JP7023097B2 - How to lock the vacuum chamber and the door of the vacuum chamber - Google Patents

How to lock the vacuum chamber and the door of the vacuum chamber Download PDF

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Description

本発明の種々の側面および実施形態は、真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法に関する。 Various aspects and embodiments of the present invention relate to vacuum chambers and methods of locking vacuum chamber doors.

容器の内部を真空状態にし、容器内に導入された処理ガス等により、容器内に配置された被処理基板に対して所定の処理を施すことにより半導体デバイスを製造する装置が知られている。また、近年、半導体デバイスの製造コストを下げるために、被処理基板が大型化する傾向にある。これにより、半導体デバイスの製造装置も大型化している。 There is known an apparatus for manufacturing a semiconductor device by creating a vacuum inside a container and performing a predetermined treatment on a substrate to be processed arranged in the container with a processing gas or the like introduced into the container. Further, in recent years, in order to reduce the manufacturing cost of semiconductor devices, the size of the substrate to be processed tends to increase. As a result, the size of semiconductor device manufacturing equipment has also increased.

半導体デバイスの製造装置が大型化すると、装置内部のメンテナンスを行う場合、作業者が装置内に進入して作業を行った方が効率的である場合がある。作業者が装置内に進入して作業を行う場合、作業者の安全を確保するために、装置内部の酸素濃度が所定の値以上となった場合に、装置内部へ進入するための扉が解錠される技術が知られている。 When a semiconductor device manufacturing device becomes large in size, it may be more efficient for an operator to enter the device and perform the work when performing maintenance inside the device. When an operator enters the device and performs work, the door for entering the device is opened when the oxygen concentration inside the device exceeds a predetermined value in order to ensure the safety of the worker. The technique of locking is known.

特開２００９－１９４３５８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-194358

半導体デバイスの製造装置では、作業者が装置内部に進入することができるが、作業中の作業者は、装置内への進入口から見える場合が多い。そのため、装置内に作業者が残っていることに気付かずに、進入口の扉が閉じられてしまうことは少ない。ところで、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板等を製造する装置は、半導体デバイスを製造する装置よりも大型である。また、近年、ＦＰＤのサイズも大型化する傾向にあり、ＦＰＤの製造装置も大型化する傾向にある。そのため、ＦＰＤの製造装置の内部で作業している作業者は、装置内への進入口から見えない場合がある。そのため、装置内に作業者が残っていることに気付かずに、進入口の扉が閉じられてしまうおそれがある。従って、ＦＰＤの製造装置のように大型の装置では、より一層の安全対策が求められる。 In a semiconductor device manufacturing device, a worker can enter the inside of the device, but the worker who is working is often seen from the entrance to the device. Therefore, it is unlikely that the entrance door will be closed without noticing that the worker remains in the device. By the way, an apparatus for manufacturing a flat panel display (FPD) substrate or the like is larger than an apparatus for manufacturing a semiconductor device. Further, in recent years, the size of the FPD has tended to increase, and the FPD manufacturing apparatus has also tended to increase in size. Therefore, a worker working inside the FPD manufacturing device may not be able to see from the entrance to the device. Therefore, there is a possibility that the entrance door may be closed without noticing that the worker remains in the device. Therefore, in a large-sized device such as an FPD manufacturing device, further safety measures are required.

本発明の一側面は、容器と、蓋と、排気装置と、扉と、施錠部と、制御装置とを備える。容器は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する。蓋は、開口部を開閉する。排気装置は、容器内を排気する。扉は、容器の側面に設けられ、作業者が容器内に進入する際に開けられる。施錠部は、扉を施錠および解錠する。制御装置は、蓋が開放されており、かつ、蓋が開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が開口部に取り付けられていることを条件として扉を解錠するように施錠部を制御する。 One aspect of the present invention includes a container, a lid, an exhaust device, a door, a locking portion, and a control device. The container has a space for accommodating the substrate to be processed and has an opening at the upper part. The lid opens and closes the opening. The exhaust device exhausts the inside of the container. The door is provided on the side of the container and is opened when an operator enters the container. The locking part locks and unlocks the door. The control device controls the lock so that the door is unlocked provided that the lid is open and an intervening member that prevents the lid from closing the opening is attached to the opening.

本発明の種々の側面および実施形態によれば、ＦＰＤ等の製造装置の内部で作業している作業者の安全性をより一層高めることができる。 According to various aspects and embodiments of the present invention, the safety of a worker working inside a manufacturing apparatus such as an FPD can be further enhanced.

図１は、搬送チャンバの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a transfer chamber. 図２は、天板が開放された状態の搬送チャンバの一例を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing an example of a transfer chamber with the top plate open. 図３は、ストッパーが取り付けられる位置付近のフランジの一例を示す拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an example of a flange near the position where the stopper is attached. 図４は、ストッパーが取り付けられた状態のフランジの一例を示す拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing an example of a flange with a stopper attached. 図５は、扉付近の筐体の一例を示す拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view showing an example of a housing near the door. 図６は、ロック部および突出部の詳細な一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a detailed example of a lock portion and a protruding portion. 図７は、扉のレバーがロックされた状態の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of a state in which the lever of the door is locked. 図８は、扉のレバーがロックされた状態の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of a state in which the lever of the door is locked. 図９は、搬送チャンバの外側に面する側の扉の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of a door on the side facing the outside of the transfer chamber. 図１０は、搬送チャンバの内側に面する側の扉の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of a door on the side facing the inside of the transfer chamber. 図１１は、扉の一例を示す分解斜視図である。FIG. 11 is an exploded perspective view showing an example of the door. 図１２は、搬送チャンバ内に作業者が進入する際の扉の解錠処理の一例を示すフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart showing an example of a door unlocking process when an operator enters the transfer chamber. 図１３は、搬送チャンバ内から作業者が退出する際の扉の施錠処理の一例を示すフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart showing an example of a door locking process when an operator exits from the transfer chamber. 図１４は、制御装置のハードウェアの一例を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing an example of hardware of the control device.

開示する真空チャンバは、容器と、第１の蓋と、排気装置と、扉と、施錠部と、制御装置とを備える。容器は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に第１の開口部を有する。第１の蓋は、第１の開口部を開閉する。排気装置は、容器内を排気する。扉は、容器の側面に設けられ、作業者が容器内に進入する際に開けられる。施錠部は、扉を施錠および解錠する。制御装置は、第１の蓋が開放されており、かつ、第１の蓋が第１の開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が第１の開口部に取り付けられていることを条件として扉を解錠するように施錠部を制御する。 The disclosed vacuum chamber comprises a container, a first lid, an exhaust device, a door, a locking portion, and a control device. The container has a space for accommodating the substrate to be processed and has a first opening at the upper part. The first lid opens and closes the first opening. The exhaust device exhausts the inside of the container. The door is provided on the side of the container and is opened when an operator enters the container. The locking part locks and unlocks the door. The control device opens the door on condition that the first lid is open and an intervening member that prevents the first lid from closing the first opening is attached to the first opening. The lock unit is controlled so as to unlock.

また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、扉は、容器の側面に２個以上設けられていてもよい。 Further, in one embodiment of the disclosed vacuum chamber, two or more doors may be provided on the side surface of the container.

また、開示する真空チャンバは、開閉検出部と、全開検出部と、警報部とをさらに備えてもよい。開閉検出部は、それぞれの扉の開閉を検出する。全開検出部は、それぞれの扉の全開状態を検出する。警報部は、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発する。制御装置は、開閉検出部によって少なくともいずれかの扉の開放が検出された場合に、全ての扉の全開状態が検出されるまで、警報を発するように警報部を制御してもよい。 Further, the disclosed vacuum chamber may further include an open / close detection unit, a fully open detection unit, and an alarm unit. The open / close detection unit detects the open / close of each door. The fully open detection unit detects the fully open state of each door. The alarm unit issues an alarm using at least one of sound and light. The control device may control the alarm unit to issue an alarm when at least one of the doors is detected to be open by the open / close detection unit until the fully open state of all the doors is detected.

また、開示する真空チャンバは、１つの実施形態において、介在部材の取り外しを禁止する禁止部をさらに備えてもよく、制御装置は、開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、介在部材の取り外しを禁止するように禁止部を制御してもよい。 Further, the disclosed vacuum chamber may further include a forbidden portion that prohibits the removal of the intervening member in one embodiment, and the control device has detected the opening of at least one of the doors by the open / close detection unit . In some cases, the prohibition unit may be controlled so as to prohibit the removal of the intervening member.

