KR101177857B1 - Device for air curtain - Google Patents

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Abstract

본 발명은 에어커튼장치에 관한 것으로, 공급관을 통해 공급된 공기를 하부측에 마련된 슬릿을 통해 분사하여 에어커튼을 형성하는 에어분사부와, 공정이 이루어지는 배스의 양측에 각각 고정되며, 상기 에어분사부측으로 힌지를 제공하는 고정프레임과, 각각 상기 고정프레임의 힌지에 힌지결합되며, 상기 에어분사부의 양측면에 고정설치되어, 상기 에어분사부의 양단의 높이를 개별 조절할 수 있는 한 쌍의 높이조절부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 높이의 조절에 따라 에어분사부의 설치각도를 조절할 수 있도록 구성되어, 경사 이송되는 대면적 기판의 높이가 낮은 부분에 서 높이가 높은 부분보다 더 가깝게되도록 이격거리를 조절할 수 있어, 기판의 높이가 낮은 부분에 집중되는 약액에 대응되는 에어커튼을 형성할 수 있게 된다. 따라서 본 발명은 경사 이송되는 대면적 기판의 약액 분포를 균일하게 조절하여 이후의 공정에서 불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to an air curtain device, the air injection unit for forming an air curtain by injecting the air supplied through the supply pipe through the slit provided on the lower side, and is fixed to both sides of the bath where the process is made, respectively, the air powder Fixed frame for providing a hinge to the four sides, each hinge is coupled to the hinge of the fixed frame, is fixed to both sides of the air injection portion, and includes a pair of height adjustment unit for individually adjusting the height of both ends of the air injection portion do. The present invention of such a configuration is configured to adjust the installation angle of the air injection unit in accordance with the adjustment of the height, it is possible to adjust the separation distance to be closer to the higher height in the lower height of the large-area substrate to be inclined transport Therefore, it is possible to form an air curtain corresponding to the chemical liquid concentrated in the portion where the height of the substrate is low. Therefore, the present invention has the effect of uniformly adjusting the chemical liquid distribution of the large-area substrate to be inclined transfer to prevent the occurrence of defects in the subsequent process.

Description

에어커튼장치{Device for air curtain}Air curtain device {Device for air curtain}

본 발명은 에어커튼장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경사이송되는 대면적 기판을 이용한 평판디스플레이 제조장치에 적용되는 에어커튼장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an air curtain device, and more particularly, to an air curtain device applied to a flat panel display manufacturing apparatus using a large-area substrate that is inclined.

일반적으로 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적의 유리 기판은, 이송장치에 의해 배스 내에서 이동되며, 그 이동과정에서 세정, 건조 등의 처리가 이루어진다.Generally, a large area glass substrate used for manufacture of a flat panel display is moved in a bath by a conveying apparatus, and the process of cleaning, drying, etc. is performed in the movement process.

이처럼 공정을 구분하기 위하여 배스는 격벽을 통해 세정존, 건조존 등의 분할 격리된 영역으로 나눠져 있다. 그러나 상기 배스를 분할하는 격벽에는 대면적 기판이 통과할 수 있도록 통공이 마련되어 있으며, 이 통공을 통해 흄(fume)이 이동할 수 있다.In order to classify the process, the bath is divided into divided areas such as a washing zone and a drying zone through partition walls. However, the partition wall partitioning the bath is provided with a through hole so that a large area substrate can pass through, through which the fume (fume) can move.

이와 같은 흄의 이동을 차단하기 위하여 각 격벽에는 에어커튼장치가 설치되어 있다.
In order to block the movement of the fume, the air curtain device is installed in each partition wall.

종래 에어커튼장치는 격벽에 고정되어, 그 대면적 기판이 통과할 수 있는 통공측으로 에어를 분사하여, 그 통공의 전면측에 에어커튼을 형성하게 된다.
The conventional air curtain device is fixed to the partition wall, and injects air to the through-hole side through which the large-area substrate can pass, thereby forming the air curtain on the front side of the through-hole.

그러나, 평판 디스플레이 제조를 위해 배스 내에서 이동하는 대면적 기판은 장비의 면적을 줄이며, 원활한 세정 및 건조공정을 위하여 소정각도 경사진 상태로 이송되도록 하고 있다.However, large area substrates moving in the bath for the manufacture of flat panel displays reduce the area of the equipment and allow them to be transported at an angled angle for smooth cleaning and drying processes.

