KR20150028005A - Dummy glass remover - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 더미 글라스 제거장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 최종적으로 제작되는 단위기판에 불필요하게 붙어 있는 더미 글라스(dummy glass)를 보다 효과적으로 제거함으로써 수작업에 의한 불편함 및 번거로움을 해소할 수 있고, 또한 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상에 기여할 수 있는 더미 글라스 제거장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a dummy glass removal apparatus for removing a dummy glass unnecessarily attached to a finally produced unit substrate more effectively, thereby eliminating inconvenience and troubles caused by manual operation And which can contribute to productivity improvement due to a reduction in tact time.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is thinner and lighter image display device than a cathode ray tube (CRT), which was conventionally used as a display in a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display crystal display, a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED).
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 OLED는, 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.Of such flat display devices (FPDs), OLEDs are cemented thin display devices that realize a color image by self-emission of organic materials, and have attracted attention as a promising display device of the next generation in that the structure is simple and the light efficiency is high.
OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.OLEDs can be divided into passive PMOLEDs and active AMOLEDs depending on the driving method. In particular, AMOLED is a self-emissive display that has a faster response speed than conventional displays, has a natural color and low power consumption.
또한 AMOLED는 유리기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.In addition, if AMOLED is applied to film rather than glass substrate, it can implement the technology of flexible display.
이러한 OLED의 제조 공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.The manufacturing process of the OLED includes a pattern forming process, an organic thin film deposition process, a sealing process, and a bonding process in which a substrate having an organic thin film deposited thereon and a sealing process are attached to the substrate.
합착 공정에서는 봉지 공정을 거친 기판과 증착 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 과정이 진행되는데, 주로 봉지 공정을 거친 기판이 하판이 되고, 증착 공정을 거친 기판이 상판이 된다.In the laminating process, a laminating process is performed in which a substrate having undergone a sealing process and a substrate having undergone a deposition process are adhered to each other. The substrate having undergone the sealing process becomes a lower plate and the substrate having undergone the vapor deposition process becomes a top plate.
상판 및 하판이 합착된 상태로 형성된 대면적 원기판을 다시 수 내지 수십 등분으로 절단하여 단위기판으로 만들어진 후, 모듈(module) 공정에서 단위기판의 패드 부분에 IC 드라이버 등을 실장함으로써 하나의 완제품으로 출시된다.The large-area original substrate formed in a state in which the upper plate and the lower plate are joined together is again cut into several to several tens of parts to form a unit substrate, and then an IC driver or the like is mounted on the pad portion of the unit substrate in a module process, Is released.
따라서 기판을 제조하는 공정 중에는, 대면적 원기판을 수 내지 수십 개의 단위기판들로 절단(혹은 스크라이브)하기 위한 절단 공정이 포함된다.Accordingly, the step of manufacturing a substrate includes a cutting step for cutting (or scribing) a large-area original substrate into several to several tens unit substrates.
원기판에 대한 절단 공정은 별도의 시스템을 통해 행해지는데, 보통, 스크라이버(scriber) 혹은 스크라이브 장치(scribe apparatus)라고도 불리는 절단시스템을 통해 수행된다.The cutting process for the original substrate is carried out through a separate system, usually through a cutting system, also called a scriber or scribe apparatus.
이러한 절단시스템은, 일반적으로 원기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛과, 원기판을 스크라이브 라인을 따라 절단하는 브레이크 유닛을 구비하고 있다.Such a cutting system generally includes a scribe unit for forming a scribe line on an original substrate and a brake unit for cutting the original substrate along a scribe line.
이러한 절단시스템을 통해, 스크라이브 유닛에 의해 원기판에 스크라이브 라인이 형성된 후, 브레이크 유닛을 통해 스크라이브 라인을 따라 원기판을 다수의 단위기판으로 절단한다.Through the cutting system, a scribe line is formed on the original substrate by the scribe unit, and then the original substrate is cut into a plurality of unit substrates along the scribe line through the break unit.
한편, 스크라이브 라인을 따라 원기판을 다수의 단위기판으로 절단시키는 경우, 단위기판들 각각의 절단부위에 불필요한 더미 글라스(dummy glass)가 붙어 있지 않아야 하는 것이 일반적이다.On the other hand, when the original substrate is cut into a plurality of unit substrates along the scribe line, it is general that unnecessary dummy glass should not be attached to the cut portions of the unit substrates.
하지만, 여러 가지 이유로 단위기판들의 절단부위에 더미 글라스가 붙어 있을 수 있는데, 종래에는 이처럼 단위기판에 붙어 있는 더미 글라스를 제거하기 위한 별도의 장치가 마련되어 있지 않아 오로지 수작업에 의존하여 더미 글라스를 제거해야 했기 때문에 불편하거나 번거로웠으며, 이로 인해 택트 타임(tact time)이 증가하여 생산성이 감소되는 문제점이 있었다.However, there may be a dummy glass attached to the cut portion of the unit substrates for various reasons. In the past, there is no separate device for removing the dummy glass attached to the unit substrate, so that the dummy glass must be removed only by hand Which is inconvenient or troublesome, which leads to an increase in tact time and a decrease in productivity.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 최종적으로 제작되는 단위기판에 불필요하게 붙어 있는 더미 글라스(dummy glass)를 보다 효과적으로 제거함으로써, 수작업에 의한 불편함 및 번거로움을 해소할 수 있고, 또한 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상에 기여할 수 있는 더미 글라스 제거장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to eliminate dummy glass unnecessarily attached to a finally produced unit substrate more effectively, thereby eliminating the inconvenience and troubles caused by manual operation, which can contribute to improvement of productivity due to reduction of tact time.
본 발명의 일 측면에 따르면, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 상호간 이격되어 배치되는 복수의 안착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛; 상기 안착 스테이지들과 연결되며, 상기 안착 스테이지들의 상호 작용에 의해 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 복수의 상기 단위기판으로 절단시키는 절단유닛; 및 상기 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 상기 더미 글라스를 타격하는 복수의 타격핸드와, 상기 타격핸드들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부를 구비하는 타격유닛을 포함하는 더미 글라스 제거장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a stage unit comprising: a stage unit having a plurality of seating stages spaced apart from each other on which a substrate on which a scribe line for manufacturing a unit substrate is formed; A cutting unit connected to the seating stages and cutting the original substrate into a plurality of unit substrates along the scribe lines by mutual action of the seating stages; And a plurality of striking hands for striking the dummy glass to remove dummy glass attached to the unit substrates, and a striking hand interval adjusting unit for adjusting a distance between the striking hands, A dummy glass removal device may be provided.
상기 타격핸드 간격 조절부는, 외주면에 상기 타격핸드들 각각에 마련된 캠 팔로워(cam follower)가 삽입되는 복수의 삽입홈이 상호 이격되어 형성되는 드럼 캠; 상기 타격핸드에 연결되며, 상기 타격핸드의 이동을 안내하는 가이드레일; 및 상기 드럼 캠에 연결되며, 상기 드럼 캠를 회전시키는 드럼 캠 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the striking hand interval adjusting unit comprises: a drum cam having a plurality of insertion grooves spaced apart from each other, the cam follower being provided on each of the striking hands; A guide rail connected to the impact hand and guiding movement of the impact hand; And a drum cam driving unit connected to the drum cam and rotating the drum cam.
