KR20190044947A - Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment - Google Patents

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Abstract

According to the present invention, a nozzle heating device for an evaporation source of deposition equipment comprises: nozzle heaters connected to a plurality of nozzles arranged in a row and generating heat; both-side external supporters erected in parallel with each other on both sides of the nozzles and supporting an external side of the nozzle heaters; and an internal supporter installed inside the external supporters and supporting the nozzle heaters. Accordingly, the entirety of the nozzles is heated at uniform temperature to increase performance of the deposition equipment.

Description

증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치{Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment}[0001] The present invention relates to a nozzle heating apparatus for evaporation source nozzles,

본 발명은 OLED 등을 제조하는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 다수의 노즐을 가열하는 증발원 노즐의 히팅 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition apparatus for manufacturing an OLED and the like, and more particularly to a heating apparatus for an evaporation source nozzle for heating a plurality of nozzles.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 증착 공정은 유기물질을 증발시키고, 이렇게 증발된 유기물질을 기판에 증착시키는 공정이다.In general, an organic light emitting diode (OLED) deposition process is a process of evaporating an organic material and depositing the evaporated organic material on a substrate.

이러한 증착 공정은 글라스 등의 기판을 증착챔버 내에 배치하고, 유기물질이 담긴 증발원(또는 도가니)을 기판에 대향하도록 배치한 후에, 증발원을 가열하여 그 내부에 저장된 유기물질을 증발시켜 기판에 증착시킴으로써 기판 상에 유기 박막을 형성하게 된다.In such a deposition process, a substrate such as a glass substrate is placed in a deposition chamber, an evaporation source (or crucible) containing an organic substance is disposed so as to face the substrate, and then an evaporation source is heated to evaporate organic substances stored therein Thereby forming an organic thin film on the substrate.

최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라, 기판에 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형 증발원이 사용되고 있으며, 이러한 선형 증발원은 대면적의 기판에 유기물질이 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 노즐이 구성되어 있다.In recent years, linear evaporation sources have been used instead of an increasing source to uniformly form a large-area thin film on a substrate as the substrate is made larger. Such a linear evaporation source has a plurality of nozzles .

이와 같이 선형 증발원은 다수의 노즐이 일렬로 배열되어 구성되는데, 증발 물질이 원활하게 분사될 수 있도록 노즐의 외부에도 가열 장치를 설치하여 노즐을 가열하고 있다.As described above, the linear evaporation source includes a plurality of nozzles arranged in a line, and a heating device is installed outside the nozzles to heat the nozzles so that the evaporation material can be ejected smoothly.

그러나 종래 기술의 노즐을 가열하는 히터 장치는 도가니 전체를 가열하면서 노즐도 동시에 가열하도록 구성되기 때문에 노즐들의 분사 특성에 맞게 온도를 조절하는 작업이 쉽지 않을 뿐만 아니라 노즐의 상부, 하부 등 노즐 전체의 온도 균일성을 확보하기도 어려운 문제점이 있다.However, since the heater device for heating the nozzles of the prior art is configured to simultaneously heat the nozzles while heating the entire crucible, it is not easy to adjust the temperature according to the jetting characteristics of the nozzles, and the temperature of the entire nozzle There is a problem that it is difficult to ensure uniformity.

한국 등록특허 10-1578655호Korean Patent No. 10-1578655 한국 등록특허 10-1671757호Korean Patent No. 10-1671757

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 각 노즐에 히팅 라인을 병렬 연결 방식으로 구성함으로써 전체 노즐들을 균일한 온도로 가열하여 증착 장비의 성능 향상에 기여할 수 있는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치를 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an evaporation source nozzle of a deposition apparatus capable of heating all the nozzles to a uniform temperature and contributing to the performance improvement of a deposition apparatus, A heating device is provided.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치는, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐에 병렬로 각각 연결되어 열을 발생시키는 노즐 히터와; 상기 복수 개의 노즐 양측에 나란히 세워져서 상기 노즐 히터의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체와; 상기 외부 지지체의 안쪽에 설치되어 상기 노즐 히터를 지지하는 내부 지지체를 포함한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a heating apparatus for an evaporation source nozzle of a vapor deposition apparatus, comprising: a nozzle heater connected in parallel to a plurality of nozzles arranged in a row to generate heat; A pair of outer supports disposed on both sides of the plurality of nozzles to support the outer side of the nozzle heater; And an inner support disposed inside the outer support to support the nozzle heater.

