KR100470360B1 - Exhausting Device for Etch with Wafer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼의 에치공정을 종료한 웨이퍼를 박스 형상의 케이싱부의 중앙에 구획을 나누어 밀폐시키는 격벽을 형성하고, 격벽에는 복수개의 통공으로 형성된 배출구를 형성하여 스테이지의 안치된 웨이퍼의 부산물을 배출구를 통하여 케이싱부의 하부에 형성된 배출부로 배출하는 배출장치로서, 상기 케이싱부의 전면에는 내부가 투시되도록 투명소재의 투시창을 형성하고, 상기 격벽의 하부에 누출을 방지하는 커버를 형성한 투명소재의 수조 형상으로 하부에 연결되는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 가스켓을 구비한 집수조와, 상기 집수조의 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 상부 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 배면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 하부 가스켓을 구비한 제 1밸브와, 상기 제 1밸브의 하부 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 전면측으로 진공펌프와 연결된 제 2배출관을 형성하며, 제 2배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에 공정챔버와 연결되는 유입관을 형성한 제 2밸브를 구비한 배출부를 형성한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wafer etch discharge device, wherein a partition wall is formed to divide and seal a wafer in the center of a box-shaped casing portion after completing the etching process of a semiconductor wafer, and a discharge port formed of a plurality of holes is formed in the partition wall. A discharge device for discharging the by-product of the wafer placed on the stage to the discharge portion formed in the lower portion of the casing portion through the discharge port, forming a transparent window so that the inside of the casing portion is transparent to the inside of the casing portion, and prevents leakage in the lower portion of the partition wall A water collecting tank having a gasket having a bolt hole formed on the outer circumferential side of the pipe connected to the lower portion in the shape of a water tank having a cover formed thereon, and an upper gasket coupled to the bolt by inserting the gasket and the sealing of the water collecting tank at the top thereof. And a first discharge pipe connected with the vacuum pump from the center to the back side, and the first A first valve having a lever for opening and closing the inside of the discharge pipe and a lower gasket having a bolt hole formed at the outer circumferential side of the pipe, and a lower gasket and a sealing of the first valve are inserted into the bolt to be coupled to each other. Forming a gasket on the upper part, forming a second discharge pipe connected to the vacuum pump from the center to the front side, forming a lever to open and close the inside of the second discharge pipe, and forming an inlet pipe connected to the process chamber at the lower part thereof. A discharge part having a second valve is formed.
Description
본 발명은 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에치공정을 마친 웨이퍼 표면에 잔류하는 케미컬 흄과 부산물 등의 잔류물을 효과적으로 제거하고 웨이퍼의 에치공정이 수행되는 공정챔버 내의 부산물을 효과적으로 배출하는 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer etch discharge device, and more particularly, to effectively remove residues such as chemical fumes and by-products remaining on the wafer surface after etching, and to effectively remove the by-products in the process chamber where the wafer etch process is performed. A discharge apparatus for wafer etch to discharge.
일반적으로 반도체의 소자를 제조하기 위하여 포토리스그래피, 에치, 확산, 화학기상증착 등 다양한 단위공정을 진행하며, 이러한 단위공정중 포토리스그래피 공정에 의해 형성된 패턴들을 마스크로 하고, 마스크 아래에 있는 부분과 외부로 노출된 부분들 사이에 서로 다른 화학 반응이 일어남으로써, 마스크로 보호되지 않는 부분들이 공정이 진행됨에 따라 떨어져 나가게 하는 것이 에치공정이다.In general, various unit processes such as photolithography, etch, diffusion, and chemical vapor deposition are performed to manufacture a semiconductor device, and the patterns formed by the photolithography process are used as masks, and the part under the mask is used. Different chemical reactions occur between the exposed and externally exposed parts, so that the parts not protected by the mask are removed as the process proceeds.
일반적인 에치공정은 복수의 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트가 로딩 및 언로딩되는 로드락 챔버와, 웨이퍼를 얼라인하는 얼라인 챔버와, 얼라인된 웨이퍼를 에치하는 공정을 실시하는 공정챔버와, 로드락 챔버에 로딩된 웨이퍼 카세트로부터 각각의 챔버로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이송로봇이 구비된 트랜스퍼 챔버를 포함한다.A typical etch process includes a load lock chamber in which a wafer cassette equipped with a plurality of wafers is loaded and unloaded, an alignment chamber for aligning wafers, a process chamber for performing a process of etching the aligned wafers, and a load. And a transfer chamber equipped with a wafer transfer robot for loading and unloading wafers from the wafer cassette loaded into the lock chamber into each chamber.
한편, 공정챔버에서 에치공정을 마친 웨이퍼는 로드락 챔버의 웨이퍼 카세트에 장착되어 Standard Mechanical InterFace Pod(이하, SMIF 파드 라고 함) 내에 보관되어 외기와 밀봉된 상태로 후속공정을 실시하기 위하여 운반된다.On the other hand, the wafer after the etching process in the process chamber is mounted in the wafer cassette of the load lock chamber is stored in the Standard Mechanical InterFace Pod (hereinafter referred to as SMIF pod) and transported to perform the subsequent process in a sealed state with the outside air.
