KR20230132120A - Mobile Type Exhauster for Semiconductor Production Apparatus - Google Patents

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KR20230132120A
KR20230132120A KR1020220029254A KR20220029254A KR20230132120A KR 20230132120 A KR20230132120 A KR 20230132120A KR 1020220029254 A KR1020220029254 A KR 1020220029254A KR 20220029254 A KR20220029254 A KR 20220029254A KR 20230132120 A KR20230132120 A KR 20230132120A
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조성철
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유한회사 이디에스코리아
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Abstract

챔버가 위치하는 곳으로 편리하게 이동하고 다니면서 사용이 가능하고 오염가스가 외부로 유출되지 않게 효과적 으로 제거하는 것이 가능하도록, 하부에 바퀴가 설치되는 함체와, 함체의 내부에 설치되는 배기펌프와, 흡기통로 를 형성하고 한쪽 끝부분이 배기펌프에 연결 설치되는 흡기관과, 배기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 배기펌프에 연결 설치되는 배기관과, 흡기관의 다른쪽 끝부분에 연결 설치되고 챔버의 개구부 주위에서 흡기를 행하도록 형 성하여 설치되는 흡기후드를 포함하여 이루어지는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 제공한다.An enclosure with wheels installed at the bottom so that it can be conveniently moved and used wherever the chamber is located and effectively removed to prevent polluted gases from leaking out, an exhaust pump installed inside the enclosure, and An intake pipe that forms an intake passage and has one end connected to the exhaust pump, an exhaust pipe that forms an exhaust passage and has one end connected to the exhaust pump, and an exhaust pipe that is connected to the other end of the intake pipe and is installed in the chamber. Provided is a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment that includes an intake hood formed and installed to intake air around an opening.

Description

반도체 제조 장비용 이동식 배기장치{Mobile Type Exhauster for Semiconductor Production Apparatus}Mobile Type Exhauster for Semiconductor Production Apparatus}

본 발명은 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이동식으로 장착가능하고 챔 버의 개방시 오염가스가 외부로 유출되는 것을 방지하면서 오염가스를 효과적으로 흡입하여 배기시키도록 구성 한 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment, and more specifically, to a semiconductor device that can be mounted movably and is configured to effectively suck in and exhaust polluted gases while preventing polluted gases from leaking to the outside when the chamber is opened. Relates to portable exhaust systems for manufacturing equipment.

일반적으로 반도체는 정보를 저장할 수 있는 메모리반도체와 정보저장 없이 연산이나 제어기능을 하는 시스템반 도체(비메모리반도체)로 크게 구분할 수 있다.In general, semiconductors can be roughly divided into memory semiconductors, which can store information, and system semiconductors (non-memory semiconductors), which perform calculation or control functions without storing information.

상기 반도체는 각종 전자제품은 물론 우주항공에 이르기까지 다양하게 사용되고 있으며, 반도체 칩 등을 만들기 위해 사용되는 웨이퍼는 200㎜크기까지 제조되었던 것을 최근에는 300㎜크기까지 제조 가능하게 되었다.The semiconductors are used in a variety of ways, from various electronic products to aerospace, and wafers used to make semiconductor chips can be manufactured up to 200 mm in size, but have recently become available in sizes up to 300 mm.

상기 반도체 칩의 제조시는 웨이퍼를 사진, 확산, 식각, 화학기상증착, 금속증착 등의 여러 공정을 수행하게 되 는데, 이러한 공정을 비롯하여 제조 장비의 세정이나 정비 과정에서 각종 화학물질이 사용됨에 따라 작업자에게 악영향을 미치게 되고 반도체 제조 장비가 부식되거나 변형되면서 장비의 수명이 단축될 수 있다.When manufacturing the semiconductor chip, various processes such as photography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition are performed on the wafer. As various chemicals are used in these processes, as well as during the cleaning and maintenance of manufacturing equipment, This can have a negative impact on workers, and the lifespan of semiconductor manufacturing equipment can be shortened as it corrodes or deforms.

예를 들면, 웨이퍼 에칭공정 중에 오염가스가 발생하는데, 챔버 내부에서 오염가스를 완전히 배기하지 못하여 웨이퍼가 적재된 카세트를 외부로 꺼낼 경우 챔버의 카세트 투입구가 열리면 카세트 투입구를 통해 챔버 외부로 유출되어 챔버 주변의 제조장비 및 부품 등의 오염이나 부식이 발생하고 챔버 주변에 위치한 작업자의 건강을 해칠 수 있는 문제점이 있다.For example, polluting gas is generated during the wafer etching process, and the polluting gas cannot be completely exhausted from inside the chamber, so when the cassette loaded with wafers is taken out, when the cassette inlet of the chamber is opened, the contaminant gas flows out of the chamber through the cassette inlet and into the chamber. There is a problem that contamination or corrosion of surrounding manufacturing equipment and parts may occur and harm the health of workers located around the chamber.

한국등록특허 제0567433호에는 챔버의 개방시 오염가스가 외부로 유출시키지 않고 배기하여 제거가능한 반도체 제조장비의 오염가스 배출장치에 대해 기재되어 있다.Korean Patent No. 0567433 describes a contaminant gas exhaust device for semiconductor manufacturing equipment that can be removed by exhausting contaminant gases without allowing them to escape to the outside when the chamber is opened.

상기 한국등록특허 제0567433호에는 챔버의 카세트 투입구 주변에 설치되고 복수의 통공이 형성된 흡입구가 설 치되며 오염가스를 진공 흡입하는 흡입덕트와, 상기 흡입덕트을 통해 흡입된 오염가스를 배기덕트로 배출하는 흡입관과, 공기압축기의 압축공기를 이용하여 상기 흡입덕트 및 흡입관을 진공상태로 하는 진공배출기에 대해 기재되어 있다.In Korean Patent No. 0567433, there is provided an intake duct installed around the cassette inlet of the chamber and having a plurality of through holes for vacuum suction of polluted gas, and a suction duct for discharging the polluted gas sucked through the suction duct into an exhaust duct. It describes a suction pipe and a vacuum exhauster that vacuums the suction duct and suction pipe using compressed air from an air compressor.

상기와 같이 구성되는 종래 반도체 제조장비의 오염가스 배출장치는 각 챔버마다 개별적으로 설치가 이루어짐에 따라 설치비용이 증가하는 문제점을 안고 있으므로 이러한 문제점을 해결하기 위한 개선방안이 필요한 실정이다.The contaminant gas discharge device of conventional semiconductor manufacturing equipment configured as described above has the problem of increasing installation costs as it is installed individually in each chamber, so an improvement plan is needed to solve this problem.

