KR101674083B1 - 금속막 연마용 슬러리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 금속막 연마용 슬러리에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈 연마용 슬러리는 방향족 고리화합물류인 아졸류 금속막 부식방지제를 사용하지 않고도, 금속막 표면의 부식을 방지한다. 또한, 방향족의 아졸류를 사용하는 금속막 슬러리 조성물과 비교하여 부식방지성, 친환경성, 단가 경쟁력 등이 우수하다. 따라서, 본 발명의 금속막 연마용 슬러리는 금속막을 연마하는 데에 특히 효과적이며 금속막 연마 단계를 포함하는 반도체 소자 제조에 유용하다.

Description

금속막 연마용 슬러리{SLURRY FOR METAL FILM POLISHING}
본 발명은 금속막 연마용 슬러리에 관한 것이다.
반도체 대규모 집적회로(large scale integration; LSI)의 고집적화, 고성능화에 따라 새로운 미세 가공 기술이 개발되고 있다. 화학기계적 연마(chemical mechanical polishing; CMP) 방법도 그 중 하나이고, LSI 제조 공정, 특히 다층 배선 형성 공정에 있어서 층간 절연막의 평탄화, 금속 플러그 형성 및 매립 배선 형성 등에 있어서 빈번하게 이용되는 기술이다. 또한, 최근에는 LSI를 고성능화하기 위해서 배선 재료로서 구리 또는 구리 합금이 사용되고 있다. 그러나, 구리 또는 구리 합금은 종래의 알루미늄 합금 배선의 형성에 빈번하게 사용된 드라이 에칭 방법에 의한 미세가공이 곤란하다. 따라서, 미리 홈이 형성되어 있는 절연막 상에 구리 또는 구리 합금 박막을 퇴적하여 매립하고, 홈 부분 이외의 구리 또는 구리 합금의 박막을 CMP에 의해 제거하여 매립 배선을 형성하는, 다마신(Damascene) 방법이 주로 이용되고 있다.
금속 배선 연마에 있어서는 화학적 에칭성이 낮으면서도 원하는 연마속도를 갖게 하는 것이 중요하다. 특히 구리 배선은 케미칼에 의한 부식성이 높아 쉽게 연마속도를 높일 수 있으나 일반적으로 에칭성도 같이 증가함으로써 구리 배선의 부식을 유발하게 된다.
이에, 금속 부식을 방지하기 위한 방법으로서 금속막 공정을 이용하였고, 현재 금속막 공정에서는 방향족의 아졸류 화합물 또는 유도체를 사용하여 금속 표면을 흡착시켜 부식을 방지하는 실정이다. 그러나, 이러한 방법은 부식을 방지하는 동시에 금속 표면에 강하게 흡착하여 금속표면 결함을 일으키고, 이에 따른 공정 불량을 야기시키고, 방향족 화합물을 사용함으로써, 환경적으로 유해한 단점을 가지고 있다.
본 발명은 관련 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 금속막 표면의 부식을 방지하고, 친환경성, 단가 경쟁력이 우수한 금속막 연마용 슬러리를 제공하는 것이다.
그러나, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은, 질소계 비방향족 부식방지제 및 연마입자를 포함하는 금속막 연마용 슬러리를 제공할 수 있다.
상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 아르기닌(arginine), 시스테인(cysteine), 글루타민(glutamine), 에틸렌디아민테트라아세트산(ethylenediaminetetraacetic acid; EDTA), 디에틸아민(diethylamine), 트리에틸아민(triethylamine), 피롤리딘(pyrolydine), 트리메틸아민 (trimethylamine), 시클로프로필에틸메틸아민(cyclopropylethylmethylamine), 에틸렌디아민(ethylenediamine), 글리신(glycine), 이미노디아세트산(iminodiacetic acid), 알라닌(alanine), 발린(valine), 클루탐산(glutamic acid), 아스파르트산(aspartic acid), 아스파라긴(asparagine), 세린(serine), 트레오닌(treonine), 메티오닌(methionine), 히스티딘(histidine), 페닐알라닌(phenylalanine) 및 라이신(lysine)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 3.0 중량%인 것일 수 있다.
