KR101700677B1

KR101700677B1 - Scoring apparatus for substrate

Info

Publication number: KR101700677B1
Application number: KR1020150151167A
Authority: KR
Inventors: 김혁; 박종호
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2015-10-29
Filing date: 2015-10-29
Publication date: 2017-01-31

Abstract

Disclosed is a scoring apparatus for a substrate, capable of improving productivity. The scoring apparatus for a substrate comprises: a scoring unit comprising a cutter unit of forming notch on the surface of the substrate; and a particle removing and oil supplying unit which is supported on the scoring unit, removes particles generated when the substrate is scored, and supplies oil to the cutter unit when removing particles.

Description

[0001] The present invention relates to a scoring apparatus for substrate,

본 발명은, 기판 스코어링장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 절단을 위해 표면에 노치를 성형하는 스코어링(Scoring) 공정의 택타임(tact time)을 단축하여 생산성 향상에 기여할 수 있는 기판 스코어링장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate scoring apparatus, and more particularly, to a substrate scoring apparatus capable of shortening a tact time of a scoring process for forming a notch on a surface for cutting a substrate, &Lt; / RTI >

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is thinner and lighter image display device than a cathode ray tube (CRT), which was conventionally used as a display in a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display crystal display, a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED).

액정표시장치(LCD)는, 음극선관(CRT)과는 달리 자기발광성이 없어 후광이 필요하지만 동작 전압이 낮아서 소비전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있기 때문에 손목시계, 컴퓨터 등에 널리 쓰고 있는 평판 디스플레이이다.Unlike a cathode ray tube (CRT), a liquid crystal display (LCD) is a flat panel display widely used for a wristwatch, a computer, and the like because it is not self-luminous and requires backlight but can operate at low operating power and low power consumption.

플라즈마 디스플레이 패널(PDP)는, 전면유리와 배면유리 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리 사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 평판 디스플레이이다.In a plasma display panel (PDP), a gas such as Ne + Ar or Ne + Xe is injected between a front glass and a rear glass and a glass sealed by a partition between the front glass and the rear glass, Is used as display light.

이러한 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 유리판 사이의 너비가 10cm를 넘지 않아 긴 전자총을 사용하는 CRT(브라운관)에 비해 두께가 얇은 장점이 있으나, 플라즈마 방전을 이용하기 때문에 전력소비량이 많으며, 이로 인해 열이 많이 발생한다는 단점이 있다. Since the width between the plasma display panels (PDP) glass plates does not exceed 10 cm, the thickness is thinner than the CRT (cathode ray tube) using long electron guns. However, since plasma discharge is used, power consumption is high, .

유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.2. Description of the Related Art Organic light emitting diodes (OLEDs) have been attracting attention as a promising display device of the next generation in that they have a simple structure and high optical efficiency, and realize a color image by self-emission of organic materials .

또한, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 갖고 있어 일반 LCD와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고 화면에 잔상이 남지 않으며, 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 갖는다.In addition, since it has a wide viewing angle and fast response speed, unlike a general LCD, the image quality does not change even when viewed from the side, and a residual image is not left on the screen.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes)는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.Such OLEDs (Organic Light Emitting Diodes) can be classified into a passive type PMOLED and an active type AMOLED according to a driving method. In particular, AMOLED is a self-emissive display that has a faster response speed than conventional displays, has a natural color and low power consumption.

이러한 다양한 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)는 공통적으로 유리기판을 사용하는데, 유리기판이 작업과정에 다양한 크기로 절단된다.These various flat panel displays (FPDs) commonly use glass substrates, which are cut into various sizes during the operation.

이러한 유리기판의 절단 전 유리기판의 표면에 노치를 성형하는 스코어링(Scoring) 공정이 수행된다.A scoring process is performed to form a notch on the surface of the glass substrate before cutting the glass substrate.

종래기술에 따른 스코어링 공정은, 커터를 이동시켜 유리기판의 표면에 노치를 성형하는 노치 성형단계와, 커터의 수명연장을 위해 노치를 성형한 커터에 오일을 공급하는 오일 공급단계와, 오일 공급 후 간섭 회피를 위해 커터를 이동시킨 다음 유리기판에 부착된 파티클을 제거하는 파티클 제거단계로 이루어진다. The scoring process according to the related art includes a notch forming step of moving a cutter to form a notch on a surface of a glass substrate, an oil supplying step of supplying oil to a cutter formed with a notch for prolonging the life of the cutter, And a particle removing step of removing the particles adhering to the glass substrate by moving the cutter for interference avoidance.

그런데 종래기술에 따른 스코어링 공정은, 오일 공급단계와 파티클 제거단계가 별도로 수행됨으로써, 스코어링 공정의 택타임(tact time)이 길어져 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.However, in the scoring process according to the related art, since the oil supplying step and the particle removing step are performed separately, the tact time of the scoring process is prolonged, and the productivity is lowered.

따라서 스코어링 공정의 택타임을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 스코어링장치의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, it is necessary to develop a substrate scoring apparatus that can shorten the tack time of the scoring process and improve the productivity.

한국특허등록공보 제10-1439577호 (코닝 인코포레이티드), 2014.09.02.Korean Patent Registration No. 10-1439577 (Corning Incorporated), 2014.09.02.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 스코어링 공정의 택타임을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 스코어링장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate scoring apparatus capable of shortening a tack time of a scoring process and improving productivity.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 표면에 노치를 성형하는 커터부를 포함하는 스코어링유닛; 및 상기 스코어링유닛에 지지되며, 상기 기판의 스코어링 시 발생되는 파티클을 제거하며 상기 파티클의 제거 시 상기 커터부에 오일을 공급하는 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛을 포함하는 기판 스코어링장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a scoring unit comprising a cutter portion for forming a notch on a surface of a substrate; And a particle scavenging unit supported by the scoring unit for removing particles generated during scoring of the substrate and supplying oil to the cutter unit when the particles are removed.

상기 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛은, 상기 기판에서 상기 파티클을 흡입하는 파티클 흡입부를 포함하는 파티클 제거모듈; 및 상기 파티클 제거모듈에 연결되며, 상기 오일을 상기 커터부에 공급하는 오일 공급모듈을 포함할 수 있다.The particle removing and oil supplying unit includes a particle removing module including a particle suction part for sucking the particles from the substrate. And an oil supply module connected to the particle removing module and supplying the oil to the cutter part.