그리고 300㎜크기의 반도체 웨이퍼의 제조 공정용 챔버의 경우 200㎜크기의 반도체 웨이퍼의 제조 공정용 챔버 와는 다르게 챔버가 일정 패턴으로 배치되지 않고 불규칙하게 배치되므로, 이에 대응하여 편리하고 효율적으로 설치 및 사용 가능하고 오염가스를 효과적으로 제거할 수 있는 장치에 대한 연구 및 개발이 필요한 실정이다.In addition, in the case of the chamber for the manufacturing process of 300 mm-sized semiconductor wafers, unlike the chamber for the manufacturing process of 200 mm-sized semiconductor wafers, the chambers are not arranged in a certain pattern but irregularly, so they can be installed and used conveniently and efficiently. There is a need for research and development on devices that are possible and can effectively remove polluting gases.

본 발명은 상기와 같은 점에 조감하여 이루어진 것으로서, 반도체 제조 공정에 사용되는 챔버 주위로 간편하게 이동하여 챔버에 흡기후드를 장착하고 오염가스를 흡입하여 배기시키므로 오염가스가 챔버 주위로 유출되는 것 을 효과적으로 방지하는 것이 가능한 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention was made with a bird's eye view of the above-mentioned points. It can be easily moved around the chamber used in the semiconductor manufacturing process, an intake hood is mounted on the chamber, and the polluted gas is sucked in and exhausted, effectively preventing the polluted gas from leaking out around the chamber. The purpose is to provide a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment that can prevent.

그리고 본 발명의 다른 목적은 자체 설치되는 배기펌프를 가동하여 오염가스를 흡입하여 배기시키는 것도 가능 하고, 배기펌프의 고장이나 불량 등 이상이 있는 경우 바이패스관과 진공펌프를 이용하여 배기작업이 가능하도 록 구성한 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to operate a self-installed exhaust pump to suck in and exhaust polluted gases, and if there is a problem such as a malfunction or defect in the exhaust pump, exhaust work can be performed using a bypass pipe and a vacuum pump. The purpose is to provide a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment configured to do so.

나아가, 본 발명의 또 다른 목적은 챔버에 존재하는 오염가스와 함께 챔버덮개에 존재하는 오염가스를 동시에 흡입하여 배기시키는 것이 가능하므로 오염가스의 유출을 최소화하는 것이 가능한 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 제공하기 위한 것이다.Furthermore, another object of the present invention is to provide a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment that can minimize the outflow of polluted gas by simultaneously inhaling and exhausting the polluting gas present in the chamber cover along with the polluting gas present in the chamber. It is intended to provide.

본 발명이 제안하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치는 하부에 바퀴가 설치되는 함체와, 상기 함체의 내부 에 설치되는 배기펌프와, 흡기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프에 연결 설치되는 흡기관과, 배기통 로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프에 연결 설치되는 배기관과, 상기 흡기관의 다른쪽 끝부분에 연결 설치되고 챔버의 개구부 주위에서 흡기를 행하도록 형성하여 설치되는 흡기후드를 포함하여 이루어진다.The mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment proposed by the present invention includes an enclosure with wheels installed at the bottom, an exhaust pump installed inside the enclosure, and an intake unit that forms an intake passage and has one end connected to the exhaust pump. An exhaust pipe that forms an engine and an exhaust passage and is connected to the exhaust pump at one end, and an intake hood that is connected to the other end of the intake pipe and is formed and installed to perform intake around the opening of the chamber. It is done including.

상기 흡기후드는 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버의 개구부 외측에 설치되며 개구부와 대향으로 흡기공 간이 관통 형성되는 몸체와, 상기 몸체의 안쪽 모서리 둘레를 따라 형성되고 몸체의 내부와 흡기공간이 서로 통 하도록 형성하여 설치되는 복수의 흡기입구와, 상기 몸체의 바깥쪽 모서리에 형성되고 몸체의 내부와 흡기관이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 흡기출구를 포함하여 이루어진다.The intake hood is made of a flat cylindrical shape and is installed outside the opening of the chamber, and has a body through which an intake space is formed opposite to the opening, and is formed along the inner edge of the body so that the inside of the body and the intake space communicate with each other. It includes a plurality of intake inlets formed and installed to do so, and an intake outlet formed at an outer corner of the body and formed and installed so that the inside of the body and the intake pipe communicate with each other.

상기 몸체는 안쪽에 관통구멍이 형성되고 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 한 쌍의 상판 및 하판과, 상기 상판과 하판의 관통구멍이 형성되는 안쪽 모서리 사이를 일정 간격을 두고 연결하도록 설치되고 상기 복수의 흡 기입구를 형성하는 복수의 연결대와, 상기 상판 및 하판의 바깥쪽 모서리 사이를 연결하며 밀폐하도록 설치되고 상기 흡기출구가 형성되는 측면판을 포함하여 이루어진다.The body is installed to connect a pair of upper and lower plates with through holes formed on the inside and arranged in parallel at regular intervals at a certain interval between the inner edges of the upper and lower plates where the through holes are formed, and the plurality of plates are connected to each other at regular intervals. It includes a plurality of connecting bars forming an intake inlet, and a side plate installed to connect and seal the outer edges of the upper and lower plates and forming the intake outlet.

상기 흡기후드는 상기 몸체의 상부쪽에서 상기 흡기공간의 개구되는 면적을 조절하는 덮개를 더 포함하여 이루 어지는 것도 가능하다.The intake hood may further include a cover that adjusts the opening area of the intake space at the upper part of the body.

상기 덮개는 상기 몸체의 윗면에 밀착되고 몸체의 윗면을 따라 왕복이동됨에 따라 상기 흡기공간의 개폐면적을 조절하도록 형성하여 설치되는 덮개판과, 상기 덮개판의 양측 모서리를 슬라이딩 가능하게 지지하는 한 쌍의 지 지레일을 포함하여 이루어진다.The cover includes a cover plate that is installed in close contact with the upper surface of the body and is formed to adjust the opening and closing area of the intake space as it moves back and forth along the upper surface of the body, and a pair of slideably supporting edges on both sides of the cover plate. It is made including a support rail.

그리고 본 발명은 상기 흡기후드의 몸체 상부쪽에서 압축공기를 분출함에 따라 흡기공간을 폐쇄하도록 설치되는 에어커튼을 더 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.Additionally, the present invention may further include an air curtain installed to close the intake space as compressed air is ejected from the upper body of the intake hood.

또한, 본 발명은 상기 흡기관과 배기관을 연결하는 바이패스관과, 배기관의 다른쪽 끝부분에 설치되는 진공펌프 를 더 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.In addition, the present invention may further include a bypass pipe connecting the intake pipe and the exhaust pipe, and a vacuum pump installed at the other end of the exhaust pipe.

