KR101703288B1

KR101703288B1 - 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법 및 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치

Info

Publication number: KR101703288B1
Application number: KR1020167035961A
Authority: KR
Inventors: 히사나가 요코야마; 시게루 우치다
Original assignee: 니탄 밸브 가부시키가이샤
Priority date: 2015-10-28
Filing date: 2015-10-28
Publication date: 2017-02-06
Also published as: EP3214280A4; CN106795782A; CN106795782B; EP3214280A1; EP3214280B1; JPWO2017072885A1; WO2017072885A1; PL3214280T3; US20170276031A1; US9840948B2; JP5957163B1

Abstract

어떠한 크기의 포핏 밸브 중간체라도, 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 충전할 수 있는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법 및 불활성 가스 공급 장치를 제공한다. 포핏 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)을 흡인에 의해 포핏 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압(Pa)보다 부압으로 한 다음, 내부 공간(Win)에 불활성 가스를 내부 공간(Win)의 압력(P)이 포핏 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압(Ps)이 될 때까지 공급한다.

Description

포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법 및 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치{METHOD FOR SUPPLYING INERT GAS INTO POPPET VALVE INTERMEDIATE AND APPARATUS FOR SUPPLYING INERT GAS INTO POPPET VALVE INTERMEDIATE}

본 발명은 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법 및 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치에 관한 것이다.

내연 기관에 있어서는 열 부하를 경감하기 위해 내부에 냉각 매체용 금속을 수납한 포핏 밸브가 사용되는 경향이 있다. 이 포핏 밸브의 내부에 냉각 매체용 금속을 수납함에 있어서는, 내부 공간을 가지고 이 내부 공간이 축선방향 일단측에서 개구되어 있는 포핏 밸브 중간체를 준비하고, 이 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 배치하고, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 불활성 가스를 충전한 다음, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 냉각 매체용 금속을 공급하고, 그 후 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구를 폐색하는 것이 행해진다. 이것에 의해 포핏 밸브의 내부(내부 공간)에 냉각 매체용 금속을 수납할 수 있을 뿐만 아니라, 그 냉각 매체용 금속을 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 당초 존재하는 공기에 의해 산화되지 않는 것으로 할 수 있고, 그 냉각 매체용 금속에 그 본래의 열 전달 성능을 발휘시킬 수 있다.

그런데 상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 불활성 가스를 충전하는 방법으로서, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 배치하고, 그 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 노즐을 그 내부 공간의 저부 가까이까지 삽입하고, 그 노즐로부터 불활성 가스를 분출시키면서 그 노즐을 상승시키는 것이 제안되어 있다. 이것에 의하면, 노즐의 상승에 따라, 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 그 하측으로부터 순차적으로 불활성 가스가 공급되어가게 되고, 노즐이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 밖으로 이동되었을 때에는, 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 전체에는 당초의 공기에 치환하여 불활성 가스가 충전되게 된다.

일본 특허 5735721호 공보

하지만, 상기와 같은 불활성 가스 공급 방법을 사용한 경우에는, 포핏 밸브 중간체로서는 그 일단측 개구로부터 내부 공간 내에 노즐을 삽입할 수 있는 크기의 것으로 한정되게 된다.

또 대기에 개구한 포핏 밸브 중간체 내(내부 공간)로 불활성 가스를 노즐에 의해 분출하는 구성인 점에서, 기본적으로 포핏 밸브 중간체의 일단측 개구로부터 외부로 새어나오기 쉬운 경향이 있을 뿐만 아니라, 노즐로부터의 불활성 가스의 분출 속도가 느리면, 노즐의 상승에 기초하는 내부 공간 내에서의 노즐의 점유 체적의 변화에 따라, 외부로부터 내부 공간에 공기가 끌려들어가는 점에서, 그 공기의 끌려들어감을 확실하게 방지하기 위해 노즐로부터의 불활성 가스의 분출 속도를 높여 분출량을 많게 해야 하고, 이것에 따라 포핏 밸브 중간체의 일단측 개구로부터 쓸데없이 외부로 새어나오는 불활성 가스의 양은 많아질 수 밖에 없다.

본 발명은 상기 실상을 감안하여 이루어진 것으로, 그 제1 목적은 어떠한 크기의 포핏 밸브 중간체라도, 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 충전할 수 있는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법을 제공하는 것에 있다.

제2 목적은 어떠한 크기의 포핏 밸브 중간체라도, 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 충전할 수 있는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 제1 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 있어서는 (1)~(10)의 구성으로 되어 있다. 즉,

(1) 불활성 가스의 공급 대상을 내부 공간을 가지고 이 내부 공간이 축선방향 일단측에서 개구되어 있는 포핏 밸브 중간체로 하고, 이 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 배치하고, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에, 냉각 매체용 금속을 공급하기에 앞서, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스를 공급하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법에 있어서,

상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간을 흡인에 의해 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 부압으로 한 다음, 이 내부 공간에 상기 불활성 가스를 이 내부 공간의 압력이 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 불활성 가스를 분출하는 노즐을 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 삽입하지 않아도, 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내가 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 부압하에 있는 것을 이용하여, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 불활성 가스를 적극적으로 이끌 수 있다. 한편, 그 불활성 가스의 공급 양태를 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력이 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지의 사이, 그 내부 공간 내가 부압하에 있는 것에 기초하여, 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스가 새어나오지 않는 양태로 할 수 있다.

(2) 상기 (1)의 구성하에서,

부압 흡인과 불활성 가스의 공급을 전환 조정 가능한 급배 조정구를 준비하고,

우선, 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 대하여 상기 급배 조정구를 맞닿게 하여, 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구를 폐색하고,

이어서, 상기 급배 조정구의 조정에 의해 부압 흡인을 행하여, 상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내의 압력을 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 압력으로 하고,

이어서, 상기 급배 조정구의 전환 조정에 의해, 상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 대하여 상기 불활성 가스를 이 내부 공간 내가 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 급배 조정구를 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿게 하여 그 축선방향 일단측 개구를 폐색한 다음, 그 급배 조정구의 조정(부압 흡인, 불활성 가스의 공급)을 행하는 것만으로 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 불활성 가스를 충전할 수 있고, 불활성 가스를 분출하는 노즐을 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 삽입할 필요가 없어진다. 이 때문에 포핏 밸브 중간체가 노즐의 제한을 받는 일이 없어져, 어떠한 크기의 포핏 밸브 중간체에 대해서도 불활성 가스를 충전할 수 있다.

한편, 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 압력하에서, 그 압력이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지, 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내에 불활성 가스가 공급되게 되고, 그 불활성 가스의 공급 양태를 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스가 새어나오지 않는 양태로 할 수 있다. 게다가 이후, 냉각 매체용 금속을 공급하기 위해, 급배 조정구를 포핏 밸브 중간체로부터 분리한다고 해도, 포핏 밸브 중간체 내에서의 내부 공간 내의 압력이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압인 점에서, 포핏 밸브 중간체 내에 충전된 불활성 가스가 그 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 새어나오는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 포핏 밸브 중간체 내에 충전할 수 있다.

(3) 상기 (2)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 대한 상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급의 양 작업을 동일 작업 위치에서 행하고,

상기 양 작업의 종료 후, 상기 포핏 밸브 중간체를 다음 공정을 구성하는 상기 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로 반송하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 포핏 밸브 중간체 내에 충전할 수 있을 뿐만 아니라, 그 불활성 가스를 충전 완료한 포핏 밸브 중간체를 순차적으로 다음 공정으로 송출할 수 있는 한편, 그것에 수반하여 새로운 포핏 밸브 중간체를 받아들여, 그 새로운 포핏 밸브 중간체에 대하여 불활성 가스를 충전할 수 있다. 이 때문에 포핏 밸브 중간체에 대한 불활성 가스의 충전 공정이 사이클 타임(1개의 포핏 밸브가 제조될 때까지의 시간)의 증대에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.

(4) 상기 (2)의 구성하에서,

상기 급배 조정구를 반송구로서도 겸용하고, 이 급배 조정구에 상기 부압 흡인에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체를 흡착시키면서, 이 급배 조정구를 다음 공정을 구성하는 상기 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로 반송하고,

상기 냉각 매체용 금속 공급 스테이션에 상기 급배 조정구를 반송한 후, 상기 급배 조정구를 전환 조정하여, 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내에 불활성 가스를 공급하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 부압 흡인에 기초하여 포핏 밸브 중간체가 급배 조정구에 흡착되는 것을 이용하고, 바로 그 급배 조정구를 반송구로 하여 포핏 밸브 중간체를 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로 반송할 수 있다. 그리고, 그 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로의 반송 후에 있어서는 포핏 밸브 중간체 내에 불활성 가스를 공급함으로써, 포핏 밸브 중간체와 급배 조정구를 떼어놓을 수 있음과 아울러, 포핏 밸브 중간체 내에 불활성 가스를 충전할 수 있다. 이 때문에, 급배 조정구에 의한 부압 흡인과 불활성 가스의 공급을 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스의 충전에 이용할 수 있을 뿐만 아니라 포핏 밸브 중간체의 반송에도 유효하게 이용할 수 있다.

(5) 상기 (4)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체로서, 그 축선방향 일단측 개구가 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 확경부의 선단면에 개구된 것을 준비하고,

상기 급배 조정구에 상기 부압 흡인에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체를 흡착시킬 때에, 이 급배 조정구에 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 확경부의 선단면을 흡착시키는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 급배 조정구에 대한 포핏 밸브 중간체의 흡착 강도를 높일 수 있어, 급배 조정구가 반송구로서 포핏 밸브 중간체를 반송할 때, 그 포핏 밸브 중간체가 흔들린다고 해도, 급배 조정구와 포핏 밸브 중간체와의 흡착 관계를 강고하게 유지할 수 있다. 이 때문에, 급배 조정구가 반송구로서 포핏 밸브 중간체를 반송한다고 해도, 포핏 밸브 중간체를 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션에 정확하게 반송할 수 있다.

