KR20150076734A - Carrier glass remover - Google Patents

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Abstract

A carrier glass remover is disclosed. According to the present invention, the carrier glass remover includes: an absorption unit having a vacuum chuck to absorb a glass bonded substrate wherein carrier glass is bonded to one side of a flexible substrate; an absorption unit transfer unit to transfer the absorption unit; a corner area separation unit connected to the absorption unit to separate the flexible substrate from the carrier glass in the corner area of the glass bonded substrate; and a removal unit to grasp the flexible substrate, wherein a grasping and absorbing drum module is formed on the outer circumference to vacuously absorb the flexible substrate.

Description

캐리어글라스 박리장치{CARRIER GLASS REMOVER}Carrier Glass Peeling Device {CARRIER GLASS REMOVER}

본 발명은, 캐리어글라스 박리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판으로부터 캐리어글라스를 효율적으로 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier glass peeling apparatus, and more particularly, to a carrier glass peeling apparatus capable of efficiently peeling a carrier glass from a flexible substrate without damaging the flexible substrate.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is thinner and lighter image display device than a cathode ray tube (CRT), which was conventionally used as a display in a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display crystal display, a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED).

이러한 평면디스플레이(FPD) 중 OLED는, 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.Of such flat display devices (FPDs), OLEDs are cemented thin display devices that realize a color image by self-emission of organic materials, and have attracted attention as a promising display device of the next generation in that the structure is simple and the light efficiency is high.

OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.OLEDs can be divided into passive PMOLEDs and active AMOLEDs depending on the driving method. In particular, AMOLED is a self-emissive display that has a faster response speed than conventional displays, has a natural color and low power consumption.

이러한 OLED의 제조 공정은, 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.The OLED manufacturing process includes a pattern forming process, an organic film deposition process, an encapsulating process, and a laminating process in which a substrate on which an organic thin film is deposited and an encapsulating process are adhered to each other.

한편 AMOLED는, 유리기판이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 필름(Film) 또는 윌로우 글라스(휘어질수 있는 유리)등에 적용되면, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display) 기술을 구현할 수 있다.On the other hand, AMOLED can realize flexible display technology when it is applied to a film that can be bent easily and not thinner than a glass substrate, or a willow glass (glass that can be bent).

그런데 이러한 필름 또는 윌로우 글라스와 같은 플렉서블 기판은, 두께가 매우 얇기 때문에 처짐이 발생되기 쉽고 충격에 취약하여 평면디스플레이(FPD) 제조과정에서 단독으로 사용되지 않고 캐리어글라스(carrier glass)에 합착된 상태로 사용된다.However, such a flexible substrate such as a film or a shallow glass is very thin, so it is prone to sag and is susceptible to impact. Therefore, it is not used alone in the process of manufacturing a flat display (FPD) Is used.

따라서 소정의 공정이 완료된 후 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, there is a need to develop a carrier glass peeling apparatus capable of quickly and easily peeling off a carrier glass adhered to a flexible substrate after a predetermined process is completed, without damaging the flexible substrate.

한국특허공개공보 제10-2013-00003997호 (주식회사 엘지디스플레이), 2013.01.09Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-00003997 (LG Display Co., Ltd.), 2013.01.09

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a carrier glass peeling apparatus capable of quickly and easily peeling a carrier glass bonded to a flexible substrate without damaging the flexible substrate.

본 발명의 일 측면에 따르면, 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판이 흡착되는 진공 척을 구비하는 흡착유닛; 상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛; 상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛; 및 상기 플렉서블 기판을 파지하며 외주면에 상기 플렉서블 기판을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈을 구비하는 박리유닛을 포함하는 캐리어글라스 박리장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum processing apparatus comprising: a suction unit including a vacuum chuck to which a glass bonding substrate on which a carrier glass is adhered is adhered to one surface of a flexible substrate; A transfer unit for the suction unit for transferring the suction unit; A corner region separation unit connected to the absorption unit, for separating the flexible substrate from the carrier glass in an edge region of the glass adhesion substrate; And a peeling unit including a gripping drum module for gripping the flexible substrate and vacuum-adsorbing the flexible substrate on an outer circumferential surface thereof.

상기 모서리 영역 분리유닛은, 상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부; 상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부; 상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및 상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함할 수 있다.The edge region separation unit includes a knife portion having a knife inserted between the flexible substrate and the carrier glass; A first shaft moving part connected to the knife part and moving the knife part in a first axial direction; A second shaft moving unit connected to the first shaft moving unit for the knife unit and moving the knife unit in a second axis direction intersecting the first axis direction; And a third shaft moving unit connected to the second shaft moving unit for the knife unit and coupled to the suction unit, for moving the knife unit in a third axis direction intersecting the first axis direction and the second axis direction .

상기 나이프부용 제1축 이동부는, 상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.The first shaft moving part for the knife part includes a first axis LB block for a knife part to which the knife part is coupled; A first axis LM guide for a knife unit for guiding movement of the first axis LM block for knife formation; And a first axis LB block driving unit for moving the first axis LB block for the knife unit.

상기 나이프부용 제2축 이동부는, 상기 나이프부용 제1축 이동부가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.The second shaft moving part for the knife part includes: a second shaft-shaped EL block for a knife part to which the first shaft moving part for the knife part is coupled; A second axis LM guide for a knife unit for guiding movement of the second axis LM block for knife formation; And a second axle LB block driver for moving the second axes LB block for the knife part.