상기 오일 공급모듈은, 상기 파티클 제거모듈에 연결되는 브래킷부; 및 상기 브래킷부에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 오일을 보관하는 카트리지부를 포함할 수 있다.The oil supply module includes: a bracket connected to the particle removing module; And a cartridge part detachably coupled to the bracket part and storing the oil.

상기 브래킷부는, 상기 카트리지부가 수용되는 제1 수용공간이 형성되며, 상기 제1 수용공간에 연통되는 제1 개구가 마련되는 브래킷 몸체; 및 상기 브래킷 몸체에 연결되며, 상기 파티클 제거모듈에 결합되는 플랜지부를 포함할 수 있다.Wherein the bracket portion includes: a bracket body having a first receiving space in which the cartridge portion is received, the first opening communicating with the first receiving space; And a flange portion connected to the bracket body and coupled to the particle removing module.

상기 브래킷 몸체에는, 상기 제1 개구를 형성하는 측벽의 단부에서 상기 제1 수용공간을 형성하는 바닥면 방향으로 절개되어 상기 제1 수용공간에 수용된 상기 카트리지부를 노출시키는 절개부를 포함할 수 있다.The bracket body may include an incision portion that is cut in a direction of a bottom surface forming the first accommodation space at an end of a side wall forming the first opening to expose the cartridge portion accommodated in the first accommodation space.

상기 브래킷부는, 상기 브래킷 몸체에 장착되며, 상기 카트리지부를 상기 브래킷 몸체에 부착시키는 자성체를 더 포함할 수 있다.The bracket portion may further include a magnetic body mounted on the bracket body and attaching the cartridge portion to the bracket body.

상기 카트리지부는, 상기 오일이 흡수된 다공성부재; 및 상기 다공성부재를 수용하는 수용부를 포함할 수 있다.Wherein the cartridge portion comprises: a porous member in which the oil is absorbed; And a receiving portion for receiving the porous member.

상기 수용부는, 상기 다공성부재를 수용하는 제2 수용공간이 마련되며, 상기 제2 수용공간에 연통되며 상기 커터부의 적어도 일부분이 통과할 수 있는 제2 개구가 형성되는 수용부 몸체; 및 상기 수용부 몸체에 연결되는 손잡이부를 포함할 수 있다.Wherein the accommodating portion includes a receiving body having a second accommodating space for accommodating the porous member, a second opening communicating with the second accommodating space and having a second opening through which at least a portion of the cutter portion can pass; And a handle portion connected to the receiving portion body.

상기 파티클 흡입부는, 공기 흡입구와 상기 공기 흡입구에 연통되는 흡입관로가 마련되는 흡입 헤드; 및 상기 흡입 헤드에 연결되며, 상기 공기 흡입구에 흡입력을 제공하는 흡입 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the particle suction unit comprises: a suction head having an air inlet and a suction pipe communicating with the air inlet; And a suction driving unit connected to the suction head and providing a suction force to the air suction port.

상기 파티클 흡입부는, 상기 기판에 부착된 상기 파티클을 상기 기판에서 분리시키는 브러쉬부를 더 포함할 수 있다.The particle suction unit may further include a brush unit that separates the particles attached to the substrate from the substrate.

상기 브러쉬부는, 다수개의 브러쉬 모가 장착된 브러쉬 몸체를 포함하며, 상기 브러쉬 몸체에는, 상기 파티클이 흡입되는 유입구와, 상기 공기 흡입구와 연통되는 유출구와, 상기 유입구와 유출구를 연통시키는 연결관로가 마련될 수 있다.The brush body includes a brush body having a plurality of brush bristles. The brush body has an inlet port through which the particles are sucked, an outlet port communicating with the air inlet port, and a connection duct connecting the inlet port and the outlet port .

상기 흡입 헤드에는 상기 브러쉬 몸체가 삽입되는 장착홈이 마련되되, 상기 브러쉬 몸체는 상기 장착홈의 바닥면에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 상기 흡입 헤드에 결합되며, 상기 흡입 헤드는, 상기 브러쉬 몸체를 상기 장착홈의 바닥면에서 이격되는 방향으로 가압하는 브러쉬 가압부를 포함할 수 있다.Wherein the suction head is provided with a mounting groove into which the brush body is inserted and the brush body is coupled to the suction head so as to be movable in a direction approaching and separating from a bottom surface of the mounting groove, And a brush pressing portion for pressing the brush body in a direction away from the bottom surface of the mounting groove.

상기 흡입 헤드는, 상기 장착홈의 측벽에서 돌출되어 마련되며, 상기 브러쉬 몸체의 상기 장착홈의 바닥면에서 이격되는 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼부를 포함할 수 있다.The suction head may include a stopper protruding from a side wall of the mounting groove and restricting movement of the brush body in a direction away from the bottom surface of the mounting groove.

상기 스코어링유닛은, 상기 커터부를 지지하는 커터부용 지지부; 및 상기 커터부용 지지부에 연결되며, 상기 커터부용 지지부를 제1축 방향으로 이동시키는 커터부용 이동부를 더 포함할 수 있다.Wherein the scoring unit comprises: a cutter support portion for supporting the cutter portion; And a cutter unit moving unit connected to the cutter support unit and configured to move the cutter support unit in a first axial direction.

상기 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛은, 상기 파티클 제거모듈에 연결되며, 상기 파티클 제거모듈을 제1축 방향으로 이동시키는 제1축방향 이동부; 및 상기 제1축 방향 이동부에 지지되고, 상기 파티클 제거모듈이 결합되며 상기 파티클 제거모듈을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2축방향 이동부를 더 포함할 수 있다.The oil supply unit for removing particulates includes a first axial moving part connected to the particle removing module and moving the particle removing module in a first axial direction; And a second axial moving part supported by the first axial moving part and coupled to the particle removing module and moving the particle removing module in a second axial direction intersecting the first axial direction .

