KR101691906B1 - Ⅲ족 질화물 나노로드 발광 소자 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법은 기판을 마련하는 단계, 상기 기판 위에 상기 기판의 일부분을 노출하는 적어도 하나의 개구를 갖는 절연막을 형성하는 단계, III족 원소 공급원 가스와 N 공급원 가스를 공급하여 상기 개구에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 제1 성장 공정 단계, III족 원소 공급원 가스 및 불순물 공급원 가스를 펄스 모드로 공급하고 N 공급원가스를 지속적으로 공급하여 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층 위에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 각각의 표면에 활성층을 형성하는 단계 및 상기 활성층의 위에 제2 도전형 반도체층을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

Ⅲ족 질화물 나노로드 발광 소자 제조방법{Manufacturing method for Nanorod light emitting device}
본 발명은 질화물 나노로드에 관한 것으로 특히, III족 질화물 나노로드를 이용한 발광소자 제조방법에 관한 것이다.
기판 위에 III족 질화물 나노로드를 성장할 때, 나노로드의 직경, 길이, 성장 위치, 결정 성장 방향의 적절한 제어가 어려우므로, 원하는 형태의 나노로드를 형성하기 어렵고, 결함이 발생하기 쉬워, 구동전압이 높아지고 소자의 동작 특성이 저하된다.
특히, 광전 소자의 경우, 이 같은 결함은 캐리어의 재결합(recombination) 중심으로 작용하면서 발광효율을 저하시키고, 소자의 수명(life time)을 단축시키는 문제를 유발한다.
본 발명의 목적 중 하나는 단결정 나노로드의 성장 시 발생할 수 있는 결정 결함을 최대한 줄이고, 3 차원 구조를 가지는 발광소자의 발광효율을 향상시키는 III족 질화물 나노로드 발광소자 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법은 기판을 마련하는 단계, 상기 기판 위에 상기 기판의 일부분을 노출하는 적어도 하나의 개구를 갖는 절연막을 형성하는 단계, III족 원소 공급원 가스와 N 공급원 가스를 공급하여 상기 개구에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 제1 성장 공정 단계, III족 원소 공급원 가스 및 불순물 공급원 가스를 펄스 모드로 공급하고 N 공급원가스를 지속적으로 공급하여 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층 위에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 각각의 표면에 활성층을 형성하는 단계 및 상기 활성층의 위에 제2 도전형 반도체층을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제1 성장 공정 단계에서 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층의 성장속도는 70 nm/min 내지 120 nm/min 범위일 수 있다.
상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 단계에서, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 상기 절연막의 높이까지 성장할 수 있다.
상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계는 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층 위에 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 중간 부분을 형성하는 제1 성장공정 단계 및 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분을 형성하는 제2 성장공정 단계를 포함할 수 있다.
상기 제2 성장공정 단계는 상기 제2 성장공정 단계의 온도, 상기 III족 원소 공급원 가스 유량, 상기 N 공급원 가스 유량 및 상기 III족 원소 공급원 가스 펄스 폭 중 적어도 하나를 조절하여 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분의 모양을 제어할 수 있다.
상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계에서 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 성장속도는 30 nm/min 내지 70 nm/min 범위일 수 있다.
상기 III족 원소 공급원 가스 및 상기 불순물 공급원 가스를 소정 주기와 소정 펄스 폭을 가진 펄스모드로 공급할 수 있다.
상기 기판은 사파이어, Si, ZnO, GaAs, SiC, MgAl2O4, MgO, LiAlO2, LiGaO2, GaN으로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 상기 절연막은 SiO2, TiO2, Al2O3, TiN, AlN, ZrO2, TiAlN, TiSiN 및 Si3N4로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다.
상기 불순물 공급원 가스는 SiH4일 수 있다. 상기 III족 원소 공급원 가스는 TMGa일 수 있다. 상기 N 공급원 가스는 암모니아(NH3)일 수 있다.
상기 활성층은 적어도 한 쌍의 양자우물층 및 양자장벽층을 포함할 수 있다.
상기 양자장벽층은 AlyGa1 - yN(0≤y≤1)이고, 상기 양자우물층은 InxGa1 - xN(0≤x≤1)일 수 있다.
