KR101675010B1 - 유리 기판 연마 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레이저를 이용함으로써 유리 기판의 크기와 종류에 관계없이 균일하고 평탄한 연마를 가능하게 하는 유리 기판 연마 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치는, 상부에 유리 기판이 장착되는 장착 모듈; 상기 유리 기판의 측면에 구비되고, 상부에서 하부 방향으로 이동하면서, 유리 기판 연마용 레이저 빔을 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 조사하는 조사 모듈; 상기 유리 기판의 연마 개시점을 감지하는 감지 모듈; 및 상기 감지 모듈에 의해 상기 연마 개시점이 감지된 경우, 상기 연마 개시점에서 상기 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 시작되도록 상기 조사 모듈을 제어하는 제어 모듈을 포함한다.

Description

유리 기판 연마 장치 및 방법{Apparatus and method for polishing glass substrate}

본 발명은 유리를 연마하는 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저를 이용함으로써 유리 기판의 크기와 종류에 관계없이 균일하고 평탄한 연마를 가능하게 하는 유리 기판 연마 장치 및 유리 기판 연마 방법에 관한 것이다.

생활 및 산업 분야 전반에 걸쳐 유리는 다양한 용도로 널리 이용되고 있다. 이러한 유리의 경우 여러 가지 형태로 이용되고 있으나, 특히 평판 유리(flat glass) 형태, 즉 유리 기판(유리판) 형태가 널리 이용되고 있다. 일반적으로 유리 기판은 그 표면을 평탄화하기 위해 연마(polishing)가 수행되는 경우가 많다. 특히, 최근에는 디스플레이 장치의 급속화된 발전에 따라, 이에 적용되는 유리 기판의 품질 요구가 점차 높아지고 있다. 이러한 디스플레이용 유리 기판의 경우, 화상을 정확히 구현하기 위해 그 평탄도를 일정 수준으로 유지하는 것이 매우 중요하다. 따라서, 유리 기판의 표면에 존재하는 미세한 요철 또는 기복을 제거하기 위해 연마 공정이 수행되는 것이 일반적이다.

종래에는 이러한 유리 기판을 연마하기 위해, 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing) 방식이 널리 이용되고 있다. 이러한 화학적 기계적 연마는, 대표적으로, 유리 기판을 하부 유니트(하정반)에 위치시킨 상태에서, 상부 유니트(상정반)의 연마 패드를 유리판에 접촉시키고 하부 유니트를 회전시키는 방식으로 이루어진다. 이때, 상부 유니트 상에는 연마액이 공급될 수 있다. 또는, 화학적 기계적 연마는, 하부 유니트에 연마 패드를 설치하고, 상부 유니트(상정반)에 유리 기판을 위치 고정시킨 상태에서 소정의 연마액을 연마 대상 유리 기판에 공급하면서 유리 기판을 연마하는 방식으로 이루어질 수도 있다.

이와 같은 화학적 기계적 연마는 여러 문제점을 갖고 있다. 대표적으로, 초기 기판의 표면 상태에 영향을 많이 받아 균일한 연마가 힘들고, 기판의 크기와 종류에 따라 연마 방법을 다르게 해야 할 필요가 있다. 또한, 연마시 세정액을 공급해 주어야 하고, 기판의 가장자리가 불균형하게 깎이거나 떨어져 나가는 칩핑(chipping) 현상이 일어나기 쉬우며, 시간이 오래 걸린다는 단점도 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 종래의 화학적 기계적 연마 방식이 아닌 레이저를 이용하여 유리 기판을 연마하는 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리 기판 연마 장치는, 상부에 유리 기판이 장착되는 장착 모듈; 상기 유리 기판의 측면에 구비되고, 상부에서 하부 방향으로 이동하면서, 유리 기판 연마용 레이저 빔을 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 조사하는 조사 모듈; 상기 유리 기판의 연마 개시점을 감지하는 감지 모듈; 및 상기 감지 모듈에 의해 상기 연마 개시점이 감지된 경우, 상기 연마 개시점에서 상기 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 시작되도록 상기 조사 모듈을 제어하는 제어 모듈을 포함한다.

바람직하게는, 상기 감지 모듈은, 상기 유리 기판의 가장 높은 부분을 상기 연마 개시점으로서 감지한다.

또한 바람직하게는, 상기 감지 모듈은, 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 전자기파를 방출하는 송신부 및 상기 송신된 전자기파를 수신하는 수신부를 포함한다.

또한 바람직하게는, 상기 제어 모듈은, 상기 연마 개시점에서 상기 레이저 빔 조사가 시작되도록 상기 조사 모듈을 제어한다.

또한 바람직하게는, 상기 제어 모듈은, 상부에서 하부 방향으로의 이동 속도가 일정하지 않은 상태에서 상기 레이저 빔을 조사하도록 상기 조사 모듈을 제어한다.

또한 바람직하게는, 상기 감지 모듈은 상기 유리 기판의 연마 종료점을 감지하고, 상기 제어 모듈은 상기 연마 종료점에서 상기 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 종료되도록 상기 조사 모듈을 제어한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리 기판 연마 방법은, 장착 모듈에 유리 기판이 장착되는 단계; 상기 유리 기판의 연마 개시점이 감지되는 단계; 및 상기 연마 개시점이 감지된 경우, 상부에서 하부 방향으로 이동하면서, 레이저 빔이 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 조사되는 단계를 포함한다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 레이저 빔을 이용하여 유리 기판의 표면을 연마함으로써, 기판의 초기 상태와 관계없이 기판 표면 전체적으로 균일하고 평탄한 연마가 가능해질 수 있다.