상기 나이프부용 제3축 이동부는, 상기 나이프부용 제2축 이동부가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.The third axis moving part for knife part may include a third axis LBL block for knife part to which the second axis moving part for knife part is coupled; A third axis LM guide for a knife portion for guiding movement of the third axis LM block for knife formation; And a third axis LB block driving part for moving the third axis LB block for knife part.

상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함할 수 있다.The knife unit may include a knife posture control unit for controlling a posture of the knife relative to the glass substrate.

상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈은, 외주면에 다수개의 진공홀이 마련되는 드럼 몸체부; 및 상기 드럼 몸체부에 지지되며, 모서리 영역 분리유닛에 의해 분리된 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부를 포함할 수 있다.The gripping and absorbing drum module includes a drum body portion having a plurality of vacuum holes formed on an outer circumferential surface thereof; And a substrate gripping portion supported by the drum body portion and gripping an edge region of the flexible substrate separated by the edge region separation unit.

상기 기판 파지부는, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역에 접촉되며, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 상기 드럼 몸체부의 외주면으로 가압하는 그립퍼부; 상기 그립퍼부에 연결되며, 상기 그립퍼부를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부; 및 상기 그립퍼부용 제1축 이동부에 연결되고 상기 드럼 몸체부에 결합되며, 상기 그립퍼부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부를 포함할 수 있다.Wherein the substrate holding portion comprises: a gripper portion which contacts an edge region of the flexible substrate and presses an edge region of the flexible substrate to an outer peripheral surface of the drum body portion; A first shaft moving part connected to the gripper part and adapted to move the gripper part in a first axial direction; And a second shaft moving part connected to the first shaft moving part for the gripper part and coupled to the drum body part, for moving the gripper part in a second axial direction intersecting the first axial direction.

상기 그립퍼부용 제1축 이동부는, 상기 그립퍼부가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록; 상기 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드; 및 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the first shaft moving part for the gripper part comprises: a first axis LM block for the gripper part to which the gripper part is coupled; A first axis LM guide for a gripper part for guiding movement of the first axis LM block for the gripper part; And a first axis LB block driving unit for moving the first axis LB block for the gripper unit.

상기 그립퍼부용 제2축 이동부는, 상기 그립퍼부용 제1축 이동부가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록; 상기 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드; 및 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.The second shaft moving part for the gripper part may include a second shaft LM block for the gripper part to which the first shaft moving part for the gripper part is coupled; A second axis LM guide for a gripper part for guiding the movement of the second axis LM block for the gripper part; And a second axis LB block driving unit for moving the second axis LB block for the gripper unit.

상기 박리유닛은, 상기 드럼 몸체부를 회전시키는 드럼 회전부를 포함할 수 있다.The peeling unit may include a drum rotation part for rotating the drum body part.

상기 드럼 회전부는, 상기 드럼 몸체부에 결합되는 회전축; 및 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 회전축용 모터를 포함할 수 있다.The drum rotation unit includes: a rotation shaft coupled to the drum body; And a rotary shaft motor connected to the rotary shaft for rotating the rotary shaft.

상기 흡착유닛은, 상기 진공 척을 상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 진공 척 이동부를 포함할 수 있다.The adsorption unit may include a vacuum chuck moving unit that moves the vacuum chuck in a direction in which the vacuum chuck approaches and separates from the adsorption /

상기 진공 척 이동부는, 상기 진공 척이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록; 상기 진공 척용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드; 및 상기 진공 척용 엘엠 블록을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.The vacuum chuck moving unit includes: an EL block for a vacuum chuck to which the vacuum chuck is coupled; An LM guide for a vacuum chuck for guiding the movement of the LM block for the vacuum chuck; And an EL block driving unit for moving the vacuum block for the vacuum chuck.

상기 이송유닛은, 상기 흡착유닛이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록; 상기 흡착유닛용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 흡착유닛용 엘엠 블록을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the transfer unit comprises: an EL block for an adsorption unit to which the adsorption unit is coupled; An ELM guide for a suction unit for guiding the movement of the ELM block for the suction unit; And an EL block driver for the adsorption unit that moves the EL block for the adsorption unit.

상기 박리유닛에 마련되며, 상기 글라스합착기판의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.And an ionizer provided in the peeling unit for removing static electricity from the glass bonding substrate.

본 발명의 실시예들은, 모서리 영역 분리유닛이 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하며, 파지 겸용 흡착 드럼모듈이 모서리 영역이 분리된 플렉서블 기판을 파지한 후 외주면에 플렉서블 기판을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판에서 캐리어글라스를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.In the embodiments of the present invention, the edge region separation unit separates the flexible substrate from the carrier glass in the edge area of the glass adhesion substrate, and after gripping the flexible substrate on which the edge area is separated, By vacuum-adsorbing the substrate, the carrier glass can be quickly and easily peeled off from the flexible substrate without damaging the flexible substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 진공 척 이동부가 도시된 도면이다.
도 3은 도 1의 모서리 영역 분리유닛이 도시된 도면이다.
도 4는 도 3을 다른 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 1의 박리유닛이 도시된 도면이다.
도 6은 도 5의 2의 기판 파지부가 도시된 도면이다.
도 7 내지 도 10은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.1 is a perspective view illustrating a carrier glass peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view showing the vacuum chuck moving part of Fig. 1;
Fig. 3 is a view showing the edge area separation unit of Fig. 1. Fig.
Fig. 4 is a view of Fig. 3 taken in another direction. Fig.
Fig. 5 is a view showing the peeling unit of Fig. 1. Fig.
6 is a view showing the substrate holding portion of FIG.
Figs. 7 to 10 are operational state diagrams of the carrier glass peeling apparatus of Fig. 1. Fig.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in order to avoid unnecessary obscuration of the present invention.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 플렉서블 기판이란, 얇고 유연한 필름 또는 윌로우 글라스(willow glass)를 말한다. Prior to the description of the drawings, the flexible substrate to be described below refers to a thin flexible film or a willow glass.

