KR101653573B1 - 자재의 변형에 대비하여 공정 정밀도를 향상시킨 플럭스 툴과 볼 툴 - Google Patents

자재의 변형에 대비하여 공정 정밀도를 향상시킨 플럭스 툴과 볼 툴 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수의 작업영역이 정의된 자재에 대하여 볼 마운트 공정을 수행하는 플럭스 툴과 볼 툴을 개시한다. 본 발명에 따른 볼 툴은, 내부에 자재의 다수의 작업영역에 각각 대응하며 격벽에 의해 서로 격리된 다수의 공간이 형성된 하우징; 자재의 다수의 작업영역에 각각 대응하는 것으로서, 상기 하우징의 저면에서 돌출 형성되고 각각 이젝트핀이 삽입되는 다수의 흡착홀이 형성된 다수의 작업부; 상기 하우징에 형성되어 상기 다수의 공간과 각각 연통하며, 서로 독립적으로 제어되는 다수의 진공유로; 상기 하우징의 상부에 장착되어 상기 다수의 공간으로 각각 연장된 다수의 구동축을 각각 동작시키는 다수의 승강구동부; 상기 다수의 구동축에 각각 연결된 다수의 승강유닛을 포함한다.
본 발명에 따르면, 하나의 자재를 다수의 작업영역으로 구분하고 각 작업영역에 대해 플럭스 도팅 공정과 솔더볼 부착 공정을 독립적으로 수행함으로써 자재 전체에 대해 한번에 작업하는 경우에 비하여 자재의 수축이나 팽창으로 인한 공정불량의 위험을 크게 줄일 수 있다. 따라서 볼 마운트 공정의 정확성을 크게 향상시킬 수 있으며, 특히 미세 솔더볼을 고밀도로 부착하는 볼 마운트 공정에서 불량률을 크게 줄일 수 있다.

Description

자재의 변형에 대비하여 공정 정밀도를 향상시킨 플럭스 툴과 볼 툴{Flux tool and ball tool improving process accuracy against material deformation}
본 발명은 솔더볼 마운트 장비에 관한 것으로서, 구체적으로는 자재의 수축이나 팽창으로 인한 변형이 발생하더라도 정밀한 공정이 가능한 플럭스 툴과 볼 툴에 관한 것이다.
일반적으로 BGA(Ball Grid Array), CSP(Chip Scale Package) 등의 고밀도 반도체패키지는 기판의 상면에 반도체칩이 실장되고, 기판의 저면에 반도체칩과 전기적으로 연결되는 솔더볼이 부착된다.
따라서 이러한 반도체패키지를 제조하기 위해서는 기판의 상면에 반도체 칩을 부착하는 다이 본딩(die bonding) 공정, 반도체칩을 보호하는 몰딩공정, 기판의 저면에 솔더볼을 부착하는 볼 마운트(ball mount) 공정 등을 수행하여야 하며, 이들 공정은 각각의 공정에 최적화된 공정장비의 내부에서 진행된다.
예를 들어 솔더볼 마운트 장비는 기판에 형성된 볼패드에 플럭스를 도팅(dotting)하는 플럭스 툴(flux tool)과 솔더볼을 흡착하여 플럭스가 도팅된 볼패드에 부착하는 볼 툴(ball tool)을 포함한다.
종래의 도 1은 종래의 플럭스 툴(30)을 예시한 것으로서, 플럭스 툴(30)은 일반적으로 플럭스 공급로봇(20)의 하단에 분리 가능하게 결합되며 저면에는 플럭스 도팅을 위한 다수의 플럭스 핀이 돌출되어 있다. 볼 툴도 이와 유사한 방식으로 볼 마운트로봇의 하단에 분리 가능하게 결합되며, 저면에는 솔더볼을 흡착할 수 있는 다수의 흡착홀이 형성되고 각 흡착홀의 내부에는 솔더볼을 밀어내기 위한 이젝트 핀이 설치되어 있다.
한편 대부분의 솔더볼 마운트 장비에서는 작업 생산성을 높이기 위하여 도 2에 나타낸 바와 같이 다수의 유닛(11)을 포함하는 스트립 형태의 자재(10)를 대상으로 공정을 진행한다. 자재(10)의 각 유닛(11)은 개별적으로 패키지화되는 부분으로서 각각의 표면에는 솔더볼을 부착할 수 있는 다수의 볼패드가 형성되어 있다.
종래에는 이러한 형태의 자재(10)가 솔더볼 마운트 장비의 공정위치에 도달하면, 먼저 플럭스 툴이 자재(10)에 구비된 모든 유닛(11)의 볼패드에 동시에 플럭스를 도팅하고, 이어서 볼 툴이 모든 유닛(11)의 볼패드에 동시에 볼을 부착하였다. 이를 위해서는 플럭스 툴의 플럭스 핀과 볼 툴의 흡착홀이 자재(10)의 볼패드 패턴과 정확히 일치해야 한다.
그런데 플럭스 툴과 볼 툴을 자재(10)의 볼패드 패턴에 맞게 정확히 제작하더라도, 자재(10)에 수축, 팽창 등으로 인한 변형이 발생하면 플럭스 핀이나 흡착홀의 위치가 볼패드와 미세하게 어긋나게 되고 이로 인해 제품불량이 초래될 수 있다.
특히 최근에는 반도체 패키지의 고집적 기술이 발전함에 따라 100㎛ 이하의 미세 솔더볼이 많이 사용되고 있고 이에 따라 볼패드 간의 피치도 갈수록 미세해지고 있기 때문에 자재(10)의 수축이나 팽창으로 인한 공정불량의 위험이 더욱 증가하고 있다.
또한 자재(10)를 구성하는 각 유닛(11)의 크기와 유닛(11)간의 피치도 갈수록 줄어들고 있기 때문에 자재(10)의 변형에 따른 오차를 보완할 필요가 있다.
이에 따라 최근에는 자재(10)의 변형에 따른 공정 오차를 줄이기 위하여, 자재(10)를 2이상의 작업영역으로 구분하여 각 작업영역에 대해 순차적으로 플럭스를 도팅하거나 솔더볼을 부착하는 방법이 소개되고 있다.
예를 들어 특허문헌 1은 서로 독립적으로 구동하는 2개의 가동블록을 이용하여 자재에 플럭스를 순차적으로 도팅하는 플럭스 도포장치를 소개하고 있다.
