KR101650816B1 - 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법 - Google Patents

진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101650816B1
KR101650816B1 KR1020147026724A KR20147026724A KR101650816B1 KR 101650816 B1 KR101650816 B1 KR 101650816B1 KR 1020147026724 A KR1020147026724 A KR 1020147026724A KR 20147026724 A KR20147026724 A KR 20147026724A KR 101650816 B1 KR101650816 B1 KR 101650816B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air extraction
pumping
unit
vacuum
pressurizing
Prior art date
Application number
KR1020147026724A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140140046A (ko
Inventor
지안젱 탕
리궈 왕
Original Assignee
베이징 시너지 바큠 글레이징 테크놀러지 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 베이징 시너지 바큠 글레이징 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 filed Critical 베이징 시너지 바큠 글레이징 테크놀러지 컴퍼니 리미티드
Publication of KR20140140046A publication Critical patent/KR20140140046A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101650816B1 publication Critical patent/KR101650816B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
    • C03B23/24—Making hollow glass sheets or bricks
    • C03B23/245—Hollow glass sheets
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/6612—Evacuated glazing units
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/677—Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
    • E06B3/6775—Evacuating or filling the gap during assembly
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/663—Elements for spacing panes
    • E06B3/66304—Discrete spacing elements, e.g. for evacuated glazing units
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A30/00—Adapting or protecting infrastructure or their operation
    • Y02A30/24—Structural elements or technologies for improving thermal insulation
    • Y02A30/249—Glazing, e.g. vacuum glazing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B80/00—Architectural or constructional elements improving the thermal performance of buildings
    • Y02B80/22—Glazing, e.g. vaccum glazing

Abstract

진공유리를 제작하기 위한 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템 및 관련 방법으로서, 상기 진공 펌핑 장치는: 원형관 형상의 공기추출 작업 유닛; 원기둥 형상의 공기추출구 밀봉 작업 유닛; 제어부; 및 구동장치를 포함한다. 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛은 동일한 중심축선을 가지고, 또한 상기 공기추출 작업 유닛은 외측에서 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛은 내측에서 원기둥체를 형성하며, 양자는 상기 중심축선을 따라 상대적으로 이동할 수 있다. 공기추출 작업 유닛의 관벽 내에 공기추출 통로가 형성되고, 또한 공기추출구 밀봉 작업 유닛의 상부 내부에 가열 유닛이 설치된다. 제어부는 구동장치를 통해 시간 순서대로 공기추출 작업 유닛과 공기추출구 밀봉 작업 유닛이 중심축선을 따라 상대적으로 이동하도록 제어하여, 공기추출 통로가 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하며, 또한 가열 유닛이 캡라이너를 가열하여 공기추출구의 밀봉 작업을 수행하도록 제어한다.

Description

진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법{Vacuum extraction device, vacuum glass manufacturing system, and related method}
본 발명은 진공유리 제작 시스템에 관한 것으로서, 구체적으로는 진공유리 연속 자동화 생산라인에서 사용되는 진공 펌핑 장치, 상기 진공 펌핑 장치를 이용한 진공유리 제작 시스템 및 관련 방법에 관한 것이다.
도 1은 진공유리의 기본 구조를 예시한 것이다. 구체적으로는, 상판 유리(5)와 하판 유리(4)가 이들 사이에 배치된 지지물(3)을 통해 높이가 h인 공간 간격을 형성하고, 유리 솔더(1)를 사용하여 상판 유리(5)를 하판 유리(4)의 가장자리와 밀봉시킨 후, 유리 솔더(1)와 상판 유리(5) 및 하판 유리(4)로 캐비티 층(2)(즉, 구현하고자 하는 진공층)을 형성하여, 공기추출구(41)를 거쳐 캐비티 층(2)의 공기를 추출한 후 진공층을 형성한다. 그 후 캡라이너(53)를 이용하여 공기추출구(41)를 밀봉한다(예를 들어 소결 또는 용융화에 사용되는 용접제 밀봉재(51)를 이용하는 방식을 통해 캡라이너(53)를 하판 유리(4)와 일체형으로 결합한다). 바람직하나 단 비제한적인 예시로서, 상판 유리(5)와 하판 유리(4) 중의 적어도 하나의 유리(예를 들어 하판 유리(4)) 내측에 저 방사필름(8)을 부착할 수 있으며, 또한 공기추출구(41)에 밀봉 흡기제(40)를 설치할 수도 있다.
상기 구조적 특징 이외에, 진공 유리의 진공물리 성질은 주로 가장자리의 완벽하고 철저한 진공 추출 및 신뢰할 만한 공기추출구의 밀폐에 의해 이루어져야 한다. 이를 위해 많은 기술방안들이 연구되었으며, 진공유리를 생산하기 위한 제조시스템/조립라인의 예는 다음과 같다:
CN 101234847A: 연속식 진공유리 모서리 밀봉로
CN 1286670A: 진공유리의 제조방법 및 그 장치
CN 201071341Y: 연속식 용융접합 및 진공유리 가공설비
CN 101348326A: 진공유리 연속 생산방법과 설비
CN 102030464A: 진공유리 연속 생산설비
KR 10-2012-0009788: 진공창, 진공창 제조방법 및 진공창 제조시스템
본 출원 이전에 존재하는 진공유리 제작 시스템 중, 연속/비연속식 진공로에서 진공유리 배기 및 캡 밀봉을 실시하는 배경기술로써 상기 각 특허문헌의 모든 공개 내용을 인용 방식으로 본문에 통합하였다.
비록 상기 배경기술은 모두 어느 정도 유익한 기술적인 가르침을 주었으나, 구체적인 실시 과정에 여전히 해결해야 할 각종 기술문제가 존재한다. 예를 들어, 연속식 진공로는 진공 과정에서 신속하고 균일한 가열 및 온도 하강을 실현하기가 어렵고, 또한 제조 시스템 중의 각 부분의 설비가 상호 연관되어 있기 때문에, 어느 한 부분의 고장은 전체 생산라인의 중단을 초래할 수 있을 뿐만 아니라 유지보수의 복잡성이 상대적으로 높아, 제조시스템의 전체적인 협조성과 안정성이 낮으며, 또한 이로 인해 제품의 원가가 높은 편이다. 이밖에, 설계 상 반드시 배기구 밀봉 장치와 진공유리의 공기추출구의 구조를 서로 동시에 고려해야 하므로, 공정이 상대적으로 복잡해지고, 심지어 진정한 "연속" 생산을 실현할 수 없다.
구체적으로, 상기 배경기술 CN 101348326A, CN 102030464A 및 KR 10-2012-0009788을 예로 들면, 그 중 사전-가압 배기, 모서리 밀봉, 진공추출 및 캡 밀봉 등 몇 가지 공정 및 진공특성의 구현과 관련된 가공처리는 각기 다른 가공 단계에서 실시되는 것으로, 각각의 가공 단계마다 필요한 환경 온도가 다르기 때문에, 하나의 가공 단계로부터 다른 하나의 가공 단계로 넘어가는 과정에서 승온 또는 강온 처리를 위해 상당히 긴 시간을 대기해야 하며, 또한 각기 다른 가공 단계에서 사용되는 공기추출 장치, 진공장치 및 캡 밀봉 장치가 교대로 작동하기 때문에 상응하는 장치가 각각 공기추출구에 정렬되도록 해당 작업을 실시해야 하는데, 그 기술 난도가 크고 또한 상당히 긴 시간이 소요된다. 따라서, 상기 배경 기술 중의 소위 "연속"가공의 경우, 시간적으로나 또는 공간적으로 모두 구현이 어렵다.