이러한, SMIF 파드는 클린 룸(Clean Room)의 시설비 감소, 웨이퍼의 오염방지 등의 목적으로 그 사용이 요구되어지며, 웨이퍼가 점차 대구경화 되어감에 따라 필수적으로 필요하게 된다.Such a SMIF pod is required to be used for the purpose of reducing the facility cost of a clean room, preventing contamination of the wafer, etc., and it is necessary as the wafer is gradually enlarged in size.
이와 같은 웨이퍼의 에치장치는 공정챔버에서 에치공정을 마친 웨이퍼가 로드락 챔버에 위치한 웨이퍼 카세트에 장착되어 SMIF 파드 내로 곧바로 이송되어 외기와는 밀봉된 상태로 운반됨에 따라 에치공정 진행시에 발생된 케미컬 흄(Chemical fume)이나 부산물(by-product) 등의 잔류물이 웨이퍼 표면 위에 잔류하게 된다.The wafer etch apparatus is a chemical generated during the etch process as the wafer, which has been etched in the process chamber, is mounted in the wafer cassette located in the load lock chamber and immediately transferred into the SMIF pod and sealed to the outside air. Residues such as chemical fumes or by-products remain on the wafer surface.
상기 웨이퍼 표면 위의 잔류물이 부식성이 강한 산 화합물의 경우 SMIF 파드 내에서 SMIF 파드를 구성하고 있는 부재를 부식시켜 파티클(particle)을 발생시키며, 후속 공정에서 발생한 다른 종류의 물질과 반응하여 웨이퍼의 결함을 발생시키거나 반도체 소자의 전기적 품질을 저하시키는 등의 문제점이 있었다.The residue on the surface of the wafer is a highly corrosive acid compound, which corrodes the members constituting the SMIF pod in the SMIF pod to generate particles, and reacts with other kinds of materials generated in a subsequent process. There are problems such as generating defects or lowering the electrical quality of the semiconductor device.
상기와 같은 문제점을 해결하고자 에치공정을 마친 웨이퍼를 로보트와 같은 이송수단으로 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 스테이지에 안치되도록 웨이퍼를 이송한 상태로 진공펌프라인에 연결된 내부 공기를 흡입하는 배출장치를 형성하여 웨이퍼에 흡착하여 잔존하는 부산물을 제거하기 위한 에치 공정용 배출장치가 안출된 바 있다.In order to solve the above problems, the wafer is formed by discharging the wafer which has been etched so as to suck the internal air connected to the vacuum pump line while transferring the wafer so that the wafer is placed on the wafer stage that receives the wafer by a transfer means such as a robot. A discharge device for an etch process has been devised to remove residual by-products by adsorbing to the.
이러한, 종래 기술의 에치 공정용 배출장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 웨이퍼가 탑재되도록 중앙과 좌우측에 홈을 다수개 형성한 스테이지(11)에 웨이퍼가 끼워져서 탑재되고 하부에는 다수개의 통공인 배출구(13)를 형성한 격벽(12)으로 구성된 탑재부(10)와, 상기 탑재부(10)에 형성된 배출구(13)를 PVC 재질의 주름관으로 형성된 배출관(21)을 외부에 형성된 진공펌프라인(미도시됨)과 연결하도록 형성된 배출부(20)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional apparatus for discharging an etch process includes a wafer inserted into a stage 11 having a plurality of grooves formed at the center and left and right sides thereof so that the wafer is mounted, and a plurality of through holes at the bottom thereof. A vacuum pump line having a discharge unit 21 formed with a corrugated pipe made of a corrugated pipe made of PVC material and a discharge unit 13 formed of the partition 12 having the discharge port 13 formed therein. It is composed of a discharge portion 20 formed to connect with).
이와 같은, 종래 기술의 에치공정용 배출장치는 공정챔버에서 에치작업이 완료된 웨이퍼를 로봇과 같은 이송수단으로 웨이퍼의 폭과 일치하도록 형성된 스테이지(11)의 각 홈에 탑재하고, 탑재부(10)의 배출구(13)와 진공펌프라인을 PVC 주름관으로 형성한 배출관(21)으로 연결하여 탑재부(10) 내부에 부산물을 진공펌프라인과 연결된 배출부(20)의 배출관(21)으로 연결하여 진공펌프라인에서 발생되는 흡입력으로 제거하였다.Such a prior art etch process ejection apparatus mounts a wafer, which has been etched in the process chamber, in each groove of the stage 11 formed so as to match the width of the wafer by a transfer means such as a robot, Connect the discharge port 13 and the vacuum pump line to the discharge pipe 21 formed of PVC corrugated pipe to connect the by-products inside the mounting portion 10 to the discharge pipe 21 of the discharge unit 20 connected to the vacuum pump line. Removed by suction force generated at.
이때, 탑재부(11)에 탑재된 웨이퍼의 케미컬 흄 및 부산물 등을 배출하기 위해서 격벽(12)에 형성된 배출구(13)는 부산물의 누출을 최소화하기 위해서 제한된 구경으로 두개정도 형성하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable to form two or more discharge ports 13 formed in the partition 12 to discharge chemical fumes and by-products of the wafer mounted on the mounting unit 11 with limited apertures in order to minimize leakage of the by-products.