또한, 본명의 일 측면에 의하면, 유리 기판의 측면에서 유리 기판의 표면에 수평하게 레이저 빔을 조사함으로써 유리 기판의 크기와 종류에 관계없이 연마를 수행할 수 있으며, 연마재를 공급할 필요도 없다.

그리고, 본 발명의 일 측면에 의하면, 유리 기판 가장자리도 균일하게 연마되도록 할 수 있으며, 연마 시간을 단축시킬 수 있다.

특히, 본 발명의 일 측면에 의하면, 유리 기판의 상부에서부터 순차적으로 연마가 진행되고 한꺼번에 큰 유리 덩어리들이 유리 기판 표면에서 떨어져 나가는 칩핑 현상이 방지되므로, 이러한 덩어리들로 인해 유리 기판의 손상이나 파손이 일어나는 것을 방지할 수 있다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치의 기능적 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치에 의한 레이저 연마 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 감지 모듈이 연마 개시점을 감지하는 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4 내지 도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 개시되는 구성을 순차적으로 나타내는 도면이다.
도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상에 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치의 기능적 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치에 의한 레이저 연마 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유리 기판 연마 장치는, 장착 모듈(110), 조사 모듈(120), 감지 모듈(130) 및 제어 모듈(140)을 포함한다.

상기 장착 모듈(110)은, 상부에 유리 기판(G)이 장착되는 구성요소이다. 장착 모듈(110)은, 이와 같이 유리 기판(G)을 상부면에 장착함으로써, 유리 기판(G)을 지지하고 고정한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 유리 기판(G)의 상면이 연마되어야 하는 연마면일 때, 장착 모듈(110)은, 유리 기판(G)의 이러한 연마면이 상부에 위치하도록 유리 기판(G)을 장착한다.

다만, 상기 장착 모듈(110)은 하부에 유리 기판(G)을 장착할 수도 있다. 즉, 도 2에 도시된 구성이 상하 반전된 형태로 장착 모듈(110)에 유리 기판(G)이 장착될 수 있다. 이 경우, 장착 모듈(110)은 진공 흡입 수단 등을 구비하여 유리 기판(G)을 지지 및 고정할 수 있다.

특히, 장착 모듈(110)은, 유리 기판(G)과 직접적으로 접촉하므로, 유리 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있는 것이 좋다. 따라서, 상기 장착 모듈(110)은 유리 기판(G)을 안정적으로 지지 및 탑재하기 위해 상부에 마운팅 패드를 구비할 수 있다. 마운팅 패드는 유리 기판(G)이 손상되는 것을 방지하기 위해 고분자층을 구비할 수 있으며, 유리 기판(G)은 이러한 마운팅 패드 위에 안정적으로 위치할 수 있게 된다.

바람직하게는, 상기 장착 모듈(110)은, 도 2에서 화살표 b로 표시된 바와 같이, 유리 기판(G)을 외주부 방향으로 회전시킬 수 있다. 이러한 실시예에 의하면, 조사 모듈(120)이 유리 기판(G) 전체 표면에 레이저 빔(L)을 조사하기 위해 수평 방향으로 이동할 필요 없이, 한 방향, 이를테면 유리 기판(G)의 중앙 부분으로 레이저 빔(L)을 조사하더라도, 유리 기판(G)의 회전에 의해 유리 기판(G) 전체에 레이저 빔(L)이 조사되는 효과를 얻을 수 있다.

또한 바람직하게는, 상기 장착 모듈(110)은, 상승 또는 하강 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 유리 기판(G)이 장착되도록 하기 위해 장착 모듈(110)은 하강하고, 유리 기판(G)의 표면에 레이저 빔(L)이 조사되도록 하기 위해 장착 모듈(110)은 상승할 수 있다.

또한, 상기 장착 모듈(110)은, 유리 기판(G)의 지지 및 고정력을 확보하기 위해 진공 흡입 장치와 같은 여러 고정 장치를 구비할 수 있다.

상기 조사 모듈(120)은, 유리 기판(G)의 측면에 구비되며, 유리 기판(G)을 연마하기 위한 레이저 빔(L), 즉 유리 기판 연마용 레이저 빔을 생성한다. 그리고, 상기 조사 모듈(120)은, 이와 같이 생성한 연마용 레이저 빔(L)을 유리 기판(G)의 측면에서부터 유리 기판(G)의 표면 방향으로, 유리 기판(G)과 평행하게 조사한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 조사 모듈(120)은, 연마하고자 하는 유리 기판(G)의 표면에 대하여, 수평한 방향으로 레이저 빔(L)을 조사한다.

특히, 상기 조사 모듈(120)은, 상부에서 하부 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 그리고, 조사 모듈(120)은, 이와 같이 상부에서 하부 방향으로 이동하면서 레이저 빔(L)을 수평 방향으로 조사할 수 있다. 이러한 실시예에 의하면, 유리 기판(G)의 연마 표면에 대하여 레이저 빔(L)은 상부에서 하부 방향으로 이동하면서 조사되게 된다. 따라서, 레이저 빔(L)은 유리 기판(G)의 상부 표면에서 하부 방향으로 이동되면서 연속적으로 조사되므로, 유리 기판(G)의 연마 표면에서 비교적 큰 유리 덩어리들이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 이러한 덩어리들에 의해 유리 기판(G) 연마 표면이 손상되거나 파손되는 것을 방지할 수 있다.

