KR101638102B1 - 2종 세라믹재 접합 방법 - Google Patents

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Abstract

2종 세라믹재 접합 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 제1 세라믹재와 제2 세라믹재, 및 유리 접착제를 준비하는 세라믹재 및 접착제 준비 단계, 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하기 위한 기포 및 기공 제거 단계, 상기 기포 및 기공 제거 단계를 행한 후, 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 상기 유리 접착제(paste)를 도포하는 접착제 도포 단계, 상기 접착제 도포 단계에서 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 도포된 유리 접착제에 상기 제2 세라믹재 또는 상기 제1 세라믹재를 부착하는 세라믹재 부착 단계, 및 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 열처리 온도에서 설정 열처리 시간 동안 열처리하여 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 접합하는 세라믹재 접합 단계를 포함한다.

Description

2종 세라믹재 접합 방법{METHOD FOR JOINING TWO TYPE OF CERAMIC MATERIAL}
본 발명은 2종 세라믹재 접합 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 2종의 세라믹재 접합시 사용되는 유리 접착제(페이스트)로 접합시 접합면에서 발생되는 기포 또는 기공을 최소화시킬 수 있는 공정으로 접합부의 접합 강도 및 기밀(sealing)을 개선하여 Na계 전지의 수명을 최대한 안정적으로 연장할 수 있는 2종 세라믹재 접합 방법에 관한 것이다.
세라믹재로서 예컨대, 절연체와 전해질관을 접합함에 있어서 공정을 단순화하여 보다 용이하게 접합이 이루질 수 있고, 절연체와 전해질관 사이의 접합 균일도를 높여 전지의 신뢰성을 높일 수 있도록 유리분말과 바인더 및 용매를 혼합한 슬러리 테이프를 전해질관의 외주면에 부착하여 절연체와 전해질관을 접합하는 열처리 단계를 포함하는 나트륨 유황 전지 제조 방법이 개시되어 있다.
도 1을 참고하면, 종래의 세라믹재 접합 방법으로서 세라믹재인 전해질관(10)에 슬러리 테이프(30)를 부착하는 단계는 유리분말과 바인더 및 용매를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계, 슬러리를 균일한 두께의 슬러리 테이프(30)로 제조하는 단계, 슬러리 테이프(30)를 전해질관(10)의 외주면에 감는 단계를 포함한다.
종래의 2종의 세라믹재 접합 방법은 두께와 조성이 균일한 슬러리 테이프(30)를 이용하여 세라믹재인 전해질관(10)과 세라믹재인 절연체(20)를 접합함으로써, 접합부의 부착강도가 균일하고 신뢰성이 높은 전지를 제조할 수 있게 된다.
그러나, 종래의 2종의 세라믹재 접합 방법은 두께와 조성이 균일한 슬러리 테이프(30)를 이용하여 전해질관(10)과 절연체(20)를 접합함으로써, 접합부의 부착강도가 균일하고 신뢰성이 높은 전지를 제조할 수 있으나 세라믹면과 접합하는 부분에 공극으로 인한 기포 또는 기공을 발생시키며, 이와 같이 발생된 기포 또는 기공이 접합강도를 저하시키는 원인으로 작용할 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 2종의 세라믹재 접합시 사용되는 유리 접착제(페이스트)로 접합시 접합면에서 발생되는 기포 또는 기공을 최소화시킬 수 있는 공정으로 접합부의 접합 강도 및 기밀(sealing)을 개선하여 Na계 전지의 수명을 최대한 안정적으로 연장할 수 있는 2종 세라믹재 접합 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 세라믹재와 제2 세라믹재, 및 유리 접착제를 준비하는 세라믹재 및 접착제 준비 단계,
상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하기 위한 기포 및 기공 제거 단계,
상기 기포 및 기공 제거 단계를 행한 후, 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 상기 유리 접착제(paste)를 도포하는 접착제 도포 단계,
상기 접착제 도포 단계에서 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 도포된 유리 접착제에 상기 제2 세라믹재 또는 상기 제1 세라믹재를 부착하는 세라믹재 부착 단계, 및
상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 열처리 온도에서 설정 열처리 시간 동안 열처리하여 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 접합하는 세라믹재 접합 단계를 포함하는 2종 세라믹재 접합 방법이 제공될 수 있다.
상기 세라믹재 부착 단계와 상기 세라믹재 접합 단계 사이에는 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 건조 온도에서 설정 건조 시간 동안 건조를 행하는 건조 단계를 포함할 수 있다.
상기 유리 접착제는 SiO2, Al2O3, Na2O 성분을 포함할 수 있다.
상기 유리 접착제는 유리 입자 크기가 2~5㎛ 분포 범위를 가진 유리 접착제(페이스트)를 사용할 수 있다.
상기 유리 접착제는 액상으로 이루어지며, 상기 기포 및 기공 제거 단계는 초음파 발생 장치로 액상의 유리 접착제에 진동을 발생시켜 액상의 유리 접착제 내에 함유된 기포 및 기공을 제거할 수 있다.
상기 세라믹재 접합 단계에서 열처리 온도는 800℃~1200℃ 범위 내의 온도이며, 설정 열처리 시간은 1시간 내지 6시간 범위 내의 시간일 수 있다.
상기 건조 단계에서 건조 온도는 100℃~150℃ 범위 내의 온도이며, 건조 설정시간은 30분 내지 24시간 범위 내의 시간일 수 있다.
본 실시예에 따르면, 진공도 유지기술을 동종 또는 이종 세라믹재 접합시 적용함으로써, 접합면 파손의 원인인 기포 또는 기공을 최대한 감소시켜 기포 또는 기공으로 인한 접합부 파손 및 가스 누출(leakage) 발생을 최소화 할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 절연체와 전해질관의 접합 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 2종 세라믹재 접합 방법의 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.