이렇게, 제한된 구경으로 두개의 배출구(13)에 연결되는 배출관(21)을 진공펌프라인에 연결하기 위해서는 두개의 배출구(13)에서 하나로 합쳐진 형태로 연결되게 되어, 제한된 구경으로 배출되는 배출관(21)의 구경을 확대할 수 없으므로, 협소한 배출관(21)에서 배출하여야 하고, 두 부분으로 분기되어 배출관(21)이 하나로 합쳐지는 부분에서 와류가 발생하므로 진공펌프라인의 흡입량에 비해 배출효율이 감소되는 문제점이 있었다.In this way, in order to connect the discharge pipe 21 connected to the two outlets 13 with a limited aperture to the vacuum pump line, the two discharge ports 13 are connected in a combined form, and the discharge pipe 21 discharged with limited apertures. Since the diameter of the tube cannot be enlarged, it must be discharged from the narrow discharge pipe 21, and the discharge efficiency is reduced compared to the suction amount of the vacuum pump because vortices are generated in the part where the discharge pipe 21 is merged into two parts. There was a problem.
또한, 배출관(21) 설치의 편의성을 위해 형성된 플랙시블한 주름관의 주름 틈새에 부산물이 적층되고 이로 인한 부산물의 적층은 흡입시 와류가 발생의 원인이 되어 하부로 흡입되는 흡입량이 감소하게 되고, 와류발생으로 인해 일시적으로 배출관(21) 내부 곡관으로 형성된 부분에서 흡입량이 급격히 줄어들어 집중적으로 부산물이 적층되므로 배출량이 급감하게 되는 문제점이 있었다.In addition, by-products are stacked in the crease gap of the flexible corrugated pipe formed for convenience of the discharge pipe 21, and the stacking of the by-products causes the generation of vortices during suction, thereby reducing the amount of suction sucked into the lower part. Due to the occurrence, there is a problem that the amount of intake is sharply reduced in the portion formed by the inner curved pipe of the discharge pipe 21 temporarily, so that by-products are concentrated, and the emission is drastically reduced.
아울러, 배출장치가 형성된 전면이 불투명 소재로 형성하여 내부를 육안으로 관찰할 수 없고, 내부를 관찰하기 위해 전면을 제거하여도, PVC 주름관으로 형성된 배출관이 불투명 소재이므로, 부산물이 관내에 적층된 상태를 육안으로 식별할 수 없어서 청소 시기와 교체시기를 가늠할 수 없으므로, 불분명한 교체와 청소시기에 따라 시기가 지체되면 제품의 품질이 저하되고, 시기가 너무 이르면 불필요한 공정의 손실이 발생하여 원가 상승의 원인이 되며, 교체나 청소 시에도 배출관을 결합한 상태에서 부산물과 잔존가스의 누출을 억제하기 위해 에치공정을 정지하고, 배출관 내에 잔존가스를 모두 배출한 다음에 조립된 배출관을 분리하여 실시함으로 시간이 많이 소요되고 제조공정의 손실이 발생하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, since the front surface formed with the discharge device is formed of an opaque material, the inside cannot be visually observed, and even if the front surface is removed to observe the inside, the discharge pipe formed by the PVC corrugated pipe is an opaque material, so that the by-products are laminated in the pipe. Because it is impossible to visually identify the cleaning time and the replacement time, the quality of the product is deteriorated if the time is delayed due to the unclear replacement and cleaning time, and if the time is too early, unnecessary process loss occurs. When replacing or cleaning, stop the etch process to suppress the leakage of by-products and residual gas while the discharge pipe is combined, discharge all residual gas in the discharge pipe, and then separate the discharge pipe to perform It takes a lot, there is a problem in that the productivity is reduced due to the loss of the manufacturing process.
이에, 공정의 손실을 최소화 하기 위해서 불투명 소재의 배출관을 완벽한 배출의 확인 없이 무리하게 분리하면 인체에 유해한 부산물의 누출에 따라 공정이 오염되어 정화될 때까지 작업이 지연되고, 정화비용으로 인한 막대한 손실이 발생하며, 청소와 교체 작업자가 누출된 부산물에 노출되어 인체가 손상되는 사고가 발생하는 문제점이 있었다.Therefore, in order to minimize the loss of the process, if the discharge pipe of opaque material is forcibly separated without confirmation of perfect discharge, the operation is delayed until the process is polluted and cleaned according to the leakage of by-products harmful to the human body, and enormous loss due to the purification cost. This occurs, and there was a problem that the accident of damaging the human body is exposed to the leakage by-products for cleaning and replacement workers.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 주목적은 웨이퍼가 안치되는 스테이지가 설치된 격벽에 형성된 배출구의 하부에 넓은 수조형상으로 투명소재의 집수조를 형성하고, 하부에 직경이 큰 복수의 밸브로 진공펌프라인과 연결하여 배출효율을 향상시키며, 하부에 형성된 유입관을 에치작업이 수행되는 공정챔버에 연결하여 복수로 연결된 진공펌프라인에서 웨이퍼와 공정챔버 내에 부산물과 잔류가스를 동시에 배출하므로 배출설비의 규모를 축소하고 배출효율을 증대하여 생산성을 향상시키는 장치를 제공하는데 있다.In order to solve the above problems, the main object of the present invention is to form a water collecting tank made of a transparent material in a wide water tank shape in the lower portion of the outlet formed in the partition wall on which the wafer is placed, and a plurality of valves having a large diameter in the lower portion. It improves the discharge efficiency by connecting with the vacuum pump line, and discharges by-products and residual gas in the wafer and process chamber at the same time by connecting the inlet pipe formed in the lower part to the process chamber where etching is performed. It is to provide a device for improving the productivity by reducing the scale and increasing the discharge efficiency.
