KR101703510B1 - 터치 패널 및 그 구동 방법 - Google Patents
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Abstract
고분해능이고, 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널을 제공하는 것을 과제로 한다.
대향하는 제 1 기판 및 제 2 기판을 갖는 패널과, 제 1 기판 측으로부터 상이한 파장 영역의 광을 패널에 순차적으로 또는 병행하여 공급되는 복수의 광원을 갖고, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에는, 액정 소자, 포토 다이오드 및 박막 트랜지스터를 각각 갖는 복수의 화소가 형성되고, 포토 다이오드가 갖는 섬 형상의 반도체막과, 박막 트랜지스터가 갖는 섬 형상의 반도체막은, 제 2 기판 위의 하나의 반도체막을 에칭함으로써 형성되어 있는 터치 패널.
대향하는 제 1 기판 및 제 2 기판을 갖는 패널과, 제 1 기판 측으로부터 상이한 파장 영역의 광을 패널에 순차적으로 또는 병행하여 공급되는 복수의 광원을 갖고, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에는, 액정 소자, 포토 다이오드 및 박막 트랜지스터를 각각 갖는 복수의 화소가 형성되고, 포토 다이오드가 갖는 섬 형상의 반도체막과, 박막 트랜지스터가 갖는 섬 형상의 반도체막은, 제 2 기판 위의 하나의 반도체막을 에칭함으로써 형성되어 있는 터치 패널.
Description
본 발명은, 터치 센서를 갖는 터치 패널과, 그 구동 방법에 관한 것이다. 특히, 터치 센서를 갖는 화소가 매트릭스 형태로 배치된 터치 패널과, 그 구동 방법에 관한 것이다. 또한, 상기 터치 패널을 갖는 전자 기기에 관한 것이다.
최근, 터치 센서를 탑재한 표시 장치가 주목을 받고 있다. 터치 센서를 탑재한 표시 장치는, 터치 패널 또는 터치 스크린 등으로 불린다(이하, 이것을 단순히 “터치 패널”이라고 부름). 터치 센서에는, 동작 원리의 차이에 의하여, 저항막 방식, 정전 용량 방식, 광 방식 등이 있다. 어느 방식에 있어서도 피검출물이 표시 장치에 접촉 또는 근접함으로써, 데이터를 입력할 수 있다.
광 방식의 터치 센서로서 광을 검출하는 센서(“포토 센서”라고도 함)를 터치 패널에 설치함으로써, 표시 화면이 입력 영역을 겸한다. 이와 같은 광 방식의 터치 센서를 갖는 장치의 일례로서, 화상을 취득하는 밀착형 에어리어 센서를 배치함으로써, 화상 취득 기능을 구비한 표시 장치를 들 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 광 방식의 터치 센서를 갖는 터치 패널에서는, 터치 패널로부터 광이 조사된다. 터치 패널의 임의의 위치에 피검출물이 존재하는 경우에는, 피검출물이 존재하는 영역의 광이 피검출물에 의하여 차단되어, 일부의 광이 반사된다. 터치 패널 내의 화소에는, 광을 검출할 수 있는 포토 센서(“광전 변환 소자”라고 불리는 경우도 있음)가 설치되어, 반사된 광을 검출함으로써, 광이 검출된 영역에 피검출물이 존재하는 것을 인식할 수 있다.
또한, 휴대 전화 등의 휴대 정보 단말을 비롯한 전자 기기에, 본인 인증 기능 등을 부여하는 시도가 이루어지고 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조). 본인 인증에는, 지문, 얼굴, 수형(手形), 장문(掌紋), 및 손의 정맥의 형상 등을 들 수 있다. 본인 인증 기능을 표시부와는 다른 부분에 설치하는 경우에는, 부품수가 증가되어, 전자 기기의 중량이나 가격이 증대될 우려가 있다.
또한, 터치 센서의 시스템에 있어서, 외광의 밝기에 따라 손 끝 부분의 위치를 검출하기 위한 화상 처리 방법을 선택하는 기술이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 3 참조).
본인 인증 기능을 갖는 전자 기기에 터치 패널을 사용하는 경우에는 터치 패널의 각 화소에 설치된 포토 센서가 광을 검출하여 생성한 전기 신호를 수집하고, 화상 처리를 행할 필요가 있다. 특히, 고분해능, 고속 동작의 본인 인증 기능을 갖는 전자 기기를 실현하기 위해서는 포토 센서의 고감도화가 요구된다. 또한, 고도의 본인 인증 기능을 실현하기 위해서는 흑백이 아니라 컬러로의 데이터 수집이 필요하게 된다. 또한, 터치 패널을 저렴하게 제공할 필요가 있다.
상기 과제를 감안하여, 개시하는 발명의 일 형태는, 고감도의 포토 센서를 갖고, 컬러로의 촬상(撮像) 기능을 갖는 저렴한 터치 패널 및 그 구동 방법을 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.
본 발명의 일 형태에 있어서의 터치 패널은, 화소에 표시 소자와 포토 센서를 각각 갖고, 포토 센서가 갖는 포토 다이오드와, 표시 소자가 갖는 박막 트랜지스터는, 공통의 반도체막으로 구성되고, 백 라이트를 대향 기판 측에서 조사하고, TFT 기판 측에 피검출물을 배치하여 사용하고, 백 라이트는 복수의 특정의 색의 광원을 순차적으로 점등함으로써 구성하고, 상기 색의 광원이 점등하는 기간에 포토 센서에 의하여 피검출물로부터의 반사 광을 검출하여 상기 색의 촬상 데이터로 하고, 모든 색의 촬상 데이터로 촬상 화상을 구성한다. 또한, 본 발명의 일 형태에 있어서의 터치 패널은, 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 구성하는 도전막이고, 포토 다이오드의 차폐막을 구성한다.
본 발명에 의하여, 고분해능이고, 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널을 제공할 수 있다. 또한, 고분해능이고, 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널의 구동 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 터치 패널의 구성을 설명하는 도면.
도 2는 터치 패널의 구성을 설명하는 도면.
