KR101598176B1

KR101598176B1 - Vacuum chamber

Info

Publication number: KR101598176B1
Application number: KR1020100028629A
Authority: KR
Inventors: 안성일; 김종은
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2010-03-30
Filing date: 2010-03-30
Publication date: 2016-02-26
Also published as: KR20110109077A

Abstract

제조비용이 절감될 수 있는 진공챔버가 개시된다. 이를 위한 진공챔버는 내부공간이 형성되고, 두 개로 비대칭 분할된 것이다. 그리고, 진공챔버는 서로 비대칭되게 형성된 제1분할부재 및 제2분할부재와, 상기 제1분할부재와 상기 제2분할부재 사이에 개재된 제1씰링부재와, 상기 제1분할부재 및 제2분할부재 중 적어도 하나에 형성되고, 피처리물체가 출입되도록 슬릿이 형성된 적어도 하나의 게이트를 포함한다. 이에 따라, 진공챔버는 제1분할부재와 제2분할부재를 각각 제조하고, 제조된 제1분할부재와 제2분할부재를 결합시켜서 제조할 수 있다. 즉, 본 발명의 진공챔버를 제조하는데 있어서, 고중량의 진공챔버를 제조할 수 있는 가공 설비 및 리프팅 설비를 구비하지 않아도 될 뿐만 아니라, 고중량의 진공챔버의 낙하시 발생될 수 있는 사고를 방지하기 위한 안전시설을 구비하지 않아도 됨으로써, 진공챔버가 대형화 되더라도 진공챔버의 제조 비용이 증가되는 것을 방지할 수 있다.A vacuum chamber in which the manufacturing cost can be reduced is disclosed. The vacuum chamber for this purpose is formed as an internal space, and is asymmetrically divided into two chambers. The vacuum chamber includes a first partitioning member and a second partitioning member formed asymmetrically to each other, a first sealing member interposed between the first partitioning member and the second partitioning member, And at least one gate formed on at least one of the members and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go. Thus, the vacuum chamber can be manufactured by manufacturing the first division member and the second division member, respectively, and combining the manufactured first division member and the second division member. That is, in manufacturing the vacuum chamber of the present invention, it is not necessary to provide a processing facility and a lifting facility capable of manufacturing a vacuum chamber of a high weight, and also to prevent accidents By not having a safety facility, it is possible to prevent the manufacturing cost of the vacuum chamber from increasing even if the vacuum chamber is enlarged.

Description

[0001]

본 발명은 진공챔버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판패널 또는 웨이퍼를 제조하는데 사용되는 제조장치의 외형을 형성하는 진공챔버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum chamber, and more particularly, to a vacuum chamber forming an outline of a manufacturing apparatus used for manufacturing a flat panel or a wafer.

평판패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)를 제조하는 과정에서는 기판 상에 박막증착(Deposition)공정, 포토리소그라피(photolithography)공정, 식각(Etching)공정, 공정 진행시 발생된 잔류물을 제거하기 위한 세척 및 건조 등의 세정공정 및 각종 표면처리공정 등의 기판처리과정이 수 차례 반복된다. 각각의 공정들은 공정 챔버(PM: Process Module)에서 진행된다.In the process of manufacturing a flat panel display (FPD), a thin film deposition process, a photolithography process, an etching process, a cleaning process for removing residues generated during the process, And a cleaning process such as drying and various surface treatment processes are repeated several times. Each process is performed in a process chamber (PM).

최근에는 단시간에 다량의 기판을 처리할 수 있도록 클러스터(cluster)가 사용된다. 클러스터는 하나의 이송 챔버에 복수의 공정 챔버가 연결된다. 즉, 클러스터에서는 기판의 처리공정을 수행하는 공정 챔버와, 기판을 저장하고 이를 공정 챔버로 이송하고, 공정 챔버로부터 처리된 기판을 회송하는 이송 챔버(TM: Transfer Module)를 포함하는 클러스터가 사용된다.In recent years, a cluster is used so that a large amount of substrates can be processed in a short time. The clusters are connected to a plurality of process chambers in one transfer chamber. That is, in a cluster, a cluster is used that includes a process chamber that performs processing steps of the substrate, a transfer chamber (TM) that stores the substrate and transports it to the process chamber and transfers the processed substrate from the process chamber .

한편, 대형의 화면을 원하는 시장의 수요에 대응하기 위해 평판패널 디스플레이를 제조하기 위한 기판의 크기가 증가되고 있다. 또한, 기판 크기의 증가와 아울러 공정 챔버 및 이송 챔버의 크기도 증가되고 있다. 이러한, 이송 챔버 또는 공정 챔버의 소재는 금속으로 이루어지며, 내부는 진공 상태인 것이 일반적이다. 따라서, 공정 챔버 및 이송 챔버(이하 “진공챔버”라 함)의 크기가 증가될수록, 진공 압력이 작용되는 진공챔버 내의 표면적이 증가된다. 이와 아울러 진공하중이 증가되고, 진공챔버의 변형이 발생될 가능성이 높아진다. 이를 방지하고자, 진공챔버의 외벽의 두께를 두껍게 하거나, 진공챔버의 변형을 방지하기 위한 부재가 진공챔버의 외면에 추가적으로 형성되어야 한다. On the other hand, the size of a substrate for manufacturing a flat panel display has been increasing in order to cope with the demand of the market that wants a large screen. In addition, as the substrate size increases, the sizes of the process chambers and transfer chambers are also increasing. The material of the transfer chamber or the process chamber is generally made of metal, and the inside of the transfer chamber or the process chamber is generally in a vacuum state. Therefore, as the size of the process chamber and the transfer chamber (hereinafter referred to as " vacuum chamber ") is increased, the surface area in the vacuum chamber in which the vacuum pressure is applied is increased. In addition, there is a high possibility that the vacuum load is increased and deformation of the vacuum chamber occurs. In order to prevent this, a member for increasing the thickness of the outer wall of the vacuum chamber or preventing the deformation of the vacuum chamber must additionally be formed on the outer surface of the vacuum chamber.

그러나, 진공챔버의 외벽의 두께를 두껍게 할수록 자중이 증가하게 된다. 이에 따라, 진공챔버를 제조하는데 있어서, 고중량의 진공챔버를 제조할 수 있는 가공 설비 및 리프팅 설비를 구비해야 하므로, 진공챔버의 제조 비용이 증가되고, 제조가 용이하지 않은 문제점이 있다.However, as the thickness of the outer wall of the vacuum chamber is increased, its own weight is increased. Accordingly, in manufacturing a vacuum chamber, it is necessary to provide a processing facility and a lifting facility capable of manufacturing a vacuum chamber having a high weight, so that the manufacturing cost of the vacuum chamber is increased and manufacturing is not easy.

또한, 진공챔버의 자중이 증가될수록 진공챔버를 이송하기 위한 차량의 차축에 더욱 큰 크기의 하중이 작용하게 된다. 여기서, 차축에 과도한 하중이 작용하는 경우, 차량을 통해 진공챔버를 이송하기가 어려운 문제점이 있다.In addition, as the self weight of the vacuum chamber is increased, a larger load acts on the axle of the vehicle for transferring the vacuum chamber. Here, when an excessive load acts on the axle, it is difficult to transfer the vacuum chamber through the vehicle.

본 발명의 목적은 진공챔버가 대형화되더라도, 진공에 의해 발생되는 내압에 대해 자체의 형상이 변형되지 않고 안정적으로 유지되면서 경량화 될 수 있는 진공챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a vacuum chamber which can be lightened while maintaining a stable shape without deforming its own shape against the internal pressure generated by the vacuum even if the vacuum chamber is enlarged.