나아가, 본 발명은 상기 함체의 내부에 설치되는 보조배기펌프와, 흡기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 보 조배기펌프에 연결 설치되는 보조흡기관과, 배기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 보조배기펌프에 연결 설치 되는 보조배기관과, 상기 보조흡기관에 연결 설치되고 상기 챔버의 개구부를 개폐하고 챔버의 개구부와 대향으 로 공간부가 형성된 챔버덮개의 공간부 주위에서 흡기를 행하도록 형성하여 설치되는 보조흡기후드를 더 포함하 여 이루어지는 것도 가능하다.Furthermore, the present invention includes an auxiliary exhaust pump installed inside the enclosure, an auxiliary intake pipe that forms an intake passage and one end of which is connected to the auxiliary exhaust pump, and an exhaust passage that forms an exhaust passage and one end of which is connected to the auxiliary exhaust pump. An auxiliary exhaust pipe connected to the auxiliary exhaust pump and an auxiliary intake pipe are installed to open and close the opening of the chamber and perform intake around the space of the chamber cover, which has a space opposite to the opening of the chamber. It is also possible to further include an auxiliary intake hood.

상기 보조흡기후드는 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버덮개의 내면 쪽에 한쪽면이 밀착 설치되는 보조몸 체와, 상기 보조몸체의 한쪽 모서리에 일정 간격을 두고 형성되고 보조몸체의 내부와 외부를 연통하는 복수의 보조흡기입구와, 상기 보조몸체의 다른 한쪽 모서리에 형성되고 보조몸체의 내부와 보조흡기관이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 보조흡기출구를 포함하여 이루어진다.The auxiliary intake hood is made of a flat cylindrical shape and includes an auxiliary body with one side installed in close contact with the inner surface of the chamber cover, and an auxiliary body formed at a certain interval at one edge of the auxiliary body and communicating between the inside and the outside of the auxiliary body. It includes a plurality of auxiliary intake inlets and an auxiliary intake outlet formed at the other corner of the auxiliary body so that the interior of the auxiliary body and the auxiliary intake pipe communicate with each other.

본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 의하면, 반도체 제조 공정에 사용되는 챔버 주위로 간편 하게 이동 가능하고 챔버의 개방시 챔버 및 챔버덮개로부터 유출되는 오염가스를 흡기후드를 이용하여 흡입하여 배기시키는 것이 가능하므로, 사용이 편리하고 설치비용을 감소시키는 것이 가능하며 오염가스가 유출되는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능하다.According to the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, it can be easily moved around the chamber used in the semiconductor manufacturing process, and when the chamber is opened, polluted gases flowing out from the chamber and the chamber cover are sucked in and exhausted using an intake hood. Since it is possible to do so, it is convenient to use, it is possible to reduce installation costs, and it is possible to effectively prevent pollutant gases from leaking out.

그리고 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 의하면, 배기펌프의 고장 발생시 바이패스관과 진공펌프를 이용하여 배기작업이 가능하므로 효용성이 우수하고 배기 성능을 향상시키는 것도 가능하다.In addition, according to the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, when the exhaust pump malfunctions, exhaust work can be performed using a bypass pipe and a vacuum pump, thereby improving efficiency and improving exhaust performance.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 의하면, 이동형 및 맞춤형으로 편리하게 장착하여 사용이 가능하고 반도체 제조 장비의 세정작업이나 부품조립, 분해, 정비 등의 작업과 동시에 사용이 가능하다.In addition, according to the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, it can be conveniently mounted and used in a portable and customized manner, and can be used simultaneously with tasks such as cleaning, part assembly, disassembly, and maintenance of semiconductor manufacturing equipment. .

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 나타내는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 나타내는 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 흡기덕트를 나타내는 사시도 이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 흡기덕트를 나타내는 측면단 면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 흡기덕트를 나타내는 평면도 이다.
도 6은 도 5의 A-A선 단면도이다. 도 7은 도 6의 B-B선 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 에어커튼을 나타내는 평면도 이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 에어커튼을 나타내는 측면단 면도이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 나타내는 사시도이다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치를 나타내는 블럭도이다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 보조흡기덕트를 나타내는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치에 있어서 보조흡기덕트를 나타내는 평면단면도이다.1 is a perspective view showing a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a first embodiment of the present invention. Figure 2 is a block diagram showing a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a first embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing an intake duct in the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the first embodiment of the present invention.
Figure 4 is a side cross-sectional view showing an intake duct in the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the first embodiment of the present invention.
Figure 5 is a plan view showing an intake duct in the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the first embodiment of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional view taken along line AA of Figure 5. Figure 7 is a cross-sectional view taken along line BB of Figure 6.
Figure 8 is a plan view showing an air curtain in the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the second embodiment of the present invention.
Figure 9 is a side cross-sectional view showing an air curtain in a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a second embodiment of the present invention.
Figure 10 is a perspective view showing a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention.
Figure 11 is a block diagram showing a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention.
Figure 12 is a perspective view showing an auxiliary intake duct in the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the third embodiment of the present invention.
Figure 13 is a plan cross-sectional view showing an auxiliary intake duct in a mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention.

다음으로 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Next, a preferred embodiment of the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

이하에서 동일한 기능을 하는 기술요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고, 중복 설명을 피하기 위하여 반복되는 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the same reference numerals will be used for technical elements performing the same function, and repeated detailed descriptions will be omitted to avoid redundant description.

이하에 설명하는 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 효과적으로 보여주기 위하여 예시적으로 나타내는 것으 로, 본 발명의 권리범위를 제한하기 위하여 해석되어서는 안 된다.The examples described below are illustrative in order to effectively demonstrate preferred embodiments of the present invention, and should not be construed to limit the scope of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치는 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 하부에 바 퀴(12)가 설치되는 함체(10)와, 상기 함체(10)의 내부에 설치되는 배기펌프(20)와, 상기 배기펌프에 각각 연결 설치되는 흡기관(22) 및 배기관(24)과, 상기 흡기관(22)과 연결되고 반도체 제조 공정에 사용되는 챔버(2)의 개 구부 쪽에서 흡기가 행해지도록 형성하여 설치되는 흡기후드(30)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 1 to 3, the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the first embodiment of the present invention includes an enclosure 10 with wheels 12 installed at the bottom, and an interior of the enclosure 10. An exhaust pump 20 installed in, an intake pipe 22 and an exhaust pipe 24 respectively connected to the exhaust pump, and a chamber 2 connected to the intake pipe 22 and used in the semiconductor manufacturing process. It includes an intake hood 30 that is formed and installed so that intake is performed from the opening side.

상기 함체(10)는 대략 사각박스형상으로 이루어진다.The enclosure 10 is roughly shaped like a square box.