이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는” 의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 2종 세라믹재 접합 방법의 구성도이다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 2종 세라믹재 접합 방법은, 제1 세라믹재와 제2 세라믹재, 및 유리 접착제를 준비하는 세라믹재 및 접착제 준비 단계(S10),
상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하기 위한 기포 및 기공 제거 단계(S20),
상기 기포 및 기공 제거 단계(S20)를 행한 후, 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 상기 유리 접착제(paste)를 도포하는 접착제 도포 단계(S30),
상기 접착제 도포 단계(S30)에서 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 도포된 유리 접착제에 상기 제2 세라믹재 또는 상기 제1 세라믹재를 부착하는 세라믹재 부착 단계(S40), 및
상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 열처리 온도에서 설정 열처리 시간 동안 열처리하여 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 접합하는 세라믹재 접합 단계(S60)를 포함할 수 있다.
상기 세라믹재 부착 단계(S40)와 상기 세라믹재 접합 단계(S60) 사이에는 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 건조 온도에서 설정 건조 시간 동안 건조를 행하는 건조 단계(S50)를 포함할 수 있다.
상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재는 동종(同種) 또는 이종(異種)의 세라믹재일 수 있다.
상기 유리 접착제는 SiO2, Al2O3, Na2O 성분 등을 포함할 수 있다.
상기 유리 접착제는 유리 입자 크기가 2~5㎛ 분포 범위를 가진 유리 접착제(페이스트)를 사용할 수 있으며, 상기 유리 접착제 이외에도 상기 제1, 제2 세라믹재의 접합이 가능한 접착제이면 어떠한 접착제라도 사용이 가능함은 물론이다.
상기 유리 접착제는 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 용이하게 도포될 수 있도록 액상으로 이루어질 수 있다.
상기 유리 접착제 도포 방식은 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의표면에 주사기를 사용하여 도포할 수 있다.
상기 기포 및 기공 제거 단계(S20)는 초음파 발생 장치를 이용하여 액상의 유리 접착제에 진동을 발생시켜 액상의 유리 접착제 내에 함유된 기포 및 기공을 제거할 수 있다.
또한, 상기 유리 접착제에 의한 상기 제1, 제2 세라믹재의 용이한 접합을 위하여 상기 세라믹재 접합 단계(S60)에서 열처리 온도는 800℃~1200℃ 범위 내의 온도이며, 설정 열처리 시간은 1시간 내지 6시간 범위 내의 시간일 수 있다.
상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재의 용이한 접합 상태를 확보할 수 있도록 상기 건조 단계(S50)에서 건조 온도는 100℃~150℃ 범위 내의 온도이며, 건조 설정시간은 30분 내지 24시간 범위 내의 시간일 수 있고, 상기 건조 단계(S50)에서 건조 작업은 건조기 등에 의하여 이루어질 수 있다.
이하에서, 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 2종 세라믹재 접합 방법의 과정(작용)에 대해서 설명한다.
하기에서는 상기 제1 세라믹재로서 절연체인 알파 알루미나를 준비하고, 상기 제2 세라믹재로서 고체 전해질 베타 알루미나를 준비하고, 상기 절연체인 알파 알루미나의 표면에 액상의 유리 접착제를 도포하는 경우를, 예로 들어 설명한다.
먼저, 상기 제1 세라믹재로서 절연체인 알파 알루미나, 및 제2 세라믹재로서 고체 전해질 베타 알루미나, 및 액상의 유리 접착제를 준비한다(S10).
그리고, 상기 절연체인 알파 알루미나 또는 고체 전해질 베타 알루미나의 표면에 액상의 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 액상의 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거한다(S20). 즉, 상기 기포 및 기공 제거 단계(S20)에서 초음파 발생 장치로 액상의 유리 접착제에 진동을 발생시켜 액상의 유리 접착제 내에 함유된 기포 및 기공을 제거한다.
상기 기포 및 기공 제거 단계(S20)를 행한 후, 상기 상기 절연체인 알파 알루미나의 표면에 상기 유리 접착제(paste)를 도포하고(S30),
상기 접착제 도포 단계(S30)에서 상기 절연체인 알파 알루미나의 표면에 도포된 유리 접착제에 상기 고체 전해질 베타 알루미나를 부착한다(S40).
그 후, 상기 절연체인 알파 알루미나와 고체 전해질 베타 알루미나를 상기 유리 접착제로 부착한 후 예컨대, 120℃의 건조 온도에서 30분 동안 건조를 행하고(S50), 예컨대, 900℃의 열처리 온도에서 1시간 동안 열처리하여 상기 절연체인 알파 알루미나 또는 고체 전해질 베타 알루미나를 접합한다(S60).
상기와 같이, 상기 절연체인 알파 알루미나 또는 고체 전해질 베타 알루미나의 표면에 액상의 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 기공 및 기포 제거 단계(S20)에서 초음파 발생 장치를 이용하여 상기 액상의 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하고 있으므로, 2종의 세라믹재 접합시 사용되는 유리 접착제(페이스트)로 접합시 접합면에서 발생되는 기포 또는 기공을 최소화시킬 수 있는 공정으로 접합부의 접합 강도 및 기밀(sealing)을 개선하여 Na계 전지의 수명을 최대한 안정적으로 연장할 수 있다.
S10: 세라믹재 및 접착제 준비 단계
S20: 기포 및 기공 제거 단계
S30: 접착제 도포 단계 S40: 세라믹재 부착 단계
S50: 건조 단계 S60: 세라믹재 접합 단계

