KR20190054450A - Distribution-tube and deposition equipment with the same - Google Patents

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KR20190054450A
KR20190054450A KR1020170150701A KR20170150701A KR20190054450A KR 20190054450 A KR20190054450 A KR 20190054450A KR 1020170150701 A KR1020170150701 A KR 1020170150701A KR 20170150701 A KR20170150701 A KR 20170150701A KR 20190054450 A KR20190054450 A KR 20190054450A
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guide
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distribution
crucible
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KR1020170150701A
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송기민
김기현
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주식회사 선익시스템
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Abstract

According to the present invention, a distribution tube and a deposition equipment having the same comprise: a distribution container installed between a crucible and a nozzle, and distributing the evaporated material from the crucible to a plurality of nozzles; and an inducement guide provided on a ceiling of the distribution container for inducing the evaporation material toward the nozzle. The present invention minimizes a turbulent flow of the evaporation material which can occur in the distribution container, and the evaporation material can be sprayed more quickly and smoothly through the nozzle, thereby contributing to an improvement of the deposition performance.

Description

분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비{Distribution-tube and deposition equipment with the same}[0001] DISTRIBUTION TUBES AND DEPOSITION EQUIPMENT WITH THE SAME [0002]

본 발명은 OLED 등을 제조하는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 다수의 노즐에 증착 물질을 분배하는 증발원의 분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus for manufacturing an OLED and the like, and more particularly to a distribution tube of an evaporation source for distributing a deposition material to a plurality of nozzles and a deposition apparatus having the same.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 증착 공정은 유기물질을 증발시키고, 이렇게 증발된 유기물질을 기판에 증착시키는 공정이다.In general, an organic light emitting diode (OLED) deposition process is a process of evaporating an organic material and depositing the evaporated organic material on a substrate.

이러한 증착 공정은 글라스 등의 기판을 증착챔버 내에 배치하고, 유기물질이 담긴 증발원(또는 도가니)을 기판에 대향하도록 배치한 후에, 증발원을 가열하여 그 내부에 저장된 유기물질을 증발시켜 기판에 증착시킴으로써 기판 상에 유기 박막을 형성하게 된다.In such a deposition process, a substrate such as a glass substrate is placed in a deposition chamber, an evaporation source (or crucible) containing an organic substance is disposed so as to face the substrate, and then an evaporation source is heated to evaporate organic substances stored therein Thereby forming an organic thin film on the substrate.

최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라, 기판에 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점 증발원 대신 선형 증발원이 사용되고 있으며, 이러한 선형 증발원은 대면적의 기판에 유기물질이 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 노즐이 구성되어 있다.In recent years, a linear evaporation source has been used instead of a point evaporation source in order to uniformly form a large-area thin film on a substrate as the substrate is made larger. Such a linear evaporation source has a plurality of nozzles .

또한, 도가니와 노즐 사이에는 분배 튜브가 구성되어 증발 물질을 각각의 노즐에 균일하게 분배하여 제공할 수 있도록 구성된다.Further, a distribution tube is formed between the crucible and the nozzle so that the evaporation material can be uniformly distributed to the respective nozzles.

그러나, 종래 기술의 증발원은 원통체형의 분배 튜브에 다수의 노즐이 연결되어 증발 물질을 분사하도록 구성되기 때문에 증발 물질을 보다 균일하게 분사하여 박막을 증착하는데 한계가 있는 문제점이 있다.However, the conventional evaporation source has a problem in that a plurality of nozzles are connected to a cylindrical distribution tube to inject a vaporized material, which makes it difficult to deposit a thin film by spraying the vaporized material more uniformly.

대한민국 등록특허 10-1404985호Korean Patent No. 10-1404985 대한민국 등록특허 10-1578655호Korean Patent No. 10-1578655

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 분배 통체의 천장면에 증발 물질을 노즐 쪽으로 유도하는 가이드를 설치함으로써 증발 물질을 보다 신속하게 노즐을 통해서 분사될 수 있도록 하여 증착 성능 향상에 기여할 수 있는 분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비를 제공하는 데 목적이 있다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a guide for guiding evaporation material toward a nozzle in a ceiling of a distribution cylinder, And to provide a deposition tube having the same.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 분배 튜브는, 도가니와 노즐 사이에 설치되어 상기 도가니에서 증발된 물질을 다수의 노즐로 분배하는 분배 통체와; 상기 분배 통체의 천장면에 구비되어 상기 노즐 쪽으로 증발 물질을 유도하는 유도 가이드를 포함한 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a distribution tube for a deposition apparatus, comprising: a distribution cylinder disposed between a crucible and a nozzle to distribute a substance evaporated in the crucible to a plurality of nozzles; And an induction guide provided in a ceiling of the distribution cylinder to guide the evaporation material toward the nozzle.

