KR101696585B1

KR101696585B1 - 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 sil홀더

Info

Publication number: KR101696585B1
Application number: KR1020160126043A
Authority: KR
Inventors: 배지용; 이계승; 김건희; 장기수
Original assignee: 한국기초과학지원연구원
Priority date: 2016-09-30
Filing date: 2016-09-30
Publication date: 2017-01-13
Also published as: US20180095261A1; US10281707B2

Abstract

본 발명은 SIL을 장착하고 일정길이의 경통에 복수개의 대물렌즈를 장착한 대물렌즈 경통과 결합되는 고분해능 광학현미경의 SIL홀더에 있어서, 상기 대물렌즈 경통의 중간에 SIL홀더를 결합하는 원형플랜지를 구비하고, SIL홀더는 대물렌즈 경통의 하부측 경통이 내삽되도록 원통형으로 형성하며 일측 단부에 대물렌즈 경통의 원형플랜지와 결합하는 결합플랜지를 형성하고 타측단부는 원추형관으로 형성하여 원추형관 하단부에 SIL을 장착하며, 상기 SIL홀더는 결합플랜지 하부에 SIL의 중심축선(광축)을 대물렌즈의 중심축선(광축)에 근접하도록 조정하는 광축조정부를 형성하고, 상기 광축조정부의 하부와 원추형관 사이에 SIL을 시편의 측정면에 긴밀하게 밀착시키는 신축조절부를 형성하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더에 관한 것이다.

Description

고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더{SIL holder by high resolution optical microscope}

본 발명은 윗면이 구형이고 아랫면은 평면 형태를 가지는 반구형 솔리드 이머젼 렌즈(Solid Immersion Lens : 이하 ‘SIL’이라 한다)를 스프링 기능이 구현되는 복수개의 슬롯이 형성된 SIL홀더에 결합하고 시편을 측정하는 광학현미경에 있어서, 대물렌즈가 갖는 회절한계 이상의 분해능을 달성할 수 있도록, SIL과 시편간의 긴밀한 접촉을 유지하면서 SIL의 중심축선(광축)을 대물렌즈의 중심축선(광축)에 최대한 근접시켜 보정할 수 있는 고분해능 광학현미경용 광축 정밀보정 SIL홀더에 관한 발명이다.

일반적으로 빛을 이용한 광분석 측정장비 중에서 적외선 광학현미경에 대한 정밀성의 한계를 나타내는 회절한계는 아래의 수식에 의해 구해지는데 측정 가능한 분해능(d)은 200~300nm로 알려져 있다.

(수식)

,

d : 측정 가능한 분해능, λ : 입사 광선의 파장, NA : 개구수

이러한 적외선 광학현미경은 물체에 적외선을 가하여 시편의 정밀한 상태측정이 가능한 다수개의 기능성 렌즈로 이루어지고 빛의 회절 한계 때문에 불가능했던 고분해능이 가능하도록, 도 1에 도시한 바와 같이, 에버네슨트 웨이브(evanescent wave)를 이용한 윗면이 구형이고 아랫면은 평면 형태를 가지는 반구형의 SIL을 구비하고 이를 대물렌즈와 시편 사이에 삽입하여 굴절률 비매칭으로 인한 빔누수를 방지하는 SIL 광학현미경 기술이 알려져 있다.

상기 SIL 광학현미경은 고분해능 광학 이미징 작업을 위하여 특별한 조건들이 요구되는데, 이는 SIL 바닥면과 시편의 측정면 사이는 거의 밀착상태에 해당하는 100nm 미만으로 접촉하여야 하고, SIL 바닥면과 시편의 측정면은 수평면을 이루며 최대한 평행하게 유지하여야 하며, 대물렌즈의 중심축선(광축)과 SIL의 중심축선(광축)을 최대한 근접시켜야 하고, 시편과 SIL에 작용되는 외력을 최소하여야 하는 것들이다.

즉, 도 2(a)에 도시한 바와 같이, SIL 바닥면과 시편의 측정면 사이가 100nm를 초과하여 접촉하거나, 도 2(b)에 도시한 바와 같이 SIL 바닥면과 시편의 측정면이 평행하게 접촉되지 않거나, 도 2(c)에 도시한 바와 같이, 대물렌즈의 중심축선(광축)과 SIL의 중심축선(광축)이 최대한 근접하지 않고 어긋나게 되면, 광학계 전체 성능이 저하되어 선명한 측정 영상을 얻을 수 없고, 영상 겹침과 뒤틀림 등의 오류가 발생되어 고분해능 이미징 작업용 측정기로서의 신뢰성이 확보되지 않는 문제가 발생된다.