본 발명의 실시예들은, 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛이 기판에 부착된 파티클을 제거하는 동시에 커터부에 오일을 공급함으로써, 스코어링 공정의 택타임을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.Embodiments of the present invention can improve the productivity by shortening the tack time of the scoring process by supplying the oil to the cutter portion while removing the particles attached to the substrate by the particle supplying and removing oil supply unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스코어링장치가 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛이 도시된 도면이다.
도 3은 도 2의 A부부의 확대도이다.
도 4는 도 2의 브래킷부가 도시된 정면도이다.
도 5는 도 4의 측면도이다.
도 6은 도 2의 카트리지부가 도시된 도면이다
도 7은 도 6의 측면도이다.
도 8은 도 2의 흡입 헤드의 내부에 장착된 브러쉬 가압부가 도시된 도면이다.
도 9는 도 1에서 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛의 파티클 제거 및 오일 공급 동작이 도시된 도면이다.1 is a view showing a substrate scoring apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view showing the oil supply unit for removing particulates of Fig. 1. Fig.
3 is an enlarged view of a portion A of Fig.
Fig. 4 is a front view showing the bracket of Fig. 2; Fig.
5 is a side view of Fig.
Figure 6 is a view of the cartridge portion of Figure 2
Fig. 7 is a side view of Fig. 6. Fig.
Fig. 8 is a view showing a brush pressing portion mounted inside the suction head of Fig. 2;
Fig. 9 is a diagram showing the particle removal and oil supply operation of the oil supply unit for removing particles in Fig. 1; Fig.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in order to avoid unnecessary obscuration of the present invention.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판이란, 평면디스플레이(FPD)용 유리기판을 말한다. 또한, 제1축방향은 도면에서 X축방향으로 표시되고, 제2축방향은 도면에서 Y축 방향으로 표시된다.Before referring to the drawings, the substrate to be described below refers to a glass substrate for a flat panel display (FPD). The first axis direction is indicated in the X-axis direction in the drawing, and the second axis direction is indicated in the Y-axis direction in the drawing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스코어링장치가 도시된 도면이고 도 2는 도 1의 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛이 도시된 도면이며, 도 3은 도 2의 A부부의 확대도이고, 도 4는 도 2의 브래킷부가 도시된 정면도이며, 도 5는 도 4의 측면도이고, 도 6은 도 2의 카트리지부가 도시된 도면이며, 도 7은 도 6의 측면도이고, 도 8은 도 2의 흡입 헤드의 내부에 장착된 브러쉬 가압부가 도시된 도면이며, 도 9는 도 1에서 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛의 파티클 제거 및 오일 공급 동작이 도시된 도면이다.FIG. 1 is a view showing a substrate scoring apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing an oil supply unit for removing particles in FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged view of a portion A in FIG. 2, Fig. 4 is a front view showing the bracket of Fig. 2, Fig. 5 is a side view of Fig. 4, Fig. 6 is a view of the cartridge portion of Fig. 2, Fig. 7 is a side view of Fig. Fig. 9 is a view showing the particle removal and oil supply operation of the oil supply unit for removing particles in Fig. 1; Fig.

본 실시예에 따른 기판 스코어링장치는 커터부(110)를 이용하여 기판(G)의 표면을 스코어링(scoring)하며 스코어링 작업에 의해 발생된 파티클을 노치(notch, 미도시)를 성형하며, 스코어링 작업과정에서 발생된 파티클을 기판(G)에서 제거하며 커터부(110)에 오일을 공급한다. 이를 위해 기판 스코어링장치는, 도 1 내지 12에 도시된 바와 같이, 스코어링유닛(100)과, 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛(200)을 포함한다.The substrate scoring apparatus according to the present embodiment scatters the surface of the substrate G using the cutter 110 and shapes the notch (not shown) of the particles generated by the scoring operation, The particles generated in the process are removed from the substrate G and oil is supplied to the cutter unit 110. To this end, the substrate scoring apparatus includes a scoring unit 100 and a particle removing oil supply unit 200 as shown in Figs. 1 to 12.

스코어링유닛(100)은 기판(G)의 표면에 노치(미도시)를 성형하는 커터부(110)를 포함한다. 본 실시예에서 커터부(110)는, 커터부 몸체(111)와, 커터부 몸체(111)에 장착되며 커터부 몸체(111)의 중심부에 대하여 방사상으로 상호 이격되어 배치되는 복수의 절삭부재(112)를 포함한다. The scoring unit 100 includes a cutter portion 110 for forming a notch (not shown) on the surface of the substrate G. [ The cutter unit 110 includes a cutter body 111 and a plurality of cutting members mounted on the cutter body 111 and spaced radially from the center of the cutter body 111 112).

본 실시예에서 절삭부재(112)는 커터부 몸체(111)의 중심부에 대하여 등각도 간격으로 이격되어 배치된다. 이러한 절삭부재(112) 중 스코어링 작업에는 하나의 절삭부재(도 1의 도면번호 112가 표시된 위치의 절삭부재)만이 사용되는데, 나머지 절삭부재(도면번호가 표시되지 않은 절삭부재)는 절삭부재(112)가 일정 수준 마모된 경우 커터부 몸체(111)의 회전에 의해 순차적으로 도 1의 도면번호 112가 표시된 절삭부재의 위치로 이동되어 스코어링 작업에 사용된다. 한편, 스코어링유닛(100)의 자세한 구성은 설명의 편의를 위해 후술한다.In this embodiment, the cutting members 112 are disposed at equal angular intervals with respect to the center of the cutter body 111. Only one cutting member (the cutting member at the position indicated by reference numeral 112 in Fig. 1) is used for the scoring operation among the cutting members 112, and the remaining cutting member (cutting member without reference numerals) Is sequentially worn by the rotation of the cutter body 111 to the position of the cutting member indicated by reference numeral 112 in FIG. 1 and used for the scoring operation. The detailed configuration of the scoring unit 100 will be described later for convenience of explanation.

파티클 제거 겸용 오일 공급유닛(200)은, 스코어링유닛(100)에 지지되며, 기판(G)의 스코어링 시 발생되는 파티클을 제거하며, 파티클의 제거 시 커터부(110)에 오일을 공급한다. The oil supply unit 200 serving as a particle removing unit is supported by the scoring unit 100 and removes particles generated during scoring of the substrate G and supplies oil to the cutter unit 110 when the particles are removed.