본 발명의 다른 목적은 웨이퍼의 배출장치 정면에 내부가 표시될 수 있도록 투명의 표시창을 형성하고, 격벽에 형성된 배출구와 연결되어 일차적으로 부산물과 잔류가스를 흡입하여 집산되도록, 상부가 밀폐된 수조 형상의 집수조를 투명하게 형성하여 내부가 육안으로 식별이 가능하며, 집수조에서 모인 부산물을 직경이 큰 배출관을 통하여 배출함으로, 내부에 부산물과 잔존가스의 적층량을 육안으로 확인하여 배출관의 청소와 교체시기가 정확하게 파악하므로 양질의 제품을 일정하게 생산하는 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to form a transparent display window so that the inside can be displayed on the front of the discharge device of the wafer, and is connected to the discharge port formed in the partition wall to primarily collect the by-products and residual gas by suction, the tank shape is closed It is possible to identify the inside with the naked eye by forming the collection tank transparently, and discharge the by-product collected from the collection tank through the large diameter discharge pipe, and visually check the stacking amount of the by-product and the remaining gas inside, and clean and replace the discharge pipe. Is to provide a device that produces consistently high quality products.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 집수조의 하부에 설치되어 진공펌프라인에 연결되는 밸브를 상하 형성된 가스켓으로 실링을 인입하여 볼트로 결합한 상태로 밸브의 상부와 하부에 높이를 조절하는 조절부를 형성하여 설치와 분해 시에 높이를 조절하여 간편하게 조립과 분해가 이루어지고, 배출구에서 나오는 부산물이 집산되는 집수조를 하부에 연결된 조절부에서 높이를 조절하면서 설치하여 부산물의 누설을 방지하도록 견고한 압력으로 설치가 가능하므로 설치가 간편하고 견고하게 조립되는 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is installed in the bottom of the water collection tank is installed by forming a control unit for adjusting the height in the upper and lower parts of the valve in the state coupled to the bolt by introducing the seal into the gasket formed up and down the valve connected to the vacuum pump line It is easy to assemble and dismantle by adjusting the height at the time of disassembling, and it is possible to install with a strong pressure to prevent leakage of by-products by installing the water collecting tank where the by-products from the outlet are collected while adjusting the height at the control part connected to the lower part. It is to provide a device that is easy to install and firmly assembled.
도 1은 종래의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 일부 절개 정면도.1 is a partial cutaway front view showing a conventional wafer etch ejection device.
도 2는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a wafer etch discharge device of the present invention.
도 3은 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 정면도.3 is a front view showing a discharge apparatus for wafer etch of the present invention.
도 4는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치의 구성을 나타내는 구성도.4 is a block diagram showing the configuration of the wafer etch discharge device of the present invention.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 단면도.5 is a cross-sectional view showing a wafer etch discharge device of the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100 : 배출장치 110 : 케이싱부100: discharge device 110: casing portion
111 : 스테이지 112 : 격벽111: stage 112: bulkhead
113 : 배출구 114 : 투시창113: outlet 114: viewing window
120 : 배출부 121 : 집수조120: discharge portion 121: water tank
121a : 커버 121b : 가스켓121a: cover 121b: gasket
122 : 제 1밸브 122a : 상부 가스켓122: first valve 122a: upper gasket
122b : 하부 가스켓 122c : 레버122b: lower gasket 122c: lever
122d : 제 1배출관 122e : 상부 조절부122d: first discharge pipe 122e: upper control part
122f : 하부 조절부 123 : 제 2밸브122f: lower adjustment part 123: second valve
123a : 레버 123b : 제 2배출관123a: lever 123b: second discharge pipe
123c : 가스켓 123d : 유입관123c: Gasket 123d: Inlet pipe
124 : 실링 125 : 볼트124: sealing 125: bolt
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치는 반도체 웨이퍼의 에치공정을 종료한 웨이퍼를 박스 형상의 케이싱부의 중앙에 구획을 나누어 밀폐시키는 격벽을 형성하고, 격벽에는 복수개의 통공으로 형성된 배출구를 형성하여 스테이지의 안치된 웨이퍼의 부산물을 배출구를 통하여 케이싱부의 하부에 형성된 배출부로 배출하는 배출장치에 있어서, 상기 케이싱부의 전면에는 내부가 투시되도록 투명소재의 투시창을 형성하고, 상기 격벽의 하부에 누출을 방지하는 커버를 형성한 투명소재의 수조 형상으로 하부에 연결되는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 가스켓을 구비한 집수조와, 상기 집수조의 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 상부 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 배면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 하부 가스켓을 구비한 제 1밸브와, 상기 제 1밸브의 하부 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 전면측으로 진공펌프와 연결된 제 2배출관을 형성하며, 제 2배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에 공정챔버와 연결되는 유입관을 형성한 제 2밸브를 구비한 배출부를 형성한 것을 그 기본적 구성상에 특징으로 한다.이때, 상기 제 1밸브는 상부에 직경이 큰 관의 외주연에 볼트공이 형성된 상부 가스켓으로 집수조 하부에 형성된 가스켓과 결합하고, 하부에도 직경이 큰 관의 외주연에 형성된 하부 가스켓을 제 2밸브의 상부에 형성된 가스켓으로 결합하며, 중앙을 볼록한 구형상으로 넓어진 부분의 중앙에 형성된 제 1배출관이 진공펌프와 결합되어 부산물을 배출하도록 형성한 것이 바람직하다.