도 3은 터치 패널의 구성을 설명하는 도면.
도 4는 타이밍 차트.
도 5는 터치 패널의 단면도.
도 6은 터치 패널의 단면도.
도 7은 타이밍 차트.
도 8은 터치 패널의 구성을 도시하는 도면.
도 9a 내지 도 9e는 터치 패널을 사용한 전자 기기의 일례를 도시하는 도면.
도 2는 터치 패널의 구성을 설명하는 도면.
도 3은 터치 패널의 구성을 설명하는 도면.
도 4는 타이밍 차트.
도 5는 터치 패널의 단면도.
도 6은 터치 패널의 단면도.
도 7은 타이밍 차트.
도 8은 터치 패널의 구성을 도시하는 도면.
도 9a 내지 도 9e는 터치 패널을 사용한 전자 기기의 일례를 도시하는 도면.
이하에 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 사용하여 자세히 설명한다. 다만, 이하의 실시형태는 많은 다른 형태로 실시하는 것이 가능하고, 취지 및 그 범위에서 벗어남이 없이 그 형태 및 자세한 내용을 다양하게 변경할 수 있다는 것은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다. 따라서, 이하에 제시하는 실시형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 실시형태를 설명하기 위한 모든 도면에 있어서, 동일 부분 또는 같은 기능을 갖는 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.
(실시형태 1)
본 실시형태에서는 터치 패널에 대하여 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
터치 패널의 구성에 대하여 도 1을 참조하여 설명한다. 터치 패널(100)은 화소 회로(101), 표시 소자 제어 회로(102) 및 포토 센서 제어 회로(103)를 갖는다. 화소 회로(101)는 행렬 방향으로 매트릭스 형상으로 배치된 복수의 화소(104)를 갖는다. 각각의 화소(104)는 표시 소자(105)와 포토 센서(106)를 갖는다.
표시 소자(105)는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT), 유지 용량, 액정층을 갖는 액정 소자 등을 갖는다. 박막 트랜지스터는, 유지 용량에 전하를 주입 또는 배출하는 것을 제어하는 기능을 갖는다. 유지 용량은 액정층에 인가하는 전압에 상당하는 전하를 유지하는 기능을 갖는다. 액정층에 전압을 인가함으로써 편광 방향이 변화되는 것을 이용하여 액정층을 투과하는 광의 명암(계조)을 줌으로써 화상 표시가 실현된다. 액정층을 투과하는 광에는 광원(백 라이트)에 의하여 액정 표시 장치의 뒷면으로부터 조사되는 광을 사용한다.
또한, 컬러 화상 표시를 행하는 방식으로서, 컬러 필터를 사용하는 방식, 소위 컬러 필터 방식이 있다. 이것은, 액정층을 투과한 광이 컬러 필터를 통과함으로써, 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))의 계조를 줄 수 있다. 여기서, 컬러 필터 방식을 사용할 때, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중의 어느 색깔을 발광하는 기능을 갖는 화소(104)를 각각 R화소, G화소, B화소라고 부르기로 한다.
또한, 컬러 화상 표시를 행하는 다른 방식으로서, 백 라이트를 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))의 광원으로 구성하여 각 색을 순차적으로 점등하는 방식, 소위 필드 시퀀셜 방식이 있다. 필드 시퀀셜 방식으로는, 각 색의 광원이 점등하는 기간에, 액정층을 투과하는 광의 명암을 줌으로써, 상기 색의 계조를 줄 수 있다.
또한, 표시 소자(105)가 액정 소자를 갖는 경우에 대하여 설명하지만, 발광 소자 등의 다른 소자를 가져도 좋다. 발광 소자는 전류 또는 전압에 의하여 휘도가 제어되는 소자이고, 구체적으로는 발광 다이오드, OLED(Organic Light Emitting Diode) 등을 들 수 있다.
포토 센서(106)는 포토 다이오드 등, 수광함으로써 전기 신호를 발신하는 기능을 갖는 소자와, 박막 트랜지스터를 갖는다. 또한, 포토 센서(106)가 수광하는 광은, 백 라이트로부터의 광이 피검출물에 조사되었을 때의 반사광을 이용한다.
표시 소자 제어 회로(102)는, 표시 소자(105)를 제어하기 위한 회로이고, 비디오 데이터 신호선 등의 신호선("소스 신호선"이라고도 함)을 통하여 표시 소자(105)에 신호를 입력하는 표시 소자 구동 회로(107)와, 주사선("게이트 신호선"이라고도 함)을 통하여 표시 소자(105)에 신호를 입력하는 표시 소자 구동 회로(108)를 갖는다. 예를 들어, 주사선 측의 표시 소자 구동 회로(108)는, 특정의 행에 배치된 화소가 갖는 표시 소자를 선택하는 기능을 갖는다. 또한, 신호선 측의 표시 소자 구동 회로(107)는, 선택된 행의 화소가 갖는 표시 소자에 임의의 전위를 주는 기능을 갖는다. 또한, 주사선 측의 표시 소자 구동 회로(108)에 의하여 고전위를 인가된 표시 소자에서는, 박막 트랜지스터가 도통 상태가 되고, 신호선 측의 표시 소자 구동 회로(107)에 의하여 인가되는 전하가 공급된다.
포토 센서 제어 회로(103)는 포토 센서(106)를 제어하기 위한 회로이고, 포토 센서 출력 신호선, 포토 센서 기준 신호선 등의 신호선 측의 포토 센서 판독 회로(109)와, 주사선 측의 포토 센서 구동 회로(110)를 갖는다. 예를 들어, 주사선 측의 포토 센서 구동 회로(110)는 특정의 행에 배치된 화소가 갖는 포토 센서(106)를 선택하는 기능을 갖는다. 또한, 신호선 측의 포토 센서 판독 회로(109)는 선택된 행의 화소가 갖는 포토 센서(106)의 출력 신호를 추출하는 기능을 갖는다. 또한, 신호선 측의 포토 센서 판독 회로(109)는, 아날로그 신호인 포토 센서의 출력을, OP 앰프를 사용하여 아날로그 신호인 채 터치 패널 외부에 추출하는 구성이나, A/D 변환 회로를 사용하여 디지털 신호로 변환한 후에 터치 패널 외부에 추출하는 구성을 생각할 수 있다.