이를 위해 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛(200)은, 도 2 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(G)에서 파티클을 흡입하는 파티클 흡입부(211)를 포함하는 파티클 제거모듈(210)과, 파티클 제거모듈(210)에 연결되며 오일을 커터부(110)에 공급하는 오일 공급모듈(220)을 포함한다.2 to 8, the oil supply unit 200 for removing particles includes a particle removing module 210 including a particle suction unit 211 for sucking particles from the substrate G, And an oil supply module 220 connected to the particle removing module 210 and supplying oil to the cutter unit 110.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 파티클 제거모듈(210)은, 기판(G)에서 파티클을 흡입하는 파티클 흡입부(211)를 포함한다. 파티클 흡입부(211)는, 공기 흡입구(212)와 공기 흡입구(212)에 연통되는 흡입관로(213)가 마련되는 흡입 헤드(214)와, 흡입 헤드(214)에 연결되며 공기 흡입구(212)에 흡입력을 제공하는 흡입 구동부(215)를 포함한다. As shown in FIGS. 2 and 3, the particle removing module 210 includes a particle suction part 211 for sucking particles from the substrate G. As shown in FIG. The particle suction unit 211 includes a suction head 214 having a suction pipe 213 communicating with the air suction port 212 and the air suction port 212 and an air suction port 212 connected to the suction head 214, And a suction drive unit 215 for providing a suction force to the suction force.

흡입 헤드(214)의 내부에는 흡입관로(213)가 마련되며, 흡입 헤드(214)의 일면에는 흡입 관로에 연통되는 공기 흡입구(212)가 형성된다. 또한 흡입 헤드(214)의 타면에는 흡입관로(213)에 연통되는 공기 배출구(미도시)가 형성된다.A suction pipe 213 is provided in the suction head 214 and an air suction port 212 communicating with the suction pipe is formed on one side of the suction head 214. An air outlet (not shown) communicating with the suction pipe 213 is formed on the other surface of the suction head 214.

흡입 구동부(215)는 흡입 헤드(214)에 연결되며, 공기 흡입구(212)에 흡입력을 제공한다. 본 실시예에서 흡입 구동부(215)는, 흡입 헤드(214)에 결합되며 흡입관로(213)에 연통되는 연결관(216)과, 연결관(216)에 연결되는 흡입 펌프(미도시)를 포함한다.The suction drive unit 215 is connected to the suction head 214 and provides a suction force to the air suction port 212. In this embodiment, the suction driving unit 215 includes a connection pipe 216 coupled to the suction head 214 and communicating with the suction pipe 213, and a suction pump (not shown) connected to the connection pipe 216 do.

또한 파티클 흡입부(211)는, 기판(G)에 부착된 파티클을 기판(G)에서 분리시키는 브러쉬부(217)를 더 포함한다. 브러쉬부(217)는 기판(G)의 표면에 접촉되어 물리적으로 기판(G)에 부착된 파티클을 기판(G)에서 분리시킨다.The particle suction part 211 further includes a brush part 217 for separating the particles adhered to the substrate G from the substrate G. [ The brush portion 217 contacts the surface of the substrate G to physically separate the particles attached to the substrate G from the substrate G. [

이를 위해 브러쉬부(217)는, 다수개의 브러쉬 모(219)가 장착된 브러쉬 몸체(218)를 포함한다. 브러쉬 몸체(218)에는, 파티클이 흡입되는 유입구(218a)와, 공기 흡입구(212)와 연통되는 유출구(218b)와, 유입구(218a)와 유출구(218b)를 연통시키는 연결관로(218c)가 마련된다.To this end, the brush portion 217 includes a brush body 218 having a plurality of brush bristles 219 mounted thereon. The brush body 218 is provided with an inlet 218a through which the particles are sucked, an outlet 218b communicating with the air inlet 212, and a connecting duct 218c connecting the inlet 218a and the outlet 218b do.

이와 같이 본 실시예에 따른 브러쉬부(217)는, 브러쉬 몸체(218)에 흡입 헤드(214)의 공기 흡입구(212)와 연통되는 연결관로(218c)가 마련됨으로써, 브러쉬 모(219)에 의해 기판(G)에서 분리된 파티클에 흡입력을 전달할 수 있다. 따라서 본 실시예에 따르면, 브러쉬 모(219)에 의해 분리된 파티클은 브러쉬 몸체(218)의 연결관로(218c)를 통해 흡입 헤드(214)의 공기 흡입구(212)로 흡입됨으로써, 파티클의 흡입효율이 향상된다.As described above, the brush part 217 according to the present embodiment is provided with the connection pipe 218c communicating with the air inlet 212 of the suction head 214 in the brush body 218, so that the bristles 219 The suction force can be transmitted to the particles separated from the substrate (G). The particles separated by the brush bristles 219 are sucked into the air intake port 212 of the suction head 214 through the connection pipe 218c of the brush body 218, .

한편, 흡입 헤드(214)에는 브러쉬 몸체(218)가 삽입되는 장착홈(214a)이 마련되며, 브러쉬 몸체(218)는 장착홈(214a)의 바닥면에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 흡입 헤드(214)에 결합된다. 본 실시예에서 장착홈(214a)은 흡입 헤드(214)의 일측면에서 함몰되어 형성된다.The suction head 214 is provided with a mounting groove 214a into which the brush body 218 is inserted and the brush body 218 is movable in a direction in which the brush body 218 approaches and separates from the bottom surface of the mounting groove 214a And is coupled to the suction head 214. In this embodiment, the mounting groove 214a is formed by being recessed from one side of the suction head 214. [

또한 흡입 헤드(214)는, 장착홈(214a)의 측벽에서 돌출되어 마련되며, 브러쉬 몸체(218)의 장착홈(214a)의 바닥면에서 이격되는 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼부(214b)를 포함한다.(도 8 참조)The suction head 214 is provided protruding from the side wall of the mounting groove 214a and includes a stopper portion 214b for restricting movement in a direction away from the bottom surface of the mounting groove 214a of the brush body 218, (See Figure 8).

