KR200469191Y1 - Puddle knife for cleaning large-area substrate - Google Patents

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Abstract

본 고안은 퍼들나이프를 통해 기판의 상면에 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.The object of the present invention is to provide a large-area substrate cleaning puddle knife to uniformly apply the cleaning water to the upper surface of the substrate through the puddle knife.

이를 구현하기 위한 본 고안은, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 큰 것을 특징으로 한다.The present invention for realizing this, in a puddle knife for large area substrate cleaning to apply the washing water to the upper front surface of the large area substrate is inclined at a predetermined angle, so that the washing water passes along the longitudinal direction of the puddle knife A plurality of nozzle holes are formed; The nozzle holes are characterized in that the upper side of the inclined substrate has a larger sum of holes per unit length of the puddle knife than the lower side.

기판, 세정, 퍼들나이프, 세정수, 노즐 Substrate, Cleaning, Puddle Knife, Cleaning Water, Nozzle

Description

대면적 기판 세정용 퍼들나이프{PUDDLE KNIFE FOR CLEANING LARGE-AREA SUBSTRATE}PUDLE KNIFE FOR CLEANING LARGE-AREA SUBSTRATE}

본 고안은 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경사진 기판의 상부 측과 하부 측에 퍼들나이프에 의해 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 관한 것이다.The present invention relates to a large area substrate cleaning puddle knife, and more particularly, to a large area substrate cleaning puddle knife to uniformly apply the cleaning water by the puddle knife on the inclined substrate.

일반적으로, 표시장치용 대면적 기판의 세정은 대면적 기판의 이송중에 세정노즐을 이용하여 그 대면적 기판에 세정약액을 포함하는 세정수를 분사하여, 대면적 기판의 이물을 제거하는 과정이다.In general, the cleaning of a large-area substrate for a display device is a process of removing the foreign matter of the large-area substrate by spraying the cleaning water containing the cleaning chemical solution on the large-area substrate by using the cleaning nozzle during transfer of the large-area substrate.

이와 같은 세정은 세정 대상 등에 대하여 세정수를 공급하는 방법 및 약액의 종류를 다르게 하여 분사할 수 있다.Such cleaning can be sprayed by varying the method of supplying the washing water and the kind of the chemical liquid to the cleaning target or the like.

상기 세정수를 분사하는 방법은 이송되는 대면적 기판에 소정의 압력으로 세정수를 분사하여 이물이 세정수와 함께 기판 외부로 흘러내리도록 하는 방법 또는 기판에 소정의 두께로 약액을 도포한 후 소정의 시간이 경과하도록 하는 퍼들(puddle) 방법이 있다.The method of spraying the washing water is a method of spraying the washing water at a predetermined pressure on the large-area substrate to be transported so that foreign matter flows out of the substrate together with the washing water or after applying the chemical liquid to the substrate at a predetermined thickness. There is a puddle method that allows the time to elapse.

상기 퍼들법이 적용되는 과정은 러빙된 대면적 기판을 세정하는 과정을 예로들 수 있다. 액정의 배향 전처리 과정으로서 러빙(rubbing)공정이 사용된다. 상기 러빙된 대면적 기판의 표면은 액정의 배향에 적당한 상태가 되나, 공정과정에서 먼지가 발생됨과 아울러 대면적 기판의 표면이 일부 연마된 부산물이 존재하게 된다. 이와 같은 먼지 등을 제거하기 위해 반드시 세정공정을 수행하여야 한다.The process of applying the puddle method may be a process of cleaning the rubbed large area substrate. A rubbing process is used as the alignment pretreatment of the liquid crystal. The surface of the rubbed large-area substrate is in a state suitable for alignment of liquid crystals, but dust is generated during the process, and the by-products of which the surface of the large-area substrate is partially polished are present. In order to remove such dust, a cleaning process must be performed.

상기 러빙된 대면적 기판은 다수의 이송롤러를 포함하는 이송부에 의해 이송되며, 퍼들나이프를 통해 그 대면적 기판의 러빙된 면에 세정수가 도포된다.The rubbed large area substrate is transported by a transport unit including a plurality of transport rollers, and washing water is applied to the rubbed surface of the large area substrate through a puddle knife.

이때, 퍼들나이프는 세정수를 가압 분사하는 방식이 아닌 세정수의 자유낙하에 의해 대면적 기판의 표면에 모여있도록 하는 퍼들(puddle) 방법으로 도포한다. In this case, the puddle knife is applied by a puddle method so that the puddle knives are collected on the surface of the large-area substrate by free fall of the washing water, rather than by pressure spraying the washing water.