즉, 조사 모듈(120)이 상부 표면에서부터 하부 방향으로 이동하면서 연속적으로 레이저 빔을 조사하지 않고, 소정 높이에서만, 또는 소정 높이마다 레이저 빔을 조사하게 되면, 한꺼번에 큰 유리 덩어리들이 유리 기판(G) 표면으로부터 떨어져 나갈 수 있다. 그리고, 이러한 유리 덩어리들이 떨어져 나간 자리는 유리 기판(G)의 결함으로 남을 수 있음은 물론, 유리 덩어리들로 인해 유리 기판(G)의 연마면이 손상될 수도 있다. 하지만, 본원 발명에 의할 경우, 조사 모듈(120)이 상부에서부터 하부 방향으로 이동하면서 연속적으로 레이저 빔을 조사(송출)하므로, 유리 기판(G) 연마면에서 유리 기판이 미세한 크기씩 떨어져 나가게 된다. 따라서, 상기와 같은 유리 기판의 결함이나 손상 등을 방지할 수 있다.

상기 감지 모듈(130)은, 유리 기판(G)의 연마 개시점을 감지한다. 여기서, 연마 개시점이란, 유리 기판(G)의 연마가 개시되는 지점 내지 시점을 의미하는 것으로, 상기 감지 모듈(130)은 유리 기판(G)의 연마가 언제 또는 어느 곳에서 시작되어야 하는지를 감지한다.

바람직하게는, 상기 감지 모듈(130)은, 유리 기판(G)의 하면(바닥면)에서부터 가장 높은 부분, 즉 유리 기판(G)의 최고점을 연마 개시점으로 감지할 수 있다. 다시 말해, 상기 감지 모듈(130)은, 연마되기 위한 유리 기판(G)의 표면 중 하면에서부터 가장 높이 솟아 있는 부분을 확인하고, 이를 유리 기판(G)의 연마 개시점으로 감지할 수 있다.

도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 감지 모듈(130)이 연마 개시점을 감지하는 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 감지 모듈(130)은, 송신부(131) 및 수신부(132)를 포함하도록 구성될 수 있다.

상기 송신부(131)는, 유리 기판(G)의 표면에 대하여 평행한 방향으로 전자기파(W)를 방출한다. 특히, 상기 송신부(131)는, 상부에서 하부 방향으로 이동하면서, 전자기파(W)를 방출할 수 있다. 여기서, 송신부(131)에 의해 방출되는 전자기파(W)에는 적외선이나, 자외선, 가시광선 등과 같은 다양한 전자기파가 포함될 수 있다.

바람직하게는, 상기 송신부(131)는, 전자기파(W)로서 레이저 빔을 방출할 수 있다. 이 경우, 상기 송신부(131)는, 조사 모듈(120)에 의해 구현될 수 있다. 즉, 상기 조사 모듈(120)은 유리 기판(G)을 연마하기 위한 연마용 레이저 빔을 조사할 수도 있고, 감지 모듈(130)의 송신부(131)로서 연마 개시점을 감지하기 위한 감지용 레이저 빔을 조사할 수도 있다. 이때, 조사 모듈(120)이 방출하는 감지용 레이저 빔은 연마용 레이저 빔보다 출력(세기)이 약할 수 있다. 이러한 실시예에 의하면, 조사 모듈(120)과 감지 모듈(130)의 송신부(131) 구성을 일체화할 수 있어, 비용 및 부피 절감 등의 달성에 용이할 수 있다.

상기 수신부(132)는, 상기 송신부(131)에 의해 송신되는 전자기파(W)를 수신한다. 즉, 상기 수신부(132)는, 송신부(131)에 의해 방출된 전자기파(W)가 유리 기판(G) 표면 상부를 통과하거나 반사된 경우, 이러한 전자기파(W)를 수신할 수 있다.

보다 구체적으로, 도 3을 참조하면, 송신부(131)는 (c1) 지점에서 (c2) 지점으로 수직 이동하면서 수평 방향으로 전자기파(W)를 방출할 수 있다. 만일, 송신부(131)가 (c1) 지점에 위치하면서 수평 방향으로 전자기파(W)를 방출하는 경우, 송신부(131)에 의해 방출된 전자기파(W)의 진행 경로에는 유리 기판(G)의 표면이 존재하지 않으므로, 전자기파(W)는 큰 방해를 받지 않고 수신부(132)에 도달할 수 있다. 반면, 송신부(131)가 (c2) 지점에 위치하면서 수평 방향으로 전자기파(W)를 방출하는 경우, 송신부(131)에 의해 방출된 전자기파(W)의 진행 경로에는 유리 기판(G)의 표면이 높이게 된다. 따라서, 송신부(131)에 의해 방출된 전자기파(W)는 유리 기판(G)에 의해 반사되거나 굴절되는 등 진행이 방해받게 된다. 그러므로, 이 경우 수신부(132)는 방출된 전자기파(W)를 제대로 수신하지 못하거나 그 양 또는 방향의 변화를 인지할 수 있다. 따라서, 수신부(132)는 수신되는 전자기파(W)에 변화가 있는 것을 인지하고 해당 높이에서 유리 기판(G)이 존재함을 감지할 수 있게 된다.

