KR101605645B1 - 수광장치 및 수광장치의 제조방법 - Google Patents

수광장치 및 수광장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

수광장치는 기판과, 상면에 수광부를 구비하고, 하면이 상기 기판상에 탑재된 수광소자와, 평탄한 상면 및 상기 수광소자의 상기 수광부를 노출시키는 개구를 갖고, 상기 기판상에 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되고, 상기 수광소자를 둘러싸는 상기 수광소자의 측면에 밀착되어 있는 절연수지를 포함한다. 상기 절연수지는 상기 평탄한 상면과 상기 수광부의 상기 상면 사이의 높이에 설치된 단부를 갖고, 상기 단부는 상기 개구의 주위에서 상기 수광소자의 서로 대향하는 적어도 한 쌍의 측면에 대하여 평행하게 연장된다.

Description

수광장치 및 수광장치의 제조방법{PHOTORECEPTION DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORECEPTION DEVICE}
본 발명은 수광소자가 절연수지에 의해 패키지된 수광장치 및 수광장치의 제조방법에 관한 것이다.
CD 또는 DVD 등의 광디스크에 기록된 정보를 판독하는 광헤드에는 수광장치가 내장된다. 이와 같은 수광장치에서는 광디스크로부터 반사되는 400㎚~780㎚ 정도의 파장의 광을 수광면에서 수광하는 수광부를 갖는 수광소자가 기판상에 탑재되어 있다. 수광소자의 수광면측 전체가 절연수지로 피복되어 있다. 이와 같은 구조의 수광장치를 제조하는 방법으로서 수광소자의 전극패드와 기판의 접속패드를 와이어본딩하고, 수광소자 및 기판을 금형에 장착하며 금형에 절연수지를 충전한 후, 다이싱을 실시하는 방법이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
수광소자의 수광면측 전체를 절연수지로 피복하면, 절연수지를 투명재료에 의해 형성하지 않으면 안되어 고가가 되고, 또한 절연수지의 상면에 공기중의 티끌이나 먼지가 퇴적되어, 수광소자의 수광부에 도달할 광이 그 퇴적된 먼지나 티끌에 의해 차단된다. 그래서, 절연수지에 있어서 수광소자의 수광부에 대응하는 위치에 개구를 설치한 구조가 알려져 있다(특허문헌 2 참조).
일본 공개특허공보 제2005-5363호 일본 특허 제4200463호
특허문헌 1에 기재된 수광장치의 제조방법은 금형을 사용하는 방법이므로, 금형의 제작비용이 고가가 된다. 특허문헌 2에는 수광장치의 제조방법이 기재되어 있지 않고 보다 저렴하게 제조하는 새로운 제조방법을 시사하는 것도 전혀 아니다.
본 발명의 제1 형태에 따르면 수광장치는 일면에 접속단자를 갖는 절연성 부재로 형성된 기판; 상면에 수광부 및 입출력 단자를 갖고, 하면이 상기 기판의 상기 일면 상에 탑재된 수광소자; 일단이 상기 기판의 상기 접속단자에, 타단이 상기 수광소자의 상기 입출력 단자에 본딩되고, 상기 타단측 부근이 상기 수광소자의 상기 상면보다 상방으로 돌출되어 형성된 와이어; 및 평탄한 상면 및 상기 수광소자의 상기 수광부를 노출하는 개구를 가지며, 상기 기판의 상기 일면상에만 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되고, 또한, 상기 기판과 동일한 크기를 갖는 패키지 부재로서 형성되며, 적어도 상기 와이어의 상기 일단측 부근을 덮고 상기 수광소자를 둘러싸는 상기 수광소자의 측면에 밀착되어 있는 절연수지;를 구비하며, 상기 절연수지는 상기 평탄한 상면과 상기 수광부의 상기 상면과의 사이의 높이에 설치된 단부를 갖고, 상기 단부는 상기 개구의 주위에서 상기 수광소자의 서로 대향하는 적어도 한 쌍의 측면에 대해서 평행하게 연장되며, 상기 단부의 내측 측면은 상기 수광부의 둘레 가장자리부와 상기 기판의 상기 접속단자에 본딩된 상기 와이어의 상기 일단과의 사이에 설치되어 있다.
본 발명의 제2 형태에 따르면, 제1 형태의 수광장치에서 상기 절연수지의 상기 개구의 면적은 상기 수광소자의 면적보다 크고, 상기 수광소자의 상기 상면 전체가 상기 개구로부터 노출되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제3 형태에 따르면 제2 형태의 수광장치에서 상기 수광소자를 둘러싸는 상기 수광소자의 측면에 상기 절연수지가 밀착되는 부분의 두께는 상기 수광장치의 두께와 거의 동등한 것이 바람직하다.
본 발명의 제4 형태에 따르면 제3 형태의 수광장치에서 상기 수광장치의 복수의 입출력 단자와 상기 기판에 설치된 복수의 접속단자를 각각 서로 접속하는 복수의 와이어를 추가로 구비하는 것이 바람직하다. 상기 복수의 와이어의 각각에서의 상기 수광소자의 상기 상면상에 위치하는 부분은 상기 절연수지로부터 노출되어 있다.
본 발명의 제5 형태에 따르면, 제4 형태의 수광장치에서 상기 수광소자의 서로 대향하는 상기 적어도 한 쌍의 측면에는 상기 복수의 와이어가 배열되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제6 형태에 따르면 제1~제5 형태 중 어느 수광장치에서, 상기 수광소자는 직사각형 형상을 갖고, 상기 절연수지는 상기 수광소자의 서로 대향하는 2대의 측면에 대응하여 상기 단부가 설치되는 위치에서, 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되며, 상기 개구는 직사각형 형상으로 형성되고 상기 단부는 상기 개구의 둘레 가장자리부 전체에 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제7 형태에 따르면, 제1~제5 형태 중 어느 수광장치에 있어서, 상기 수광소자는 직사각형 형상을 갖고, 상기 절연수지는 상기 수광소자의 서로 대향하는 한 쌍의 측면에 대응하여 상기 단부가 설치되는 위치에서 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되며, 상기 개구는 상기 한 쌍의 측면에 대해서 평행하게 연장되고, 상기 개구의 일측단과 타측단에서 외부로 통하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제8 형태에 따르면, 제7 형태의 수광장치에서 상기 절연수지는 상기 수광소자의 상기 수광부를 상기 개구로부터 노출시킨 상태에서, 상기 수광소자의 상기 상면의 둘레 가장자리 영역을 덮는 부분을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 제9 형태에 따르면, 제1~제8 형태 중 어느 수광장치에서 상기 단부에 투광성 부재가 접착되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제10 형태에 따르면, 제9 형태 중 수광장치에서 상기 투광성 부재는 적외선 필터, 밴드패스필터 및 반사방지막 중 어느 것이 바람직하다.