퍼들나이프 내부에서 세정수는 퍼들나이프의 길이방향으로 형성된 복수의 노즐구멍들을 통해 기판에 낙하된다.In the puddle knife, the washing water drops to the substrate through a plurality of nozzle holes formed in the longitudinal direction of the puddle knife.

이 경우 이송되는 기판은 수평면에 대하여 소정의 각도로 경사진 상태로 이송되므로 상기 퍼들나이프도 경사진 상태로 설치되어 있다. In this case, the substrate to be transferred is transferred in a state inclined at a predetermined angle with respect to the horizontal plane, so that the puddle knife is also inclined.

이러한 구조로 인하여 기판의 상면에 도포되는 세정수는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(G)의 상부 측에 비하여 하부 측이 더 많은 세정수가 도포되는 문제점이 있다. 즉, 퍼들나이프(10)에서 분사되는 세정수는, 기판의 상부(도 1에서 빗금 친 부분의 상부)에서 기판의 이송방향으로 도포되는 세정수의 길이가 90mm 정도일 때 기판의 하부(도 1에서 빗금 친 부분의 하부)에서 기판의 이송방향으로 도포되는 세정수의 길이는 850mm 정도가 되어 기판의 상면에 세정수가 불균일하게 도포되는 문제점이 있다.Due to this structure, the washing water applied to the upper surface of the substrate has a problem that more washing water is applied to the lower side than the upper side of the substrate G, as shown in FIG. 1. That is, the washing water sprayed from the puddle knife 10 is formed at the lower portion of the substrate (in FIG. 1) when the length of the washing water applied in the conveying direction of the substrate at the upper portion of the substrate (the upper portion of the hatched portion in FIG. In the lower part of the hatched portion), the length of the washing water applied in the conveying direction of the substrate is about 850 mm, so that the washing water is unevenly coated on the upper surface of the substrate.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 퍼들나이프를 통해 기판의 상면에 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a large-area substrate cleaning puddle knife to uniformly apply the cleaning water to the upper surface of the substrate through the puddle knife.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 퍼들나이프는, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 크고, 상기 상부 측 노즐구멍들에서부터 하부 측 노즐구멍들에 이르기까지 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성되며, 상기 퍼들나이프의 단위길이당 상부 측 노즐구멍들의 개수는 하부 측 노즐구멍들의 개수에 비하여 더 많은 것을 특징으로 한다.The puddle knife of the present invention for achieving the above object is a puddle knife for cleaning a large-area substrate for applying the washing water to the upper front surface of the large-area substrate inclined at a predetermined angle, along the longitudinal direction of the puddle knife A plurality of nozzle holes are formed to allow the washing water to pass therethrough; The nozzle holes have a larger sum of the holes per unit length of the puddle knife than the upper side of the inclined substrate, and the nozzle hole area from the upper nozzle holes to the lower nozzle holes is larger. It is formed to gradually become smaller at a constant rate, the number of the upper nozzle holes per unit length of the puddle knife is characterized in that more than the number of lower nozzle holes.

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본 고안의 다른 사상으로는, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 분사되도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 경사진 기판의 상부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수 의 유량은 하부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량보다 크게 되도록 상기 노즐구멍들의 개수 및 크기가 결정되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, in a puddle knife for cleaning a large-area substrate for applying washing water to the entire upper surface of the large-area substrate which is inclined at a predetermined angle, the washing water is sprayed along the longitudinal direction of the puddle knife. A plurality of nozzle holes are formed; The number and size of the nozzle holes are determined such that the flow rate of the washing water sprayed through the nozzle holes located on the upper side of the inclined substrate is larger than the flow rate of the washing water sprayed through the nozzle holes located on the lower side. It features.

본 고안에 의하면, 퍼들나이프의 노즐구멍을 통해 세정수가 기판의 전면에 걸쳐 균일하게 도포되어 기판의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the washing water is uniformly applied over the entire surface of the substrate through the nozzle hole of the puddle knife, thereby preventing the defect of the substrate.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 정면도, 도 3은 도 2에 도시된 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 평면도이다.2 is a front view showing an installation state of the puddle knife according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a plan view showing an installation state of the puddle knife shown in FIG.

소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하기 위하여 퍼들나이프(100)가 기판 이송용 롤러(R)의 상부에 설치된다. 기판의 경사이송으로 인하여 퍼들나이프(100)도 경사진 상태로 설치된다. The puddle knife 100 is installed on the substrate transfer roller R to apply the washing water to the entire upper surface of the large-area substrate that is inclined at a predetermined angle. Due to the inclined transfer of the substrate, the puddle knife 100 is also installed in an inclined state.

