KR102043848B1 - The apparatus for drying panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로딩된 패널을 이동시키는 패널 이동부; 및 각기 다른 영역에서 상기 패널에 기체를 분사하는 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부와, 원형 노즐을 갖는 제2건조부와, 오리발형 노즐을 갖는 제3건조부를 포함하는 패널 건조부를 포함하되, 상기 제1 내지 제3건조부는 상기 기체를 분사하는 압력과 분사하는 방향이 하나 이상 다른 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치를 제공한다.The present invention provides a panel moving unit for moving a loaded panel; And a panel drying unit including a first drying unit having an air knife-type nozzle for injecting gas into the panel in different regions, a second drying unit having a circular nozzle, and a third drying unit having a flippers nozzle, The first to third drying units provide a panel drying apparatus, wherein the pressure for spraying the gas and the spraying direction are different from each other.

Description

패널 건조 장치{THE APPARATUS FOR DRYING PANEL}Panel Drying Equipment {THE APPARATUS FOR DRYING PANEL}

본 발명은 패널 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a panel drying apparatus.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD) 및 플라즈마액정패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.With the development of information technology, the market for a display device, which is a connection medium between a user and information, is growing. Accordingly, a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED), an electrophoretic display (EPD), and a plasma liquid crystal panel (PDP) The use of display devices such as) is increasing.

앞서 설명된 표시장치의 패널은 기본적으로 유리 등의 기판을 사용하며, 기판에 전극 등의 다양한 박막을 형성하는 박막 형성 과정, 세정공정 내지 건조공정 등의 다양한 공정을 통해 제작된다.The panel of the display device described above basically uses a substrate such as glass, and is manufactured through various processes such as a thin film forming process, a cleaning process, a drying process, and the like that form various thin films such as electrodes on the substrate.

이 과정에서 거치는 건조공정은 기판 및 패널 상의 이물 등을 제거함과 더불어 잔존하는 세정액 등을 건조하는 공정이다. 종래에는 높은 압력으로 공기를 분사하는 에어 나이프 방식이나 뜨거운 열풍을 불어넣는 열풍 챔버 방식이 제안되었다. 그런데, 에어 나이프 방식은 그 구조적 특성상 각도 변경이 어렵기 때문에 틈새가 있는 경우 건조가 불가하다. 그리고 열풍 챔버 방식은 건조시간이 길고 챔버 내에 패널을 넣기 위한 구성이 요구되는 등 장비의 구성이 복잡하다.In this process, the drying process is to remove foreign substances on the substrate and the panel and to dry the remaining cleaning solution. Conventionally, an air knife method for injecting air at high pressure or a hot air chamber method for blowing hot hot air has been proposed. By the way, the air knife method is difficult to change the angle because of its structural characteristics it is impossible to dry when there is a gap. In addition, the hot air chamber method is complicated in the construction of equipment, such as a long drying time and a configuration for putting a panel into the chamber is required.

그러므로, 종래에 제안된 방식은 평평한 기판의 건조시 적용 가능하나 특정 구조물에 의해 틈새가 형성된 경우 불리하고 택트타임(Tact Time)을 단축하기 어려우므로 이를 개선하기 위한 연구가 필요하다.Therefore, the conventionally proposed method is applicable when drying a flat substrate, but it is disadvantageous when a gap is formed by a specific structure, and it is difficult to shorten the tact time.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 특정 구조물에 의해 패널에 틈새가 형성된 경우는 물론 국부적인 영역에도 기체를 분사하여 패널 건조 시 공정 택트타임(Tact Time)을 단축하는 패널 건조 장치를 제공하는 것이다.The present invention for solving the problems of the above-described background art is a panel drying apparatus that shortens the process tact time during panel drying by spraying gas to the local area as well as the case where the gap is formed in the panel by a specific structure To provide.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은 로딩된 패널을 이동시키는 패널 이동부; 및 각기 다른 영역에서 상기 패널에 기체를 분사하는 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부와, 원형 노즐을 갖는 제2건조부와, 오리발형 노즐을 갖는 제3건조부를 포함하는 패널 건조부를 포함하되, 상기 제1 내지 제3건조부는 상기 기체를 분사하는 압력과 분사하는 방향이 하나 이상 다른 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치를 제공한다.The present invention as a means for solving the above problems is a panel moving unit for moving the loaded panel; And a panel drying unit including a first drying unit having an air knife-type nozzle for injecting gas into the panel in different regions, a second drying unit having a circular nozzle, and a third drying unit having a flippers nozzle, The first to third drying units provide a panel drying apparatus, wherein the pressure for spraying the gas and the spraying direction are different from each other.

제3건조부는 패널의 전면에 기체를 분사하고, 제2건조부는 패널의 국부에 기체를 분사할 수 있다.The third drying unit may spray gas onto the front surface of the panel, and the second drying unit may spray gas to the local portion of the panel.

제1 및 제3건조부는 사선 하부 방향으로 기체를 분사하고, 제2건조부는 수직 하부 방향으로 기체를 분사할 수 있다.The first and third drying units may spray gas in a diagonally downward direction, and the second drying unit may spray gas in a vertically downward direction.

제1 내지 제3건조부는 서로 평행하여 이격 배치된 제1측 수평프레임과 제2측 수평프레임을 포함하는 수평프레임에 수직 방향으로 결합된 배관과 각각 연통할 수 있다.The first to third drying units may communicate with pipes coupled in a vertical direction to a horizontal frame including a first side horizontal frame and a second side horizontal frame spaced apart in parallel to each other.

제3건조부의 노즐의 길이는 패널의 가로 또는 세로길이에 대응되며, 노즐의 분사 각도가 조절될 수 있다.The length of the nozzle of the third drying unit corresponds to the horizontal or vertical length of the panel, and the injection angle of the nozzle may be adjusted.

제2건조부는 한 쌍의 원형 노즐로 이루어지며, 노즐 간의 거리가 조절될 수 있다.The second drying unit is composed of a pair of circular nozzles, the distance between the nozzles can be adjusted.

패널 건조부는 제1 내지 제3건조부를 수직 상승 및 수직 하강시키는 실린더를 포함할 수 있다.The panel drying unit may include a cylinder for vertically raising and lowering the first to third drying units.

실린더는 패널의 위치 이동 주기와 동기하여 수직 상승 및 수직 하강하고, 제1 내지 제3건조부는 실린더가 수직 하강한 시점에 상기 기체를 분사할 수 있다.The cylinder is vertically raised and vertically lowered in synchronization with the position movement period of the panel, and the first to third drying units may spray the gas when the cylinder is vertically lowered.

패널 이동부는 패널을 지지하는 반송부와, 패널을 이동시키며 운반하는 셔틀을 포함할 수 있다.The panel moving part may include a conveying part for supporting the panel and a shuttle for moving and carrying the panel.

패널 이동부는 패널을 지지하며 운반하는 벨트와, 패널이 이동되도록 벨트를 회전시키는 로울러를 포함할 수 있다.
The panel moving part may include a belt for supporting and carrying the panel, and a roller for rotating the belt to move the panel.