구체적으로 말하자면, 종래 기술(예를 들어 배경기술로서의 특허문헌 CN 101030464A의 도 4 및 명세서 중 상응하는 [0035]단락의 설명 참조)에 따르면, 진공유리의 모서리 밀봉 가공 단계에서는 유리의 전체 부피를 수납하는 가공로 챔버를 가열해야 한다. 그런데, 사전-가압 배기, 진공 추출 및 캡 실링 등의 이러한 공정들은 단지 공기추출구와 상기 공기추출구를 둘러싼 인접 부분에만 관련되어 있기 때문에 가공되는 전체 유리 부피에 대하여 전체적인 가열/냉각 작업을 하고 전체 유리 부피를 수납하는 가공로 챔버에 대하여 전체적으로 진공추출을 실시하는 것은 에너지와 시간 방면에서 모두 일종의 낭비이다.
본 발명의 목적은 종래 기술 중의 상기 결함을 극복하고, 진공유리 연속 자동화 생산라인에 사용되는 진공 펌핑 장치, 상기 진공 펌핑 장치를 이용한 진공유리 제작 시스템 및 관련 방법을 제공하고자 하는데 있다.
구체적으로, 본 발명의 상기 목적을 실현하기 위하여, 본 발명의 일 방면에 따르면, 공기추출 작업 기능과 공기추출구 밀봉 기능을 통합한 진공 펌핑 장치를 제공하며, 상기 진공 펌핑 장치는: 원형관 형상의 공기추출 작업 유닛; 원기둥 형상의 공기추출구 밀봉 작업 유닛; 제어부; 및 구동장치를 포함한다. 그 중 상기 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛은 동일한 중심축선을 가지고, 또한 상기 공기추출 작업 유닛은 외측에서 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛은 내측에서 원기둥체를 형성하며, 상기 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛은 상기 중심축선을 따라 상대적으로 이동한다. 상기 공기추출 작업 유닛의 관벽 내에 상기 관벽의 내측면과 연통하는 공기추출 통로가 형성되고, 또한 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛의 상부 내부에 가열 유닛이 설치된다. 상기 제어부는 상기 구동장치를 통해 시간 순서대로 상기 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛이 상기 중심축선을 따라 상대적으로 이동하도록 제어하여, 상기 공기추출 통로가 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하고, 또한 상기 가열 유닛이 캡라이너를 가열하여 공기추출구의 밀봉 작업을 수행하도록 제어한다.
본 발명의 상기 실시예에 따른 진공 추출장치는 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때, 상기 중심 축선을 따라 상기 공기추출 작업 유닛이 가공되는 진공유리의 하부 표면에 정위(正位)되어 공기추출구의 중심에 정확하게 정렬되도록 함으로써, 상기 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구를 거쳐 가공되는 진공 유리 중의 캐비티 층과 연통시키고, 또한 상기 공기추출 작업 유닛의 공기추출 통로를 상기 캐비티와 연통시키며, 상기 공기추출 작업 유닛의 공기추출 통로를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 상기 진공 펌핑 작업을 수행한다. 또한, 상기 진공 펌핑 작업을 완료한 후 상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때, 상기 중심축선을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛을 이동시켜 밀봉 용접제가 구비된 캡라이너를 상기 공기추출구 상에 배치하고, 상기 가열 유닛이 상기 캡라이너를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제를 용융시킴으로써 상기 공기추출구를 밀봉한다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 진공 펌핑 장치는 상기 공기추출 작업 유닛과 가공되는 진공유리가 유연하게 접촉되어 기밀 효과를 높이도록 하기 위해, 상기 공기추출 작업 유닛의 상부에 탄성 내열 밀봉링을 설치할 수 있다. 이밖에, 상기 공기추출 작업 유닛의 작업 온도를 낮추고 상기 밀봉링의 급속한 노후화를 방지하기 위하여, 상기 공기추출 작업 유닛의 관벽 내에 냉각 시스템을 형성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 진공 펌핑 장치는, 상기 구동장치에 상기 공기추출 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛을 상기 중심축선을 따라 상대적으로 이동시키기 위한 승강 구동장치; 상기 공기추출 작업 유닛의 공기추출 통로가 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 상기 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하기 위한 사전-가압/진공 펌핑 구동장치; 상기 가열 유닛이 상기 캡라이너를 가열하도록 제어하기 위한 가열 구동장치; 및 냉각액(예를 들어 물)이 상기 냉각 시스템에서 순환 유동하도록 구동하기 위한 냉각 구동장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 진공 펌핑 장치는, 상기 공기추출 작업 유닛에 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛과 진공 펌핑 작업 유닛을 포함할 수 있다. 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛 및 상기 진공 펌핑 작업 유닛은 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛과 동일한 중심축선을 가질 수 있으며, 또한 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛은 외측에서 진공 펌핑 작업 유닛은 내측에서 원형관체를 형성하고, 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛과 상기 진공 펌핑 작업 유닛 각각의 관벽 내에 각각 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업과 진공 펌핑 작업을 수행하기 위한 공기추출 통로를 형성할 수 있다.
본 발명의 상기 실시예에 따른 진공 펌핑 장치는 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행할 때, 상기 중심축선을 따라 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛을 이동시켜 가공되는 진공유리의 하부 표면에 정위시켜 공기추출구 중심에 정확하게 정렬되도록 함으로써 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구를 거쳐 가공되는 진공유리의 캐비티층과 연통시키고, 또한 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛의 공기추출 통로를 상기 캐비티와 연통시키며, 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛의 공기추출 통로를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행한다. 상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때, 상기 중심 축선을 따라 상기 진공 펌핑 작업 유닛을 이동시켜 가공되는 진공유리의 하부 표면에 정위시키고 상기 공기추출구의 중심에 정확하게 정렬되도록 함으로써 상기 진공 펌핑 작업 유닛과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구를 거쳐 가공되는 진공유리 중의 캐비티층과 연통시키고, 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 공기추출 통로를 상기 캐비티와 연통시키며, 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 공기추출 통로를 통해 상기 진공 펌핑 작업을 수행한다. 또한 상기 진공 펌핑 작업을 완료한 후 상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때, 상기 중심 축선을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛을 이동시켜 밀봉 용접제를 구비한 캡라이너를 상기 공기추출구 상에 배치하고, 상기 가열 유닛이 상기 캡라이너를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제를 용융시킴으로써 상기 공기추출구를 밀봉한다.