본 발명의 제11 형태에 따르면 제1~제10 형태의 어느 수광장치에 있어서, 상기 절연수지는 상기 평탄한 상면의 일부가 함몰되어 발생하는, 적어도 하나의 노치를 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 제12 형태에 따르면, 제11 형태의 수광장치에서 상기 적어도 하나의 노치는 복수의 노치이고, 상기 복수의 노치가 끼워지는 볼록부를 갖는 다른 부재의 상기 볼록부의 위치에 맞추어 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 제13 형태에 따르면, 수광장치의 제조방법은 복수의 접속단자를 갖는 기판상에, 수광부 및 복수의 입출력 단자를 갖는 수광소자를 탑재하고, 상기 복수의 접속단자와 상기 복수의 입출력 단자를 접속부재에 의해 각각 접속하며, 상기 수광소자의 주위에서의 상기 기판상에 절연수지재를 도포하고, 상기 수광소자의 폭보다 큰 폭의 개구를 구비하며, 상기 개구 중 적어도 서로 대향하는 한 쌍의 측 가장자리를 따라서 상기 수광소자측에 돌출되는 넘침방지용 돌기가 형성된 마스크에 의해, 상기 기판상에 도포된 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣고 또한 상기 넘침방지용 돌기에 의해 상기 절연수지재를 상기 수광소자측에 눌러서 펼치고, 상기 절연수지재를 가열 경화하여 절연수지를 형성한다.
본 발명의 제14 형태에 따르면, 제13 형태의 수광장치의 제조방법에서 상기 절연수지재를 상기 수광소자측으로 눌러서 펼칠 때, 상기 마스크의 상기 넘침방지용 돌기의 주위에 상기 절연수지재를 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제15 형태에 따르면, 제14 형태의 수광장치의 제조방법에서 상기 마스크는 상기 넘침방지용 돌기보다 외주측에, 상기 넘침방지용 돌기보다 높이가 높은 억압 접촉부를 구비하고, 상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 억압 접촉부의 하면이 상기 기판의 상면에 접촉될 때까지 상기 마스크를 가압하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제16 형태에 따르면, 제15 형태의 수광장치의 제조방법에서 상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 절연수지재의 유동이 상기 수광소자의 측면에서 넘침 방지되고, 상기 측면의 근방에서는 상기 수광소자의 두께와 거의 동등한 두께가 되는 상기 절연수지재의 단부가 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 제17 형태에 따르면, 제13~제16 형태 중 어느 수광장치의 제조방법에서 상기 마스크는 상기 수광소자의 주위에 대응하는 영역에 돌출부를 구비하고, 상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 돌출부의 하면에 대응하는 상기 절연수지재의 평탄한 상면의 일부에 노치를 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제18 형태에 따르면, 제13~제17 형태 중 어느 수광장치의 제조방법에서 상기 수광소자를 상기 기판상에 탑재할 때 상기 수광소자에 인접하는 다른 수광소자가 상기 기판상에 탑재되고, 상기 수광소자의 주위에 도포된 상기 절연수지재를 상기 마스크에 의해 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 다른 수광소자의 주위에 도포된 절연수지재가 상기 마스크에 의해 상기 기판측에 밀어 넣어지고, 상기 절연수지재를 가열 경화함으로써 상기 절연수지를 형성한 후, 상기 기판 및 상기 절연수지를 절단하여 상기 수광소자 및 상기 다른 수광소자를 얻는 것이 바람직하다.
본 발명의 제19 형태에 따르면 제13~제18 형태 중 어느 수광장치의 제조방법에 있어서, 상기 절연수지재의 점도는 200~350Pa·s인 것이 바람직하다.
본 발명의 제20 형태에 따르면 제13~제18 형태 중 어느 수광장치의 제조방법에서 상기 절연수지의 상기 단부에 적외선 필터, 밴드패스필터 및 반사방지막 중 어느 것을 포함하는 투광성 부재가 접착되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 절연수지재가 도포되고 또한 넘침방지용 돌기를 갖는 마스크에 의해 절연수지를 눌러서 펼쳐 수광부의 주위에서의 수광소자의 상면이 피복되므로, 고가의 금형을 사용하지 않고 수광장치를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에서의 수광장치의 외관의 확대 사시도이다.
도 2의 (a)는 도 1의 A-A’선을 따른 절단 단면도이고, (b)는 도 1의 B-B’선을 따른 절단 단면도이다.
도 3의 (a), (b)는 모두 도 1에 도시된 수광장치의 제1 실시형태에서의 제조방법을 설명하기 위한 도면으로, 최초의 공정에 관한 단면도이다.
도 4는 도 3의 다음 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 4의 다음 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 5의 다음 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 도 6의 다음 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 수광장치의 제조에 사용하는 제1 실시형태에서의 마스크 외관의 사시도이다.
도 9는 제2 실시형태에서의 수광장치 외관의 확대 사시도이다.
도 10의 (a)는 도 9의 A-A’선을 따른 절단 단면도이고, (b)는 도 9의 B-B’선을 따른 절단 단면도이다.
도 11은 제3 실시형태에서의 수광장치 외관의 확대 사시도이다.
도 12의 (a)는 도 11의 A-A’선을 따른 단면도이고, (b)는 도 11의 B-B’선을 따른 단면도이다.
도 13은 제4 실시형태에서의 수광장치의 단면도이다.
도 14는 제5 실시형태에서의 수광장치 외관의 확대 사시도이다.
-제1 실시형태-
이하, 본 발명의 제1 실시형태에서의 수광장치를, 도면을 참조하여 설명한다.
(수광장치의 구조)
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에서의 수광장치의 외관의 확대사시도이고, 도 2의 (a)는 도 1의 A-A’선을 따른 절단 단면도이고, 도 2의 (b)는 도 1의 B-B’선을 따른 절단 단면도이다. 수광장치(1)는 수광소자(10)와, 기판(20)과, 수광소자(10)와 기판(20)을 전기적으로 접속하는 와이어(2)와, 절연수지(30)를 포함한다.
수광소자(10)는 상면에 수광부(11)를 갖는 반도체칩이다. 수광소자(10)의 평면 형상은 직사각형이고, 수광소자(10)의 상면에는 수광부(11)의 주위에 서로 대향하는 한 쌍의 측면을 따라서 복수의 입출력 단자(12)가 배열되어 있다.