상기 활성층 및 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 전자차단층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
나노로드 결정의 결함을 줄이고, 활성층과 전도형 반도체층의 접촉면적을 증가시켜 III족 질화물 나노로드 발광소자의 발광효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 위에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 형성하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 2는 제1 성장공정 동안 공급되는 III 족 및 N 공급원 가스와 불순물 공급원 가스의 유량을 나타낸다.
도 3(a) 내지 3(c)는 본 발명의 실시예에 따른 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 나타내는 그림이다.
도 4는 제2 성장공정의 조건에 따른 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 말단 부분형태의 변화를 나타내는 그림이다.
도 5a 내지 도 5c는 기판 위에 선택적으로 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 위에 발광구조물을 형성하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 6은 다양한 단말 모양을 가진 제1 도전형 III족 질화물 나노로드에 발광구조물을 적층한 모습을 나타낸다.
도 7은 절연막의 복수의 개구에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층이 형성된 모습을 나타내는 SEM 사진이다.
도 8a 내지 8c는 상기 제2 성장공정을 거친 후, 다양한 말단 부분 모양을 가지는 제1 도전형 III족 질화물 나노로드가 성장된 모습을 나타내는 SEM 사진이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 III족 질화물 나노로드 발광소자의 EL (Electroluminiscence) 특성을 나타내는 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시 예의 도면에 나타나는 동일 또는 유사한 사상의 범위 내의 기능이 동일 또는 유사한 구성요소는 동일 또는 유사한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 형성하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 1a를 참조하면, 기판(11) 위에 버퍼층(12)을 형성할 수 있다.
기판(11)은 반도체 단결정, 특히, 질화물 단결정 성장을 위한 성장 기판이다. 기판(11)은 일예로 사파이어, Si, ZnO, GaAs, SiC, MgAl2O4, MgO, LiAlO2, LiGaO2, GaN등의 물질로 이루어질 수 있다. 사파이어의 경우, 육각-롬보형(Hexa-Rhombo R3c) 대칭성을 갖는 결정체로서 C(0001)면, A(1120)면, R(1102)면 등을 갖는다. 이 경우, 상기 C면은 비교적 질화물 박막의 성장이 용이하며, 고온에서 안정하기 때문에 특히, 질화물 반도체의 성장용 기판으로 주로 사용될 수 있다.
본 실시예에 채용된 버퍼층(12)은 불순물이 도핑된 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 된 반도체 물질로 이루어질 수 있다. n형 불순물로 Si, Ge, Se, Te 등이 사용될 수 있으며, 상기 p형 불순물로는 Mg, Zn, Be 등이 사용될 수 있다. 버퍼층(12)은 예로서 GaN, AlGaN, InGaN일 수 있다. 버퍼층(12)은 후술할 제1 도전형 III족 질화물 나노로드와 같은 n형 질화물 반도체 또는 p형 질화물 반도체일 수 있다. 버퍼층(12)은 MOCVD, MBE, HVPE 공정 등으로 성장될 수 있다. 일 예로 C(0001)면 사파이어 기판(11)을 MOCVD 장치 내의 반응로에 준비하고, 가열하여 버퍼층(12)인 n-GaN 반도체층을 약 1080℃에서 증착할 수 있다.
도 1b를 참조하면, 상기 버퍼층(12) 위에 상기 버퍼층(12)의 복수의 부분들을 노출하는 복수의 패턴화된 개구(14)를 포함하는 절연막(13)을 형성한다. 일 예로 버퍼층(12) 위에 절연막(13)을 증착하고 리소그래피 공정에 의해 상기 절연막(13)을 식각하여 상기 절연막(13)에 패턴화 개구(14)를 형성할 수 있다. 상기 개구(14)는 성장하고자 하는 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 직경, 길이, 위치를 지정하기 위해 일정한 직경과 간격으로 형성될 수 있다. 또는 상기 개구(14)는 서로 다른 직경과 간격을 가지도록 절연막(13)에 형성될 수도 있다. 상기 개구(14)는 원형, 사각형, 육각형 등 다양한 형태를 가질 수 있다.
본 실시예에 채용된 절연막(13)은 n형 질화물 반도체층과 p형 질화물 반도체층이 서로 접촉하는 것을 방지하는 기능을 하며, 이러한 기능을 고려하였을 때, 실리콘 산화물이나 실리콘 질화물을 이용하여 형성될 수 있으며, 예를 들어, SiO2, TiO2, Si3N4, Al2O3, TiN, AlN, ZrO2, TiAlN, TiSiN 등일 수 있다.