즉, 도 3의 실시예에서, 상기 감지 모듈(130)은, 송신부(131)가 하강하는 중에, 최초 (c2) 지점에서 유리 기판(G)을 감지하였으므로, 이러한 c2 지점에 유리 기판(G)의 가장 높은 부분이 있는 것으로 확인할 수 있다. 그러므로, 감지 모듈(130)은, c2 지점을 연마 개시점으로서 감지할 수 있다.

다만, 도 3에 도시된 연마 개시점 감지 구성은 일례에 불과할 뿐, 본 발명이 반드시 이러한 연마 개시점 감지 구성으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 3에서는, 송신부(131)가 상부에서 하부 방향으로 이동하면서 수평 방향으로 전자기파(W)를 송신하는 구성이 예시되어 있으나, 송신부(131)가 이동하지 않고 전자기파(W)의 방출 방향만 변화시키는 구성도 가능하다. 또 다른 예로서, 도 3에서는, 수신부(132)가 유리 기판(G)을 기준으로 송신부(131)의 반대 측면에 설치되는 구성이 예시되어 있으나, 수신부(132)는 송신부(131)와 동일한 측면에 설치될 수도 있다. 이 경우, 수신부(132)는 유리 기판(G)에 의해 반사되는 전자기파(W)를 수신할 수 있다.

상기 제어 모듈(140)은, 감지 모듈(130)에 의해 연마 개시점이 감지된 경우, 연마 개시점에서 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 시작되도록 조사 모듈(120)을 제어한다. 다시 말해, 본 발명에 따른 유리 기판 연마 장치에서, 조사 모듈(120)은 상부에서 하부 방향으로 이동하는 중에 유리 기판(G) 연마를 위한 레이저 빔을 계속해서 조사하는 것이 아니고, 감지 모듈(130)에 의해 유리 기판(G)의 연마 개시점이 감지된 경우에야 비로소 레이저 빔을 조사하도록, 제어 모듈(140)에 의해 제어된다.

도 4 내지 도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 개시되는 구성을 순차적으로 나타내는 도면이다. 도 4 내지 도 7에서, 유리 기판(G)의 연마면은 상면이며, 유리 기판(G)의 연마면 중 하면에서부터 가장 높은 부분의 높이는 h라고 한다.

도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 조사 모듈(120)과 감지 모듈(130)은 모두 화살표 a로 표시된 바와 같이 상부에서 하부 방향으로 이동할 수 있다.

우선 도 4를 참조하면, 감지 모듈(130)은 화살표 a 방향으로 이동하면서, 수평 방향으로 전자기파(W)를 방출(송출)할 수 있다. 도 4에서는, 감지 모듈(130)에 의한 전자기파(W) 방출 높이가 h보다 높으므로, 전자기파(W)는 유리 기판(G)에 의해 진행 경로가 방해받지 않게 되고, 감지 모듈(130)은 연마 개시점을 아직 감지하지 못한 상태가 된다. 따라서, 이 경우, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)로 하여금 유리 기판 연마용 레이저 빔이 조사되지 않도록 한다.

다음으로, 도 5를 참조하면, 감지 모듈(130)은 화살표 a 방향으로 하강하다가, 유리 기판(G)의 하면에서부터의 높이가 h인 지점에 위치할 수 있다. 이 경우, 감지 모듈(130)에 의해 방출된 전자기파(W)는 유리 기판(G)에 의해 진행 경로가 최초로 방해받게 되고 굴절 또는 반사된다. 이때, 감지 모듈(130)은 유리 기판(G)의 연마 개시점을 감지한 것으로 볼 수 있다. 즉, 감지 모듈(130)은 유리 기판(G)의 하면에서부터의 높이가 h인 지점을 연마 개시점으로 감지할 수 있다. 그리고, 이러한 정보는 제어 모듈(140)로 전송될 수 있다.

그러면, 제어 모듈(140)은, 도 6에 도시된 바와 같이 조사 모듈(120)이 이러한 연마 개시점에 위치할 때 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사를 시작하도록 할 수 있다. 즉, 제어 모듈(140)은, 조사 모듈(120)이 유리 기판(G)의 하면에서부터의 높이가 h인 지점에 위치하는 경우, 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사하도록 할 수 있다. 이때, 제어 모듈(140)은, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120) 사이의 거리, 조사 모듈(120)의 상하 이동 속도 등을 고려하거나, 유리 기판(G)의 하면에서부터 조사 모듈(120) 사이의 거리 등을 고려하여, 조사 모듈(120)이 연마 개시점에 위치하였는지를 판단할 수 있다.

이처럼, 조사 모듈(120)이 연마 개시점에서부터 연마용 레이저 빔을 조사하여 유리 기판(G) 연마를 시작하게 되는데, 이러한 레이저 빔의 조사는 도 7에 도시된 바와 같이 조사 모듈(120)이 하부 방향(a 방향)으로 이동하는 중에 계속 수행되게 된다.

이처럼, 본 발명의 이러한 실시예에 의하면, 연마가 필요한 연마 개시점이 감지된 경우에야 비로소 연마용 레이저 빔이 조사되므로, 불필요한 레이저 빔의 조사를 방지할 수 있다. 또한, 연마용 레이저 빔의 조사가 하부 방향으로 이동하는 중에 연속적이고 계속적으로 이루어지게 되므로, 유리 기판(G)이 큰 덩어리들로 떨어져 나가 발생하는 칩핑 현상이나 유리 결함 등을 방지할 수 있다.