또한, 본 발명의 다른 목적은 제조비용이 절감될 수 있는 진공챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a vacuum chamber in which manufacturing costs can be reduced.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공챔버는 내부공간이 형성되고, 두 개로 비대칭 분할된 것이며, 서로 비대칭되게 형성된 제1분할부재 및 제2분할부재와, 상기 제1분할부재와 상기 제2분할부재 사이에 개재된 제1씰링부재와, 상기 제1분할부재 및 제2분할부재 중 적어도 하나에 형성되고, 피처리물체가 출입되도록 슬릿이 형성된 적어도 하나의 게이트를 포함하는 진공챔버.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber comprising: a first partitioning member and a second partitioning member which are formed as an inner space and are asymmetrically divided into two chambers and formed asymmetrically to each other; A first sealing member interposed between the two split members; and at least one gate formed on at least one of the first split member and the second split member, the slit formed to allow the object to be processed to be inserted and removed.

한편, 상기 제1분할부재는 일측에 개방부가 형성된 제1몸체부와, 상기 제1몸체부의 개방부 둘레에 상기 제1몸체부의 외부로 연장 형성된 제1보조플레이트부를 포함하고, 상기 제2분할부재는 타측이 상기 제1몸체부의 개방부와 접촉되는 개방부가 형성된 제2몸체부와, 상기 제2몸체부의 개방부 둘레에 상기 제2몸체부의 외부로 연장 형성되며 상기 제1보조 플레이트부와 밀착 결합되게 형성된 제2보조플레이트부를 포함할 수 있다.The first partitioning member may include a first body portion having an opening at one side thereof and a first auxiliary plate portion extending to the outside of the first body portion around the opening portion of the first body portion, A second body portion having an opening at the other end thereof to be in contact with an opening of the first body portion and a second body portion extending outward from the second body portion around the opening portion of the second body portion, And a second auxiliary plate portion formed so as to be able to rotate.

본 발명에 따른 진공챔버는 제1분할부재와 제2분할부재를 각각 제조하고, 제조된 제1분할부재와 제2분할부재를 결합시켜서 제조할 수 있다. 즉, 본 발명의 진공챔버를 제조하는데 있어서, 고중량의 진공챔버를 제조할 수 있는 가공 설비 및 리프팅 설비를 구비하지 않아도 될 뿐만 아니라, 고중량의 진공챔버의 낙하시 발생될 수 있는 사고를 방지하기 위한 안전시설을 구비하지 않아도 됨으로써, 진공챔버가 대형화 되더라도 진공챔버의 제조 비용이 증가되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 본 발명의 진공챔버는 제1분할부재와 제2분할부재 각각을 제조할 수 있으므로, 분할되지 않는 일체형의 진공챔버를 제조하는 것보다 제조가 용이할 수 있다. 또한, 진공챔버를 제1분할부재와 제2분할부재로 분리하여 이송할 수 있으므로, 차량의 차축에 큰 하중이 작용되는 것을 방지할 수 있다.The vacuum chamber according to the present invention can be manufactured by manufacturing the first division member and the second division member, respectively, and combining the manufactured first division member and the second division member. That is, in manufacturing the vacuum chamber of the present invention, it is not necessary to provide a processing facility and a lifting facility capable of manufacturing a vacuum chamber of a high weight, and also to prevent accidents By not having a safety facility, it is possible to prevent the manufacturing cost of the vacuum chamber from increasing even if the vacuum chamber is enlarged. Further, since the vacuum chamber of the present invention can manufacture each of the first division member and the second division member, the manufacturing can be made easier than manufacturing an integral type vacuum chamber which is not divided. Further, since the vacuum chamber can be separated and transported by the first and second division members, a large load can be prevented from acting on the axle of the vehicle.

또한, 본 발명에 따른 진공챔버는 제1분할부재와 제2분할부재가 결합되어 진공챔버를 이루는 상태에서 제1보조플레이트부와 제2보조플레이트부는 서로 맞닿도록 배치되는 한편, 진공챔버의 상면, 측면 및 하면을 가로지르도록 형성된다. 진공챔버의 내부공간이 진공 상태인 경우, 내압에 의해 진공챔버를 구성하는 각면에 응력이 발생되는데, 상기와 같은 제1보조플레이트부와 제2보조플레이트부에 의해 제1분할부재 및 제2분할부재의 변형이 방지될 수 있다. 이에 따라, 진공챔버가 대형화되더라도 진공챔버의 두께를 과도하게 증가시키지 않으면서 진공챔버의 경량화를 구현할 수 있다.In the vacuum chamber according to the present invention, the first sub-plate portion and the second sub-plate portion are disposed to be in contact with each other while the first and second sub-members are coupled to form a vacuum chamber, And is formed to cross the side surface and the bottom surface. When the internal space of the vacuum chamber is in a vacuum state, stress is generated on each surface constituting the vacuum chamber by the internal pressure. The first and second sub- Deformation of the member can be prevented. Accordingly, even if the vacuum chamber is enlarged, the weight of the vacuum chamber can be reduced without excessively increasing the thickness of the vacuum chamber.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 진공챔버에서 제1분할부재와 제2분할부재가 분리된 상태의 평면도.
도 3은 도 1에 도시된 진공챔버의 분해사시도.
도 4는 도 3에 도시된 진공챔버를 다른 각도에서 도시한 분해사시도.
도 5는 도 1에 도시된 진공챔버에서 제1보조플레이트부를 제1몸체부로부터 분리하고, 제2보조플레이트부와 밀폐부를 제2몸체부로부터 분리하여 도시한 분해사시도.
도 6a 및 6b는 도 5에 도시된 리드 플레이트를 도시한 정면도.
도 7a은 도 1에 도시된 진공챔버의 단면도.
도 7b 및 7c는 도 7a에 도시된 진공챔버의 바닥면의 변형예를 도시한 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진공챔버에서 제1몸체부와 제2몸체부의 변형예를 도시한 분해사시도.1 is a perspective view illustrating a vacuum chamber according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the vacuum chamber shown in FIG. 1 in which the first and second division members are separated. FIG.
3 is an exploded perspective view of the vacuum chamber shown in Fig.
Fig. 4 is an exploded perspective view of the vacuum chamber shown in Fig. 3 from another angle. Fig.
FIG. 5 is an exploded perspective view showing the first auxiliary plate portion separated from the first body portion in the vacuum chamber shown in FIG. 1, and the second auxiliary plate portion and the closed portion separated from the second body portion.
Figs. 6A and 6B are front views showing the lead plate shown in Fig. 5; Fig.
7A is a cross-sectional view of the vacuum chamber shown in FIG.
7B and 7C are cross-sectional views showing a modification of the bottom surface of the vacuum chamber shown in Fig. 7A.
8 is an exploded perspective view showing a modification of the first body part and the second body part in the vacuum chamber according to the preferred embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다. 그리고, 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the technical structure of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It is to be noted that like elements in the drawings are represented by the same reference numerals whenever possible.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a vacuum chamber according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 진공챔버(100)는 내부공간이 형성되고, 두 개로 비대칭 분할된 것이다. 더욱 상세하게 진공챔버(100)는 제1분할부재(110)와, 제2분할부재(120)와, 제1씰링부재(130)와, 게이트(140)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the vacuum chamber 100 of the present invention is formed as an internal space and is divided into two asymmetrically. More specifically, the vacuum chamber 100 includes a first divided member 110, a second divided member 120, a first sealing member 130, and a gate 140.

