KR20190137451A - Air knife module assemble and substrate drying apparatus using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프가 일체로 구성된 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife module assembly and a substrate drying apparatus using the same, and more particularly, to an air knife module assembly and a substrate drying apparatus including the upper air knife and the lower air knife.
평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)의 기판 등을 제조할 때에, 제반 공정을 거치는 과정에서 기판의 표면은 외부로부터 유입되는 이물질이나 기판 자체에서 발생하는 파티클 등의 오염물질에 의해 오염이 된다. 따라서, 기판 표면의 각종 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로 세정공정이 수행된다. 예를 들어, 세정공정은 약액처리공정과 린스공정으로 이루어지고, 이들 공정 후에 건조공정이 수행됨으로써 기판 표면의 잔류물이나 세정액이 제거된다.When manufacturing a substrate of a flat panel display (FPD), the surface of the substrate is contaminated by contaminants such as foreign substances introduced from the outside or particles generated from the substrate itself in the course of the various processes. Therefore, cleaning processes are performed before and after some manufacturing processes to remove various contaminants on the substrate surface. For example, the cleaning process includes a chemical liquid treatment process and a rinse process, and a drying process is performed after these processes to remove residues or cleaning liquid on the substrate surface.
일반적으로 건조공정에서는 기판의 표면에 건조공기(Clean Dry Air : CDA)를 가압 분사하는 에어나이프가 이용되고 있다. In general, in the drying process, an air knife that pressurizes and sprays dry air (CDA) onto a surface of a substrate is used.
통상적인 기판을 건조시키기 위한 챔버 내부에서 에어나이프는 기판의 상부와 하부 측에 각각 기판의 너비방향으로 설치된다.In the chamber for drying a conventional substrate, an air knife is installed in the width direction of the substrate on the upper and lower sides of the substrate, respectively.
한편, 점차 평판 디스플레이 장치의 크기가 대형화됨에 따라 종래의 기판 건조 장치 및 에어나이프의 크기도 역시 대형화되는 추세에 있다. On the other hand, as the size of the flat panel display device gradually increases, the size of the conventional substrate drying apparatus and the air knife also increases in size.
또한, 에어나이프는 기판상의 탈이온수를 효과적으로 제거할 수 있도록 기판 표면에 대해 비스듬하게 가스가 분사되도록 에어나이프를 소정 각도로 기울여서 설치하게 된다. In addition, the air knife is installed by tilting the air knife at a predetermined angle so that gas is injected obliquely to the surface of the substrate so as to effectively remove the deionized water on the substrate.
따라서, 에어나이프 자체의 자중으로 인해 처짐이 발생하며, 이로 인해 가스의 분사각이 변하게 되는 문제점이 있다. 종래에는 이러한 에어나이프의 처짐과 에어나이프의 높이 및 각도조절을 하기 위해서는 상부 에어나이프와 하부 에어나이프를 각각 조절하도록 구현되었다.Therefore, deflection occurs due to the self-weight of the air knife itself, which causes a problem that the injection angle of the gas is changed. In the related art, in order to adjust the deflection of the air knife and the height and angle of the air knife, the upper air knife and the lower air knife are respectively adjusted.
즉, 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프의 처짐과, 높이 및 각도를 조절하기 위해서 각각의 조절수단이 구비됨에 따라 장치의 부품수가 증가되어 장치가 커지게 되고, 정밀하게 조절하기가 어려운 문제점이 있었다. That is, as the respective adjusting means are provided to adjust the deflection of the upper air knife and the lower air knife, and the height and the angle, the number of parts of the device is increased, thereby increasing the size of the device and making it difficult to precisely control the air knife.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프를 일체형 모듈 어셈블리로 구성하고, 일체형 모듈 어셈블리상에서 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 수행할 수 있도록 하는 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to solve the conventional problems, the present invention comprises the upper air knife and the lower air knife as an integrated module assembly, the adjustment of the spacing, angle adjustment and deflection of each air knife on the integrated module assembly An object of the present invention is to provide an air knife module assembly and a substrate drying apparatus using the same.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리는, 기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프; 상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛; 상기 상부 에아나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프; 상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛; 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프의 일측단부가 결합되는 측면 지지유닛; 상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하고, 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하는 간격조절유닛; 및 상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면에 대해 상부 에어나이프의 분사각도를 조절하고, 상기 기판의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프의 분사각도를 조절하는 각도조절유닛;을 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, the knife module assembly according to the present invention, spraying the fluid toward the upper surface of the substrate, and each of the rotating projections protruding in the lower region of both sides, respectively protruding in the upper region of the both sides An upper air knife including an angle adjusting protrusion formed; An upper support unit having the upper air knife disposed thereon to support the upper air knife; A lower air knife disposed to be spaced apart from the upper air knife at a predetermined interval to inject a fluid toward a lower surface of the substrate; A lower support unit disposed under the lower air knife to support the lower air knife; It is coupled to one side of the upper support unit and one side of the lower support unit at the same time, one side end of the upper air knife is coupled to the inner side upper region, one side end of the lower air knife is coupled to the inner side lower region Being side support unit; A gap adjusting unit disposed on the side support unit to adjust a gap between an upper surface of the substrate and the upper air knife, and a gap between a lower surface of the substrate and the lower air knife; And an angle adjusting unit disposed on the side support unit to adjust an injection angle of the upper air knife with respect to an upper surface of the substrate and to adjust an injection angle of the lower air knife with respect to a lower surface of the substrate.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 측면 지지유닛은 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되는 측면 플레이트; 상기 상부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치되는 상부 결합블록; 및 상기 하부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 하부영역에 이동 가능하게 배치되는 하부 결합블록;을 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the side support unit includes a side plate coupled to one side of the upper support unit and one side of the lower support unit at the same time; An upper coupling block movably disposed in an upper region of an inner side surface of the side plate to couple one end of the upper air knife; And a lower coupling block movably disposed in a lower region of an inner side surface of the side plate to couple one side end of the lower air knife.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 상부 결합블록은, 상기 상부 결합블록의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기가 회전 가능하게 결합되는 회전돌기 결합부; 상기 각도조절돌기를 상기 상부 결합블록에 결합시키기 위하여, 상기 상부 결합블록의 일측면 상부영역에 형성된 각도조절홈부;를 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the upper coupling block is formed on one side lower region of the upper coupling block, the rotating projection coupling portion rotatably coupled to the rotating projection; In order to couple the angle adjusting projection to the upper coupling block, the angle adjusting groove portion formed in one side upper region of the upper coupling block; may include.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 간격조절유닛은, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제1 간격조절봉; 및 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 하부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 하부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제2 간격조절봉;을 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the gap adjusting unit is a screw in the first screw hole formed along the longitudinal direction of the upper coupling block, in order to adjust the gap between the upper surface of the substrate and the upper air knife A first gap adjusting rod coupled to move the upper coupling block in an up and down direction on the side plate; And a second screw hole formed along the longitudinal direction of the lower coupling block to adjust a distance between the lower surface of the substrate and the lower air knife to move the lower coupling block in the vertical direction on the side plate. It may include; a second spacing rod.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제2 간격조절봉의 길이는 상기 제1 간격조절봉의 길이보다 길게 형성되고, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀에 나사 결합되는 것을 특징한다.In the knife module assembly according to the invention, the length of the second gap adjusting rod is formed longer than the length of the first gap adjusting rod, in a state passing through the first through-hole formed along the longitudinal direction of the upper coupling block The screw is coupled to the second screw hole.