화소(104)의 회로도에 대하여 도 2를 사용하여 설명한다. 화소(104)는 트랜지스터(201), 유지 용량(202), 및 액정 소자(203)를 갖는 표시 소자(105)와, 포토 다이오드(204), 트랜지스터(205), 및 트랜지스터(206)를 갖는 포토 센서(106)를 갖는다.
트랜지스터(201)는 게이트가 게이트 신호선(207)에 접속되고, 소스 또는 드레인의 한쪽이 비디오 데이터 신호선(210)에 접속되고, 소스 또는 드레인의 다른 쪽이 유지 용량(202)의 한쪽의 전극과 액정 소자(203)의 한쪽의 전극에 전기적으로 접속된다. 유지 용량(202)의 다른 쪽의 전극과 액정 소자(203)의 다른 쪽의 전극은 일정의 전위로 유지된다. 액정 소자(203)는 한 쌍의 전극과, 상기 한 쌍의 전극 사이에 액정층을 포함하는 소자이다.
트랜지스터(201)는 게이트 신호선(207)에 전위 "H"(하이 레벨의 전위)가 인가되면, 비디오 데이터 신호선(210)의 전위를 유지 용량(202)과 액정 소자(203)에 인가한다. 유지 용량(202)은 인가된 전위를 유지한다. 액정 소자(203)는 인가된 전위에 의하여 광 투과율을 변경한다.
포토 다이오드(204)는, 한쪽의 전극이 포토 다이오드 리셋 신호선(208)에 접속되고, 다른 쪽의 전극이 트랜지스터(205)의 게이트에 전기적으로 접속된다. 트랜지스터(205)는 소스 또는 드레인의 한쪽이 포토 센서 출력 신호선(211)에 접속되고, 소스 또는 드레인의 다른 쪽이 트랜지스터(206)의 소스 또는 드레인의 한쪽에 전기적으로 접속된다. 트랜지스터(206)는 게이트가 게이트 신호선(209)에 접속되고, 소스 또는 드레인의 다른 쪽이 포토 센서 기준 신호선(212)에 전기적으로 접속된다.
다음에, 포토 센서 판독 회로(109)의 구성에 대하여 도 3을 사용하여 설명한다. 도 3에 있어서, 화소 1열 분에 대응하는 포토 센서 판독 회로(300)는, p형 TFT(301), 유지 용량(302)을 갖는다. 또한, 상기 화소 열의 포토 센서 출력 신호선(211), 프리 차지 신호선(303)을 갖는다.
포토 센서 판독 회로(300)에서는 화소 내에 있어서의 포토 센서의 동작에 앞서, 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위를 기준 준위로 설정한다. 도 3에서는 프리 차지 신호선(303)의 전위를 "L"(로우 레벨의 전위)로 함으로써 포토 센서 출력 신호선(211)을 기준 준위인 고전위로 설정할 수 있다. 또한, 유지 용량(302)은 포토 센서 출력 신호선(211)의 기생 용량이 큰 경우에는, 특히 형성하지 않아도 좋다. 또한, 기준 전위를 저전위로 하는 구성도 가능하다. 이 경우, n형 TFT를 사용함으로써, 프리 차지 신호선(303)의 전위를 "H"로 함으로써, 포토 센서 출력 신호선(211)을 기준 전위인 저전위로 설정할 수 있다.
다음에, 본 터치 패널에 있어서의 포토 센서의 판독 동작에 대하여 도 4의 타이밍 차트를 사용하여 설명한다. 도 4에 있어서, 신호(401) 내지 신호(404)는 도 2에 있어서의 포토 다이오드 리셋 신호선(208), 트랜지스터(206)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(209), 트랜지스터(205)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(213), 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위에 각각 상당한다. 또한, 신호(405)는 도 3에 있어서의 프리 차지 신호선(303)의 전위에 상당한다.
시각 A에 있어서, 포토 다이오드 리셋 신호선(208)의 전위(신호(401))를 "H"로 하면, 포토 다이오드(204)가 도통하고, 트랜지스터(205)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(213)의 전위(신호(403))는 "H"가 된다. 또한, 프리 차지 신호선(303)의 전위(신호(405))를 "L"로 하면 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위(신호(404))는 "H"로 프리 차지된다.
시각 B에 있어서, 포토 다이오드 리셋 신호선(208)의 전위(신호(401))를 "L"로 하면, 포토 다이오드(204)의 오프 전류에 의하여, 트랜지스터(205)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(213)의 전위(신호(403))가 저하되기 시작한다. 포토 다이오드(204)는 광이 조사되면, 오프 전류가 증대되므로 조사되는 광의 양에 따라 트랜지스터(205)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(213)의 전위(신호(403))는 변화된다. 즉, 트랜지스터(205)의 소스와 드레인 사이의 전류가 변화된다.
시각 C에 있어서, 게이트 신호선(209)의 전위(신호(402))를 "H"로 하면, 트랜지스터(206)가 도통하고, 포토 센서 기준 신호선(212)과 포토 센서 출력 신호선(211)이 트랜지스터(205)와 트랜지스터(206)를 통하여 도통한다. 이에 따라, 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위(신호(404))는 저하되기 시작한다. 또한, 시각 C 이전에 프리 차지 신호선(303)의 전위(신호(405))의 전위를 "H"로 하고, 포토 센서 출력 신호선(211)의 프리 차지를 끝낸다. 여기서, 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위(신호 (404))가 저하되는 속도는 트랜지스터(205)의 소스와 드레인 사이의 전류에 의존한다. 즉, 포토 다이오드(204)에 조사되는 광의 양에 따라 변화된다.