여기서, 상기 분배 통체는 수직 단면적보다 수평 단면적이 더 크게 형성된 납작 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the distribution cylinder has a flat structure in which a horizontal cross-sectional area is larger than a vertical cross-sectional area.

상기 유도 가이드는 상기 분배 통체의 천장에서 돌출된 구조로 형성될 수 있다. The guide may protrude from the ceiling of the distribution cylinder.

이때, 상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구로 갈수록 돌출 높이가 점차 낮아지도록 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the protrusion height is gradually decreased toward the nozzle inlet.

이와는 달리, 상기 유도 가이드는 상기 분배 통체의 천장에 홈 구조로 형성되는 것도 가능하다.Alternatively, the guide may be formed in a groove in the ceiling of the distribution cylinder.

상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구를 향하여 경사지게 배치되는 것이 바람직하다.The induction guide is preferably inclined toward the nozzle inlet.

상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구를 중심으로 좌우 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다.The induction guide may be disposed symmetrically about the nozzle inlet.

상기 분배 통체에는 상기 노즐의 입구 앞쪽에 노즐 안쪽으로 증발 물질을 유도하는 입구 가이드가 구성될 수 있다.In the distribution cylinder, an inlet guide for guiding the evaporation material to the inside of the nozzle may be formed in front of the inlet of the nozzle.

이때, 상기 입구 가이드는 상기 노즐의 입구 양쪽에 나란히 세워진 격벽 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the inlet guide has a partition structure which is arranged on both sides of the inlet of the nozzle.

다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비는, 증착 공간을 구성하는 증착 챔버와, 상기 증착 챔버의 내부 상측에 배치되어 기판을 지지하는 기판 지지대와, 상기 증착 챔버의 내부 하측에 배치되어 증발 물질을 가열하여 증발시키는 도가니와, 상기한 분배 튜브를 포함하고; 상기 도가니 및 분배 튜브는 상기 증착 챔버 내에 복수개가 나란히 설치되어 구성된 것을 특징으로 한다.A vapor deposition apparatus according to the present invention for realizing the above-mentioned problems includes a vapor deposition chamber constituting a vapor deposition chamber, a substrate support placed on the inside of the vapor deposition chamber to support the substrate, A crucible arranged to heat and vaporize the evaporation material, and the above-described distribution tube; And a plurality of the crucibles and the distribution tubes are arranged in the deposition chamber in parallel.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The above and other objects and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: In addition to the principal task solutions as described above, various task solutions according to the present invention will be further illustrated and described.

본 발명에 따른 분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비는, 분배 튜브가 납작 구조로 이루어지고 측면에 노즐을 연결하여 상향 분사하도록 구성되기 때문에 도가니에서 증발되어 유입되는 증착 물질이 분배 통체 내에서 고르게 퍼지면서 측면에 연결된 각각의 노즐을 통해 균일하게 분배되면서 분사될 수 있게 되어, 결과적으로 증착 성능 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.Since the distribution tube and the deposition equipment having the same according to the present invention are constructed such that the distribution tube is formed in a flat structure and the nozzle is connected to the side thereof to upwardly inject the evaporated material evaporated in the crucible and spread evenly in the distribution cylinder It is possible to uniformly distribute the ink through the respective nozzles connected to the side surface of the nozzle, thereby contributing to the improvement of the deposition performance.