(6) 상기 (2)의 구성하에서,

상기 급배 조정구로서, 상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급을 선택적으로 행하는 급배 통로를 구비하고, 이 급배 통로의 개구가 외부로 개구된 것을 사용하고,

상기 급배 통로의 개구를, 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿을 때에, 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구에 면하도록 하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 급배 조정구를 맞닿게 하여, 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구를 폐색하기만 하면, 급배 통로를 이용함으로써 부압 흡인과 불활성 가스의 공급을 선택적으로 행할 수 있고, 상기 서술한 청구항 2의 작용 효과를 구체적으로 실현할 수 있다.

(7) 상기 (2)의 구성하에서,

상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급을 복수회에 걸쳐서 반복하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 만일 부압 흡인을 행하는 설비의 능력이 낮아도, 전체에 대한 불활성 가스의 비율을 높일 수 있다.

(8) 상기 (1)의 구성하에서,

상기 불활성 가스로서 질소 또는 아르곤을 사용하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 질소에 대해서는 공기와 동일한 정도의 무게를 가지는 것을 이용할 수 있고, 아르곤에 대해서는 공기보다 충분히 무거운 성질을 가지는 것을 이용할 수 있게 되어, 불활성 가스를 포핏 밸브 중간체 내에 구체적으로 또한 정확하게 충전할 수 있다.

(9) 상기 (8)의 구성하에서,

적어도 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기를 불활성 가스 분위기로 하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 만일 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내로부터 불활성 가스가 새어나왔다고 해도, 포핏 밸브 중간체 주위의 불활성 가스가 그 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 들어가, 그 내부 공간 내에서의 불활성 가스 충전량의 변동을 억제할 수 있다.

(10) 상기 (1)의 구성하에서,

상기 (1)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압이 대기압과 동일 압력인 점에서, 특별한 압력하에 있는 경우와는 상이하며, 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급을 용이하게 행할 수 있다.

상기 제2 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 있어서는 (11)~(17)의 구성으로 되어 있다. 즉,

(11) 불활성 가스의 공급 대상이 내부 공간을 가지고 이 내부 공간이 축선방향 일단측에서 개구되어 있는 포핏 밸브 중간체로 되고, 이 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 지지하는 지지구가 구비되고, 이 지지구에 상기 포핏 밸브 중간체가 지지된 상태하에서, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스가 공급되는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치에 있어서,

상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 대하여 맞닿음, 이간 가능하게 배치되어, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿았을 때에는, 이 축선방향 일단측 개구를 폐색하는 급배 조정구가 구비되고,

상기 급배 조정구가 전환 양태로서, 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었을 때에 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내를 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르기까지 부압 흡인하는 부압 흡인 양태와, 이 부압 흡인 양태에 의해 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력이 설정압으로 되었을 때 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내에 불활성 가스를 이 내부 공간 내의 압력이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 불활성 가스 공급 양태를 취할 수 있도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 불활성 가스를 분출하는 노즐을 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 삽입하지 않아도 포핏 밸브 중간체에 불활성 가스를 충전할 수 있고, 그 불활성 가스를 포핏 밸브 중간체 내에 공급할 때에는, 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스가 새어나오지 않도록 할 수 있다. 이 때문에 상기 (2)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(12) 상기 (11)의 구성하에서,

상기 급배 조정구에 부압 흡인 및 불활성 가스의 공급을 선택적으로 행하는 급배 통로가 구비되고,

상기 급배 통로는 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿았을 때, 이 축선방향 일단측 개구에 면하도록 개구되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (6)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(13) 상기 (12)의 구성하에서,

상기 급배 조정구를 상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 상방 영역에 있어서 상하방향으로 승강운동시키는 승강 기구가 구비되고,

상기 승강 기구가 상기 부압 흡인 양태를 실행할 때에는 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 하강시키고, 이 부압 흡인 양태의 실행 후로서 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력이 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀을 때에는 상승하도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (3)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(14) 상기 (12)의 구성하에서,

상기 급배 조정구를 반송구로서 반송하는 반송 기구가 구비되고,

상기 반송 기구가 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 있어서의 제1 작업 위치와 다음 공정에 있어서의 제2 작업 위치 사이를 왕복운동시키도록 설정되고,

상기 급배 조정구는 상기 제1 작업 위치로부터 상기 제2 작업 위치에 이동할 때에는 상기 부압 흡인 양태를 실행하고, 이 제2 작업 위치에 이르렀을 때에는 이 부압 흡인 양태 대신에 상기 불활성 가스 공급 양태를 실행하도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (4)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(15) 상기 (14)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체로서, 그 축선방향 일단측 개구가 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축부의 선단면에 개구되어 있는 것이 사용되고,

상기 급배 조정구에 상기 급배 통로의 개구의 주위에 있어서 통형상의 가이드 부재가 하방으로 뻗도록 하여 구비되고,

상기 가이드 부재의 내경이 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축부를 삽입통과시키도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구가 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축부의 선단면에 개구되고, 그 축부 선단면이 급배 조정구에 흡착된다고 해도, 그 급배 조정구가 반송구로서 포핏 밸브 중간체를 반송할 때, 포핏 밸브 중간체가 흔들리는 것을 가이드 부재가 규제한다. 이 때문에 급배 조정구가 포핏 밸브 중간체를 그 축부 선단면을 흡착하면서 반송한다고 해도, 포핏 밸브 중간체를 다음 공정(냉각 매체용 금속의 공급 스테이션)에 정확하게 반송할 수 있다.

(16) 상기 (12)의 구성하에서,

상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 배치 상태 검출구와, 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,

상기 급배 조정구에는 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 부압 흡인을 조정하는 부압 흡인 조정부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 불활성 가스의 공급을 조정하는 불활성 가스 공급 조정부가 구비되고,

상기 제어 유닛은 상기 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 개시시키고, 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시키도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (12)에 따른 장치를 구체적으로 제어하도록 한 것을 제공할 수 있다.

(17) 상기 (13)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지된 것을 검출하는 세트 상태 검출구와, 상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 배치 상태 검출구와, 상기 승강 기구 및 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,

상기 제어 유닛은 상기 세트 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지되었다고 판단했을 때에는, 상기 승강 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체를 향하여 하강시키고, 상기 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 개시시키고, 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시킴과 아울러 상기 승강 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상승시키도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (13)에 따른 장치를 구체적으로 제어하도록 한 것을 제공할 수 있다.

(18) 상기 (14)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지된 것을 검출하는 세트 상태 검출구와, 상기 제1 작업 위치에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 제1 배치 상태 검출구와, 상기 제2 작업 위치에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 제2 배치 상태 검출구와, 상기 반송 기구 및 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,

상기 제어 유닛은 상기 세트 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지되었다고 판단했을 때에는, 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제1 작업 위치를 향하여 반송시키고, 상기 제1 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 제1 작업 위치에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 행함과 아울러 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제2 작업 위치로 반송하고, 상기 제2 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 제2 작업 위치에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시킴과 아울러 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제2 작업 위치로부터 이간시키도록 설정되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (14)에 따른 장치를 구체적으로 제어하도록 한 것을 제공할 수 있다.

(19) 상기 (11)의 구성하에서,

상기 불활성 가스로서 질소 또는 아르곤이 사용되고 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (8)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(20) 상기 (19)의 구성하에서,

적어도 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기가 불활성 가스 분위기로 되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (9)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

(21) 상기 (11)의 구성하에서,

상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압이 대기압과 동일 압력인 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 (10)에 따른 방법을 사용하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

이상의 내용으로부터 본 발명에 의하면 어떠한 크기의 포핏 밸브 중간체라도 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 정확하게 충전할 수 있는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법 및 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시형태에 따른 포핏 밸브의 제조 공정을 나타내는 공정도.
도 2는 제1 실시형태에 있어서의 불활성 가스 충전 스테이션과 금속 나트륨 공급 스테이션의 배치 관계, 급배 조정구 및 포핏 밸브 중간체의 이동 경로를 설명하는 설명도.
도 3은 제1 실시형태에 있어서의 불활성 가스 충전 스테이션과 금속 나트륨 공급 스테이션의 배치 관계를 간략적으로 나타내는 평면도.
도 4는 제1 실시형태에 따른 불활성 가스 공급 장치를 설명하는 일부 파단 측면도.
도 5는 제1 실시형태에 따른 급배 조정구(맞닿음 유닛)가 한 쌍의 가이드 레일에 있어서의 반송방향 종단부에 지지되는 포핏 밸브 중간체에 맞닿은 상태를 나타내는 설명도.
도 6은 제1 실시형태에 따른 제어 유닛에 있어서의 입출력 관계를 설명하는 설명도.
도 7은 제1 실시형태에 따른 제어 유닛의 제어 내용의 개요를 나타내는 설명도.
도 8은 제1 실시형태에 따른 제어 유닛의 제어예를 나타내는 플로우차트.
도 9는 제1 실시형태에 따른 금속 나트륨 공급 스테이션을 설명하는 설명도.
도 10은 제2 실시형태에 따른 포핏 밸브의 제조 공정을 나타내는 공정도.
도 11은 제2 실시형태에 있어서의 진공화 스테이션과 금속 나트륨 충전 스테이션의 배치 관계를 간략적으로 나타내는 평면도.
도 12는 제2 실시형태에 따른 불활성 가스 공급 장치를 설명하는 일부 파단 측면도.
도 13은 제2 실시형태에 따른 제어 유닛에 있어서의 입출력 관계를 설명하는 설명도.
도 14는 제2 실시형태에 따른 제어 유닛의 제어예를 나타내는 플로우차트.
도 15는 급배 조정구에 흡착된 포핏 밸브 중간체가 급배 조정구의 상승에 따라 상승된 상태를 나타내는 도면.
도 16은 급배 조정구에 흡착된 포핏 밸브 중간체가 서보 모터의 구동에 의해 금속 나트륨 충전 스테이션에 있어서의 세트대의 상방에 위치된 상태를 나타내는 도면.
도 17은 급배 조정구에 흡착된 포핏 밸브 중간체가 급배 조정구의 하강에 의해 세트대의 세트 구멍에 세트됨과 아울러, 그 세트대 상에 있어서 불활성 가스가 포핏 밸브 중간체 내에 공급되는 상태를 나타내는 도면.
도 18은 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스의 공급을 완료한 후, 그 포핏 밸브 중간체로부터 급배 조정구가 이탈하는 상태를 설명하는 설명도.
도 19는 제3 실시형태에 따른 급배 조정구(맞닿음 유닛)를 설명하는 종단면도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면에 기초하여 설명한다.