그런데 특허문헌 1에 따른 플럭스 도포장치는 2개의 공압실린더를 이용하여 2개의 가동블록을 독립적으로 승강시켜야 하므로 장치의 구성이 복잡하여 제조비용이 증가하는 단점이 있다. 또한 자재의 각 작업영역에 플럭스를 도팅하기 위해서는 제1가동블록 하강, 베이스블록 하강, 제1 가동블록 및 베이스블록 상승, 제2 가동블록 하강, 베이스블록 하강 등과 같이 복잡한 순서로 장치를 동작시켜야 하므로 공정순서 및 제어알고리즘이 복잡한 단점이 있다.
또한 특허문헌 2는 제1볼흡입부와 제2볼흡입부에 서로 독립적인 흡입력을 인가하여 제1볼흡입부의 제1수용면에 흡착된 솔더볼과 제2볼흡입부의 제2수용면에 흡착된 솔더볼을 자재에 순차적으로 부착하는 솔더볼 어태치 툴을 소개하고 있다.
특히 특허문헌 2에 따른 솔더볼 어태치 툴의 제1볼흡입부에서는 가압핀(이젝트핀)과 실린더를 사용하여 제1수용면에 흡착된 솔더볼을 자재에 부착하고, 제2볼흡입부에서는 가진기를 사용하여 제2수용면에 흡착된 솔더볼을 자재에 부착한다.
그런데 제1수용면에 솔더볼이 흡착된 상태에서 가진기를 사용하면 제2수용면에 흡착된 솔더볼 뿐만 아니라 제1수용면에 흡착된 솔더볼도 떨어질 수 있으므로, 특허문헌 2의 툴에서는 반드시 제1수용면에 흡착된 솔더볼을 가압핀(이젝트핀)을 사용하여 자재에 부착하고 나서, 제2수용면에 흡착된 솔더볼을 가진기를 이용하여 자재에 부착해야 하므로 공정순서가 매우 제한적인 단점이 있다.
또한 특허문헌 2에 따르면 제1수용면에는 1열 또는 3열만 형성되고, 제2수용면에는 제1수용면의 열을 제외한 나머지 열의 절반만 형성되므로, 반드시 솔더볼을 2회 이상 픽업해야 하고 이로 인해 공정시간이 길어지는 단점이 있다.
특히, 솔더볼을 2회 이상 픽업해야 하는 경우가 발생하면, 2번째 픽업할 때 솔더볼을 흡착할 필요가 없는 제1수용면에 정전기 등으로 솔더볼이 붙었다가 가진기의 동작에 의해 자재에 떨어짐으로써 제품불량이 초래될 위험도 매우 높다.
또한 특허문헌 2에 따르면 제1수용면과 제2수용면이 동일한 높이로 형성되지 않고, 제2수용면이 대략 솔더볼 직경의 2배 정도의 높이만큼 제1수용면에 대해 돌출되는데 이로 인해 공정오차가 발생할 위험이 매우 높은 문제가 있다.
즉, 특허문헌 2에 따른 솔더볼 어태치 툴은 제1 수용면과 제2수용면에 모두 솔더볼을 흡착한 상태에서 자재(10)의 상부로 이동하고, 먼저 가압핀을 이용하여 제1수용면에 흡착된 솔더볼을 자재(10)에 부착해야 한다. 그런데 장치 구조상 제1수용면이 자재(10)로부터 상당히 떨어진 상태에서 가압핀으로 솔더볼을 밀어내야 하므로 미세 솔더볼의 경우에는 낙하 과정에서 위치오차가 발생할 가능성이 매우 높은 문제가 있다.
한편 종래에는 자재의 길이가 62mm 또는 74mm 인 경우가 대부분이었으나, 최근에는 생산성 향상을 위하여 95mm 자재를 사용하는 경우가 늘어나고 있다. 그런데 자재의 크기가 이와 같이 증가하면 플럭스 툴이나 볼 툴의 길이와 폭도 함께 커져야 하는데, 이로 인해 툴 자체의 변형이나 구배가 발생하여 공정 오차가 생기는 경우도 있으므로 이러한 문제에도 대비할 필요가 있다.
한국등록특허 제10-0854438호(2008.08.28 공고) 한국등록특허 제10-1385932호(2014.04.10 공고)
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 자재를 2이상의 작업영역으로 구분하여 각 작업영역에 대해 순차적으로 플럭스를 도팅함으로써 자재의 수축, 팽창 등과 같은 변형에 대비하여 공정 정밀도를 크게 향상할 수 있는 플럭스 툴을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 종래의 플럭스 툴에 비해 구성이 간단하고 제조비용을 절감할 수 있는 플럭스 툴을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 자재를 2이상의 작업영역으로 구분하여 각 작업영역에 대해 순차적으로 솔더볼을 부착함으로써 자재의 변형에 대비하여 공정 정밀도를 향상할 수 있는 볼 툴을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 솔더볼을 1회만 픽업한 상태에서, 각 작업영역마다 분할하여 솔더볼을 부착할 있도록 하여 종래에 비해 공정시간을 단축시켜 생산성을 높일 수 있는 볼 툴을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 볼 툴이나 플럭스 툴의 크기가 증가하더라도 툴 자체의 변형이나 구배가 발생하지 않도록 하는데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양상은, 다수의 작업영역이 정의된 자재에 대하여 솔더볼을 부착하는 볼 툴(Ball Tool)에 있어서, 상기 다수의 작업영역에 각각 대응하는 것으로서, 격벽에 의해 서로 격리된 다수의 공간이 내부에 형성된 하우징; 상기 다수의 작업영역에 각각 대응하는 것으로서, 상기 하우징의 저면으로 동일한 높이로 돌출되고 이젝트핀이 삽입되는 다수의 흡착홀을 각각 구비하는 다수의 작업부; 상기 하우징에 형성되어 상기 다수의 공간과 각각 연통하며, 서로 독립적으로 제어되는 다수의 진공유로; 상기 하우징의 상부에 장착되어 상기 다수의 공간의 내부로 각각 연장된 다수의 구동축을 각각 동작시키는 다수의 승강구동부; 상기 다수의 구동축에 각각 연결되는 것으로서, 각각 다수의 이젝트핀이 관통결합된 핀가이드와 상기 핀가이드의 상부에서 이젝트핀의 상단을 눌러주는 백플레이트를 포함하는 다수의 승강유닛을 포함하는 볼 툴을 제공한다.
