KR101616108B1 - 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 본 명세서에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치는 제1 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및 상기 제1 처리 챔버에 결합된 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함하고, 상기 지원 어댑터는 상기 제1 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성된다.

Description

처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN IDLE MODE OF PROCESSING EQUIPMENT}
본 출원은 2008년 10월 8일자로 출원된 미국 가출원 번호 제61/103,912호에 대한 우선권을 주장하고, 상기 출원은 본 명세서에 참조에 의해 통합된다.
본 발명의 실시예들은 일반적으로 처리 장비에 관한 것이고, 보다 상세하게는 이러한 처리 장비를 모니터링하기 위한 장치에 관한 것이다.
예를 들어, 반도체, 평판(flat panel), 광기전력 및 다른 실리콘 또는 박막 처리 시스템들에서 처리 장비가 유휴(idle) 상태에 있을 때 저 전력 모드에서 처리 장비를 동작시키는 것이 요구될 수 있다. 예를 들어, 모든 처리 챔버들이 유휴상태에 있을 때 저 전력 모드에서 하나 이상의 처리 챔버들에 결합되어(coupled) 있는 경감(abatement) 시스템 또는 다른 장비를 동작시키는 것이 요구될 수 있다. 몇몇 시스템들에서, 예를 들어, 웨이퍼 카세트가 존재하지 않을 때, 경감 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하기 위해 웨이퍼 카세트의 존재 또는 부재가 모니터링된다. 그러나, 장비가 웨이퍼리스(waferless) 처리(예를 들어, 챔버 세정 또는 컨디셔닝)를 동작시키는 중일 수 있기 때문에 이러한 표시자(indicator)는 유휴 장비의 신뢰성 있는 측정이 아니다. 게다가, 몇몇 모니터링 장치는 예를 들어, 모니터링 장치를 표시자 신호로부터 단절(disconnect)시킴으로써, 우연히 또는 의도적으로 바이패싱(bypass)되거나 또는 풀링(fool)될 수 있다.
따라서, 본 발명자는 장비가 유휴 상태이고 저 전력 모드에서 동작을 할 준비가 되어있다는 신뢰성 있는 표시를 제공할 수 있는 처리 장비를 모니터링하기 위한 장치를 제공하고 있다.
본 명세서에서는 반도체 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 시스템(processing system)을 모니터링하기 위한 장치는 제1 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제 1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및 상기 제1 처리 챔버에 결합된(coupled) 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함할 수 있고, 상기 제1 지원 어댑터는 상기 제1 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성된다. 몇몇 실시예들에서, 상기 장치는 제2 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제2 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터를 더 포함하고, 상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 상기 장치는 제2 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제2 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터; 및 상기 제2 처리 챔버에 결합된 제2 지원 시스템 및 상기 제2 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제2 지원 어댑터를 더 포함하고, 상기 제2 지원 어댑터는 상기 제2 처리 챔버의 상기 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제2 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 기판 처리 시스템 내에서 에너지를 보존(conserve)하는 방법은 제1 처리 챔버에 결합된 제1 시스템 어댑터를 제공하는 단계; 제1 지원 시스템에 결합된 제1 지원 어댑터를 제공하는 단계; 상기 제1 시스템 어댑터와 상기 제1 지원 어댑터 사이의 보안 통신 링크를 전개(develop)시키는 단계; 상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위해 상기 제1 시스템 어댑터를 이용하여 상기 제1 처리 챔버를 모니터링하는 단계; 및 상기 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태를 통신하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 방법들 및 장치의 다른 실시예들이 하기 상세한 설명에서 제공된다.
본 발명의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 상기 간략히 요약된 본 발명의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있고, 상기 실시예들 중 일부는 첨부된 도면들에 도시된다. 그러나, 본 발명은 다른 동등한 효과가 있는 실시예들을 수용할 수 있기 때문에, 첨부된 도면들은 본 발명의 오직 전형적인 실시예들을 도시하는 것이고 따라서 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 고려되지 않아야 함을 주의해야 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 사용을 위한 반도체 처리 시스템을 도시한다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치를 도시한다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도면들은 명확화를 위해 단순화되었고 스케일링(scale)하도록 도시되지는 않았다. 이해를 용이하게 하도록, 가능한 곳에는, 도면들에 공통적인 동일한 엘리먼트들을 지정하기 위해 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 하나의 실시예의 일부 엘리먼트들은 별도의 언급 없이 다른 실시예들로 유리하게 편입될 수 있음이 예상된다.
본 명세서에서는 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 제공된다. 본 발명의 장치는 바람직하게는 저 전력 모드에서 지원 장비(예를 들어, 경감 시스템)를 동작시키기에 앞서 처리 챔버가 유휴상태에 있다는 것을 확인하기 위해 다수의 표시자들을 모니터링한다. 게다가, 경감 또는 다른 지원 시스템들이 저 전력 모드에서 부적절하게 동작하지 않는 것을 보장하기 위해 본 발명의 장치는 페일세이프(failsafe)하다. 장치는 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 시스템 어댑터를 제공하고, 저 전력 모드에서 지원 시스템이 동작할 수 있을 때 처리 챔버에 결합된 지원 시스템(예를 들어, 경감 시스템)에 명령하고 시스템 어댑터와 통신하기 위한 지원 어댑터를 제공함으로써, 기존의 처리 시스템들 상에서 리트로핏터블(retrofittable)할 수 있다. 본 발명의 장치는 그러므로 유휴 처리 시스템들에서의 에너지 소비를 감소시키는 것을 용이하게 한다.
도 1은 예시적인 처리 시스템(100) 및 이의 모니터링을 위한 장치(101)를 도시한다. 본 발명과 함께 사용될 수 있는 예시적인 처리 시스템들은 반도체, 평판, 광기전력, 태양광(solar), 다른 실리콘 및 박막 처리 등을 위하여 구성되는 시스템들을 포함한다. 처리 시스템(100)은 지원 시스템(예를 들어, 경감 시스템(108))에 결합되는 반도체 처리 챔버(104)와 같은 처리 챔버를 포함한다. 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)는 지원 어댑터(예를 들어, 경감 어댑터(106)) 및 시스템 어댑터(102)를 포함한다. 시스템 어댑터(102)는 챔버의 상태를 모니터링하기 위해 반도체 처리 챔버(104)에 결합된다. 예를 들어, 시스템 어댑터(102)는 챔버(104)가 유휴상태에 있는지 여부를 결정하기 위해 하나 이상의 표시자들을 모니터링 할 수 있다. 경감 어댑터(106)는 챔버(104)가 유휴라는 확인시에 경감 시스템(108)이 저 전력 모드에서 동작할 수 있다는 신호를 경감 시스템(108)으로 선택적으로 제공하기 위해 경감 시스템(108)에 결합된다. 밑에서 논의되는 것처럼, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)는 적절한 동작을 보장하기 위해 (105에 의해 표시된 바와 같이) 시그널링 방법에 의해 통신한다. 몇몇 실시예들에서, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)는 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있을 때만 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 보장하기 위해 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 페일세이프 양방향 통신 프로토콜을 사용하여 통신할 수 있다. 본 명세서에서 사용될 때, 페일세이프는, 저 전력 모드에서 부적절하게 동작중인 경감 시스템(108)으로 인하여 비-경감된 배출물(effluent)의 자연환경으로의 유입을 야기할 수 있는 경감 시스템(108)의 임의의 우연한(또는 의도적인) 바이패싱을 회피하기 위해, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106)의 시그널링 컴포넌트들을 포함하는 임의의 컴포넌트의 실패(failure)가 통상의 전력 모드에서 경감 시스템(108)이 동작되도록 할 것이라는 사실을 지칭한다.
처리 챔버(104)는 기판(예를 들어, 반도체 기판)을 처리하기 위한 임의의 적절한 챔버일 수 있다. 예를 들어, 처리 챔버(104)는 기상(gas phase) 또는 액상(liquid phase) 처리들을 수행하기 위하여 구성될 수 있다. 이러한 기상 처리들의 비 제한적(non-limiting) 예들은 건식 화학 식각, 플라즈마 식각, 플라즈마 산화, 플라즈마 질화, 급속 열 산화, 에피택셜 증착 등을 포함할 수 있다. 이러한 액상 처리들의 비 제한적 예들은 습식 화학 식각, 물리적 액체 증착 등을 포함할 수 있다. 예시적 처리 챔버(104)는, 예를 들어, 기판 지지대, 하나 이상의 처리 가스들을 제공하기 위한 가스 패널, 및 처리 챔버 내의 처리 가스들을 분배하기 위한 수단들(예를 들어, 샤워 헤드 또는 노즐)을 포함할 수 있다. 챔버는 용량적으로 결합되거나, 유도적으로 결합되거나, 또는 원격의 플라즈마를 제공하기 위하여 구성될 수 있다. 챔버는 예를 들어, 급속 열 처리들(RTP) 또는 에피택셜 증착 처리들을 위하여 구성될 때, 하나 이상의 가열 램프들을 포함할 수 있다.