상기 함체(10)의 상부에는 손잡이(11)가 설치되고 저면에는 상기 바퀴(12)가 설치된다.A handle 11 is installed on the top of the enclosure 10 and the wheel 12 is installed on the bottom.

상기 배기펌프(20)는 일반적으로 가스나 공기 등의 기체를 배출하는 데 널리 사용되는 배기펌프를 사용하여 이 루어진다.The exhaust pump 20 is generally made using an exhaust pump that is widely used to discharge gases such as gas or air.

상기 흡기관(22)은 파이프형상으로 이루어지고 상기 배기펌프(20)의 내부로 흡기가 행해지도록 흡기통로를 형성 하며 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프(20)에 연결되고 다른쪽 끝부분이 상기 흡기후드(30)에 연결된다.The intake pipe 22 is made in the shape of a pipe and forms an intake passage so that intake is carried into the interior of the exhaust pump 20. One end is connected to the exhaust pump 20 and the other end is connected to the intake. It is connected to the hood (30).

상기 배기관(24)은 파이프형상으로 이루어지고 상기 배기펌프(20)로부터 배기가 행해지는 배기통로를 형성하며 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프(20)에 연결된다.The exhaust pipe 24 is shaped like a pipe and forms an exhaust passage through which exhaust air is discharged from the exhaust pump 20, and one end is connected to the exhaust pump 20.

상기 배기관(24)의 다른쪽 끝부분은 도면에는 나타내지 않았지만, 공조설비의 덕트, 공기정화기 등과 연결된다. 상기 흡기관(22)에는 그물망 형태로 이루어지는 메쉬필터(23)가 설치되는 것도 가능하다.The other end of the exhaust pipe 24 is not shown in the drawing, but is connected to a duct of an air conditioning facility, an air purifier, etc. It is also possible to install a mesh filter 23 in the form of a mesh net on the intake pipe 22.

상기에서 흡기관(22)과 배기관(24)은 개폐밸브(27)가 설치되는 바이패스관(26)을 이용하여 연결되고, 상기 배기 관(24)의 다른쪽 끝부분에는 진공펌프(28)가 더 설치되는 것도 가능하다.In the above, the intake pipe 22 and the exhaust pipe 24 are connected using a bypass pipe 26 on which an on-off valve 27 is installed, and a vacuum pump 28 is installed at the other end of the exhaust pipe 24. It is also possible to install more.

상기와 같이 바이패스관(26) 및 진공펌프(28)가 설치되면, 상기 배기펌프(20)의 고장 발생시의 경우에도 사용이 가능하다.If the bypass pipe 26 and the vacuum pump 28 are installed as described above, it can be used even when the exhaust pump 20 fails.

상기 진공펌프(26)는 상기 챔버(2)가 설치되는 공장 등에서 공기조화 등을 위해 설치되는 진공펌프(26) 등을 이 용하는 것도 가능하다.It is also possible to use the vacuum pump 26 installed for air conditioning, etc. in a factory where the chamber 2 is installed.

상기 흡기후드(30)는 윗쪽 끝면에 개구부가 형성되는 상기 챔버(2)의 개구부 주위에 복수의 흡기구(34)가 배치 되게 하여 챔버(2) 내의 오염가스가 흡기구(34)를 통해 내부로 흡입되도록 형성하여 설치된다.The intake hood 30 has a plurality of intake ports 34 disposed around the opening of the chamber 2, where an opening is formed at the upper end, so that the contaminated gas in the chamber 2 is sucked in through the intake port 34. It is formed and installed as much as possible.

상기 흡기후드(30)는 도 4~도 7에 나타낸 바와 같이, 대략 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버(2)의 개구 된 윗면 쪽에 수평으로 얹혀져 설치되며 챔버(2)의 개구부와 대향으로 흡기공간(31)이 관통 형성되는 몸체(32) 와, 상기 몸체(32)의 안쪽 모서리 둘레를 따라 형성되고 몸체(32)의 내부공간과 흡기공간(31)이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 복수의 흡기입구(34)와, 상기 몸체(32)의 바깥쪽 측면 모서리에 형성되고 몸체(32)의 내부공 간과 상기 흡기관(22)이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 흡기출구(36)와, 상기 몸체(32) 윗쪽면에 설치되고 상기 흡기공간(31)의 개폐량을 조절하는 덮개(40)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 4 to 7, the intake hood 30 has a substantially flat cylindrical shape and is installed horizontally on the open upper surface of the chamber 2, forming an intake space opposite to the opening of the chamber 2. A body 32 through which (31) is formed, and a plurality of intakes formed along the inner edge of the body 32 and formed so that the internal space of the body 32 and the intake space 31 communicate with each other. An inlet 34, an intake outlet 36 formed on the outer side edge of the body 32 and formed to allow the internal space of the body 32 and the intake pipe 22 to communicate with each other, and the body (32) It is installed on the upper side and includes a cover 40 that controls the opening and closing amount of the intake space 31.

상기 몸체(32)의 저면쪽에는 상기 챔버(2)의 위쪽 끝부분이 내부에 조립되도록 조립돌기(38)가 돌출 형성되는 것도 가능하다.It is possible for an assembly protrusion 38 to be formed protruding from the bottom of the body 32 so that the upper end of the chamber 2 can be assembled therein.

상기 조립돌기(38)는 상기 흡기공간(31)의 주위 둘레를 따라 링형상으로 형성하여 설치되고 상기 챔버(2)의 위 쪽 끝부분을 바깥쪽에서 감싸며 지지한다.The assembly protrusion 38 is installed in a ring shape along the circumference of the intake space 31 and surrounds and supports the upper end of the chamber 2 from the outside.

상기 몸체(32)에 형성되는 흡기공간(31)은 대략 원형으로 형성된다.The intake space 31 formed in the body 32 is formed in an approximately circular shape.

상기 흡기공간(31)은 원형 이외에 사각형, 타원형 등으로 형성되는 것도 가능하다.The intake space 31 can also be formed in a square, oval shape, etc. in addition to a circular shape.

상기 몸체(32)는 각각 안쪽에 관통구멍(33)이 형성되고 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 한 쌍의 상판(32a) 및 하판(32b)과, 상기 상판(32a)과 하판(32b)의 관통구멍(33)이 형성되는 안쪽 모서리 사이를 일정 간격을 두고 연결하도록 설치되고 상기 복수의 흡기입구(34)를 형성하는 복수의 연결대(32c)와, 상기 상판(32a) 및 하판(32b)의 바깥쪽 모서리 둘레 사이를 연결하며 밀폐하도록 설치되고 상기 흡기출구(36)가 형성되는 측면판(32d) 을 포함하여 이루어진다.The body 32 includes a pair of upper plates 32a and lower plates 32b each having a through hole 33 formed on the inside and arranged in parallel at a certain interval, and a pair of upper plates 32a and lower plates 32b. A plurality of connecting bands 32c that are installed to connect the inner edges where the through holes 33 are formed at regular intervals and form the plurality of intake inlets 34, and the upper plate 32a and the lower plate 32b. It is installed to connect and seal the outer edge and includes a side plate (32d) on which the intake outlet (36) is formed.