상기 금속막 연마용 슬러리는 방향족 아졸류 화합물 프리(azoles compounds-free)인 것일 수 있다.
상기 연마 입자는, 세리아 입자, 실리카 입자, 알루미나 입자, 지르코니아 입자 및 티타니아 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 금속산화물 입자; 스티렌계 중합체 입자, 아크릴계 중합체 입자, 폴리염화비닐 입자, 폴리아미드 입자, 폴리카보네이트 입자 및 폴리이미드 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 유기 입자; 및 상기 금속산화물 입자와 상기 유기 입자를 복합하여 형성한 유기-무기 복합 입자;로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 연마입자의 1차 입자의 크기는 1 nm 내지 100 nm 이고, 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm인 것일 수 있다.
상기 연마입자는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 10 중량%인 것일 수 있다.
pH 조절제, 메탈 용해 촉진제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 pH 조절제는, 질산, 황산, 인산, 염산, 아세트산, 시트르산, 글루타르산, 글루콜산, 포름산, 젖산, 말산, 말론산, 말레산, 옥살산, 프탈산, 숙신산 및 타르타르산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 산성 pH 조절제; 또는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 암모니아 및 암모니아 유도체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 염기성 pH 조절제;를 포함하는 것일 수 있다.
상기 pH 조절제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것일 수 있다.
상기 메탈 용해 촉진제는, 글라이신, 세린, 라이신, 히스티딘 및 아스파라긴으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 메탈 용해 촉진제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것일 수 있다.
상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드, 소듐 퍼옥사이드, 우레아 과산화수소, 우레아, 과산화요소, 퍼옥시디카보네이트, 옥타노일퍼옥사이드, 아세틸벤조일퍼옥사이드, 요소 및 퍼옥시이황산암모늄로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 산화제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.01 중량% 내지 5 중량%인 것일 수 있다.
본 발명에 의한 금속막 연마용 슬러리는 방향족 고리화합물류인 아졸류 금속막 부식방지제를 사용하지 않고도, 금속막 표면의 부식을 방지한다. 또한, 방향족의 아졸류를 사용하는 금속막 슬러리 조성물과 비교하여 부식방지성, 친환경성, 단가 경쟁력 등이 우수하다. 따라서, 본 발명의 금속막 연마용 슬러리는 금속막을 연마하는 데에 특히 효과적이며 금속막 연마 단계를 포함하는 반도체 소자 제조에 유용하다.
도 1은 본 발명의 실시예 1의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이다.
도 2는 본 발명의 실시예 2의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이다.
도 3은 본 발명의 비교예 1의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이다.
도 4는 본 발명의 비교예 2의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 본 발명의 금속막 연마용 슬러리에 대하여 실시예 및 도면을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명이 이러한 실시예 및 도면에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 금속막 연마용 슬러리는, 질소계 비방향족 부식방지제 및 연마입자를 포함할 수 있다.
본 발명의 금속막 연마용 슬러리는, 비방향족 화합물의 부식방지제를 포함하는 것으로서, 부식에 취약한 금속막이 질소계 선형의 전하를 갖는 화합물에 의해 부식이 방지된다.