제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)는 상하방향, 즉, 진공챔버(100)의 바닥면으로부터 수직한 면에 의해 분할된 것이다. 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 형성한 상태에서 진공챔버(100) 내에 내부공간이 형성될 수 있도록, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 맞닿는 각각의 면들은 개구되게 형성된다. 그리고, 진공챔버(100)의 비대칭(非對稱) 분할이란, 진공챔버(100)가 분할되는 면이 진공챔버(100)의 정중앙에 위치하지 않고, 진공챔버(100)의 정중앙으로부터 제1분할부재(110) 또는 제2분할부재(120)로 편심된 위치에 위치한 것이다. 이와 같이 진공챔버(100)가 비대칭 분할됨으로써, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)는 서로 상이한 크기 및 형상이 된다.The first divided member 110 and the second divided member 120 are vertically divided by a plane perpendicular to the bottom surface of the vacuum chamber 100. The first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 are formed so that the inner space can be formed in the vacuum chamber 100 in a state where the first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 are coupled to form the vacuum chamber 100, Each of the surfaces to which the second divided member 120 abuts is formed to be open. The asymmetric division of the vacuum chamber 100 means that the surface on which the vacuum chamber 100 is divided is not located in the center of the vacuum chamber 100 but is separated from the center of the vacuum chamber 100, (110) or the second divided member (120). By dividing the vacuum chamber 100 asymmetrically, the first divisional member 110 and the second divisional member 120 have different sizes and shapes.

이러한 진공챔버(100)의 일예로 미도시된 피처리물체의 표면을 처리하기 위한 공정 챔버일 수 있다. 또한, 본 발명의 진공챔버(100)는 이송 챔버일 수 있다. 이송 챔버는 유입된 피처리물체를 일정 시간 저장하였다가 피처리물체를 공정 챔버로 이송하고, 공정 챔버로부터 처리된 피처리물체를 특정 위치로 이송한다. 단, 본 발명의 진공챔버(100)가 공정 챔버와 이송 챔버인 것으로 한정하지는 않으며, 내부공간을 형성하면서 내부가 진공 상태인 진공 챔버에 적용될 수 있다.An example of such a vacuum chamber 100 may be a process chamber for processing the surface of an object to be processed (not shown). In addition, the vacuum chamber 100 of the present invention may be a transfer chamber. The transfer chamber stores the introduced object to be processed for a predetermined time, transfers the object to be processed to the process chamber, and transfers the processed object to be processed from the process chamber to a specific position. However, the vacuum chamber 100 of the present invention is not limited to a process chamber and a transfer chamber, and may be applied to a vacuum chamber having an internal vacuum while forming an internal space.

제1씰링부재(130)는 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120) 사이에 개재된다. 제1씰링부재(130)는 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 형성하는 경우, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120) 사이가 유격없이 접촉되도록 한다. 진공챔버(100)는 미도시된 진공펌프에 의해 진공이 유지될 수 있는데, 제1씰링부재(130)에 의해 진공챔버(100) 내부의 진공이 안정적으로 유지될 수 있다. The first sealing member 130 is interposed between the first divisional member 110 and the second divisional member 120. The first sealing member 130 may be formed by joining the first and second divided members 110 and 120 when the first divided member 110 and the second divided member 120 are combined to form the vacuum chamber 100. [ So that they are in contact with each other without clearance. The vacuum chamber 100 can be kept vacuum by a vacuum pump (not shown), and the vacuum inside the vacuum chamber 100 can be stably maintained by the first sealing member 130.

게이트(140)는 피처리물체가 진공챔버(100)의 내부공간으로 출입될 수 있게 한다. 게이트(140)는 제1분할부재(110) 및 제2분할부재(120) 중 적어도 하나에 형성된다. 게이트(140)의 형상의 일예로 일면이 개구된 육면체일 수 있다. 개구된 부분은 진공챔버(100)의 내부에 위치된다. 그리고, 게이트(140)에는 슬릿(141)이 형성된다. 슬릿(141)은 개구된 부분과 마주하는 면에 형성되고, 이러한 슬릿(141)을 통하여 피처리물체가 출입된다. 슬릿(141)은 피처리물체와 대응되는 크기로 형성되고, 피처리물체가 출입되는 방향으로 관통되게 형성된다. 즉, 슬릿(141)의 좌우 폭은 피처리물체의 폭보다 길게 형성되고, 슬릿(141)의 상하 간격은 피처리물체의 두께보다 크게 형성된다. 이러한 형상의 슬릿(141)은 복수개로 배열되며, 복수개의 슬릿(141)들은 상하방향으로 나란하게 형성될 수 있다. 예를 들어, 게이트(140)에 2개의 슬릿(141)들을 형성하여 2개의 피처리물체를 동시에 진공챔버(100) 내부로 유입시키는 것도 가능하다.The gate 140 allows the object to be processed into and out of the internal space of the vacuum chamber 100. The gate 140 is formed in at least one of the first segmental member 110 and the second segmental member 120. As an example of the shape of the gate 140, it may be a hexahedron whose one surface is open. The open portion is located inside the vacuum chamber 100. A slit 141 is formed in the gate 140. The slit 141 is formed on the surface facing the opened portion, and the object to be processed enters and exits through the slit 141. The slit 141 is formed to have a size corresponding to the object to be processed, and is formed so as to penetrate in the direction in which the object to be processed enters and exits. That is, the lateral width of the slit 141 is longer than the width of the object to be processed, and the vertical distance between the slits 141 is larger than the thickness of the object to be processed. The slits 141 having such a shape are arranged in a plurality, and the plurality of slits 141 can be formed in parallel in the vertical direction. For example, it is possible to form two slits 141 in the gate 140 so that two objects to be processed simultaneously flow into the vacuum chamber 100.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기와 같은 구조로 이루어진 진공챔버(100)는 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)를 각각 제조한 다음 결합시켜서 제조할 수 있다. 즉, 본 발명의 진공챔버(100)를 제조하는데 있어서, 고중량의 진공챔버를 제조하는데 필요한 가공 설비 및 리프팅 설비를 구비하지 않아도 될 뿐만 아니라, 고중량의 진공챔버의 낙하시 발생될 수 있는 사고를 방지하기 위한 안전시설을 구비하지 않아도 된다. 따라서, 진공챔버(100)가 대형화되더라도 진공챔버(100)의 제조 비용이 증가되는 것을 최소화할 수 있다. 그리고, 본 발명의 진공챔버(100)는 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120) 각각을 독립적으로 제조할 수 있으므로, 분할되지 않는 일체형의 진공챔버를 제조하는 것보다 제조가 용이할 수 있다. 또한, 진공챔버(100)를 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)로 분리하여 이송할 수 있으므로, 진공챔버(100)가 적재되는 차량의 차축에 큰 하중이 작용되는 것을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 2, the vacuum chamber 100 having the above-described structure can be manufactured by manufacturing the first and second divided members 110 and 120, respectively, and then joining them. That is, in manufacturing the vacuum chamber 100 of the present invention, it is not necessary to provide the processing equipment and the lifting equipment necessary for manufacturing a vacuum chamber having a high weight, and it is possible to prevent accidents There is no need to have a safety facility to do this. Therefore, even if the size of the vacuum chamber 100 is increased, the increase in the manufacturing cost of the vacuum chamber 100 can be minimized. Since the vacuum chamber 100 of the present invention can independently fabricate the first divided member 110 and the second divided member 120, it is easier to manufacture than the one-piece vacuum chamber that is not divided can do. Since the vacuum chamber 100 can be separated and transported by the first and second divided members 110 and 120, it is possible to prevent a large load from being applied to the axle of the vehicle on which the vacuum chamber 100 is mounted can do.