본 발명에 따른 볼 툴은, 상기 다수의 작업부의 크기가 서로 다르거나 상기 다수의 작업부마다 흡착홀의 배열이 서로 다른 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 볼 툴에서, 상기 하우징의 저면에는 선단과 후단에 각각 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성되고, 인접한 작업부의 사이에도 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 볼 툴은, 상기 백플레이트의 상면 가장자리에 결합되는 제1돌출부와, 상기 핀가이드의 저면 가장자리를 지지하는 제2돌출부를 구비한 조인트를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 양상은, 다수의 작업영역이 정의된 자재에 대하여 플럭스를 도팅하는 플럭스 툴(Flux Tool)에 있어서, 상기 다수의 작업영역에 각각 대응하는 다수의 작업부가 저면으로 동일한 높이로 돌출 형성되고, 각 작업부마다 다수의 플럭스핀이 관통 결합되는 핀가이드; 플럭스핀의 상단을 눌러주기 위하여 상기 핀가이드의 상부에 설치되는 것으로서, 각각 상기 다수의 작업부의 상부에 각각 위치하는 다수의 백플레이트; 상기 다수의 백플레이트의 상부에 설치되고, 주변부가 상기 핀가이드에 결합되는 마운트블록; 상기 마운트블록에 결합되어 상기 다수의 백플레이트에 대해 아래쪽 방향의 탄성력을 제공하는 탄성수단을 포함하는 플럭스 툴을 제공한다.
본 발명에 따른 플럭스 툴은 상기 다수의 작업부의 크기가 서로 다르거나, 상기 다수의 작업부마다 플럭스 핀의 배열이 서로 다른 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 플럭스 툴에서, 상기 핀가이드의 저면에는 선단과 후단에 각각 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성되고, 인접한 작업부의 사이에도 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 플럭스 툴에서, 상기 핀가이드는 바닥과, 상기 바닥을 둘러싸는 측벽과, 상기 바닥과 측벽으로 둘러싸인 공간을 다수의 공간으로 구획하는 격벽을 포함하고, 상기 다수의 백플레이트는 각각 대응하는 공간을 둘러싸는 측벽과 상기 격벽의 상단에 거치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 하나의 자재를 다수의 작업영역으로 구분하고 각 작업영역에 대해 플럭스 도팅 공정과 솔더볼 부착 공정을 독립적으로 수행함으로써 자재 전체에 대해 한번에 작업하는 경우에 비하여 자재의 수축이나 팽창으로 인한 공정불량의 위험을 크게 줄일 수 있다.
또한 플럭스 툴에 간섭방지용 단차를 적용함으로써 종래처럼 독립적으로 구동하는 2개의 가동블록을 사용할 필요가 없고, 따라서 플럭스 툴의 기구적 구성과 동작을 단순화하여 제조비용을 크게 절감할 수 있다.
또한 종래의 볼 툴과 달리 솔더볼을 1회만 픽업한 후 자재의 각 작업영역마다 순차적으로 솔더볼을 부착할 수 있으므로 공정시간을 단축하고 생산성을 크게 향상시킬 수 있고, 솔더볼의 재픽업 과정에서 원치 않는 솔더볼의 흡착으로 발생할 수 있는 공정불량을 방지할 수 있다.
또한 볼 툴에서 각 작업영역에 대응하는 다수의 작업부를 동일한 높이로 형성함으로써 자재의 작업영역 전체에 걸쳐 높은 정밀도로 작업을 수행할 수 있다.
또한 자재의 크기에 대응하여 볼 툴 등의 크기가 증가하더라도 조인트를 사용하여 툴 자체의 변형이나 구배를 방지할 수 있고, 이를 통해 공정정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 플럭스 툴을 예시한 도면
도 2는 스트립형태의 자재를 예시한 도면
도 3은 자재를 2개 영역으로 구획하여 작업하는 모습을 예시한 도면
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 플럭스 툴의 단면도
도 5는 도 4의 A부분 확대도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플럭스 툴의 저면도
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 실시예에 따른 플럭스 툴을 이용하여 자재에 플럭스를 도팅하는 과정을 나타낸 공정순서도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴의 사시도
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴의 단면도
도 10은 도 9의 B부분 확대도
도 11은 볼 툴에서 제1승강유닛이 하강한 상태를 나타낸 부분 단면도
도 12는 볼 툴에서 제1승강유닛과 제2승강유닛이 독립적으로 동작하는 모습을 나타낸 부분 단면도
도 13a 내지 도 13e는 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴을 이용하여 자재에 솔더볼을 부착하는 과정을 나타낸 공정순서도
도 14는 툴 자체의 변형을 방지하기 위한 조인트의 사용예를 나타낸 도면
도 15는 도 14의 분해사시도
도 16은 조인트를 나타낸 도면
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 먼저 본 명세서에 첨부된 도면에는 실제 제품의 치수와 다르게 과장되게 도시된 부분이 있으나, 이것은 발명에 대한 이해를 돕기 위한 것일 뿐이므로 이로 인해 본 발명의 권리범위가 제한적으로 해석되어서는 아니 됨을 미리 밝혀둔다.
본 발명은 자재에 수축이나 팽창으로 인한 변형이 발생하더라도 볼 마운트 공정을 보다 정확하게 수행하기 위하여 도 3에 나타낸 바와 같이 자재(10)에 다수의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)을 설정하고 플럭스 도팅공정을 각 작업영역별로 수행하는 한편 볼 부착공정도 각 작업영역별로 수행하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
자재(10)가 수축이나 변형으로 인해 변형될 경우 자재(10) 전체로 보면 위치오차가 크게 나타나지만, 이와 같이 하나의 자재(10)를 다수의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)으로 구분하고 각 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)을 플럭스 툴이나 볼 툴의 대응하는 작업부와 대비하면 위치오차가 크게 줄어들게 된다.
따라서 자재(10)를 다수의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)으로 구분하고, 각 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)마다 독립적으로 공정을 진행하면 위치오차로 인한 공정불량을 크게 줄일 수 있다.
