KR101164063B1 - Laser cleaner - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 세정장치에 관한 것으로, 세정대상물을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 상부측과 하부측에 각각 마련되되 반사면이 상기 이송부측을 향하는 상부반사판 및 하부반사판과, 상기 상부반사판 또는 하부반사판에 레이저를 조사하여, 상기 상부반사판과 하부반사판에서 레이저의 반사가 반복적으로 일어날 수 있도록 하는 단일 레이저 모듈을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 컨베이어 등을 통해 이송되는 세정대상물의 상면과 하면에 각각 반사판을 위치시키고, 하나의 레이저 모듈을 사용하여 소정의 입사각으로 레이저를 입사시켜, 그 반사판에서 레이저가 반사되어 세정대상물의 전체를 세정처리할 수 있어, 설비비용을 절감하고 유지 보수를 보다 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a laser cleaning apparatus, comprising: a conveying unit for conveying a cleaning object, an upper reflecting plate and a lower reflecting plate provided at upper and lower sides of the conveying unit, respectively, the reflecting surface of which is directed to the conveying unit side, and the upper reflecting plate or lower portion And a single laser module for irradiating a laser onto the reflecting plate so that the reflection of the laser may occur repeatedly on the upper and lower reflecting plates. According to the present invention, the reflector is positioned on the upper and lower surfaces of the object to be transported through the conveyor, etc., and the laser is incident at a predetermined incident angle by using one laser module, and the laser is reflected from the reflector to clean it. Since the entire object can be cleaned, there is an effect of reducing equipment cost and making maintenance easier.

레이저, 세정, 모듈 Laser, cleaning, module

Description

레이저 세정장치{Laser cleaner}Laser cleaner {Laser cleaner}

본 발명은 레이저 세정장치에 관한 것으로, 단일 모듈을 사용하여 이송되는 대면적의 세정대상물을 세정할 수 있는 레이저 세정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser cleaning apparatus, and more particularly, to a laser cleaning apparatus capable of cleaning a large area of a cleaning object conveyed using a single module.

일반적으로 레이저 세정장치는 레이저를 투명한 세정대상물 예를 들어 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판 또는 투명 필름을 세정하는 장치이다. In general, a laser cleaner is a device for cleaning a large glass substrate or a transparent film used in the manufacture of a transparent cleaning object, for example, a flat panel display.

종래 레이저 세정장치는 세정공정의 진행을 빠르게 수행하도록 하기 위하여 레이저를 조사하는 레이저 모듈을 다수로 설치하여 세정대상물을 세정하였다. In the conventional laser cleaning apparatus, a plurality of laser modules irradiating lasers are installed to clean a cleaning object in order to quickly perform a cleaning process.

이는 세정대상물의 면적이 큰 경우 하나의 레이저 모듈로는 세정대상물의 전체를 세정처리할 수 없기 때문이며, 따라서 다수의 레이저 모듈의 사용에 의한 세정장치의 비용이 증가하게 되며, 유지 보수가 어려운 문제점이 있었으며, 이와 같은 종래 레이저 세정장치의 구성을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.This is because when the area of the object to be cleaned is large, one laser module cannot clean the entire object to be cleaned. Therefore, the cost of the cleaning device is increased due to the use of a plurality of laser modules, and the maintenance is difficult. When described in detail with reference to the accompanying drawings the configuration of such a conventional laser cleaning apparatus as follows.

도 1은 종래 레이저 세정장치의 구성도이다. 1 is a block diagram of a conventional laser cleaning apparatus.

도 1을 참조하면 종래 레이저 세정장치는 이송 또는 고정된 세정대상물(1)에 고르게 레이저를 조사하기 위하여 다수의 레이저 모듈(2)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a conventional laser cleaner includes a plurality of laser modules 2 for irradiating a laser evenly onto a transported or fixed cleaning object 1.

상기 다수의 레이저 모듈(2)은 고정된 상태에서 상기 세정대상물(1)이 이동하여 세정을 수행하거나, 그 다수의 레이저 모듈(2)이 고정된 세정대상물(1)의 하부쪽에서 이동하면서 세정처리를 하였다.The plurality of laser modules 2 are cleaned by moving the cleaning object 1 in a fixed state, or the cleaning process is performed while the plurality of laser modules 2 are moved from the lower side of the fixed cleaning object 1. Was done.

이와 같은 레이저 모듈(2)들의 이동은 로봇을 통해 이루어지며, 따라서 전체 장비의 크기가 커지며, 고가의 레이저 모듈(2)을 다수로 사용해야 하기 때문에 설비 비용이 증가하는 문제점이 있었다.Such movement of the laser modules (2) is made through a robot, and thus the size of the entire equipment is increased, there is a problem that the installation cost increases because a large number of expensive laser modules (2) must be used.

