KR101683657B1 - 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장비가 본 명세서에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치는 제1 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및 상기 제1 처리 챔버에 결합된 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함하고, 상기 지원 어댑터는 상기 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성된다.
Description
본 출원은 2008년 10월 8일자로 출원된 미국 가출원 번호 제61/103,912호를 우선권으로 주장하고, 상기 출원은 본 명세서에 참조에 의해 통합된다.
본 발명의 실시예들은 일반적으로 처리 장비에 관한 것이고, 특히 이러한 처리 장비를 모니터링하기 위한 장치에 관한 것이다.
예를 들어, 반도체, 평판, 광기전력 및 다른 실리콘 또는 박막 처리 시스템들에서 처리 장비가 유휴상태에 있을 때 저 전력 모드에서 처리 장비를 동작시키는 것이 요구될 수 있다. 예를 들어, 모든 처리 챔버들이 유휴상태에 있을 때 저 전력 모드에서 하나 이상의 처리 챔버들에 결합되어 있는 경감 시스템 또는 다른 장비를 동작시키는 것이 요구될 수 있다. 몇몇 시스템들에서, 경감 시스템에 저 전력 모드(예를 들어, 웨이퍼 카세트가 존재하지 않을 때)에서 동작하도록 시그널링하기 위해 웨이퍼 카세트의 존재 또는 부재가 모니터링된다. 그러나, 장비가 웨이퍼리스 처리(예를 들어, 챔버 세정 또는 컨디셔닝)로 동작하는 중일 수 있기 때문에 이러한 표시자(indicator)는 유휴 장비의 신뢰성 있는 측정이 아니다. 게다가, 몇몇 모니터링 장치는 예를 들어, 모니터링 장치를 표시자 신호로부터 단절시킴으로써, 우연히 또는 의도적으로 우회되거나 풀링(fool)될 수 있다.
따라서, 본 발명자는 장비가 유휴 상태이고 저 전력 모드에서 동작을 할 준비가 되어있다는 신뢰성 있는 표시를 제공할 수 있는 처리 장비를 모니터링하기 위한 장치를 제공하고 있다.
본 명세서에서는 반도체 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치는 제1 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및 상기 제1 처리 챔버에 결합된 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함할 수 있고, 상기 지원 어댑터는 상기 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성된다. 몇몇 실시예들에서, 상기 장치는 제2 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터를 더 포함하고, 상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 상기 장치는 제2 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터; 및 상기 제2 처리 챔버에 결합된 제2 지원 시스템 및 상기 제2 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제2 지원 어댑터를 더 포함하고, 상기 제2 지원 어댑터는 상기 제2 처리 챔버의 상기 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제2 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 기판 처리 시스템 내에서 에너지를 보존(conserve)하는 방법은 제1 처리 챔버에 결합된 제1 시스템 어댑터를 제공하는 단계; 제1 지원 시스템에 결합된 제1 지원 어댑터를 제공하는 단계; 상기 제1 시스템 어댑터와 상기 제1 지원 어댑터 사이의 보안 통신 링크를 전개(develop)시키는 단계; 상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위해 상기 제1 시스템 어댑터를 이용하여 상기 제1 처리 챔버를 모니터링하는 단계; 상기 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태를 통신하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 방법들 및 장치의 다른 실시예들이 하기 상세한 설명에서 제공된다.
본 발명의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있도록, 상기 간략히 요약된 본 발명의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있고, 상기 실시예들 중 일부는 첨부된 도면들에 도시된다. 그러나, 본 발명은 다른 동일한 효과가 있는 실시예를 수용할 수 있기 때문에, 첨부된 도면들은 본 발명의 오직 일반적인 실시예들을 도시하는 것이고 따라서 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 여겨지면 안 되는 것에 주의해야 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 사용을 위한 반도체 처리 시스템을 도시한다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치를 도시한다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도면은 명확화를 위해 단순화되었고 비례하도록 도시되지 않았다. 이해를 용이하게 하도록, 가능한 곳에는, 도면들에 공통적인 동일한 엘리먼트들을 지정하기 위해 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 하나의 실시예의 일부 엘리먼트들은 별도의 언급 없이 다른 실시예들로 유리하게 편입될 수 있음이 예상된다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 사용을 위한 반도체 처리 시스템을 도시한다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치를 도시한다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따라서 반도체 처리 시스템을 모니터링 하기 위한 장치를 도시한다.
도면은 명확화를 위해 단순화되었고 비례하도록 도시되지 않았다. 이해를 용이하게 하도록, 가능한 곳에는, 도면들에 공통적인 동일한 엘리먼트들을 지정하기 위해 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 하나의 실시예의 일부 엘리먼트들은 별도의 언급 없이 다른 실시예들로 유리하게 편입될 수 있음이 예상된다.
본 명세서에서는 처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 제공된다. 본 발명의 장치는 저 전력 모드에서 지원 장비(예를 들어, 경감 시스템)를 동작시키기에 앞서 처리 챔버가 유휴상태에 있다는 것을 확인하기 위해 다수의 표시자들을 유리하게 모니터링한다. 게다가, 경감 또는 다른 지원 시스템들이 저 전력 모드에서 부적절하게 동작하지 않는 것을 보장하기 위해 본 발명의 장치는 페일세이프(failsafe)하다. 장치는 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 시스템 어댑터를 제공하고, 저 전력 모드에서 지원 시스템이 동작 할 수 있을 때 처리 챔버에 결합된 지원 시스템(예를 들어, 경감 시스템)에 명령하고 시스템 어댑터와 통신하기 위한 지원 어댑터를 제공함으로써 기존의 처리 시스템들 상에서 개장(retrofit)할 수도 있다. 본 발명의 장치는 그러므로 유휴 처리 치스템들에서의 에너지 소비를 감소시키는 것을 용이하게 한다.
도 1은 예시적인 처리 시스템(100) 및 이의 모니터링을 위한 장치(101)를 도시한다. 본 발명과 함께 사용될 수 있는 예시적인 처리 시스템들은 반도체, 평판, 광기전력, 태양 에너지, 다른 실리콘 및 박막 처리 등을 위하여 구성되는 것들을 포함한다. 처리 시스템(100)은 지원 시스템(예를 들어, 경감 시스템(108))에 결합되는 반도체 처리 챔버(104)와 같은 처리 챔버를 포함한다. 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)는 지원 어댑터(예를 들어, 경감 어댑터(106)) 및 시스템 어댑터(102)를 포함한다. 시스템 어댑터(102)는 챔버의 상태를 모니터링하기 위한 반도체 처리 챔버(104)에 결합된다. 예를 들어, 시스템 어댑터(102)는 챔버(104)가 유휴상태에 있는지 여부를 결정하기 위해 하나 이상의 표시자들을 모니터링 할 수 있다. 경감 어댑터(106)는 경감 시스템(108)에 결합되고, 이는 챔버(104)가 유휴라는 확인시에 저 전력 모드에서 동작할 수 있는 경감 시스템(108)에 신호를 선택적으로 제공하기 위함이다. 밑에서 논의되는 것처럼, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)는 적절한 동작을 보장하기 위해 시그널링 방법(105에 표시된 것처럼)에 의해 통신한다. 몇몇 실시예들에서, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)는 처리 챔버(104)가 유휴상태일 때만 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 보장하기 위해 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 페일세이프 양방향 통신 프로토콜을 사용하여 통신할 수 있다. 본 명세서에서 사용될 때, 페일세이프는 저 전력 모드에서 부적절하게 동작중인 경감 시스템(108)으로 인해 비-경감된 배출물(effluent)의 자연환경으로의 유입에 이르게 할 수 있는 경감 시스템(108)의 임의의 우연한(또는 의도적인) 우회를 회피하기 위해, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106)의 시그널링 컴포넌트들을 포함하는 임의의 컴포넌트의 고장이 통상의 전력 모드에서 실행되는 경감 시스템(108)에 이르게 할 것이라는 사실을 지칭한다.
처리 챔버(104)는 기판(예를 들어, 반도체 기판)을 처리하기 위한 임의의 적절한 챔버일 수 있다. 예를 들어, 처리 챔버(104)는 기상 또는 액상 처리들을 수행하기 위하여 구성될 수 있다. 이러한 기상 처리들의 비 제한적(non-limiting) 예들은 건식 화학 식각, 플라즈마 식각, 플라즈마 산화, 플라즈마 질화, 급속 열 산화, 에피택셜 증착 등을 포함할 수 있다. 이러한 액상 처리들의 비 제한적 예들은 습식 화학 식각, 물리적 액체 증착 등을 포함할 수 있다. 예시적 처리 챔버(104)는, 예를 들어, 기판 지지대, 하나 이상의 처리 가스들을 제공하기 위한 가스 패널, 및 처리 챔버 내의 처리 가스들을 분배하기 위한 수단들(예를 들어, 샤워 헤드 또는 노즐)을 포함할 수 있다. 챔버는 전기적으로 결합된, 유도적으로 결합된, 또는 원격의 플라즈마를 제공하기 위하여 구성될 수 있다. 챔버는 예를 들어, 급속 열 처리들(RTP) 또는 에피택셜 증착 처리들을 위하여 구성될 때, 하나 이상의 가열 램프들을 포함할 수 있다.