도 3에는 자재(10)가 홀수열의 유닛(11)을 포함하기 때문에 제1작업영역(Ⅰ)과 제2작업영역(Ⅱ)의 크기가 서로 다르게 설정되어 있다. 그러나 짝수열의 유닛(11)을 포함하는 경우에도 필요에 따라서는 각 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)의 크기를 서로 다르게 설정할 수도 있다.
이하에서는 이와 같은 방식으로 작업을 수행할 수 있도록 고안된 본 발명의 실시예에 따른 플럭스 툴과 볼 툴에 대해 각각 설명한다.
1. 플럭스 툴(Flux Tool)
먼저 본 발명의 실시예에 따른 플럭스 툴(100)은 도 4의 단면도와 도 5의 부분 확대도에 나타낸 바와 같이, 플럭스 공급로봇의 하단에 장착되는 툴 어댑터(110), 툴 어댑터(110)의 하부에 분리 가능하게 결합된 마운트블록(120), 마운트블록(120)의 하부에 결합된 핀가이드(130), 핀가이드(130)에 관통 결합되어 하단이 외부로 돌출된 다수의 플럭스 핀(160), 플럭스핀(160)의 상단에 놓여지는 다수의 누름부재(140), 누름부재(140)의 상단에 놓여지는 제1 및 제2백플레이트(151,152)를 포함한다.
도면에는 나타내지 않았으나 마운트블록(120)에는 다수의 탄성볼트가 관통 결합되며, 다수의 탄성볼트는 그 하단이 제1 및 제2백플레이트(151,152)의 상면에 접하여 아래쪽으로 탄성력을 제공한다.
핀가이드(130)는 플럭스 핀(160)이 결합되는 다수의 홀이 형성된 바닥과, 바닥의 주변을 따라 상부로 돌출되어 마운트블록(120)에 결합되는 측벽을 포함하며, 따라서 핀가이드(130)의 내부에는 바닥과 측벽에 의해 둘러싸인 공간이 형성된다.
핀가이드(130)의 바닥에 형성된 다수의 홀은 각각 플럭스 핀(160)의 헤드보다 작은 직경을 가지며, 따라서 플럭스 핀(160)이 하부로 빠지지 않게 된다.
특히, 본 발명의 실시예에서는 핀가이드(130)의 바닥에 폭방향을 따라 측벽과 같은 높이의 격벽(138)이 형성되며, 따라서 핀가이드(130)의 내부공간은 격벽(138)에 의해 제1공간(S1)과 제2공간(S2)으로 구획된다.
플럭스 툴(100)에서는 제1공간(S1)과 제2공간(S2)이 완전히 분리될 필요는 없으며 서로 연통될 수도 있다. 따라서 상기 격벽(138)은 폭방향을 따라 반드시 연속적으로 형성되지 않아도 된다.
또한 핀가이드(130)의 저면에는 제1작업부(131)와 제2작업부(132)가 동일한 높이로 돌출 형성되며, 제1작업부(131)와 제2작업부(132)는 대략 제1공간(S1)과 제2공간(S2)의 하부에 각각 위치한다.
따라서 핀가이드(130)의 제1공간(S1)에 설치된 플럭스 핀(160)은 제1작업부(131)를 관통하여 하부로 돌출되고, 제2공간(S2)에 설치된 플럭스 핀(160)은 제2작업부(132)를 관통하여 하부로 돌출된다.
도 6의 저면도에 나타낸 바와 같이, 제1작업부(131)는 자재(10)의 제1작업영역(Ⅰ)에 대응하는 크기를 가지며, 제1작업부(131)로 돌출되는 플럭스 핀(160)의 배열은 제1작업영역(Ⅰ)의 볼패드 패턴과 동일하다.
또한 제2작업부(132)는 자재(10)의 제2작업영역(Ⅱ)에 대응하는 크기를 가지며, 제2작업부(132)로 돌출된 플럭스 핀(160)의 배열은 제2작업영역(Ⅱ)의 볼패드 패턴과 동일하다.
제1작업부(131)와 제2작업부(132)는 각각 자재의 이동방향을 기준으로 핀가이드(130)의 후단과 선단으로부터 소정 거리 이격되어 형성되며, 따라서 핀가이드(130)의 후단과 제1작업부(131)의 사이, 및 핀가이드(130)의 선단과 제2작업부(132)의 사이에는 간섭방지용 단차(136)가 형성된다.
또한 제1작업부(131)와 제2작업부(132)는 자재의 이동방향을 따라 서로 이격되며, 따라서 제1작업부(131)와 제2작업부(132)의 사이에는 홈 형상의 간섭방지용 단차(136)가 형성된다.
이러한 간섭방지용 단차(136)는 자재(10)의 이동방향과 직교하는 방향으로 형성되는 것이 바람직하며, 스트립 형태의 자재(10)인 경우에는 폭 방향으로 형성되는 것이 바람직하다.
간섭방지용 단차(136)는 자재(10)에 정의된 다수의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ) 중에서 어느 작업영역에 플럭스를 도팅할 때 자재의 다른 작업영역에 플럭스를 묻히거나, 도팅된 플럭스를 훼손하는 등의 간섭을 방지하는 역할을 한다.
따라서 제1작업부(131)와 제2작업부(132)는 이러한 목적을 달성할 수 있는 정도의 높이로 간섭방지용 단차(136)에 대해 돌출되어야 한다.
특히, 이와 같이 간섭방지용 단차(136)를 형성하면 제1작업부(131) 및/또는 제2작업부(132)를 승강시키지 않고도 자재(10)의 제1 및 제2작업영역(Ⅰ,Ⅱ)에 순차적으로 플럭스를 도팅할 수 있으므로 독립된 2개의 가동블록을 사용하는 종래의 플럭스 툴에 비해 제품의 구성을 크게 단순화시킬 수 있다.
한편 제1백플레이트(151)는 제1공간(S1)을 둘러싸는 측벽과 격벽(138)의 상단에 거치되며, 따라서 제1작업부(131)를 통해 돌출된 다수의 플럭스 핀(160)은 제1백플레이트(151)와 그 상부에 설치된 탄성볼트에 의해 아래쪽으로 탄성력을 받는 상태가 된다.
또한 제2백플레이트(152)는 제2공간(S2)을 둘러싸는 측벽과 격벽(138)의 상단에 거치되며, 따라서 제2작업부(132)를 통해 돌출된 다수의 플럭스 핀(160)은 제2백플레이트(152)와 그 상부에 설치된 탄성볼트에 의해 아래쪽으로 탄성력을 받는 상태가 된다.
