KR101578655B1 - Injection nozzle and evaporation source including the same - Google Patents

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KR101578655B1
KR101578655B1 KR1020140080932A KR20140080932A KR101578655B1 KR 101578655 B1 KR101578655 B1 KR 101578655B1 KR 1020140080932 A KR1020140080932 A KR 1020140080932A KR 20140080932 A KR20140080932 A KR 20140080932A KR 101578655 B1 KR101578655 B1 KR 101578655B1
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김길원
오영만
송기민
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주식회사 선익시스템
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Abstract

The present invention relates to an injection nozzle and an evaporation source including the same. The present invention relates to an injection nozzle assembly which has an evaporation source which supplies an evaporation material for deposition to a substrate, and jets evaporation particles to the substrate. The injection nozzle assembly may include an injection nozzle body; a heating line part which is wound around the outer surface of the injection nozzle body; a nozzle thermometer which is inserted into the outer surface of the injection nozzle body to be located in an upper part of the heating line part, and measures the temperature of the evaporation source; and a spacer which is inserted into the outer surface of the injection nozzle body to be located between the heating line part and the nozzle thermometer.

Description

분사노즐 어셈블리 및 이를 포함하는 증발원{Injection nozzle and evaporation source including the same}[0001] The present invention relates to an injection nozzle assembly and an evaporation source including the same,

본 발명은 분사노즐 어셈블리 및 이를 포함하는 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증발원에 온도측정기가 안정적으로 결합되도록 하여 정확한 온도측정을 하고, 온도측정기의 조립성도 향상시킬 수 있는 분사노즐 어셈블리 및 이를 포함하는 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to an injection nozzle assembly and an evaporation source including the same, and more particularly, to an injection nozzle assembly capable of stably bonding a temperature measuring instrument to an evaporation source to perform accurate temperature measurement and to improve assembling performance of a temperature measuring instrument, and And the like.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Evaporation.

일반적으로 증발원은 증발물질이 담겨 있는 도가니와, 도가니를 감싸도록 설치되어 열을 공급하는 히터로 구성된다. 이때, 히터에서 발열되는 열이 도가니에 전달되면 도가니의 온도가 증가되면서 도가니에 저장된 증발물질이 증발된다. 증발물질을 증발시키기 위해서는 증발원에서 고온으로 발열이 되어야 한다. Generally, the evaporation source is composed of a crucible containing an evaporation material and a heater installed to surround the crucible to supply heat. At this time, when the heat generated in the heater is transferred to the crucible, the temperature of the crucible is increased and the evaporation material stored in the crucible is evaporated. In order to evaporate the evaporation material, the evaporation source must generate heat at a high temperature.

또한, 도가니의 상부에 연결된 노즐부에서는 증발입자들이 분사된다. 상기 노즐부에는 와이어 형태의 열선이 감아져 노즐부를 고온으로 가열하게 된다. 이때, 증발입자가 직접 분사되는 분사노즐에는 온도측정기가 작업자에 의해 결합될 수 있다. Further, in the nozzle portion connected to the top of the crucible, evaporation particles are injected. A wire-shaped heating wire is wound around the nozzle unit to heat the nozzle unit to a high temperature. At this time, the temperature measuring instrument can be coupled to the spray nozzle directly sprayed with the evaporated particles by the operator.

하지만, 온도측정기는 분사노즐에 결합된 상태에서 열팽창에 의해 유동이 발생할 수 있어 정확한 온도측정이 어려울 수 있으며, 작업자가 직접 분사노즐에 결합하다 보니 조립성도 떨어지는 문제가 있었다. However, since the temperature measuring device is coupled to the injection nozzle, the flow may be generated due to the thermal expansion, so that it may be difficult to accurately measure the temperature.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0124889호(2012.11.14. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2012-0124889 (published on November 14, 2012)

본 발명은 증발원에 온도측정기가 안정적으로 결합되도록 하여 정확한 온도측정을 하고, 온도측정기의 조립성도 향상시킬 수 있는 분사노즐 및 이를 포함하는 증발원을 제공하는 것이다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention provides an injection nozzle capable of stably bonding a temperature measuring device to an evaporation source to perform accurate temperature measurement, and also to improve the assemblability of a temperature measuring device, and an evaporation source including the same.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 분사노즐 어셈블리는 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 구비되고, 상기 기판을 향해 증발입자를 분사하는 분사노즐 어셈블리에 있어서, 분사노즐 몸체; 상기 분사노즐 몸체의 외면에 감아지는 열선부; 상기 열선부의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기; 및 상기 열선부와 상기 노즐 온도측정기의 사이에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되는 스페이서를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an injection nozzle assembly according to the present invention is provided with an evaporation source for supplying evaporation material for evaporation to a substrate, and the evaporation nozzle assembly for ejecting evaporation particles toward the substrate, ; A heating wire wound around an outer surface of the injection nozzle body; A nozzle temperature measuring unit inserted into an outer surface of the spray nozzle body to measure a temperature of the evaporation source so as to be positioned above the hot ray unit; And a spacer inserted into the outer surface of the injection nozzle body so as to be positioned between the hot wire portion and the nozzle temperature measuring instrument.