한편, 도 4 내지 도 7의 실시예에서는, 조사 모듈(120)과 감지 모듈(130)이 서로 다른 높이에 위치하는 것으로 도시되었으나, 조사 모듈(120)과 감지 모듈(130)은 동일한 높이에 위치할 수도 있다. 이러한 실시예에서는, 감지 모듈(130)에 의해 연마 개시점이 감지되는 즉시, 조사 모듈(120)에 의해 연마용 레이저 빔이 조사되도록 제어 모듈(140)에 의해 제어될 수 있다.

또한, 앞서 설명한 바와 같이, 조사 모듈(120)은 연마용 레이저 빔을 조사할 수 있도록 구성됨과 함께 감지용 레이저 빔을 조사할 수 있도록 구성될 수도 있다. 이러한 실시예에서는, 조사 모듈(120)은 연마 개시점이 감지되기 전에는 상대적으로 약한 세기의 감지용 레이저 빔을 출력하다가, 연마 개시점을 감지한 후에는 출력(세기)을 높여 연마용 레이저 빔을 출력할 수 있다. 예를 들어, 도 4 내지 도 7의 실시예를 참조하면, 조사 모듈(120)이 h보다 높은 지점에 위치하는 경우에는 약한 세기의 레이저 빔을 출력하여 연마 개시점 감지를 수행하다가, 조사 모듈(120)이 h인 지점에 위치하여 연마 개시점을 감지한 경우에는 보다 강한 세기의 레이저 빔을 출력하여, 유리 기판(G)의 연마를 수행할 수 있다.

한편, 상기 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)이 모두 상부에서 하부 방향으로 이동하는 구성인 경우, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)은 서로 고정 연결될 수 있다. 이처럼, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)이 서로 고정 연결되면, 상부에서 하부 방향으로의 수직 이동은 동시에 이루어질 수 있다. 예를 들어, 감지 모듈(130)이 조사 모듈(120)의 하부에 소정 거리 이격된 상태로 위치하도록 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)이 고정되어, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)은 서로 동일한 속도로 수직 이동되도록 구성될 수 있다. 또는, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)은 유리 기판(G)의 하면을 기준으로 동일한 높이에 위치하여, 동일한 높이에서 각각 감지 기능과 레이저 빔 조사 기능을 수행할 수 있다. 이와 같이, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)이 서로 고정되는 경우, 감지 모듈(130)과 조사 모듈(120)의 수직 이동이 용이해지는 것은 물론, 제어 모듈(140)이 감지 모듈(130)에 의해 감지된 연마 개시점에서 조사 모듈(120)에 의한 레이저 빔 조사가 이루어지도록 제어하는 것이 용이해질 수 있다.

바람직하게는, 상기 제어 모듈(140)은, 조사 모듈(120)로 하여금, 상부에서 하부 방향으로의 이동 속도가 일정하지 않은 상태에서 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사하도록 할 수 있다. 특히, 조사 모듈(120)은, 제어 모듈(140)의 제어 하에, 소정 높이마다 소정 시간 동안 정지한 상태로 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사할 수 있다. 이에 대해서는 도 8을 참조하여, 보다 상세하게 설명하도록 한다.

도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 8에서 유리 기판의 상부 측 표면이 연마면에 해당한다.

도 8에서 연마 개시점을 유리 기판(G)의 하면에서부터의 높이 h1 지점이라고 가정할 때, 조사 모듈(120)은, 화살표 a로 표시된 바와 같이, 하부 방향으로 이동하다가, h1 지점에 이르렀을 때, 유리 기판(G) 표면으로 연마용 레이저 빔을 조사할 수 있다. 그리고, 조사 모듈(120)은 연마용 레이저 빔을 조사하면서 계속해서 하부 방향으로 이동할 수 있는데, 소정 높이마다 소정 시간 동안 정지할 수 있다.

즉, 조사 모듈(120)은 h1 지점에서 연마용 레이저 빔 조사를 시작하여 하부 방향으로 이동하다가 h2 지점에 이르렀을 때, 소정 시간 동안 정지한 상태로 레이저 빔을 조사할 수 있다. 그리고, 소정 시간 경과 후, 조사 모듈(120)은 다시 하부 방향으로 이동하고 h3 지점에 이르렀을 때, 소정 시간 동안 정지한 상태로 레이저 빔을 조사할 수 있다. 그리고 나서, 소정 시간 경과 후, 조사 모듈(120)은 레이저 빔을 조사하면서 다시 하부 방향으로 이동할 수 있다.

이때, 소정 높이에서의 정지 시간은 각 높이마다 동일하게 구성될 수도 있고, 다르게 구성될 수도 있다. 예를 들어, 조사 모듈(120)은 h2 지점 및 h3 지점에서 각각 5초간 정지하면서 연마용 레이저 빔을 조사할 수 있다.

이러한 실시예에 의하면, 소정 높이마다 소정 시간 동안 정지한 상태로 연마용 레이저 빔이 유리 기판(G)에 조사되도록 함으로써, 해당 높이에서 유리 기판(G) 연마가 보다 확실하게 이루어지도록 할 수 있다. 예를 들어, 조사 모듈(120)이 계속 하부 방향으로 이동하면서 레이저 빔을 조사하는 경우, 연마되어야 하는 부분의 양이 상대적으로 많은 지점(높이)에서는 연마가 제대로 이루어지지 않은 상태에서 조사 모듈(120)이 하부 방향으로 이동할 수 있다. 하지만, 이러한 실시예와 같이 소정 높이마다 소정 시간 동안 정지한 상태에서 레이저 빔의 조사가 이루어지도록 한다면, 소정 높이마다 레이저 빔에 의한 유리 기판(G)의 연마가 보다 확실하게 이루어지도록 함으로써, 유리 기판(G) 연마의 효과가 향상될 수 있다.