기판의 상부 전면에 도포되는 세정수는 기판면에 균일하게 도포되어야 하므로 상기 퍼들나이프(100)의 노즐 하부에는 대략 사다리꼴 모양의 가이드판(110)이 설치되고, 상기 가이드판(110)은 도 3에서와 같이 평면도 상에서 보면 끝단(110a)이 기판의 이송방향에 대해 수직선을 형성하도록 설치된다.Since the washing water applied to the entire upper surface of the substrate should be uniformly applied to the substrate surface, a substantially trapezoid-shaped guide plate 110 is installed under the nozzle of the puddle knife 100, and the guide plate 110 is illustrated in FIG. 3. As seen in plan view, the end 110a is installed to form a vertical line with respect to the transfer direction of the substrate.

즉, 퍼들나이프(100)의 노즐구멍을 통과한 세정수는 가이드판(110)의 상면을 따라 흘러 가이드판(110)의 끝단(110a)에서 기판의 상면에 자연 낙하하도록 되어 있다.That is, the washing water passing through the nozzle hole of the puddle knife 100 flows along the upper surface of the guide plate 110 to naturally fall from the end 110a of the guide plate 110 to the upper surface of the substrate.

도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 측단면 투시도이다.Figure 4 is a side cross-sectional perspective view of the puddle knife according to an embodiment of the present invention.

도 4에서 퍼들나이프(100)의 내부 구조는 단면을 나타낸 것이고, 가이드판(110)은 측방향에서 바라본 상태를 나타낸 것이다.In FIG. 4, the internal structure of the puddle knife 100 shows a cross section, and the guide plate 110 shows a state viewed from the lateral direction.

세정수는 퍼들나이프(100)의 입구(101)로 유입되어 내부를 화살표 방향을 따라 순환한 후 가이드판(110)의 상면으로 흐르게 된다.The washing water flows into the inlet 101 of the puddle knife 100 and circulates through the inside of the puddle knife 100 in the direction of the arrow, and then flows to the upper surface of the guide plate 110.

이 경우 세정수는 가이드판(110)의 상면과 노즐판(120)에 형성된 노즐구멍 사이의 공간을 통해 흘러나오게 된다.In this case, the washing water flows out through the space between the upper surface of the guide plate 110 and the nozzle hole formed in the nozzle plate 120.

도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면이다.5 is a view showing a puddle knife nozzle hole according to an embodiment of the present invention.

퍼들나이프(100)의 노즐판(120)에는 퍼들나이프(100)의 길이방향을 따라 복수 개의 노즐구멍(120a,120b)들이 형성되어 있다.A plurality of nozzle holes 120a and 120b are formed in the nozzle plate 120 of the puddle knife 100 along the longitudinal direction of the puddle knife 100.

상기 노즐구멍들 중 경사진 기판에 대하여 상부 측의 노즐구멍들(120a)이 하부 측의 노즐구멍(120b)들에 비하여 더 크게 형성되어 있다. 따라서 상부 측의 노즐구멍들(120a)을 통과하는 세정수가 하부 측의 노즐구멍들(120b)을 통과하는 세정수에 비하여 더 많게 되어 종래 경사진 기판의 상부 측과 하부 측에 세정수가 불균일하게 도포되는 문제점을 방지할 수 있다.The nozzle holes 120a on the upper side of the nozzle holes are larger than the nozzle holes 120b on the lower side with respect to the inclined substrate. Therefore, the number of the washing water passing through the nozzle holes 120a on the upper side is more than that of the washing water passing through the nozzle holes 120b on the lower side, and the washing water is unevenly applied to the upper and lower sides of the conventional inclined substrate. Can be prevented.

이 경우 단위길이(L)당 노즐구멍들의 면적의 합은 상부 측 노즐구멍들(120a) 의 면적의 합이 하부 측 노즐구멍들(120b)의 면적의 합보다 더 크게 되도록 구성할 수 있다.In this case, the sum of the areas of the nozzle holes per unit length L may be configured such that the sum of the areas of the upper nozzle holes 120a is larger than the sum of the areas of the lower nozzle holes 120b.

또한 상기 상부 측 노즐구멍들(120a)에서부터 하부 측 노즐구멍들(120b)에 이르기까지 각각의 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성될 수도 있다.In addition, the area of each nozzle hole from the upper nozzle holes 120a to the lower nozzle holes 120b may be formed to gradually decrease at a constant ratio.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면이다.6 is a view showing a puddle knife nozzle hole according to another embodiment of the present invention.