아울러 로봇을 통한 이동은 그 이동속도에 한계가 있어 빠른 세정처리를 할 수 없었다.In addition, the movement through the robot has a limitation in the speed of movement, so that it cannot be quickly cleaned.

상기 레이저 모듈(2)은 특정한 파장의 레이저를 이용하여 이물을 진동시켜 그 세정대상물(1)의 표면에서 이탈시키는 것으로, 그 세정 효과가 크고 오염원이 발생하지 않는다는 장점이 있으나, 설비 비용 및 유지보수가 어려워 제조분야에 적용되기가 어렵다.The laser module 2 vibrates a foreign material by using a laser of a specific wavelength and is separated from the surface of the cleaning object 1, and has an advantage that the cleaning effect is large and no pollution source is generated. It is difficult to be applied to the manufacturing field because it is difficult.

따라서 설비비용을 낮추고 유지보수가 용이한 레이저 세정장치의 개발이 요구되고 있으며, 보다 빠른 세정 공정이 진행될 수 있도록 하는 레이저 세정장치의 개발이 요구되고 있다.Therefore, it is required to develop a laser cleaning device that lowers installation costs and is easy to maintain, and is required to develop a laser cleaning device that allows a faster cleaning process to proceed.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 단일한 레이저 모듈을 사용하여 대면적의 세정대상물을 세정할 수 있는 레이저 세정장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is to provide a laser cleaning apparatus capable of cleaning a large area of cleaning objects using a single laser module.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 세정대상물이 고속으로 이동하는 경우에도 그 세정대상물을 세정할 수 있는 레이저 세정장치를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a laser cleaning apparatus capable of cleaning a cleaning object even when the cleaning object moves at a high speed.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 세정대상물을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 상부측과 하부측에 각각 마련되되 반사면이 상기 이송부측을 향하는 상부반사판 및 하부반사판과, 상기 상부반사판 또는 하부반사판에 레이저를 조사하여, 상기 상부반사판과 하부반사판에서 레이저의 반사가 반복적으로 일어날 수 있도록 하는 단일 레이저 모듈을 포함한다.The present invention for solving the above problems, the transfer unit for transporting the cleaning object, the upper reflection plate and the lower reflection plate provided on the upper side and the lower side of the transfer portion, respectively, the reflective surface toward the transfer portion side, and the upper reflection plate Or a single laser module for irradiating a laser to the lower reflector to repeatedly reflect the laser from the upper reflector and the lower reflector.

본 발명은 컨베이어 등을 통해 이송되는 세정대상물의 상면과 하면에 각각 반사판을 위치시키고, 하나의 레이저 모듈을 사용하여 소정의 입사각으로 레이저를 입사시켜, 그 반사판에서 레이저가 반사되어 세정대상물의 전체를 세정처리할 수 있어, 설비비용을 절감하고 유지 보수를 보다 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a reflector is positioned on the upper and lower surfaces of a cleaning object to be transported through a conveyor or the like, and the laser is incident at a predetermined incident angle by using one laser module, and the laser is reflected from the reflecting plate so that the entire cleaning object is reflected. Can be cleaned, there is an effect that can reduce the equipment cost and make the maintenance easier.

또한 본 발명은 하나의 레이저 모듈을 기판의 진행방향을 따라 왕복운동시키는 진동발생부를 두어 하나의 레이저 모듈을 다수의 레이저 모듈을 사용하는 것과 같은 효과를 내어 빠르게 이송되는 세정대상물을 세정처리할 수 있는 효과가 있다.In another aspect, the present invention has a vibration generating unit for reciprocating one laser module along the direction of the substrate to effect the same effect as using a plurality of laser modules in one laser module to clean the cleaning object to be transported quickly It works.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention configured as described above in detail.

도 2는 본 발명 레이저 세정장치의 측면구성도이고, 도 3은 도 2의 일부 투영 사시도이다.2 is a side view of the laser cleaning apparatus of the present invention, and FIG. 3 is a partially perspective perspective view of FIG. 2.