시각 D에 있어서, 게이트 신호선(209)의 전위(신호(402))를 "L"로 하면, 트랜지스터(206)가 차단되고, 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위(신호(404))는 시각 D 이후 일정 값이 된다. 여기서 일정 값이 되는 값은, 포토 다이오드(204)에 조사되는 광의 양에 따라 변화한다. 따라서, 포토 센서 출력 신호선(211)의 전위를 취득함으로써, 포토 다이오드(204)에 조사되는 광의 양을 알 수 있다.
도 5에 터치 패널의 단면도의 일례를 도시한다. 도 5에 도시한 터치 패널에서는 절연 표면을 갖는 기판(TFT 기판)(1001) 위에 포토 다이오드(1002), 트랜지스터(1003), 유지 용량(1004), 액정 소자(1005)가 형성된다.
포토 다이오드(1002)와 유지 용량(1004)은 트랜지스터(1003)를 제작하는 프로세스에 있어서, 트랜지스터(1003)와 함께 형성할 수 있다. 포토 다이오드(1002)는 가로형 접합 타입의 pin 다이오드이고, 포토 다이오드(1002)가 갖는 반도체막(1006)은 p형 도전성을 갖는 영역(p층)과, i형 도전성을 갖는 영역(i층)과, n형 도전성을 갖는 영역(n층)을 갖는다. 또한, 본 실시형태에서는 포토 다이오드(1002)가 pin 다이오드인 경우를 예시하지만, 포토 다이오드(1002)는 pn 다이오드라도 좋다. 가로형 접합 타입의 pin 다이오드 또는 pn 다이오드는, p형을 부여하는 불순물과 n형을 부여하는 불순물을 각각 반도체막(1006)의 특정의 영역에 첨가함으로써 형성할 수 있다.
또한, TFT 기판(1001) 위에 성막한 하나의 반도체막을 에칭 등에 의하여, 원하는 형성으로 가공(패터닝)함으로써, 포토 다이오드(1002)의 섬 형상의 반도체막과, 트랜지스터(1003)의 섬 형상의 반도체막을 함께 형성할 수 있고, 일반적인 패널 제작 프로세스에 추가하는 프로세스가 불필요하고, 비용을 저감할 수 있다.
액정 소자(1005)는 화소 전극(1007)과, 액정(1008)과, 대향 전극(1009)을 갖는다. 화소 전극(1007)은 기판(1001) 위에 형성되고, 트랜지스터(1003) 및 유지 용량(1004)과, 도전막(1010)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 대향 전극(1009)은 기판(대향 기판)(1013) 위에 형성되고, 화소 전극(1007)과 대향 전극(1009) 사이에 액정(1008)이 끼워진다. 또한, 도 5에서는 포토 센서에 사용되는 트랜지스터에 대해서는 도시하지 않지만, 상기 트랜지스터도 트랜지스터(1003)를 제작하는 프로세스에 있어서, 트랜지스터(1003)와 함께 기판(TFT 기판)(1001) 위에 형성할 수 있다.
화소 전극(1007)과 대향 전극(1009) 사이의 셀 갭은 스페이서(1016)를 사용하여 제어할 수 있다. 도 5에서는 포토리소그래피로 선택적으로 형성된 기둥 형상의 스페이서(1016)를 사용하여 셀 갭을 제어하지만, 구 형상의 스페이서를 화소 전극(1007)과 대향 전극(1009) 사이에 분산시킴으로써 셀 갭을 제어할 수도 있다.
또한, 액정(1008)은 기판(TFT 기판)(1001)과 기판(대향 기판)(1013) 사이에 있어서 밀봉재로 둘러싸인다. 액정(1008)의 주입은 디스펜서 방식(적하 방식)을 사용하여도 좋고, 딥 방식(펌핑 방식)을 사용하여도 좋다.
화소 전극(1007)에는 투광성을 갖는 도전성 재료, 예를 들어, 인듐 주석 산화물(ITO), 산화 실리콘을 함유한 인듐 주석 산화물(ITSO), 유기 인듐, 유기 주석, 산화 아연(ZnO), 산화 아연(ZnO)을 함유한 인듐 아연 산화물(IZO(Indium Zinc Oxide)), 갈륨(Ga)을 함유한 산화 아연, 산화 주석(SnO2), 산화 텅스텐을 함유한 인듐 산화물, 산화 텅스텐을 함유한 인듐 아연 산화물, 산화 티타늄을 함유한 인듐 산화물, 산화티타늄을 함유한 인듐 주석 산화물 등을 사용할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 투과형 액정 소자(1005)를 예로 들기 때문에, 화소 전극(1007)과 마찬가지로 대향 전극(1009)에도 상술한 투광성을 갖는 도전성 재료를 사용할 수 있다.
화소 전극(1007)과 액정(1008) 사이에 배향막(1011), 대향 전극(1009)과 액정(1008) 사이에 배향막(1012)이 각각 형성된다. 배향막(1011), 배향막(1012)은 폴리이미드, 폴리비닐알코올 등의 유기 수지를 사용하여 형성할 수 있고, 그 표면에는 러빙 등의 액정 분자를 일정 방향으로 배열시키기 위한 배향 처리가 행해진다. 러빙은 배향막에 압력을 가하면서 나일론 등의 피륙을 감은 롤러를 회전시켜 상기 배향막의 표면을 일정 방향으로 문지름으로써 행할 수 있다. 또한, 산화 실리콘 등의 무기 재료를 사용하여 배향 처리를 행하지 않고 증착법으로 배향 특성을 갖는 배향막(1011), 배향막(1012)을 직접 형성할 수도 있다.
또한, 액정 소자(1005)와 겹치도록 특정의 파장 영역의 광을 통과시킬 수 있는 컬러 필터(1014)가 기판(대향 기판)(1013) 위에 형성된다. 컬러 필터(1014)는 안료를 분산시킨 아크릴계 수지 등의 유기 수지를 기판(1013) 위에 도포한 후, 포토리소그래피를 사용하여 선택적으로 형성할 수 있다. 또한, 안료를 분산시킨 폴리이미드계 수지를 기판(1013) 위에 도포한 후, 에칭을 사용하여 선택적으로 형성할 수도 있다. 또는, 잉크젯 등의 액적 토출법을 사용함으로써 선택적으로 컬러 필터(1014)를 형성할 수도 있다.