처리 챔버(104) 내에서 처리되는 기판은 반도체 처리 챔버 내에서 처리되는 임의의 적절한 기판일 수 있다. 기판은 결정 실리콘(예를 들어, Si<100> 또는 Si<111>), 실리콘 산화물, 스트레인드(strained) 실리콘, 실리콘 게르마늄, 도핑된 또는 비도핑된 폴리실리콘, 도핑된 또는 비도핑된 실리콘 웨이퍼들, 패터닝된 또는 비패터닝된 웨이퍼들, SOI(silicon on insulator), 탄소 도핑된 실리콘 산화물들, 실리콘 질화물, 도핑된 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소, 유리, 사파이어 등과 같은 물질을 포함할 수 있다. 기판은 또한 웨이퍼, (LCD (liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이, EL(electro luminescence) 램프 디스플레이 등과 같은) 디스플레이 기판, 태양 전지 어레이 기판, LED (light emitting diode) 기판 등일 수 있다. 기판은 직사각 또는 정사각 패널들뿐만 아니라 200 mm 또는 300 mm 직경의 웨이퍼들과 같은 다양한 치수(dimension)들을 가질 수 있다.
처리 챔버(104)는 예를 들어, 기판 상에 물질의 층을 증착하기 위해, 기판에 도펀트를 도입하기 위해, 기판 또는 기판 상에 증착되는 물질을 식각하기 위해, 그 밖에 기판에 처리 등을 하도록 구성될 수 있다. 기판 상에 증착되는 이러한 층들은 반도체 디바이스(예를 들어, MOSFET(metal oxide semiconductor field effect transistor) 또는 플래시 메모리 디바이스) 내에서의 사용을 위한 층들을 포함할 수 있다. 이러한 층들은 실리콘 함유층들(예를 들어, 폴리실리콘, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 옥시니트라이드, 금속 실리사이드) 또는 대안적으로 금속 함유층들(예를 들어, 구리, 니켈, 금 또는 주석 함유층들) 또는 금속 산화물 층들(예를 들어, 하프늄 산화물)을 포함할 수 있다. 다른 증착된 층들은 예를 들어, 식각 정지층(stop layer)들, 포토레지스트층들, 하드마스크층들 등과 같은 희생층(sacrificial layer)들을 포함할 수 있다.
처리 챔버(104)는 예를 들어, 기판의 최상부에(atop) 층을 형성하기 위해, 기판에서 물질을 제거하기 위해, 또는 그 밖에 기판의 상부에(upon) 노출되는 물질 층들과 반응시키기 위해 등의 목적을 위해 임의의 적절한 처리 가스 및/또는 처리 가스 혼합물을 사용할 수 있다. 이러한 처리 가스들은 실란(SiH4), 디클로로실란(Cl2SiH2) 등과 같은 실리콘-함유 가스들; 및/또는 유기금속들, 금속 할라이드들 등과 같은 금속-함유 가스들을 포함할 수 있다. 다른 처리 가스들은 헬륨(He), 아르곤(Ar), 질소(N2) 등과 같은 불활성 가스들; 및/또는 할로겐-함유 가스들, 산소(O2), 불화 수소(HF), 염화 수소(HCl), 브롬화 수소(HBr) 등과 같은 반응성 가스들을 포함할 수 있다.
따라서, 임의의 처리 가스 또는 액체, 처리 가스 또는 액체 혼합물, 기판, 증착된 물질들, 제거된 물질들 또는 이들의 조합물들은 처리 챔버로부터 배출되는 배출물들을 포함하거나 그리고/또는 그러한 배출물들을 형성하도록 결합할 수 있다. 배출물들은 기판을 처리하기 위하여 또는 챔버 및/또는 챔버 컴포넌트들(예를 들어, 재사용가능한 처리 키트들 또는 처리 키트 쉴드들)을 세정하기 위하여 사용되는 처리 가스 또는 화학 작용제의 미반응된 또는 잉여 부분들을 포함할 수 있다. 이들 처리들에서 생성되는 배출물들은 가연성 및/또는 부식성 화합물들, 서브-마이크론 크기의 처리 잔여 미립자들 및 기상 핵생성된 물질들, 및 다른 위험한 또는 환경적으로 오염적인 화합물들의 상이한 조성물들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 배출물은 할로겐 함유 가스들, PFC(perfluorocompound)들, CFC(chlorflurocompound)들, HAP(hazardous air product)들, VOC(volatile organic compound)들, GWG(global warming gas)들, 가연성 및 독성 가스들 등의 상이한 조성물들을 포함할 수 있다.
(예를 들어, 가스 또는 액체 배출 시스템을 통해 배출된) 처리 챔버(104)로부터의 배출물들은 경감 시스템(108)으로 보내진다. 경감 시스템(108)은 배출물을 환경적으로 안전한 물질로 변환하기 위해 작동한다. 예를 들어, 기상 처리를 위하여 구성되는 처리 챔버 내에서, 가스 상태의 배출물은 처리 챔버의 펌프 포트를 통해 배출될 수 있고 그리고 처리 챔버로부터 경감 시스템(108) 내부로 흘러갈 수 있다.
경감 시스템(108)은 반도체 처리 챔버(예를 들어, 처리 챔버(104))로부터의 배출물을 받아들이고 처리하기 위한 임의의 적절한 경감 시스템일 수 있다. 경감 시스템(108)은 단일 처리 챔버 또는 툴, 또는 다수의 처리 챔버들 및/또는 툴들을 경감시키기 위해 사용될 수 있다. 경감 시스템(108)은 예를 들어, 독성 형태들을 줄이기 위해 배출물을 변환하기 위한 처리들뿐만 아니라 배출물의 처리를 위해 열, 습식 스크러빙, 건식 스크러빙, 촉매, 플라즈마 및/또는 유사한 수단들을 사용할 수 있다. 경감 시스템(108)은 처리 챔버(104)로부터의 배출물들의 특정한 형태(type)들을 처리하기 위한 다수의 경감 시스템들을 더 포함할 수 있다.
예시적인 경감 시스템은 예를 들어, 스크러버, 열 반응기(즉, 연소 반응기), 수소화 반응기 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 식각 처리들을 위하여 구성되는 챔버로부터 배출되는 배출물은 염소(Cl2)와 같은 할로겐들, 및 에틸렌(C2H4) 또는 프로필렌(C3H6)과 같은 불포화된 탄화수소들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 배출물은 불포화된 탄화수소들을 포화된 탄화수소들로 또는 할로겐들을 할로겐-함유한 가스들로 변환하기 위해 사용될 수 있는 수소화 반응기 내부로 처음에 주입될 수 있다. 예를 들어, 염소(Cl2)는 염산(HCl)으로 변환될 수 있고, 그리고 에틸렌(C2H4)은 에탄(C2H6)으로 변환될 수 있다.
수소화 반응기 내에서 처리되는 배출물은 다음에 액체 스크러버(즉, 워터 스크러버) 등과 같은 스크러버 내부로 흘러갈 수 있다. 예를 들어, 워터 스크러빙에서 배출물을 워터 스프레이 등을 통해 버블링하는 것과 같은 방법들을 사용하여 배출물은 물과 접촉하게 된다. 물에 용해 가능한 몇몇 배출물들은 스크러버에 의해 제거될 수 있다. 예를 들어, HCl과 같은 배출물은 물에 용해될 수 있고 배출물 스트림에서 제거될 수 있다.
스크러버에 의해 제거되지 않은 배출물(예를 들어, 포화된 탄화수소)은 열 반응기(즉, 연소 반응기) 내부로 흘러갈 수 있다. 대안적으로, 배출물들이 수소화 또는 스크러빙을 요구하지 않는 실시예들에서, 배출물들은 처리 챔버로부터 열 반응기로 직접 흘러갈 수 있다. 예를 들어, 예시적인 열 반응기는 자연환경으로 방출될 수 있는 이산화탄소(CO2) 및 물(H2O)을 형성하기 위해 산소(O2)와 같은 산소-함유 가스의 대기 내에서 포화된 탄화수소들과 같은 배출물들을 연소시킬 수 있다.