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 간격조절유닛은, 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록 및 상기 하부 결합블록의 이동을 안내하기 위하여, 상기 측면 플레이트의 길이방향을 따라 오목하게 형성된 가이드홈부; 및 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제1 가이드; 및 상기 하부 결합부의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제2 가이드;를 더 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the gap adjusting unit, the guide groove portion formed concave along the longitudinal direction of the side plate in order to guide the movement of the upper coupling block and the lower coupling block on the side plate. ; And a first guide protruding along the longitudinal direction of the upper coupling block and coupled to the guide groove. And a second guide protruding in the lengthwise direction of the lower coupling part and coupled to the guide groove part.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 각도조절유닛은, 상기 각도조절홈부에 이동가능하게 배치되고, 상기 각도조절돌기가 이동가능하게 결합되는 이동홈이 마련된 각도조절블록; 상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제3 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부상에서 상기 각도조절블록을 이동시키는 각도조절나사; 및 상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제4 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부에 배치되어 상기 각도조절나사에 의해 이동되는 상기 각도조절블록의 이동위치를 제한하는 제1 이동제한나사; 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the angle adjusting unit, the angle adjusting block is disposed to be movable to the angle adjusting groove, the angle adjusting block is provided with a moving groove to which the angle adjusting projection is movable; An angle for screwing into an angle adjusting screw hole formed on one side of the angle adjusting block in the state of being screwed to the third screw hole formed on one side of the upper coupling block to move the angle adjusting block on the angle adjusting groove portion. Adjusting screw; And a first movement limiting screw disposed in the angle adjusting groove in a state of being screwed to the fourth screw hole formed on one side of the upper coupling block to limit the movement position of the angle adjusting block moved by the angle adjusting screw. ; It may include.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 상부 지지유닛 및 상기 하부 지지유닛에 배치되어, 상기 상부 에어나이프 및 상기 하부 에어나이프의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛;을 더 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, disposed in the upper support unit and the lower support unit, a position compensation unit for compensating for the position of the sag of the upper air knife and the lower air knife; Can be.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 위치보상유닛은, 상기 상부 지지유닛의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하기 위한 제1 위치보상수단; 상기 제1 위치보상수단상에 배치되어, 상기 상부에어나이프의 상하방향 위치를 보상하기 위한 제2 위치보상수단; 및 상기 제2 위치보상수단에 연결되어 상기 상부 에어나이프를 이동가능하게 지지하기 위한 지지수단;을 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the invention, the position compensation unit, disposed on the upper support unit, the first position compensation means for compensating the left and right position of the upper air knife; A second position compensating means disposed on the first position compensating means, for compensating a vertical position of the upper air knife; And support means connected to the second position compensation means to move the upper air knife in a movable manner.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제1 위치보상수단은, 상기 상부 지지유닛에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부와, 상기 좌측방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부 및 상기 좌측방향 위치보상부와 상기 우측방향 위치보상부가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단의 일부가 배치되는 연장부 포함하는 제1 위치보상블록; 상기 상부 지지유닛에 형성되되, 상기 좌측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부를 이동시키는 좌측방향 위치조절나사; 및 상기 제5 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 좌측 방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제2 이동제한나사;를 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the first position compensating means is coupled to the upper support unit to be movable, the left position compensator for compensating the position of the left side of the upper air knife; Is formed on one side of the left position compensation portion is formed to project in the downward direction from the right position compensation portion for compensating the position of the right direction of the upper air knife and the left position compensation portion and the right position compensation portion connected A first position compensating block including an extension part of which a part of the second position compensating means is disposed; Is formed in the upper support unit, screwed to the left position adjustment screw hole formed along the width direction of the left position compensation portion in the state of being screwed to the fifth screw hole formed in a position corresponding to the left position compensation portion A leftward position adjusting screw for moving the leftward position compensation part; And disposed between one side of the upper support unit and one side of the left position compensator in a state of being screwed to the sixth screw hole formed to be spaced apart from the fifth screw hole at a predetermined interval. And a second movement limiting screw for limiting the movement position of the left position compensation part moved by the second position limiting screw.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제1 위치보상수단은, 상기 상부 지지유닛에 형성되되 상기 우측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부를 이동시키는 우측방향 위치조절나사; 및 상기 제7 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제3 이동제한나사;를 더 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the first position compensating means is formed in the upper support unit, the right side in the state coupled to the seventh screw hole formed in a position corresponding to the right position compensation portion; A rightward position adjustment screw which is screwed into a rightward position adjustment screw hole formed along the width direction of the directional position compensator to move the rightward position compensator; And disposed between one side of the upper support unit and one side of the rightward position compensation part in a state of being screwed to the eighth screw hole spaced apart from the seventh screw hole at a predetermined interval. And a third movement limiting screw for limiting a movement position of the rightward position compensation part moved by the third position.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제2 위치보상수단은, 상기 연장부에 형성된 이동홀에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부와, 상기 상하방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 지지수단이 결합되는 지지수단 결합부를 포함하는 제2 위치보상블록; 및 상기 상부 지지유닛의 상면에 형성된 제2 관통홀에 관통되고 상기 제1 위치보상블록의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부를 이동시키는 상하방향 위치조절나사;를 포함할 수 있다.In the knife module assembly according to the present invention, the second position compensation means is formed on one side of the up and down position compensation portion movably disposed in the movement hole formed in the extension portion, the up and down position compensation portion is formed A second position compensation block including a support means coupling portion to which support means are coupled; And formed along the height direction of the up-and-down position compensator in a state penetrating through the second through-hole formed on the upper surface of the upper support unit and penetrating through the third through-hole formed along the height direction on the upper surface of the first position compensation block. And a vertical position adjusting screw which is screwed to a vertical position adjusting screw hole to move the vertical position compensating part.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 지지수단 결합부에 형성된 힌지홀에 결합되는 힌지부재; 및 일측은 상기 힌지부재에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프가 결합되는 결합브라켓;을 포함하되, 상기 결합브라켓은, 상기 힌지부재와 결합되는 힌지부재 결합부 및 상기 힌지부재 결합부의 일측단부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프가 결합되는 상부 에어나이프 결합부;를 포함할 수 있다. In the knife module assembly according to the present invention, the support means, the hinge member is coupled to the hinge hole formed in the support means coupling portion; And one side is coupled to the hinge member and the other side is a coupling bracket to which the upper air knife is coupled, wherein the coupling bracket extends from one side end of the hinge member coupling portion and the hinge member coupling portion that are coupled to the hinge member. It may be formed; upper air knife coupling portion is coupled to the upper air knife.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판의 유입되는 입구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제1 아이들롤러; 및 상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판이 배출되는 출구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제2 아이들롤러;를 더 포함할 수 있다.In the kite module assembly according to the present invention, a plurality of first idler roller disposed on the lower support unit, disposed on the inlet side of the substrate, the first idle roller for supporting the lower surface of the substrate; And a plurality of second idle rollers disposed on the lower support unit and disposed on an outlet side from which the substrate is discharged to support a lower surface of the substrate.