상기 노즐 온도측정기는 링 형상으로 형성될 수 있다.The nozzle temperature measuring device may be formed in a ring shape.

상기 노즐 온도측정기의 상부에는 노즐 캡이 결합될 수 있다.A nozzle cap may be coupled to the upper portion of the nozzle temperature measuring device.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 증발원은 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서, 상기 증발물질이 유입되는 노즐부; 상기 노즐부의 외면에 감아지는 열선부; 및 상기 노즐부에 구비되어 상기 기판을 향해 증발입자를 분사하는 분사노즐 어셈블리를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, an evaporation source according to the present invention is a evaporation source for supplying a evaporation material for evaporation to a substrate, the evaporation source comprising: a nozzle unit into which the evaporation material flows; A heating wire wound around the outer surface of the nozzle unit; And an ejection nozzle assembly provided in the nozzle unit for ejecting evaporation particles toward the substrate.

상기 노즐부는, 도가니에서 증발되는 증발물질이 유입되는 이동관; 상기 이동관의 상단에서 횡방향으로 결합되어 상기 이동관과 연통되는 분배관; 및 상기 분배관의 길이방향을 따라 복수개가 이격되어 형성되는 상기 분사노즐 어셈블리를 포함할 수 있다.Wherein the nozzle unit comprises: a moving pipe through which evaporated material evaporated in the crucible flows; A distribution pipe connected to the moving pipe in the lateral direction at the upper end of the moving pipe; And a plurality of spray nozzle assemblies spaced apart from each other along a longitudinal direction of the distribution pipe.

상기 이동관 및 분배관의 외면에는 온도 측정을 위한 관 온도측정 어셈블리가 결합될 수 있다.A tube temperature measurement assembly for temperature measurement may be coupled to the outer surface of the moving tube and the distribution tube.

상기 관 온도측정 어셈블리는, 상기 이동관 및 분배관의 온도를 측정하는 관 온도측정기; 상기 관 온도측정기의 선단 외측에 구비되는 와셔; 및 상기 와셔를 관통하여 상기 이동관 및 분배관에 체결시키는 체결구를 포함할 수 있다.The tube temperature measurement assembly includes: a tube temperature meter for measuring the temperature of the moving tube and the distribution tube; A washer provided outside the tip of the tube temperature measuring instrument; And a fastener which passes through the washer and is fastened to the moving pipe and the distribution pipe.

상기 이동관 및 분배관의 외면에는 상기 와셔가 결합되는 결합돌기가 돌출되어 형성될 수 있다.The outer surface of the moving pipe and the distribution pipe may be formed with protrusions for engaging with the washer.

상기 노즐부의 외면에는 간격유지 돌기가 돌출되게 형성되는데, 상기 간격유지 돌기는 상기 열선부 사이에 배치되어 상기 열선부 사이의 간격이 유지될 수 있다. A gap retaining protrusion is formed on an outer surface of the nozzle unit. The gap retaining protrusion may be disposed between the hot wire portions to maintain a gap between the hot wire portions.

상기 열선부는 상기 노즐부의 외면에 복수의 턴수로 감아질 수 있다.The hot wire portion may be wound on the outer surface of the nozzle portion in a plurality of turns.

상기 열선부는 상기 노즐부의 양측부에서 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아질 수 있다.The hot wire portion can be wound in a relatively large number of turns toward the central portion from both side portions of the nozzle portion.

본 발명의 일 실시예에 증발원에 온도측정기가 안정적으로 결합되어 열팽창 등에 의해 유동되지 않고 정확한 온도측정을 할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the temperature measuring device is stably coupled to the evaporation source, and accurate temperature measurement can be performed without flowing due to thermal expansion or the like.

또한, 노즐부에 노즐 온도측정기 및 관 온도측정 어셈블리가 간단한 방식에 의해 결합되므로, 제품의 조립성이 향상될 수 있다. Further, since the nozzle temperature meter and the tube temperature measurement assembly are coupled to the nozzle unit by a simple method, the assemblability of the product can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 하부를 보인 사시도.
도 3은 분사노즐 어셈블리의 정면도. 1 is a perspective view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing a lower portion of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
3 is a front view of the spray nozzle assembly;

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하, 본 발명에 의한 분사노즐 어셈블리 및 이를 포함하는 증발원의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, an embodiment of an injection nozzle assembly according to the present invention and an evaporation source including the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like elements And redundant explanations thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 하부를 보인 사시도이며, 도 3은 분사노즐 어셈블리의 정면도이고, 도 4는 관 온도측정 어셈블리의 사시도이다.1 is a perspective view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a lower part of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a front view of an injection nozzle assembly, Is a perspective view of a measurement assembly.