상기 제시된 경감 시스템은 단지 예시적인 것이고, 다른 경감 또는 지원 시스템들은 본 명세서에서 제시되는 본 발명의 방법들 및 장치로부터 이익을 얻을 수 있다. 예를 들어, 촉매 경감 시스템은 예컨대 스크러버와 함께 사용될 수 있다. 스크러버는 촉매 반응기에 손상을 줄 수 있거나, 또는 촉매 반응기의 효과성을 감소시킬 수 있는 배출물의 가스 상태의 또는 미립자 형태의 컴포넌트들을 제거하기 위해 촉매 반응기 내부로 유출물이 흘러들어가기 전에 또는 후에 사용될 수 있다. 촉매 반응기는 배출물을 환경적으로 안전한 물질 또는 예컨대 스크러버 또는 연소 반응기에 의해 제거될 수 있는 물질로 변환시키는 반응을 촉진시키는 촉매 표면을 포함할 수 있다. 촉매 표면은 촉매 반응기의 컴포넌트 또는 벽 상의 코팅, 거품 또는 펠릿들의 층(bed), 또는 미세하게 분할된 촉매를 지지하거나 촉매 물질로부터 구성되는 구조의 형태일 수 있다. 촉매 표면들은 예를 들어, 세라믹 물질(예를 들어, 코디어라이트(cordierite), Al2O3, 실리콘 탄화물, 실리콘 질화물 등)을 포함하는 지지 구조 상에 있을 수 있다.
상기 언급된 것처럼, 반도체 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)는 처리 챔버(104)에 결합될 수 있는 시스템 어댑터(102) 및 경감 시스템(108)에 결합될 수 있는 경감 어댑터(106)를 포함한다. 시스템 어댑터(102)는 경감 어댑터(106)에 결합되고, 105에 표시된 것처럼 경감 어댑터(106)와 통신한다. 몇몇 실시예들에서, 장치(101)는 바람직하게는 기존의 처리 장비(예, 처리 챔버(104) 및 경감 시스템(108))에 결합될 수 있고, 이에 의해 완전히 새로운 처리 및/또는 경감 장비에 투자하지 않고도 에너지를 절약하는 것을 용이하게 한다.
반도체 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)가 도 2a에 보다 상세히 도시된다. 장치(101)는 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)를 포함하고, 이들은 시그널링 방법(105)에 의해 통신할 수 있다. 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 위한 확인 처리를 시작하기 위해, 시스템 어댑터(102)는 처리 챔버(104)로부터 표시자들(2021-N)을 모니터링함으로써 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인한다. 표시자들(2021-N)은 압력 센서, 디지털 출력, 광학 센서, RF 전력 생성기, 배출 아이솔레이션 밸브, 퍼지 가스 소스 밸브 등으로부터 수신되는 하나 이상의 입력 신호들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 광학 센서는 웨이퍼 카세트의 존재를 모니터링하기 위해 로드락(load lock) 챔버에 결합될 수 있다. 대안적으로, 또는 결합하여, 디지털 출력은 전기 밸브로 신호를 제공할 수 있고, 상기 전기 밸브는 공기압 밸브, 예를 들어, 처리 챔버(104)로부터 가스 패널(미도시)을 격리시키는 공기압 밸브를 구동한다. 여기서, 예를 들어, 표시자들(2021-N)은 디지털 출력으로부터의 신호, 가스 패널과 공기압 밸브 사이에 배치되는 압력 센서로부터의 신호, 또는 이들 모두일 수 있다. 만약 압력 센서가 압력을 감지한다면, 처리 챔버(104)는 동작중인 상태에 있을 수 있다. 예를 들어, 시스템 제어기로부터 처리 챔버(104) 및/또는 챔버 컴포넌트들로의 신호들과 같은 다른 표시자들이 가능하다. 대안적으로 또는 결합하여, 표시자는 예를 들어, 처리 용적과 배출 용적(즉, 배출 포트) 사이에 배치되는 챔버 배출 아이솔레이션 밸브를 모니터링하는 것을 포함할 수 있다. 만약 아이솔레이션 밸브가 닫혔다면, 챔버는 유휴상태에 있을 수 있다. 다른 표시자들은 예를 들어, 포어라인(foreline) 퍼지 가스 소스를 제어하는 밸브들을 모니터링하는 것을 포함할 수 있다. 퍼지 가스 소스는 배출 포트를 펌프 및/또는 경감 시스템에 연결시키는 배출 포어라인을 퍼지하기 위해 사용될 수 있다. 퍼지 가스들은 배출 아이솔레이션 밸브가 닫혀있더라도 흐를 수 있다. 그러므로, 포어라인 퍼지 가스 소스들을 제어하는 밸브들을 모니터링하는 것은 처리 챔버의 유휴상태를 추가적으로 확인할 수 있다.
표시자들(2021-N)은 시스템 어댑터(102)로 들어간다. 도 2a에 도시된 것처럼, 시스템 어댑터(102)는 심박(heartbeat) 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 결합되는 상태 결정 시스템(204)을 포함한다. 상태 결정 시스템(204)은 표시자들(2021-N)을 수신할 수 있고 표시자들(2021-N)을 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(204)에 의해 생성되는 출력 신호는 유휴 또는 동작 중 하나로 처리 챔버(104)의 상태를 표시한다.
상태 결정 시스템(204)은 표시자들(2021-N)을 단일 출력 신호로 변환하고, 상기 출력 신호는 저 전력에서의 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태를 표시한다. 상태 결정 시스템(204)은 도 2b에 더 상세히 도시되고, 그리고 몇몇 실시예들에서, 각각의 표시자(2021-N)를 수신하기 위한 버퍼(2031-N) 및 표시자들(2021-N)을 저 전력에서의 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태를 표시하는 단일 출력 신호로 변환하기 위해 각 버퍼(2031-N)에 결합되는 로직 게이트(205)를 포함한다. 각 버퍼(2031-N)는 적절한 신호 강도 또는 형태의 각 표시자(2021-N)를 만들기 위한 임의의 적절한 버퍼일 수 있으며, 그 결과 표시자는 로직 게이트(205)에 의해 처리될 수 있다. 예시적인 버퍼들은 이득 증폭기들, 아날로그-대-디지털 변환기들 등을 포함할 수 있다.
버퍼링 후에 로직 게이트(205)는 각 표시자(2021-N)를 수신하고, 표시자들(2021-N)을 단일 출력 신호로 변환한다. 로직 게이트(205)는 저 전력에서의 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태를 확인하기 위해 사용될 수 있는 로직 게이트들의 조합 또는 임의의 적절한 로직 게이트일 수 있다. 예를 들어, 그리고 도 2b에 도시된 것처럼, 로직 게이트(205)는 NOR 게이트로 구성될 수 있다. 이러한 구성에서, 모든 표시자들(2021-N)이 처리 챔버(104)가 유휴라는 것을 표시할 때, 저 전력에서 경감 시스템(108)을 동작시키기 위한 출력 신호가 로직 게이트(205)로부터 생성된다. 만약 적어도 하나의 표시자(2021-N)라도 챔버(104)가 유휴라는 것을 표시하지 않는다면, 챔버가 여전히 하나 이상의 처리들을 동작시키고 있다는 것을 표시하는 출력 신호가 로직 게이트(205)로부터 생성된다. 로직 게이트(205)는 바람직하게는 페일세이프 메커니즘을 제공하며, 이에 의해 신호가 존재하지 않거나(missing), 끊겼거나(disconnected), 또는 그렇지 않으면 기대되는 것과 다를 경우, 시스템 어댑터(102)는 저-전력 준비상태를 경감 어댑터(106)로 시그널링 하지 않을 것이다. 로직 게이트는 상기 논의된 것처럼, 예를 들어, AND, OR, NAND 등으로 구성되는 로직 게이트들과 같은 표시자들(2021-N)을 처리하도록 구성되는 하나 이상의 로직 게이트들을 포함할 수 있다.