이러한 스토퍼부(214b)는 브러쉬 몸체(218)에 접촉되어 브러쉬 몸체(218)가 장착홈(214a)의 바닥면에서 소정거리 이상 이격되지 않도록 제한한다.The stopper 214b contacts the brush body 218 to restrict the brush body 218 from being separated from the bottom surface of the mounting groove 214a by a predetermined distance or more.

또한 흡입 헤드(214)는, 브러쉬 몸체(218)를 장착홈(214a)의 바닥면에서 이격되는 방향으로 가압하는 브러쉬 가압부(214c)를 포함한다. 브러쉬 가압부(214c)는 브러쉬 몸체(218)를 장착홈(214a)의 바닥면에서 이격되는 방향으로 탄성적으로 가압함으로써, 브러쉬부(217)를 정위치시키며 기판(G)에서 파티클 제거 시 브러쉬를 기판(G)에 밀착시켜 기판(G)에서 파티클의 분리를 용이하게 한다.The suction head 214 also includes a brush pressing portion 214c that presses the brush body 218 in a direction away from the bottom surface of the mounting groove 214a. The brush pressing portion 214c resiliently urges the brush body 218 in a direction away from the bottom surface of the mounting groove 214a so that the brush portion 217 is properly positioned, (G) to facilitate separation of the particles from the substrate (G).

본 실시예에서 브러쉬 가압부(214c)는 스프링(미도시)이 내장된 볼 플런저(ball plunger)로 이루어지는데, 이에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않으며 브러쉬 몸체(218)를 장착홈(214a)의 바닥면에서 이격되는 방향으로 가압하는 다양한 가압부재가 본 실시예의 브러쉬 가압부(214c)로 사용될 수 있다.In this embodiment, the brush pressing portion 214c is formed of a ball plunger having a spring (not shown) therein. Accordingly, the scope of the present invention is not limited, and the brush body 218 can be inserted into the mounting groove 214a, Various pressing members may be used as the brush pressing portion 214c of the present embodiment.

한편 오일 공급모듈(220)은, 파티클 제거모듈(210)에 연결되며, 오일을 커터부(110)에 공급한다. 이러한 오일 공급모듈(220)은, 파티클 제거모듈(210)에 연결되는 브래킷부(221)와, 브래킷부(221)에 착탈 가능하게 결합되며 오일을 보관하는 카트리지부(226)를 포함한다.Meanwhile, the oil supply module 220 is connected to the particle removing module 210, and supplies oil to the cutter unit 110. The oil supply module 220 includes a bracket portion 221 connected to the particle removing module 210 and a cartridge portion 226 detachably coupled to the bracket portion 221 and storing the oil.

본 실시예에서 브래킷부(221)는 흡입 헤드(214)에 연결된다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 브래킷부(221)는, 카트리지부(226)가 수용되는 제1 수용공간(222)이 형성되며 제1 수용공간(222)에 연통되는 제1 개구(223)가 마련되는 브래킷 몸체(221a)와, 브래킷 몸체(221a)에 연결되며 파티클 제거모듈(210)에 결합되는 플랜지부(224)를 포함한다. 브래킷 몸체(221a)는 제1 수용공간(222)에 수용된 카트리지부(226)를 지지하며, 제1 개구(223)는 카트리지를 제1 수용공간(222)으로 출입시킨다.In this embodiment, the bracket portion 221 is connected to the suction head 214. 4 and 5, the bracket portion 221 includes a first opening 223 in which a first accommodating space 222 in which the cartridge portion 226 is accommodated is formed and which communicates with the first accommodating space 222, And a flange portion 224 connected to the particle removing module 210 and connected to the bracket body 221a. The bracket body 221a supports the cartridge portion 226 accommodated in the first accommodating space 222 and the first opening 223 allows the cartridge to enter and exit the first accommodating space 222. [

이러한 브래킷 몸체(221a)에는, 제1 개구(223)를 형성하는 측벽의 단부에서 제1 수용공간(222)을 형성하는 바닥면 방향으로 절개되어 제1 수용공간(222)에 수용된 카트리지부(226)를 노출시키는 절개부(221b)를 포함한다. 이러한 절개부(221b)는 카트리지부(226)가 브래킷 몸체(221a)에 수용된 상태를 쉽게 확인할 수 있도록 한다.The bracket body 221a is provided with a cartridge portion 226 which is cut in the direction of the bottom surface forming the first housing space 222 at the end of the side wall forming the first opening 223 and accommodated in the first housing space 222 (Not shown). The cut-out portion 221b makes it easy to confirm that the cartridge portion 226 is housed in the bracket body 221a.

플랜지부(224)는 브래킷 몸체(221a)에 연결되며 파티클 제거모듈(210)에 결합된다. 본 실시예에서 플랜지부(224)는 브래킷 몸체(221a)에서 연장되어 마련된다. 이러한 플랜지부(224)에는 결합공(224a)이 형성되며, 흡입 헤드(214)에 마련된 결합볼트(미도시)가 결합공(224a)을 관통함으로써, 플랜지부(224)는 흡입 헤드(214)에 지지된다. 또한 결합볼트(미도시)에 치합되는 너트(미도시)의 조임에 의해, 플랜지부(224)가 흡입 헤드(214)에 결합된다. The flange portion 224 is connected to the bracket body 221a and is coupled to the particle removal module 210. [ In this embodiment, the flange portion 224 is provided extending from the bracket body 221a. A coupling hole 224a is formed in the flange portion 224 and an engaging bolt (not shown) provided in the suction head 214 passes through the engaging hole 224a so that the flange portion 224 is engaged with the suction head 214, . The flange portion 224 is engaged with the suction head 214 by tightening a nut (not shown) engaged with the coupling bolt (not shown).

한편 본 실시예에 따른 브래킷부(221)는, 브래킷 몸체(221a)에 장착되며 카트리지부(226)를 브래킷 몸체(221a)에 부착시키는 자성체(225)를 더 포함한다. 본 실시예에서 자성체(225)는 제1 수용공간(222)의 바닥면에 인접하게 배치되며, 자기력을 통해 카트리지부(226)를 브래킷 몸체(221a)에 고정시킨다.The bracket portion 221 according to the present embodiment further includes a magnetic body 225 mounted on the bracket body 221a and attaching the cartridge portion 226 to the bracket body 221a. In this embodiment, the magnetic body 225 is disposed adjacent to the bottom surface of the first housing space 222, and fixes the cartridge portion 226 to the bracket body 221a through magnetic force.

