KR101802863B1 - Mask cassette - Google Patents

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KR101802863B1 KR1020160165396A KR20160165396A KR101802863B1 KR 101802863 B1 KR101802863 B1 KR 101802863B1 KR 1020160165396 A KR1020160165396 A KR 1020160165396A KR 20160165396 A KR20160165396 A KR 20160165396A KR 101802863 B1 KR101802863 B1 KR 101802863B1
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Abstract

The present invention relates to a mask cassette which can significantly reduce a defect rate during a mask patterning process. According to an aspect of the present invention, the mask cassette comprises: a slot in which masks are stacked; an upper frame for covering an upper part of the slot; a lower frame provided in a lower part of the slot; a side frame extended in a vertical direction to be connected between the upper and lower frames, and supporting the slot; and a pad coupled to an upper surface of the slot to be in contact with the mask, and composed of a material having higher solidity than that of the slot.

Description

마스크 카세트 {MASK CASSETTE}MASK CASSETTE {MASK CASSETTE}

본 발명의 실시예는 마스크 카세트에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a mask cassette.

평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광 효율이 높다는 점에서 차세대 의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide type display device which realizes a color image by self-emission of an organic substance. In view of its simple structure and high light efficiency, Has attracted attention as a promising display device.

유기전계발광표시장치가 풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 ‘마스크’라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask) (hereinafter referred to as a 'mask') and a direct patterning method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging method, a method using a color filter, and the like can be applied.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다. 수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.When a large-size OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then is deposited can be applied. The horizontal upward deposition method is a method of aligning a substrate horizontally arranged on a bottom surface of a chamber and a mask and then coalescing them, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.

챔버 내에서 기판과 마스크를 증착시키기 위해서는 마스크를 챔버 내부로 공급하여야 하며, 이 때 마스크는 카세트 내에 적재된 상태에서 카세트 상태로 공급될 수 있다.In order to deposit the substrate and the mask in the chamber, a mask must be supplied into the chamber, and the mask may be supplied in a cassette state while being loaded in the cassette.

선행문헌인 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0078373호에는 “카세트 핸들링 장치 및 그를 구비하는 카세트 공급시스템”이 개시된다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-0078373, which is a prior art document, discloses a cassette handling apparatus and a cassette supplying system having the cassette handling apparatus.

상기 선행문헌에 개시된 카세트는 다수의 마스크가 적재되는 일종의 프레임이며, 하나의 카세트에 여러 장의 마스크가 배치된다. 또한, 상기 카세트에는 각각의 마스크를 지지하는 지지하는 다수의 슬롯이 마련된다. The cassette disclosed in the preceding document is a kind of frame on which a plurality of masks are loaded, and a plurality of masks are arranged in one cassette. In addition, the cassette is provided with a plurality of slots for supporting the respective masks.

한편, 종래의 카세트는 마스크를 슬롯에 적재할 때 슬롯에서 마스크와의 마찰에 의해 발생된 파티클(particle)이 마스크에 슬롯의 파티클이 부착되어 마스크 패터닝 과정에서 불량이 발생하는 문제가 있다.On the other hand, in the conventional cassette, there is a problem that when a mask is loaded in a slot, particles generated by friction with a mask in a slot are adhered to particles of a slot in a mask, resulting in defective mask patterning.

또한, 마스크를 카세트에 적재하기 전에 카세트를 물로 세척하는 공정을 거치는데, 종래의 카세트는 세척 후에 카세트 표면에 남은 물이 마스크에 닿게 되어 마스크의 패터닝 과정에서 불량이 발생되는 문제점이 있었다.In addition, the cassette is washed with water before the mask is loaded on the cassette. In the conventional cassette, water left on the surface of the cassette is washed after the cleaning, thereby causing defects in the patterning process of the mask.

본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위한 것이다.The object of the present invention is to solve the above problems.

일 측면에 따른 마스크 카세트는 마스크가 적재되는 슬롯; 상기 슬롯의 상부를 커버하는 상부 프레임; 상기 슬롯의 하부에 구비되는 하부 프레임; 상하 방향으로 연장되어 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임의 사이에 연결되고, 상기 슬롯을 지지하는 측면 프레임; 및 상기 슬롯의 상면에 결합되어 상기 마스크와 접촉하며, 상기 슬롯보다 강도가 높은 재질로 이루어진 패드를 포함한다.The mask cassette according to one aspect includes: a slot in which a mask is loaded; An upper frame covering an upper portion of the slot; A lower frame provided below the slot; A side frame extending in a vertical direction and connected between the upper frame and the lower frame, the side frame supporting the slot; And a pad coupled to an upper surface of the slot and contacting the mask, the pad having a higher strength than the slot.