기판(20)은 유리 에폭시 수지 등의 절연성 수지에 의해 형성되고, 수광소자(10)의 외형보다 큰 사이즈의 직사각형 형상을 갖고 있다. 수광소자(10)는 기판(20)의 중앙부 또는 거의 중앙부에 탑재된다. 기판(20)에서의 수광소자(10)의 주위에는 복수의 접속단자(21)가 배열되어 있다. 수광소자(10)의 입출력 단자(12)와 기판(20)의 접속단자(21)는 서로 와이어(2)에 의해 접속되어 있다. 즉, 와이어(2)의 양단부는 각각 와이어본딩에 의해 입출력 단자(12) 및 접속단자(21)에 접합되어 있다. 도 1에 도시한 바와 같이 본 실시형태에서는 직사각형 형상의 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면 중의 한 쌍의 측면에 복수의 와이어(2)가 배열되어 있다.
절연수지(30)는 기판(20)과 동일한 사이즈의 직사각형 형상의 외형을 갖고, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지로 형성되어 있다. 절연수지(30)는 불투명하지만 투명해도 지장은 없다. 절연수지(30)는 수광소자(10)의 두께보다 두껍게 형성되고 평탄한 상면(39)을 갖는다. 절연수지(30)에는 입출력 단자(12), 접속단자(21) 및 와이어(2)의 일부가 매입(埋入)된다. 절연수지(30)는 수광소자(10)를 둘러싸는 수광소자(10)의 측면 전체에 밀착되어 수광소자(10)의 주위를 덮고 있다. 절연수지(30)의 중앙부에는 평면 사이즈가 수광 소자(10)의 수광부(11)보다 약간 큰 직사각형 형상의 개구(31)가 형성되어 있다. 수광소자(10)의 수광부(11) 전체가 개구(31)를 통하여 외부에 노출되어 있다. 또한, 절연수지(30)에서 개구(31)의 상부 또한 둘레 가장자리부 전체에 단부(32)가 형성되어 있다. 즉, 단부(32)는 절연수지(30)의 평탄한 상면(39)과 수광소자(10)의 상면(10a)의 높이 방향에서의 중간 위치에, 도 1에 도시한 바와 같이 개구(31)의 주위 전체에 걸쳐 설치되어 있다. 단부(32)는 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면에 대응하여 개구(31)의 주위에 형성되고, 각 측면에 대해서 평행하게 연장되어 있다. 개구(31)의 면적은 단부(32)의 내측에서도 수광소자(10)의 면적보다 크다.
절연수지(30)는 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면에 대응하여 단부(32)가 설치되는 위치에서, 수광소자(10)의 두께보다 두껍게 형성되어 있다. 절연수지(30)의 단부(32)는 수광소자(10)의 상면(10a)측과의 교차부에서 원호형상으로 형성되어 있고, 절연수지(30)의 단부(32)에서 수광소자(10)의 상면(10a)을 향하여 절연수지(30)의 두께가 서서히 감소되고, 절연수지(30)가 수광소자(10)의 각 측면에 밀착되는 부분에서는 절연수지(30)의 두께가 수광소자(10)의 두께와 동등하거나 또는 거의 동등하다. 따라서, 도 2의 (a)에 도시한 바와 같이, 각 와이어(2)에서의, 수광소자(10)의 상면에 형성된 입출력 단자(12)에 접합된 단부측은 수광소자(10)의 상면상에 위치하고, 절연수지(30)로부터 노출되어 있다. 이와 같은 단부(32)를 갖는 절연수지(30)의 제조방법의 상세한 내용을 후술한 바와 같이, 금형을 사용하지 않고 저렴하고 또한 효율적으로 단부(32)를 갖는 절연수지(30)를 제작하는 것이 가능하다.
절연수지(30)에는 외주측에서의 4개의 귀퉁이부(角部)에 노치(33)가 형성되어 있다. 노치(33)는 절연수지(30)의 두께의 중간 위치에 달하는 깊이를 갖는다. 예를 들어, 노치(33)의 깊이를, 단부(32)와 동일한 깊이나 또는 거의 동일한 깊이로 해도 좋다. 노치(33)의 평면 형상은 원의 1/4의 원호형상(부채꼴 형상)이다. 노치(33)의 평면형상은 도 1에서는 원호형상으로 하고 있지만 타원의 일부, 또는 다각형상의 일부의 형상으로 해도 지장은 없다.
수광장치(1)의 외형 사이즈에 대해서는 일례로서, 대략 길이 3~5㎜, 폭 2.5~4.5㎜, 두께 0.8~1.5㎜이다. 그러나, 본 발명은 상기 사이즈에 한정되는 것은 아니다.
(수광장치의 제조방법)
도 3~도 7을 참조하여 도 1 및 도 2에 도시된 제1 실시형태에서의 수광장치(1)의 제조방법을 설명한다. 도 3의 (a), 도 4의 (a), 도 5의 (a), 도 6의 (a) 및 도 7의 (a)는 도 1의 A-A’를 따라서 수광장치(1)를 절단한 경우의 단면도이고, 도 3의 (b), 도 4의 (b), 도 5의 (b), 도 6의 (b) 및 도 7의 (b)는 도 1의 B-B’를 따라서 수광장치(1)를 절단한 경우의 단면도이다. 또한, 수광장치(1)의 제조방법으로서는 다수의 수광소자(10)를 탑재할 수 있는 면적이 큰 기판(20)을 사용하여 다수의 수광장치(1)를 한번에 얻는 방법을 사용하지만, 도 3~도 7에서는 1개의 수광장치(1)가 형성되는 영역만 도시되어 있다.
우선, 수광부(11) 및 복수의 입출력 단자(12)를 갖는 수광소자(10)를, 복수의 접속단자(21)가 형성된 기판(20)상에 탑재한다. 접속단자(21)는 입출력 단자(12)가 배열된 수광소자(10)의 외측에, 수광소자(10)의 측면에 평행하게 배열되어 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이 기판(20)의 면적은 크므로, 기판(20)에는 다수의 수광소자(10)를 탑재 가능하고, 다수의 수광소자(10)가, 이 면적이 큰 기판(20)상에 매트릭스 형상으로 배열된다. 즉, 하나의 수광소자(10)가 기판(20)상에 탑재되고 또한 그 수광소자(10)에 인접하는 다른 수광소자(10)도 기판(20)상에 탑재된다. 필요에 따라서 각 수광소자(10)는 기판(20)에 다이 본드(die bond)된다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 금 등으로 이루어진 와이어(2)를, 각 수광소자(10)의 입출력 단자(12) 및 기판(20)의 접속단자(21)에 본딩함으로써 양 단자(12 및 21)가 접속된다.