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 스코어링장치는, 자기력에 의해 카트리지부(226)를 브래킷부(221)에 부착하는 자성체(225)를 구비함으로써, 카트리지부(226)의 착탈이 용이한 이점이 있다. As described above, the substrate scoring apparatus according to the present embodiment is advantageous in that the cartridge portion 226 can be easily attached and detached by providing the magnetic body 225 for attaching the cartridge portion 226 to the bracket portion 221 by magnetic force .

카트리지부(226)는, 브래킷부(221)에 착탈 가능하게 결합되며, 오일을 보관한다. 이를 위해 카트리지부(226)는, 오일이 흡수된 다공성부재(미도시)와, 다공성부재를 수용하는 수용부(228)를 포함한다. 본 실시예에서 오일은 윤활성 오일이 사용되며, 다공성부재는 스펀지 등이 사용된다. The cartridge portion 226 is detachably coupled to the bracket portion 221 and stores oil. To this end, the cartridge portion 226 includes a porous member (not shown) in which the oil is absorbed and a receiving portion 228 for receiving the porous member. In this embodiment, a lubricating oil is used as the oil, and a sponge or the like is used as the porous member.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 수용부(228)는, 다공성부재를 수용하기 위해, 다공성부재를 수용하는 제2 수용공간(228b)이 마련되며 제2 수용공간(228b)에 연통되며 커터부(110)의 적어도 일부분이 통과할 수 있는 제2 개구(228c)가 형성되는 수용부 몸체(228a)를 구비한다.6 and 7, the accommodating portion 228 is provided with a second accommodating space 228b for accommodating the porous member, a second accommodating space 228b communicating with the second accommodating space 228b, (228a) through which a second opening (228c) through which at least a portion of the portion (110) can pass is formed.

수용부 몸체(228a)는 제2 수용공간(228b)에 수용된 다공성부재를 지지하며, 제2 개구(228c)는 커터부(110)의 적어도 일부분이 다공성부재에 접촉될 수 있도록 커터부(110)의 적어도 일부분이 관통할 수 있는 크기로 마련된다.The receptacle body 228a supports the porous member accommodated in the second accommodation space 228b and the second opening 228c supports the cutter portion 110 so that at least a portion of the cutter portion 110 can contact the porous member. At least a portion of which can pass therethrough.

또한 수용부(228)는 수용부 몸체(228a)에 연결되는 손잡이부(229)를 더 포함한다. 본 실시예에서 손잡이부(229)는 제2 개구(228c)를 형성하는 측벽의 말단부 영역에 인접하게 배치된다. 이러한 손잡이는 카트리지부(226)와 브래킷부(221)의 착탈을 용이하게 한다. The receiving portion 228 further includes a handle portion 229 connected to the receiving body 228a. In this embodiment, the handle portion 229 is disposed adjacent to the distal end region of the side wall forming the second opening 228c. This handle facilitates attachment and detachment of the cartridge portion 226 and the bracket portion 221. [

한편, 본 실시예에 따른 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛(200)은, 파티클 제거모듈(210)에 연결되며, 파티클 제거모듈(210)을 제1축 방향으로 이동시키는 제1축방향 이동부(310)와, 제1축 방향 이동부에 지지되고 파티클 제거모듈(210)이 결합되며 파티클 제거모듈(210)을 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2축방향 이동부(320)를 더 포함한다.The oil supply unit 200 for removing particles according to the present embodiment is connected to the particle removing module 210 and includes a first axial moving part 310 for moving the particle removing module 210 in the first axial direction A second axial moving part 320 supported by the first axial moving part and coupled to the particle removing module 210 to move the particle removing module 210 in a second axial direction intersecting the first axial direction, ).

제1축방향 이동부(310)는, 스코어링유닛(100)에 지지되며 제2축방향 이동부(320)를 통해 파티클 제거모듈(210)에 연결된다. 이러한 제1축방향 이동부(310)는 제2축방향 이동부(320)를 제1축방향으로 이동시켜 파티클 제거모듈(210)을 제1축 방향으로 이동시킨다. The first axial moving part 310 is supported by the scoring unit 100 and is connected to the particle removing module 210 through the second axial moving part 320. The first axial moving part 310 moves the second axial moving part 320 in the first axial direction to move the particle removing module 210 in the first axial direction.

본 실시예에서 제1축방향 이동부(310)는, 스코어링유닛(100)에 지지되는 제1 실린더(311)로 이루어진다. 이러한 제1 실린더(311)는 제2축방향 이동부(320)를 지지하는 제1 지그(미도시)에 결합되는 제1 실린더로드(312)를 구비한다. In this embodiment, the first axial shifting portion 310 comprises a first cylinder 311 supported by the scoring unit 100. The first cylinder 311 includes a first cylinder rod 312 coupled to a first jig (not shown) for supporting the second axial movement portion 320.

상술한 바와 같이 본 실시예에서 제1축방향 이동부(310)는 실린더 형태로 이루어지는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 리니어모터 등 파티클 제거모듈(210)을 제1축 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 이동장치가 본 실시예의 제1축방향 이동부(310)로 사용될 수 있다.As described above, in the present embodiment, the first axial direction moving part 310 is formed in a cylinder shape. Accordingly, the scope of the present invention is not limited, and the particle removing module 210 such as a linear motor is moved in the first axial direction Can be used as the first axial moving part 310 of the present embodiment.

제2축방향 이동부(320)는, 제1축 방향 이동부에 지지되고, 파티클 제거모듈(210)이 결합되며 파티클 제거모듈(210)을 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다. The second axial moving part 320 is supported by the first axial moving part, and the particle removing module 210 is coupled to move the particle removing module 210 in the second axial direction crossing the first axial direction .