본 발명에 따른 기판건조장치는, 앞서 기재된 에어나이프 모듈 어셈블리; 상기 기판이 처리되는 내부공간을 형성되고, 상기 내부공간상에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리가 배치되는 챔버; 및 상기 내부공간상에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송수단:을 포함한다.Substrate drying apparatus according to the present invention, the air knife module assembly described above; A chamber in which an inner space is formed in which the substrate is processed, and in which the air knife module assembly is disposed; And transfer means disposed on the inner space to transfer the substrate.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프를 일체형 모듈 어셈블리로 구성하고, 일체형 모듈 어셈블리상에서 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 수행함에 따라, 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 정밀하게 수행할 수 있는 효과가 있다. As described above, the air knife module assembly and the substrate drying apparatus using the same according to the present invention comprises an upper air knife and a lower air knife as an integrated module assembly, and the spacing and angle adjustment of each air knife on the integrated module assembly. And by performing the position adjustment for the compensation of the deflection, it is possible to precisely perform the adjustment of the spacing of each air knife, the position adjustment for the angle adjustment and the compensation of the deflection.
또한, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 상부 에어나이프, 하부 에어나이프, 간격조절유닛, 각도조절유닛 및 위치보상유닛을 일체형으로 구성함에 따라, 기판건조장치를 콤팩트하게 제작할 수 있는 효과가 있다. In addition, the air knife module assembly and the substrate drying apparatus using the same according to the present invention, by configuring the upper air knife, the lower air knife, the gap adjusting unit, the angle adjusting unit and the position compensation unit integrally, the substrate drying apparatus compactly There is an effect that can be produced.
또한, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 에어나이프 모듈 어셈블리 중 기판의 유입되는 유입구측 및 기판이 배출되는 배출구측에 각각의 아이들롤러를 설치함에 따라, 이송되는 기판의 처짐을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the air knife module assembly and the substrate drying apparatus using the same according to the present invention, by installing each idle roller on the inlet side of the substrate inlet and the outlet side of the substrate of the air knife module assembly, There is an effect that can prevent sag.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 측면 지지유닛에 설치된 상태를 나타낸 요부 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 상부 결합블록에 결합되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 지지유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a perspective view schematically illustrating a main part of a front side structure of an air knife module assembly according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view schematically showing the main structure of the rear side of the air knife module assembly according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view of the main part showing a state in which the upper air knife is installed in the side support unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining a process in which the upper air knife is coupled to the upper coupling block according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view illustrating an exploded configuration of the side support unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a perspective view schematically showing the main structure of the front side of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a perspective view schematically showing the main structure of the rear side of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention.
8 is an exploded perspective view illustrating an exploded configuration of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a view schematically showing the structure of a substrate drying apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention in which the above-described problem to be solved may be specifically realized. In describing the present embodiments, the same name and the same reference numerals are used for the same configuration and additional description thereof will be omitted below.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.1 is a perspective view schematically illustrating a main part of a front side structure of an air knife module assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 schematically shows a rear side structure of an air knife module assembly according to an embodiment of the present invention. Main part perspective view.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 측면 지지유닛에 설치된 상태를 나타낸 요부 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 상부 결합블록에 결합되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.In addition, Figure 3 is a perspective view of the main part showing a state in which the upper air knife is installed in the side support unit according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is the upper air knife according to an embodiment of the present invention is coupled to the upper coupling block It is a figure for demonstrating a process.
또한, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 지지유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.In addition, Figure 5 is an exploded perspective view of the configuration of the side support unit according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a perspective view schematically showing the front side structure of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention. .
또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.In addition, Figure 7 is a perspective view schematically showing the main structure of the rear side of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is an exploded perspective view of the configuration of the position compensation unit according to an embodiment of the present invention .