본 발명의 또 다른 일 실시예 따른 진공 펌핑 장치는, 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 상부에 탄성 내열 밀봉링이 구비될 수 있다. 따라서, 상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때에만 상기 밀봉링이 가공되는 진공유리와 접촉되며, 이로써 상기 밀봉링의 사용수명을 연장할 수 있다. 이밖에, 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 작업 온도를 낮추고 상기 밀봉링의 급속한 노후화를 방지하기 위하여, 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 관벽 내에 냉각 시스템을 형성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 진공 펌핑 장치는, 상기 구동장치에 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛, 상기 진공 펌핑 작업 유닛 및 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛을 상기 중심 축선을 따라 상대적으로 이동시키기 위한 승강 구동장치; 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛의 공기추출 통로와 상기 진공 펌핑 작업 유닛의 공기추출 통로가 각각 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하기 위한 사전-가압/진공 펌핑 구동장치; 상기 가열 유닛이 상기 캡라이너를 가열하도록 제어하기 위한 가열 구동장치; 및 냉각액(예를 들어 물)이 상기 냉각 시스템에서 순환 유동되도록 구동하기 위한 냉각 구동장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 다른 한편으로, 진공유리 제작 시스템을 제공하며, 상기 진공유리 제작시스템은 본 발명에 따른 진공 추출 장치를 이용하여 본 발명이 제공하는 방법에 따라 진공 유리 제작 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행한다.
본 발명이 제공하는 진공 추출장치를 진공유리 연속 자동화 생산라인에 응용할 경우, 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 일체화로 완료할 수 있어, 작업 단계의 안정적인 연속성을 진정으로 실현하였을 뿐만 아니라, 제작 시스템의 각 부분에 대하여 동조 및 작업을 실시하기가 용이하여, 진공유리 제작 시스템의 안정성을 제고시켰다. 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치, 상기 진공 펌핑 장치를 이용한 진공유리 제작 시스템 및 관련 방법은 보다 높은 정밀도를 갖는 진공유리를 생산할 수 있는 동시에, 에너지 소모와 시간 소모를 낮출 수 있고, 또한 진정한 연속 생산을 구현할 수 있다.
도 1은 일종의 진공유리 구조도.
도 2a는 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치의 기본 구조 원리를 반영한 진공 펌핑 장치의 단면도.
도 2b는 도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치의 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치의 진공유리 제작시스템/조립라인 중에서의 사용위치 설명도.
도 4는 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행하는 온도-시간 곡선.
도 5는 도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치를 이용하여 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 진공 펌핑 작업을 수행할 때의 작업상태도.
도 6은 진공 펌핑 작업 완료 후 도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치를 이용하여 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때의 작업상태도.
도 7a는 도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치의 개선 구조도.
도 7b는 도 7a에 도시된 진공 추출장치의 평면도.
도 8은 도 7a에 도시된 진공 펌핑 장치의 기본 구조 원리를 반영한 진공 펌핑 장치의 단면도.
도 9는 도 8에 도시된 진공 펌핑 장치를 진공 유리 제작시스템/조립라인에 장착한 설명도.
이하 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 그 중 동일한 부호표기는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2a는 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치의 기본 구조 원리를 반영한 진공 펌핑 장치의 단면도를 나타낸 것이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 진공 추출장치의 평면도이다.
도 2a와 도 2b를 참조하면, 본 발명에 따른 진공 추출장치는 기계부분(V), 구동장치(100) 및 제어부(200)을 포함할 수 있다. 본 발명의 진공 추출장치의 작업은 전체 조립라인의 제어 시스템이 송신하는 제어 명령에 의해 제어되며, 나아가 전체 진공유리 제작시스템의 각 가공로 및 전송장치와 동조하여 작업이 실시된다는 점을 인식해야 한다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 기계부분(V)은 원형관 형상의 공기추출 작업 유닛(49)과 원기둥 형상의 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 포함할 수 있다. 그 중, 공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)은 동일한 중심축선(Z)을 구비하며, 또한 공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)은 원기둥체(즉, 기계부분(V))를 형성한다. 공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)은 모두 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동할 수 있으며, 나아가 가공되는 진공 유리의 공기추출구(41)(도 1에 도시)상에 각각 압박되어, 공기추출구(41)의 중심에 정확하게 정렬됨으로써 공기추출구(41)를 완전히 덮는다.
공기추출 작업 유닛(49)의 관벽 내에 상기 관벽의 내측 표면과 연통되어, 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 진공 펌핑 작업을 수행하는 과정에서 진공유리의 캐비티 층(2)(예를 들어 도 1 참조) 중의 공기를 공기추출 펌프(미도시)를 통해 대기로 배출시키기 위한 공기추출 통로(22)가 형성된다. 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상부 내부에 가열 유닛(54)(예를 들어 저항 발열선)이 설치된다. 전원선(52)을 통해 전력을 제공하면, 가열 유닛(54)은 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 온도, 특히 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상부 부분의 온도를 급속하게 상승시킬 수 있다.
구동장치(100)는 제어부(200)으로부터 지령을 획득하고 획득된 지령에 따라 작업을 수행한다. 구동장치(100)는 주로 두 가지 방면, 즉:
공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 기계적으로 이동시켜, 공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동시키고, 공기추출 작업 유닛(49)과 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 각각 가공되는 진공유리의 공기추출구(41) 상에 압박하여, 공기추출구(41)의 중심에 정확하게 정렬되도록 함으로써 공기추출구(41)를 완전히 덮는 기능; 및
공기추출 통로(22)를 통해 사전-펌핑/사전-가압 작업 또는 진공 펌핑 작업을 수행하는 기능을 제공한다.
공기추출 작업 유닛(49)이 가공되는 진공유리와 유연하게 접촉되어 기밀 효과를 높일 수 있도록 하기 위하여, 공기추출 작업 유닛(49)의 상부에 탄성 내열 밀봉링, 예를 들어 밀봉링(48)을 설치할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 진공추출 장치의 진공유리 제작 시스템/조립라인에 사용하는 위치를 설명하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 진공유리 제작시스템에서, 전체 조립라인은 대체로 12개의 가공 단계, 즉 도 3 중의 (2-1) 내지 (2-12)로 구분될 수 있다. 이해를 위해, 본 발명과 직접 관련이 없는 단계는 도시하지 않았으며, 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5), 진공 펌핑 작업(2-7) 및 공기추출구 밀봉 작업(2-9)만 도시하였다.
이러한 가공 단계 중, 두 가지 단계에서 목적이 다른 두 번의 "공기추출" 작업을 수행해야 한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1차 "공기추출" 작업은 사전-가압로에서 실행되는 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5)이다. 도 1에 도시된 진공유리 모서리의 유리 솔더(1)가 고온에서 용융된 후 어느 온도(예를 들어 400℃)까지 온도가 낮아지면 진공 펌프(34)(도 9 참조)를 가동시켜 사전-펌핑/사전-가압 작업을 시작한다. 진공유리의 캐비티 층(2)과 외부 사이에 대략 하나의 대기압 압력차(평방미터당 10톤의 압력에 해당)가 존재할 때, 유리 솔더(1)가 압박되어 평평해진다. 유리 솔더(1)가 응고된 후의 높이는 진공유리 지지물(3)의 높이(h)와 일치하며(도 1 참조), 이를 통해 진공유리의 모서리 부분에 파괴성 인장 응력이 형성되는 것을 방지하여 제품 품질을 보장하고 사용수명을 연장할 수 있다. 이로써 알 수 있듯이, 도 3에 도시된 사전-가압로에서 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5)을 실시하는 목적은 모서리 밀봉의 완벽성을 구현하는데 있으며, 또한 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5)의 실행은 일정한 온도와 공기추출 지속 시간이 필요하다. 도 4에 도시된 곡선 중의 P1구간은 상기 바람직한 실시예 중 사전-펌핑/사전-가압 작업의 온도가 대략 400 내지 450℃ 범위이고, 공기추출 지속시간은 대략 15분인 것을 나타내고 있다. 그러나 본 분야의 기술자라면 마땅히, 유리 솔더(1)의 타입과 공기추출장치의 출력이 다름에 따라, 상기 온도 및/또는 지속시간 역시 달라진다는 것을 알 것이나, 그러나 중요한 점은 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업은 모서리 밀봉의 완벽성을 보장하기 위한 것이라는 점이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제2차 "공기추출" 작업은 진공로에서 실시되는 진공 펌핑 작업(2-7)으로서, 이때 진공 펌프(34)를 재가동해야 한다. 도 4에 도시된 곡선 중의 P2 구간은 상기 바람직한 실시예 중 진공 펌핑 작업의 온도가 대략 200 내지 250℃이고, 공기추출 지속시간은 대략 10분임을 나타낸다.