또한 이하의 도면에서 제1축 방향은 X로, 제2축은 Z로, 제3축은 Y로 표시한다.In the following drawings, the first axis direction is represented by X, the second axis by Z, and the third axis by Y.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 진공 척 이동부가 도시된 도면이며, 도 3은 도 1의 모서리 영역 분리유닛이 도시된 도면이고, 도 4는 도 3을 다른 방향에서 바라본 도면이며, 도 5는 도 1의 박리유닛이 도시된 도면이고, 도 6은 도 5의 2의 기판 파지부가 도시된 도면이며, 도 7 내지 도 10은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a carrier glass peeling apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a vacuum chuck moving section of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross- Fig. 4 is a view showing the peeling unit of Fig. 1, Fig. 6 is a view showing the substrate holding portion of Fig. 5, and Figs. 7 to 10 Is an operational state view of the carrier glass peeling apparatus of Fig.

도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(S)의 일면에 캐리어글라스(T)가 합착된 글라스합착기판(ST)이 흡착되는 진공 척(110)을 구비하는 흡착유닛(100)과, 흡착유닛(100)을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛(200)과, 흡착유닛(100)에 연결되며 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛(300)과, 플렉서블 기판(S)을 파지하며 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)을 구비하는 박리유닛(400)을 포함한다. A suction unit 100 having a vacuum chuck 110 on which a glass bonding substrate ST on which a carrier glass T is stuck is adsorbed on one surface of a flexible substrate S, A transfer unit 200 for transferring the suction unit 100 and a flexible substrate S connected to the suction unit 100 and separated from the carrier glass T in the corner area of the glass adhesion substrate ST And a peeling unit 400 including an adsorbing drum module 410 for holding the flexible substrate S and holding the flexible substrate S by vacuum suction on the outer circumferential surface thereof.

이러한 본 시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)에 의해 분리된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)이 파지 한 후 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.The carrier glass peeling apparatus according to the present embodiment has a structure in which the edge area of the flexible substrate S separated by the edge region separation unit 300 is held by the gripping and absorbing drum module 410, The carrier glass T can be quickly and easily peeled from the flexible substrate S without damaging the flexible substrate S by vacuum suction.

글라스합착기판(ST)은 플렉서블 기판(S)의 상면 또는 하면에 캐리어글라스(T)가 합착된 것을 말하며, 본 실시예에서 글라스합착기판(ST)은 사각 형상으로 마련된다.The glass bonding substrate ST refers to a carrier glass T adhered to the upper or lower surface of the flexible substrate S. In this embodiment, the glass bonding substrate ST is provided in a rectangular shape.

흡착유닛(100)은 글라스합착기판(ST)이 흡착되는 진공 척(110)을 구비한다. 본 실시예에서 진공 척(110)은 캐리어글라스(T)에 직접 접촉되어 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착한다.The absorption unit 100 has a vacuum chuck 110 on which the glass bonding substrate ST is adsorbed. In this embodiment, the vacuum chuck 110 directly contacts the carrier glass T to vacuum-adsorb the glass substrate ST.

또한 흡착유닛(100)은, 진공 척(110)을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)에 대하여 접근 및 이격되는 방향(제2축 방향)으로 이동시키는 진공 척 이동부(120)를 포함한다. The adsorption unit 100 also includes a vacuum chuck moving part 120 for moving the vacuum chuck 110 in a direction in which the vacuum chuck 110 approaches and separates from the adsorption /

이러한 진공 척 이동부(120)는, 진공 척(110)이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록(121)과, 진공 척용 엘엠 블록(121)의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드(122)와, 진공 척용 엘엠 블록(121)을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.The vacuum chuck moving part 120 includes a vacuum chucking EL block 121 to which the vacuum chuck 110 is coupled, an LMP guide 122 for a vacuum chuck to guide movement of the vacuum chucking EL block 121, And an EL block driver (not shown) for moving the EL block 121.

또한 흡착유닛(100)에는, 진공 척 이동부(120) 및 흡착유닛용 이송유닛(200)이 연결되는 흡착유닛 프레임(130)이 마련된다.The suction unit 100 is also provided with a suction unit frame 130 to which the vacuum chuck moving unit 120 and the suction unit transfer unit 200 are connected.

