KR101748352B1 - 에어 나이프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에어 나이프를 개시한 것으로, 이러한 본 발명은 에어 분사량과 그 분사압력은 물론 에어 분사방향을 임의로 조절할 수 있도록 하는 에어나이프를 구성한 것이며, 이에따라 에어 나이프를 통한 에어 분사량 및 그 분사압력, 그리고 에어 분사 방향의 조절을 통해 세정액 건조 또는 연마 또는 도금량 조절이 보다 정밀하게 이루어질 수 있도록 하는 한편, 2개 이상의 층(Layer)을 합착하는 공정으로 제조되는 백라이트 유니트(BLU) 검사장비에 적용시, 에어나이프를 라인스캐너와 평행하게 설치하고 이를 통해 LED와 확산시트 또는 프리즘시트와 확산시트 사이에 존재하는 이물질을 정확히 파악하여 라이스캐너로 인식할 수 있도록 함으로서 불량제품을 정확하고도 신속히 분리하면서 그 사용상의 편의성을 높인 것이다.

Description

에어 나이프 {AIR KNIFE}

본 발명은 세정액 건조, 연마, 도금량 조절은 물론, 백라이트 유니트(BLU) 상의 이물질 검사용으로도 유효하게 사용될 수 있는 에어나이프(AIR KNIFE)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어나이프의 본체에 다단의 에어분사부와 에어조절부에 의한 에어 분사 방향 및 그 분사압력을 조절하기 위한 에어조절부를 구성하여, 에어나이프를 통한 센서 필름 등의 비접촉 합착이나 세정액 건조 또는 연마 또는 도금량의 조절, 및 백라이트 유니트(BLU)에 이물질에 의한 불량요소 존재 여부를 정확히 파악할 수 있도록 하는 에어 나이프에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 표시 장치는 액정을 이용하는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.

평판 표시 장치는 기본적으로 영상을 표시하는 패널을 포함하여 이루어진다. 패널은 유리기판 등의 대면적을 갖는 기판을 모 기판으로 하여 기판에 증착 공정, 에칭 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 다양한 처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조된다.

상기 처리 공정들 중에서 특히 세정 공정은 각 공정들이 수행한 뒤에 반복적으로 수행된다. 예를 들어 에칭공정을 수행한 뒤에는 기판상에 잔류하는 불순물 및 에칭에 사용된 케미컬 등의 파티클(particle)을 세정하기 위하여 에칭 공정을 거친 기판을 대상으로 세정 공정을 수행하게 된다.

특히 파티클의 부착은 디바이스의 수율에 미치는 영향이 크다. 따라서 공정 전,후 신뢰성 확보 및 수율 향상을 위해 파티클을 제거해 주어야 하며, 기술이 진보함에 따라서 패널의 대형화 및 패턴의 미세화가 이루어지면서 세정 공정 또한 기술적 발전을 요하고 있다.

이같은 평판 표시 장치의 제조공정에는 패널을 마무리 세정하기 위하여 패널에 묻은 세정액을 건조하기 위한 패널 건조장치가 이용되며, 이러한 패널 건조장치는 공급관에서 공급된 에어를 건조노즐부에서 패널 면으로 분사하는 에어나이프(air knife)를 주로 이용하고 있으며, 이러한 에어나이프는 등록특허공보 제 10-1189535 호(공고일 2012.10.11)이 개시되어 있고, 도금량을 조절하도록 에어나이프를 사용하기도 하며, 이러한 에어나이프는 등록특허 제 10-0293231 호(공개일 2001.09.17)에 개시되어 있다.

연마용으로 사용되는 에어나이프는 등록특허공보 제 10-0880572 호(공고일 2009.01.30)에 개시되어 있고, 더욱이 터치스크린 제조 공정으로서 Glass, PMMA, 아크릴 등의 재질로 된 하드 커버 패널에 OCA와 같은 점착성 필름을 이용하여 PET 재질의 센서 필름을 부착하는 2개 이상의 층(Layer)을 합착하는 공정에 있어서 합착을 위한 가압과 동시에 공기의 배출이 원활하게 이루어지도록 하여 기포를 제거할 수 있는 비접촉 합착방법 및 비접촉 합착장치가 등록특허공보 제 10-1287825 호(공고일 2013.07.15)에 개시되어 있다.