이하 도 3 내지 도 6을 참조하여 도 2a에 도시된 본 발명의 진공추출 작업(2-7)이 실현하는 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5), 진공 추출 작업 (2-7) 및 공기추출구 밀봉 작업(2-9)의 작업 과정을 상세히 설명한다.
도 3에 도시된 사전-가압로에서 사전-펌핑/사전-가압 작업(2-5)을 실시하며, 도 5에 도시된 바와 같이, 구동장치(100)는 공기추출 작업 유닛(49)을 중심축선(Z)을 따라 가공되는 진공유리 방향으로 이동시키고, 공기추출 작업 유닛(49)을 하판 유리(4)에 압박하여 공기추출구(41)를 덮는다. 공기추출 작업 유닛(49)의 상부에는 밀봉링(49)을 구비할 수 있다. 밀봉링(48)은 하판 유리(4)와 공기추출 작업 유닛(49) 사이의 탄성 압착을 보장할 뿐만 아니라, 이들 사이의 기밀 접촉을 실현할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치의 후단부가 전체적인 기계 구조에 의해 지지되기 때문에 기밀성을 가지며, 따라서 공기추출구(41)를 거쳐 진공유리의 캐비티 층(2) 및 공기추출 통로(22)와 연통되는 기밀 캐비티(R)를 형성한다. 이어서 공기추출 통로(22)와 연결되는 진공 펌프(34)를 가동시켜 공기를 추출함으로써 기밀 캐비티(R) 중의 대부분의 공기를 추출한다. 예를 들어 400 내지 450℃ 조건에서 공기를 추출하는 지속 시간을 대략 15분(즉, 도 4에 도시된 P1 구간)으로 하여, 진공유리의 캐비티 층(2)과 외부 사이에 대략 하나의 대기압 압력차가 존재하도록 함으로써 모서리 밀봉에 사용되는 유리 솔더(1)가 평평해지도록 압박한다. 유리 솔더(1)가 응고된 후의 높이는 진공유리의 지지물(3)의 높이(h)와 일치하며, 따라서 진공 유리의 모서리 부분에 파괴성 인장 응력이 형성되는 것을 방지하여 제품 품질이 보장되고 사용수명이 연장된다.
이어서, 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치와 가공되는 진공유리를 함께 도 3에 도시된 진공로에 투입하여 실행하는 진공 펌핑 작업(2-7) 단계로서, 이때 진공 펌프(34)를 재가동하며, 온도가 대략 200 내지 250℃일 때, 연속시간이 대략 10분인 진공추출 작업(즉, 도 4에 도시된 P2 구간)을 실시하여 진공유리의 캐비티 층(2) 중의 고도진공상태를 실현한다.
도형을 직관화하고 묘사를 분명하게 하고자 하는 목적에서, 도 5에는 실제로 존재할 가능성이 있는 밀봉 흡기제(40)(도 1, 도 6 및 도 9 참조)를 도시하지 않았다. 사용되는 밀봉 흡기제(40)에 관한 요구는 본 출원의 선출원인 CN201473455U의 상세한 설명을 참조할 수 있으며, 상기 출원의 모든 공개 내용을 인용방식으로 본문에 통합하였다.
마찬가지로, 도형을 직관화하고 묘사를 분명하게 하고자하는 목적에서, 도 5에는 캡라이너(53)(도 6 참조)를 도시하지 않았다. 그러나, 본 분야의 기술자라면 본 출원을 읽은 후 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치가 가공되는 진공유리와 시종 고정되는 위치 관계를 유지함으로써 진정한 연속 생산을 구현하였다는 것을 분명하게 인식할 것이다. 이러한 인식을 바탕으로, 본 분야의 기술자라면 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치를 가공되는 진공유리에 고정시키기 전, 캡라이너(53)가 이미 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)에 설치되며, 나아가 공기추출구 밀봉 작업(2-9)을 실시할 때, 캡라이너(53)가 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)과 함께 중심축선(7)을 따라 이동하여 공기추출구(41) 상에 놓인다는 것을 이해할 것이다.
도 6은 진공 펌핑 작업 후 도 2a에 도시된 진공 추출장치를 이용하여 공기추출구 밀봉 작업(2-9)을 수행할 때의 작업상태 설명도이다. 도 3의 캡 밀봉로에서 캡 밀봉 작업(2-9)을 수행하며, 제어부(200)의 구동신호가 중심축선(Z)을 따라 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 이동시키도록 구동장치(100)를 구동시켜, 밀봉 용접제(51)를 구비한 캡라이너(53)를 공기추출구(41)상에 배치하고, 또한 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 캡라이너(53)에 탄성적으로 압박한다. 이어서, 구동장치(100)는 전원선(52)을 통해 가열 유닛(54)에 전원을 공급하여, 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상부 부분의 온도를 급속히 상승시킴으로써 캡라이너(53)와 진공유리의 하판 유리(4) 사이의 밀봉 용접제(51)를 용융시킨다. 이어 가열을 중지하여 용융된 밀봉 용접제(51)를 응고시켜 캡라이너(53)로 공기추출구(41)를 밀봉한다.
상기 도면을 참조하여 실시한 묘사 중, 도 3에 도시된 조립라인의 사전-가압로로부터 진공로를 거쳐 캡 밀봉로에 이르는 과정에서, 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치는 가공되는 진공유리와 시종 고정된 위치관계를 유지함으로써, 종래 기술과 같이 가공헤드(예를 들어 사전-가압 헤드, 진공 헤드, 캡 실링 헤드)를 정렬하는 작업을 반복적으로 실시할 필요가 없어 작업이 간단하고 연속적이며, 진정한 연속생산을 구현할 수 있다.
도 7a는 도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치의 개선 구조를 나타낸 설명도이고, 도 7b는 도 7a에 도시된 진공 추출장치의 평면도이다. 도 8은 도 7a에 도시된 진공 추출장치의 기본 구조 원리를 반영한 단면도이다.
