KR20130099748A - Ultrasonic washing apparatus for large area panel - Google Patents

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KR20130099748A
KR20130099748A KR1020120021481A KR20120021481A KR20130099748A KR 20130099748 A KR20130099748 A KR 20130099748A KR 1020120021481 A KR1020120021481 A KR 1020120021481A KR 20120021481 A KR20120021481 A KR 20120021481A KR 20130099748 A KR20130099748 A KR 20130099748A
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조경목
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Abstract

PURPOSE: An ultrasonic cleaning device for large area panels is provided to reduce the consumption of cleaning solution as the cleaning solution is directly discharged from a gap between the panel and the lower surface of an ultrasonic vibration unit through a long discharging unit and a water film formed at the gap. CONSTITUTION: An ultrasonic cleaning device (30) for large area panels comprises an ultrasonic vibration unit (32) and a cleaning solution supply unit (34). The ultrasonic vibration unit is formed in a longitudinal direction to be the same or greater than the width of a transferred panel (10) and both ends are fixed to both sides of a frame by a connecting member to be perpendicular in a transferring direction of the panel. The cleaning solution supply unit supplies the cleaning solution to a gap between the lower surface of the ultrasonic vibration unit and the surface of the panel and has a discharging unit which is the same or greater than the length of the ultrasonic vibration unit to form an even water film.

Description

대면적 패널용 초음파 세정장치{ULTRASONIC WASHING APPARATUS FOR LARGE AREA PANEL}ULTRASONIC WASHING APPARATUS FOR LARGE AREA PANEL}

본 발명은 대면적 패널용 초음파 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 대면적 패널의 초음파 세정시 초음파 세정장치가 대면적 패널의 상부 측에 위치하도록 함으로써 세정장치와 대면적 패널 사이에 수막을 형성하고 이 수막을 매질로 사용하여 초음파 세정을 할 수 있고, 초음파가 세정면을 직접적으로 세정하게 되어 세정효과를 향상시킬 수 있는 대면적 패널용 초음파 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrasonic cleaning device for a large area panel, and more particularly, an ultrasonic film is disposed between the cleaning device and the large area panel by placing the ultrasonic cleaning device on the upper side of the large area panel during the ultrasonic cleaning of the large area panel. The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for a large area panel which can be formed and ultrasonic cleaning can be performed using this water film as a medium, and ultrasonic waves can directly wash the cleaning surface.

일반적으로, 평판 표시장치를 제조하기 위해서는 증착공정, 노광공정, 그리고 식각공정을 포함하는 공정들을 거쳐야 하는데, 특히 식각공정 등에는 공정 처리된 기판ㄴ을 세정 및 건조하는 세정공정이 포함된다. In general, in order to manufacture a flat panel display device, a process including a deposition process, an exposure process, and an etching process is required. In particular, the etching process includes a cleaning process for cleaning and drying the processed substrate.

세정공정은 로울러에 의해 이송되는 기판으로 자외선광을 조사하여 기판 표면에 잔류하는 유기물을 세정하는 유기물 세정공정, 유기물이 세정된 기판을 세정액으로 분사하여 기판을 습식세정하는 습식 세정공정 그리고 건조공정이 순차적으로 수행되는 것이다. The cleaning process includes an organic material cleaning process for cleaning organic substances remaining on the surface of the substrate by irradiating ultraviolet light to the substrate transported by a roller, and a wet cleaning process for wet cleaning the substrate by spraying the substrate on which the organic material is cleaned with a cleaning liquid, and a drying process. It is performed sequentially.

이때, 습식 세정공정에서는 대한민국공개특허 제10-2005-0005784호(공개일 : 2005.01.14)에서와 같이 기판이 다수의 로울러에 의해 이송될 때, 기판의 표면에 세정액 공급수단으로 세정액을 공급하고, 기판의 표면에 공급된 세정수에 진동을 부여하기 위해서 기판 아래 쪽에 초음파 진동부재를 배치하여 기판의 표면으로 공급된 세정수에 초음파를 부여하여 세정효과를 높이도록 한 것이다. At this time, in the wet cleaning process, as in the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0005784 (published: 2005.01.14), when the substrate is transported by a plurality of rollers, the cleaning liquid is supplied to the surface of the substrate by the cleaning liquid supply means. In order to impart vibration to the cleaning water supplied to the surface of the substrate, an ultrasonic vibration member is disposed below the substrate to give ultrasonic waves to the cleaning water supplied to the surface of the substrate to enhance the cleaning effect.

그러나, 이와 같이 종래기술에 의한 세정장치는, 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the cleaning apparatus according to the prior art has the following problems.

첫째, 패널(기판)을 이송시키는 이송 로울러의 하부에 위치하기 때문에 초음파 진동부재의 설치가 어렵고, 항상 수조에 잠긴 상태에 있으므로 관리가 곤란한 문제점이 있었다. 즉, 초음파 진동부재를 설치하거나 관리하기 위해서는 수조로부터 세정액을 제거하고 로울러를 제거해야함 하는 작업상 문제점이 있었던 것이다. First, it is difficult to install the ultrasonic vibration member because it is located in the lower portion of the transport roller for transporting the panel (substrate), and it is difficult to manage because it is always locked in the water tank. In other words, in order to install or manage the ultrasonic vibration member, there was a problem in the operation of removing the cleaning liquid from the water tank and removing the roller.

둘째, 패널의 주요 세정면은 표면(상면)이지만 하부에서 초음파를 조사하기 때문에 패널을 투과하는 초음파의 힘을 이용하여 세정을 할 수밖에 없었고, 이로 인하여 초음파가 감쇠되어 최적의 초음파 세정효과를 얻기 곤란하였다. Second, the main cleaning surface of the panel is the surface (upper surface), but the ultrasonic wave is irradiated from the lower side, so it has no choice but to clean by using the force of the ultrasonic wave passing through the panel. It was.

셋째, 기존의 세정장치는 대면적의 패널을 세정하기 위해서 많은 세정액 노즐이 필요하고, 세정액 노즐에서 많은 양의 세정액을 분사해야 하기 때문에 세정액 소모량도 매우 많은 문제점이 있었고, 많은 세정액이 사용됨으로써 세정액을 수용하기 위한 세정액 수조가 반드시 필요하게 되는 문제점이 있었다.Third, the conventional cleaning apparatus requires a lot of cleaning liquid nozzles to clean a large area of the panel, and since a large amount of cleaning liquid must be injected from the cleaning liquid nozzle, the consumption of the cleaning liquid is also very high. There was a problem in that a cleaning solution tank for accommodating was required.

