KR101599250B1 - Ultrasonic washing apparatus for large area panel - Google Patents

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KR101599250B1
KR101599250B1 KR1020140032333A KR20140032333A KR101599250B1 KR 101599250 B1 KR101599250 B1 KR 101599250B1 KR 1020140032333 A KR1020140032333 A KR 1020140032333A KR 20140032333 A KR20140032333 A KR 20140032333A KR 101599250 B1 KR101599250 B1 KR 101599250B1
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ultrasonic
cleaning liquid
panel
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cleaning
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김정인
이희명
조경목
박희진
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주식회사 듀라소닉
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    • B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

대면적 패널용 초음파 세정장치가 개시된다. 본 발명의 대면적 패널용 초음파 세정장치는, 대면적 패널을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러를 구비한 프레임과, 이송되는 상기 패널의 폭과 같거나 크도록 길이방향으로 길게 형성되어 양단이 상기 프레임의 양측에 결합수단에 의해 각각 고정되는 초음파 진동부와, 상기 초음파 진동부와 패널 사이로 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하여 이송되는 패널의 표면으로 세정액을 공급하여 수막을 형성하고 수막에 초음파를 가하여 패널의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기를 포함하고, 상기 초음파 진동부는, 초음파 진동자가 마련된 진동블록; 및 상기 진동블록의 저면에 상단면이 결합되고, 하단에는 상기 패널의 표면과 마주보는 하단면을 구비하며, 상기 상단면과 하단면 사이의 한쪽 변에는, 상기 상단면을 통과한 초음파를 반사시켜 상기 하단면으로 확산시키기 위한 반사면이 경사지게 형성되는 웨이브 가이드로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 초음파 진동자에서 발생된 초음파가 반사면에 반사된 후 패널의 표면과 대응되는 하단면에 균일하게 분산 및 확산되도록 구성됨으로써, 초음파의 균일성이 향상되어 세정력을 향상시킬 수 있는 효과를 제공할 수 있게 된다. An ultrasonic cleaning apparatus for a large area panel is disclosed. An ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel of the present invention comprises a frame having a plurality of conveying rollers for horizontally conveying large-area panels, a frame having a plurality of conveying rollers for conveying the large- And a cleaning liquid supply part for supplying a cleaning liquid between the ultrasonic vibration part and the panel to supply a cleaning liquid to the surface of the panel to be conveyed to form a water film, and ultrasonic waves And an ultrasonic cleaner for cleaning the surface of the panel by applying ultrasonic vibrations to the ultrasonic vibrator, wherein the ultrasonic vibrator comprises: a vibration block provided with an ultrasonic vibrator; And a bottom surface opposed to the surface of the panel at a lower end, and an ultrasonic wave passing through the top surface is reflected at one side between the top surface and the bottom surface, And a waveguide having an inclined reflecting surface for diffusing light to the lower end surface. According to the present invention, since the ultrasonic waves generated from the ultrasonic vibrator are uniformly dispersed and diffused on the lower end surface corresponding to the surface of the panel after being reflected on the reflection surface, the uniformity of the ultrasonic waves is improved, . ≪ / RTI >

Description

대면적 패널용 초음파 세정장치{ULTRASONIC WASHING APPARATUS FOR LARGE AREA PANEL}[0001] ULTRASONIC WASHING APPARATUS FOR LARGE AREA PANEL [0002]

본 발명은 대면적 패널용 초음파 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 대면적 패널의 초음파 세정시, 초음파를 확산시켜 초음파의 균일성을 향상시킬 수 있고, 부하에 따른 출력변화도 최소화될 수 있으며, 세정액의 공급이 원활하고, 초음파가 분산됨으로써 진동자의 파손이 방지되거나 최소화될 수 있는 대면적 패널용 초음파 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel, and more particularly, to an ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel, which can diffuse an ultrasonic wave during ultrasonic cleaning of a large-area panel to improve the uniformity of ultrasonic waves, The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel, which can smoothly supply cleaning liquid and disperse ultrasonic waves, thereby preventing or minimizing breakage of the vibrator.

일반적으로, 평판 표시장치를 제조하기 위해서는 증착공정, 노광공정, 그리고 식각공정을 포함하는 공정들을 거쳐야 하는데, 특히 식각공정 등에는 공정 처리된 기판을 세정 및 건조하는 세정공정이 포함된다. 세정공정은 로울러에 의해 이송되는 기판으로 자외선광을 조사하여 기판 표면에 잔류하는 유기물을 세정하는 유기물 세정공정, 유기물이 세정된 기판을 세정액으로 분사하여 기판을 습식세정하는 습식 세정공정 그리고 건조공정이 순차적으로 수행되는 것이다. Generally, the fabrication of a flat panel display requires processes including a deposition process, an exposure process, and an etching process. In particular, an etching process includes a cleaning process for cleaning and drying a processed substrate. The cleaning process includes an organic cleaning process for cleaning organic materials remaining on the surface of the substrate by irradiating ultraviolet light onto the substrate transported by the rollers, a wet cleaning process for spraying the substrate with the cleaning liquid for wet cleaning, and a drying process It is performed sequentially.

이러한 세정공정 중에서 습식 세정공정에 대한 선행기술로서, 대한민국등록특허 제10-1336996호(공고일 : 2013.12.04)에는 대면적 패널용 초음파 세정장치가 개시되어 있다. As a prior art for the wet cleaning process in this cleaning process, Korean Patent No. 10-1336996 (Publication Date: 2013.12.04) discloses an ultrasonic cleaning device for large-area panels.

종래기술에 의한 세정장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 대면적 패널(10)을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러(22)를 구비한 프레임(20)과, 이송 로울러(22)들에 의해 일정한 방향으로 수평 이송되는 패널(10)의 표면으로 세정액을 공급하면서 초음파를 가하여 패널(10)의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기(30)와, 초음파 세정기(30)의 양쪽 단부 영역을 프레임(20)에 설치하고, 패널(10)의 표면과 초음파 세정기(30)의 저면 사이 간격을 조절하도록 초음파 세정기(30)의 높이를 조절하는 높이조절기(40)로 이루어진다. 1, a cleaning apparatus according to the related art includes a frame 20 having a plurality of conveying rollers 22 for horizontally conveying a large-area panel 10, and a frame 20 having a plurality of conveying rollers 22, An ultrasonic cleaner 30 for cleaning the surface of the panel 10 by applying ultrasonic waves while supplying a cleaning liquid to the surface of the panel 10 horizontally conveyed in a predetermined direction by the ultrasonic cleaner 30; And a height adjuster 40 for adjusting the height of the ultrasonic cleaner 30 so as to adjust the distance between the surface of the panel 10 and the bottom surface of the ultrasonic cleaner 30.