상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 아르기닌(arginine), 시스테인(cysteine), 글루타민(glutamine), 에틸렌디아민테트라아세트산(ethylenediaminetetraacetic acid; EDTA), 디에틸아민(diethylamine), 트리에틸아민(triethylamine), 피롤리딘(pyrolydine), 트리메틸아민 (trimethylamine), 시클로프로필에틸메틸아민(cyclopropylethylmethylamine), 에틸렌디아민(ethylenediamine), 글리신(glycine), 이미노디아세트산(iminodiacetic acid), 알라닌(alanine), 발린(valine), 클루탐산(glutamic acid), 아스파르트산(aspartic acid), 아스파라긴(asparagine), 세린(serine), 트레오닌(treonine), 메티오닌(methionine), 히스티딘(histidine), 페닐알라닌(phenylalanine) 및 라이신(lysine)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 부식 억제 효과, 연마 속도 및 슬러리 조성물의 저장 안정성 측면에서 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 3.0중량%인 것일 수 있다. 상기 질소계 비방향족 부식방지제가 0.1 중량% 미만인 경우 금속막의 연마제어가 불가능하여 디싱, 에로젼 등의 표면 문제가 발생할 수 있는 문제점이 있고, 3.0 중량% 초과인 경우 금속막의 연마가 낮아지고, 선택비 구현이 어려우며, 유기물 잔유물이 남는 문제가 발생할 수 있다.
상기 금속막 연마용 슬러리는 방향족 아졸류 화합물 프리(azoles compounds-free)인 것일 수 있으며, 본 발명의 금속막 연마용 슬러리는 종래 기술에서의 방향족의 아졸류를 사용하는 금속막 슬러리 조성물과 비교하여 부식방지성, 친환경성, 단가 경쟁력 등이 우수하다.
상기 연마 입자는, 세리아 입자, 실리카 입자, 알루미나 입자, 지르코니아 입자 및 티타니아 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 금속산화물 입자; 스티렌계 중합체 입자, 아크릴계 중합체 입자, 폴리염화비닐 입자, 폴리아미드 입자, 폴리카보네이트 입자 및 폴리이미드 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 유기 입자; 및 상기 금속산화물 입자와 상기 유기 입자를 복합하여 형성한 유기-무기 복합 입자;로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 연마입자의 1차 입자의 크기는 1 nm 내지 100 nm 이고, 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm인 것일 수 있다. 상기 연마 슬러리 중 1차 입자의 평균 크기에 있어서, 액상에서 합성하기 때문에 입자 균일성을 확보하기 위해서 100 nm 이하이어야 하며, 1 nm 미만일 경우에는 연마율이 저하되는 문제점이 있을 수 있다. 본 발명의 연마입자는 연마율 조절과 디싱 및 부식을 감소시키기 위하여 크기가 다른 입자를 혼합하여 사용할 수 있다.
상기 연마입자는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 10 중량%인 것일 수 있다. 상기 연마입자가 약 0.1 중량% 미만인 경우 산화막 연마 속도가 감소되며, 약 10 중량% 초과일 경우에는, 연마입자에 의한 결함 발생이 우려된다.
상기 금속막 연마용 슬러리는 pH 조절제, 메탈 용해 촉진제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 금속막 연마용 슬러리의 pH는 산성 또는 염기성인 것일 수 있다. 따라서, 금속막 연마용 슬러리의 pH 조절을 위하여 첨가되는 상기 pH 조절제는 산성 pH 조절제 또는 염기성 pH 조절제를 포함할 수 있다. 상기 금속막 연마용 슬러리의 pH를 산성으로 맞추는 경우에는 질산, 황산, 인산, 염산, 아세트산, 시트르산, 글루타르산, 글루콜산, 포름산, 젖산, 말산, 말론산, 말레산, 옥살산, 프탈산, 숙신산 및 타르타르산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있으며, 상기 금속막 연마용 슬러리의 pH를 염기성으로 맞추는 경우에는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 암모니아, 암모니아 유도체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 pH 조절제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것일 수 있다. 상기 산성 pH 조절제에 의하여 상기 슬러리 조성물은 pH가 약 2 내지 약 5의 산성인 것일 수 있고, 상기 염기성 pH 조절제에 의하여 상기 슬러리 조성물은 pH가 약 9 내지 약 12의 염기성인 것일 수 있다.