상기와 같은 에어나이프들은 모두 통상적으로 본체의 일측에 에어공급을 위한 공급구가 형성되고, 상기 공급구를 통하여 공급된 공기를 분사하기 위한 길고 좁은 폭을 갖는 장방형의 슬릿이 형성됨은 물론, 상기 본체의 내부에는 공급구에서 공급된 공기를 슬릿으로 골고루 분배시키기 위하여 슬릿의 후방에 공동부를 형성하는 것이다.

그러나, 종래의 에어나이프는 슬릿이 일정길이를 가지는 것으로, 슬릿을 통해 균일한 양의 공기를 분사시키는 방식으로서, 에어 분사량 조절과 그 분사압력은 물론, 에어분사 방향을 조절하지 못하는 단점을 가지고 있었다.

이에 따라, 종래의 에어 나이프는 특정 위치에 에어를 분사시 그 에어 분사량이 너무 많거나 또는 분사하지 않아도 되는 위치에 에어 분사가 이루어지면서, 건조 또는 연마 또는 도금량 조절이 필요없는 위치로까지 에어 분사가 이루어지는 단점을 가지고 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 에어 분사량과 그 분사압력은 물론 에어 분사방향을 임의로 조절할 수 있도록 하는 에어나이프를 구성함으로써, 에어 나이프를 통한 에어 분사량 및 그 분사압력, 그리고 에어 분사 방향의 조절을 통해 센서 필름 등의 비접촉 합착이나 세정액 건조 또는 연마, 및 도금량 조절이 보다 정밀하게 이루어질 수 있도록 하는 등 그 사용상의 편의성을 높일 수 있도록 하는 에어 나이프를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 2개 이상의 층(Layer)을 합착하는 공정으로 제조되는 백라이트 유니트(BLU) 검사장비에 적용시, 에어나이프를 라인스캐너와 평행하게 설치하고 이를 통해 LED와 확산시트 또는 프리즘시트와 확산시트 사이에 존재하는 이물질을 정확히 파악하여 라인스캐너로 인식할 수 있도록 함으로서 불량제품을 정확하고도 신속히 분리해 낼 수 있도록 하려는 것이다.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 에어 나이프는, 공급받는 에어를 수용하기 위한 1차 저장공간이 형성되는 본체; 상기 본체에 다단 구성되고, 상기 본체의 1차 저장공간에 수용되는 에어를 분사하는 에어분사부; 상기 본체에 결합되고, 다단의 상기 에어분사부에 의해 분사되는 에어 분사량과 그 분사압력, 그리고 다단의 에어분사부 중 적어도 어느 하나의 에어분사부를 통해 에어가 가이드되도록 에어 분사방향을 조절하는 다단의 에어조절부; 를 포함하여 구성한 것이다.

본 발명의 일면에 따라, 상기 본체에는 지지프레임을 결합 구성하고, 상기 지지프레임에는 힌지를 축으로 하여 각도 조절되는 홀더를 결합 구성하며, 상기 홀더에는 상기 에어분사부를 통한 에어 분사시 그 분사되는 에어의 분사 포인트를 설정하는 포인트설정부를 결합 구성한 것이다.

본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 본체는, 다단의 장착구를 형성한 제 1 본체; 상기 제 1 본체와 결합되고, 일면에 1차 저장공간으로 에어를 유입시키는 에어유입홀이 형성되며, 또 다른 일면에는 회전축부를 형성한 제 2 본체; 를 포함하여 구성한 것이다.

본 발명의 또 다른 일면에 따라, 상기 에어분사부는 상기 제 2 본체의 평면상에 다단 형성되는 것이고, 다단 형성되는 상기 에어분사부는 가이드플레이트를 통해 분할되는 복수의 유로를 각각 형성한 것이다.