본 발명의 마스크 카세트는 슬롯에 패드가 구비됨으로써 슬롯에 마스크 적재 시 슬롯에서 파티클이 발생하는 문제가 해결될 수 있다. 이에 따라, 마스크 패터닝 과정에서 발생하는 불량률이 현저하게 감소할 수 있다. The mask cassette of the present invention can solve the problem that particles are generated in the slot when the mask is loaded in the slot by providing the pad in the slot. Thus, the defect rate occurring in the mask patterning process can be remarkably reduced.

또한, 카세트에 물빠짐 수로가 형성됨으로써 카세트 세척 후 남은 물기가 원활하게 배출됨에 따라 물기에 의해 마스크 패터닝 과정에서 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the water dropping channel is formed in the cassette, water remaining after cleaning the cassette is smoothly discharged, thereby preventing occurrence of defects in the mask patterning process due to moisture.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 카세트의 사시도이다.
도 2는 도 1의 마스크 카세트의 저면 사시도이다.
도 3은 도 1의 마스크 카세트의 좌측면도이다.
도 4는 도1의 마스크 카세트에 마스크가 적재된 상태의 정면도이다.
도 5는 도 1의 슬롯의 사시도이다.
도 6은 도 5의 제1패드의 사시도이다.
도 7은 도 5의 제1패드의 저면 사시도이다.
도 8은 도 5의 제2패드의 사시도이다.
도 9는 도 1의 마스크 카세트에서 상부 프레임이 탈거된 상태의 평면도이다.
도 10은 도 1의 마스크 카세트에서 상부 프레임 및 슬롯이 탈거된 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 도 1의 상부 프레임의 평면도이다.
도 12는 도 1의 상부 프레임의 저면도이다.
도 13은 도 11의 Ⅰ-Ⅰ`를 따라 절개한 단면도이다.1 is a perspective view of a mask cassette according to an embodiment of the present invention.
2 is a bottom perspective view of the mask cassette of FIG.
Fig. 3 is a left side view of the mask cassette of Fig. 1; Fig.
FIG. 4 is a front view of the mask cassette of FIG. 1 in a state where the mask is loaded.
Figure 5 is a perspective view of the slot of Figure 1;
Figure 6 is a perspective view of the first pad of Figure 5;
7 is a bottom perspective view of the first pad of FIG.
8 is a perspective view of the second pad of FIG.
Fig. 9 is a plan view of the mask cassette of Fig. 1 with the upper frame removed. Fig.
FIG. 10 is a view showing a state in which the upper frame and the slot are removed from the mask cassette of FIG. 1; FIG.
11 is a plan view of the upper frame of Fig.
12 is a bottom view of the upper frame of Fig.
13 is a cross-sectional view taken along the line I-I in Fig.

이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements are denoted by the same reference numerals even though they are shown in different drawings. In the following description of the embodiments of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the difference that the embodiments of the present invention are not conclusive.

또한, 본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. When a component is described as being "connected", "coupled", or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to the other component, Quot; may be "connected," "coupled," or "connected. &Quot;

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 카세트의 사시도이고, 도 2는 도 1의 마스크 카세트의 저면 사시도이고, 도 3은 도 1의 마스크 카세트의 측면도이고, 도 4는 도1의 마스크 카세트에 마스크가 적재된 상태의 정면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a mask cassette according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a bottom perspective view of the mask cassette of FIG. 1, FIG. 3 is a side view of the mask cassette of FIG. 1, In which the mask is mounted.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 카세트(10)는 마스크 어셈블리(2)를 지지하기 위한 복수의 슬롯(101, 102)을 포함한다. 마스크 어셈블리(2)는 마스크 및 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임을 포함한다.
상기 복수의 슬롯(101, 102)은 상기 마스크 어셈블리(2)의 일측을 지지하기 위한 제1슬롯(101)과 상기 마스크 어셈블리(2)의 타측을 지지하기 위한 제2슬롯(102)을 포함한다. 즉, 상기 제1슬롯(101)과 상기 제2슬롯(102)이 한 세트로서 상기 마스크 어셈블리(2) 1개를 지지한다. 상기 제1슬롯(101)과 상기 제2슬롯(102)은 서로 대칭 형상으로 이루어지며, 상기 마스크 어셈블리(2)가 수평으로 지지되도록 서로 같은 높이에 구비될 수 있다.1 to 4, a mask cassette 10 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of slots 101, 102 for supporting a mask assembly 2. As shown in FIG. The mask assembly 2 includes a mask and a mask frame for supporting the mask.
The plurality of slots 101 and 102 include a first slot 101 for supporting one side of the mask assembly 2 and a second slot 102 for supporting the other side of the mask assembly 2 . That is, the first slot 101 and the second slot 102 support one mask assembly 2 as one set. The first slot 101 and the second slot 102 are symmetrical to each other and may be provided at the same height to support the mask assembly 2 horizontally.

