KR101580587B1 - cell type panel fixing device for sputtering - Google Patents

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KR101580587B1
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김원중
도영호
송희수
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Abstract

The present invention relates to a cell type panel fixing device for sputtering which prevents spreading of a thin film formed on a surface of a cell type panel by sputtering. The cell type panel fixing device of the present invention comprises: a front cover which supports a plurality of cell type panel fronts, comprising a plurality of mounting grooves accommodating each cell type panel, and comprising a first slit penetrating a front and a rear inside an edge part of each mounting groove; a plurality of rear covers which supports each cell type panel rear, comprising a plurality of first magnets arranged on the edge part in an interval; and a plurality of masks arranged between a front cover and a rear cover, comprising a second slit corresponding to the first slit. The front cover comprises: a support piece protruded inwards on four edges of each mounting groove, and combined to the front cover by bolt fastening; and a protruded member elastically supported by a coil spring to pressurize the rear cover accommodated in each mounting groove, and formed to be able to rotate inward and outward the mounting groove respectively.

Description

스퍼터링용 셀형 패널 고정장치{cell type panel fixing device for sputtering}[0001] The present invention relates to a cell type panel fixing device for sputtering,

본 발명은 패널 고정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프론트커버 및 리어커버에 의해 지지되는 셀형 패널이 마스크와 긴밀히 밀착될 수 있도록 함으로써 스퍼티링 과정에서 셀형 패널 표면에 형성되는 박막의 번짐을 방지할 수 있도록 한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a panel fixing apparatus, and more particularly, to a panel fixing apparatus which can prevent a thin film formed on a surface of a cell type panel from being scattered during a sputtering process by allowing a cell type panel supported by a front cover and a rear cover to closely contact with a mask To a cell type panel fixing device for sputtering.

디스플레이패널 또는 글라스패널 등의 패널 표면에 박막이 형성되는 경우가 있다.A thin film may be formed on the surface of a panel such as a display panel or a glass panel.

이때, 패널 표면의 박막은 통상 스퍼터링 장치를 통한 스퍼터링 공정에 의해 형성되며, 패널 표면에 박막이 형성됨으로써 패널의 기능 및 표면이 보호될 뿐만 아니라 패널의 강성 및 특성 등이 향상된다.At this time, the thin film on the surface of the panel is usually formed by a sputtering process through a sputtering apparatus, and a thin film is formed on the surface of the panel, thereby protecting the function and surface of the panel and improving the rigidity and characteristics of the panel.

한편, 패널 표면에의 박막 형성과정, 즉 스퍼터링 공정에서 패널은 자체로 이송되는 것이 일반적이었다.On the other hand, in the process of forming the thin film on the surface of the panel, that is, in the sputtering process, the panel is usually transported by itself.

즉, 종래 스퍼터링 공정에서는 작업자가 패널 자체를 들어 이송하였다.That is, in the conventional sputtering process, the operator carried the panel itself.

이와 같이 패널 자체를 들어 이송하는 경우, 패널이 주변 장치 등과 충돌할 수 있어 자칫 패널이 손상되는 문제가 있었다.When the panel itself is conveyed in this manner, the panel may collide with a peripheral device or the like, and thus the panel is damaged.

이러한 이유로 해당분야에서는 스퍼터링 공정에서 스퍼터링용 패널 고정장치를 이용하고 있다.For this reason, in this field, a sputtering panel fixing device is used in the sputtering process.

이때, 일반 스퍼터링용 패널 고정장치는, 패널의 배면 및 전면을 지지하는 리어커버 및 프론트커버를 구비하는 바, 리어커버 및 프론트커버에 의해 패널이 상당부분 감싸져 보호되므로 패널 이송시 주변 장치 등과의 충돌로 인한 패널의 손상이 방지된다.At this time, the panel fixing device for general sputtering includes a rear cover and a front cover for supporting the rear face and the front face of the panel, and the rear cover and the front cover cover a considerable part of the panel to protect the panel. The panel is prevented from being damaged by the collision.

그러나, 일반 스퍼터링용 패널 고정장치는, 패널과 접촉하는 마스크가 패널로부터 이격되어 패널 표면에 형성되는 박막이 마스크와 패널 사이의 틈을 통해 번지는 경우가 빈번하여 특히, 박막을 폭이 좁은 띠 형태로 형성하는 경우 박막의 형성 품질이 저하되는 문제가 있었다.However, in the panel fixing apparatus for general sputtering, the thin film formed on the surface of the panel spaced apart from the panel contacting the panel frequently spreads through the gap between the mask and the panel, and in particular, There is a problem that the quality of the thin film is deteriorated.

또한, 일반 스퍼터링용 패널 고정장치는, 프론트커버를 지지하기 위하여 진공장치를 사용하는 바, 진공 흡입력에 의해 프론트커버 및 마스크가 변형됨에 따라 마스크와 패널 간의 정확한 정렬이 어렵고, 박막이 마스크와 패널 사이의 틈을 통해 번지는 경우가 빈번하여 특히, 박막을 폭이 좁은 띠 형태로 형성하는 경우 띠의 형태가 균일하지 못해 박막의 형성 품질이 저하되는 문제가 있었다.In the panel fixing device for general sputtering, since a vacuum device is used to support the front cover, it is difficult to accurately align the mask and the panel as the front cover and the mask are deformed by the vacuum suction force, In particular, when the thin film is formed in a narrow band shape, the shape of the band is not uniform and the formation quality of the thin film is deteriorated.