상기 삽입홈들 사이의 간격은, 상기 드럼 캠의 중심 축선에 평행한 임의의 가상선을 따라 상호 동일할 수 있다.The spacing between the insertion grooves may be identical to each other along any imaginary line parallel to the central axis of the drum cam.
상기 타격유닛은, 상기 타격핸드 간격 조절부를 지지하는 타격핸드 지지부; 상기 타격핸드 지지부에 결합되며, 상기 타격핸드 지지부를 업/다운(up/down)시키는 타격용 업/다운(up/down) 구동부; 및 상기 타격핸드 지지부에 마련되며, 상기 단위기판에 대한 상기 타격핸드의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부를 더 포함할 수 있다.The striking unit includes: a striking hand supporting portion supporting the striking hand gap adjusting portion; A hitting up / down driving part coupled to the hitting hand supporting part to up / down the hitting hand supporting part; And a pitch angle adjusting unit which is provided on the impact hand supporting unit and adjusts a pitch angle of the impact hand with respect to the unit substrate.
상기 피치각도 조절부는, 상기 타격핸드 간격 조절부를 상기 타격핸드 지지부에 상대회동 가능하게 결합하는 피치각도 조절용 힌지축; 상기 타격핸드 간격 조절부가 연결되며, 상기 타격핸드 지지부에 대하여 상대이동 가능한 피치각도 조절용 승강부; 및 상기 피치각도 조절용 승강부에 연결되며, 상기 피치각도 조절용 승강부를 업/다운(up/down) 구동시키는 피치각도 조절용 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the pitch angle adjusting unit includes: a pitch angle adjusting hinge shaft that rotatably couples the impact hand adjusting unit to the impact hand supporting unit; A pitch angle adjustment elevation part connected to the impact hand distance adjustment part and relatively movable with respect to the impact hand support part; And a pitch angle adjusting driving unit connected to the pitch angle adjusting elevating unit and driving the pitch angle adjusting elevator up / down.
상기 피치각도 조절용 구동부는, 상기 타격핸드 지지부에 지지되며, 상기 피치각도 조절용 승강부에 치합되는 조절너트를 포함할 수 있다.The pitch angle adjusting driving part may include an adjusting nut supported by the impact hand supporting part and engaged with the pitch angle adjusting elevating part.
상기 타격용 업/다운(up/down) 구동부는, 상기 타격핸드 지지부가 결합되는 타격용 엘엠 블록(LM block); 상기 타격용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 타격용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 타격용 엘엠 가이드(LM guide); 및 상기 타격용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 타격용 엘엠 블록의 이동을 이동시키는 타격용 구동 모터를 포함할 수 있다.The striking up / down driving unit may include an LM block for striking the striking hand supporting unit; An impacting LM guide connected to the impacting EL block for guiding movement of the impacting EL block; And a striking drive motor connected to the striking ELM block for moving the movement of the striking ELM block.
상기 안착 스테이지는, 상단부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 상기 원기판 또는 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부를 포함할 수 있다.The seating stage may include a protrusion protruding from a central region of an upper end portion and contacting and supporting the original substrate or the unit substrate.
상기 돌출부에는, 상기 원기판 또는 단위 기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀이 마련될 수 있다.The projecting portion may be provided with a plurality of vacuum holes for sucking the original substrate or the unit substrate by vacuum.
상기 타격핸드는, 상기 타격핸드 간격 조절부에 연결되는 핸드 몸체부; 상기 핸드 몸체부에 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 더미 글라스를 타격하는 나이프부; 및 상기 핸드 몸체부에 마련되며, 상기 나이프부에 연결되어 충격을 흡수하는 충격 흡수부를 포함할 수 있다.Wherein the striking hand comprises: a hand body portion connected to the striking hand gap adjusting portion; A knife portion connected to the hand body portion so as to be movable relative to each other and striking the dummy glass; And a shock absorber provided on the hand body portion and connected to the knife portion to absorb an impact.
상기 충격 흡수부는, 상기 나이프부를 상기 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하는 제1 탄성체; 및 상기 나이프부를 상기 핸드 몸체부 방향으로 탄성바이어스하는 제2 탄성체를 포함할 수 있다.Wherein the shock absorbing portion comprises: a first elastic body for elastically biasing the knife portion in the dummy glass direction; And a second elastic body for elastically biasing the knife portion toward the hand body portion.
상기 충격 흡수부는, 상기 제1 탄성체 또는 제2 탄성체 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부를 더 포함할 수 있다.The impact absorbing unit may further include an elastic bias force adjusting unit for adjusting an elastic bias force of at least one of the first elastic body and the second elastic body.
상기 탄성바이어스력 조절부는, 상기 핸드 몸체부에 고정 결합되는 고정너트; 및 상기 고정너트에 상대이동 가능하게 치합되며, 상기 제1 탄성체를 가압하는 가압볼트를 포함할 수 있다.The elastic bias force adjusting unit may include: a fixing nut fixedly coupled to the hand body; And a pressing bolt that is engaged with the fixing nut in a relatively movable manner and presses the first elastic body.
상기 절단유닛은, 상기 안착 스테이지를 지지하며, 상기 안착 스테이지가 틸팅 가능하게 결합되는 틸팅용 스테이지 지지부; 및 상기 틸팅용 스테이지 지지부에 연결되며, 상기 안착 스테이지를 상기 원기판의 표면에 대해 상호 다른 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅구동부를 포함할 수 있다.Wherein the cutting unit comprises: a tilting stage support for supporting the seating stage, the seating stage being tiltably coupled; And a tilting driving unit connected to the tilting stage support unit and tilting the seating stage at different angles with respect to the surface of the substrate.
상기 틸팅용 스테이지 지지부는, 상기 안착 스테이지의 틸팅 축심을 이루는 틸팅 중심축이 마련되는 지지부 몸체; 및 상기 지지부 몸체에 마련되며, 상기 안착 스테이지에 연결되어 상기 안착 스테이지가 틸팅되도록 안착 스테이지를 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체를 포함할 수 있다.Wherein the tilting stage support unit includes: a support body having a tilting center axis forming a tilting axis of the seating stage; And a tilting elastic body which is provided on the support body and is connected to the seating stage to elastically bias the seating stage to tilt the seating stage.
상기 틸팅구동부는, 상기 안착 스테이지 각각의 하단부에 돌출되어 마련되는 복수의 지지대; 상기 지지대에 하나씩 대응되게 접촉 지지되고, 외주면에 요입되어 형성된 절개부가 마련되는 복수의 회전캠; 상기 회전캠에 연결된 회전축; 및 상기 회전축을 회전시키는 회전 구동부를 포함할 수 있다.The tilting driving unit may include: a plurality of supports protruding from a lower end of each of the seating stages; A plurality of rotation cams supported in correspondence to the supports one by one and provided with a cutout formed by being recessed in the outer circumferential surface; A rotating shaft connected to the rotating cam; And a rotation driving unit for rotating the rotation shaft.