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상기 제1슬롯(101)과 상기 제2슬롯(102)은 도시된 것과 같이 각각 복수 개로 구비될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크 카세트(10)는 복수 개의 마스크 어셈블리(2)를 지지할 수 있다. 또한, 복수개의 제1슬롯(101)과 복수개의 제2슬롯(102)은 각각 상하 방향으로 이격되어 배치된다. 이에 따라, 각 마스크 어셈블리(2)가 이격되어 적재될 수 있다.The first slot 101 and the second slot 102 may have a plurality of slots, as shown in FIG. Accordingly, the mask cassette 10 can support a plurality of mask assemblies 2. In addition, the plurality of first slots 101 and the plurality of second slots 102 are spaced apart from each other in the vertical direction. Accordingly, each of the mask assemblies 2 can be spaced apart.

상기 마스크 카세트(10)는 복수의 측면 프레임(201, 202)을 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 복수의 측면 프레임(201, 202)은 상기 제1슬롯(101)을 고정하는 제1측면 프레임(201) 및 상기 제2슬롯(102)을 고정하는 제2측면 프레임(202)을 포함할 수 있다.The mask cassette 10 may further include a plurality of side frames 201, 202. Specifically, the plurality of side frames 201 and 202 include a first side frame 201 for fixing the first slot 101 and a second side frame 202 for fixing the second slot 102 .

상기 제1측면 프레임(201)과 상기 제2측면 프레임(202)은 상측으로 연장된 형상으로 이루어질 수 있으며, 상기 제1측면 프레임(201)에는 복수개의 제1슬롯(101)이 결합되며, 상기 제2측면 프레임(202)에는 복수 개의 제2슬롯(102)이 결합될 수 있다.The first side frame 201 and the second side frame 202 may be formed to extend upward. A plurality of first slots 101 are coupled to the first side frame 201, A plurality of second slots 102 may be coupled to the second side frame 202.

상기 제1측면 프레임(201)은 도 3에 도시된 것과 같이 복수 개로 구비될 수 있다(도면부호 201, 203, 205, 207, 209). 다만, 상기 제1측면 프레임(201, 203, 205, 207, 209)의 개수는 설계에 따라 적절히 변경될 수 있다. As shown in FIG. 3, the first side frames 201 may be provided in plurality (201, 203, 205, 207, 209). However, the number of the first side frames 201, 203, 205, 207, and 209 may be appropriately changed according to the design.

또한, 도시되지는 않았으나, 상기 제2측면 프레임(202)도 상기 제1측면 프레임(201)과 같이 복수 개로 구비될 수 있다. 더 나아가, 상기 제2측면 프레임(202)은 상기 제1측면 프레임(201)과 대칭을 이루도록 구비될 수 있다.Also, although not shown, the second side frames 202 may be provided in plurality as in the first side frames 201. Further, the second side frame 202 may be provided to be symmetrical with the first side frame 201.

따라서, 복수의 제1슬롯(101)과 복수의 제1측면 프레임(201)이 격자 형상을 이루도록 결합되고, 복수의 제2슬롯(102)과 복수의 제2측면 프레임(202)이 격자 형상을 이루도록 결합된다. Accordingly, a plurality of first slots 101 and a plurality of first side frames 201 are coupled to form a lattice shape, and a plurality of second slots 102 and a plurality of second side frames 202 form a lattice shape Respectively.

상기 마스크 카세트(10)는 상기 복수의 슬롯(101, 102)의 상부를 커버하는 상부 프레임(300)을 더 포함할 수 있다.The mask cassette 10 may further include an upper frame 300 covering an upper portion of the plurality of slots 101 and 102.

상기 상부 프레임(300)은 상기 제1측면 프레임(201) 및 상기 제2측면 프레임(202)의 상단에 결합될 수 있다. The upper frame 300 may be coupled to the upper ends of the first side frame 201 and the second side frame 202.

상기 상부 프레임(300)은 상기 복수의 슬롯(101, 102)에 적재된 마스크 어셈블리(2)의 상부를 커버함으로써 상기 마스크 어셈블리(2)에 물 등의 이물질이 떨어지는 것을 방지할 수 있다.The upper frame 300 may cover the upper portion of the mask assembly 2 mounted on the plurality of slots 101 and 102 to prevent foreign matter such as water from falling down on the mask assembly 2. [

상기 마스크 카세트(10)는 상기 복수의 슬롯(101, 102)의 하부를 커버하는 하부 프레임(400)을 더 포함할 수 있다.The mask cassette 10 may further include a lower frame 400 covering a lower portion of the plurality of slots 101 and 102.