본 발명은 특정 구조물에 의해 패널에 틈새가 형성된 경우는 물론 국부적인 영역에도 기체를 분사하여 패널 건조 시 공정 택트타임(Tact Time)을 단축하는 패널 건조 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 패널의 구조에 대응하여 다양한 노즐을 사용함과 더불어 노즐의 분사 각도를 조절할 수 있어 다양한 모델의 패널에 적용 가능한 패널 건조 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.The present invention has an effect of providing a panel drying apparatus that shortens the process tact time when the panel is dried by spraying gas into a local region as well as a gap formed in the panel by a specific structure. In addition, the present invention has the effect of providing a panel drying apparatus that can be applied to various models of the panel by adjusting the spray angle of the nozzle while using a variety of nozzles corresponding to the structure of the panel.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치의 단면 예시도.
도 2는 패널 건조부의 사시도.
도 3은 제1공정영역에 위치하는 패널 건조부를 나타낸 도면.
도 4는 제2공정영역에 위치하는 패널 건조부를 나타낸 도면.
도 5 내지 도 7은 제2건조부를 설명하기 위한 도면들.
도 8 내지 도 10은 제3건조부를 설명하기 위한 도면들.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치를 이용한 건조 공정의 흐름 예시도들.
도 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 패널 건조 장치의 단면 예시도.
도 15 및 도 16은 패널 건조부의 배치 예시도들.
1 is a cross-sectional view of a panel drying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the panel drying unit.
3 is a view showing a panel drying unit located in a first process region.
4 is a view showing a panel drying unit located in a second process region.
5 to 7 are views for explaining the second drying unit.
8 to 10 are views for explaining the third drying unit.
11 to 13 are exemplary flow diagrams of a drying process using the panel drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
14 is an exemplary cross-sectional view of a panel drying apparatus according to a second embodiment of the present invention.
15 and 16 are diagrams illustrating arrangement of the panel drying unit.

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the specific content for the practice of the present invention will be described.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD) 및 플라즈마액정패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.With the development of information technology, the market for a display device, which is a connection medium between a user and information, is growing. Accordingly, a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED), an electrophoretic display (EPD), and a plasma liquid crystal panel (PDP) The use of display devices such as) is increasing.

앞서 설명된 표시장치의 패널은 기본적으로 유리 등의 기판을 사용하며, 기판에 전극 등의 다양한 박막을 형성하는 박막 형성 과정, 세정공정 내지 건조공정 등의 다양한 공정을 통해 제작된다. 이 과정에서 거치는 건조공정은 기판 및 패널 상의 이물 등을 제거함과 더불어 잔존하는 세정액 등을 건조하는 공정이다.The panel of the display device described above basically uses a substrate such as glass, and is manufactured through various processes such as a thin film forming process, a cleaning process, a drying process, and the like that form various thin films such as electrodes on the substrate. In this process, the drying process is to remove foreign substances on the substrate and the panel and to dry the remaining cleaning solution.

본 발명은 노즐의 형상이 다른 셋 이상의 건조부를 이용하여 종래 제안된 방식으로 건조가 어려운 틈새까지 효율적으로 건조할 수 있는 패널 건조 장치를 제공하는데, 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The present invention provides a panel drying apparatus capable of efficiently drying up to a gap that is difficult to dry in a conventionally proposed method using three or more drying units having different nozzle shapes, which will be described in detail as follows.

<제1실시예>First Embodiment

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치의 단면 예시도이고, 도 2는 패널 건조부의 사시도이며, 도 3은 제1공정영역에 위치하는 패널 건조부를 나타낸 도면이고, 도 4는 제2공정영역에 위치하는 패널 건조부를 나타낸 도면이다.1 is a cross-sectional view illustrating a panel drying apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a panel drying unit, FIG. 3 is a view showing a panel drying unit located in a first process region, and FIG. 4 is It is a figure which shows the panel drying part located in a 2nd process area.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치(100)는 크게 로딩된 패널을 이동시키는 패널 이동부(TS)와 패널을 건조하는 기체를 분사하며, 노즐의 형상(또는 규격) 및 기체를 분사하는 압력이 다른 셋 이상의 건조부를 갖는 패널 건조부(AB)로 구성된다. 패널 건조부(AB)는 기체로서 저온 공기 또는 고온 공기를 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않고 가스 등을 사용할 수도 있다.1 to 4, the panel drying apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention injects a panel moving unit TS for moving a heavily loaded panel and a gas for drying the panel. The shape (or size) of the nozzle and the pressure for injecting the gas consist of a panel drying unit AB having three or more drying units. The panel drying unit AB may use low temperature air or high temperature air as a gas, but is not limited thereto, and may use a gas.

패널 이동부(TS)는 로딩된 패널을 지지하는 반송부(160)와 로딩된 패널을 이동시키며 운반하는 셔틀(170)을 포함한다. 셔틀(170)은 외부로부터 공급된 전기적인 신호에 의해 특정 주기마다 로딩된 패널의 위치를 차례대로 순차 이동시킨다. 이때, 셔틀(170)은 특정 주기마다 이동과 정지를 반복한다.The panel moving unit TS includes a transfer unit 160 supporting the loaded panel and a shuttle 170 for moving and carrying the loaded panel. The shuttle 170 sequentially moves the positions of the loaded panels at specific cycles by an electric signal supplied from the outside. At this time, the shuttle 170 repeats movement and stop every specific period.

패널 건조부(AB)는 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A), 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A) 및 오리발형 노즐(또는 직사각형 노즐)을 갖는 제3건조부(140B)를 포함한다. 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A), 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A) 및 오리발형 노즐(또는 직사각형 노즐)을 갖는 제3건조부(140B)는 각기 다른 영역(또는 다른 라인)에서 기체를 분사한다.The panel drying unit AB includes a first drying unit 120A having an air knife-type nozzle, a second drying unit 130A having a circular nozzle, and a third drying unit 140B having a flippers nozzle (or rectangular nozzle). It includes. The first drying unit 120A having the air knife-type nozzle, the second drying unit 130A having the circular nozzle, and the third drying unit 140B having the flipper nozzle (or rectangular nozzle) may have different areas (or different areas). Line).

에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A)는 기체를 고압 분사할 수 있도록 노즐의 슬릿 높이가 매우 낮게 형성된다. 그리고 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A)는 기체를 고압 분사할 수 있도록 노즐의 지름이 비교적 좁게 형성된다. 그리고 오리발형 노즐을 갖는 제3건조부(140B)는 제1건조부(120A)보다 낮은 압력으로 기체를 분사할 수 있도록 노즐의 슬릿 높이가 제1건조부(120A)보다 높게 형성된다. 이에 따라, 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A) 및 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A)는 고압으로 기체를 분사하는 반면, 오리발형 노즐을 갖는 제3건조부(140B)는 제1건조부(120A) 및 제2건조부(130A)보다 낮은 압력으로 기체를 분사한다.The first drying unit 120A having the air knife-type nozzle is formed so that the slit height of the nozzle is very low so that the gas can be injected at high pressure. In addition, the second drying unit 130A having the circular nozzle has a relatively narrow diameter of the nozzle so as to spray gas at a high pressure. In addition, the slit height of the nozzle is higher than that of the first drying unit 120A so that the third drying unit 140B having the flipper nozzle may spray gas at a pressure lower than that of the first drying unit 120A. Accordingly, the first drying unit 120A having the air knife-type nozzle and the second drying unit 130A having the circular nozzle inject the gas at a high pressure, while the third drying unit 140B having the flipper nozzle The gas is sprayed at a pressure lower than that of the first drying unit 120A and the second drying unit 130A.

패널 건조부(AB)는 하나의 공정영역을 갖도록 설치되거나 도시된 바와 같이 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)을 포함하는 다수의 공정영역을 갖도록 구분되어 설치된다.The panel drying unit AB is installed to have one process area or is divided and installed to have a plurality of process areas including the first process area PA and the second process area PB, as shown.

제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 하나의 공정영역에 하나 또는 N개(N은 2 이상 정수)씩 배치된다. 제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 로딩된 패널(PNL)의 구조에 배치 순서가 달라질 수 있다. 예컨대, 도 1과 같이 제1공정영역(PA)에는 제3건조부(140B)가 미배치되지만 제2공정영역(PB)에는 제3건조부(140B)가 배치되는 형태를 참조한다.The first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B are disposed one or N pieces (N is an integer of 2 or more) in one process area. The first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B may have a different arrangement order in the structure of the loaded panel PNL. For example, as shown in FIG. 1, the third drying unit 140B is not disposed in the first process area PA, but the third drying unit 140B is disposed in the second process area PB.