다음에, 매트릭스 형상으로 배열된 복수의 수광소자(10)의 사이로부터 노출되는 기판(20)상에, 도 4에 도시된 바와 같이 예를 들어 에폭시 수지 등의 열경화성 수지로 이루어진 절연수지재(30a)를 도포한다. 즉, 하나의 수광소자(10)의 주위의 기판(20)상에 절연수지재(30a)가 도포되고 또한 그 수광소자(10)에 인접하는 다른 수광소자(10)의 주위의 기판(20)상에도 절연수지재(30a)가 도포된다. 절연수지재(30a)의 점도는 200~350Pa·s 정도인 것이 바람직하고, 디스펜서나 브러시를 이용하여 절연수지재(30a)를 도포한다. 이 경우, 절연수지재(30a)는 수광소자(10)의 주위에서의 기판(20) 상에 도포되는 것으로 하고, 수광소자(10)상에는 도포되지 않도록 한다.
다음에, 절연수지재(30a)가 도포된 기판(20)상에 절연수지재(30b)가 도포된 마스크(60)를 배치한다. 절연수지재(30b)는 절연수지재(30a)와 동일한 재료로 형성되어 있다.
도 8은 마스크(60)를 기판(20)측에서 본 사시도이다. 마스크(60)는 스테인리스 등의 금속으로 형성되어 있고, 마스크(60)의 반복 사용이 가능하다. 마스크(60)에는 수광소자(10)의 외형 사이즈보다 큰 직사각형 형상의 개구(61)가 형성되어 있다. 개구(61)의 서로 대향하는 2쌍의 측 가장자리에는 기판(20)측을 향하여 돌출되는 넘침방지용 돌기(62)가 형성되어 있다. 넘침방지용 돌기(62)는 개구(61)의 측가장자리 전 둘레에 걸쳐 형성되어 있다. 또한, 마스크(60)에는 도 1에 도시된 수광장치(1)의 노치(33)를 형성하기 위한 4개의 돌출부(63)가 형성되어 있다. 각 돌출부(63)는 얇은 원통 형상을 갖고, 각 돌출부(63)의 높이는 절연수지(30)의 두께보다 얇으며, 예를 들어 넘침방지용 돌기(62)의 높이와 동일 또는 거의 동일한 높이이다. 각 돌출부(63)는 마스크(60)에서 넘침방지용 돌기(62)의 외측의 수광소자(10)의 주위에 대응하는 영역에 형성된다.
마스크(60)에는 다수의 개구(61)와, 개구(61) 주위에 형성된 돌출부(63)가 각각 매트릭스 형상으로 배열되어 있다. 그리고, 도시하지는 않지만, 마스크(60)의 외주 근방의 단부에는 외주변을 따라서 소정의 간격으로 배열된 통형상의 억압 접촉부(64)가 형성되어 있다. 상술한 절연수지(30)의 두께는 상기 억압 접촉부(64)의 높이에 의해 결정되고, 그 높이와 동일한 사이즈 또는 거의 동일한 사이즈가 된다.
도 4에 도시한 바와 같이 절연수지재(30b)는 마스크(60)의, 수광소자(10)에 대면하는 측의 면에서, 넘침방지용 돌기(62)의 외측의 주위에 얇게 도포된다. 절연수지재(30b)는 반드시 필요로 되는 것은 아니고 생략해도 좋다. 그리고, 기판(20)상에 배열된 각 수광소자(10)가 마스크(60)의 개구(61) 내에 배치되도록, 기판(20)상에서의 마스크(60)의 위치 결정을 실시한다.
다음에, 마스크(60)를 기판(20)측에 가압하고, 마스크(60)의 외주 근방의 단부에 배열된 억압 접촉부(64)의 하면이 기판(20)의 상면에 접촉될 때까지 마스크(60)를 밀어 넣는다. 이 상태를 도 5에 도시한다. 억압 접촉부(64)는 넘침방지용 돌기(62)보다 외주측에 위치한다. 억압 접촉부(64)의 높이는 넘침방지용 돌기(62)의 높이보다 높다. 하나의 수광소자(10)의 주위의 기판(20)상에 도포된 절연수지재(30a)가 마스크(60)에 의해 기판(20)측에 밀어 넣어지고, 또한 그 수광소자(10)에 인접하는 다른 수광소자(10)의 주위의 기판(20)상에 도포된 절연수지재(30a)도 마스크(60)에 의해 기판(20)측에 밀어 넣어진다.
마스크(60)를 기판(20)측에 가압함으로써 마스크(60)에 도포되어 있는 절연수지재(30b)와 기판(20)상에 도포되어 있던 절연수지재(30a)가 일체가 되어 수광소자(10)측으로 눌러서 펼쳐진다. 상부측, 즉 마스크(60)측 부근에서는 넘침방지용 돌기(62)에 의해 절연수지재(30a 및 30b)의 유동이 규제되고, 단부(32)가 형성된다. 여기에서, 넘침방지용 돌기(62)에 의해 절연수지재(30a 및 30b)의 유동이 규제되어 있지 않은 경우에는 절연수지재(30a 및 30b)가 개구(61)에, 플래시가 되어 돌출된다. 즉, 넘침방지용 돌기(62)는 플래시를 억제하는 기능을 수행한다.
또한, 하부측, 즉 기판(20)측 부근에서는 절연수지재(30a)가 수광소자(10)의 각 측면에 밀착된 상태에서 절연수지재(30a)의 유동이 정지된다. 이 상태에서는 수광소자(10)의 상면(10a)에 형성된 입출력 단자(12)에 접합된 와이어(2)의 단부는 절연수지(30)로부터 노출되어 있다.
마스크(60)의 개구(61)는 절연수지재(30a 및 30b)에 혼입된 공기 등의 가스를 외부에 방출하는 기능을 갖는다.