처리 챔버(104) 내에서 처리되는 기판은 반도체 처리 챔버 내에서 처리되는 임의의 적절한 기판일 수 있다. 기판은 결정 실리콘(예, Si<100> 또는 Si<111>), 실리콘 산화물, 스트레인드 실리콘, 실리콘 게르마늄, 도핑된 또는 비도핑된 폴리실리콘, 도핑된 또는 비도핑된 실리콘 웨이퍼들, 패터닝된 또는 비패터닝된 웨이퍼들, SOI(silicon on insulator), 탄소 도핑된 실리콘 산화물들, 실리콘 질화물, 도핑된 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소, 유리, 사파이어 등과 같은 물질을 포함할 수 있다. 기판은 또한 웨이퍼, (LCD (liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이, EL(electro luminescence) 램프 디스플레이 등과 같은) 디스플레이 기판, 태양 전지 어레이 기판, LED (light emitting diode) 기판 등일 수 있다. 기판은 직사각 또는 사각 패널들뿐만 아니라 200 mm 또는 300 mm 직경 웨이퍼들과 같은 다양한 치수들을 가질 수 있다.
처리 챔버(104)는 예를 들어, 기판 상에 물질의 층을 증착하기 위해, 기판에 도펀트를 도입하기 위해, 기판 또는 기판 상에 증착되는 물질을 식각하기 위해, 그 밖에 기판에 처리 등을 하도록 구성될 수 있다. 기판 상에 증착되는 이러한 층들은 반도체 디바이스(예를 들어, MOSFET(metal oxide semiconductor field effect transistor) 또는 플래시 메모리 디바이스) 내에서의 사용을 위한 층들을 포함할 수 있다. 이러한 층들은 실리콘 함유층들(예를 들어, 폴리실리콘, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 옥시니트라이드, 금속 실리사이드) 또는 대안적으로 금속 함유층들(예를 들어, 구리, 니켈, 금 또는 주석 함유층들) 또는 금속 산화물 층들(예를 들어, 하프늄 산화물)을 포함할 수 있다. 다른 증착된 층들은 예를 들어, 식각 정지층들, 포토레지스트층들, 하드마스크층들 등과 같은 희생층들을 포함할 수 있다.
처리 챔버(104)는 예를 들어, 기판의 최상부에(atop) 층을 형성하기 위해, 기판에서 물질을 제거하기 위해, 또는 그 밖에 기판 등의 상부에(upon) 노출되는 물질 층들과 반응시키기 위해 임의의 적절한 처리 가스 및/또는 처리 가스 혼합물을 사용할 수 있다. 이러한 처리 가스들은 실란(SiH4), 디클로로실란(Cl2SiH2) 등과 같은 실리콘-함유 가스들; 및/또는 유기금속들, 금속 할라이드들 등과 같은 금속-함유 가스들을 포함할 수 있다. 다른 처리 가스들은 헬륨(He), 아르곤(Ar), 질소(N2) 등과 같은 불활성 가스들; 및/또는 할로겐-함유 가스들, 산소(O2), 불화 수소(HF), 염화 수소(HCl), 브롬화 수소(HBr) 등과 같은 반응성 가스들을 포함할 수 있다.
따라서, 임의의 처리 가스 또는 액체, 처리 가스 또는 액체 혼합물, 기판, 증착된 물질들, 제거된 물질들 또는 이들의 조합물들이 포함되고/되거나 결합하여 처리 챔버로부터 배출되는 배출물들을 형성할 수 있다. 배출물들은 기판을 처리하기 위하여 또는 챔버 및/또는 챔버 컴포넌트들(예를 들어, 재사용가능한 처리 키트들 또는 처리 키트 쉴드들)을 세정하기 위하여 사용되는 처리 가스 또는 화학 작용제의 미반응된 또는 잉여 부분들을 포함할 수 있다. 이들 처리들에서 생성되는 배출물들은 가연성 및/또는 부식성 화합물들의 상이한 조성물들, 서브-마이크론 크기의 처리 잔여 미립자들 및 기상 핵생성된 물질들, 및 다른 위험한 또는 환경적으로 오염적인 화합물들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 배출물은 할로겐 함유 가스들의 상이한 조성물들, PFCs (perfluorocompounds), CFCs (chlorflurocompounds), HAPs(hazardous air products), VOCs(volatile organic compounds), GWGs(global warming gases), 가연성 및 독성 가스들 등을 포함할 수 있다.
처리 챔버(104)로부터의 배출물들(예를 들어, 가스 또는 액체 배출 시스템을 통해 배출된)은 경감 시스템(108)으로 보내진다. 경감 시스템(108)은 배출물을 환경적으로 안전한 물질로 변환하기 위해 작동한다. 예를 들어, 기상 처리를 위하여 구성되는 처리 챔버 내에서, 가스 상태의 배출물은 처리 챔버의 펌프 포트를 통해 배출될 수 있고 그리고 처리 챔버로부터 경감 시스템(108) 내부로 흘러갈 수 있다.
경감 시스템(108)은 반도체 처리 챔버(예를 들어, 처리 챔버(104))로부터의 배출물을 처리하고 받아들이기 위한 임의의 적절한 경감 시스템일 수 있다. 경감 시스템(108)은 단일 처리 챔버 또는 툴, 또는 다수의 처리 챔버들 및/또는 툴들을 경감시키기 위해 사용될 수 있다. 경감 시스템(108)은 예를 들어, 독성 형태들을 줄이기 위해 배출물을 변환하기 위한 처리들뿐만 아니라 배출물의 처리를 위한 열, 습식 스크러빙, 건식 스크러빙, 촉매의, 플라즈마 및/또는 유사한 수단들을 사용할 수 있다. 경감 시스템(108)은 처리 챔버(104)로부터의 배출물들의 특정한 형태(type)들을 처리하기 위한 다수의 경감 시스템들을 더 포함할 수 있다.
예시적인 경김 시스템은 예를 들어, 하나 이상의 스크러버, 열 반응기(즉, 연소 반응기), 수소화 반응기 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 식각 처리들을 위하여 구성되는 챔버로부터 배출되는 배출물은 염소(Cl2)와 같은 할로겐들 및 에틸렌(C2H4) 또는 프로필렌(C3H6)과 같은 불포화된 탄화수소들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 배출물은 불포화된 탄화수소들을 포화된 탄화수소들로 또는 할로겐들을 할로겐-함유한 가스들로 변환하기 위해 사용될 수 있는 수소화 반응기 내부로 최초로 주입될 수 있다. 예를 들어, 염소(Cl2)는 염화수소 산(HCl)으로 변환될 수 있고, 그리고 에틸렌(C4H6)은 에탄(C2H6)으로 변환될 수 있다.
수소화 반응기 내에서 처리되는 배출물은 다음에 액체 스크러버(즉, 워터 스크러버) 등과 같은 스크러버 내부로 흘러갈 수 있다. 예를 들어, 워터 스크러빙에서 배출물을 워터 스프레이 등을 통해 버블링하는 것과 같은 방법들을 사용하여 배출물은 물과 접촉하게 된다. 물에 용해 가능한 몇몇 배출물들은 스크러버에 의해 제거될 수 있다. 예를 들어, HCl과 같은 배출물은 물에 용해될 수 있고 배출물 스트림에서 제거될 수 있다.
스크러버에 의해 제거되지 않은 배출물(예를 들어, 포화된 탄화수소)은 열 반응기(즉, 연소 반응기) 내부로 흘러갈 수 있다. 대안적으로, 배출물들이 수소화 또는 스크러빙을 요구하지 않는 실시예들에서, 배출물들은 처리 챔버로부터 열 반응기로 직접 흘러갈 수 있다. 예를 들어, 예시적인 열 반응기는 자연환경으로 방출될 수 있는 이산화탄소(CO2) 및 물(H2O)을 형성하기 위해 산소(O2)와 같은 산소-함유 가스의 대기 내의 포화된 탄화수소들과 같은 배출물들을 연소시킬 수 있다.