그리고, 초음파 세정기(30)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 초음파를 패널(10)에 발진하기 위한 초음파 진동부(32)와, 초음파 진동부(32)의 길이방향 양쪽 수직면(37)에 구비되어 초음파 진동부(32)의 저면(32B)으로 세정액을 토출하기 위한 세정액 공급부(34)로 이루어지고, 초음파 진동부(32)의 양쪽에는 수직면(37)이 형성되며, 수직면(37)과 저면(32B)의 경계영역인 코너는 모깍기 어 곡면부(32A)가 각각 형성된다. 이는 세정액 공급부(34)로부터 공급되는 세정액이 초음파 진동부(32)의 저면(32B)으로 흘러 공급되도록 하기 위한 것이다. 세정액 공급부(34)는 초음파 진동부(32)의 길이방향을 따라 형성된 수직면(37)에 구비되어 초음파 진동부(32)의 저면(32B)과 패널(10)의 표면 사이로 세정액을 공급하여 그 사이에 균일한 수막을 형성하도록 구성되는 것이다.1 and 2, the ultrasonic cleaner 30 includes an ultrasonic vibration section 32 for oscillating the ultrasonic wave on the panel 10 and a vertical surface 37 (see FIG. 2) of the ultrasonic vibration section 32, A vertical surface 37 is formed on both sides of the ultrasonic vibration part 32 and a vertical surface 37 is formed on the vertical surface 37 And the bottom surface 32B are formed with a curved beveled curved surface portion 32A, respectively. This is so that the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply unit 34 flows to the bottom surface 32B of the ultrasonic vibration unit 32 and is supplied. The cleaning liquid supply unit 34 is provided on the vertical surface 37 formed along the longitudinal direction of the ultrasonic vibration unit 32 to supply the cleaning liquid between the bottom surface 32B of the ultrasonic vibration unit 32 and the surface of the panel 10, So as to form a uniform water film.

그러나 이와 같은 종래기술에 의한 세정장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 초음파 진동부(32)의 저부가 얇게 구성되었기 때문에 초음파가 초음파 진동부(32)의 얇은 두께를 통하여 패널(10)에 직접 전달됨으로써, 패널(10)의 표면에 수막이 형성되지 않은 경우에 진동자가 파손될 수 있는 문제점이 있었다. 즉, 종래기술에 의한 세정장치는, 세정을 위하여 패널(10)이 초음파 진동부(32)의 저부로 진입할 때, 패널(10)의 초기 진입영역에 초기수막이 완전하게 형성되지 않았고, 이로 인하여 수막이 형성되지 않은 상태에서 초음파 진동부(32)로부터 초음파가 직접적으로 전달됨으로써 진동자의 파손이 발생하였고, 초기 진입영역에 초기수막이 완전하게 형성되지 않음으로써 세정이 완전하게 이루어지지 않는 문제점이 있었고, 부하의 변동에 따라 출력의 변동이 많이 발생하는 문제점이 있었으며, 초음파 진동부(32)로부터 발생된 초음파가 연직방향으로 발생됨으로써, 초음파가 균일하게 확산되지 못하는 문제점이 있었다. 2, the ultrasonic vibrator 32 has a thin bottom so that ultrasonic waves are transmitted directly to the panel 10 through the ultrasonic vibrator 32 with a small thickness, There is a problem that when the water film is not formed on the surface of the panel 10, the vibrator may be damaged. That is, in the cleaning apparatus according to the related art, when the panel 10 enters the bottom portion of the ultrasonic vibration portion 32 for cleaning, the initial water film is not completely formed in the initial entry region of the panel 10, The ultrasonic wave is directly transmitted from the ultrasonic vibrator 32 in the state where no water film is formed, so that the ultrasonic wave is directly transmitted to the ultrasonic vibrator 32 and the vibrator is damaged. In this case, the initial water film is not completely formed in the initial entry region, And the output fluctuates largely according to the variation of the load. The ultrasonic waves generated from the ultrasonic vibration unit 32 are generated in the vertical direction, so that the ultrasonic waves can not be uniformly diffused.

또한, 종래기술에 의한 세정장치는 일체형으로 구성됨으로써, 패널(10)이 대면적일 경우에, 적용하여 세정하기가 곤란한 문제점이 있었고, 종래기술에 의한 세정장치는 세정액이 초음파 진동부(32)의 외부로부터 공급되도록 구성되어 있었기 때문에, 패널(10)의 투입 및 해제시에 세정액의 공급이 원활하지 못하게 되는 문제점이 있었던 것이다.In addition, since the cleaning device according to the related art is integrally formed, it is difficult to apply cleaning when the panel 10 is wide, and the cleaning device according to the related art has a problem that the cleaning liquid is supplied to the ultrasonic vibrator 32 There is a problem in that supply of the cleaning liquid is not smooth when the panel 10 is inserted and released.

대한민국등록특허 제10-1336996호(공고일 : 2013.12.04)Korean Patent No. 10-1336996 (Published on Dec. 14, 2013)

본 발명의 목적은, 수막형성이 원활히 이루어질 수 있고, 초음파를 확산시켜 초음파의 균일성을 향상시킬 수 있고, 부하에 따라 출력변동이 최소화될 수 있으며, 진동자의 파손을 최소화할 수 있는 초음파 세정장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus capable of smoothly forming a water film, improving the uniformity of ultrasonic waves by diffusing ultrasonic waves, minimizing output fluctuation depending on a load, .

본 발명의 다른 목적은, 설정된 면적보다 더 큰 면적의 패널을 적용하여 세정할 수 있도록 연결수단을 구비한 초음파 세정장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus having a connecting means for cleaning by applying a panel having an area larger than a predetermined area.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to at least partially solve the problems in the conventional arts. It can be understood.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 대면적 패널을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러를 구비한 프레임과, 이송되는 상기 패널의 폭과 같거나 크도록 길이방향으로 길게 형성되어 양단이 상기 프레임의 양측에 결합수단에 의해 각각 고정되는 초음파 진동부와, 상기 초음파 진동부와 패널 사이로 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하여 이송되는 패널의 표면으로 세정액을 공급하여 수막을 형성하고 수막에 초음파를 가하여 패널의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기를 포함하고, 상기 초음파 진동부는, 초음파 진동자가 마련된 진동블록; 및 상기 진동블록의 저면에 상단면이 결합되고, 하단에는 상기 패널의 표면과 마주보는 하단면을 구비하며, 상기 상단면과 하단면 사이의 한쪽 변에는, 상기 상단면을 통과한 초음파를 반사시켜 상기 하단면으로 확산시키기 위한 반사면이 경사지게 형성되는 웨이브 가이드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 초음파 세정장치에 의해 달성된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a printing apparatus including a frame having a plurality of conveying rollers for horizontally conveying a large-area panel, a frame having a length in the longitudinal direction so as to be equal to or greater than a width of the panel to be conveyed, And a cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid between the ultrasonic vibration unit and the panel to supply a cleaning liquid to the surface of the panel to be transferred to form a water film and apply ultrasound waves to the water film, And an ultrasonic vibrator adapted to clean a surface of the ultrasonic vibrator, wherein the ultrasonic vibrator comprises: a vibrating block provided with an ultrasonic vibrator; And a bottom surface opposed to the surface of the panel at a lower end, and an ultrasonic wave passing through the top surface is reflected at one side between the top surface and the bottom surface, And a waveguide having an inclined reflecting surface for diffusing the ultrasonic waves to the lower end surface.