상기의 이유로 해당 분야에서는 프론트커버 및 리어커버에 의해 지지되는 패널이 마스크와 긴밀히 밀착될 수 있도록 함으로써 스퍼터링에 의해 패널 표면에 형성되는 박막의 번짐을 방지할 수 있도록 한 패널 고정장치의 개발을 시도하고 있으나, 현재까지는 만족할만한 결과를 얻지 못하고 있는 실정이다.
For this reason, in the related art, the panel supported by the front cover and the rear cover can be intimately brought into close contact with the mask, thereby attempting to develop a panel fixing device capable of preventing the thin film formed on the surface of the panel by sputtering from being blurred However, up to the present time, satisfactory results have not been obtained.

본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 제안된 것으로, 일반 스퍼터링용 패널 고정장치에서 패널과 접촉하는 마스크가 패널로부터 이격되어 스퍼터링에 의해 패널 표면에 형성되는 박막이 마스크와 패널 사이의 틈을 통해 번짐에 따라 박막의 형성 품질이 저하되었던 문제를 해소할 수 있도록 한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a panel fixing apparatus for a general sputtering panel, wherein a mask contacting the panel is formed on the panel surface by sputtering spaced from the panel, The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a cell-type panel fixing device for sputtering which can solve the problem that the quality of the thin film is deteriorated.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치는, 복수의 셀형 패널 전면을 지지하되, 상기 셀형 패널을 각각 수용하는 복수의 안착홈을 구비하고, 상기 안착홈 각각의 가장자리부 내측에 전후면을 관통하는 제1 슬릿을 구비하는 프론트커버와, 상기 복수의 셀형 패널 배면을 각각 지지하되, 가장자리부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 자성체를 구비하는 복수의 리어커버와, 상기 프론트커버와 상기 리어커버 사이에 배치되되, 상기 제1 슬릿에 대응하는 제2 슬릿을 구비하는 복수의 마스크를 포함하고, 상기 프론트커버는, 상기 안착홈 각각의 사방 모서리 내측으로 돌출되며, 볼트 체결에 의해 상기 프론트커버에 결합되는 지지편, 및 상기 안착홈 각각의 내측에 수용되는 상기 리어커버를 압착하도록 코일 스프링에 의해 탄성 지지되며 상기 안착홈 각각의 내외측으로 회동 가능하게 형성되는 돌출부재를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cell-type panel fixing device for sputtering, comprising: a plurality of seating grooves for supporting a plurality of cell-type panels, the seating grooves each receiving the cell-type panels; A plurality of rear covers each supporting a rear surface of the plurality of cell-type panels, each of the plurality of rear covers including a plurality of first magnetic bodies arranged at intervals in an edge portion; And a plurality of masks disposed between the front cover and the rear cover and having a second slit corresponding to the first slit, wherein the front cover projects inward from the four corners of each of the seating grooves, A pair of support shafts which are coupled to the front cover by fastening and a rear cover which is received in each of the seating grooves, Supported by the elastic and comprises a protruding member which is formed rotatably around the side of each receiving groove.

상기 셀형 패널은 디스플레이패널 및 글래스패널 중의 어느 하나이다.The cell-type panel is one of a display panel and a glass panel.

상기 제1 슬릿은 상기 셀형 패널 각각의 상변, 하변, 양측변 내측으로 인접 배치된다.The first slits are disposed adjacent to the upper side, the lower side, and both sides of each of the cell-type panels.

상기 프론트커버는 그 후방에 복수의 제2 자성체를 구비하는 고정블럭을 포함한다.The front cover includes a fixed block having a plurality of second magnetic bodies on the rear side thereof.

상기 제2 자성체는, 어느 하나가 그와 이웃하는 다른 어느 하나와 서로 반대 극성으로 간격을 두고 배치되되, 일 극성의 총 수량이 반대 극성의 총 수량과 동일하다.The second magnetic body is disposed at an interval with a polarity opposite to that of any one of the first and second magnetic bodies, wherein the total quantity of one polarity is the same as the total quantity of the opposite polarities.

상기 제2 자성체는, 일 극성의 총 수량이 상기 제1 자성체 총 수량과 같거나 많게 배치된다.The second magnetic body is disposed such that the total amount of one polarity is equal to or greater than the total quantity of the first magnetic body.

상기 안착홈은 수평상태로부터 5-10°기울어 배치된다.The seating groove is arranged to be inclined 5-10 from the horizontal state.

상기 리어커버는 상기 셀형 패널과 마주하는 면에 테프론코팅층을 구비한다.The rear cover has a Teflon coating layer on a surface facing the cell-type panel.

상기 리어커버는 전후면을 관통하는 복수의 개방구를 구비한다.The rear cover has a plurality of openings penetrating the front and rear surfaces.

상기 제1 자성체는 어느 하나와 그와 이웃하는 다른 어느 하나가 동일 극성으로 간격을 두고 배치된다.The first magnetic body is disposed at an interval with the same polarity as any one of the first magnetic body and the other neighboring magnetic body.

상기 마스크는 상기 셀형 패널과 마주하는 면에 테프론코팅층을 구비한다.
The mask has a Teflon coating layer on the surface facing the cell-type panel.

본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치는, 리어커버가 제1 자성체로부터의 자력에 의해 프론트커버에 부착되는바, 이에 의해 리어커버와 프론트커버 사이의 마스크와 셀형 패널이 긴밀히 밀착되므로 스퍼터링 과정에서 마스크와 셀형 패널 사이가 이격됨으로 인한 박막 형성 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.In the cell type panel fixing device for sputtering according to the present invention, the rear cover is attached to the front cover by the magnetic force from the first magnetic body, whereby the mask between the rear cover and the front cover and the cell- It is possible to prevent defective thin film formation due to the space between the mask and the cell type panel.