한편, 상기와 같은 구조로 이루어진 진공챔버(100)의 내부공간의 형상은 원통형(cylinder), 돔형(dome) 및 구형(sphere) 중 선택된 어느 하나의 형상일 수 있다. 이러한 형상에 의해 진공챔버(100) 내부에서 압력을 받는 유효표면적이 최소화된다. 그러므로, 압력에 의해 진공챔버(100)가 받게 되는 힘도 최소화될 수 있으므로, 진공챔버(100)의 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있다. 진공챔버(100)가 내압을 견디지 못하여 형상이 변형되는 경우, 진공챔버(100) 내부에 배치되는 부재들이 변형되거나, 제1몸체부(111) 또는 제2몸체부(121)의 각각의 면들이 변형됨으로써, 진공챔버(100) 내부의 진공이 유지되지 않게 된다.Meanwhile, the shape of the inner space of the vacuum chamber 100 having the above structure may be a shape selected from a cylinder, a dome, and a sphere. This shape minimizes the effective surface area under pressure within the vacuum chamber 100. Therefore, the force applied to the vacuum chamber 100 by the pressure can be minimized, so that the shape of the vacuum chamber 100 can be prevented from being deformed. The members disposed inside the vacuum chamber 100 may be deformed or the surfaces of the first body portion 111 or the second body portion 121 may be deformed due to the deformation of the shape of the vacuum chamber 100 due to the inability of the vacuum chamber 100 to withstand the internal pressure. The vacuum inside the vacuum chamber 100 is not maintained.

또한, 진공챔버(100)의 내부공간이 상기와 같은 형상으로 이루어져서 압력이 가해지는 표면적이 최소화될 수 있고, 진공챔버(100)의 내부 체적이 최소화된다. 이에 따라, 진공챔버(100) 내부를 진공으로 변환하기 위한 펌핑 시간 단축할 수 있다. 또한, 진공 상태의 진공챔버(100)를 대기압 상태로 변환하기 위해 질소나 크린 에어(산소)가 사용되는 것이 일반적이다. 그러므로, 진공챔버(100)의 체적이 최소화 될수록 질소나 크린 에어 등의 사용이 최소화될 수 있으므로, 진공챔버(100)의 운용 비용(Running cost)을 절감할 수 있다.In addition, since the internal space of the vacuum chamber 100 is formed in the above-described shape, the pressure applied surface area can be minimized, and the internal volume of the vacuum chamber 100 is minimized. Accordingly, the pumping time for converting the inside of the vacuum chamber 100 into vacuum can be shortened. In addition, nitrogen or clean air (oxygen) is generally used to convert the vacuum chamber 100 into a barometric pressure state. Therefore, as the volume of the vacuum chamber 100 is minimized, the use of nitrogen or clean air can be minimized, so that the running cost of the vacuum chamber 100 can be reduced.

전술한 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)의 상세한 구조를 설명한다.The detailed structure of the first division member 110 and the second division member 120 will be described.

도 3은 도 1에 도시된 진공챔버의 분해사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 진공챔버를 다른 각도에서 도시한 분해사시도이다.FIG. 3 is an exploded perspective view of the vacuum chamber shown in FIG. 1, and FIG. 4 is an exploded perspective view showing the vacuum chamber shown in FIG. 3 from another angle.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제1분할부재(110)는 제1몸체부(111)와, 제1보조플레이트부(115)를 포함할 수 있다.3 and 4, the first partitioning member 110 may include a first body portion 111 and a first auxiliary plate portion 115. Referring to FIG.

제1몸체부(111)는 진공챔버(100)의 일부분을 형성한다. 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 이루게 되는 경우, 제1몸체부(111)의 일측은 후술할 제2분할부재(120)의 제2몸체부(121)와 결합된다. 이러한 제1몸체부(111)의 일측에는 개방부가 형성된다. 개방부는 후술할 제2분할부재(120)의 제2몸체부(121)와 맞닿는 부분이다. 제1몸체부(111)와 제2몸체부(121)가 맞닿는 부분의 형상은 서로 동일한 형상으로 이루어진 것이 바람직하다. 이는 제1몸체부(111)와 제2몸체부(121)가 이격없이 결합되게 하여 진공챔버(100) 내부의 진공인 상태가 지속적으로 유지될 수 있게 하기 위함이다. 그리고, 제1몸체부(111)에서 제2몸체부(121)와 맞닿는 부분은 진공챔버(100) 내부의 진공이 유지될 수 있도록 폐곡선으로 이루어진다.The first body part 111 forms a part of the vacuum chamber 100. When the first partition member 110 and the second partition member 120 are combined to form the vacuum chamber 100, one side of the first body part 111 is connected to a second side of the second partition member 120, And is coupled to the body portion 121. An opening is formed at one side of the first body part 111. The opening portion is a portion contacting the second body portion 121 of the second division member 120 to be described later. It is preferable that the shapes of the portions where the first body portion 111 and the second body portion 121 abut each other have the same shape. This is to allow the first body part 111 and the second body part 121 to be coupled to each other without separation so that the vacuum state of the vacuum chamber 100 can be continuously maintained. The portion of the first body part 111 that abuts the second body part 121 is formed as a closed curve so that the vacuum inside the vacuum chamber 100 can be maintained.

제1보조플레이트부(115)는 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 형성한 상태에서 제2분할부재(120)에 포함된 제2보조플레이트부(125)와 접촉되어 진공챔버(100) 내부가 밀폐될 수 있다. 이를 위한 제1보조플레이트부(115)는 제1몸체부(111)의 개방부 둘레에 형성되고, 제1몸체부(111)의 외부로 연장 형성된다. 이러한 제1보조플레이트부(115)는 특정 두께로 형성되는 한편, 폐곡선으로 형성된다.The first sub-plate portion 115 is connected to the second sub-plate 120 in a state where the first sub-plate 110 and the second sub-plate 120 are coupled to form the vacuum chamber 100, The inside of the vacuum chamber 100 can be sealed by being in contact with the plate portion 125. The first auxiliary plate portion 115 is formed around the opening portion of the first body portion 111 and extends to the outside of the first body portion 111. The first auxiliary plate portion 115 is formed to have a specific thickness and closed curve.

제2분할부재(120)는 제2몸체부(121)와, 제2보조플레이트부(125)를 포함할 수 있다.The second divided member 120 may include a second body portion 121 and a second auxiliary plate portion 125.

제2몸체부(121)는 타측에는 상기 제1몸체부(111)의 개방부와 접촉되는 개방부가 형성된다. 제2몸체부(121)는 진공챔버(100)에서 제1몸체부(111)를 제외한 나머지 부분이다. 한편, 진공챔버(100)가 이송 챔버인 경우, 제2몸체부(121) 내부에는 피처리물체를 이동하는 피처리물체 이송장치가 배치될 수 있다. 이송장치의 일예로 피처리물체를 지지하는 로봇일 수 있다. 이러한 로봇은 피처리물체를 진공챔버(100) 내에서 내벽에 부딪히지 않고 용이하게 이송할 수 있도록 진공챔버(100)의 중앙에 배치될 수 있다.The second body portion 121 is formed at the other side with an opening portion which is in contact with the opening portion of the first body portion 111. The second body part 121 is the remaining part of the vacuum chamber 100 except for the first body part 111. Meanwhile, when the vacuum chamber 100 is a transfer chamber, an object to be processed transfer device for transferring the object to be processed may be disposed in the second body part 121. An example of the transfer device may be a robot that supports an object to be processed. Such a robot can be disposed at the center of the vacuum chamber 100 so that the object to be processed can be easily transferred without colliding with the inner wall in the vacuum chamber 100.