제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 서로 평행하여 이격 배치된 제1측 수평프레임(111)과 제2측 수평프레임(113)을 포함하는 수평프레임(110A, 110B)에 수직 방향으로 결합된 배관들(123, 133)과 연통하도록 설치된다.The first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B include a first side horizontal frame 111 and a second side horizontal frame 113 spaced apart in parallel to each other. It is installed to communicate with the pipes 123 and 133 coupled in the vertical direction to the horizontal frame (110A, 110B).

제1건조부(120A) 및 제3건조부(140B)는 일측 사선 하부 방향이나 타측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 설치된다. 반면, 제2건조부(130A)는 수직 하부 방향으로 기체를 분사하도록 설치된다.The first drying unit 120A and the third drying unit 140B are installed to inject gas in one downward diagonal direction or the other diagonal downward direction. On the other hand, the second drying unit 130A is installed to inject gas in the vertical lower direction.

제1건조부(120A)는 제1수평프레임(110A)과 수직하여 결합되는 제1배관(123)과 제1배관(123)과 연통하는 제1노즐(121)을 포함한다. 제1건조부(120A)는 제1배관(123)을 통해 유입된 기체를 제1노즐(121)을 통해 분사한다. 제1노즐(121)은 하나의 제1배관(123)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다. 제1건조부(120A)는 에어 나이프 방식으로 패널에 잔존하는 탈이온수(DeIonized water)를 제거한다. 제1건조부(120A)는 종래에 사용되는 에어 나이프형과 유사/동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The first drying unit 120A includes a first pipe 123 coupled to the first horizontal frame 110A and a first nozzle 121 communicating with the first pipe 123. The first drying unit 120A sprays the gas introduced through the first pipe 123 through the first nozzle 121. The first nozzles 121 are installed in one first pipe 123 by N (N is an integer of 2 or more). The first drying unit 120A removes deionized water remaining in the panel by an air knife method. Since the first drying unit 120A is similar / identical to the conventional air knife type, a detailed description thereof will be omitted.

제2건조부(130A)는 제1수평프레임(110A)과 수직하여 결합되는 제2배관(133)과 제2배관(133)과 연통하는 제2노즐(131)을 포함한다. 제2건조부(130A)는 제2배관(133)을 통해 유입된 기체를 제2노즐(131)을 통해 분사한다. 제2노즐(131)은 하나의 제2배관(133)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다. 제2건조부(130A)는 패널의 국부에 잔존하는 이물이나 세정액 등을 제거한다.The second drying unit 130A includes a second pipe 133 coupled to the first horizontal frame 110A and a second nozzle 131 in communication with the second pipe 133. The second drying unit 130A injects the gas introduced through the second pipe 133 through the second nozzle 131. The second nozzle 131 is installed in one second pipe 133 by N (N is an integer of 2 or more). The second drying unit 130A removes foreign matter, cleaning liquid, and the like remaining in the local portion of the panel.

한편, 도면에서는 제2배관(133)이 제1건조부(120A)의 제1배관(123)과 연통하는 구조를 사용하게 됨에 따라 제1건조부(120A)와 제2건조부(130A)가 일체형으로 구성된 것을 일례로 하였다. 하지만, 제1건조부(120A)와 제2건조부(130A)는 상호 분리된 배관을 사용하도록 구성될 수도 있다.Meanwhile, in the drawing, as the second pipe 133 communicates with the first pipe 123 of the first drying unit 120A, the first drying unit 120A and the second drying unit 130A are disposed. It was taken as an example what was comprised integrally. However, the first drying unit 120A and the second drying unit 130A may be configured to use pipes separated from each other.

제3건조부(140B)는 제2공정영역(PB)에만 배치될 수 있다. 제3건조부(140B)는 제2수평프레임(110B)과 수직하여 결합되는 제3배관(143)과 제3배관(143)과 연통하는 제3노즐(141)을 포함한다. 제3건조부(140B)는 제3배관(143)을 통해 유입된 기체를 제3노즐(141)을 통해 분사한다. 제3노즐(141)은 하나의 제3배관(143)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다. 제3건조부(140B)는 패널의 전면에 잔존하는 이물이나 세정액 등을 제거한다. 제3건조부(140B)는 제1건조부(120A)의 기능을 보조하는 역할을 한다.The third drying unit 140B may be disposed only in the second process region PB. The third drying unit 140B includes a third pipe 143 coupled to the second horizontal frame 110B and a third nozzle 141 communicating with the third pipe 143. The third drying unit 140B injects the gas introduced through the third pipe 143 through the third nozzle 141. The third nozzle 141 is installed in one third pipe 143, N (N is an integer of 2 or more). The third drying unit 140B removes foreign matter, cleaning liquid, and the like remaining on the front surface of the panel. The third drying unit 140B serves to assist the function of the first drying unit 120A.

패널 건조부(AB)는 제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)를 y2 방향으로 수직 상승 또는 y1 방향으로 수직 하강시키는 실린더(150A, 150B)를 포함한다. 실린더(150A, 150B)는 외부로부터 공급된 전기적인 신호에 의해 특정 주기마다 수직 상승과 수직 하강을 반복한다. 실린더(150A, 150B)는 수평프레임(110A, 110B)과 수직하여 설치되는 연결부(115A, 115B)에 설치된다.The panel drying unit AB may include the cylinders 150A and 150B for vertically raising the first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B in the y2 direction or vertically lowering in the y1 direction. Include. The cylinders 150A and 150B repeat vertical rise and vertical fall at specific cycles by an electrical signal supplied from the outside. The cylinders 150A and 150B are installed at the connecting portions 115A and 115B installed perpendicular to the horizontal frames 110A and 110B.

제1실린더(150A)는 제1공정영역(PA)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 일측과 타측에 이격하여 한 쌍으로 배치된다. 제2실린더(150B)는 제2공정영역(PB)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 일측과 타측에 이격하여 한 쌍으로 배치된다. 한편, 도면에서는 실린더(150A, 150B)를 이용하여 패널 건조부(AB)를 수직 상승 또는 수직 하강시키는 것을 일례로 하였지만 이는 패널 이동부(TS)의 구조에 따라 생략되거나 실린더가 아닌 다른 형태로 변경될 수도 있다.The first cylinders 150A are disposed in pairs spaced apart from one side and the other side of the panel drying unit AB located in the first process area PA. The second cylinders 150B are disposed in pairs spaced apart from one side and the other side of the panel drying unit AB located in the second process region PB. On the other hand, in the drawing, the panel drying unit (AB) is vertically raised or vertically lowered using the cylinder (150A, 150B) as an example, which is omitted depending on the structure of the panel moving unit (TS) or changed to other forms than the cylinder May be

도 5 내지 도 7은 제2건조부를 설명하기 위한 도면들이며, 도 8 내지 도 10은 제3건조부를 설명하기 위한 도면들이다.5 to 7 are views for explaining the second drying unit, Figures 8 to 10 are views for explaining the third drying unit.

도 5 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 로딩된 패널(PNL)의 구조를 살펴보면, 이는 표시부(210), 표시부(210)를 수납하는 커버부(200), 커버부(200)의 일측에 형성된 제1구조물(220), 커버부(200)의 타측에 형성된 제2구조물(230)을 갖는다.5 to 10, when looking at the structure of the loaded panel PNL, it is formed on the display unit 210, the cover unit 200 for receiving the display unit 210, and one side of the cover unit 200. The first structure 220 and the second structure 230 formed on the other side of the cover portion 200.