도 2a로 돌아와서, 로직 게이트(205)에 의해 생성되는 출력 신호는 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 의해 수신된다. 심박 생성기(206)는 예를 들어, 파형 생성기 등일 수 있다. 심박 생성기(206)는 경감 어댑터(106)으로부터 신호들을 수신할 수 있고 경감 어댑터(106)로 신호들을 송신할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(206)는 하나 이상의 주파수들 및/또는 하나 이상의 진폭들에서 구형파들, 정현파들 등과 같은 주기적 신호를 전송하거나 수신할 수 있다. 주기적 신호는 도 3-4와 관련하여 아래에서 논의되는 시스템 구성 동안 미리 결정된 레이트(rate)에서 또는 전혀 그렇지 않게(not at all) 반복적으로 전송될 수 있다. 로직 생성기(208)는 예를 들어, 마이크로제어기, 마이크로프로세서, 로직 상태 머신 등일 수 있다. 로직 생성기(208)는 경감 어댑터(106)로부터 메시지들을 수신하고 그리고 경감 어댑터(106)로 메시지들을 송신할 수 있다. 이러한 메시지들은 비트 시리얼 메시지들 등과 같은 암호화된 메시지들을 포함할 수 있다. 메시지들은 도 3-4와 관련하여 아래에서 논의되는 시스템 구성 동안 미리 결정된 레이트에서 또는 전혀 그렇지 않게 반복적으로 전송될 수 있다.
심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 의해 전송되는 메시지 및 주기적 신호는 경감 어댑터(106)에 의해 수신된다. 도 2a에 도시된 것처럼, 경감 어댑터(106)는 심박 생성기(210), 로직 생성기(208) 및 경감 제어 시스템(214)을 포함한다. 심박 생성기(210)는 시스템 어댑터(102)로부터 주기적 신호를 수신하고 그리고 시스템 어댑터(102)로 주기적 신호를 전송할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(210)는 시스템 어댑터(102)의 심박 생성기(206)로부터 주기적 신호를 수신하고 그리고 상기 심박 생성기(206)로 주기적 신호를 전송할 수 있다. 로직 생성기(208)는 시스템 어댑터(102)로부터 메시지를 수신하고 그리고 시스템 어댑터(102)로 메시지를 전송할 수 있다. 예를 들어, 로직 생성기(208)는 시스템 어댑터(102)의 로직 생성기(208)로부터 메시지를 수신하고 그리고 상기 로직 생성기(208)로 메시지를 전송할 수 있다. 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(208)는 경감 제어 시스템(214)에 결합되고, 상기 경감 제어 시스템(214)은 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(208)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하여 저 전력 모드로 진입될 수 있음을 경감 시스템(108)에 시그널링할 수 있다.
심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 각각 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)와 유사하다. 예를 들어, 심박 생성기(210)는 하나 이상의 주파수들 및/또는 하나 이상의 진폭들에서 구형파들, 정현파들 등과 같은 주기적 신호를 전송하거나 수신할 수 있다. 주기적 신호는 도 3-4와 관련하여 아래에서 논의되는 시스템 구성 동안 미리 결정된 레이트에서 또는 전혀 그렇지 않게 반복적으로 전송될 수 있다. 로직 생성기(212)는 예를 들어, 마이크로제어기, 마이크로프로세서, 로직 상태 머신 등일 수 있다. 로직 생성기(212)는 로직 생성기(208)로부터 메시지들을 수신하고 그리고 로직 생성기(208)로 메시지들을 송신할 수 있다. 이러한 메시지들은 비트 시리얼 메시지들 등과 같은 암호화된 메시지들을 포함할 수 있다. 메시지들은 도 3-4와 관련하여 아래에서 논의되는 시스템 구성 동안 미리 결정된 레이트에서 또는 전혀 그렇지 않게 반복적으로 전송될 수 있다.
경감 제어 시스템(214)은 도 2c에 더 상세히 도시되고, 그리고 로직 게이트(213) 및 릴레이(215) 또는 다른 출력 스위칭 디바이스를 포함할 수 있다. 로직 게이트(213)는 예를 들어, 도시된 것처럼 AND 게이트일 수 있다. 그러나, AND 연산을 수행하기 위해 다른 적절한 로직 게이트들 또는 로직 게이트들의 조합들이 사용될 수도 있다. 로직 게이트(213)는 릴레이(215)에 결합되고, 릴레이(215)의 동작을 제어한다. 릴레이(215)는 예를 들어, 솔리드 스테이트(solid state) 릴레이 또는 반도체-기반 스위치, 콘택터 등과 같은 적절히 안전한-정격의(safety-rated) 솔리드 스테이트 디바이스일 수 있다. 예를 들어, 로직 게이트(213)에 의해 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)로부터 수신되는 출력 신호들이 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인할 때, 로직 게이트(213)는 릴레이(215)를 작동시키고, 여기에서 릴레이(215)는 닫힌다. 릴레이(215)의 디폴트 위치는 개방(open)이고, 따라서 릴레이(215)의 작동에 의해 닫힐 수 있다. 예를 들어, 로직 게이트(213)에 의해 수신되는 출력 신호들 중 적어도 하나라도 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인하지 않을 때, 로직 게이트(213)는 릴레이(215)를 동작시키지 않을 것이고, 그리고 경감 시스템(108)의 동작은 풀(full) 전력에서 계속된다. 게다가, 릴레이(215)의 실패는 저 전력 모드로 진입될 수 있음을 경감 시스템(108)에 시그널링하지 않을 것이다.
도 2a로 돌아가서, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)은 시그널링 방법(105)을 사용해서 통신한다. 도 2a에 도시된 것처럼, 시그널링 방법(105)은 양방향 시그널링 방법이고, 이를 통해 신호들은 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106) 모두로부터 그리고 모두로 이동한다. 시그널링 방법(105)은 시스템 어댑터(102)의 심박 생성기(206)와 경감 어댑터(106)의 심박 생성기(210) 사이에서 전송되는 주기적 신호(216); 및 시스템 어댑터(102)의 로직 생성기(208)와 경감 어댑터(106)의 로직 생성기(212) 사이에서 전송되는 메시지(218)를 포함할 수 있다.
위에서 논의된 주기적 신호(216)는 구형파, 정현파 등일 수 있다. 주기적 신호(216)는 약 1-1000 Hz 사이의 주파수에서 전송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 주기적 신호(216)는 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이의 각 패스(pass)에 대해 주파수가 변할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(206)는 제1 주파수(예를 들어, 1 Hz)에서 심박 생성기(210)로 주기적 신호(216)를 전송할 수 있다. 다음에, 심박 생성기(210)는 동일 주파수(즉, 1Hz)에서 심박 생성기(206)로 주기적 신호(216)를 리턴시킬 수 있다. 앞의 예는 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이의 주기적 신호의 하나의 '패스'로 고려될 수 있다. 심박 생성기(210)로부터 주기적 신호(216)를 다시 수신할 시에, 심박 생성기(206)는 주기적 신호(216)의 주파수를 예를 들어, 10 Hz로 조정할 수 있고, 조정된 주기적 신호(216)를 심박 생성기(210)로 전송할 수 있다. 조정된 주기 신호(216)를 수신할 시에, 심박 생성기(210)는 조정된 주기적 신호를 심박 생성기(206)로 다시 리턴시킨다. 그리하여, 제2 패스는 10 Hz의 조정된 주기적 신호를 이용하여 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이에서 완성(complete)되었다. 심박 생성기들 사이의 보다 많은 패스들이, 각 패스를 통해 주기적 신호(216)의 주파수를 조정하여, 수행될 수 있다. 심박 생성기들 사이의 주기적 시그널링은 페일세이프 동작의 수단을 제공할 수 있다. 예를 들어, 주기적 신호는 심박 생성기들 사이의 각 패스들을 이용하여 조정 중이고, 그리하여 이러한 조정 신호가 다른 수단들에 의해 복제되기 어렵게 만든다. 게다가, 심박 생성기들은 양방향 통신을 하며, 이들 사이에서 조정되는 주기적 신호를 패스한다. 조정되는 주기적 신호의 양방향 통신의 임의의 두절(disruption)은 풀 전력에서 경감 시스템(108)의 동작을 계속하게 할 것이다. 몇몇 실시예들에서, 심박 생성기들은 몇몇 특정한 간격에서 또 다른 심박 생성기로부터의 신호를 수신하는 것을 예상하도록 추가적으로 구성된다. 이처럼, 하나의 심박 생성기의 다음 심박 생성기로의 시그널링의 실패는 저 전력 모드로 들어갈 수 있음이 경감 시스템으로 시그널링되는 것을 방지할 것이다. 특정 시간 기간 후에, 심박 생성기는 본 명세서에서 제시된 것처럼 인접한 심박 생성기로부터의 신호를 청취(listen)하는 것을 다시 시작할 수 있다.