상기 제시된 경감 시스템은 단지 예시적인 것이고, 다른 경감 및 지원 시스템들은 본 명세서에서 제시되는 본 발명의 방법들 및 장치로부터 이익을 얻을 수 있다. 예를 들어, 촉매 경감 시스템은 예를 들어, 스크러버와 함께 사용될 수 있다. 스크러버는 피해를 입힐 수 있는 배출물의 가스 상태의 또는 미립자의 컴포넌트들을 제거하기 위해 또는 촉매 반응기의 효과를 감소시키기 위해 촉매 반응기 내부로 유출물이 흘러들어가기 전에 또는 후에 사용될 수 있다. 촉매 반응기는 배출물을 환경적으로 안전한 물질 또는 스크러버 또는 연소 반응기에 의해 즉시 제거될 수 있는 물질 중 하나로 변환시키는 반응을 촉진시키는 촉매 표면을 포함할 수 있다. 촉매 표면은 촉매 반응기의 컴포넌트 또는 벽 상의 코팅, 거품 또는 펠릿들의 층(bed), 또는 미세하게 분할된 촉매를 지지하거나 촉매 물질로부터 구성되는 구조의 형태일 수 있다. 촉매 표면들은 예를 들어, 세라믹 물질(예를 들어, 코디어라이트, Al2O3, 실리콘 탄화물, 실리콘 질화물 등)을 포함하는 지지 구조 상에 있을 수 있다.
상기 언급된 것처럼, 반도체 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)는 처리 챔버(104)에 결합할 수 있는 시스템 어댑터(102) 및 경감 시스템(108)에 결합할 수 있는 경감 어댑터(106)을 포함한다. 시스템 어댑터(102)는 경감 어댑터(106)에 결합하고, 105에 표시된 것처럼 그것과 통신한다. 몇몇 실시예들에서, 장치(101)는 존재하는 처리 장비(예, 처리 챔버(104) 및 경감 시스템(108))에 유리하게 결합할 수 있고, 이에 의해 완전히 새로운 처리 및/또는 경감 장비에 투자하지 않고도 에너지를 절약하는 것을 용이하게 한다.
반도체 처리 시스템(100)을 모니터링하기 위한 장치(101)가 도 2a 에 더 상세히 도시되었다. 장치(101)는 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)를 포함하고, 이들은 시그널링 방법(105)에 의해 통신할 수 있다. 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 위한 확인 처리를 시작하기 위해, 시스템 어댑터(102)는 처리 챔버(104)로부터 표시자들(2021-N)을 모니터링함으로써 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인한다. 표시자들(2021-N)은 압력 센서, 디지털 출력, 광학 센서, RF 전력 생성기, 배출 아이솔레이션 밸브, 퍼지 가스 소스 밸브 등으로부터 수신되는 하나 이상의 입력 신호들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 광학 센서는 웨이퍼 카세트의 존재를 모니터링하기 위한 로드락 챔버에 결합할 수 있다. 대안적으로, 또는 결합하여, 디지털 출력은 전기 밸브로 신호를 제공할 수 있고, 상기 전기 밸브는 (예를 들어, 처리 챔버(104)로부터 가스 패널(미도시)을 격리시키는) 공기압 밸브를 구동한다. 여기서, 예를 들어, 표시자들(2021-N)은 디지털 출력으로부터의 신호, 가스 패널과 공기압 밸브 사이에 배치되는 압력 센서로부터의 신호, 또는 상기 모두일 수 있다. 만약 압력 센서가 압력을 감지한다면, 처리 챔버(104)는 동작중인 상태일 수 있다. 예를 들어, 시스템 제어기로부터 처리 챔버(104) 및/또는 챔버 컴포넌트들로의 신호들과 같은 다른 표시자들이 가능하다. 대안적으로 또는 결합하여, 표시자는 예를 들어, 처리 용적과 배출 용적(즉, 배출 포트) 사이에 배치되는 챔버 배출 아이솔레이션 밸브를 모니터링하는 것을 포함할 수 있다. 만약 아이솔레이션 밸브가 닫혔다면, 챔버는 유휴상태에 있을 수 있다. 다른 표시자들은 예를 들어, 포어라인(foreline) 퍼지 가스 소스를 제어하는 밸브들을 모니터링하는 것을 포함할 수 있다. 퍼지 가스 소스는 배출 포트를 펌프 및/또는 경감 시스템에 연결시키는 배출 포어라인을 퍼지하기 위해 사용될 수 있다. 퍼지 가스들은 배출 아이솔레이션 밸브가 닫혔을지라도 흐를 수 있다. 그러므로, 포어라인 퍼지 가스 소스들을 제어하는 밸브들을 모니터링하는 것은 처리 챔버의 유휴상태를 더 확인할 수 있다.
표시자들(2021-N)은 시스템 어댑터(102)에 들어간다. 도 2a에 도시된 것처럼, 시스템 어댑터(102)는 심박(heartbeat) 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 결합되는 상태 결정 시스템(204)을 포함한다. 상태 결정 시스템(204)은 표시자들(2021-N)을 수신할 수 있고 이를 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(204)에 의해 생성되는 출력 신호는 유휴 또는 동작 중 하나로 처리 챔버(104)의 상태를 표시한다.
상태 결정 시스템(204)은 표시자들(2021-N)을 단일 출력 신호로 변환하고, 상기 출력 신호는 저 전력에서의 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태를 표시한다. 상태 결정 시스템(204)은 도 2b에 더 상세히 도시되고, 그리고 몇몇 실시예들에서, 표시자들(2021-N)을 저 전력에서 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태로 표시되는 단일 출력 신호로 변환하기 위한 각 버퍼(2031-N)에 결합되는 각 표시자(2021-N) 및 로직 게이트(205)를 받아들이기 위한 버퍼(2031-N)를 포함한다. 각 버퍼(2031-N)는 적절한 신호 강도 또는 형태의 각 표시자(2021-N)를 만들기 위한 임의의 적절한 버퍼일 수 있어, 표시자는 로직 게이트(205)에 의해 처리될 수 있다. 예시적인 버퍼들은 이득 증폭기들, 아날로그-투-디지털 변환기들 등을 포함할 수 있다.
버퍼링 후에 로직 게이트(205)는 각 표시자(2021-N)를 수신하고, 표시자들(2021-N)을 단일 출력 신호로 변환한다. 로직 게이트(205)는 저 전력에서의 경감을 위한 처리 챔버(104)의 준비상태를 확인하기 위해 사용될 수 있는 로직 게이트들의 조합 또는 임의의 적절한 로직 게이트일 수 있다. 예를 들어, 그리고 도 2b에 도시된 것처럼, 로직 게이트(205)는 NOR 게이트로 구성될 수 있다. 이러한 구성에서, 모든 표시자들(2021-N)이 처리 챔버(104)가 유휴라는 것을 표시할 때, 저 전력에서 경감 시스템(108)을 동작시키기 위한 출력 신호가 로직 게이트(205)로부터 생성된다. 만약 적어도 하나의 표시자(2021-N)라도 챔버(104)가 유휴라는 것을 표시하지 않는다면 챔버가 여전히 하나 이상의 처리들을 동작시키고 있다는 것을 표시하는 로직 게이트(205)로부터 출력 신호가 생성된다. 이에 의해 신호가 존재하지 않거나(missing), 끊겼거나(disconnected), 또는 아니라면 기대되는 것과 다를 경우, 시스템 어댑터(102)는 저-전력 준비상태를 경감 어댑터(106)로 시그널링 하지 않을 것에 의해 로직 게이트(205)는 페일세이프 메커니즘을 유리하게 제공한다. 로직 게이트는 상기 제시된 것처럼 표시자들(2021-N; 예를 들어, AND, OR, NAND 등으로 구성되는 로직 게이트들과 같이)을 처리하도록 구성되는 하나 이상의 로직 게이트들을 포함할 수 있다.
도 2a로 돌아와서, 로직 게이트(205)에 의해 생성되는 출력 신호는 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 의해 수신된다. 심박 생성기(206)는 예를 들어, 파형 생성기 등일 수 있다. 심박 생성기(206)는 경감 어댑터(106)으로부터 신호들을 수신할 수 있고 경감 어댑터(106)로 신호들을 송신할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(206)는 하나 이상의 주파수들 및/또는 하나 이상의 진폭들에서 구형파들, 정현파들 등과 같은 주기적 신호를 전송하거나 수신할 수 있다. 주기적 신호는 미리 결정된 비율 또는 도 3 내지 도 4에 대해 아래서 제시되는 것과 같은 전혀 펜딩(not at all, pending) 중이 아닌 시스템 구성에서 반복적으로 전송될 수 있다. 로직 생성기(208)는 예를 들어, 마이크로제어기, 마이크로프로세서, 로직 상태 머신 등일 수 있다. 로직 생성기(208)는 경감 어댑터(106)로부터 메시지들을 수신하고 그리고 경감 어댑터(106)로 메시지들을 송신할 수 있다. 이러한 메시지들은 비트 시리얼 메시지들 등과 같은 암호화된 메시지들을 포함할 수 있다. 메시지들은 미리 결정된 비율 또는 도 3 내지 도 4에 대해 아래서 제시되는 것과 같은 전혀 펜딩(not at all, pending) 중이 아닌 시스템 구성에서 반복적으로 전송될 수 있다.