또한, 포토 다이오드(1022)와 겹치도록 광을 차폐할 수 있는 차폐막(1015)이 기판(대향 기판)(1013) 위에 형성된다. 차폐막(1015)을 형성함으로써 기판(대향 기판)(1013)을 투과하여 터치 패널 내에 입사된 백 라이트로부터의 광이 직접 포토 다이오드(1002)에 조사되는 것을 막을 수 있는 것 외에, 화소간에 있어서의 액정(1008)의 배향 흐트러짐에 기인하는 디스클리네이션(disclination)이 시인되는 것을 막을 수 있다. 차폐막(1015)에는 카본 블랙, 이산화 티타늄보다 산화수가 작은 저차산화 티타늄 등의 흑색 안료를 함유한 유기 수지를 사용할 수 있다. 또는, 크롬을 사용한 막으로 차폐막(1015)을 형성할 수도 있다.
또한, 기판(TFT 기판)(1001)의 화소 전극(1007)이 형성된 면과 반대의 면에 편광판(1017)을 형성하고, 기판(대향 기판)(1013)의 대향 전극(1009)이 형성된 면과 반대의 면에 편광판(1018)을 형성한다.
액정 소자는 TN(Twisted Nematic)형 외, VA(Vertical Alignment)형, OCB(Optically Compensated Birefringence)형, IPS(In-Plane Switching)형, MVA(Multi-domain Vertical Alignment)형 등이라도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 화소 전극(1007)과 대향 전극(1009) 사이에 액정(1008)이 끼워진 구조의 액정 소자(1005)를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 이 구성에 한정되지 않는다. IPS형과 같이, 한 쌍의 전극이 양쪽 모두 기판(TFT 기판)(1001) 측에 형성된 액정 소자라도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는 포토 다이오드(1002), 트랜지스터(1003), 유지 용량(1004)에 박막의 반도체막을 사용하는 경우를 예로 들지만, 단결정 반도체 기판, SOI 기판 등을 사용하여 형성되어도 좋다.
그런데, 본 실시형태에 나타내는 단면 구조에서는, 백 라이트로부터의 광은 기판(대향 기판)(1013) 측에서 조사된다. 즉, 화살표(1020)로 나타내는 바와 같이, 액정 소자(1005)를 통하여 기판(TFT 기판)(1001) 측에 있는 피검출물(1021)에 조사된다. 그리고, 피검출물(1021)에 있어서 반사된 화살표(1022)로 나타내는 광은 포토 다이오드(1002)에 입사된다.
여기서, 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))의 광의 검출을 포토 다이오드(1002)에서 행하는 데에는, 백 라이트로부터의 화살표(1020)로 나타내는 광이, 상기 색의 화소에 있어서의 액정 소자(1005)를 통과하여, 기판(TFT 기판)(1001) 측에 있는 피검출물(1021)에 조사되고, 반사된 화살표(1022)로 나타내는 광이 상기 화소의 포토 다이오드(1002)에 입사될 필요가 있다. 가령, 백 라이트로부터의 화살표(1020)로 나타내는 광이, 상기 색 이외의 화소에 있어서의 액정 소자(1005)를 통과하여 기판(TFT 기판)(1001) 측에 있는 피검출물(1021)에 조사되고, 반사된 화살표(1022)로 나타내는 광이 상기 화소의 포토 다이오드(1002)에 입사된 경우, 다른 색의 광이 혼합되어 버린다. 즉, 상기 화소의 포토 다이오드(1002)에서는, 혼합된 광의 강도를 검출하게 되어, 컬러 촬상이 어렵게 된다.
그런데, 일반적으로 액정 패널 및 유기 EL 패널 등에서는, 기판(TFT 기판)(1001)에는 유리 기판이 사용되는 경우가 많다. 현재, 양산되어 있는 액정 패널 및 유기 EL 패널 등에서는, 유리 기판의 막 두께는 0.5mm 내지 0.7mm 정도인 것이 많다. 한편, 화소 사이즈는, 고정세한 패널의 경우에는, 100㎛ 미만이다. 컬러 필터 방식을 사용하는 경우에는, 예를 들어, 스트라이프 배치의 경우, 각 색은 화소 사이즈의 1/3, 즉, 수십㎛ 간격으로 배치된다.
백 라이트로부터의 화살표(1020)로 나타내는 광이, 상기 색의 화소에 있어서의 액정 소자(1005)를 통과하여, 기판(TFT 기판)(1001) 측에 있는 피검출물(1021)에 조사되고, 반사된 화살표(1022)로 나타내는 광이 상기 화소의 포토 다이오드(1002)에 입사되기 위해서는, 광은 기판(TFT 기판)(1001)을 왕복하는 1.0mm 내지 1.4mm의 거리를 가는 동안에 수십㎛의 넓어짐 밖에 허용되지 않는 것으로 된다. 즉, 애스팩트비가 30 내지 50 이상이 되어, 매우 엄한 직진성(直進性)이 요구되게 된다.
그래서, 본 실시형태에서는, 필드 시퀀셜 방식을 사용하여, 백 라이트가 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))의 광을 발광할 때에, 피검출물(1021)로부터 반사된 화살표(1022)로 나타내는 광을 포토 다이오드(1002)에서 검출한다. 또한, 각 색에서의 검출이 끝난 후, 그들을 하나의 화상으로 구성함으로써, 컬러 계조의 화상 취득을 행한다. 이로써, 컬러 계조의 취득이 용이해진다.
필드 시퀀셜 방식에 있어서의 포토 센서의 판독 동작과, 백 라이트가 갖는 각 색의 광원의 동작에 대하여, 도 7에 도시하는 타이밍 차트를 사용하여 설명한다. 예를 들어, 백 라이트가 적색(R)의 광을 화소에 공급하는 광원과, 녹색(G)의 광을 화소에 공급하는 광원과, 청색(B)의 광을 화소에 공급하는 광원을 갖는 경우, 필드 시퀀셜 방식에서는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 1 프레임 기간에 있어서 상기 광원을 순차적으로 점등시킨다.