1. 도 1은 포핏 밸브(흡·배기 밸브)를 제조하기 위한 제조 라인의 공정도를 나타내고 있다. 이 포핏 밸브의 제조 라인에 있어서는, 포핏 밸브의 내부에 냉각 매체용 금속으로서의 금속 나트륨을 수납시킬 필요가 있는 점에서, 공정으로서 불활성 가스를 충전하는 불활성 가스 충전 공정, 이 불활성 가스 충전 공정에 이어지는 냉각 매체용 금속으로서의 금속 나트륨의 공급 공정 등의 공정이 포함되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 이 제조 라인은 적어도 불활성 가스 충전 공정 이후의 각 공정을 이루는 각 스테이션이 대기압과 동일 압력하에, 불활성 가스 분위기(예를 들면 질소 분위기) 중에 있다.

2. 상기 제조 라인에 있어서는, 도 2~도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 불활성 가스 충전 공정을 이루는 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)과 그 앞 공정을 이루는 스테이션(도시하지 않음) 사이에는, 포핏 밸브의 제조 도중의 단계에 있는 포핏 밸브 중간체(이하, 밸브 중간체라고 한다)(W)를 반송하기 위해 한 쌍의 가이드 레일(1)(통칭 「슈트」)이 반송 수단으로서 배치되어 있다.

(1) 상기 밸브 중간체(W)는 도 2, 도 4에 나타내는 바와 같이 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)에 반입될 때까지 이미 기본적인 밸브 형상으로 가공되어 있고, 그 밸브 중간체(W)에는 축부(W1)와, 그 축부(W1)의 축선방향 일단측(이하, 일단측이라고 한다)에 그 축부(W1)보다 확경된 상태에서 일체화된 우산부(W2)(확경부)가 구비되어 있다. 이 밸브 중간체(W) 내부에는 내부 공간(Win)이 우산부(W2)로부터 축부(W1)에 걸쳐서 형성되고, 그 내부 공간(Win)은 우산부(W2)에 있어서는 외부로 개구하는 오목부(W2in)로서 형성되고, 축부(W1)에 있어서는 그 오목부(W2in)로부터 이어져 뻗는 축형상 공간(W1in)이 형성되어 있다. 이와 같은 밸브 중간체(W)의 우산부(W2)의 개구(W2o)가 밸브 중간체(W)의 축선방향 일단측 개구를 구성하고, 그 우산부 개구(W2o)를 구획하는 우산부(W2)의 개구 둘레 가장자리부(W2f)가 밸브 중간체(W)의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부를 구성하게 된다.

(2) 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)은 일정 간격을 두면서 밸브 중간체(W)의 반출측(불활성 가스 충전 스테이션(Sg)측)을 향함에 따라 높이 위치가 낮아지도록 뻗어 있다(경사져 있다). 이 한 쌍의 가이드 레일(1)을 사용하여 밸브 중간체(W)를 반송할 때에는, 그 한 쌍의 가이드 레일(1)에 밸브 중간체(W)의 우산부(W2)가 걸쳐짐과 아울러, 밸브 중간체(W)의 축부(W1)를 이 한 쌍의 가이드 레일(1) 사이로부터 하방으로 늘어뜨리게 되어 있고, 이것에 의해, 밸브 중간체(W)는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 경사하에, 그 밸브 중간체(W)의 자중에 기초하여 한 쌍의 가이드 레일(1) 상을 슬라이드하고, 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)으로 반송된다.

3. 상기 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)에는 도 2~도 4에 나타내는 바와 같이 불활성 가스 공급 장치(100)가 구비되어 있다. 불활성 가스 공급 장치(100)는 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)에 들어가 밸브 중간체(W)의 지지구를 구성하는 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 반송방향 종단부(1e)(도 2 중 좌단부)와, 그 한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e)의 소정 위치(P1) 상방에 배치되어, 밸브 중간체(W)에 대하여 부압 흡인으로서의 진공화와 불활성 가스의 공급을 행하는 급배 조정구(2)를 가지고 있다.

(1) 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 반송방향 종단부(1e)는 그 한 쌍의 가이드 레일(1)의 다른 부분에 대하여 절곡됨으로써 제조 라인이 이어지는 방향(도 2, 도 3 중 좌방향)을 향하여 수평으로 뻗어 있다. 이 때문에 밸브 중간체(W)가 한 쌍의 가이드 레일(1)의 반송방향 시단부로부터 반송방향 종단부(1e)로 반송되면, 그 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구(W2o)는 밸브 중간체(W)와 한 쌍의 가이드 레일(1)의 상기 서술한 지지 관계에 기초하여 상방을 향하게 된다.

이 경우, 한 쌍의 가이드 레일(1)에 의해 반송되어 오는(슬라이드되어 오는) 밸브 중간체(W)는 도시를 생략하는 스토퍼에 맞닿아, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 반송방향 종단부(1e) 상의 소정 위치(P1)에 정지되게 된다.

(2) 상기 급배 조정구(2)는 도 2~도 4에 나타내는 바와 같이 조정 유닛(3)과, 이 조정 유닛(3)의 하방측에 배치되는 맞닿음 유닛(4)을 구비하고 있다.

(2-1) 상기 조정 유닛(3)은 수납 케이스(5)와, 제1 배관(6)과, 제2 배관(7)과, 부압 흡인 조정부로서의 전자 밸브(8)와, 불활성 가스 공급 조정부로서의 전자 밸브(9)와, 압력 검출부로서의 압력계(10)를 구비하고 있다.

(i) 수납 케이스(5)는 일정 폭을 유지하면서 편평 상태를 가지고 뻗은 형상으로 되어 있다. 이 수납 케이스(5)의 신장방향 일단측 부분(도 3 중 하단측 부분, 도 4 중 좌단측 부분)은 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 반송방향 종단부(1e)의 상방에서 그 한 쌍의 가이드 레일(1)을 가로지르도록 배치되고, 그 신장방향 타단측 부분(도 3 중 상단측 부분, 도 4 중 우단측 부분)은 한 쌍의 가이드 레일(1)의 병설방향(도 3 중 상하방향, 도 4 중 좌우방향) 일방측(도 3 중 상측, 도 4 중 우측)에 위치되어 있다.

이 수납 케이스(5)의 신장방향 일단측 부분에는 접속통(11)이 접속되어 있다. 이 접속통(11)은 상하방향으로 뻗도록 배치되어 있고, 그 접속통(11)의 상단부는 수납 케이스(5) 내에 하측으로부터 진입된 상태에서 이 수납 케이스(5)에 부착되고, 그 접속통(11)의 하단부는 수납 케이스(5)로부터 하방으로 뻗어 있다. 이 경우, 접속통(11)의 상단 개구는 수납 케이스(5)의 상벽부(5a)를 이용하여 폐색되고, 접속통(11)의 하단 개구만이 외부로 개구되게 되어 있다.

이 수납 케이스(5)의 신장방향 타단측 부분은 승강 기구를 구성하는 신축 실린더 장치(12)를 통하여 기반(13) 상에 지지되어 있다. 신축 실린더 장치(12)는 실린더(14)와, 그 실린더(14) 내를 상하 2실(R1, R2)로 구획하는 피스톤(15)과, 그 피스톤(15)에 일단부가 연결되고 타단부가 실린더(14)로부터 상방으로 뻗어 수납 케이스(5)에 연결되는 신축 로드(16)를 구비하고, 그 실린더(14) 내의 2실(R1, R2)에는 공기 압축기(30), 조압 장치(31), 조정 밸브(전자 밸브)(17)를 통하여 압축 공기가 급배(공급, 배출)되게 되어 있다. 이 실린더(14) 내의 2실(R1, R2)에 대한 압축 공기의 급배에 의해, 신축 로드(16)가 신축운동하게 되고, 그 신축 로드(16)의 신축운동에 따라 수납 케이스(5)는 상하방향으로 승강운동하게 된다.

(ii) 제1 배관(6)은 수납 케이스(5) 내에 배치되어, 수납 케이스(5)의 신장방향으로 뻗어 있다. 이 제1 배관(6)의 일단부는 상기 접속통(11)에 접속되고, 그 타단은 수납 케이스(5)의 신장방향 타단측으로부터 외부로 개구되어 있다. 이 제1 배관(6)의 타단 개구에는 제1 호스(18)가 그 일단을 가지고서 접속되고, 그 타단은 기반(13) 상의 진공 펌프(19)에 접속되어 있다. 이 진공 펌프(19)는 제조 라인이 가동중일 때에는 작동 상태에 있고, 부압 흡인으로서의 진공화가 행해지고 있다.

(iii) 제2 배관(7)도 수납 케이스(5) 내에 배치되어, 수납 케이스(5)의 신장방향으로 뻗어 있다. 이 제2 배관(7)의 일단부는 상기 접속통(11)에 접속되고, 그 타단은 수납 케이스(5)의 신장방향 타단측으로부터 외부로 개구되어 있다. 이 제2 배관(7)의 타단 개구에는 제2 호스(20)가 그 일단을 가지고서 접속되고, 그 타단은 레귤레이터(압력 조정구)(21)를 통하여 불활성 가스 공급원(예를 들면 불활성 가스 충전 봄베)(22)에 접속되어 있다. 이 불활성 가스 공급원(22)은 제조 라인의 가동 중에는 불활성 가스를 공급하는 상태에 있고, 그 불활성 가스로서는 아르곤 또는 질소가 사용된다. 밸브 중간체(W) 내로의 불활성 가스의 충전에 있어서, 불활성인 것 외에 아르곤에 대해서는 공기보다 충분히 무거운 성질을 이용할 수 있고, 질소에 대해서는 공기와 동일한 정도의 무게인 성질을 이용할 수 있기 때문이다. 본 실시형태에 있어서는 공기보다 충분히 무거운 성질을 중시하여, 불활성 가스로서 아르곤이 사용되고 있다.