도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 발명 레이저 세정장치는 세정대상물(10)을 이송하는 이송부(20)와, 상기 이송부(20)의 상부측에 위치하는 상부반사판(30)과, 상기 상부반사판(30)과 마주하는 위치의 이송부(20) 하부측에 위치하는 하부반사판(40)과, 상기 상부반사판(30)에 레이저를 조사하여 그 레이저가 상기 상부반사판(30)과 하부반사판(40)을 통해 반복해서 반사되도록 하는 단일 레이저 모듈(50)과, 상기 단일 레이저 모듈(50)을 세정대상물(10)의 이송방향과 수직한 방향으로 직선 왕복운동시키는 진동발생부(60)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 2 and 3, the laser cleaning apparatus of the present invention includes a transfer unit 20 for transferring a cleaning object 10, an upper reflection plate 30 positioned on an upper side of the transfer unit 20, and the upper reflection plate. The lower reflecting plate 40 located on the lower side of the transfer part 20 facing the 30 and the upper reflecting plate 30 are irradiated with a laser and the laser is irradiated with the upper reflecting plate 30 and the lower reflecting plate 40. It comprises a single laser module 50 to be repeatedly reflected through the, and the vibration generating unit 60 for linearly reciprocating the single laser module 50 in a direction perpendicular to the transport direction of the cleaning object (10) do.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 레이저 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the laser cleaning device of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 상기 이송부(20)는 컨베이어 또는 다수의 이송축을 포함하는 이송장치일 수 있다.First, the transfer unit 20 may be a conveyor or a transfer device including a plurality of transfer shafts.

상기 이송부(20)의 상부측과 하부측 일부에는 상호 반사면이 이송부(20)측으 로 마주하게 위치하는 상부반사판(30)과 하부반사판(40)을 구비한다. 상기 상부반사판(30)과 하부반사판(40)은 레이저를 반사시킬 수 있는 것이면 그 재질등에 무관하게 사용할 수 있다.A portion of the upper side and the lower side of the transfer part 20 is provided with an upper reflection plate 30 and a lower reflection plate 40 with mutual reflection surfaces positioned to face the transfer part 20 side. The upper reflector 30 and the lower reflector 40 may be used irrespective of their materials as long as they can reflect the laser.

단, 레이저의 입사각에 따른 반사각이 예측될 수 있도록 그 반사면이 균일한 것이어야 한다. However, the reflection surface should be uniform so that the reflection angle according to the incident angle of the laser can be predicted.

이와 같은 구조에서 단일 레이저 모듈(50)을 사용하여 레이저를 상기 상부반사판(30)에 조사한다. 이와 같이 조사된 레이저는 상기 상부반사판(30)에서 반사되어, 하부반사판(40)으로 입사되고, 다시 반사되어 상부반사판(30)으로 입사되는 형태를 반복하게 된다. In this structure, the laser is irradiated onto the upper reflector 30 using a single laser module 50. The laser irradiated as described above is reflected by the upper reflector 30, is incident to the lower reflector 40, and is reflected again to be incident to the upper reflector 30.

상기 레이저가 상부반사판(30)에 입사되는 입사각은 0도를 초과하고 90도 미만인 각도로 하며, 최초 레이저의 입사가 상부반사판(30)이 아닌 하부반사판(40)에 이루어져도 동일하다. The angle of incidence of the laser incident on the upper reflector 30 is greater than 0 degrees and less than 90 degrees, and the same is true even when the initial laser is incident on the lower reflector 40 rather than the upper reflector 30.

또한 진동발생부(60)를 사용하여 상기 단일 레이저 모듈(50)을 상기 세정대상물(10)의 이송방향에 대하여 수직인 방향으로, 즉 세정대상물(10)의 폭 방향으로 소정거리 직선왕복을 시키면 상기 상부반사판(30)에 입사되는 각도는 유지하면서, 최초의 레이저 입사위치가 변하게 된다.In addition, when the single laser module 50 is reciprocated by the vibration generator 60 in a direction perpendicular to the conveying direction of the cleaning object 10, that is, in the width direction of the cleaning object 10, The first laser incident position is changed while maintaining the angle incident on the upper reflector 30.

이와 같은 단일 레이저 모듈(50)의 왕복운동의 속도를 보다 빠르게 하면, 상기 레이저는 선이 아닌 면의 형태로 상기 상부반사판(30)에 입사되고, 그 면형태의 레이저가 다시 반사되어 하부반사판(40)에 입사되고, 다시 반사되어 상기 상부반사판(30)에 입사 후 반사되는 과정이 반복된다.When the speed of the reciprocating motion of the single laser module 50 is faster, the laser is incident on the upper reflector 30 in the form of a surface rather than a line, and the laser in the form of the surface is reflected again to lower the reflector ( 40, the process of being reflected again and then reflected on the upper reflector 30 is repeated.