상기 상단면과 하단면은, 서로 평행하게 형성될 수 있다. The upper surface and the lower surface may be formed parallel to each other.

상기 반사면은, 상기 상단면을 통하여 전달되는 초음파가 상기 하단면 전체로 확산되도록 비구면으로 형성될 수 있다. The reflective surface may be formed as an aspherical surface so that ultrasonic waves transmitted through the upper surface may be diffused to the entire lower surface.

상기 웨이브 가이드는, 상기 하단면과 소정의 각도를 유지하여 경사지게 설치면이 형성되고, 상기 설치면에서 하단면으로 관통되어 세정액 공급공들이 형성되며, 상기 설치면에는 상기 세정액 공급공으로 세정액을 공급하도록 상기 세정액 공급부가 마련될 수 있다. The wave guide is provided with a mounting surface inclined at a predetermined angle with respect to the lower end surface, and the cleaning liquid supply holes are formed through the mounting surface and the lower end surface, and the cleaning liquid is supplied to the mounting surface from the cleaning liquid supply hole The cleaning liquid supply unit may be provided.

상기 설치면에는, 상기 세정액 공급부로부터 공급되는 세정액이 상기 세정액 공급공으로 유도되어 공급되도록 하부 영역이 상기 세정액 공급공에 접하는 경사진 유도홈이 길이방향으로 길게 형성될 수 있다. The mounting surface may be formed with an inclined guide groove, which is in contact with the cleaning liquid supply hole in the lower region so as to be guided to the cleaning liquid supply hole and supplied from the cleaning liquid supply unit, in the longitudinal direction.

상기 세정액 공급부는, 세정액 공급 호스와 연결되고, 내부에는 호스로부터 공급되는 세정액을 상기 유도홈으로 공급하기 위한 슬롯이 형성된 공급블록을 포함하고, 상기 공급블록은, 상기 슬롯의 하부 영역이 상기 유도홈의 상부영역에 위치하도록 상기 설치면에 장착될 수 있다. Wherein the cleaning liquid supply portion includes a supply block connected to the cleaning liquid supply hose and having a slot formed therein for supplying a cleaning liquid supplied from the hose to the guide groove, So that it can be mounted on the mounting surface.

상기 웨이브 가이드는, 연결 브라켓들에 의해 길이방향으로 서로 연결되되, 상기 연결 브라켓들은 양단이 상기 진동블록 또는 상기 웨이브 가이드에 각각 결합되어 양쪽의 웨이브 가이드를 서로 연결할 수 있다. The waveguides are connected to each other in the longitudinal direction by connection brackets, and both ends of the connection brackets are coupled to the vibration block or the waveguide so that both waveguides can be connected to each other.

상기 웨이브 가이드의 양쪽 단면 또는 진동블록의 양쪽 단면에는, 상기 웨이브 가이드가 서로 길이방향으로 연결될 때, 상기 하단면들이 서로 수평상태가 되도록 위치를 결정하고 고정하기 위한 위치 고정돌기 및 위치 고정홈이 서로 대응되도록 형성될 수 있다. Wherein both the end faces of the waveguide or both end faces of the vibration block have position fixing projections and position fixing grooves for positioning and fixing the bottom faces to be horizontal with each other when the wave guides are connected to each other in the longitudinal direction As shown in FIG.

본 발명에 의하면, 초음파 진동자에서 발생된 초음파가 반사면에 반사된 후 패널의 표면과 대응되는 하단면에 균일하게 분산 및 확산되도록 구성됨으로써, 초음파의 균일성이 향상되어 세정력을 향상시킬 수 있는 효과를 제공할 수 있게 된다. According to the present invention, since the ultrasonic waves generated from the ultrasonic vibrator are uniformly dispersed and diffused on the lower end surface corresponding to the surface of the panel after being reflected on the reflection surface, the uniformity of the ultrasonic waves is improved, . ≪ / RTI >

또한, 패널의 초기 진입시 패널의 초기 진입 영역에 수막이 형성되지 않더라도 초음파가 반사면에 의해 분산되고 확산되므로 진동자의 파손을 최소화할 수 있는 효과를 제공할 수 있게 된다. Also, even if a water film is not formed in the initial entry region of the panel at the time of initial entry of the panel, ultrasonic waves are dispersed and diffused by the reflecting surface, thereby minimizing damage to the vibrator.

또한, 웨이브 가이드를 길이방향으로 연결할 수 있음으로써, 대면적의 패널을 효율적으로 세정할 수 있는 효과를 제공할 수 있게 된다.In addition, since the waveguide can be connected in the longitudinal direction, it is possible to provide an effect of efficiently cleaning a large-area panel.

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도 1 및 도 2는 종래기술에 의한 대면적 패널용 초음파 세정장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드를 도시한 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드를 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 6a는 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치를 도시한 정면도이다.
도 6b는 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치의 높이조절장치를 도시한 개략적 측면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치를 도시한 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치의 작용을 설명하기 위한 일부확대 단면도이다.
도 9는 도 6에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치와 종래기술에 의한 초음파 세정장치의 음압 분포 형상을 비교한 사진이다.
도 10은 도 3에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드가 길이방향으로 연결되는 상태를 도시한 일부확대 사시도이다. 1 and 2 are views showing a conventional ultrasonic cleaning apparatus for a large area panel.
3 is an exploded perspective view showing a vibration block and a wave guide of an ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the present invention.
4 and 5 are a plan view and a side view showing a vibration block and a wave guide of the ultrasonic cleaning apparatus for the large-area panel shown in Fig.
6A is a front view showing an ultrasonic cleaning apparatus for a large area panel according to the present invention.
FIG. 6B is a schematic side view showing a height adjusting device of the ultrasonic cleaning apparatus for large-area panels according to the present invention.
7 is a plan view showing the ultrasonic cleaning apparatus for the large-area panel shown in Fig.
8 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the operation of the ultrasonic cleaning apparatus for large-area panel shown in Fig.
FIG. 9 is a photograph showing a comparison of sound pressure distribution shapes of the ultrasonic cleaning apparatus for large-area panel shown in FIG. 6 and the conventional ultrasonic cleaning apparatus.
FIG. 10 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the vibration block and the wave guide of the ultrasonic cleaning device for large-area panel shown in FIG. 3 are connected in the longitudinal direction.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, the well-known functions or constructions are not described in order to simplify the gist of the present invention.