상기 흡기출구(36)는 상기 몸체(32)의 양측면 중앙에 각각 배치되도록 한 쌍으로 형성하여 설치된다.The intake outlets 36 are installed in pairs so that they are respectively located in the center of both sides of the body 32.

상기 몸체(32)의 양쪽 측면은 중앙쪽으로 갈수록 바깥쪽으로 서서히 돌출되게 형성하여 설치된다. 즉 양측 끝부 분의 내부평면단면적이 모서리쪽으로 갈수록 서서히 감소하는 형상으로 형성하여 설치된다.Both sides of the body 32 are installed to gradually protrude outward toward the center. That is, it is installed in a shape where the internal plane cross-sectional area of both ends gradually decreases toward the corners.

상기 덮개(40)는 상기 몸체(32)의 윗면에 밀착되고 몸체(32)의 윗면을 따라 왕복이동됨에 따라 상기 흡기공간The cover 40 is in close contact with the upper surface of the body 32 and moves back and forth along the upper surface of the body 32, thereby creating the intake space.

(31)의 개폐면적을 조절하도록 형성하여 설치되는 덮개판(41)과, 상기 덮개판(41)의 양측 모서리를 각각 슬라이 딩 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지레일(44)을 포함하여 이루어진다.It includes a cover plate 41 formed and installed to adjust the opening and closing area of the cover plate 41, and a pair of support rails 44 that slideably support both edges of the cover plate 41.

상기 덮개판(41)은 상기 몸체(32)의 윗면 양측에서 서로 대칭형으로 형성하여 설치되고 서로 거리가 멀어지도록 바깥쪽으로 이동시 상기 흡기공간(31)의 개폐량을 증가시키고 서로 거리가 가까워지도록 안쪽으로 이동시 흡기 공간(31)의 개폐량을 감소시키도록 형성하여 설치되는 한 쌍의 제1덮개판(42)과 제2덮개판(43)으로 이루어진다.The cover plates 41 are installed symmetrically on both sides of the upper surface of the body 32, and when moved outward to increase the distance from each other, the amount of opening and closing of the intake space 31 increases and move inward to close the distance from each other. It consists of a pair of first cover plates 42 and second cover plates 43 that are formed and installed to reduce the amount of opening and closing of the intake space 31 during movement.

상기 지지레일(44)은 대략 "ㄱ"형상으로 이루어진다.The support rail 44 is approximately “L” shaped.

즉 상기 지지레일(44)은 상기 덮개판(41) 윗면에 직각을 이루는 수직부(44a)와 상기 수직부(44a)의 끝부분에서 직각으로 굽어져 형성되고 상기 몸체(32) 윗면과의 사이에 상기 덮개판(41)의 끝부분이 지지되는 수평부(44b)를 포함하여 이루어진다.That is, the support rail 44 is formed by bending at a right angle at the end of the vertical part 44a and the vertical part 44a forming a right angle to the upper surface of the cover plate 41, and between the upper surface of the body 32. It includes a horizontal portion 44b on which the end of the cover plate 41 is supported.

상기 지지레일(44)에는 상기 덮개판(41)이 일정 위치에서 유동하지 않도록 하는 볼트(48)가 결합 설치되는 것도 가능하다.It is also possible to install bolts 48 on the support rail 44 to prevent the cover plate 41 from moving at a certain position.

상기 볼트(48)는 상기 지지레일(44)을 관통하여 설치되고 한쪽방향으로 회전시킴에 따라 상기 덮개판(41)을 눌 러서 압박하고 반대로 회전시킴에 따라 압박을 해제하게 된다.The bolt 48 is installed to penetrate the support rail 44, and when rotated in one direction, it presses and compresses the cover plate 41, and when rotated in the opposite direction, the pressure is released.

상기 지지레일(44)은 상기 제1덮개판(42)의 양측 모서리를 각각 슬라이딩 가능하게 지지하는 한 쌍의 제1레일The support rail 44 is a pair of first rails that slideably support both edges of the first cover plate 42.

(45)과, 상기 제2덮개판(43)의 양측 모서리를 각각 슬라이딩 가능하게 지지하는 제2레일(46)로 이루어진다.(45) and a second rail (46) that slidably supports both edges of the second cover plate (43).

다음으로 본 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치의 작동과정을 도면을 참조하여 설명한다.Next, the operating process of the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the present invention configured as described above will be described with reference to the drawings.

먼저 오염가스를 제거하고자 하는 챔버(2)가 정해지면 작업자는 함체(10)의 손잡이(11)를 잡고 바퀴(12)를 구름 운동시키며 해당 챔버(2)로 이동시키며, 이 때 상기 흡기후드(30)는 작업자가 들고 이동하거나 함체(10) 위에 얹은 상태로 이동하게 된다.First, when the chamber 2 from which the polluted gas is to be removed is determined, the operator holds the handle 11 of the enclosure 10 and moves the wheel 12 to the relevant chamber 2 by rolling it. At this time, the intake hood ( 30) is carried by the worker or moved while placed on the enclosure (10).

상기 배기관(24)은 해당 챔버(2)로 이동하기 이전이나 이후에 배기덕트 등의 공기조화설비와 연결시킨다. 상기 해당 챔버(2)로 이동이 완료되고 배기관(24)이 공기조화설비와 연결되면, 상기 배기펌프(20)를 가동시키고The exhaust pipe 24 is connected to air conditioning equipment such as an exhaust duct before or after moving to the corresponding chamber 2. When the movement to the corresponding chamber 2 is completed and the exhaust pipe 24 is connected to the air conditioning equipment, the exhaust pump 20 is operated and

상기 챔버(2) 윗면을 개방함과 동시에 상기 흡기후드(30)가 챔버(2) 윗면에 얹혀지도록 설치한다.The upper surface of the chamber (2) is opened and the intake hood (30) is installed so that it rests on the upper surface of the chamber (2).