제2보조플레이트부(125)는, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 형성한 상태에서 제1보조플레이트부(115)와 접촉되어 진공챔버(100) 내부가 밀폐될 수 있다. 이를 위한 제2보조플레이트부(125)는 제2몸체부(121)의 개방부 둘레에 제2몸체부(121)의 외부로 연장 형성되며 제1보조플레이트부(115)와 밀착 결합되게 형성된다. 이러한 제1보조플레이트부(115)는 특정 두께로 형성되는 한편, 폐곡선으로 형성된다. 또한, 제2보조플레이트부(125)는 제1보조플레이트부(115)와 대응되도록 형성된다.The second auxiliary plate portion 125 is in contact with the first auxiliary plate portion 115 in a state where the first divided member 110 and the second divided member 120 are coupled to form the vacuum chamber 100, The inside of the chamber 100 can be sealed. The second auxiliary plate portion 125 is formed to extend to the outside of the second body portion 121 around the opening portion of the second body portion 121 and is tightly coupled to the first auxiliary plate portion 115 . The first auxiliary plate portion 115 is formed to have a specific thickness and closed curve. The second auxiliary plate portion 125 is formed to correspond to the first auxiliary plate portion 115.

상기와 같이, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합된 상태에서 제1보조플레이트부(115)와 제2보조플레이트부(125)에 의해 진공챔버(100) 내부가 밀폐됨으로써, 진공챔버(100) 내부의 진공이 안정적으로 유지될 수 있다.The inside of the vacuum chamber 100 is separated by the first and second auxiliary plate portions 115 and 125 while the first and second divided members 110 and 120 are engaged with each other, By closing the vacuum chamber 100, the vacuum inside the vacuum chamber 100 can be stably maintained.

한편, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 상기와 같은 구조로 이루어지고, 제1씰링부재(130)는 제1보조플레이트부(115)와 제2보조플레이트부(125) 사이에 개재됨으로써, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 형성한 상태에서 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120) 사이가 유격없이 밀착될 수 있다.The first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 have the same structure as the first partitioning member 110 and the first sealing member 130 has the first and second auxiliary plate portions 115 and 125 The first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 are coupled to each other to form the vacuum chamber 100 and the first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 Can be closely contacted without a gap.

한편, 전술한 바와 같이 본 발명의 진공챔버(100)에서 제1보조플레이트부(115)는 제1몸체부(111)의 외부로 연장형성되고, 제2보조플레이트부(125)는 제2몸체부(121)의 외부로 연장형성된다. 즉, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되어 진공챔버(100)를 이루는 상태에서 제1보조플레이트부(115)와 제2보조플레이트부(125)는 서로 맞닿도록 배치되는 한편, 진공챔버(100)의 상면, 측면 및 하면을 가로지르도록 형성된다. 진공챔버(100)의 내부공간이 진공 상태인 경우, 내압에 의해 진공챔버(100)를 구성하는 각면에 응력이 발생되는데, 상기와 같은 제1보조플레이트부(115)와 제2보조플레이트부(125)에 의해 제1분할부재(110) 및 제2분할부재(120)의 변형이 방지될 수 있다. 이에 따라, 진공챔버(100)가 대형화되더라도 진공챔버(100)의 두께를 과도하게 증가시키지 않으면서 진공챔버(100)의 경량화를 구현할 수 있다.In the vacuum chamber 100 of the present invention, the first sub-plate portion 115 extends to the outside of the first body portion 111 and the second sub- (121). That is, in a state where the first partitioning member 110 and the second partitioning member 120 are coupled to form the vacuum chamber 100, the first and second sub-plate portions 115 and 125 are brought into contact with each other And is formed to cross the upper surface, the side surface, and the lower surface of the vacuum chamber 100. When the inner space of the vacuum chamber 100 is in a vacuum state, stress is generated on each of the surfaces constituting the vacuum chamber 100 by the internal pressure. The first and second auxiliary plate portions 115, The deformation of the first divisional member 110 and the second divisional member 120 can be prevented. Accordingly, even if the vacuum chamber 100 is enlarged, the vacuum chamber 100 can be lightened without excessively increasing the thickness of the vacuum chamber 100.

한편, 게이트(140)는 일측면이 제2보조플레이트부(125)와 동일한 평면에 위치하도록 형성될 수 있다. 즉, 게이트(140)에서 좌측면 및 우측면 중 어느 하나의 면은, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되는 결합면과 동일한 면이 된다.On the other hand, the gate 140 may be formed such that one side thereof is positioned in the same plane as the second auxiliary plate portion 125. That is, any one of the left side surface and the right side surface of the gate 140 is the same surface as the coupling surface to which the first division member 110 and the second division member 120 are coupled.

상기와 다르게, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되는 결합면이 진공챔버(100)의 정중앙에 위치하여 게이트(140)의 중간부분을 관통하는 경우, 진공챔버(100) 내부의 내압에 의해 발생되는 응력이 게이트(140)의 접합된 부분에 집중되어 게이트(140)가 변형될 수 있다. 그러나, 본 발명의 진공챔버(100)에서는, 제1분할부재(110)와 제2분할부재(120)가 결합되는 결합면이 게이트(140)를 관통하지 않고 게이트(140)의 일측면과 동일한 면이 된다. 이에 따라, 진공챔버(100) 내부의 내압에 의해 게이트(140)가 변형되는 것을 방지할 수 있다.When the coupling surface to which the first division member 110 and the second division member 120 are coupled is located in the center of the vacuum chamber 100 and penetrates the middle portion of the gate 140, The stress generated by the internal pressure of the gate 140 can be concentrated at the jointed portion of the gate 140 and the gate 140 can be deformed. However, in the vacuum chamber 100 of the present invention, the coupling surface to which the first division member 110 and the second division member 120 are coupled does not pass through the gate 140, Surface. Accordingly, the gate 140 can be prevented from being deformed by the internal pressure inside the vacuum chamber 100.

도 5는 도 1에 도시된 진공챔버를 더욱 상세하게 분해한 분해사시도이다.5 is an exploded perspective view of the vacuum chamber shown in FIG. 1 in more detail.

도 5를 참조하면, 게이트(140)의 일측면은 제2보조플레이트부(125)의 일부에 의해 형성될 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, 제2분할부재(120)는 밀폐부(126)를 포함한다. 밀폐부(126)는 제2보조플레이트부(125)의 일단으로부터 연장되어 게이트(140)의 일측면을 형성한다. 이러한 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)는 하나의 금속판으로부터 제조될 수 있으며, 이렇게 제조된 일체형의 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)를 제2몸체부(121)의 개방부에 결합시켜서 제2분할부재(120)를 제조할 수 있다. 이러한 구조에서는 밀폐부(126)과 제2보조플레이트부(125)가 접합되는 부분이 존재하지 않으므로, 진공챔버(100) 내부의 밀폐가 더욱 안정적으로 유지될 수 있다.5, one side of the gate 140 may be formed by a portion of the second sub-plate portion 125. As shown in FIG. More specifically, the second segmented member 120 includes a sealing portion 126. The sealing portion 126 extends from one end of the second auxiliary plate portion 125 to form one side of the gate 140. The sealing portion 126 and the second auxiliary plate portion 125 may be made of a single metal plate and the thus formed integral sealing portion 126 and the second auxiliary plate portion 125 may be formed in the second body portion 121 to form the second divided member 120. The second divided member 120 can be manufactured by joining to the open portion of the second divided member 120. [ In this structure, since there is no portion where the sealing portion 126 and the second auxiliary plate portion 125 are joined to each other, the sealing of the inside of the vacuum chamber 100 can be more stably maintained.

또한, 일반적으로 곡면들을 결합하는 것보다 평면들을 결합하는 것이 용이하다. 본 발명의 진공챔버(100)에서는 상기와 같이 하나의 금속판으로부터 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)를 제조할 수 있고, 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)는 일체화된 하나의 평평한 평면이므로, 제2몸체부(121)에 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)가 일체화된 부재를 용이하게 결합시킬 수 있다. 한편, 밀폐부(126)와 제2보조플레이트부(125)가 일체화된 부재와 제2몸체부(121)의 결합의 일예로 용접이 사용될 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.Also, it is generally easier to join the planes than to join the curved surfaces. The sealing part 126 and the second auxiliary plate part 125 can be manufactured from one metal plate and the sealing part 126 and the second auxiliary plate part 125 can be manufactured in the vacuum chamber 100 of the present invention. The first and second auxiliary plate portions 125 and 125 can be easily combined with each other in the second body portion 121. In addition, However, the present invention is not limited thereto. For example, welding may be used as an example of coupling the second body portion 121 with the member in which the sealing portion 126 and the second auxiliary plate portion 125 are integrated.