또한, 본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치는, 프론트커버에 복수의 셀형 패널이 각각 수용되는 복수의 안착홈이 마련되고, 각 안착홈에 구비되는 제1 슬릿이 셀형 패널의 상변, 하변, 양측변 내측에 인접 배치되며, 마스크에 구비되는 제2 슬릿이 제1 슬릿에 대응하는 바, 프론트커버와 리어커버로써 마스크와 셀형 패널을 지지한 이후 프론트커버측에서 스퍼터링을 실시함에 따라 셀형 패널 가장자리부에 띠 형태 박막의 형성이 용이해질 수 있는 효과가 있다.
The cell-type panel fixing device for sputtering according to the present invention is characterized in that the front cover is provided with a plurality of seating grooves each of which accommodates a plurality of cell-type panels, and the first slits provided in the respective seating grooves are disposed on the upper side, And the second slit provided on the mask corresponds to the first slit. After the mask and the cell-type panel are supported by the front cover and the rear cover, sputtering is performed on the side of the front cover, So that the formation of the strip-shaped thin film can be facilitated.

도 1은 본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치의 구조를 설명하기 위한 분리 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 패널 고정장치의 사용을 설명하기 위한 개략도.
도 3은 본 발명에서 프론트커버의 구조를 설명하기 위한 부분 단면도.
도 4는 본 발명에서 리어커버의 구조를 설명하기 위한 부분 단면도.
도 5는 본 발명에서 마스크의 구조를 설명하기 위한 부분 단면도.
도 6은 본 발명에서 마스크 배치를 설명하기 위한 예시도.
도 7은 본 발명에서 셀형 패널에의 박막 형성을 설명하기 위한 예시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining the structure of a cell-type panel fixing apparatus for sputtering according to the present invention; FIG.
2 is a schematic view for explaining the use of the panel fixing apparatus according to the present invention;
3 is a partial cross-sectional view for explaining a structure of a front cover in the present invention.
4 is a partial sectional view for explaining the structure of the rear cover in the present invention.
5 is a partial cross-sectional view for explaining the structure of a mask in the present invention.
6 is an exemplary view for explaining a mask layout in the present invention;
7 is an exemplary view for explaining thin film formation on a cell type panel in the present invention.

이하, 첨부 도면에 의거 본 발명에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치(A)는 프론트커버(10)와, 리어커버(20)와, 마스크(30)를 포함한다.As shown in FIGS. 1 and 2, the cell-type panel fixing apparatus A for sputtering according to the present invention includes a front cover 10, a rear cover 20, and a mask 30.

상기 프론트커버(10)는, 복수의 셀형 패널(100) 전면을 지지하되, 상기 셀형 패널(100)을 각각 수용하는 복수의 안착홈(11)을 구비하고, 상기 안착홈(11) 각각의 내측에 전후면을 관통하는 제1 슬릿(12)을 구비한다.The front cover 10 includes a plurality of seating grooves 11 for supporting the front surfaces of the plurality of cell-type panels 100 and each accommodating the cell-type panels 100, And a first slit 12 passing through the front and rear surfaces.

상기 제1 슬릿(12)은 상기 셀형 패널(100) 각각의 상변, 하변, 양측변 내측으로 인접 배치되는 것이 바람직하다.The first slits 12 are preferably disposed adjacent to the upper side, the lower side, and both sides of each of the cell-type panels 100.

상기 제1 슬릿(12)이 상기 셀형 패널(100) 각각의 상변, 하변, 양측변 내측으로 인접 배치됨으로써 상기 제1 슬릿(12)을 통해 상기 셀형 패널(100) 각각의 상변, 하변, 양측변 내측에 인접하는 부위가 노출될 수 있다.The first slit 12 is disposed adjacent to the upper side, the lower side and the both sides of each of the cell-type panels 100 so that the upper side, lower side, and both sides of each of the cell- A portion adjacent to the inside can be exposed.

그리고 상기 프론트커버(10)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 안착홈(11) 각각의 사방 모서리 내측으로 돌출되는 지지편(14)을 더 구비하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3, the front cover 10 may further include a support piece 14 protruding inward from the four corners of each of the seating grooves 11.

상기 프론트커버(14)가 상기 안착홈(11) 각각의 사방 모서리 내측으로 돌출되는 지지편(14)을 더 구비함으로써 상기 지지편(14) 하부로 상기 마스크(30)를 끼워 넣음에 따라 상기 안착홈(11)에 상기 마스크(30)가 고정된다.The front cover 14 is further provided with a support piece 14 protruding inward from the four corners of each of the mount recesses 11 so as to fit the mask 30 to the bottom of the support piece 14, The mask (30) is fixed to the groove (11).

상기 지지편(14)은 볼트(도면상 미도시) 체결에 의해 상기 프론트커버(10)에 결합되는 것이 바람직하다.The supporting piece 14 is preferably coupled to the front cover 10 by fastening bolts (not shown).

상기 지지편(14)이 볼트 체결에 의해 상기 프론트커버(10)에 결합됨으로써 상기 볼트를 풀게 되면 상기 프론트커버(10)로부터 상기 지지편(14)이 분리되므로 상기 안착홈(11) 내에 상기 마스크(30)의 안착이 용이해진다.The support piece 14 is detached from the front cover 10 when the bolt is loosened by being coupled to the front cover 10 by the bolt fastening, The seat 30 can be easily seated.

그리고 상기 프론트커버(10)는 상기 안착홈(11) 각각의 내측에 수용되는 상기 리어커버(20)를 압착하는 돌출부재(15)를 더 구비하는 것이 바람직하다.The front cover 10 may further include a protruding member 15 for pressing the rear cover 20 received in each of the seating grooves 11.

상기 프론트커버(10)가 상기 안착홈(11) 각각의 내측에 수용되는 상기 리어커버(20)를 압착하는 돌출부재(15)를 더 구비함으로써 상기 돌출부재(15)에 의해 상기 리어커버(20)가 압착됨에 따라 상기 안착홈(11)으로부터 상기 리어커버(20)의 이탈이 방지된다.The front cover 10 is further provided with a protruding member 15 for pressing the rear cover 20 accommodated in each of the seating grooves 11 so that the rear cover 20 So that the rear cover 20 is prevented from being separated from the seating groove 11. As shown in FIG.