상기 노즐 히터는, 상기 양측 외부 지지체의 안쪽에 각각 설치되는 양극 라인 및 음극 라인과, 상기 복수 개의 노즐 둘레에 각각 코일 방식으로 배치되고 양단부가 상기 양극 라인과 음극 라인에 각각 연결되는 히팅 라인을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The nozzle heater includes a positive electrode line and a negative electrode line respectively provided inside the outer side support members and a heating line disposed around the plurality of nozzles in a coil manner and having both ends connected to the positive and negative electrode lines .

상기 히팅 라인은 양단부가 상기 양극 라인과 음극 라인에 접속 및 분리 가능한 커넥터에 의해 전기적으로 연결할 수 있도록 구성될 수 있다.The heating line may be configured such that both ends of the heating line can be electrically connected to each other by a connector connectable and detachable to the anode line and the cathode line.

상기 양측 외부 지지체는 그 안쪽에 상기 양극 라인과 음극 라인을 지지하는 라인 보호대가 각각 설치되는 것이 바람직하다.And a line protector supporting the anode line and the cathode line may be installed on the inner side of the outer side support.

상기 내부 지지체는, 상기 각 노즐의 둘레에서 노즐 길이 방향으로 돌출되는 돌출 리브와, 상기 돌출 리브에 결합되어 상기 노즐 히터를 지지하는 히터 지지대와, 상기 히터 지지대와 체결 수단으로 조립되어 상기 히터 지지대와의 사이에 노즐 히터를 고정하는 히터 고정대를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The inner support includes a protruding rib protruding in the nozzle longitudinal direction around each nozzle, a heater support which is coupled to the protruding rib and supports the nozzle heater, and a heater support assembly which is assembled with the heater support and the fastening means, And a heater fixture for fixing the nozzle heater between the nozzle fixtures.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The above and other objects and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: In addition to the principal task solutions as described above, various task solutions according to the present invention will be further illustrated and described.

본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치는 일렬로 배열된 각각의 노즐에 병렬 연결 방식의 히팅 라인이 구성되기 때문에 각 노즐의 하단에서 상단까지 적정 온도로 가열하는 동시에 전체 노즐의 온도 균일성을 확보할 수 있고, 이에 따라 증발 물질의 배출이 보다 원활하게 이루어지게 되어 증착 장비의 성능 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.Since the heating apparatus of the evaporation source nozzle of the evaporation source apparatus according to the present invention comprises the heating lines of the parallel connection type in each of the nozzles arranged in a row, the temperature of each nozzle is heated from the lower end to the upper end to an appropriate temperature, Therefore, it is possible to smoothly discharge the evaporation material, thereby contributing to the improvement of the performance of the deposition equipment.

또한, 본 발명은 노즐 히터의 외부와 내부에 외부 지지체와 내부 지지체가 구성되기 때문에 노즐 히터를 보다 안정적으로 지지하면서 단열 효과를 높일 수 있게 되고, 이에 따라 노즐 히터의 성능 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the outer support and the inner support are formed on the outside and the inside of the nozzle heater, the present invention can improve the heat insulating effect while supporting the nozzle heater more stably, thereby contributing to the improvement of the performance of the nozzle heater have.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 주요부 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 도시된 주요부 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 도시된 주요부 상세도이다.1 is an overall perspective view of an evaporation source including a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged perspective view of a main portion of an evaporation source including a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view of an evaporation source including a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of a main part of a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a detailed view of a main part of a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원이 도시된 도면으로서, 도 1은 전체 사시도, 도 2는 주요부 확대 사시도, 도 3은 측면 구성도, 도 4는 히팅 장치의 주요부 평면도, 도 5는 히팅 장치의 주요부 상세도이다.1 to 5 are views showing an evaporation source including a nozzle heating apparatus according to an embodiment of the present invention. Fig. 1 is an overall perspective view, Fig. 2 is an enlarged perspective view of a main part, Fig. 3 is a side view, Fig. 5 is a detailed view of the main part of the heating device. Fig.