본 실시예의 노즐구멍은 상부 측의 노즐구멍들(120c)에서부터 하부 측의 노즐구멍들(120d)에 이르기까지 각각의 노즐구멍의 면적은 모두 동일하게 되어 있으나, 퍼들나이프(100)의 단위길이(L)당 상부 측 노즐구멍(120c)들의 개수는 하부 측 노즐구멍들(120d)의 개수에 비하여 더 많게 형성되어 있다.Although the nozzle holes of the present embodiment have the same area of each nozzle hole from the nozzle holes 120c on the upper side to the nozzle holes 120d on the lower side, the unit length of the puddle knife 100 is the same. The number of the upper side nozzle holes 120c per L) is larger than the number of the lower side nozzle holes 120d.

이 경우에도 상부 측의 노즐구멍들(120c)을 통과하는 세정수가 하부 측의 노즐구멍들(120d)을 통과하는 세정수에 비하여 더 많게 된다.Also in this case, the number of washing water passing through the nozzle holes 120c on the upper side is more than that of washing water passing through the nozzle holes 120d on the lower side.

도 5에서는 노즐구멍들의 크기를 일정하게 변화하도록 한 실시예를 보여주고 있고, 도 6에서는 노즐구멍들의 개수를 상부 측과 하부 측을 다르게 한 실시예를 보여주고 있다. FIG. 5 shows an embodiment in which the size of the nozzle holes is constantly changed, and FIG. 6 shows an embodiment in which the number of nozzle holes is different from the upper side and the lower side.

다른 실시예에서는 노즐구멍들의 크기와 노즐구멍들의 개수를 함께 조절하여 (즉, 도 5와 도 6의 노즐구멍 형상을 조합하여) 경사진 기판의 상부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량이 하부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량보다 크게 되도록 상기 노즐구멍들의 개수 및 크기를 결정하는 것으로 구성할 수도 있다.In another embodiment, the washing water sprayed through the nozzle holes located on the upper side of the inclined substrate by adjusting the size of the nozzle holes and the number of nozzle holes together (that is, by combining the nozzle hole shapes of FIGS. 5 and 6). The number and size of the nozzle holes may be determined such that the flow rate of the nozzle holes is larger than the flow rate of the washing water sprayed through the nozzle holes located on the lower side.

이상, 본 고안의 실시 예를 사용하여 설명하였으나 이들 실시예는 예시적인 것에 불과하며 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 지닌 자라면 본 고안의 사상에서 벗어나지 않으면서 다양한 수정과 변경을 가할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the embodiments of the present invention have been described, but these embodiments are merely exemplary, and those skilled in the art to which the present invention belongs may make various modifications and changes without departing from the spirit of the present invention. I can understand that.

도 1은 기판의 상부에 퍼들나이프가 설치된 상태에서 세정수의 도포 상태를 보여주는 평면개략도,1 is a plan view schematically showing the application state of the washing water in a state in which the puddle knife is installed on the upper portion of the substrate,

도 2는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 정면도, Figure 2 is a front view showing the installation state of the puddle knife according to an embodiment of the present invention,

도 3은 도 2에 도시된 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 평면도,3 is a plan view showing an installation state of the puddle knife shown in FIG.

도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 측단면 투시도,Figure 4 is a side cross-sectional perspective view of the puddle knife according to an embodiment of the present invention,

도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면,5 is a view showing a puddle knife nozzle hole according to an embodiment of the present invention,

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면.Figure 6 is a view showing a puddle knife nozzle hole according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]

100 : 퍼들나이프 110 : 가이드판100: puddle knife 110: guide plate

120 : 노즐판 120a,120b,120c,120d : 노즐구멍120: nozzle plate 120a, 120b, 120c, 120d: nozzle hole

Claims (4)

소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서,In the large-area substrate cleaning puddle knife to apply the washing water to the entire upper surface of the large-area substrate inclined at a predetermined angle, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고;A plurality of nozzle holes are formed along the longitudinal direction of the puddle knife to allow the washing water to pass therethrough; 상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 크고,The nozzle holes have a larger sum of holes per unit length of the puddle knife than the upper side of the inclined substrate, 상기 상부 측 노즐구멍들에서부터 하부 측 노즐구멍들에 이르기까지 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성되며,It is formed so that the area of the nozzle hole gradually decreases at a constant ratio from the upper nozzle holes to the lower nozzle holes, 상기 퍼들나이프의 단위길이당 상부 측 노즐구멍들의 개수는 하부 측 노즐구멍들의 개수에 비하여 더 많은 것을 특징으로 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프.A large area substrate cleaning puddle knife, characterized in that the number of the upper nozzle holes per unit length of the puddle knife more than the number of the lower nozzle holes. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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