상기 돌출부재(15)는 상기 안착홈(11) 각각의 내외측으로 회동 가능하게 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the projecting members 15 are rotatably formed on the inside and outside of the respective seating grooves 11.

상기 돌출부재(15)가 상기 안착홈(11) 각각의 내외측으로 회동 가능하게 형성됨으로써 상기 돌출부재(15)를 상기 안착홈(11) 외측으로 회동시키게 되면 상기 안착홈(11) 내에 수용된 상기 리어커버(20)의 인출이 용이해진다.When the projecting member 15 is pivotally moved inward and outward of each of the seating grooves 11 so that the projecting member 15 is rotated to the outside of the seating groove 11, The cover 20 can be easily drawn out.

상기 돌출부재(15)는 코일스프링(15a)에 의해 탄성 지지되는 것이 바람직하다.The protruding member 15 is preferably elastically supported by a coil spring 15a.

상기 돌출부재(15)가 코일스프링(15a)에 의해 탄성 지지됨으로써 상기 코일스프링(15a)의 탄성에 의해 상기 안착홈(11) 내측으로 향한 상기 돌출부재(15) 저면이 상기 안착홈(11) 내에 수용된 상기 리어커버(20) 상면에 밀접되므로 상기 리어커버(20)의 유동이 방지된다.The protrusion member 15 is resiliently supported by the coil spring 15a so that the bottom surface of the protrusion member 15 facing the inside of the seating groove 11 is elastically deformed by the elasticity of the coil spring 15a, The rear cover 20 can be prevented from flowing.

한편, 상기 안착홈(11)은 수평상태로부터 5-10°기울어 배치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, it is preferable that the seating grooves 11 are arranged to be inclined 5-10 from the horizontal state.

상기 안착홈(11)이 수평상태로부터 5-10°기울어 배치됨으로써 그 내측에 수용되는 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)이 자중에 의해 기울며 하단면과 일측면이 상기 안착홈(11)의 하단면과 일측면에 자연적으로 접하게 되어 상기 안착홈(11) 내에서의 틀어짐이 방지되므로 이에 의해 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)의 정렬이 가능하다.The mask 30 and the cell-type panel 100, which are accommodated in the inside thereof by being inclined by 5-10 from the horizontal state, are wobbled by their own weight, and the lower end face and the one side face of the seat- The mask 30 and the cell-type panel 100 can be aligned with each other by preventing nipping in the seating groove 11 by naturally contacting the bottom surface and one side surface of the cell-type panel 11.

이때, 상기 안착홈(11)이 기우는 정도가 5°에 미치지 못하는 경우, 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)이 자중에 의해 기우는 정도가 미흡할 수 있고, 상기 안착홈(11)이 기우는 정도가 10°를 넘어서는 경우, 횡방향으로 나열되는 상기 안착홈(11)이 차지하는 폭이 넓어져 상기 프론트커버(10)의 크기가 커져야만 하므로 상기 안착홈(11)은 수평상태로부터 5-10°기울어 배치되는 것이 바람직하다.In this case, when the degree of inclination of the seating groove 11 is less than 5 degrees, the degree of inclination of the mask 30 and the cell-type panel 100 due to its own weight may be insufficient, The width of the seating groove 11 arranged in the lateral direction is widened to increase the size of the front cover 10 so that the seating groove 11 is in a horizontal state It is preferable to be disposed at an angle of 5 to 10 DEG from the center.

그리고 상기 프론트커버(10)는 그 후방에 복수의 제2 자성체(41)를 구비하는 고정블럭(40)을 포함하는 것이 바람직하다.The front cover 10 preferably includes a fixing block 40 having a plurality of second magnetic bodies 41 on the rear side thereof.

상기 프론트커버(10)가 그 후방에 복수의 제2 자성체(41)를 구비하는 고정블럭(40)을 포함함으로써 상기 제2 자성체(41)로부터의 자력에 의해 상기 프론트커버(10)가 이끌리게 되므로 상기 고정블럭(40)에 의해 상기 프론트커버(10)가 고정된다. The front cover 10 includes a fixing block 40 having a plurality of second magnetic bodies 41 at the rear thereof so that the front cover 10 is attracted by the magnetic force from the second magnetic body 41 So that the front cover 10 is fixed by the fixing block 40.

상기 고정블럭(40)은 홀더(도면상 미도시) 등에 의해 스퍼터링 장치에 고정될 수 있다.The fixed block 40 may be fixed to the sputtering device by a holder (not shown in the figure) or the like.

상기 고정블럭(40)이 홀더(도면상 미도시) 등에 의해 스퍼터링 장치에 고정됨으로써 상기 고정블럭(40) 전면에 상기 프론트커버(10)를 밀착시킴에 따라 상기 제2 자성체(41)의 자력에 의해 상기 프론트커버(10)가 상기 고정블럭(40)에 이끌려 고정되고, 이에 의해 상기 프론트커버(10)의 유동이 방지되어 상기 프론트커버(10)에의 상기 리어커버(20) 결합 작업이 용이해진다.The fixed block 40 is fixed to the sputtering device by means of a holder or the like so that the front cover 10 is brought into close contact with the front surface of the fixed block 40 and the magnetic force of the second magnetic body 41 The front cover 10 is fixed to the fixed block 40 so as to prevent the front cover 10 from flowing and facilitating the operation of joining the rear cover 20 to the front cover 10 .