이들 도면을 참조하면, 증발원(10)은 증발물질이 저장된 상태에서 가열하는 도가니(20), 좌우로 길게 배치되어 도가니(20)에서 증발된 물질을 다수의 노즐(50)로 균일하게 제공하는 분배관(30), 일렬로 배열되어 증발물질이 분사되는 다수의 노즐(50)로 이루어진다.Referring to these drawings, an evaporation source 10 includes a crucible 20 for heating in a state where an evaporation material is stored, an evaporator 20 for evaporating a substance uniformly provided in the crucible 20 from a plurality of nozzles 50, (30), and a plurality of nozzles (50) arranged in a line to eject the evaporation material.

도 1에 도시된 증발원(10)은 선형 증발원 구조를 가진 것으로, 2개의 도가니(20)가 좌우에 구성되고, 도가니(20) 상측에 수평 방향으로 분배관(30)이 연결되며, 분배관(30) 상측에 다수의 노즐(50)들이 일렬로 배열된 구조로 이루어진다. 이러한 증발원(10) 구조는 하나의 예시이며, 실시 조건에 따라 공지의 증발원을 이용하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 물론이다.The evaporation source 10 shown in Fig. 1 has a linear evaporation source structure. Two crucibles 20 are formed on the right and left sides. A distribution pipe 30 is connected to the upper side of the crucible 20 in a horizontal direction. A plurality of nozzles 50 are arranged in a line on the upper side of the nozzles 30. The structure of the evaporation source 10 is merely an example, and it is needless to say that the evaporation source 10 may be modified in various ways using a known evaporation source according to the operating conditions.

증발원(10)의 외측 둘레에는 증발물질을 원활하게 증발시켜 분사할 수 있도록 히팅 장치들이 설치된다. 즉, 도가니(20)를 가열하는 도가니 히팅 장치(25), 분배관(30)을 가열하는 분배관 히팅 장치(40), 노즐(50)을 가열하는 노즐 히팅 장치(60)가 설치된다.A heating device is installed around the outer circumference of the evaporation source 10 so that the evaporation material can be evaporated and sprayed smoothly. That is, there are provided a crucible heating device 25 for heating the crucible 20, a distribution pipe heating device 40 for heating the distribution pipe 30, and a nozzle heating device 60 for heating the nozzle 50.

도가니 히팅 장치(25)는 공지의 도가니를 가열하는 히팅 장치를 이용하여 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하고, 이하에서는 분배관 히팅 장치(40) 및 노즐 히팅 장치(60)에 대하여 자세히 설명한다.Since the crucible heating device 25 can be constructed using a heating device for heating a known crucible, a detailed description thereof will be omitted. In the following, the distribution pipe heating device 40 and the nozzle heating device 60 will be described in detail.

먼저, 분배관 히팅 장치(40)에 대하여 설명한다.First, the distribution pipe heating apparatus 40 will be described.

분배관 히팅 장치(40)는 도 3에서와 같이 측면에서 보았을 때 분배관(30)의 외측 둘레를 따라 호형상 구조로 배치되는 분배관 히터(42)와, 이 분배관 히터(42)를 분배관(30)으로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하는 히터 지지수단(45)으로 이루어진다.The distribution pipe heating apparatus 40 includes a distribution pipe heater 42 disposed in a arc shape along the outer periphery of the distribution pipe 30 as viewed from the side as shown in Fig. 3, And heater supporting means 45 for supporting the pipe 30 in a state of being spaced apart from the pipe 30 by a predetermined distance.

분배관 히터(42)는 전기 열선을 포함한 구성으로 이루어질 수 있으며, 이 전기 열선이 분배관(30)의 길이 방향으로 지그재그 형상 또는 U자형 구조로 연속적으로 연결되게 구성될 수 있다. 도면에 예시하지는 않았지만, 전기 열선에 전기를 인가하는 전기 인가장치 및 히터를 제어하는 수단이 추가로 구성되는 것이 바람직하고, 이러한 히팅 장치의 추가 구성 요소는 공지의 히터와 동일 또는 유사하게 구성할 수 있다.The distribution pipe heater 42 may be configured to include an electric hot wire, and the electric hot wire may be continuously connected in a zigzag or U-shaped structure in the length direction of the distribution pipe 30. Although not illustrated in the drawings, it is preferable to further configure an electric applicator for applying electricity to the electric hot wire and a means for controlling the heater, and the additional components of such a heating device may be the same or similar to a known heater have.