도 2a에 도시된 진공 추출장치와 비교해보면, 도 7a, 도 7b 및 도 8에 도시된 진공 펌핑 장치의 주요 차이점은: 도 7a 중의 진공 펌핑 작업 유닛(49)에 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491) 및 진공 펌핑 작업 유닛(492)이 포함된다는데 있다. 그 중 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)과 동일한 중심축선(Z)을 구비하며, 또한 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)은 외측에 위치하고 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 내측에 위치하여 원형관체를 형성하고, 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492) 각각의 관벽 내에 공기추출 통로(221 및 222)가 형성되어, 각각 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행한다. 이때, 기밀 효과를 제공하면서 또한 가공되는 진공유리의 표면과의 탄성접촉을 실현하기 위해 설치되는 탄성 내열 밀봉링(48)은 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 상부에 배치될 수 있다. 따라서, 진공 펌핑 작업을 수행할 때에만 밀봉링(48)이 가공되는 진공 유리와 접촉되어, 밀봉링(48)의 사용 수명이 연장된다.
이하 도 4에 도시된 곡선도를 참조하여 도 2a에 도시된 진공 펌핑 작업 유닛(49)을 각각 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)로 구분한 장점을 설명한다.
도 4를 참조하면 알 수 있듯이, 사전-펌핑/사전-가압 작업(즉, 도 4에 도시된 P1 구간)의 온도가 비교적 높으며, 도시된 실시예에서 400 내지 450℃ 조건에서 공기 추출 지속시간은 대략 15분으로 모서리 밀봉에 사용되는 유리 솔더(1)가 적당히 용융되도록 한다(예를 들어 페이스트상). 사전-펌핑/사전-가압 작업을 제어하여, 진공유리의 캐비티 층(2)과 외부 사이에 대략 하나의 대기압 압력차를 형성하며, 이러한 압력차는 이미 적당히 용융된 유리 솔더(1)가 평평해지도록 압박할 수 있으며, 또한 유리 솔더(1)가 응고된 후의 높이를 진공유리에 사용되는 지지물(3)의 높이(h)와 일치시킴으로써 진공유리의 모서리 부분에 파괴성 인장 응력이 형성되는 것을 방지하여 제품 품질을 보장하고 사용 수명을 연장시킬 수 있다.
사전-펌핑/사전-가압 작업과 달리, 진공 펌핑 작업은 공기추출구 밀봉 작업 전에 완료되는 마지막 작업이다. 진공 펌핑 작업을 수행할 때, 환경 온도는 이미 사전-펌핑/사전-가압 시의 온도보다 훨씬 낮으며, 예를 들어 진공 펌핑 작업을 수행할 때의 온도는 대략 200 내지 250℃이고 공기추출 지속시간은 대략 10분이다(즉, 도 4에 도시된 P2 구간). 이밖에, 이때 가공되는 진공유리는 이미 모서리 밀봉 작업이 완료된 상태로서, 진공유리의 캐비티 층(2)의 고도진공 상태를 실현해야 하기 때문에, 밀봉링(48)을 사용하여 고도로 기밀한 환경을 실현할 필요가 있다. 그러나 어려운 점은 밀봉링(48)으로 어떻게 양호한 밀봉 성능을 유지시킬 것인가에 있다. 비록 신형 내열 밀봉고무가 끊임없이 출시되고는 있으나, 현재 상황의 경우, 450℃ 이상의 고온 조건에서 여전히 장시간 양호한 밀봉 성능을 유지할 수 있는 밀봉 고무재료는 아직까지 없다.
상기한 상황에 대하여, 도 7a, 도 7b 및 도 8에 도시된 본 발명의 실시예에 따르면, 도 2a에 도시된 공기추출 작업 유닛(49)은 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)로 구분된다. 구조적으로, 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)과 동일한 중심축선(Z)을 구비하고, 또한 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)은 외측에서 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 내측에서 원형관체를 형성하며, 또한 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492) 각각의 관벽 내에 공기추출 통로(221 및 222)가 형성되어 각각 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행한다. 이때, 기밀 효과를 제공하고 또한 가공되는 진공유리의 표면과의 탄성 접촉을 실현하기 위하여 설치되는 탄성 내열 밀봉링(48)이 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 상부에 배치될 수 있다. 따라서, 진공 펌핑 작업을 수행할 때에만 밀봉링(48)이 온도가 상대적으로 낮은 가공되는 진공 유리와 접촉됨으로써 밀봉링(48)의 사용수명이 연장된다.
도 2a에 도시된 진공 펌핑 장치와 비교하여, 도 7a, 도 7b 및 도 8에 도시된 진공 추출장치 중의 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 각각 온도 및 공기추출 지속시간이 다른 요구조건에서 각기 다른 작업을 수행한다. 이는 적당한 재료를 선택하여 각각의 작업 유닛(491 및 492)을 제작하기에 유리하며, 또한 탄성 내열 밀봉링(48)이 장시간 고온(예를 들어 450℃ 또는 그 이상) 환경에 노출되는 것을 방지함으로써 전체 진공유리 제작 시스템의 신뢰성을 보장할 수 있다.
이밖에, 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 작업 온도를 더욱 낮추어 탄성 내열 밀봉링(48)의 신뢰성과 사용 수명을 제고시키기 위해, 도 8에 도시된 바와 같이, 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 관벽 내에 냉각액(예를 들어 물)이 수납되는 캐비티(59) 및 냉각액 유입관(21)과 배출관(48)을 형성하여 냉각 시스템을 형성할 수 있다.
도 2a에 도시된 실시예 중의 공기추출 작업 유닛(49)에도 마찬가지로 냉각시스템(21, 58, 59)이 제공될 수 있다는 것을 인식해야 한다. 제공되는 방식은 도 8에 도시된 방식과 유사하며, 즉 공기추출 작업 유닛(49)의 상부에 순환 냉각액을 수납할 수 있는 캐비티를 제공한다. 그러나 이때 공기추출 작업 유닛(49)이 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행할 때 450℃의 환경 온도에 달한다는 점을 고려해야 한다. 탄성 내열 밀봉링(48)의 양호한 작업 성능을 보장하기 위하여, 한편으로는 고온에 더욱 잘 견딜 수 있는 재료를 이용하여 탄성 내열 밀봉링(48)을 제작하고, 다른 한편으로는 더욱 고효율의 냉각 시스템을 채택할 필요가 있다. 예를 들어 액체질소 또는 액체암모니아를 냉각시스템의 냉각액으로 사용한다.
도 7a를 다시 참조하여, 도 2a에 도시된 진공 추출장치와 비교해보면, 도 2a에 도시된 공기추출 작업 유닛(49)은 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)로 구분된다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 구동장치(100)는 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491), 진공 펌핑 작업 유닛(492) 및 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)이 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동하도록 구동하기 위한 승강 구동장치(101); 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 추출 통로(221)와 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)가 각각 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하기 위한 사전-가압/진공 펌핑 구동장치(102); 가열 유닛(54)이 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하기 위한 가열 구동장치(103); 및 냉각액이 냉각시스템(21, 58, 59) 중에서 순환 유동하도록 구동하기 위한 냉각 구동장치(104)를 포함할 수 있다.
작업에 있어서, 도 7a에 도시된 진공 추출 장치는 도 2a에 도시된 진공 추출장치와 기본적으로 동일하며, 다만 도 7a에 도시된 진공 펌핑 장치 중 각각 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)로 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행한다는 점이 다르다.