상기 제2 자성체(41)는 어느 하나가 그와 이웃하는 다른 어느 하나와 서로 반대 극성으로 간격을 두고 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that one of the second magnetic bodies 41 is disposed at an interval with a polarity opposite to that of any one of the adjacent second magnetic bodies 41. [

상기 제2 자성체(41)의 어느 하나가 그와 이웃하는 다른 어느 하나와 서로 반대 극성으로 간격을 두고 배치됨으로써 아래에서 설명하는 것과 같이 동일 극성으로 간격을 두고 배치되는 상기 제1 자성체(22)와의 사이에 인력과 척력이 동시에 작용한다.One of the second magnetic bodies 41 is disposed at an interval of an opposite polarity from the other of the first and second magnetic bodies 41 and 41 so as to be spaced apart from the first magnetic body 22 with the same polarity Between manpower and repulsive force works simultaneously.

상기 제2 자성체(41)는 일 극성의 총 수량이 반대 극성의 총 수량과 동일한 것이 바람직하다.It is preferable that the total number of monopolarities of the second magnetic material 41 is equal to the total number of the opposite polarities.

상기 제2 자성체(41)의 일 극성 총 수량이 반대 극성의 총 수량과 동일함으로써 제1 자성체(22)와의 사이에 균등한 인력과 척력이 작용한다.The total amount of one polarity of the second magnetic material 41 is equal to the total amount of the opposite polarity, so that an attractive force and a repulsive force are applied to the first magnetic material 22 with equal force.

상기 제2 자성체(41)는 일 극성의 총 수량이 상기 제1 자성체(22) 총 수량과 같거나 많게 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the second magnetic body 41 has a total quantity of unipolarities equal to or greater than the total quantity of the first magnetic bodies 22. [

상기 제2 자성체(41)의 일 극성 총 수량이 상기 제1 자성체(22) 총 수량과 같거나 많게 배치됨으로써 상기 제2 자성체(41)에 의한 척력이 상기 제1 자성체(22)에 의한 인력에 비해 같거나 더 크게 되므로 상기 제1 자성체(22)가 상기 제2 자성체(41)로 이끌리는 것이 방지된다.The total amount of one polarity of the second magnetic material 41 is equal to or greater than the total amount of the first magnetic material 22 so that the repulsive force of the second magnetic material 41 is applied to the attractive force of the first magnetic material 22 So that the first magnetic body 22 is prevented from being attracted to the second magnetic body 41.

한편, 상기 셀형 패널(100)은 디스플레이패널 및 글래스패널 중의 어느 하나일 수 있다.The cell-type panel 100 may be one of a display panel and a glass panel.

상기 셀형 패널(100)이 디스플레이패널(도면부호 미표시) 및 글래스패널(도면부호 미표시) 중의 어느 하나임으로써 스퍼터링 장치를 통한 스퍼터링에 의해 디스플레이패널 또는 글래스패널에 박막의 형성이 가능하다.The cell-type panel 100 is one of a display panel (not shown) and a glass panel (not shown), so that a thin film can be formed on a display panel or a glass panel by sputtering through a sputtering apparatus.

상기 리어커버(20)는, 상기 셀형 패널(100) 배면을 각각 지지하되, 가장자리부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 자성체(22)를 구비한다.The rear cover 20 includes a plurality of first magnetic bodies 22 that support the back surface of the cell-type panel 100, respectively, and are spaced apart from each other at an edge portion.

이와 같은 상기 리어커버(20)는 상기 셀형 패널(100)과 마주하는 면에 테프론코팅층(23)을 구비하는 것이 바람직하다.The rear cover 20 may include a Teflon coating layer 23 on a surface facing the cell-type panel 100.

상기 리어커버(20)가 상기 셀형 패널(100)과 마주하는 면에 테프론코팅층(23)을 구비함으로써 상기 테프론코팅층(23)이 상기 셀형 패널(100)과의 접촉시 충격 등을 완화하므로 상기 셀형 패널(100)의 손상이 방지된다.Since the rear cover 20 has the Teflon coating layer 23 on the side facing the cell-type panel 100, the Teflon-coating layer 23 mitigates the impact when the cell- The panel 100 is prevented from being damaged.

상기 제1 자성체(22)는 어느 하나와 그와 이웃하는 다른 어느 하나가 동일한 극성으로 간격을 두고 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that one of the first magnetic bodies 22 and the other one of the adjacent ones of the first magnetic bodies 22 are disposed with an interval of the same polarity.

상기 제1 자성체(22)가 어느 하나와 그와 이웃하는 다른 어느 하나가 동일한 극성으로 간격을 두고 배치됨으로써 후술하는 어느 하나와 그와 이웃하는 다른 어느 하나가 반대 극성으로 간격을 두고 배치되는 제2 자성체(41)와의 사이에 인력과 척력이 동시에 작용하게 된다.One of the first magnetic bodies 22 and the other one of the adjacent ones of the first magnetic bodies 22 are disposed at the same polarity and spaced apart from each other so that any one of the first and second magnetic bodies 22, The attracting force and the repulsive force act simultaneously with the magnetic body 41.

그리고 상기 리어커버(20)는 전후면을 관통하는 복수의 개방구(21)를 구비하는 것이 바람직하다.Preferably, the rear cover 20 has a plurality of openings 21 passing through front and rear surfaces.

상기 리어커버(20)가 전후면을 관통하는 복수의 개방구(21)를 구비함으로써 상기 개방구(21) 면적만큼 무게가 감소하게 되어 경량화될 뿐만 아니라 상기 개방구(21)를 통해 통기가 이루어짐에 따라 상기 리어커버(20)와 접하는 상기 셀형 패널(100)의 냉각이 원활해져 열화가 방지된다.Since the rear cover 20 includes a plurality of opening openings 21 through which the front and rear faces are passed, the weight is reduced by the area of the opening openings 21 so as to be lightweight and ventilated through the opening openings 21 The cooling of the cell-type panel 100 in contact with the rear cover 20 is smooth and the deterioration is prevented.