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 상부 에어나이프(100)와, 상부 지지유닛(200)과, 하부 에어나이프(300)와, 하부 지지유닛(400)과, 측면 지지유닛(500)과, 간격조절유닛(600) 및 각도조절유닛(700)을 포함한다.1 to 8, an air
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 에어나이프(100)는 기판(S)의 상면을 향해 유체를 분사하여 상기 기판(S)의 상면을 건조시킬 수 있다.As illustrated in FIGS. 1 and 2, the
이때, 상기 상부 에어나이프(100)의 양측면에는 상기 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하기 위한 회전돌기(도 4의 110)와, 각도조절돌기(도 4의 120)가 구비될 수 있다.At this time, both side surfaces of the
상기 회전돌기(110)는 상부 에어나이프(100)의 양측면 하부영역에 구비될 수 있고, 상기 각도조절돌기(120)는 상부영역에 구비될 수 있다.The rotating
상기 상부 지지유닛(200)은 상기 상부 에어나이프(100)이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.The
상기 하부 에어나이프(300)는 기판(S)의 하면을 향해 유체를 분사하여 상기 기판(S)의 하면을 건조시킬 수 있다.The
이때, 하부 에어나이프(300)는 상기 하부 에어나이프(300)의 분사각도를 조절하기 위하여 상기 상부 에어나이프(100)와 동일하게, 상기 회전돌기(110)와 각도조절돌기(120)가 구비될 수 있다. At this time, the
상기 하부 지지유닛(400)은 상기 하부 에어나이프(300)이 하부에 배치되어 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.The
상기 측면 지지유닛(500)은 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 하부 지지유닛(400)의 일측면에 동시에 결합될 수 있다. The
이때, 상기 측면 지지유닛(500)의 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프(300)의 일측단부가 결합될 수 있다.In this case, one side end portion of the
한편, 상기 상부 지지유닛(200)의 타측면과 상기 하부 지지유닛(400)이 타측면에 동시에 결합되되 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프(100)의 타측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프(300)의 타측단부가 결합되는 또 하나의 측면 지지유닛(500)이 구비되는 것은 당연할 것이다.Meanwhile, the other side of the
이하에서는 상기 상부 지지유닛(200)과 하부 지지유닛(400)의 양측에 결합되는 측면 지지유닛(500)의 구조가 동일하여 하나의 측면 지지유닛(500)에 대해서만 설명하기로 한다.Hereinafter, the structure of the
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 측면 지지유닛(500)은 측면 플레이트(510)와 상부 결합블록(520) 및 하부 결합블록(530)을 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 3 to 5, the
상기 측면 플레이트(510)는 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 하부 지지유닛(400)의 일측면에 동시에 결합될 수 있다.The
상기 상부 결합블록(520)은 상기 측면 플레이트(510)에 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 이동가능하게 결합시키기 위한 구성인 것으로서, 상기 상부 결합블록(520)는 상기 측면 플레이트(510)의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치될 수 있다.The
상기 상부 결합블록(520)은 회전돌기 결합부(521) 및 각도조절홈부(522)를 포함할 수 있다.The
상기 회전돌기 결합부(521)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기(110)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이때, 상기 회전돌기 결합부(521)는 상기 회전돌기(110)가 삽입되는 홀 형태로 형성될 수 있다.The rotation
상기 각도조절홈부(522)는 상기 각도조절돌기(120)를 상기 상부 결합블록(520)에 결합시키기 위한 구성인 것으로서, 상기 각도조절홈부(522)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면 상부영역에 형성될 수 있다.The
이때, 상기 각도조절홈부(522)에는 후술하는 각도조절블록(710)이 결합되고 상기 각도조절블록(710)에 형성된 이동홈(711)에 상기 각도조절돌기(120)가 이동가능하게 결합될 수 있다.At this time, the
즉, 상기 상부 결합블록(520)에 형성된 회전돌기 결합부(521)에 상기 회전돌기(110)가 결합되고, 상기 각도조절블록(710)에 형성된 이동홈(711)에 상기 각도조절블록(710)이 결합된 상태에서 상기 각도조절블록(710)이 상기 각도조절홈부(522)에 결합됨으로써, 상기 상부 결합블록(520)에 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 결합되게 된다.That is, the
상기 간격조절유닛(600)은 상기 측면 지지유닛(500)상에 배치되어, 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하고, 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있다. The
상기 간격조절유닛(600)은 제1 간격조절봉(610) 및 제2 간격조절봉(620)을 포함할 수 있다.The
상기 제1 간격조절봉(610)은 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제1 간격조절봉(610)은 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀(H1)에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다. The
한편, 사용자의 조작을 위하여 상기 제1 간격조절봉(610)의 일측단부는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.On the other hand, one side end of the first
즉, 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하기 위하여 사용자가 상기 제1 간격조절봉(610)을 조절하게 되면, 상기 제1 간격조절봉(610)과 나사 결합된 상기 상부 결합블록(520)이 이동되고 상기 상부 결합블록(520)이 이동됨에 따라 상기 상부 결합블록(520)에 결합된 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 이동되면서 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절할 수 있게 된다.That is, when the user adjusts the first
상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 하부 결합블록(530)의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀(H2)에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 하부 결합블록(530)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다.The second
상기 제2 간격조절봉(620)의 길이는 상기 제1 간격조절봉(610)의 길이보다 긴 길이를 가지도록 형성되고, 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀(K1)을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀(H2)에 나사 결합될 수 있다.The length of the second
한편, 사용자의 조작을 위하여 상기 제2 간격조절봉(620)의 일측단부는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다. On the other hand, one side end of the second
즉, 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절하기 위하여 사용자가 상기 제2 간격조절봉(620)을 조절하게 되면, 상기 제2 간격조절봉(620)과 나사 결합된 상기 하부 결합블록(530)이 이동되고 상기 하부 결합블록(530)가 이동됨에 따라 상기 하부 결합블록(530)에 결합된 상기 하부 에어나이프(300)의 일측단부가 이동되면서 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있게 된다.That is, when the user adjusts the second
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 제1 간격조절봉(610)과 동일하게 형성될 수 있으며, 이 경우에는 상기 제1 간격조절봉(610)과 반대방향으로 상기 제2 간격조절봉(620)을 상기 하부 결합블록(530)에 나사 결합시켜 상기 측면 플레이트(510)의 하측 방향에서 상기 제2 간격조절봉(620)을 조절하여 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있다.On the other hand, although not shown, the second
상기 간격조절유닛(600)은 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520) 및 상기 하부 결합블록(530)의 이동을 안내하기 위한 가이드홈부(511)와, 제1 가이드(523) 및 제2 가이드(531)를 더 포함할 수 있다. The
상기 가이드홈부(511)는 상기 측면 플레이트(510)의 길이방향을 따라 오목하게 형성될 수 있으며, 상기 제1 가이드(523)는 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 돌출 형성될 수 있다.The
또한, 상기 제2 가이드(531)는 상기 하부 결합부의 길이방향을 따라 돌출 형성될 수 있으며, 상기 제1 가이드(523) 및 제2 가이드(531)는 상기 가이드홈부(511)에 결합되어 상기 가이드홈부(511)에 안내를 받아 이동될 수 있다.In addition, the