또, 상기 제 1밸브는 집수조가 결합되는 상부 가스켓과 제 2밸브가 결합되는 하부가스켓 측에 관을 간격이 형성되도록 절단하여 외주연에 나사를 형성하고, 간격이 형성된 부분에서 부산물 및 잔존가스의 누출을 방지하도록 내부에 나사가 형성되어 결합되는 상부 조절부와 하부 조절부를 형성하며, 상부 조절부와 하부 조절부가 회전할 때 부산물의 누출을 방지하도록 밀폐된 상태에서 상하로 제 1밸브의 높이를 조절하여 배출부의 전체 높이가 조절되는 구조로 형성한 것이 바람직하다.In order to achieve the above object, the wafer etch discharge apparatus of the present invention forms a partition wall for dividing a partition in the center of the box-shaped casing portion after the etching process of the semiconductor wafer is formed, and the partition wall is formed with a plurality of holes. In the discharge device for forming a discharge port for discharging the by-product of the wafer placed on the stage to the discharge portion formed in the lower portion of the casing through the discharge port, forming a see-through window of the transparent material so that the inside of the casing portion is visible, the lower portion of the partition wall A water collecting tank having a gasket formed with a bolt hole on the outer circumferential side of the pipe connected to the lower portion in a tank shape of a transparent material formed with a cover to prevent leakage in the upper portion, and the gasket and sealing of the water collecting tank are inserted into a bolt to be joined. The gasket is formed on the upper part and connected to the vacuum pump from the center to the back side. A first valve having a first discharge pipe, a lever for opening and closing the inside of the first discharge pipe, a lower gasket having a bolt hole formed at an outer peripheral side of the pipe, and a lower gasket of the first valve; And a sealing to insert a gasket coupled to the bolt on the top, to form a second discharge pipe connected to the vacuum pump from the center to the front side, to form a lever to open and close the inside of the second discharge pipe, the process chamber at the bottom And a discharge part having a second valve having an inlet pipe connected thereto with the basic configuration. In this case, the first valve has an upper gasket formed with a bolt hole at an outer circumference of a pipe having a large diameter thereon. And the lower gasket formed on the outer periphery of the pipe having a larger diameter, and the lower gasket formed on the upper portion of the second valve, and the center is convex. It is preferable that the first discharge pipe formed at the center of the spherically widened portion is combined with the vacuum pump to discharge the by-products. The first valve may include an upper gasket to which the sump is coupled and a lower gasket to which the second valve is coupled. The tube is cut to form a gap on the side to form a screw on the outer circumference, and the upper control portion and the lower control portion is formed to be coupled to the screw formed inside to prevent leakage of by-products and residual gas in the gap formed portion, When the upper control part and the lower control part rotates, the height of the first valve is adjusted up and down in a closed state to prevent leakage of by-products, and thus, the entire height of the discharge part may be adjusted.
상기와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.Looking at the preferred embodiment of the wafer etch discharge device of the present invention configured as described above with reference to the drawings.
도 1은 종래의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 일부 절개 정면도이고, 도 2는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 사시도이며, 도 3은 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치의 구성을 나타내는 구성도이며, 도 5는 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 단면도이다.1 is a partial cutaway front view showing a conventional wafer etch discharge device, Figure 2 is a perspective view showing a wafer etch discharge device of the present invention, Figure 3 is a front view showing a wafer etch discharge device of the present invention, Figure 4 is a block diagram showing the configuration of the wafer etch discharge device of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view showing the wafer etch discharge device of the present invention.
도 1 내지 도 5에서 도시한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치(100)는 전면에 투명의 투시창(114)을 형성하고 중앙에 구획을 나누며 통공의 배출구(113)를 형성한 격벽(112)의 상부에 웨이퍼가 안치되는 스테이지(111)를 형성한 케이싱부(110)와, 상기 격벽(112)의 하부에 배출구(113)와 연결되어 부산물이 집산되는 집수조(121)를 형성하고, 집수조(121)의 하단에 부산물을 배출하는 제 1밸브(122)를 결합하며, 제 1밸브(122)의 하단에 공정챔버와 연결된 제 2밸브(123)를 결합한 배출부(120)로 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 5, the wafer etch discharge device 100 of the present invention forms a transparent viewing window 114 on the front surface, divides a partition in the center, and forms a discharge hole 113 of a through hole 112. A casing part 110 having a stage 111 on which the wafer is placed on the upper part of the upper part), and a collecting tank 121 connected to the discharge port 113 at the lower part of the partition wall 112 to collect the by-products. The first valve 122 for discharging the by-products are coupled to the lower end of the 121 and the discharge unit 120 is coupled to the second valve 123 connected to the process chamber at the lower end of the first valve 122.