아래에서, 진동블록과 웨이브 가이드 및 세정액 공급부를 제외한 구성요소의 도면 부호는 도 1 및 도 2(종래기술)에 도시된 것과 동일하게 사용한다. In the following, reference numerals of components other than the vibration block, the wave guide and the cleaning liquid supply portion are used as shown in Figs. 1 and 2 (prior art).

첨부된 도면 중에서, 도 3은 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드를 도시한 분해 사시도이고, 도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드를 도시한 평면도 및 측면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치를 도시한 정면도이다. 그리고 도 7은 도 6에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치를 도시한 평면도이다. FIG. 3 is an exploded perspective view showing a vibration block and a wave guide of an ultrasonic cleaning apparatus for a large area panel according to the present invention, and FIGS. 4 and 5 are views showing an ultrasonic cleaning apparatus for a large- And FIG. 6 is a front view showing an ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the present invention. And FIG. 7 is a plan view showing the ultrasonic cleaning apparatus for the large-area panel shown in FIG.

도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 대면적 패널용 초음파 세정장치는, 대면적 패널(10)을 수평 이송시키면서 패널(10)의 표면을 초음파로 세정하기 위한 것으로, 다수의 이송 로울러(22)를 구비한 프레임(20)과, 이송 로울러(22)에 의해 이송되는 패널(10)의 표면에 세정액을 공급하여 수막을 형성하고, 수막에 초음파를 가하여 패널(10)의 표면을 세정하기 위한 초음파 세정기(30)를 포함하여 구성된다. 3 to 7, the ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel is for ultrasonically cleaning the surface of the panel 10 while horizontally transferring the large-area panel 10, and includes a plurality of conveying rollers 22 For cleaning the surface of the panel 10 by applying a cleaning liquid to the surface of the panel 10 conveyed by the conveying roller 22 to form a water film and applying ultrasonic waves to the water film, And an ultrasonic cleaner 30.

프레임(20)은, 도 6a,6b 및 도 7에 도시된 바와 같이 내측에는 다수개의 이송 로우러(22)가 등간격으로 배치되고, 상단 일부 영역에는 초음파 세정기(30)가 결합수단(40)에 의해 결합된 구조를 갖는다. 초음파 세정기(30)의 저면에 대응되는 프레임(20)의 바닥 영역에는 이송 로울러(22)들에 의해 이송되는 패널(10)의 이면에 세정액을 분사하기 위한 노즐(23)들이 다수개 구비된다. 이 노즐(23)들은 패널(10)이 이송되면서 그 표면의 초음파 세정이 이뤄질 때 세정액을 패널(10)의 이면에 분사하여 패널(10)의 이면이 세정되도록 하기 위한 것이다. 즉, 패널(10)이 이송되면서 그 표면이 초음파에 의해 세정될 때, 패널(10)의 이면에 세정액을 분사하여 패널(10)을 통과한 초음파에 의해 패널(10)의 이면이 세정되도록 하기 위한 것이다. 6A, 6B and 7, a plurality of conveying rollers 22 are arranged at regular intervals on the inner side of the frame 20, and an ultrasonic cleaner 30 is provided on the upper part of the frame 20, Lt; / RTI > A plurality of nozzles 23 for spraying the cleaning liquid are provided on the bottom surface of the frame 20 corresponding to the bottom surface of the ultrasonic cleaner 30 on the back surface of the panel 10 conveyed by the conveying rollers 22. The nozzles 23 are for spraying the cleaning liquid on the back surface of the panel 10 to clean the back surface of the panel 10 when ultrasonic cleaning is performed on the surface of the panel 10 while the panel 10 is being transported. That is, when the surface of the panel 10 is cleaned by ultrasonic waves while the panel 10 is being transported, a cleaning liquid is sprayed on the back surface of the panel 10 so that the back surface of the panel 10 is cleaned by ultrasonic waves passing through the panel 10 .

결합수단(40)은, 초음파 세정기(30)의 양쪽 단부 영역을 프레임(20)의 양쪽 벽에 설치하는 기능을 갖는 것으로, 패널(10)의 표면과 초음파 세정기(30)의 저면 사이의 간격을 조절하도록 초음파 세정기(30)의 높낮이를 조절하는 기능을 갖는 높이조절기(41)를 포함한다.The coupling means 40 has a function of installing the both end regions of the ultrasonic cleaner 30 on both walls of the frame 20 and is provided with a gap between the surface of the panel 10 and the bottom surface of the ultrasonic cleaner 30 And a height adjuster 41 having a function of adjusting the height of the ultrasonic cleaner 30 to adjust the height of the ultrasonic cleaner 30.

결합수단(40)은, 프레임(20)의 벽 상단에 설치되는 고정 브라켓(44)들과, 이 고정 브라켓(44)에 수직으로 결합되는 가이드 샤프트(44A)들과, 가이드 샤프트(44A)에 상,하 이동가능하게 결합되는 이동블록(44B)과, 이 이동블럭(44B)과 초음파 세정기(30)를 구성하는 초음파 진동부(32)의 양단을 연결하는 설치 브라켓(42)들을 포함하여 이루어진다. The engaging means 40 includes fixing brackets 44 provided at the upper end of the wall of the frame 20, guide shafts 44A vertically coupled to the fixing brackets 44, And a mounting bracket 42 connecting the moving block 44B and both ends of the ultrasonic vibration unit 32 constituting the ultrasonic cleaner 30 .

그리고 높이조절기(41)는, 고정 브라켓(44)들과 가이드 샤프트(44A)에 설치되어 설치 브라켓(42)이 결합된 이동블럭(44B)을 선택적으로 상승시키거나 하강시켜 패널(10)의 표면을 기준으로 초음파 진동부(32)의 하단면(32A) 높이를 조절하도록 구성된다. 이를 위해서, 도 6a,6b에 도시된 바와 같이, 각 고정 브라켓(44)의 상면에 가이드 샤프트(44A)가 각각 수직으로 설치되고, 가이드 샤프트(44A)의 상단에는 지지 블럭(41C)가 결합된다. 가이드 샤프트(44A)에는 이동블럭(44B)가 상,하로 이동가능하게 결합되고, 지지블럭(41C)과 이동블럭(44B)에는 회전 나사봉(41B)가 설치되고, 회전 나사봉(41B)의 상단에는 노브(41A)가 결합된 것이다. The height adjuster 41 is installed on the fixing brackets 44 and the guide shaft 44A to selectively raise or lower the moving block 44B to which the mounting bracket 42 is coupled, And adjusts the height of the lower end surface 32A of the ultrasonic vibration portion 32 based on the height. 6A and 6B, a guide shaft 44A is vertically installed on the upper surface of each fixing bracket 44 and a support block 41C is coupled to the upper end of the guide shaft 44A . A moving bar 44B is movably coupled to the guide shaft 44A in such a manner that the moving block 44B is movable upward and downward and the rotating bar 41B is provided on the supporting block 41C and the moving block 44B, And a knob 41A is coupled to the upper end.