(iV) 전자 밸브(8)는 제1 배관(6)에 개재 장착되어 있다. 이것에 의해, 전자 밸브(8)가 개방으로 되어 있을 때에는, 진공화의 상태를 상기 접속통(11)의 관통 구멍(11a) 내에 미치게 할 수 있고, 전자 밸브(8)가 폐쇄로 되어 있을 때에는, 접속통(11)의 관통 구멍(11a) 내에 진공화의 상태를 미치지 않도록 할 수 있다.

(v) 전자 밸브(9)는 제2 배관(7)에 개재 장착되어 있다. 이것에 의해, 전자 밸브(9)가 개방으로 되어 있을 때에는, 불활성 가스(아르곤)를 접속통(11)의 관통 구멍(11a) 내에 공급할 수 있고, 전자 밸브(9)가 폐쇄로 되어 있을 때에는, 접속통(11)의 관통 구멍(11a) 내로의 불활성 가스의 공급을 정지할 수 있게 된다.

(vi) 압력계(10)는 접속통(11)에 접속되어 있다. 이 압력계(10)는 접속통(11)의 관통 구멍(11a) 내의 압력을 항상 검출하고 있고, 그 압력 검출 신호는 압력계(10)로부터 출력되게 되어 있다.

(2-2) 맞닿음 유닛(4)은 패드 유지구(24)와 캡(25)과 패드(26)를 구비하고 있다.

(i) 패드 유지구(24)는 두꺼운 원판형상으로 형성되어 있다. 이 패드 유지구(24)에는 그 직경방향 중앙부에 있어서 상기 접속통(11)의 하단부가 나사결합되어 있고, 패드 유지구(24)는 그 판면이 상하방향을 향하도록 하면서, 상기 수납 케이스(5)(조정 유닛(3))에 그 하측에 있어서 부착되어 있다.

(ii) 캡(25)은 원통형상으로 형성되어 있다. 이 캡(25)의 일단부 개구 내측 둘레 가장자리부에는 직경방향 안쪽으로 돌출하는 걸림부(25a)가 일체적으로 설치되어 있고, 그 일단측 개구의 직경은 타단측 개구의 직경보다 축경되어 있다. 이 캡(25)은 그 내주면이 패드 유지구(24)의 외주면에 나사결합되어 있고, 걸림부(25a)는 패드 유지구(24)에 있어서의 하면 둘레 가장자리부에 면하게 되어 있다.

(iii) 패드(26)는 고무판 등의 완충재를 사용하여 패드 유지구(24)의 하면을 덮도록 배치되어 있다. 이 패드(26)의 둘레 가장자리부는 패드 유지구(24)의 하면과 캡(25)의 걸림부(25a)에 의해 협지되어 있고, 그 둘레 가장자리부 이외의 부분은 캡(25)의 일단측 개구로부터 바깥쪽으로 향하고 있다. 이 패드(26)의 하면에는 캡(25)의 일단측 개구 내에 있어서 원통형상의 돌부(27)(고무 등으로 일체 성형)가 일체적으로 설치되어 있다. 이 돌부(27)는 패드 유지구(24)의 축선에 대하여 동심형상으로 배치되어 있고, 그 돌부(27)는 캡(25)의 일단측 개구보다 하방으로 돌출되어 있다. 이 돌부(27)는 상기 서술한 신축 실린더 장치(12)에 있어서의 신축 로드(16)의 단축운동에 기초하여 수납 케이스(5)의 하강에 따라 하강하게 되어 있고, 이 돌부(27)의 선단면은 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 서술한 소정 위치(P1)(한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e) 상의 소정 위치)에 배치되는 밸브 중간체(W)의 우산부 둘레 가장자리부(W2f)의 선단면에 맞닿고(착좌되고), 이것에 따라 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)은 폐색되게 되어 있다. 이 때문에 돌부(27)는 그 내경이 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구(W2o)의 직경보다 크게 되고, 그 돌부(27)의 외경은 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부(W2)외경보다 작게 되어 있다. 본 실시형태에 있어서는 돌부(27) 선단면이 우산부 둘레 가장자리부(W2f)의 선단면에 착좌(맞닿음)했을 때, 돌부(27)의 내면이 우산부 개구(W2o)로부터 직경방향 바깥쪽으로 약간 떨어진 상태로 하기 위해, 돌부(27)의 내경은 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구(W2o) 직경보다 약간 크게 되어 있다. 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구 내측 둘레 가장자리부에 돌부(27)의 재질(예를 들면 고무)이 부착되는 것을 방지하고, 우산부 개구 내측 둘레 가장자리부에 대한 덮개체의 용접(우산부 개구(W2o)의 폐색)을 정확하게 행하기 위해서이다.

(iv) 이 맞닿음 유닛(4)에는 도 2, 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이 급배 통로(28)가 형성되어 있다. 급배 통로(28)는 상기 접속통(11)의 관통 구멍(11a)을 이용함과 아울러, 패드 유지구(24) 및 패드(26)에 관통 구멍(11a)에 이어지는 연통 구멍(24a, 26a)을 형성함으로써 구성되어 있고, 이 급배 통로(28)는 패드(26)의 직경방향 중앙부 외면으로부터 외부로 개구되어 있다.

4. 상기 불활성 가스 공급 장치(100)(불활성 가스 충전 스테이션(Sg))는 도 6에 나타내는 바와 같이 상기 서술한 전자 밸브(부압 조정부)(8), 전자 밸브(불활성 가스 공급 조정부)(9), 조정 밸브(17)를 제어하기 위해 제어 유닛(제어 수단, 제어 장치)(U)을 구비하고 있다.

(1) 이 때문에 제어 유닛(U)에는 센서(세트 상태 검출구)(35), 센서(배치 상태 검출구)(36), 센서(37), 압력계(10)(압력 검출부)로부터의 각 정보가 입력되고, 그 제어 유닛(U)으로부터는 전자 밸브(8), 전자 밸브(9), 조정 밸브(17)에 대하여 제어 신호가 출력되게 된다.

이 경우, 센서(35)는 한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e)의 소정 위치(P1)에 밸브 중간체(W)가 반송되어 있는지 여부를 검출하는 것이다. 센서(36)는 맞닿음 유닛(4)(급배 조정구(2))이 상기 소정 위치(P1) 상의 밸브 중간체(W)의 우산부 개구 둘레 가장자리부(W2f) 상에 배치되었는지 여부를 검출하는 것이며, 본 실시형태에 있어서는 신축 실린더 장치(12)에 있어서의 피스톤(15)에 부착된 자석(38)을 센서(36)가 검출할 수 있었는지 여부에 의해 검출하는 것으로 되어 있다. 센서(37)는 맞닿음 유닛(4)(급배 조정구(2))이 원위치(상기 소 정 위치(P1) 상방의 대피 위치)에 위치하는지 여부를 검출하는 것이며, 본 실시형태에 있어서는 상기 피스톤(15)에 부착된 자석(38)을 센서(37)가 검출할 수 있었는지 여부에 의해(신축 실린더 장치(12)에 있어서의 신축 로드(16)가 최대 신장했는지 여부에 의해) 검출하는 것으로 되어 있다. 압력계(10)는 상기 서술한 바와 같이 접속통(11)에 있어서의 관통 구멍(11a) 내의 압력을 검출하는 것이며, 이 압력 검출로써 소정 위치(P1)에 있어서의 밸브 중간체(W)와 맞닿음 유닛(4)이 맞닿았을 때에, 그 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)의 압력을 검출하는 것이다(도 5 참조).

(2) 상기 제어 유닛(U)에는 도 6에 나타내는 바와 같이 컴퓨터로서의 기능을 확보하기 위해 기억부(40)와 제어부(41)가 구비되어 있다.

기억부(40)는 ROM(Read Only Memory)이나 RAM(Random Access Memory) 등의 기억 소자를 가지고 구성되어 있고, 그 기억부(40)에는 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)으로의 불활성 가스 충전에 필요한 각종 프로그램, 설정 정보 등이 격납되어 있다. 이들 각종 프로그램 등은 필요에 따라 제어부(41)에 의해 독출되고, 또 필요한 정보가 기억부(40)에 적절히 기억된다.

제어부(41)는 CPU(Central Processing Unit)로써 구성되어 있고, 그 제어부(41)는 기억부(40)로부터 독출된 프로그램의 전개에 따라 설정부(42)와 연산 제어부(43)로서 기능한다.

설정부(42)는 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)을 진공으로 함에 있어서, 진공화를 종료하는 설정압(Ps), 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)에 불활성 가스를 공급함에 있어서, 그 불활성 가스의 공급을 정지하는 설정압(Pa) 등을 설정하게 되고, 연산 제어부(43)는 각종 프로그램하에서 설정부(42)에 있어서의 설정 정보, 각 센서 등(35~37, 10)으로부터의 입력 정보에 기초하여 연산 처리하여, 각종 제어 신호를 전자 밸브(8), 전자 밸브(9), 조정 밸브(17)에 출력하게 된다.

(3) 상기 제어 유닛(U)은 도 7에 나타내는 바와 같이 다음과 같은 제어 내용의 개요를 나타낸다.

소정 위치(P1)에 밸브 중간체(W)가 존재하는 것이 검출되면, 급배 조정구(2)는 원위치로부터 하강한다. 그리고 급배 조정구(2)가 소정 위치(P1)에 있어서의 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구 둘레 가장자리부(W2f)에 착좌한 것이 센서(36)에 의해 검출되면, 전자 밸브(8)가 밸브 개방(ON)되어 진공화가 개시된다. 이것에 의해 밸브 중간체(W) 내의 압력(P)이 저하되어가게 된다.

밸브 중간체(W) 내의 압력(P)이 설정압(Ps)(예를 들면 160mmHg(abs))까지 저하한 것이 압력계(10)에 의해 검출되면, 전자 밸브(8)가 밸브 폐쇄(OFF)됨과 아울러, 전자 밸브(9)가 밸브 개방(ON)된다. 이것에 의해, 진공화 대신에 불활성 가스가 공급되게 되고, 이 불활성 가스의 공급에 의해 밸브 중간체(W) 내의 압력(P)은 높아져가게 된다.