본 발명의 실시예들은, 타격유닛에 타격핸드들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부가 구비됨으로써, 단위기판 또는 더미 글라스의 크기에 따라 타격핸드들 사이의 이격거리를 간편하게 조절할 수 있고, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상에 기여할 수 있다.The embodiments of the present invention can easily adjust the distance between the impacting hands according to the size of the unit substrate or the dummy glass by providing the impacting hand space adjusting unit for adjusting the distance between the impacting hands to the impacting unit, Thereby contributing to an improvement in productivity due to a reduction in tact time.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이다.
도 3은 도 2를 다른 방향에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 안착 스테이지가 도시된 도면이다.
도 5는 도 4의 측면도이다.
도 6은 도 1의 타격유닛이 도시된 도면이다.
도 7은 도 6의 드럼 캠이 도시된 정면도이다.
도 8 및 도9는 도 6의 피치각도 조절부가 도시된 도면이다.
도 10은 도 6의 타격핸드가 도시된 도면이다.
도 11은 도 10의 정면도이다.
도 12는 도 10의 측면도이다.
도 13은 도 12의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 14 및 도 15는 도 3의 틸팅 구동부에 의한 원기판의 절단과정이 도시된 동작상태도이다.1 is a perspective view illustrating a dummy glass removing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view showing the stage unit of Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a view of Fig. 2 viewed from the other direction. Fig.
4 is a view showing the seating stage of Fig.
5 is a side view of Fig.
6 is a view showing the striking unit of Fig.
7 is a front view showing the drum cam of Fig.
Figs. 8 and 9 are views showing the pitch angle adjusting unit of Fig. 6. Fig.
Fig. 10 is a view showing the striking hand of Fig. 6;
11 is a front view of Fig.
12 is a side view of Fig.
13 is a cross-sectional view taken along the line AA in Fig.
FIGS. 14 and 15 are operation state diagrams illustrating a cutting process of the original substrate by the tilting driving unit of FIG. 3. FIG.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in order to avoid unnecessary obscuration of the present invention.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 원기판이란, OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 말한다.Prior to description with reference to the drawings, the original substrate to be described below refers to a glass substrate for OLED (Organic Light Emitting Diodes).
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치가 도시된 사시도이며, 도 2는 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이고, 도 3은 도 2를 다른 방향에서 바라본 도면이며, 도 4는 도 2의 안착 스테이지가 도시된 도면이고, 도 5는 도 4의 측면도이며, 도 6은 도 1의 타격유닛이 도시된 도면이고, 도 7은 도 6의 드럼 캠이 도시된 정면도이며, 도 8 및 도9는 도 6의 피치각도 조절부가 도시된 도면이고, 도 10은 도 6의 타격핸드가 도시된 도면이며, 도 11은 도 10의 정면도이고, 도 12는 도 10의 측면도이며, 도 13은 도 12의 A-A선에 따른 단면도이고, 도 14 및 도 15는 도 3의 틸팅 구동부에 의한 원기판의 절단과정이 도시된 동작상태도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a dummy glass removing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing the stage unit of FIG. 1, FIG. 3 is a view of FIG. 2 viewed from another direction, Fig. 5 is a side view of Fig. 4, Fig. 6 is a view showing the striking unit of Fig. 1, Fig. 7 is a front view of the drum cam of Fig. 6, 8 and 9 are views showing the pitch angle adjusting unit of Fig. 6, Fig. 10 is a view showing the striking hand of Fig. 6, Fig. 11 is a front view of Fig. 10, Fig. 12 is a side view of Fig. 13 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 12, and FIGS. 14 and 15 are operation state diagrams showing a cutting process of the original substrate by the tilting drive unit shown in FIG.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 더미 글라스 제거장치는, 대면적 원기판(도 14 참조)을 스크라이브 라인(scribe line, 도 14 참조)을 따라 절단하여 다수의 단위기판(도 15 참조)으로 만들고, 이후에 단위기판에 불필요하게 붙어 있는 더미 글라스(dummy glass, 도 15 참조)를 타격하여 제거하기 위한 장치이다.Referring to these figures, the dummy glass removal apparatus of the present embodiment is configured by cutting a large-area original substrate (see FIG. 14) along a scribe line (see FIG. 14) into a plurality of unit substrates , And then striking and removing a dummy glass (see Fig. 15) unnecessarily attached to the unit substrate.
설명의 편의를 위해, 원기판, 스크라이브 라인, 단위기판 및 더미 글라스에 대한 도면 참조부호는 생략하는 대신, 도 8, 도 9, 도 14 또는 도 15에 이들의 용어를 기재하였다.For convenience of explanation, reference numerals for the original substrate, the scribe line, the unit substrate, and the dummy glass are omitted, and these terms are described in Figs. 8, 9, 14, or 15.
도 1 내지 15에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 상호간 이격되어 배치되는 복수의 안착 스테이지(110)를 구비하는 스테이지유닛(100)과, 안착 스테이지(110)들과 연결되며 안착 스테이지(110)들의 상호 작용에 의해 스크라이브 라인을 따라 원기판을 복수의 단위기판으로 절단시키는 절단유닛(200)과, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격하는 복수의 타격핸드(310) 및 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부(320)(320)를 구비하는 타격유닛(300)을 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 15, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes a plurality of seating stages (not shown) spaced apart from each other on which an original substrate on which a scribe line for manufacturing a unit substrate is formed, A cutting unit 200 for cutting the original substrate into a plurality of unit substrates along a scribe line by interaction between the
스테이지유닛(100)은, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 상호간 이격되어 배치되는 안착 스테이지(110)를 포함한다. 본 실시예에서 안착 스테이지(110)는, 다수개로 마련되어 상호간 이격 배치된다. The
본 실시예에서 원기판이 11개의 단위기판으로 절단되므로, 원기판의 절단 후 11개의 단위기판을 안정적으로 지지하기 위해 본 실시예의 스테이지유닛(100)은 11개의 안착 스테이지(110)를 구비한다.In this embodiment, since the original substrate is cut into 11 unit substrates, the
여기서, 본 발명의 권리범위는 안착 스테이지(110)의 개수에 의해 제한되지 않는다. 즉 2개의 단위기판이 만들어지는 경우에는 안착 스테이지(110)가 2개로 구성될 것이며, 5개 이상이 단위기판이 만들어지는 경우에는 안착 스테이지(110)가 5개 이상으로 구성될 것이다.Here, the scope of right of the present invention is not limited by the number of seating stages 110. [ That is, in the case where two unit substrates are made, two of the seating stages 110 will be composed, and when five or more unit substrates are made, the
안착 스테이지(110)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 직사각형의 블록 형상으로 마련된다. 이러한 안착 스테이지(110)는, 상단부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 원기판 또는 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부(111)를 포함한다. The
이러한 돌출부(111)에는, 원기판 또는 단위 기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀(112)이 마련된다. The projecting
이러한 기판 또는 단위 기판의 진공 흡착을 통해, 안착 스테이지(110)에 이송된 원기판 또는 원기판에서 절단된 단위기판은 안착 스테이지(110)에 안정적으로 지지된다.Through the vacuum suction of the substrate or the unit substrate, the original substrate transferred to the
또한, 돌출부(111)는 안착 스테이지(110)와 원기판의 접촉 면적을 최소화하여 원기판의 절단 시 절단 불량을 낮추는 역할을 하는데, 설명의 편의를 위해 자세한 설명은 후술한다.The projecting
한편 절단유닛(200)은, 안착 스테이지(110)들과 연결되며, 안착 스테이지(110)들의 상호 작용에 의해 스크라이브 라인을 따라 원기판을 복수의 단위기판으로 절단시킨다.On the other hand, the cutting unit 200 is connected to the seating stages 110 and cuts the original substrate into a plurality of unit substrates along the scribing line by the interaction of the seating stages 110.