즉, 상기 상부 결합블록(520)에 형성된 제1 가이드(523) 및 상기 하부 결합블록에 형성된 제2 가이드(531)가 상기 가이드홈부(511)을 따라 이동되면서 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520) 및 하부 결합블록(530)이 안정적으로 이동될 수 있게 된다.That is, the
상기 각도조절유닛(700)은 상기 측면 지지유닛(500)상에 배치되어, 상기 기판(S)의 상면에 대해 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하고, 상기 기판(S)의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프(300)의 분사각도를 조절할 수 있다.The
상기 각도조절유닛(700)은 각도조절블록(710)과, 각도조절나사(720) 및 제1 이동제한나사(730)를 포함할 수 있다.The
상기 각도조절블록(710)은 상기 각도조절홈부(522)에 이동가능하게 배치될 수 있으며, 상기 각도조절돌기(120)가 이동가능하게 결합되는 이동홈(711)이 마련될 수 있다.The
상기 각도조절나사(720)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면에 형성된 제3 나사홀(H3)에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록(710)의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀(712)에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부(522)상에서 상기 각도조절블록(710)을 이동시킬 수 있다.The
한편, 상기 각도조절나사(720)의 일측단부는 사용자가 조작을 위하여 상기 상부 지지유닛(200)의 측면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다. On the other hand, one side end of the
상기 제1 이동제한나사(730)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면에 형성된 제3 나사홀(H3)에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부(522)에 배치되어 상기 각도조절나사(720)에 의해 이동되는 상기 각도조절블록(710)의 이동위치를 제한할 수 있다.The first
한편, 상기 제1 이동제한나사(730)의 일측단부는 사용자가 조작을 위하여 상기 상부 지지유닛(200)의 측면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다. On the other hand, one side end of the first
즉, 상기 기판(S)의 상면에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하기 위해서는, 먼저 상기 제1 이동제한나사(730)를 조절하여 상기 각도조절블록(710)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 각도조절나사(720)를 조절하여 상기 각도조절블록(710)이 상기 제1 이동제한나사(730)까지 이동될 수 있도록 한다.That is, in order to adjust the injection angle of the
이때, 상기 각도조절블록(710)은 상기 제1 이동제한나사(730)에 접촉되어 더 이상 이동되지는 않는다.At this time, the
결과적으로, 상기 각도조절나사(720)의 조절에 의해 상기 각도조절블록(710)이 이동되면 상기 이동홈(711)상에서 상기 각도조절돌기(120)가 이동하게 되고, 상기 회전돌기 결합부(521)에 결합된 상기 회전돌기(110)가 회전하게 되어 상기 상부 에어나이프(100)이 분사각도가 조절되게 된다.As a result, when the
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 상기 상부 지지유닛(200) 및 상기 하부 지지유닛(400)에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100) 및 상기 하부 에어나이프(300)의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛(800)을 더 포함할 수 있다.As shown in Figure 6 to 8, the air
여기서, 각 에어나이프의 처짐에 대한 위치보상은 기준위치에서 에어나이프가 좌측방향 또는 우측방향으로 비틀어지는 것에 대한 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하는 것과 에어나이프가 지면을 향해 처치는 것에 대한 에어나이프의 상하방향 위치를 보상하는 것을 포함하여 정의할 수 있다. 상기 기준위치는 에어나이프가 세팅될 위치를 의미할 수 있다.Here, the position compensation for the deflection of each air knife is to compensate for the left and right position of the air knife against the twist of the air knife in the left or right direction at the reference position and the air knife for treating the air knife toward the ground. It can be defined to include the up and down position of the compensation. The reference position may mean a position where the air knife is to be set.
이때, 상기 상부 지지유닛(200)에 배치되는 위치보상유닛(800)과 상기 하부 지지유닛(400)에 배치되는 위치보상유닛(800)은 상호 동일하여 상기 상부 지지유닛(200)에 배치되는 위치보상유닛(800)에 대해서만 설명하기로 한다.At this time, the
상기 위치보상유닛(800)은 제1 위치보상수단(810)과, 제2 위치보상수단(820) 및 지지수단(830)을 포함할 수 있다.The
상기 제1 위치보상수단(810)은 상기 상부 지지유닛(200)의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100)의 좌우방향 위치 즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 좌측방향 또는 우측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위한 구성인 것으로서, 이러한 상기 제1 위치보상수단(810)은 제1 위치보상블록(811)과, 좌측방향 위치조절나사(815)와, 제2 이동제한나사(816)와, 우측방향 위치조절나사(817) 및 제3 이동제한나사(818)를 포함할 수 있다.The first position compensating means 810 is disposed above the
상기 제1 위치보상블록(811)은 상기 상부 지지유닛(200)에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프(100)의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부(812)와, 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프(100)의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부(813) 및 상기 좌측방향 위치보상부(812)와 상기 우측방향 위치보상부(813)가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단(820)의 일부가 배치되는 연장부(814) 포함할 수 있다.The first
상기 좌측방향 위치조절나사(815)는 상기 상부 지지유닛(200)에 형성되되 상기 좌측방향 위치보상부(812)와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀(H5)에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀(812a)에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부(812)를 이동시킬 수 있다.The left
상기 제2 이동제한나사(816)는 상기 제5 나사홀(H5)에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀(H6)에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사(815)에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 이동위치를 제한할 수 있다.The second
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 기준위치로부터 좌측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위해서는, 먼저 상기 제2 이동제한나사(816)를 조절하여 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 좌측방향 위치조절나사(815)를 조절하여 상기 좌측방향 위치보상부(812)가 상기 제2 이동제한나사(816)까지 이동될 수 있도록 한다. 이때, 상기 좌측방향 위치보상부(812)는 상기 제2 이동제한나사(816)에 접촉되어 더 이상 이동되지 않는다.That is, in order to compensate for the position where the
결과적으로, 상기 좌측방향 위치조절나사(815)의 조절에 의해 상기 좌측방향 위치보상부(812)가 이동됨으로써, 후술하는 지지수단(830)을 매개로 상기 제1 위치보상블록(811)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 기준위치에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 좌측방향으로 비틀어진 위치를 보상할 수 있게 된다.As a result, the
상기 우측방향 위치조절나사(817)는 상기 상부 지지유닛(200)에서 상기 우측방향 위치보상부(813)와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀(H7)에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부(813)의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀(813a)에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부(813)를 이동시킬 수 있다.The rightward
상기 제3 이동제한나사(818)는 상기 제7 나사홀(H7)에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀(H8)에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부(813)의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사(817)에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부(813)의 이동위치를 제한할 수 있다.The third