한편, 도 2를 참조하면, 진공챔버(100)에서 제2분할부재(120)의 너비(width, W2)는 제1분할부재(110)의 너비(W1)보다 길게 형성되어 제2분할부재(120)가 제1분할부재(110)보다 상대적으로 큰 너비로 형성된다. 여기서 제2분할부재(120)의 너비는 제2분할부재(120)에서 제1분할부재(110)와 맞닿는 면으로부터 제2분할부재(120)의 중심을 가로질러서 제2분할부재(120)의 끝단까지 측정한 길이이다. 상기와 같이 제2분할부재(120)가 제1분할부재(110)보다 상대적으로 큰 너비이고, 제2분할부재(120)의 너비(W2)는 2400㎜ 내지 4000㎜인 것이 바람직하다.2, the width W2 of the second partitioning member 120 in the vacuum chamber 100 is longer than the width W1 of the first partitioning member 110, 120 are formed to have a relatively larger width than the first divisional member 110. The width of the second divisional member 120 is set such that the width of the second divisional member 120 from the surface of the second divisional member 120 abutting the first divisional member 110 across the center of the second divisional member 120 The length measured to the end. As described above, it is preferable that the second divisional member 120 has a relatively larger width than the first divisional member 110 and the width W2 of the second divisional member 120 is 2400 mm to 4000 mm.

제2분할부재(120)의 너비(W2)가 2400㎜ 이내인 경우, 제2분할부재(120)에 형성된 게이트(140)가 분할될 수 있다. 이와 같이, 게이트(140)가 관통되어 분할되게 형성된 경우, 게이트(140)의 분할된 부분을 씰링하기가 어려울 수 있다. 또한, 진공챔버(100)의 분할된 부분이 진공챔버(100)의 중앙에 위치하게 되어 진공챔버(100) 내부의 로봇이 배치되는 부분의 씰링이 어려울 수 있다.When the width W2 of the second partitioning member 120 is within 2400 mm, the gate 140 formed on the second partitioning member 120 can be divided. As such, when the gate 140 is formed to be penetrating and divided, it may be difficult to seal the divided portion of the gate 140. Further, since the divided portion of the vacuum chamber 100 is positioned at the center of the vacuum chamber 100, sealing of the portion where the robot is disposed inside the vacuum chamber 100 may be difficult.

이와 다르게, 제2분할부재(120)의 너비(W2)가 4000㎜를 초과하는 경우, 제2분할부재(120)의 자중이 과도하게 증가될 수 있다. 또한, 도로상에서 차량으로 운송 가능한 적재물의 최대 허용 너비를 초과하게 되어 운반이 어려울 수 있다.Alternatively, if the width W2 of the second divided member 120 exceeds 4000 mm, the weight of the second divided member 120 may excessively increase. In addition, it may exceed the maximum allowable width of the loadable vehicle on the road, which may be difficult to transport.

한편, 진공챔버(100)는 제2도어부재(150)를 더 포함할 수 있다. 제1몸체부(111) 및 제2몸체부(121) 중 적어도 하나의 외면의 일부는 개구되게 형성되고, 제2도어부재(150)는 개구된 부분을 개방 및 밀폐하도록 형성된다. 제2도어부재(150)가 제1몸체부(111)에 형성된 경우, 제2도어부재(150)는 제1몸체부(111)에 슬라이딩 가능하도록 결합될 수도 있고, 제2도어부재(150)의 일측이 제1몸체부(111)에 회전가능하도록 결합되는 것도 가능하다. 진공챔버(100) 내부를 메인터넌스 작업하는 경우, 진공챔버(100) 전체를 분해하지 않고, 제2도어부재(150)를 통하여 작업자 또는 작업용 로봇 등이 출입될 수 있다.Meanwhile, the vacuum chamber 100 may further include a second door member 150. A part of the outer surface of at least one of the first body part 111 and the second body part 121 is formed to be open and the second door member 150 is formed to open and close the opened part. When the second door member 150 is formed on the first body part 111, the second door member 150 may be slidably coupled to the first body part 111, It is also possible that one side of the first body part 111 is coupled to the first body part 111 so as to be rotatable. When a maintenance work is performed inside the vacuum chamber 100, the operator or the work robot can be taken in or out through the second door member 150 without disassembling the entire vacuum chamber 100.

한편, 제2분할부재(120)의 제2몸체부(121)의 상면의 적어도 일부는 개구되게 형성되고, 개구된 부분은 리드 플레이트(127)에 의해 밀폐될 수 있다. 이러한 리드 플레이트(127)에 의해 진공챔버(100) 전체를 분해하지 않고도 진공챔버(100) 내부에 접근할 수 있다. 그러므로, 진공챔버(100) 내부의 유지 보수 작업이 용이해질 수 있다. 예를 들어, 제2몸체부(121) 내부에 배치된 피처리물체 이송장치를 교체하거나 수리 등의 메인터넌스작업을 하는 경우, 리드 플레이트(127)를 제2몸체부(121)로부터 제거하여 메인터넌스작업을 실시할 수 있다. 여기서, 제2몸체부(121)와 리드 플레이트(127) 사이에는 제2씰링부재(128)가 개재될 수 있다. 제2씰링부재(128)는 리드 플레이트(127)가 제2몸체부(121)에 이격없이 밀착되게 하여 진공챔버(100) 내부의 진공이 안정적으로 유지될 수 있게 한다.On the other hand, at least a part of the upper surface of the second body part 121 of the second divisional member 120 is formed to be open, and the opened part can be sealed by the lead plate 127. The lead plate 127 can access the inside of the vacuum chamber 100 without disassembling the entire vacuum chamber 100. Therefore, maintenance work inside the vacuum chamber 100 can be facilitated. For example, in the case of replacing the object-to-be-transported device disposed inside the second body part 121, or performing a maintenance operation such as repair, the lead plate 127 is removed from the second body part 121, Can be performed. Here, a second sealing member 128 may be interposed between the second body 121 and the lead plate 127. The second sealing member 128 allows the lead plate 127 to be closely contacted to the second body 121 without separation, so that the vacuum inside the vacuum chamber 100 can be stably maintained.

한편, 리드 플레이트(127)의 상면의 적어도 일부는 개구되게 형성되고, 개구된 부분은 제1도어부재(129)에 의해 개방 또는 밀폐될 수 있다. 제1도어부재(129)는 리드 플레이트(127)에 슬라이딩 가능하도록 결합될 수도 있고, 제1도어부재(129)의 일측이 리드 플레이트(127)에 회전가능하도록 결합되는 것도 가능하다. 이러한 제1도어부재(129)에 의해 리드 플레이트(127)를 제2몸체부(121)로부터 분리시키지 않고 진공챔버(100) 내부에서 간단한 수리를 할 수도 있고, 사용자가 진공챔버(100) 내부의 상태를 확인하는 것도 가능할 수 있다.On the other hand, at least a part of the upper surface of the lead plate 127 is formed to be open, and the opened portion can be opened or closed by the first door member 129. The first door member 129 may be slidably coupled to the lead plate 127 and one side of the first door member 129 may be rotatably coupled to the lead plate 127. The first door member 129 can be easily repaired in the vacuum chamber 100 without separating the lead plate 127 from the second body 121. In addition, It may also be possible to check the status.