상기 케이싱부(110)는 사각 박스 형상으로 전면에 투명재질로 내부를 육안으로 식별할 수 있는 투시창(114)을 형성하고, 중앙에는 구획을 형성하고 구획 사이에 부산물의 소통을 방지하도록 격벽(112)을 형성하며, 격벽(112)에는 하부로 부산물이 배출되도록 배출구(113)를 복수개 형성하고 격벽(112)의 상부에는 중앙 후면 측과 좌우에 웨이퍼의 폭에 따른 위치로 복수개의 홈을 형성한 스테이지(111)를 설치하여 각 홈에 웨이퍼가 안치될 수 있도록 구성한다.The casing part 110 has a rectangular box shape, and forms a viewing window 114 that can visually identify the inside with a transparent material on the front surface, and forms a partition at the center and prevents a by-product communication between the partitions 112. And a plurality of outlets 113 are formed in the partition wall 112 so that the by-products are discharged to the lower part, and a plurality of grooves are formed in the upper part of the partition wall 112 at positions along the width of the wafer on the left and right sides of the center. The stage 111 is installed to configure the wafer to be placed in each groove.
상기 배출부(120)의 집수조(121)는 격벽(112) 하부에 실리콘 재질로 배출구(113)와 같은 위치에 통공을 형성하여 부산물의 누출을 방지하는 커버(121a)를 형성하고, 커버(121a)의 하부에는 투명재질로 상부는 통공을 배출구(113) 위치에 형성하면서 밀폐되며, 하부에는 라운드 형상으로 중앙에 부산물이 모여서 관으로 배출되도록 형성하고, 하부에는 관의 외주연에 볼트공을 형성한 가스켓(121b)을 형성하여 제 1밸브(122)와 결합되도록 구성한다.The water collecting tank 121 of the discharge part 120 forms a cover 121a for preventing leakage of the by-product by forming a through-hole at the same position as the discharge port 113 with a silicon material under the partition 112, and covers 121a. At the bottom of the transparent material, the upper part is sealed while forming the through-hole at the position of the discharge port 113, and the lower part is formed in a round shape so that by-products are collected and discharged into the tube, and the lower part forms a bolt hole at the outer circumference of the tube. One gasket 121b is formed to be coupled to the first valve 122.
상기 제 1밸브(122)는 집수조(121)의 가스켓(121b)과 결합되도록 상부에 직경이 큰 관의 외주연에 볼트공을 형성한 상부 가스켓(122a)을 형성하여 볼트(125)로 부산물의 누출을 방지하고 견고하게 조립되도록 테프론 소재의 실링(124)을 삽입한 상태로 결합하며, 상부 가스켓(122a)의 하부에는 관에 간격을 가지도록 절단한 절단부분의 외주연에 나사결합하여 회전에 의해 상하 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)를 형성하고, 중앙에서 후측으로 형성된 제 1배출관(122d)을 진공펌프와 연결하여 집수조(121)에 모인 부산물을 흡입하여 배출시키도록 하며, 제 1배출관(122d)과 연결되는 연결부에는 내부 유체의 흐름을 개폐하는 레버(122c)를 형성하고, 중앙에서 하부에 높이를 조절하는 하부 조절부(122f)를 형성하며, 하부 조절부(122f)의 하부에는 제 2밸브(123)와 결합되는 하부 가스켓(122b)을 형성하여 구성한다.The first valve 122 forms an upper gasket 122a formed with a bolt hole at an outer circumference of a pipe having a large diameter so as to be coupled to the gasket 121b of the water collecting tank 121, thereby forming a by-product as a bolt 125. Teflon sealing 124 is inserted to prevent leakage and firmly assembled, and the lower part of the upper gasket 122a is screwed to the outer periphery of the cut portion cut to have a gap in the pipe to rotate By forming the upper control portion 122e for adjusting the vertical height by connecting the first discharge pipe (122d) formed from the center to the rear side with a vacuum pump to suck and discharge the by-product collected in the collection tank 121, the first The connection part connected to the discharge pipe 122d forms a lever 122c for opening and closing the flow of the internal fluid, and forms a lower adjusting part 122f for adjusting the height at the lower part in the center, and a lower part of the lower adjusting part 122f. The lower valve is coupled to the second valve 123 The secondary gasket 122b is formed and comprised.
상기 제 2밸브(123)는 제 1밸브(122)의 하부 가스켓(122b)과 결합되도록 상부 관의 외주연에 볼트공을 형성한 가스켓(123c)을 구비하여 볼트(125)로 실링(124)을 삽입한 상태로 결합하고, 중앙에 전면 측으로 진공펌프와 제 2배출관(123b)이 연결되도록 형성하며, 제 2배출관(123b)이 연결되는 연결부에는 내부 유체의 흐름을 개폐하는 레버(123a)를 형성하고, 하부에는 유입관(123d)을 형성하여 공정챔버와 연결되도록 구성한다.The second valve 123 is provided with a gasket 123c having a bolt hole formed at an outer circumference of the upper pipe to be coupled to the lower gasket 122b of the first valve 122, thereby sealing the bolt 124 with the bolt 125. Is coupled to the inserted state, and the vacuum pump and the second discharge pipe (123b) is formed to be connected to the front side in the center, the connecting portion is connected to the second discharge pipe (123b) lever (123a) for opening and closing the flow of the internal fluid And a lower inlet pipe 123d to be connected to the process chamber.
이때, 상기 제 1밸브(122)는 확대된 관과 중앙을 직경이 넓어지도록 볼록한 구형상으로 형성하여 상부 집수조(121)에서 유입되는 유입량을 확대된 관측으로 급격히 속도가 증대되는 원리를 이용하여 배출하므로 배출효율을 향상하는 것이 바람직하다.In this case, the first valve 122 is formed in a convex spherical shape so that the diameter of the enlarged pipe and the center is widened, and discharged using the principle that the speed of the inflow flowing from the upper sump tank 121 increases rapidly with an enlarged observation. Therefore, it is desirable to improve the discharge efficiency.