대한민국공개특허 제10-2005-0005784호(공개일 : 2005.01.14)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0005784 (published: 2005.01.14)

본 발명의 목적은, 대면적 패널의 초음파 세정시 초음파 세정장치가 대면적 패널의 상부 측에 위치하여 세정장치와 대면적 패널 사이에 수막을 형성하고 이 수막을 매질로 사용하여 초음파 세정을 할 수 있는 대면적 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning device located on the upper side of a large area panel during ultrasonic cleaning of a large area panel to form a water film between the cleaning device and the large area panel, and to use the water film as a medium to perform ultrasonic cleaning. The present invention provides an ultrasonic cleaning device for a large area panel.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 대면적 패널을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러를 구비한 프레임과, 상기 이송 로울러들에 의해 일정한 방향으로 수평 이송되는 패널의 표면으로 세정액을 공급하면서 초음파를 가하여 패널의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기를 포함하고, The object is, according to the present invention, by applying ultrasonic waves while supplying the cleaning liquid to the frame having a plurality of transport rollers for horizontally transporting the large area panel and the surface of the panel horizontally transported in a constant direction by the transport rollers An ultrasonic cleaner adapted to clean the surface of the panel,

상기 초음파 세정기는, The ultrasonic cleaner,

이송되는 패널의 폭과 같거나 크도록 길이방향으로 길게 형성되어 상기 패널의 이송방향과 직교되도록 양단이 상기 프레임의 양측에 결합수단에 의해 각각 고정되는 초음파 진동부; 및Ultrasonic vibrating unit is formed in the longitudinal direction to be equal to or greater than the width of the panel to be conveyed, the both ends are fixed to the opposite sides of the frame by coupling means so as to be perpendicular to the conveying direction of the panel; And

상기 초음파 진동부의 길이방향을 따라 형성된 수직면에 구비되어 상기 초음파 진동부의 저면과 패널의 표면 사이로 세정액을 공급하여 균일한 수막을 형성하도록 상기 초음파 진동부의 길이와 같거나 더 긴 토출구를 갖는 세정액 공급부가 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 초음파 세정장치에 의하여 달성된다.It is provided on the vertical surface formed along the longitudinal direction of the ultrasonic vibrating unit is provided with a cleaning liquid supply having a discharge port equal to or longer than the length of the ultrasonic vibrating unit to supply a cleaning solution between the bottom surface of the ultrasonic vibrating unit and the surface of the panel to form a uniform water film It is achieved by an ultrasonic cleaning device for a large area panel characterized in that.

상기 결합수단은, The coupling means,

상기 초음파 진동부의 양단을 상기 프레임의 양측 상단에 결합하되, 상기 패널의 표면을 기준으로 상기 초음파 진동부의 저면의 높이를 조절하기 위한 높이조절기를 더 구비하는 것이다. Both ends of the ultrasonic vibration unit is coupled to the upper end of both sides of the frame, it is further provided with a height adjuster for adjusting the height of the bottom surface of the ultrasonic vibration unit based on the surface of the panel.

상기 높이조절기는,The height adjuster,

상기 초음파 진동부의 양단에 결합되는 설치 브라켓;Mounting brackets coupled to both ends of the ultrasonic vibration unit;

상기 프레임의 상단에 설치되는 고정 브라켓; 및 A fixing bracket installed on an upper end of the frame; And

상기 고정 브라켓과 상기 설치 브라켓 사이에 설치되어 선택적으로 상기 설치 브라켓을 상승시키거나 하강시켜 상기 초음파 진동부의 저면과 상기 패널 사이의 간격, 즉 패널의 표면을 기준으로 초음파 진동부 저면의 높이를 조절하기 위한 업/다운용 엑츄에이터를 포함하는 것이다. It is installed between the fixing bracket and the mounting bracket to selectively raise or lower the mounting bracket to adjust the distance between the bottom surface of the ultrasonic vibration unit and the panel, that is, the height of the bottom surface of the ultrasonic vibration unit based on the surface of the panel. It includes an actuator for up and down.

상기 엑츄에이터는 공압이나 유압으로 작동되는 실린더장치, 솔레노이드장치, 모터에 의해 회전하는 나사봉과 상기 나사봉에 체결된 너트로 이루어진 장치로부터 선택된 어느 하나의 장치로 이루어지는 것이다. The actuator is composed of any one device selected from a device consisting of a cylinder device, a solenoid device, a screw rod rotated by a motor, and a nut fastened to the screw rod by a pneumatic or hydraulically operated cylinder device.

상기 세정액 공급부는, The cleaning liquid supply unit,

세정액 공급호스; 및Cleaning liquid supply hose; And

상기 세정액 공급호스와 연통되고, 상기 초음파 진동부의 길이방향을 따라 세정액 공급공이 길게 형성되고, 상기 세정액 공급공으로 공급된 세정액을 상기 초음파 진동부의 저면 전체에 한꺼번에 균일하게 토출하도록 상기 초음파 진동부의 수직면에 결합되는 노즐부재로 이루어지는 것이다. In communication with the cleaning liquid supply hose, the cleaning liquid supply hole is formed long along the longitudinal direction of the ultrasonic vibration unit, coupled to the vertical surface of the ultrasonic vibration unit to uniformly discharge the cleaning liquid supplied to the cleaning liquid supply hole all over the bottom of the ultrasonic vibration unit at once. It is made of a nozzle member.

이때, 상기 노즐부재는, At this time, the nozzle member,

상기 세정액 공급공과 연통되는 다수개의 연결공이 길이방향을 따라 등간격으로 천공되고, 상기 초음파 진동부의 수직면과의 사이에 공간을 형성하여 상기 각 연결공으로 공급된 세정액이 상기 초음파 진동부의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 토출구를 이루는 노즐홈이 길이방향을 따라 연이어 형성되는 것이다.A plurality of connecting holes communicating with the cleaning solution supply holes are drilled at equal intervals along the length direction, and a space is formed between the vertical surfaces of the ultrasonic vibration parts so that the cleaning liquids supplied to the connecting holes flow uniformly to the bottom surface of the ultrasonic vibration parts. The nozzle groove constituting the discharge port to be formed in succession along the longitudinal direction.

상기 노즐부재는, The nozzle member,

상기 초음파 진동부 양쪽에 각각 형성되는 각 수직면에 각각 구비되는 것이다.It is provided on each vertical surface formed on each of the ultrasonic vibration unit.

그리고, 상기 수직면 하부와 저면 양측의 코너영역은 모깍기되어 곡면부가 형성되고, In addition, corner regions of both the lower side of the vertical surface and the bottom surface are chamfered to form a curved surface portion.

상기 토출구를 이루는 노즐홈의 내측 끝단영역에는 상기 곡면부와 대응되는 토출 곡면부가 만곡지게 형성되어 공급되는 세정액을 상기 패널과 상기 초음파 진동부의 저면 쪽으로 유도하도록 된 것이다. The discharging curved portion corresponding to the curved portion is formed to be curved in the inner end region of the nozzle groove constituting the discharging port so as to guide the cleaning liquid supplied to the bottom surface of the panel and the ultrasonic vibrating portion.

다른 실시 예에 따른 상기 노즐부재는,The nozzle member according to another embodiment,

상기 세정액 공급공과 연통되는 다수개의 연결홈이 길이방향을 따라 등간격으로 천공되고, 상기 초음파 진동부의 수직면과의 사이에 공간을 형성하여 상기 각 연결홈으로 공급된 세정액이 상기 초음파 진동부의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 다수개의 토출홈들이 길이방향을 따라 등간격으로 연이어 형성되는 것이다. A plurality of connection grooves communicating with the cleaning solution supply hole are drilled at equal intervals along the longitudinal direction, and a space is formed between the vertical surfaces of the ultrasonic vibration unit so that the cleaning liquid supplied to each of the connection grooves is uniform to the bottom surface of the ultrasonic vibration unit. A plurality of discharge grooves for successively flowing are formed successively at equal intervals along the longitudinal direction.