히터 지지수단(45)은, 분배관(30)의 둘레 방향으로 이어지는 분배관 히터(42)의 전기 열선을 지지하기 위해 분배관(30)의 길이 방향으로 길게 설치되고, 분배관 히터(42)를 안정적으로 지지하기 위해 분배관(30)의 원주 방향으로 복수개가 구성되는 것이 바람직하다. 도 3을 참조하면, 히터 지지수단(45)은 좌측에 배치되는 분배관 히터(42)를 지지하기 위해 3열, 우측에 배치되는 분배관 히터(42)를 지지하기 위해 4열 구조로 설치된 구성을 보여준다.The heater holding means 45 is provided in the longitudinal direction of the distribution pipe 30 to support the electric hot wire of the distribution pipe heater 42 extending in the circumferential direction of the distribution pipe 30, It is preferable that a plurality of pipes are formed in the circumferential direction of the distribution pipe 30 in order to stably support them. 3, the heater supporting means 45 includes three columns for supporting the distribution pipe heater 42 disposed on the left side, and a four-column structure for supporting the distribution pipe heater 42 disposed on the right side. Lt; / RTI >

이러한 히터 지지수단(45)은, 분배관(30)에서 돌출되는 마운팅 리브(32)와, 이 마운팅 리브(32)에 고정되어 상기 분배관 히터(42)를 지지하는 히터 지지체(46)와, 히터 지지체(46)와 체결 수단(49)으로 조립되어 상기 히터 지지체(46)와의 사이에 분배관 히터(42)를 고정하는 히터 고정체(48)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The heater support means 45 includes a mounting rib 32 protruding from the distribution pipe 30, a heater support 46 fixed to the mounting rib 32 to support the distribution pipe heater 42, And a heater fixing body 48 assembled with the heater supporting body 46 and the fastening means 49 and fixing the distribution pipe heater 42 between the heater supporting body 46 and the heater supporting body 46.

마운팅 리브(32)는 분배관(30)의 외면에서 반경 방향으로 돌출되는 구조로 형성되고, 분배관(30)의 길이를 따라 길게 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the mounting rib 32 is formed to protrude in the radial direction from the outer surface of the distribution pipe 30, and is formed to be long along the length of the distribution pipe 30.

히터 지지체(46)는 긴 사각 플레이트 구조로 형성되어 뒷면에 상기 마운팅 리브(32)에 끼워져 고정될 수 있도록 리브 삽입홈(46a)을 갖도록 구성할 수 있다. 히터 지지체(46)를 마운팅 리브(32)에 고정하는 방법은 억지 끼움, 나사 고정, 부착 고정 등 다양한 방법을 이용할 수 있다.The heater support 46 may be formed to have a long rectangular plate structure and have a rib insertion groove 46a so that the heater support 46 can be fitted and fixed to the mounting rib 32 on the rear side. The fixing method of fixing the heater support 46 to the mounting rib 32 may be various methods such as interference fit, screw fixing, fixing, and the like.

그리고 히터 지지체(46)의 상면에 분배관 히터(42)가 지나가는 면은 히터 설치홈(46b)이 형성될 수 있다.A heater installation groove 46b may be formed on the surface of the heater support 46 where the distribution pipe heater 42 passes.

히터 고정체(48)도 긴 사각 플레이트 구조로 형성되고 히터 지지체(46)와 마주하는 면에 분배관 히터(42)가 통과하는 히터 설치홈(48b)이 형성될 수 있다.The heater fixing body 48 may also be formed in a long rectangular plate structure and a heater mounting groove 48b through which the distribution pipe heater 42 passes may be formed on a surface facing the heater supporting body 46.

히터 고정체(48)를 히터 지지체(46)에 고정하는 체결 수단(49)은 볼트나 나사 등을 이용하여 구성할 수 있다.The fastening means 49 for fixing the heater fixture 48 to the heater support 46 can be formed using bolts, screws, or the like.