더욱 바람직하게는, 상기 감지 모듈(130)은, 소정 높이에서 유리 기판(G)의 제거 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 도 8의 실시예에서, 조사 모듈(120)이 h2 지점에서 연마용 레이저 빔을 조사하는 경우, 감지 모듈(130)은 h2 지점보다 높은 지점에 위치한 유리 기판(G) 연마면이 모두 제거되었는지 여부를 감지할 수 있다.

이 경우, 제어 모듈(140)은, 감지 모듈(130)에 의한 유리 기판 제거 여부 감지 결과에 따라 조사 모듈(120)의 상하 방향 이동 속도를 제어할 수 있다.

예를 들어, 도 8의 실시예에서, 감지 모듈(130)은, 높이 h2, h3 및 h4 지점에서 각각 유리 기판의 제거 여부를 감지할 수 있다. 즉, 감지 모듈(130)은, 조사 모듈(120)이 h2 지점에 위치해 있을 때 h2 지점보다 높은 부분의 유리 기판이 모두 제거되었는지 감지하고, 조사 모듈(120)이 h3 지점에 위치해 있을 때 h3 지점보다 높은 부분의 유리 기판이 모두 제거되었는지 감지할 수 있다.

만일, 조사 모듈(120)이 h2 지점에 위치해 있을 때 유리 기판이 모두 제거되지 않은 것으로 감지된 경우, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)에 대한 하부 방향으로의 이동 속도가 늦어지도록 할 수 있다. 즉, 조사 모듈(120)이 h2 지점에서 연마용 레이저 빔을 조사하는 상황에서 해당 부분의 유리 기판이 모두 제거되지 않은 것으로 감지된 경우에는 유리 기판의 연마가 제대로 이루어지지 않은 것이므로, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)의 하강 속도를 늦춰 레이저 빔에 의한 연마가 보다 확실하게 이루어지도록 할 수 있다.

특히, 이러한 실시예에서 제어 모듈(140)은, 감지 모듈(130)에 의해 소정 높이에서 유리 기판의 제거가 완료된 것으로 감지된 경우에만, 상기 조사 모듈(120)로 하여금 하부 방향으로 이동하도록 제어할 수 있다. 보다 구체적으로, 도 8의 실시예를 참조하면, 조사 모듈(120)이 h2 지점에 위치해 있을 때, 감지 모듈(130)이 h2 지점보다 높은 부분에서 유리 기판이 모두 제거된 것으로 감지한 경우에만, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)로 하여금 하부 방향으로 이동하도록 할 수 있다. 다시 말해, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)이 h2 지점에 위치해 있을 때, 해당 지점에서 유리 기판의 제거가 모두 완료되지 않고 일부라도 존재하는 것으로 확인된 경우에는, 조사 모듈(120)로 하여금 하부 방향으로 이동하지 않도록 할 수 있다.

또한 바람직하게는, 상기 감지 모듈(130)은, 유리 기판의 연마 종료점을 감지할 수 있다. 여기서, 유리 기판의 연마 종료점이란 레이저 빔에 의한 유리 기판의 연마가 종료되어야 하는 지점 내지 시점을 의미하는 것으로, 상기 감지 모듈(130)은 연마가 언제 또는 어느 부분에서 종료되어야 하는지 감지할 수 있다.

이때, 감지 모듈(130)은, 유리 기판의 두께로부터 연마 종료점을 감지할 수 있다. 즉, 감지 모듈(130)은, 유리 기판의 하면에서부터의 높이를 통해 연마 종료점을 감지할 수 있다. 예를 들어, 도 8의 실시예에서, 감지 모듈(130)은, 유리 기판의 하면에서부터의 높이가 h4인 지점을 연마 종료점으로 감지할 수 있다.

이처럼, 감지 모듈(130)에 의해 연마 종료점이 감지되는 실시예에서는, 상기 제어 모듈(140)은 이러한 연마 종료점에서 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 종료되도록 조사 모듈(120)을 제어할 수 있다. 즉, 상기 실시예와 같이, 감지 모듈(130)에 의해 도 8의 h4 지점이 연마 종료점으로 감지된 경우, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)이 이러한 h4 지점에 위치할 때 연마용 레이저 빔의 조사가 종료되도록 할 수 있다.

특히, 상기 제어 모듈(140)은, 조사 모듈(120)로 하여금 연마 종료점에서 정지한 상태로 소정 시간 동안 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사하도록 한 후, 그러한 조사가 종료되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 실시예와 같이, 도 8의 h4 지점을 연마 종료점이라 할 때, 제어 모듈(140)은 조사 모듈(120)이 하강하여 h4 지점에 위치하는 경우 곧바로 레이저 빔의 조사를 종료하도록 하지 않고, 소정 시간 동안 레이저 빔을 조사하도록 한 후, 소정 시간이 경과한 때에 레이저 빔의 조사를 종료하도록 할 수 있다. 이러한 실시예에 의하면, 연마 종료점에서 레이저 빔의 조사가 곧바로 종료되지 않도록 함으로써 연마 종료점에서 연마가 제대로 이루어지지 않는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 실시예에서는, 제어 모듈(140)이 조사 모듈(120)로 하여금 상부에서 하부 방향으로의 이동 속도가 일정하지 않은 상태에서 연마용 레이저 빔을 조사하도록 하는 구성의 실시예가 주로 설명되었으나, 제어 모듈(140)은 상부에서 하부 방향으로의 이동 속도가 일정한 상태에서 연마용 레이저 빔을 조사하도록 조사 모듈(120)을 제어할 수도 있다.