상기 초음파 진동부 저면에 해당하는 상기 프레임 바닥에는 상기 패널의 이면에 세정액을 분사하기 위한 노즐들이 다수개 구비되는 것이다. The bottom of the frame corresponding to the bottom of the ultrasonic vibration unit is provided with a plurality of nozzles for spraying the cleaning liquid on the rear surface of the panel.

상기 초음파 진동부는 다수개의 초음파 진동자가 길이방향으로 연이어 배열되어 구성되는 것이다.The ultrasonic vibration unit is composed of a plurality of ultrasonic vibrators arranged in succession in the longitudinal direction.

상기 초음파 진동부는,The ultrasonic vibration unit,

바닥의 두께가 다르게 형성되어 내부 바닥면이 일측으로 기울어지도록 경사를 이루고, 초음파 진동자가 경사지게 설치되되, The thickness of the bottom is formed differently to form an inclination so that the inner bottom surface is inclined to one side, and the ultrasonic vibrator is inclined,

상기 바닥면은, The bottom surface is,

상기 패널의 진입방향이 높고 진출방향이 낮도록 경사지게 형성된 것이다.It is formed to be inclined such that the entry direction of the panel is high and the advance direction is low.

본 발명에 의하면, 대면적 패널의 초음파 세정시 초음파 세정장치가 대면적 패널의 상부 측에 위치하게 되므로, 초음파 세정장치의 설치 및 유지관리가 용이하게이루어질 수 있으며, 초음파 진동부와 일체화된 노즐부재의 길이방향으로 긴 토출구로 세정액을 토출하게 되므로 수막이 초음파 진동부와 패널 사이에서 균일하게 형성될 수 있고, 이 수막을 매질로 사용하여 초음파 세정을 효율적으로 할 수 있게 되는 효과를 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, since the ultrasonic cleaning device is located on the upper side of the large area panel during the ultrasonic cleaning of the large area panel, the installation and maintenance of the ultrasonic cleaning device can be easily performed, and the nozzle member integrated with the ultrasonic vibration unit. Since the cleaning liquid is discharged to the discharge port long in the longitudinal direction of the water film, the water film can be formed uniformly between the ultrasonic vibrating unit and the panel, and the water film can be used as a medium to provide the effect of efficient ultrasonic cleaning. do.

또한, 세정액이 길이방향으로 긴 토출구를 통하여 패널과 초음파 진동부의 저면 사이로 직접 토출되어 그 사이에서 수막을 형성하므로 세정액의 소모가 현저하게 감소될 수 있게 된다. In addition, since the cleaning liquid is discharged directly between the panel and the bottom surface of the ultrasonic vibrating unit through the discharge port long in the longitudinal direction to form a water film therebetween, the consumption of the cleaning liquid can be significantly reduced.

또한, 패널 하부의 세정을 위하여 패널 하부에 세정액 노즐이 위치하게 되므로 패널의 상부에서 조사되어 패널을 투과하는 초음파의 힘을 이용하여 패널 하부의 세정을 할 수 있게 된다.In addition, since the cleaning liquid nozzle is positioned in the lower part of the panel for cleaning the lower part of the panel, the lower part of the panel can be cleaned by using the force of ultrasonic waves transmitted from the upper part of the panel to pass through the panel.

도 1은 본 발명에 따른 초음파 세정장치를 도시한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 초음파 세정장치를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 초음파 세정장치의 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재를 도시한 정단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재의 확대 단면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재를 도시한 일부확대 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시된 노즐부재의 다른 실시 예를 도시한 정면도이다.
도 8은 도 2에 도시된 높이조절기의 다른 실시 예를 도시한 측면도이다.
도 9는 도 2에 도시된 높이조절기의 또 다른 실시 예를 도시한 측면도이다.
도 10은 도 4에 도시된 초음파 진동부의 다른 실시 예를 도시한 일부확대 단면도이다. 1 is a front view showing an ultrasonic cleaning device according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating the ultrasonic cleaning apparatus illustrated in FIG. 1.
3 is a side view of the ultrasonic cleaning device shown in FIG.
4 is a front sectional view showing the ultrasonic vibration unit and the nozzle member shown in FIG.
5 is an enlarged cross-sectional view of the ultrasonic vibration unit and the nozzle member shown in FIG. 4.
FIG. 6 is a partially enlarged perspective view illustrating the ultrasonic vibration unit and the nozzle member illustrated in FIG. 4.
7 is a front view illustrating another embodiment of the nozzle member shown in FIG. 2.
8 is a side view showing another embodiment of the height adjuster shown in FIG.
Figure 9 is a side view showing another embodiment of the height adjuster shown in FIG.
FIG. 10 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating another embodiment of the ultrasonic vibration unit illustrated in FIG. 4.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, the well-known functions or constructions are not described in order to simplify the gist of the present invention.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 초음파 세정장치를 도시한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 초음파 세정장치를 도시한 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 초음파 세정장치의 측면도이다. 그리고, 도 4는 도 1에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재를 도시한 정단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재의 확대 단면도이며, 도 6은 도 4에 도시된 초음파 진동부와 노즐부재를 도시한 일부확대 사시도이다. In the accompanying drawings, Figure 1 is a front view of the ultrasonic cleaning device according to the present invention, Figure 2 is a plan view of the ultrasonic cleaning device shown in Figure 1, Figure 3 is an ultrasonic cleaning device of Figure 1 Side view. 4 is a front sectional view of the ultrasonic vibrator and the nozzle member illustrated in FIG. 1, FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the ultrasonic vibrator and the nozzle member illustrated in FIG. 4, and FIG. 6 is illustrated in FIG. 4. A partially enlarged perspective view showing the ultrasonic vibration unit and the nozzle member.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 대면적 패널(10)을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러(22)를 구비한 프레임(20)과, 이송 로울러(22)들에 의해 일정한 방향으로 수평 이송되는 패널(10)의 표면으로 세정액을 공급하면서 초음파를 가하여 패널(10)의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기(30)를 포함하여 이루어진다. 1 to 6, the frame 20 is provided with a plurality of transport rollers 22 for horizontally transporting the large area panel 10 and horizontally in a constant direction by the transport rollers 22. It comprises an ultrasonic cleaner 30 to clean the surface of the panel 10 by applying ultrasonic waves while supplying the cleaning liquid to the surface of the panel 10 to be transferred.