심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)에 의해 전송되는 메시지 및 주기적 신호는 경감 어댑터(106)에 의해 수신된다. 도 2a에 도시된 것처럼, 경감 어댑터(106)는 심박 생성기(210), 로직 생성기(212) 및 경감 제어 시스템(214)을 포함한다. 심박 생성기(210)는 시스템 어댑터(102)로부터 주기적 신호를 수신하고 그리고 시스템 어댑터(102)로 주기적 신호를 전송할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(210)는 시스템 어댑터(102)의 심박 생성기(206)로부터 주기적 신호를 수신하고 그리고 심박 생성기(206)로 주기적 신호를 전송할 수 있다. 로직 생성기(212)는 시스템 어댑터(102)로부터 메시지를 수신하고 그리고 시스템 어댑터(102)로 메시지를 전송할 수 있다. 예를 들어, 로직 생성기(212)는 시스템 어댑터(102)의 로직 생성기(208)로부터 메시지를 수신하고 그리고 로직 생성기(208)로 메시지를 전송할 수 있다. 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 경감 제어 시스템(214)으로 결합하고, 상기 경감 제어 시스템(214)은 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하여 저 전력 모드로 진입될 수 있음을 경감 시스템(108)에 시그널링할 수 있다.
심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 각각 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)와 유사하다. 예를 들어, 심박 생성기(210)는 하나 이상의 주파수들 및/또는 하나 이상의 진폭들에서 구형파들, 정현파들 등과 같은 주기적 신호를 전송하거나 수신할 수 있다. 주기적 신호는 미리 결정된 비율 또는 도 3 내지 도 4에 대해 아래서 제시되는 것과 같은 전혀 펜딩(not at all, pending) 중이 아닌 시스템 구성에서 반복적으로 전송될 수 있다. 로직 생성기(212)는 예를 들어, 마이크로제어기, 마이크로프로세서, 로직 상태 머신 등일 수 있다. 로직 생성기(212)는 로직 생성기(208)로부터 메시지들을 수신하고 그리고 로직 생성기(208)로 메시지들을 송신할 수 있다. 이러한 메시지들은 비트 시리얼 메시지들 등과 같은 암호화된 메시지들을 포함할 수 있다. 메시지들은 미리 결정된 비율 또는 도 3 내지 도 4에 대해 아래서 제시되는 것과 같은 전혀 펜딩(not at all, pending) 중이 아닌 시스템 구성에서 반복적으로 전송될 수 있다.
경감 제어 시스템(214)은 도 2c에 더 상세히 도시되고, 그리고 로직 게이트(213) 및 릴레이(215) 또는 다른 출력 스위칭 디바이스를 포함할 수 있다. 로직 게이트(213)는 예를 들어, 도시된 것처럼 AND 게이트일 수 있다. 그러나 AND 연산을 수행하기 위해 다른 적절한 로직 게이트들 또는 로직 게이트들의 결합들이 사용될 수 있다. 로직 게이트(213)는 릴레이(215)에 결합하고, 이의 연산을 제어한다. 릴레이(215)는 예를 들어, 고체 상태 릴레이 또는 반도체-기반 스위치, 콘택터 등과 같은 적절히 안전한 정격의 고체 상태 디바이스일 수 있다. 예를 들어, 로직 게이트(213)에 의해 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)로부터 수신되는 출력 신호들이 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인할 때, 로직 게이트(213)는 릴레이(215)를 작동시키고, 릴레이(215)는 닫힌다. 릴레이(215)의 디폴트 위치는 개방이고, 따라서 릴레이(215)의 작동에 의해 닫힐 수 있다. 예를 들어, 로직 게이트(213)에 의해 수신되는 출력 신호들 중 적어도 하나가 처리 챔버(104)의 유휴상태를 확인하지 않을 때, 로직 게이트(213)는 릴레이(215)를 동작시키지 않을 것이고, 그리고 경감 시스템(108)의 동작은 전체 전력에서 계속된다. 게다가, 릴레이(215)의 실패는 저 전력 모드가 진입될 수 있음을 경감 시스템(108)에 시그널링하지 않을 것이다.
도 2a로 돌아가서, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106)은 시그널링 방법(105)을 사용해서 통신한다. 도 2a에 도시된 것처럼, 시그널링 방법(105)은 양방향 시그널링 방법이고, 이를 통해 신호들은 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106) 모두로부터 그리고 모두로 이동한다. 시그널링 방법(105)은 시스템 어댑터(102)의 심박 생성기(206)와 경감 어댑터(106)의 심박 생성기(210) 사이에서 전송되는 주기적 신호(216); 및 시스템 어댑터(102)의 로직 생성기(208)와 경감 어댑터(106)의 로직 생성기(212) 사이에서 전송되는 메시지(218)를 포함할 수 있다.
상기 제시된 주기적 신호(216)는 구형파, 정현파 등일 수 있다. 주기적 신호(216)는 약 1-1000 Hz 사이의 주파수에서 전송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 주기적 신호(216)는 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이의 각 패스(pass)에 대해 주파수에서 변할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(206)는 제1 주파수(예를 들어, 1 Hz)에서 심박 생성기(210)로 주기적 신호(216)를 전송할 수 있다. 다음에, 심박 생성기(210)는 동일 주파수(즉, 1Hz)에서 심박 생성기(206)로 주기적 신호(216)를 복귀시킬 수 있다. 앞의 예는 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이의 주기적 신호의 하나의 '패스'로 고려될 수 있다. 심박 생성기(210)로부터 주기적 신호(216)를 다시 수신할 시에, 심박 생성기(206)는 주기적 신호(216)의 주파수를 조정할 수 있고(예를 들어, 10 Hz로), 조정된 주기적 신호(216)를 심박 생성기(210)로 전송할 수 있다. 조정된 주기 신호(216)를 수신할 시에, 심박 생성기(210)는 조정된 주기적 신호를 심박 생성기(206)로 복귀시킨다. 그러므로, 제2 패스는 10 Hz의 조정된 주기적 신호를 이용하여 심박 생성기(206)와 심박 생성기(210) 사이에서 완료되었다. 심박 생성기들 사이의 보다 많은 패스들이 수행될 수 있고, 보다 많은 패스들은 각 패스를 이용하여 주기적 신호(216)의 주파수를 조정한다. 심박 생성기들 사이의 주기적 시그널링은 페일세이프 동작의 수단을 제공할 수 있다. 예를 들어, 주기적 신호는 심박 생성기들 사이의 각 패스들을 이용하여 조정 중이고, 그러므로 이러한 조정 신호는 다른 수단들에 의해 복제되기 어렵게 만든다. 게다가, 심박 생성기들은 양방향 통신이 되고, 이들 사이에 조정되는 주기적 신호를 패스한다. 조정되는 주기적 신호의 양방향 통신의 임의의 두절은 전체 전력에서 경감 시스템(108)의 동작을 계속하게 할 것이다. 몇몇 실시예들에서, 심박 생성기들은 몇몇 특정한 간격에서 또 다른 심박 생성기로부터의 신호를 수신하기 위해 예상하도록 더 구성된다. 이처럼, 다음으로 시그널링하기 위해 하나의 심박 생성기의 실패는 저 전력 모드로 들어갈 수 있는 경감 시스템이 시그널링되는 것을 방지할 것이다. 시간의 특정한 기간 후에, 심박 생성기는 본 명세서에서 제시된 것처럼 인접한 심박 생성기로부터 신호를 듣는 것을 다시 시작할 수 있다.