이와 같이, 수광소자(10)의 각 측면에서 절연수지재(30a)의 유동이 넘침방지되고 이 위치에서 절연수지재(30a)의 유동이 정지되므로, 절연수지재(30a)가 수광소자(10)의 상면(10a)측으로 눌러서 펼쳐지는 일이 없다. 종래, 절연수지재(30a)가 수광소자(10)의 수광부(11)에 유동하는 것을 방지하기 위해 수광소자(10)의 상면(10a)에 수지 유동 방지책을 강구하는 것이 알려져 있다. 그러나, 본 실시형태에서의 수광장치(1)와 같이 절연수지재(30a)를 수광소자(10)의 각 측면에서 넘침 방지함으로써, 종래와 같은 대책의 강구를 생략할 수 있게 된다. 이 때문에, 공정수를 삭감할 수 있다. 또한, 절연수지재(30a)가 수광소자(10)의 상면(10a)으로 유동하지 않게 되어, 절연수지재(30a)의 유동이 안정되고 절연수지재(30a)의 유동량의 편차가 작아지므로, 수광장치(1)를 소형화할 수 있다는 효과를 갖는다.
마스크(60)를 기판(20)측에 가압하여 마스크(60)의 억압 접촉부(64)의 하면을 기판(20)의 상면에 접촉시킬 때, 마스크(60)의 돌출부(63)에 대응하는 부분의 절연수지재(30a 및 30b)는 마스크(60)의 돌출부(63)에 밀어내어지므로, 평탄한 상면(39)의 일부가 함몰되고, 이 함몰에 의해 생성된 부분은 4개의 노치(33)에 상당하는 원통형상의 공극이 된다.
다음에, 절연수지재(30a 및 30b)를 가열 경화함으로써 절연수지(30)를 형성한다. 그리고, 절연수지(30)상에 배치된 마스크(60)를 박리한다. 이 상태에서 절연수지(30)에는 수광소자(10)의 수광부(11)에 대응하는 개구(31)가 형성되고, 개구(31)의 둘레 가장자리부에 주위 전체에 걸쳐 단부(32)가 형성되어 있다. 또한, 마스크(60)의 돌출부(63)에 대응하는 부분에, 절연수지(30)의 두께의 중간 위치에 달하는 깊이의 노치(33)가 형성되어 있다.
다음에, 절연수지(30)상의 전면(全面)에 보호시트(71)를 점착한다. 보호시트(71)는 박리 가능한 점착층을 갖는다. 이 상태를 도 6에 도시한다.
다음에, 기판(20), 절연수지(30) 및 보호시트(71)를 절단하고, 다수의 수광장치(1)를 얻는다. 기판(20), 절연수지(30) 및 보호시트(71)를 절단할 때, 마스크(60)의 돌출부(63)에 대응하여 형성된 절연수지(30)의 원통형상의 공극이 그 축심을 통과하는 절단선에 의해 4개로 등분할된다. 도 6에서의 절단위치 C, C’, D, D’는 이와 같은 공극을 4개로 등분할하는 위치를 나타내고 있고, 이 절단위치 C, C’, D, D’에서 기판(20) 및 절연수지(30)를 파선을 따라서 절단한다. 이에 의해, 각 절연수지(30)의 4 모퉁이에는 원통이 1/4로 등분할된 형상을 갖는 노치(33)가 형성된다. 이 상태를 도 7에 도시한다.
보호시트(71)는 광헤드를 조립할 때까지 점착되는 보호부재이므로, 광헤드가 조립되기 직전에 보호시트(71)를 박리함으로써 도 1, 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)에 도시된 수광장치(1)가 형성된다. 보호시트(71)를 박리할 때, 절연수지(30) 중 어느 것의 노치(33)에 핀셋의 일단을 끼울 수 있으므로, 보호시트(71)의 박리를 용이하게 실시할 수 있다.
(제1 실시형태에 의한 효과)
이상에 설명한 바와 같이, 상기 제1 실시형태에서의 수광장치(1)에 따르면 하기의 효과를 얻을 수 있다.
(1) 기판(20)상에 절연수지재(30a)를 도포하고, 넘침방지용 돌기(62)를 갖는 마스크(60)에 의해 절연수지재(30a)를 눌러서 펼쳐 수광소자(10)의 주위를 피복하므로, 고가의 금형을 사용하지 않고 절연수지(30)에 의해 패키지화된 수광장치(1)를 얻을 수 있다.
(2) 마스크(60)에, 수광소자(10)의 외형보다 큰 사이즈의 개구(31)를 설치하고, 상기 개구(31)의 둘레 가장자리부에 절연수지재(30a 및 30b)의 유동의 넘침을 방지하기 위한 넘침방지용 돌기(62)가 형성되어 있으므로, 단부(32)를 효율적으로 형성할 수 있다. 또한, 수광소자(10)의 각 측면에서 절연수지재(30a)의 유동이 넘침방지되고, 절연수지재(30a)의 유동이 안정화되며, 유동량의 편차가 작아지므로 수광장치(1)를 소형화할 수 있다.
(3) 절연수지(30)에 두께 방향의 중간 위치에 달하는 깊이의 노치(33)가 형성되도록 했다. 이 때문에, 절연수지(30)상에 점착된 보호시트(71)를, 노치(33)에 핀셋의 일단을 끼워넣어 용이하게 박리할 수 있고, 수광장치(1)의 생산효율이 향상된다.
(4) 마스크(60)를 스테인리스 등의 금속으로 형성했으므로, 마스크(60)를 반복하여 사용할 수 있다. 수지필름에 의해 마스크를 형성하는 종래의 방법에서는 절연수지재(30a 및 30b)를 가열 경화할 때의 열에 의해 마스크가 변형되므로, 마스크가 사용하고 버려지게 되어 있었다. 따라서, 종래에 비해 수광장치(1)의 제조비용을 감소시킬 수 있다.
-제2 실시형태-
도 9는 본 발명의 제2 실시형태에서의 수광장치의 외관의 확대사시도이고, 도 10의 (a)는 도 9의 A-A’선을 따른 절단 단면도이며, 도 10의 (b)는 도 9의 B-B’선을 따른 절단 단면도이다. 본 실시형태에서의 수광장치(1A)가 제1 실시형태에서의 수광장치(1)와 상위한 점은, 절연수지(30A)의 개구(31A)가 일측단으로부터 타측단에 관통하고 있는 점, 다시 말하면 개구(31A)의 일측단과 타측단에서 수광장치(1A)의 외부에 통하고 있는 점이다.
본 실시형태에서 단부(32A)는 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면 중, 와이어(2)가 배열된 서로 대향하는 한 쌍의 측면에 대응하여 개구(31A)의 주위에 형성되고, 그 한 쌍의 측면에 대해서 평행하게 연장되어 있다. 그리고, 도 9 및 도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 측면에 대응하여 단부(32A)가 형성되는 위치에서 절연수지(30A)는 수광소자(10)의 두께보다도 두껍게 형성되어 있다. 그러나, 도 9 및 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 수광소자(10)가 갖는 상기 한 쌍의 측면에 인접하는 또 한 쌍의 측면에 접하는 절연수지(30A)의 높이는 수광소자(10)의 두께와 동등하거나 또는 거의 동등하다. 다시 말하면, 절연수지(30A)와 수광소자(10)의 경계 영역에서는 절연수지(30A)의 상면과 수광소자(10)의 상면(10a)은 동일면상 또는 거의 동일면상에 위치한다.