이러한 절단유닛(200)은, 안착 스테이지(110)를 지지하며 안착 스테이지(110)가 틸팅 가능하게 결합되는 틸팅용 스테이지 지지부(220)와, 틸팅용 스테이지 지지부(220)에 연결되며 안착 스테이지(110)를 원기판의 표면에 대해 상호 다른 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅구동부(210)를 포함한다.The cutting unit 200 includes a tilting
즉 절단유닛(200)은, 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 틸팅용 스테이지 지지부(220) 및 틸팅구동부(210)를 통해 안착 스테이지(110)를 틸팅시켜 원기판을 단위기판으로 절단한다. 이러한 틸팅용 스테이지 지지부(220) 및 틸팅구동부(210)의 자세한 구성은 설명의 편의를 위해 후술한다.4 or 5, the cutting unit 200 tilts the
한편 타격유닛(300)은, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(도 15 참조)를 제거하는 부분으로서, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격하는 복수의 타격핸드(310)와, 타격핸드(310)들에 연결되며 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부(320)를 포함한다. On the other hand, the
타격핸드(310)는 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격한다. 이러한 타격핸드(310)의 구성은 설명의 편의를 위해 후술한다.The
타격핸드 간격 조절부(320)는, 타격핸드(310)에 연결되며, 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절한다. 이러한 타격핸드 간격 조절부(320)는, 외주면에 타격핸드(310)들 각각에 마련된 캠 팔로워(cam follower, F)가 삽입되는 복수의 삽입홈(H)이 상호 이격되어 형성되는 드럼 캠(321)과, 타격핸드(310)에 연결되며 타격핸드(310)의 이동을 안내하는 가이드레일(미도시)과, 드럼 캠(321)에 연결되며 드럼 캠(321)를 회전시키는 드럼 캠 구동부(323)를 포함한다.The striking hand
드럼 캠(321)의 외주면에는, 도 7에 도시된 바와 같이, 타격핸드(310)들 각각에 마련된 캠 팔로워(F)가 삽입되는 복수의 삽입홈(H)이 상호 이격되어 형성된다.7, a plurality of insertion grooves H into which the cam followers F provided in the respective impacting
삽입홈(H)은, 각각 독립적으로 형성되어 상호 연통되지 않으며, 적어도 어느 하나는 드럼 캠(321)의 반경 방향에 대하여 비스듬하게 경사진 방향으로 형성된다. 따라서 타격핸드(310)는 드럼 캠(321)의 1회전에 의해 왕복 직선운동을 수행한다.At least one of the insertion grooves H is formed so as to be inclined obliquely with respect to the radial direction of the
본 실시예에서 삽입홈(H)들 사이의 간격(T)은, 드럼 캠(321)의 중심 축선에 평행한 임의의 가상선(L)을 따라 상호 동일하다. 따라서 드럼 캠(321)의 회전에 무관하게 타격핸드(310) 상호간은 동일한 이격거리를 유지한다, In this embodiment, the intervals T between the insertion grooves H are mutually the same along any imaginary line L parallel to the central axis of the
즉 드럼 캠(321)의 회전각도에 따라 타격핸드(310) 상호간의 절대적 이격거리는 변화하지만, 타격핸드(310) 상호간의 상대적 이격거리는 동일하다. 예를 들어 드럼 캠(321)이 0도에서 90도로 회전하여 타격핸드(310) 상호간의 절대적 이격거리가 10cm에서 20cm으로 늘어난 경우, 타격핸드(310) 상호간의 상대적 이격거리는 모두 20cm로 동일하다는 것이다.(물론, 드럼 캠(321)이 0도 회전 각도를 갖는 경우 타격핸드(310) 상호간의 상대적 이격거리는 모두 10cm로 동일함) 여기서, 드럼 캠(321)의 회전 각도 및 타격핸드(310)의 이격거리에 관한 수치는 이해를 돕기 위한 임의의 량일 뿐이고, 본 실시예의 구조에 의해 발생되는 구체적인 수치는 아니다.That is, the absolute distance between the impacting
가이드레일(미도시)은, 타격핸드(310)에 연결되며, 타격핸드(310)의 직선이동을 안내한다.The guide rail (not shown) is connected to the
드럼 캠 구동부(323)는, 드럼 캠(321)과 연결되며, 드럼 캠(321)을 회전시킨다. 이러한 드럼 캠 구동부(323)는 정,역회전이 가능한 서보 모터로 이루어진다.The drum
또한 타격유닛(300)은, 타격핸드 간격 조절부(320)를 지지하는 타격핸드 지지부(330)와, 타격핸드 지지부(330)에 결합되며 타격핸드 지지부(330)를 업/다운(up/down)시키는 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)와, 타격핸드 지지부(330)에 마련되며 단위기판에 대한 타격 핸드의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부(350)를 더 포함한다.The
타격핸드 지지부(330)는, 피치각도 조절부(350)를 통해 타격핸드 간격 조절부(320)에 연결되어 타격핸드 간격 조절부(320)를 지지한다. The striking
피치각도 조절부(350)는, 도 8 또는 도 9에 도시된 바와 같이, 타격핸드 지지부(330)에 마련되며 단위기판에 대한 타격핸드(310)의 피치각도를 조절한다. 즉 피치각도 조절부(350)는, 단위기판에 대해 타격핸드(310)가 기울어지는 각도를 조절한다.8 or 9, the pitch
이러한 피치각도 조절부(350)는, 타격핸드 간격 조절부(320)를 타격핸드 지지부(330)에 상대회동 가능하게 결합하는 피치각도 조절용 힌지축(351)과, 타격핸드 간격 조절부(320)가 연결되며 타격핸드 지지부(330)에 대하여 상대이동 가능한 피치각도 조절용 승강부(352)와, 피치각도 조절용 승강부(352)에 연결되며 피치각도 조절용 승강부(352)를 업/다운(up/down) 구동시키는 피치각도 조절용 구동부(353)를 포함한다.The pitch
타격핸드 간격 조절부(320)는, 피치각도 조절용 힌지축(351)을 통해 타격핸드 지지부(330)에 상대회동 가능하게 결합된다. The striking hand
피치각도 조절용 승강부(352)는, 타격핸드 간격 조절부(320)가 연결되며, 피치각도 조절용 구동부(353)에 의해 타격핸드 지지부(330)에 대하여 상대 이동된다. 이러한 피치각도 조절용 승강부(352)에는 피치각도 조절용 구동부(353)가 연결되는 나사산이 마련된다. The pitch angle adjusting
피치각도 조절용 구동부(353)는, 피치각도 조절용 승강부(352)에 연결되며, 피치각도 조절용 승강부(352)를 업/다운(up/down) 구동시킨다. 이러한 피치각도 조절용 구동부(353)는, 타격핸드 지지부(330)에 지지되며, 피치각도 조절용 승강부(352)에 치합되는 조절너트(354)를 포함한다.The pitch angle adjusting driving
이러한 조절너트(354)의 회전에 의해 피치각도 조절용 승강부(352)가 승강되고, 피치각도 조절용 승강부(352)의 승강에 의해 타격핸드 간격 조절부(320)가 피치각도 조절용 힌지축(351)을 회동 중심으로 하여 회동된다,The pitch angle adjusting
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 단위기판에 대한 타격핸드(310)의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부(350)를 구비함으로써, 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 타격핸드(310)의 피치각도(이러한 피치각도를 단위 기판의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)로 타격핸드(310)를 회전시킬 수 있다.As described above, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes the pitch