도 1c를 참조하면, 절연막(13)의 적어도 하나의 개구(14)에 의해 노출된 버퍼층(12) 위에 각각 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층(15)을 성장한다.. 일 예로 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층(15)의 성장은 기판(11)이 구비된 반응로 내의 온도를 900℃ 내지 1100℃ 로 유지하면서 갈륨 공급원인 TMGa를 약 10 내지 약 200 sccm, 암모니아(NH3) 가스 약 15000 내지 약 20000 sccm를 공급하면서 약 1000℃ 내지 약 1100 ℃의 온도에서 절연막(13)의 높이, 즉 약 50 내지 약 100nm 까지 약 1분에서 약 5 분 정도 증착할 수 있다. 제1 성장공정의 성장속도는 약 70 내지 약 120 nm/min 이다. 도 7을 참조하면, 절연막의 개구에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층이 형성된 모습을 나타내는 SEM 사진이다.
상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층(15)은 유기화합물, 바람직하게는 TMGa과 n형 불순물(바람직하게는 Si 계열)를 형성된 버퍼층(12)의 계면으로 물질 이동시킴으로써 성장 속도를 제어할 수 있다.
도 1d를 참조하면, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 기초로 해서 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)를 성장시킬 수 있다. 상기 과정을 제1 성장공정이라 칭한다.
도 2는 제1 성장공정 동안 공급되는 III 족 및 N 공급원가스와 불순물 공급원 가스의 유량을 나타낸다. 도 2를 참조하면, N 공급원 가스인 암모니아를 지속적이고 일정하게 기판에 흘려주고(23) 상기 암모니아를 기판에 흘려주는 동안, III 족 원소 공급원 가스인 TMGa를 펄스 모드로 소정 펄스 폭 및 소정 주기를 가지고 기판 위에 흘려준다(22). 이때 불순물 도핑의 경우 불순물 공급원 가스 또한 소정 펄스 폭과 소정 주기로 기판 위에 흘려준다(21). 상기 불순물 공급원 가스는 SiH4일 수 있다. 일 예로 제1 성장공정은 갈륨 공급원인 TMGa를 약 50 내지 약 150 sccm, 암모니아(NH3) 가스를 약 500 내지 약 5000 sccm로 유량을 줄여서 약 900 내지 약 1100℃ 온도에서 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)를 성장시킬 수 있다.
다시 도 1d를 참조하면, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)의 성장 방향은 버퍼층(12)인 n형 반도체층의 성장방향과 일치하게 성장할 수 있다. 따라서 기판 및 n형 반도체층의 성장 방향이 상기 각각의 직경 및 길이를 가지는 복수의 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)의 성장방향을 결정지을 수 있다. 이러한 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)는 한 번의 일괄 공정에 의해 제조될 수 있으며, 같은 성장 온도에서 III 족 공급원 가스의 펄스 폭, 유량, 펄스 회수, 펄스 주기 및 펄스 시간를 조절함에 따라 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)의 길이를 제어할 수 있다. 이 경우, 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)의 직경은 일정하게 유지된다. 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(16)는 도전형 반도체로서 n-GaN 또는 p-GaN으로 될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 절연막의 패턴화된 개구의 직경이 약 100 ~ 약 180 nm 인 경우에는 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 직경은 약 120 ~ 약 200 nm이며, 개구의 직경이 약 180 ~ 약 250 nm인 경우에는 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 직경이 약 200 ~ 약 280 nm, 개구의 직경이 약 250 ~ 약 400 nm인 경우에는 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 직경이 약 280 ~ 약 450 nm로 나타났다. 이로써 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 직경은 개구의 직경에 대체적으로 비례함을 알 수 있으며, 일반적으로 로드의 직경은 패턴화된 개구의 직경보다 약 10% 내지 약 20% 정도 크게 형성됨을 알 수 있다. 또한, 개구의 직경에 따라서 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 길이 또한 변화됨을 주사전자현미경을 통해 알 수 있다. 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 길이는 일괄 공정 온도에서 시간을 조절함에 따라서 길이를 조절할 수 있다.
도 3(a) 내지 3(c)는 본 발명의 실시예에 따른 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 나타내는 그림이다. 제1 성장공정을 통해 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분 형태를 결정짓는 과정을 제2 성장 공정이라 칭한다.