또한 바람직하게는, 상기 제어 모듈(140)은, 조사 모듈(120)로 하여금, 소정 높이에서 하부에서 상부 방향으로 이동하도록, 상승 이동하도록 제어할 수 있다. 즉, 상기 실시예에서는 조사 모듈(120)이 상부에서 하부 방향으로 이동하는 구성을 위주로 설명되었으나, 이러한 조사 모듈(120)은 소정 높이에서는 하부에서 상부 방향으로 이동하도록 구성될 수도 있다. 이러한 실시예에 의하면, 조사 모듈(120)의 이동에 의한 레이저 빔 조사가 소정 높이에서 2회 이상 반복적으로 수행될 수 있다. 따라서, 레이저 빔 조사에 의한 유리 기판의 연마가 보다 확실하게 이루어지도록 할 수 있다.

특히, 이 경우, 상기 제어 모듈(140)은, 조사 모듈(120)이 하부에서 상부 방향으로 이동하는 중에도 레이저 빔을 조사하도록 조사 모듈(120)을 제어할 수 있다.

예를 들어, 도 8의 실시예를 참조하면, 조사 모듈(120)은 h1 지점에서 h2 지점을 거쳐 h3 지점까지 하향 이동하면서 레이저 빔을 유리 기판의 표면으로 조사하다가, h3 지점에서 다시 h2 지점으로 상향 이동하면서 유리 기판의 표면에 레이저 빔을 조사할 수 있다. 이 경우, 하부 방향 이동과 상부 방향 이동에서 모두 조사 모듈(120)에 의한 레이저 빔 조사가 이루어지므로, 보다 짧은 시간에 효과적인 레이저 연마가 수행되도록 할 수 있다.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이 장착 모듈(110)이 유리 기판을 회전시키는 실시예에서는, 상기 제어 모듈(140)은 장착 모듈(110)과 연결되어 장착 모듈(110)의 유리 기판 회전 속도를 제어할 수 있다. 이러한 실시예에 의할 경우, 유리 기판의 회전 속도 제어를 통해 보다 효율적인 유리 기판 연마가 가능해지도록 할 수 있다. 예를 들어, 제어 모듈(140)은, 감지 모듈(130)에 의해 연마 개시점이 감지되기 전보다 감지된 이후에 유리 기판의 회전 속도가 높아지도록 할 수 있다.

한편, 도 2 내지 도 8에서 유리 기판이나 유리 기판 연마 장치의 각 구성에 대한 형태, 스케일 등은 설명의 편의를 위해 도시된 것일 뿐, 본 발명이 이러한 도시 구성에 의해 제한되는 것은 아니다.

바람직하게는, 본 발명에 따른 유리 기판 연마 장치는, 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 제거 모듈(150)을 더 포함할 수 있다.

상기 제거 모듈(150)은, 유리 기판의 표면에 존재하는 이물질을 제거할 수 있다. 즉, 상기 제거 모듈(150)은 조사 모듈(120)에 의해 레이저 빔이 조사됨으로써 유리 기판의 표면에 대한 연마 공정이 수행되는 경우, 이러한 연마 공정에 의해 유리 기판으로부터 떨어져 나온 찌꺼기, 이를테면 유리 파편이나 부스러기 등의 이물질을 제거할 수 있다.

이때, 제거 모듈(150)은, 진공 흡입 등의 방식으로 상기 이물질을 흡입함으로써 상기 유리 기판의 표면으로부터 이물질을 제거할 수 있다. 또는, 상기 제거 모듈(150)은, 유리 기판의 표면에 공기나 물 등의 유체를 분사함으로써 상기 유리 기판 표면으로부터 이물질을 제거할 수 있다. 또는 상기 제거 모듈(150)은, 이러한 흡입 및 분사 방식 모두를 이용하여 이물질 제거를 수행할 수도 있다.

특히, 본 발명에 의하면, 유리 기판의 연마면으로 연마재 등을 공급할 필요가 없으므로, 별도의 세정액에 의한 유리 기판 세척과 같은 복잡한 세정 작업을 수행하지 않고, 상기 흡입 및/또는 공기 분사 등으로 간단하게 연마 찌꺼기를 제거할 수 있다.

상술한 유리 기판 연마 장치는, 유리 기판 제조시 연마 공정에 적용될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 유리 기판 제조 장치는 상술한 유리 기판 연마 장치를 포함할 수 있다. 특히, 상술한 유리 기판 연마 장치는, LCD 유리 기판을 연마하는데에 이용되는 경우, 보다 큰 효과를 얻을 수 있다. LCD 유리 기판과 같은 디스플레이 장치에 사용되는 유리 기판은, 연마에 의해 평탄도를 일정 수준 이상 확보해야 높은 화상 품질을 구현하여 디스플레이 품질을 높일 수 있기 때문이다.

도 9는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다. 도 9에서, 각 단계의 주체는 상술한 유리 기판 연마 장치의 각 구성 요소라 할 수 있다.

도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 유리 기판 연마 방법은, 유리 기판 장착 단계(S110), 연마 개시점 감지 단계(S120) 및 레이저 빔 조사 단계(S130)를 포함하여 수행된다.