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 기준위치로부터 우측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위해서는, 먼저 상기 제3 이동제한나사(818)를 조절하여 상기 우측방향 위치보상부(813)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 우측방향 위치조절나사(817)를 조절하여 상기 우측방향 위치보상부(813)가 상기 제3 이동제한나사(818)까지 이동될 수 있도록 한다. 이때, 상기 우측방향 위치보상부(813)는 상기 제3 이동제한나사(813)에 접촉되어 더 이상 이동되지 않는다.That is, in order to compensate for the position where the
결과적으로, 상기 우측방향 위치조절나사(817)의 조절에 의해 상기 우측방향 위치보상부(813)가 이동됨으로써, 상기 지지수단(830)을 매개로 상기 제1 위치보상블록(811)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 기준위치에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 우측방향으로 비틀어진 위치를 보상할 수 있게 된다.As a result, the
상기 제2 위치보상수단(820)은 상기 제1 위치보상수단(810)상에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100)의 상하방향 위치를 보상하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제2 위치보상수단(820)은 제2 위치보상블록(821) 및 상하방향 위치조절나사(824)를 포함할 수 있다.The second position compensating means 820 is disposed on the first position compensating means 810 to compensate for the vertical position of the
상기 제2 위치보상블록(821)은 상기 연장부(814)에 형성된 이동홀(814a)에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부(822)와, 상기 상하방향 위치보상부(822)의 일측에 형성되어 상기 지지수단(830)이 결합되는 지지수단 결합부(823)를 포함할 수 있다.The second
상기 상하방향 위치조절나사(824)는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면에 형성된 제2 관통홀(K2)에 관통되고 상기 제1 위치보상블록(811)의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀(K3)에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부(822)의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀(822a)에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부(822)를 이동시킬 수 있다.The third
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 상하방향으로 처진 위치를 보상하기 위해서는 상기 상하방향 위치조절 나사(824)를 조절하여 상기 상하방향 위치보상부(822)가 이동될 수 있도록 함으로써, 상기 지지수단(830)을 매개로 상기 제2 위치보상블록(821)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 상기 상부 에어나이프(100)의 상하방향으로 처진 위치를 보상할 수 있게 된다.That is, in order to compensate for the position where the
상기 지지수단(830)은 상기 제2 위치보상수단(820)에 연결되어 상기 상부 지지유닛(200)상에서 상기 상부 에어나이프(100)를 이동가능하게 지지할 수 있다.The support means 830 may be connected to the second position compensation means 820 to support the
상기 지지수단(830)은 힌지부재(831)와 결합브라켓(832)을 포함할 수 있다.The support means 830 may include a
상기 힌지부재(831)는 상기 지지수단 결합부(823)에 형성된 힌지홀(823a)에 결합될 수 있다.The
상기 결합브라켓(832)은 일측이 상기 힌지부재(831)에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프(100)가 결합되어 상기 상부 지지유닛(200)상에서 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.The
이때, 상기 결합브라켓(832)은 힌지부재 결합부(833) 및 에어나이프 결합부(834)를 포함할 수 있다.At this time, the
상기 힌지부재 결합부(833)는 상기 힌지부재(833)와 결합되어 상기 에어나이프 결합부(834)를 지지할 수 있다.The hinge
상기 에어나이프 결합부(834)는 상기 힌지부재(831) 결합부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프(100)가 결합될 수 있다. 이때, 도시되지는 않았지만, 상기 에어나이프 결합부(834)에 상기 상부 에어나이프(100)의 결합은 나사(미도시) 등과 같은 별도의 체결부재에 의해 결합될 수 있다. The air
본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 복수 개의 제1 아이들롤러(910) 및 복수 개의 제2 아이들롤러(920)를 더 포함할 수 있다.The air
상기 제1 아이들롤러(910)는 상기 하부 지지유닛(400)상에 배치되되 상기 기판(S)의 유입되는 입구측에 배치되어 상기 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다. The first
상기 제2 아이들롤러(920)는 상기 하부 지지유닛(400)상에 배치되되 상기 기판(S)이 배출되는 출구측에 배치되어 상기 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다.The second
즉, 상기 제1 아이들롤러(910) 및 상기 제2 아이들롤러(920)가 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)에 포함되도록 제작됨에 따라 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 더욱 콤팩트하게 제작할 수 있게 된다.That is, as the first
이하에서는 도 9를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 다른 기판건조장치에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, another substrate drying apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 9.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.9 is a view schematically showing the structure of a substrate drying apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치는 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)과, 챔버(2000) 및 이송수단(3000)을 포함할 수 있다.9, a substrate drying apparatus according to an embodiment of the present invention may include an air
상기 챔버(2000)는 기판(S)이 처리되는 내부공간(2100)을 형성하고, 상기 내부공간(2100)에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)가 배치될 수 있다. The
이때, 상기 챔버(2000)의 일측에는 기판(S)이 유입되는 유입구(2001)가 마련되고, 상기 챔버(2000)의 타측에는 기판(S)처리가 완료된 기판(S)이 배출되는 배출구(2002)가 마련될 수 있다.In this case, an
상기 이송수단(3000)은 상기 챔버(2000)의 내부공간(2100)에 배치되어 상기 기판(S)을 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)측으로 이송시킬 수 있다. The transfer means 3000 may be disposed in the
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송수단(3000)은 챔버(2000)의 내부공간(2100)상에 기판(S)을 일방향으로 이송시키는 역할을 한다. 상기 이송수단(3000)은 예를 들면, 기판(S)의 이송 방향을 따라서 배치되는 복수 개의 이송축(3100)을 포함한다. Although not shown in detail, the transfer means 3000 serves to transfer the substrate S in one direction on the
상기 이송축(3100)은 기판(S)이 이송되는 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 상호 평행하도록 동일한 간격으로 배치될 수 있다.The
상기 이송축(3100)에는 이송축을 부분적으로 둘러싸고, 기판(S)의 하면 일부와 직접적으로 접촉하여 기판(S)을 이송하는 복수 개의 이송롤러(3200)이 구비될 수 있다. The
즉, 상기 이송축(3100)이 회전함에 의해 상기 이송롤러(3200)도 회전하게 되고, 상기 이송롤러(3200)의 회전으로 이송롤러(3200)와 접촉된 기판(S)의 이송되면서, 상기 기판(S)의 건조를 위해 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 통과하게 된다.That is, as the
상기 기판(S)이 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 통과하면서, 상기 상부 에어나이프(100)에 의해 상기 기판(S)의 상면이 건조되고, 상기 하부 에어나이프(300)에 의해 상기 기판(S)의 하면이 건조된다.As the substrate S passes through the air
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings as described above, those skilled in the art can variously change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. Can be modified or changed.