도 6a 및 6b는 도 5에 도시된 리드 플레이트를 도시한 정면도이다.6A and 6B are front views showing the lead plate shown in Fig.

도 6a 및 6b를 참조하면, 리드 플레이트(127)를 상하방향으로 가로지는 단면의 형상의 일예로 아크(Arc)형상일 수 있다. 또한, 리드 플레이트(227)를 상하방향으로 가로지는 단면의 형상의 다른 일예로 복수의 아크(Arc)가 서로 배열된 형상일 수 있다. 이러한 리드 플레이트(127,227)의 형상에 의해 진공챔버(100)의 내압에 의해 리드 플레이트(127,227) 자체의 변형을 최소화할 될 수 있다. 단, 리드 플레이트의 형상을 이에 한정하지는 않으며, 진공챔버(100)의 내압에 의해 변형되지 않는 형상이면 어떤 형상도 가능하다.6A and 6B, the lead plate 127 may have an arc shape, for example, in the shape of a cross section that crosses the lead plate 127 in the vertical direction. Alternatively, the lead plate 227 may have a shape in which a plurality of arcs are arranged to one another, for example, in the shape of a section crossing in the vertical direction. The deformation of the lead plates 127 and 227 itself can be minimized by the internal pressure of the vacuum chamber 100 due to the shape of the lead plates 127 and 227. However, the shape of the lead plate is not limited thereto, and any shape can be used as long as the shape is not deformed by the internal pressure of the vacuum chamber 100.

한편, 도 7a에 도시된 바와 같이 제2분할부재(120)의 내부의 바닥면의 적어도 일부(A)는 하측으로 갈수록 직경이 감소되는 돔(Dome)형상으로 인입되게 형성될 수 있다. 또는, 도 7b에 도시된 바와 같이, 제2분할부재(120)의 내부의 바닥면의 적어도 일부(B)는 하측으로 갈수록 내측으로 경사지게 인입될 수 있다. 이러한 제2분할부재(120)의 내부의 바닥면의 형상에 의해 진공챔버의 내압에 의해 바닥면이 변형되는 것을 최소화할 수 있다.As shown in FIG. 7A, at least a portion A of the bottom surface of the second partition member 120 may be formed into a dome shape whose diameter decreases toward the lower side. Alternatively, as shown in FIG. 7B, at least a portion B of the bottom surface of the interior of the second divided member 120 may be inclined inwardly toward the lower side. The deformation of the bottom surface due to the internal pressure of the vacuum chamber can be minimized by the shape of the bottom surface of the inside of the second divided member 120.

한편, 도 7c에 도시된 바와 같이 전술한 제2몸체부(121)의 바닥면의 일부는 개구되게 형성되고, 제2분할부재(120)는 제2몸체부(121)의 바닥면의 개구된 부분을 밀폐하는 커버부(122)를 포함할 수 있다. 커버부(122)의 중앙부분은 전술한 바와 같이 하측으로 갈수록 내측으로 경사지게 형성될 수 있고, 돔형상으로 인입되게 형성될 수 있다. 또는, 커버부(122)의 인입된 부분의 형상은 전술한 형상과 다른 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.7C, a part of the bottom surface of the second body part 121 is formed as an opening, and the second parting member 120 is formed as an opening in the bottom surface of the second body part 121, And a cover portion 122 for sealing the portion. The center portion of the cover portion 122 may be inclined inwardly toward the lower side as described above and may be formed to be drawn in a dome shape. Alternatively, the shape of the drawn-in portion of the cover portion 122 may be formed in various shapes different from the shape described above.

이러한 구조로 이루어진 제2분할부재(120)는 제2몸체부(121)와 커버부(122)를 각각 제조하고, 제조된 각각의 제2몸체부(121)와 커버부(122)를 결합시켜서 제조될 수 있다. 진공챔버(100)의 내부공간이 진공상태가 되는 경우, 내압에 의해 제2분할부재(120)의 바닥면의 중앙부가 상측으로 이동되어 변형될 수 있다. 본 발명의 진공챔버(100)에서는 내압에 의해 커버부(122)가 변형되더라도, 제2분할부재(120) 전체를 교체하지 않고 변형된 커버부(122)만 교체하여 제2분할부재(120)의 바닥면의 수리를 완료할 수 있다.The second divided member 120 having such a structure is manufactured by manufacturing the second body portion 121 and the cover portion 122 and joining the manufactured second body portion 121 and the cover portion 122 . When the inner space of the vacuum chamber 100 is in a vacuum state, the central portion of the bottom surface of the second divided member 120 can be moved upward and deformed by the internal pressure. In the vacuum chamber 100 of the present invention, even if the cover portion 122 is deformed due to internal pressure, only the deformed cover portion 122 is replaced without replacing the entire second split member 120, It is possible to complete the repair of the bottom surface of the main body.

도 8은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진공챔버에서 제1몸체부와 제2몸체부의 변형예를 도시한 분해사시도이다.8 is an exploded perspective view showing a modified example of the first body part and the second body part in the vacuum chamber according to the preferred embodiment of the present invention.

도 8을 참조하여 제1몸체부(811)와 제2몸체부(821)의 변형예를 설명한다.A modification of the first body part 811 and the second body part 821 will be described with reference to FIG.

제1몸체부(811)는 제1하부면(812)과, 제1상부면(813)과, 제1측면(814)을 포함한다. 제1하부면(812)은 제1몸체부(811)의 바닥면을 형성한다. 제1상부면(813)은 제1하부면(812)으로부터 상방으로 이격되게 배치된다. 제1측면(814)은 하측이 제1하부면(812)에 연결되고 상측이 제1상부면(813)에 연결되고, 라운드형상으로 형성되며, 적어도 일부가 개구되게 형성된다.The first body portion 811 includes a first lower surface 812, a first upper surface 813, and a first side surface 814. The first lower surface 812 forms the bottom surface of the first body portion 811. The first upper surface 813 is spaced upward from the first lower surface 812. The first side surface 814 has a lower side connected to the first lower surface 812, an upper side connected to the first upper surface 813, a round shape, and at least a part of which is open.

제2몸체부(821)는 제2하부면(822)과, 제2상부면(823)과, 제2측면(824)을 포함한다. 제2하부면(822)은 제2몸체부(821)의 바닥면을 형성한다. 제2상부면(823)은 제2하부면(822)으로부터 상방으로 이격되게 배치된다. 제2측면(824)은 하측이 제2하부면(822)에 연결되고 상측이 제2상부면(823)에 연결되고, 라운드형상으로 형성되며, 적어도 일부는 제1측면(814)의 개구된 부분과 대응되게 형성된다. 여기서, 제1몸체부(811)는 제2하부면(822)과 제2상부면(823)과 제2측면(824)이 서로 결합되어 이루어진다. 그리고, 제2몸체부(821)는 제2하부면(822)과 제2상부면(823)과 제2측면(824)이 서로 결합되어 이루어진다. 이와 같이 제1몸체부(811)와 제2몸체부(821)는 여러개의 부재들이 조립되어 이루어지는데, 이러한 구조는 제1몸체부(811) 또는 제2몸체부(821) 전체를 한번에 일체로 제조하는 것보다 용이하게 제조될 수 있다.The second body portion 821 includes a second lower surface 822, a second upper surface 823, and a second side surface 824. And the second lower surface 822 forms the bottom surface of the second body portion 821. [ The second upper surface 823 is spaced upward from the second lower surface 822. The second side 824 is connected at its lower side to the second lower surface 822 and at the upper side to the second upper surface 823 and is formed in a round shape, As shown in FIG. The first body portion 811 includes a second lower surface 822, a second upper surface 823, and a second side surface 824 coupled to each other. The second body portion 821 includes a second lower surface 822, a second upper surface 823, and a second side surface 824 coupled to each other. The first body portion 811 and the second body portion 821 are assembled by assembling a plurality of members such that the first body portion 811 or the second body portion 821 is integrally formed It can be manufactured more easily than manufacturing.