또한 상술한 조건들은 SIL 광학현미경을 포함하는 고분해능 측정용 광학 측정장치의 셋팅작업시 수십nm ~ 수μm의 조정을 통해 이루어지는 것이어서, 광학 측정장치의 측정조건 셋팅 작업에 많은 어려움이 따르고 있다.

또한 SIL 광학현미경을 사용하여 시편을 측정할 때 도 2(c)에 도시한 바와 같이 측정면이 미세하게 경사진 경우, SIL을 측정면에 밀착시키기 위하여 SIL홀더를 가압함으로써, 측정면의 일측에 SIL의 일측이 접촉되어 SIL 파손 또는 시편의 파손과 변형이 발생되는 문제가 있다.

물론 시편의 측정면이 미세하게 경사진 경우 경사를 제거하고 측정하면 상술한 문제가 발생되지 않겠지만, 시편에 경사가 형성되지 않도록 하기 위해서는 측정면과 측정반대면을 초정밀가공 하여야 하고, 측정 작업시 경사면이 발견되면 이를 재가공하여야 하는 등의 시편 제작상의 어려움이 따르고 있다.

따라서 SIL 광학현미경은 시편의 측정면이 미세하게 경사진 경우에도 SIL 중심축선(광축)을 보정할 수 있고, 초점거리를 조절할 수 있으며, 시편과의 긴밀한 수평접촉 상태를 쉽게 유지할 수 있는 구조가 절실하게 요구되고 있다.

SIL 광학현미경의 상술한 문제 중에서 SIL과 시편의 긴밀한 수평접촉을 쉽게 유지하는 종래의 특허기술로서 본 출원인이 특허받은 한국 특허 제10-1403992호 근접장 렌즈 고정장치가 공지되어 있는데, 이는 도 3에 도시한 바와 같이, 측정면이 경사진 시편의 측정이 가능하도록, SIL 장착부(100) 측에 스프링 기능이 수행되는 복수개의 장홀(101)을 일정간격으로 형성하여, 스프링 기능에 의해 SIL홀더를 신축시켜 경사진 측정면과 SIL(102)을 긴밀하게 밀착시키는 기술이다.

SIL과 시편을 긴밀하게 밀착시키는 또 다른 특허기술로서, 미국 특허 제8767199호 SIL렌즈를 활용한 검사시스템(INSPECTION SYSTEM UTILIZING SOLID IMMERSION LENSES)가 공지되어 있는데, 이는 도 4에 도시한 바와 같이 SIL(210)이 장착된 SIL홀더(130)에 스프링 기능을 수행하는 접힘부(115)를 복수개의 슬롯으로 일정간격으로 이격시켜 형성하여 SIL홀더 접힘부의 신장과 접힘 작용에 의해 시편의 경사진 측정면에 SIL(210)을 긴밀하게 밀착시키는 기술이다.

그러나 상술한 종래의 특허기술들은 시편의 측정면이 경사진 경우 도 2(c)에 도시한 바와 같이, SIL의 바닥면을 복수개의 슬롯 부위를 신축시켜 시편의 경사면과 동일한 각도로 경사시켜 긴밀하게 접촉시킬 수 있지만, SIL의 경사로 인해 SIL 중심축선(광축)이 변동되고 이에 따라 대물렌즈의 중심축선(광축)과 SIL의 중심축선(광축)이 어긋나게 되어 측정된 영상이 흐릿해지거나 영상 겹침 등의 측정불량이 발생되기 때문에 고분해능 측정용에 부적합한 문제가 발생되고 있다.

따라서 종래기술의 SIL 광학현미경은 경사진 시편의 측정면에 대하여 저분해능 측정은 가능하지만, 고분해능 측정을 위해서는 시편에서 경사를 제거하여야 하기 때문에 시편의 초정밀 가공에 따른 과다한 시간과 비용 및 노력이 소요되는 문제가 그대로 남게 된다.