한편 흡착유닛용 이송유닛(200)은, 흡착유닛(100)을 제1축 방향으로 이송한다. 이러한 흡착유닛용 이송유닛(200)은, 흡착유닛(100)이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록(210)과, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드(220)와, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.On the other hand, the suction unit transfer unit 200 transfers the suction unit 100 in the first axial direction. The transfer unit 200 for the suction unit includes an EL block 210 for the suction unit to which the suction unit 100 is coupled, an ELM guide 220 for the suction unit for guiding the movement of the EL block 210 for the suction unit, And an EL block driving unit (not shown) for the adsorption unit that moves the EL block 210 for the adsorption unit.

한편, 모서리 영역 분리유닛(300)은, 흡착유닛(100)에 연결되며, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한다.The edge region separation unit 300 is connected to the absorption unit 100 and separates the flexible substrate S from the carrier glass T in the corner region of the glass adhesion substrate ST.

이러한 모서리 영역 분리유닛(300)은, 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비하는 나이프부(310)와, 나이프부(310)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부(320)와, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부(330)와, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고 흡착유닛(100)에 결합되며 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부(340)를 포함한다. The edge region separation unit 300 includes a knife portion 310 having a knife 311 inserted between the flexible substrate S and the carrier glass T and a knife portion 310 connected to the knife portion 310, 310 which is connected to the knife unit first axis moving unit 320 and which moves the knife unit 310 in the first axis direction and the second axis moving unit 320 which moves the knife unit 310 in the first axis direction, A second shaft moving part 330 for moving the knife part 310 in the axial direction and a second shaft moving part 330 connected to the suction unit 100 and connected to the second shaft moving part 330 for moving the knife part 310 in the first axial direction, And a third axis moving unit 340 for moving the knife unit in a third axis direction intersecting the two axis directions.

나이프부(310)는 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비한다. 또한 나이프부(310)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 글라스합착기판(ST)에 대한 나이프(311)의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부(350)를 포함한다. The knife portion 310 has a knife 311 inserted between the flexible substrate S and the carrier glass T. [ The knife unit 310 further includes a knife posture control unit 350 connected to the first shaft moving unit 320 for controlling the knife 311 and controlling the posture of the knife 311 with respect to the glass substrate ST.

이러한 나이프 자세제어부(350)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 결합되는 고정블록(351)과, 고정블록(351)에 대하여 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동 가능하게 결합되는 이동블록(352)과, 이동블록(352)에 결합되는 회전 가이드 블록(353)과, 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 연결되며 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향으로 미소 이동가능하게 결합되는 회전블록(354)을 포함한다.The knife posture control unit 350 includes a fixed block 351 coupled to the first shaft moving unit 320 for the knife unit and a movable block 352 which is capable of finely moving in the first and third axial directions with respect to the fixed block 351 A rotation guide block 353 coupled to the movement block 352 and a rotation guide block 353 connected to the rotation guide block 353 so as to be rotatable about the second axis direction, 353) in the second axial direction.

또한 나이프 자세제어부(350)는, 이동블록(352)에 연결되어 이동블록(352)을 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동시키는 제1축 미소이동용 조절나사(355) 및 제3축 미소이동용 조절나사(356)와, 회전블록(354)의 제2축 방향 미세이동을 조절하는 제2축 미소이동용 조절나사(357)와, 회전블록(354)의 회전 각도를 조절하는 회전용 조절핸들(358)을 더 포함한다.The knife posture control unit 350 further includes a first axis fine movement adjustment screw 355 connected to the movement block 352 for finely moving the movement block 352 in the first axis direction and the third axis direction, A second axis fine adjustment screw 357 for adjusting the fine movement of the rotation block 354 in the second axis direction and a rotation adjustment control screw 357 for adjusting the rotation angle of the rotation block 354, And further includes a handle 358.

나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시킨다. The first shaft moving part 320 is connected to the knife part 310 and moves the knife part 310 in the first axial direction.

이러한 나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)과, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드(미도시)와, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)를 포함한다. The first axis shifting portion 320 for the knife portion includes a first axis LB block 321 for a knife portion to which the knife portion 310 is coupled and a second axis LB block 321 for a knife portion A first axis LM block drive unit 323 for moving a first axis LM guide (not shown) and a first axis LM block 321 for a knife unit.

나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)는, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.The first-axis LB block driving unit 323 for the knife unit includes a moving nut (not shown) coupled to the first-axis LB block 321 for knife unit, a ball screw (not shown) coupled to a moving nut And a servo motor (not shown) for rotating a ball screw (not shown).

나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다. The second shaft moving part 330 is connected to the first shaft moving part 320 for moving the knife part 310 in the second axis direction intersecting the first axis direction.

이러한 나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)과, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드(332)와, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부(333)를 포함한다.The second axis shifting portion 330 for the knife portion includes a second axis-axis EL block 331 for the knife portion to which the first axis-shifting portion 320 for knife portion is coupled, and a second axis- And a second axis LB block drive unit 333 for moving the second axis LB block 331 for the knife unit.

나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고, 흡착유닛(100)에 결합되며, 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시킨다. The knife unit third axis shifting unit 340 is connected to the second shaft shifting unit 330 for the knife unit and is coupled to the absorption unit 100 so that the knife unit 310 is rotated in the first and second axis directions In the third axis direction intersecting the first axis direction.

이러한 나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)과, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드(342)와, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.The third axis moving unit 340 for knife units includes a third axis line LB block 341 for the knife unit to which the second axis moving unit 330 for the knife unit is coupled and a third axis LB block 341 for moving the third axis LB block 341 (Not shown) for moving the knife unit third axis LMP block 341 and the third axis LMP guide 342 for knife unit which guides the knife unit third axis LMP block 341.