즉, 제1공간(S1)에 설치된 플럭스핀(160)과 제2공간(S2)에 설치된 플럭스핀(160)은 서로 다른 백플레이트(151,152)에 의해 탄성력을 받게 되므로 하나의 플럭스 툴(100)을 사용하여 자재(10)의 서로 다른 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)에 대해 구분하여 플럭스를 도팅할 수 있게 된다.
이하에서는 도 7a 내지 도 7e를 참조하여 본 발명의 실시예에 다른 플럭스 툴(100)을 사용하여 자재(10)에 플럭스를 도팅하는 방법을 설명한다.
먼저 자재(10)에는 이송방향을 따라 배열된 2개의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)이 정의되며, 편의상 선단쪽을 제1 작업영역(Ⅰ)이라 하고 후단쪽을 제2작업영역(Ⅱ)이라 하기로 한다. 또한 플럭스 툴(100)에는 자재(10)의 이송방향을 따라 배열된 2개의 작업부(131,132)가 형성되며 이 중에서 후단쪽을 제1작업부(131)라 하고 선단쪽을 제2작업부(132)라 한다.
이러한 상태에서 장치제어부(도면에는 나타내지 않았음)는 반입된 자재(10)를 제1공정위치로 이송하는 한편, 플럭스 핀(160)에 플럭스를 묻힌 플럭스 툴(100)을 자재(10)의 상부로 이동시킨다.
이때 플럭스 툴(100)은 제1 및 제2 작업부(131,132)의 모든 플럭스 핀(160)에 플럭스를 묻힌 상태에서 자재(10)의 상부로 이동한다. 따라서 하나의 자재(10)가 반입되었을 때 플럭스 핀(160)에 플럭스를 묻히는 과정은 한번만 이루어지며, 단지 자재(10)에 플럭스를 도팅하는 공정은 작업영역마다 구분하여 진행하게 된다.
제1작업부(131)가 자재(10)의 제1작업영역(Ⅰ)의 상부에 위치하면, 장치제어부는 플럭스 툴(100)을 하강시켜 제1작업부(131)로 돌출된 다수의 플럭스 핀(160)에 묻은 플럭스(F)를 제1작업영역(Ⅰ)에 구비된 다수의 볼패드에 도팅한다. (도 7a 참조)
이어서 장치제어부는 플럭스 툴(100)을 상승시키는 한편, 자재(10)를 제2공정위치로 이송하여 플럭스 툴(100)의 제2작업부(132)의 하부에 자재(10)의 제2작업영역(Ⅱ)이 위치하도록 한다. (도 7b 및 도 7c 참조)
이어서 플럭스 툴(100)을 하강시켜 제2작업부(132)로 돌출된 다수의 플럭스 핀(160)을 이용하여 제2작업영역(Ⅱ)의 다수의 볼패드에 플럭스(F)를 도팅하고, 플럭스 툴(100)을 다시 상승시킨다. (도 7d 및 도 7e 참조)
이러한 과정을 거쳐 자재(10)의 모든 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)에 플럭스(F)가 도팅되면, 자재(10)를 후술하는 볼 툴(200)의 하부로 이송시킨다.
2. 볼 툴(Ball Tool)
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴(200)은 도 8의 사시도, 도 9의 단면도 및 도 10의 부분 확대도에 나타낸 바와 같이, 볼공급로봇의 하단에 장착되는 툴 어댑터(210), 툴 어댑터(210)의 하부에 분리 가능하게 결합된 마운트블록(220), 마운트블록(220)의 하부에 결합되며 바닥에 다수의 흡착홀(238)이 형성된 픽업가이드(230)를 포함한다. 툴 어댑터(210), 마운트블록(222) 및 픽업가이드(230)는 내부공간을 둘러싸는 일종의 하우징을 구성한다.
구체적으로 설명하면, 툴 어댑터(210)는 아래쪽으로 개방된 공간을 가지고, 픽업가이드(230)는 위쪽으로 개방된 공간을 가지며, 마운트블록(220)은 다수의 상하 관통부를 가지면서 툴 어댑터(210)와 픽업가이드(230)의 사이에 설치된다.
따라서 볼 툴(200)의 내부에는 툴 어댑터(210), 마운트블록(220) 및 픽업가이드(230)에 의해 둘러싸인 내부공간이 형성되며, 특히 이러한 내부공간은 툴 어댑터(210), 마운트블록(220) 및 픽업가이드(230)의 각각에서 자재의 폭방향을 따라 형성된 격벽에 의해 제1공간(S1)과 제2공간(S2)으로 구획된다.
제1공간(S1)과 제2공간(S2)에는 솔더볼 흡착을 위한 진공압이 서로 독립적으로 작용해야 하며, 따라서 제1공간(S1)과 제2공간(S2)은 서로 완전히 격리되는 것이 바람직하다.
툴 어댑터(210)의 상면에는 제1 및 제2공간(S1, S2)과 각각 연통하는 제1 및 제2 진공유로(291, 292)가 형성되며, 제1 및 제2진공유로(291,292)는 제1 및 제2공간(S1,S2)의 내부압력을 독립적으로 제어하는 용도로 사용된다.
툴 어댑터(210)의 상부에서 제1공간(S1)에 대응하는 위치에는 제1승강구동부(261)가 설치되고, 제2공간(S1)에 대응하는 위치에는 제2승강구동부(262)가 설치된다.
제1승강구동부(261)의 제1구동축(263)은 제1공간(S1)의 내부로 연장되고, 제1구동축(263)의 하단부에는 제1구동축연결블록(271)이 결합된다. 제1구동축연결블록(271)은 제1공간(S1)의 내부에서 마운트블록(220)의 상부에 위치하며, 마운트블록(220)을 관통하는 연결봉(275)에 의해 마운트블록(220)의 하부에 위치하는 제1승강유닛(240)과 연결된다.
따라서 제1승강유닛(240)은 제1승강구동부(261)에 의하여 제1공간(S1)의 내부에서 승강운동을 할 수 있게 된다. 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴(200)에서 제1승강유닛(240)이 하강한 상태를 나타낸 부분 단면도이다.