특히, 본 발명은 분배 통체의 천장면에 노즐 입구 방향으로 증발 물질을 유도하는 유도 가이드가 설치되기 때문에 유도 가이드를 통해 분배 통체 내에서 발생할 수 있는 증발 물질의 난류 흐름을 최소화할 수 있고, 이에 따라 증발 물질이 보다 원활하게 노즐로 유입되도록 하여 증착 성능의 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.In particular, since the induction guide for guiding the evaporation material in the nozzle inlet direction is installed in the ceiling of the distribution cylinder, the turbulent flow of the evaporation material that may occur in the distribution cylinder through the induction guide can be minimized, The evaporation material can flow into the nozzle more smoothly, contributing to the improvement of the deposition performance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비가 도시된 내부 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 튜브가 도시된 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 튜브가 도시된 정면도이다.
도 4는 도 2의 A-A 선 방향의 단면도이다.
도 5는 도 2의 B-B 선 방향의 단면도이다.
도 6은 도 5의 C-C 선 방향의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배 튜브를 아래에서 본 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분배 튜브를 아래에서 본 단면도이다.
도 9는 도 8의 D-D선 방향의 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an internal schematic diagram illustrating a distribution tube and a deposition apparatus having the same according to an embodiment of the present invention. FIG.
2 is a perspective view of a dispensing tube according to an embodiment of the invention.
3 is a front view of a dispensing tube in accordance with an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along the line AA in Fig.
5 is a cross-sectional view in the BB line direction of Fig.
Fig. 6 is a cross-sectional view in the CC line direction of Fig. 5. Fig.
Figure 7 is a cross-sectional view of a distribution tube from below, according to another embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of a distribution tube according to another embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view in the DD line direction of Fig.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 튜브 및 이를 구비한 증착 장비가 도시된 도면들로서, 도 1은 증착 장비의 구성도, 도 2는 분배 튜브의 사시도, 도 3은 분배 튜브의 정면도, 도 4 내지 도 6은 도 2의 A-A 선 방향, 도 2의 B-B 선 방향, 도 5의 C-C 선 방향의 단면도들이다.1 is a schematic view of a deposition apparatus, FIG. 2 is a perspective view of a distribution tube, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a distribution tube according to an embodiment of the present invention. Figs. 4 to 6 are sectional views taken along line AA in Fig. 2, line BB in Fig. 2, and line CC in Fig. 5, respectively.

도 1을 참조하면, 증착 챔버(10)의 내측 상부에는 기판(S)을 지지하는 기판 지지대(12)가 구성되고, 하부에는 증착 물질을 증발시켜 공급하는 증발원(20)이 위치된다.Referring to FIG. 1, a substrate support 12 for supporting a substrate S is formed in an upper portion of the inside of the deposition chamber 10, and an evaporation source 20 for evaporating and supplying the evaporation material is located in the lower portion.

기판 지지대(12)는 정전 척 등을 이용하여 기판(S)을 고정하는 부분으로서, 통상 증착 패턴이 형성되어 있는 마스크와 합착된 기판을 고정하도록 구성된다. 이러한 기판 지지대(12)의 구성은 증착 장비의 주요 구성 부분으로 널리 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다.The substrate support 12 is a portion for fixing the substrate S using an electrostatic chuck or the like, and is configured to fix a substrate on which a mask with a vapor deposition pattern is usually formed. The structure of the substrate support 12 is widely known as a main component of the deposition equipment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

증발원(20)은 내부에 저장된 증착 물질을 가열하여 증발시키는 도가니(25)와, 이 도가니(25)의 상부에 연결되어 증발된 물질을 각각의 노즐(50)로 균일하게 분배하여 기판 지지대(12) 방향으로 분사하도록 하는 분배 튜브(30)로 구성된다.The evaporation source 20 includes a crucible 25 for heating and evaporating the evaporation material stored therein and an evaporation source connected to the upper portion of the crucible 25 to uniformly distribute the evaporated material to the respective nozzles 50, (See FIG. 2).

도가니(25)는 그 내부에 저장된 증착 물질을 가열하여 증발시킬 수 있도록 구성된 것으로, 공지의 여러 구조의 도가니(25)를 채택하여 구성할 수 있다.The crucible 25 is configured to be able to heat and evaporate the deposition material stored therein, and can be constructed by employing a crucible 25 having various known structures.

분배 튜브(30)는 크게 유입관(32), 분배 통체(34), 복수개의 노즐(50)을 포함하여 구성된 것으로, 이러한 분배 튜브(30)에 대해서는 아래에서 자세히 설명한다.The distribution tube 30 mainly comprises an inflow pipe 32, a distribution cylinder 34 and a plurality of nozzles 50, and this distribution tube 30 will be described in detail below.

이와 같은 도가니(25) 및 분배 튜브(30)는 증착 챔버(10) 내에 복수개가 설치되어 구성될 수 있는데, 도 1에서는 도가니(25)와 분배 튜브(30)로 이루어진 증발원(20) 2개가 나란히 설치된 구성을 보여주고 있다.The crucible 25 and the distribution tube 30 may be provided in a plurality of the deposition chambers 10 and two evaporation sources 20 including the crucible 25 and the distribution tube 30 are arranged side by side It shows the installed configuration.