본 발명에 따르면, 로딩된 패널(PNL)은 베어 기판은 물론 베어 기판이 아닌 반조립체의 패널도 포함한다. 반조립체의 패널이란 COG, FOG 및 Frame과 같은 부품이 부착된 것을 의미한다. 반조립체의 패널에는 커버부(200), 제1구조물(220) 및 제2구조물(230)의 형상에 의한 틈새가 존재한다. 이러한 틈새에는 세정공정이 완료된 이후에도 세정액 등이 잔존하게 되고 습식세정 등을 하더라도 균일하게 제거되지 않는다. 그러나, 제2 및 제3건조부(130A, 140B)를 이용하면 틈새 등에 잔존하는 세정액이나 이물을 효율적으로 제거할 수 있는데, 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.According to the invention, the loaded panel PNL comprises not only a bare substrate but also a panel of semi-assembly which is not a bare substrate. Semi-assembly panel means that parts such as COG, FOG and Frame are attached. In the panel of the semi-assembly, a gap due to the shape of the cover part 200, the first structure 220, and the second structure 230 exists. In such a gap, even after the cleaning process is completed, the cleaning liquid and the like remain, and even when wet cleaning is not uniformly removed. However, when the second and third drying units 130A and 140B are used, the cleaning liquid or the foreign matter remaining in the gap and the like can be efficiently removed.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제2건조부(130A)는 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)과 같이 한 쌍으로 구비된 원형 형상을 가지므로, 로딩된 패널(PNL)의 국부를 향해 기체를 분사할 수 있다. 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)은 로딩된 패널(PNL)의 국부를 향해 기체를 분사하므로, 패널(PNL)의 특정 구조물(예, 220, 230)에 잔존하는 세정액이나 이물(215)을 제거하기 위해 사용된다.As shown in FIGS. 5 to 7, the second drying unit 130A has a circular shape provided as a pair such as the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b, and thus, the loaded panel PNL. Gas may be injected into the Since the 2a nozzle 131a and the 2b nozzle 131b inject gas toward a portion of the loaded panel PNL, the cleaning liquid or the foreign matter remaining in the specific structure (eg, 220 and 230) of the panel PNL ( 215) is used to remove.

이를 위해, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)의 이격거리(d3)는 로딩된 패널(PNL)의 제2구조물(230)의 이격거리(d4)에 대응된다. 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b) 간의 이격거리(d3)는 특정 구조물의 위치에 대응하여 가변적으로 이동된다. 예컨대, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b) 간의 이격거리는 d3에서 d3'으로 넓어지거나 d3'에서 d3으로 좁아지도록 조절될 수 있다. 이때, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)은 제1구조물(220)과 같이 로딩된 패널(PNL)의 중앙에 위치하는 부분에도 기체를 분사할 수 있도록 밀착되는 등 다양한 이격 거리를 갖도록 조절될 수 있다.To this end, the separation distance d3 of the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b corresponds to the separation distance d4 of the second structure 230 of the loaded panel PNL. The separation distance d3 between the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b is variably moved corresponding to the position of the specific structure. For example, the separation distance between the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b may be adjusted to be widened from d3 to d3 'or narrowed from d3' to d3. In this case, the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b are in close contact with each other so as to be able to inject gas even at a portion located in the center of the panel PNL loaded with the first structure 220. It can be adjusted to have.

도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 제3건조부(140B)는 제3노즐(141)이 직사각형 형상을 가지므로, 로딩된 패널(PNL)의 전면을 향해 기체를 분사할 수 있다. 제3노즐(141)은 로딩된 패널(PNL)의 전면을 향해 기체를 분사하므로, 패널(PNL)의 전면과 모서리 등의 틈새에 잔존하는 세정액이나 이물(215)을 제거할 수 있다.As shown in FIGS. 8 to 10, since the third nozzle 141 has a rectangular shape, the third drying unit 140B may spray gas toward the front of the loaded panel PNL. Since the third nozzle 141 injects gas toward the front surface of the loaded panel PNL, the cleaning liquid or the foreign matter 215 remaining in the gap between the front surface and the edge of the panel PNL may be removed.

이를 위해, 제3노즐(141)의 길이(d2)는 로딩된 패널(PNL)의 가로(또는 세로) 길이(d1)에 대응된다. 또한, 제3노즐(141)의 길이(d2)는 로딩된 패널(PNL)의 가로(또는 세로) 길이(d1)에 대응되지 아니하고 이보다 더 크거나 작을 수도 있다. 제3노즐(141)은 제1측 사선 하부 방향(a1) 내지 제2측 사선 하부 방향(a2)으로 각도 변경이 가능하다. 즉, 제3노즐(141)의 분사 각은 특정 각도로 설정될 수 있다.To this end, the length d2 of the third nozzle 141 corresponds to the horizontal (or vertical) length d1 of the loaded panel PNL. In addition, the length d2 of the third nozzle 141 does not correspond to the horizontal (or vertical) length d1 of the loaded panel PNL and may be larger or smaller than this. The third nozzle 141 may be changed in an angle in the first side oblique downward direction a1 to the second side oblique downward direction a2. That is, the injection angle of the third nozzle 141 may be set at a specific angle.

이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치를 이용한 건조 공정의 흐름에 대해 설명한다.Hereinafter, the flow of the drying process using the panel drying apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described.

도 11 내지 도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널 건조 장치를 이용한 건조 공정의 흐름 예시도들이다.11 to 13 are exemplary flow charts of a drying process using the panel drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 바와 같이, 로딩된 패널(PNL)이 제1공정영역(PA)에 위치하는 셔틀(170)에 안착되면, 직사각형 노즐을 갖는 제1건조부(120A)는 로딩된 패널(PNL)에 기체를 분사하고 패널(PNL)에 잔존하는 탈이온수(DeIonized water)를 제거한다.As shown in FIG. 11, when the loaded panel PNL is seated on the shuttle 170 positioned in the first process area PA, the first drying unit 120A having the rectangular nozzle is loaded with the loaded panel PNL. Gas is injected into the panel) to remove deionized water remaining in the panel PNL.

제1건조부(120A)의 공정이 완료되면, 셔틀(170)은 로딩된 패널(PNL)을 홀딩한 상태에서 y2 방향으로 수직 상승한다. 이때, 프레임(110A, 110B) 또한 셔틀(170)의 수직 상승 동작과 동기하여 y2 방향으로 수직 상승한다. 프레임(110A, 110B)은 기 설명된 바와 같이 실린더에 의해 수직 상승하므로 실질적으로는 실린더와 셔틀(170)의 수직 상승 동작이 동기된 것이다.When the process of the first drying unit 120A is completed, the shuttle 170 ascends in the y2 direction while holding the loaded panel PNL. At this time, the frames 110A and 110B also rise vertically in the y2 direction in synchronization with the vertical lift operation of the shuttle 170. Since the frames 110A and 110B are vertically raised by the cylinder as described above, the vertical lifting operation of the cylinder and the shuttle 170 is substantially synchronized.

도 12에 도시된 바와 같이, 프레임(110A, 110B)은 이전의 수직 상승한 상태를 유지한다. 반면, 셔틀(170)은 로딩된 패널(PNL)을 홀딩한 상태 및 수직 상승한 상태에서 x2 방향으로 수평 이동한다. 이때, 패널 건조부(AB)에 포함된 모든 건조부는 기체를 분사하지 않고 정지된 상태를 유지한다.As shown in FIG. 12, the frames 110A and 110B maintain the previous vertically raised state. On the other hand, the shuttle 170 moves horizontally in the x2 direction in the state in which the loaded panel PNL is held and vertically raised. At this time, all the drying units included in the panel drying unit AB maintain the stopped state without spraying gas.

도 13에 도시된 바와 같이, 셔틀(170)은 로딩된 패널(PNL)을 홀딩한 상태에서 y1 방향으로 수직 하강하고 로딩된 패널(PNL)을 반송부(160)에 안착시킨다. 이때, 프레임(110A, 110B) 또한 셔틀(170)의 수직 하강동작과 동기하여 y1 방향으로 수직 하강한다. 프레임(110A, 110B)은 기 설명된 바와 같이 실린더에 의해 수직 하강하므로 실질적으로는 실린더와 셔틀(170)의 수직 하강 동작이 동기된 것이다.As shown in FIG. 13, the shuttle 170 descends vertically in the y1 direction while holding the loaded panel PNL, and seats the loaded panel PNL on the transport unit 160. At this time, the frames 110A and 110B are also vertically lowered in the y1 direction in synchronization with the vertical lowering operation of the shuttle 170. Since the frames 110A and 110B are vertically lowered by the cylinder as described above, the vertical lowering operation of the cylinder and the shuttle 170 is substantially synchronized.