본 실시형태에서의 수광장치(1A)에 포함되는 절연수지(30A)는 제1 실시형태에서의 수광장치(1)에 포함되는 절연수지(30)와 동일하게, 마스크(60)를 사용하여 절연수지재(30a)를 눌러서 펼침으로써 형성된다. 단, 절연수지(30A)를 형성하는 경우에는 수광소자(11)의 폭보다 큰 폭을 갖고, 또한 개구(31A)의 길이보다 긴 개구와, 상기 개구의 길이방향으로 연장된 서로 대향하는 한 쌍의 측가장자리를 따라서 설치된 넘침방지용 돌기를 갖는 마스크를 사용한다.
본 실시형태에서의 수광장치(1A)의 상술한 구조 이외의 다른 구조는 제1 실시형태에서의 수광장치(1)와 동일하고, 수광장치(1A)에 포함되는 수광장치(1)에 대응하는 부재에 동일한 부호를 붙이고 그 부재의 설명을 생략한다.
제2 실시형태에서도 제1 실시형태와 동일한 효과를 가질 수 있다. 또한, 제2 실시형태에서는 절연수지(30A)의 개구(31A)가 수광소자(10)의 일측단으로부터 타측단으로 관통하고 있고, 절연수지(30A)의 상면에 보호시트(71)를 접착해도, 절연수지(30A)의 양쪽의 측단과 보호시트(71)의 간극으로부터 이물질이 침입할 가능성이 있다. 따라서, 본 실시형태에서의 수광장치(1A)에 보호시트(71)를 설치하는 것을 생략하고, 이물침입이 없는 환경, 제조조건 등의 중에서 제조하는 것으로 해도 좋다. 보호시트(71)를 설치하는 것을 생략함으로써 작업효율이 향상된다.
-제3 실시형태-
도 11은 본 발명의 제3 실시형태에서의 수광장치의 외관의 확대사시도이고, 도 12의 (a)는 도 11의 A-A’선을 따른 절단 단면도이며, 도 12의 (b)는 도 11의 B-B’선을 따른 절단 단면도이다. 본 실시형태에서의 수광장치(1B)가, 제1 실시형태에서의 수광장치(1)와 상위한 점은 절연수지(30B)가 와이어(2)의 전 영역을 덮도록 한 점이다.
도 11 및 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이, 절연수지(30B)는 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면 중 와이어(2)가 배열된 서로 대향하는 한 쌍의 측면에서 수광소자(10)의 상면(10a)의 둘레 가장자리의 영역에 돌출되어 있다. 절연수지(30B)의, 수광소자(10)의 상면(10a)상에 돌출된 부분은 수광소자(10)의 상면(10a)의 둘레 가장자리 영역을 덮으므로, 각 와이어(2)의 접속단자(21)에 접합된 부분을 덮고 있고, 이에 의해 각 와이어(2)의 전 영역이 절연수지(30B)에 매입되어 있다.
또한, 도 11 및 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 수광소자(10)의 서로 대향하는 2쌍의 측면 중 와이어(2)가 배열되어 있지 않은 서로 대향하는 한 쌍의 측면에 절연수지(30B)가 접하는 위치에서는 절연수지(30B)의 두께는 제1 실시형태와 동일하게, 수광소자(10)의 두께와 동등하거나 또는 거의 동등하다.
절연수지(30B)의 단부(32B)는 수광소자(10)의 폭방향 및 길이방향 중 어느 방향에서도, 각각 수광소자(10)의 폭 및 길이 보다도 큰 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 이 경우, 절연수지(30B)의 단부(32B)에서 수광소자(10)의 폭방향의 치수, 다시 말하면 와이어(2)가 배열되어 있는 측끼리 사이의 치수가 수광소자(10)의 길이방향 치수보다 작게 형성되어 있다.
절연수지(30B)의 개구(31B)는 개구(31B)의 전 둘레가 단부(32B)의 내측에 배치된 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 이 경우, 절연수지(30B)의 개구(31B)에서 수광소자(10)의 폭방향의 치수, 다시 말하면 와이어(2)가 배열되어 있는 측끼리의 사이의 치수가, 수광소자(10)의 폭보다 작게 형성되어 있다. 또한, 절연수지(30B)의 단부(32B)는 수광소자(10)의 길이방향의 치수, 다시 말하면 와이어(2)가 배열되어 있지 않은 측끼리 사이의 치수가, 수광소자(10)의 길이방향의 치수보다 크게 형성되어 있다. 또한, 수광소자(10)의 수광부(11)는 개구(31B)로부터 노출된 상태이다.
절연수지(30B)를, 제2 실시형태에서의 수광장치(1)의 절연수지(30A)와 동일하게 형성할 수 있다. 단, 절연수지(30B)를 형성하는 데에는 수광소자(10)의 폭보다 작은 폭을 갖고, 또한 개구(31B)의 길이보다 긴 직사각형 형상의 개구와, 상기 개구의 길이방향으로 연장되는 한 쌍의 측 가장자리부를 따라서 설치된 넘침방지용 돌기를 갖는 마스크를 사용한다. 본 실시형태에서의 수광장치(1B)의 상술한 구조 이외의 다른 구조는 제1 실시형태에서의 수광장치(1) 및 제2 실시형태에서의 수광장치(1A)와 동일하고, 수광장치(1B)에 포함되어 수광장치(1 또는 1A)에 대응하는 부재에, 수광장치(1 또는 1A)와 동일한 부호를 붙이고 그 부재의 설명을 생략한다.
제3 실시형태에서도 제1 및 제2 실시형태와 동일한 효과를 가질 수 있다. 또한, 제3 실시형태에서는 절연수지(30B)에 의해 개구(31B)의 주위 전체가 둘러싸여 있는 것으로 했다. 그러나, 제2 실시형태와 같이, 개구(31b)가 수광소자(10)의 일측단으로부터 타측단으로 관통하는 것으로 해도 좋다.