상기 마스크(30)는 상기 프론트커버(10)와 상기 리어커버(20) 사이에 배치되되, 상기 제1 슬릿(12)에 대응하는 제2 슬릿(31)을 구비한다.The mask 30 is disposed between the front cover 10 and the rear cover 20 and includes a second slit 31 corresponding to the first slit 12.

이와 같은 상기 마스크(30)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 셀형 패널(100)과 마주하는 면에 테프론코팅층(32)을 구비하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 5, the mask 30 may include a Teflon coating layer 32 on a surface facing the cell-type panel 100.

상기 마스크(30)가 상기 셀형 패널(100)과 마주하는 면에 테프론코팅층(32)을 구비함으로써 상기 테프론코팅층(32)이 상기 셀형 패널(100)과의 접촉시 충격 등을 완화하므로 상기 셀형 패널(100)의 손상이 방지된다.
Since the mask 30 has the Teflon coating layer 32 on the side facing the cell-type panel 100, the impact of the Teflon-coating layer 32 upon contact with the cell- (100) is prevented from being damaged.

본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치(A)를 통한 셀형 패널(100)에의 박막(200) 형성에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The formation of the thin film 200 on the cell-type panel 100 through the cell-type panel fixing apparatus A for sputtering according to the present invention will be described in detail as follows.

본 발명에서 원판 패널로부터 일정한 크기로 절단된 복수의 셀형 패널(100) 각각은 상기 프론트커버(10)와 상기 리어커버(20) 사이에 배치된다.In the present invention, each of the plurality of cell-type panels 100 cut from the disk panel to a predetermined size is disposed between the front cover 10 and the rear cover 20.

따라서, 상기 셀형 패널(100)은, 그 전면이 상기 프론트커버(10)에 의해 지지되고, 그 배면이 상기 리어커버(20)에 의해 지지된다.Accordingly, the front surface of the cell-type panel 100 is supported by the front cover 10, and the rear surface of the cell-type panel 100 is supported by the rear cover 20.

그리고 본 발명에서 상기 마스크(30)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 프론트커버(10)의 안착홈(11) 내에 안착되어 상기 셀형 패널(100)과 접한다.In the present invention, the mask 30 is seated in the seating groove 11 of the front cover 10 and contacts the cell-type panel 100 as shown in FIG.

이때, 상기 프론트커버(10)는 상기 셀형 패널(100) 각각의 상변, 하변, 양측변 내측에 인접 배치되는 제1 슬릿(12)을 구비하고, 상기 마스크(30)는 상기 제1 슬릿(12)과 대응하는 제2 슬릿(31)을 구비한다.The front cover 10 has a first slit 12 disposed adjacent to an upper side and a lower side of each of the cell-type panels 100, and the mask 30 has a first slit 12 And a second slit 31 corresponding to the second slit 31.

따라서, 스퍼터링 장치로써 상기 프론트커버(10)측에서 스퍼터링을 실시하게 되면 스퍼터링 장치에서 증발되는 입자가 상기 제1 슬릿(12) 및 제2 슬릿(31)을 거쳐 상기 셀형 패널(100)에 미치게 되므로 도 7에 도시된 바와 같이 상기 셀형 패널(100) 각각의 가장자리부에 띠 형태의 박막(200)이 형성된다.Therefore, if sputtering is performed on the side of the front cover 10 as a sputtering apparatus, the particles evaporated in the sputtering apparatus are moved to the cell-type panel 100 through the first slit 12 and the second slit 31 As shown in FIG. 7, a band-shaped thin film 200 is formed at the edge of each of the cell-type panels 100.

다만, 스퍼터링 과정에서 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)이 틀어질 경우, 상기 셀형 패널(100) 가장자리부에의 박막(200) 형성이 불량해질 수 있다.However, when the mask 30 and the cell-type panel 100 are twisted during the sputtering process, the formation of the thin film 200 on the edge of the cell-type panel 100 may be poor.

그러나, 본 발명에서 상기 안착홈(11)은 수평상태로부터 5-10°기울어 배치되는 바, 그 내측에 수용되는 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)이 자중에 의해 기울며 하단면과 일측면이 상기 안착홈(11)의 하단면과 일측면에 자연적으로 접하게 되므로 상기 안착홈(11) 내에서의 틀어짐이 방지된다.However, in the present invention, the mounting grooves 11 are arranged to be inclined by 5-10 from the horizontal state, and the mask 30 and the cell-type panel 100 accommodated therein are wobbled by their own weight, The one side surface is naturally brought into contact with the lower end surface and one side surface of the seating groove 11, so that it is prevented that the seating groove 11 is tilted.

따라서, 스퍼터링 과정에서 상기 마스크(30) 및 상기 셀형 패널(100)의 틀어짐에 따른 상기 셀형 패널(100) 가장자리부에의 박막(200) 형성 불량이 방지된다.Accordingly, defective formation of the thin film 200 on the edge of the cell-type panel 100 due to the deformation of the mask 30 and the cell-type panel 100 during the sputtering process is prevented.

또한, 스퍼터링 과정에서 상기 마스크(30)와 상기 셀형 패널(100) 사이에 유격이 발생할 경우, 상기 셀형 패널(100) 가장자리부에의 박막(200) 형성이 불량해질 수 있다.In addition, when a clearance is generated between the mask 30 and the cell-type panel 100 during the sputtering process, the formation of the thin film 200 on the edge of the cell-type panel 100 may be poor.