また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、制御装置は、全ての扉が閉じられた場合に、介在部材の取り外しの禁止を解除するように禁止部を制御してもよい。 Further, in one embodiment of the disclosed vacuum chamber, the control device may control the prohibition unit so as to lift the prohibition on the removal of the intervening member when all the doors are closed.

また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、制御装置は、介在部材が第１の開口部から取り外されており、かつ、第１の蓋が閉じられていることを条件として扉を施錠するように施錠部を制御してもよい。 Also, in one embodiment of the disclosed vacuum chamber, the control device locks the door provided that the intervening member is removed from the first opening and the first lid is closed. The locking unit may be controlled as such.

また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、扉は、第２の開口部を有する枠部材と、枠部材の第２の開口部を塞ぐ第２の蓋と、第２の蓋を枠部材に固定する固定部材とを有していてもよく、固定部材は、扉が閉じられた状態において容器の内側に面する側からの作業者による手動操作により、枠部材への第２の蓋の固定を解除してもよい。 Also, in one embodiment of the vacuum chamber disclosed, the door has a frame member having a second opening, a second lid closing the second opening of the frame member, and a second lid frame member. The fixing member may have a fixing member to be fixed to the frame member by a manual operation by an operator from the side facing the inside of the container with the door closed. You may release the fixation.

また、開示する真空チャンバの扉の施錠方法は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する容器と、開口部を開閉する蓋と、容器内を排気する排気装置と、容器の側面に２個以上設けられ、作業者が容器内に進入するための複数の扉とを備える真空チャンバの扉の施錠方法であって、蓋が開口部を開放しており、かつ、蓋が開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が開口部に取り付けられていることを条件として、それぞれの扉を解錠するステップと、少なくともいずれかの扉が開放された場合に、全ての扉が全開状態になるまで、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発するステップと、少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、介在部材の取り外しを禁止する禁止部を制御して介在部材の取り外しを禁止するステップと、全ての扉が閉じられた場合に、禁止部を制御して介在部材の取り外しの禁止を解除するステップと、介在部材が開口部から取り外されており、かつ、蓋が閉じられていることを条件として扉を施錠するステップとを含む。 Further, the disclosed method for locking the door of the vacuum chamber includes a container having a space for accommodating the substrate to be processed and having an opening at the upper part, a lid for opening and closing the opening, and an exhaust device for exhausting the inside of the container. A method of locking a vacuum chamber door, which is provided on the side surface of a container and includes a plurality of doors for an operator to enter the container. The lid opens an opening and the lid is closed. All doors are fully opened with the step of unlocking each door and when at least one of the doors is opened, provided that an intervening member is attached to the opening to prevent it from closing the opening. By controlling the step of issuing an alarm using at least one of sound and light until the state is reached, and the prohibition portion that prohibits the removal of the intervening member when at least one of the doors is opened , the intervening member A step that prohibits removal, a step that controls the prohibited part to release the prohibition of removal of the intervening member when all the doors are closed, and a step that the intervening member is removed from the opening and the lid is closed. Includes the step of locking the door provided it is closed.

以下に、開示する真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の本実施形態により、開示される真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the disclosed vacuum chamber and the method of locking the door of the vacuum chamber will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments do not limit the disclosed vacuum chamber and the method of locking the door of the vacuum chamber.

［搬送チャンバ１０の構成］
図１は、搬送チャンバ１０の一例を示す斜視図である。図２は、天板が開放された状態の搬送チャンバ１０の一例を示す分解斜視図である。本実施形態における搬送チャンバ１０は、例えば、被処理基板であるＦＰＤ用ガラス基板に対してエッチング等の処理を行なうためのマルチチャンバータイプの真空処理システムに用いられる。搬送チャンバ１０は、真空チャンバの一例である。ＦＰＤとしては、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence；ＥＬ）ディスプレイ、蛍光表示管（Vacuum Fluorescent Display；ＶＦＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等が含まれる。 [Structure of transfer chamber 10]
FIG. 1 is a perspective view showing an example of the transfer chamber 10. FIG. 2 is an exploded perspective view showing an example of the transfer chamber 10 in a state where the top plate is open. The transfer chamber 10 in the present embodiment is used, for example, in a multi-chamber type vacuum processing system for performing processing such as etching on a glass substrate for FPD which is a substrate to be processed. The transfer chamber 10 is an example of a vacuum chamber. Examples of the FPD include a liquid crystal display (LCD), a light emitting diode (LED) display, an electro luminescence (EL) display, a vacuum fluorescent display (VFD), a plasma display panel (PDP), and the like. Is done.

本実施形態における搬送チャンバ１０は、例えば図１および図２に示すように、内部に被処理基板を搬送するための搬送空間を有する筐体１１と、筐体１１の上部の上部開口１７に着脱自在に接合される天板１３とを備える。天板１３は、第１の蓋の一例である。なお、筐体１１内には、ロボットアーム等の搬送装置が設けられる。 As shown in FIGS. 1 and 2, for example, the transfer chamber 10 in the present embodiment is attached to and detached from the housing 11 having a transfer space for transporting the substrate to be processed inside and the upper opening 17 at the upper part of the housing 11. A top plate 13 that is freely joined is provided. The top plate 13 is an example of the first lid. A transfer device such as a robot arm is provided in the housing 11.

筐体１１は、例えばアルミニウム、ステンレス、鉄鋼材料などの金属で形成されている。筐体１１は、搬送チャンバ１０の底部をなす底板１４と、底板１４に対して垂直に形成された一対の側壁１５ａおよび１５ｂと、底板１４に対して垂直に形成された一対の側壁１６ａおよび１６ｂとを備える。 The housing 11 is made of a metal such as aluminum, stainless steel, or a steel material. The housing 11 has a bottom plate 14 forming the bottom of the transport chamber 10, a pair of side walls 15a and 15b formed perpendicular to the bottom plate 14, and a pair of side walls 16a and 16b formed perpendicular to the bottom plate 14. And.

側壁１６ａには、搬送用開口２０ａが形成されている。側壁１６ａには、例えばロードロック室が接合され、搬送用開口２０ａを介して、ロードロック室から未処理の被処理基板が搬送チャンバ１０内に搬入され、筐体１１内に設置された搬送装置に受け渡される。また、処理後の被処理基板が、搬送装置によって搬送チャンバ１０内から搬送用開口２０ａを介してロードロック室へ搬出される。 A transport opening 20a is formed in the side wall 16a. For example, a load lock chamber is joined to the side wall 16a, and the untreated substrate is carried into the transport chamber 10 from the load lock chamber through the transport opening 20a, and the transport device is installed in the housing 11. Handed over to. Further, the substrate to be processed is carried out from the inside of the transfer chamber 10 to the load lock chamber through the transfer opening 20a by the transfer device.

また、筐体１１の側壁１６ａに対向する側の側壁１６ｂには、搬送用開口２０ｂが形成されている。側壁１６ｂには、例えばプロセスチャンバが接合され、ロードロック室から搬入された未処理の被処理基板が、搬送装置によって搬送用開口２０ｂを介してプロセスチャンバ内に搬入され、プロセスチャンバによって被処理基板にエッチング等の所定の処理が施される。また、プロセスチャンバ内で処理が施された被処理基板は、搬送装置によって搬送用開口２０ｂを介して搬送チャンバ１０内に搬出される。 Further, a transport opening 20b is formed in the side wall 16b on the side facing the side wall 16a of the housing 11. For example, a process chamber is joined to the side wall 16b, and the unprocessed substrate carried in from the load lock chamber is carried into the process chamber through the transfer opening 20b by the transfer device, and the processed substrate is carried in by the process chamber. Is subjected to a predetermined treatment such as etching. Further, the substrate to be processed that has been processed in the process chamber is carried out into the transfer chamber 10 through the transfer opening 20b by the transfer device.