Claims (7)

  1. 제1 세라믹재와 제2 세라믹재, 및 유리 접착제를 준비하는 세라믹재 및 접착제 준비 단계,
    상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 유리 접착제를 도포하기 이전에 상기 유리 접착제(paste) 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하기 위한 기포 및 기공 제거 단계,
    상기 기포 및 기공 제거 단계를 행한 후, 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 상기 유리 접착제(paste)를 도포하는 접착제 도포 단계,
    상기 접착제 도포 단계에서 상기 제1 세라믹재 또는 상기 제2 세라믹재의 표면에 도포된 유리 접착제에 상기 제2 세라믹재 또는 상기 제1 세라믹재를 부착하는 세라믹재 부착 단계, 및
    상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 열처리 온도에서 설정 열처리 시간 동안 열처리하여 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 접합하는 세라믹재 접합 단계
    를 포함하고,
    상기 유리 접착제는 SiO2, Al2O3, Na2O 성분을 포함하고,
    상기 유리 접착제는 유리 입자 크기가 2~5㎛ 분포 범위를 가진 유리 접착제(페이스트)를 사용하고,
    상기 유리 접착제는 액상으로 이루어지며, 상기 기포 및 기공 제거 단계는 초음파 발생 장치로 액상의 유리 접착제에 진동을 발생시켜 액상의 유리 접착제 내에 함유된 기포 및 기공을 제거하는 2종 세라믹재 접합 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세라믹재 부착 단계와 상기 세라믹재 접합 단계 사이에는 상기 제1 세라믹재와 상기 제2 세라믹재를 상기 유리 접착제로 부착한 후 건조 온도에서 설정 건조 시간 동안 건조를 행하는 건조 단계를 포함하는 2종 세라믹재 접합 방법.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 세라믹재 접합 단계에서 열처리 온도는 800℃~1200℃ 범위 내의 온도이며, 설정 열처리 시간은 1시간 내지 6시간 범위 내의 시간인 2종 세라믹재 접합 방법.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 건조 단계에서 건조 온도는 100℃~150℃ 범위 내의 온도이며, 건조 설정시간은 30분 내지 24시간 범위 내의 시간인 2종 세라믹재 접합 방법.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3066880B2 (ja) * 1991-06-26 2000-07-17 株式会社ジェイエスピー 軽量化粧板及びその製造方法
JP2651964B2 (ja) * 1991-07-25 1997-09-10 株式会社カワタ 吸着性ハニカム状セラミック積層体およびその製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005306730A (ja) * 2004-04-16 2005-11-04 Bushu Tei セラミック裏当材及びそれを用いた溶接用支持具

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