따라서 경사진 대면적 기판의 높이가 낮은 측면측에 더 많은 약액이 집중되어 있고, 종래 에어커튼장치는 그 대면적 기판과는 소정 거리 이격된 상태로 배치되어 있기 때문에 균일한 압력의 에어커튼을 대면적 기판의 위치와 무관하게 형성하게 된다.
Therefore, more chemical liquid is concentrated on the lower side of the inclined large-area substrate. Since the conventional air curtain device is disposed at a predetermined distance from the large-area substrate, the air curtain of uniform pressure is applied. It is formed regardless of the position of the area substrate.

이와 같은 이유로 종래 에어커튼장치를 통과하는 과정에서도 대면적 기판 상의 약액(또는 세정수)의 분포는 개선되지 않고 있으며, 이는 이후에 공정에서 공정불량을 유발할 수 있는 문제점이 있었다.For this reason, even in the process of passing through the conventional air curtain device, the distribution of the chemical liquid (or the washing water) on the large-area substrate is not improved, which has a problem that may cause a process defect later in the process.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 에어커튼장치의 각도를 조정하여 경사 이송되는 대면적 기판과의 사이 거리를 영역별로 조절할 수 있는 에어커튼장치를 제공함에 있다.
The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is to provide an air curtain device that can adjust the distance between the large area substrate to be inclined transport by adjusting the angle of the air curtain device for each area.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 에어커튼장치는, 공급관을 통해 공급된 공기를 하부측에 마련된 슬릿을 통해 분사하여 에어커튼을 형성하는 에어분사부와, 공정이 이루어지는 배스의 양측에 각각 고정되며, 상기 에어분사부측으로 힌지를 제공하는 고정프레임과, 각각 상기 고정프레임의 힌지에 힌지결합되며, 상기 에어분사부의 양측면에 고정설치되어, 상기 에어분사부의 양단의 높이를 개별 조절할 수 있는 한 쌍의 높이조절부를 포함한다.
Air curtain device according to the present invention for solving the above problems is fixed to both sides of the air injection unit and the process is formed by injecting the air supplied through the supply pipe through the slit provided on the lower side to form an air curtain And a pair of fixed frames providing hinges to the air spraying units, respectively hinged to the hinges of the fixed frames, and fixedly installed at both sides of the air spraying units to individually adjust heights of both ends of the air spraying units. It includes a height adjustment unit.

본 발명 에어커튼장치는, 높이의 조절에 따라 에어분사부의 설치각도를 조절할 수 있도록 구성되어, 경사 이송되는 대면적 기판의 높이가 낮은 부분에 서 높이가 높은 부분보다 더 가깝게되도록 이격거리를 조절할 수 있어, 기판의 높이가 낮은 부분에 집중되는 약액에 대응되는 에어커튼을 형성할 수 있게 된다. 따라서 본 발명은 경사 이송되는 대면적 기판의 약액 분포를 균일하게 조절하여 이후의 공정에서 불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
The air curtain device of the present invention is configured to adjust the installation angle of the air injection unit in accordance with the adjustment of the height, it is possible to adjust the separation distance to be closer to the higher height in the lower portion of the height of the large area substrate to be inclined transport Therefore, it is possible to form an air curtain corresponding to the chemical liquid concentrated in the portion where the height of the substrate is low. Therefore, the present invention has the effect of uniformly adjusting the chemical liquid distribution of the large-area substrate to be inclined transfer to prevent the occurrence of defects in the subsequent process.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치의 일부를 다른 각도에서 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치와 기판 사이의 거리를 나타낸 설명도이다.1 is a block diagram of an air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 2 is a block diagram showing a part of the air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention from another angle.
3 is an explanatory view showing a distance between an air curtain device and a substrate according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명 에어커튼장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention air curtain device will be described in detail.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치의 일부 구성을 다른 각도에서 도시한 구성도이다.1 is a block diagram of an air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a block diagram showing a part of the configuration of the air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention from a different angle.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치는, 외부의 공기를 공급하는 공급관(11), 상기 공급관(11)을 통해 공급된 공기를 하부측에 마련된 슬릿을 통해 분사하여 에어커튼을 형성하는 에어분사부(10)와, 공정이 이루어지는 배스(도면 미도시)의 양측에 각각 고정되며, 상기 에어분사부(10)측으로 힌지(21)를 제공하는 고정프레임(20)과, 각각 상기 고정프레임(20)의 힌지(21)에 힌지결합되며, 상기 에어분사부(10)의 양측면에 고정설치되어, 그 에어분사부(10)의 각도를 조절할 수 있으며, 에어분사부(10)의 높이 조정이 가능한 높이조절부(30)을 포함하여 구성된다.
1 and 2, the air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention, the supply pipe 11 for supplying the outside air, the air supplied through the supply pipe 11 to the slits provided on the lower side Fixed frame which is fixed to both sides of the air injection unit 10 for spraying through to form an air curtain and the bath (not shown) in which the process is made, the hinge 21 toward the air injection unit 10 side ( 20 and hinged to the hinge 21 of the fixed frame 20, respectively, is fixed to both sides of the air injection unit 10, it is possible to adjust the angle of the air injection unit 10, the air It is configured to include a height adjustment unit 30 capable of adjusting the height of the injection unit (10).