이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 증발원은 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서, 상기 증발물질이 유입되어 상기 기판을 향해 분사되는 노즐부(10); 상기 노즐부(10)의 외면에 감아지는 열선부(20); 및 상기 노즐부(10)의 외면에 돌출되게 형성되고, 상기 열선부(20) 사이에 배치되어 상기 열선부(20) 사이의 간격이 유지되도록 하는 간격유지 돌기(30)를 포함할 수 있다.According to the present invention, an evaporation source according to the present invention is a evaporation source for supplying a evaporation material for evaporation to a substrate, the evaporation source comprising: a nozzle unit 10 through which the evaporation material flows and is injected toward the substrate; A heat wire portion 20 wound around the outer surface of the nozzle portion 10; And spacing protrusions 30 protruding from the outer surface of the nozzle unit 10 and disposed between the heat ray units 20 to maintain a gap between the heat ray units 20.

노즐부(10)는 진공챔버(미도시) 내부에 설치되어 기판에 증착을 위한 증발입자를 제공하는 기능을 수행하는 것으로서, 이동관(12) 및 분배관(14)을 포함할 수 있다. The nozzle unit 10 is installed in a vacuum chamber (not shown) and serves to provide evaporation particles for deposition on the substrate. The nozzle unit 10 may include a moving pipe 12 and a distribution pipe 14.

이동관(12)은 튜브 형태로서, 하단의 도가니(미도시)의 개방된 상단과 연통되도록 결합될 수 있다. 도가니에서 분출되는 증발입자는 이동관(12)을 통해 분배관(14)으로 안내된다. The moving tube 12 may be in the form of a tube and may be connected to be communicated with the open upper end of the crucible (not shown) at the lower end. The evaporated particles ejected from the crucible are guided to the distribution pipe 14 through the moving pipe 12.

분배관(14)은 좌우 양단이 막힌 튜브 형태로서, 이동관(12)의 상단에 횡방향으로 결합되어 이동관(12)과 연통된다. 서로 결합된 이동관(12)과 분배관(14)은 대략 T자 형상을 가진다. 분배관(14)의 상단에는 분배관(14)의 길이방향으로 분사노즐 어셈블리(40)가 구비된다. The distribution pipe 14 is in the form of a tube having both ends closed at the left and right ends thereof, and is coupled to the upper end of the moving pipe 12 in the lateral direction to communicate with the moving pipe 12. The moving tube 12 and the distribution tube 14 coupled to each other have a substantially T shape. An injection nozzle assembly 40 is provided at an upper end of the distribution pipe 14 in the longitudinal direction of the distribution pipe 14.

이와 같은 구조를 가진 노즐부(10)의 외면에는 와이어 형상의 열선부(20)가 감아진다. 열선부(20)는 노즐부(10)의 외면에 다양한 복수의 턴수로 감아지는 제1 열선(22), 제2 열선(24) 및 제3 열선(26)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 제시하는 제1 열선(22), 제2 열선(24) 및 제3 열선(26)은 일 예로 제시한 것에 불과하고, 각각의 열선(22,24,26)의 턴수는 다양하게 설정될 수 있다. 도 1에서는 제1 열선(22)은 4번의 턴수, 제2 열선(24)은 3번의 턴수, 제3 열선(26)은 2번의 턴수를 가지도록 노즐부(10)의 외면에 감아지며, 제1 열선(22)이 감아지는 영역은 'A', 제2 열선(24)이 감아지는 영역은 'B', 제3 열선(26)이 감아지는 영역은 'C'로 도시하였다. A wire-shaped heat ray portion 20 is wound around the outer surface of the nozzle portion 10 having such a structure. The hot wire portion 20 may include a first hot wire 22, a second hot wire 24 and a third hot wire 26 wound around the outer surface of the nozzle portion 10 in various numbers of turns. The first heat line 22, the second heat line 24 and the third heat line 26 shown in this embodiment are merely examples, and the number of turns of each heat line 22, 24, Can be set. 1, the first heating wire 22 is wound on the outer surface of the nozzle unit 10 so that the number of turns is four, the second heating wire 24 is three turns, and the third heating wire 26 is two turns, A region where the first heating line 22 is wound is indicated by "A", a region where the second heating line 24 is wound is indicated by "B", and a region where the third heating line 26 is wound is indicated by "C".