따라서, 노브(41A)를 회전시키게 되면, 회전 나사봉(41B)기 회전함으로써 이동블럭(44B)이 상승하거나 하강하여 초음파 세정기(30)의 높이를 조절할 수 있게 된다. Accordingly, when the knob 41A is rotated, the movable block 44B is raised or lowered by the rotation of the rotary bar 41B to adjust the height of the ultrasonic cleaner 30.

그리고, 지지블럭(41C)에는 위치를 고정하기 위한 위치 고정손잡이(41D)가 설치되므로, 이동블럭(44B)의 위치가 고정되면 위치 고정손잡이(41D)를 조작하여 그 위치를 고정할 수 있다. Since the support block 41C is provided with the position fixing knob 41D for fixing the position, when the position of the movement block 44B is fixed, the position fixing knob 41D can be operated to fix the position.

한편, 전술한 이동블록(44B)을 승,하강시키기 위하여 노브(41A) 대신에 엑츄에이터 장치가 구비될 수 있고, 높이조절장치(41)에 공압이나 유압으로 작동되는 실린더장치, 솔레노이드 장치가 적용될 수 있다. 또한, 노브(41A) 대신에 회전 나사봉((41B)을 서보모터가 회전시키도록 구성될 수 있으며, 랙과 피니언장치 등이 적용될 수 있음은 물론이다. An actuator device may be provided instead of the knob 41A in order to raise and lower the moving block 44B and a cylinder device or a solenoid device operated by pneumatic pressure or hydraulic pressure may be applied to the height adjusting device 41 have. Further, it is of course possible to configure the servo motor to rotate the rotary screw rod 41B instead of the knob 41A, and a rack and a pinion device can be applied.

전술한 결합수단은 초음파 진동부(32)의 양단을 프레임(20)의 양측 벽에 각각 고정하도록 된 브라켓만으로도 구성될 수 있다.The above-described coupling means may be constituted by only a bracket for fixing the both ends of the ultrasonic vibration part 32 to both side walls of the frame 20, respectively.

초음파 세정기(30)는 초음파를 패널(10)에 발진하기 위한 초음파 진동부(32)를 포함하여 이루어진다. The ultrasonic cleaner 30 includes an ultrasonic vibration unit 32 for oscillating ultrasonic waves on the panel 10. [

초음파 진동부(32)는, 초음파 진동자(32A)가 마련된 진동블록(32B)와, 진동블록(32B)의 저면에 상단면(33A)이 결합되고, 하단에는 패널(10)의 표면과 마주보는 하단면(33B)을 구비하며, 상단면(33A)과 하단면(33B) 사이의 한쪽 변에는, 상단면(33A)을 통과한 초음파를 반사시켜 하단면(33B)으로 확산시키기 위한 반사면(33C)이 경사지게 형성되는 웨이브 가이드(33)로 이루어진다. 여기서, 진동블록(32B)와 웨이브 가이드(33)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 길이방향으로 길게 형성된다. 이때, 진동블록(32B)은 외부의 발진기와 연결될 수도 있다. 즉, 초음파 진동자(32A)가 삭제되고, 대신에 외부 발진기로부터 초음파가 전달되도록 구성될 수도 있는 것이다.The ultrasonic vibration section 32 includes a vibration block 32B provided with an ultrasonic vibrator 32A and a top surface 33A coupled to the bottom surface of the vibration block 32B and a lower surface opposed to the surface of the panel 10 And has a lower surface 33B and is provided at one side between the upper surface 33A and the lower surface 33B to reflect the ultrasound passing through the upper surface 33A and diffuse the ultrasonic wave to the lower surface 33B 33C are inclined. Here, the vibration block 32B and the wave guide 33 are elongated in the longitudinal direction as shown in Figs. 3 and 4. At this time, the oscillation block 32B may be connected to an external oscillator. That is, the ultrasonic transducer 32A may be erased and instead, ultrasonic waves may be transmitted from the external oscillator.

이러한 웨이브 가이드(33)의 상단면(33A)과 하단면(33B)은 서로 평행하게 형성되고, 반사면(33C)은 상단면(33A) 및 하단면(33B)와 소정의 각도로 경사지게 형성된다. 즉, 상단면(33A)으로부터 전달되는 초음파가 반사면(33C)에 반사되어 하단면(33B)으로 확산되도록 상단면(33A) 및 하단면(33B)에 대하여 소정의 각도로 경사진 것이다. The upper end surface 33A and the lower end surface 33B of the wave guide 33 are formed parallel to each other and the reflecting surface 33C is formed inclined at a predetermined angle with the upper end surface 33A and the lower end surface 33B . That is, the ultrasonic waves transmitted from the upper end surface 33A are inclined at a predetermined angle with respect to the upper end surface 33A and the lower end surface 33B so as to be reflected by the reflection surface 33C and diffuse to the lower end surface 33B.

이러한 반사면(33C)은, 상단면(33A)을 통하여 전달되는 초음파가 하단면(33B) 전체로 확산되도록 비구면으로 형성될 수 있다. 즉, 반사되는 초음파를 보다 균일하게 하단면(33B)에 전달하기 위한 것이다. The reflecting surface 33C may be formed as an aspherical surface so that ultrasonic waves transmitted through the upper end surface 33A are diffused to the entire lower end surface 33B. That is, it is intended to transmit the reflected ultrasonic wave more uniformly to the lower end surface 33B.

이와 같이 반사면(33C)이 형성된 것은, 전술한 바와 같이 상단면(33A)으로부터 전달되는 초음파를 반사하여 확산시킴으로써 초음파가 하단면(33B)에 균일하게 전달되도록 하기 위한 것이다. 즉, 상단면(33A)과 하단면(33B) 사이에 반사면(33C)를 마련하여 초음파의 전달경로가 길어지도록 함으로써, 최종 전달면(하단면)에 전달되는 초음파가 균일하게 확산되도록 하는 것이다. The reflection surface 33C is formed to reflect ultrasonic waves transmitted from the upper end surface 33A and diffuse the ultrasonic waves to uniformly transmit the ultrasonic waves to the lower end surface 33B as described above. In other words, the reflection surface 33C is provided between the upper end surface 33A and the lower end surface 33B so that the propagation path of the ultrasonic waves is made longer, so that the ultrasonic waves transmitted to the final transmission surface (lower end surface) .