본 발명의 또 다른 일면에 따라, 상기 에어조절부는, 상기 제 1 본체의 장착구를 통해 인입되어 상기 제 2 본체의 회전축부에 결합되는 회전레버이고, 상기 회전레버에는 상기 회전레버의 회전각도에 따라 상기 에어분사부의 각 유로에 에어를 선택적으로 공급하는 에어홀을 관통한 것이다.

이와 같이 본 발명은 에어 분사량과 그 분사압력은 물론 에어 분사방향을 임의로 조절할 수 있도록 하는 에어나이프를 구성한 것으로, 이를 통해 에어 나이프를 통한 에어 분사량 및 그 분사압력, 그리고 에어 분사 방향의 조절을 통해 세정액 건조 또는 연마, 및 도금량 조절이 보다 정밀하게 이루어질 수 있도록 하는 한편, 2개 이상의 층(Layer)을 합착하는 공정으로 제조되는 백라이트 유니트(BLU) 검사장비에 적용시, 에어나이프를 라인스캐너와 평행하게 설치하고 이를 통해 LED와 확산시트 또는 프리즘시트와 확산시트 사이에 존재하는 이물질을 정확히 파악하여 라인스캐너로 인식할 수 있도록 함으로서 불량제품을 정확하고도 신속히 분리하는 효과를 기대할 수 있는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예로 에어나이프의 구조를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예로 에어나이프의 구조를 보인 분해도.
도 3은 본 발명의 실시예로 회전레버를 통해 에어의 분사방향을 조절하는 상태를 보인 에어나이프의 정면도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예로 에어나이프의 구조를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예로 에어나이프의 구조를 보인 분해도이며, 도 3은 본 발명의 실시예로 회전레버를 통해 에어의 분사방향을 조절하는 상태를 보인 에어나이프의 정면도를 도시한 것이다.

첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 에어 나이프는, 본체(10)와 에어분사부(20) 및 에어조절부를 포함하여 구성한다.

상기 본체(10)는 에어를 공급받은 후 이를 상기 에어분사부(20)로 가이드하는 것으로, 제 1,2 본체(11)(12)로 결합 구성하는 것이다.

상기 제 1 본체(11)는 상기 에어조절부의 인입을 위한 다단의 장착구(11a)를 형성한다.

상기 제 2 본체(12)는 상기 제 1 본체(11)와 결합되는 것으로, 일면에는 에어유입홀(12a)이 형성되고, 상기 에어유입홀(12a)를 거쳐 유입된 에어는 1차 저장공간(13)에 이르러 전체폭으로 수용되는 것이며, 이어서 분사영역을 복수로 나누어 공급될 수 있도록 폭방향에 대하여 복수개의 에어분사부(20)(20')(20")를 설치하게 되는 것으로서, 1차 저장공간(13)과 복수개의 에어분사부(20)(20')(20") 사이에는 상기 에어조절부가 결합되는 회전축부(12b)를 형성하는 것이다.

복수의 영역으로 분할되는 상기 에어분사부(20)(20')(20")는 상기 본체(10)의 1차 저장공간(13)에 저장되는 에어를 제한된 영역으로 분할 분사하기 위하여 다단 구성되는 것이며, 이를 위해 상기 에어분사부(20)(20')(20")는 각각 가이드플레이트(21)를 통해 분할되는 복수의 유로(U1)(U2)(U3)를 형성한다.

상기 에어조절부는 상기 본체(10)에 다단 결합되고, 다단의 상기 에어분사부(20)(20')(20")에 의해 분사되는 에어 분사량과 그 분사압력, 그리고 다단의 에어분사부(20)(20')(20") 중 적어도 어느 하나의 에어분사부를 통해 에어 분사가 이루어지도록 에어 분사방향을 조절하는 것이며, 이에따라 상기 에어조절부는 상기 제 1 본체(11)의 장착부(11a)를 통해 인입되어 상기 제 2 본체(12)의 회전축부(12b)에 결합되는 다단의 회전레버(30)(30')(30")로 구성하고, 상기 회전레버(30)(30')(30")에는 상기 회전레버(30)(30')(30")의 회전각도에 따라 상기 에어분사부(20)(20')(20")의 각 유로(U1)(U2)(U3)에 에어를 선택적으로 공급하는 에어홀(31)을 관통하여 형성하는 것이다.