제1승강유닛(240)은 다수의 홀을 구비하는 제1이젝트핀가이드(242)와, 제1이젝트핀가이드(242)에 관통 결합된 상태에서 하단이 픽업가이드(130)의 흡착홀(238)에 삽입되는 다수의 이젝트핀(280)과, 제1이젝트핀가이드(242)의 상부에 결합되어 이젝트핀(280)의 상단을 눌러주며 연결봉(275)의 하단에 결합된 제1백플레이트(241)를 포함한다.
제2승강구동부(262)의 제2구동축(264)은 제2공간(S2)의 내부로 연장되고, 제2구동축(264)의 하단부에는 제2구동축연결블록(272)이 결합된다. 제2구동축연결블록(272)은 제2공간(S2)의 내부에서 마운트블록(220)의 상부에 위치하며, 마운트블록(220)을 관통하는 연결봉(275)에 의해 마운트블록(220)의 하부에 위치하는 제2승강유닛(250)과 연결된다.
따라서 제2승강유닛(250)은 제2승강구동부(262)에 의하여 제2공간(S2)의 내부에서 승강운동을 할 수 있게 된다.
제2승강유닛(250)은 다수의 홀을 구비하는 제2이젝트핀가이드(252)와, 제2이젝트핀가이드(252)에 관통 결합된 상태에서 하단이 픽업가이드(130)의 흡착홀(238)에 삽입되는 다수의 이젝트핀(280)과, 제2이젝트핀가이드(252)의 상부에 결합되어 이젝트핀(280)의 상단을 눌러주며 연결봉(275)의 하단에 결합된 제2백플레이트(251)를 포함한다.
본 발명의 실시예에서는, 이와 같이 제1 및 제2승강구동부(261,262)를 이용하여 제1공간(S1)과 제2공간(S2)의 내부에서 각각 제1승강유닛(240)과 제2승강유닛(250)을 독립적으로 제어할 수 있다.
즉, 도 12에 나타낸 바와 같이 한쪽의 제1승강유닛(240)을 하강시켜 이젝트핀(280)으로 솔더볼(B)을 밀어내어 볼 부착공정을 진행하는 중에도 제2승강유닛(250)은 상승상태를 유지할 수 있으며, 이를 통해 하나의 볼 툴(200)을 사용하여 자재(10)의 서로 다른 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)에 대해 분리하여 솔더볼을 부착할 수 있게 된다.
한편 제1승강유닛(240)의 하강거리를 제한하기 위하여 제1공간(S1)에 위치하는 마운트블록(220)에 높이조절이 가능한 다수의 스토퍼(222)를 설치할 수 있다. 스토퍼(222)는 구동축연결블록(271)의 가장자리 하부에 설치되며, 구동축연결블록(271)이 하강하다가 그 저면이 스토퍼(222)의 상단에 접하게 되면 더 이상 하강하기 않게 된다. 따라서 이젝트핀(280)을 포함하는 제1승강유닛(240)의 과도한 하강을 스토퍼(222)을 통해 방지할 수 있다. 같은 방식으로 제2승강유닛(250)의 과도한 하강을 제한하기 위하여 제2공간(S2)에 위치하는 마운트블록(220)에도 높이조절이 가능한 다수의 스토퍼(222)를 설치할 수 있다.
픽업가이드(230)는 다수의 흡착홀(238)이 형성된 바닥과, 바닥의 주변을 따라 상부로 돌출되어 마운트블록(220)에 결합되는 측벽을 포함한다.
픽업가이드(230)의 저면에는 제1작업부(231)와 제2작업부(232)가 동일한 높이로 돌출되며, 이때 제1작업부(231)와 제2작업부(232)는 대략 제1공간(S1)과 제2공간(S2)의 하부에 각각 위치한다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴(200)에서는 제1작업부(231)와 제2작업부(232)가 동일한 높이를 가지므로 제1작업부(231)와 제2작업부(232)에 흡착된 솔더볼을 동일한 거리에서 자재(10)에 부착할 수 있으므로, 서로 다른 높이의 제1수용면과 제2수용면이 형성된 종래의 볼 툴에 비하여 전체적인 작업 정밀도를 향상시킬 수 있다.
제1작업부(231)에는 픽업가이드(230)의 제1공간(S1)과 연통하는 다수의 흡착홀(238)이 형성되고, 각 흡착홀(238)의 내부에는 제1승강유닛(240)에 포함된 이젝트핀(280)의 하단이 삽입된다.
또한 제2작업부(232)에는 픽업가이드(230)의 제2공간(S2)과 연통하는 다수의 흡착홀(238)이 형성되고, 각 흡착홀(238)의 내부에는 제2승강유닛(250)에 포함된 이젝트핀(280)의 하단이 삽입된다.
볼 툴(200)의 제1작업부(231)는 자재(10)의 제1작업영역(Ⅰ)에 대응하는 크기를 가지며, 제1작업부(231)에 형성된 흡착홀(238)의 배열은 제1작업영역(Ⅰ)의 볼패드 패턴과 동일하다.
또한 제2작업부(232)는 자재(10)의 제2작업영역(Ⅱ)에 대응하는 크기를 가지며, 제2작업부(232)에 형성된 흡착홀(238)의 배열은 제2작업영역(Ⅱ)의 볼패드 패턴과 동일하다.
또한 플럭스 툴(100)과 마찬가지로, 볼 툴(200)에서도 제1작업부(231)와 제2작업부(232)는 각각 자재(10)의 이동방향을 기준으로 픽업가이드(230)의 후단과 선단으로부터 소정 거리 이격되어 형성된다. 따라서 픽업가이드(230)의 후단과 제1작업부(231)의 사이, 및 픽업가이드(230)의 선단과 제2작업부(232)의 사이에는 자재(10)의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차(236)가 형성된다. 또한 제1작업부(231)와 제2작업부(232)의 사이에는 자재(10)의 이동방향과 직교하는 방향을 따라 홈 형상의 간섭방지용 단차(136)가 형성된다.
제1 및 제2작업부(231,232)는 이러한 간섭방지용 단차(136)에 대해 동일한 높이로 돌출되는 것이 바람직하다.
간섭방지용 단차(236)는 자재(10)에 정의된 다수의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ) 중에서 어느 작업영역에 대해 볼 부착공정을 진행할 때 자재(10)의 다른 작업영역에 대한 간섭을 방지하는 역할을 한다.