그리고 하단면(33B)의 면적은 상단면(33A)의 면적보다 더 크게 형성하는 것이 바람직하다. 이는 상단면(33A)으로 전달된 초음파가 반사면(33C)에 의해 반사되면서 확산되기 때문에, 확산된 초음파가 하단면(33B)에 균일하게 분포되고 패널(10)과 하단면(33B) 사이에 형성되는 수막에 전달되어 세정효율을 높이기 위한 것이다. 즉, 하단면(33B)의 면적이 상단면(33A)의 면적보다 더 넓게 형성됨으로써, 패널(10) 표면의 넓은 영역에서 수막이 형성될 수 있고, 하단면(33B)에 의해 넓은 영역에 형성된 수막에 초음파가 균일하게 분산되어 전달되므로 패널(10)의 세정효율이 향상될 수 있는 것이다. The area of the bottom surface 33B is preferably larger than the area of the top surface 33A. This is because the ultrasonic waves transmitted to the upper end surface 33A are diffused while being reflected by the reflection surface 33C so that the diffused ultrasonic waves are uniformly distributed on the lower end surface 33B and between the panel 10 and the lower end surface 33B And is transmitted to the formed water film to increase the cleaning efficiency. That is, since the area of the lower end face 33B is larger than the area of the upper end face 33A, a water film can be formed in a wide area of the surface of the panel 10, Since ultrasonic waves are uniformly dispersed and transmitted to the water film, the cleaning efficiency of the panel 10 can be improved.

한편, 웨이브 가이드(33)는, 하단면(33B)과 소정의 각도를 유지하여 경사지게 설치면(33D)이 형성되고, 설치면(33D)에서 하단면(33B)으로 관통되어 세정액 공급공(33E)들이 등간격을 유지하여 다수개 형성되며, 설치면(33D)에는 세정액 공급공(33E)으로 세정액을 공급하도록 세정액 공급부(50)가 마련된다. 이러한 설치면(33D)은 반사면(33C)과 접하지 않은 하단면(33B)의 끝단에서 상단면(33A) 방향으로 소정의 각도로 경사지게 형성되는 것이다.On the other hand, the wave guide 33 has a mounting surface 33D formed inclinedly at a predetermined angle with the lower end surface 33B and penetrates from the mounting surface 33D to the lower end surface 33B, A plurality of cleaning liquid supply portions 50 are provided on the mounting surface 33D so as to supply the cleaning liquid to the cleaning liquid supply holes 33E. The mounting surface 33D is inclined at a predetermined angle in the direction from the end of the lower end surface 33B not in contact with the reflecting surface 33C toward the upper end surface 33A.

그리고 세정액 공급공(33E)은, 도 8에 도시된 바와 같이 설치면(33D)에서 하단면(33B) 방향으로 관통하여 형성되는 것으로, 하단면(33B)에 대하여 직각을 유지하도록 형성할 수도 있고, 소정의 각도로 경사지게 형성할 수도 있다. 또한, 세정액 공급공(33E)의 하단면(33B)에 접한 영역은 모깍기나 모따기를 하거나, 확장시켜 상부로부터 공급되는 세정액이 신속하게 하단면(33B)으로 공급되어 수막 형성이 원활하도록 할 수도 있다. 8, the cleaning liquid supply hole 33E is formed so as to penetrate from the mounting surface 33D toward the lower surface 33B and may be formed to maintain a right angle with respect to the lower surface 33B Or may be formed to be inclined at a predetermined angle. Further, the area contacting the lower end surface 33B of the cleaning liquid supply hole 33E may be filled or chamfered or expanded so that the cleaning liquid supplied from the upper part is quickly supplied to the lower end surface 33B to smooth the formation of the water film have.

한편, 설치면(33E)에는, 세정액 공급부(50)로부터 공급되는 세정액이 세정액 공급공(33E)으로 유도되어 공급되도록 하부 영역이 세정액 공급공(33E)에 접하는 경사진 유도홈(33F)이 웨이브 가이드(33)의 길이방향으로 길게 형성된다. 이와 같이 유도홈(33F)이 경사진 설치면(33E)에 형성되어 소정각도로 하향 경사진 것은, 세정액 공급부(50)로부터 공급되는 세정액이 급격하게 세정액 공급공(33E)들로 공급되지 않고 각 세정액 공급공(33E)들로 균일하고 안정적으로 공급되도록 하기 위한 것이다. On the other hand, the inclined guide groove 33F, in which the lower area is in contact with the cleaning liquid supply hole 33E, is guided to the mounting surface 33E so that the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply unit 50 is guided and supplied to the cleaning liquid supply hole 33E, And is formed long in the longitudinal direction of the guide 33. When the guide groove 33F is formed on the inclined mounting surface 33E and inclined downward at a predetermined angle in this manner, the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply portion 50 is not suddenly supplied to the cleaning liquid supply holes 33E, To be uniformly and stably supplied to the cleaning liquid supply holes 33E.

세정액 공급부(50)는, 도시되지 않은 세정액 공급 호스와 연결되고, 내부에는 호스로부터 공급되는 세정액을 유도홈(33F)으로 공급하기 위한 슬롯(52)이 형성된 공급블록(54)을 포함한다. 공급블록(54)은, 슬롯(52)의 하부 영역이 유도홈(33F)의 상부영역에 위치하도록 설치면(33D)에 볼트 등으로 장착된다. 전술한 슬롯(52)은 호스로부터 공급되는 세정액이 과도하게 유도홈(33F)으로 공급되지 않고 안정적으로 공급되도록 하기 위한 것이다. 공급블록(54)은 2개로 구성되고 어느 하나에의 일면에 홈이 형성되므로, 2개가 서로 결합됨으로써 그 사이에 슬롯(52)이 형성된다. The cleaning liquid supply portion 50 includes a supply block 54 connected to a cleaning liquid supply hose not shown and having a slot 52 for supplying a cleaning liquid supplied from the hose to the guide groove 33F. The supply block 54 is mounted on the mounting surface 33D with bolts or the like so that the lower region of the slot 52 is located in the upper region of the guide groove 33F. The above-described slot 52 is intended to ensure that the cleaning liquid supplied from the hose is not supplied excessively to the guide groove 33F but stably. The supply block 54 is formed of two pieces, and grooves are formed on one surface of the supply block 54, so that two pieces are coupled to each other to form a slot 52 therebetween.