100: 상부 에어나이프 110: 회전돌기
120: 각도조절돌기 200: 상부 지지유닛
300: 하부 에어나이프 400: 하부 지지유닛
500: 측면 지지유닛 510: 측면 플레이트
511: 가이드홈부 520: 상부 결합블록
521: 회전돌기 결합부 522: 각도조절홈부
523: 제1 가이드 530: 하부 결합블록
531: 제2 가이드 600: 간격조절유닛
610: 제1 간견조절봉 620: 제2 간격조절봉
700: 각도조절유닛 710: 각도조절블록
711: 이동홈 712: 각도조절블록 나사홀
720: 각도조절나사 730: 제1 이동제한나사
800: 위치보상유닛 810: 제1 위치보상수단
811: 제1 위치보상블록 812: 좌측방향 위치보상부
812a: 좌측방향 위치조절 나사홀 813: 우측방향 위치보상부
813a:우측방향 위치조절 나사홀 814: 연장부
815: 좌측방향 위치조절나사 816: 제2 이동제한나사
817: 우측방향 위치조절나사 818: 제3 이동제한나사
820: 제2 위치보상수단 821: 제2 위치보상블록
822: 상하방향 위치보상부 822a: 상하방향 위치조절 나사홀
823: 지지수단 결합부 823a: 힌지홀
824: 상하방향 위치조절나사 830: 지지수단
831: 힌지부재 832: 결합브라켓
833: 힌지부재 결합부 834: 에어나이프 결합부
910: 제1 아이들롤러 920: 제2 아이들롤러
1000: 에어나이프 모듈 어셈블리 2000: 챔버
2100: 내부공간 3000: 이송수단100: upper air knife 110: rotary projection
120: angle adjustment protrusion 200: upper support unit
300: lower air knife 400: lower support unit
500: side support unit 510: side plate
511: guide groove 520: upper coupling block
521: rotating projection coupling portion 522: angle adjustment groove
523: first guide 530: lower coupling block
531: second guide 600: gap control unit
610: first adjustment rod 620: second gap adjustment rod
700: angle adjustment unit 710: angle adjustment block
711: moving groove 712: angle adjusting block screw hole
720: angle adjusting screw 730: first limiting screw
800: position compensation unit 810: first position compensation means
811: first position compensation block 812: left position compensation
812a: Left position adjusting screw hole 813: Right position compensating portion
813a: Rightward positioning screw hole 814: Extension part
815: leftward positioning screw 816: second limit screw
817: rightward positioning screw 818: third limit screw
820: second position compensation means 821: second position compensation block
822: Up and down
823: support means
824: vertical positioning screw 830: support means
831: hinge member 832: coupling bracket
833: hinge member coupling portion 834: air knife coupling portion
910: first idler roller 920: second idler roller
1000: air knife module assembly 2000: chamber
2100: internal space 3000: transfer means
Claims (15)
상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛;
상기 상부 에아나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프;
상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛;
상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프의 일측단부가 결합되는 측면 지지유닛;
상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하고, 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하는 간격조절유닛; 및
상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면에 대해 상부 에어나이프의 분사각도를 조절하고, 상기 기판의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프의 분사각도를 조절하는 각도조절유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.An upper air knife injecting a fluid toward an upper surface of the substrate, the rotating air protrusion protruding from the lower regions of both sides, and an angle adjusting protrusion protruding from the upper regions of the both sides;
An upper support unit having the upper air knife disposed thereon to support the upper air knife;
A lower air knife disposed to be spaced apart from the upper air knife at a predetermined interval to inject a fluid toward a lower surface of the substrate;
A lower support unit disposed under the lower air knife to support the lower air knife;
It is coupled to one side of the upper support unit and one side of the lower support unit at the same time, one side end of the upper air knife is coupled to the inner side upper region, one side end of the lower air knife is coupled to the inner side lower region Side support unit being;
A gap adjusting unit disposed on the side support unit to adjust a gap between an upper surface of the substrate and the upper air knife, and a gap between a lower surface of the substrate and the lower air knife; And
And an angle adjusting unit disposed on the side support unit to adjust an injection angle of the upper air knife with respect to an upper surface of the substrate and to adjust an injection angle of the lower air knife with respect to a lower surface of the substrate. Air knife module assembly.
상기 측면 지지유닛은
상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되는 측면 플레이트;
상기 상부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치되는 상부 결합블록; 및
상기 하부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 하부영역에 이동 가능하게 배치되는 하부 결합블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 1,
The side support unit
A side plate simultaneously coupled to one side of the upper support unit and one side of the lower support unit;
An upper coupling block movably disposed in an upper region of an inner side surface of the side plate to couple one end of the upper air knife; And
And a lower coupling block movably disposed in the lower region of the inner side surface of the side plate so as to couple one side end of the lower air knife.
상기 상부 결합블록은,
상기 상부 결합블록의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기가 회전 가능하게 결합되는 회전돌기 결합부; 및
상기 각도조절돌기를 상기 상부 결합블록에 결합시키기 위하여, 상기 상부 결합블록의 일측면 상부영역에 형성된 각도조절홈부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 2,
The upper coupling block,
A rotation protrusion coupling part formed at one side lower region of the upper coupling block such that the rotation protrusion is rotatably coupled; And
And an angle adjusting groove formed in an upper region of one side of the upper coupling block to couple the angle adjusting protrusion to the upper coupling block.
상기 간격조절유닛은,
상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제1 간격조절봉; 및
상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 하부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 하부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제2 간격조절봉;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 2,
The gap adjusting unit,
In order to adjust the distance between the upper surface of the substrate and the upper air knife, the first screw hole formed along the longitudinal direction of the upper coupling block is screwed to move the upper coupling block on the side plate in the vertical direction 1 spacer rod; And
In order to adjust the distance between the lower surface of the substrate and the lower air knife, the screw is coupled to the second screw hole formed along the longitudinal direction of the lower coupling block to move the lower coupling block on the side plate in the vertical direction Airknife module assembly comprising a; gap adjusting rod.
상기 제2 간격조절봉의 길이는 상기 제1 간격조절봉의 길이보다 길게 형성되고, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리. The method of claim 4, wherein
The length of the second spacing rod is formed longer than the length of the first spacing rod, it is screwed to the second screw hole in the state passing through the first through hole formed along the longitudinal direction of the upper coupling block. Air knife module assembly.
상기 간격조절유닛은,
상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록 및 상기 하부 결합블록의 이동을 안내하기 위하여, 상기 측면 플레이트의 길이방향을 따라 오목하게 형성된 가이드홈부; 및 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제1 가이드; 및
상기 하부 결합부의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제2 가이드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 2,
The gap adjusting unit,
A guide groove formed concave along the longitudinal direction of the side plate to guide the movement of the upper coupling block and the lower coupling block on the side plate; And a first guide protruding along the longitudinal direction of the upper coupling block and coupled to the guide groove. And
And a second guide protruding in the lengthwise direction of the lower coupling part to be coupled to the guide groove part.