노즐부(10)에 감아지는 열선부(20)는 도 1에서와 같이 노즐부(10)의 좌우방향을 따라 대칭되게 감아져 노즐부(10)가 전체적으로 균일하게 가열될 수 있도록 한다. 또한, 노즐부(10)의 양측부가 가장 적은 턴수로 감아지고 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아져 중앙부에서 보다 높은 온도로 증발되도록 한다. 이와 같이 되면, 노즐부(10)의 중앙부에서 보다 활발하게 양측부로 증발입자를 분배할 수 있어 증착 균일도를 높일 수 있다. The hot wire portion 20 wound around the nozzle portion 10 is wound symmetrically along the left and right direction of the nozzle portion 10 as shown in FIG. 1 so that the nozzle portion 10 can be uniformly heated as a whole. In addition, both side portions of the nozzle unit 10 are wound with the smallest number of turns, and are wound with a relatively large number of turns toward the center to evaporate to a higher temperature in the central portion. In this case, the evaporation particles can be more actively distributed to the both sides in the central portion of the nozzle unit 10, and the uniformity of deposition can be increased.

열선부(20)는 상술한 바와 같이 복수의 턴수가 하나의 묶음을 형성하면서 노즐부(10)의 외면에 감아진다. 이때, 하나의 묶음을 형성한 열선부(20) 사이의 간격을 일정하게 유지하는 것이 필요하다. 즉, 열선부(20) 사이의 간격이 일정하게 유지되어야 노즐부(10) 전체에 걸쳐 열선부(20)가 균일하게 가열을 할 수 있는 것이다. 실제로 열선부(20)는 강선의 와이어이기 때문에 작업자가 노즐부(10)의 외면에 감는 작업 중 열선부(20)를 일정한 간격으로 유지하는 데에 어려움이 있었다. 따라서, 본 실시예에서는 이를 해결하고자 열선부(20) 사이에 간격유지 돌기(30)를 형성한 것이다. The heat wire portion 20 is wound on the outer surface of the nozzle portion 10 while forming a bundle of a plurality of turns as described above. At this time, it is necessary to keep the interval between the heat ray parts 20 forming one bundle constant. That is, if the gap between the heat ray portions 20 is maintained constant, the heat ray portion 20 can be uniformly heated over the entire nozzle portion 10. In fact, since the hot wire portion 20 is a wire of a steel wire, it is difficult for the operator to maintain the hot wire portion 20 at a constant interval during the operation of winding the outer surface of the nozzle portion 10. Accordingly, in the present embodiment, the gap retaining protrusions 30 are formed between the heat ray portions 20 to solve this problem.

간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 외면에서 소정의 두께로 돌출되는 원통 형상을 가진다. 간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 외면이라면 어떠한 부분이라도 형성될 수 있지만, 열선부(10)가 실제로 감아지는 분사노즐 어셈블리(40)의 반대편에 대응되는 노즐부(10)의 외면에 형성되어 열선부(10)가 서로 반대부분에서 견고하게 지지되도록 할 수 있다. 도 1에서 분사노즐 어셈블리(40)는 노즐부(10)의 상부에 구비되기 때문에 이와 반대편인 노즐부(10)의 하부에 간격유지 돌기(30)가 형성된다. The gap retaining projection 30 has a cylindrical shape protruding from the outer surface of the nozzle portion 10 to a predetermined thickness. The gap maintaining protrusions 30 may be formed on the outer surface of the nozzle portion 10 but may be formed on the outer surface of the nozzle portion 10 corresponding to the opposite side of the spray nozzle assembly 40, So that the heat ray portions 10 can be firmly supported at the opposite portions. 1, since the spray nozzle assembly 40 is provided on the upper portion of the nozzle unit 10, the gap retaining protrusion 30 is formed below the nozzle unit 10 opposite thereto.

또한, 본 도면에는 구체적으로 도시되지 않았지만, 간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 하부뿐만 아니라 노즐부(10)의 양측부에도 각각 형성되어 열선부(10)가 감기는 것을 가이드할 수 있다. Although not specifically shown in the figure, the gap retaining protrusions 30 are formed on both sides of the nozzle unit 10 as well as the lower part of the nozzle unit 10 to guide the winding of the hot wire 10 .

