KR20150043144A - Mask assembly for deposition, and apparatus for deposition comprising the same - Google Patents

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KR20150043144A KR20130122214A KR20130122214A KR20150043144A KR 20150043144 A KR20150043144 A KR 20150043144A KR 20130122214 A KR20130122214 A KR 20130122214A KR 20130122214 A KR20130122214 A KR 20130122214A KR 20150043144 A KR20150043144 A KR 20150043144A
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    • C23C14/12—Organic material

Abstract

According to one embodiment of the present invention, disclosed is a mask assembly for a deposition which includes a mask which has one or more opening parts and defines a deposition region of a substrate, a substrate frame which is interposed between the substrate and the mask and receives the substrate on one side thereof, and a magnet plate which is formed on a surface of the substrate which is opposite to a surface in contact with the substrate frame and applies a preset magnetic force to the mask.

Description

증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치{Mask assembly for deposition, and apparatus for deposition comprising the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a deposition mask assembly and a deposition apparatus including the deposition mask assembly,

본 발명의 실시예들은 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판상에 증착 물질을 증착하기 위한 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to a deposition mask assembly and a deposition apparatus including the same, and more particularly, to a deposition mask assembly for depositing a deposition material on a substrate and a deposition apparatus including the deposition mask assembly.

디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다. Of the display devices, the organic light emitting display device has a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed, and is receiving attention as a next generation display device.

유기 발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제1 전극 및 제2 전극 사이에 발광층 및 이를 포함하는 중간층을 구비한다. 이때 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 독립 증착 방식이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는, 유기층 등이 형성될 기판 면에, 형성될 유기층 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask: FMM)를 밀착시키고 유기층 등의 재료를 증착하여 소정 패턴의 유기층을 형성한다.The organic light emitting display device includes a light emitting layer and an intermediate layer including the light emitting layer between the first electrode and the second electrode facing each other. At this time, the electrodes and the intermediate layer can be formed by various methods, one of which is the independent deposition method. In order to manufacture an organic light emitting display device using a deposition method, a fine metal mask (FMM) having the same pattern as that of an organic layer to be formed is closely contacted to a substrate surface on which an organic layer or the like is to be formed, A material is deposited to form an organic layer of a predetermined pattern.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.The above-described background technology is technical information that the inventor holds for the derivation of the present invention or acquired in the process of deriving the present invention, and can not necessarily be a known technology disclosed to the general public prior to the filing of the present invention.

본 발명의 실시예들은 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치를 제공한다. Embodiments of the present invention provide a deposition mask assembly and a deposition apparatus including the same.

본 발명의 일 실시예는 하나 이상의 개구부가 형성되어 기판의 증착 영역을 정의하는 마스크; 상기 기판과 상기 마스크 사이에 개재되어, 일면 상에 상기 기판이 안착되는 기판 프레임; 및 상기 기판에서 상기 기판 프레임과 접촉하는 면의 반대측 면에 형성되어 상기 마스크에 소정의 자기력을 가하는 마그넷 플레이트;를 포함하는 증착용 마스크 어셈블리를 개시한다. One embodiment of the present invention is a lithographic apparatus comprising: a mask defining at least one opening to define a deposition area of a substrate; A substrate frame interposed between the substrate and the mask, on which the substrate is mounted; And a magnet plate formed on a surface of the substrate opposite to a surface contacting with the substrate frame and applying a predetermined magnetic force to the mask.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크는 상기 개구부의 일부를 덮도록 형성된 마스크 시트를 포함하고, 상기 마그넷 플레이트는 상기 마스크 시트를 상기 마그넷 플레이트 쪽으로 당기는 방향으로 자기력을 발생시킬 수 있다. In the present embodiment, the mask includes a mask sheet formed to cover a part of the opening, and the magnet plate can generate a magnetic force in a direction of pulling the mask sheet toward the magnet plate.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크에는 홈 형상의 프레임 수용부가 형성되고, 상기 기판 프레임이 상기 프레임 수용부에 수용될 수 있다. In the present embodiment, a groove-like frame receiving portion is formed in the mask, and the substrate frame can be received in the frame receiving portion.

본 실시예에 있어서, 상기 프레임 수용부의 단면과 상기 기판 프레임의 단면은 실질적으로 동일한 형상으로 형성되어, 상기 기판 프레임이 상기 프레임 수용부에 수용될 수 있다. In this embodiment, the end face of the frame receiving portion and the end face of the substrate frame are formed in substantially the same shape, so that the substrate frame can be received in the frame receiving portion.

본 실시예에 있어서, 상기 프레임 수용부의 단면과 상기 기판 프레임의 단면은 각각 삼각형 또는 사각형으로 형성될 수 있다. In the present embodiment, the end face of the frame receiving portion and the end face of the substrate frame may be formed as a triangle or a quadrangle, respectively.

본 실시예에 있어서, 상기 기판 프레임은 소정의 탄성을 가진 플렉서블(flexible)한 재질로 형성될 수 있다. In the present embodiment, the substrate frame may be formed of a flexible material having predetermined elasticity.

본 발명의 다른 실시예는 상술한 증착용 마스크 어셈블리를 포함하는 증착 장치에 있어서, 상기 기판 프레임 상에 상기 기판이 안착되는 로드락 챔버; 및 상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판이 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 기판에 증착 물질을 증착하는 제1 증착부;를 포함하고, 상기 제1 증착부는, 상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임을 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트와 결합하는 제1 로딩부; 증착 물질을 방사하는 하나 이상의 증착원과, 상기 기판이 결합된 상기 증착용 마스크 어셈블리를 제1 방향으로 이송하는 제1 이송부를 포함하는 제1 증착 유닛; 및 상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임으로부터 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 탈착하는 제1 언로딩부;를 포함하는 증착 장치를 개시한다. Another embodiment of the present invention is a deposition apparatus including the deposition mask assembly described above, comprising: a load lock chamber on which the substrate is placed on the substrate frame; And a first deposition unit for depositing a deposition material on the substrate while the substrate coupled with the deposition mask assembly is transported in a first direction, wherein the first deposition unit includes a substrate frame, A first loading unit coupled to the mask and the magnet plate; A first deposition unit including at least one evaporation source for emitting a deposition material, and a first transfer unit for transferring the deposition mask assembly in which the substrate is coupled in a first direction; And a first unloading portion for detaching the mask and the magnet plate from the substrate frame on which the substrate is placed.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제1 로딩부측으로 이송하는 제1 회송부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the apparatus may further include a first conveying unit that conveys the mask and the magnet plate detached from the first unloading unit to the first loading unit.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트는 상기 제1 이송부와 상기 제1 회송부 사이를 순환가능하도록 형성될 수 있다. In the present embodiment, the mask and the magnet plate may be formed so as to be circuable between the first transfer unit and the first transfer unit.