또한 대물렌즈의 중심축선(광축)과 SIL 중심축선(광축)이 어긋나는 문제를 해결하기 위한 종래기술로서 한국 공개특허 제10-2008-0011814호에 광 재생장치의 광 헤드 및 그 제조방법이 공지되어 있는데, 여기에는 도 5에 도시한 바와 같이 SIL(122)이 장착되는 렌즈홀더 어셈블리(123)와 대물렌즈(121)를 결합시키기 위해 접착물질(124)을 주입하고, 반사미러(125)에서 반사된 광을 이미지 센서로 획득한 후 간섭 패턴에 따라 대물렌즈(121)의 틸트 성분을 조정하는데, 상기 대물렌즈의 틸트를 미세 조정하기 위하여 압전 리니어 모터(126)를 렌즈홀더 어셈블리(123)의 측면에 결합시키고, 접착물질(124)이 경화되기 전에 압전 리니어 모터(126)를 구동함으로써 압전 리니어 모터의 팽창 및 수축에 따라 대물렌즈(121)의 위치를 조정하는 기술이다.

그러나 상기 도 5의 종래기술은 압전 리니어 모터로 대물렌즈의 위치를 조정하는 것이어서 대물렌즈에 리니어 모터 구동력이 작용됨에 따라 대물렌즈 손상이 발생되고, 구동요소가 추가되어 구조가 복잡하며 고장이 자주 발생되며, 측정 작업시 전원이 필요한 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 반구형 SIL이 장착된 광학현미경에 있어서, 측정면이 미세하게 경사진 시편의 경사면에 SIL을 긴밀하게 밀착시킨 상태에서, SIL홀더의 중심축선(광축)을 정밀 조정하여 대물렌즈의 중심축선(광축)에 최대한 근접시킴으로써 고분해능 광학 이미징 작업이 가능하도록 하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 SIL을 장착하고 일정길이의 경통에 복수개의 대물렌즈를 설치한 대물렌즈 경통(1)과 결합되는 고분해능 광학현미경의 SIL홀더에 있어서, 상기 대물렌즈 경통(1)은 중간에 SIL홀더(3)를 결합하는 원형플랜지(4)를 구비하고, SIL홀더(3)는 대물렌즈 경통(1)의 하부측이 내삽되도록 원통형으로 형성하며 일측 단부에 대물렌즈 경통(1)의 원형플랜지(4)와 결합하는 결합플랜지(5)를 형성하고 타측단부는 원추형관으로 형성하여 원추형관 하단부에 SIL(2)을 장착하며, 상기 SIL홀더(3)는 결합플랜지(5) 하부에 SIL의 중심축선(광축)을 대물렌즈의 중심축선(광축)에 근접하도록 조정하는 광축조정부(6)를 형성하고, 상기 광축조정부(6)의 하부와 원추형관 사이에 SIL(2)을 시편(S)의 측정면에 긴밀하게 밀착시키는 신축조절부(7)를 형성하는 고분해능 광학현미경용 광축 정밀보정 SIL홀더를 제공하도록 한다.

상기 광축조정부(6)는 볼트의 이송력에 의해 SIL홀더(3)를 미세하게 이동시키는 광축조정링(8)과 SIL홀더(3)의 미세 이동시 발생되는 SIL홀더의 신축량을 흡수하는 복수개의 광축조정슬롯(9)을 포함하여 형성하도록 한다.

상기 광축조정링(8)은 SIL홀더(3)의 길이방향 중간부 외주면에 일정높이와 일정폭으로 돌출시켜 형성하고, 적어도 3개 이상의 광축조정용 볼트를 체결하는 광축조정볼트구멍(10)을 일정간격으로 이격시켜 형성하되 상호 대응되는 위치에 형성하며, 상기 광축조정볼트구멍(10)의 어느 하나에 광축조정볼트(11)를 장착하고 진입시키면, 광축조정볼트(11)가 SIL홀더(3)에 내삽된 대물렌즈 경통(1)에 의해 전진되지 않고 광축조정볼트(11)의 이송력이 SIL홀더(3)에 전달되어 SIL홀더가 광축조정볼트 방향으로 미세하게 이동되도록 함으로써 SIL의 중심축선(광축)을 조정할 수 있도록 한다.