한편, 도 2를 참조하면, 일부 간격유지 돌기(30)는 복수의 턴수로 감아지는 열선부(20)의 사이에 두 개가 인접하게 형성될 수 있다. 이와 같이 간격유지 돌기(30)가 형성될 경우에는 도 2에서와 같이 두 개의 간격유지 돌기(30)를 통과하는 열선부(20)는 간격유지 돌기(30)의 사이를 지나도록 굴곡지게 형성되고, 양단부는 서로 반대방향으로 연장될 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 상부로부터 하부로 연장되는 열선부(20)가 좌측의 첫 번째 간격유지 돌기(30)의 외면을 타고 반대방향으로 굴곡되면서 두 번째 간격유지 돌기(30)의 외면을 타고 다시 반대방향으로 굴곡되도록 감아지는 것이다. 결국, 열선부(20)는 두 개의 간격유지 돌기(30)의 외면 절반에 대응되는 부분에 교차하도록 감아지므로, 보다 견고하게 노즐부(10)의 외면에 감아질 수 있다. 2, two spacing protrusions 30 may be formed adjacent to each other between the heat ray portions 20 wound in a plurality of turns. 2, the heat ray portion 20 passing through the two spacing projections 30 is formed to be bent so as to pass between the gap retaining projections 30 , And both ends can extend in mutually opposite directions. More specifically, the heat ray portion 20 extending from the upper portion to the lower portion is bent in the opposite direction on the outer surface of the left first gap retaining projection 30, And is wound to be bent in the opposite direction. As a result, the heat ray portion 20 is wound around the portion corresponding to the outer half of the two gap retaining protrusions 30 so as to be wound on the outer surface of the nozzle portion 10 more firmly.

또한, 도 2에서와 같이 간격유지 돌기(30)는 열선부(20) 사이의 간격이 좁을 때에는 하나만 형성되어 열선부(20) 사이를 구획할 수도 있고, 간격이 넓을 때에는 가장 인접한 하나의 열선이 그 사이를 교차하여 감아지도록 두 개가 형성될 수도 있다. 본 도면에서는 노즐부(10)의 중앙부가 가장 많은 턴수로 감아져 있고 이동관(12)이 연결되어 있기 때문에, 하나의 간격유지 돌기(30)로만 구획되는 것으로 도시하였다. As shown in FIG. 2, when the space between the heat-conducting portions 20 is narrow, only one of the spacing-maintaining projections 30 may be formed so as to partition between the heat-conducting portions 20, Two pieces may be formed so as to be wound around each other. In the drawing, the center portion of the nozzle unit 10 is wound in the greatest number of turns, and since the moving tube 12 is connected to the nozzle unit 10, only the gap maintaining protrusion 30 is shown.

한편, 분배관(14)의 상부에는 복수개의 분사노즐 어셈블리(40)가 길이방향을 따라 구비될 수 있다. 본 도면에서는 분사노즐 어셈블리(40)가 구멍 형태로 형성된 것으로 도시하였으나, 이에 반드시 제한되는 것은 아니고 분배관(14)의 길이방향을 따라 긴 슬릿 형태로 형성될 수도 있다. On the other hand, a plurality of spray nozzle assemblies 40 may be provided along the longitudinal direction at an upper portion of the distribution pipe 14. Although the spray nozzle assembly 40 is illustrated as being formed in the shape of a hole in this figure, the spray nozzle assembly 40 is not necessarily limited to this, but may be formed as a long slit along the longitudinal direction of the distribution pipe 14.

도 3을 참조하면, 분사노즐 어셈블리(40)는 분사노즐 몸체(42); 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 감아지는 열선부(20); 상기 열선부(20)의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기(46); 및 상기 열선부(20)와 상기 노즐 온도측정기(46)의 사이에 개재되도록 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되는 스페이서(44)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the spray nozzle assembly 40 includes a spray nozzle body 42; A hot wire portion 20 wound around an outer surface of the injection nozzle body 42; A nozzle temperature measuring device 46 inserted into the outer surface of the jet nozzle body 42 to measure the temperature of the evaporation source so as to be positioned above the hot wire part 20; And a spacer 44 inserted into the outer surface of the injection nozzle body 42 so as to be interposed between the heat ray unit 20 and the nozzle temperature measuring unit 46.

분사노즐 몸체(42)은 일반적인 노즐과 같이 중공의 원통 형상을 가진다. 분사노즐 몸체(42)의 외면에는 상술한 열선부(20)가 감아진다. 즉, 열선부(20)는 분사노즐 몸체(42)의 외면을 일정 턴수만큼 감고 다시 노즐부(10)의 외면을 감는 것을 반복함으로써 노즐부(10) 전체를 감게 된다. The injection nozzle body 42 has a hollow cylindrical shape like a general nozzle. The above-described hot wire portion 20 is wound around the outer surface of the jet nozzle body 42. That is, the hot wire portion 20 winds the entire nozzle portion 10 by repeating winding the outer surface of the nozzle portion 10 by winding the outer surface of the spray nozzle body 42 by a predetermined number of turns.