그리고, 각 색의 광이 화소에 공급되어 있는 기간에 있어서, 도 4에 도시하는 타이밍 차트에 따라, 각 행의 화소가 순차적으로 동작을 행하여, 색마다 촬상 데이터의 취득을 행한다. 도 7에서는, 각 행의 화소에 있어서의 포토 다이오드 리셋 신호선(208)의 신호(401)와, 트랜지스터(206)의 게이트가 접속된 게이트 신호선(209)의 신호(402)의 타이밍 차트를 도시한다.
화상을 표시하는 경우에는, 적색(R)의 광을 화소에 공급하는 광원과, 녹색(G)의 광을 화소에 공급하는 광원과, 청색(B)의 광을 화소에 공급하는 광원을 병행하여 점등시킴으로써, 백색 광을 패널에 공급할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서의 화상 촬상 방법을 사용하는 경우, 화상 표시도 필드 시퀀셜 방식으로 행할 때에는, 컬러 필터를 설치할 필요는 없다. 또한, 화소를 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))로 나눌 필요가 없으므로, 화상 표시의 정세도(精細度)가 향상된다.
한편, 화상 표시 프레임 주파수와 비교하여, 화상 촬상의 프레임 주파수 쪽이 같거나, 또는 빠른 경우에는, 화상 표시는 컬러 필터 방식을 사용하는 것이 유효하다. 왜냐하면, 화상 촬상용으로 백 라이트의 특정의 색깔(예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B))의 광을 순차적으로 점등하여도 점등 속도가 빠르면 화상 표시상은 백색 광으로서 시인할 수 있다. 이 경우에는, 표시 소자 제어 회로의 동작 주파수를 저감할 수 있기 때문에, 저소비 전력화에 유효하다.
또한, 백 라이트가 갖는 광원이 백색이라도, 각 화소에 컬러 필터를 설치하고, 각 색에 대응하는 화소마다 액정 소자의 투과율을 제어함으로써, 광원의 전환을 행하지 않고 필드 시퀀셜 방식으로 촬상 데이터의 취득을 행할 수가 있다. 이로써, 표시 영역의 일부의 영역만을 촬상 영역으로 하는 구성도 용이하게 실현할 수 있다.
상술한 바와 같은 형태로 함으로써 고분해능, 또 고속으로 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널을 제공할 수 있다. 또한, 고분해능, 또 고속으로 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널의 구동 방법을 제공할 수 있다.
(실시형태 2)
도 6에 실시형태 1과는 다른 터치 패널의 단면도를 도시한다. 도 6에 도시하는 터치 패널에서는, 포토 다이오드(1002)는 트랜지스터(1003)의 게이트 전극을 구성하는 도전막으로 차폐막을 구성하는 점이 도 5와 다르다. 포토 다이오드(1002)에 차폐막을 구성함으로써, 백 라이트의 광이 i형의 도전성을 갖는 영역(i층)에 직접 입사되는 것을 회피할 수 있고, 피검출물로부터의 반사광만을 효율 좋게 검출할 수 있다.
또한, 포토 다이오드(1002)를 가로형 접합 타입의 pin 다이오드로 할 때에는, p형의 도전성을 갖는 영역(p층)과 n형의 도전성을 갖는 영역(n층)을 형성할 때, 차폐막을 마스크로서 사용함으로써, 셀프얼라인에 의하여 형성할 수 있다. 이것은, 미세한 포토 다이오드를 제작할 때에 유효하고, 화소 사이즈의 축소나 개구율의 향상에 유효하다.
상술한 바와 같은 형태로 함으로써, 고분해능, 또 고속으로 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널을 제공할 수 있다. 또한, 고분해능, 또 고속으로 컬러로의 촬상이 가능하고, 저렴한 터치 패널의 구동 방법을 제공할 수 있다.
본 실시예에서는, 본 발명의 터치 패널에 있어서의 패널과 광원의 배치에 대하여 설명한다.
도 8은, 본 발명의 터치 패널의 구조를 도시하는 사시도의 일례이다. 도 8에 도시하는 터치 패널은 한 쌍의 기판간에 액정 소자, 포토 다이오드, 박막 트랜지스터 등을 포함하는 화소가 형성된 패널(1601)과, 제 1 확산판(1602)과, 프리즘 시트(1603)와, 제 2 확산판(1604)과, 도광판(1605)과, 반사판(1606)과, 복수의 광원(1607)을 갖는 백 라이트(1608)와, 회로 기판(1609)을 갖는다.
패널(1601)과 제 1 확산판(1602)과 프리즘 시트(1603)와 제 2 확산판(1604)과 도광판(1605)과 반사판(1606)은 순차적으로 적층되어 있다. 광원(1607)은 도광판(1605)의 단부에 설치되어 있고, 도광판(1605) 내부에 확산된 광원(1607)으로부터의 광은 제 1 확산판(1602), 프리즘 시트(1603) 및 제 2 확산판(1604)에 의하여, 대향 기판 측으로부터 균일하게 패널(1601)에 조사된다.
또한, 본 실시예에서는, 제 1 확산판(1602)과 제 2 확산판(1604)을 사용하지만, 확산판의 개수는 이것에 한정되지 않고, 단수라도 좋고 3개 이상이라도 좋다. 또한, 확산판은 도광판(1605)과 패널(1601) 사이에 형성되어 있으면 좋다. 따라서, 프리즘 시트(1603)보다도 패널(1601)에 가까운 쪽에만 확산판이 형성되어 있어도 좋고, 프리즘 시트(1603)보다도 도광판(1605)에 가까운 쪽에만 확산판이 형성되어 있어도 좋다.
또한, 프리즘 시트(1603)는, 도 8에 도시한 단면이 톱니 형상에 한정되지 않고, 도광판(1605)으로부터의 광을 패널(1601) 측에 집광할 수 있는 형상을 가지면 좋다.