본 실시예에 있어서, 상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판은 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 증착원과 소정 정도 이격되도록 형성될 수 있다. In this embodiment, the substrate coupled with the deposition mask assembly may be spaced apart from the deposition source by a predetermined distance while being transferred in the first direction.

본 실시예에 있어서, 상기 증착 장치는, 상기 제1 증착부의 일 측에 형성되어, 상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판이 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 기판에 증착 물질을 증착하는 제2 증착부; 및 상기 제1 증착부와 상기 제2 증착부를 연결하는 제1 연결부;를 더 포함하고, 상기 제2 증착부는, 상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임을 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트와 결합하는 제2 로딩부; 증착 물질을 방사하는 하나 이상의 증착원과, 상기 기판이 결합된 상기 증착용 마스크 어셈블리를 제1 방향으로 이송하는 제2 이송부를 포함하는 제2 증착 유닛; 및 상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임으로부터 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 탈착하는 제2 언로딩부;를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the vapor deposition apparatus may further include a second vapor deposition unit formed on one side of the first vapor deposition unit, for depositing a deposition material on the substrate while the substrate coupled with the vapor deposition mask assembly is transported in the first direction, A deposition section; And a second connection unit connecting the first deposition unit and the second deposition unit, wherein the second deposition unit includes a second loading unit that joins the substrate frame on which the substrate is mounted to the mask and the magnet plate, part; A second deposition unit including at least one evaporation source for emitting a deposition material, and a second transfer unit for transferring the deposition mask assembly to which the substrate is coupled in a first direction; And a second unloading unit for detaching the mask and the magnet plate from the substrate frame on which the substrate is placed.

본 실시예에 있어서, 상기 기판이 상기 기판 프레임에 안착되어 있는 상태로, 상기 제1 증착부에서 상기 제2 증착부로 이동할 수 있다. In this embodiment, the substrate can be moved from the first evaporation unit to the second evaporation unit while the substrate is seated on the substrate frame.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제1 로딩부측으로 이송하는 제1 회송부 및 상기 제2 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제2 로딩부측으로 이송하는 제2 회송부를 더 포함할 수 있다. In the present embodiment, the mask and the magnet plate detached from the first unloading portion are transferred to the first loading portion side, and the first transfer portion for transferring the mask and the magnet plate detached from the second unloading portion, To the second loading unit side.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 언로딩부에서는 상기 기판과 상기 기판 프레임이 분리되고, 상기 분리된 기판 프레임은 상기 제2 회송부 및 상기 제1 회송부를 통해 상기 제1 로딩부측으로 이송될 수 있다. In this embodiment, the substrate and the substrate frame are separated from each other in the second unloading section, and the separated substrate frame is transferred to the first loading section side through the second transfer section and the first transfer section .

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features, and advantages will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

본 발명의 실시예들에 관한 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치는 증착 중 기판의 깨짐이 방지되고, 기판과 마스크 간의 갭(gap)이 감소하는 효과를 가진다. The deposition mask assembly and the deposition apparatus including the same according to the embodiments of the present invention have the effect of preventing the substrate from being broken during deposition and reducing the gap between the substrate and the mask.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 증착용 마스크 어셈블리를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 평면도이다.
도 3은 도 2의 증착 장치의 제1 증착 유닛을 개략적으로 도시한 시스템 구성의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 평면도이다. 1 is a perspective view showing an evaporation mask assembly according to an embodiment of the present invention.
2 is a top view of a system configuration schematically illustrating a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention including the deposition mask assembly of FIG.
3 is a front view of a system configuration schematically showing a first deposition unit of the deposition apparatus of FIG.
4 is a front view of a system configuration schematically showing a deposition mask assembly and a deposition apparatus including the deposition mask according to another embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a system configuration schematically showing a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various forms. In the following embodiments, the terms first, second, and the like are used for the purpose of distinguishing one element from another element, not the limitative meaning. Also, the singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. Also, the terms include, including, etc. mean that there is a feature, or element, recited in the specification and does not preclude the possibility that one or more other features or components may be added. Also, in the drawings, for convenience of explanation, the components may be exaggerated or reduced in size. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding components throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing an evaporation mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리(400)는 마스크(410), 기판 프레임(420) 및 마그넷 플레이트(430)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a deposition mask assembly 400 according to an embodiment of the present invention includes a mask 410, a substrate frame 420, and a magnet plate 430.

이를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail as follows.

종래 마스크의 구성은, 기판과 마스크가 기판 상부에 위치한 단단한 재질의 클램프(clamp)에 의해 고정되는 구조이다. 그런데, 유기 발광 디스플레이 장치가 대형화되어 감에 따라, 이와 같이 클램프를 이용한 고정 방식의 경우, 클램프로 인해 기판이 깨지는 현상이 발생하였다. 또한, 클램프로 마스크와 기판을 고정한다고 하더라도, 마스크의 자중에 의해 마스크가 휘는 현상이 발생하며, 이로 인해 마스크와 기판 사이에 갭(gap)이 발생하게 되었다. Conventionally, the structure of the mask is a structure in which the substrate and the mask are fixed by a clamp made of a hard material located on the substrate. However, as the organic light emitting display device has become larger, in the case of the fixing method using the clamp, the substrate is broken due to the clamp. Further, even if the mask and the substrate are fixed by the clamp, a phenomenon that the mask is bent by the self weight of the mask is generated, thereby causing a gap between the mask and the substrate.