한편, 노즐 온도측정기(46, T/C: Temperature Controller)는 증발원의 온도를 정확하게 측정하여 노즐부(10)가 소정의 온도로 가열될 수 있도록 제어하는 역할을 한다. 일반적으로 온도측정기로는 비례식 온도측정기, 온·오프식 온도측정기 등이 사용될 수 있다. 본 실시예에서 노즐 온도측정기(46)는 링 형상으로 형성되어 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되도록 결합된다. 이와 같이 노즐 온도측정기(46)가 분사노즐 몸체(42)의 외면에 결합되면 노즐부(10)의 가열 과정에서 열팽창으로 인하여 유동되는 것이 방지될 수 있고, 조립성이 향상될 수 있다. 또한, 노즐 온도측정기(46)의 일측에는 온도측정 와이어(미도시)가 구비될 수 있다.On the other hand, the nozzle temperature meter 46 (T / C: Temperature Controller) accurately measures the temperature of the evaporation source and controls the nozzle unit 10 to be heated to a predetermined temperature. Generally, as a temperature measuring device, proportional type temperature measuring device, on-off type temperature measuring device, etc. can be used. In this embodiment, the nozzle temperature meter 46 is formed in a ring shape and is coupled to be inserted into the outer surface of the injection nozzle body 42. When the nozzle temperature measuring device 46 is coupled to the outer surface of the injection nozzle body 42, the nozzle temperature measuring device 46 can be prevented from flowing due to thermal expansion during the heating process of the nozzle unit 10, and the assembling property can be improved. A temperature measuring wire (not shown) may be provided on one side of the nozzle temperature measuring device 46.

다음으로, 스페이서(44)는 열선부(20)와 노즐 온도측정기(46)의 사이에 개재될 수 있다. 스페이서(44)는 열선부(20)에 발생되는 열이 노즐 온도측정기(46)로 전달되는 것을 차단하는 역할을 한다. 이를 위해 스페이서(44)는 단열 소재로 만들어질 수 있다. Next, the spacer 44 may be interposed between the heat ray portion 20 and the nozzle temperature measuring device 46. The spacer 44 serves to prevent the heat generated in the heat ray portion 20 from being transmitted to the nozzle temperature measuring device 46. To this end, the spacer 44 may be made of a heat insulating material.

또한, 노즐 온도측정기(46)의 상부에는 노즐 캡(48)이 결합된다. 노즐 캡(48)은 증발입자가 증발될 수 있도록 중공 형상을 가지며, 분사노즐 몸체(42)의 상부에 결합되어 마감재 역할을 한다. The nozzle cap 48 is coupled to the upper portion of the nozzle temperature measuring device 46. The nozzle cap 48 has a hollow shape so that the evaporation particles can be evaporated, and is joined to the upper portion of the injection nozzle body 42 to serve as a finishing material.

한편, 도 4를 참조하면, 이동관(12) 및 분배관(14)의 외면에는 온도 측정을 위한 관 온도측정 어셈블리(50)가 결합될 수 있다. 관 온도측정 어셈블리(50)는 분사노즐이 아닌 이동관(12) 및 분배관(14)에 직접 결합되어 관의 온도를 측정하고 소정의 온도로 가열된 상태를 유지할 수 있도록 조절하는 역할을 한다. 4, a tube temperature measurement assembly 50 for temperature measurement may be coupled to the outer surface of the moving tube 12 and the distribution tube 14. The tube temperature measurement assembly 50 is directly connected to the moving tube 12 and the distribution tube 14, not the injection nozzle, to measure the temperature of the tube and adjust the temperature to maintain the heated state at a predetermined temperature.

관 온도측정 어셈블리(50)는, 상기 이동관(12) 및 분배관(14)의 온도를 측정하는 관 온도측정기(54); 상기 관 온도측정기(54)의 선단 외측에 구비되는 와셔(55); 및 상기 와셔(55)를 관통하여 상기 이동관(12) 및 분배관(14)에 체결시키는 체결구(60)를 포함할 수 있다.The tube temperature measurement assembly 50 includes a tube temperature gauge 54 for measuring the temperature of the moving tube 12 and the distribution tube 14; A washer 55 provided outside the tip of the tube temperature measuring instrument 54; And a fastening hole 60 penetrating through the washer 55 and fastening to the moving pipe 12 and the distribution pipe 14.

또한, 이동관(12) 및 분배관(14)의 외면에는 상기 와셔(55)가 결합되는 결합돌기(52)가 돌출되어 형성된다. 결합돌기(52)에는 결합공(미도시)이 형성되어 있고, 관 온도측정기(54)는 도 4에서와 같이 와셔(55)의 체결공(56)과 결합돌기(52)의 결합공의 중심이 일치한 상태에서 체결구(60)의 체결에 의해 결합될 수 있다. 도면부호 58은 관 온도측정기(54)의 단부에서 연장되는 온도측정 와이어이다.An engaging protrusion 52 is formed on the outer surface of the moving pipe 12 and the distributing pipe 14 so as to engage with the washer 55. 4, the tube temperature measuring instrument 54 is disposed at the center of the coupling hole of the coupling hole 56 of the washer 55 and the coupling projection 52, Can be engaged by fastening of the fastening tool (60). Reference numeral 58 denotes a temperature measuring wire extending from an end of the tube temperature measuring instrument 54.