회로 기판(1609)에는, 패널(1601)에 입력되는 각종 신호를 생성 또는 처리하는 회로, 패널(1601)로부터 출력되는 각종 신호를 처리하는 회로 등이 형성되어 있다. 또한, 도 8에서는, 회로 기판(1609)과 패널(1601)이 FPC(Flexible Printed Circuit)(1611)를 통하여 접속되어 있다. 또한, 상기 회로는, COG(Chip on Glass)법을 사용하여 패널(1601)에 접속되어도 좋고, 상기 회로의 일부가 FPC(1611)에 COF(Chip on Film)법을 사용하여 접속되어도 좋다.
도 8에서는, 광원(1607)의 구동을 제어하는, 제어계의 회로가 회로 기판(1609)에 형성되어 있고, 상기 제어계의 회로와 광원(1607)이 FPC(1610)를 통하여 접속되어 있는 예를 도시한다. 다만, 상기 제어계의 회로는 패널(1601)에 형성되어도 좋고, 이 경우는 패널(1601)과 광원(1607)이 FPC 등에 의하여 접속되도록 한다.
또한, 도 8은, 패널(1601)의 단부에 광원(1607)을 배치하는 에지 라이트(edge-light)형의 광원을 예시하고 있지만, 본 발명의 터치 패널은 광원(1607)이 액정 패널(1601) 바로 아래에 배치되는 직하형(direct type)이어도 좋다.
예를 들어, 피검출물인 손가락(1612)을 TFT 기판 측으로부터 패널(1601)에 접근시키면, 백 라이트로부터의 광이 패널(1601)을 통과하여, 그 일부가 손가락(1612)에 의하여 반사되고, 다시 패널(1601)에 입사된다. 각 색에 대응하는 광원(1607)을 순차적으로 점등하고, 색마다 촬상 데이터의 취득을 행함으로써, 피검출물인 손가락(1612)의 컬러 촬상 데이터를 얻을 수 있다.
본 실시예는 상기 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.
본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있는 특징을 갖는다. 따라서, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용한 전자 기기는 터치 패널을 그 구성 요소에 추가함으로써 기능이 더 높은 애플리케이션을 탑재할 수 있게 된다. 본 발명의 터치 패널은 표시 장치, 노트형 퍼스널 컴퓨터, 기록 매체를 구비한 화상 재생 장치(대표적으로는 DVD: Digital Versatile Disc 등의 기록 매체를 재생하여, 그 화상을 표시할 수 있는 디스플레이를 갖는 장치)에 사용할 수 있다. 그 외, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용할 수 있는 전자 기기로서 휴대 전화, 휴대형 게임기, 휴대 정보 단말, 전자 서적, 비디오 카메라, 디지털 스틸 카메라 등의 카메라, 고글형 디스플레이(헤드 장착형 디스플레이), 내비게이션 시스템, 음향 재생 장치(카 오디오, 디지털 오디오 플레이어 등), 복사기, 팩시밀리, 프린터, 프린터 복합기, 현금 자동 입출금기(ATM), 자동 판매기 등을 들 수 있다. 이들 전자 기기의 구체적인 예를 도 9a 내지 도 9e에 도시한다.
도 9a는 표시 장치이며, 케이스(5001), 표시부(5002), 지지대(5003) 등을 갖는다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 표시부(5002)에 사용할 수 있다. 표시부(5002)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용함으로써 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있고, 기능이 더 높은 애플리케이션이 탑재된 표시 장치를 제공할 수 있다. 또한, 표시 장치에는 퍼스널 컴퓨터용, TV 방송 수신용, 광고 표시용 등의 모든 정보 표시용 표시 장치가 포함된다.
도 9b는 휴대 정보 단말이고, 케이스(5101), 표시부(5102), 스위치(5103), 조작키(5104), 적외선 포트(5105) 등을 갖는다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 표시부(5102)에 사용할 수 있다. 표시부(5102)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용함으로써 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있고, 기능이 더 높은 애플리케이션이 탑재된 휴대 정보 단말을 제공할 수 있다.
도 9c는 현금 자동 입출금기이며, 케이스(5201), 표시부(5202), 동전 투입구(5203), 지폐 투입구(5204), 카드 투입구(5205), 통장 투입구(5206) 등을 갖는다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 표시부(5202)에 사용할 수 있다. 표시부(5202)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용함으로써 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있고, 기능이 더 높은 애플리케이션이 탑재된 현금 자동 입출금기를 제공할 수 있다. 그리고, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용한 현금 자동 입출금기는 지문, 얼굴, 손바닥 자국, 장문, 및 손의 정맥의 형상, 홍채(虹彩) 등의 생체 인증에 사용되는 생체 정보의 판독을 더 높은 정밀도로 행할 수 있다. 따라서, 생체 인증에 있어서, 본인임에도 불구하고 본인이 아니라고 오인식해 버리는 본인 거부율(False Reject Rate)과, 타인임에도 불구하고 본인이라고 오인식해 버리는 타인 수락률(False Acceptance Rate)을 낮게 억제할 수 있다.
도 9d는 휴대형 게임기이며, 케이스(5301), 케이스(5302), 표시부(5303), 표시부(5304), 마이크로폰(5305), 스피커(5306), 조작 키(5307), 스타일러스(5308) 등을 갖는다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 표시부(5303) 또는 표시부(5304)에 사용할 수 있다. 표시부(5303) 또는 표시부(5304)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용함으로써 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있고, 기능이 더 높은 애플리케이션이 탑재된 휴대형 게임기를 제공할 수 있다. 또한, 도 9d에 도시한 휴대형 게임기는 2개의 표시부(5303)와 표시부(5304)를 갖지만, 휴대형 게임기가 갖는 표시부의 개수는 이것에 한정되지 않는다.