나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.(Not shown) coupled to the knife unit third-axis EL block 341 and a ball screw (not shown) engaged with a moving nut (not shown) And a servo motor (not shown) for rotating a ball screw (not shown).

한편, 박리유닛(400)은, 플렉서블 기판(S)을 파지하며 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)을 구비한다.On the other hand, the peeling unit 400 is provided with a gripping adsorption drum module 410 for gripping the flexible substrate S and vacuum-adsorbing the flexible substrate S on the outer circumferential surface thereof.

이러한 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)은, 외주면에 다수개의 진공홀(미도시)이 마련되는 드럼 몸체부(420)와, 드럼 몸체부(420)에 지지되며 모서리 영역 분리유닛(300)에 의해 분리된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부(430)를 포함한다.The adsorption drum module 410 includes a drum body 420 having a plurality of vacuum holes (not shown) on the outer circumferential surface thereof, a drum body 420 supported by the drum body 420, And a substrate holding unit 430 for gripping a corner area of the separated flexible substrate S.

기판 파지부(430)는, 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역에 접촉되며 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 드럼 몸체부(420)의 외주면으로 가압하는 그립퍼부(440)와, 그립퍼부(440)에 연결되며 그립퍼부(440)를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부(450)와, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)에 연결되고 드럼 몸체부(420)에 결합되며 그립퍼부(440)를 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부(460)를 포함한다.The substrate gripping portion 430 includes a gripper portion 440 that contacts the edge region of the flexible substrate S and presses the edge region of the flexible substrate S against the outer peripheral surface of the drum body portion 420, A first shaft moving part 450 connected to the gripper part 440 for moving the gripper part 440 in the first axial direction and a second shaft moving part 450 connected to the first shaft moving part 450 for the gripper part and coupled to the drum body part 420 And a second shaft moving part 460 for moving the gripper part 440 in the second axial direction.

그립퍼부용 제1축 이동부(450)는, 그립퍼부(440)에 연결되며, 그립퍼부(440)를 제1축 방향으로 이동시킨다. 이러한 그립퍼부용 제1축 이동부(450)는, 그립퍼부(440)가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)과, 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드(452)와, 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부(453)를 포함한다.The first shaft moving part 450 for the gripper part is connected to the gripper part 440 and moves the gripper part 440 in the first axial direction. The first axis shifting portion 450 for the gripper portion includes a first axis LB block 451 for the gripper portion to which the gripper portion 440 is coupled and a second axis LB block 451 for the gripper portion for guiding the movement of the first axis LB block 451 for the gripper portion. And includes a first axis LM guide 452 and a first axis LM block driver 453 for moving the first axis LM block 451 for the gripper unit.

그립퍼부용 제2축 이동부(460)는, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)에 연결되고, 드럼 몸체부(420)에 결합되며, 그립퍼부(440)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다.The second shaft moving part 460 for the gripper part is connected to the first shaft moving part 450 for the gripper part and is coupled to the drum body part 420. The second shaft moving part 460 for gripping the gripper part 440, 2 direction.

이러한 그립퍼부용 제2축 이동부(460)는, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)과, 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드(462)와, 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부(463)를 포함한다.The second axis shift portion 460 for the gripper portion includes a second axis axis LB block 461 for the gripper portion to which the first axis shift portion 450 for the gripper portion is engaged and a second axis LB block 461 for the gripper portion A second axis LM block 462 for the gripper part for guiding the gripper part, and a second axis LM block drive part 463 for the gripper part for moving the second axis LM block 461 for the gripper part.

또한 박리유닛(400)은, 드럼 몸체부(420)를 회전시키는 드럼 회전부(470)를 포함한다.The peeling unit 400 also includes a drum rotation part 470 for rotating the drum body part 420.

이러한 드럼 회전부(470)는, 드럼 몸체부(420)에 결합되는 회전축(471)과, 회전축(471)에 연결되며, 회전축(471)을 회전시키는 회전축용 모터(472)를 포함한다.The drum rotation unit 470 includes a rotary shaft 471 coupled to the drum body 420 and a rotary shaft motor 472 coupled to the rotary shaft 471 for rotating the rotary shaft 471.

또한 박리유닛(400)은, 드럼 몸체부(420)에 연결되며 드럼 몸체부(420)에 진공 흡착력을 제공하는 진공펌프(미도시)를 더 포함한다. 이러한 진공펌프는 후술할 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)에 플렉서블 기판(S)을 전달할 때에는 에어를 흡입하지 않고 오히려 드럼 몸체부(420)의 진공홀(H)을 통해 에어를 분사하여 플렉서블 기판(S)의 전달을 용이하게 한다.The peeling unit 400 further includes a vacuum pump (not shown) connected to the drum body 420 and providing a vacuum attraction force to the drum body 420. When the flexible substrate S is transferred to a stage unit (not shown) for a flexible substrate, which will be described later, the vacuum pump blows air through the vacuum hole H of the drum body portion 420, (S).

또한 박리유닛(400)에는, 글라스합착기판(ST)의 정전기를 제거하는 이오나이저(미도시)가 마련된다.In addition, the peeling unit 400 is provided with an ionizer (not shown) for removing static electricity from the glass adhesion substrate ST.