상기 유리 기판 장착 단계(S110)는, 장착 모듈(110)의 상부에 유리 기판이 장착되는 단계이다.

상기 연마 개시점 감지 단계(S120)에서는, 유리 기판의 연마가 이루어져야 하는 지점을 나타내는 연마 개시점이 감지된다.

상기 레이저 빔 조사 단계(S130)에서는, 상기 S120 단계에서 유리 기판의 연마 개시점이 감지된 경우, 유리 기판의 연마면에 대하여 레이저 빔이 평행한 방향으로 조사된다. 이때, 레이저 빔은 유리 기판의 연마면에 대하여 평행하게 조사되되, 레이저 빔의 발진 위치는 상부에서 하부 방향으로 이동한다. 즉, 상기 S130 단계에서, 레이저 빔은 수직 방향으로 이동하면서 수평 방향으로 조사된다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

한편, 본 명세서에서 '장착 모듈', '조사 모듈', '감지 모듈', '제어 모듈' 등과 같이 '부'라는 용어가 사용되었으나, 이는 논리적인 구성 단위를 나타내는 것으로서, 반드시 물리적으로 분리될 수 있거나 물리적으로 분리되어야 하는 구성요소를 나타내는 것이 아니라는 점은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에게 자명하다.

또한, 본 명세서에서 '상', '하', '좌' 및 '우'와 같이 방향을 나타내는 용어가 사용되었으나, 이는 관측자의 위치나 관점, 물체의 배치 형태 등에 따라 달라질 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 유리 기판은 장착 모듈의 하부에 장착될 수 있고, 이 경우, 조사 모듈은 하부에서 상부 방향으로 이동하면서 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사할 수 있다.

110: 장착 모듈
120: 조사 모듈
130: 감지 모듈
140: 제어 모듈
150: 제거 모듈
G: 유리 기판
L: 레이저 빔
W: 전자기파

Claims (20)

1. 상부에 유리 기판이 장착되고 장착된 상기 유리 기판을 회전시키는 장착 모듈;
   상기 유리 기판의 측면에 구비되고, 상부에서 하부 방향으로 이동하면서, 유리 기판 연마용 레이저 빔을 회전하는 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 연속적으로 조사하는 조사 모듈;
   상기 유리 기판의 연마 개시점을 감지하는 감지 모듈; 및
   상기 감지 모듈에 의해 상기 연마 개시점이 감지된 경우, 상기 연마 개시점에서 상기 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 시작되도록 상기 조사 모듈을 제어하는 제어 모듈
   을 포함하고,
   상기 감지 모듈은 상부에서 하부 방향으로 이동하면서 전자기파를 방출하는 송신부 및 상기 전자기파가 상기 유리 기판 표면 상부를 통과하거나 반사된 경우 이를 수신하는 수신부를 포함하여 상기 전자기파에 변화가 있는 것을 인지하여 해당 높이에서 상기 유리 기판이 존재함을 감지하고, 상기 조사 모듈과 서로 고정 연결되어 상부에서 하부 방향으로의 수직 이동이 동시에 이루어지며,
   상기 감지 모듈은 상기 유리 기판의 가장 높은 부분을 상기 연마 개시점으로 감지하며,
   상기 조사 모듈이 상부에서 하부 방향으로 이동하다가 상기 연마 개시점에 도달시 상기 레이저 빔 조사가 시작됨으로써 상기 유리 기판의 가장 높은 부분부터 하부 방향으로 순차적으로 상기 유리 기판 전체에 대해 연마를 진행하고,
   상기 감지 모듈은, 소정 높이에서 상기 유리 기판의 제거 여부를 감지하고,
   상기 제어 모듈은, 상기 감지 모듈에 의한 유리 기판의 제거 여부 감지 결과에 따라 상기 조사 모듈의 상하 방향 이동 속도를 제어하며, 상기 감지 모듈에 의해 소정 높이에서 유리 기판의 제거가 완료된 것으로 감지된 경우, 상기 조사 모듈이 하부 방향으로 이동하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 송신부는, 상기 유리 기판의 표면에 대하여 평행한 방향으로 전자기파를 방출하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 송신부는, 상기 조사 모듈에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 제1항에 있어서,
    상기 감지 모듈은, 상기 유리 기판의 연마 종료점을 감지하고,
    상기 제어 모듈은, 상기 연마 종료점에서 상기 유리 기판 연마용 레이저 빔의 조사가 종료되도록 상기 조사 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 제어 모듈은, 상기 연마 종료점에서 정지한 상태로 소정 시간 동안 유리 기판 연마용 레이저 빔을 조사하도록 상기 조사 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
12. 제10항에 있어서,
    상기 감지 모듈은, 상기 유리 기판의 두께로부터 상기 연마 종료점을 감지하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
13. 제1항에 있어서,
    상기 제어 모듈은, 소정 높이에서 상승 이동하도록 상기 조사 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
14. 제1항에 있어서,
    상기 제어 모듈은, 상승 이동하는 중에 상기 레이저 빔을 조사하도록 상기 조사 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
15. 제1항에 있어서,
    상기 유리 기판의 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 제거 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
16. 제15항에 있어서,
    상기 제거 모듈은, 상기 이물질을 흡입함으로써 상기 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
17. 제15항에 있어서,
    상기 제거 모듈은, 유체를 분사함으로써 상기 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
18. 삭제
19. 제1항에 있어서,
    상기 제어 모듈은, 상기 장착 모듈의 회전 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
20. 삭제

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