또한, 종래에는 마스크를 이송하기 위해 셔틀과 같은 별도의 구성 요소가 마스크와 결합하여 마스크를 이송하였다. 그런데 기판 및 마스크가 대형화 및 중량화됨에 따라 셔틀의 무게 또한 증가하게 되었고, 따라서 셔틀의 로봇 반송이 용이하지 않게 되었으며, 이를 해결하기 위해 셔틀을 사용하지 않고 기판을 유기 증착 챔버에서 무기 증착 챔버로 이송할 경우, 핀(pin) 지지 방식을 사용하여야 하나, 이 과정에서 기판의 처짐 또는 깨짐 현상이 발생하였다. 또한, 고중량의 셔틀을 사용할 경우, 양산 공정 내에서 그 세정 및 관리가 용이하지 않다는 문제점도 존재하였다. Further, conventionally, a separate component such as a shuttle is coupled with a mask to transfer the mask for transferring the mask. However, as the substrate and the mask become larger and heavier, the weight of the shuttle also increases. Therefore, the shuttle robot is not easily transported. To solve this problem, the substrate is transferred from the organic deposition chamber to the inorganic deposition chamber A pin supporting method should be used. In this process, the substrate is sagged or broken. Also, when using a shuttle of a high weight, there is a problem that it is not easy to clean and manage the mass production process.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리(400)는 기판(2)과 마스크(410) 사이에 플렉서블한 재질의 기판 프레임(420)을 추가로 구비하고, 기판(2)의 일 면상에는 마그넷 플레이트(430)를 형성하여, 기판(2)의 깨짐을 방지하는 동시에 기판(2)과 마스크(410)가 밀착 결합되도록 하는 것을 일 특징으로 한다. In order to solve such a problem, the deposition mask assembly 400 according to an embodiment of the present invention further includes a substrate frame 420 made of a flexible material between the substrate 2 and the mask 410, A magnet plate 430 is formed on one surface of the substrate 2 so as to prevent the substrate 2 from being broken and the substrate 2 and the mask 410 to be closely contacted with each other.

상세히, 마스크(410)는 하나 이상의 개구부(411)가 형성되어 기판(2)의 증착 영역을 정의하는 역할을 수행한다. 도 1에는 마스크(410)의 전체 면에 개구부(411)가 형성된 오픈 마스크 형태로 도시되어 있지만, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 도트형(dot-type) 또는 스트라이프형(stripe-type) 마스크 등의 패턴 마스크와 같이, 다양한 형태의 마스크에 적용 가능하다 할 것이다. In detail, the mask 410 serves to define the deposition area of the substrate 2 by forming at least one opening 411 therein. 1, the openings 411 are formed on the entire surface of the mask 410. However, the present invention is not limited thereto, and may be a dot-type or a stripe- It may be applied to various types of masks, such as a pattern mask such as a mask.

한편 마스크(410)의 바깥쪽 테두리부에는 기판 프레임(420)이 수용되는 홈 형상의 프레임 수용부(412)가 형성될 수 있다. 프레임 수용부(412)는 그 단면의 형상이 후술할 기판 프레임(420)의 단면 형상과 실질적으로 동일한 형상으로 형성되어, 기판 프레임(420)이 프레임 수용부(412)에 수용되도록 형성될 수 있다. On the other hand, a groove-shaped frame receiving portion 412 in which the substrate frame 420 is received may be formed on the outer edge of the mask 410. The frame receiving portion 412 may be formed such that the shape of its cross section is substantially the same as the cross sectional shape of the substrate frame 420 to be described later so that the substrate frame 420 is received in the frame receiving portion 412 .

한편, 마스크(410)는 개구부(411)의 일부를 덮도록 마스크(410)의 내측으로 연장 형성된 마스크 시트(413)를 더 포함할 수 있다. 이와 같은 마스크 시트(413)는 자성체로 형성되어, 후술할 마그넷 플레이트(430)와의 사이에 자기력이 작용할 수 있도록 형성될 수 있다. The mask 410 may further include a mask sheet 413 extending to the inside of the mask 410 so as to cover a part of the opening 411. The mask sheet 413 may be formed of a magnetic material so that a magnetic force can be applied between the mask sheet 413 and a magnet plate 430 to be described later.

<!-- 발명자 확인 요청: 기판 프레임의 재질에 대해 확인 <! - Inventor verification request: Check the material of the board frame 요청드립니다request . -->. ->

기판 프레임(420)은 마스크(410)의 프레임 수용부(412)에 수용되어 기판(2)과 마스크 사이에 개재되도록 형성될 수 있다. 즉, 마스크(410)에 수용된 기판 프레임(420)의 상면에 기판(2)이 안착되는 것이다. 이와 같은 기판 프레임(420)은 실제 마스크로 사용하지 않기 때문에 단단하게 만들 필요가 없으며, 또한 평탄도를 관리할 필요도 없다. 따라서 기판 프레임(420)은 소정의 탄성을 가진 플렉서블(flexible)한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판 프레임(420)은 고무(rubber) 또는 실리콘(silicon) 등의 재질로 형성될 수 있다. 이와 같이 기판 프레임(420)이 탄성의 플렉서블한 재질로 형성되어 기판(2)을 받쳐주기 때문에, 증착 및 이송 과정에서 기판(2)이 깨지는 것을 방지할 수 있는 것이다. The substrate frame 420 may be accommodated in the frame receiving portion 412 of the mask 410 and interposed between the substrate 2 and the mask. That is, the substrate 2 is seated on the upper surface of the substrate frame 420 housed in the mask 410. Since such a substrate frame 420 is not actually used as a mask, it is not necessary to make the substrate frame 420 hard and it is not necessary to manage the flatness. Accordingly, the substrate frame 420 may be formed of a flexible material having predetermined elasticity. For example, the substrate frame 420 may be formed of a material such as rubber or silicon. As described above, since the substrate frame 420 is formed of an elastic and flexible material to support the substrate 2, it is possible to prevent the substrate 2 from being broken during the deposition and transportation.

마그넷 플레이트(430)는 기판(2)에서 기판 프레임(420)과 접촉하는 면의 반대측 면에 형성되어, 마스크(410)에 소정의 자기력을 가하는 역할을 수행한다. 이와 같은 마그넷 플레이트(430)는 마스크(410), 특히 마스크 시트(413)를 마그넷 플레이트(430) 쪽으로 잡아당기는 방향으로 자기력을 발생시킴으로써, 기판(2)과 마스크(410)가 밀착 결합하도록 하여, 기판(2)과 마스크(410) 사이에 갭이 발생하는 것을 방지하는 역할을 수행할 수 있는 것이다. 여기서, 마그넷 플레이트(430)는 소정의 탄성을 가진 플렉서블(flexible)한 재질로 형성될 수 있다.
The magnet plate 430 is formed on the side of the substrate 2 opposite to the side in contact with the substrate frame 420 and acts to apply a predetermined magnetic force to the mask 410. Such a magnet plate 430 generates a magnetic force in a direction of pulling the mask 410, particularly the mask sheet 413 toward the magnet plate 430, so that the substrate 2 and the mask 410 are closely contacted with each other, It is possible to prevent a gap between the substrate 2 and the mask 410 from being generated. Here, the magnet plate 430 may be formed of a flexible material having predetermined elasticity.