로딩된 패널(PNL)이 반송부(160)에 안착되면, 제1건조부(120A) 및 제2건조부(130A)는 로딩된 패널(PNL)을 향해 기체를 분사한다. 이때, 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A)는 로딩된 패널(PNL)에 기체를 분사하여 패널(PNL)에 잔존하는 탈이온수를 제거한다. 그리고 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A)는 로딩된 패널(PNL)의 국부 영역에 기체를 분사하고 패널(PNL)의 특정 구조물에 잔존하는 세정액이나 이물을 제거한다.When the loaded panel PNL is seated on the carrying unit 160, the first drying unit 120A and the second drying unit 130A inject gas into the loaded panel PNL. At this time, the first drying unit 120A having the air knife-type nozzle sprays gas onto the loaded panel PNL to remove deionized water remaining in the panel PNL. In addition, the second drying unit 130A having the circular nozzle injects gas into the local region of the loaded panel PNL and removes the cleaning liquid or foreign matter remaining in the specific structure of the panel PNL.

제1공정영역(PA)에서의 공정이 완료되면 셔틀(170)은 로딩된 패널(PNL)을 제2공정영역(PB)으로 이동시킨다. 로딩된 패널(PNL)이 제2공정영역(PB)에 들어오면, 제3건조부(140B)는 패널(PNL)의 전면에 기체를 분사하여 패널(PNL)의 전면과 모서리 등의 틈새에 잔존하는 세정액이나 이물을 제거한다. 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)에 패널(PNL)이 로딩되면 이와 같은 순서로 로딩된 패널(PNL)에 대한 건조 공정이 진행된다.When the process in the first process area PA is completed, the shuttle 170 moves the loaded panel PNL to the second process area PB. When the loaded panel PNL enters the second process area PB, the third drying unit 140B sprays gas onto the front surface of the panel PNL to remain in the gap between the front surface and the edge of the panel PNL. Remove the cleaning liquid or foreign matter. When the panel PNL is loaded in the first process area PA and the second process area PB, the drying process of the loaded panel PNL is performed in this order.

위와 같은 일련의 과정 속에서, 셔틀(170)은 로딩된 패널(PNL)을 반송부(160)에 안착시킨 이후 이전의 위치로 되돌아 간다. 그리고 기 설명한 바와 같이 수직 상승 -> 수평 이동 -> 수직 하강의 동작을 반복하며, 로딩된 패널(PNL)의 위치를 P1 -> P2 -> P3 -> P4 -> P5 -> P6 -> P7 -> P8의 순으로 순차적으로 이동시키게 된다.In the above process, the shuttle 170 returns to the previous position after seating the loaded panel PNL on the conveying unit 160. Then, as described above, the operation of vertical rising-> horizontal moving-> vertical falling is repeated, and the position of the loaded panel PNL is changed from P1-> P2-> P3-> P4-> P5-> P6-> P7- > P8 will be moved sequentially.

P1 내지 P3에 위치하는 패널(PNL)은 제1건조부(120A)에 의한 공정을 받게 되고, P4에 위치하는 패널(PNL)은 제1건조부(120A) 및 제2건조부(130A)에 의한 공정을 받게 되고, P5 내지 P8에 위치하는 패널(PNL)은 제3건조부(140B)에 의한 공정을 받게 된다.Panels PNL located at P1 to P3 are subjected to a process by the first drying unit 120A, and panels PNL located at P4 are placed on the first drying unit 120A and the second drying unit 130A. The panel PNL located at P5 to P8 is subjected to the process by the third drying unit 140B.

한편 반송부(160)가 일 방향으로 회전하는 로울러와 벨트로 구성된 경우, 셔틀(170)은 제1공정영역(PA)에 위치하는 패널(PNL)을 제2공정영역(PB)으로 이동시킬 때에만 사용되도록 설치될 수도 있다. 이때, 로울러와 벨트로 구성된 반송부(160)는 패널(PNL)이 P1에 도착하면 건조 공정이 진행되도록 일시 정지한 이후 패널(PNL)이 P2로 이동하도록 동작할 수 있다.On the other hand, when the conveyer 160 is composed of a roller and a belt rotating in one direction, the shuttle 170 moves the panel PNL located in the first process area PA to the second process area PB. It may be installed to be used only. In this case, when the panel PNL arrives at P1 and the panel PNL arrives at P1, the transport unit 160 may pause the drying process so that the panel PNL moves to P2.

<제2실시예>Second Embodiment

도 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 패널 건조 장치의 단면 예시도이고, 도 15 및 도 16은 패널 건조부의 배치 예시도들이다. 이하, 패널 건조부(AB)의 구성은 제1실시예예와 유사하므로 도 2 내지 도 10을 함께 참조한다.14 is an exemplary cross-sectional view of a panel drying apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 15 and 16 are exemplary views showing arrangements of panel drying units. Hereinafter, since the configuration of the panel drying unit AB is similar to that of the first embodiment, the panel drying unit AB is referred to together with FIGS.

도 2 내지 도 10 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 패널 건조 장치는 크게 로딩된 패널을 이동시키는 패널 이동부(TS)와 패널을 건조하는 기체를 분사하며, 노즐의 형상이 다른 셋 이상의 건조부를 갖는 패널 건조부(AB)로 구성된다.As shown in FIGS. 2 to 10 and 14, the panel drying apparatus according to the second embodiment of the present invention injects a panel moving unit TS for moving a large loaded panel and a gas for drying the panel, The shape of the nozzle consists of a panel drying unit AB having three or more drying units.

패널 이동부(TS)는 로딩된 패널(PNL)을 지지하며 운반하는 벨트(193)와 로딩된 패널(PNL)이 이동되도록 벨트(193)를 회전시키는 로울러(191)를 갖는 컨베이어 벨트(190)로 구성된다. 컨베이어 벨트(190)는 외부로부터 공급된 전기적인 신호에 의해 특정 주기마다 로딩된 패널(PNL)의 위치를 차례대로 순차 이동시킨다. 이때, 컨베이어 벨트(190)는 특정 주기마다 이동과 정지를 반복한다.The panel moving part TS supports the loaded panel PNL and has a conveyor belt 190 having a belt 193 for carrying and carrying a roller 191 for rotating the belt 193 to move the loaded panel PNL. It consists of. The conveyor belt 190 sequentially moves the positions of the loaded panel PNL in sequence according to an electric signal supplied from the outside. At this time, the conveyor belt 190 repeats movement and stop every specific period.

패널 건조부(AB)는 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A), 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A) 및 오리발형 노즐(또는 직사각형 노즐)을 갖는 제3건조부(140B)를 포함한다. 패널 건조부(AB)는 하나의 공정영역을 갖도록 설치되거나 도시된 바와 같이 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)을 포함하는 다수의 공정영역을 갖도록 구분되어 설치된다.The panel drying unit AB includes a first drying unit 120A having an air knife-type nozzle, a second drying unit 130A having a circular nozzle, and a third drying unit 140B having a flippers nozzle (or rectangular nozzle). It includes. The panel drying unit AB is installed to have one process area or is divided and installed to have a plurality of process areas including the first process area PA and the second process area PB, as shown.

제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 하나의 공정영역에 하나 또는 N개(N은 2 이상 정수)씩 배치된다. 그러나, 제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 로딩된 패널(PNL)의 구조에 따라 이들 중 하나의 건조부가 미배치되기도 한다. 예컨대, 도 1과 같이 제1공정영역(PA)에는 제3건조부(140B)가 미배치되지만 제2공정영역(PB)에는 제3건조부(140B)가 배치되는 형태를 참조한다.The first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B are disposed one or N pieces (N is an integer of 2 or more) in one process area. However, the first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B may not be disposed in one of these drying units depending on the structure of the loaded panel PNL. For example, as shown in FIG. 1, the third drying unit 140B is not disposed in the first process area PA, but the third drying unit 140B is disposed in the second process area PB.