筐体１１の上端付近には、例えば図２に示すように、筐体１１のフランジ２２が設けられている。天板１３が筐体１１の上部開口１７を閉じる際には、フランジ２２によって天板１３が支持される。なお、フランジ２２と天板１３との間には、Ｏリングなどのシール部材が配置されることが好ましい。これにより、搬送チャンバ１０内の気密性を高めることができる。フランジ２２には、天板１３によって上部開口１７が閉じられていることを検出するセンサ３０が設けられている。本実施形態において、センサ３０は、例えば非接触の近接センサである。なお、センサ３０は、接触センサが用いられてもかまわない。センサ３０による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。 A flange 22 of the housing 11 is provided near the upper end of the housing 11, for example, as shown in FIG. When the top plate 13 closes the upper opening 17 of the housing 11, the top plate 13 is supported by the flange 22. It is preferable that a sealing member such as an O-ring is arranged between the flange 22 and the top plate 13. Thereby, the airtightness in the transfer chamber 10 can be improved. The flange 22 is provided with a sensor 30 for detecting that the upper opening 17 is closed by the top plate 13. In this embodiment, the sensor 30 is, for example, a non-contact proximity sensor. A contact sensor may be used as the sensor 30. The detection result by the sensor 30 is output to the control device 51 described later.

筐体１１の底板１４には、搬送装置を設置するための下部開口２３と、排気口２４とが形成されている。排気口２４には、配管４０を介して排気装置４１が接続される。排気装置４１により、搬送チャンバ１０内の搬送空間を所定の真空度まで減圧することができる。 The bottom plate 14 of the housing 11 is formed with a lower opening 23 for installing a transport device and an exhaust port 24. An exhaust device 41 is connected to the exhaust port 24 via a pipe 40. The exhaust device 41 can reduce the pressure of the transfer space in the transfer chamber 10 to a predetermined degree of vacuum.

また、筐体１１の側壁１５ａおよび１５ｂには、それぞれ搬送用開口２１が形成されている。筐体１１の側壁１５ａおよび１５ｂのそれぞれの面には、例えばプロセスチャンバが接合される。そして、ロードロック室から搬入された未処理の被処理基板が、搬送装置によって搬送用開口２１を介してプロセスチャンバ内に搬入され、プロセスチャンバによって被処理基板にエッチング等の所定の処理が施される。また、プロセスチャンバ内で処理が施された被処理基板は、搬送装置によって搬送用開口２１を介して搬送チャンバ１０内に搬出される。 Further, transport openings 21 are formed on the side walls 15a and 15b of the housing 11, respectively. For example, a process chamber is joined to each surface of the side walls 15a and 15b of the housing 11. Then, the unprocessed substrate carried in from the load lock chamber is carried into the process chamber through the transfer opening 21 by the transfer device, and the process chamber performs a predetermined process such as etching on the processed substrate. To. Further, the substrate to be processed that has been processed in the process chamber is carried out into the transfer chamber 10 through the transfer opening 21 by the transfer device.

また、筐体１１の２カ所の側壁１２には、搬送チャンバ１０内のメンテナンス等を行うために作業者が搬送チャンバ１０内に進入するためのメンテナンス用開口３１が設けられている。メンテナンス用開口３１には、メンテナンス用開口３１を開閉するための扉３２が設けられている。メンテナンス用開口３１が扉３２によって閉じられることにより、搬送チャンバ１０内は気密に保たれる。なお、本実施形態において、メンテナンス用開口３１および扉３２は、筐体１１のそれぞれの側壁１２に設けられるが、他の形態として、メンテナンス用開口３１および扉３２は、筐体１１の他の側壁に設けられてもよい。 Further, the two side walls 12 of the housing 11 are provided with maintenance openings 31 for an operator to enter the transport chamber 10 in order to perform maintenance or the like in the transport chamber 10. The maintenance opening 31 is provided with a door 32 for opening and closing the maintenance opening 31. By closing the maintenance opening 31 by the door 32, the inside of the transport chamber 10 is kept airtight. In the present embodiment, the maintenance opening 31 and the door 32 are provided on the respective side walls 12 of the housing 11, but as another embodiment, the maintenance opening 31 and the door 32 are provided on the other side walls of the housing 11. It may be provided in.

搬送チャンバ１０内に作業者が進入する場合には、外気を取り込むために、例えば図２に示すように、クレーン等により天板１３が上方に持ち上げられ、筐体１１の上部開口１７が開放される。そして、筐体１１の上部開口１７のフランジ２２にストッパー３３が取り付けられる。ストッパー３３がフランジ２２に取り付けられることにより、天板１３が誤って上部開口１７に下された場合であっても、筐体１１と天板１３との間には隙間が形成される。これにより、搬送チャンバ１０内の作業者の窒息が防止される。なお、ストッパー３３は、取り付けられていることが明示的にわかるように、表面が蛍光色等の目立つ色や柄等で着色され、ある程度の大きさがあることが好ましい。ストッパー３３は、介在部材の一例である。 When an operator enters the transfer chamber 10, the top plate 13 is lifted upward by a crane or the like, for example, as shown in FIG. 2, in order to take in outside air, and the upper opening 17 of the housing 11 is opened. To. Then, the stopper 33 is attached to the flange 22 of the upper opening 17 of the housing 11. By attaching the stopper 33 to the flange 22, a gap is formed between the housing 11 and the top plate 13 even when the top plate 13 is accidentally lowered to the upper opening 17. This prevents the operator in the transfer chamber 10 from suffocating. It is preferable that the surface of the stopper 33 is colored with a conspicuous color such as a fluorescent color or a pattern, and has a certain size so that it can be clearly seen that the stopper 33 is attached. The stopper 33 is an example of an intervening member.

図３は、ストッパー３３が取り付けられる位置付近のフランジ２２の一例を示す拡大断面図である。図４は、ストッパー３３が取り付けられた状態のフランジ２２の一例を示す拡大断面図である。フランジ２２には、例えば図３に示すように、ストッパー３３を取り付けるための凹部２２０が形成されている。凹部２２０の底部には、凹部２２０内にストッパー３３が取り付けられているか否かを検出するためのセンサ６０が設けられている。また、凹部２２０の側壁には、ロック片６２を移動させることにより、凹部２２０内に取り付けられたストッパー３３をロックするアクチュエータ６１が設けられている。 FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an example of the flange 22 near the position where the stopper 33 is attached. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing an example of the flange 22 with the stopper 33 attached. As shown in FIG. 3, for example, the flange 22 is formed with a recess 220 for attaching the stopper 33. At the bottom of the recess 220, a sensor 60 for detecting whether or not the stopper 33 is attached in the recess 220 is provided. Further, an actuator 61 is provided on the side wall of the recess 220 to lock the stopper 33 mounted in the recess 220 by moving the lock piece 62.

ストッパー３３の側面には、ロック片６２を受け入れるための凹部３３０が形成されている。例えば図４に示すように、凹部２２０内にストッパー３３が取り付けられた場合、センサ６０によってストッパー３３が取り付けられたことが検出される。センサ６０による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。そして、アクチュエータ６１は、ロック片６２をストッパー３３に向かって移動させる。これにより、例えば図４に示すように、ロック片６２がストッパー３３の凹部３３０内に挿入され、ストッパー３３の取り外しが禁止される。アクチュエータ６１によるロック片６２の移動は、後述する制御装置５１によって制御される。アクチュエータ６１およびロック片６２は、禁止部の一例である。 A recess 330 for receiving the lock piece 62 is formed on the side surface of the stopper 33. For example, as shown in FIG. 4, when the stopper 33 is installed in the recess 220, the sensor 60 detects that the stopper 33 is installed. The detection result by the sensor 60 is output to the control device 51 described later. Then, the actuator 61 moves the lock piece 62 toward the stopper 33. As a result, for example, as shown in FIG. 4, the lock piece 62 is inserted into the recess 330 of the stopper 33, and the removal of the stopper 33 is prohibited. The movement of the lock piece 62 by the actuator 61 is controlled by the control device 51 described later. The actuator 61 and the lock piece 62 are examples of prohibited portions.

また、本実施形態において、搬送チャンバ１０の筐体１１の２カ所の側壁１２には、例えば図２に示すように扉３２が１つずつ設けられている。このように、搬送チャンバ１０に扉３２が複数設けられることにより、１つの扉３２が開かなくなった場合でも、搬送チャンバ１０内の作業者は、搬送チャンバ１０内に閉じ込められることなく、他の扉３２から容易に脱出することができる。 Further, in the present embodiment, one door 32 is provided on each of the two side walls 12 of the housing 11 of the transport chamber 10, for example, as shown in FIG. As described above, by providing a plurality of doors 32 in the transfer chamber 10, even if one door 32 cannot be opened, the operator in the transfer chamber 10 is not confined in the transfer chamber 10 and the other doors are not confined. You can easily escape from 32.