한편 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는, 타격핸드 지지부(330)에 결합되어 타격핸드 지지부(330)를 업/다운(up/down)시킨다. 여기서 타격핸드 지지부(330)의 업/다운(up/down)에 의해 타격핸드 간격 조절부(320)가 업/다운(up/down)되므로, 결국 타격핸드 간격 조절부(320)에 연결된 타격핸드(310)가 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)에 의해 업/다운(up/down)된다.On the other hand, the hitting up / down driving
본 실시예에서 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는 한 쌍으로 마련된다. 이러한 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는, 타격핸드 지지부(330)가 결합되는 타격용 엘엠 블록(LM block, 341)과, 타격용 엘엠 블록(341)에 연결되며 타격용 엘엠 블록(341)의 이동을 안내하는 타격용 엘엠 가이드(LM guide, 미도시)와, 타격용 엘엠 블록(341)에 연결되며 타격용 엘엠 블록(341)의 이동을 이동시키는 타격용 구동 모터(343)를 포함한다.In this embodiment, the hitting up / down
이러한 타격용 구동 모터(343)는 속도제어가 가능하다. 즉 본 실시예에 따른 타격용 구동 모터(343)에는 속도제어 범위가 넓은 서보모터가 사용된다.The
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격유닛(300)이 엘엠(LM) 방식으로 구동되는 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)를 구비함으로써, 타격핸드(310)의 업/다운(up/down) 속도를 조절할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격핸드(310)의 업/다운(up/down) 속도를 가변시킬 수 있어 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 동시에 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있는 최적의 타격속도(이러한 최적의 타격속도는 더미 글라스의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)로 타격핸드(310)를 업/다운(up/down)시킬 수 있으며, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소를 통해 생산성을 향상시킬 수 있다.Thus, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes the hitting up / down driving
한편, 타격핸드(310)는, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격한다.Meanwhile, the
이러한 타격핸드(310)는, 타격핸드 간격 조절부(320)에 연결되는 핸드 몸체부(311)와, 핸드 몸체부(311)에 상대이동 가능하게 연결되며 더미 글라스를 타격하는 나이프부(312)와, 핸드 몸체부(311)에 마련되며 나이프부(312)에 연결되어 충격을 흡수하는 충격 흡수부(313)를 포함한다.The
핸드 몸체부(311)는 타격핸드 간격 조절부(320)에 연결된다. 이러한 핸드 몸체부(311)의 상단부에는 앞서 설명한 캠 팔로워(F)가 마련된다. The
나이프부(312)는, 핸드 몸체부(311)에 상대이동 가능하게 연결되며, 실질적으로 더미 글라스를 타격한다. The
충격 흡수부(313)는, 핸드 몸체부(311)에 마련되며, 나이프부(312)에 연결되어 더미 글라스 타격 시 충격을 흡수한다. 이러한 충격 흡수부(313)는, 나이프부(312)를 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하는 제1 탄성체(314)와, 나이프부(312)를 핸드 몸체부(311) 방향으로 탄성바이어스하는 제2 탄성체(315)를 포함한다.The
제1 탄성체(314)는 나이프부(312)를 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하고, 제2 탄성체(315)는 나이프부(312)를 제1 탄성체(314)의 탄성바이어스 방향과 반대방향인 핸드 몸체부(311) 방향으로 탄성바이어스한다.The first
본 실시예에서 제1 탄성체(314) 및 제2 탄성체(315)는 스프링으로 마련되는데. 이에 본 발명이 권리범위가 한정되지 않으며, 나이프부(312)를 탄성바이어스할 수 있는 다양한 종류의 탄성체가 본 실시예의 제1 탄성체(314) 및 제2 탄성체(315)로 사용될 수 있다.In this embodiment, the first
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 더미 글라스 타격 시 충격을 흡수하는 충격 흡수부(313)를 구비함으로써, 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판이 과도한 충격에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있다.As described above, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes the
또한 충격 흡수부(313)는, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부(316)를 더 포함한다. The
이러한 탄성바이어스력 조절부(316)는, 핸드 몸체부(311)에 고정 결합되는 고정너트(318)와, 고정너트(318)에 상대이동 가능하게 치합되며 제1 탄성체(314)를 가압하는 가압볼트(317)를 포함한다.The elastic biasing
가압볼트(317)는, 하단부가 제1 탄성체(314)에 접촉되어 제1 탄성체(314)를 가압한다. 이러한 가압볼트(317)는, 핸드 몸체부(311)에 고정 결합된 고정너트(318)에 상대이동 가능하게 치합됨으로써, 회전에 의해 핸드 몸체부(311)에 대하여 업/다운(up/down)된다. 가압볼트(317)의 업/다운(up/down)에 따라 제1 탄성체(314)의 탄성바이어스력이 조절된다.The lower end of the
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부(316)를 구비함으로써, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 최적의 탄성바이어스력(이러한 탄성바이어스력은 단위 기판의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)으로 변경할 수 있다.As described above, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes the elastic bias
한편, 앞서 설명한 절단유닛(200)의 틸팅용 스테이지 지지부(220)는, 안착 스테이지(110)의 틸팅 축심을 이루는 틸팅 중심축(222)이 마련되는 지지부 몸체(221)와, 지지부 몸체(221)에 마련되며 안착 스테이지(110)에 연결되어 안착 스테이지(110)가 틸팅되도록 안착 스테이지(110)를 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체(223)를 포함한다.The tilting
틸팅 중심축(222)은, 지지부 몸체(221) 및 안착 스테이지(110)의 중앙부에서 편심된 위치에 마련된다. 따라서 안착 스테이지(110)는 별도의 지지수단이 없으면 수평을 유지할 수 없는데, 이러한 지지수단의 역할을 틸팅구동부(210)가 수행한다.The
틸팅용 탄성체(223)는, 틸팅 중심축(222)과 이격된 위치에 배치되며, 안착 스테이지(110)가 틸팅되는 방향으로 안착 스테이지(110)를 탄성바이어스한다. 본 실시예에서 틸팅용 탄성체(223)에는 스프링 등 다양한 종류가 탄성체가 사용될 수 있다.The
또한, 절단유닛(200)의 틸팅구동부(210)는, 안착 스테이지(110) 각각의 하단부에 돌출되어 마련되는 복수의 지지대(211)와, 지지대(211)에 하나씩 대응되게 접촉 지지되고 외주면에 요입되어 형성된 절개부(Y)가 마련되는 복수의 회전캠(212)과, 회전캠(212)에 연결된 회전축(213)과, 회전축(213)을 회전시키는 회전 구동부를 포함한다.The