-제4 실시형태-
도 13은 본 발명의 제4 실시형태에서의 수광장치의 단면도이다. 제4 실시형태에서의 수광장치(1C)에서는 제1 및 제2 실시형태에서의 수광장치(1 및 1A)에 대해서, 추가로 투광성 부재가 설치되어 있다. 즉, 수광장치(1C)는 유리 등의 투광성 부재(50)를 포함한다.
투광성 부재(50)에는 적외선 필터 또는 반사방지막이 일체로 형성된다. 투광성 부재(50)는 절연수지(30)의 단부(32)상에 얹혀 설치되고, 접착제(51)에 의해 절연수지(30)의 단부(32)에 접착되어 있다. 본 실시형태에서의 수광장치(1C)의 상술한 구조 이외의 다른 구조는 제1 실시형태의 수광장치(1) 및 제2 실시형태에서의 수광장치(1A)와 동일하고, 수광장치(1C)에 포함되어 수광장치(1 또는 1A)에 대응하는 부재에, 수광장치(1 또는 1A)와 동일한 부호를 붙이고, 그 부재의 설명을 생략한다.
-제5 실시형태-
도 14는 본 발명의 제5 실시형태에서의 수광장치의 단면도이다. 제5 실시형태에서의 수광장치(1D)에서는 제3 실시형태에서의 수광장치(1C)에 대해서, 추가로 투광성 부재가 설치되어 있다. 즉, 수광장치(1D)는 유리 등의 투광성 부재(50)를 포함한다.
투광성 부재(50)에는 적외선 필터, 밴드패스필터 또는 반사방지막이 일체로 형성된다. 투광성 부재(50)는 절연수지(30B)의 단부(32B)상에 얹혀 설치되고, 접착제(51)에 의해 절연수지(30B)의 단부(32B)에 접착되어 있다. 본 실시형태에서의 수광장치(1D)의 상술한 구조 이외의 다른 구조는 제3 실시형태에서의 수광장치(1C)와 동일하고, 수광장치(1D)에 포함되어 수광장치(1C)에 대응하는 부재에, 수광장치(1C)와 동일한 부호를 붙여 그 부재의 설명을 생략한다.
상기 각 실시형태에서는 절연수지재(30a 및 30b)의 넘침방지용 돌기(62)를 마스크(60)에만 설치한 경우를 예로 설명했다. 그러나, 넘침방지용 돌기를 수광소자(10)에도 설치하도록 해도 좋다. 수광소자(10)에 넘침방지용 돌기를 설치하는 경우에는 웨이퍼 제조공정에서 설치하도록 하면 효율적이다. 이 방법의 일례는 다음과 같다. 즉, 웨이퍼 상태에서 수지재료를 웨이퍼에 스핀코팅하고 건조후, 포토레지스트에 의해 넘침방지용 돌기형상으로 패터닝된 마스크를 형성하고, 넘침방지용 돌기 이외의 부분을 에칭하면 좋다.
상기 각 실시형태에서는 마스크(60)의 외주 근방의 가장자리에 설치한 억압접촉부(64)의 하면을 기판(20)의 상면에 접촉시킴으로써, 절연수지(30)의 두께를 확보한다. 그러나, 마스크(60)에 형성되는 돌출부(63)의 높이를 절연수지(30)의 두께와 동일하게 하고 마스크(60)를, 돌출부(63)의 하면이 기판(20)의 상면에 접촉될 때까지 절연수지재(30a)를 밀어 넣도록 해도 좋다. 이 경우에는 마스크(60)의 외주 근방의 가장자리에 억압 접촉부를 형성할 필요는 없다. 또는 다른 방법으로서 마스크(60)를 상하로 가압하는 구동부재에 센서를 설치하고, 상기 센서의 이동량을 계측하여 제어하도록 해도 좋다.
상기 각 실시형태에서는 수광장치(1)의 4모퉁이에 노치(33)가 형성되어 있다. 그러나, 노치(33)는 1부분에만 형성되는 것으로 해도 좋다. 또한, 노치(33)가 4모퉁이 이외의 부분에 설치되는 것으로 해도 좋다. 또한, 복수의 노치(33)를 다른 부재의 볼록부의 위치에 맞추어 형성함으로써, 수광장치(1)를 그 부재에 조립할 때의 얼라이먼트용 마크(오목부)로서 사용하는 것이 가능하다. 이 때, 오목부인 복수의 노치(33)는 다른 부재의 볼록부에 끼워진다.
상기 각 실시형태에서는 수광소자(10)는 서로 대향하는 한 쌍의 측면을 따라서만 입출력 단자(12)가 배열되어 있다. 그러나, 본 발명을 4개의 모든 측면을 따라서 입출력 단자(12)가 배열되어 있는 수광소자에 대해서도 적용하는 것이 가능하다. 각 측면을 따라서 배열된 입출력 단자(12)에 본딩으로 접합되는 모든 와이어(2)가 절연수지(30, 30A 또는 30B)에 의해 덮이는 것으로 해도 좋고, 와이어(2) 중, 입출력 단자(12) 근방의 일부분이, 절연수지(30, 30A 또는 30B)로부터 노출되는 것으로 해도 좋다.
상기 각 실시형태에서는 절연수지의 두께가 수광장치의 서로 대향하는 한 쌍의 측면, 또는 4개 모든 측면에서 수광장치의 두께와 동일 또는 거의 동일해지도록 형성되어 있다. 그러나, 절연수지의 두께가 수광장치의 하나 또는 3개의 측면의 두께와 동일 또는 거의 동일해지도록 해도 좋다.
본 발명에 의한 수광장치는 여러가지 변형하여 구성하는 것이 가능하다. 요컨대, 수광소자의 주위에 설치되고, 수광소자의 수광부를 노출하는 개구가 형성된 절연수지를 갖는 수광장치에 있어서, 수광소자의 서로 대향하는 적어도 한 쌍의 측면에서 절연수지를 수광소자보다 두껍게 형성하고, 또한 그 한 쌍의 측면에 대응하여 개구측에 단부를 설치하도록 하면 좋다.
상기에서는 여러가지의 실시형태 및 변형예를 설명했지만, 본 발명은 이들 내용에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 생각할 수 있는 그 밖의 형태도 본 발명의 범위 내에 포함된다.