なお、本実施形態では、搬送チャンバ１０に扉３２が２つ設けられているが、扉３２は３つ以上設けられていてもよい。また、扉３２のそれぞれは、他の扉３２が設けられた位置から極力離れた位置、例えば、搬送チャンバ１０の側壁の中で対向する側壁に設けられることが好ましい。これにより、搬送チャンバ１０内の作業者が、１つの扉３２までたどり着くことが困難な状況であっても、他の扉３２から容易かつ迅速に搬送チャンバ１０の外部に脱出することができる。 In the present embodiment, the transfer chamber 10 is provided with two doors 32, but three or more doors 32 may be provided. Further, it is preferable that each of the doors 32 is provided at a position as far as possible from the position where the other door 32 is provided, for example, on the side wall facing the side wall of the transport chamber 10. As a result, even in a situation where it is difficult for the operator in the transfer chamber 10 to reach one door 32, the operator can easily and quickly escape from the other door 32 to the outside of the transfer chamber 10.

図５は、扉３２付近の筐体１１の一例を示す拡大図である。扉３２および扉３２が設けられた筐体１１の側壁１２には、扉３２の開閉を検出するためのセンサ１２０および１２１が設けられている。センサ１２０および１２１による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。センサ１２０および１２１は、開閉検出部の一例である。また、扉３２が設けられた筐体１１の側壁１２には、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４が設けられている。開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４の役割については後述する。なお、本実施形態において、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、筐体１１の側壁１２に設けられるが、他の形態として、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、筐体１１の他の側壁に設けられてもよい。 FIG. 5 is an enlarged view showing an example of the housing 11 near the door 32. Sensors 120 and 121 for detecting the opening and closing of the door 32 are provided on the side wall 12 of the housing 11 provided with the door 32 and the door 32. The detection results by the sensors 120 and 121 are output to the control device 51 described later. Sensors 120 and 121 are examples of open / close detection units. Further, a start switch 123 and a reset switch 124 are provided on the side wall 12 of the housing 11 provided with the door 32. The roles of the start switch 123 and the reset switch 124 will be described later. In the present embodiment, the start switch 123 and the reset switch 124 are provided on the side wall 12 of the housing 11, but as another embodiment, the start switch 123 and the reset switch 124 are provided on the other side wall of the housing 11. May be reset.

また、扉３２が設けられ筐体１１の側壁１２には、扉３２を施錠および解錠するための電磁ロック１２２が設けられている。電磁ロック１２２による扉３２の施錠および解錠は、後述する制御装置５１によって制御される。電磁ロック１２２は、施錠部の一例である。 Further, a door 32 is provided, and an electromagnetic lock 122 for locking and unlocking the door 32 is provided on the side wall 12 of the housing 11. The locking and unlocking of the door 32 by the electromagnetic lock 122 is controlled by the control device 51 described later. The electromagnetic lock 122 is an example of a locking portion.

扉３２には、作業者が扉３２を開閉する際に操作するレバー３４が設けられている。レバー３４には、開口３５が形成されている。電磁ロック１２２が解錠状態になっている場合、作業者がレバー３４を図５の矢印Ａの方向に回転させることにより、扉３２が矢印Ｂ方向に開く。扉３２の近傍の筐体１１の側壁１８には、ロック部１１０および突出部１１１が設けられている。 The door 32 is provided with a lever 34 that is operated by an operator when opening and closing the door 32. An opening 35 is formed in the lever 34. When the electromagnetic lock 122 is in the unlocked state, the operator rotates the lever 34 in the direction of arrow A in FIG. 5, and the door 32 opens in the direction of arrow B. A lock portion 110 and a protruding portion 111 are provided on the side wall 18 of the housing 11 in the vicinity of the door 32.

図６は、ロック部１１０および突出部１１１の詳細な一例を示す図である。ロック部１１０は、互いに離れるように移動可能であり、バネ等により互いに接触する方向に付勢された２つのローラー１１２ａおよび１１２ｂを有する。扉３２が開き、扉３２のレバー３４がローラー１１２ａと１１２ｂとの間に押し込まれることにより、ローラー１１２ａおよび１１２ｂが互いに離れるように移動する。 FIG. 6 is a diagram showing a detailed example of the lock portion 110 and the protruding portion 111. The lock portion 110 is movable so as to be separated from each other, and has two rollers 112a and 112b urged in a direction in which they come into contact with each other by a spring or the like. The door 32 opens and the lever 34 of the door 32 is pushed between the rollers 112a and 112b so that the rollers 112a and 112b move away from each other.

そして、さらに扉３２のレバー３４がローラー１１２ａと１１２ｂとの間に押し込まれることにより、レバー３４がローラー１１２ａおよび１１２ｂと筐体１１の側壁１８との間に達する。このとき、筐体１１の側壁１８に設けられた突出部１１１が、レバー３４の開口３５を貫通する。そして、例えば図７に示すように、バネ等の付勢力によりローラー１１２ａと１１２ｂとが互いに再び接触する。これにより、レバー３４がロックされ、扉３２の全開状態が維持される。ロック部１１０内には、図示しないセンサが設けられており、レバー３４のロック状態が検出される。ロック部１１０内のセンサによる検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。ロック部１１０内のセンサは、全開検出部の一例である。なお、レバー３４または扉３２を筐体１１の側壁１８から離れるように引っ張ることにより、ロック部１１０によるレバー３４のロック状態は容易に解除される。 Further, the lever 34 of the door 32 is pushed between the rollers 112a and 112b, so that the lever 34 reaches between the rollers 112a and 112b and the side wall 18 of the housing 11. At this time, the protruding portion 111 provided on the side wall 18 of the housing 11 penetrates the opening 35 of the lever 34. Then, for example, as shown in FIG. 7, the rollers 112a and 112b come into contact with each other again due to the urging force of a spring or the like. As a result, the lever 34 is locked and the door 32 is maintained in the fully open state. A sensor (not shown) is provided in the lock portion 110, and the locked state of the lever 34 is detected. The detection result by the sensor in the lock unit 110 is output to the control device 51 described later. The sensor in the lock unit 110 is an example of the fully open detection unit. By pulling the lever 34 or the door 32 away from the side wall 18 of the housing 11, the locked state of the lever 34 by the lock portion 110 is easily released.

突出部１１１には、例えば図８に示すように、開口が形成されている。ロック部１１０によってレバー３４がロックされている状態で、突出部１１１の開口にパドロックハスプ１１３が取り付けられる。パドロックハスプ１１３には、搬送チャンバ１０内で作業を行う作業者や、作業者を監督する監督者等がそれぞれ管理するカギに対応する南京錠が掛けられる。これにより、扉３２の全開状態が不用意に解除されることが防止される。 An opening is formed in the protrusion 111, for example, as shown in FIG. With the lever 34 locked by the lock portion 110, the padlock hasp 113 is attached to the opening of the protrusion 111. The padlock hasp 113 is padlocked with a padlock corresponding to a key managed by a worker who works in the transfer chamber 10, a supervisor who supervises the worker, and the like. This prevents the door 32 from being inadvertently released from the fully opened state.

［扉３２の構造］
次に、扉３２の構造について説明する。図９は、搬送チャンバ１０の外側に面する側の扉３２の一例を示す図である。図１０は、搬送チャンバ１０の内側に面する側の扉３２の一例を示す図である。図１１は、扉３２の一例を示す分解斜視図である。 [Structure of door 32]
Next, the structure of the door 32 will be described. FIG. 9 is a diagram showing an example of the door 32 on the side facing the outside of the transfer chamber 10. FIG. 10 is a diagram showing an example of a door 32 on the side facing the inside of the transfer chamber 10. FIG. 11 is an exploded perspective view showing an example of the door 32.

扉３２は、枠部材３２０、蓋３２１、および固定部材３２３を有する。枠部材３２０には、開口３２２が形成されている。蓋３２１の面積は、開口３２２の面積よりも大きい。蓋３２１は、第２の蓋の一例である。また、枠部材３２０の側面には、前述の電磁ロック１２２を受け入れるための凹部３２５が形成されている。 The door 32 has a frame member 320, a lid 321 and a fixing member 323. The frame member 320 is formed with an opening 322. The area of the lid 321 is larger than the area of the opening 322. The lid 321 is an example of a second lid. Further, a recess 325 for receiving the above-mentioned electromagnetic lock 122 is formed on the side surface of the frame member 320.