상기 각도조절유닛은,
상기 각도조절홈부에 이동가능하게 배치되고, 상기 각도조절돌기가 이동가능하게 결합되는 이동홈이 마련된 각도조절블록;
상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제3 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부상에서 상기 각도조절블록을 이동시키는 각도조절나사; 및
상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제4 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부에 배치되어 상기 각도조절나사에 의해 이동되는 상기 각도조절블록의 이동위치를 제한하는 제1 이동제한나사; 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 3,
The angle adjustment unit,
An angle adjusting block disposed to be movable in the angle adjusting groove and provided with a moving groove to which the angle adjusting protrusion is movable;
An angle for screwing into an angle adjusting screw hole formed on one side of the angle adjusting block in the state of being screwed to the third screw hole formed on one side of the upper coupling block to move the angle adjusting block on the angle adjusting groove portion. Adjusting screw; And
A first movement limiting screw disposed in the angle adjusting groove in a state of being screwed to a fourth screw hole formed on one side of the upper coupling block to limit a moving position of the angle adjusting block moved by the angle adjusting screw; Air knife module assembly comprising a.
상기 상부 지지유닛 및 상기 하부 지지유닛에 배치되어, 상기 상부 에어나이프 및 상기 하부 에어나이프의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 1,
And a position compensation unit disposed on the upper support unit and the lower support unit to compensate for the deflection of the upper air knife and the lower air knife.
상기 위치보상유닛은,
상기 상부 지지유닛의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하기 위한 제1 위치보상수단;
상기 제1 위치보상수단상에 배치되어, 상기 상부에어나이프의 상하방향 위치를 보상하기 위한 제2 위치보상수단; 및
상기 제2 위치보상수단에 연결되어 상기 상부 에어나이프를 이동가능하게 지지하기 위한 지지수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 8,
The position compensation unit,
A first position compensating means disposed on an upper portion of the upper support unit for compensating the left and right positions of the upper air knife;
A second position compensating means disposed on the first position compensating means, for compensating a vertical position of the upper air knife; And
And support means connected to the second position compensation means for movably supporting the upper air knife.
상기 제1 위치보상수단은,
상기 상부 지지유닛에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부와, 상기 좌측방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부 및 상기 좌측방향 위치보상부와 상기 우측방향 위치보상부가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단의 일부가 배치되는 연장부 포함하는 제1 위치보상블록;
상기 상부 지지유닛에 형성되되, 상기 좌측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부를 이동시키는 좌측방향 위치조절나사; 및
상기 제5 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 좌측 방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제2 이동제한나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 9,
The first position compensation means,
Is coupled to the upper support unit to be movable, the left position compensation portion for compensating the position of the left side of the upper air knife, and the left position compensation portion formed on one side of the upper air knife position A first position including a right position compensator and an extension part protruding downward from a portion to which the left position compensator and the right position compensator are connected so as to compensate a part of the second position compensating means; Compensation block;
Is formed in the upper support unit, screwed to the left position adjustment screw hole formed along the width direction of the left position compensation portion in the state of being screwed to the fifth screw hole formed in a position corresponding to the left position compensation portion A leftward position adjusting screw for moving the leftward position compensation part; And
The left position adjusting screw is disposed between one side of the upper support unit and one side of the left position compensation part in a state of being screwed to the sixth screw hole formed to be spaced apart from the fifth screw hole by a predetermined distance. And a second movement limit screw for limiting a movement position of the left position compensation portion to be moved.
상기 제1 위치보상수단은,
상기 상부 지지유닛에 형성되되 상기 우측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부를 이동시키는 우측방향 위치조절나사; 및
상기 제7 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제3 이동제한나사;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 10,
The first position compensation means,
Is formed in the upper support unit and is screwed to the right position adjustment screw hole formed along the width direction of the right position compensation portion in the state coupled to the seventh screw hole formed in a position corresponding to the right position compensation portion A rightward position adjusting screw for moving the rightward position compensation; And
It is disposed between the one side surface of the upper support unit and the one side surface of the right position compensation portion in the state of being screwed to the eighth screw hole formed spaced apart from the seventh screw hole by the right direction adjustment screw And a third movement limiting screw for limiting a movement position of the rightward position compensation portion to be moved.
상기 제2 위치보상수단은,
상기 연장부에 형성된 이동홀에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부와, 상기 상하방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 지지수단이 결합되는 지지수단 결합부를 포함하는 제2 위치보상블록; 및
상기 상부 지지유닛의 상면에 형성된 제2 관통홀에 관통되고 상기 제1 위치보상블록의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부를 이동시키는 상하방향 위치조절나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리. The method of claim 10,
The second position compensation means,
A second position compensation block including an up and down position compensator movably disposed in the movement hole formed in the extension part, and a support means coupling part formed at one side of the up and down position compensator to which the support means are coupled; And
Vertically formed along the height direction of the up-and-down position compensator in a state that penetrates through the second through-hole formed on the upper surface of the upper support unit and penetrates through the third through-hole formed along the height direction from the upper surface of the first position compensation block. And a vertical position adjusting screw which is screwed to a direction adjusting screw hole to move the vertical position compensating part.
상기 지지수단은,
상기 지지수단 결합부에 형성된 힌지홀에 결합되는 힌지부재; 및
일측은 상기 힌지부재에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프가 결합되는 결합브라켓;을 포함하되,
상기 결합브라켓은,
상기 힌지부재와 결합되는 힌지부재 결합부 및
상기 힌지부재 결합부의 일측단부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프가 결합되는 상부 에어나이프 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리. The method of claim 12,
The support means,
A hinge member coupled to a hinge hole formed at the support unit coupling unit; And
One side is coupled to the hinge member and the other side is a coupling bracket to which the upper air knife is coupled;
The coupling bracket,
Hinge member coupling portion coupled to the hinge member and
And an upper air knife coupling part extending from one end of the hinge member coupling part to which the upper air knife is coupled.
상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판의 유입되는 입구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제1 아이들롤러; 및
상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판이 배출되는 출구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제2 아이들롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.The method of claim 1,
A plurality of first idle rollers disposed on the lower support unit and disposed at an inlet side of the substrate to support the lower surface of the substrate; And
And a plurality of second idle rollers disposed on the lower support unit and disposed on an outlet side from which the substrate is discharged, and supporting a lower surface of the substrate.
상기 기판이 처리되는 내부공간을 형성되고, 상기 내부공간상에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리가 배치되는 챔버; 및
상기 내부공간상에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송수단:를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.The air knife module assembly according to any one of claims 1 to 14;
A chamber in which an inner space is formed in which the substrate is processed, and in which the air knife module assembly is disposed; And
And a transfer means disposed on the inner space to transfer the substrate.
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