도 2는 도 1의 증착용 마스크 어셈블리를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 평면도이고, 도 3은 도 2의 증착 장치의 제1 증착 유닛을 개략적으로 도시한 시스템 구성의 정면도이다. FIG. 2 is a plan view of a system configuration schematically showing a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention including the deposition mask assembly of FIG. 1, and FIG. 3 schematically shows a first deposition unit of the deposition apparatus of FIG. 1 is a front view of the system configuration shown.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(1)는 제1 증착부(100), 제2 증착부(200), 로드락 챔버(load-lock chamber)(310), 제1 연결부(320), 제2 연결부(330)를 포함한다. 이를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.2 and 3, a deposition apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a first deposition unit 100, a second deposition unit 200, a load-lock chamber 310 A first connection part 320, and a second connection part 330. [ This will be described in more detail as follows.

로드락 챔버(310)에서는 상술한 기판 프레임(420) 상에 기판(2)이 안착된다. 즉, 로드락 챔버(310) 내에 기판 프레임(420)이 배치되어 있는 상태에서, 그 상부에 기판(2)을 안착시킨다. 이때 기판(2)과 기판 프레임(420)은 별도의 결합 부재에 의하여 결합되는 것이 아니라, 기판(2) 자체의 자중에 의해 자연적으로 기판(2)과 기판 프레임(420)이 밀착 결합하게 된다. In the load lock chamber 310, the substrate 2 is seated on the substrate frame 420 described above. That is, in a state in which the substrate frame 420 is disposed in the load lock chamber 310, the substrate 2 is placed thereon. At this time, the substrate 2 and the substrate frame 420 are not tightly coupled to each other by a separate joining member, but the substrate 2 and the substrate frame 420 are naturally tightly joined by the self weight of the substrate 2 itself.

제1 증착부(100)는 로드락 챔버(310)의 일 측에 형성되어 로드락 챔버(310)로부터 기판(2)이 결합된 기판 프레임(420)을 이송받아, 기판(2) 상에 소정의 증착 물질을 증착하는 역할을 수행한다. 다시 말하면, 상술한 증착용 마스크 어셈블리(400)와 결합된 기판(2)이 도 2의 A 방향으로 이송되는 동안 기판(2)에 증착 물질을 증착하는 것이다. 이와 같은 제1 증착부(100)는 제1 로딩부(110), 제1 증착 유닛(120), 제1 언로딩부(130), 제1 회송부(140)를 포함한다. The first deposition unit 100 is formed on one side of the load lock chamber 310 and receives the substrate frame 420 from which the substrate 2 is coupled from the load lock chamber 310, To deposit the deposition material. In other words, the deposition material is deposited on the substrate 2 while the substrate 2 combined with the deposition mask assembly 400 described above is transported in the direction A in Fig. The first deposition unit 100 includes a first loading unit 110, a first deposition unit 120, a first unloading unit 130, and a first transfer unit 140.

상세히, 제1 로딩부(110)에서는 로드락 챔버(310)로부터 이송된 기판(2)이 안착된 상태의 기판 프레임(420)이 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)와 결합된다. 즉, 제1 로딩부(110)에 마스크(410)가 배치되어 있는 상태에서, 그 상부에 기판(2)이 안착된 상태의 기판 프레임(420)이 결합된다. 이때 기판 프레임(420)은 마스크(410)에 형성된 프레임 수용부(412)에 수용된다. 이 상태에서, 기판(2)의 상측에 마그넷 플레이트(430)가 결합된다. 이때 마그넷 플레이트(430)는 마스크(410)의 마스크 시트(413)를 마그넷 플레이트(430) 쪽으로 잡아당기는 방향으로 자기력을 발생시키기 때문에, 기판(2)과 마스크(410)가 밀착 결합하게 된다. In detail, in the first loading unit 110, the substrate frame 420 in a state where the substrate 2 transferred from the load lock chamber 310 is seated is combined with the mask 410 and the magnet plate 430. That is, in a state where the mask 410 is disposed on the first loading unit 110, the substrate frame 420 with the substrate 2 mounted thereon is engaged. At this time, the substrate frame 420 is accommodated in the frame receiving portion 412 formed in the mask 410. In this state, the magnet plate 430 is coupled to the upper side of the substrate 2. At this time, since the magnet plate 430 generates a magnetic force in a direction of pulling the mask sheet 413 of the mask 410 toward the magnet plate 430, the substrate 2 and the mask 410 are tightly engaged with each other.

제1 증착 유닛(120)은 증착 물질(121a)이 수납 및 가열되어 이를 방사하는 하나 이상의 증착원(121)과, 기판(2)이 결합된 증착용 마스크 어셈블리(400)를 A 방향으로 이송하는 제1 이송부(122)를 포함한다. 여기서, 제1 증착 유닛(120)의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 챔버(101) 내에 배치되는 것이 바람직하다. 이는 증착 물질의 직진성을 확보하기 위함이다. The first deposition unit 120 includes at least one evaporation source 121 for receiving and heating the deposition material 121a and emitting the evaporation material 121a and a deposition mask assembly 400 for transferring the deposition mask assembly 400, And includes a first transfer part 122. Here, it is preferable that all the configurations of the first deposition unit 120 are disposed in the chamber 101 in which an appropriate degree of vacuum is maintained. This is to ensure the straightness of the deposition material.

상세히, 증착원(121)은 그 내부에 증착 물질(121a)이 채워지는 도가니(121b)와, 도가니(121b)를 가열시켜 도가니(121b) 내부에 채워진 증착 물질(121a)을 도가니(121b)의 일 측, 상세하게는 노즐(121d) 측으로 증발시키기 위한 히터(121c)를 포함한다. 증착원(121) 내에 수납되어 있는 증착 물질(121a)이 기화됨에 따라 기판(2)에 증착이 이루어진다. 여기서 증착원(121)에는 증착 물질(121a)로써 유기 발광 디스플레이 장치의 유기층(발광층 등)을 형성하기 위한 유기 물질이 수납될 수 있다. In detail, the evaporation source 121 includes a crucible 121b filled with an evaporation material 121a and an evaporation material 121a filled in the crucible 121b by heating the crucible 121b. And a heater 121c for evaporating the liquid to one side, more specifically, toward the nozzle 121d side. As the evaporation material 121a stored in the evaporation source 121 is evaporated, deposition is performed on the substrate 2. [ Here, the evaporation material 121 may contain an organic material for forming an organic layer (light emitting layer, etc.) of the organic light emitting display device as the evaporation material 121a.