蓋３２１には、例えば図１１に示すように、略中央にネジ山が形成された凸部３２６が設けられている。凸部３２６は、開口３２２を介して、固定部材３２３の略中央に形成された穴３２７と、ハンドル３２４の略中央に形成された穴３２９とを貫通する。そして、ハンドル３２４を貫通した凸部３２６にナット３２８が取り付けられる。これにより、固定部材３２３によって蓋３２１が枠部材３２０に固定され、例えば図９および図１０に示した扉３２が構成される。なお、枠部材３２０と蓋３２１との間には、Ｏリングなどのシール部材が配置されることが好ましい。これにより、枠部材３２０と蓋３２１との間の気密性を高めることができる。 As shown in FIG. 11, for example, the lid 321 is provided with a convex portion 326 having a thread formed substantially in the center. The convex portion 326 penetrates the hole 327 formed in the substantially center of the fixing member 323 and the hole 329 formed in the substantially center of the handle 324 through the opening 322. Then, the nut 328 is attached to the convex portion 326 penetrating the handle 324. As a result, the lid 321 is fixed to the frame member 320 by the fixing member 323, and for example, the door 32 shown in FIGS. 9 and 10 is configured. It is preferable that a seal member such as an O-ring is arranged between the frame member 320 and the lid 321. This makes it possible to improve the airtightness between the frame member 320 and the lid 321.

扉３２において、ハンドル３２４を回転させると、ナット３２８が脱落し、固定部材３２３による蓋３２１と枠部材３２０との固定が解除される。これにより、蓋３２１と固定部材３２３とを分離することが可能となり、枠部材３２０と固定部材３２３との隙間から蓋３２１を搬送チャンバ１０の外部へ押すことにより、凸部３２６が固定部材３２３の穴３２７から抜け、蓋３２１が枠部材３２０から脱落する。これにより、枠部材３２０の開口３２２が開放される。 When the handle 324 is rotated at the door 32, the nut 328 falls off, and the fixing of the lid 321 and the frame member 320 by the fixing member 323 is released. This makes it possible to separate the lid 321 and the fixing member 323, and by pushing the lid 321 to the outside of the transport chamber 10 through the gap between the frame member 320 and the fixing member 323, the convex portion 326 of the fixing member 323 It comes out of the hole 327 and the lid 321 falls off from the frame member 320. As a result, the opening 322 of the frame member 320 is opened.

扉３２が閉じられた状態で、ハンドル３２４は、搬送チャンバ１０の内側に位置する。ハンドル３２４は、ツールを用いなくても、人の手で容易に回転させることができる。搬送チャンバ１０の内側からハンドル３２４を回転させることにより、搬送チャンバ１０内の作業者は、扉３２を開けることなく扉３２を通過することができるようになる。そのため、搬送チャンバ１０内の作業者が、何らかの原因で搬送チャンバ１０内に閉じ込められた場合であっても、搬送チャンバ１０内の作業者は、容易に搬送チャンバ１０内から脱出することができる。 With the door 32 closed, the handle 324 is located inside the transfer chamber 10. The handle 324 can be easily rotated by human hands without using a tool. By rotating the handle 324 from the inside of the transfer chamber 10, the operator in the transfer chamber 10 can pass through the door 32 without opening the door 32. Therefore, even if the worker in the transfer chamber 10 is confined in the transfer chamber 10 for some reason, the worker in the transfer chamber 10 can easily escape from the transfer chamber 10.

図１に戻って説明を続ける。搬送チャンバ１０には、ケーブル５０を介して制御装置５１が接続されている。制御装置５１は、搬送チャンバ１０に設けられた各種センサからの信号をケーブル５０を介して受信すると共に、搬送チャンバ１０内の各部をケーブル５０を介して制御する。 The explanation will be continued by returning to FIG. A control device 51 is connected to the transfer chamber 10 via a cable 50. The control device 51 receives signals from various sensors provided in the transfer chamber 10 via the cable 50, and controls each part in the transfer chamber 10 via the cable 50.

また、制御装置５１には、スピーカ５２および発光装置５３が接続されている。制御装置５１は、例えば、いずれかの扉３２が開放された場合に、全ての扉３２が全開状態となるか、全ての扉３２が閉じられるまで、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を発生させる。扉３２が開放されているか否かは、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果で判定される。また、扉３２が全開状態であるか否かは、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０が扉３２のレバー３４をロックしているか否かで判定される。スピーカ５２から発せられる音は、ブザー音やメロディ、注意を喚起する音声等である。また、スピーカ５２から発せられる音の音量は、例えば８０ｄＢ以上であることが好ましい。また、発光装置５３は、光の点滅や異なる色の光の切り替え等により警報を発生させる。スピーカ５２および発光装置５３は、警報部の一例である。 Further, a speaker 52 and a light emitting device 53 are connected to the control device 51. The control device 51 receives sound from the speaker 52 and a light emitting device 53 until, for example, when any of the doors 32 is opened, all the doors 32 are fully opened or all the doors 32 are closed. Raise an alarm with light, or both. Whether or not the door 32 is open is determined by the detection results output from the sensors 120 and 121 provided on the respective doors 32. Further, whether or not the door 32 is in the fully open state is determined by whether or not the lock portion 110 provided in the vicinity of each door 32 locks the lever 34 of the door 32. The sound emitted from the speaker 52 is a buzzer sound, a melody, a voice calling attention, or the like. Further, the volume of the sound emitted from the speaker 52 is preferably 80 dB or more, for example. Further, the light emitting device 53 generates an alarm by blinking light, switching light of a different color, or the like. The speaker 52 and the light emitting device 53 are examples of the alarm unit.

［搬送チャンバ１０の動作］
図１２は、搬送チャンバ１０内に作業者が進入する際の扉３２の解錠処理の一例を示すフローチャートである。図１２に示す各処理は、主として制御装置５１によって行われる。なお、搬送チャンバ１０内に作業者が進入する前に、作業者の手動操作により、搬送装置への電力供給を制御するブレーカーの遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給するバルブの閉塞等が行われる。そして、作業者は、扉３２付近に設けられた開始スイッチ１２３を押下する。これにより、制御装置５１は、図１２および後述する図１３に示す動作を開始する。 [Operation of transfer chamber 10]
FIG. 12 is a flowchart showing an example of an unlocking process of the door 32 when an operator enters the transfer chamber 10. Each process shown in FIG. 12 is mainly performed by the control device 51. Before the operator enters the transfer chamber 10, the breaker that controls the power supply to the transfer device is cut off by the manual operation of the operator, the valve that supplies gas into the transfer chamber 10 is closed, and the like. Is done. Then, the operator presses the start switch 123 provided near the door 32. As a result, the control device 51 starts the operation shown in FIG. 12 and FIG. 13, which will be described later.

まず、制御装置５１は、開始スイッチ１２３から出力される信号を監視して、開始スイッチ１２３が押下されたか否かを判定する（Ｓ１００）。開始スイッチ１２３が押下された場合（Ｓ１００：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、エネルギー供給の停止制御を実行する（Ｓ１０１）。ステップＳ１０１では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が行われる。これらの処理は、作業者の手動操作によっても行われるが、ステップＳ１０１において、電気的な制御によっても、搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等を再度行う。これにより、搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等が確実に実行される。 First, the control device 51 monitors the signal output from the start switch 123 and determines whether or not the start switch 123 is pressed (S100). When the start switch 123 is pressed (S100: Yes), the control device 51 executes energy supply stop control (S101). In step S101, the control device 51 cuts off the power supply to the transfer device, closes the solenoid valve that supplies gas into the transfer chamber 10, and the like. These processes are also performed manually by the operator, but in step S101, power is supplied to the transport device, the gas supply valve is closed, and the like are performed again by electrical control. As a result, the power supply to the transport device, the blockage of the gas supply valve, and the like are surely executed.

次に、制御装置５１は、センサ３０から出力された検出結果に基づいて、上部開口１７が開放されているか否かを判定する（Ｓ１０２）。天板１３がクレーン等により上方に持ち上げられ、上部開口１７が開放されると、センサ３０が上部開口１７の開放を検出する。上部開口１７が開放されていると判定した場合（Ｓ１０２：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、センサ６０から出力された検出結果に基づいて、ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられているか否かを判定する（Ｓ１０３）。フランジ２２の凹部２２０内にストッパー３３が差し込まれると、ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられたことがセンサ６０によって検出される。 Next, the control device 51 determines whether or not the upper opening 17 is open based on the detection result output from the sensor 30 (S102). When the top plate 13 is lifted upward by a crane or the like and the upper opening 17 is opened, the sensor 30 detects the opening of the upper opening 17. When it is determined that the upper opening 17 is open (S102: Yes), the control device 51 determines whether or not the stopper 33 is attached to the upper opening 17 based on the detection result output from the sensor 60. (S103). When the stopper 33 is inserted into the recess 220 of the flange 22, the sensor 60 detects that the stopper 33 is attached to the upper opening 17.

ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられている場合（Ｓ１０３：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、各扉３２の電磁ロック１２２を制御して全ての扉３２を解錠する（Ｓ１０４）。このように、上部開口１７が開放されており、かつ、上部開口１７にストッパー３３が取り付けられていることを条件に、扉３２を解錠することで、搬送チャンバ１０内が気密に保たれたまま、作業者が搬送チャンバ１０内に進入してしまうことを防止することができる。 When the stopper 33 is attached to the upper opening 17 (S103: Yes), the control device 51 controls the electromagnetic lock 122 of each door 32 to unlock all the doors 32 (S104). As described above, the inside of the transfer chamber 10 is kept airtight by unlocking the door 32 on the condition that the upper opening 17 is open and the stopper 33 is attached to the upper opening 17. It is possible to prevent the operator from entering the transport chamber 10 as it is.

次に、制御装置５１は、エネルギー供給の停止制御を再度実行する（Ｓ１０５）。ステップＳ１０５では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が再度行われる。搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等は、手動操作およびステップＳ１０１においても既に実行されているが、エネルギー供給の停止の確実性を担保するために、ステップＳ１０５においても制御装置５１によって再度実行される。 Next, the control device 51 re-executes the energy supply stop control (S105). In step S105, the control device 51 cuts off the power supply to the transfer device, closes the solenoid valve that supplies gas into the transfer chamber 10, and the like again. The power supply to the transport device, the blockage of the gas supply valve, and the like have already been performed in the manual operation and step S101, but in order to ensure the certainty of stopping the energy supply, the control device is also performed in step S105. It is executed again by 51.

次に、制御装置５１は、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果を参照して、いずれかの扉３２が開放されたか否かを判定する（Ｓ１０６）。いずれかの扉３２が開放された場合（Ｓ１０６：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、フランジ２２に設けられたアクチュエータ６１を制御して、ロック片６２によりストッパー３３をロックさせる（Ｓ１０７）。これにより、開放された扉３２を介して搬送チャンバ１０内に作業者が進入した後にストッパー３３がフランジ２２から取り外されることが防止される。 Next, the control device 51 refers to the detection results output from the sensors 120 and 121 provided on the respective doors 32, and determines whether or not any of the doors 32 has been opened (S106). When any of the doors 32 is opened (S106: Yes), the control device 51 controls the actuator 61 provided on the flange 22 and locks the stopper 33 by the lock piece 62 (S107). This prevents the stopper 33 from being removed from the flange 22 after the operator has entered the transfer chamber 10 through the opened door 32.

次に、制御装置５１は、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を開始する（Ｓ１０８）。そして、制御装置５１は、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０から出力された検出結果に基づいて、全ての扉３２が全開状態になったか否かを判定する（Ｓ１０９）。全開状態になっていない扉３２が存在する場合（Ｓ１０９：Ｎｏ）、制御装置５１は、警報を継続する。 Next, the control device 51 starts an alarm by the sound from the speaker 52, the light from the light emitting device 53, or both (S108). Then, the control device 51 determines whether or not all the doors 32 are in the fully opened state based on the detection result output from the lock portion 110 provided in the vicinity of each door 32 (S109). When there is a door 32 that is not in the fully opened state (S109: No), the control device 51 continues the alarm.

一方、全ての扉３２が全開状態になった場合（Ｓ１０９：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、警報を停止する（Ｓ１１０）。そして、作業者は、ロックされたレバー３４の開口３５を貫通している突出部１１１に、パドロックハスプ１１３を取り付ける。そして、作業に関係する関係者が、それぞれパドロックハスプ１１３に南京錠を取り付ける。そして、作業者は、搬送チャンバ１０内に進入して作業を開始する。 On the other hand, when all the doors 32 are fully opened (S109: Yes), the control device 51 stops the alarm (S110). Then, the operator attaches the padlock hasp 113 to the protrusion 111 penetrating the opening 35 of the locked lever 34 . Then, each person involved in the work attaches a padlock to the padlock hasp 113. Then, the operator enters the transfer chamber 10 and starts the work.

図１３は、搬送チャンバ１０内から作業者が退出する際の扉３２の施錠処理の一例を示すフローチャートである。図１３に示す各処理は、主として制御装置５１によって行われる。なお、扉３２が施錠される前に、作業の関係者がそれぞれパドロックハスプ１１３に取り付けられている南京錠を外し、突出部１１１からパドロックハスプ１１３を外す。そして、扉３２のレバー３４がロック部１１０から外され、扉３２を閉めることが可能となる。 FIG. 13 is a flowchart showing an example of the locking process of the door 32 when the operator exits from the transfer chamber 10. Each process shown in FIG. 13 is mainly performed by the control device 51. Before the door 32 is locked, each person involved in the work removes the padlock attached to the padlock hasp 113, and removes the padlock hasp 113 from the protrusion 111. Then, the lever 34 of the door 32 is released from the lock portion 110, and the door 32 can be closed.

まず、制御装置５１は、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０から出力された検出結果に基づいて、いずれかの扉３２の全開状態が解除されたか否かを判定する（Ｓ２００）。いずれかの扉３２の全開状態が解除された場合（Ｓ２００：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を開始する（Ｓ２０１）。これにより、搬送チャンバ１０内に残っている他の作業者は、扉３２がもうすぐ閉じられることを知ることができる。 First, the control device 51 determines whether or not the fully opened state of any of the doors 32 has been released based on the detection result output from the lock portion 110 provided in the vicinity of each door 32 (S200). .. When the fully open state of any of the doors 32 is released (S200: Yes), the control device 51 starts an alarm by the sound from the speaker 52, the light from the light emitting device 53, or both (S201). This allows other workers remaining in the transfer chamber 10 to know that the door 32 is about to close.

そして、制御装置５１は、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果を参照して、全ての扉３２が閉じられたか否かを判定する（Ｓ２０２）。全ての扉３２が閉じられていない場合（Ｓ２０２：Ｎｏ）、制御装置５１は、警報を継続する。 Then, the control device 51 refers to the detection results output from the sensors 120 and 121 provided on the respective doors 32, and determines whether or not all the doors 32 are closed (S202). If all the doors 32 are not closed (S202: No), the control device 51 continues the alarm.

全ての扉３２が閉じられた場合（Ｓ２０２：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、警報を停止する（Ｓ２０３）。そして、制御装置５１は、フランジ２２に設けられたアクチュエータ６１を制御して、ロック片６２によるストッパー３３のロックを解除させる（Ｓ２０４）。これにより、ストッパー３３を上部開口１７から取り外すことができるようになる。作業者は、ストッパー３３を上部開口１７から取り外す。 When all the doors 32 are closed (S202: Yes), the control device 51 stops the alarm (S203). Then, the control device 51 controls the actuator 61 provided on the flange 22 to unlock the stopper 33 by the lock piece 62 (S204). This makes it possible to remove the stopper 33 from the upper opening 17. The operator removes the stopper 33 from the upper opening 17.

次に、制御装置５１は、センサ６０から出力された検出結果に基づいて、ストッパー３３が上部開口１７から取り外されているか否かを判定する（Ｓ２０５）。ストッパー３３が上部開口１７から取り外されている場合（Ｓ２０５：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、センサ３０から出力された検出結果に基づいて、上部開口１７が閉じられているか否かを判定する（Ｓ２０６）。ストッパー３３が取り外されている場合、上部開口１７上には障害物がないので、天板１３は、上部開口１７を閉じることができる。天板１３がクレーン等により上部開口１７を塞ぐように上部開口１７上に載置されると、センサ３０によって上部開口１７が閉じられたことが検出される。 Next, the control device 51 determines whether or not the stopper 33 is removed from the upper opening 17 based on the detection result output from the sensor 60 (S205). When the stopper 33 is removed from the upper opening 17 (S205: Yes), the control device 51 determines whether or not the upper opening 17 is closed based on the detection result output from the sensor 30 (S206). ). When the stopper 33 is removed, there is no obstacle on the upper opening 17, so that the top plate 13 can close the upper opening 17. When the top plate 13 is placed on the upper opening 17 by a crane or the like so as to close the upper opening 17, the sensor 30 detects that the upper opening 17 is closed.