한편, 제1상부면(813)과 제1측면(814) 사이와, 제1하부면(812)과 제1측면(814) 사이와, 제2상부면(823)과 제2측면(824) 사이와, 제2하부면(822)과 제2측면(824) 사이에는 제3씰링부재(860)들이 개재될 수 있다. 제3씰링부재(860)들은 제1몸체부(811)와 제2몸체부(821)가 안정적으로 밀폐될 수 있게 한다.The first upper surface 813 and the first side surface 814 and between the first lower surface 812 and the first side surface 814 and between the second upper surface 823 and the second side surface 824, And a third sealing member 860 may be interposed between the second lower surface 822 and the second side surface 824. The third sealing members 860 allow the first body portion 811 and the second body portion 821 to be stably sealed.

한편, 제2상부면(823)은 제3도어부재(825)를 포함할 수 있다. 제3도어부재(825)는 제2상부면(823)의 상면의 적어도 일부는 개구되게 형성되고, 개구된 부분을 개방 또는 밀폐한다. 제3도어부재(825)는 제2상부면(823)에 슬라이딩 가능하도록 결합될 수도 있고, 제3도어부재(825)의 일측이 제2상부면(823)에 회전 가능하도록 결합되는 것도 가능하다. 진공챔버(800) 내부를 메인터넌스 작업하는 경우, 진공챔버(800) 전체를 분해하지 않고, 제3도어부재(825)를 통하여 작업자 또는 작업용 로봇 등이 출입될 수 있다.On the other hand, the second upper surface 823 may include a third door member 825. The third door member 825 is formed to open at least a part of the upper surface of the second upper surface 823, and opens or closes the opened portion. The third door member 825 may be slidably coupled to the second upper surface 823 and one side of the third door member 825 may be rotatably coupled to the second upper surface 823 . When a maintenance work is performed inside the vacuum chamber 800, the operator or the work robot can be taken in or out through the third door member 825 without disassembling the entire vacuum chamber 800.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation and that those skilled in the art will recognize that various modifications and equivalent arrangements may be made therein. It will be possible. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.

100: 진공챔버 110,810: 제1분할부재
111: 제1몸체부 115: 제1보조플레이트부
120,820: 제2분할부재 121: 제2몸체부
122: 커버부 125: 제2보조플레이트부
126: 밀폐부 127,227: 리드 플레이트
128: 제2씰링부재 129: 제1도어부재
130: 제1씰링부재 140: 게이트
141: 슬릿 150: 제2도어부재
812: 제1하부면 813: 제1상부면
814: 제1측면 822: 제2하부면
823: 제2상부면 824: 제2측면100: vacuum chamber 110, 810: first partition member
111: first body part 115: first auxiliary plate part
120,820: second division member 121: second body part
122: cover part 125: second auxiliary plate part
126: sealing part 127, 227: lead plate
128: second sealing member 129: first door member
130: first sealing member 140: gate
141: Slit 150: Second door member
812: first lower surface 813: first upper surface
814: first side 822: second lower surface
823: second upper surface 824: second side

Claims

In an asymmetrically divided vacuum chamber in which an internal space is formed,
A first division member and a second division member formed asymmetrically with each other;
A first sealing member interposed between the first split member and the second split member; And
At least one gate formed on at least one of the first partitioning member and the second partitioning member and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go;
, &Lt; / RTI &
The first division member
And a first auxiliary plate portion extending to the outside of the first body portion around the opening portion of the first body portion,
The second division member
A second body part having an opening formed in the other side thereof to be in contact with an opening of the first body part and having at least a part of an upper surface thereof opened;
A second auxiliary plate portion extending outwardly from the second body portion around the opening portion of the second body portion and being formed in tight contact with the first auxiliary plate portion;
A lead plate formed to seal the open portion of the upper surface of the second body portion;
A second sealing member interposed between the second body part and the lead plate; And
At least a portion of an upper surface of the lead plate is formed to be open, and a first door member that opens or closes the opened portion;
And a vacuum chamber.

The method according to claim 1,
The gate includes:
And one side of the second auxiliary plate portion is positioned on the same plane as the second auxiliary plate portion.

3. The method of claim 2,
Wherein one side of the gate is formed by a portion of the second sub-plate portion.

In an asymmetrically divided vacuum chamber in which an internal space is formed,
A first division member and a second division member formed asymmetrically with each other;
A first sealing member interposed between the first split member and the second split member; And
At least one gate formed on at least one of the first partitioning member and the second partitioning member and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go;
, &Lt; / RTI &
The second division member
And at least a part of the inner bottom surface is inclined inward toward the lower side.

In an asymmetrically divided vacuum chamber in which an internal space is formed,
A first division member and a second division member formed asymmetrically with each other;
A first sealing member interposed between the first split member and the second split member; And
At least one gate formed on at least one of the first partitioning member and the second partitioning member and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go;
, &Lt; / RTI &
The second division member
Wherein at least a part of the bottom surface of the inner side is drawn in a dome shape having a reduced diameter toward the lower side.

In an asymmetrically divided vacuum chamber in which an internal space is formed,
A first division member and a second division member formed asymmetrically with each other;
A first sealing member interposed between the first split member and the second split member; And
At least one gate formed on at least one of the first partitioning member and the second partitioning member and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go;
, &Lt; / RTI &
The first division member
A first lower surface, a first upper surface spaced upward from the first lower surface, a lower surface connected to the first lower surface, an upper surface connected to the first upper surface and formed in a round shape, A first body portion including a first side formed such that a part thereof is opened, the first lower surface, the first upper surface and the first side being coupled to each other; And
A first auxiliary plate portion extending to the outside of the first body portion around the opened portion of the first body portion;
Lt; / RTI >
The second division member
A second upper surface spaced upward from the second lower surface, a lower surface connected to the second lower surface, an upper surface connected to the second upper surface and formed in a round shape, A second body portion including a second side surface at least partially opened to correspond to an opened portion of the first side surface, the second lower surface, the second upper surface, and the second side surface coupled to each other; And
A second auxiliary plate portion extending to the outside of the second body portion around the opened portion of the second body portion;
And it includes a
Wherein the first sealing member is interposed between the first sub-plate portion and the second sub-plate portion.

The method according to claim 6,
Wherein at least a portion of the upper surface of the second upper surface is formed to be open, and further comprising a third door member that opens or closes the opened portion.

In an asymmetrically divided vacuum chamber in which an internal space is formed,
A first division member and a second division member formed asymmetrically with each other;
A first sealing member interposed between the first split member and the second split member; And
At least one gate formed on at least one of the first partitioning member and the second partitioning member and having slits formed therein so as to allow the object to be processed to come and go;
, &Lt; / RTI &
The first division member
A first body part having an opening at one side; And
A first auxiliary plate portion extending to the outside of the first body portion around the opening portion of the first body portion;
Lt; / RTI >
Wherein the second division member comprises:
A second body portion having an opening formed on the other side thereof to be in contact with an opening portion of the first body portion;
A second auxiliary plate portion extending outwardly from the second body portion around the opening portion of the second body portion and being formed in tight contact with the first auxiliary plate portion; And
A sealing part formed on one side of the gate so as to be flush with the second auxiliary plate part and extending from one end of the second auxiliary plate part to form a side surface of the gate;
/ RTI >
Wherein the first sealing member is interposed between the first sub-plate portion and the second sub-plate portion.

9. The method of claim 8,
And a second door member formed to open at least a part of an outer surface of at least one of the first body portion and the second body portion and open or close the opened portion.

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