한편, 제1 이송부(122)는 증착원(121)에 의해 기판(2) 상에 증착 물질이 증착될 수 있도록, 기판(2)이 결합된 증착용 마스크 어셈블리(400)를 인라인(in-line)으로 이송하는 역할을 수행한다. 여기서, 도면에는 제1 이송부(122)가 롤러 형태로 형성되어, 롤러(122a)의 회전 구동에 의해 기판(2)이 결합된 증착용 마스크 어셈블리(400)를 화살표 A 방향으로 이송시키는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, LM 가이드(linear motor guide), 자기 부상 부재 등 증착용 마스크 어셈블리(400)를 직선운동시킬 수 있는 다양한 부재들이 제1 이송부(122)로 적용 가능하다 할 것이다. The first transfer unit 122 may be configured to transfer the deposition mask assembly 400 coupled with the substrate 2 in-line so that the deposition material can be deposited on the substrate 2 by the deposition source 121. [ ). &Lt; / RTI &gt; Here, in the drawing, the first transferring portion 122 is formed in a roller shape and is shown as transferring the evacuation mask assembly 400 in which the substrate 2 is coupled by the rotational drive of the roller 122a in the direction of the arrow A However, the spirit of the present invention is not limited thereto, and various members capable of linearly moving the deposition mask assembly 400 such as an LM guide (linear motor guide) and a magnetic levitation member can be applied as the first transfer unit 122 something to do.

제1 언로딩부(130)에서는 제1 증착 유닛(120)을 통과하면서 증착이 수행된 기판(2) 및 기판 프레임(420)으로부터 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)가 탈착된다. 즉, 기판(2)이 안착된 기판 프레임(420)으로부터 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)가 분리되는 것이다. 이때 분리된 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)는 제1 회송부(140)를 통해 제1 로딩부(110)로 회송되며, 기판(2)이 안착된 기판 프레임(420)은 제1 연결부(320)를 통해 제2 증착부(200)로 전달된다. In the first unloading unit 130, the mask 410 and the magnet plate 430 are detached from the substrate 2 and the substrate frame 420, which have been deposited while passing through the first deposition unit 120. That is, the mask 410 and the magnet plate 430 are separated from the substrate frame 420 on which the substrate 2 is placed. At this time, the separated mask 410 and the magnet plate 430 are returned to the first loading unit 110 through the first transfer unit 140, and the substrate frame 420, on which the substrate 2 is mounted, (320) to the second deposition unit (200).

제1 회송부(140)는 제1 증착 유닛(120)을 통과하면서 1회의 증착이 완료된 후 제1 언로딩부(130)에서 기판(2)이 분리된 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)를, 도 3의 화살표 B 방향을 따라 제1 로딩부(110)로 회송하는 역할을 수행한다. 즉, 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)는 제1 이송부(110)와 제1 회송부(140) 사이를 순환하도록 형성되는 것이다. The first transfer unit 140 transfers the mask 410 and the magnet plate 430 separated from the substrate 2 in the first unloading unit 130 after one deposition is completed while passing through the first deposition unit 120, To the first loading unit 110 along arrow B in Fig. That is, the mask 410 and the magnet plate 430 are formed to circulate between the first transfer unit 110 and the first transfer unit 140.

제1 연결부(320) 및 제2 연결부(330)는 제1 증착부(100)와 제2 증착부(200) 사이에 형성되어, 제1 증착부(100)와 제2 증착부(200)를 연결하는 역할을 수행한다.The first connection part 320 and the second connection part 330 are formed between the first deposition part 100 and the second deposition part 200 so that the first deposition part 100 and the second deposition part 200 It is the role of connecting.

상세히, 기판(2)이 안착된 상태의 기판 프레임(420)은 제1 증착부(100)로부터 제1 연결부(320)로 이송되었다가 제2 증착부(200)로 이송된다. 즉, 기판(2)이 기판 프레임(420)에 안착되어 있는 상태로 제1 증착부(100)에서 제2 증착부(200)로 이동하게 되며, 따라서 기판(2)만 이동하는 경우에 비해 기판(2)의 깨짐 및 처짐이 감소하는 효과를 얻을 수 있다. In detail, the substrate frame 420 with the substrate 2 mounted thereon is transferred from the first deposition unit 100 to the first connection unit 320 and then transferred to the second deposition unit 200. That is, the substrate 2 is moved from the first deposition unit 100 to the second deposition unit 200 in a state where the substrate 2 is mounted on the substrate frame 420, It is possible to obtain an effect of reducing the breakage and deflection of the substrate 2.

한편, 제2 증착부(200)의 제2 언로딩부(230)에서 기판(2)이 분리된 상태의 기판 프레임(420)은 제2 연결부(330)를 통해 제2 증착부(200)에서 제1 증착부(100)로 이송되도록 형성됨으로써, 기판 프레임(420)이 전체 증착 장치(10) 내부를 순환하도록 형성될 수 있다. The substrate frame 420 in a state where the substrate 2 is separated from the second unloading unit 230 of the second deposition unit 200 is transferred to the second deposition unit 200 through the second connection unit 330 The substrate frame 420 may be formed to be circulated in the entire deposition apparatus 10 by being transferred to the first deposition unit 100.

제2 증착부(200)는 제1 증착부(100)의 일 측에 형성되어, 제1 증착부(100)로부터 기판(2)이 결합된 기판 프레임(420)을 이송받아, 기판(2) 상에 소정의 증착 물질을 증착하는 역할을 수행한다. 다시 말하면, 상술한 증착용 마스크 어셈블리(400)와 결합된 기판(2)이 도 2의 A 방향으로 이송되는 동안 기판(2)에 증착 물질을 증착하는 것이다. 이와 같은 제2 증착부(200)는 제2 로딩부(210), 제2 증착 유닛(220), 제2 언로딩부(230), 제2 회송부(240)를 포함한다. 이와 같은 제2 증착부(200)는 상술한 제1 증착부(100)와 그 구성이 유사하다 할 것이다. The second deposition unit 200 is formed on one side of the first deposition unit 100 and receives the substrate frame 420 from which the substrate 2 is coupled from the first deposition unit 100, Lt; RTI ID = 0.0 &gt; deposition material. &Lt; / RTI &gt; In other words, the deposition material is deposited on the substrate 2 while the substrate 2 combined with the deposition mask assembly 400 described above is transported in the direction A in Fig. The second deposition unit 200 includes a second loading unit 210, a second deposition unit 220, a second unloading unit 230, and a second transfer unit 240. The second deposition unit 200 may have a structure similar to that of the first deposition unit 100 described above.