다음의 우선권 기초출원의 개시 내용은 인용문으로서 여기에 편입된다: 일본 특허출원 2011년 제239192호(2011년 10월 31일 출원)

Claims (20)

  1. 일면에 접속단자를 갖는 절연성 부재로 형성된 기판,
    상면에 수광부 및 입출력 단자를 갖고, 하면이 상기 기판의 상기 일면 상에 탑재된 수광소자,
    일단이 상기 기판의 상기 접속단자에, 타단이 상기 수광소자의 상기 입출력 단자에 본딩되고, 상기 타단측 부근이 상기 수광소자의 상기 상면보다 상방으로 돌출되어 형성된 와이어, 및
    평탄한 상면 및 상기 수광소자의 상기 수광부를 노출하는 개구를 가지며, 상기 기판의 상기 일면상에만 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되고, 또한, 상기 기판과 동일한 크기를 갖는 패키지 부재로서 형성되며, 적어도 상기 와이어의 상기 일단측 부근을 덮고 상기 수광소자를 둘러싸는 상기 수광소자의 측면에 밀착되어 있는 절연수지를 구비하며,
    상기 절연수지는 상기 평탄한 상면과 상기 수광부의 상기 상면과의 사이의 높이에 설치된 단부를 갖고,
    상기 단부는 상기 개구의 주위에서 상기 수광소자의 서로 대향하는 적어도 한 쌍의 측면에 대해서 평행하게 연장되며,
    상기 단부의 내측 측면은 상기 수광부의 둘레 가장자리부와 상기 기판의 상기 접속단자에 본딩된 상기 와이어의 상기 일단과의 사이에 설치되어 있는, 수광장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연수지의 상기 개구의 면적은 상기 수광소자의 면적보다 크고, 상기 수광소자의 상기 상면 전체가 상기 개구로부터 노출되어 있는, 수광장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 수광소자를 둘러싸는 상기 수광소자의 측면에 상기 절연수지가 밀착되는 부분의 두께는 상기 수광소자의 두께와 동등한, 수광장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 수광장치의 복수의 입출력 단자와 상기 기판에 설치된 복수의 접속단자를 각각 서로 접속하는 복수의 와이어를 추가로 구비하고,
    상기 복수의 와이어의 각각에서의 상기 수광소자의 상기 상면상에 위치하는 부분은 상기 절연수지로부터 노출되어 있는, 수광장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 수광소자의 서로 대향하는 상기 적어도 한 쌍의 측면에는 상기 복수의 와이어가 배열되어 있는, 수광장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수광소자는 직사각형 형상을 갖고,
    상기 절연수지는 상기 수광소자의 서로 대향하는 2쌍의 측면에 대응하여 상기 단부가 설치되는 위치에서 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되며,
    상기 개구는 직사각형 형상으로 형성되고,
    상기 단부는 상기 개구의 둘레 가장자리부 전체에 형성되어 있는, 수광장치.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수광소자는 직사각형 형상을 갖고,
    상기 절연수지는 상기 수광소자의 서로 대향하는 한 쌍의 측면에 대응하여 상기 단부가 설치되는 위치에서 상기 수광소자의 두께보다 두껍게 형성되며,
    상기 개구는 상기 한 쌍의 측면에 대해서 평행하게 연장되고, 상기 개구의 일측단과 타측단에서 외부로 통하고 있는, 수광장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연수지는 상기 수광소자의 상기 수광부를 상기 개구로부터 노출시킨 상태에서, 상기 수광소자의 상기 상면의 둘레 가장자리 영역을 덮는 부분을 갖는 수광장치.
  9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단부에 투광성 부재가 접착되어 있는 수광장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 투광성 부재는 적외선 필터, 밴드패스필터 및 반사방지막 중 어느 하나인 수광장치.
  11. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연수지는 상기 평탄한 상면의 일부가 함몰되어 생성되는 적어도 하나의 노치를 갖는, 수광장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 노치는 복수의 노치이고, 상기 복수의 노치가 끼워지는 볼록부를 갖는 다른 부재의 상기 볼록부의 위치에 맞추어 형성되는, 수광장치.
  13. 복수의 접속단자를 갖는 기판상에, 수광부 및 복수의 입출력 단자를 갖는 수광소자를 탑재하고,
    상기 복수의 접속단자와 상기 복수의 입출력 단자를 접속부재에 의해 각각 접속하며,
    상기 수광소자의 주위에서의 상기 기판상에 절연수지재를 도포하고,
    상기 수광소자의 폭보다 큰 폭의 개구를 갖고, 상기 개구 중 적어도 서로 대향하는 한 쌍의 측가장자리를 따라서 상기 수광소자측에 돌출되는 넘침방지용 돌기가 형성된 마스크에 의해, 상기 기판상에 도포된 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣고, 또한 상기 넘침방지용 돌기에 의해 상기 절연수지재를 상기 수광소자측에 눌러서 펼치고,
    상기 절연수지재를 가열 경화하여 절연수지를 형성하는, 수광장치의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 절연수지재를 상기 수광소자측에 눌러서 펼칠 때, 상기 마스크의 상기 넘침방지용 돌기의 주위에 상기 절연수지재를 도포하는, 수광장치의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 마스크는, 상기 넘침방지용 돌기보다 외주측에, 상기 넘침방지용 돌기보다 높이가 높은 억압 접촉부를 갖고,
    상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 억압 접촉부의 하면이 상기 기판의 상면에 접촉될 때까지 상기 마스크를 가압하는, 수광장치의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 절연수지재의 유동이 상기 수광소자의 측면에서 넘침방지되고, 상기 측면의 근방에서는 상기 수광소자의 두께와 동등한 두께가 되는 상기 절연수지의 단부가 형성되는, 수광장치의 제조방법.
  17. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 수광소자의 주위에 대응하는 영역에 돌출부를 갖고,
    상기 마스크에 의해 상기 절연수지재를 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 돌출부의 하면에 대응하는 상기 절연수지재의 평탄한 상면의 일부에 노치를 형성하는, 수광장치의 제조방법.
  18. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수광소자를 상기 기판상에 탑재할 때, 상기 수광소자에 인접하는 다른 수광소자가 상기 기판상에 탑재되고,
    상기 수광소자의 주위에 도포된 상기 절연수지재를 상기 마스크에 의해 상기 기판측에 밀어 넣을 때, 상기 다른 수광소자의 주위에 도포된 절연수지재가 상기 마스크에 의해 상기 기판측에 밀어 넣어지고,
    상기 절연수지재를 가열 경화함으로써 상기 절연수지를 형성한 후, 상기 기판 및 상기 절연수지를 절단하여 복수의 수광장치를 얻는, 수광장치의 제조방법.
  19. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연수지재의 점도는 200~350 Pa·s인, 수광장치의 제조방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 절연수지의 상기 단부에 적외선 필터, 밴드패스필터 및 반사방지막 중 어느 것을 포함하는 투광성 부재가 접착되어 있는, 수광장치의 제조방법.
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