도 3(a) 내지 도3(c)를 참조하면, 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(26, 36, 46)은 나노로드 시드층(26a, 36a, 46a), 제1 성장 공정을 통해 성장된 나노로드 중간 부분(26b, 36b, 46b) 및 제2 성장 공정을 통해 성장된 나노로드 말단 부분(26c, 36c, 46c)으로 구성될 수 있다.
제2 성장 공정의 조건을 변화시킴에 따라 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분 형태는 도3의 (a)와 같이 평면 모양, 도3의 (b)와 같이 삼각형 모양, 도3의 (c)와 같이 다각형 모양이 될 수 있다. 제2 성장 공정의 조건에 대한 자세한 설명은 아래에 서술하기로 한다.
도 4는 제2 성장공정의 조건에 따른 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 말단 부분형태의 변화를 나타내는 그림이다. 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 말단 부분 형태를 결정하는 변수는 4가지로 제2 성장공정의 온도, TMGa유량, NH3유량 및 TMGa 펄스폭이다.
도 4의 (a)를 참조하면, 제2 성장공정의 온도가 하강할수록 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분은 평면모양에서 뾰족한 모양, 즉 삼각형 모양으로 변화한다.
도 4의 (b)를 참조하면, TMGa의 유량을 증가할수록 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분은 평면모양에서 뾰족한 모양으로 변화한다.
도 4의 (c)를 참조하면, NH3의 유량을 증가할수록 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분은 평면모양에서 뾰족한 모양으로 변화한다.
도 4의 (d)를 참조하면, TMGa의 펄스폭이 증가할수록 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분은 평면모양에서 뾰족한 모양으로 변화한다. 위에서 언급한 조건 외 나머지 3가지 조건은 각각 동일하다. 도 8a 내지 8c는 상기 제2 성장공정을 거친 후, 다양한 말단 부분 모양을 가지는 제1 도전형 III족 질화물 나노로드가 성장된 모습을 나타내는 SEM 사진이다.
한편, 제 1 및 제 2의 성장공정에서 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 성장속도는 약 30 내지 약 70 nm/min 이다. 그리고 반응로의 내부 압력은 제1 및 제2 성장 공정 모두 약 70 mbar 내지 약 200 mbar 범위를 유지시킨다.
도 5a 내지 도 5c는 기판 위에 선택적으로 성장된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 위에 발광구조물을 형성하는 공정을 나타내는 도면이다. 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 위에 발광구조물을 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 동일한 시스템에서 일괄 공정으로 형성할 수 있다.
도 5a를 참조하면, 버퍼층(52), 절연막(53)이 순차적으로 적층된 기판(51) 위에 형성된 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(56) 표면에 활성층(57)을 형성한다. 상기 활성층(57)은 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(56)와 마찬가지로 단결정으로 성장될 수 있다. 상기 활성층(57)은 전자와 정공의 발광 재결합에 의해 소정의 에너지를 갖는 광을 방출하기 위한 목적으로 성장된다. 상기 활성층(57)은 적어도 한 쌍의 양자장벽층과 양자우물층을 구비할 수 있다. 바람직하게는 상기 활성층(57)은 다중양자우물구조를 포함하고 있다. 일 예로 양자장벽층은 AlyGa1 - yN(0≤y≤1)으로 되어 있고, 양자우물층은 InxGa1 - xN(0≤x≤1)로 되어 인듐 함량에 따라 밴드갭 에너지가 조절되도록 할 수 있다. 일 실시예로, 활성층(57)의 형성은 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(56)가 형성되는 온도보다 약 100℃ ~ 약 300℃ 낮은 온도에서 형성될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 상기 활성층(57) 위에 전자차단층(58)을 형성하는 공정을 나타낸다. 발광소자의 내부양자효율을 개선하기 위해 활성층(57)과 p형 반도체층 사이에 에너지 밴드갭(energy bandgap)이 큰 전자차단층(58)(EBL: electron blocking layer)을 구비시킬 수 있다. 상기, n형 반도체층으로부터 활성층(57)으로 유입된 전자가 p형 반도체층으로 이동하는 것을 차단하여 전자를 활성층(57) 내에 가두어 놓음으로써, 궁극적으로 활성층(57) 내에서의 전자와 정공의 재결합률을 향상시킨다. 상기 공정은 필요에 따라 포함시킬 수도 있고 제외시킬 수 도 있다.