상기와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치의 설치 상태와 작동을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the installation state and operation of the wafer etch discharge device of the present invention configured as described above are as follows.
상기 케이싱부(110)의 중앙에 격벽(112)으로 형성된 상부로 웨이퍼가 안치되는 스테이지(111)가 형성되고 격벽(112)에는 통공을 형성한 배출구(113)를 복수개 형성한다.In the center of the casing part 110, a stage 111 is formed in which the wafer is placed in the upper portion formed by the partition wall 112, and a plurality of outlets 113 having through holes are formed in the partition wall 112.
상기 배출구(113)의 위치에 통공을 형성한 커버(121a)를 상부에 형성하고, 하부에 투명의 집수조(121)도 배출구(113) 위치에 통공을 형성하여 설치한 상태에서 집수조(121)의 하부에 형성한 가스켓(121b)과 제 1밸브(122)의 상부에 형성된 상부 가스켓(122a)에 실링(124)을 삽입하여 볼트(125)로 결합한다.A cover 121a having a through hole formed at a position of the outlet 113 is formed at an upper portion thereof, and a transparent water collecting tank 121 is formed at a lower part of the water collecting tank 121 in a state where a through hole is formed at a position of the outlet 113. The sealing gasket 124 is inserted into the gasket 121b formed at the lower portion and the upper gasket 122a formed at the upper portion of the first valve 122 to be coupled to the bolt 125.
그리고, 제 1밸브(122)의 하단에 형성된 하부 가스켓(122b)과 제 2밸브(123)의 상단에 형성된 가스켓(123c)에 실링(124)을 삽입하고 볼트(125)로 결합하여 조립한다.Then, the sealing gasket 124 is inserted into the lower gasket 122b formed at the lower end of the first valve 122 and the gasket 123c formed at the upper end of the second valve 123, and assembled by assembling the bolt 125.
이렇게 하여, 조립이 끝나면 격벽(112)의 하부로 배출구(113)의 위치에 맞추어 커버(121a)와 집수조(121)를 설치하고, 제 1밸브(122)의 제 1배출관(122d)과 제 2밸브(123)의 제 2배출관(123b)에 진공펌프를 연결하며, 제 2밸브(123)의 하부에는 유입관(123d)을 공정챔버와 연결하여 설치한 상태에서 제 2밸브(123)를 케이싱부(110)의 내부 하면에 고정 설치하고, 제 1밸브(122)의 상하에 설치된 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)와 하부 조절부(122f)로 상하 높이를 조절하여서 부산물의 누출을 억제하면서 배출부(120)가 케이싱부(110)의 격벽(112) 하부에 견고하게 고정될 수 있도록 설치한다.In this way, when the assembly is completed, the cover 121a and the water collecting tank 121 are installed at the lower portion of the partition 112 in accordance with the position of the discharge port 113, and the first discharge pipe 122d and the second discharge pipe 122 of the first valve 122 are installed. The vacuum pump is connected to the second discharge pipe 123b of the valve 123, and the lower valve of the second valve 123 is casinged with the second valve 123 in a state in which the inlet pipe 123d is connected to the process chamber. It is fixedly installed on the inner lower surface of the unit 110, and controls the height of the upper and lower parts by adjusting the height of the upper and lower adjustment portion 122e and the lower adjustment portion 122f installed on the upper and lower sides of the first valve 122 to suppress the leakage of by-products While discharging 120 is installed to be firmly fixed to the bottom of the partition wall 112 of the casing (110).
이와 같이, 배출장치(100)의 설치를 완료하게 되면 케이싱부(110)의 격벽(112) 상부에 형성된 스테이지(111)로 이송수단에 의해 웨이퍼가 이송되고, 이송을 마치게 되면 전면에 투시창(114)을 통해 내부를 육안으로 관찰하면서 격벽(112)의 배출구(113)에서 커버(121a)로 누출을 방지하면서 집수조(121)에 모인 부산물과 잔존 가스를 가스켓(121b)으로 결합하여 확대된 관과 중앙으로 볼록의 구형상에 넓은 직경을 가진 제 1밸브(122)와 진공펌프와 연결되어 형성된 제 1배출관(122d)에서 진공펌프의 흡인력으로 부산물과 잔존 가스를 배출한다.As such, when the installation of the discharge device 100 is completed, the wafer is transferred to the stage 111 formed on the partition wall 112 of the casing part 110 by the transfer means. The inner tube is visually observed through), and the by-product and residual gas collected in the sump tank 121 are combined with the gasket 121b to prevent leakage from the outlet 113 of the partition 112 to the cover 121a. By-products and residual gas are discharged by the suction force of the vacuum pump from the first discharge pipe 122d formed in connection with the first valve 122 having a large diameter and a vacuum pump in a convex spherical shape.
또한, 케이싱부(110)의 하부 내측에 고정된 제 2밸브(123)는 하부에 유입관(123d)으로 공정챔버와 결합하여 공정챔버에서 발생하는 부산물 및 잔존 가스를 제 2밸브(123)와 제 2배출관(123b)로 연결된 진공펌프의 흡인력으로 제거한다.In addition, the second valve 123 fixed to the lower inner side of the casing unit 110 is coupled to the process chamber by the inlet pipe 123d in the lower portion and the by-product and residual gas generated in the process chamber and the second valve 123. The suction force of the vacuum pump connected to the second discharge pipe 123b is removed.