본 실시예에서 회전축(213)은 한 쌍으로 마련되어 서로 마주보며 배치된다.In this embodiment, the rotating
지지대(211)는, 안착 스테이지(110)의 하단부에서 하방으로 돌출되게 마련되며, 회전캠(212)들의 외주면에 접촉 지지된다. The support table 211 is provided so as to protrude downward from the lower end of the
회전캠(212)은 회전축(213)을 따라 회전되며, 외주면에 마련된 절개부(Y)를 통해 안착 스테이지(110)를 틸팅시킨다. 즉 지지대(211)가 회전캠(212)의 외주면에 접촉 시 안착 스테이지(110)는 수평을 유지하지만, 지지대(211)가 회전캠(212)의 절개부(Y)에 접촉 시 안착 스테이지(110)는 틸팅용 탄성체(223)의 탄성력에 의해 틸팅 중심축(222)을 회전 축심으로 하여 틸팅된다.The
도 14는 안착 스테이지(110)가 수평 상태로 배치된 경우인데, 이때는 안착 스테이지(110) 상에 원기판이 안착된다. FIG. 14 shows a case where the
이후 도 15에 도시된 바와 같이, 회전축(213)의 회전에 의해 회전캠(212)의 절개부(Y)에 지지대(211)가 위치되면, 안착 스테이지(110)가 틸팅되어 원기판이 절단된다.15, when the support table 211 is placed on the cut-out portion Y of the
또한, 본 실시예의 경우, 원기판으로부터 11개의 단위기판이 한 번의 동작으로 절단되는 것이 아니라 앞에서부터 순차적으로 절단된다. 이러한 동작이 구현되기 위해 각각의 회전캠(212)은, 회전축(213)에 연결 시 절개부(Y)의 위치가 서로 다른 각도를 갖도록 배치된다. Further, in the case of this embodiment, eleven unit substrates from the original substrate are not cut in one operation but are sequentially cut from the front. In order to implement this operation, each of the
따라서 회전축(213)의 회전 시 각각의 지지대(211)는 순차적으로 각각의 회전캠(212)의 절개부(Y)에 위치되므로, 도 15의 각각의 안착 스테이지(110)는 이후 좌측방향으로 순차적으로 틸팅된다.Therefore, the respective supporting tables 211 are sequentially positioned at the cut-out portions Y of the
한편, 틸팅구동부(210)는, 회전캠(212)들의 양측에 배치되는 돌출보스(215a,215b, 도 3 참조)를 더 포함한다. 이 돌출보스(215a,215b)는 틸팅용 스테이지 지지부(220)에 마련된 한 쌍의 고리형 보스결합부(225, 도 4, 도 5, 도 14 및 도 15 참조)에 맞물린다.On the other hand, the
한 쌍의 고리형 보스결합부(225)의 단부는 단차진 구조를 갖는데, 이 단차진 부위가 돌출보스(215a,215b)의 외면에 배치되면서 돌출보스(215a,215b)와 고리형 보스결합부(225) 간의 결합이 이루어진다.The end portions of the pair of annular
한편 회전구동부(214)는, 원기판을 단위기판으로 절단시키기 위해 회전축(213)을 회전시키는 부분이다.On the other hand, the
본 실시예의 경우, 회전구동부(214)는, 도 2 또는 도 3에 도시된 바와 같이, 동력을 발생시키며 한 쌍의 회전축(213) 중 어느 하나에 연결되는 구동모터(214a)와, 구동모터(214a)의 회전력을 전달받는 구동풀리(214b)와, 한 쌍의 회전축(213) 중 다른 하나에 연결되는 종동풀리(214c)와, 구동풀리(214b)와 종동풀리(214c)에 폐루프 형태로 연결되는 벨트(214d)를 포함한다.2 or 3, the
이에, 구동모터(214a)가 동작되면 구동모터(214a)로부터의 회전력이 구동풀리(214b), 벨트(214d) 및 종동풀리(214c)로 전달되어 최종적으로 한 쌍의 회전축(213)이 모두 회전될 수 있게 된다. When the
한편, 앞서 설명한 안착 스테이지(110)의 돌출부(111)는, 안착 스테이지(110)의 상단부에 돌출되어 마련되어 원기판을 지지함으로써, 원기판의 끝단 부분의 버(burr, 미도시)가 안착 스테이지(110)의 상단부에 접촉되는 것을 막을 수 있다.The
여기서, 버(burr)는 원기판의 제작 시 원기판의 끝단부에 발생되는 칼날 형상의 돌기를 말한다. 만일 이러한 버(burr)가 안착 스테이지(110)의 상단부에 접촉된 상태에서 안착 스테이지(110)가 틸팅되면, 원기판이 스크라이브 라인이 아닌 다른 부위에서 절단되어 단위기판에 파손 또는 크랙이 발생될 수 있다.Here, the burr refers to a protrusion of a blade shape generated at the end of the original substrate when the original substrate is manufactured. If the mounting
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 원기판을 접촉 지지하는 돌출부(111)가 안착 스테이지(110)에 상단부의 중앙 영역에 돌출되어 마련됨으로써, 원기판의 끝단 부분의 버(burr)가 안착 스테이지(110)의 상단부에 접촉되는 것을 막을 수 있고, 그에 따라 원기판의 절단 시 버(burr)에 의한 단위기판의 파손을 막을 수 있다. As described above, in the dummy glass removal apparatus according to the present embodiment, the projecting
한편 본 실시예에 따른 스테이지유닛(100)은, 안착 스테이지(110)에 연결되며, 안착 스테이지(110)를 이동시키는 안착 스테이지 이동부(400)를 더 포함한다. The
본 실시예에서 안착 스테이지 이동부(400)는, 한 쌍으로 마련되며, 상호 독립적으로 구동된다. In the present embodiment, the seating
이러한 안착 스테이지 이동부(400)는, 안착 스테이지(110)가 결합되는 스테이지용 엘엠 블록(LM block, 410)과, 스테이지용 엘엠 블록(410)에 연결되며 스테이지용 엘엠 블록(410)의 이동을 안내하는 스테이지용 엘엠 가이드(LM guide, 420)와, 스테이지용 엘엠 블록(410)을 연결되며 스테이지용 엘엠 블록(410)의 이동을 이동시키는 스테이지용 구동 모터(430)를 포함한다. The seating
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 안착 스테이지(110)를 이동시키는 안착 스테이지 이동부(400)를 구비함으로써, 안착 스테이지(110)에 흡착된 단위기판을 이동시킬 수 있다. As described above, the dummy glass removal apparatus according to the present embodiment includes the seating
또한 본 실시예에 따른 안착 스테이지 이동부(400)는, 한 쌍으로 마련되어 상호 독립적으로 구동되므로, 단위기판의 크기에 따라 단위기판을 지지하는 안착 스테이지(110) 상호간의 이격거리를 조절할 수 있어 다양한 크기의 단위기판을 능동적으로 대처할 수 있고, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소를 통해 생산성을 향상시킬 수 있다. Further, since the seating
한편 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 스테이지유닛(100)에 이웃하게 배치되며 안착 스테이지(110)에 원기판을 로딩하는 원기판 로딩유닛(500)과, 스테이지유닛(100)에 이웃하게 배치되며 안착 스테이지(110)에서 단위기판을 언로딩단하는 단위기판 언로딩유닛(600)을 더 포함한다.The dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes an original
이하에서 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the dummy glass removal apparatus according to the present embodiment will be described.