밸브 중간체(W) 내의 압력(P)이 주위 분위기압(본 실시형태에서는 대기압)까지 상승한 것을 압력계(10)가 검출하면, 전자 밸브(9)가 밸브 폐쇄(OFF)된다. 이것에 의해, 밸브 중간체(W) 내에 불활성 가스가 충전되게 되고, 급배 조정구(2)가 밸브 중간체(W)로부터 이간하기 위해 상승된다.

따라서 불활성 가스를 분출하는 노즐을 포핏 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win) 내에 삽입하지 않아도, 포핏 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win) 내가 그 포핏 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압보다 부압하에 있는 것을 이용하여, 그 포핏 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win) 내에 불활성 가스를 적극적으로 이끌 수 있다. 게다가 불활성 가스의 공급 양태를 포핏 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win) 내의 압력이 그 포핏 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압으로 될 때까지의 사이, 그 내부 공간(Win) 내가 부압하에 있는 것에 기초하여, 포핏 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구(W2o)로부터 불활성 가스가 새어나오지 않는 양태로 할 수 있다.

또 일반적인 크기의 밸브 중간체(W)이면, 내부 공간(Win)의 용적도 그다지 크지 않은 점에서(예를 들면 0.35cm³~1cm³의 범위), 진공화 및 불활성 가스의 공급을 대략 순간적으로 각각 행할 수 있게 되어, 밸브 제조의 사이클 타임을 불활성 가스를 분출하는 노즐을 밸브 중간체(W)의 내부 공간(Win)에 출입시키는 경우에 비해 현격히 단축할 수 있다.

(4) 상기 제어 유닛(U)의 제어예를 밸브 중간체(W) 내에 대한 불활성 가스의 공급 방법과 함께 도 8에 나타내는 플로우차트에 기초하여 구체적으로 설명한다. 또한 S는 스텝을 나타낸다.

제어가 개시되면, 우선 S1에 있어서 센서(35)로부터의 정보에 기초하여 밸브 중간체(W)가 한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e)의 소정 위치(P1)에 존재하는지 여부가 판별된다. 불활성 가스 공급 공정의 개시의 가부를 판단하기 위해, 밸브 중간체(W)가 소정 위치(P1)로 반송되어 있는지 여부를 판단하기 위해서이다. 이 때문에 S1이 NO일 때에는 S1로 되돌려져, 반송되어오는 밸브 중간체(W)를 계속해서 검출하는 한편, S1이 YES일 때에는 S2에 있어서 신축 실린더 장치(12)에 의해 급배 조정구(2)가 하강된다.

S2에 있어서 급배 조정구(2)가 하강되면, S3에 있어서 센서(36)로부터의 정보에 기초하여 맞닿음 유닛(4)(패드(26)의 돌부(27))이 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구 둘레 가장자리부(W2f)의 선단면에 맞닿았는지 여부가 판별된다. 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)이 밀폐 상태가 되고, 그 내부 공간(Win)에 대하여 진공화가 가능하게 되었는지 여부를 판단하기 위해서이다. 이 때문에 이 S3이 NO일 때에는 상기 S2에 되돌려지는 한편, S3이 YES일 때에는 S4에 있어서 급배 조정구(2)의 하강운동이 정지됨과 아울러, S5에 있어서 전자 밸브(8)가 밸브 개방된다. 이것에 의해, 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)이 진공화되게 되어, 그 내부 공간(Win) 내에 당초 존재하고 있던 공기가 배출된다.

S5에 있어서 진공화가 개시되면, S6에 있어서 압력계(10)로부터의 정보에 기초하여 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)의 압력(P)이 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압(본 실시형태에서는 대기압과 동일 압력)보다 낮은 설정압(Ps) 이하에 이르렀는지 여부가 판별된다. 이어서 행해지는 불활성 가스의 공급을 원활하게 행함과 아울러, 그 공급시에 밸브 중간체(W) 내의 부압에 기초하여 불활성 가스가 밸브 중간체(W)의 우산부 개구(W2o)로부터 새어나오지 않는 상태로 하기 위해서이다. 이 때문에 S6이 NO일 때에는 S5로 되돌려져 진공화가 속행되는 한편, S6이 YES일 때에는 S7에 있어서 전자 밸브(8)가 밸브 폐쇄됨과 아울러, 다음 S8에 있어서 전자 밸브(9)가 밸브 개방된다. 이것에 의해, 상기 서술한 바와 같이 밸브 중간체(W) 내에 부압하에서 불활성 가스가 공급된다.

S8에 있어서 밸브 중간체(W) 내로의 불활성 가스의 공급이 개시되면, S9에 있어서 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)의 압력(P)이 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)에 있어서의 주위 분위기압(본 실시형태에서는 대기압과 동일 압력)(Pa) 이상으로 상승했는지 여부가 판별된다. 불활성 가스의 공급의 정지 타이밍을 판단하기 위해서이다. 이 때문에 S9가 NO일 때에는 S7로 되돌려져 불활성 가스의 공급이 속행되는 한편, 이 S9가 YES일 때에는 S10에 있어서 전자 밸브(9)가 밸브 폐쇄되어, 불활성 가스의 공급이 정지된다. 이에 따라, 다음의 S10에 있어서 급배 조정구(2)는 신축 실린더 장치(12)의 구동에 기초하여 원위치로 복귀(상승)되고, 소정 위치(P1)에 있어서의 밸브 중간체(W)로부터 이간된다.

물론 이 때 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)의 압력(P)과 주위 분위기압이 동일하게 되는 점에서, 급배 조정구(2)는 밸브 중간체(W)로부터 용이하게 이간되고, 또 밸브 중간체(W)의 우산부 개구(W2o)가 개구되어 있는 상태에서도 밸브 중간체(W) 내에 불활성 가스가 충전되어 있는 상태가 유지된다.

5. 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)에는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 병설방향 타방측(도 3 중 하측, 도 4 중 좌측)에 있어서, 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이 소정 위치(P1)에 위치하는 밸브 중간체(W)를 반출하기 위한 반출 장치(45)가 설치되어 있다. 반출 장치(45)는 한 쌍의 가이드 레일(1)을 기준으로 하여 상하에 제1, 제2 반출 장치(45A, 45B)를 구비하고 있고, 제1 반출 장치(45A)는 한 쌍의 가이드 레일(1)을 기준으로 하여 그 하측에 배치되고(도 2 참조), 제2 반출 장치(45B)는 한 쌍의 가이드 레일(1)을 기준으로 하여 그 상측에 배치되어 있다(도 3 참조).

또한 도 2에 있어서는 제1 반출 장치(45A)만이 간략적으로 도시되고, 도 3에 있어서는 제2 반출 장치(45B)만이 간략적으로 도시되어 있다.

(1) 제1 반출 장치(45A)는 개폐하는 한 쌍의 암(46A)(도 2에 있어서 간략적으로 도시)을 구비하고, 그 한 쌍의 암(46A)이 상하방향으로 승강운동할 수 있게 되어 있다. 이것에 의해, 제1 반출 장치(45A)는 소정 위치(P1)에 위치하는 밸브 중간체(W)를 반출할 때는 한 쌍의 암(46A)의 선단부가 소정 위치(P1)에 위치하는 밸브 중간체(W)의 축부(W1)를 협지하고, 그 한 쌍의 암(46A)이 그 협지 상태를 유지하면서 일정 길이만큼 상승되어, 밸브 중간체(W)의 우산부(W2)는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 상방으로 이간한 상태로 위치된다.

(2) 제2 반출 장치(45B)는 도 3에 나타내는 바와 같이 개폐하는 한 쌍의 암(46B)을 구비하고, 그 한 쌍의 암(46B)이 상하방향으로 승강운동함과 아울러, 제2 반출 장치(45B) 자체가 금속 나트륨 공급 공정을 이루는 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm)과 불활성 가스 공급 공정 스테이션(Sg) 사이를 이동할 수 있게 되어 있다(도 3 참조). 이것에 의해, 소정 위치(P1)에 위치하는 밸브 중간체(W)를 반출할 때에, 제1 반출 장치(45A)(한 쌍의 암(46A))가 밸브 중간체(W)를 상승시켰을 때에는, 제2 반출 장치(45B)는 한 쌍의 가이드 레일(1)로부터 상승된 밸브 중간체(W)의 축부(W1)를 한 쌍의 암(46B)이 협지하고, 그 한 쌍의 암(46B)은 그 협지에 따라 동작하는 제1 반송 장치(한 쌍의 암)에 의한 협지 해제운동을 기다려 상승한다. 그리고 제2 반출 장치(45B)는 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm)에 있어서의 세트대(47) 상으로 이동하고, 거기에 이르면 한 쌍의 암(46B)을 소정의 하강 위치까지 하강시킨 후, 개방하여, 밸브 중간체(W)를 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm)에 전달한다(도 2, 도 3 참조). 이 일련의 동작을 완료하면 제1, 제2 반출 장치(45A, 45B)는 원위치, 원상태로 복귀한다.

6. 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm)에 있어서는 도 2, 도 3, 도 9에 나타내는 바와 같이, 밸브 중간체(W)를 받아들이는 상기 세트대(47)와, 금속 나트륨을 하방으로 압출하는 압출기(49)와, 이 압출기(49)로부터 압출된 금속 나트륨을 세트대(47)의 상방으로 반송하는 소분용 홀더 장치(50)와, 소분용 홀더 장치(50)를 압출기(49)와 세트대(47) 사이에 있어서 이동시키는 홀더 이동 장치(51)와, 소분용 홀더 장치(50)에 의해 반송된 금속 나트륨을 이 소분용 홀더 장치(50)로부터 압출하는 불활성 가스 분출 장치(60)가 구비되어 있다.

(1) 세트대(47)는 도 3에 나타내는 바와 같이 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e)의 연장 영역에 배치되어 있다. 이 세트대(47)에는 도 2, 도 9에 나타내는 바와 같이 밸브 중간체(W)를 받아들이는 세트 구멍(48)이 형성되어 있다. 이 세트 구멍(48)은 상방을 향하여 개구되어 있고, 그 개구 직경, 개구 형상은 밸브 중간체(W)의 축부(W1)를 삽입통과시키면서 우산부(W2)를 지지할 수 있는 것으로 되어 있다. 이 때문에 세트 구멍(48)이 제2 반출 장치(45B)로부터 밸브 중간체(W)를 받아들였을 때에는, 불활성 가스 충전 스테이션(Sg)의 경우와 마찬가지로 밸브 중간체(W)는 그 우산부 개구(W2o)를 상방을 향하게 한 상태로 세트되게 된다.