상기 메탈 용해 촉진제는, 글라이신, 세린, 라이신, 히스티딘 및 아스파라긴으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 메탈 용해 촉진제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것일 수 있다. 상기 메탈 용해 촉진제가 0.1 중량% 미만인 경우 메탈 이온 생성이 어려워 메탈 연마 효율이 감소하는 문제점이 발생할 수 있고, 1.0 중량% 초과인 경우 메탈 연마 효율이 떨어지고, 표면 결함을 유발시킬 수 있는 문제점이 발생할 수 있다.
상기 산화제는 금속 표면을 산화시켜 연마 속도를 향상시키는 역할을 하며, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드, 소듐 퍼옥사이드, 우레아 과산화수소, 우레아, 과산화요소, 퍼옥시디카보네이트, 옥타노일퍼옥사이드, 아세틸벤조일퍼옥사이드, 요소 및 퍼옥시이황산암모늄로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 산화제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.01 중량% 내지 5 중량%인 것일 수 있다. 상기 산화제의 함량이 0.01 중량% 미만인 경우에는 상기 연마 대상막에 대한 연마 속도가 저하될 수 있고, 상기 산화제의 함량이 5 중량% 초과인 경우에는 상기 연마 대상막 표면의 산화막이 하드(hard)해져서 연마가 이루어지지 않고 산화막이 성장하여 구리막의 특성을 저하시킬 수 있다.
본 발명은 금속막 연마에 사용될 수 있으며, 금속막으로는 구리막, 금속 배리어막, 연질유전막을 포함할 수 있다. 금속 배리어막은 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 및 금(Au)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있으며, 티타늄나이트라이드, 티타늄텅스텐, 탄탈륨, 탄탈륨나이트라이드 텅스텐나이트라이드, 루테늄, 루테늄티타늄, 루테늄티타늄 옥사이드 중 어느 하나이거나, 또는 이들의 적층막일 수 있다.
본 발명의 금속막 연마용 슬러리는 방향족 고리화합물류인 아졸류 금속막 부식방지제를 사용하지 않고도, 금속막 표면의 부식을 방지한다. 또한, 방향족의 아졸류를 사용하는 금속막 슬러리 조성물과 비교하여 부식방지성, 친환경성, 단가 경쟁력 등이 우수하다. 따라서, 본 발명의 금속막 연마용 슬러리는 금속막을 연마하는 데에 특히 효과적이며 금속막 연마 단계를 포함하는 반도체 소자 제조에 유용하다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.
[연마 조건]
1. 웨이퍼: 2 cm X 2 cm coupon wafer
2. 플레이튼 압력(platen pressure): 3 psi
3. 스핀들 스피드(spindle speed): 150 rpm
4. 플레이튼 스피드(platen speed): 100 rpm
5. 유량(flow rate): 70ml/min
6. 슬러리 고형분 함량: 5%
[실시예 1]
연마입자는 30 nm 내지 100 nm 이하 크기의 구형의 콜로이달 실리카 입자 고형분 함량 5 중량%, 산화제로서 과산화수소 1 중량%, 부식방지제로서 아르기닌 0.5 중량%을 혼합하고, pH 조절제로서 질산을 혼합하여 pH가 3인 슬러리 조성물을 제조하였다. 제조한 슬러리 조성물을 이용하여 웨이퍼를 1 분간 연마한 후, 10 초간 증류수 세정을 하여 금속 표면을 SEM으로 관찰하였다.
[실시예 2]
부식방지제로서 시스테인 0.5 중량%를 더 포함하는 것을 제외하고 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 1]
부식방지제를 포함하지 않는 것을 제외하고 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 2]
부식방지제로서 이미다졸 0.5 중량%를 더 포함하는 것을 제외하고 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
도 1은 본 발명의 실시예 1의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이고, 도 2는 본 발명의 실시예 2의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이고, 도 3은 본 발명의 비교예 1의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이고, 도 4는 본 발명의 비교예 2의 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마 후의 금속 표면 SEM 이미지이다.