상기 논의된 것처럼 메시지(218)는 비트 시리얼 메시지 등과 같은 암호화된 메시지일 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메시지(218)는 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이의 각 패스들과 함께 변할 수 있다. 예를 들어, 로직 생성기(208)는 문자들, 숫자들, 심볼들 등의 제1 암호화된 스트링을 포함하는 메시지(218)를 로직 생성기(212)로 전송할 수 있다. 다음에, 로직 생성기(212)는 상기 제1 암호화된 스트링(즉, 동일 메시지)을 로직 생성기(208)로 리턴시킬 수 있다. 앞의 예는 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이의 메시지(218)의 하나의 '패스'로 고려될 수 있다. 로직 생성기(212)로부터 돌아온 제1 스트링을 포함하는 메시지(218)를 수신할 시에, 로직 생성기(208)는 메시지(218)를 예를 들어, 문자들, 숫자들 등의 제2 스트링으로 바꾸고, 제2 스트링을 로직 생성기(212)로 전송할 수 있다. 제2 스트링을 수신할 시에, 로직 생성기(212)는 조정된 주기적 신호를 로직 생성기(208)로 다시 리턴시킨다. 그리하여, 제2 패스는 제2 스트링을 이용하여 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이에서 완성된다. 로직 생성기들 사이의 보다 많은 패스들이, 각 패스를 이용하여 메시지(218)를 조정하여, 수행될 수 있다. 위에서 설명된 주기적 시그널링과 유사하게, 로직 생성기들 사이의 메시징은 페일세이프 동작의 수단을 제공할 수 있다. 예를 들어, 메시지(218)는 고유하고 복제될 가능성이 적다. 게다가, 메시지(218)는 패스들 사이에서 변화하고, 이는 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 보안 통신의 부가적 수단을 제공한다. 게다가, 변화하는 메시지(218)의 양방향 통신의 임의의 두절은 풀 전력에서 경감 시스템(108)의 동작을 계속해서 야기할 것이다.
동작 중에, 표시자들(2021-N)은 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있는지 여부를 결정하기 위해 상태 결정 시스템(204)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 임의의 하나의 표시자(202)가 시스템이 유휴 중이 아니라고 시그널링한다면, 출력 신호는 상태 결정 시스템(204)으로부터 생성되지 않을 수 있고, 또는 대안적으로, 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있지 않다는 것을 표시하는 출력 신호가 생성되어 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 전송될 수 있다. 그 결과, 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)는 임의의 주기적 신호(216) 또는 메시지(218)를 경감 어댑터(106)로 통신하지 않을 수 있고, 또는 대안적으로, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 통신 링크를 유지하는 수단으로서 시스템 어댑터와 경감 어댑터 사이에서 동일한(즉, 변경되지-않은) 주기적 신호(216) 및 메시지(218)를 계속해서 통신할 수 있다. 예를 들어, 페일세이프 동작의 수단으로서, 만약 통신 링크가 디스에이블되면(disabled), 경감 시스템(108)은 풀 전력으로 동작을 계속할 것이다.
예를 들어, 만약 상태 결정 시스템(204)에 의해 모니터링되는 표시자들(2021-N)이 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다는 것을 확인하면, 출력 신호가 상태 결정 시스템(204)으로부터 생성되고 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 전송된다. 그 다음에 제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 전송하거나, 또는 대안적으로, (예를 들어, 상이한 주파수에서의) 새로운 주기적 신호 및 새로운 메시지(예를 들어, 상이한 메시지)를 전송함으로써 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)는 경감 어댑터(106)의 대응하는 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)와 통신한다. 예를 들어, 제1 주기적 신호 및 제1 메시지는 처리 챔버가 유휴 상태이고 저 전력 모드에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 경감 어댑터에 표시한다. 제1 주기적 신호 및 제1 메시지가 수신되었음을 확인하는 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 다시(back) 통신한다. 그리하여, 제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 사용하는 제1 패스는 위에서 논의된 바와 같이 완성된다.
제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 다시 수신할 시에, 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)는 다음에 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)로 제2 주기적 신호 및 제2 메시지를 전송한다. 제2 주기적 신호 및 제2 메시지는 제1 주기적 신호 및 제1 메시지와 상이하다. 예를 들어, 제2 주기적 신호는 상이한 주파수를 가질 수 있고, 제2 메시지는 상이한 메시지일 수 있다. 경감 어댑터(106)의 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 제2 주기적 신호 및 제2 메시지를 수신하고, 이들 모두를 다시 시스템 어댑터(102)로 전송하고, 이에 의해 제2 패스를 완성한다. 다수의 패스들이 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이에서 수행될 수 있고, 각 패스는 이전의 패스와 상이한 주기적 신호 및 상이한 메시지를 갖는다. 몇몇 실시예들에서, 각 연속하는 주기적 신호는 이전의 신호보다 높은 주파수에 있을 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 예를 들어, 일시적인(casual) 수단들에 의한 논리 기능의 실패를 방지하기 위해, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이에서 패스되는 각 연속하는 메시지는 내용(content), 전압 레벨, 비트 레이트, 또는 이들의 조합들에서 변경될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 액티브(active)하고 양립 가능한 디바이스(예, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중의 하나)가 들어오는 메시지들을 판독하고 이들을 재-전송하기 전에 이들의 유효성을 확인하였음을 표시하기 위해, 각 연속하는 어댑터(예, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106))는 메시지 내의 비트 필드를 변경 또는 부가할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메시지들을 변경하는 상기 기법은 메시지 발신자(originator; 예를 들어, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중 하나)로 수신 디바이스들 또는 이들에 연결되는 경감 장비(예를 들어, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중 다른 하나)의 아이덴티티(identity) 또는 상태에 대해 피드백을 제공하는 것과 같은 부가적 기능들을 위하여 사용될 수 있다.
시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 변화하는 주기적 신호 및 변화하는 메시지의 충분한 수의 패스들 후에, 시스템 어댑터(102)는 처리 챔버(104)가 유휴 상태에 있고 저 전력 경감을 위한 준비가 되어있음을 경감 어댑터(106)에 전달한다. 몇몇 실시예들에서, 충분한 수의 패스들은 약 1, 또는 약 1 내지 약 100, 또는 그보다 큰 것으로서 정의될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 충분한 수의 패스들은 약 50개일 수 있다. 다음에, 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 경감 시스템(108)이 저 전력 모드에서 동작될 수 있음을 경감 제어 시스템(214)으로 시그널링한다. 페일세이프 동작의 추가 수단으로서, 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212) 모두는, 경감 시스템(108)이 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링되기 위해서, 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다는 것에 동의(agree)하여야 한다. 그리하여, 경감 제어 시스템(214)의 로직 게이트(213)는 자신이 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212) 모두로부터 확인 신호를 수신한 때에만 릴레이(215)를 닫을 것이다. 각 생성기로부터 확인 신호를 수신할 시에, 릴레이(215)는 닫히고 저 전력 모드로 스위칭될 수 있는 경감 시스템(108)이 시그널링된다.
표시자들(2021-N)이 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다고 표시하는 경우 경감 시스템(108)은 저 전력 모드에서 동작할 수 있다. 만약 적어도 하나의 표시자(202)가 바뀌거나 또는 단절된다면, 경감 시스템(108)은 풀 전력에서의 경감으로 리턴할 것이다. 만약, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 통신 링크가 단절되거나, 또는 심박 생성기들 또는 로직 생성기들 사이의 양방향 통신들 중 적어도 하나가 단절되고/되거나 인터럽트되면, 경감 시스템(108)은 풀 전력에서의 경감으로 리턴할 것이다. 게다가, 처리 챔버, 처리 챔버 컴포넌트들, 시스템 어댑터, 경감 어댑터, 또는 처리 시스템(100)과 함께 동작하도록 구성되는 임의의 디바이스로의 전력이 인터럽트(예를 들어, 턴 오프)되면, 경감 시스템(108)은 풀 전력에서의 동작으로 리턴할 것이다. 그리하여, 여러 개의 리던던트한(redundant) 페일세이프 메커니즘들이 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다는 확인이 이루어질 때 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 위해 장치(101) 내에 포함된다.
여기서 제시되는 본 발명의 장치는 도 3 내지 도 4에서 아래 제시되는 것처럼 하나의 경감 시스템에 결합되는 두 개 이상의 처리 챔버들 또는 두 개 이상의 경감 시스템들에 결합되는 두 개 이상의 처리 챔버들을 포함하는 반도체 처리 시스템들과 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 것처럼, 제1 처리 챔버(302), 제2 처리 챔버(304), 및 경감 시스템(306)을 포함하는 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위하여 장치(300)가 사용될 수 있고, 각 처리 챔버는 경감 시스템(306)으로의 배출물들의 배출을 위해 경감 시스템(306)에 결합된다. 처리 챔버들(302, 304) 및 경감 시스템(306)은 상기 제시된 것처럼 임의의 적절한 구성의 처리 챔버 또는 경감 시스템일 수 있다.