도 8은 도 7a에 도시된 진공 펌핑 장치의 기본 구조 원리를 반영한 진공 펌핑 장치의 단면도이다. 윗글에서 이미 설명한 부재 이외에, 도 8 중의 부호표기 46은 사전-가압 파형관을 나타내고, 부호표기 56은 공기추출구 밀봉 파형관을 나타낸다. 이러한 파형관(46 및 56)은 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491) 및 진공 펌핑 작업 유닛(492)과 가공되는 진공유리 표면 사이의 탄성 접촉을 구현 및/또는 개선하기 위한 것이다. 도 8에 도시된 진공 추출장치는 본 발명에 따른 진공 추출장치를 진공유리 제작시스템과 연결하기 위한 외벽(55)을 더 포함한다.
도 9는 도 8에 도시된 진공 펌핑 장치를 진공유리 제작시스템/조립라인에 장착한 설명도이다.
도 9를 참조하면, 이때 가공되는 진공유리가 도 3에 도시된 하나의 가공로(예를 들어, 사전-가압로(pre-pressure furnace), 진공로(vacuum furnace) 또는 캡 밀봉로(cap sealing furnace))에 위치한다는 것을 알 수 있다. 도 9 중의 부호표기가 나타내는 부재는 아래의 표 1을 참조할 수 있다. 특별히 설명해야 할 점으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 펌핑 장치의 상부에 방사 방해판(37)이 장착되어, 외부 온도가 지나치게 높을 때, 방사 방해판(37)이 닫히면서 진공 펌핑 장치가 고온 방사에 의해 파손되지 않도록 보호하며, 특히 밀봉링(48)의 급속한 노후화 또는 손상을 방지하여 그 사용수명을 연장시킬 수 있다.
본 발명에 따른 진공 펌핑 장치는 진공유리 연속 자동화 생산라인 중의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 일체화하여 완성할 수 있다. 이는 작업 단계가 연관되어 안정적일 뿐만 아니라, 동조 및 작업이 편리하여 안정성이 제고된다. 본 발명의 기술방안에 따르면, 보다 높은 정밀도를 갖는 진공유리 제품을 생산할 수 있는 동시에, 에너지 소모와 시간 소모를 줄일 수 있고, 또한 진정한 연속 생산을 실현할 수 있다.
비록 이미 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 이러한 실시예는 단지 예시적으로 설명하기 위한 것이다. 본 분야의 기술자라면 마땅히 본 발명의 정신을 벗어나지 않은 상황에서, 각종 수정과 변형을 실시할 수 있음을 인식해야 할 것이다. 따라서 본 발명의 범위는 관련 청구항에 의해 확정되는 것이 마땅하다.
도 9와 관련된 도면 부호 설명
4 하판 유리 37 방사 방해판
7 클램프 38 노체 외벽
17 유리 대차(glass cart) 휠 39 보온층
18 진공 펌핑 장치 X방향 구동모터 40 밀봉 흡기제
19 가열 유닛 외부 전선 41 공기추출구
20 사전-가압 진공 파이프 42 노체 내벽
21 냉각액 유입관 43 노체 히터
22 공기추출통로 44 내부 방사판
23 캡라이너 승강 실린더 53 캡라이너
24 밀봉링 승강 실린더 55 외벽
25 진공 펌핑 장치 슬라이딩블록 60 종방향 정위 어셈블리
26 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛 승강실린더 60-1 종방향 정위 어셈블리의 힌지
27 진공 펌핑 장치 가이드레일 60-2 종방향 정위 어셈블리의 상판
28 진공 펌핑 장치의 Y방향 구동모터 60-3 종방향 정위 어셈블리의 스프링
29 냉각액 펌프 60-4 종방향 정위 어셈블리의 안내기둥
30 분자펌프 60-5 종방향 정위 어셈블리의 하부 정위판
31 게이트밸브 61 가열대류팬
32 전진공(forevacuum) 밸브 63 횡방향 정위 센서 전동축
33 사전-펌핑/사전-가압 진공밸브 64 횡방향 정위 광학센서
34 진공 펌프 65 횡방향 정위 센서 구동 모터
35 대차 프레임 66 유니버셜 볼 지지대
36 전기 캐비닛 67 온도센서
68 받침대

Claims (10)

  1. 진공유리 제작을 위한 진공 펌핑 장치(vacuum pumping device)로서,
    원형관 형상의 공기추출 작업 유닛(49);
    원기둥 형상의 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57);
    제어부(200); 및
    구동장치(100);를 포함하며,
    상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)은 동일한 중심축선(Z)을 가지고, 상기 공기추출 작업 유닛(49)이 외측에 있고 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)이 내측에 있는 채로 원기둥체를 형성하며, 상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)은 상기 중심축선(Z)을 따라서 상대적으로 이동할 수 있고,
    상기 공기추출 작업 유닛(49)의 관벽 내에는 상기 관벽의 내측면과 연통하는 공기추출 통로(22)가 형성되고, 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57) 내부의 상부에 가열 유닛(54)이 설치되며,
    상기 제어부(200)는 상기 구동장치(100)를 통해 시간 순서대로 상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)이 상기 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동하도록 제어하며, 상기 공기추출 통로(22)가 사전-펌핑(pre-pumping)/사전-가압(pre-pressing) 작업 및 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하고, 또한 상기 가열 유닛(54)이 캡라이너(cap liner; 53)를 가열하여 공기추출구의 밀봉 작업을 수행하도록 제어하는, 진공 펌핑 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 공기추출 작업 유닛(49)의 상부에 탄성 내열 밀봉링(48)이 구비되고, 상기 공기추출 작업 유닛(49)의 관벽 내에 냉각시스템(21, 58, 59)이 형성된, 진공 펌핑 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 구동장치(100)는:
    상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 상기 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동시키기 위한 승강 구동장치(101);
    상기 공기추출 작업 유닛(49)의 공기추출 통로(22)가 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하기 위한 사전-가압/진공 펌핑 구동장치(102);
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하기 위한 가열 구동장치(103); 및
    냉각액이 상기 냉각 시스템(21, 58, 59)에서 순환 유동하도록 구동하기 위한 냉각 구동장치(104);를 포함하는, 진공 펌핑 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 공기추출 작업 유닛(49)에 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 진공 펌핑 작업 유닛(492)이 포함되며,
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491) 및 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)은 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)과 동일한 중심축선(Z)을 가지고, 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)이 외측에 있고 진공 펌핑 작업 유닛(492)이 내측에 있는 채로 원형관체가 형성되며,
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492) 각각의 관벽 내에 각각 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업과 진공 펌핑 작업을 수행하기 위한 공기추출 통로(221, 222)가 형성되는, 진공 펌핑 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 상부에 탄성 내열 밀봉링(48)이 구비되고, 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 관벽 내에 냉각시스템(21, 58, 59)이 형성되는, 진공 펌핑 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 구동장치(100)는:
    사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491), 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492), 및 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 상기 중심축선(Z)을 따라 상대적으로 이동시키기 위한 승강 구동장치(101);
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 공기추출 통로(221)와 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)가 각각 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행하도록 제어하기 위한 사전-가압/진공 펌핑 구동장치(102);
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하기 위한 가열 구동장치(103); 및
    냉각액이 상기 냉각 시스템(21, 58, 59)에서 순환 유동되도록 구동하기 위한 냉각 구동장치(104);를 포함하는, 진공 펌핑 장치.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중의 어느 한 항의 진공 펌핑 장치를 이용하여 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하는 방법으로서, 상기 방법은:
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때,
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출 작업 유닛(49)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 공기추출 작업 유닛(49)을 정위시키고 공기추출구(41)의 중심에 정렬되도록 함으로써, 상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적인 이동에 의해 형성되는 캐비티(R)를 상기 공기추출구(41)를 거쳐서 상기 가공되고 있는 진공유리 중의 캐비티 층(cavity layer ; 2)과 연통시키고, 또한 상기 공기추출 작업 유닛(49)의 공기추출 통로(22)를 상기 캐비티(R)와 연통시키는 단계; 및
    상기 공기추출 작업 유닛(49)의 공기추출 통로(22)를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행하는 단계;를 포함하고,
    상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때,
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 이동시켜 밀봉 용접제(51)를 구비한 캡라이너(53)를 상기 공기추출구(41) 상에 배치하는 단계; 및
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제(51)를 용융시킴으로써 상기 공기추출구(41)를 밀봉하는 단계;를 포함하는, 진공 펌핑 장치를 이용하여 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하는 방법.