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어커튼장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the air curtain device according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above in more detail.

먼저, 에어분사부(10)는 상기 공급관(11)을 통해 외부의 공기를 공급받아 내측에 일시 저장하며, 저면에 마련되어 대면적 기판의 폭방향으로 오픈된 슬릿을 통해 공기를 분사한다.First, the air injection unit 10 receives the outside air through the supply pipe 11 and temporarily stores the inside of the air injection unit 10. The air injection unit 10 sprays air through the slits that are provided on the bottom surface and are opened in the width direction of the large area substrate.

상기 에어분사부(10)에 외부공기를 공급하기 위한 공급관로는 연성의 재질로하여 상기 에어분사부(10)의 각도 조정에 대응하도록 구성한다. 상기 에어분사부(10)의 슬릿의 길이는 기판의 폭에 비하여 더 큰 것으로 한다.
The supply pipe for supplying external air to the air injection unit 10 is made of a soft material so as to correspond to the angle adjustment of the air injection unit 10. The length of the slit of the air injection unit 10 is larger than the width of the substrate.

상기 에어분사부(10)의 양측면에는 높이조절부(30)가 결합된다.The height adjusting part 30 is coupled to both side surfaces of the air injection part 10.

상기 높이조절부(30)는 상기 힌지(21)에 힌지결합되어 시계방향 또는 시계반대방향으로 소정 각도로 회전이 가능한 고정블록(32)과, 상기 고정블록(32)의 일부가 삽입되는 상하로 긴 장공을 구비하며, 상기 에어분사부(10)의 양측에 고정되는 이동블록(33)과, 상기 이동블록(33)의 상단을 관통하여 상기 고정블록(32)의 상면에 끝단이 접하여, 그 회전에 의해 상기 이동블록(33) 및 이동블록(33)에 결합된 에어분사부(10)의 높이를 조절하는 스크류(31)를 포함하여 구성된다.The height adjustment part 30 is hinged to the hinge 21 is fixed block 32 that can be rotated at a predetermined angle in the clockwise or counterclockwise direction, and a portion of the fixed block 32 is inserted up and down Is provided with a long long hole, the moving block 33 is fixed to both sides of the air injection unit 10, the end is in contact with the upper surface of the fixed block 32 through the upper end of the moving block 33, It comprises a screw 31 for adjusting the height of the air injection unit 10 coupled to the moving block 33 and the moving block 33 by rotation.

이와 같은 높이조절부(30)에 의해 에어분사부(10)는 양단의 높이가 개별적으로 조절될 수 있으며, 양단의 높이 차이에 의하여 기판 사이의 거리에 차이를 두게 된다.
The height of the air injection portion 10 by the height adjustment unit 30 can be adjusted to the height of both ends individually, the distance between the substrate by the difference in height between the two ends.

상기 고정프레임(20)은 배스(도면 미도시)의 양단에 고정되어 있으며, 상기 고정블록(32)과 힌지 결합되는 힌지(21)를 제공한다.The fixed frame 20 is fixed to both ends of the bath (not shown), and provides a hinge 21 which is hinged to the fixing block 32.

상기 힌지(21)에 의해 회전하는 방향은 기판이 이송되는 면을 기준으로 상향 또는 하향의 호형으로 회전하게 된다. 즉, 에어분사부(10)의 전면방향에서 시계반대방향 또는 시계방향으로 회전한다.
The direction of rotation by the hinge 21 is rotated in an arc shape of the up or down relative to the surface on which the substrate is transferred. That is, it rotates counterclockwise or clockwise from the front direction of the air injection part 10. FIG.