상기 하부 프레임(400)은 상기 복수의 슬롯(101, 102)의 하방에 배치되어 상기 마스크 어셈블리(2)의 하부를 보호할 수 있다.The lower frame 400 may be disposed below the plurality of slots 101 and 102 to protect the lower portion of the mask assembly 2.

상기 하부 프레임(400)은 좌우 방향으로 연장되는 제1보조 프레임(402) 및 전후 방향으로 연장되는 제2보조 프레임(404)을 포함할 수 있다. 상기 제1보조 프레임(402)과 상기 제2보조 프레임(404)은 격자 형상으로 결합될 수 있다.The lower frame 400 may include a first sub-frame 402 extending in the left-right direction and a second sub-frame 404 extending in the fore-and-aft direction. The first auxiliary frame 402 and the second auxiliary frame 404 may be coupled in a lattice shape.

상기 하부 프레임(400)에는 복수의 지지부(410, 420)가 형성될 수 있다. 상기 복수의 지지부(410, 420)는 상기 하부 프레임(400)의 저면에서 하방으로 연장되어 형성됨으로써 상기 마스크 카세트(10)가 지면으로부터 소정 높이 이격된 상태로 지지되도록 할 수 있다. A plurality of supports 410 and 420 may be formed on the lower frame 400. The plurality of supports 410 and 420 may extend downward from the bottom surface of the lower frame 400 so that the mask cassette 10 may be supported at a predetermined height from the ground.

한편, 상기 마스크 카세트(10)가 복수개로 구비되는 경우, 각각의 마스크 카세트(10)는 서로 상하 방향으로 적재될 수 있다. 이 때, 상측에 배치된 마스크 카세트의 복수의 지지부(410, 420)는 하측에 배치된 마스크 카세트의 상부 프레임(300)의 안착홈(310)에 지지될 수 있다. 상기 안착홈(310)은 상기 상부 프레임(300)의 상면부에 구비되며, 상기 복수의 지지부(410, 420)에 대응되는 위치에 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다.On the other hand, when a plurality of the mask cassettes 10 are provided, each of the mask cassettes 10 can be stacked up and down. At this time, the plurality of support portions 410 and 420 of the mask cassette disposed on the upper side can be supported in the seating groove 310 of the upper frame 300 of the mask cassette disposed on the lower side. The seating groove 310 may be formed on the upper surface of the upper frame 300 and correspond to a position corresponding to the plurality of supports 410 and 420.

이하에서는 상기 제1슬롯(101)에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the first slot 101 will be described in detail.

도 5는 도 1의 슬롯의 사시도이고, 도 6은 도 5의 제1패드의 사시도이고, 도 7은 도 5의 제1패드의 저면 사시도이고, 도 8은 도 5의 제2패드의 사시도이다.5 is a perspective view of the slot of FIG. 1, FIG. 6 is a perspective view of the first pad of FIG. 5, FIG. 7 is a bottom perspective view of the first pad of FIG. 5, and FIG. 8 is a perspective view of the second pad of FIG. .

도 5 내지 도 8을 참조하면, 상기 제1슬롯(101)은 본체부(110) 및 상기 본체부(110)의 일측으로부터 일 방향으로 연장되는 제1 및 제2연장부(113, 115)를 포함할 수 있다.
상세히, 상기 슬롯(101, 102)은 마스크 어셈블리(2)의 양측 하부에 배치되는 본체부(110)와, 상기 본체부(110)의 양측 단부로부터 내측을 향해 수평방향으로 연장된 연장부(113,115) 및, 양측 단부에서 상측으로 돌출되어 상기 마스크 어셈블리(2)의 유동을 방지하는 스토퍼(114,116)를 포함할 수 있다.5 to 8, the first slot 101 includes a main body 110 and first and second extension portions 113 and 115 extending in one direction from one side of the main body 110 .
In detail, the slots 101 and 102 include a main body 110 disposed at both lower sides of the mask assembly 2, extension parts 113 and 115 extending in the horizontal direction from both side ends of the main body 110, And stoppers 114 and 116 protruding upward from both ends to prevent the flow of the mask assembly 2.

상기 제1 및 제2연장부(113, 115)는 상기 본체부(110)의 양단부로부터 상기 제2슬롯(102)을 향하여 소정 길이로 연장될 수 있다. 상기 제1 및 제2연장부(113, 115)가 구비됨으로써 상기 마스크 어셈블리(2)를 보다 안정적으로 지지할 수 있다.The first and second extension portions 113 and 115 may extend a predetermined length from both ends of the main body 110 toward the second slot 102. By providing the first and second extension portions 113 and 115, the mask assembly 2 can be more stably supported.