상기 논의된 것처럼 메시지(218)는 비트 시리얼 메시지 등과 같은 암호화된 메시지일 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메시지(218)는 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이의 각 패스들과 함께 변할 수 있다. 예를 들어, 로직 생성기(208)는 문자들, 숫자들, 심볼들 등의 제1 암호화된 스트링을 포함하는 메시지(218)를 로직 생성기(212)로 전송할 수 있다. 다음에, 로직 생성기(212)는 제1 암호화된 스트링(즉, 동일 메시지)을 로직 생성기(208)로 복귀시킬 수 있다. 앞의 예는 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이의 메시지(218)의 하나의 '패스'로 고려될 수 있다. 로직 생성기(212)로부터 돌아온 제1 스트링을 포함하는 메시지(218)를 수신할 시에, 로직 생성기(208)는 메시지(218)를 예를 들어, 문자들, 숫자들 등의 제2 스트링으로 바꾸고, 제2 스트링을 로직 생성기(212)로 전송한다. 제2 스트링을 수신할 시에, 로직 생성기(212)는 조정된 주기적 신호를 로직 생성기(208)로 복귀시킨다. 그러므로, 제2 패스는 제2 스트링을 이용하여 로직 생성기(208)와 로직 생성기(212) 사이에서 완성된다. 로직 생성기들 사이의 보다 많은 패스들이 수행될 수 있고, 보다 많은 패스들은 각 패스를 이용하여 메시지(218)를 조정한다. 상기 제시된 주기적 시그널링과 유사하게, 로직 생성기들 사이의 메시징은 페일세이프 동작의 수단을 제공할 수 있다. 예를 들어, 메시지(218)는 고유하고 복제될 가능성이 없다. 게다가, 메시지(218)는 패스들 사이에서 변화하고, 이는 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 보안 통신의 부가적 수단을 제공한다. 게다가, 변화하는 메시지(218)의 양방향 통신의 임의의 두절은 전체 전력에서 경감 시스템(108)의 동작을 야기하기 위해 계속될 것이다.
동작 중에, 표시자들(2021-N)은 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있는지 여부를 결정하기 위해 상태 결정 시스템(204)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 임의의 하나의 표시자(202)가 시스템이 유휴 중이 아니라고 시그널링한다면 출력 신호는 상태 결정 시스템(204)으로부터 생성될 수 없고, 또는 대안적으로, 출력 신호가 생성될 수 있고 그리고 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있지 않다는 것을 표시하는 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 전송될 수 있다. 결과적으로, 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)는 임의의 주기적 신호(216) 또는 메시지(218)를 경감 어댑터(106)로 통신할 수 없고, 또는 대안적으로, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 통신 링크를 유지하는 수단으로서 시스템 어댑터와 경감 어댑터 사이의 동일(즉, 비-변화형) 주기적 신호(216) 및 메시지(218)를 연속적으로 통신할 수 있다. 예를 들어, 페일 세이프 동작의 수단으로서, 만약 통신 링크가 고장난다면, 경감 시스템(108)은 전체 전력으로 동작을 계속할 것이다.
예를 들어, 만약 상태 결정 시스템(204)에 의해 모니터링되는 표시자들(2021-N)이 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다는 것을 확인하면, 출력 신호가 상태 결정 시스템(204)에서 생성되고 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 전송된다. 제1 주기적 신호 및 제1 메시지 중 하나를 전송함으로써 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)은 그 후 경감 어댑터(106)의 대응하는 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)와 통신할 수 있거나, 또는 대안적으로 새로운 주기적 신호(예, 상이한 주파수에서) 및 새로운 메시지(예, 상이한 메시지)를 전송한다. 예를 들어, 제1 주기적 신호 및 제1 메시지는 처리 챔버가 저 전력 모드에서 경감을 위한 유휴 및 준비상태라는 것을 경감 어댑터에 표시한다. 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 제1 주기적 신호 및 제1 메시지가 수신된다는 것을 확인하는 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)로 제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 다시(back) 통신한다. 그러므로, 제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 사용하는 제1 패스는 상기 제시된 것처럼 완성된다.
제1 주기적 신호 및 제1 메시지를 다시 수신할 시에, 심박 생성기(206) 및 로직 생성기(208)는 다음에 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)로 제2 주기적 신호 및 제2 메시지를 전송한다. 제2 주기적 신호 및 제2 메시지는 제1 주기적 신호 및 제1 메시지와 상이하다. 예를 들어, 제2 주기적 신호는 상이한 주파수를 가질 수 있고, 제2 메시지는 상이한 메시지일 수 있다. 경감 어댑터(106)의 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 제2 주기적 신호 및 제2 메시지를 수신하고, 이들 모두를 다시 시스템 어댑터(102)로 전송하고, 이에 의해 제2 패스를 완성한다. 다수의 패스들은 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106) 사이에서 수행될 수 있고, 각 패스는 이전의 패스와 상이한 주기적 신호 및 상이한 메시지를 갖는다. 몇몇 실시예들에서, 각 연속하는 주기적 신호는 이전의 신호보다 높은 주파수에 있을 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 예를 들어, 임시적인 수단들에 의한 논리 기능의 실패를 방지하기 위해, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이에서 패스되는 각 연속하는 메시지는 내용, 전압 레벨, 비트 레이트, 또는 이들의 결합들에서 변경될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 동작중이고 양립 가능한 디바이스(예, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중의 하나)가 들어오는 메시지들 및 인정된 그들의 유효성을 그들을 재-송신하기 전에 판독한 것을 표시하기 위해, 각 연속하는 어댑터(예, 시스템 어댑터(102) 및 경감 어댑터(106))는 메시지 내의 비트 필드를 변경 또는 부가할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메시지들을 변경하는 상기 기법은 메시지 발신자(originator; 예, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중 하나) 에 결합되는 수신 디바이스들 또는 경감 장비의 아이덴티티 또는 상태에 대해서 메시지 발신자(예, 시스템 어댑터(102) 또는 경감 어댑터(106) 중 나머지)에게 피드백을 제공하는 것과 같은 부가적 기능들을 위하여 사용될 수 있다.
시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 메시지를 변화시키고 주기적 신호를 변화시키는 충분한 수의 패스들 후에, 시스템 어댑터(102)는 처리 챔버(104)가 저 전력 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있다는 것을 경감 어댑터(106)에 전달한다. 몇몇 실시예들에서, 충분한 수의 패스들은 약 1, 또는 약 1 내지 약 100, 또는 그 이상으로 한정될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 충분한 수의 패스들은 약 50개일 수 있다. 다음에, 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212)는 경감 시스템(108)이 저 전력 모드에서 동작할 수 있음을 경감 제어 시스템(214)으로 시그널링한다. 페일세이프 동작의 추가 수단으로서, 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212) 모두는 경감 시스템(108)이 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링되기 위해서는, 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다는 것을 승인해야만 한다. 그러므로, 경감 제어 시스템(214)의 로직 게이트(213)는 그것이 심박 생성기(210) 및 로직 생성기(212) 모두로부터 확인 신호를 수신한 때에만 릴레이(215)를 닫을 것이다. 각 생성기로부터 확인 신호를 수신할 시에, 릴레이(215)는 닫히고 저 전력 모드로 스위칭될 수 있는 경감 시스템(108)이 시그널링된다.
경감 시스템(108)은 처리 챔버(104)가 유휴상태에 있다고 표시하는 표시자들(2021-N)로 제공되는 저 전력 모드에서 동작할 수 있다. 만약 적어도 하나의 표시자(202)가 바뀌거나 또는 두절된다면, 경감 시스템(108)은 전체 전력에서 경감으로 복귀할 것이다. 만약, 시스템 어댑터(102)와 경감 어댑터(106) 사이의 통신 링크가 두절되거나, 심박 생성기들 또는 로직 생성기들 사이의 양방향 통신들 중 적어도 하나가 두절되고/되거나 인터럽트되면, 경감 시스템(108)은 전체 전력에서 경감으로 복귀할 것이다. 게다가, 전력이 처리 챔버, 처리 챔버 컴포넌트들, 시스템 어댑터, 경감 어댑터, 또는 처리 시스템(100)과 함께 동작하도록 구성되는 임의의 디바이스로 인터럽트(예, 턴 오프)되면, 경감 시스템(108)은 전체 전력에서의 동작으로 복귀할 것이다. 그러므로, 몇몇 여분의 페일세이프 메커니즘들이 처리 챔버(104)가 유휴상태라는 확인이 이루어질 때 저 전력 모드에서 경감 시스템(108)의 동작을 위한 장치(101) 내에 포함된다.
여기서 제시되는 본 발명의 장치는 하나의 경감 시스템에 결합되는 두 개 이상의 처리 챔버들 또는 도 3 내지 도 4에서 아래 제시되는 것처럼 두 개 이상의 경감 시스템들에 결합되는 두 개 이상의 처리 챔버들을 포함하는 반도체 처리 시스템들과 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 것처럼, 제1 처리 챔버(302), 제2 처리 챔버(304), 및 경감 시스템(306)을 포함하는 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위하여 장치(300)가 사용될 수 있고, 각 처리 챔버는 그곳으로의 배출물들의 배출을 위한 경감 시스템(306)에 결합한다. 처리 챔버들(302, 304) 및 경감 시스템(306)은 상기 제시된 것처럼 처리 챔버 또는 경감 시스템의 임의의 적절한 구성일 수 있다.
