JP2010206028A - Icパッケージの製造方法、icパッケージ、光ピックアップ、及び光無線データ通信の送受信デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ICパッケージ1の製造方法は、プリント基板2の主面にそれぞれ光学素子4を有するベアチップ5を配置する第1の工程と、プリント基板2の主面に樹脂材料10bを塗布して固化することにより、プリント基板2の主面を覆い、かつ各光学素子4に対応する位置に第1の開口部を有する樹脂層を形成する第2の工程とを備え、第2の工程は、上記第1の開口部に対応する位置に第2の開口部14aを有する押し当て部材14を樹脂材料10bに接触させた状態で押し当て部材14とプリント基板2とを押圧することにより、樹脂材料10bの厚みを低減する押圧工程を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
2 プリント基板
3 ダイパッド
4 光学素子
5 ベアチップ
6 電極パッド
7 電極端子
8 ボンディングワイヤ
10 樹脂層
10a 開口部
10b 樹脂材料
11 領域
12 支持プレート
13 スペーサ
14 押し当て部材
14a 開口部
15 支持部材
15a 中空部分
Claims (10)
- 支持基板の主面に、それぞれ光学素子を有する複数のベアチップを配置する第1の工程と、
前記支持基板の主面に樹脂材料を塗布して固化することにより、前記支持基板の主面を覆い、かつ前記各光学素子に対応する位置に第1の開口部を有する樹脂層を形成する第2の工程とを備え、
前記第2の工程は、前記第1の開口部に対応する位置に第2の開口部を有する押し当て部材を前記樹脂材料に接触させた状態で前記押し当て部材と前記支持基板とを押圧することにより、前記樹脂材料の厚みを低減する押圧工程を含むことを特徴とするICパッケージの製造方法。 - 前記第2の工程は、前記支持基板の主面内の前記ベアチップとは異なる位置に、前記押圧工程において前記押し当て部材を前記樹脂材料に接触させる際に密閉空間を形成するための支持部材を形成する工程をさらに含み、
前記押圧工程では、前記密閉空間周囲の気圧を上昇することにより、前記押し当て部材と前記支持基板とを押圧することを特徴とする請求項1に記載のICパッケージの製造方法。 - 前記支持基板の裏面には該支持基板より大きい面積を有する支持プレートが設けられ、
前記第2の工程は、前記支持プレートの前記支持基板との対向面内の前記支持基板とは異なる位置に、前記押圧工程において前記押し当て部材を前記樹脂材料に接触させる際に密閉空間を形成するための支持部材を形成する工程をさらに備え、
前記押圧工程では、前記密閉空間周囲の気圧を上昇させ、前記押し当て部材と前記支持プレートにより前記支持基板を挟み込んで押圧保持することにより、前記押し当て部材と前記支持基板とを押圧することを特徴とする請求項1に記載のICパッケージの製造方法。 - 前記支持部材は弾性体であることを特徴とする請求項2又は3に記載のICパッケージの製造方法。
- 前記樹脂層が形成された前記支持基板をベアチップごとに切り離す第3の工程を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のICパッケージの製造方法。
- 前記第2の工程は、加熱により前記樹脂材料を固化させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のICパッケージの製造方法。
- 前記押し当て部材を加熱することにより、前記押圧工程において前記樹脂材料を固化させることを特徴とする請求項6に記載のICパッケージの製造方法。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載のICパッケージの製造方法により製造したICパッケージ。
- 請求項8に記載のICパッケージを使用することを特徴とする光ピックアップ。
- 請求項8に記載のICパッケージを使用することを特徴とする光無線データ通信の送受信デバイス。
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JP2009051324A JP2010206028A (ja) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | Icパッケージの製造方法、icパッケージ、光ピックアップ、及び光無線データ通信の送受信デバイス |
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