세정액 공급부(50)의 공급블록(54)은 설치면(33D)이 경사지게 형성되므로, 도 8에 도시된 바와 같이 일측으로 기울어진 장착상태가 되고, 각각의 호스들은 공급블록(54)에 등간격으로 각각 연결되어 세정액을 공급하게 된다. The supply block 54 of the cleaning liquid supply part 50 is inclined so that the mounting block 33 is inclined to one side as shown in FIG. Respectively, to supply the cleaning liquid.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치의 작용을 설명하기로 한다. The operation of the ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the present invention constructed as described above will be described.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 프레임(20) 양쪽 벽 상단에 초음파 세정기(30)가 세정액 공급부(50)를 구비하여 설치된 상태에서, 이송 로울러(22)가 작동되면 패널(10)이 초음파 세정기(30)의 하부 방향으로 수평 이동한다. 6 and 7, when the conveying roller 22 is operated in a state where the ultrasonic cleaner 30 is installed on the top of both sides of the frame 20 with the cleaning liquid supply unit 50, And moves horizontally in the lower direction of the ultrasonic cleaner 30. [

이때, 패널(10)의 하부에 위치하는 노즐(23)에서는 세정액이 분사된다. At this time, the cleaning liquid is sprayed from the nozzle 23 located at the lower portion of the panel 10.

그리고 세정액 공급부(50)의 슬롯(52)으로 공급된 세정액은 도 8에 도시된 화살표 방향으로 유도홈(33F)과 세정액 공급공(33E)을 통하여 하단면(33B)의 저부로 공급된다. The cleaning liquid supplied to the slot 52 of the cleaning liquid supply unit 50 is supplied to the bottom of the lower surface 33B through the guide groove 33F and the cleaning liquid supply hole 33E in the direction of the arrow shown in Fig.

하단면(33B)으로 공급된 세정액은 패널(10)의 표면과의 사이에 수막을 형성하게 된다. The cleaning liquid supplied to the bottom surface 33B forms a water film between the surface of the panel 10 and the cleaning liquid.

한편, 하단면(33B)과 패널(01)의 표면 사이에 수막이 형성되면, 초음파 진동자(32A)에서 발생된 초음파가 상단면(33A)로 전달된 후, 반사면(33C)에 반사되어 하단면(33B)에 확산된 상태로 전달된다. 즉, 초음파가 반사면(33C)에 반사되어 확산되므로 초음파는 상단면(33A)보다 넓은 면적의 하단면(33B) 전체에 균일하게 전달된다. On the other hand, when a water film is formed between the bottom surface 33B and the surface of the panel 01, the ultrasonic waves generated from the ultrasonic vibrator 32A are transmitted to the top surface 33A, reflected by the reflecting surface 33C, And is diffused to the surface 33B. That is, since the ultrasonic waves are reflected and diffused on the reflection surface 33C, the ultrasonic waves are uniformly transmitted to the entire lower surface 33B having a larger area than the upper surface 33A.

이와 같은 작용으로 하단면(33B)과 패널(10)의 표면 사이에는 세정액 수막이 형성되고, 이 수막에 초음파가 가해짐으로써, 패널(10) 표면의 세정이 원활하게 이루어지는 것이다.In this way, a cleaning liquid film is formed between the bottom surface 33B and the surface of the panel 10, and ultrasonic waves are applied to the surface of the panel 10, thereby cleaning the surface of the panel 10 smoothly.

특히, 하단면(33B)의 면적이 상단면(33A)보다 넓게 형성됨으로써 세정액의 수막 형성이 용이하고, 넓은 면적의 하단면(33B) 전체에 초음파가 균일하게 분포되어 전달됨으로써 세정효율이 향상될 수 있게 된다. Particularly, since the area of the bottom surface 33B is wider than the top surface 33A, the formation of the water film of the cleaning liquid is facilitated and the ultrasonic waves are distributed uniformly over the entire bottom surface 33B having a large area, .

한편, 패널(10)의 초기 진입 영역, 또는 세정액의 불안전한 공급으로 수막형성이 원활하지 못하더라도 초음파가 반사면(33C)에 의해 하단면(33B)에 균일하게 분산되어 전달되므로, 초음파 진동자(32A)가 파손되는 현상이 최소화되거나 방지될 수 있다.  On the other hand, since the ultrasonic wave is uniformly dispersed and transmitted to the lower end surface 33B by the reflection surface 33C even if the water film formation is not smooth due to the initial entry region of the panel 10 or the unstable supply of the cleaning liquid, 32A can be minimized or prevented.

첨부된 도면 중에서, 도 9는 도 6에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치와 종래기술에 의한 초음파 세정장치의 음압 분포 형상을 비교한 사진이다. 9 is a photograph showing a comparison of sound pressure distribution shapes of the ultrasonic cleaning apparatus for large area panel shown in Fig. 6 and the conventional ultrasonic cleaning apparatus.

도 9에서 확인되는 바와 같이, 초음파의 출력에 따라 도 1 및 도 2에 도시된 종래기술에 의한 대면적 패널용 초음파 세정장치와 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치의 음압 형상은 현저한 차이를 보이고 있음을 알 수 있다. 즉, 종래기술에 의한 대면적 패널용 초음파 세정장치는 수막의 불안정한 형성으로 초음파가 전달되지 않는 데드존이 발생하나, 본 발명에 따른 대면적 패널용 초음파 세정장치에서는 이러한 현상이 발생되지 않음을 보여주고 있는 것이다. As can be seen from Fig. 9, the sound pressure shape of the ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the prior art shown in Figs. 1 and 2 and the ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the present invention, . That is, in the ultrasonic cleaning apparatus for a large-area panel according to the related art, a dead zone occurs in which ultrasonic waves are not transmitted due to unstable formation of a water film, but this phenomenon does not occur in the ultrasonic cleaning apparatus for a large- It is giving.

도 10은 도 3에 도시된 대면적 패널용 초음파 세정장치의 진동블록과 웨이브 가이드가 길이방향으로 연결되는 상태를 도시한 일부확대 사시도이다. FIG. 10 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the vibration block and the wave guide of the ultrasonic cleaning device for large-area panel shown in FIG. 3 are connected in the longitudinal direction.

도 10에 도시된 바와 같이, 웨이브 가이드(33)는, 연결 브라켓(38)들에 의해 길이방향으로 서로 연결되되, 연결 브라켓(38)들은 양단이 진동블록(32B) 또는 웨이브 가이드(33)에 양단이 각각 결합되어 양쪽의 웨이브 가이드(33)를 서로 연결하는 것을 제외하고는 전술한 실시예와 같다. 10, the waveguides 33 are connected to each other in the longitudinal direction by connecting brackets 38, and the connecting brackets 38 are connected at both ends to the oscillating block 32B or the waveguide 33 Except that both ends of the waveguide 33 are coupled to each other to connect the waveguides 33 to each other.

이때, 웨이브 가이드(33)의 양쪽 단면 또는 진동블록(32B)의 양쪽 단면에는, 웨이브 가이드(33)가 서로 길이방향으로 연결될 때, 하단면(33B)들이 서로 수평상태가 되도록 위치를 결정하고 고정하기 위한 위치 고정돌기(39A) 및 위치 고정홈(39B)이 서로 대응되도록 형성된다. At both ends of the waveguide 33 or both ends of the vibration block 32B, when the waveguides 33 are connected to each other in the longitudinal direction, the lower ends 33B are positioned and fixed The position fixing projections 39A and the position fixing grooves 39B are formed to correspond to each other.