상기 본체부(110)의 타측에는 상기 복수의 제1측면 프레임(201)에 결합되는 복수의 결합부(107a, 107b, 107c, 107d, 107e)가 구비될 수 있다. 상기 복수의 결합부(107a, 107b, 107c, 107d, 107e)는 상기 본체부(110)의 타측에서 상기 제1측면 프레임(201)을 향하여 연장될 수 있다.A plurality of coupling portions 107a, 107b, 107c, 107d, and 107e coupled to the plurality of first side frames 201 may be provided on the other side of the main body 110. [ The plurality of coupling portions 107a, 107b, 107c, 107d, and 107e may extend from the other side of the main body 110 toward the first side frame 201.

상기 제1슬롯(101)에는 상기 마스크 어셈블리(2)의 유동을 방지하기 위한 스토퍼(114, 116)가 구비될 수 있다. 상기 스토퍼(114, 116)는 상기 제1슬롯(101)의 전방부에 구비되는 제1스토퍼(114) 및 상기 제1슬롯(101)의 후방부에 구비되는 제2스토퍼(116)가 구비될 수 있다.In the first slot 101, stoppers 114 and 116 for preventing the flow of the mask assembly 2 may be provided. The stoppers 114 and 116 are provided with a first stopper 114 provided at a front portion of the first slot 101 and a second stopper 116 provided at a rear portion of the first slot 101 .

한편, 상기 제1슬롯(101)은 물에 의해 세척되기 때문에 물에 의해 잘 부식되지 않으며, 운반상의 편의를 위해 가벼운 재질로 이루어질 수 있다. 이와 같은 조건을 만족시키기 위해 상기 제1슬롯(101)은 알루미늄(aluminum)으로 제작될 수 있다.On the other hand, the first slot 101 is not corroded by water because it is washed by water, and may be made of a light material for convenience of transportation. In order to satisfy such a condition, the first slot 101 may be made of aluminum.

그러나, 마스크 어셈블리(2)의 마스크 프레임은 인바(invar)와 같이 알루미늄보다 강도가 높은 재질로 이루어질 수 있다. 따라서, 마스크 프레임이 상기 제1슬롯(101)에 접촉되는 경우, 제1슬롯(101)이 상기 마스크 프레임에 의해 긁혀 파티클이 발생하는 문제가 있다.However, the mask frame of the mask assembly 2 may be made of a material having a higher strength than aluminum, such as invar. Accordingly, when the mask frame contacts the first slot 101, there is a problem that the first slot 101 is scratched by the mask frame to generate particles.

이처럼, 상기 제1슬롯(101)에는 마스크 어셈블리(2) 적재 시 상기 제1슬롯(101)의 표면이 손상되어 파티클이 발생되는 것을 방지하기 위한 패드(120, 130, 140)가 결합될 수 있다. 상기 패드(120, 130, 140)는 상기 제1슬롯(101)을 대신하여 상기 마스크 어셈블리(2)에 접촉한다. 따라서, 상기 마스크 어셈블리(2)와 상기 제1슬롯(101)이 접촉되는 면적이 최소화될 수 있다(접촉하지 않을 수 있다). As described above, the pads 120, 130, and 140 may be coupled to the first slot 101 to prevent the surface of the first slot 101 from being damaged when the mask assembly 2 is loaded, . The pads 120, 130, and 140 are in contact with the mask assembly 2 instead of the first slot 101. Therefore, the area of contact between the mask assembly 2 and the first slot 101 may be minimized (may not be contacted).

다만, 상기 패드(120, 130. 140)가 상기 제1슬롯(101)의 상면 전체를 덮지 않고 복수개로 구비될 수 있다. 이는 상기 패드(120, 130. 140)의 면적이 넓을수록 상기 마스크 카세트(10)의 전체 중량이 증가하기 때문이다. 상기 패드(120, 130, 140)는 도시된 것과 같이 3개로 구비될 수 있으나, 이와 같은 사항으로 제한되는 것은 아니다.However, the plurality of pads 120, 130, 140 may be provided without covering the entire upper surface of the first slot 101. This is because the overall weight of the mask cassette 10 increases as the area of the pads 120, 130, and 140 increases. The number of the pads 120, 130, and 140 may be three, but the present invention is not limited thereto.

상기 패드(120, 130, 140)는 상기 제1슬롯(101)의 모서리부에 각각 구비되어 상기 제1슬롯(101)의 표면이 상기 마스크 어셈블리(2)에 의해 긁혀 파티클이 발생하는 문제를 해결할 수 있다. The pads 120, 130 and 140 are provided at the corners of the first slot 101 to solve the problem that the surface of the first slot 101 is scratched by the mask assembly 2 to generate particles .