도 9e는 전자 칠판이고, 케이스(5401), 묘화(描畵)부(5402) 등을 갖는다. 전자 칠판에서는 스타일러스(5403) 또는 유성 잉크를 사용한 마커 등을 사용하여 묘화부(5402)에 문자 또는 그림 등의 정보를 기입할 수 있다. 또한, 전자 칠판은 묘화부(5402)에 기입된 정보를 포토 센서에 의하여 전자 데이터화할 수 있다. 스타일러스(5403)를 사용하는 경우에는, 묘화부(5402)에 기입된 정보는 포토 센서에 의하여 전자 데이터화된 후, 표시 소자에 의하여 묘화부(5402)에서 표시된다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 묘화부(5402)에 사용할 수 있다. 묘화부(5402)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용함으로써, 고분해능인 촬상 데이터를 취득할 수 있고, 기능이 더 높은 애플리케이션이 탑재된 전자 칠판을 제공할 수 있다.
본 실시예는, 상기 실시형태 또는 상기 실시예와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.
100: 터치 패널 101: 화소 회로
102: 표시 소자 제어 회로 103: 포토 센서 제어 회로
104: 화소 105: 표시 소자
106: 포토 센서 107: 표시 소자 구동 회로
108: 표시 소자 구동 회로 109: 포토 센서 판독 회로
110: 포토 센서 구동 회로
102: 표시 소자 제어 회로 103: 포토 센서 제어 회로
104: 화소 105: 표시 소자
106: 포토 센서 107: 표시 소자 구동 회로
108: 표시 소자 구동 회로 109: 포토 센서 판독 회로
110: 포토 센서 구동 회로
Claims (32)
- 백 라이트와;
상기 백 라이트 아래의 제 1 기판과;
상기 제 1 기판 아래의, 액정 소자, 포토 다이오드, 및 트랜지스터를 포함하는 화소와;
상기 화소 아래의 제 2 기판과;
상기 제 1 기판 및 상기 트랜지스터 사이의 차광막을 포함하고,
상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터는 상기 액정 소자 아래에 제공되고,
상기 포토 다이오드에 포함된 섬 형상의 반도체막은 상기 트랜지스터에 포함된 섬 형상의 반도체막과 동일한 층에 제공되고,
상기 차광막은 상기 트랜지스터 및 상기 포토 다이오드 전체와 겹치는, 터치 패널. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 백 라이트와;
상기 백 라이트 아래의 제 1 기판과;
상기 제 1 기판 아래의, 액정 소자, 포토 다이오드, 및 트랜지스터를 포함하는 화소와;
상기 화소 아래의 제 2 기판과;
상기 제 1 기판 및 상기 액정 소자 사이의 차광막을 포함하고;
상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터는 상기 액정 소자 아래에 제공되고,
상기 포토 다이오드에 포함된 섬 형상의 반도체막은 상기 트랜지스터에 포함된 섬 형상의 반도체막과 동일한 층에 제공되고,
상기 차광막은 상기 트랜지스터 및 상기 포토 다이오드 전체와 겹치는, 터치 패널. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 백 라이트와;
상기 백 라이트 아래의 제 1 기판과;
상기 제 1 기판 아래의, 액정 소자, 포토 다이오드, 및 트랜지스터를 포함하는 화소와;
상기 화소 아래의 제 2 기판과;
상기 제 1 기판 및 상기 트랜지스터 사이의 제 1 차광막과;
상기 제 2 기판 및 상기 액정 소자 사이의 제 2 차광막을 포함하고,
상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터는 상기 액정 소자 아래에 제공되고,
상기 포토 다이오드에 포함된 섬 형상의 반도체막은 상기 트랜지스터에 포함된 섬 형상의 반도체막과 동일한 층에 제공되고,
상기 제 1 차광막은 상기 트랜지스터 및 상기 포토 다이오드 전체와 겹치는, 터치 패널. - 제 1 항, 제 9 항, 및 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 컬러 필터가 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 사이에 제공되는, 터치 패널. - 제 1 항, 제 9 항, 및 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 백 라이트는 적색의 광을 공급하는 광원과, 청색의 광을 공급하는 광원과, 녹색의 광을 공급하는 광원을 포함하는, 터치 패널. - 제 1 항, 제 9 항, 및 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 트랜지스터는 표시 소자에 포함되는, 터치 패널. - 제 1 항, 제 9 항, 및 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 트랜지스터와 전기적으로 접속되는 유지 용량을 더 포함하고,
상기 트랜지스터 및 상기 유지 용량은 상기 액정 소자의 화소 전극에 전기적으로 접속되는, 터치 패널. - 삭제
- 삭제
- 제 1 항, 제 9 항, 및 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터는 SOI 기판 상에 형성되는, 터치 패널. - 상이한 파장 영역의 광들을 백 라이트로부터 공급하는 단계와,
상기 백 라이트 아래에 제공된 제 1 기판, 상기 제 1 기판 아래에 제공된 액정 소자, 및 상기 액정 소자 아래에 제공된 제 2 기판을 통하여 상기 광들을 투과시키는 단계와,
상기 투과시키는 단계 이후, 상기 제 2 기판 측의 피검출물에서 반사된 상기 광들을 상기 액정 소자 아래에 제공된 포토 다이오드에 조사하는 단계와,
화소 내의 상기 포토 다이오드 전체 및 트랜지스터와 겹치는 차폐막에 의해 상기 광들 중 일부를 차폐하는 단계와,
상기 광들의 강도에 따라 전기 신호를 상기 포토 다이오드가 생성하게 하는 단계를 포함하고,
상기 차폐막은 상기 제 1 기판 및 상기 트랜지스터 사이에 제공되는, 터치 패널의 구동 방법. - 제 25 항에 있어서,
복수의 컬러 필터가 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 사이에 제공되는, 터치 패널의 구동 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 백 라이트는 적색의 광을 공급하는 광원과, 청색의 광을 공급하는 광원과, 녹색의 광을 공급하는 광원을 포함하는, 터치 패널의 구동 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 트랜지스터는 표시 소자에 포함되는, 터치 패널의 구동 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 트랜지스터와 전기적으로 접속되는 유지 용량을 더 포함하고,
상기 트랜지스터 및 상기 유지 용량은 상기 액정 소자의 화소 전극에 전기적으로 접속되는, 터치 패널의 구동 방법. - 삭제
- 삭제
- 제 25 항에 있어서,
상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터는 SOI 기판 상에 형성되는, 터치 패널의 구동 방법.
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