그러나, 본 발명에서 상기 리어커버(20)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 셀형 패널(100)과 마주하는 가장자리부에 상기 제1 자성체(22)가 간격을 두고 배치되는 바, 상기 제1 자성체(22)의 자력에 의해 상기 리어커버(20)가 상기 프론트커버(10)측으로 이끌려 부착되므로 상기 리어커버(20)와 상기 프론트커버(10)의 결합이 용이할 뿐만 아니라 상기 리어커버(20)와 상기 프론트커버(10) 사이가 긴밀해져 그 사이에 배치되는 상기 마스크(30)가 상기 셀형 패널(100)에 밀착되므로 스퍼터링 과정에서 상기 마스크(30)와 상기 셀형 패널(100) 사이에의 유격 발생이 방지된다.However, in the present invention, as shown in FIG. 4, the rear cover 20 has the first magnetic material 22 disposed at an edge portion facing the cell-type panel 100 with an interval, Since the rear cover 20 is attached to the front cover 10 side by the magnetic force of the rear cover 20 so that the rear cover 20 and the front cover 10 are easily engaged, The mask 30 and the front cover 10 are closely contacted with each other so that the mask 30 is in close contact with the cell-type panel 100. Therefore, during the sputtering process, the gap between the mask 30 and the cell- Occurrence is prevented.

따라서, 스퍼터링 과정에서 상기 마스크(30)와 상기 셀형 패널(100) 사이에의 유격 발생으로 인한 상기 셀형 패널(100) 가장자리부에의 박막(200) 형성 불량이 방지된다.Accordingly, in the sputtering process, defects in the formation of the thin film 200 on the edge of the cell-type panel 100 due to occurrence of clearance between the mask 30 and the cell-type panel 100 are prevented.

한편, 상기 프론트커버(10)가 유동할 경우, 상기 프론트커버(10)와 상기 리어커버(20)의 결합이 불량할 수 있다. On the other hand, when the front cover 10 flows, the engagement of the front cover 10 and the rear cover 20 may be poor.

그러나, 본 발명은 복수의 제2 자성체(41)를 구비하는 고정블럭(40)을 포함하는 바, 상기 고정블럭(40)에 상기 프론트커버(10)를 밀착시킴에 따라 상기 제2 자성체(41)로부터의 자력에 의해 상기 프론트커버(10)가 이끌려 고정되므로 유동이 방지된다.However, the present invention includes a fixed block 40 having a plurality of second magnetic bodies 41, and the front cover 10 is closely contacted to the fixed block 40, and the second magnetic body 41 So that the front cover 10 is prevented from flowing.

따라서, 상기 프론트커버(10)와 상기 리어커버(20) 결합 과정에서 상기 프론트커버(10) 유동에 따른 상기 프론트커버(10)와 상기 리어커버(20)의 결합 불량이 방지된다.Therefore, a defective connection between the front cover 10 and the rear cover 20 due to the flow of the front cover 10 during the engagement of the front cover 10 and the rear cover 20 is prevented.

이때, 상기 제1 자성체(22)로부터의 자력이 상기 프론트커버(10)에 미치는 경우 상기 리어커버(20)가 상기 프론트커버(10)측으로 이끌려 고정되므로 상기 리어커버(20)의 정렬, 즉 정위치 이동이 곤란할 수 있다.In this case, when the magnetic force from the first magnetic body 22 is applied to the front cover 10, the rear cover 20 is fixed to the front cover 10, It may be difficult to move the position.

그러나, 본 발명에서 상기 고정블럭(40)에 구비되는 상기 제2 자성체(41)는 어느 하나가 그와 이웃하는 다른 어느 하나와 서로 반대 극성으로 간격을 두고 배치되는 바, 상기 제2 자성체(41)와 상기 제1 자성체(22) 사이에 균등한 인력과 척력이 동시에 작용하게 되므로 상기 제1 자성체(22)가 상기 제2 자성체(41)측으로 이끌리는 것이 방지되어 상기 프론트커버(10)상에서 상기 리어커버(20)의 이동이 가능하다.However, in the present invention, any one of the second magnetic bodies 41 provided in the fixed block 40 is disposed at an interval with a polarity opposite to that of any other one of the adjacent second magnetic bodies 41, So that the first magnetic body 22 is prevented from being attracted to the second magnetic body 41 so that the first magnetic body 22 is prevented from being attracted to the first magnetic body 22, The rear cover 20 can be moved.

따라서, 상기 프론트커버(10)상에서 상기 리어커버(20)의 정렬, 즉 정위치 이동이 용이해진다.Therefore, alignment of the rear cover 20 on the front cover 10, that is, forward movement of the rear cover 20 is facilitated.

상기에서와 같이 본 발명에 의한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치(A)는, 리어커버(20)가 제1 자성체(22)로부터의 자력에 의해 프론트커버(10)에 부착되는바, 이에 의해 리어커버(20)와 프론트커버(10) 사이의 마스크(30)와 셀형 패널(100)이 긴밀히 밀착되므로 스퍼터링 과정에서 마스크(30)와 셀형 패널(100) 사이가 이격됨으로 인한 박막(200) 형성 불량을 방지할 수 있고, 프론트커버(10)에 복수의 셀형 패널(100)이 각각 수용되는 복수의 안착홈(11)이 마련되고, 각 안착홈(11)에 구비되는 제1 슬릿(12)이 셀형 패널(100)의 상변, 하변, 양측변 내측에 인접 배치되며, 마스크(30)에 구비되는 제2 슬릿(31)이 제1 슬릿(12)에 대응하는 바, 프론트커버(10)와 리어커버(20)로써 마스크(30)와 셀형 패널(100)을 지지한 이후 프론트커버(10)측에서 스퍼터링을 실시함에 따라 셀형 패널 가장자리부에 띠 형태 박막(200)의 형성이 용이해질 수 있다.As described above, the rear cover 20 is attached to the front cover 10 by the magnetic force from the first magnetic body 22 in the cell type panel fixing device A for sputtering according to the present invention, Since the mask 30 between the cell cover 20 and the front cover 10 and the cell-type panel 100 are closely contacted with each other, the defective formation of the thin film 200 due to the separation between the mask 30 and the cell- And a plurality of seating grooves 11 in which the plurality of cell-type panels 100 are accommodated are provided in the front cover 10 and the first slits 12 provided in the respective seating grooves 11 are formed in a cell- The second slit 31 provided on the mask 30 corresponds to the first slit 12 and the front cover 10 and the rear cover 10 are disposed adjacent to the upper side and the lower side of the panel 100, After the mask 30 and the cell-type panel 100 are supported by the support member 20 by sputtering on the side of the front cover 10, Forming the strip-form film 200 on the rib can be facilitated.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하므로 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 가능한 것이며, 그와 같은 변경은 이하 특허청구범위 기재에 의하여 정의되는 본 발명의 보호범위 내에 있게 된다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And are within the scope of protection of the present invention.