이제, 분배 튜브(30)에 대하여 도 2 내지 도 6을 참조하여 자세히 설명한다.Now, the distribution tube 30 will be described in detail with reference to Figs. 2 to 6. Fig.

분배 튜브(30)는, 증발물질이 가열되는 도가니(25)에 연결되어 증발물질이 유입되는 유입관(32)과, 이 유입관(32)의 상부에 연결되고 수직 단면적보다 수평 단면적이 더 크게 형성되어 증발물질을 분배하는 분배 통체(34)와, 이 분배 통체(34)의 측면 쪽에 연결되어 증발물질이 분사되는 복수개의 노즐(50)을 포함하여 구성된다.The distribution tube 30 is connected to the crucible 25 where the evaporation material is heated and connected to the inlet pipe 32 through which the evaporation material flows and an upper portion of the inlet pipe 32, And a plurality of nozzles (50) connected to the side of the distribution cylinder (34) to which the evaporation material is sprayed.

먼저, 유입관(32)은 하부와 상부가 개방된 원통형상으로 이루어져 도가니(25; 도 1 참조)와 분배 통체(34)를 연결하도록 구성된다.First, the inflow pipe 32 is formed in a cylindrical shape with its bottom and top open, and is configured to connect the crucible 25 (see FIG. 1) and the distribution cylinder 34.

본 실시예에서는 원통형상으로 이루어진 유입관(32)을 예시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 도가니(25)의 형상과 조건에 따라 사각통형, 오각통형 등 다각통형 구조로 변경하여 구성할 수 있다. In this embodiment, the inlet pipe 32 made of a cylindrical shape is exemplified, but the present invention is not limited to this, and it can be changed to a polygonal tubular structure such as a rectangular tube or a pentagonal tube depending on the shape and conditions of the crucible 25.

다만, 유입관(32)의 크기는 분배 통체(34)의 크기보다 작게 형성되는 것이 바람직한 바, 유입관(32)의 수평 단면적은 분배 통체(34)의 수평 단면적보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the size of the inflow pipe 32 is smaller than the size of the distribution cylinder 34. The horizontal cross-sectional area of the inflow pipe 32 is preferably smaller than the horizontal cross-sectional area of the distribution cylinder 34. [

다음, 분배 통체(34)는 전체적으로 육면체 형상의 통형 구조로 이루어지되, 수직 단면적보다 수평 단면적이 더 크게 형성된 납작 구조로 이루어진다. 즉, 수평 면적이 넓게 형성되어 도가니(25)에서 증발한 물질이 전체적으로 균일하게 확산된 상태에서 각각의 노즐(50)을 통해 균일하게 분사될 수 있도록 구성되는 것이다.Next, the distribution cylinder 34 has a flat structure having a hexahedron-like cylindrical structure and a horizontal cross-sectional area larger than a vertical cross-sectional area. That is, the horizontal area is formed so that the material evaporated in the crucible 25 can be uniformly sprayed through the respective nozzles 50 in a state where the material is uniformly diffused as a whole.

이러한 분배 통체(34)의 납작 구조는 도 4와 도 5를 참고하면 전후 방향의 길이(L)와 좌우 방향의 길이(W)가 높이(H) 보다 2배 이상으로 크게 형성되는 것이 바람직하다.4 and 5, it is preferable that the flat structure of the distribution cylinder 34 is formed such that the length L in the front-rear direction and the length W in the lateral direction are two times or more larger than the height H.

또한, 분배 통체(34)는 노즐(50)들이 연결되는 측면을 포함한 양쪽 측면(도면상 전면과 후면)이 라운드형 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 양측면 라운드형 구조는 분배 통체(34) 내로 유입된 증발물질의 와류 형성을 최소화하면서 노즐(50) 쪽으로 원활하게 유동하도록 유도하기 위한 것이다.Further, the distribution cylinder 34 preferably has a rounded structure on both sides (the front and rear surfaces in the figure) including the side to which the nozzles 50 are connected. These two-sided round-shaped structures are intended to guide smooth flow toward the nozzle 50 while minimizing eddy formation of the evaporated material introduced into the distribution cylinder 34.