상세히, 제2 로딩부(210)에서는 제1 증착부(100)로부터 이송된 기판(2)이 안착된 상태의 기판 프레임(420)이 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)와 결합된다. 즉, 제2 로딩부(210)에 마스크(410)가 배치되어 있는 상태에서, 그 상부에 기판(2)이 안착된 상태의 기판 프레임(420)이 결합된다. 이때 기판 프레임(420)은 마스크(410)에 형성된 프레임 수용부(412)에 수용된다. 이 상태에서, 기판(2)의 상측에 마그넷 플레이트(430)가 결합된다. 이때 마그넷 플레이트(430)는 마스크(410)의 마스크 시트(413)를 마그넷 플레이트(430) 쪽으로 잡아당기는 방향으로 자기력을 발생시키기 때문에, 기판(2)과 마스크(410)가 밀착 결합하게 된다. In detail, in the second loading unit 210, the substrate frame 420 in which the substrate 2 transferred from the first deposition unit 100 is placed is coupled with the mask 410 and the magnet plate 430. That is, in a state where the mask 410 is disposed on the second loading unit 210, the substrate frame 420 in which the substrate 2 is mounted is coupled to the second loading unit 210. At this time, the substrate frame 420 is accommodated in the frame receiving portion 412 formed in the mask 410. In this state, the magnet plate 430 is coupled to the upper side of the substrate 2. At this time, since the magnet plate 430 generates a magnetic force in a direction of pulling the mask sheet 413 of the mask 410 toward the magnet plate 430, the substrate 2 and the mask 410 are tightly engaged with each other.

제2 증착 유닛(220)은 증착 물질(미도시)이 수납 및 가열되어 이를 방사하는 하나 이상의 증착원(미도시)과, 기판(2)이 결합된 증착용 마스크 어셈블리(400)를 A 방향으로 이송하는 제2 이송부(미도시)를 포함한다. 여기서 증착원(미도시)에는 증착 물질로써 유기 발광 디스플레이 장치의 전극 등을 형성하기 위한 무기 물질이 수납될 수 있다. The second deposition unit 220 includes at least one evaporation source (not shown) in which a deposition material (not shown) is received and heated to radiate the same, and an evaporation mask assembly 400 to which the substrate 2 is coupled in a direction A (Not shown). Herein, an inorganic material for forming an electrode of the organic light emitting display device may be stored as an evaporation material in an evaporation source (not shown).

제2 언로딩부(230)에서는 제2 증착 유닛(220)을 통과하면서 증착이 수행된 기판(2) 및 기판 프레임(420)으로부터 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)가 탈착된다. 즉, 기판(2)이 안착된 기판 프레임(420)으로부터 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)가 분리되는 것이다. 이때 분리된 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)는 제2 회송부(240)를 통해 제2 로딩부(210)로 회송되며, 기판(2)이 안착된 기판 프레임(420)은 제2 연결부(320)를 통해 제2 증착부(200)로 전달된다. The mask 410 and the magnet plate 430 are detached from the substrate 2 and the substrate frame 420 which have been deposited while passing through the second deposition unit 220 in the second unloading unit 230. That is, the mask 410 and the magnet plate 430 are separated from the substrate frame 420 on which the substrate 2 is placed. At this time, the separated mask 410 and the magnet plate 430 are returned to the second loading unit 210 through the second transfer unit 240, and the substrate frame 420, on which the substrate 2 is mounted, (320) to the second deposition unit (200).

<!-- 발명자 확인 요청: 기판 프레임(<! - Inventor verification request: substrate frame ( glassglass frameframe )이 제2 ) This second 언로딩부(230)에서Unloading section 230 분리되어, 제2  Separately, the second 회송부[0040] (240) 및 제1 (240) and the first 회송부(140)를The transmitting unit 140 거쳐  After 로드락Loadlock 챔버(310)로The chamber 310 회송되Be returned 는 것인지 여부를 확인 부탁드립니다. -->Please check whether it is. ->

한편, 제2 언로딩부(230)에서는 기판(2)으로부터 기판 프레임(420)이 분리된다. 이와 같이 분리된 기판(2)은 증착 장치(1)의 외부로 이송되고, 기판 프레임(420)은 제2 회송부(240), 제2 연결부(330), 제1 회송부(140)를 거쳐 이동하도록 형성됨으로써, 기판 프레임(420)이 전체 증착 장치(10) 내부를 순환하도록 형성될 수 있다. On the other hand, in the second unloading portion 230, the substrate frame 420 is separated from the substrate 2. The substrate 2 thus separated is conveyed to the outside of the deposition apparatus 1 and the substrate frame 420 is conveyed through the second conveying unit 240, the second connecting unit 330 and the first conveying unit 140 The substrate frame 420 can be formed so as to circulate inside the entire deposition apparatus 10. [

제2 회송부(240)는 제2 증착 유닛(220)을 통과하면서 1회의 증착이 완료된 후 제2 언로딩부(230)에서 기판(2)이 분리된 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)를, 도 3의 화살표 B 방향을 따라 제2 로딩부(210)로 회송하는 역할을 수행한다. 즉, 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)는 제2 이송부(210)와 제2 회송부(240) 사이를 순환하도록 형성되는 것이다. The second transferring unit 240 transfers the mask 410 and the magnet plate 430 separated from the substrate 2 in the second unloading unit 230 after one deposition is completed while passing through the second deposition unit 220, To the second loading unit 210 along arrow B in Fig. That is, the mask 410 and the magnet plate 430 are formed to circulate between the second transfer unit 210 and the second transfer unit 240.

이와 같은 본 발명의 일 실시예에 의해서, 기판(2)의 깨짐 및 처짐을 방지하는 동시에 기판(2)과 마스크(410)가 밀착 결합되도록 하여 패턴 정밀도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 특정한 단면 형상의 마스크(410) 및 기판 프레임(420)을 사용하여 얼라인을 수행할 수 있기 때문에, 얼라인 공정이 용이해지고 공정 시간이 단축되는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기존의 셔틀 방식의 경우, 셔틀에 유기 물질 및 무기 물질이 모두 증착되어 세정 및 관리에 소요되는 시간 및 경비가 많았으나, 본 발명의 일 실시예의 경우 마스크만 세정하면 되기 때문에, 양산성이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
According to the embodiment of the present invention, it is possible to prevent the substrate 2 from being cracked and sagged, and at the same time, the substrate 2 and the mask 410 are tightly coupled to each other, thereby improving the pattern accuracy. In addition, since alignment can be performed using the mask 410 and the substrate frame 420 having a specific cross-sectional shape, the alignment process can be facilitated and the process time can be shortened. In the conventional shuttle system, both the organic material and the inorganic material are deposited on the shuttle, and the time and cost required for cleaning and maintenance are large. However, in the embodiment of the present invention, since only the mask is cleaned, An improvement effect can be obtained.