또한 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 박리유닛(400)에 이웃하게 배치되며 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)에 흡착된 플렉서블 기판(S)을 전달받는 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)과, 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)를 이송하는 스테이지유닛용 이송유닛(미도시)을 더 포함한다.The carrier glass peeling apparatus according to the present embodiment further includes a stage unit (not shown) for a flexible substrate which is disposed adjacent to the peeling unit 400 and receives the flexible substrate S sucked by the adsorption / And a stage unit transfer unit (not shown) for transferring a stage unit (not shown) for a flexible substrate.

본 실시예에서 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)은 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 하측에 배치된다.In this embodiment, a stage unit (not shown) for a flexible substrate is disposed below the adsorption drum module 410 serving as a holding unit.

이러한 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)은, 플렉서블 기판(S)을 지지하며 복수의 진공홀(미도시)이 마련되는 지지 플레이트(미도시)와, 진공홀(H)에 연결되는 진공펌프(미도시)를 포함한다.The stage unit for a flexible substrate (not shown) includes a support plate (not shown) supporting a flexible substrate S and provided with a plurality of vacuum holes (not shown), a vacuum pump (Not shown).

이하에서 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치의 동작을 도 1 내지 도 10에 따라 설명한다. 여기서 도 8은 도 7의 'A' 부분의 확대도이다.Hereinafter, the operation of the carrier glass peeling apparatus according to this embodiment will be described with reference to Figs. 1 to 10. Fig. Here, FIG. 8 is an enlarged view of a portion 'A' in FIG.

먼저 흡착유닛용 이송유닛(200)이 흡착유닛(100)을 이송하여 글라스합착기판(ST)을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 상측에 정위치시킨다.First, the transfer unit 200 for the suction unit transfers the suction unit 100 to place the glass-bonded substrate ST on the upper side of the suction-use suction drum module 410.

이후 진공 척(110)은 진공 척 이동부(120)에 의해 하강하고, 그에 따라 글라스합착기판(ST)의 플렉서블 기판(S)이 드럼 몸체부(420)의 외주면에 접촉된다.The vacuum chuck 110 is lowered by the vacuum chuck moving part 120 so that the flexible substrate S of the glass bonding substrate ST is brought into contact with the outer peripheral surface of the drum body part 420. [

다음 나이프(311)가 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입된다. 이후 나이프(311)가 하강하여 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 이격시킨다.(도 8참조) The next knife 311 is inserted between the flexible substrate S and the carrier glass T in the corner area of the glass bonding substrate ST. The knife 311 is lowered so that the flexible substrate S is separated from the carrier glass T in the corner area of the glass bonding substrate ST (see Fig. 8)

다음 나이프(311)가 글라스합착기판(ST)의 모서리를 따라 이동되고, 그에 따라 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)이 캐리어글라스(T)에서 분리된다.The next knife 311 is moved along the edge of the glass adhesion substrate ST so that the flexible substrate S is separated from the carrier glass T in the edge area of the glass adhesion substrate ST.

다음 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 그립퍼부(440)가 그립퍼부용 제1축 이동부(450) 및 그립퍼부용 제2축 이동부(460)에 의해 이동되어 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지한다.(도 9참조)The gripper portion 440 of the gripping and supporting drum module 410 is moved by the first shaft moving portion 450 for the gripper portion and the second shaft moving portion 460 for the gripper portion so that the edge area of the flexible substrate S (See Fig. 9).

이후 드럼 몸체부(420)가 회전되며 플렉서블 기판(S)을 외주면에 순차적으로 흡착한다. 이때 흡착유닛용 이송유닛(200)은 드럼 몸체부(420)의 회전에 동기화되어 진공 척(110)을 제1축 방향으로 이동시킨다.The drum body portion 420 is rotated and the flexible substrate S is successively attracted to the outer peripheral surface. At this time, the transfer unit 200 for the absorption unit moves the vacuum chuck 110 in the first axis direction in synchronization with the rotation of the drum body part 420.

이러한 드럼 몸체부(420)의 회전과 진공 척(110)의 이동에 의해 플렉서블 기판(S)은 드럼 몸체부(420)의 외주면에 순차적으로 흡착되고, 최종적으로 캐리어글라스(T)는 플렉서블 기판(S)에서 완전히 박리된다.(도 10 참조)The flexible substrate S is successively attracted to the outer peripheral surface of the drum body portion 420 by the rotation of the drum body portion 420 and the movement of the vacuum chuck 110. Finally, the carrier glass T is transferred to the flexible substrate S) (see Fig. 10).

이후 드럼 몸체부(420)가 반대방향으로 회전되어 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)에 플렉서블 기판(S)을 전달한다.The drum body portion 420 is rotated in the opposite direction to transfer the flexible substrate S to the stage unit (not shown) for the flexible substrate.