(2) 압출기(49)는 도 3, 도 9에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 가이드 레일(1)의 병설방향 일방측(도 3 중 상측)에 배치되어, 상기 세트대(47)에 대하여 한 쌍의 가이드 레일(1)의 병설방향으로 오프셋된 배치 관계로 되어 있다. 이 압출기(49)는 금속 나트륨을 봉형상으로 압출하는 압출기 본체(52)와, 그 압출기 본체(52)로부터 하방으로 압출되는 봉형상의 금속 나트륨을 일정 길이로 절단하는 절단 장치(53)를 구비하고 있고, 이들은 세트대(47)에 대하여 오프셋한 상태하에서, 이 세트대(47)의 상면보다 일정 거리만큼 상방에 위치되어 있다(도 9 참조).

(3) 소분용 홀더 장치(50)는 도 9에 나타내는 바와 같이 일정량의 금속 나트륨을 수납할 수 있는 통형상의 홀더(54)와, 그 홀더(54) 내에서의 금속 나트륨의 유지, 배출을 조정하는 셔터 밸브(55)를 구비하고 있다. 홀더(54)는 그 축선을 상하방향을 향하게 한 상태로 기판(56)에 부착되고, 셔터 밸브(55)는 홀더(54)의 하단측에 배치되어, 기판(56)에 부착되는 액추에이터(57)의 구동에 의해 홀더(54)의 하단 개구를 개폐하게 되어 있다.

(4) 홀더 이동 장치(51)는 도 9에 나타내는 바와 같이 신축 로드(58a)를 구비하는 신축 실린더 장치(58)를 구비하고, 그 신축 로드(58a)의 선단부는 상기 기판(56)에 연결되어 있다. 이 신축 실린더 장치(58)는 신축 로드(58a)의 신축운동에 의해 기판(56)에 부착된 홀더(54)를 그 상단면이 압출기(49)의 하방측에 있어서의 금속 나트륨 수취 위치(도 9 중 실선 상태)와, 그 하단면이 세트대(47)의 세트 구멍(48)에 면하는 금속 나트륨 배출 위치(도 9 중 가상선 상태)로 이동시키게 된다.

또한 부호 59는 신축 실린더 장치(58)를 지지하는 고정 베이스를 나타낸다.

(5) 불활성 가스 분출 장치(60)는 도 9에 나타내는 바와 같이 세트대(47)의 상방에 배치되어 있다. 이 불활성 가스 분출 장치(60)는 도시를 생략하는 승강 장치에 의해 상하방향으로 승강운동 가능하게 되어 있고, 그 불활성 가스 분출 장치(60)에는 노즐(61)과, 그 노즐(61)에 이어지는 불활성 가스 공급원(도시 생략:본 실시형태에서는 아르곤 공급원)과, 그 노즐(61)과 불활성 가스 공급원 사이에 개재 장착되는 전자 밸브(62)가 구비되어 있다.

노즐(61)은 불활성 가스 분출 장치(60)의 승강운동에 기초하여 세트대(47)의 상면으로부터 상방으로 밸브 중간체(W)의 축선방향 길이 이상의 거리로써 이간하는 대피 위치와, 세트대(47)의 상면으로부터 상방으로 홀더(54)의 축선방향 길이보다 다소 긴 거리로써 이간하는 작동 위치를 취할 수 있게 설정되어 있고, 홀더(54)가 세트대(47) 상방의 금속 나트륨 배출 위치에 이동되었을 때에는, 노즐(61)은 작동 위치에 위치함으로써 홀더(54)의 상단면에 근접하여 면하고, 그 이외일 때에는 노즐(61)은 대피 위치에 위치되게 되어 있다.

불활성 가스 공급원은 불활성 가스를 공급하는 상태에 있고, 노즐(61)로의 불활성 가스의 공급은 전자 밸브(62)에 의해 조정된다.

전자 밸브(62)는 노즐(61)이 작동 위치에 위치되었을 때에는, 전자 밸브(62)가 밸브 개방되어, 불활성 가스가 노즐(61)로부터 분출되게 되어 있다. 이것에 의해, 그 불활성 가스는 홀더(54)의 상단 개구로부터 그 내부에 들어가게 되고, 홀더(54) 내의 금속 나트륨은 하방으로 압출되게 된다.

(6) 이와 같은 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm)에 있어서는, 상기 제2 반출 장치(45B)에 의해 밸브 중간체(W)를 수취함에 있어서, 노즐(61)은 대피 위치에 있고, 그러한 상태하에서 밸브 중간체(W)가 제2 반출 장치(45B)에 의해 세트대(47)로 반송되어, 그 세트대(47)의 세트 구멍(48)에 밸브 중간체(W)가 세트된다.

밸브 중간체(W)가 세트대(47)의 세트 구멍(48)에 세트된 것이 확인되면, 홀더 이동 장치(51)가 구동되어, 홀더(54)가 금속 나트륨 배출 위치에 이동된다(도 9에 있어서의 가상선 참조). 이 경우, 이 홀더 이동 장치(51)가 구동되는 것에 앞서, 홀더(54) 내에는 압출기(49)로부터 압출된 봉형상의 일정량의 금속 나트륨이 받아들여지고, 셔터 밸브(55)는 그 금속 나트륨을 홀더(54) 내에 유지하기 위해 밸브 폐쇄 상태로 되어 있다.

홀더(54)가 금속 나트륨 배출 위치에 이동된 것이 확인되면, 노즐(61)이 작동 위치로 하강하고, 그 후 셔터 밸브(55)가 밸브 개방됨과 아울러 전자 밸브(62)가 밸브 개방된다. 이것에 의해, 노즐(61)로부터 불활성 가스가 분출되게 되어, 홀더(54) 내의 금속 나트륨은 그 홀더(54)의 하단 개구로부터 밸브 중간체(W) 내로 압입된다.

홀더(54) 내의 금속 나트륨이 압출되어, 이 홀더(54) 내가 비어있는 것이 확인되면, 노즐(61)이 대피 위치로 복귀함과 아울러, 셔터 밸브(55)가 폐쇄되어, 홀더 이동 장치(51)의 구동에 의해 홀더(54)는 원위치로 복귀된다. 이 원위치에 복귀한 홀더(54) 내에는 압출기(49)로부터 새로운 금속 나트륨이 공급된다.

한편, 노즐(61)이 대피 위치로 이동함과 아울러 홀더(54)가 원위치로 복귀한 것이 확인되면, 금속 나트륨이 수용된 밸브 중간체(W)는 밸브 중간체(W) 내에서의 금속 나트륨에 대한 압입 공정, 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구(W2o)의 폐색 공정(덮개체의 용접 처리)을 이루는 각 스테이션으로 반송되고, 그 각 스테이션을 거침으로써 밸브(W)가 완성되게 된다.

또한 도 2, 도 9 중 부호 63은 금속 나트륨이 수용된 밸브 중간체(W)를 세트대(47)로부터 반출할 때에 사용되는 압출 핀이다.

7. 도 10~도 18은 제2 실시형태, 도 19는 제3 실시형태를 나타낸다. 이 각 실시형태에 있어서, 상기 제1 실시형태와 동일 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

8. 도 10~도 18에 나타내는 제2 실시형태는 제1 실시형태의 변형예로서, 급배 조정구(2)가 진공화 양태에 있을 때에, 그 급배 조정구(2)와 밸브 중간체(W)가 일체화하는 것에 주목하여, 급배 조정구(2)를 반송구로서도 이용한 것을 나타내고 있다.

(1) 이 제2 실시형태에 있어서도, 밸브 중간체(W) 내에 대한 불활성 가스의 충전을 위해서, 진공화 공정과 불활성 가스 공급 공정이 실행되는데, 이 제2 실시형태에 있어서는 도 10에 나타내는 바와 같이 불활성 가스 충전 스테이션(Sg), 금속 나트륨 공급 스테이션(Sm) 대신에, 진공화 공정만을 행하는 진공화 스테이션(Sv), 불활성 가스 공급 공정과 금속 나트륨 공급 공정을 행하는 금속 나트륨 충전 스테이션(Sf)이 설치되게 된다. 제2 실시형태에 따른 불활성 가스 공급 장치(100)는 진공화 스테이션(Sv) 및 금속 나트륨 충전 스테이션(Sf)의 양쪽에 있어서 기능한다.

(2) 제2 실시형태에 따른 불활성 가스 공급 장치(100)는 기본적으로 상기 제1 실시형태의 구성이 이용되고 있지만, 일부 구성이 상이하다.

(3) 제2 실시형태에 따른 불활성 가스 공급 장치(100)에 있어서도 기반(13)이 구비되어 있는데, 그 기반(13)은 한 쌍의 가이드 레일(1)의 병설방향 타방측(도 11 중 하방측)에 배치되고, 그 기반(13)은 고정 기반(13A)과, 그 고정 기반(13A) 상을 제조 라인이 계속되는 방향(도 11 중 좌우방향)으로 슬라이드하는 슬라이드 기반(13B)에 의해 구성되어 있다. 이 슬라이드 기반(13B)에는 동력 전달 기구(71)를 통하여 구동원으로서의 서보 모터(72)가 연계되어 있고, 슬라이드 기반(13B)에 장착된 볼 나사 구조(73), 그 볼 나사 구조(축부)(73)와 서보 모터(72) 사이에 개재되는 풀리(74), 벨트(75), 풀리(76)는 그 동력 전달 기구(71)로서 서보 모터(72)의 구동력을 슬라이드 기반(13B)에 왕복 동력으로서 전달하게 된다. 이것에 의해, 슬라이드 기반(13B)은 진공화 스테이션(Sv)과 금속 나트륨 충전 스테이션(Sf) 사이를 이동한다.