상기 광축조정슬롯(9)은 광축조정볼트(11)에 의해 SIL홀더(3)가 이동될 때 발생되는 신축량을 흡수하도록 상기 광축조정링(8)의 상단부와 결합플랜지(5) 사이에 제1조정슬롯(9a)와 제2조정슬롯(9b)을 포함하여 형성하도록 한다.

상기 신축조절부(7)는 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 하향 경사진 제1관통슬롯(7a)을 SIL홀더 원주상에 2열로 형성하고, 상기 제1관통슬롯(7a)의 사이에 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 상향 경사진 제2관통슬롯(7b)을 SIL홀더(3) 원주상에 2열로 형성하도록 한다.

본 발명에 따른 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더는 측정면이 미세하게 경사진 시편의 경사면에 SIL이 긴밀하게 밀착된 상태에서, SIL홀더의 중심축선(광축)을 정밀 조정하여 대물렌즈의 중심축선(광축)에 최대한 근접시킴으로써 고분해능 광학 이미징 작업이 가능한 효과가 발생된다.

또한 본 발명에 따른 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더는 대물렌즈에 SIL을 결합하면서 대물렌즈와 SIL의 중심축선(광축)이 일직선으로 이어지지 않는 결함을 해소하고, 시편 측정 과정에서 발생되는 오차를 해소하여 SIL을 구비하는 고분해능 광학현미경에서 선명한 영상 획득이 가능한 효과가 발생된다.

또한 본 발명에 따른 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더는 SIL홀더의 신축조절부를 통해 측정 작업시 SIL홀더 단부에 작용하는 외력 또는 충격을 완화시키고, SIL을 시편에 밀착시킬 때 편심 하중이 작용되지 않도록 하여 시편과 SIL의 파손을 방지하는 효과가 발생된다.

도 1은 일반적인 SIL이 적용된 광학현미경의 개념도이다.
도 2는 일반적으로 SIL이 적용된 광학현미경의 이미징 작업조건 상태를 예시한 도면이다.
도 3, 4, 5는 종래 특허기술을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 SIL이 적용된 광학현미경의 결합상태를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 SIL이 적용된 광학현미경의 단면을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 SIL홀더를 도시한 도면이다.

본 발명은 다음에서 설명하는 바람직한 실시예에 의해 명확해질 것이나, 본 실시예는 단지 본 발명을 설명하기 위한 하나의 예시에 불과한 것으로, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니고, 실시예와 균등한 기술들을 모두 포함하는 것으로 이해하여야 한다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어 선행기술과 동일한 구성은 그 명칭을 동일하게 부여하도록 한다.

본 발명에 따른 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더는 도 6에 도시된 바와 같이, 홀더에 SIL을 장착하고 일정길이의 경통에 복수개의 대물렌즈를 설치한 대물렌즈 경통(1)과 결합하여 형성한다.

보다 상세하게 도 6, 7에 도시한 바와 같이, 상기 대물렌즈 경통(1)의 중간에 SIL홀더(3)를 결합하는 원형플랜지(4)를 구비하고, SIL홀더(3)는 대물렌즈 경통(1)의 하부측이 내삽되도록 원통형으로 형성하며 일측 단부에 대물렌즈 경통(1)의 원형플랜지(4)와 결합하는 결합플랜지(5)를 형성하고 타측단부는 원추형관으로 형성하여 원추형관 하단부에 SIL(2)을 장착한다.

상기 SIL홀더(3)는 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 결합플랜지(5) 하부에 SIL의 광축을 조정하는 광축조정부(6)를 형성하고, 광축조정부(6)의 하부와 원추형관 사이에 SIL(2)을 시편(S)의 측정면에 긴밀하게 밀착시키는 신축조절부(7)를 형성한다.

상기 광축조정부(6)는 도 8에 도시한 바와 같이, SIL홀더(3)를 SIL 중심축선(광축)이 대물렌즈의 중심축선(광축)에 최대한 근접되도록 미세하게 이동시키는 광축조정링(8)과 SIL홀더(3)의 미세 이동시 발생되는 SIL홀더의 신축량을 흡수하는 복수개의 광축조정슬롯(9)을 포함하여 형성한다.

상기 광축조정링(8)은 SIL홀더(3)의 길이방향 중간부 외주면에 일정높이와 일정폭으로 돌출시켜 형성하고, 적어도 3개 이상의 광축조정용 볼트를 체결하는 광축조정볼트구멍(10)을 일정간격으로 이격시켜 형성하되 상호 대응되는 위치에 형성한다.