부식방지제로서 아르기닌을 포함하는 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마한 실시예 1의 경우, 금속막 연마용 슬러리에 노출이 된 이후에도 표면의 결함이나 부식에 의한 표면 변형이 완전하게 제거 되었음을 알 수 있다. 실시예 2의 부식방지제로서 시스테인을 포함하는 금속막 연마용 슬러리를 이용하여 연마한 경우에도, 비교예 1 및 2에 비하여 표면 결함이나 부식이 적음을 확인할 수 있다. 비교예 1의 부식방지제를 사용하지 않은 금속막 연마용 슬러리를 사용한 경우 표면 부식에 의한 구리 산화물 아일랜드를 형성하면서 금속막에 치명적인 결함을 수반하는 것을 알 수 있다. 또한, 비교예 2의 BTA를 사용한 금속막 연마용 슬러리를 사용한 경우 표면의 결함을 수반하는 것을 알 수 있다.
본 발명의 금속막 연마용 슬러리 조성물은, 부식에 취약한 금속막이 질소계 선형의 전하를 갖는 화합물에 의해 부식이 방지되어, 부식방지성, 친환경성이 우수한 것을 알 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (14)

  1. 질소계 비방향족 부식방지제 및 연마입자를 포함하고,
    상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 아르기닌(arginine), 시스테인(cysteine), 글루타민(glutamine), 에틸렌디아민테트라아세트산(ethylenediaminetetraacetic acid; EDTA), 디에틸아민(diethylamine), 트리에틸아민(triethylamine), 피롤리딘(pyrolydine), 트리메틸아민(trimethylamine), 시클로프로필에틸메틸아민(cyclopropylethylmethylamine), 에틸렌디아민(ethylenediamine), 이미노디아세트산(iminodiacetic acid), 알라닌(alanine), 발린(valine), 클루탐산(glutamic acid), 아스파르트산(aspartic acid), 트레오닌(treonine), 메티오닌(methionine) 및 페닐알라닌(phenylalanine)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,
    방향족 아졸류 화합물 프리(azoles compounds-free)인 것이고,
    상기 연마입자는, 콜로이달 실리카 입자이고,
    상기 연마입자의 1차 입자의 크기는 1 nm 내지 100 nm 이고, 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm이고,
    구리막을 포함하는 기판을 연마하는 것인,
    금속막 연마용 슬러리.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 질소계 비방향족 부식방지제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 3.0 중량%인 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연마입자는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 10 중량%인 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  8. 제1항에 있어서,
    pH 조절제, 메탈 용해 촉진제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 pH 조절제는,
    질산, 황산, 인산, 염산, 아세트산, 시트르산, 글루타르산, 글루콜산, 포름산, 젖산, 말산, 말론산, 말레산, 옥살산, 프탈산, 숙신산 및 타르타르산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 산성 pH 조절제; 또는
    수산화나트륨, 수산화칼륨, 암모니아 및 암모니아 유도체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 염기성 pH 조절제;
    를 포함하는 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 pH 조절제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 메탈 용해 촉진제는, 글라이신, 세린, 라이신, 히스티딘 및 아스파라긴으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,
    상기 메탈 용해 촉진제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.1 중량% 내지 1.0 중량%인 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  12. 삭제
  13. 제8항에 있어서,
    상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드, 소듐 퍼옥사이드, 우레아 과산화수소, 우레아, 과산화요소, 퍼옥시디카보네이트, 옥타노일퍼옥사이드, 아세틸벤조일퍼옥사이드, 요소 및 퍼옥시이황산암모늄로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,
    상기 산화제는, 상기 금속막 연마용 슬러리 중 0.01 중량% 내지 5 중량%인 것인, 금속막 연마용 슬러리.
  14. 삭제
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