  8. 제 4항 내지 제 6항 중의 어느 한 항의 진공 펌핑 장치를 이용하여 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하는 방법으로서, 상기 방법은:
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 정위시켜 공기추출구(41) 중심에 정렬되도록 함으로써 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구(41)를 거쳐 가공되고 있는 진공유리의 캐비티 층(2)과 연통시키고, 또한 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 공기추출 통로(221)를 상기 캐비티와 연통시키는 단계;
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 공기추출 통로(221)를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행하는 단계;
    상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때,
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 정위시키고 상기 공기추출구(41) 중심에 정확하게 정렬되도록 함으로써 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구(41)를 거쳐 가공되고 있는 진공유리 중의 캐비티 층(2)과 연통시키고, 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)를 상기 캐비티와 연통시키는 단계;
    상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)를 통해 상기 진공 펌핑 작업을 수행하는 단계; 또한
    상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때,
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 이동시켜 밀봉 용접제(51)를 구비한 캡라이너(53)를 상기 공기추출구(41) 상에 배치하는 단계;
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제(51)를 용융시킴으로써 상기 공기추출구(41)를 밀봉하는 단계;를 포함하는, 진공 펌핑 장치를 이용하여 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하는 방법.
  9. 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하기 위하여 제 1항 내지 제 3항 중의 어느 한 항의 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공유리 제작 시스템으로서,
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출 작업 유닛(49)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 공기추출 작업 유닛(49)을 정위시키고 공기추출구(41)의 중심에 정렬되도록 함으로써, 상기 공기추출 작업 유닛(49)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적인 이동에 의해 형성되는 캐비티(R)를 상기 공기추출구(41)를 거쳐서 상기 가공되고 있는 진공유리 중의 캐비티 층(cavity layer ; 2)과 연통시키고, 또한 상기 공기추출 작업 유닛(49)의 공기추출 통로(22)를 상기 캐비티(R)와 연통시키며;
    상기 공기추출 작업 유닛(49)의 공기추출 통로(22)를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 및 상기 진공 펌핑 작업을 수행하고,
    상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 이동시켜 밀봉 용접제(51)를 구비한 캡라이너(53)가 상기 공기추출구(41) 상에 배치되도록 하고;
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제(51)를 용융시킴으로써 상기 공기추출구(41)를 밀봉하는, 진공유리 제작 시스템.
  10. 진공유리 제작의 사전-펌핑/사전-가압 작업, 진공 펌핑 작업, 및 공기추출구 밀봉 작업을 수행하기 위하여 제 4항 내지 제 6항 중의 어느 한 항의 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공유리 제작 시스템으로서,
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 정위시켜 공기추출구(41) 중심에 정렬되도록 함으로써 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구(41)를 거쳐 가공되고 있는 진공유리의 캐비티 층(2)과 연통시키고, 또한 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 공기추출 통로(221)를 상기 캐비티와 연통시키며;
    상기 사전-펌핑/사전-가압 작업 유닛(491)의 공기추출 통로(221)를 통해 상기 사전-펌핑/사전-가압 작업을 수행하고,
    상기 진공 펌핑 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)을 이동시켜 가공되고 있는 진공유리의 하부 표면(4)에 정위시키고 상기 공기추출구(41) 중심에 정렬되도록 함으로써 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)과 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)의 상대적 이동에 의해 형성되는 캐비티를 상기 공기추출구(41)를 거쳐 가공되고 있는 진공유리 중의 캐비티 층(2)과 연통시키고, 상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)를 상기 캐비티와 연통시키며;
    상기 진공 펌핑 작업 유닛(492)의 공기추출 통로(222)를 통해 상기 진공 펌핑 작업을 수행하고, 또한
    상기 공기추출구 밀봉 작업을 수행할 때:
    상기 중심축선(Z)을 따라 상기 공기추출구 밀봉 작업 유닛(57)을 이동시켜 밀봉 용접제(51)를 구비한 캡라이너(53)가 상기 공기추출구(41) 상에 배치되도록 하고;
    상기 가열 유닛(54)이 상기 캡라이너(53)를 가열하도록 제어하여 상기 밀봉 용접제(51)를 용융시킴으로써 상기 공기추출구(41)를 밀봉하는, 진공유리 제작 시스템.