이러한 히터 지지체(46)와 히터 고정체(48)는 절연성을 가지면서 열전도도가 있는 AlN 등의 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.The heater support body 46 and the heater fixing body 48 are preferably made of a ceramic material such as AlN having thermal conductivity and insulating properties.

다음, 노즐 히팅 장치(60)에 대하여 설명한다.Next, the nozzle heating apparatus 60 will be described.

노즐 히팅 장치(60)는, 분배관(30) 상부에 일렬로 배열된 복수 개의 노즐(50)에 병렬로 각각 연결되어 열을 발생시키는 노즐 히터(61)와, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐(50) 양측에 나란히 세워져서 노즐 히터(61)의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체(65)와, 외부 지지체(65)의 안쪽에 설치되어 노즐 히터(61)를 지지하는 내부 지지체(67)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The nozzle heating apparatus 60 includes a nozzle heater 61 connected in parallel to a plurality of nozzles 50 arranged in a row on a distribution pipe 30 to generate heat and a plurality of nozzles Side inner and outer supporting bodies 65 and 65 for supporting the outer side of the nozzle heater 61 and the inner supporting body 67 for supporting the nozzle heater 61 inside the outer supporting body 65 And the like.

노즐 히터(61)는, 양측 외부 지지체(65)의 안쪽에 각각 설치되는 양극 라인(63) 및 음극 라인(62)과, 복수 개의 노즐(50) 둘레에 각각 코일 방식으로 배치되고 양단부가 양극 라인(63)과 음극 라인(62)에 각각 연결되는 히팅 라인(64)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The nozzle heater 61 is composed of an anode line 63 and a cathode line 62 which are respectively installed inside the outer supports 65 on both sides and a plurality of nozzles 50 arranged in a coil manner around the plurality of nozzles 50, And a heating line 64 connected to the cathode line 63 and the cathode line 62, respectively.

여기서, 히팅 라인(64)는 코일형 전기 열선 구조로 이루어지고, 그 양단부는 양극 라인(63)과 음극 라인(62)에 접속 및 분리 가능한 커넥터(61C))에 의해 전기적으로 연결할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.The heating line 64 has a coiled electric heating wire structure and both ends of the heating line 64 are electrically connected to each other by a connector 61C that can be connected to and disconnected from the anode line 63 and the cathode line 62 .

양측 외부 지지체(65)는 판형 구조로 이루어져 노즐(50) 양쪽에 수직으로 세워지고, 그 안쪽면에 각 노즐 히터(61)가 지지됨과 아울러 노즐 히터(61)가 바깥쪽으로 노출되지 않도록 함으로써 외부로 전달되는 열을 차단할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.Each of the outer supports 65 has a plate-like structure and is vertically erected on both sides of the nozzle 50. Each nozzle heater 61 is supported on the inner surface thereof and the nozzle heater 61 is not exposed to the outside, It is preferable to be constructed so as to be able to block heat transmitted.

또한, 양측 외부 지지체(65) 사이에는 견고한 지지 상태가 유지되도록 노즐(50)과 노즐(50) 사이 공간으로 연결되는 연결체(65a)가 구성될 수 있다. A connection body 65a connected to the space between the nozzle 50 and the nozzle 50 may be formed between the outer side support 65 and the nozzle 50 so as to maintain a solid support state.

또한, 양측 외부 지지체(65)는 그 안쪽면에 노즐 히터(61)의 양극 라인(63)과 음극 라인(62)을 지지 또는 매립하는 라인 보호대(66)가 각각 설치되는 것이 바람직하다. 라인 보호대(66)는 도 3을 참조하면, 히팅 라인(64)이 코일형 구조로 형성되므로 연결의 용이성을 위하여 음극 라인(62)을 지지하는 쪽은 상측에 양극 라인(63)을 지지하는 쪽은 하측에 배치되게 구성될 수 있다. 물론, 반대로도 가능하며 라인 보호대(66)의 설치 위치는 실시 조건에 따라 적절하게 선택하여 구성할 수 있음은 물론이다.It is preferable that a line protector 66 for supporting or embedding the anode line 63 and the cathode line 62 of the nozzle heater 61 is provided on the inner surface of each of the outer supports 65 on both sides. 3, since the heating line 64 is formed in a coil-like structure, the line protector 66 supports the cathode line 62 for ease of connection, and the line protector 66 supports the anode line 63 on the upper side. May be arranged on the lower side. Needless to say, the line protector 66 can be reversely installed, and the installation position of the line protector 66 can be appropriately selected according to the operating conditions.