이하에서는 도 13a 내지 도 13e를 참조하여 본 발명의 실시예에 다른 볼 툴(200)을 사용하여 자재(10)에 솔더볼을 부착하는 방법을 설명한다.
장치제어부는 전술한 방법으로 플럭스가 도팅된 자재(10)를 제1공정위치로 이송하는 한편, 볼 툴(200)의 제1 및 제2진공유로(291,292)를 각각 제어하여 제1 및 제2공간(S1,S2)에 진공압을 형성하여 흡착홀(238)에 솔더볼(B)을 흡착한 후 볼 툴(200)을 자재(10)의 상부로 이동시킨다.
이때 볼 툴(200)은 제1 및 제2 작업부(231,232)의 모든 흡착홀(236)에 솔더볼을 흡착한 상태에서 자재(10)의 상부로 이동한다.
따라서 하나의 자재(10)가 반입되었을 때 솔더볼을 흡착하는 과정은 한번만 이루어지며, 단지 자재(10)에 솔더볼을 부착하는 공정은 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)마다 구분하여 진행하게 된다.
장치제어부는 제1작업부(231)가 자재(10)의 제1작업영역(Ⅰ)의 상부에 위치한 상태에서 볼 툴(200)을 하강시켜 제1작업영역(Ⅰ)의 상부에 제1작업부(231)를 근접시킨다. (도 13a 참조)
이어서 제1진공유로(291)를 제어하여 제1공간(S1)에 대한 진공압을 해제하는 한편, 제1승강구동부(261)를 제어하여 제1승강유닛(240)을 하강시킨다. 이 과정에서 이젝트핀(280)이 흡착홀(238)을 통해 하강하여 솔더볼(B)을 밀어내어 자재(10)의 제1작업영역(Ⅰ)에 부착시킨다. 이어서 장치제어부는 볼 툴(200) 전체를 상승시킨다. (도 13b 참조)
이어서 장치제어부는 자재(10)를 제2공정위치로 이송하여 볼 툴(100)의 제2작업부(232)의 하부에 자재(10)의 제2작업영역(Ⅱ)이 위치하도록 한다. (도 13c 참조)
이어서 볼 툴(200)을 하강시켜 제2작업영역(Ⅱ)의 상부에 제2작업부(231)을 근접시키고, 제2진공유로(292)를 제어하여 제2공간(S2)에 대한 진공압을 해제하는 한편, 제2승강구동부(262)를 제어하여 제2승강유닛(250)을 하강시킨다. 이 과정에서 이젝트핀(280)이 흡착홀(238)을 통해 하강하여 솔더볼(B)을 밀어내어 자재(10)의 제2작업영역(Ⅱ)에 부착시킨다. 이어서 장치제어부는 볼 툴(200) 전체를 상승시킨다. (도 13d 및 도 13e 참조)
이러한 과정을 거쳐 자재(10)의 모든 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)에 솔더볼(B)이 부착되면, 소정의 검사공정을 거친 후에 자재(10)를 외부로 반출한다.
한편 전술한 바와 같이 자재가 커짐에 따라 발생할 수 있는 툴 자체의 변형이나 구배에 대비할 필요가 있다.
본 발명의 실시예에서는, 특히 볼 툴(200)에서 발생할 수 있는 변형이나 구배를 방지하기 위하여 픽업가이드(230)의 내부에 설치된 이젝트 핀 가이드(242,252)를 상부의 백플레이트(241,251)에 결합함으로써, 이젝트 핀 가이드(242,252)의 처짐이나 구배를 방지하고, 이를 통해 이젝트 핀이 균일한 높이로 정렬될 수 있도록 한다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 볼 툴(200)의 제1승강유닛(240)과 그 주변 부품을 나타낸 부분 절개 사시도이고, 도 15는 도 14의 분해도이다.
도면에 나타낸 바와 같이, 제1승강유닛(240)을 구성하는 제1이젝트 핀 가이드(242)는 양측 가장자리가 조인트(245)에 의해 상부의 제1백플레이트(241)에 결합된다.
조인트(245)는 도 16에 나타낸 바와 같이, 일측으로 돌출된 제1돌출부(245a)와, 제1돌출부(245a)의 하부에서 제1돌출부(245a)와 같은 방향으로 형성된 제2돌출부(245b)와, 타측에서부터 제1돌출부(245a)의 내부를 관통하여 형성된 볼트홀(245c)을 포함한다.
제1돌출부(245a)는 제1백플레이트(241)의 상면 가장자리에 구비된 걸림홈(247)의 상부에 놓여지며, 제2돌출부(245b)는 제1이젝트 핀 가이드(242)의 저면 가장자리를 받치는 역할을 한다. 제2돌출부(246b)의 단부에는 제1돌출부(245a)쪽으로 후크 형상의 압박부가 돌출되는 것이 바람직하다.
따라서 조인트(245)를 결합하면 제1백플레이트(241)와 제1 이젝트 핀 가이드(242)가 서로를 향해 강하게 압박되는 상태가 된다.
제1 백플레이트(241)의 걸림홈(247)의 내벽에는 너트홈이 형성되며, 따라서 조인트(245)를 결합하기 위해서는 조인트(245)의 바깥측에서 볼트홀(245c)을 통해 볼트를 삽입하여 제1백플레이트(241)의 너트홈에 체결하면 된다.
이와 같이 조인트(245)를 체결하면, 제1이젝트 핀 가이드(242)의 양측 가장자리가 상부의 제1백플레이트(241)를 향해 강하게 압박되는 상태가 되며, 이에 따라 제1이젝트 핀 가이드(242)의 처짐이나 구배가 방지되어 이젝트 핀들이 보다 균일하게 정렬될 수 있게 된다.
이상에서는 제1작업부(231)의 상부에 위치하는 제1승강유닛(240)에 조인트(245)를 사용하는 경우를 설명하였으나, 제2작업부(232)의 상부에 위치하는 제2승강유닛(250)을 구성하는 제2 이젝트 핀 가이드(252)의 주변부를 조인트(245)를 이용하여 그 상부의 제2백플레이트(251)에 결합할 수 있음은 물론이다.
또한 조인트(245)의 설치 위치나 개수는 이젝트 핀 가이드(242,252)의 크기에 따라 달라질 수 있으므로, 도면에 나타낸 것에 한정되지 않음은 물론이다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정될 수 있다.