제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)는 서로 평행하여 이격 배치된 제1측 수평프레임(111)과 제2측 수평프레임(113)을 포함하는 수평프레임(110A, 110B)에 수직 방향으로 결합된 배관들(123, 133)과 연통하도록 설치된다.The first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B include a first side horizontal frame 111 and a second side horizontal frame 113 spaced apart in parallel to each other. It is installed to communicate with the pipes 123 and 133 coupled in the vertical direction to the horizontal frame (110A, 110B).

제1건조부(120A) 및 제3건조부(140B)는 일측 사선 하부 방향이나 타측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 설치된다. 반면, 제2건조부(130A)는 수직 하부 방향으로 기체를 분사하도록 설치된다.The first drying unit 120A and the third drying unit 140B are installed to inject gas in one downward diagonal direction or the other diagonal downward direction. On the other hand, the second drying unit 130A is installed to inject gas in the vertical lower direction.

제1건조부(120A)는 제1수평프레임(110A)과 수직하여 결합되는 제1배관(123)과 제1배관(123)과 연통하는 제1노즐(121)을 포함한다. 제1건조부(120A)는 제1배관(123)을 통해 유입된 기체를 제1노즐(121)을 통해 분사한다. 제1노즐(121)은 하나의 제1배관(123)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다. 제1건조부(120A)는 에어 나이프 방식으로 탈이온수(DeIonized water)를 제거한다. 제1건조부(120A)는 종래에 사용되는 에어 나이프형과 유사/동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The first drying unit 120A includes a first pipe 123 coupled to the first horizontal frame 110A and a first nozzle 121 communicating with the first pipe 123. The first drying unit 120A sprays the gas introduced through the first pipe 123 through the first nozzle 121. The first nozzles 121 are installed in one first pipe 123 by N (N is an integer of 2 or more). The first drying unit 120A removes deionized water by an air knife method. Since the first drying unit 120A is similar / identical to the conventional air knife type, a detailed description thereof will be omitted.

제2건조부(130A)는 제1수평프레임(110A)과 수직하여 결합되는 제2배관(133)과 제2배관(133)과 연통하는 제2노즐(131)을 포함한다. 제2건조부(130A)는 제2배관(133)을 통해 유입된 기체를 제2노즐(131)을 통해 분사한다. 제2노즐(131)은 하나의 제2배관(133)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다.The second drying unit 130A includes a second pipe 133 coupled to the first horizontal frame 110A and a second nozzle 131 in communication with the second pipe 133. The second drying unit 130A injects the gas introduced through the second pipe 133 through the second nozzle 131. The second nozzle 131 is installed in one second pipe 133 by N (N is an integer of 2 or more).

한편, 도면에서는 제2배관(133)이 제1건조부(120A)의 제1배관(123)과 연통하는 구조를 사용하게 됨에 따라 제1건조부(120A)와 제2건조부(130A)가 일체형으로 구성된 것을 일례로 하였다. 하지만, 제1건조부(120A)와 제2건조부(130A)는 상호 분리된 배관을 사용하도록 구성될 수도 있다.Meanwhile, in the drawing, as the second pipe 133 communicates with the first pipe 123 of the first drying unit 120A, the first drying unit 120A and the second drying unit 130A are disposed. It was taken as an example what was comprised integrally. However, the first drying unit 120A and the second drying unit 130A may be configured to use pipes separated from each other.

제3건조부(140B)는 제2공정영역(PB)에만 배치될 수 있다. 제3건조부(140B)는 제2수평프레임(110B)과 수직하여 결합되는 제3배관(143)과 제3배관(143)과 연통하는 제3노즐(141)을 포함한다. 제3건조부(140B)는 제3배관(143)을 통해 유입된 기체를 제3노즐(141)을 통해 분사한다. 제3노즐(141)은 하나의 제3배관(143)에 N(N은 2 이상 정수)개로 설치된다.The third drying unit 140B may be disposed only in the second process region PB. The third drying unit 140B includes a third pipe 143 coupled to the second horizontal frame 110B and a third nozzle 141 communicating with the third pipe 143. The third drying unit 140B injects the gas introduced through the third pipe 143 through the third nozzle 141. The third nozzle 141 is installed in one third pipe 143, N (N is an integer of 2 or more).

한편, 제2실시예에 따르면 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)이 분단되지 않고 컨베이어 벨트(190)에 의해 연속적인 공정이 가능하도록 구성된다. 그러므로, 패널 건조부(AB)는 제1건조부(120A), 제2건조부(130A) 및 제3건조부(140B)를 수직 상승 또는 수직 하강시키는 실린더(150A, 150B)를 삭제할 수 있다.Meanwhile, according to the second exemplary embodiment, the first process area PA and the second process area PB are not divided, and thus the continuous process can be performed by the conveyor belt 190. Therefore, the panel drying unit AB may delete the cylinders 150A and 150B for vertically raising or lowering the first drying unit 120A, the second drying unit 130A, and the third drying unit 140B.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 제2건조부(130A) 또한 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)과 같이 한 쌍으로 구비된 원형 형상을 가지므로, 로딩된 패널(PNL)의 국부를 향해 기체를 분사할 수 있다. 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)은 로딩된 패널(PNL)의 국부를 향해 기체를 분사하므로, 패널(PNL)의 특정 구조물(예, 220, 230)에 잔존하는 세정액이나 이물(215)을 제거하기 위해 사용된다.5 to 7, since the second drying unit 130A according to the second embodiment also has a circular shape provided in pairs like the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b. The gas may be injected toward the local portion of the loaded panel PNL. Since the 2a nozzle 131a and the 2b nozzle 131b inject gas toward a portion of the loaded panel PNL, the cleaning liquid or the foreign matter remaining in the specific structure (eg, 220 and 230) of the panel PNL ( 215) is used to remove.

이를 위해, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)의 이격거리(d3)는 로딩된 패널(PNL)의 제2구조물(230)의 이격거리(d4)에 대응된다. 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b) 간의 이격거리(d3)는 특정 구조물의 위치에 대응하여 가변적으로 이동된다. 예컨대, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b) 간의 이격거리는 d3에서 d3'으로 넓어지거나 d3'에서 d3으로 좁아지도록 조절될 수 있다. 이때, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)은 제1구조물(220)과 같이 로딩된 패널(PNL)의 중앙에 위치하는 부분에도 기체를 분사할 수 있도록 밀착되는 등 다양한 이격 거리를 갖도록 조절될 수 있다. 즉, 제2a노즐(131a)과 제2b노즐(131b)은 구조물의 다양한 형태와 위치에 대응하여 기체를 분사하도록 분사 위치가 조절된다.To this end, the separation distance d3 of the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b corresponds to the separation distance d4 of the second structure 230 of the loaded panel PNL. The separation distance d3 between the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b is variably moved corresponding to the position of the specific structure. For example, the separation distance between the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b may be adjusted to be widened from d3 to d3 'or narrowed from d3' to d3. In this case, the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b are in close contact with each other so as to be able to inject gas even at a portion located in the center of the panel PNL loaded with the first structure 220. It can be adjusted to have. That is, the injection position of the second a nozzle 131a and the second b nozzle 131b is adjusted to inject a gas corresponding to various shapes and positions of the structure.