KR1020147026724A 2012-08-10 2013-07-19 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법 KR101650816B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210291474.7A CN103570229B (zh) 2012-08-10 2012-08-10 真空抽取装置、真空玻璃制作系统以及相关方法
CN201210291474.7 2012-08-10
PCT/CN2013/079719 WO2014023154A1 (zh) 2012-08-10 2013-07-19 真空抽取装置、真空玻璃制作系统以及相关方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140140046A KR20140140046A (ko) 2014-12-08
KR101650816B1 true KR101650816B1 (ko) 2016-08-24

Family

ID=50043033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147026724A KR101650816B1 (ko) 2012-08-10 2013-07-19 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9650280B2 (ko)
EP (1) EP2803642B1 (ko)
JP (1) JP5869154B2 (ko)
KR (1) KR101650816B1 (ko)
CN (1) CN103570229B (ko)
CA (1) CA2865772C (ko)
WO (1) WO2014023154A1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101474921B1 (ko) * 2013-02-26 2014-12-22 주식회사 좋은기술 진공창 제조 설비의 봉구 장치
WO2015139251A1 (zh) * 2014-03-19 2015-09-24 北京新立基真空玻璃技术有限公司 真空玻璃的真空抽取车及真空玻璃生产线
CN104556646B (zh) * 2014-12-18 2017-12-29 李月明 用于真空玻璃排气封口的装置及方法
EP3337944B1 (en) * 2015-08-20 2020-01-08 VKR Holding A/S Evacuation head with ceramic heater for vig unit manufacture
CN105859160B (zh) * 2016-05-18 2023-04-14 江苏延陵玻璃有限公司 集成吸气剂的真空玻璃封口结构及其封口方法
WO2018008958A1 (ko) * 2016-07-06 2018-01-11 박재일 진공 단열 판유리의 제조 방법 및 밀봉 캡 폐쇄 장치
PL3363983T3 (pl) 2017-02-17 2022-02-21 Vkr Holding A/S Izolowana próżniowo szyba zespolona
CN107458877A (zh) * 2017-08-29 2017-12-12 北京昌汇通科技有限公司 输送拖车、真空玻璃自动化生产线和生产方法
CN109761512A (zh) * 2019-01-30 2019-05-17 左宪恤 真空玻璃抽真空装置及使用方法
CN111662018A (zh) * 2019-03-07 2020-09-15 左宪恤 吸附定位式抽真空装置及使用方法
CN112441755B (zh) * 2020-11-25 2023-02-21 四川零能昊科技有限公司 真空玻璃内置吸气剂的激活方法及包覆结构及封装结构
CN112901031A (zh) * 2021-02-07 2021-06-04 东莞帕萨电子装备有限公司 真空玻璃生产线及加工工艺
KR102487391B1 (ko) * 2021-07-14 2023-01-11 (주)제이피오토메이션 진공 단열 유리의 제조 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506298A (ja) 1999-07-30 2003-02-18 ザ・ユニバーシティ・オブ・シドニー ガラスパネルを真空排気するための方法と装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2755521A (en) * 1952-12-27 1956-07-24 Ohio Commw Eng Co Glass seal construction and method
US5005557A (en) * 1985-11-29 1991-04-09 Baechli Emil Heat-insulating building and/or light element
JPH11247539A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Asahi Glass Co Ltd 真空複層ガラス製造装置
JPH11240739A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Asahi Glass Co Ltd 複層ガラスの製造方法およびその装置
JP3841172B2 (ja) * 1998-06-29 2006-11-01 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2000195426A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Canon Inc 封止方法及び密封容器と画像表示装置及び真空排気装置
EP1216971A1 (en) * 1999-08-27 2002-06-26 Qingdao Synergy Technology Appliance Co., Ltd. The method for manufacturing vacuum glazing and its application mechanical system
EP1160217B1 (en) * 1999-12-24 2004-09-29 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Production method of glass panel and glass panel
US6506272B1 (en) * 2000-04-04 2003-01-14 Guardian Industries Corp. Vacuum IG unit with seal for pump-out aperture
JP2002012455A (ja) * 2000-04-27 2002-01-15 Central Glass Co Ltd 低圧複層ガラス
JP2003232449A (ja) * 2002-02-06 2003-08-22 Nippon Valqua Ind Ltd 膨張式弾性シール装置および膨張式弾性シール装置を使用したプラズマディスプレイパネル製造用パネル排気ヘッド装置
JP4066694B2 (ja) * 2002-04-04 2008-03-26 セイコーエプソン株式会社 基板の保持方法及び保持装置、並びに、電気光学装置の製造方法及び製造装置
JPWO2003095388A1 (ja) * 2002-05-13 2005-09-15 日本板硝子株式会社 ガラスパネル用減圧容器
CN101050056A (zh) * 2006-04-05 2007-10-10 罗建超 一种制备真空玻璃面板的新方法和装置
CN101234847B (zh) 2007-01-30 2010-07-21 辽宁北方玻璃机械有限公司 连续式真空玻璃封边炉
CN101348326B (zh) 2007-07-17 2011-12-07 青岛亨达玻璃科技有限公司 真空玻璃的连续生产方法和设备
CN201071341Y (zh) 2007-07-17 2008-06-11 青岛亨达玻璃科技有限公司 连续式熔封和抽真空的玻璃加工设备
CN201473455U (zh) 2009-07-10 2010-05-19 北京新立基真空玻璃技术有限公司 放置在真空玻璃中的包封吸气剂
CN102079619B (zh) * 2009-11-27 2012-02-15 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 一种玻璃板复合封接方法
KR101157580B1 (ko) * 2010-02-04 2012-06-19 (주)엘티엘 진공유리 제조장치
CN102030464B (zh) 2010-03-26 2012-08-08 青岛亨达玻璃科技有限公司 真空玻璃连续生产设备
KR101198343B1 (ko) 2010-07-21 2012-11-08 정일종 진공창과 진공창 제조방법 및 진공창 제조 시스템
CN102092924A (zh) * 2010-10-20 2011-06-15 北京印刷学院 一种真空玻璃排气口无排气管气密封接方法和装置
CN102030454B (zh) 2010-11-16 2012-05-16 北京林丰源生态园林绿化工程有限公司 一种污泥阳光棚好氧处理装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506298A (ja) 1999-07-30 2003-02-18 ザ・ユニバーシティ・オブ・シドニー ガラスパネルを真空排気するための方法と装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5869154B2 (ja) 2016-02-24
EP2803642A4 (en) 2015-10-28
EP2803642B1 (en) 2017-04-26
CA2865772C (en) 2017-04-25
CN103570229A (zh) 2014-02-12
US20150047394A1 (en) 2015-02-19
KR20140140046A (ko) 2014-12-08
US9650280B2 (en) 2017-05-16
JP2015514659A (ja) 2015-05-21
EP2803642A1 (en) 2014-11-19
WO2014023154A1 (zh) 2014-02-13
CN103570229B (zh) 2015-11-25
CA2865772A1 (en) 2014-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101650816B1 (ko) 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법
KR101157580B1 (ko) 진공유리 제조장치
JP2008055510A (ja) 圧力と熱により板状の被加工物を積層するためのプレス機および方法
KR101881476B1 (ko) 진공유리 제조장치
CN112059352A (zh) 一种用于焊接元件的多模块封装真空炉及其使用方法
CN108122808A (zh) 真空装置、基片对准设备及形成预键合片的方法
CN107826306B (zh) 一种3d曲面玻璃贴膜机构
KR100819496B1 (ko) 평판 표시소자의 배기, 봉착장치 및 방법
KR101412512B1 (ko) 진공유리패널 제조장치 및 제조방법
CN116604123A (zh) 真空回流炉及使用该回流炉的产品处理方法
JP4773938B2 (ja) 太陽電池モジュールのラミネート装置。
KR101517180B1 (ko) 진공창 제조방법 및 이에 적용되는 배기 헤드 및 진공창 제조 시스템
CN205152071U (zh) 生产真空玻璃用抽真空装置
KR102162177B1 (ko) 커넥터 제조 장치 및 커넥터 제조 방법
CN113202384B (zh) 一种全钢化真空玻璃生产用排气装置及其实施方法
CN220788382U (zh) 玻璃搬运装置和玻璃热弯设备
KR102240945B1 (ko) 커넥터 제조 방법
KR102240944B1 (ko) 커넥터 제조 장치
CN215327767U (zh) 一种真空玻璃封口装置
CN219950827U (zh) 玻璃预热装置和玻璃热弯设备
CN114405562B (zh) 微流控芯片键合装置及其控制方法
CN220116425U (zh) 玻璃成型装置和玻璃热弯设备
TWM514529U (zh) 真空絕緣玻璃封著抽氣裝置
KR101483290B1 (ko) 진공창 제조 설비의 예압 장치
CN116217096A (zh) 真空玻璃封口方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190820

Year of fee payment: 4