이상에서 살펴본 바와 같이, 노즐 온도측정기(46)는 링 형상으로 형성되어 분사노즐 몸체(42)에 스페이서(44), 노즐 캡(48)과 함께 고정되게 결합된다. 또한, 관 온도측정 어셈블리(50)는 체결구(60)의 간단한 조립에 의해 이동관(12) 및 분배관(14)에 고정되게 결합된다. 따라서, 전체적으로 온도측정기를 노즐부(10)에 결합시키는 조립공정이 간소화되고 작업자에 관계없이 온도측정기가 노즐부(10)에 안정적으로 고정되게 결합될 수 있다.As described above, the nozzle temperature measuring device 46 is formed in a ring shape and is fixedly coupled to the spray nozzle body 42 together with the spacer 44 and the nozzle cap 48. The tube temperature measurement assembly 50 is also fixedly coupled to the moving tube 12 and the distribution tube 14 by simple assembly of the fastener 60. Therefore, the assembling process of connecting the temperature measuring device to the nozzle unit 10 as a whole is simplified, and the temperature measuring device can be stably fixed to the nozzle unit 10 irrespective of the operator.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood that the invention may be modified and varied without departing from the scope of the invention.

10 : 노즐부 12 : 이동관
14 : 분배관 20 : 열선부
22 : 제1 열선 24 : 제2 열선
26 : 제2 열선 30 : 간격유지 돌기
40 : 분사노즐 어셈블리 42 : 분사노즐 몸체
44 : 스페이서 46 : 노즐 온도측정기
48 : 노즐 캡 50 : 관 온도측정 어셈블리
52 : 결합돌기 54 : 관 온도측정기
55 : 와셔 56 : 체결공
58 : 온도측정 와이어 60 : 체결구10: nozzle unit 12: moving tube
14: Distribution pipe 20:
22: first heat line 24: second heat line
26: second heating line 30: gap maintaining projection
40: injection nozzle assembly 42: injection nozzle body
44: spacer 46: nozzle temperature measuring instrument
48: nozzle cap 50: tube temperature measurement assembly
52: engaging projection 54: tube temperature measuring instrument
55: washer 56: fastening hole
58: Temperature measurement wire 60: Fastener

Claims (11)