한편, 본 발명의 실시예에서는 상기 본체(10)에 지지프레임(40)을 결합 구성하고, 상기 지지프레임(40)에는 힌지(h1)를 축으로 하여 각도 조절되는 홀더(50)를 결합 구성하는 한편, 상기 홀더(50)에는 상기 에어분사부(20)를 통한 에어 분사시 그 분사되는 에어의 분사 포인트를 설정하는 포인트설정부(60)를 결합 구성한다.

상기 포인트 설정부(60)는 레이저를 조사하는 레이어발생기가 바람직하게 사용되는 것이다.

본 발명의 실시예에 따른 에어 나이프는 첨부된 도 1 내지 도 3에서와 같이, 우선 에어조절부를 이루는 다단의 회전레버(30)(30')(30")를 모두 회전시켜, 정상적인 위치 즉, 상기 회전레버(30)(30')(30')를 관통하여 형성된 에어홀(31)의 일단은 본체(10)의 에어유입홀(12a)을 향하도록 하고, 상기 에어홀(31)의 타단은 다단을 이루는 에어분사부(20)(20')(20")의 각 유로(U1,U2,U3)을 향상하도록 설정한다.

이후, 상기 본체(10)에 결합되는 지지프레임(40)과 홀더(50)에 결합되는 포인트설정부(60)를 통해 에어 분사의 포인트를 설정한 상태에서, 상기 본체(10)의 에어유입홀(12a)로 에어를 공급하면, 상기 에어유입홀(12a)을 통해 본체(10)내에 1차 저장공간(13)으로 가이드되는 에어는 회전레버(30)(30')(30")의 에어홀(31)을 통과한 후 에어분사부(20)(20')(20")의 각 유로(U1,U2,U3)에 가이드되어 외부로 분사되면서, 상기 에어분사부(20)(20')(20")의 각 유로(U1,U2,U3)를 통해 분사되는 에어 압력으로부터 세정액의 건조 또는 연마 또는 도금량 조절이 이루어질 수 있는 것이다.

물론, 본 발명의 에어나이프를 백라이트 유니트(BLU) 검사장비에 적용하는 경우에는, 에어나이프를 라인스캐너와 평행하게 설치하여 줌으로서, LED와 확산시트 또는 프리즘시트와 확산시트를 충분히 밀착시켜 이들 사이에 위치하는 이물질의 존재를 정확히 파악할 수 있도록 하는 것이며, 이물질의 위치 등을 라인스캐너로 인식할 수 있도록 함으로서 불량제품을 정확하고도 신속히 분리해 낼 수 있게 되는 것이다.

이때, 상기 다단을 이루는 회전레버(30)(30')(30") 중 어느 하나의 회전레버(30')에 대한 각도를 조절하여 다단의 에어분사부(20)(20')(20") 중에서 상기 각도 조절된 회전레버(30')에 대응하는 에어분사부(20')의 에어 분사를 차단한다.

즉, 상기 회전레버(30')의 각도 조절을 통해, 상기 회전레버(30')를 관통한 에어홀(31)의 위치를 변경시키면, 상기 본체(10)의 에어유입홀(12a)을 통해 유입되어 1차 저장공간(13)에 수용되는 에어는 위치 변경된 상기 에어홀(31)에 의해 상기 회전레버(30')와 대응되는 에어분사부(20')로는 그 공급이 차단되며, 회전각도가 조절되지 않은 다른 회전레버(30)(30")에 대응되는 에어분사부(20)(20")에는 그대로 에어 공급이 이루어지면서, 상기 에어분사부(20)(20")에 각각 형성되는 유로(U1,U3)를 통해서만 외부로의 에어 분사가 이루어질 수 있으며, 그 에어 분사시의 압력은 높아질 수 있는 것이다.