본 실시예에서 제2축방향 이동부(320)는, 제1 지그에 지지되는 제2 실린더(321)로 이루어진다. 이러한 제1 실린더(311)는 흡입 헤드(214)를 지지하는 제2 지그(323)에 결합되는 제2 실린더로드(322)를 구비한다. In this embodiment, the second axial moving part 320 is composed of the second cylinder 321 supported by the first jig. The first cylinder 311 has a second cylinder rod 322 coupled to a second jig 323 that supports the suction head 214.

상술한 바와 같이 본 실시예에서 제2축방향 이동부(320)는 실린더 형태로 이루어지는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 리니어모터 등 파티클 제거모듈(210)을 제2축 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 이동장치가 본 실시예의 제2축방향 이동부(320)로 사용될 수 있다.As described above, in the present embodiment, the second axial moving part 320 is formed in a cylinder shape, and thus the scope of the present invention is not limited, and the particle removing module 210 such as a linear motor is moved in the second axial direction Can be used as the second axial moving part 320 of the present embodiment.

또한 스코어링유닛(100)은, 커터부(110)를 지지하는 커터부용 지지부(120)와, 커터부용 지지부(120)에 연결되며 커터부용 지지부(120)를 제1축 방향으로 이동시키는 커터부용 이동부(130)를 더 포함한다. 본 실시예서 커터부용 이동부(130)는 상술한 제1축방향 이동부(310)를 지지한다. The scoring unit 100 further includes a cutter supporting portion 120 for supporting the cutter portion 110 and a cutter portion supporting portion 120 connected to the cutter supporting portion 120 for moving the cutter supporting portion 120 in the first axial direction (130). The moving part 130 for the cutter part of the present embodiment supports the first axial moving part 310 described above.

커터부용 이동부(130)는 커터부용 지지부(120)를 제1축 방향으로 이동시킨다. 이를 위해 커터부용 이동부(130)는, 커터부용 지지부(120)가 결합되는 엘엠 블록(LM block, 미도시)과, 엘엠 블록(미도시)의 이동을 안내하는 엘엠 가이드(LM guide, 132)와, 엘엠 블록(미도시)에 연결되며 엘엠 블록(미도시)을 이동시키는 엘엠 구동부(133)를 포함한다.The cutter moving unit 130 moves the cutter supporting unit 120 in the first axial direction. To this end, the cutter moving unit 130 includes an LM block (not shown) to which the cutter supporting unit 120 is coupled, an LM guide 132 for guiding the movement of the LM block (not shown) And an EL driver 133 connected to an EL block (not shown) and moving an EL block (not shown).

엘엠 구동부(133)는, 엘엠 블록(미도시)에 결함된 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시) 및 볼 스크류(미도시)에 연결되며 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 구동모터(134)를 포함한다. 본 실시예에서 구동모터(134)는 정,역회전이 가능한 정역모터가 사용될 수 있다.The LM driving unit 133 is connected to a moving nut (not shown) that is defective in an LM block (not shown), a ball screw (not shown) and a ball screw (not shown) engaged with a moving nut And a drive motor 134 for rotating a screw (not shown). In this embodiment, the drive motor 134 may be a forward and reverse motor capable of forward and reverse rotation.

한편 본 실시예에 따른 기판 스코어링장치는, 스코어링유닛(100)을 지지하며 스코어링유닛(100)을 제2축 방향으로 이동시키는 업/다운(up/down)유닛(미도시)을 더 포함한다.Meanwhile, the substrate scoring apparatus according to the present embodiment further includes an up / down unit (not shown) for supporting the scoring unit 100 and moving the scoring unit 100 in the second axial direction.

또한 본 실시예에 따른 기판 스코어링장치는, 스코어링할 기판(G)을 커터부(110)의 반대편에서 지지하는 지지대(미도시)를 더 포함할 수 있다.The substrate scoring apparatus according to the present embodiment may further include a support (not shown) for supporting the substrate G to be scored on the opposite side of the cutter unit 110.

이하에서 본 실시예에 따른 기판 스코어링장치의 동작을 도 1 내지 도 9에서 도 9를 위주로 설명한다.Hereinafter, the operation of the substrate scoring apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 9 and FIG. 9. FIG.

도 9는 도 1에서 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛의 파티클 제거 및 오일 공급 동작이 도시된 도면이다.Fig. 9 is a diagram showing the particle removal and oil supply operation of the oil supply unit for removing particles in Fig. 1; Fig.

먼저 기판(G)에 노치(미도시)를 형성하기 위해 커터부(110)가 기판(G)을 향하여 제1축 방향으로 전진한다. The cutter portion 110 advances in the first axis direction toward the substrate G to form a notch (not shown) in the substrate G. Then,

이후 스코어링유닛(100)이 하강하며 기판(G)을 스코어링한다. 다음 커터부(110)가 기판(G)에서 멀어지는 방향으로 후진한다.The scoring unit 100 then descends and scores the substrate G. [ The next cutter portion 110 is moved backward in a direction away from the substrate G. [

다음 파티클 제거모듈(210)과 오일 공급모듈(220)이 제1축방향 이동부(310) 및 제2축방향 이동부(320)에 의해 제1축방향 및 제2축방향으로 이동됨으로써 파티클 제거모듈(210)은 기판(G)에 대향되고 오일 공급모듈(220)은 커터부(110)에 대향된다.The particle removing module 210 and the oil supply module 220 are moved in the first axial direction and the second axial direction by the first axial moving part 310 and the second axial moving part 320, The module 210 is opposed to the substrate G and the oil supply module 220 is opposed to the cutter portion 110.