이와 같은 구조에 의해 하나의 웨이브 가이드(33)의 길이보다 더 큰 면적의 패널(10)을 세정할 경우에, 두 개의 웨이브 가이드(33)를 전술한 구조로 연결하여 적용할 수 있는 것이다. With this structure, when cleaning the panel 10 having an area larger than the length of one waveguide 33, it is possible to connect the two waveguides 33 in the structure described above.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious to those who have. Accordingly, it should be understood that such modifications or alterations should not be understood individually from the technical spirit and viewpoint of the present invention, and that modified embodiments fall within the scope of the claims of the present invention.

10 : 패널 20 : 프레임
30 : 초음파 세정기 32 : 초음파 진동부
32A : 초음파 진동자 32B : 진동블록
33 : 웨이브 가이드 33A : 상단면
33B : 하단면 33C : 반사면
33D : 설치면 33E : 세정액 공급공
33F : 유도홈 38 : 연결 브라켓
39A : 고정돌기 39B : 고정홈
40 : 결합수단 50 : 세정액 공급부
52 : 슬롯 54 : 공급블록10: panel 20: frame
30: ultrasonic cleaner 32: ultrasonic vibrator
32A: ultrasonic vibrator 32B: vibration block
33: Waveguide 33A: Top surface
33B: bottom surface 33C: reflecting surface
33D: mounting surface 33E: cleaning liquid supply hole
33F: guide groove 38: connection bracket
39A: Fixing projection 39B: Fixing groove
40: coupling means 50: cleaning liquid supply part
52: Slot 54: Feed block

Claims (8)

대면적 패널을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러를 구비한 프레임과, 이송되는 상기 패널의 폭과 같거나 크도록 길이방향으로 길게 형성되어 양단이 상기 프레임의 양측에 결합수단에 의해 각각 고정되는 초음파 진동부와, 상기 초음파 진동부와 패널 사이로 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하여 이송되는 패널의 표면으로 세정액을 공급하여 수막을 형성하고 수막에 초음파를 가하여 패널의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기를 포함하고,
상기 초음파 진동부는,
초음파 진동자가 마련된 진동블록; 및 상기 진동블록의 저면에 상단면이 결합되고, 하단에는 상기 상단면과 서로 평행하게 형성되고 상기 패널의 표면과 마주보는 하단면을 구비하되, 상기 하단면은 상기 상단면의 면적보다 더 크게 형성하며, 상기 상단면과 하단면 사이의 한쪽 변에는, 상기 상단면을 통과한 초음파를 반사시켜 상기 하단면으로 확산시키기 위한 반사면이 경사지게 형성되는 웨이브 가이드로 이루어지며,
상기 웨이브 가이드는,
상기 하단면과 소정의 각도를 유지하여 경사지게 설치면이 형성되고, 상기 설치면에서 상기 하단면으로 관통되어 세정액 공급공들이 형성되며, 상기 설치면에는 상기 세정액 공급공으로 세정액을 공급하도록 상기 세정액 공급부가 마련되고, 상기 설치면에는 상기 세정액 공급부로부터 공급되는 세정액이 각각의 상기 세정액 공급공으로 균일하게 유도되어 공급되도록 하부 영역이 상기 세정액 공급공에 접하는 경사진 유도홈이 길이방향으로 길게 형성되고,
상기 세정액 공급부는,
세정액 공급 호스와 연결되고, 내부에는 호스로부터 공급되는 세정액을 상기 유도홈으로 공급하기 위한 슬롯이 형성된 공급블록을 포함하고, 상기 공급블록은, 상기 슬롯의 하부 영역이 상기 유도홈의 상부영역에 위치하도록 상기 설치면에 장착되며,
상기 웨이브 가이드는,
연결 브라켓들에 의해 길이방향으로 서로 연결되되, 상기 연결 브라켓들은 양단이 상기 진동블록 또는 상기 웨이브 가이드에 각각 결합되어 양쪽의 웨이브 가이드를 서로 연결하고, 상기 웨이브 가이드의 양쪽 단면 또는 진동블록의 양쪽 단면에는, 상기 웨이브 가이드가 상기 연결 브라켓들에 의해 서로 길이방향으로 연결될 때, 상기 하단면들이 서로 수평상태가 되도록 위치를 결정하고 고정하기 위한 위치 고정돌기 및 위치 고정홈이 서로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.A frame having a plurality of conveying rollers for horizontally conveying a large-area panel; an ultrasonic transducer, which is elongated in the longitudinal direction so as to be equal to or larger than the width of the panel to be conveyed, And a cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid between the ultrasonic vibration unit and the panel to supply a cleaning liquid to the surface of the panel to be transferred to form a water film and ultrasonic waves are applied to the water film to clean the surface of the panel. Including,
The ultrasonic vibrator may include:
A vibration block provided with an ultrasonic vibrator; And a bottom surface opposed to a surface of the panel, wherein the bottom surface is formed to be larger than an area of the top surface, wherein the top surface is coupled to a bottom surface of the vibration block, And a waveguide is formed at one side between the upper surface and the lower surface so that the reflection surface for reflecting ultrasonic waves passing through the upper surface and diffusing the ultrasonic waves to the lower surface is inclined,
The wave guide
A cleaning liquid supply hole is formed through the mounting surface so as to penetrate from the mounting surface to the lower end surface and the cleaning liquid supply portion is provided on the mounting surface so as to supply the cleaning liquid to the cleaning liquid supply hole, Wherein an inclined guide groove in which a lower region is in contact with the cleaning liquid supply hole is formed long in the longitudinal direction so that the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply unit is uniformly guided and supplied to each of the cleaning liquid supply holes,
The cleaning liquid supply unit includes:
And a supply block connected to the cleaning liquid supply hose and having a slot formed therein for supplying a cleaning liquid supplied from the hose to the guide groove, wherein the lower area of the slot is located in the upper area of the guide groove A mounting surface,
The wave guide
The connecting brackets are connected to each other at both ends thereof by the connecting brackets so that both ends of the connecting brackets are connected to the vibrating block or the waveguide so that both waveguides are connected to each other. The position fixing projections and the position fixing grooves for positioning and fixing the lower ends of the wave guides to be horizontal are formed to correspond to each other when the wave guides are connected to each other in the longitudinal direction by the connection brackets As a result,
Ultrasonic cleaning device for large area panel. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 반사면은,
상기 상단면을 통하여 전달되는 초음파가 상기 하단면 전체로 확산되도록 비구면으로 형성되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method according to claim 1,
The reflective surface may be,
And an ultrasonic wave transmitted through the upper surface is formed as an aspherical surface so as to be diffused to the entire lower surface.
Ultrasonic cleaning device for large area panel. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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