도 5c를 참조하면, 상기 전자차단층(58) 위에 상기 전자차단층(58)의 전면을 덮도록 제2 도전형 반도체층(59)을 형성한다. 상기 제2 도전형 반도체층(59)의 두께는 약 20nm 이상일 수 있다. 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드가 n형 반도체이면, 상기 도전형 반도체(59)층은 p형 반도체층이 되고 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드가 p형 반도체이면, 상기 도전형 반도체(59)층은 n형 반도체층이 된다.
도 6은 다양한 단말 형태를 가진 제1 도전형 III족 질화물 나노로드에 발광구조물을 적층한 모습을 나타낸다. 도 6의 (a)를 참조하면 삼각형 모양의 단부를 가지는 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(66)에 활성층(67), 전자차단층(68), 제2 도전형 반도체층(69)이 형성된 구조이다. 도 6의 (b)를 참조하면 다각형 모양의 단말 형태를 가지는 제1 도전형 III족 질화물 나노로드(76)에 활성층(77), 전자차단층(78), 제2 도전형 반도체층(79)이 형성된 구조이다. 본 그림과 같이 제1 도전형 III족 질화물 나노로드에 적층된 각 구조물은 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 형상과 동일한 형상으로 형성될 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 III족 질화물 나노로드 발광소자의 EL(Electroluminiscence) 특성을 나타내는 도면이다. 상기 발광소자로부터 약 450nm의 파장을 가지는 빛이 발광됨을 알 수 있다. 인가되는 전압이 증가함에 따라서 발광세기는 증가함을 알 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라 제조된 III족 질화물 나노로드 발광소자는 다양한 직경 및 길이를 가지는 단결정의 III족 질화물 나노로드를 형성함에 따라 활성층의 조성비 및 발광 파장 범위를 조절할 수 있다. 또한 III족 질화물 나노로드의 결정성이 향상됨으로써 이에 의해, 전자와 정공의 복수의 발광 메커니즘 및 발광 재결합 효율이 높아져 발광 효율이 향상될 수 있다. 또한, 활성층의 표면을 전부 덮도록 p형 반도체층을 형성함으로써, 활성층과 p형 반도체층의 접촉 면적, 즉, 전류 주입 면적이 증가 될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
11, 51: 기판 12, 52: 버퍼층
13, 53: 절연막 14: 개구
15: 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층
16, 56, 66: 제1 도전형 III족 질화물 나노로드
57, 67, 77: 활성층 58, 68, 78: 전자차단층
59, 69, 79: 제2 도전형 반도체층

Claims (16)

  1. 기판을 마련하는 단계;
    상기 기판 위에 상기 기판의 일부분을 노출하는 적어도 하나의 개구를 갖는 절연막을 형성하는 단계;
    III족 원소 공급원 가스와 질소(N) 공급원 가스를 공급하여 상기 개구에 노출된 상기 기판 위에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 단계;
    III족 원소 공급원 가스 및 불순물 공급원 가스를 펄스 모드로 공급하고 N 공급원가스를 지속적으로 공급하여 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층 위에 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계;
    상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 각각의 표면에 활성층을 형성하는 단계; 및
    상기 활성층의 위에 제2 도전형 질화물 반도체층을 형성하는 단계를 포함하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 단계에서 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층의 성장속도는 70 nm/min 내지 120 nm/min 범위 인 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 성장하는 단계에서, 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층을 상기 절연막의 높이까지 성장하는 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계는 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드 시드층 위에 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 중간 부분을 형성하는 제1 성장공정 단계 및 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분을 형성하는 제2 성장공정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 성장공정 단계는 제2 성장공정 단계의 온도, 상기 III족 원소 공급원 가스 유량, N 공급원 가스 유량 및 III족 원소 공급원 가스 펄스 폭 중 적어도 하나를 조절하여 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 말단 부분의 모양을 제어하는 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드를 성장하는 단계에서 상기 제1 도전형 III족 질화물 나노로드의 성장속도는 30 nm/min 내지 70 nm/min 범위인 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 III족 원소 공급원 가스 및 상기 불순물 공급원 가스를 소정 주기와 소정 펄스 폭을 가진 펄스모드로 흘리는 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 불순물 공급원 가스는 SiH4인 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 III족 원소 공급원 가스는 TMGa인 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 N 공급원 가스는 암모니아(NH3)인 것을 특징으로 하는 III족 질화물 나노로드 발광소자의 제조방법.
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