캐리어와;
    상기 피검사 접점들에 접촉하는 검사핀을 지지하여 상기 모듈캐리어에 승강 이격 접근가능한 검사캐리어와;
    상기 안착슬라이더의 하측에 배치되어 진동을 생성하는 진동발생부를 포함하며,
    상기 안착부의 하측에 배치된 진공흡입부를 더 포함하며,
    상기 안착부는 상기 진공흡입부에 연통하는 적어도 흡입공을 포함하며,
    상기 진공흡입부의 흡입저항을 모니터링하여 소정의 임계값 이상이면, 상기 진동발생부를 정지시키고, 상기 검사캐리어를 하강시키고, 상기 피검사체에 검사신호를 인가하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 안착슬라이더는 상기 안착부를 향해 경사진 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 진동발생부는 상기 피검사체가 상기 모듈캐리어 상에 놓인 후에 소정 시간 동안 진동을 발생하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
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