이와 같이 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)이 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하며, 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)이 모서리 영역이 분리된 플렉서블 기판(S)을 파지한 후 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.As described above, in the carrier glass peeling apparatus according to the present embodiment, the edge region separation unit 300 separates the flexible substrate S from the carrier glass T in the edge area of the glass adhesion substrate ST, The module 410 holds the flexible substrate S on which the edge regions are separated and vacuum-sucks the flexible substrate S on the outer circumferential surface of the carrier substrate S to thereby remove the carrier glass T from the flexible substrate S without damaging the flexible substrate S. [ Can be removed quickly and easily.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present invention has been described in detail with reference to the above drawings, the scope of the scope of the present invention is not limited to the above-described drawings and description.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 흡착유닛 110: 진공 척
120: 진공 척 이동부 121: 진공 척용 엘엠 블록
122: 진공 척용 엘엠 가이드 200: 흡착유닛용 이송유닛
210: 흡착유닛용 엘엠 블록 220: 흡착유닛용 엘엠 가이드
300: 모서리 영역 분리유닛 310: 나이프부
311: 나이프 320: 나이프부용 제1축 이동부
321: 나이프부용 제1축 엘엠 블록
323: 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부
330: 나이프부용 제2축 이동부
331: 나이프부용 제2축 엘엠 블록
332: 나이프부용 제2축 엘엠 가이드
333: 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부
340: 나이프부용 제3축 이동부
341: 나이프부용 제3축 엘엠 블록
342: 나이프부용 제3축 엘엠 가이드 350: 나이프 자세제어부
351: 고정블록 352: 이동블록
353: 회전 가이드 블록 354: 회전블록
355: 제1축 미소이동용 조절나사
356: 제3축 미소이동용 조절나사
357: 제2축 미소이동용 조절나사 358: 회전용 조절핸들
400: 박리유닛 410: 파지 겸용 흡착 드럼모듈
420: 드럼 몸체부 430: 기판 파지부
440: 그립퍼부 450: 그립퍼부용 제1축 이동부
451: 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록
452: 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드
453: 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부
460: 그립퍼부용 제2축 이동부
461: 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록
462: 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드
463: 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부
470: 드럼 회전부 471: 회전축
472: 회전축용 모터 S: 플렉서블 기판
T: 캐리어글라스 ST: 글라스합착기판100: suction unit 110: vacuum chuck
120: Vacuum chuck moving part 121: Elm block for vacuum chuck
122: Elm guide 200 for vacuum chuck 200: Feed unit for adsorption unit
210: EL block 220 for absorption unit 220: ELM guide for absorption unit
300: edge region separation unit 310: knife unit
311: knife 320: first shaft moving part for knife
321: 1st axis L-block for knife part
323: First axis EL block driving part for knife
330: second shaft moving part for knife part
331: Second axis EL block for knife part
332: 2nd axis LM Guide for knife
333: second axis EL block driving part for knife part
340: Third shaft moving part for knife part
341: 3rd axis EL block for knife base
342: third axis LM guide for knife unit 350: knife posture control unit
351: fixed block 352: moving block
353: rotation guide block 354: rotation block
355: 1st axis fine moving adjustment screw
356: Adjusting screw for 3rd axis fine movement
357: second axis fine moving adjustment screw 358: rotation adjustment handle
400: peeling unit 410: adsorption drum module
420: drum body part 430:
440: gripper part 450: first shaft moving part for gripper part
451: 1st axis L-block for gripper part
452: 1st axis LM guide for gripper part
453: First-axis L-shaped block driver for gripper part
460: second shaft moving part for gripper part
461: 2nd axis L-block for gripper part
462: Second axis LM guide for gripper part
463: second axis LB block driver for gripper part
470: Drum rotating part 471:
472: Motor for rotary shaft S: Flexible board
T: Carrier glass ST: Glass bonding substrate

Claims (16)