상기와 같이 배기펌프(20)가 가동하고 흡기후드(30)가 설치되면, 상기 챔버(2)의 내부 또는 개구부 주위의 오염 가스는 상기 흡기후드(30)의 흡기공간(31) 및 흡기입구(34)를 통해 몸체(32) 내부로 유입된 후 흡기출구(36)를 거치고 흡기관(22)과 메쉬필터(23) 및 배기펌프(20), 배기관(24)을 순차적으로 통과하면서 오염가스의 배기가 이루어지게 된다.When the exhaust pump 20 is operated and the intake hood 30 is installed as described above, the contaminated gas inside the chamber 2 or around the opening is in the intake space 31 and the intake inlet of the intake hood 30 ( After flowing into the body 32 through 34), it passes through the intake outlet 36 and sequentially passes through the intake pipe 22, the mesh filter 23, the exhaust pump 20, and the exhaust pipe 24. Exhaust takes place.

그리고 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치는 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 흡기후드(40)의 몸체(42)의 상부쪽에서 압축공기를 분출함에 따라 흡기공간(41)을 폐쇄하도록 설치되는 에 어커튼(50)을 더 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.And, as shown in Figures 8 and 9, the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the second embodiment of the present invention ejects compressed air from the upper part of the body 42 of the intake hood 40, thereby filling the intake space. It is also possible to further include an air curtain (50) installed to close (41).

상기 에어커튼(50)은 압축공기가 수용되는 에어챔버(51)와, 상기 에어챔버(51)의 한쪽 면에 형성되고 에어챔버The air curtain 50 is formed on an air chamber 51 that accommodates compressed air, and on one side of the air chamber 51, and is formed on one side of the air chamber 51.

(51)로부터 압축공기가 분출되는 에어분출구(52)와, 상기 에어챔버(51)의 다른 한쪽 면에 형성되고 에어챔버An air outlet 52 through which compressed air is ejected from (51) is formed on the other side of the air chamber 51 and the air chamber

(51)로 압축공기가 공급되는 에어공급구(53)를 포함하여 이루어진다.It includes an air supply port (53) through which compressed air is supplied to (51).

상기 에어커튼(50)의 에어챔버(51)는 상기 제1덮개판(42) 및 제2덮개판(43)의 위쪽에 각각 설치되고 상기 에어 분출구(52)가 서로 마주하도록 설치된다.The air chamber 51 of the air curtain 50 is installed above the first cover plate 42 and the second cover plate 43, and the air outlet 52 is installed to face each other.

상기 에어공급구(53)에는 압축공기가 공급되도록 에어공급관(54) 등을 통하여 공기압축기(도면에는 나타내지 않 음)가 연결된다.An air compressor (not shown in the drawing) is connected to the air supply port 53 through an air supply pipe 54 or the like to supply compressed air.

상기와 같은 에어커튼(50)은 상기 챔버(2)의 오염가스가 상기 흡기공간(31)을 통하여 외부로 유출되는 것을 방 지해 주게 된다.The air curtain 50 as described above prevents the contaminated gas in the chamber 2 from leaking out to the outside through the intake space 31.

상기한 제2실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 제1실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가 능하므로 상세한 설명은 생략한다.In the above-described second embodiment, it is possible to implement the same configuration as the above-described first embodiment except for the above-described configuration, so detailed description is omitted.

그리고 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치는 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 함체(10)의 내부에 설치되는 보조배기펌프(120)와, 상기 보조배기펌프(120)에 각각 연결 설치되는 보조흡기관(122) 및 보조배기관(124)과, 상기 보조흡기관(122)에 연결 설치되고 상기 챔버(2)의 개구부를 개폐 하고 상기 챔버(2)의 개구부와 대향으로 공간부(7)가 형성된 챔버덮개(6)의 공간부(7) 주위에서 흡기를 행하도 록 형성하여 설치되는 보조흡기후드(130)를 더 포함하여 이루어진다.And, as shown in FIGS. 10 and 11, the mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment according to the third embodiment of the present invention includes an auxiliary exhaust pump 120 installed inside the enclosure 10, and the auxiliary exhaust pump An auxiliary intake pipe 122 and an auxiliary exhaust pipe 124 respectively connected to (120), and connected to the auxiliary intake pipe 122, open and close the opening of the chamber 2, and open and close the opening of the chamber 2. It further includes an auxiliary intake hood 130 formed and installed to intake air around the space portion 7 of the chamber cover 6 where the space portion 7 is formed opposite to the.

상기 보조배기펌프(120)는 상기한 배기펌프(20)와 마찬가지의 구성으로 이루어지는 것이 가능하다.The auxiliary exhaust pump 120 may have the same configuration as the exhaust pump 20 described above.

상기 보조흡기관(122)은 파이프형상으로 이루어지고 상기 보조배기펌프(20)의 내부로 흡기가 행해지도록 흡기통 로를 형성하며 한쪽 끝부분은 상기 보조배기펌프(120)에 연결되고 다른쪽 끝부분은 상기 보조흡기후드(130)에 연결된다.The auxiliary intake pipe 122 is shaped like a pipe and forms an intake passage to allow intake into the auxiliary exhaust pump 20. One end is connected to the auxiliary exhaust pump 120 and the other end is connected to the auxiliary exhaust pump 120. The portion is connected to the auxiliary intake hood 130.

상기 보조흡기관(122)에는 그물망 형태로 이루어지는 메쉬필터(123)가 설치되는 것도 가능하다.It is also possible to install a mesh filter 123 in the form of a net on the auxiliary intake pipe 122.

상기 보조배기관(124)은 파이프형상으로 이루어지고 상기 보조배기펌프(120)로부터 배기가 행해지는 배기통로를 형성하며 한쪽 끝부분이 상기 보조배기펌프(120)에 연결된다.The auxiliary exhaust pipe 124 is shaped like a pipe and forms an exhaust passage through which exhaust is discharged from the auxiliary exhaust pump 120, and one end is connected to the auxiliary exhaust pump 120.

상기에서 보조흡기관(122)과 보조배기관(134)은 상기 보조배기펌프(120)의 고장시 사용 가능하도록 보조개폐밸 브(137)가 설치되는 보조바이패스관(136)을 이용하여 서로 연결 설치되는 것도 가능하다.In the above, the auxiliary intake pipe 122 and the auxiliary exhaust pipe 134 are connected to each other using an auxiliary bypass pipe 136 in which an auxiliary opening and closing valve 137 is installed so that it can be used in case of failure of the auxiliary exhaust pump 120. It is also possible to install it.

상기 배기관(24)과 보조배기관(124)의 끝부분에는 배기통로를 합류시킬 수 있도록 합류관(125)이 연결 설치되는 것도 가능하고, 이 경우 합류관(125)의 끝부분에 상기 진공펌프(28)가 연결되는 것이 가능하다.It is also possible for a confluence pipe 125 to be installed at the end of the exhaust pipe 24 and the auxiliary exhaust pipe 124 to join the exhaust passages. In this case, the vacuum pump ( 28) is possible to be connected.