(4) 제2 실시형태에 따른 제어 유닛(U)에는 도 13에 나타내는 바와 같이 센서(세트 상태 검출구)(35), 센서(배치 상태 검출구)(36), 센서(37), 압력계(10)(압력 검출부)로부터의 각 정보 이외에 서보 모터(72)에 있어서의 인코더(77)로부터의 정보가 입력되고, 그 제어 유닛(U)으로부터는 전자 밸브(8), 전자 밸브(9), 조정 밸브(17) 이외에 서보 모터(72)에 대하여 제어 신호가 출력되게 된다.

또 제어 유닛(U)의 설정부(42)에는 상기 제1 실시형태의 설정 내용에 더해, 진공화 스테이션(Sv)과 금속 충전 스테이션(Sf) 사이를 슬라이더 기반(13B)이 이동하는 거리가 설정된다.

(5) 상기 제어 유닛(U)의 제어예를 일련의 작용과 함께 도 14에 나타내는 플로우차트 등에 기초하여 구체적으로 설명한다. 또한 Q는 스텝을 나타낸다.

(i) 제어가 개시되면, 우선 밸브 중간체(W)가 한 쌍의 가이드 레일(1)에 있어서의 반송방향 종단부(1e)의 소정 위치(P1)에 존재하는 것이 확인되고(Q1), 그 밸브 중간체(W)의 존재 확인이 이루어지면, 신축 실린더 장치(12)에 의해 급배 조정구(2)가 하강된다(Q2). 그리고 이 하강에 의해 맞닿음 유닛(4)(패드(26)의 돌부(27))이 밸브 중간체(W)에 있어서의 우산부 개구 둘레 가장자리부(W2f)의 선단면에 맞닿은(도 12 중 맞닿음 유닛(4)의 가상선 참조) 것(제1 작업 위치에 위치)이 확인되면(Q3), 급배 조정구(2)의 하강운동이 정지됨과 아울러 전자 밸브(8)가 개방되어, 밸브 중간체(W)에 있어서의 밀폐 상태의 내부 공간(Win)에 대하여 진공화가 행해진다(Q4, Q5). 이것에 의해, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win) 내에 당초 존재하고 있던 공기는 배출된다.

(ii) Q5에 있어서 진공화가 개시되면, Q6에 있어서 밸브 중간체(W)에 있어서의 내부 공간(Win)의 압력(P)이 밸브 중간체(W)의 주위 분위기압(본 실시형태에서는 대기압과 동일 압력)보다 낮은 설정압(Ps) 이하에 이르렀는지 여부가 판별되고, 그것이 확인되면 신축 실린더 장치(12)에 있어서의 신축 로드(16)의 신장에 의해 급배 조정구(2)가 도 15에 나타내는 바와 같이 상승된다(Q7). 이 급배 조정구(2)의 상승에 의해 급배 조정구(2)가 원위치에 도달했는지 여부가 센서(37)에 의해 검출되고, 그 센서(37)의 검출에 의해 급배 조정구(2)가 원위치에 이른 것이 확인되면(Q8), 서보 모터(72)가 구동되고, 그 서보 모터(72)의 구동력은 풀리(76), 벨트(75), 풀리(74), 볼 나사 기구(73)를 통하여 슬라이드 기반(13B)에 전달된다. 이것에 의해, 슬라이드 기반(13B)은 금속 충전 스테이션(Sf)으로 이동되고, 이것에 따라 급배 조정구(2)에 흡착되어 있는 밸브 중간체(W)도 매달린 상태로 금속 충전 스테이션(Sf)으로 반송되게 된다(Q9).

이 때, 불활성 가스 분출 장치(60)의 노즐(61)은 대피 위치에 있고, 그 대피 위치는 본 실시형태에 있어서는 밸브 중간체(W) 뿐만 아니라 급배 조정구(2)도 고려하여, 그들 밸브 중간체(W) 및 급배 조정구(2)가 그 반송시에 노즐(61) 또는 세트대(47)에 간섭하지 않는 위치로 되어 있다.

또 이 밸브 중간체(W)의 반송시에는 급배 조정구(2)가 넓은 면적을 가지는 우산부(W2) 선단면을 흡착하고, 양자(2, W2)의 흡착 관계가 강고한 점에서, 만일 반송시에 밸브 중간체(W)가 흔들렸다고 해도, 급배 조정구(2)로부터 밸브 중간체(W)가 빠져서 낙하하는 일은 없다.

(iii) 이 슬라이드 기반(13B)의 이동에 의해, 도 16에 나타내는 바와 같이 급배 조정구(2)에 흡착되어 있는 밸브 중간체(W)가 세트대(47)(세트 구멍)의 상방에 이르고, 그것을 인코더(77)로부터의 정보에 기초하여 제어 유닛(U)이 판단하면(Q10), 서보 모터(72)가 정지되어 슬라이드 기반(13B)이 정지됨과 아울러, 신축 실린더 장치(12)에 있어서의 신축 로드(16)가 단축운동되어 급배 조정구(2)가 하강된다(Q12). 이 하강에 의해 급배 조정구(2)에 흡착되어 있는 밸브 중간체(W)가 도 17에 나타내는 바와 같이 그 축부(W1)로부터 세트 구멍(48)에 삽입통과되고, 급배 조정구(2)가 소정 하강 위치(제2 작업 위치)에 도달한 것(밸브 중간체(W)가 세트대(47)에 세트 상태)이 센서(36)에 의해 확인되면(Q13), 신축 로드(16)의 단축운동이 정지되어 급배 조정구(2)의 하강운동이 정지된다(Q14).

(iv) 급배 조정구(2)의 하강운동이 정지되면, 급배 조정구(2)가 밸브 중간체(W)를 흡착한 상태(도 17의 상태)하에서, 그 밸브 중간체(W) 내의 압력(P)이 압력계(10)에 의해 다시 읽어들여진다. 그리고 그 검출 압력(P)이 설정압(Ps) 이하가 아닐 때에는, 위치 어긋남 등에 의해 흡착에 문제가 생겼다고 하여 작동이 정지되는 한편, 검출 압력(P)이 설정압(Ps) 이하로 유지되어 있다고 인정되었을 때에는 전자 밸브(8)가 폐쇄됨과 아울러 전자 밸브(9)가 개방되어 진공화 대신에 불활성 가스가 공급된다(Q18, Q19).

(v) 밸브 중간체(W) 내에 불활성 가스가 공급되어, 밸브 중간체(W) 내가 주위 분위기압(Pa) 이상이 된 것이 확인되면, 전자 밸브(9)가 폐쇄되어 불활성 가스의 공급이 정지되고(Q21), 급배 조정구(2)는 도 18에 나타내는 바와 같이 원위치로 복귀된다(Q22).

이 후, 금속 나트륨 충전 스테이션에서는 상기 제1 실시형태와 마찬가지의 방법에 의해, 밸브 중간체(W) 내에 금속 나트륨의 공급이 행해지고, 그것을 종료하면, 그 금속 나트륨을 수납하는 밸브 중간체(W)는 다음 스테이션으로 반송된다.

(6) 따라서 이 제2 실시형태에 있어서도 불활성 가스를 헛되게 하지 않고 밸브 중간체(W) 내에 불활성 가스를 공급할 수 있을 뿐만 아니라, 급배 조정구(2)가 밸브 중간체(W)를 진공화하는 양태를 이용하여, 급배 조정구(2)를 밸브 중간체(W)를 반송하는 반송구로서 이용할 수 있다.

9. 도 19에 나타내는 제3 실시형태는 상기 제2 실시형태의 변형예를 나타낸다.

이 제3 실시형태에 있어서는, 밸브 중간체(W)로서 그 우산부(W2) 선단면이 폐색되어 있는 한편, 그 축부(W1) 선단면에 개구(W1o)가 형성되고, 그 개구(W1o)를 통하여 내부 공간(Win)이 외부로 연통하고 있는 것을 불활성 가스의 공급 대상으로 하고 있다. 이 때문에 축부(W1)의 선단면 개구(W1o)를 통하여 진공화와 불활성 가스의 공급을 행할 필요로부터, 급배 조정구(2)의 맞닿음 유닛(4)은 제2 실시형태에 따른 것에 비해 전체적으로 축경되고, 패드(26)의 돌부(27) 선단면은 축부(W2)의 선단면에 맞닿을 수 있는 것으로 되어 있다.

게다가 맞닿음 유닛(4)의 캡(25)에는 그 걸림부(25a)의 선단 둘레 가장자리부에 있어서 통형상의 가이드부(25b)(가이드 부재)가 일체적으로 형성되어 있다. 이 가이드부(25b)는 걸림부(25a)의 선단 둘레 가장자리부로부터 하방으로 뻗어 있고, 그 내경은 밸브 중간체(W)에 있어서의 축부(W1)를 삽입통과할 수 있는 것으로 되어 있다.

이 때문에 진공화 공정에 있어서 맞닿음 유닛(4)(급배 조정구(2))이 밸브 중간체(W)에 있어서의 축부(W1) 선단면을 흡착할 때에는, 도 19에 나타내는 바와 같이 그 축부(W1)가 가이드부(25b) 내에 삽입통과되게 되고, 맞닿음 유닛(4)이 밸브 중간체(W)에 있어서의 축부(W1) 선단면을 흡착하면서 금속 나트륨 충전 스테이션(Sf)으로 반송될 때에는, 밸브 중간체(W)를 흔들려고 하는 힘이 작용해도 그 흔들림을 가이드부(25b)가 규제하게 된다. 이것에 의해, 맞닿음 유닛(4)(급배 조정구(2))이 밸브 중간체(W)를 반송할 때, 맞닿음 유닛(4)(급배 조정구(2))으로부터 밸브 중간체(W)가 빠지는 것을 방지할 수 있다.

10. 이상 실시형태에 대해서 설명했는데, 본 발명에 있어서는 다음 양태를 포함한다.

(1) 제조 라인에 있어서의 불활성 가스 분위기를 대기압보다 높게 하는 것.

(2) 제조 라인을 대기 분위기(대기압)하에 가동하는 것. 이 경우에는 밸브 중간체(W) 내에 충전하는 불활성 가스로서는 아르곤이 바람직하다.

(3) 불활성 가스로서 질소를 사용하는 경우에는, 제조 라인을 불활성 가스 분위기로 하는 것이 바람직한 것. 보다 바람직하게는 또한 그 분위기 압력을 대기압 이상으로 하는 것.