상기 패드(120, 130, 140)는 상기 제1슬롯(101)에 비해 강도가 높은 스테인레스 스틸(예를 들어 SUS304)과 같은 재질로 이루어질 수 있다. The pads 120, 130, and 140 may be made of stainless steel (e.g., SUS 304) having a higher strength than the first slots 101.

또한, 상기 패드(120, 130, 140)의 표면에는 상기 패드(120, 130, 140) 또는 상기 마스크 어셈블리(2)이 마찰에 의해 손상되어 파티클이 발생되는 것을 방지하기 위한 코팅층이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 패드(120, 130, 140)의 표면에는 DLC(Diamond-Like Carbon) 코팅층이 형성될 수 있다. A coating layer may be formed on the surfaces of the pads 120, 130 and 140 to prevent the pads 120, 130 and 140 or the mask assembly 2 from being damaged due to friction, . For example, a diamond-like carbon (DLC) coating layer may be formed on the surfaces of the pads 120, 130, and 140.

상기 패드(120, 130, 140)는 상기 제1슬롯(101)의 전방에 구비되는 전방 패드(120), 상기 제1슬롯(101)의 후방에 구비되는 후방 패드(130) 및 상기 제1슬롯(101)의 중간에 구비되는 중간 패드(140)를 포함할 수 있다.The pads 120, 130 and 140 may include a front pad 120 disposed in front of the first slot 101, a rear pad 130 disposed behind the first slot 101, And an intermediate pad 140 provided in the middle of the substrate 101.

상기 전방 패드(120)는 도시된 것과 같이 적어도 일부분이 상기 마스크 어셈블리(2)의 테두리 부분의 형상에 대응되도록 ‘L’자로 꺾인 형상으로 이루어질 수 있다. 이는 상기 마스크 어셈블리(2)와 상기 전방 패드(120)가 접촉하는 면적을 최소화하기 위한 것이다. 이에 따라, 마찰에 의한 파티클이 발생하는 문제를 최소화할 수 있다.The front pad 120 may be formed in an L shape such that at least a portion of the front pad 120 corresponds to the shape of the rim of the mask assembly 2, as shown in FIG. This is for minimizing the contact area between the mask assembly 2 and the front pad 120. As a result, the problem of generation of particles due to friction can be minimized.

상기 전방 패드(120)의 저면(122)에는 상기 제1슬롯(101)과 체결되기 위한 체결부재(124)가 구비될 수 있다. 상기 체결부재(124)는 복수 개로 구비될 수 있다.A fastening member 124 for fastening the first slot 101 to the bottom surface 122 of the front pad 120 may be provided. A plurality of the fastening members 124 may be provided.

상기 체결부재(124)는 상기 전방 패드(120)의 저면(122)에 압입되어 상기 전방 패드(120)와 결합된다. 따라서, 상기 전방 패드(120)에 체결부재(124)를 결합시키더라도 상기 전방 패드(120)의 상면(121)은 평평한 상태를 유지할 수 있다. 이에 따라, 상기 전방 패드(120)의 상면(121)에 상기 마스크 어셈블리(2)가 수평인 상태로 적재될 수 있다. The fastening member 124 is press-fitted into the bottom surface 122 of the front pad 120 and is engaged with the front pad 120. Therefore, even though the fastening member 124 is coupled to the front pad 120, the top surface 121 of the front pad 120 can be kept flat. Accordingly, the mask assembly 2 can be mounted on the upper surface 121 of the front pad 120 in a horizontal state.

상기 후방 패드(130)는 상기 전방 패드(120)와 대칭 형상으로 이루어지며, 세부구성은 상기 전방 패드(130)와 실질적으로 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.The rear pad 130 has a symmetrical shape with respect to the front pad 120. Since the detailed structure of the front pad 130 is substantially the same as that of the front pad 130, a detailed description thereof will be omitted.

상기 중간 패드(140)도 상기 전방 패드(120)의 구성과 대부분 동일하나 다만 형상에 있어서 차이가 있다. 구체적으로, 상기 중간 패드(140)는 직사각형 형상으로 이루어지며, 상기 중간 패드(140)의 저면에는 체결부재(144)가 구비된다. 상기 체결부재(144)는 상기 중간 패드(140)의 저면에 압입됨으로써 상기 중간 패드(140)와 결합할 수 있다. 따라서, 상기 중간 패드(140)에 체결부재(144)를 결합시키더라도 상기 중간 패드(140)의 상면(141)은 평평한 상태를 유지할 수 있다. 이에 따라, 상기 중간 패드(140)의 상면(141)에 상기 마스크 어셈블리(2)가 수평인 상태로 적재될 수 있다.The intermediate pad 140 is substantially the same as the front pad 120 but differs in shape. Specifically, the intermediate pad 140 has a rectangular shape, and a fastening member 144 is provided on the bottom surface of the intermediate pad 140. The coupling member 144 can be engaged with the intermediate pad 140 by being pressed into the bottom surface of the intermediate pad 140. Therefore, even when the coupling member 144 is coupled to the intermediate pad 140, the upper surface 141 of the intermediate pad 140 can be kept flat. Accordingly, the mask assembly 2 can be mounted on the upper surface 141 of the intermediate pad 140 in a horizontal state.