먼저, 단위기판의 제작을 위해 절단유닛(200)이 원기판이 흡착된 복수의 안착 스테이지(110))를 순차적으로 틸팅시킨다.First, a plurality of seating stages 110, in which a cutting unit 200 sucks an original substrate, is sequentially tilted for the production of a unit substrate.
이러한 안착 스테이지(110)의 틸팅에 의해 원기판이 스크라이브 라인을 따라 절단된다.(도 14 및 도 15 참조).By tilting the
다음, 단위기판 또는 더미 글라스의 크기에 따라 타격유닛(300)의 타격핸드 간격 조절부(320)를 통해 타격핸드(310)의 간격을 조절한다. 이때 스테이지유닛(100)의 안착 스테이지 이동부(400)를 통해 더미 글라스가 타격핸드(310)의 아래에 정위치되도록 안착 스테이지(110)를 이동시킬 수 있다.Next, the distance between the impact hands 310 is adjusted through the impact hand
다음, 타격핸드(310)가 하강하여 더미 글라스를 타격함으로써, 단위기판으로부터 더미 글라스가 제거된다.Next, the
이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격유닛(300)에 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부(320)가 구비됨으로써, 단위기판 또는 더미 글라스의 크기에 따라 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 간편하게 조절할 수 있고, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상에 기여할 수 있다.As described above, the dummy glass removing apparatus according to the present embodiment includes the striking hand
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present invention has been described in detail with reference to the above drawings, the scope of the scope of the present invention is not limited to the above-described drawings and description.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.
100: 스테이지유닛 110: 안착 스테이지
111: 돌출부 112: 진공홀
200: 절단유닛 210: 틸팅구동부
211: 지지대 212: 회전캠
213: 회전축 214: 회전구동부
214a: 구동모터 214b: 구동풀리
214c: 종동풀리 214d: 벨트
215a,215b: 돌출보스 220: 틸팅용 스테이지 지지부
221: 지지부 몸체 222: 틸팅 중심축
223: 틸팅용 탄성체 225: 고리형 보스결합부
300: 타격유닛 310: 타격핸드
311: 핸드 몸체부 312: 나이프부
313: 충격 흡수부 314: 제1 탄성체
315: 제2 탄성체 316: 탄성바이어스력 조절부
317: 가압볼트 318: 고정너트
320: 타격핸드 간격 조절부 321: 드럼 캠
323: 드럼 캠 구동부 330: 타격핸드 지지부
340: 타격용 업/다운(up/down) 구동부
341: 타격용 엘엠 블록 343: 타격용 구동 모터
350: 피치각도 조절부 351: 조절용 힌지축
352: 피치각도 조절용 승강부 353: 피치각도 조절용 구동부
354: 조절너트 400: 안착 스테이지 이동부
410: 스테이지용 엘엠 블록 420: 스테이지용 엘엠 가이드
430: 스테이지용 구동 모터 500: 원기판 로딩유닛
600: 단위기판 언로딩유닛 F: 캠 팔로워
H: 삽입홈 L: 가상선
Y: 절개부100: stage unit 110: seating stage
111: protrusion 112: vacuum hole
200: cutting unit 210: tilting driving unit
211: support frame 212: rotation cam
213: rotating shaft 214: rotating driving part
214a: drive
214c: a driven
215a, 215b: projecting boss 220: stage supporting part for tilting
221: support body 222: tilting center axis
223: elastic body for tilting 225: annular boss coupling part
300: striking unit 310: striking hand
311: Hand body part 312: Knife part
313: shock absorber 314: first elastic member
315: second elastic body 316: elastic bias force adjusting section
317: pressing bolt 318: fixing nut
320: striking hand interval adjusting unit 321: drum cam
323: Drum cam driving part 330: Striking hand supporting part
340: up / down driving part
341: Strapping EL block 343: Striking drive motor
350: Pitch angle adjusting section 351: Adjusting hinge axis
352: elevation part for pitch angle adjustment 353: driving part for adjusting pitch angle
354: Adjusting nut 400: Seat stage moving part
410: EL block 420 for stage: ELM guide for stage
430: drive motor for stage 500: original substrate loading unit
600: Unit substrate unloading unit F: Cam follower
H: Insertion groove L: Virtual line
Y: incision
Claims (16)
상기 안착 스테이지들과 연결되며, 상기 안착 스테이지들의 상호 작용에 의해 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 복수의 상기 단위기판으로 절단시키는 절단유닛; 및
상기 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 상기 더미 글라스를 타격하는 복수의 타격핸드와, 상기 타격핸드들 사이의 이격거리를 조절하는 타격핸드 간격 조절부를 구비하는 타격유닛을 포함하는 더미 글라스 제거장치.A stage unit having a plurality of seating stages spaced apart from each other on which an original substrate on which a scribe line for manufacturing a unit substrate is formed is seated;
A cutting unit connected to the seating stages and cutting the original substrate into a plurality of unit substrates along the scribe lines by mutual action of the seating stages; And
A striking unit including a plurality of striking hands striking the dummy glass for removing a dummy glass attached to the unit substrates and a striking hand interval adjusting unit for adjusting a distance between the striking hands, Includes a dummy glass removal device.
상기 타격핸드 간격 조절부는,
외주면에 상기 타격핸드들 각각에 마련된 캠 팔로워(cam follower)가 삽입되는 복수의 삽입홈이 상호 이격되어 형성되는 드럼 캠;
상기 타격핸드에 연결되며, 상기 타격핸드의 이동을 안내하는 가이드레일; 및
상기 드럼 캠에 연결되며, 상기 드럼 캠를 회전시키는 드럼 캠 구동부를 포함하는 더미 글라스 제거장치.The method according to claim 1,
Wherein the striking hand interval adjusting unit comprises:
A drum cam having a plurality of insertion grooves spaced apart from each other to insert a cam follower provided in each of the impact hands on an outer circumferential surface thereof;
A guide rail connected to the impact hand and guiding movement of the impact hand; And
And a drum cam driving unit connected to the drum cam and rotating the drum cam.
상기 삽입홈들 사이의 간격은, 상기 드럼 캠의 중심 축선에 평행한 임의의 가상선을 따라 상호 동일한 것을 특징으로 하는 더미 글라스 제거장치.3. The method of claim 2,
Wherein the intervals between the insertion grooves are mutually identical along an arbitrary imaginary line parallel to the central axis of the drum cam.