상기 광축조정볼트구멍(10)의 어느 하나에 광축조정볼트(11)를 장착하고 진입시키면, 광축조정볼트(11)가 SIL홀더(3)에 내삽된 대물렌즈 경통(1)에 의해 전진되지 않고 광축조정볼트(11)의 이송력이 SIL홀더(3)에 전달되어 SIL홀더가 대물렌즈 경통 결합부위를 기준으로 광축조정볼트(11) 측을 향해 미세하게 이동됨으로써 SIL의 중심축선(광축)을 조정할 수 있게 되는 것이다.

예컨대 측정면의 경사각이 0.05°인 시편을 측정하는 경우 시편에 긴밀하게 밀착된 SIL홀더(3)는 중심선축(광축)이 수직을 이루는 대물렌즈 경통(1)의 중심축선(광축)에 대하여 0.05°로 경사져 엇갈리게 되고, 이 때 상기 광축조정볼트구멍(10)의 우측에 광축조정볼트(11)를 조여 진행시키면 SIL홀더(3)는 광축조정볼트의 이송력에 의해 우측방향으로 미세하게 이동되어 SIL 중심축선(광축)의 대물렌즈 중심축선(광축)에 대한 경사각을 최초보다 10배 적은 0.005°까지 조정하여 SIL 중심축선(광축)을 대물렌즈 중심축선(광축)에 근접시킬 수 있게 되는 것이다.

한편, SIL 중심축선(광축)을 대물렌즈 중심축선(광축)에 근접 조정하면 SIL 바닥면과 시편의 측정면은 평행한 수평 상태를 벗어나 틈새가 벌어지게 되어 측정된 영상이 불량해지므로, 측정되는 영상을 확인하면서 최고의 선명도가 구현되는 위치를 찾아서 SIL 중심축선(광축)이 대물렌즈 중심축선(광축)에 근접하도록 광축조정볼트(11)를 조정하도록 한다.

그리고 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 광축조정볼트(11)에 의해 SIL홀더(3)를 대물렌즈 경통과 결합된 부위를 기준으로 경사시켜 중심축선(광축)을 이동시키면, SIL홀더(3)가 경사지면서 몸체의 신축이 발생되므로, 이러한 신축량을 흡수하도록 복수개의 광축조정슬롯(9)을 형성하며, 상기 광축조정슬롯(9)은 광축조정링(8)의 상단부와 결합플랜지(5) 사이에 제1조정슬롯(9a)과 제2조정슬롯(9b)을 일정한 길이와 폭으로 일정간격으로 이격시키고 관통시켜 형성한다. 즉, SIL홀더(3)의 몸체에 제1조정슬롯(9a) 2개와 제2조정슬롯(9b) 2개를 형성하게 되는 것이다.

도 8에 도시한 바와 같이 상기 제1조정슬롯(9a)을 통해 SIL홀더(3)가 좌우 방향으로 이동할 때 일측은 길이가 축소되고 타측은 축소되는 변위량(Y1)을 흡수하고, 제2조정슬롯(9b)을 통해 SIL홀더(3)가 전후 방향으로 이동할 때의 변위량(Y2)을 흡수할 수 있도록 한다.

상기 신축조절부(7)는 도 8에 도시한 바와 같이, 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 하향 경사진 제1관통슬롯(7a)을 SIL홀더 원주상에 2열로 형성하고, 상기 제1관통슬롯(7a)의 사이에 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 상향 경사진 제2관통슬롯(7b)을 SIL홀더(3) 원주상에 2열로 형성한다.

상기 제1, 2관통슬롯을 통해 SIL홀더(3)의 SIL(2) 장착 단부에서 외력 또는 충격력이 작용할 경우 스프링 기능이 수행되어 완충 기능을 가지게 되고, 또한 시편이 수평을 이루지 않는 경우에도 시편과 SIL이 수평 상태를 유지할 수 있도록 하는 효과가 발생되는 것이다.