(4) 냉각 매체용 금속으로서 Na-K 합금을 사용하는 것.

(5) 진공 펌프(19)의 능력이 낮을 때에는, 진공화 및 불활성 가스의 공급을 수 회 반복하고, 최종적으로 밸브 중간체(W) 내의 불활성 가스의 비율을 원하는 것까지 높이는 것.

(6) 승강 기구로서 다양한 것을 사용할 수 있는 것.

(7) 신축 실린더 장치(12)로서 에어 실린더에 한정하지 않고 유압 실린더를 사용하는 것.

1e…한 쌍의 가이드 레일의 반송방향 종단부(지지구)
2…급배 조정구
4…맞닿음 유닛(급배 조정구)
8…전자 밸브(부압 흡인 조정부)
9…전자 밸브(불활성 가스 공급 조정부)
10…압력계(압력 검출부)
12…신축 실린더 장치(승강 기구, 반송 기구)
13B…슬라이드 기반(반송 기구)
25…캡
25b…가이드부(가이드 부재)
28…급배 통로
35…센서(세트 상태 검출구)
36…센서(배치 상태 검출구, 제1 배치 상태 검출구, 제2 배치 상태 검출구)
37…센서
71…동력 전달 기구(반송 기구)
72…서보 모터(반송 기구)
77…인코더(제2 배치 상태 검출구)
100…불활성 가스 공급 장치
Sg…불활성 가스 충전 스테이션
Sf…금속 나트륨 충전 스테이션(금속 나트륨의 공급 스테이션)
W…포핏 밸브 중간체
W2…포핏 밸브 중간체의 우산부(확경부)
W2o…우산부 개구(포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구)
W2f…우산부 개구 둘레 가장자리부(포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부)
Win…포핏 밸브 중간체의 내부 공간
W1…포핏 밸브 중간체의 축부
W1o…축부 개구(포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구)
W1f…축부 개구 둘레 가장자리부(포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부)
P…포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력
Ps…설정압
Pa…주위 분위기압
P1…1쌍의 가이드 레일에 있어서의 반송방향 종단부 상의 소정 위치
U…제어 유닛

Claims

불활성 가스의 공급 대상을 내부 공간을 가지고 이 내부 공간이 축선방향 일단측에서 개구되어 있는 포핏 밸브 중간체로 하고, 이 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 배치하고, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 냉각 매체용 금속을 공급하기에 앞서, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스를 공급하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간을 흡인에 의해 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 부압으로 한 다음, 이 내부 공간에 상기 불활성 가스를 이 내부 공간의 압력이 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 1 항에 있어서,
부압 흡인과 불활성 가스의 공급을 전환 조정 가능한 급배 조정구를 준비하고,
우선, 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 대하여 상기 급배 조정구를 맞닿게 하여, 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구를 폐색하고,
이어서, 상기 급배 조정구의 조정에 의해 부압 흡인을 행하여, 상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내의 압력을 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 압력으로 하고,
이어서, 상기 급배 조정구의 전환 조정에 의해, 상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 대하여 상기 불활성 가스를 이 내부 공간 내가 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에 대한 상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급의 양 작업을 동일 작업 위치에서 행하고,
상기 양 작업의 종료 후, 상기 포핏 밸브 중간체를 다음 공정을 구성하는 상기 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로 반송하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 급배 조정구를 반송구로서도 겸용하고, 이 급배 조정구에 상기 부압 흡인에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체를 흡착시키면서, 이 급배 조정구를 다음 공정을 구성하는 상기 냉각 매체용 금속의 공급 스테이션으로 반송하고,
상기 냉각 매체용 금속 공급 스테이션에 상기 급배 조정구를 반송한 후, 상기 급배 조정구를 전환 조정하여, 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내에 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 4 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체로서, 그 축선방향 일단측 개구가 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 확경부의 선단면에 개구된 것을 준비하고,
상기 급배 조정구에 상기 부압 흡인에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체를 흡착시킬 때에, 이 급배 조정구에 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 확경부의 선단면을 흡착시키는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 급배 조정구로서, 상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급을 선택적으로 행하는 급배 통로를 구비하고, 이 급배 통로의 개구가 외부로 개구된 것을 사용하고,
상기 급배 통로의 개구를, 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿을 때에, 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축선방향 일단측 개구에 면하도록 하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 부압 흡인과 상기 불활성 가스의 공급을 복수회에 걸쳐 반복하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 불활성 가스로서 질소 또는 아르곤을 사용하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 8 항에 있어서,
적어도 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기를 불활성 가스 분위기로 하는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압이 대기압과 동일 압력인 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 방법.
불활성 가스의 공급 대상이 내부 공간을 가지고 이 내부 공간이 축선방향 일단측에서 개구되어 있는 포핏 밸브 중간체로 되고, 이 포핏 밸브 중간체를 그 축선방향 일단측 개구가 상방을 향하도록 지지하는 지지구가 구비되고, 이 지지구에 상기 포핏 밸브 중간체가 지지된 상태하에서, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간 내에, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구로부터 불활성 가스가 공급되는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 대하여 맞닿음, 이간 가능하게 배치되어, 이 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿았을 때에는, 이 축선방향 일단측 개구를 폐색하는 급배 조정구가 구비되고,
상기 급배 조정구가 전환 양태로서, 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었을 때에 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내를 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르기까지 부압 흡인하는 부압 흡인 양태와, 이 부압 흡인 양태에 의해 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력이 설정압으로 되었을 때 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내에 불활성 가스를 이 내부 공간 내의 압력이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압으로 될 때까지 공급하는 불활성 가스 공급 양태를 취할 수 있도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 급배 조정구에 부압 흡인 및 불활성 가스의 공급을 선택적으로 행하는 급배 통로가 구비되고,
상기 급배 통로는, 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부에 맞닿았을 때, 이 축선방향 일단측 개구에 면하도록 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 급배 조정구를 상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 상방 영역에 있어서 상하방향으로 승강운동시키는 승강 기구가 구비되고,
상기 승강 기구가 상기 부압 흡인 양태를 실행할 때에는 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 하강시키고, 이 부압 흡인 양태의 실행 후로서 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력이 이 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀을 때에는 상승하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 급배 조정구를 반송구로서 반송하는 반송 기구가 구비되고,
상기 반송 기구가 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 있어서의 제1 작업 위치와, 다음 공정에 있어서의 제2 작업 위치 사이를 왕복운동시키도록 설정되고,
상기 급배 조정구는 상기 제1 작업 위치로부터 상기 제2 작업 위치로 이동할 때에는 상기 부압 흡인 양태를 실행하고, 이 제2 작업 위치에 이르렀을 때에는 이 부압 흡인 양태 대신에 상기 불활성 가스 공급 양태를 실행하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 14 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체로서, 그 축선방향 일단측 개구가 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축부의 선단면에 개구되어 있는 것이 사용되고,
상기 급배 조정구에 상기 급배 통로의 개구의 주위에 있어서 통형상의 가이드 부재가 하방으로 뻗도록 하여 구비되고,
상기 가이드 부재의 내경이 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 축부를 삽입통과시키도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 배치 상태 검출구와, 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,
상기 급배 조정구에는 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 부압 흡인을 조정하는 부압 흡인 조정부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 불활성 가스의 공급을 조정하는 불활성 가스 공급 조정부가 구비되고,
상기 제어 유닛은 상기 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 개시시키고, 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시키도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지된 것을 검출하는 세트 상태 검출구와, 상기 지지구에 지지된 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 배치 상태 검출구와, 상기 승강 기구 및 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,
상기 급배 조정구에는 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 부압 흡인을 조정하는 부압 흡인 조정부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 불활성 가스의 공급을 조정하는 불활성 가스 공급 조정부가 구비되고,
상기 제어 유닛은 상기 세트 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지되었다고 판단했을 때에는, 상기 승강 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 포핏 밸브 중간체를 향하여 하강시키고, 상기 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 포핏 밸브 중간체의 축선방향 일단측 개구 둘레 가장자리부 상에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 개시시키고, 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압보다 낮은 설정압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시킴과 아울러 상기 승강 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상승시키도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 14 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지된 것을 검출하는 세트 상태 검출구와, 상기 제1 작업 위치에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 제1 배치 상태 검출구와, 상기 제2 작업 위치에 상기 급배 조정구가 배치된 것을 검출하는 제2 배치 상태 검출구와, 상기 반송 기구 및 상기 급배 조정구를 제어하는 제어 유닛이 구비되고,
상기 급배 조정구에는 상기 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 부압 흡인을 조정하는 부압 흡인 조정부와, 이 포핏 밸브 중간체의 내부 공간에 대한 불활성 가스의 공급을 조정하는 불활성 가스 공급 조정부가 구비되고,
상기 제어 유닛은 상기 세트 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 포핏 밸브 중간체가 상기 지지구에 지지되었다고 판단했을 때에는, 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제1 작업 위치를 향하여 반송시키고, 상기 제1 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 제1 작업 위치에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 이 포핏 밸브 중간체에 있어서의 내부 공간의 부압 흡인을 행함과 아울러 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제2 작업 위치로 반송하고, 상기 제2 배치 상태 검출구로부터의 정보에 기초하여 상기 급배 조정구가 상기 제2 작업 위치에 배치되었다고 판단했을 때에는, 상기 부압 흡인 조정부를 제어하여 상기 부압 흡인을 정지시킴과 아울러 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 이 내부 공간에 불활성 가스를 공급시키고, 또한 상기 압력 검출부로부터의 정보에 기초하여 이 내부 공간 내의 압력이 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압에 이르렀다고 판단했을 때에는, 상기 불활성 가스 공급 조정부를 제어하여 불활성 가스의 공급을 정지시킴과 아울러 상기 반송 기구를 제어하여 상기 급배 조정구를 상기 제2 작업 위치로부터 이간시키도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 불활성 가스로서 질소 또는 아르곤이 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 19 항에 있어서,
적어도 상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기가 불활성 가스 분위기로 되어 있는 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 포핏 밸브 중간체의 주위 분위기압이 대기압과 동일 압력인 것을 특징으로 하는 포핏 밸브 중간체 내로의 불활성 가스 공급 장치.