다음 커터부(110)가 오일 공급모듈(220)을 향하여 전진하고, 그에 따라 커터부(110)의 절삭부재(112)가 카트리지부(226)에 삽입된다.The next cutter portion 110 advances toward the oil supply module 220 so that the cutting member 112 of the cutter portion 110 is inserted into the cartridge portion 226. [

다음, 스코어링유닛(100)이 상승하고, 이 과정에서 파티클 제거모듈(210)에 의해 기판(G)에 부착된 파티클이 제거되는 동시에 오일 공급모튤에 의해 커터부(110)에 오일이 공급된다.(도 9 참조)Next, the scoring unit 100 is lifted. In this process, particles adhered to the substrate G are removed by the particle removing module 210, and oil is supplied to the cutter unit 110 by the oil supply module. (See Fig. 9)

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 스코어링장치는, 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛(200)이 기판(G)에 부착된 파티클을 제거하는 동시에 커터부(110)에 오일을 공급함으로써 스코어링 공정의 택타임을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the substrate scoring apparatus according to the present embodiment removes particles adhered to the substrate G and supplies oil to the cutter 110 by the particle supplying and removing unit 200 for removing particles, thereby reducing the tack time of the scoring process The productivity can be improved.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present invention has been described in detail with reference to the above drawings, the scope of the scope of the present invention is not limited to the above-described drawings and description.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 스코어링유닛 110: 커터부
111: 커터부 몸체 112: 절삭부재
120: 커터부용 지지부 130: 커터부용 이동부
132: 엘엠 가이드 133: 엘엠 구동부
200: 파티클 제거 겸용 오일 공급유닛
210: 파티클 제거모듈 211: 파티클 흡입부
212: 공기 흡입구 213: 흡입관로
214: 흡입 헤드 214a: 장착홈
214b: 스토퍼부 214c: 브러쉬 가압부
215: 흡입 구동부 216: 연결관
217: 브러쉬부 218: 브러쉬 몸체
218a: 유입구 218b: 유출구
218c: 연결관로 219: 브러쉬 모
220: 오일 공급모듈 221: 브래킷부
221a: 브래킷 몸체 221b: 절개부
222: 제1 수용공간 223: 제1 개구
224: 플랜지부 224a: 결합공
225: 자성체 226: 카트리지부
228: 수용부 228a: 수용부 몸체
228b: 제2 수용공간 228c: 제2 개구
229: 손잡이부 310: 제1축방향 이동부
311: 제1 실린더 312: 제1 실린더로드
320: 제2축방향 이동부 321: 제2 실린더
322: 제2 실린더로드 323: 제2 지그
G: 기판 100: scoring unit 110:
111: cutter body 112: cutting member
120: cutter supporting part 130: cutter part moving part
132: LM Guide 133: LM driver
200: Oil supply unit for removing particles
210: particle removing module 211: particle suction part
212: air inlet 213: suction pipe
214: suction head 214a: mounting groove
214b: Stopper portion 214c: Brush pressing portion
215: suction drive part 216: connection pipe
217: Brush part 218: Brush body
218a: Inlet port 218b: Outlet port
218c: Connection pipe 219: Brush mo
220: Oil supply module 221: Bracket part
221a: Bracket body 221b:
222: first accommodation space 223: first opening
224: flange portion 224a: engaging hole
225: magnetic body 226:
228: accommodating portion 228a: accommodating portion body
228b: second accommodation space 228c: second opening
229: Handle 310: First axial moving part
311: first cylinder 312: first cylinder rod
320: second axial direction moving part 321: second cylinder
322: second cylinder rod 323: second jig
G: substrate

Claims

A scoring unit including a cutter portion for forming a notch on the surface of the substrate; And
And a particle removing and oil supply unit supported by the scoring unit for removing particles generated during scoring of the substrate and supplying oil to the cutter unit when the particles are removed,
The oil supply unit for removing particles,
A particle removing module including a particle suction part for sucking the particles from the substrate; And
And an oil supply module connected to the particle removing module and supplying the oil to the cutter part.

delete

The method according to claim 1,
The oil supply module includes:
A bracket connected to the particle removing module; And
And a cartridge portion detachably coupled to the bracket portion and storing the oil.

The method of claim 3,
The bracket portion
A bracket body formed with a first accommodating space in which the cartridge portion is accommodated and having a first opening communicating with the first accommodating space; And
And a flange portion coupled to the bracket body and coupled to the particle removal module.

5. The method of claim 4,
In the bracket body,
And a cutout portion that is cut in a direction of a bottom surface forming the first accommodation space at an end of a side wall forming the first opening to expose the cartridge portion accommodated in the first accommodation space.

5. The method of claim 4,
The bracket portion
And a magnetic body mounted on the bracket body, the magnetic body attaching the cartridge portion to the bracket body.

The method of claim 3,
The cartridge portion,
A porous member in which the oil is absorbed; And
And a receiving portion for receiving the porous member.

8. The method of claim 7,
The receiving portion includes:
A receiving space body provided with a second receiving space for receiving the porous member, a second opening communicating with the second receiving space and having a second opening through which at least a part of the cutter part can pass; And
And a handle portion connected to the receiving body.

The method according to claim 1,
The particle-
A suction head provided with an air inlet and a suction pipe communicating with the air inlet; And
And a suction driving unit connected to the suction head and providing a suction force to the air suction port.

10. The method of claim 9,
The particle-
Further comprising a brush portion for separating the particles attached to the substrate from the substrate.

11. The method of claim 10,
The brush unit includes:
A brush body having a plurality of bristles,
In the brush body,
An inlet port through which the particles are sucked, an outlet port connected to the air inlet port, and a connection channel connecting the inlet port and the outlet port.

12. The method of claim 11,
Wherein the suction head is provided with a mounting groove into which the brush body is inserted, the brush body being coupled to the suction head so as to be movable in a direction approaching and separating from a bottom surface of the mounting groove,
The suction head includes:
And a brush pressing portion for pressing the brush body in a direction away from a bottom surface of the mounting groove.

13. The method of claim 12,
The suction head includes:
And a stopper portion protruding from a side wall of the mounting groove and restricting movement of the brush body in a direction away from the bottom surface of the mounting groove.

The method according to claim 1,
The scoring unit comprises:
A cutter portion supporting portion for supporting the cutter portion; And
And a cutter part moving part connected to the cutter support part and configured to move the cutter support part in a first axis direction which is a direction in which the support part approaches and separates from the substrate.

The method according to claim 1,
The oil supply unit for removing particles,
A first axial moving part connected to the particle removing module and moving the particle removing module in a first axial direction which is a direction in which the particle removing module approaches and separates from the substrate; And
A particle removing module supported by the first axial moving part, coupled to the particle removing module, for moving the particle removing module in a direction intersecting the first axis in a second axis direction parallel to the substrate, Further comprising a moving portion.