上部開口１７が閉じられていると判定した場合（Ｓ２０６：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、各扉３２の電磁ロック１２２を制御して全ての扉３２を施錠する（Ｓ２０７）。これにより、上部開口１７が閉じられた状態で、作業者が搬送チャンバ１０内に進入することを防止することができる。 When it is determined that the upper opening 17 is closed (S206: Yes), the control device 51 controls the electromagnetic lock 122 of each door 32 to lock all the doors 32 (S207). This makes it possible to prevent the operator from entering the transfer chamber 10 with the upper opening 17 closed.

次に、作業者は、扉３２付近に設けられたリセットスイッチ１２４を押下する。制御装置５１は、リセットスイッチ１２４から出力される信号を監視して、リセットスイッチ１２４が押下されたか否かを判定する（Ｓ２０８）。リセットスイッチ１２４が押下された場合（Ｓ２０８：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、エネルギー供給停止制御の解除を実行する（Ｓ２０９）。ステップＳ２０９では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が解除される。そして、作業者の手動操作により、搬送装置への電力供給を制御するブレーカーの遮断解除、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給するバルブの開放等が行われる。これにより、被処理基板のプロセスが再開可能となる。 Next, the operator presses the reset switch 124 provided near the door 32. The control device 51 monitors the signal output from the reset switch 124 and determines whether or not the reset switch 124 is pressed (S208). When the reset switch 124 is pressed (S208: Yes), the control device 51 cancels the energy supply stop control (S209). In step S209, the control device 51 cancels the cutoff of the power supply to the transfer device, the blockage of the solenoid valve that supplies gas into the transfer chamber 10, and the like. Then, by the manual operation of the operator, the circuit breaker that controls the power supply to the transfer device is released, the valve that supplies gas into the transfer chamber 10 is opened, and the like. This makes it possible to restart the process of the substrate to be processed.

なお、ステップＳ２０７において、搬送チャンバ１０内に作業者が残っている状態で、全ての扉３２が誤って施錠された場合、搬送チャンバ１０内の作業者は、いずれかの扉３２に設けられたハンドル３２４を手動操作する。これにより、扉３２の枠部材３２０と蓋３２１との固定が解除され、作業者は、枠部材３２０の開口３２２を介して迅速に脱出することができる。 If all the doors 32 are erroneously locked while the worker remains in the transfer chamber 10 in step S207, the worker in the transfer chamber 10 is provided in any of the doors 32. Manually operate the handle 324. As a result, the fixing between the frame member 320 of the door 32 and the lid 321 is released, and the operator can quickly escape through the opening 322 of the frame member 320.

［制御装置５１のハードウェア］
図１４は、制御装置５１のハードウェアの一例を示す図である。制御装置５１は、例えば図１４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５１０、ＲＡＭ（Random Access Memory）５１１、ＲＯＭ（Read Only Memory）５１２、補助記憶装置５１３、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１４、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１５、およびメディアインターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１６を備える。 [Hardware of control device 51]
FIG. 14 is a diagram showing an example of the hardware of the control device 51. As shown in FIG. 14, for example, the control device 51 includes a CPU (Central Processing Unit) 510, a RAM (Random Access Memory) 511, a ROM (Read Only Memory) 512, an auxiliary storage device 513, and a communication interface (I / F) 514. , Input / output interface (I / F) 515, and media interface (I / F) 516.

ＣＰＵ５１０は、ＲＯＭ５１２または補助記憶装置５１３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ５１２は、制御装置５１の起動時にＣＰＵ５１０によって実行されるブートプログラムや、制御装置５１のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。 The CPU 510 operates based on a program stored in the ROM 512 or the auxiliary storage device 513, and controls each unit. The ROM 512 stores a boot program executed by the CPU 510 when the control device 51 is started, a program depending on the hardware of the control device 51, and the like.

補助記憶装置５１３は、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）またはＳＳＤ（Solid State Drive）等であり、ＣＰＵ５１０によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。ＣＰＵ５１０は、補助記憶装置５１３内に格納されたプログラムを、例えば補助記憶装置５１３から読み出してＲＡＭ５１１上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。通信Ｉ／Ｆ５１４は、ケーブル５０を介して搬送チャンバ１０の各部、例えばセンサ３０やセンサ６０等から信号を受信してＣＰＵ５１０へ送り、ＣＰＵ５１０が生成した信号を、ケーブル５０を介して搬送チャンバ１０の各部、例えばアクチュエータ６１や電磁ロック１２２等へ送信する。 The auxiliary storage device 513 is, for example, an HDD (Hard Disk Drive) or an SSD (Solid State Drive), and stores a program executed by the CPU 510, data used by the program, and the like. The CPU 510 reads the program stored in the auxiliary storage device 513 from, for example, the auxiliary storage device 513, loads it on the RAM 511, and executes the loaded program. The communication I / F 514 receives a signal from each part of the transfer chamber 10 via the cable 50, for example, a sensor 30 or a sensor 60 and sends the signal to the CPU 510, and the signal generated by the CPU 510 is transmitted to the transfer chamber 10 via the cable 50. Transmission is performed to each unit, for example, the actuator 61, the electromagnetic lock 122, or the like.

ＣＰＵ５１０は、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して、ディスプレイ等の出力装置、および、キーボードやマウス等の入力装置を制御する。ＣＰＵ５１０は、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して、入力装置からデータを取得する。また、ＣＰＵ５１０は、生成したデータを、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して出力装置へ出力する。 The CPU 510 controls an output device such as a display and an input device such as a keyboard and a mouse via the input / output I / F 515. The CPU 510 acquires data from the input device via the input / output I / F 515. Further, the CPU 510 outputs the generated data to the output device via the input / output I / F 515.

メディアＩ／Ｆ５１６は、記録媒体５１７に格納されたプログラムまたはデータ等を読み取り、補助記憶装置５１３に格納する。記録媒体５１７は、例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＰＤ（Phase change rewritable Disk）等の光学記録媒体、ＭＯ（Magneto-Optical disk）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。なお、制御装置５１は、補助記憶装置５１３に格納されるプログラム等を、他の装置から、ケーブル５０等を介して取得し、取得したプログラム等を補助記憶装置５１３に格納してもよい。 The media I / F 516 reads a program or data stored in the recording medium 517 and stores it in the auxiliary storage device 513. The recording medium 517 is, for example, an optical recording medium such as a DVD (Digital Versatile Disc) or PD (Phase change rewritable Disk), a magneto-optical recording medium such as MO (Magneto-Optical disk), a tape medium, a magnetic recording medium, or a semiconductor memory. And so on. The control device 51 may acquire a program or the like stored in the auxiliary storage device 513 from another device via a cable 50 or the like, and store the acquired program or the like in the auxiliary storage device 513.

以上、搬送チャンバ１０の実施形態について説明した。上記説明から明らかなように、本実施形態の搬送チャンバ１０によれば、ＦＰＤ等の製造装置の内部で作業している作業者の安全性をより一層高めることができる。 The embodiment of the transfer chamber 10 has been described above. As is clear from the above description, according to the transfer chamber 10 of the present embodiment, it is possible to further enhance the safety of the operator working inside the manufacturing apparatus such as the FPD.

［その他］
上記した実施形態では、真空チャンバの一例として搬送チャンバ１０について説明した。しかし、開示の技術における真空チャンバは搬送チャンバ１０に限られず、真空状態の処理空間において処理を行う装置であれば、プロセスチャンバやロードロックチャンバ等であってもよい。また、プロセスチャンバは、エッチング装置に限られず、成膜装置や改質装置等であってもよい。 [others]
In the above-described embodiment, the transfer chamber 10 has been described as an example of the vacuum chamber. However, the vacuum chamber in the disclosed technique is not limited to the transfer chamber 10, and may be a process chamber, a load lock chamber, or the like as long as it is an apparatus that performs processing in a processing space in a vacuum state. Further, the process chamber is not limited to the etching apparatus, but may be a film forming apparatus, a reforming apparatus, or the like.

また、上記した実施形態において、制御装置５１は、例えば図１４に示すような汎用のコンピュータにより実現されるが、他の形態として、制御装置５１は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）やリレー等のロジック回路で実現されてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the control device 51 is realized by a general-purpose computer as shown in FIG. 14, for example, but as another embodiment, the control device 51 is a logic such as a PLC (Programmable Logic Controller) or a relay. It may be realized by a circuit.