한편, 복수의 회전레버(30)(30")를 다른 회전레버(30')의 방향으로 90°회전시키면, 다단의 에어분사부(20)(20')(20") 중에서 상기 각도 조절된 회전레버(30)(30")에 대응하는 에어분사부(20)(20")의 에어 분사는 차단된다.

즉, 상기 회전레버(30)(30")의 각도 조절을 통해, 상기 회전레버(30)(30")를 관통한 에어홀(31)의 위치를 변경시키면, 상기 본체(10)의 에어유입홀(12a)을 통해 1차 저장공간(13)으로 수용되는 에어는 위치 변경된 상기 에어홀(31)에 의해 상기 회전레버(30)(30")와 대응되는 에어분사부(20)(20")로는 그 공급이 차단되며, 회전각도가 조절되지 않은 다른 회전레버(30')에 대응되는 에어분사부(20')에는 그대로 에어 공급이 이루어지면서, 상기 에어분사부(20')에 형성되는 유로(U2)를 통해서만 외부로 에어 분사가 이루어질 수 있으며, 그 에어 분사시의 압력은 아주 높아질 수 있게 되는 것이다.

다시말해, 본 발명의 실시예는 다단으로 이루어진 에어분사구(20)(20')(20")의 에어 분사를 회전레버(30)(30')(30")의 각도 조절을 통해 모두에서 이루어지도록 하거나, 또는 에어분사구(20)(20')(20") 중에서 적어도 어느 하나에서만 이루어질 수 있도록 조절할 수 있는 것이며, 이러한 조절작업을 통해 에어의 분사량과 그 분사압력 그리고 분사방향을 결정하면서, 세정액의 건조 또는 제품 연마 또는 도금량의 조절은 물론, 백라이트 유니트(BLU) 상의 이물질 검사용으로도 유효하게 사용될 수 있도록 한 것이다.

이상에서 본 발명의 에어나이프에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.

따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.

10; 본체 11; 제 1 본체
11a; 장착구 12; 제 2 본체
12a; 에어유입홀 12b; 회전축부
13; 1차 저장공간 20,20',20"; 에어분사부
21; 가이드플레이트 U1,U2,U3; 유로
30,30',30"; 회전레버 31; 에어홀
40; 지지프레임 50; 홀더
60; 포인트설정부

Claims (5)

1. 공급받는 에어를 수용하기 위한 1차 저장공간이 형성되는 본체; 상기 본체에 다단 구성되고, 상기 본체의 1차 저장공간에 수용되는 에어를 분사하는 에어분사부; 및, 상기 본체에 결합되고, 다단의 상기 에어분사부에 의해 분사되는 에어 분사량과 그 분사압력, 그리고 다단의 에어분사부 중 적어도 어느 하나의 에어분사부를 통해 에어가 가이드되도록 에어 분사방향을 조절하는 다단의 에어조절부; 를 포함하며, 상기 본체는, 다단의 장착구를 형성한 제 1 본체; 및, 상기 제 1 본체와 결합되고, 일면에 1차 저장공간으로 에어를 유입시키는 에어유입홀이 형성되며, 또 다른 일면에는 회전축부를 형성한 제 2 본체; 로 구성하되,
   상기 에어분사부는 상기 제 2 본체의 평면상에 다단 형성되고, 다단 형성되는 상기 에어분사부는 가이드플레이트를 통해 분할되는 복수의 유로를 각각 형성하며, 상기 에어조절부는 상기 제 1 본체의 장착구를 통해 인입되어 상기 제 2 본체의 회전축부에 결합되는 회전레버로 구성하고, 상기 회전레버에는 상기 회전레버의 회전각도에 따라 상기 에어분사부의 각 유로에 에어를 선택적으로 공급하는 에어홀을 관통하여 형성하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 본체에는 지지프레임을 결합 구성하고, 상기 지지프레임에는 힌지를 축으로 하여 각도 조절되는 홀더를 결합 구성하며,
   상기 홀더에는 상기 에어분사부를 통한 에어 분사시 그 분사되는 에어의 분사 포인트를 설정하는 포인트설정부를 결합 구성하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프.
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