그리고, 제 1밸브(122)와 제 2밸브(123) 측에 진공펌프의 이상으로 2개중 어느 하나의 밸브가 작동하지 않으면, 작동되지 않는 측의 밸브를 레버를 닫음으로써 차단하고, 작동되는 측의 밸브에서 안치된 웨이퍼와 공정챔버의 부산물과 잔존가스를 흡입하여 제거할 수 있도록 한다.Then, if any one of the two valves does not operate due to the abnormality of the vacuum pump on the first valve 122 and the second valve 123 side, the valve on the side that is not operated is closed by closing the lever, and the operated side By-products and residual gases from wafers and process chambers placed in the valves can be sucked and removed.
아울러, 육안으로 투시창(114)을 통하여 집수조(122)를 관찰하면서 청소나 교체 시기가 되면 공정챔버에 직접 진공펌프를 연결하고 제 1밸브(122), 제 2밸브(123) 및 상부 배출구(113)를 차단한 상태에서 제 1밸브(122)의 상하에 설치된 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)와 하부 조절부(122f)를 조작하여 높이를 축소한 상태에서 간단하게 분리하여 청소 및 교체작업을 실시하므로 에치공정의 중단 없이 교체 및 청소작업을 수행할 수 있다.In addition, when the cleaning or replacement time is observed while visually observing the collection tank 122 through the viewing window 114, the vacuum pump is directly connected to the process chamber, and the first valve 122, the second valve 123, and the upper outlet 113 are disposed. ) In the state of cutting off the first valve 122, the upper control part 122e for adjusting the height installed above and below the lower control part (122f) by simply adjusting the height in a reduced state to clean and replace work As a result, replacement and cleaning can be performed without interrupting the etching process.
상기와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 에치용 배출장치는 웨이퍼가 안치되는 스테이지를 지지하는 격벽에 형성된 배출공의 하부에 넓은 수조형상의 집수조를 형성하고, 집수조와 결합되는 직경이 큰 밸브로 진공펌프와 연결하여 배출효율을 향상시키며, 하부에 형성된 밸브에 연결된 유입관을 에치작업이 수행되는 공정챔버에 연결하여 진공펌프에서 웨이퍼와 공정챔버 내에 부산물과 잔류가스를 동시에 배출하므로 배출설비를 축소하고 배출효율을 증대하여 생산성을 향상시키는 장치를 제공하는 효과가 있다.The wafer etch discharge device of the present invention configured as described above has a large tank-shaped collection tank formed at a lower portion of the discharge hole formed in the partition wall supporting the stage on which the wafer is placed, and has a large diameter valve coupled to the collection tank, Improve the discharge efficiency by connecting the inlet pipe connected to the valve formed in the lower part to the process chamber where the etch operation is carried out, and by-product and residual gas are discharged simultaneously from the vacuum pump to the wafer and the process chamber to reduce the discharge facility and reduce the discharge efficiency. There is an effect of providing a device that increases the productivity by increasing the.
또한, 웨이퍼의 배출장치 정면에 내부가 표시될 수 있도록 투명의 표시창을 형성하고, 격벽에 형성된 배출구와 연결되어 일차적으로 부산물과 잔류가스를 흡입하여 집산 되도록 상부가 밀폐된 수조 형상의 집수조를 투명하게 형성하여 내부가 육안으로 식별이 가능하므로, 내부에 부산물과 잔존가스의 적층량을 육안으로 확인하여 배출관의 청소시기와 교체시기를 정확하게 파악하여 양질의 제품을 일정하게 생산하는 장치를 제공하는 효과가 있다.In addition, a transparent display window is formed on the front surface of the wafer discharge device so that the inside thereof can be displayed, and a tank-shaped water tank having an upper sealed portion is connected to an outlet formed in the partition wall to primarily collect by-products and residual gas. Since the inside can be identified by the naked eye, the amount of by-products and remaining gas can be visually checked inside, so that the cleaning time and replacement time of the discharge pipe can be accurately identified to provide a device for producing a good quality product. have.
아울러, 집수조의 하부에 설치되어 진공펌프에 연결되는 밸브를 상하 형성된 가스켓으로 실링을 인입하여 볼트로 결합한 상태로 밸브의 상부와 하부에 높이를 조절하는 조절부를 형성하여 설치와 분해 시에 높이를 조절하여 간편하게 조립과 분해가 이루어지고, 조립된 밸브의 높이를 상승시켜 견고하게 설치가 가능하므로 부산물의 누출을 방지하며, 간편하게 조립하여 조립의 편의성과 누출에 대한 안전성을 향상시키는 장치를 제공하는 효과가 있다.In addition, the valve is installed at the bottom of the sump and connected to the vacuum pump by the gasket formed into the upper and lower gasket to form a control unit for adjusting the height at the top and bottom of the valve in the state coupled with the bolt to adjust the height during installation and disassembly It can be easily assembled and disassembled, and the height of the assembled valve can be firmly installed to prevent leakage of by-products, and it is easy to assemble to improve the convenience of assembly and safety of leakage. have.
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| KR20040086056A (en) | 2004-10-08 |
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