이와 같은 힌지(21)의 구조에 의하여 상기 에어분사부(10)의 양단측 높이를 서로 다르게 할 수 있다.
By the structure of the hinge 21 as described above, the height of both end sides of the air injection part 10 may be different.

도 3은 본 발명의 에어커튼장치의 각도가 조정된 상태에서 대면적 기판과의 관계를 설명하기 위한 설명도이다.3 is an explanatory view for explaining the relationship with the large-area substrate in the state where the angle of the air curtain device of the present invention is adjusted.

도 3을 참조하면 상기 에어분사부(10)에서 기판(S)까지의 양단 거리(T1,T2)는 차이가 있으며, 이와 같은 설치상태에서 상기 에어분사부(10)에서 분사되는 에어에 의한 에어커튼은 전체에서 균일한 압력으로 분사되나, 그 기판(S)과 더 짧은 거리(T1) 측에 더 강한 압력이 전달된다.Referring to FIG. 3, the distances T1 and T2 from the air injection unit 10 to the substrate S are different from each other. In this installation state, air by air injected from the air injection unit 10 is different. The curtain is sprayed at a uniform pressure throughout, but a stronger pressure is transmitted to the substrate S and a shorter distance T1 side.

상기 더 짧은 거리(T1)측이 기판(S)이 경사진 구조에서 낮은 측면측에 해당하는 측이며, 약액 또는 세정수가 집중되어 위치하는 그 기판(S)의 낮은 측면측에 더 강한 압력으로 공기를 분사할 수 있게 된다. The shorter distance T1 is the side corresponding to the lower side in the structure in which the substrate S is inclined, and at a higher pressure on the lower side of the substrate S where the chemical liquid or the washing water is concentrated. Can be sprayed.

따라서 본 발명은 경사이송되는 기판(S) 상에 존재하는 약액 또는 세정수는 상기 에어커튼을 지나면서 보다 균일한 분포가 될 수 있다.
Therefore, in the present invention, the chemical liquid or the washing water present on the inclined transfer substrate S may be more uniformly distributed while passing through the air curtain.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 에어커튼장치에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
As described above, the air curtain apparatus according to the present invention has been described in detail with reference to a preferred embodiment, but the present invention is not limited to the above embodiments, but the claims and the detailed description of the invention and the scope of the accompanying drawings. Various modifications can be made therein and this also belongs to the present invention.

10:에어분사부 20:회전가이드부
21:힌지 30:높이조절부
31:스크류 32:고정블록
33:이동블록10: Air injection part 20: Rotation guide part
21: hinge 30: height adjustment
31: screw 32: fixed block
33: moving block

Claims (2)

공급관을 통해 공급된 공기를 하부측에 마련된 슬릿을 통해 분사하여 에어커튼을 형성하는 에어분사부;
공정이 이루어지는 배스의 양측에 각각 고정되며, 상기 에어분사부측으로 힌지를 제공하는 고정프레임;
각각 상기 고정프레임의 힌지에 힌지결합되며, 상기 에어분사부의 양측면에 고정설치되어, 상기 에어분사부의 양단의 높이를 개별 조절할 수 있는 한 쌍의 높이조절부를 포함하는 에어커튼장치.
An air injection unit for injecting air supplied through a supply pipe through a slit provided at a lower side to form an air curtain;
A fixed frame fixed to both sides of the bath where the process is made and providing a hinge to the air spraying side;
Hinge coupled to the hinge of the fixed frame, respectively, fixed to both sides of the air injection portion, the air curtain device including a pair of height adjustment unit that can individually adjust the height of both ends of the air injection portion.
제1항에 있어서,
상기 높이조절부는,
상기 힌지에 결합되어 회전이 가능한 고정블록;
상기 고정블록의 일부가 삽입되는 상하로 긴 장공을 구비하며, 상기 에어분사부의 양측에 고정되는 이동블록;
상기 이동블록의 상단을 관통하여 상기 고정블록의 상면에 끝단이 접하여, 그 회전에 의해 상기 이동블록 및 상기 이동블록에 결합된 상기 에어분사부의 높이를 조절하는 스크류를 포함하는 에어커튼장치.The method of claim 1,
The height adjustment unit,
A fixed block rotatably coupled to the hinge;
A moving block having a long hole vertically inserted into a part of the fixed block and fixed to both sides of the air injection unit;
An air curtain device comprising a screw penetrating the upper end of the moving block and the end is in contact with the upper surface of the fixed block, by adjusting the height of the air injection unit coupled to the moving block and the moving block by the rotation.
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