즉, 긴밀한 접촉이 요구되는 시편과 SIL 사이에서 시편이 경사진 경우에도 제1, 2 관통슬롯(7a, 7b)이 가지는 스프링 기능에 의해 SIL홀더의 원통이 신축되어 SIL 바닥면의 경사가 형성되어 시편과 수평을 유지할 수 있게 되는 것이다. 여기서 광학현미경이 소직경의 대물렌즈를 구비하는 경우 등 기타 구조에 따라 제1, 2 관통슬롯(7a, 7b)을 형성하지 않고 하나의 관통슬롯을 형성하여 SIL홀더 이동에 따라 발생되는 미세한 신축량을 흡수하도록 할 수도 있다.

이처럼 시편의 경사에 대응하여 SIL홀더(3)의 경사가 자동으로 조정되어 SIL 바닥면과 시편의 측정면이 긴밀한 접촉이 이루어지고, 또한 SIL홀더를 시편에 밀착시킬 때 편심이 발생되지 않아 집중하중이 작용하지 않기 때문에 시편과 SIL의 파손 사고를 방지하는 효과가 발생되는 것이다.

1 : 대물렌즈 경통 2 : SIL
3 : SIL홀더 4 : 원형플랜지
5 : 결합플랜지 6 : 광축조정부
7 : 신축조절부 8 : 광축조정링
9 : 광축조정슬롯 10 : 광축조정볼트구멍
11 : 광축조정볼트
7a : 제1관통슬롯 7b : 제2관통슬롯
9a : 제1조정슬롯 9b : 제2조정슬롯

Claims

SIL(2)을 장착하고 일정길이의 경통에 복수개의 대물렌즈를 설치한 대물렌즈
경통(1)과 결합되는 고분해능 광학현미경의 SIL홀더에 있어서,
상기 대물렌즈 경통의 중간에 SIL홀더(3)를 결합하는 원형플랜지(4)를 구비하고, SIL홀더는 대물렌즈 경통의 하부측이 내삽되도록 원통형으로 형성하며 일측 단부에 대물렌즈 경통의 원형플랜지(4)와 결합하는 결합플랜지(5)를 형성하고 타측단부는 원추형관으로 형성하여 원추형관 하단부에 SIL을 장착하며,
상기 SIL홀더는 결합플랜지 하부에 SIL의 중심축선(광축)을 대물렌즈의 중심축선(광축)에 근접하도록 조정하는 광축조정부(6)를 형성하고,
상기 광축조정부의 하부와 원추형관 사이에 SIL을 시편(S)의 측정면에 긴밀하게 밀착시키는 신축조절부(7)를 형성하되,
상기 광축조정부는 볼트의 이송력에 의해 SIL홀더를 미세하게 이동시키는 광축조정링(8)과 SIL홀더의 미세 이동시 발생되는 SIL홀더의 신축량을 흡수하는 복수개의 광축조정슬롯(9)을 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더.
삭제
제1항에 있어서,
상기 광축조정링(8)은 SIL홀더(3)의 길이방향 중간부 외주면에 일정높이와 일정폭으로 돌출시켜 형성하고, 적어도 3개 이상의 광축조정용 볼트를 체결하는 광축조정볼트구멍(10)을 일정간격으로 이격시켜 형성하되 상호 대응되는 위치에 형성하며,
상기 광축조정볼트구멍(10)의 어느 하나에 광축조정볼트(11)를 장착하고 진입시키면, 광축조정볼트(11)가 SIL홀더(3)에 내삽된 대물렌즈 경통(1)에 의해 전진되지 않고 광축조정볼트(11)의 이송력이 SIL홀더(3)에 전달되어 SIL홀더가 광축조정볼트 방향으로 미세하게 이동되도록 함으로써, SIL의 중심축선(광축)을 조정할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더
제3항에 있어서,
상기 광축조정슬롯(9)은 광축조정볼트(11)에 의해 SIL홀더(3)가 이동될 때 발생되는 신축량을 흡수하도록 상기 광축조정링(8)의 상단부와 결합플랜지(5) 사이에 제1조정슬롯(9a)와 제2조정슬롯(9b)을 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더.
제4항에 있어서,
상기 신축조절부(7)는 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 하향 경사진 제1관통슬롯(7a)을 SIL홀더 원주상에 2열로 형성하고,
상기 제1관통슬롯(7a)의 사이에 일정폭과 길이를 가지며 중앙부를 기준으로 양방향으로 상향 경사진 제2관통슬롯(7b)을 SIL홀더(3) 원주상에 2열로 형성하는 것을 특징으로 하는 고분해능 광학현미경의 광축 정밀보정용 SIL홀더.