플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판이 흡착되는 진공 척을 구비하는 흡착유닛;
상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛;
상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛; 및
상기 플렉서블 기판을 파지하며 외주면에 상기 플렉서블 기판을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈을 구비하는 박리유닛을 포함하는 캐리어글라스 박리장치.An adsorption unit having a vacuum chuck on which a glass bonding substrate on which a carrier glass is adhered is adsorbed on one surface of a flexible substrate;
A transfer unit for the suction unit for transferring the suction unit;
A corner region separation unit connected to the absorption unit, for separating the flexible substrate from the carrier glass in an edge region of the glass adhesion substrate; And
And a peeling unit having a gripping and absorbing drum module for gripping the flexible substrate and vacuum-sucking the flexible substrate on an outer circumferential surface thereof. 제1항에 있어서,
상기 모서리 영역 분리유닛은,
상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부;
상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부;
상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및
상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.The method according to claim 1,
The edge region separation unit includes:
A knife portion having a knife inserted between the flexible substrate and the carrier glass;
A first shaft moving part connected to the knife part and moving the knife part in a first axial direction;
A second shaft moving unit connected to the first shaft moving unit for the knife unit and moving the knife unit in a second axis direction intersecting the first axis direction; And
And a third shaft moving part connected to the second shaft moving part for knife part and coupled to the absorption unit and moving the knife part in a third axis direction intersecting the first axis direction and the second axis direction A carrier glass peeling device. 제2항에 있어서,
상기 나이프부용 제1축 이동부는,
상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록;
상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및
상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first shaft moving part for knife part comprises:
A first axis LB block for a knife portion to which the knife portion is coupled;
A first axis LM guide for a knife unit for guiding movement of the first axis LM block for knife formation; And
And a first axis LB block driving part for moving the knife first axis LB block. 제2항에 있어서,
상기 나이프부용 제2축 이동부는,
상기 나이프부용 제1축 이동부가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록;
상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드; 및
상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.3. The method of claim 2,
Wherein the second shaft moving part for knife part comprises:
A second axis LM block for a knife unit to which the first axis moving unit for the knife unit is coupled;
A second axis LM guide for a knife unit for guiding movement of the second axis LM block for knife formation; And
And a second axially L-shaped block driver for moving the second axially L-shaped block for knife part. 제2항에 있어서,
상기 나이프부용 제3축 이동부는,
상기 나이프부용 제2축 이동부가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록;
상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드; 및
상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.3. The method of claim 2,
Wherein the third shaft moving part for knife part comprises:
A third axis LM block for a knife part to which the second axis moving part for knife part is coupled;
A third axis LM guide for a knife portion for guiding movement of the third axis LM block for knife formation; And
And a third axis LB block driving part for moving the third axis LB block for knife part. 제2항에 있어서,
상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.3. The method of claim 2,
Wherein the knife portion includes a knife posture control portion for controlling a posture of the knife with respect to the glass bonding substrate. 제1항에 있어서,
상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈은,
외주면에 다수개의 진공홀이 마련되는 드럼 몸체부; 및
상기 드럼 몸체부에 지지되며, 모서리 영역 분리유닛에 의해 분리된 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.The method according to claim 1,
The adsorption /
A drum body portion having a plurality of vacuum holes formed on an outer circumferential surface thereof; And
And a substrate gripping portion supported by the drum body portion and gripping an edge region of the flexible substrate separated by the edge region separation unit. 제7항에 있어서,
상기 기판 파지부는,
상기 플렉서블 기판의 모서리 영역에 접촉되며, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 상기 드럼 몸체부의 외주면으로 가압하는 그립퍼부;
상기 그립퍼부에 연결되며, 상기 그립퍼부를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부; 및
상기 그립퍼부용 제1축 이동부에 연결되고 상기 드럼 몸체부에 결합되며, 상기 그립퍼부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.8. The method of claim 7,
Wherein the substrate holding unit comprises:
A gripper portion contacting the edge region of the flexible substrate and pressing an edge region of the flexible substrate to the outer peripheral surface of the drum body portion;
A first shaft moving part connected to the gripper part and adapted to move the gripper part in a first axial direction; And
And a second shaft moving part connected to the first shaft moving part for the gripper part and coupled to the drum body part, for moving the gripper part in a second axial direction intersecting the first axial direction, . 제8항에 있어서,
상기 그립퍼부용 제1축 이동부는,
상기 그립퍼부가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록;
상기 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드; 및
그립퍼부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.9. The method of claim 8,
Wherein the first shaft moving part for the gripper part comprises:
A first axis LB block for the gripper part to which the gripper part is coupled;
A first axis LM guide for a gripper part for guiding movement of the first axis LM block for the gripper part; And
And a first axis LB block driving part for moving the first axis LB block for gripper part. 제8항에 있어서,
상기 그립퍼부용 제2축 이동부는,
상기 그립퍼부용 제1축 이동부가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록;
상기 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드; 및
그립퍼부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.9. The method of claim 8,
Wherein the second shaft moving part for the gripper part comprises:
A second axis LB block for a gripper part to which the first axis moving part for the gripper part is coupled;
A second axis LM guide for a gripper part for guiding the movement of the second axis LM block for the gripper part; And
And a second axially L-shaped block driver for the gripper unit for moving the second axle L-block for gripper unit. 제7항에 있어서,
상기 박리유닛은, 상기 드럼 몸체부를 회전시키는 드럼 회전부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.8. The method of claim 7,
Wherein the peeling unit includes a drum rotation part for rotating the drum body part. 제11항에 있어서,
상기 드럼 회전부는,
상기 드럼 몸체부에 결합되는 회전축; 및
상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 회전축용 모터를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.12. The method of claim 11,
The drum-
A rotating shaft coupled to the drum body; And
And a rotating shaft motor connected to the rotating shaft for rotating the rotating shaft. 제1항에 있어서,
상기 흡착유닛은,
상기 진공 척을 상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 진공 척 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.The method according to claim 1,
Wherein the adsorption unit comprises:
And a vacuum chuck moving portion for moving the vacuum chuck in a direction in which the vacuum chuck approaches and separates from the gripping and adsorbing drum module. 제13항에 있어서,
상기 진공 척 이동부는,
상기 진공 척이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록;
상기 진공 척용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드; 및
상기 진공 척용 엘엠 블록을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.14. The method of claim 13,
The vacuum chuck moving unit includes:
An EL block for a vacuum chuck to which the vacuum chuck is coupled;
An LM guide for a vacuum chuck for guiding the movement of the LM block for the vacuum chuck; And
And an EL block driver for a vacuum chuck to move the EL block for the vacuum chuck. 제1항에 있어서,
상기 이송유닛은,
상기 흡착유닛이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록;
상기 흡착유닛용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드; 및
상기 흡착유닛용 엘엠 블록을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.The method according to claim 1,
The transfer unit
An ELM block for the adsorption unit to which the adsorption unit is coupled;
An ELM guide for a suction unit for guiding the movement of the ELM block for the suction unit; And
And an EL block driver for the adsorption unit for moving the EL block for the adsorption unit. 제1항에 있어서,
상기 박리유닛에 마련되며, 상기 글라스합착기판의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함하는 캐리어글라스 박리장치.The method according to claim 1,
And an ionizer provided in the peeling unit for removing static electricity from the glass bonding substrate.
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