상기 타격유닛은,
상기 타격핸드 간격 조절부를 지지하는 타격핸드 지지부;
상기 타격핸드 지지부에 결합되며, 상기 타격핸드 지지부를 업/다운(up/down)시키는 타격용 업/다운(up/down) 구동부; 및
상기 타격핸드 지지부에 마련되며, 상기 단위기판에 대한 상기 타격핸드의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치.The method according to claim 1,
The striking unit includes:
A striking hand supporting portion for supporting the striking hand spacing adjusting portion;
A hitting up / down driving part coupled to the hitting hand supporting part to up / down the hitting hand supporting part; And
Further comprising a pitch angle adjusting unit provided on the impact hand supporting unit to adjust a pitch angle of the impact hand with respect to the unit substrate.
상기 피치각도 조절부는,
상기 타격핸드 간격 조절부를 상기 타격핸드 지지부에 상대회동 가능하게 결합하는 피치각도 조절용 힌지축;
상기 타격핸드 간격 조절부가 연결되며, 상기 타격핸드 지지부에 대하여 상대이동 가능한 피치각도 조절용 승강부; 및
상기 피치각도 조절용 승강부에 연결되며, 상기 피치각도 조절용 승강부를 업/다운(up/down) 구동시키는 피치각도 조절용 구동부를 포함하는 더미 글라스 제거장치. 5. The method of claim 4,
Wherein the pitch angle adjuster comprises:
A pitch angle adjusting hinge shaft that rotatably couples the impact stroke adjusting unit to the impact hand supporting unit;
A pitch angle adjustment elevation part connected to the impact hand distance adjustment part and relatively movable with respect to the impact hand support part; And
And a pitch angle adjusting driving unit connected to the pitch angle adjusting elevation unit and driving the pitch angle adjusting elevation unit up / down.
상기 피치각도 조절용 구동부는,
상기 타격핸드 지지부에 지지되며, 상기 피치각도 조절용 승강부에 치합되는 조절너트를 포함하는 더미 글라스 제거장치. 6. The method of claim 5,
Wherein the pitch angle adjusting drive unit comprises:
And an adjusting nut supported by the impact hand supporting portion and engaged with the elevation portion for adjusting the pitch angle.
상기 타격용 업/다운(up/down) 구동부는,
상기 타격핸드 지지부가 결합되는 타격용 엘엠 블록(LM block);
상기 타격용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 타격용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 타격용 엘엠 가이드(LM guide); 및
상기 타격용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 타격용 엘엠 블록의 이동을 이동시키는 타격용 구동 모터를 포함하는 더미 글라스 제거장치. 5. The method of claim 4,
The striking up / down driving unit includes:
An LM block for striking the striking hand support portion;
An impacting LM guide connected to the impacting EL block for guiding movement of the impacting EL block; And
And a striking drive motor connected to the striking EL block for moving the movement of the striking EL block.
상기 안착 스테이지는,
상단부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 상기 원기판 또는 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부를 포함하는 더미 글라스 제거장치. The method according to claim 1,
In the seating stage,
And a protruding portion protruding from a central region of the upper end portion and contacting and supporting the original substrate or the unit substrate.
상기 돌출부에는, 상기 원기판 또는 단위 기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀이 마련되는 더미 글라스 제거장치. 9. The method of claim 8,
Wherein the projecting portion is provided with a plurality of vacuum holes for vacuum-adsorbing the original substrate or the unit substrate.
상기 타격핸드는,
상기 타격핸드 간격 조절부에 연결되는 핸드 몸체부;
상기 핸드 몸체부에 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 더미 글라스를 타격하는 나이프부; 및
상기 핸드 몸체부에 마련되며, 상기 나이프부에 연결되어 충격을 흡수하는 충격 흡수부를 포함하는 더미 글라스 제거장치. The method according to claim 1,
The striking hand comprises:
A hand body portion connected to the impact hand spacing portion;
A knife portion connected to the hand body portion so as to be movable relative to each other and striking the dummy glass; And
And a shock absorbing portion provided on the hand body portion and connected to the knife portion to absorb an impact.
상기 충격 흡수부는,
상기 나이프부를 상기 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하는 제1 탄성체; 및
상기 나이프부를 상기 핸드 몸체부 방향으로 탄성바이어스하는 제2 탄성체를 포함하는 더미 글라스 제거장치. 11. The method of claim 10,
Wherein the shock absorbing portion comprises:
A first elastic body for elastically biasing the knife portion toward the dummy glass; And
And a second elastic body for elastically biasing the knife portion toward the hand body portion.
상기 충격 흡수부는,
상기 제1 탄성체 또는 제2 탄성체 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치. 12. The method of claim 11,
Wherein the shock absorbing portion comprises:
Further comprising an elastic bias force adjusting unit for adjusting an elastic bias force of at least one of the first elastic body and the second elastic body.
상기 탄성바이어스력 조절부는,
상기 핸드 몸체부에 고정 결합되는 고정너트; 및
상기 고정너트에 상대이동 가능하게 치합되며, 상기 제1 탄성체를 가압하는 가압볼트를 포함하는 더미 글라스 제거장치. 13. The method of claim 12,
Wherein the elastic biasing force adjuster comprises:
A fixing nut fixedly coupled to the hand body; And
And a pressing bolt which is engaged with the fixing nut so as to be movable relative to the first nut and presses the first elastic body.
상기 절단유닛은,
상기 안착 스테이지를 지지하며, 상기 안착 스테이지가 틸팅 가능하게 결합되는 틸팅용 스테이지 지지부; 및
상기 틸팅용 스테이지 지지부에 연결되며, 상기 안착 스테이지를 상기 원기판의 표면에 대해 상호 다른 각도로 틸팅(tilting)시키는 틸팅구동부를 포함하는 더미 글라스 제거장치.The method according to claim 1,
The cutting unit includes:
A tilting stage support for supporting the seating stage, the seating stage being tiltably coupled; And
And a tilting driving unit connected to the tilting stage support unit and tilting the seating stage at different angles with respect to the surface of the original substrate.
상기 틸팅용 스테이지 지지부는,
상기 안착 스테이지의 틸팅 축심을 이루는 틸팅 중심축이 마련되는 지지부 몸체; 및
상기 지지부 몸체에 마련되며, 상기 안착 스테이지에 연결되어 상기 안착 스테이지가 틸팅되도록 안착 스테이지를 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체를 포함하는 더미 글라스 제거장치.15. The method of claim 14,
The tilting stage support portion includes:
A support body having a tilting center axis forming a tilting axis of the seating stage; And
And a tilting elastic body that is provided on the support body and is connected to the seating stage to elastically bias the seating stage to tilt the seating stage.
상기 틸팅구동부는,
상기 안착 스테이지 각각의 하단부에 돌출되어 마련되는 복수의 지지대;
상기 지지대에 하나씩 대응되게 접촉 지지되고, 외주면에 요입되어 형성된 절개부가 마련되는 복수의 회전캠;
상기 회전캠에 연결된 회전축; 및
상기 회전축을 회전시키는 회전 구동부를 포함하는 더미 글라스 제거장치.15. The method of claim 14,
The tilting drive unit includes:
A plurality of support posts protruding from a lower end of each of the seating stages;
A plurality of rotation cams supported in correspondence to the supports one by one and provided with a cut-out portion recessed on an outer circumferential surface thereof;
A rotating shaft connected to the rotating cam; And
And a rotation driving unit for rotating the rotation shaft.
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KR101656342B1 (en) * | 2016-03-16 | 2016-09-23 | 제너셈(주) | The singulator |
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