상기와 같은 레이저의 조사 및 반사형태에 의해 상기 상부반사판(30)과 하부반사판(40)의 사이 공간은 레이저의 조사가 전체적으로 일어나는 것과 동일한 상태가 된다.The space between the upper reflection plate 30 and the lower reflection plate 40 is in the same state as that of the irradiation of the laser as a whole due to the laser irradiation and reflection forms as described above.

이와 같은 상태에서 세정대상물(10)이 상기 상부반사판(30)과 하부반사판(40)의 사이를 지나는 경우 그 세정대상물(10)의 전체가 레이저에 노출되며, 세정이 일어나게 된다.In this state, when the cleaning object 10 passes between the upper reflection plate 30 and the lower reflection plate 40, the whole of the cleaning object 10 is exposed to the laser, and cleaning occurs.

이는 상기 세정대상물(10)의 이동속도가 빠른 경우에는 상기 단일 레이저 모듈(50)에서 상기 상부반사판(30)에 조사되는 레이저의 입사각을 보다 크게 한다. This increases the incident angle of the laser irradiated to the upper reflector 30 from the single laser module 50 when the moving speed of the cleaning object 10 is fast.

상기 레이저의 조사각도의 변화에 따라서 상기 진동발생부(60)에 의한 단일 레이저 모듈(50)의 왕복거리를 보다 짧게 하여도 상기 세정대상물(10)의 전체에 레이저를 조사할 수 있게 되어, 빠르게 이송되는 세정대상물(10)도 용이하게 세정처리할 수 있게 된다.According to the change of the irradiation angle of the laser, even if the reciprocating distance of the single laser module 50 by the vibration generating unit 60 is shorter, it is possible to irradiate the laser to the entire cleaning object 10, The cleaning object 10 to be transferred can also be easily cleaned.

이와 같이 본 발명은 단일한 레이저 모듈(50)을 사용하여 다수의 레이저 모듈을 사용한 것과 같은 효과를 발생시키기 때문에 고가의 레이저 모듈의 수를 줄여 설비비용을 절감할 수 있게 된다.As described above, the present invention generates the same effect as using a plurality of laser modules using a single laser module 50, thereby reducing the number of expensive laser modules, thereby reducing the installation cost.

또한 간단한 구성을 가지기 때문에 유지 및 보수가 용이하고, 레이저의 조사 각도의 변경으로 빠르게 이송되는 세정대상물(10)을 세정처리할 수 있기 때문에 세정공정에 필요한 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.In addition, since it has a simple configuration, it is easy to maintain and repair, and the cleaning object 10 can be cleaned quickly by changing the irradiation angle of the laser, thereby reducing the time required for the cleaning process.

도 1은 종래 레이저 세정장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional laser cleaning apparatus.

도 2는 본 발명 레이저 세정장치의 구성도이다.2 is a block diagram of the laser cleaning apparatus of the present invention.

도 3은 본 발명 레이저 세정장치의 일부투영 사시도이다.3 is a partially perspective perspective view of the laser cleaning device of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10:세정대상물 20:이송부10: washing object 20: transfer part

30:상부반사판 40:하부반사판30: upper reflector 40: lower reflector

50:단일 레이저 모듈 60:진동발생부 50: single laser module 60: vibration generating unit

Claims (3)

각각 일방향으로 회전하는 다수의 회전축을 포함하여, 세정대상물을 이송하는 이송부;A transfer unit for transporting a cleaning object, including a plurality of rotation shafts each rotating in one direction; 상기 이송부의 상부측과 하부측에 각각 마련되되, 각각의 반사면이 상기 이송부의 상부측과 하부측을 향하며, 입사된 레이저광을 반사하여 면상의 배광을 형성하는 상부반사판 및 하부반사판; 및An upper reflecting plate and a lower reflecting plate respectively provided on the upper side and the lower side of the transfer unit, each reflecting surface of which is directed toward the upper side and the lower side of the transfer unit and reflects the incident laser light to form a planar light distribution; And 상기 상부반사판 또는 하부반사판에 레이저를 조사하여, 상기 상부반사판과 하부반사판에서 레이저의 반사가 반복적으로 일어날 수 있도록 하는 단일 레이저 모듈을 포함하는 레이저 세정장치.And a single laser module for irradiating a laser onto the upper or lower reflector so that reflection of the laser may occur repeatedly on the upper and lower reflector. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레이저 모듈을 상기 세정대상물의 이송방향에 대하여 수직인 방향으로 진동시키는 진동발생부를 더 포함하는 레이저 세정장치.And a vibration generating unit for vibrating the laser module in a direction perpendicular to a conveying direction of the cleaning object. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 레이저 모듈은 입사각을 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 세정장치.The laser module is a laser cleaning apparatus, characterized in that for adjusting the incident angle.
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