장치(300)는 제1 처리 챔버(302)의 상태를 모니터링하기 위한 제1 시스템 어댑터(308) 및 제2 처리 챔버(304)의 상태를 모니터링하기 위한 제2 시스템 어댑터(310)를 포함한다. 제1 시스템 어댑터(308) 및 제2 시스템 어댑터(310)는 경감 어댑터(312)와 통신하도록 구성되고, 여기서 경감 어댑터(312)는 경감 시스템(306)에 결합되고, 처리 챔버들의 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 경감 시스템을 동작시키기 위한 준비상태를 통신하도록 구성된다. 제1 시스템 어댑터(308), 제2 시스템 어댑터(310) 및 경감 어댑터(312)는 시그널링 방법(313)에 의해 통신한다.
제1 시스템 어댑터(308)는 위에서 논의된 것처럼 시스템 어댑터(102)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 시스템 어댑터(308)는 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)에 결합되는 상태 결정 시스템(316)을 포함한다. 상태 결정 시스템(316)은, 제1 처리 챔버(302)로부터 하나 이상의 표시자들(3141-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(316)에 의해 생성되는 출력 신호는 제1 처리 챔버(302)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템(316), 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)는 도 2a 및 도 2b와 관련하여 위에서 설명된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(318)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(320)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
제2 시스템 어댑터(310)는 위에서 논의된 것처럼 시스템 어댑터(102)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제2 시스템 어댑터(310)는 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)에 결합되는 상태 결정 시스템(324)을 포함한다. 상태 결정 시스템(324)은, 제2 처리 챔버(304)로부터 하나 이상의 표시자들(3221-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(324)에 의해 생성되는 출력 신호는 제2 처리 챔버(304)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템(324), 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)는 도 2a 및 도 2b와 관련하여 위에서 설명된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 위에서 논의된 것처럼 심박 생성기(326)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(328)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
경감 어댑터(312)는 도 2a 및 도 2c에 대하여 위에서 논의된 것처럼 경감 어댑터(106)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 경감 어댑터(312)는 심박 생성기(330), 로직 생성기(332) 및 경감 제어 시스템(334)을 포함한다. 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)는 경감 제어 시스템(334)에 결합되고, 여기서 경감 제어 시스템(334)은 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하여 경감 시스템(306)을 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 게다가, 상태 제어 시스템(334), 심박 생성기(332) 및 로직 생성기(334)는 도 2a 및 도 2c와 관련하여 위에서 설명된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 위에서 논의된 것처럼 심박 생성기(330)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(332)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
시그널링 방법(313)은 시그널링 방법(105)과 일반적으로 유사할 수 있다. 시그널링 방법(313)은 장치(300)의 어댑터들 사이의 주기적 신호(315) 및 메시지(317) 모두의 통신을 포함할 수 있다. 그러나, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 양방향 시그널링과 대조적으로, 시그널링 방법(313)은 순환적 또는 '전가(pass it along)' 시그널링 방식을 포함한다. 예를 들어, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제1 시스템 어댑터(308)에서 생성될 수 있고 그 후에 경감 어댑터(312)로 패스될 수 있다. 경감 어댑터(312)로부터, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 그 후에 제2 시스템 어댑터(310)로 패스될 수 있고 그리고 결국 제1 시스템 어댑터(308)로 다시 패스될 수 있다. 이처럼, 도 3에 도시된 바와 같은 시그널링 방법(313)은 장치(300)의 어댑터들을 통해 시계방향 운행(clockwise motion)으로 진행한다. 그러나, 이러한 시계방향 운행은 단지 예시적인 것이고, 시그널링 방법의 다른 구성들도 가능하다. 예를 들어, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제2 시스템 어댑터(310)에서 시작될 수 있다. 제2 시스템 어댑터(310)로부터, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제1 시스템 어댑터(308; 즉, 시계방향 운행으로)로 패스될 수 있고, 또는 대안적으로, 경감 어댑터(312; 즉, 반시계방향 운행으로)로 패스될 수 있다. 그리하여, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나가 유휴 상태에 있고 저 전력 모드에서의 경감을 위하여 준비가 되어있음을 표시하는 주기적 신호(315) 및 메시지(317)가 제1 시스템 어댑터 또는 제2 시스템 어댑터에서 시작될 수 있다. 페일세이프 동작의 수단으로서, 장치(300)는 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태일 때만 경감 시스템(306)에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링할 것이다.
동작 중에, 그리고 하나의 예시적 구성에서, 표시자들(3141-N)은 제1 시스템 어댑터(308)의 상태 결정 시스템(316)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 표시자들(3141-N)이 제1 처리 챔버(302)가 유휴상태에 있다는 것을 확인한다면, 상태 결정 시스템(316)은 주기적 신호(315) 및 메시지(317)를 개시하기 위해서 또는 대안적으로, 위에서 논의된 것처럼 기존의 주기적 신호 및 메시지를 조정하기 위해서 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)로 출력 신호를 전송한다. 예를 들어, 심박 생성기(318)는 주기적 신호(315)를 보다 높은 주파수로 조정(예를 들어, 1Hz로부터 10Hz)할 수 있고, 로직 생성기(320)는 메시지(317)를 변화시킬 수 있으며, 여기서 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 처리 챔버(302)가 유휴 상태에 있고 저 전력에서의 경감을 위한 준비가 되어있음을 표시한다.
조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 시스템 어댑터(308)로부터 경감 어댑터(312)의 대응하는 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)로 패스된다. 경감 어댑터(312)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신하고, 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)를 통해, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 제2 시스템 어댑터(310)의 대응하는 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)로 재-송신한다. 만약 표시자들(3221-N)이 제2 처리 챔버가 유휴 상태에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 표시한다면, 그 다음에 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 제1 시스템 어댑터(308)로 다시 재-송신할 것이다. 그리하여, 제2 처리 챔버(302)도 또한 유휴 상태에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 제1 시스템 어댑터(308)로 통신한다.
그러나, 만약 제2 처리 챔버(304)가 유휴상태에 있지 않다면, 그 다음에 제2 시스템 어댑터(310)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 제1 시스템 어댑터(308)로 재-송신하지 않는다. 이러한 실시예들에서, 제2 처리 챔버(304)가 여전히 동작중이고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있지 않음을 시그널링하는 수단으로서, 제2 시스템 어댑터(310)는 원래의 주기적 신호(즉, 1Hz에서) 및 원래의 메시지를 송신하는 것을 계속할 수 있거나, 또는 대안적으로, 제1 시스템 어댑터(308)로 임의의 주기적 신호 및 메시지를 송신하지 않을 수 있다. 제1 시스템 어댑터(308)가, 전송되었던 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 아니라, 원래의 주기적 신호 및 원래의 메시지를 수신한 때, 제1 시스템 어댑터(308)가 제2 시스템 어댑터(310)로부터, 제2 처리 챔버(304)가 유휴 상태에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 표시하는, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신할 때까지 제1 시스템 어댑터(308)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 계속해서 전송할 수 있다.
제2 처리 챔버(304)가 유휴 상태에 있고 저 전력 상태에서 경감을 위한 준비가 되어있는, 몇몇 실시예들에서, 그 다음에 제2 시스템 어댑터(310)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 발신하였던 제1 시스템 어댑터(308)로 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 재-송신한다. 그리하여, 상기 논의된 것처럼, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 장치(300)의 어댑터들 주변에서 하나의 '패스'를 이룬다. 제2 처리 챔버(304)가 또한 유휴상태에 있다는 것을 확인하는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신할 시에, 제1 시스템 어댑터(308)는 예를 들어, 20Hz의 주파수에서의 제2 조정된 주기적 신호 및 제2 새로운 메시지를 경감 어댑터(312)로 송신한다. 제2 조정된 주기적 신호 및 제2 새로운 메시지를 이용하여 제2 패스를 완성할 시에, 제1 시스템 어댑터(308)는 제3 조정된 주기적 신호 및 제3 새로운 메시지를 송신한다. 경감 어댑터(312)가 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버 모두가 유휴 상태에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 확인할 때까지, 제1 시스템 어댑터(308)는 각각의 성공적인 패스를 이용하여 새로운 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 송신하는 것을 계속한다. 확인이 이루어진 때, 경감 어댑터(312)의 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)는 경감 시스템(306)이 저 전력 모드에서 동작할 수 있음을 경감 시스템(306)에 시그널링하기 위해 경감 제어 시스템(334)으로 출력 신호를 송신한다.