도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 제3건조부(140B) 또한 제3노즐(141)이 오리발형(또는 직사각형 형상)을 가지므로, 로딩된 패널(PNL)의 전면을 향해 기체를 분사할 수 있다. 제3노즐(141)은 로딩된 패널(PNL)의 전면을 향해 기체를 분사하므로, 패널(PNL)의 전면과 모서리 등의 틈새에 잔존하는 세정액이나 이물(215)을 제거할 수 있다.As shown in FIGS. 8 to 10, the third drying unit 140B according to the second embodiment also has a flippers (or a rectangular shape) of the third nozzle 141. Gas can be injected towards the front. Since the third nozzle 141 injects gas toward the front surface of the loaded panel PNL, the cleaning liquid or the foreign matter 215 remaining in the gap between the front surface and the edge of the panel PNL may be removed.

이를 위해, 제3노즐(141)의 길이(d2)는 로딩된 패널(PNL)의 가로(또는 세로) 길이(d1)에 대응된다. 또한, 제3노즐(141)의 길이(d2)는 로딩된 패널(PNL)의 가로(또는 세로) 길이(d1)에 대응되지 아니하고 이보다 더 크거나 작을 수도 있다. 제3노즐(141)은 제1측 사선 하부 방향(a1) 내지 제2측 사선 하부 방향(a2)으로 각도 변경이 가능하다. 즉, 제3노즐(141)의 분사 각은 특정 각도로 설정될 수 있다.To this end, the length d2 of the third nozzle 141 corresponds to the horizontal (or vertical) length d1 of the loaded panel PNL. In addition, the length d2 of the third nozzle 141 does not correspond to the horizontal (or vertical) length d1 of the loaded panel PNL and may be larger or smaller than this. The third nozzle 141 may be changed in an angle in the first side oblique downward direction a1 to the second side oblique downward direction a2. That is, the injection angle of the third nozzle 141 may be set at a specific angle.

이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 패널 건조 장치를 이용한 건조 공정의 흐름에 대해 설명한다.Hereinafter, the flow of the drying process using the panel drying apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described.

패널(PNL)이 로딩되면 컨베이어 벨트(190)는 벨트(163) 상에 안착된 패널(PNL)이 x1 방향으로 이동하도록 로울러(191)를 r1 방향으로 회전시킨다. 이에 따라, 로딩된 패널(PNL)은 P1으로 이동된다. 로딩된 패널(PNL)이 제1공정영역(PA)에 위치하는 P1에 위치하면, 컨베이어 벨트(190)는 일시 정지하거나 이동 속도를 늦출 수 있다.When the panel PNL is loaded, the conveyor belt 190 rotates the roller 191 in the r1 direction so that the panel PNL seated on the belt 163 moves in the x1 direction. Accordingly, the loaded panel PNL is moved to P1. When the loaded panel PNL is positioned at P1 located in the first process area PA, the conveyor belt 190 may pause or slow down the moving speed.

로딩된 패널(PNL)이 제1공정영역(PA)에 위치하는 P1에 위치하면, 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부(120A)는 로딩된 패널(PNL)에 기체를 분사하고 패널(PNL)에 잔존하는 탈이온수를 제거한다.When the loaded panel PNL is positioned at P1 located in the first process area PA, the first drying unit 120A having the air knife-type nozzle injects gas into the loaded panel PNL and the panel PNL. Remove deionized water remaining in).

제1건조부(120A)의 공정이 완료되면, 컨베이어 벨트(190)는 벨트(163) 상에 안착된 패널(PNL)이 x1 방향으로 이동하도록 로울러(191)를 r1 방향으로 회전시킨다. 이후, 패널(PNL)은 컨베이어 벨트(190)의 동작에 의해 제1공정영역(PA)의 P2, P3 및 P4를 거쳐 제2공정영역(PB)의 P5, P6, P7 및 P8로 이동된다.When the process of the first drying unit 120A is completed, the conveyor belt 190 rotates the roller 191 in the r1 direction so that the panel PNL seated on the belt 163 moves in the x1 direction. Subsequently, the panel PNL is moved to P5, P6, P7 and P8 of the second process region PB via P2, P3 and P4 of the first process region PA by the operation of the conveyor belt 190.

로딩된 패널(PNL)이 제1공정영역(PA)에 위치하는 P4에 위치하면, 원형 노즐을 갖는 제2건조부(130A)는 로딩된 패널(PNL)의 국부 영역에 기체를 분사하고 패널(PNL)의 특정 구조물에 잔존하는 세정액이나 이물을 제거한다.When the loaded panel PNL is positioned at P4 located in the first process area PA, the second drying unit 130A having a circular nozzle injects gas into a local area of the loaded panel PNL and displays the panel ( Remove any cleaning liquid or foreign material remaining on the specific structure of PNL).

제1공정영역(PA)에서의 공정이 완료되면 컨베이어 벨트(190)는 벨트(163) 상에 안착된 패널(PNL)을 제2공정영역(PB)으로 이동시킨다. 그리고 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)에 패널(PNL)이 로딩되면 로딩된 패널(PNL)에 대한 건조 공정이 진행된다.When the process in the first process area PA is completed, the conveyor belt 190 moves the panel PNL seated on the belt 163 to the second process area PB. When the panel PNL is loaded in the first process area PA and the second process area PB, the drying process of the loaded panel PNL is performed.

위와 같은 일련의 과정 속에서, 컨베이어 벨트(190)의 이동과 정지(또는 감속 운행)의 주기는 패널 건조부(AB)의 기체 분사 주기와 동기하여 설정될 수 있다. 즉, 패널 건조부(AB)로부터 기체가 분사되면 컨베이어 벨트(190)는 정지 또는 감속 운행을 할 수 있다. 하지만, 컨베이어 벨트(190)는 패널(PNL)을 P1 -> P2 -> P3 -> P4 -> P5 -> P6 -> P7 -> P8의 순으로 저속 이동시킬 수도 있다.In the above series of processes, the period of movement and stop (or deceleration operation) of the conveyor belt 190 may be set in synchronization with the gas injection period of the panel drying unit AB. That is, when gas is injected from the panel drying unit AB, the conveyor belt 190 may stop or decelerate. However, the conveyor belt 190 may move the panel PNL at a low speed in the order of P1-> P2-> P3-> P4-> P5-> P6-> P7-> P8.

P1 내지 P3에 위치하는 패널(PNL)은 제1건조부(120A)에 의한 공정을 받게 되고, P4에 위치하는 패널(PNL)은 제1건조부(120A) 및 제2건조부(130A)에 의한 공정을 받게 되고, P5 내지 P8에 위치하는 패널(PNL)은 제3건조부(140B)에 의한 공정을 받게 된다.Panels PNL located at P1 to P3 are subjected to a process by the first drying unit 120A, and panels PNL located at P4 are placed on the first drying unit 120A and the second drying unit 130A. The panel PNL located at P5 to P8 is subjected to the process by the third drying unit 140B.

한편, 위의 설명에서는 제1공정영역(PA)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 제1건조부(120A)가 제1측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치되고, 제2공정영역(PB)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 제3건조부(140B)가 제2측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치된 것을 일례로 하였다.Meanwhile, in the above description, the first drying unit 120A of the panel drying unit AB located in the first process region PA is disposed to inject gas in a downward direction to the first side diagonal line, and the second process region ( As an example, the third drying unit 140B of the panel drying unit AB located in PB) is arranged to inject gas in a direction downward to the second side oblique line.

그러나, 제1공정영역(PA)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 제1건조부(120B)와 제2공정영역(PB)에 위치하는 패널 건조부(AB)의 제3건조부(140B)가 기체를 분사 방향은 도 15와 같이 변경될 수 있다.However, the first drying unit 120B of the panel drying unit AB located in the first process region PA and the third drying unit 140B of the panel drying unit AB located in the second process region PB. The spray direction of the gas may be changed as shown in FIG. 15.