장치(300)는 제1 처리 챔버(302)의 상태를 모니터링하기 위한 제1 시스템 어댑터(308) 및 제2 처리 챔버(304)의 상태를 모니터링하기 위한 제2 시스템 어댑터(310)을 포함한다. 제1 시스템 어댑터(308) 및 제2 시스템 어댑터(310)는 경감 어댑터(312)와 통신하도록 구성되고, 그곳에서, 경감 어댑터(312)는 경감 시스템(306)에 결합하고, 처리 챔버들의 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 경감 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성된다. 제1 시스템 어댑터(308), 제2 시스템 어댑터(310) 및 경감 어댑터(312)는 시그널링 방법(313)에 의해 통신한다.
제1 시스템 어댑터(308)는 상기 제시된 것처럼 시스템 어댑터(102)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 시스템 어댑터(308)는 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)에 결합되는 상태 결정 시스템(316)을 포함한다. 상태 결정 시스템(316)은 제1 처리 챔버(302)로부터 하나 이상의 표시자들(3141-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(316)에 의해 생성되는 출력 신호는 제1 처리 챔버(302)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템(316), 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)는 도 2a 및 도 2b에 대하여 상기 제시된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 심박 생성기(318)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(320)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
제2 시스템 어댑터(310)는 상기 제시된 것처럼 시스템 어댑터(102)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제2 시스템 어댑터(310)는 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)에 결합되는 상태 결정 시스템(324)을 포함한다. 상태 결정 시스템(324)은 제2 처리 챔버(304)로부터 하나 이상의 표시자들(3221-N)을 수신할 수 있고 이들을 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(324)에 의해 생성되는 출력 신호는 제2 처리 챔버(304)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템(324), 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)는 도 2a 및 도 2b에 대하여 상기 제시된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 상기 제시된 것처럼 심박 생성기(326)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(328)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
경감 어댑터(312)는 도 2a 내지 도 2c에 대하여 상기 제시된 것처럼 경감 어댑터(106)의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 경감 어댑터(312)는 심박 생성기(330), 로직 생성기(332) 및 경감 제어 시스템(334)을 포함한다. 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)는 경감 제어 시스템(334)에 결합하고, 그곳에서 경감 제어 시스템(334)은 경감 시스템(306)을 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하는 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 게다가, 상태 제어 시스템(334), 심박 생성기(332) 및 로직 생성기(334)는 도 2a 내지 도 2c에 대하여 상기 제시된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 상기 제시된 것처럼 심박 생성기(330)는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 로직 생성기(332)는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
시그널링 방법(313)은 시그널링 방법(105)과 일반적으로 유사할 수 있다. 시그널링 방법(313)은 장치(300)의 어댑터들 사이의 주기적 신호(315) 및 메시지(317) 모두의 통신을 포함할 수 있다. 그러나, 시스템 어댑터(102) 와 경감 어댑터(106) 사이의 양방향 시그널링과 대조적으로, 시그널링 방법(313)은 순환적 또는 '전가(pass it along)' 시그널링 방식을 포함한다. 예를 들어, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제1 시스템 어댑터(308)에서 생성될 수 있고 그 후에 경감 어댑터(312)로 패스된다. 경감 어댑터(312)로부터, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 그 후에 제2 시스템 어댑터(310)로 패스될 수 있고 그리고 결국 제1 시스템 어댑터(308)로 다시 돌아온다. 이처럼, 도 3에 도시된 것처럼 시그널링 방법(313)은 장치(300)의 어댑터들을 통해 시계방향 운행으로 진행한다. 그러나, 이 시계방향 운행은 단지 설명적인 것이고, 시그널링 방법의 다른 구성들이 가능하다. 예를 들어, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제2 시스템 어댑터(310)에서 시작될 수 있다. 제2 시스템 어댑터(310)로부터, 주기적 신호(315) 또는 메시지(317)는 제1 시스템 어댑터(308; 즉, 시계방향 운행으로)로 넘겨질 수 있고, 또는 대안적으로, 경감 어댑터(312; 즉, 반시계방향 운행으로)로 넘겨질 수 있다. 그러므로, 주기적 신호(315) 및 메시지(317)는 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나가 저 전력 모드에서의 경감을 위하여 유휴 및 준비상태라는 것을 표시하는 제1 시스템 어댑터 또는 제2 시스템 어댑터 중 하나에서 시작할 수 있다. 페일세이프 동작의 수단으로서, 장치(300)는 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태일 때만 경감 시스템(306)에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링할 것이다.
동작 중에, 그리고 하나의 예시적 구성에서, 표시자들(3141-N)은 제1 시스템 어댑터(308)의 상태 결정 시스템(316)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 표시자들(3141-N)이 제1 처리 챔버(302)가 유휴상태에 있다는 것을 확인한다면, 상태 결정 시스템(316)은 주기적 신호(315) 및 메시지(317)를 개시하기 위해서 또는 대안적으로, 상기 제시된 것처럼 존재하는 주기적 신호 및 메시지를 조정하기 위해서 심박 생성기(318) 및 로직 생성기(320)로 출력 신호를 전송한다. 예를 들어, 심박 생성기(318)는 주기적 신호(315)를 높은 주파수로 조정(예를 들어, 1Hz로부터 10Hz)할 수 있고, 로직 생성기(320)는 메시지(317)를 변화시킬 수 있고, 그 곳에서 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 처리 챔버(302)가 저 전력에서의 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태라는 것을 표시한다.
조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 시스템 어댑터(308)로부터 경감 어댑터(312)의 대응하는 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)로 패스된다. 경감 어댑터(312)는 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)를 통해 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신하고 제2 시스템 어댑터(310)의 대응하는 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)로 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 재-송신한다. 만약 표시자들(3221-N)이 제2 처리 챔버가 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있다고 표시한다면, 심박 생성기(326) 및 로직 생성기(328)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 제1 시스템 어댑터(308)로 재-송신할 것이다. 그러므로, 제2 처리 챔버(302)도 또한 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있다는 것을 제1 시스템 어댑터(308)로 통신한다.
그러나, 만약 제2 처리 챔버(304)가 유휴상태에 있지 않다면, 제2 시스템 어댑터(310)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 제1 시스템 어댑터(308)로 재-송신하지 않는다. 이러한 실시예들에서, 제2 시스템 어댑터(310)는 원시 주기적 신호(즉, 1Hz에서) 및 원시 메시지를 송신하는 것을 계속할 수 있고, 또는 대안적으로 제2 처리 챔버(304)가 여전히 동작중이고 저 전력에서 경감을 위한 준비상태가 아니라는 것을 시그널링하는 수단으로서, 제1 시스템 어댑터(308)로 임의의 주기적 신호 및 메시지를 송신하지 않을 수 있다. 제1 시스템 어댑터(308)가 원시 주기적 신호 및 원시 메시지를 수신한 때, 전송된 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지에 대립하는 것으로, 제1 시스템 어댑터(308)가 제2 시스템 어댑터(310)로부터 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신할 때까지 제1 시스템 어댑터(308)가 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 전송하기 위해 계속될 수 있고, 이는 제2 처리 챔버(304)가 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있다는 것을 표시한다.
몇몇 실시예들에서, 제2 처리 챔버(304)가 저 전력 상태에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있으면, 제2 시스템 어댑터(310)는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 시작되는 제1 시스템 어댑터(308)로 재-송신한다. 그러므로, 상기 논의된 것처럼, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 장치(300)의 어댑터들을 돌아서 하나의 '패스'를 이룬다. 제2 처리 챔버(304)가 또한 유휴상태라는 것을 확인하는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 수신할 시에, 제1 시스템 어댑터(308)는 제2 조정된 주기적 신호(예를 들어, 20Hz의 주파수에서) 및 제2 새로운 메시지를 경감 어댑터(312)로 송신한다. 제2 조정된 주기적 신호 및 제2 새로운 메시지를 이용하여 제2 패스를 완성할 시에, 제1 시스템 어댑터(308)는 제3 조정된 주기적 신호 및 제3 새로운 메시지를 송신한다. 경감 어댑터(312)가 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버가 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태라는 것을 확인할 때까지, 제1 시스템 어댑터(308)는 각 성공한 패스를 이용하여 새로운 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지를 송신하는 것을 계속한다. 확인이 이루어진 때, 경감 어댑터(312)의 심박 생성기(330) 및 로직 생성기(332)는 저 전력 모드에서 동작할 수 있는 경감 시스템(306)을 시그널링하기 위해 경감 제어 시스템(334)로 출력 신호를 송신한다.