프레임(20)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 내측에는 다수개의 이송 로우러(22)가 등간격으로 배치되고, 상단 일부 영역에는 초음파 세정기(30)가 결합수단(40)에 의해 결합된 구조를 갖는다. 그리고, 초음파 진동부(30) 저면에 해당하는 프레임(20) 바닥 영역에는 이송 로울러(22)들에 의해 이송되는 패널(10)의 이면에 세정액을 분사하기 위한 노즐(23)들이 다수개 구비된다. 이 노즐(23)들은 초음파 세정이 이뤄질 때 세정액을 패널(10)의 이면에 분사하여 패널(10)의 이면이 세정되도록 하기 위한 것이다. 즉, 패널(10)을 통과한 초음파에 의해 이면이 세정되도록 세정액을 분사하는 것이다.As shown in FIGS. 1 to 3, the frame 20 has a plurality of transfer rollers 22 disposed at equal intervals on the inner side, and an ultrasonic cleaner 30 is coupled to the upper portion of the region by the coupling means 40. Has a structure. In addition, a plurality of nozzles 23 are provided in the bottom region of the frame 20 corresponding to the bottom surface of the ultrasonic vibrator 30 to spray the cleaning liquid on the rear surface of the panel 10 transferred by the transfer rollers 22. . These nozzles 23 are for spraying the cleaning liquid onto the back surface of the panel 10 when the ultrasonic cleaning is performed so that the back surface of the panel 10 is cleaned. That is, the cleaning liquid is sprayed so that the back surface is cleaned by the ultrasonic waves passing through the panel 10.

결합수단은 초음파 세정기(30)의 양쪽 단부 영역을 프레임(20)에 설치하는 기능을 갖는 것으로, 패널(10)의 표면과 초음파 세정기(30)의 저면 사이의 간격을 조절하도록 초음파 세정기(30)의 높낮이를 조절하는 기능을 갖는 높이조절기(40)를 포함한다. The coupling means has a function of installing both end regions of the ultrasonic cleaner 30 in the frame 20, and the ultrasonic cleaner 30 to adjust the distance between the surface of the panel 10 and the bottom of the ultrasonic cleaner 30. It includes a height adjuster 40 having a function of adjusting the height of.

이러한 높이조절기(40)는 초음파 진동부(32)의 양단에 결합되는 설치 브라켓(42)과, 프레임(20)의 상단에 설치되는 고정 브라켓(44)과, 고정 브라켓(44)과 설치 브라켓(42) 사이에 설치되어 선택적으로 설치 브라켓(42)을 상승시키거나 하강시켜 패널(10)의 표면을 기준으로 초음파 진동부(32)의 저면 높이를 조절하기 위한 업/다운용 엑츄에이터(46)를 포함하여 구성된다. 이때, 설치 브라켓(42)과 고정 브라켓(44) 사이에 가이드 브라켓이 설치될 수 있다. 이 가이드 브라켓은 설치 브라켓(42)의 승,하강시 위치변동이 일어나지 않도록 안내하는 역할을 한다. The height adjuster 40 has an installation bracket 42 coupled to both ends of the ultrasonic vibration unit 32, a fixed bracket 44 is installed on the top of the frame 20, a fixed bracket 44 and the mounting bracket ( 42 is installed between the up and down actuators 46 for adjusting the bottom height of the ultrasonic vibration unit 32 relative to the surface of the panel 10 by raising or lowering the mounting bracket 42 selectively. It is configured to include. In this case, a guide bracket may be installed between the installation bracket 42 and the fixing bracket 44. This guide bracket serves to guide the positional change when the mounting bracket 42 rises and falls.

그리고, 엑츄에이터(46)는 다양하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 공압이나 유압으로 작동되는 실린더장치, 솔레노이드장치, 모터에 의해 회전하는 나사봉과 상기 나사봉에 체결된 너트로 이루어진 장치, 랙과 피니언장치 등으로부터 선택된 어느 하나의 장치로 이루어지는 것이다. In addition, the actuator 46 may be configured in various ways. For example, it is composed of any one device selected from a cylinder device, a solenoid device, a screw rod rotated by a motor and a nut fastened to the screw rod, a rack and a pinion device, etc., which are operated by pneumatic or hydraulic pressure.

이러한 높이조절기(40)는 도 8에 도시된 바와 같이 서보모터(41-1)에 의해 회전작동되는 볼스크류(41-2)와, 이 볼스크류(41-2)의 회전함에 따라 승,하강하는 고정브라켓 중간판 및 상판(41-3)과, 고정브라켓 하판(41-4)과 고정브라켓 중간판 및 상판(41-3)을 가이드하는 볼부시 및 샤프트(41-5), 그리고 다이얼게이지와 센서 등으로 구성될 수도 있다. 이러한 높이조절기(40)는 서보모터(41-1)에 의해 회전하는 볼스크류(41-2)가 고정브라켓 중간판 및 상판(41-3)을 승하강시키게 되므로, 고정브라켓 중간판 및 상판(41-3)에 결합된 설치 브라켓(42)과 초음파 진동부(32)가 승하강하게 되어 그 높이가 조절될 수 있는 것이다. As shown in FIG. 8, the height adjuster 40 moves up and down as the ball screw 41-2 and the ball screw 41-2 are rotated by the servo motor 41-1. Fixed bracket intermediate plate and upper plate (41-3), ball bracket and shaft (41-5) for guiding the fixed bracket lower plate (41-4) and fixed bracket intermediate plate and upper plate (41-3), and dial gauge And a sensor or the like. The height adjuster 40 is a ball screw (41-2) rotated by the servomotor (41-1) is to raise and lower the fixed bracket intermediate plate and the upper plate (41-3), the fixed bracket intermediate plate and the upper plate ( 41-3) is coupled to the mounting bracket 42 and the ultrasonic vibrator 32 is to be raised and lowered the height can be adjusted.

한편, 첨부된 도면 중에서 도 9에는 높이조절핸들(41-6)의 조작에 의해 볼스크류(41-7)가 회전하여 설치 브라켓(42)을 승,하강시키는 수동형 구조가 개시되어 있다. 이와 같이 높이조절기(40)는 수동 또는 자동으로 조작될 수 있는 것이다.On the other hand, Figure 9 of the accompanying drawings discloses a passive structure for raising and lowering the mounting bracket 42 by rotating the ball screw (41-7) by the operation of the height adjusting handle (41-6). As such, the height adjuster 40 can be operated manually or automatically.

그러나, 전술한 결합수단은 초음파 진동부(32)의 양단을 프레임(20)의 상면 양측에 각각 고정하도록 된 브라켓만으로도 구성될 수 있다. However, the above-described coupling means may be composed of only brackets for fixing both ends of the ultrasonic vibration unit 32 to both sides of the upper surface of the frame 20, respectively.

한편, 초음파 세정기(30)는 초음파를 패널(10)에 발진하기 위한 초음파 진동부(32)와, 초음파 진동부(32)의 길이방향 양쪽 수직면(37)에 구비되어 초음파 진동부(32)의 저면(32B)으로 세정액을 토출하기 위한 세정액 공급부(34)로 이루어진다. On the other hand, the ultrasonic cleaner 30 is provided on the ultrasonic vibration unit 32 for oscillating the ultrasonic wave to the panel 10, and on both vertical surfaces 37 in the longitudinal direction of the ultrasonic vibration unit 32 of the ultrasonic vibration unit 32 A cleaning liquid supply part 34 for discharging the cleaning liquid to the bottom face 32B.