10 : 프론트커버 11 : 안착홈
12 : 제1 슬릿 14 : 지지편
15 : 돌출부재 15a : 코일스프링
20 : 리어커버 21 : 개방구
22 : 제1 자성체 23 : 테프론코팅층
30 : 마스크 31 : 제2 슬릿
32 : 테프론코팅층 40 : 고정블럭
41 : 제2 자성체 100 : 셀형 패널
200 : 박막 A : 셀형 패널 고정장치10: front cover 11: seat groove
12: first slit 14:
15: projecting member 15a: coil spring
20: rear cover 21: opening cover
22: first magnetic body 23: Teflon coating layer
30: mask 31: second slit
32: Teflon coating layer 40: Fixed block
41: second magnetic body 100: cell-type panel
200: Thin film A: Cell-type panel fixing device

Claims (11)

복수의 셀형 패널 전면을 지지하되, 상기 셀형 패널을 각각 수용하는 복수의 안착홈을 구비하고, 상기 안착홈 각각의 가장자리부 내측에 전후면을 관통하는 제1 슬릿을 구비하는 프론트커버와,
상기 복수의 셀형 패널 배면을 각각 지지하되, 가장자리부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 자성체를 구비하는 복수의 리어커버와,
상기 프론트커버와 상기 리어커버 사이에 배치되되, 상기 제1 슬릿에 대응하는 제2 슬릿을 구비하는 복수의 마스크를 포함하고,
상기 프론트커버는,
상기 안착홈 각각의 사방 모서리 내측으로 돌출되며, 볼트 체결에 의해 상기 프론트커버에 결합되는 지지편, 및
상기 안착홈 각각의 내측에 수용되는 상기 리어커버를 압착하도록 코일 스프링에 의해 탄성 지지되며 상기 안착홈 각각의 내외측으로 회동 가능하게 형성되는 돌출부재를 포함하는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
A front cover having a plurality of seating grooves for supporting the front surfaces of the plurality of cell-type panels, respectively, the seating grooves each accommodating the cell-type panels, and having a first slit passing through the front and rear surfaces inside the edge portions of the seating grooves,
A plurality of rear covers each supporting the plurality of cell-type panel back surfaces, each of the plurality of rear covers including a plurality of first magnetic bodies arranged at intervals in an edge portion;
And a plurality of masks disposed between the front cover and the rear cover, the mask having a second slit corresponding to the first slit,
The front cover
A support piece protruding inward from four corners of each of the seating grooves and coupled to the front cover by bolting,
And a projecting member elastically supported by a coil spring for pressing the rear cover received in each of the seating grooves and rotatably formed on the inside and outside of each of the seating grooves
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 셀형 패널은,
디스플레이패널 및 글래스패널 중의 어느 하나인 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The cellular phone according to claim 1,
Which is either a display panel or a glass panel
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 제1 슬릿은,
상기 셀형 패널 각각의 상변, 하변, 양측변 내측으로 인접 배치되는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
2. The light emitting device according to claim 1,
The upper and lower sides of each of the cell-type panels,
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 프론트커버는,
그 후방에 복수의 제2 자성체를 구비하는 고정블럭을 포함하는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
2. The front cover according to claim 1,
And a fixed block having a plurality of second magnetic bodies on the rear side thereof
Type panel fixing device for sputtering.
제4항에 있어서, 상기 제2 자성체는,
어느 하나가 그와 이웃하는 다른 어느 하나와 서로 반대 극성으로 간격을 두고 배치되되, 일 극성의 총 수량이 반대 극성의 총 수량과 동일한 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The magnetic sensor according to claim 4,
One of which is placed at an interval of opposite polarity from that of any other adjacent to it, the total quantity of one polarity being equal to the total quantity of the opposite polarity
Type panel fixing device for sputtering.
제5항에 있어서, 상기 제2 자성체는,
일 극성의 총 수량이 상기 제1 자성체 총 수량과 같거나 많게 배치되는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The magnetic recording medium according to claim 5,
The total number of unipolarities being equal to or greater than the total number of the first magnetic bodies
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 안착홈은,
수평상태로부터 5-10°기울어 배치되는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The seat according to claim 1,
Arranged at an angle of 5-10 ° from horizontal
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 리어커버는,
상기 셀형 패널과 마주하는 면에 테프론코팅층을 구비하는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The rear cover according to claim 1,
And a Teflon coating layer on the surface facing the cell-type panel
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 리어커버는,
전후면을 관통하는 복수의 개방구를 구비하는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The rear cover according to claim 1,
Having a plurality of openings penetrating the front and rear surfaces
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 제1 자성체는,
어느 하나와 그와 이웃하는 다른 어느 하나가 동일 극성으로 간격을 두고 배치되는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The magnetic sensor according to claim 1,
Any one of them and any other neighboring one of them is arranged at an interval of the same polarity
Type panel fixing device for sputtering.
제1항에 있어서, 상기 마스크는,
상기 셀형 패널과 마주하는 면에 테프론코팅층을 구비하는 것
인 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치.
The lithographic apparatus according to claim 1,
And a Teflon coating layer on the surface facing the cell-type panel
Type panel fixing device for sputtering.
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