도 15를 참조하면, 제1공정영역(PA)의 첫 번째와 세 번째 제1건조부(120A)는 제1측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치되고, 두 번째와 네 번째 제1건조부(120A)는 제2측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치된다. 그리고 제2공정영역(PB)의 첫 번째와 세 번째 제3건조부(140B)는 제1측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치되고, 두 번째와 네 번째 제3건조부(140B)는 제2측 사선 하부 방향으로 기체를 분사하도록 배치된다.Referring to FIG. 15, the first and third first drying units 120A of the first process area PA are disposed to inject gas in a downward direction of the first side oblique line, and the second and fourth first drying units. 120A is arrange | positioned so that a gas may be injected in a direction below a 2nd side diagonal line. The first and third third drying units 140B of the second process region PB are disposed to inject gas in a downward direction of the first side oblique line, and the second and fourth third drying units 140B are formed of the first and third third drying units 140B. It is arranged to inject the gas in the direction of the lower diagonal side.

아울러, 도 14에서는 제1공정영역(PA)의 네 번째 위치에 제2건조부(130A)가 위치하는 반면, 도 15에서는 제1공정영역(PA)의 네 번째 위치에 제1건조부(120A)가 위치하고 다섯 번째 위치에 제2건조부(130A)가 위치하도록 배치가 변경된 것을 볼 수 있다. 그리고, 도 16을 참조하면 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)에 배치된 건조부의 위치가 변경된 것을 볼 수 있다.In addition, in FIG. 14, the second drying unit 130A is positioned at the fourth position of the first process area PA, while in FIG. 15, the first drying unit 120A is positioned at the fourth position of the first process area PA. ) And the arrangement is changed so that the second drying unit 130A is positioned at the fifth position. 16, it can be seen that the positions of the drying units disposed in the first process area PA and the second process area PB are changed.

이와 같이, 제1공정영역(PA)과 제2공정영역(PB)에 배치된 패널 건조부는 기체를 분사하는 건조부의 방향은 물론 위치가 도시된 도면에 한정되지 않고 목적 및 효과에 따라 최적의 상태를 갖도록 다양한 형태로 변경될 수 있다. 이는 비단 제2실시예뿐만 아니라 제1실시예에도 적용된다.As described above, the panel drying unit disposed in the first process area PA and the second process area PB is not limited to the drawing in which the position, as well as the direction of the drying part for injecting gas, is optimal according to the purpose and effect. It can be changed in various forms to have. This applies not only to the second embodiment but also to the first embodiment.

이상 본 발명은 특정 구조물에 의해 패널에 틈새가 형성된 경우는 물론 국부적인 영역에도 기체를 분사하여 패널 건조 시 공정 택트타임(Tact Time)을 단축하는 패널 건조 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 패널의 구조에 대응하여 다양한 노즐을 사용함과 더불어 노즐의 분사 각도를 조절할 수 있어 다양한 모델의 패널에 적용 가능한 패널 건조 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has an effect of providing a panel drying apparatus that shortens the process tact time when the panel is dried by spraying gas into a local region as well as a gap formed in the panel by a specific structure. In addition, the present invention has the effect of providing a panel drying apparatus that can be applied to various models of the panel by adjusting the spray angle of the nozzle while using a variety of nozzles corresponding to the structure of the panel.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

TS: 패널 이동부 AB: 패널 건조부
120A, 120B: 제1건조부 130A: 제2건조부
140B: 제3건조부 PA: 제1공정영역
PB: 제2공정영역 150A, 150B: 실린더
PNL: 패널 160: 반송부
170: 셔틀 163: 벨트
191: 로울러
TS: panel moving part AB: panel drying part
120A, 120B: first drying unit 130A: second drying unit
140B: third drying unit PA: first process area
PB: second process area 150A, 150B: cylinder
PNL: Panel 160: Carrier
170: shuttle 163: belt
191: Roller

Claims (12)

로딩된 패널을 이동시키는 패널 이동부; 및
각기 다른 영역에서 상기 패널에 기체를 분사하는 에어 나이프형 노즐을 갖는 제1건조부와, 원형 노즐을 갖는 제2건조부와, 오리발형 노즐을 갖는 제3건조부를 포함하는 패널 건조부를 포함하되,
상기 제1 내지 제3건조부는 상기 기체를 분사하는 압력과 분사하는 방향이 하나 이상 다르고,
상기 제3건조부는 상기 패널의 전면에 상기 기체를 분사하고,
상기 제2건조부는 상기 패널의 국부에 상기 기체를 분사하고,
상기 제2건조부는 한 쌍의 원형 노즐로 이루어지며, 노즐 간의 거리가 조절되는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
A panel moving unit for moving the loaded panel; And
A panel drying unit including a first drying unit having an air knife-type nozzle for injecting gas into the panel in different regions, a second drying unit having a circular nozzle, and a third drying unit having a flip-foot nozzle,
The first to the third drying unit is different from the pressure for spraying the gas and one or more spraying directions,
The third drying unit injects the gas to the front of the panel,
The second drying unit injects the gas to the local portion of the panel,
The second drying unit comprises a pair of circular nozzles, the panel drying apparatus, characterized in that the distance between the nozzles is adjusted.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제3건조부는 사선 하부 방향으로 상기 기체를 분사하고, 상기 제2건조부는 수직 하부 방향으로 상기 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
And the first and third drying units spray the gas in an obliquely downward direction, and the second drying unit sprays the gas in a vertical downward direction.
제1항에 있어서,
상기 제1 내지 제3건조부는
서로 평행하여 이격 배치된 제1측 수평프레임과 제2측 수평프레임을 포함하는 수평프레임에 수직 방향으로 결합된 배관과 각각 연통하는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The first to the third drying unit
The panel drying apparatus, characterized in that in communication with the pipe coupled in the vertical direction to the horizontal frame including a first side horizontal frame and a second side horizontal frame spaced apart in parallel to each other.
제1항에 있어서,
상기 제3건조부의 노즐의 길이는 상기 패널의 가로 또는 세로길이에 대응되며, 노즐의 분사 각도가 조절되는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The length of the nozzle of the third drying unit corresponds to the horizontal or vertical length of the panel, the panel drying apparatus, characterized in that the injection angle of the nozzle is adjusted.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 패널 건조부는
상기 제1 내지 제3건조부를 수직 상승 및 수직 하강시키는 실린더를 포함하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The panel drying unit
Panel drying apparatus comprising a cylinder for vertically raising and lowering the first to third drying unit.
제7항에 있어서,
상기 실린더는 상기 패널의 위치 이동 주기와 동기하여 수직 상승 및 수직 하강하고,
상기 제1 내지 제3건조부는 상기 실린더가 수직 하강한 시점에 상기 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
The method of claim 7, wherein
The cylinder rises and falls vertically in synchronization with the position movement period of the panel;
And the first to third drying units spray the gas at a time when the cylinder is vertically lowered.
제1항에 있어서,
상기 패널 이동부는
상기 패널을 지지하는 반송부와,
상기 패널을 이동시키며 운반하는 셔틀을 포함하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The panel moving part
A conveying unit for supporting the panel;
And a shuttle for moving and transporting the panel.
제1항에 있어서,
상기 패널 이동부는
상기 패널을 지지하며 운반하는 벨트와,
상기 패널이 이동되도록 벨트를 회전시키는 로울러를 포함하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The panel moving part
A belt supporting and carrying the panel;
And a roller for rotating the belt to move the panel.
제1항에 있어서,
상기 제3건조부의 상기 오리발형 노즐이 배치된 높이는
상기 제1건조부의 상기 에어 나이프형 노즐이 배치된 높이보다 높은 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The height in which the flippers nozzle of the third drying unit is disposed
The panel drying apparatus higher than the height in which the said air knife type nozzle of the said 1st drying part is arrange | positioned.
제1항에 있어서,
상기 제3건조부의 상기 오리발형 노즐은
상기 제1건조부의 상기 에어 나이프형 노즐 및 상기 제2건조부의 상기 원형 노즐보다 낮은 압력으로 상기 기체를 분사하는 패널 건조 장치.
The method of claim 1,
The flippers nozzle of the third drying unit
Panel drying apparatus for injecting the gas at a pressure lower than the air knife-type nozzle of the first drying portion and the circular nozzle of the second drying portion.
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