초음파 진동부(32)는 도 1, 도 2, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 패널(10)의 폭과 같거나 더 긴 장방형으로 이루어진다. 이러한 초음파 진동부(32)의 내부에는 다수개의 초음파 진동자(32C)가 길이방향으로 연이어 등간격으로 배치된 구조를 갖는다. 그러나, 초음파 진동자(32C)는 원형이 아닌 막대형과 같은 다양한 형태로 구성될 수 있음은 물론이다. 이러한 초음파 진동부(32)의 양단은 결합수단(40)의 설치 브라켓(42)에 의해 프레임(20)에 설치되고, 저면(32B)은 패널(10)과 설정된 간격, 예를 들면 3mm - 10mm의 균일한 간격을 유지한다. 이는 초음파 진동부(32)와 패널(10) 사이에 형성되는 수막이 균일하도록 하여 초음파가 균일하게 패널(10)에 전달되도록 하기 위한 것으로, 3mm 이하일 경우, 패널(10) 표면과의 간격이 너무 좁아서 패널(10)의 표면을 손상시킬 수 있고, 10mm 이상일 경우에는 수막의 형성이 균일하지 못하거나 수막이 형성되지 않아 초으마의 전달이 미약하거나 전달이 되지 않을 가능성이 있다. The ultrasonic vibrator 32 has a rectangular shape that is equal to or longer than the width of the panel 10, as shown in FIGS. 1, 2, 4 and 6. The ultrasonic vibrator 32C has a structure in which a plurality of ultrasonic vibrators 32C are arranged at equal intervals in succession in the longitudinal direction. However, it is a matter of course that the ultrasonic vibrator 32C may be configured in various forms such as a rod rather than a circle. Both ends of the ultrasonic vibration unit 32 are installed in the frame 20 by the mounting bracket 42 of the coupling means 40, the bottom surface 32B is set to the panel 10, for example, 3mm-10mm Maintain a uniform spacing. This is to make the water film formed between the ultrasonic vibrator 32 and the panel 10 uniform so that the ultrasonic waves are uniformly transmitted to the panel 10. If the thickness is 3 mm or less, the distance from the surface of the panel 10 is too great. The narrow surface may damage the surface of the panel 10. If the thickness of the panel 10 is 10 mm or more, the formation of the water film may be inconsistent or the water film may not be formed.

이러한 초음파 진동부(32)의 양쪽에는 수직면(37)이 형성된다. 즉 패널(10)의 이송방향과 직교되는 초음파 진동부(32)의 양쪽에 수직면(37)이 형성되는 것이다. 그리고, 수직면(37)과 저면(32B)의 경계영역인 코너는 모깍기되어 곡면부(32A)가 각각 형성된다. 이는 세정액 공급부(34)로부터 공급되는 세정액이 초음파 진동부(32)의 저면(32B)으로 흘러 공급되도록 하기 위한 것이다. Vertical surfaces 37 are formed on both sides of the ultrasonic vibration unit 32. That is, vertical surfaces 37 are formed on both sides of the ultrasonic vibration unit 32 orthogonal to the conveying direction of the panel 10. The corners, which are the boundary regions between the vertical surface 37 and the bottom surface 32B, are chamfered to form curved portions 32A, respectively. This is for the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply part 34 to flow to the bottom face 32B of the ultrasonic vibration part 32.

세정액 공급부(34)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 초음파 진동부(32)의 길이방향을 따라 형성된 수직면(37)에 구비되어 초음파 진동부(32)의 저면(32B)과 패널(10)의 표면 사이로 세정액을 공급하여 그 사이에 균일한 수막을 형성하도록 구성되는 것이다. The cleaning liquid supply part 34 is provided on a vertical surface 37 formed along the longitudinal direction of the ultrasonic vibration part 32 as shown in FIGS. 4 to 6, and the bottom surface 32B of the ultrasonic vibration part 32 and the panel 10 are provided. It is configured to supply a cleaning liquid between the surfaces of) to form a uniform water film therebetween.

이러한 세정액 공급부(34)는 세정액 저장탱크 또는 수조와 연결되어 세정액을 공급받기 위한 세정액 공급호스(34A)와, 이 공급호스(34A)와 연결되어 각 수직면(37)에 결합되어 일체화되도록 수직면(37)의 길이와 같거나 작은 길이로 형성되는 각각의 노즐부재(34B)로 이루어진다. The cleaning liquid supply part 34 is connected to a cleaning liquid storage tank or a water tank, and a cleaning liquid supply hose 34A for receiving the cleaning liquid, and a vertical surface 37 connected to the supply hose 34A and coupled to each vertical surface 37 to be integrated. Each nozzle member 34B is formed to have a length equal to or less than the length of the cross-section.

노즐부재(34B)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 내부에 길이방향을 따라 세정액 공급공(34C)이 형성되고, 세정액 공급공(34C)와 연통되는 다수개의 연결공(34F)이 길이바향을 따라 등간격으로 각각 천공되며, 초음파 진동부(32)의 수직면(37)과의 사이에 공간을 형성하여 각 연결공(34F)으로 공급된 세정액이 초음파 진동부(32)의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 토출구(34D)를 이루는 노즐홈(34G)들이 길이방향을 따라 연이어 형성되는 것이다. As shown in FIGS. 4 to 6, the nozzle member 34B has a cleaning liquid supply hole 34C formed in the longitudinal direction thereof, and a plurality of connecting holes 34F communicating with the cleaning liquid supply hole 34C are formed in length. The holes are drilled at equal intervals along the direction, and a space is formed between the vertical surfaces 37 of the ultrasonic vibration units 32 so that the cleaning liquid supplied to each connection hole 34F is uniform to the bottom surface of the ultrasonic vibration units 32. The nozzle grooves 34G constituting the ejection openings 34D for smoothly flowing are successively formed along the longitudinal direction.

즉, 세정액 공급공(34C)과 세정액 토출구(34D)는 다수개의 연결공(34F)와 수직면(37)과의 사이에 공간을 형성하는 미세한 노즐홈(34G)에 의한 유로에 의해 서로 미세하게 연통된 상태로 노즐부재(34B)의 길이방향을 따라 길게 형성된다. 이와 같이 세정액 토출구(34D)가 길이방향으로 길게 개구되어 형성된 것은 초음파 진동부(32)의 길이방향 저면(32B) 전체에 세정액을 한꺼번에 균일하게 토출하기 위한 것이다. That is, the cleaning liquid supply hole 34C and the cleaning liquid discharge port 34D are minutely communicated with each other by a flow path by a fine nozzle groove 34G that forms a space between the plurality of connecting holes 34F and the vertical surface 37. It is formed long along the longitudinal direction of the nozzle member 34B in the state. Thus, the cleaning liquid discharge port 34D is formed to have a long opening in the longitudinal direction for uniformly discharging the cleaning liquid all over the longitudinal bottom face 32B of the ultrasonic vibration part 32 at once.

이때, 노즐부재(34B)와 수직벽(37) 사이에는 패킹이 설치될 수 있다.At this time, a packing may be installed between the nozzle member 34B and the vertical wall 37.