도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 정면도이다. 도 4에 도시된 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리(400')는 다른 부분은 도 3에 도시된 증착용 마스크 어셈블리(도 3의 400 참조)와 동일하며, 프레임 수용부(412')는 및 기판 프레임(420')의 단면 형상이 특징적으로 달라진다. 즉, 도 3에 도시된 증착용 마스크 어셈블리(도 3의 400 참조)에서는 프레임 수용부(도 3의 412 참조) 및 기판 프레임(도 3의 420 참조)의 단면 형상이 사각형인데 비해, 본 실시예의 경우 프레임 수용부(412') 및 기판 프레임(420')의 단면 형상이 삼각형으로 형성된다. 이와 같이 프레임 수용부(412') 및 기판 프레임(420')의 단면 형상이 삼각형으로 형성됨으로써, 마스크(410')와 기판 프레임(420')간의 얼라인이 더욱 용이해지는 효과를 얻을 수 있다.
4 is a front view of a system configuration schematically showing a deposition mask assembly and a deposition apparatus including the deposition mask according to another embodiment of the present invention. The vapor deposition mask assembly 400 'according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 4 is the same as the vapor deposition mask assembly (see 400 in FIG. 3) 412 'and the cross-sectional shape of the substrate frame 420' are characteristically different. 3), the cross-sectional shape of the frame receiving portion (see 412 in FIG. 3) and the substrate frame (see 420 in FIG. 3) are rectangular. In contrast, in the embodiment shown in FIG. 3, The sectional shape of the frame receiving portion 412 'and the substrate frame 420' is formed into a triangular shape. In this way, the sectional shape of the frame receiving portion 412 'and the substrate frame 420' is formed in a triangular shape, so that the alignment between the mask 410 'and the substrate frame 420' can be further facilitated.

도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성의 평면도이다. 도 5에 도시된 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착 장치(1')는 다른 부분은 도 2에 도시된 증착 장치(도 2의 1 참조)와 동일하며, 다만 제1 증착부(100') 및 제2 증착부(200')가 회송부를 구비하지 아니한다는 점에서 특징적으로 달라진다. 즉, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착 장치(1')는 제1 증착부(100'), 제2 증착부(200'), 로드락 챔버(load-lock chamber)(310), 제1 연결부(320)를 포함한다. 여기서, 제1 증착부(100')는 제1 로딩부(110), 제1 증착 유닛(120), 제1 언로딩부(130)를 포함하고, 제2 증착부(200')는 제2 로딩부(210), 제2 증착 유닛(220), 제2 언로딩부(230)를 포함한다. 이때, 제1 언로딩부(130) 및 제2 언로딩부(230)에서 기판(2) 및 기판 프레임(420)으로부터 탈착된 마스크(410) 및 마그넷 플레이트(430)는, 제1 증착부(100') 및 제2 증착부(200') 내부에서 순환하지 아니하고, 제1 증착부(100') 및 제2 증착부(200') 외부로 배출되어 로봇 반송 등 기타 다른 방법에 의해 제1 로딩부(110) 및 제2 로딩부(210)로 이송된다. 이와 같은 본 발명의 다른 일 실시예는, 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 비해 회송부를 구비하지 아니하므로, 장치의 구성이 간결해지고 공간 효율성이 높아지는 효과를 얻을 수 있다.
5 is a plan view of a system configuration schematically showing a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention. The other parts of the deposition apparatus 1 'according to another embodiment of the present invention shown in Fig. 5 are the same as those of the deposition apparatus (see 1 in Fig. 2) shown in Fig. 2 except that the first deposition unit 100' ) And the second deposition unit 200 'do not have a transfer part. That is, the deposition apparatus 1 'according to another embodiment of the present invention includes a first deposition unit 100', a second deposition unit 200 ', a load-lock chamber 310, 1 connection portion 320, as shown in FIG. Here, the first deposition unit 100 'includes a first loading unit 110, a first deposition unit 120, and a first unloading unit 130, and the second deposition unit 200' A loading unit 210, a second deposition unit 220, and a second unloading unit 230. At this time, the mask 410 and the magnet plate 430 detached from the substrate 2 and the substrate frame 420 in the first unloading unit 130 and the second unloading unit 230 are separated from the first deposition unit The first deposition unit 100 'and the second deposition unit 200' are not circulated in the first deposition unit 100 'and the second deposition unit 200', and are discharged outside the first deposition unit 100 'and the second deposition unit 200' (110) and the second loading unit (210). According to another embodiment of the present invention, as compared with the embodiment of the present invention shown in FIG. 2, since the transmitter is not provided, the structure of the apparatus can be simplified and the space efficiency can be improved.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the exemplary embodiments, and that various changes and modifications may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1: 증착 장치
100: 제1 증착부
200: 제2 증착부
310: 로드락 챔버
320: 제1 연결부
330: 제2 연결부
400: 증착용 마스크 어셈블리
410: 마스크
420: 기판 프레임
430: 마그넷 플레이트1: Deposition device
100:
200: second deposition unit
310: load lock chamber
320: first connection part
330: second connection portion
400: Evaporation Mask Assembly
410: mask
420: substrate frame
430: Magnet plate

Claims (14)