위에서 논의된 것처럼, 장치(300)의 어댑터들 사이의 통신 루프에서의 임의의 브레이크, 전력의 손실, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 상의 표시자들의 단절은 경감 시스템(306)을 풀 전력에서의 동작으로 리턴시킬 것이다.
본 명세서에서 제시되는 본 발명의 장치는 다수의 처리 챔버들 및 다수의 경감 또는 지원 시스템들을 갖는 반도체 또는 다른 처리 시스템과 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 것처럼, 장치(400)는 제1 처리 챔버(402), 제2 처리 챔버(404), 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)을 포함하는 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들어, 몇몇 실시예들에서, 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버는 제1 경감 시스템 또는 제2 경감 시스템 중 하나 또는 모두로 배출물들을 배출할 수 있다. 제1 처리 챔버(402) 및 제2 처리 챔버(404)와 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)은 상기 제시된 것처럼 임의의 적절한 구성의 처리 챔버 또는 경감 시스템일 수 있다.
장치(400)는 제1 처리 챔버(402)의 상태를 모니터링하기 위한 제1 시스템 어댑터(410) 및 제2 처리 챔버(404)의 상태를 모니터링하기 위한 제2 시스템 어댑터(412)를 포함한다. 제1 및 제2 시스템 어댑터들(410, 412)은 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)과 통신하도록 구성되고, 여기서 제1 경감 어댑터(414)는 제1 경감 시스템(406)에 결합되고 제2 경감 어댑터(416)는 제2 경감 시스템(408)에 결합된다. 제1 및 제2 경감 어댑터들은 처리 챔버들의 상태에 응답하여 저 전력 모드들에서 제1 및 제2 경감 시스템들(406, 408)을 동작시키기 위한 준비상태를 통신하도록 구성될 수 있다. 제1 시스템 어댑터(410), 제2 시스템 어댑터(412), 제1 경감 어댑터(414) 및 제2 경감 어댑터(416)는 시그널링 방법(445)에 의해 통신한다. 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들 사이에서 주기적 신호(446) 및 메시지(448)를 패스하는 것을 포함한다.
제1 및 제2 시스템 어댑터들(410, 412)은 위에서 논의된 것처럼 임의의 시스템 어댑터의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 시스템 어댑터(410)는 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424)에 결합되는 상태 결정 시스템(420)을 포함한다. 상태 결정 시스템(420)은, 제1 처리 챔버(402)로부터 하나 이상의 표시자들(4181-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(420)에 의해 생성되는 출력 신호는 제1 처리 챔버(402)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 유사하게, 제2 시스템 어댑터(412)는 심박 생성기(430) 및 로직 생성기(432)에 결합되는 상태 결정 시스템(428)을 포함한다. 상태 결정 시스템(428)은 제2 처리 챔버(404)로부터 하나 이상의 표시자들(4261-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(430) 및 로직 생성기(432) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(428)에 의해 생성되는 출력 신호는 제2 처리 챔버(404)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템들(420, 428), 심박 생성기들(422, 430) 및 로직 생성기들(424, 432)은 도 2a 및 도 2b에 대하여 위에서 설명된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 각 심박 생성기는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 각 로직 생성기는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)은 위에서 논의된 것처럼 임의의 경감 어댑터의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 경감 어댑터(414)는 심박 생성기(434), 로직 생성기(436) 및 경감 제어 시스템(438)을 포함한다. 심박 생성기(434) 및 로직 생성기(436)는 경감 제어 시스템(438)에 결합되고, 여기서 경감 제어 시스템(438)은 심박 생성기(434) 및 로직 생성기(436)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하여 경감 시스템(406)을 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 유사하게, 제2 경감 어댑터(416)는 심박 생성기(440), 로직 생성기(442) 및 경감 제어 시스템(444)을 포함한다. 심박 생성기(440) 및 로직 생성기(442)는 경감 제어 시스템(444)에 결합되고, 여기서 경감 제어 시스템(444)은 심박 생성기(440) 및 로직 생성기(442)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하여 경감 시스템(408)을 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 게다가, 상태 제어 시스템(438, 444), 심박 생성기(434, 440) 및 로직 생성기(436, 442)는 도 2a 및 도 2c에 대하여 위에서 설명된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 위에서 논의된 것처럼 각 심박 생성기는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 각 로직 생성기는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
시그널링 방법(445)은 시그널링 방법(313)과 일반적으로 유사할 수 있다. 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들 사이의 주기적 신호(446) 및 메시지(448) 모두의 통신을 포함할 수 있다. 시그널링 방법(445)은 순환적 또는 '전가' 시그널링 방식을 포함한다. 예를 들어, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제1 시스템 어댑터(410)에서 생성될 수 있고 그 후에 제1 경감 어댑터(414)로 패스될 수 있다. 제1 경감 어댑터(414)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 그 후에 제2 경감 어댑터(416)로 패스될 수 있다. 제2 경감 어댑터(416)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제2 시스템 어댑터(412)로 패스될 수 있고, 그리고 결국 제1 시스템 어댑터(410)로 다시 패스될 수 있다. 이처럼, 도 4에 도시된 것처럼 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들을 통해 시계방향 운행으로 진행한다. 그러나, 이러한 시계방향 운행은 단지 예시적인 것이고, 도 3에 대하여 위에서 논의된 것처럼 시그널링 방법의 다른 구성들도 가능하다. 예를 들어, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제2 시스템 어댑터(412)에서 시작될 수 있다. 제2 시스템 어댑터(412)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제1 시스템 어댑터(410; 즉, 시계방향 운행으로)로 패스될 수 있거나, 또는 대안적으로, 제2 경감 어댑터(416; 즉, 반시계방향 운행으로)로 패스될 수 있다. 그리하여, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나가 유휴이고 저 전력 모드에서의 경감을 위한 준비가 되어있음을 표시하는 주기적 신호(446) 및 메시지(448)는 제1 시스템 어댑터 또는 제2 시스템 어댑터에서 시작될 수 있다. 페일세이프 동작의 수단으로서, 장치(400)는 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태일 때만 제1 및 제2 경감 시스템들(406, 408)이 저 전력 모드들에서 동작할 수 있음을 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)에 시그널링할 것이다.
동작 중에, 그리고 하나의 예시적 구성에서, 표시자들(4181-N)은 제1 시스템 어댑터(410)의 상태 결정 시스템(420)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 표시자들(4181-N)이 제1 처리 챔버(402)가 유휴상태에 있다는 것을 확인한다면, 상태 결정 시스템(420)은 위에서 논의된 것처럼 주기적 신호(446) 및 메시지(448)를 개시하기 위해서, 또는 대안적으로, 기존의 주기적 신호 및 메시지를 조정하기 위해서 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424)로 출력 신호를 전송한다. 예를 들어, 심박 생성기(422)는 주기적 신호(446)를 높은 주파수로 조정(예를 들어, 1Hz로부터 10Hz)할 수 있고, 로직 생성기(424)는 메시지(448)를 변경할 수 있으며, 여기서 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 처리 챔버(402)가 유휴 상태에 있고 저 전력에서의 경감을 위한 준비가 되어있음을 표시한다.
도 4에 도시된 것처럼, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 장치(400)의 어댑터들 주변에서 시계방향 운행으로 송신될 수 있다. 시그널링 방법(313)과 유사하게, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지의 하나의 '패스'는 각 어댑터에 의해 송신 및/또는 수신되고 그리고 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 시작되었던 어댑터(즉, 제1 시스템 어댑터(410))로 리턴되는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지로 구성된다. 예를 들어, 그리고 위에서 논의된 것처럼, 만약 제2 처리 챔버(412)가 유휴상태가 아니라면, 조정된 신호 및 새로운 메시지는 하나의 패스를 완성하도록 허용되지 않을 것이다.
조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 하나의 패스를 완성할 때, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 시작하였던 어댑터는 제2 조정된 주기적 신호 및 제2 새로운 메시지를 전송함에 의해 응답할 수 있다. 각각의 성공적인 패스를 이용하여, 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)이 제1 및 제2 처리 챔버들(402, 404) 모두가 유휴 상태들에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 확인할 때까지, 발신 어댑터(즉, 제1 시스템 어댑터(410))는 주기적 신호를 조정할 수 있고 메시지를 변경시킬 수 있다. 확인 시에, 위에서 논의된 것처럼 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)은 제1 및 제2 경감 시스템들(406, 408)을 저 전력 모드들로 스위칭할 수 있다.