그리고, 연결공(34F)과 노즐홈(34G)에 의한 유로는 세정액 공급공(34C)은 수직벽(37)과의 사이에 형성될 수도 있고, 노즐부재(34C)와 수직면(37) 사이에 배치되는 패킹 사이에 형성될 수도 있다.The flow path formed by the connection hole 34F and the nozzle groove 34G may be formed between the cleaning liquid supply hole 34C and the vertical wall 37, and between the nozzle member 34C and the vertical surface 37. It may be formed between the packings arranged.

그리고, 세정액 공급공(34C)의 내측 끝단 영역에는 초음파 진동부(32)의 곡면부(32A)와 대응되는 토출 곡면부(34E)가 만곡지게 형성된다. 즉, 세정액 공급공(34C)에 의해 형성되는 유로가 곡면부(32A)와 토출 곡면부(34E)에 의해 초음파 진동부(32)의 저면(32B) 측으로 향하도록 토출 곡면부(34B)와 곡면부(32A)가 형성되는 것이다. The discharge curved portion 34E corresponding to the curved portion 32A of the ultrasonic vibration portion 32 is formed to be curved in the inner end region of the cleaning liquid supply hole 34C. That is, the discharge curved surface portion 34B and the curved surface such that the flow path formed by the cleaning liquid supply hole 34C is directed toward the bottom face 32B of the ultrasonic vibration portion 32 by the curved surface portion 32A and the discharge curved surface portion 34E. The part 32A is formed.

이로 인하여, 초음파 진동부(32)의 양쪽 수직면(37)에 각각 노즐부재(34C)가 설치되어 세정액이 공급되면, 세정액은 초음파 진동부(32)의 전,후 방향(패널이 이송되는 방향을 기준)에서 각각 초음파 진동부(32)의 저면(32B)으로만 공급되어 저면(32B)과 패널(10) 사이에 균일한 수막을 형성하게 되는 것이다. Thus, when the nozzle members 34C are respectively provided on both vertical surfaces 37 of the ultrasonic vibrator 32 and the cleaning liquid is supplied, the cleaning liquid is changed to the front and rear directions of the ultrasonic vibration unit 32 (the direction in which the panel is transferred. Reference) is supplied only to the bottom surface 32B of the ultrasonic vibration unit 32 to form a uniform water film between the bottom surface 32B and the panel 10.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이 노즐부재(34)는 세정액 공급공(34C)과 연통되는 다수개의 연결홈(34H)들이 길이방향을 따라 등간격으로 각각 천공되고, 초음파 진동부(32)의 수직면(37)과의 사이에 미세한 공간을 형성하여 각 연결홈(34H)으로 공급된 세정액이 초음파 진동부(32)의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 다수개의 토출홈(34I)들이 길이방향을 따라 등간격으로 연이어 형성된 구조로 형성될 수도 있다. 이러한 구조 역시 세정액이 균일하게 수직면(37)을 따라 초음파 진동부(32) 저면으로 흐르도록 하기 위한 것이다. Meanwhile, as shown in FIG. 7, the nozzle member 34 has a plurality of connecting grooves 34H communicating with the cleaning liquid supply hole 34C at equal intervals along the longitudinal direction, respectively, and of the ultrasonic vibration unit 32. A plurality of discharge grooves 34I are formed in the longitudinal direction so as to form a fine space between the vertical surfaces 37 so that the cleaning liquid supplied to each of the connection grooves 34H uniformly flows to the bottom surface of the ultrasonic vibration unit 32. Therefore, it may be formed in a structure formed in succession at equal intervals. This structure is also intended to allow the cleaning liquid to flow uniformly along the vertical surface 37 to the bottom of the ultrasonic vibrator 32.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

먼저, 패널(10)과 초음파 진동부(32)의 저면(32B) 사이 간격을 적절하게 조절하기 위하여 엑츄에이터(46)를 조작한다. 이 조작으로 설치 브라켓(42)이 상승하거나 하강하게 되어 패널(10) 표면과의 간격이 조절될 수 있다. First, the actuator 46 is operated to appropriately adjust the gap between the panel 10 and the bottom face 32B of the ultrasonic vibrator 32. By this operation, the mounting bracket 42 can be raised or lowered so that the distance to the panel 10 surface can be adjusted.

이러한 과정으로 초음파 진동부(32)와 패널(10) 표면 사이의 간격이 조절되면, 세정액 공급부(34)를 작동시켜 세정액이 세정액 공급공(34C)을 통하여 세정역 연결공(34F)과 노즐홈(34G)가 이루는 유로를 통하여 세정액 토출구(34D)로 공급되어 초음파 진동부(32)의 저면으로 토출되도록 함과 동시에 프레임(20)에 설치된 노즐(23)들로부터 세정액이 분사되도록 한다. When the distance between the ultrasonic vibrator 32 and the surface of the panel 10 is adjusted in this process, the cleaning solution supply unit 34 is operated to clean the cleaning solution through the cleaning solution supply hole 34C and the nozzle groove 34F. The liquid is supplied to the cleaning liquid discharge port 34D through the flow path formed by the 34G so as to be discharged to the bottom surface of the ultrasonic vibrator 32, and the cleaning liquid is injected from the nozzles 23 installed in the frame 20.

이어서, 패널(10)이 이송 로울러(22)들에 의해 이송되어 초음파 진동부(32) 저면을 통과할 때, 초음파 진동부(32)를 작동시켜 초음파가 수막에 전달되도록 한다. Subsequently, when the panel 10 is transferred by the transfer rollers 22 and passes through the bottom of the ultrasonic vibrator 32, the ultrasonic vibrator 32 is operated to transmit ultrasonic waves to the water film.

즉, 노즐부재(34C)로 공급된 세정액이 세정액 토출구(34D)를 통하여 초음파 진동부(32)의 저면으로 토출되어 초음파 진동부(32)와 패널(10) 사이에 수막이 형성될 때, 초음파 진동부(32)로부터 초음파가 발생되면, 초음파는 수막을 통하여 패널(10)의 표면에 전달되어 패널(10) 표면의 세정이 이루어지게 된다. That is, when the cleaning liquid supplied to the nozzle member 34C is discharged to the bottom surface of the ultrasonic vibration unit 32 through the cleaning liquid discharge port 34D, a water film is formed between the ultrasonic vibration unit 32 and the panel 10. When the ultrasonic waves are generated from the vibrator 32, the ultrasonic waves are transmitted to the surface of the panel 10 through the water film to clean the surface of the panel 10.

이러한 과정으로 패널(10)의 세정이 이루어지며, 특히 길이방향으로 길게 하향 개구된 세정액 토출구(34D)로부터 세정액이 균일하게 초음파 진동부(32) 저면으로 토출되어 패널(10)의 표면과 초음파 진동부(32)의 저면(32B) 사이에 균일한 수막이 형성되기 때문에 균일한 세정이 가능하게 되고 세정효율이 높게 되며, 초음파가 수막을 통하여 패널(10)의 표면에 직접 조사되므로 초음파의 전달율이 높게 되어 세정효율이 높게 된다. In this process, the panel 10 is cleaned. In particular, the cleaning liquid is uniformly discharged to the bottom surface of the ultrasonic vibrator 32 from the cleaning liquid discharge port 34D long downwardly opened in the longitudinal direction, so that the surface of the panel 10 and the ultrasonic wave are cleaned. Since a uniform water film is formed between the bottom surface 32B of the eastern part 32, uniform cleaning is possible and cleaning efficiency is high. Ultrasonic wave is irradiated directly to the surface of the panel 10 through the water film, so that the transmission rate of the ultrasonic wave is increased. It becomes high and cleaning efficiency becomes high.