하나 이상의 개구부가 형성되어 기판의 증착 영역을 정의하는 마스크;
상기 기판과 상기 마스크 사이에 개재되어, 일면 상에 상기 기판이 안착되는 기판 프레임; 및
상기 기판에서 상기 기판 프레임과 접촉하는 면의 반대측 면에 형성되어 상기 마스크에 소정의 자기력을 가하는 마그넷 플레이트;를 포함하는 증착용 마스크 어셈블리.A mask defining one or more openings to define a deposition area of the substrate;
A substrate frame interposed between the substrate and the mask, on which the substrate is mounted; And
And a magnet plate formed on a surface of the substrate opposite to the surface contacting with the substrate frame and applying a predetermined magnetic force to the mask. 제 1 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 개구부의 일부를 덮도록 형성된 마스크 시트를 포함하고,
상기 마그넷 플레이트는 상기 마스크 시트를 상기 마그넷 플레이트 쪽으로 당기는 방향으로 자기력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 어셈블리.The method according to claim 1,
The mask including a mask sheet formed to cover a part of the opening,
Wherein the magnet plate generates a magnetic force in a direction of pulling the mask sheet toward the magnet plate. 제 1 항에 있어서,
상기 마스크에는 홈 형상의 프레임 수용부가 형성되고,
상기 기판 프레임이 상기 프레임 수용부에 수용되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 어셈블리.The method according to claim 1,
A groove-shaped frame receiving portion is formed in the mask,
Wherein the substrate frame is received in the frame receiving portion. 제 3 항에 있어서,
상기 프레임 수용부의 단면과 상기 기판 프레임의 단면은 실질적으로 동일한 형상으로 형성되어, 상기 기판 프레임이 상기 프레임 수용부에 수용되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 어셈블리.The method of claim 3,
Wherein an end face of the frame receiving portion and an end face of the substrate frame are formed in substantially the same shape so that the substrate frame is received in the frame receiving portion. 제 4 항에 있어서,
상기 프레임 수용부의 단면과 상기 기판 프레임의 단면은 각각 삼각형 또는 사각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 어셈블리.5. The method of claim 4,
Wherein an end face of the frame receiving portion and an end face of the substrate frame are each formed of a triangle or a quadrangle. 제 1 항에 있어서,
상기 기판 프레임은 소정의 탄성을 가진 플렉서블(flexible)한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 어셈블리. The method according to claim 1,
Wherein the substrate frame is formed of a flexible material having a predetermined elasticity. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 증착용 마스크 어셈블리를 포함하는 증착 장치에 있어서,
상기 기판 프레임 상에 상기 기판이 안착되는 로드락 챔버; 및
상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판이 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 기판에 증착 물질을 증착하는 제1 증착부;를 포함하고,
상기 제1 증착부는,
상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임을 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트와 결합하는 제1 로딩부;
증착 물질을 방사하는 하나 이상의 증착원과, 상기 기판이 결합된 상기 증착용 마스크 어셈블리를 제1 방향으로 이송하는 제1 이송부를 포함하는 제1 증착 유닛; 및
상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임으로부터 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 탈착하는 제1 언로딩부;를 포함하는 증착 장치. 7. A deposition apparatus comprising an evaporation mask assembly according to any one of claims 1 to 6,
A load lock chamber on which the substrate is mounted on the substrate frame; And
And a first deposition unit for depositing a deposition material on the substrate while the substrate coupled with the deposition mask assembly is transported in a first direction,
The first deposition unit may include:
A first loading unit for coupling the substrate frame on which the substrate is mounted to the mask and the magnet plate;
A first deposition unit including at least one evaporation source for emitting a deposition material, and a first transfer unit for transferring the deposition mask assembly in which the substrate is coupled in a first direction; And
And a first unloading part for detaching the mask and the magnet plate from the substrate frame on which the substrate is placed. 제 7 항에 있어서,
상기 제1 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제1 로딩부측으로 이송하는 제1 회송부를 더 포함하는 증착 장치. 8. The method of claim 7,
And a first transferring unit for transferring the mask and the magnet plate detached from the first unloading unit to the first loading unit. 제 8 항에 있어서,
상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트는 상기 제1 이송부와 상기 제1 회송부 사이를 순환가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치. 9. The method of claim 8,
Wherein the mask and the magnet plate are rotatable between the first transfer unit and the first transfer unit. 제 7 항에 있어서,
상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판은 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 증착원과 소정 정도 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치. 8. The method of claim 7,
Wherein the substrate coupled with the deposition mask assembly is formed to be spaced apart from the deposition source by a predetermined distance while being transferred in the first direction. 제 7 항에 있어서,
상기 증착 장치는,
상기 제1 증착부의 일 측에 형성되어, 상기 증착용 마스크 어셈블리와 결합된 기판이 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 기판에 증착 물질을 증착하는 제2 증착부; 및
상기 제1 증착부와 상기 제2 증착부를 연결하는 제1 연결부;를 더 포함하고,
상기 제2 증착부는,
상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임을 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트와 결합하는 제2 로딩부;
증착 물질을 방사하는 하나 이상의 증착원과, 상기 기판이 결합된 상기 증착용 마스크 어셈블리를 제1 방향으로 이송하는 제2 이송부를 포함하는 제2 증착 유닛; 및
상기 기판이 안착된 상기 기판 프레임으로부터 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 탈착하는 제2 언로딩부;를 포함하는 증착 장치. 8. The method of claim 7,
The deposition apparatus includes:
A second deposition unit which is formed on one side of the first deposition unit and deposits a deposition material on the substrate while the substrate coupled with the deposition mask assembly is transported in the first direction; And
And a first connection unit connecting the first deposition unit and the second deposition unit,
Wherein the second evaporation unit comprises:
A second loading unit coupling the substrate frame on which the substrate is mounted to the mask and the magnet plate;
A second deposition unit including at least one evaporation source for emitting a deposition material, and a second transfer unit for transferring the deposition mask assembly to which the substrate is coupled in a first direction; And
And a second unloading portion for detaching the mask and the magnet plate from the substrate frame on which the substrate is mounted. 제 11 항에 있어서,
상기 제1 연결부에서,
상기 기판이 상기 기판 프레임에 안착되어 있는 상태로, 상기 제1 증착부에서 상기 제2 증착부로 이동하는 것을 특징으로 하는 증착 장치. 12. The method of claim 11,
In the first connection portion,
Wherein the substrate is moved from the first deposition unit to the second deposition unit while the substrate is seated on the substrate frame. 제 11 항에 있어서,
상기 제1 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제1 로딩부측으로 이송하는 제1 회송부 및
상기 제2 언로딩부에서 탈착된 상기 마스크 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제2 로딩부측으로 이송하는 제2 회송부를 더 포함하는 증착 장치. 12. The method of claim 11,
A first transfer unit for transferring the mask and the magnet plate detached from the first unloading unit to the first loading unit;
And a second transfer unit for transferring the mask and the magnet plate detached from the second unloading unit to the second loading unit. 제 13 항에 있어서,
상기 제2 언로딩부에서는 상기 기판과 상기 기판 프레임이 분리되고,
상기 분리된 기판 프레임은 상기 제2 회송부 및 상기 제1 회송부를 통해 상기 제1 로딩부측으로 이송되는 것을 특징으로 하는 증착 장치. 14. The method of claim 13,
Wherein the substrate and the substrate frame are separated from each other at the second unloading portion,
And the separated substrate frame is transferred to the first loading unit side through the second transfer unit and the first transfer unit.
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