また、上記した実施形態において、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４はハードウェアスイッチであるが、他の形態として、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、制御装置５１の入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して制御装置５１に接続されたタッチパネルディスプレイ等に表示されるソフトウェアスイッチであってもよい。 Further, in the above-described embodiment, the start switch 123 and the reset switch 124 are hardware switches, but as another embodiment, the start switch 123 and the reset switch 124 are controlled via the input / output I / F 515 of the control device 51. It may be a software switch displayed on a touch panel display or the like connected to the device 51.

１０ 搬送チャンバ
１１ 筐体
１１０ ロック部
１１１ 突出部
１１２ ローラー
１１３ パドロックハスプ
１２ 側壁
１２０ センサ
１２１ センサ
１２２ 電磁ロック
１２３ 開始スイッチ
１２４ リセットスイッチ
１３ 天板
１４ 底板
１５ 側壁
１６ 側壁
１７ 上部開口
１８ 側壁
２０ 搬送用開口
２１ 搬送用開口
２２ フランジ
２２０ 凹部
２３ 下部開口
２４ 排気口
３０ センサ
３１ メンテナンス用開口
３２ 扉
３２０ 枠部材
３２１ 蓋
３２２ 開口
３２３ 固定部材
３２４ ハンドル
３２５ 凹部
３２６ 凸部
３２７ 穴
３２８ ナット
３２９ 穴
３３ ストッパー
３３０ 凹部
３４ レバー
３５ 開口
４０ 配管
４１ 排気装置
５０ ケーブル
５１ 制御装置
５１０ ＣＰＵ
５１１ ＲＡＭ
５１２ ＲＯＭ
５１３ 補助記憶装置
５１４ 通信Ｉ／Ｆ
５１５ 入出力Ｉ／Ｆ
５１６ メディアＩ／Ｆ
５１７ 記録媒体
５２ スピーカ
５３ 発光装置
６０ センサ
６１ アクチュエータ
６２ ロック片 10 Conveyance chamber 11 Housing 110 Locking part 111 Protruding part 112 Roller 113 Padlock hasp 12 Side wall 120 Sensor 121 Sensor 122 Electromagnetic lock 123 Start switch 124 Reset switch 13 Top plate 14 Bottom plate 15 Side wall 16 Side wall 17 Top opening 18 Side wall 20 Transfer opening 21 Transport opening 22 Flange 220 Recess 23 Lower opening 24 Exhaust port 30 Sensor 31 Maintenance opening 32 Door 320 Frame member 321 Cover 322 Opening 323 Fixing member 324 Handle 325 Recess 326 Convex 327 Hole 328 Nut 329 Hole 33 Stopper 330 Recess 34 Lever 35 Opening 40 Piping 41 Exhaust device 50 Cable 51 Control device 510 CPU
511 RAM
512 ROM
513 Auxiliary storage 514 Communication I / F
515 I / O I / F
516 Media I / F
517 Recording medium 52 Speaker 53 Light emitting device 60 Sensor 61 Actuator 62 Lock piece

Claims (8)

被処理基板を収容する空間を有し、上部に第１の開口部を有する容器と、
前記第１の開口部を開閉する第１の蓋と、
前記容器内を排気する排気装置と、
前記容器の側面に設けられ、作業者が前記容器内に進入するための扉と、
前記扉を施錠および解錠する施錠部と、
前記第１の蓋が開放されており、かつ、前記第１の蓋が前記第１の開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が前記第１の開口部に取り付けられていることを条件として前記扉を解錠するように前記施錠部を制御する制御装置と
を備えることを特徴とする真空チャンバ。 A container that has a space for accommodating the substrate to be processed and has a first opening at the top.
A first lid that opens and closes the first opening,
An exhaust device that exhausts the inside of the container and
A door provided on the side surface of the container for an operator to enter the container,
A locking part that locks and unlocks the door,
The door is provided on condition that the first lid is open and an intervening member that prevents the first lid from closing the first opening is attached to the first opening. A vacuum chamber comprising a control device for controlling the locking portion so as to unlock the door. 前記扉は、前記容器の側面に２個以上設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空チャンバ。 The vacuum chamber according to claim 1, wherein two or more doors are provided on the side surface of the container. それぞれの前記扉の開閉を検出する開閉検出部と、
それぞれの前記扉の全開状態を検出する全開検出部と、
音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発する警報部と
をさらに備え、
前記制御装置は、
前記開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、全ての前記扉の全開状態が検出されるまで、前記警報を発するように前記警報部を制御することを特徴とする請求項２に記載の真空チャンバ。 An open / close detection unit that detects the opening / closing of each door,
A fully open detection unit that detects the fully open state of each of the doors,
Further equipped with an alarm unit that issues an alarm using at least one of sound and light,
The control device is
When at least one of the doors is detected to be open by the open / close detection unit, the alarm unit is controlled to issue the alarm until all the doors are fully opened. The vacuum chamber according to claim 2. 前記介在部材の取り外しを禁止する禁止部をさらに備え、
前記制御装置は、
前記開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、前記介在部材の取り外しを禁止するように前記禁止部を制御することを特徴とする請求項３に記載の真空チャンバ。 Further provided with a prohibition part for prohibiting the removal of the intervening member,
The control device is
The vacuum chamber according to claim 3, wherein the prohibited portion is controlled so as to prohibit the removal of the intervening member when at least one of the doors is detected to be opened by the open / closed detection portion . 前記制御装置は、
全ての前記扉が閉じられた場合に、前記介在部材の取り外しの禁止を解除するように前記禁止部を制御することを特徴とする請求項４に記載の真空チャンバ。 The control device is
The vacuum chamber according to claim 4, wherein the prohibited portion is controlled so as to release the prohibition of removal of the intervening member when all the doors are closed. 前記制御装置は、
前記介在部材が前記第１の開口部から取り外されており、かつ、前記第１の蓋が閉じられていることを条件として前記扉を施錠するように前記施錠部を制御することを特徴とする請求項５に記載の真空チャンバ。 The control device is
It is characterized in that the locking portion is controlled so as to lock the door on condition that the intervening member is removed from the first opening and the first lid is closed. The vacuum chamber according to claim 5. 前記扉は、
第２の開口部を有する枠部材と、
前記枠部材の前記第２の開口部を塞ぐ第２の蓋と、
前記第２の蓋を前記枠部材に固定する固定部材と
を有し、
前記固定部材は、
前記扉が閉じられた状態において前記容器の内側に面する側からの作業者による手動操作により、前記枠部材への前記第２の蓋の固定を解除することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空チャンバ。 The door is
A frame member having a second opening and
A second lid that closes the second opening of the frame member, and
It has a fixing member for fixing the second lid to the frame member, and has.
The fixing member is
Claims 1 to 6 are characterized in that, in a state where the door is closed, the fixing of the second lid to the frame member is released by a manual operation by an operator from the side facing the inside of the container. The vacuum chamber according to any one of the above. 被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する容器と、
前記開口部を開閉する蓋と、
前記容器内を排気する排気装置と、
前記容器の側面に２個以上設けられ、作業者が前記容器内に進入するための複数の扉と
を備える真空チャンバの扉の施錠方法であって、
前記蓋が前記開口部を開放しており、かつ、前記蓋が前記開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が前記開口部に取り付けられていることを条件として、それぞれの前記扉を解錠するステップと、
少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、全ての前記扉が全開状態になるまで、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発するステップと、
少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、前記介在部材の取り外しを禁止する禁止部を制御して前記介在部材の取り外しを禁止するステップと、
全ての前記扉が閉じられた場合に、前記禁止部を制御して前記介在部材の取り外しの禁止を解除するステップと、
前記介在部材が前記開口部から取り外されており、かつ、前記蓋が閉じられていることを条件として前記扉を施錠するステップと
を含むことを特徴とする真空チャンバの扉の施錠方法。 A container that has a space for accommodating the substrate to be processed and has an opening at the top.
A lid that opens and closes the opening,
An exhaust device that exhausts the inside of the container and
A method of locking a vacuum chamber door, which is provided on the side surface of the container and includes a plurality of doors for an operator to enter the container.
A step of unlocking each door provided that the lid opens the opening and an intervening member that prevents the lid from closing the opening is attached to the opening. When,
When at least one of the doors is opened, a step of issuing an alarm using at least one of sound and light until all the doors are fully opened.
A step of controlling a prohibition portion for prohibiting the removal of the intervening member and prohibiting the removal of the intervening member when at least one of the doors is opened .
A step of controlling the prohibition portion to release the prohibition of removal of the intervening member when all the doors are closed, and
A method of locking a vacuum chamber door, comprising: a step of locking the door provided that the intervening member is removed from the opening and the lid is closed.
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