상기 제2슬롯(102)에도 상기 제1슬롯(101)과 같이 복수의 패드가 구비될 수 있으며, 상기 제1슬롯(101)에 구비된 패드와 실질적으로 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.A plurality of pads may be provided in the second slot 102 as well as the first slot 101 and are substantially the same as the pads provided in the first slot 101, so a detailed description thereof will be omitted.

도 9는 도 1의 마스크 카세트에서 상부 프레임이 탈거된 상태의 평면도이다.Fig. 9 is a plan view of the mask cassette of Fig. 1 with the upper frame removed. Fig.

도 9를 참조하면, 상기 마스크 카세트(10) 세척 시 사용되는 물이 원활히 배출될 수 있도록 상기 하부 프레임(400)에는 개구(405)가 형성될 수 있다. 상기 개구(405)는 제1보조 프레임(402)과 제2보조 프레임(404)에 의해 형성될 수 있다. 도시된 것과 같이 상기 개구(405)는 복수 개로 형성될 수 있다. 상기 개구(405)에 의해 세척수가 빠짐으로써 상기 복수의 슬롯(101, 102)에 적재된 마스크 어셈블리(2)의 마스크에 물이 닿아 패터닝 과정에서 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 9, an opening 405 may be formed in the lower frame 400 so that water used for cleaning the mask cassette 10 can be smoothly discharged. The opening 405 may be formed by a first auxiliary frame 402 and a second auxiliary frame 404. As shown, the openings 405 may be formed in a plurality of openings. The water is brought into contact with the mask of the mask assembly 2 loaded on the plurality of slots 101 and 102 by removing the washing water by the opening 405, thereby preventing defects from being generated in the patterning process.

도 10은 도 1의 마스크 카세트에서 상부 프레임 및 슬롯이 탈거된 모습을 보여주는 도면이다.FIG. 10 is a view showing a state in which the upper frame and the slot are removed from the mask cassette of FIG. 1; FIG.

도 10을 참조하면, 제1측면 프레임(207, 209)에는 상기 제1슬롯(220)과 결합하기 위한 결합부재(220)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 제1측면 프레임(207, 209)에는 상기 결합부재(220)가 체결되는 체결부(215)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 10, the first side frames 207 and 209 may be provided with coupling members 220 for coupling with the first slots 220. In addition, the first side frames 207 and 209 may be formed with coupling portions 215 to which the coupling members 220 are coupled.

도 11은 도 1의 상부 프레임의 평면도이고, 도 12는 도 1의 상부 프레임의 저면도이고, 도 13은 도 11의 Ⅰ-Ⅰ`를 따라 절개한 단면도이다.FIG. 11 is a plan view of the upper frame of FIG. 1, FIG. 12 is a bottom view of the upper frame of FIG. 1, and FIG. 13 is a sectional view taken along line I-I 'of FIG.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 상부 프레임(300)의 상면(301)에는 안착홈(310)이 구비되며, 상기 상부 프레임(300)의 저면(302)에는 상기 제1 및 제2측면 프레임(201, 202)과 결합하기 위한 결합부(340)가 구비될 수 있다.11 to 13, a top surface 301 of the upper frame 300 is provided with a seating groove 310 and a bottom surface 302 of the upper frame 300 is provided with the first and second side frames 201, and 202, respectively.

상기 안착홈(310)은 상측에 구비된 마스크 카세트의 지지부(410, 420)가 안착되도록 홈으로 이루어질 수 있다. The seating groove 310 may be formed as a groove to support the support portions 410 and 420 of the mask cassette provided on the upper side.

한편, 상기 마스크 카세트(10)의 세척 시 상기 안착홈(310)에 물이 고이는 현상이 발생할 수 있으며, 상기 안착홈(310)에 고인 물이 상기 마스크 어셈블리(2)의 마스크에 떨어지게 되면 마스크의 패터닝 과정에서 불량이 발생하는 문제가 있다. When the mask cassette 10 is cleaned, water may accumulate in the seating groove 310. When the water in the seating groove 310 falls into the mask of the mask assembly 2, There is a problem that a defect occurs in the patterning process.