상기 챔버덮개(6)의 공간부(7)는 폐쇄상태에서 상기 챔버(2)의 내부공간과 연통되므로 개방시 내부에 오염가스 가 존재가 가능하다.Since the space portion 7 of the chamber cover 6 communicates with the inner space of the chamber 2 in a closed state, contaminant gas can exist inside when opened.

상기 보조흡기후드(130)는 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버덮개 (6)의 내면(챔버(2)를 폐쇄한 상태에서 챔버(2)의 개구부(3)와 대향하는 면) 쪽에 한쪽면이 밀착 설치되는 보조 몸체(132)와, 상기 보조몸체(132)의 한쪽 모서리에 일정 간격을 두고 형성되고 보조몸체(132)의 내부와 외부를 연통하는 복수의 보조흡기입구(134)와, 상기 보조몸체(132)의 다른 한쪽 모서리에 형성되고 보조몸체(132)의 내 부와 보조흡기관(122)이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 보조흡기출구(136)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 12 and 13, the auxiliary intake hood 130 has a flat cylindrical shape and is formed on the inner surface of the chamber cover 6 (the opening 3 of the chamber 2 in a closed state). ) an auxiliary body 132 whose one side is installed in close contact with the side opposite to ), and a plurality of plurality of auxiliary bodies 132 formed at regular intervals at one edge of the auxiliary body 132 and communicating between the inside and the outside of the auxiliary body 132. An auxiliary intake inlet 134 and an auxiliary intake outlet 136 formed at the other corner of the auxiliary body 132 and formed so that the inside of the auxiliary body 132 and the auxiliary intake pipe 122 communicate with each other. It is made including.

상기 보조몸체(132)의 한쪽 모서리는 대략 원호형상으로 이루어진다.One edge of the auxiliary body 132 is approximately arc-shaped.

상기 보조몸체(132)의 한쪽 모서리와 상기 공간부(7)의 일부 둘레는 서로 대응하는 형상으로 형성되는 것이 가 능하다.One edge of the auxiliary body 132 and a portion of the circumference of the space 7 may be formed into shapes corresponding to each other.

상기 보조흡기출구(136)는 상기 보조흡기구(134)가 위치하는 반대쪽 모서리 중앙에 형성된다.The auxiliary intake outlet 136 is formed in the center of the opposite corner where the auxiliary intake port 134 is located.

상기 보조몸체(132)의 다른 한쪽 모서리는 중앙쪽으로 갈수록 바깥쪽으로 서서히 돌출되게 형성하여 설치된다. 상기 보조몸체(132)는 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조상판(132a) 및 보조하판(132b)과, 상기 보조상판(132a)과 보조하판(132b)의 한쪽 모서리 사이를 일정 간격을 두고 연결하도록 설치되고 상기 복수의 보 조흡기입구(134)를 형성하는 복수의 보조연결대(132c)와, 상기 보조상판(132a) 및 보조하판(132b)의 나머지 모 서리 사이를 연결하며 밀폐하도록 설치되고 상기 보조흡기출구(136)가 형성되는 보조측면판(132d)을 포함하여 이루어진다.The other edge of the auxiliary body 132 is installed to gradually protrude outward toward the center. The auxiliary body 132 includes a pair of auxiliary upper plates 132a and auxiliary lower plates 132b arranged in parallel at regular intervals, and a predetermined distance between one edge of the auxiliary upper plate 132a and the auxiliary lower plate 132b. It is installed to connect and seal the plurality of auxiliary connecting bands 132c forming the plurality of auxiliary intake inlets 134 and the remaining edges of the auxiliary upper plate 132a and the auxiliary lower plate 132b. It is installed and includes an auxiliary side plate (132d) on which the auxiliary intake outlet 136 is formed.

상기한 제3실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 제1실시예 또는 제2실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로 상세한 설명은 생략한다.In the above-described third embodiment, it is possible to implement the same configuration as the first or second embodiments except for the above-described configuration, so detailed description is omitted.

2 : 챔버 10 : 함체
4 : 챔버덮개 11 : 손잡이
12 : 바퀴 20 : 배기펌프
22 : 흡기관 23 : 메쉬필터
24 : 배기관 26 : 바이패스관
27 : 개폐밸브 28 : 진공펌프
30 : 흡기후드 31 : 흡기공간
32 : 몸체 34 : 흡기입구
36 : 흡기출구 40 : 덮개
41 : 덮개판 42 : 지지레일
50 : 에어커튼 51 : 에어챔버
52 : 에어분출구 53 : 에어공급구
120 : 보조배기펌프 122 : 보조흡기관
124 : 보조배기관 125 : 합류관
126 : 보조바이패스관 127 : 보조개폐밸브
130 : 보조흡기후드 132 : 보조몸체
134 : 보조흡기입구 136 : 보조흡기출구2: Chamber 10: Enclosure
4: Chamber cover 11: Handle
12: wheel 20: exhaust pump
22: intake pipe 23: mesh filter
24: exhaust pipe 26: bypass pipe
27: opening/closing valve 28: vacuum pump
30: intake hood 31: intake space
32: body 34: intake inlet
36: intake outlet 40: cover
41: cover plate 42: support rail
50: Air curtain 51: Air chamber
52: air outlet 53: air supply port
120: Auxiliary exhaust pump 122: Auxiliary intake pipe
124: Auxiliary exhaust pipe 125: Confluence pipe
126: Auxiliary bypass pipe 127: Auxiliary open/close valve
130: Auxiliary intake hood 132: Auxiliary body
134: auxiliary intake inlet 136: auxiliary intake outlet

Claims (9)