그리고, 세정액이 미세한 세정액 토출구(34D)를 통하여 토출되어도 초음파 진동부(32)의 저면(32B)과 패널(10)의 표면 사이가 일정한 간격을 유지하게 되므로 그 사이에 균일한 수막이 형성될 수 있고, 따라서 과도한 세정액의 소모가 불필요하게 된다. 즉, 초음파 진동부(32)의 저면(32B)과 패널(10)의 표면 사이에 수막 만을 형성하는 양이 토출되므로 굳이 많은 양의 세정액이 필요하지 않게 된다. 따라서 세정액의 소모가 종래기술에 의한 세정장치에 비하여 현저하게 절감될 수 있다. In addition, even when the cleaning liquid is discharged through the fine cleaning liquid discharge port 34D, a uniform water film may be formed between the bottom surface 32B of the ultrasonic vibrator 32 and the surface of the panel 10 while maintaining a constant gap therebetween. Therefore, excessive consumption of the cleaning liquid is unnecessary. That is, since the quantity which forms only a water film | membrane is discharged between the bottom face 32B of the ultrasonic vibration part 32, and the surface of the panel 10, a large amount of cleaning liquid is not required. Therefore, the consumption of the cleaning liquid can be significantly reduced compared to the cleaning apparatus according to the prior art.

또한, 노즐부재(34C)가 초음파 진동부(32)에 일체형으로 구비되므로 초음파 진동부(32)에 세정액을 분사하기 위한 여러 개의 노즐이 불필요하게 된다.In addition, since the nozzle member 34C is integrally provided with the ultrasonic vibration unit 32, several nozzles for spraying the cleaning liquid on the ultrasonic vibration unit 32 are unnecessary.

한편, 패널(10)의 이면으로 노즐(23)들을 이용하여 세정액을 분사할 경우에, 초음파가 패널(10)의 이면으로 전달되므로 패널(10)의 이면도 세정이 이루어질 수 있다. On the other hand, when spraying the cleaning liquid using the nozzles 23 to the rear surface of the panel 10, since the ultrasonic waves are transmitted to the rear surface of the panel 10, the rear surface of the panel 10 may also be cleaned.

한편, 첨부된 도면 중에서 도 10은 도 4에 도시된 초음파 진동부의 다른 실시 예를 도시한 일부확대 단면도이다.Meanwhile, FIG. 10 is a partially enlarged sectional view showing another embodiment of the ultrasonic vibration unit shown in FIG. 4.

도 10에 도시된 바와 같이 다른 실시 예에 따른 초음파 진동부(32)는 바닥의 두께가 다르게 형성되어 내부 바닥면(32D)이 일측으로 기울어지도록 경사를 이루는 것이다. 따라서 초음파 진동자(32C)가 경사지게 설치된다. 즉, 바닥면(32D)은 패널(10)의 진입방향이 높고 진출방향이 낮도록 경사지게 형성된 것이다. 이와 같이 바닥면(32D)이 경사지게 형성되므로, 초음파의 조사 방향성을 유도할 수 있고, 이로 인하여 세정이물으 한쪽 방향으로 비스듬히 쓸어주어 이물질의 배출이 원활하게 된다. As shown in FIG. 10, the ultrasonic vibrator 32 according to another exemplary embodiment is inclined such that an inner bottom surface 32D is inclined to one side due to a different thickness of the bottom. Therefore, the ultrasonic vibrator 32C is inclinedly installed. That is, the bottom surface 32D is formed to be inclined such that the entry direction of the panel 10 is high and the advance direction is low. Since the bottom surface 32D is formed to be inclined in this manner, it is possible to induce the direction of irradiation of the ultrasonic waves, and thus, the cleaning foreign substances are swept obliquely in one direction to facilitate the discharge of foreign substances.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious to those who have. Accordingly, it should be understood that such modifications or alterations should not be understood individually from the technical spirit and viewpoint of the present invention, and that modified embodiments fall within the scope of the claims of the present invention.

10 : 패널 20 : 프레임
22 : 이송 로울러 23 : 노즐
30 : 초음파 세정기 32 : 초음파 진동부
32A : 곡면부 32B: 저면
32C : 초음파 진동자 34 : 세정액 공급부
34A : 세정액 공급호스 34B: 노즐부재
34C : 세정액 공급공 34D : 세정액 토출구
34E : 토출 곡면부 34F : 유로
37 : 수직면
40 : 결합수단 42 : 설치 브라켓
44 : 고정 브라켓 46 : 엑츄에이터10: panel 20: frame
22: feed roller 23: nozzle
30: ultrasonic cleaner 32: ultrasonic vibration unit
32A: curved portion 32B: bottom
32C: ultrasonic vibrator 34: cleaning liquid supply
34A: Cleaning liquid supply hose 34B: Nozzle member
34C: cleaning liquid supply hole 34D: cleaning liquid discharge port
34E: discharge curved portion 34F: flow path
37: vertical plane
40: coupling means 42: mounting bracket
44: fixing bracket 46: actuator

Claims (12)