이와 같은 문제를 해결하기 위해 상기 안착홈(310)에는 물빠짐 수로(320)가 연결될 수 있다.In order to solve such a problem, a water dropping channel 320 may be connected to the seating groove 310.

상기 물빠짐 수로(320)는 상기 안착홈(310)으로부터 상기 상부 프레임(300)의 상면(301)의 테두리까지 연장될 수 있다. 이에 따라, 상기 안착홈(310)에 고인 물은 상기 물빠짐 수로(320)를 통해 상기 상부 프레임(300)의 아래로 흘러내릴 수 있다. 이에 따라, 상기 안착홈(310)에 고인 물이 상기 마스크 어셈블리(2)에 떨어져 마스크의 패터닝 과정에서 불량이 발생하는 현상을 방지할 수 있다.The water dropping channel 320 may extend from the seating groove 310 to an edge of the upper surface 301 of the upper frame 300. Accordingly, the water adhering to the seating groove 310 can flow down the upper frame 300 through the water dropping channel 320. Accordingly, it is possible to prevent water from being accumulated in the seating groove 310 from falling into the mask assembly 2, thereby causing defects in the patterning process of the mask.

Claims (8)

마스크가 적재되는 슬롯;
상기 슬롯의 상부를 커버하는 상부 프레임;
상기 슬롯의 하부에 구비되는 하부 프레임;
상하 방향으로 연장되어 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임의 사이에 연결되고, 상기 슬롯을 지지하는 측면 프레임; 및
상기 슬롯의 상면에 결합되어 상기 마스크와 접촉하며, 상기 슬롯보다 강도가 높은 재질로 이루어진 패드를 포함하고,
상기 슬롯은, 상기 마스크의 양측 하부에 배치되는 본체부와, 상기 본체부의 양측 단부로부터 내측을 향해 수평방향으로 연장된 연장부 및, 양측 단부에서 상측으로 돌출되어 상기 마스크의 유동을 방지하는 스토퍼를 포함하며,
상기 패드는, 상기 슬롯의 전,후방에 각각 구비되는 전,후방 패드 및 상기 슬롯의 중간에 구비되는 중간패드를 포함하고,
상기 패드의 저면부에는 상기 슬롯과 결합되기 위한 체결부재가 구비되되, 상기 체결부재는 상기 패드의 저면부에 압입되면서 상기 패드와 결합되어, 상기 패드의 상면은 평면상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 마스크 카세트.A slot in which the mask is loaded;
An upper frame covering an upper portion of the slot;
A lower frame provided below the slot;
A side frame extending in a vertical direction and connected between the upper frame and the lower frame, the side frame supporting the slot; And
And a pad coupled to an upper surface of the slot and contacting the mask, the pad being made of a material having a higher strength than the slot,
The slot includes a main body portion disposed on both sides of the mask, an extension portion extending in the horizontal direction inward from both side ends of the main body portion, and a stopper protruding upward from both end portions to prevent the mask from flowing ≪ / RTI &
Wherein the pads include front and rear pads respectively provided at the front and back of the slot and an intermediate pad provided at the middle of the slot,
And a coupling member for coupling with the slot is provided on a bottom surface of the pad, wherein the coupling member is press-fitted into the bottom surface of the pad, and is coupled with the pad so that the top surface of the pad is maintained in a planar state Mask cassette. 제 1 항에 있어서,
상기 패드는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 카세트.The method according to claim 1,
Wherein the pad is made of a stainless steel material. 제 1 항에 있어서,
상기 패드에는 DLC(Diamond-Like Carbon) 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 카세트.The method according to claim 1,
Wherein a diamond-like carbon (DLC) coating layer is formed on the pad. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 패드는 적어도 일부분이 상기 마스크의 테두리 부분의 형상에 대응되는 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 카세트.The method according to claim 1,
Wherein the pad has a shape in which at least a portion corresponds to a shape of a rim portion of the mask. 제 1 항에 있어서,
상기 하부 프레임에는 하방으로 연장되는 지지부가 구비되는 마스크 카세트.The method according to claim 1,
Wherein the lower frame is provided with a support portion extending downward. 제 6 항에 있어서,
상기 상부 프레임에는 상기 지지부가 안착되는 안착홈이 형성되는 마스크 카세트.The method according to claim 6,
And a seating groove on which the support portion is seated is formed in the upper frame. 제 7 항에 있어서,
상기 안착홈에는 상기 상부 프레임의 테두리부로 연장되는 물빠짐 수로가 구비되는 마스크 카세트.8. The method of claim 7,
Wherein the recessed groove is provided with a water dropping channel extending to a rim of the upper frame.
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