하부에 바퀴가 설치되는 함체와,
상기 함체의 내부에 설치되는 배기펌프와,
흡기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프에 연결 설치되는 흡기관과, 배기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 배기펌프에 연결 설치되는 배기관과,
상기 흡기관의 다른쪽 끝부분에 연결 설치되고 챔버의 개구부 주위에서 흡기를 행하도록 형성하여 설치되는 흡 기후드를 포함하고,
상기 흡기후드는 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버의 개구부 외측에 설치되며 개구부와 대향으로 흡기공 간이 관통 형성되는 몸체와, 상기 몸체의 안쪽 모서리 둘레를 따라 형성되고 몸체의 내부와 흡기공간이 서로 통 하도록 형성하여 설치되는 복수의 흡기입구와, 상기 몸체의 바깥쪽 모서리에 형성되고 몸체의 내부와 흡기관이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 흡기출구와, 상기 몸체의 상부쪽에서 압축공기를 분출함에 따라 상기 흡기공 간을 폐쇄하도록 형성하여 설치되는 에어커튼을 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
A box with wheels installed at the bottom,
An exhaust pump installed inside the enclosure,
an intake pipe that forms an intake passage and one end of which is connected to the exhaust pump; an exhaust pipe that forms an exhaust passage and one end of which is connected to the exhaust pump;
It is connected to the other end of the intake pipe and includes an intake fan formed and installed to perform intake around the opening of the chamber,
The intake hood is made of a flat cylindrical shape and is installed outside the opening of the chamber, and has a body through which an intake space is formed opposite to the opening, and is formed along the inner edge of the body so that the inside of the body and the intake space communicate with each other. A plurality of intake inlets formed and installed to A portable exhaust device for semiconductor manufacturing equipment that includes an air curtain formed and installed to close the intake space.
 청구항 1에 있어서,
상기 흡기후드의 몸체는 각각 안쪽에 관통구멍이 형성되고 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 한 쌍의 상판 및 하판과, 상기 상판과 하판의 관통구멍이 형성되는 안쪽 모서리 사이를 일정 간격을 두고 연결하도록 설치되 고 상기 복수의 흡기입구를 형성하는 복수의 연결대와, 상기 상판 및 하판의 바깥쪽 모서리 사이를 연결하며 밀 폐하도록 설치되고 상기 흡기출구가 형성되는 측면판을 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 1,
The body of the intake hood is connected to a pair of upper and lower plates each having a through hole formed on the inside and arranged in parallel at a certain distance, and an inner edge where the through hole of the upper plate and the lower plate is formed at a certain interval. A portable exhaust for semiconductor manufacturing equipment, including a plurality of connecting rods installed and forming the plurality of intake inlets, and a side plate installed to connect and seal the outer edges of the upper plate and the lower plate and forming the intake outlet. Device.
 청구항 1에 있어서,
상기 흡기후드의 몸체는 양쪽 측면이 중앙쪽으로 갈수록 바깥쪽으로 돌출되게 형성하여 설치하고,
상기 흡기출구는 상기 몸체의 양측면 중앙에 각각 배치되도록 한 쌍으로 형성하여 설치하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 1,
The body of the intake hood is installed so that both sides protrude outward toward the center,
A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment, wherein the intake outlets are installed in pairs so that they are respectively located in the center of both sides of the body.
 청구항 1에 있어서,
상기 흡기후드의 흡기공간은 원형으로 형성하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 1,
A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment wherein the intake space of the intake hood is circular.
 청구항 1에 있어서,
상기 흡기관과 배기관을 연결하는 바이패스관과,
상기 배기관의 다른쪽 끝부분에 연결 설치되는 진공펌프를 더 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 1,
A bypass pipe connecting the intake pipe and the exhaust pipe,
A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment further comprising a vacuum pump connected to the other end of the exhaust pipe.
 청구항 1에 있어서,
상기 함체의 내부에 설치되는 보조배기펌프와,
흡기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 보조배기펌프에 연결 설치되는 보조흡기관과, 배기통로를 형성하고 한쪽 끝부분이 상기 보조배기펌프에 연결 설치되는 보조배기관과,
상기 보조흡기관에 연결 설치되고 상기 챔버의 개구부를 개폐하고 상기 챔버의 개구부와 대향으로 공간부가 형 성된 챔버덮개의 공간부 주위에서 흡기를 행하도록 형성하여 설치되는 보조흡기후드를 더 포함하고,
상기 보조흡기후드는 납작한 통형상으로 이루어지고 상기 챔버덮개의 내면 쪽에 한쪽면이 밀착 설치되는 보조몸 체와, 상기 보조몸체의 한쪽 모서리에 일정 간격을 두고 형성되고 보조몸체의 내부와 외부를 연통하는 복수의 보조흡기입구와, 상기 보조몸체의 다른 한쪽 모서리에 형성되고 보조몸체의 내부와 보조흡기관이 서로 통하도록 형성하여 설치되는 보조흡기출구를 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 1,
An auxiliary exhaust pump installed inside the enclosure,
An auxiliary intake pipe that forms an intake passage and has one end connected to the auxiliary exhaust pump, and an auxiliary exhaust pipe that forms an exhaust passage and has one end connected to the auxiliary exhaust pump,
It further includes an auxiliary intake hood that is connected to the auxiliary intake pipe, opens and closes the opening of the chamber, and performs intake around the space of the chamber cover, where the space is formed opposite to the opening of the chamber,
The auxiliary intake hood is made of a flat cylindrical shape and includes an auxiliary body with one side installed in close contact with the inner surface of the chamber cover, and an auxiliary body formed at a certain interval at one edge of the auxiliary body and communicating between the inside and the outside of the auxiliary body. A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment including a plurality of auxiliary intake inlets and an auxiliary intake outlet formed at the other corner of the auxiliary body and installed so that the interior of the auxiliary body and the auxiliary intake pipe communicate with each other.
 청구항 6에 있어서,
상기 보조흡기후드의 보조몸체는 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조상판 및 보조하판과, 상기 보조상판과 보조하판의 한쪽 모서리 사이를 일정 간격을 두고 연결하도록 설치되고 상기 복수의 보조흡기입구를 형성하는 복수의 보조연결대와, 상기 보조상판 및 보조하판의 나머지 모서리 사이를 연결하며 밀폐하도록 설치 되고 상기 보조흡기출구가 형성되는 보조측면판을 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 6,
The auxiliary body of the auxiliary intake hood is installed to connect a pair of auxiliary upper plates and auxiliary lower plates arranged in parallel at regular intervals and one edge of the auxiliary upper plate and the auxiliary lower plate at a certain interval, and the plurality of auxiliary intake A portable exhaust device for semiconductor manufacturing equipment, comprising a plurality of auxiliary connecting bands forming an inlet, and an auxiliary side plate installed to connect and seal the remaining edges of the auxiliary upper plate and the auxiliary lower plate and forming the auxiliary intake outlet.
 청구항 6에 있어서,
상기 보조몸체의 다른 한쪽 모서리는 중앙쪽으로 갈수록 바깥쪽으로 돌출되게 형성하여 설치하고, 상기 흡기출구는 상기 다른 한쪽 측면의 중앙에 배치하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장치.
In claim 6,
A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment wherein the other edge of the auxiliary body is formed to protrude outward toward the center, and the intake outlet is disposed at the center of the other side.
 청구항 6에 있어서,
상기 보조흡기관과 보조배기관을 연결하는 보조바이패스관과,
상기 배기관과 보조배기관의 끝부분에 연결 설치되는 합류관을 더 포함하는 반도체 제조 장비용 이동식 배기장 치.
In claim 6,
An auxiliary bypass pipe connecting the auxiliary intake pipe and the auxiliary exhaust pipe,
A mobile exhaust device for semiconductor manufacturing equipment further comprising a confluence pipe connected to the end of the exhaust pipe and the auxiliary exhaust pipe.
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