위에서 논의된 것처럼, 장치(400)의 어댑터들 사이의 통신 루프의 임의의 브레이크, 전력의 손실, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 상의 표시자들의 단절은 경감 시스템들(406, 408)을 풀 전력에서의 동작으로 리턴시킬 것이다.
본 명세서에서 제시된 본 발명의 장치는 임의의 요구되는 수의 처리 챔버들 및 경감 시스템들을 포함하는 임의의 적절한 반도체 처리 시스템과 함께 사용될 수 있다. 이처럼, 본 발명의 장치는 처리 시스템이 요구할 수 있는대로 임의의 적당한 수의 시스템 어댑터들 및 경감 어댑터들을 포함할 수 있다. 시스템 어댑터들 및 경감 어댑터들은 위에서 설명된 바와 같이 본 발명의 장치의 각 어댑터로 주기적 신호 및 메시지를 '패스'하도록 구성될 수 있으며, 그 결과 각 처리 챔버가 유휴 상태에 있고 저 전력에서 경감을 위한 준비가 되어있음을 각 시스템 어댑터가 확인한 때 각 경감 어댑터는 저 전력 모드에서 각 경감 시스템을 동작시킬 수 있다.
상기 언급된 것처럼, 본 발명의 방법들 및 장치는 처리 장비와 연관된 다른 에너지 소비 장비와 같은, 부가적 지원 장비를 제어하기 위해 또한 사용될 수 있다. 이러한 지원 장비의 비-제한적 예들은 터보 펌프들, 러핑(roughing) 펌프들, 퍼지 가스 공급기들, 처리 워터 냉각장치들, 시설 냉각 워터 루프들, 챔버 냉각 루프들, 열 교환기들 및 다른 것들을 포함한다. 이들은 또한 웨이퍼 처리 유휴 시간들 중에 저 에너지 모드들로 스위칭될 때 상당한 에너지 절약들을 가져올 수 있다. 본 발명의 장치의 모듈러 및 스케일러블 설계에 의해, 본 발명의 장치는 경감 장비 외에도 이러한 디바이스들을 제어하도록 특히 더 적합화된다.
게다가, 본 발명의 방법들 및 장치는 반도체 장비에 제한될 필요는 없고, 광범위한 장비와 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 장치는 전력 생성 장비, 화학적 처리 장비, 정련기 등의 상에 있는 경감 및 지원 장비에 대하여 리트로핏(retrofit)될 수 있다. 본 발명의 장치는 바람직하게는 전술한 애플리케이션들에서 전형적으로 사용되는 종래의 전압 또는 전류 루프 인터로크들보다 더 견고하고, 안전하고, 더 쉽게 확장할 수 있다.
그리하여, 반도체 처리 챔버를 모니터링하기 위한 방법들 및 장치가 본 명세서에서 제공되고 있다. 본 발명의 장치는 바람직하게는 처리 챔버가 실제로 유휴상태에 있는지를 경감 시스템을 저 전력 모드에서 동작시키기에 앞서 확인하기 위해 다수의 표시자들을 모니터링할 수 있다. 게다가, 본 발명의 장치는 만약 임의의 표시자, 시스템과 경감 어댑터 사이의 통신 링크, 시스템 전력 등이 단절되는 경우 경감 시스템이 풀 전력에서의 동작으로 리턴하도록 하기 위해 페일세이프 메커니즘을 포함한다.
전술한 것은 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 그리고 추가적인 실시예들이 본 발명의 기본 범위를 벗어나지 않고 고안될 수도 있다.

Claims (15)

  1. 기판 처리 시스템(substrate processing system)을 모니터링하기 위한 장치로서,
    제1 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및
    상기 제1 처리 챔버에 결합된(coupled) 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함하고,
    상기 지원 어댑터는 상기 처리 챔버의 상태가 유휴(idle) 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 지원 시스템은 경감(abatement) 시스템인,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 시스템 어댑터는:
    상기 제1 처리 챔버로부터 하나 이상의 표시자(indicator) 신호들을 수신하고 상기 하나 이상의 표시자 신호들을 상기 제1 처리 챔버의 유휴 또는 동작 상태를 표시하는 단일 출력 신호로 변환하기 위한 상태 결정 시스템
    을 더 포함하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 단일 출력 신호는, 상기 하나 이상의 표시자 신호들 모두가 상기 제1 처리 챔버가 유휴상태에 있음을 표시할 때 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 표시하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 시스템 어댑터는:
    상기 상태 결정 시스템에 결합되며 주기적 신호를 전송하고 수신할 수 있는 제1 파형 생성기; 및
    상기 상태 결정 시스템에 결합되며 메시지를 전송하고 수신할 수 있는 제1 로직 생성기
    를 더 포함하고, 그리고 상기 지원 어댑터는:
    상기 주기적 신호를 수신하고 재송신할 수 있는 제2 파형 생성기; 및
    상기 메시지를 수신하고 재송신할 수 있는 제2 로직 생성기
    를 더 포함하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 지원 어댑터는:
    상기 제2 파형 생성기 및 상기 제2 로직 생성기에 결합되며 상기 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하기 위한 제어 시스템을 더 포함하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 처리 챔버가 동작 상태에 있다고 결정될 때 어떠한 주기적 신호 및 어떠한 메시지도 상기 시스템 어댑터에 의해 상기 지원 어댑터로 전송되지 않거나, 또는 상기 제1 처리 챔버가 동작 상태에 있다고 결정될 때 동일한 주기적 신호 및 동일한 메시지가 상기 시스템 어댑터와 상기 지원 어댑터 사이에서 릴레이(relay)되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    제1 주기적 신호 및 제1 메시지가 상기 시스템 어댑터에 의해 상기 지원 어댑터로 전송되고, 상기 제1 주기적 신호 및 상기 제1 메시지는 상기 지원 어댑터에 의해 상기 시스템 어댑터로 재송신되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 처리 챔버가 유휴상태에 있다고 결정될 때 재송신된 제1 주기적 신호 및 재송신된 제1 메시지를 수신할 시에 상기 제1 주기적 신호 및 상기 제1 메시지와 상이한 제2 주기적 신호 및 제2 메시지가 상기 시스템 어댑터에 의해 전송되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    제2 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제2 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터를 더 포함하고, 상기 지원 시스템은 상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두를 위한 공유된 자원이고, 상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하고 상기 제1 지원 어댑터와 통신하도록 구성되고, 그리고 상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태에 있다고 결정될 때 상기 제1 지원 어댑터가 상기 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    제2 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제2 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터; 및
    상기 제2 처리 챔버에 결합된 제2 지원 시스템 및 상기 제2 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제2 지원 어댑터를 더 포함하고,
    상기 제2 지원 어댑터는 상기 제2 처리 챔버의 상기 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제2 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하도록 구성되고 그리고 상기 제2 지원 어댑터는 상기 제1 지원 어댑터와 통신하도록 구성되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태에 있다고 결정될 때 상기 제1 지원 어댑터 및 상기 제2 지원 어댑터가 상기 제1 지원 시스템 및 상기 제2 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 시스템 어댑터는 요구되는 주파수에서 상기 제1 지원 어댑터로 주기적 신호를 전송함으로써 그리고 상기 제1 지원 어댑터로 메시지를 전송함으로써 상기 제1 지원 어댑터로 상기 제1 처리 챔버의 상기 상태를 통신하도록 구성되고, 그리고 상기 제1 지원 어댑터는 상기 요구되는 주파수에서 상기 제1 지원 어댑터로 상기 주기적 신호를 재-송신함으로써 그리고 상기 제1 지원 어댑터로 상기 메시지를 재-송신함으로써 상기 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 제1 시스템 어댑터로 상기 준비상태를 통신하도록 구성되는,
    기판 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
  15. 기판 처리 시스템 내에서 에너지를 보존(conserve)하는 방법으로서,
    제1 처리 챔버에 결합된 제1 시스템 어댑터를 제공하는 단계;
    제1 지원 시스템에 결합된 제1 지원 어댑터를 제공하는 단계;
    상기 제1 시스템 어댑터와 상기 제1 지원 어댑터 사이의 보안 통신 링크를 전개(develop)시키는 단계;
    상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위해 상기 제1 시스템 어댑터를 이용하여 상기 제1 처리 챔버를 모니터링하는 단계; 및
    상기 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태를 통신하는 단계를 포함하는,
    기판 처리 시스템 내에서 에너지를 보존하는 방법.
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