일 예로서, 이상에는 자재(10)를 2개의 작업영역(Ⅰ,Ⅱ)으로 구분하고 플럭스 툴(100)과 볼 툴(200)에도 이와 대응하는 개수의 작업부를 형성하였으나, 솔더볼의 크기가 더욱 미세해질 경우에는 자재(10)에 3개 이상의 작업영역을 정의하여 각 작업영역에 대해 독립적으로 플럭스 도팅 또는 볼 부착 공정을 진행할 수도 있다.
다른 예로서, 본 발명의 실시예에서는 하나의 플럭스 툴(100)이 하나의 자재(10)에 대해 2회 이상의 도팅 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 필요에 따라서는 플럭스 툴(100)에 구비된 각 작업부(131,132)의 플럭스 핀 배열을 서로 다르게 구성할 수도 있으며, 따라서 제1작업부(131)와 제2작업부(132)가 서로 다른 패턴을 갖는 자재 또는 서로 다른 패턴이 형성된 작업영역에 대해 각각 플럭스 도팅 공정을 수행할 수도 있다. 이는 볼 툴(200)의 경우도 마찬가지이다.
또 다른 예로서, 이상에서는 스트립 형태의 자재(10)를 대상으로 볼 마운트 공정을 진행하는 경우를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니므로 웨이퍼에 직접 솔더볼을 부착하는 공정에서도 본 발명에 따른 방법과 툴을 적용할 수도 있다.
이와 같이 본 발명은 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있으며, 변형 또는 수정된 실시예도 후술하는 특허청구범위에 포함된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 당연하다 할 것이다.
10: 자재 11: 유닛
100: 플럭스 툴 110: 툴 어댑터
120: 마운트블록 130: 핀가이드
131: 제1작업부 132: 제2작업부
136: 간섭방지용 단차 138: 격벽
140: 누름부재 151: 제1 백플레이트
152: 제2백플레이트 160: 플럭스 핀
200: 볼 툴 210: 툴 어댑터
220: 마운트블록 222: 스토퍼
230: 픽업가이드 231: 제1작업부
232: 제2작업부 236: 간섭방지용 단차
238: 흡착홀 240: 제1승강유닛
241: 제1백플레이트 242: 제1이젝트핀가이드
245; 조인트 247: 걸림홈
250: 제2승강유닛 251: 제2백플레이트
252: 제2이젝트핀가이드 261: 제1승강구동부
262: 제2승강구동부 263: 제1구동축
264: 제2구동축 271: 제1구동축연결블록
272: 제2구동축연결블록 275: 연결봉
280: 이젝트핀 291: 제1진공유로
292: 제2진공유로 S1, S2: 제1, 제2 공간

Claims (8)

  1. 다수의 작업영역이 정의된 단일 자재에 대하여 상기 다수의 작업영역에 순차적으로 솔더볼을 부착하는 볼 툴(Ball Tool)에 있어서,
    상기 다수의 작업영역에 각각 대응하는 것으로서, 격벽에 의해 서로 격리된 다수의 공간이 내부에 형성된 하우징;
    상기 다수의 작업영역에 일대일 대응하는 것으로서, 상기 하우징의 저면으로 동일한 높이로 돌출되고 이젝트핀이 삽입되는 다수의 흡착홀을 각각 구비하는 다수의 작업부;
    상기 하우징에 형성되어 상기 다수의 공간과 각각 연통하며, 서로 독립적으로 제어되는 다수의 진공유로;
    상기 하우징의 상부에 장착되어 상기 다수의 공간의 내부로 각각 연장된 다수의 구동축을 각각 동작시키는 다수의 승강구동부;
    상기 다수의 구동축에 각각 연결되는 것으로서, 각각 다수의 이젝트핀이 관통결합된 핀가이드와 상기 핀가이드의 상부에서 이젝트핀의 상단을 눌러주는 백플레이트를 포함하는 다수의 승강유닛
    을 포함하며, 상기 하우징의 저면에는 선단과 후단에 각각 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성되고, 인접한 작업부의 사이에도 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 볼 툴
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 작업부의 크기가 서로 다르거나, 상기 다수의 작업부마다 흡착홀의 배열이 서로 다른 것을 특징으로 하는 볼 툴
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 핀가이드의 처짐을 방지하기 위한 것으로서, 상기 백플레이트의 상면 가장자리에 결합되는 제1돌출부와, 상기 핀가이드의 저면 가장자리를 지지하는 제2돌출부를 구비한 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 볼 툴
  5. 다수의 작업영역이 정의된 단일 자재에 대하여 상기 다수의 작업영역에 순차적으로 플럭스를 도팅하는 플럭스 툴(Flux Tool)에 있어서,
    상기 다수의 작업영역에 일대일 대응하는 다수의 작업부가 저면으로 동일한 높이로 돌출 형성되고, 각 작업부마다 다수의 플럭스핀이 관통 결합되는 핀가이드;
    플럭스핀의 상단을 눌러주기 위하여 상기 핀가이드의 상부에 설치되는 것으로서, 각각 상기 다수의 작업부의 상부에 각각 위치하는 다수의 백플레이트;
    상기 다수의 백플레이트의 상부에 설치되고, 주변부가 상기 핀가이드에 결합되는 마운트블록;
    상기 마운트블록에 결합되어 상기 다수의 백플레이트에 대해 아래쪽 방향의 탄성력을 제공하는 탄성수단
    을 포함하며, 상기 핀가이드의 저면에는 선단과 후단에 각각 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성되고, 인접한 작업부의 사이에도 자재의 이동방향과 직교하는 방향으로 간섭방지용 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 플럭스 툴
  6. 제5항에 있어서,
    상기 다수의 작업부의 크기가 서로 다르거나, 상기 다수의 작업부마다 플럭스 핀의 배열이 서로 다른 것을 특징으로 하는 플럭스 툴
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 핀가이드는 바닥과, 상기 바닥을 둘러싸는 측벽과, 상기 바닥과 측벽으로 둘러싸인 공간을 다수의 공간으로 구획하는 격벽을 포함하고,
    상기 다수의 백플레이트는 각각 대응하는 공간을 둘러싸는 측벽과 상기 격벽의 상단에 거치되는 것을 특징으로 하는 플럭스 툴
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