상기 제시된 것처럼, 장치(300)의 어댑터들 사이의 통신 루프 상의 임의의 중단, 전력의 손실, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나의 표시자들의 두절은 경감 시스템(306)을 전체 전력에서의 동작으로 복귀시킬 것이다.
본 명세서에서 제시되는 본 발명의 장치는 다수의 처리 챔버들 및 다수의 경감 또는 지원 시스템들을 포함하는 다른 처리 시스템 또는 반도체와 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 것처럼, 장치(400)는 제1 처리 챔버(402), 제2 처리 챔버(404), 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)을 포함하는 반도체 처리 시스템을 모니터링하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들어, 몇몇 실시예들에서, 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버는 제1 경감 시스템 또는 제2 경감 시스템 중 하나 또는 모두로 배출물들을 배출할 수 있다. 제1 처리 챔버(402) 및 제2 처리 챔버(404)와 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)은 상기 제시된 것처럼 처리 챔버 또는 경감 시스템의 임의의 적절한 구성일 수 있다.
장치(400)는 제1 처리 챔버(402)의 상태를 모니터링하기 위한 제1 시스템 어댑터(410) 및 제2 처리 챔버(404)의 상태를 모니터링하기 위한 제2 시스템 어댑터(412)를 포함한다. 제1 및 제2 시스템 어댑터들(410, 412)은 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)과 통신하도록 구성되고, 그곳에서 제1 경감 어댑터(414)는 제1 경감 시스템(406)에 결합하고 제2 경감 어댑터(416)는 제2 경감 시스템(408)에 결합한다. 제1 및 제2 경감 어댑터들은 처리 챔버들의 상태에 응답하여 저 전력 모드들에서 제1 및 제2 경감 시스템들(406, 408)을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성될 수 있다. 제1 시스템 어댑터(410), 제2 시스템 어댑터(412), 제1 경감 어댑터(414) 및 제2 경감 어댑터(416)는 시그널링 방법(445)에 의해 통신한다. 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들 사이에서 주기적 신호(446) 및 메시지(448)를 패스하는 것을 포함한다.
제1 및 제2 시스템 어댑터들(410, 412)은 상기 제시된 것처럼 임의의 시스템 어댑터의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 시스템 어댑터(410)는 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424)에 결합되는 상태 결정 시스템(420)을 포함한다. 상태 결정 시스템(420)은 제1 처리 챔버(402)로부터 하나 이상의 표시자들(4181-N)을 수신할 수 있고 이를 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환할 수 있다. 상태 결정 시스템(420)에 의해 생성되는 출력 신호는 제1 처리 챔버(402)의 상태를 유휴 도는 동작 중 하나로 표시한다. 유사하게, 제2 시스템 어댑터(412)는 심박 생성기(430) 및 로직 생성기(432)에 결합되는 상태 결정 시스템(428)을 포함한다. 상태 결정 시스템(428)은 제2 처리 챔버(404)로부터 하나 이상의 표시자들(4261-N)을 수신하고 이를 심박 생성기(430) 및 로직 생성기(432) 모두로 송신될 수 있는 단일 출력 신호로 변환한다. 상태 결정 시스템(428)에 의해 생성되는 출력 신호는 제2 처리 챔버(404)의 상태를 유휴 또는 동작 중 하나로 표시한다. 게다가, 상태 결정 시스템들(420, 428), 심박 생성기들(422, 430) 및 로직 생성기들(424, 432)은 도 2a 및 도 2b에 대하여 상기 제시된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 각 심박 생성기는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 각 로직 생성기는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)은 상기 제시된 것처럼 임의의 경감 어댑터의 실시예들과 유사할 수 있다. 이처럼, 제1 경감 어댑터(414)는 심박 생성기(434), 로직 생성기(436) 및 경감 제어 시스템(438)을 포함한다. 심박 생성기(434) 및 로직 생성기(436)는 경감 제어 시스템(438)에 결합하고, 그곳에서 경감 제어 시스템(438)은 경감 시스템(406)을 심박 생성기(434) 및 로직 생성기(436)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하는 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 유사하게, 제2 경감 어댑터(416)는 심박 생성기(440), 로직 생성기(442) 및 경감 제어 시스템(444)을 포함한다. 심박 생성기(440) 및 로직 생성기(442)는 경감 제어 시스템(444)에 결합하고, 그곳에서 경감 제어 시스템(444)은 경감 시스템(408)을 심박 생성기(440) 및 로직 생성기(442)로부터 수신되는 출력 신호들에 기초하는 저 전력 모드로 스위칭할 수 있다. 게다가, 상태 제어 시스템(438, 444), 심박 생성기(434, 440) 및 로직 생성기(436, 442)는 도 2a 내지 도 2c에 대하여 상기 제시된 것들과 유사할 수 있다. 예를 들어, 상기 제시된 것처럼 각 심박 생성기는 주기적 신호를 전송 및 수신할 수 있고, 그리고 각 로직 생성기는 암호화된 메시지를 전송 및 수신할 수 있다.
시그널링 방법(445)은 시그널링 방법(313)과 일반적으로 유사할 수 있다. 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들 사이의 주기적 신호(446) 및 메시지(448) 모두의 통신을 포함할 수 있다. 시그널링 방법(445)은 순환적 또는 '전가' 시그널링 방식을 포함한다. 예를 들어, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제1 시스템 어댑터(410)에서 생성될 수 있고 그 후에 제1 경감 어댑터(414)로 패스될 수 있다. 제1 경감 어댑터(414)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 그 후에 제2 시스템 어댑터(416)로 패스될 수 있다. 제2 경감 어댑터(416)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제2 시스템 어댑터(412)로 패스될 수 있고, 그리고 결국 제1 시스템 어댑터(410)로 다시 돌아올 수 있다. 이처럼, 도 4에 도시된 것처럼 시그널링 방법(445)은 장치(400)의 어댑터들을 통해 시계방향 운행으로 진행한다. 그러나, 이 시계방향 운행은 단지 설명적인 것이고, 도 3에 대하여 상기 제시된 것처럼 시그널링 방법의 다른 구성들이 가능하다. 예를 들어, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제2 시스템 어댑터(412)에서 시작될 수 있다. 제2 시스템 어댑터(412)로부터, 주기적 신호(446) 또는 메시지(448)는 제1 시스템 어댑터(410; 즉, 시계방향 운행으로)로 넘겨질 수 있고, 또는 대안적으로, 제2 경감 어댑터(416; 즉, 반시계방향 운행으로)로 넘겨질 수 있다. 그러므로, 주기적 신호(446) 및 메시지(448)는 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나가 저 전력 모드에서의 경감을 위한 유휴 및 준비상태라는 것을 표시하는 제1 시스템 어댑터 또는 제2 시스템 어댑터 중 하나에서 시작할 수 있다. 페일세이프 동작의 수단으로서, 장치(400)는 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태일 때만 저 전력 모드들에서 동작할 수 있는 제1 경감 시스템(406) 및 제2 경감 시스템(408)을 시그널링할 것이다.
동작 중에, 그리고 하나의 예시적 구성에서, 표시자들(4181-N)은 제1 시스템 어댑터(410)의 상태 결정 시스템(420)에 의해 모니터링될 수 있다. 만약 표시자들(4181-N)이 제1 처리 챔버(402)가 유휴상태에 있다는 것을 확인한다면, 상태 결정 시스템(420)은 주기적 신호(446) 및 메시지(448)를 개시하기 위해서 또는 대안적으로, 상기 제시된 것처럼 존재하는 주기적 신호 및 메시지를 조정하기 위해서 심박 생성기(422) 및 로직 생성기(424)로 출력 신호를 전송한다. 예를 들어, 심박 생성기(422)는 주기적 신호(446)를 높은 주파수로 조정(예를 들어, 1Hz로부터 10Hz)할 수 있고, 로직 생성기(424)는 메시지(448)를 변화시킬 수 있고, 그 곳에서 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 제1 처리 챔버(402)가 저 전력에서의 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태라는 것을 표시한다.
도 4에 도시된 것처럼, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지는 장치(400)의 어댑터들을 돌아서 시계방향 운행으로 송신될 수 있다. 시그널링 방법(313)과 유사하게, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지의 하나의 '패스'는 각 어댑터에 의해 송신 및/또는 수신되고 그리고 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 시작되는 어댑터(즉, 제1 시스템 어댑터(410))로 복귀되는 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지로 구성된다. 예를 들어, 그리고 상기 제시된 것처럼, 만약 제2 처리 챔버(412)가 유휴상태가 아니라면, 조정된 신호 및 새로운 메시지는 하나의 패스를 완성하기 위해 허용되지 않을 것이다.