내부 지지체(67)는, 도 5를 참조하면, 각 노즐(50)의 둘레에서 노즐(50) 길이 방향으로 돌출되는 돌출 리브(52)와, 이 돌출 리브(52)에 결합되어 노즐 히터(61)의 히팅 라인(64)을 지지하는 히터 지지대(68)와, 이 히터 지지대(68)와 체결 수단으로 조립되어 히터 지지대(68)와의 사이에 노즐 히터(61)의 히팅 라인(64)을 고정하는 히터 고정대(69)를 포함하여 구성된다.5, the inner support 67 includes protruding ribs 52 protruding in the longitudinal direction of the nozzle 50 around each nozzle 50 and a plurality of nozzle heaters 61 A heating support 64 for supporting the heating line 64 of the nozzle heater 61 between the heater support 68 and the heater support 68 assembled by the fastening means; And a heater fixing table (69).

돌출 리브(52)는 반드시 구성되어야 하는 구성 요소는 아니나, 노즐(50)의 외측면에 돌출 리브(52)를 형성함으로써 내부 지지체(67)의 설치 구조를 보다 안정적으로 유지할 수 있게 된다.The projecting ribs 52 are not necessarily constituent elements, but the projecting ribs 52 are formed on the outer surface of the nozzle 50, so that the mounting structure of the inner supporting body 67 can be more stably maintained.

히터 지지대(68)에는 돌출 리브(52)가 삽입되는 홈이 형성되는 것이 바람직하고, 이 돌출 리브(52)에 억지 끼움, 나사 고정, 부착 고정 등의 방법으로 고정되는 것이 바람직하다.The heater support base 68 is preferably formed with a groove into which the protrusion ribs 52 are inserted and is preferably fixed to the protrusion ribs 52 by means of interference fit,

히터 지지대(68)와 히터 고정대(69)의 상호 마주하는 면에는 히팅 라인(64)이 통과하는 히터 설치홈이 형성되는 것이 바람직하고, 볼트와 나사 등의 체결 수단으로 상호 결합되게 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that a heater mounting groove through which the heating line 64 passes is formed on the mutually facing surfaces of the heater support base 68 and the heater fixing base 69 and it is preferable that they are mutually coupled by fastening means such as bolts and screws Do.

이와 같은 내부 지지체(67)의 구성은, 앞서 설명한 분배관 히팅 장치(40)의 히터 지지수단(45)의 구조와 동일 또는 유사하게 구성될 수 있다.The structure of the inner support 67 may be the same as or similar to the structure of the heater support means 45 of the distribution pipe heating apparatus 40 described above.

한편, 외부 지지체(65)와 내부 지지체(67)는 절연성을 가지면서 열전도도가 있는 AlN 등의 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that the outer support 65 and the inner support 67 are made of a ceramic material such as AlN having thermal conductivity and insulating property.

상기한 바와 같이 도가니 히팅 장치(25), 분배관 히팅 장치(40), 노즐(50) 히팅 장치(60)가 설치된 상태에서 증발원(10)의 외곽에는, 도 3을 참조하면, 각각의 히팅 장치에서 발생된 열을 냉각하기 위한 냉각 플레이트(70)가 구비되고, 이 냉각 플레이트(70)의 안쪽에는 상기 분배관 히터(42) 및 노즐 히터(61) 쪽에서 전달된 열을 분배관(30) 및 노즐(50) 쪽으로 반사시키는 리플렉터(80)가 설치될 수 있다.3, at the outer periphery of the evaporation source 10 in a state where the crucible heating device 25, the distribution pipe heating device 40 and the nozzle 50 heating device 60 are installed as described above, And the heat transmitted from the distribution pipe heater 42 and the nozzle heater 61 is supplied to the inside of the cooling plate 70 through the distribution pipe 30 and the cooling pipe 70. [ And a reflector 80 for reflecting the light toward the nozzle 50 may be provided.