대면적 패널을 수평 이송시키기 위한 다수의 이송 로울러를 구비한 프레임과, 상기 이송 로울러들에 의해 일정한 방향으로 수평 이송되는 패널의 표면으로 세정액을 공급하면서 초음파를 가하여 패널의 표면을 세정하도록 된 초음파 세정기를 포함하고,
상기 초음파 세정기는,
이송되는 패널의 폭과 같거나 크도록 길이방향으로 길게 형성되어 상기 패널의 이송방향과 직교되도록 양단이 상기 프레임의 양측에 결합수단에 의해 각각 고정되는 초음파 진동부; 및
상기 초음파 진동부의 길이방향을 따라 형성된 수직면에 구비되어 상기 초음파 진동부의 저면과 패널의 표면 사이로 세정액을 공급하여 균일한 수막을 형성하도록 상기 초음파 진동부의 길이와 같거나 더 긴 토출구를 갖는 세정액 공급부가 구비되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.Ultrasonic cleaner configured to clean the surface of the panel by applying ultrasonic waves while supplying a cleaning liquid to the surface of the panel horizontally transported in a predetermined direction by the transport rollers, and a frame having a plurality of transport rollers for horizontally transporting the large area panel. Including,
The ultrasonic cleaner,
Ultrasonic vibrating unit is formed in the longitudinal direction to be equal to or greater than the width of the panel to be transported, the both ends are fixed to each side of the frame by the coupling means so as to be perpendicular to the transport direction of the panel; And
It is provided on the vertical surface formed along the longitudinal direction of the ultrasonic vibrating unit is provided with a cleaning liquid supply having a discharge port equal to or longer than the length of the ultrasonic vibrating unit to supply a cleaning solution between the bottom surface of the ultrasonic vibrating unit and the surface of the panel to form a uniform water film Characterized in that
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제1항에 있어서,
상기 결합수단은,
상기 초음파 진동부의 양단을 상기 프레임의 양측 상단에 결합하되, 상기 패널의 표면을 기준으로 상기 초음파 진동부의 저면의 높이를 조절하기 위한 높이조절기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 1,
Wherein the coupling means comprises:
Both ends of the ultrasonic vibration unit is coupled to both upper ends of the frame, characterized in that it further comprises a height adjuster for adjusting the height of the bottom surface of the ultrasonic vibration unit based on the surface of the panel,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제2항에 있어서,
상기 높이조절기는,
상기 초음파 진동부의 양단에 결합되는 설치 브라켓;
상기 프레임의 상단에 설치되는 고정 브라켓; 및
상기 고정 브라켓과 상기 설치 브라켓 사이에 설치되어 선택적으로 상기 설치 브라켓을 상승시키거나 하강시켜 상기 초음파 진동부의 저면과 상기 패널 사이의 간격을 조절하기 위한 업/다운용 엑츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 2,
The height adjuster,
Mounting brackets coupled to both ends of the ultrasonic vibration unit;
A fixing bracket installed on an upper end of the frame; And
And an up / down actuator installed between the fixing bracket and the mounting bracket to selectively raise or lower the mounting bracket to adjust a distance between the bottom surface of the ultrasonic vibration unit and the panel.
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제3항에 있어서,
상기 엑츄에이터는 공압이나 유압으로 작동되는 실린더장치, 솔레노이드장치, 모터에 의해 회전하는 나사봉과 상기 나사봉에 체결된 너트로 이루어진 장치로부터 선택된 어느 하나의 장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 3,
The actuator is characterized in that consisting of any one device selected from a device consisting of a cylinder device, a solenoid device, a screw rod rotated by a motor and a nut fastened to the screw rod by a pneumatic or hydraulically operated,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제1항에 있어서,
상기 세정액 공급부는,
세정액 공급호스; 및
상기 세정액 공급호스와 연통되고, 상기 초음파 진동부의 길이방향을 따라 세정액 공급공이 길게 형성되고, 상기 세정액 공급공으로 공급된 세정액을 상기 초음파 진동부의 저면 전체에 한꺼번에 균일하게 토출하도록 상기 초음파 진동부의 수직면에 결합되는 노즐부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 1,
The cleaning liquid supply unit,
Cleaning liquid supply hose; And
In communication with the cleaning liquid supply hose, the cleaning liquid supply hole is formed long along the longitudinal direction of the ultrasonic vibration unit, coupled to the vertical surface of the ultrasonic vibration unit to uniformly discharge the cleaning liquid supplied to the cleaning liquid supply hole all over the bottom of the ultrasonic vibration unit at once. Characterized in that consisting of the nozzle member,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제5항에 있어서,
상기 노즐부재는,
상기 세정액 공급공과 연통되는 다수개의 연결공이 길이방향을 따라 등간격으로 천공되고, 상기 초음파 진동부의 수직면과의 사이에 공간을 형성하여 상기 각 연결공으로 공급된 세정액이 상기 초음파 진동부의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 토출구를 이루는 노즐홈이 길이방향을 따라 연이어 형성되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 5,
The nozzle member,
A plurality of connecting holes communicating with the cleaning solution supply holes are drilled at equal intervals along the length direction, and a space is formed between the vertical surfaces of the ultrasonic vibration parts so that the cleaning liquids supplied to the connecting holes flow uniformly to the bottom surface of the ultrasonic vibration parts. Characterized in that the nozzle groove constituting the discharge port to be formed in succession along the longitudinal direction,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제5항에 있어서,
상기 노즐부재는,
상기 초음파 진동부 양쪽에 각각 형성되는 각 수직면에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 5,
The nozzle member,
Characterized in that each provided on each vertical surface formed on both sides of the ultrasonic vibration,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제6항에 있어서,
상기 수직면 하부와 저면 양측의 코너영역은 모깍기되어 곡면부가 형성되고,
상기 토출구를 이루는 노즐홈의 내측 끝단영역에는 상기 곡면부와 대응되는 토출 곡면부가 만곡지게 형성되어 공급되는 세정액을 상기 패널과 상기 초음파 진동부의 저면 쪽으로 유도하도록 된 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method according to claim 6,
Corner areas of both the lower side of the vertical surface and the bottom surface are filleted to form a curved surface portion,
In the inner end region of the nozzle groove constituting the discharge port is characterized in that the discharge curved portion corresponding to the curved portion is formed to be bent to guide the cleaning liquid supplied to the bottom surface of the panel and the ultrasonic vibration unit,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제5항에 있어서,
상기 노즐부재는,
상기 세정액 공급공과 연통되는 다수개의 연결홈이 길이방향을 따라 등간격으로 천공되고, 상기 초음파 진동부의 수직면과의 사이에 공간을 형성하여 상기 각 연결홈으로 공급된 세정액이 상기 초음파 진동부의 저면으로 균일하게 흐르도록 하기 위한 다수개의 토출홈들이 길이방향을 따라 등간격으로 연이어 형성되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 5,
The nozzle member,
A plurality of connection grooves communicating with the cleaning solution supply hole are drilled at equal intervals along the longitudinal direction, and a space is formed between the vertical surfaces of the ultrasonic vibration unit so that the cleaning liquid supplied to each of the connection grooves is uniform to the bottom surface of the ultrasonic vibration unit. Characterized in that the plurality of discharge grooves are formed in succession at equal intervals along the longitudinal direction, so as to flow smoothly,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제1항에 있어서,
상기 초음파 진동부 저면에 해당하는 상기 프레임 바닥에는 상기 패널의 이면에 세정액을 분사하기 위한 노즐들이 다수개 구비되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 1,
The bottom of the frame corresponding to the bottom of the ultrasonic vibration unit, characterized in that a plurality of nozzles for spraying the cleaning liquid on the back surface of the panel,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제1항에 있어서,
상기 초음파 진동부는 다수개의 초음파 진동자가 길이방향으로 연이어 배열되어 구성되는 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.The method of claim 1,
The ultrasonic vibration unit is characterized in that the plurality of ultrasonic vibrators are arranged in succession in the longitudinal direction,
Ultrasonic cleaning device for large area panels. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 초음파 진동부는,
바닥의 두께가 다르게 형성되어 내부 바닥면이 일측으로 기울어지도록 경사를 이루고, 초음파 진동자가 경사지게 설치되되,
상기 바닥면은,
상기 패널의 진입방향이 높고 진출방향이 낮도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는,
대면적 패널용 초음파 세정장치.


12. The method according to any one of claims 1 to 11,
The ultrasonic vibration unit,
The thickness of the bottom is formed differently to form an inclination so that the inner bottom surface is inclined to one side, and the ultrasonic vibrator is inclined,
The bottom surface is,
Characterized in that the inclination is formed so that the entry direction of the panel is high and the entry direction is low,
Ultrasonic cleaning device for large area panels.


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