조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 하나의 패스를 완성할 때, 조정된 주기적 신호 및 새로운 메시지가 시작되는 어댑터는 제2 조정된 주기적 신호 및 제2 새로운 메시지를 전송함에 의해 응답할 수 있다. 각 성공적 패스들을 이용하여, 원시 어댑터(즉, 제1 시스템 어댑터(410))는 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)이 제1 및 제2 처리 챔버들(402, 404) 모두가 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태들이라는 것을 확인할 때까지, 주기적 신호를 조정할 수 있고 메시지를 변화시킬 수 있다. 확인 시에, 상기 제시된 것처럼 제1 및 제2 경감 어댑터들(414, 416)은 제1 및 제2 경감 시스템들(406, 408)을 저 전력 모드들로 스위칭할 수 있다.
상기 제시되 것처럼, 장치(400)의 어댑터들 사이의 통신 루프의 임의의 중단, 전력의 손실, 제1 처리 챔버 또는 제2 처리 챔버 중 하나의 표시자들의 두절은 경감 시스템들(406, 408)을 전체 전력에서의 동작으로 복귀시킬 것이다.
본 명세서에서 제시된 본 발명의 장치는 임의의 요구되는 수의 처리 챔버들 및 경감 시스템들을 포함하는 임의의 적절한 반도체 처리 시스템과 함께 사용될 수 있다. 이처럼, 본 발명의 장치는 처리 시스템이 요구할 수 있는 것만큼 임의의 적당한 수의 시스템 어댑터들 및 경감 어댑터들을 포함할 수 있다. 시스템 어댑터들 및 경감 어댑터들은 본 발명의 장치의 각 어댑터로 주기적 신호 및 메시지를 '패스'하도록 상기 제시된 것처럼 구성될 수 있어, 각 시스템 어댑터는 각 처리 챔버가 저 전력에서 경감을 위한 준비상태 및 유휴상태에 있다는 것을 확인한 때 각 경감 어댑터는 저 전력 모드에서 각 경감 시스템을 동작시킬 수 있다.
상기 언급된 것처럼, 본 발명의 방법들 및 장치는 처리 장비와 연관된 다른 에너지 소비 장비처럼, 부가적 지원 장비를 제어하기 위해 또한 사용될 수 있다. 이러한 지원 장비의 비-제한적 예들은 터보 펌프들, 러핑(roughing) 펌프들, 퍼지 가스 공급기들, 처리 워터 냉각장치들, 워터 루프들을 냉각시키는 설비들, 루프들을 냉각시키는 챔버, 열 교환기들 및 다른 것들을 포함한다. 이들은 웨이퍼 처리 유휴 시간들 중에 저 에너지 모드들로 스위칭될 때 유의적인 에너지 절약을 또한 가져온다. 본 발명의 장치의 모듈러 및 스케일러블 설계의 장점에 의해, 본 발명의 장치는 경감 장비 외에도 이러한 디바이스들을 제어하기에 특히 더 적합하다.
게다가, 본 발명의 방법들 및 장치는 반도체 장비에 제한될 필요는 없고, 광범위한 장비와 함께 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 장치는 전력 생성 장비, 화학적 처리 장비, 정련기 등의 상에서 경감 및 지원 장비에 개장될 수 있다. 본 발명의 장치는 전술한 애플리케이션들에서 전형적으로 사용되는 종래의 전압 또는 전류 루프 인터로크들보다 유리하게 더 견고하고, 안전하고, 더 쉽게 확장할 수 있다.
그러므로, 반도체 처리 챔버를 모니터링하기 위한 방법들 및 장치가 본 명세서에서 제공되고 있다. 본 발명의 장치는 처리 챔버가 실제로 유휴상태에 있는지를 저 전력 모드에서 경감 시스템을 동작시키기에 앞서 확인하기 위해 다수의 표시자들을 유리하게 모니터링할 수 있다. 게다가, 본 발명의 장치는 만약 임의의 표시자, 시스템 어댑터와 경감 어댑터 사이의 통신 링크, 시스템 전력 등이 두절되면 경감 시스템이 전체 전력에서의 동작으로 복귀할 수 있도록 페일세이프 메커니즘을 포함한다.
전술한 것은 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 그리고 더 개선된 실시예들은 본 발명의 기본 범위를 벗어나지 않고 고안될 수 있다.
Claims (13)
- 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치로서,
제1 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터 ― 상기 제1 시스템 어댑터는,
상기 제1 처리 챔버로부터 하나 또는 그 초과의 표시자(indicator) 신호들을 수신하고 상기 하나 또는 그 초과의 표시자 신호들을 단일 출력 신호로 변환하기 위한 상태 결정 시스템; 및
주기적 신호를 전송하고 수신할 수 있는 상기 상태 결정 시스템에 결합되는 제1 파형 생성기를 포함함 ― ; 및
상기 제1 처리 챔버에 결합된 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함하고,
상기 제1 지원 어댑터는 상기 제1 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 제1 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성되며,
상기 제1 지원 어댑터는 상기 주기 신호를 재전송하고 수신할 수 있는 제2 파형 생성기를 포함하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제1 지원 시스템은 경감(abatement) 시스템인,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 단일 출력 신호는 상기 하나 또는 그 초과의 표시자 신호들 모두가 상기 제1 처리 챔버가 유휴상태에 있음을 표시할 때 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 표시하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제1 시스템 어댑터는:
메시지를 전송하고 수신할 수 있는 상기 상태 결정 시스템에 결합된 제1 로직 생성기를 더 포함하고,
상기 제1 지원 어댑터는, 상기 메시지를 수신하고 재전송할 수 있는 제2 로직 생성기를 더 포함하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 제1 지원 어댑터는:
상기 제1 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하기 위해 상기 제2 파형 생성기 및 상기 제2 로직 생성기에 결합된 제어 시스템을 더 포함하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제1 처리 챔버가 동작 상태에 있다고 결정될 때 주기적 신호 및 메시지가 상기 제1 시스템 어댑터에 의해 상기 제1 지원 어댑터로 전송되지 않거나, 또는 상기 제1 처리 챔버가 동작 상태에 있다고 결정될 때 동일한 주기적 신호 및 동일한 메시지가 상기 제1 시스템 어댑터와 상기 제1 지원 어댑터 사이에서 릴레이(relay)되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
제1 주기적 신호 및 제1 메시지가 상기 제1 시스템 어댑터에 의해 상기 제1 지원 어댑터로 전송되고, 상기 제1 주기적 신호 및 상기 제1 메시지가 상기 제1 지원 어댑터에 의해 상기 제1 시스템 어댑터로 재송신되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 제1 처리 챔버가 유휴상태에 있다고 결정될 때 상기 재전송된 제1 주기적 신호 및 상기 재전송된 제1 메시지를 수신할 시에 상기 제1 주기적 신호 및 제1 메시지와 상이한 제2 주기적 신호 및 제2 메시지가 상기 제1 시스템 어댑터에 의해 전송되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
제2 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터를 더 포함하고,
상기 제1 지원 시스템은 상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두를 위한 공유된 자원이고, 상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하고 상기 제1 지원 어댑터와 통신하도록 구성되고, 그리고 상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태에 있다고 결정될 때 상기 제1 지원 어댑터가 상기 제1 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
제2 처리 챔버를 모니터링하고 이의 상태를 결정하기 위한 제2 시스템 어댑터; 및
상기 제2 처리 챔버에 결합된 제2 지원 시스템 및 상기 제2 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제2 지원 어댑터를 더 포함하고,
상기 제2 지원 어댑터는 상기 제2 처리 챔버의 상기 상태에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제2 지원 시스템을 동작시키기 위해 준비상태를 통신하도록 구성되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 제2 시스템 어댑터는 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하도록 구성되고 그리고 상기 제2 지원 어댑터는 상기 제1 지원 어댑터와 통신하도록 구성되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 제1 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 모두가 유휴상태에 있다고 결정될 때 상기 제1 지원 어댑터 및 상기 제2 지원 어댑터가 상기 제1 지원 시스템 및 상기 제2 지원 시스템에 저 전력 모드에서 동작하도록 시그널링하는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제1 시스템 어댑터는 요구되는 주파수에서 상기 제1 지원 어댑터로 주기적 신호를 전송함으로써 그리고 상기 제1 지원 어댑터로 메시지를 전송함으로써 상기 제1 지원 어댑터로 상기 제1 처리 챔버의 상기 상태를 통신하도록 구성되고, 상기 제1 지원 어댑터는 상기 요구되는 주파수에서 상기 제1 지원 어댑터로 상기 주기적 신호를 재-송신함으로써 그리고 상기 제1 지원 어댑터로 상기 메시지를 재-송신함으로써 상기 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 제1 시스템 어댑터로 상기 준비상태를 통신하도록 구성되는,
처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치.
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