냉각 플레이트(70) 및 리플렉터(80)는 공지의 구조를 이용하여 용이하게 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.The cooling plate 70 and the reflector 80 can be easily constructed using a known structure, so that a detailed description thereof will be omitted.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be implemented independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

10 : 증발원 20 : 도가니
25 : 도가니 히팅 장치 30 : 분배관
32 : 마운팅 리브 40 : 분배관 히팅 장치
42 : 분배관 히터 45 : 히터 지지수단
46 : 히터 지지체 48 : 히터 고정체
49 : 체결 수단 50 : 노즐
60 : 노즐 히팅 장치 61 : 노즐 히터
61c : 커넥터 62 : 음극 라인
63 : 양극 라인 64 : 히팅 라인
65 : 외부 지지체 66 : 라인 보호대
67 : 내부 지지체 68 : 히터 지지대
69 : 히터 고정대 70 : 냉각 플레이트
80 : 리플렉터10: evaporation source 20: crucible
25: crucible heating device 30: distribution pipe
32: Mounting rib 40: Distribution pipe heating device
42: Distribution pipe heater 45: Heater holding means
46: heater support body 48: heater fixing body
49: fastening means 50: nozzle
60: Nozzle heating device 61: Nozzle heater
61c: connector 62: cathode line
63: anode line 64: heating line
65: outer support 66: line guard
67: inner support 68: heater support
69: heater holder 70: cooling plate
80: Reflector

Claims (5)

일렬로 배열된 복수 개의 노즐에 병렬로 각각 연결되어 열을 발생시키는 노즐 히터와;
상기 복수 개의 노즐 양측에 나란히 세워져서 상기 노즐 히터의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체와;
상기 외부 지지체의 안쪽에 설치되어 상기 노즐 히터를 지지하는 내부 지지체를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.A nozzle heater connected in parallel to the plurality of nozzles arranged in a row to generate heat;
A pair of outer supports disposed on both sides of the plurality of nozzles to support the outer side of the nozzle heater;
And an inner support disposed inside the outer support to support the nozzle heater. 청구항 1에 있어서,
상기 노즐 히터는, 상기 양측 외부 지지체의 안쪽에 각각 설치되는 양극 라인 및 음극 라인과, 상기 복수 개의 노즐 둘레에 각각 코일 방식으로 배치되고 양단부가 상기 양극 라인과 음극 라인에 각각 연결되는 히팅 라인을 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the nozzle heater includes a positive electrode line and a negative electrode line respectively provided inside the outer side support members and a heating line disposed in a coil manner around the plurality of nozzles and having both ends connected to the positive and negative electrode lines Wherein the evaporation source nozzle of the vapor deposition apparatus is heated. 청구항 2에 있어서,
상기 히팅 라인은 양단부가 상기 양극 라인과 음극 라인에 접속 및 분리 가능한 커넥터에 의해 전기적으로 연결할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method of claim 2,
Wherein the heating line is electrically connected to the anode line and the cathode line by a connectable and detachable connector at both ends thereof. 청구항 2에 있어서,
상기 양측 외부 지지체는 그 안쪽에 상기 양극 라인과 음극 라인을 지지하는 라인 보호대가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method of claim 2,
Wherein a line protector supporting the anode line and the cathode line is installed on the inner side of the both outer side supports. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 내부 지지체는, 상기 각 노즐의 둘레에서 노즐 길이 방향으로 돌출되는 돌출 리브와, 상기 돌출 리브에 결합되어 상기 노즐 히터를 지지하는 히터 지지대와, 상기 히터 지지대와 체결 수단으로 조립되어 상기 히터 지지대와의 사이에 노즐 히터를 고정하는 히터 고정대를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
The inner support includes a protruding rib protruding in the nozzle longitudinal direction around each nozzle, a heater support which is coupled to the protruding rib and supports the nozzle heater, and a heater support assembly which is assembled with the heater support and the fastening means, And a heater fixing unit for fixing the nozzle heater between the evaporation source nozzle and the evaporation source nozzle.
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