기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서,
상기 증발물질이 유입되는 노즐부; 및
상기 노즐부의 외면에 감아지는 열선부를 포함하고,
상기 노즐부는,
도가니에서 증발되는 증발물질이 유입되는 이동관;
상기 이동관의 상단에서 횡방향으로 결합되어 상기 이동관과 연통되는 분배관; 및
상기 분배관의 길이방향을 따라 복수개가 이격되어 형성되는 분사노즐 어셈블리를 포함하고,
상기 분사노즐 어셈블리는,
상기 분배관의 외면에 돌출되어 구비되는 분사노즐 몸체;
상기 열선부의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기; 및
상기 열선부와 상기 노즐 온도측정기의 사이에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되는 스페이서를 포함하며,
상기 노즐부의 외면에는 간격유지 돌기가 돌출되게 형성되는데, 상기 간격유지 돌기는 상기 열선부의 사이에 두 개가 배치되어 상기 열선부 사이의 간격이 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 증발원.An evaporation source for supplying evaporation material for evaporation to a substrate,
A nozzle unit into which the evaporation material flows; And
And a heat ray portion wound around the outer surface of the nozzle portion,
In the nozzle unit,
A moving pipe through which evaporated material evaporates in the crucible;
A distribution pipe connected to the moving pipe in the lateral direction at the upper end of the moving pipe; And
And a plurality of spray nozzle assemblies spaced apart from one another along a longitudinal direction of the distribution pipe,
Wherein the injection nozzle assembly comprises:
A spray nozzle body protruding from an outer surface of the distribution pipe;
A nozzle temperature measuring unit inserted into an outer surface of the spray nozzle body to measure a temperature of the evaporation source so as to be positioned above the hot ray unit; And
And a spacer inserted into the outer surface of the injection nozzle body so as to be positioned between the hot wire part and the nozzle temperature measuring instrument,
Wherein an interval maintaining protrusion is formed on an outer surface of the nozzle unit so that two spacing protrusions are disposed between the heat conduction units to maintain a gap between the heat conduction units. 제 1 항에 있어서,
상기 노즐 온도측정기는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 1,
Wherein the nozzle temperature measuring device is formed in a ring shape. 제 1 항에 있어서,
상기 노즐 온도측정기의 상부에는 노즐 캡이 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 1,
And a nozzle cap is coupled to an upper portion of the nozzle temperature measuring device. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 이동관 및 분배관의 외면에는 온도 측정을 위한 관 온도측정 어셈블리가 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원. The method according to claim 1,
Wherein a tube temperature measurement assembly for temperature measurement is coupled to the outer surface of the moving tube and the distribution tube. 제 6 항에 있어서, 상기 관 온도측정 어셈블리는,
상기 이동관 및 분배관의 온도를 측정하는 관 온도측정기;
상기 관 온도측정기의 선단 외측에 구비되는 와셔; 및
상기 와셔를 관통하여 상기 이동관 및 분배관에 체결시키는 체결구를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.7. The assembly of claim 6, wherein the tube temperature measurement assembly comprises:
A tube temperature meter for measuring the temperature of the moving tube and the distribution tube;
A washer provided outside the tip of the tube temperature measuring instrument; And
And a fastener which passes through the washer and is fastened to the moving pipe and the distribution pipe. 제 7 항에 있어서,
상기 이동관 및 분배관의 외면에는 상기 와셔가 결합되는 결합돌기가 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는 증발원. 8. The method of claim 7,
And an engaging protrusion coupled to the washer is formed on the outer surface of the moving pipe and the distributing pipe. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 열선부는 상기 노즐부의 외면에 복수의 턴수로 감아지는 것을 특징으로 하는 증발원. The method according to claim 1,
And the hot wire portion is wound on the outer surface of the nozzle portion in a plurality of turns. 제 10 항에 있어서,
상기 열선부는 상기 노즐부의 양측부에서 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아지는 것을 특징으로 하는 증발원.11. The method of claim 10,
Wherein the hot wire portion is wound in a relatively large number of turns toward the central portion from both side portions of the nozzle portion.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180116593A (en) 2017-04-17 2018-10-25 주식회사 선익시스템 Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR20180130130A (en) 2017-05-29 2018-12-07 주식회사 선익시스템 Distribution-tube with induction guide and deposition equipment with it
KR20190023127A (en) 2017-08-28 2019-03-08 주식회사 선익시스템 Source injection apparatus and thin film deposition equipment having the same
KR20190044947A (en) 2017-10-23 2019-05-02 주식회사 선익시스템 Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR20190054450A (en) 2017-11-13 2019-05-22 주식회사 선익시스템 Distribution-tube and deposition equipment with the same
CN110691861A (en) * 2018-05-04 2020-01-14 应用材料公司 Evaporation source for depositing evaporation material, vacuum deposition system and method for depositing evaporation material

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980054110U (en) * 1996-12-31 1998-10-07 박병재 Exhaust pipe fixing structure
KR200198327Y1 (en) * 2000-05-01 2000-10-02 한종필 Electric heater
KR101057552B1 (en) * 2011-02-23 2011-08-17 주식회사 선익시스템 Apparatus for supplying source gas in deposition device
KR20120124889A (en) 2011-05-06 2012-11-14 주식회사 에스에프에이 Thin layers deposition apparatus and linear type evaporator using thereof
KR20130055430A (en) * 2011-11-18 2013-05-28 주식회사 원익아이피에스 Evaporating source and vacuum depositing equipment including the evaporating source

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980054110U (en) * 1996-12-31 1998-10-07 박병재 Exhaust pipe fixing structure
KR200198327Y1 (en) * 2000-05-01 2000-10-02 한종필 Electric heater
KR101057552B1 (en) * 2011-02-23 2011-08-17 주식회사 선익시스템 Apparatus for supplying source gas in deposition device
KR20120124889A (en) 2011-05-06 2012-11-14 주식회사 에스에프에이 Thin layers deposition apparatus and linear type evaporator using thereof
KR20130055430A (en) * 2011-11-18 2013-05-28 주식회사 원익아이피에스 Evaporating source and vacuum depositing equipment including the evaporating source

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180116593A (en) 2017-04-17 2018-10-25 주식회사 선익시스템 Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR20180130130A (en) 2017-05-29 2018-12-07 주식회사 선익시스템 Distribution-tube with induction guide and deposition equipment with it
KR20190023127A (en) 2017-08-28 2019-03-08 주식회사 선익시스템 Source injection apparatus and thin film deposition equipment having the same
KR20190044947A (en) 2017-10-23 2019-05-02 주식회사 선익시스템 Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR20190054450A (en) 2017-11-13 2019-05-22 주식회사 선익시스템 Distribution-tube and deposition equipment with the same
CN110691861A (en) * 2018-05-04 2020-01-14 应用材料公司 Evaporation source for depositing evaporation material, vacuum deposition system and method for depositing evaporation material

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