또한, 분배 통체(34)에는 양쪽 측면(도면상 전면과 후면)에 히터를 지지하기 위한 마운팅 돌기(35)들이 형성될 수 있다. 즉, 분배 통체(34) 외측에는 도가니(25)에서 가열되어 유입된 증발 물질을 적절한 온도로 가열하기 위해 히터가 설치되는데, 마운팅 돌기(35)에 히터를 구성하는 열선(36)을 감아서 설치할 수 있도록 구성될 수 있는 것이다.Mounting projections 35 for supporting the heaters may be formed on both sides (the front and rear surfaces in the drawing) of the distribution cylinder 34. That is, a heater is installed outside the dispensing cylinder 34 to heat the evaporated material heated by the crucible 25 to an appropriate temperature. The heat ray 36 constituting the heater is wound around the mounting projection 35 And so on.

도 2에서 마운팅 돌기(35)를 이용한 열선(36)의 배치 구조는 하나의 예시이며, 실시 조건에 따라 다양한 열선 배치 구조로 변경하여 구성하는 것도 가능하다. 또, 와이어형 열선 구조에 한정되지 않고, 다른 형태의 전열 히터도 마운팅 돌기(35)를 통해 지지하도록 구성할 수도 있다.In FIG. 2, the arrangement of the heat ray 36 using the mounting protrusions 35 is an example, and the heat ray arrangement structure can be changed to various heat ray arrangement structures according to the conditions. Further, the present invention is not limited to the wire-like heating wire structure, and other types of electrothermal heaters may be supported through the mounting projections 35. [

또한, 분배 통체(34)는 좌우 양쪽에 증착 챔버(10) 내의 지지 구조물에 고정하여 설치할 수 있도록 설치 브래킷(37)들이 구성되는 것이 바람직하며, 한쪽, 즉 노즐(50)이 설치되는 쪽과 직교하는 일측면에 증발 물질의 양을 측정하기 위한 측정 홀(38)이 형성될 수 있다(도 4 참조). 이때 측정 홀(38) 앞쪽에는 두께 센서(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the distribution cylinder 34 is constructed such that the mounting brackets 37 can be fixed to the supporting structure in the deposition chamber 10 on both sides of the distribution cylinder 34. One side, A measuring hole 38 for measuring the amount of evaporated material may be formed on one side (see FIG. 4). At this time, a thickness sensor (not shown) is preferably provided in front of the measurement hole 38.

또한, 분배 통체(34)의 상면에는 강성 보강을 위한 격자형 리브(39)가 구성되는 것이 바람직하다. 분배 통체(34)는 큰 면적의 통형 구조로 이루어짐에 따라 내부의 증발열과 외부의 히터의 열에 의해 쉽게 변형될 수 있다. 따라서 분배 통체(34)의 상면에 격자형 리브(39)를 설치함으로써 뒤틀리는 등의 변형을 방지할 수 있게 된다.It is preferable that a grid-like rib 39 for reinforcing rigidity is formed on the upper surface of the distribution cylinder 34. Since the distribution cylinder 34 has a large-sized cylindrical structure, it can be easily deformed by the heat of the internal evaporator and the heat of the external heater. Therefore, by providing the grid-shaped ribs 39 on the upper surface of the distribution cylinder 34, distortion such as twisting can be prevented.

이러한 격자형 리브(39)는 별도의 격자 구조물을 용접 등의 방법으로 분배 통체(34)의 상면에 설치할 수 있고, 실시 조건에 따라서는 분배 통체(34)를 성형할 때 리브를 일체로 형성하여 구성할 수도 있다. 또한 격자형 구조에 한정되지 않고, 일자형, 원형 등 다양한 구조로 변경하여 분배 통체(34)의 강성을 보강하는 것도 가능하다.The grid-like ribs 39 can be provided on the upper surface of the distribution cylinder 34 by welding or the like, and the ribs can be integrally formed when the distribution cylinder 34 is molded . It is also possible to reinforce the rigidity of the distribution cylinder 34 by changing to a variety of structures such as a straight shape and a circular shape without limiting to the lattice structure.

또한, 분배 통체(34) 내에는 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 각 노즐(50)의 입구 쪽에 증발물질을 노즐(50) 쪽으로 유도하는 입구 가이드(40)가 설치되는 것이 바람직하다.4 to 5, it is preferable that an inlet guide 40 for guiding the evaporation material to the nozzle 50 side is installed at the inlet side of each nozzle 50. As shown in FIG.

입구 가이드(40)는 노즐(50)의 입구 양쪽에 나란히 세워진 격벽 구조로 이루어질 수 있는데, 2개의 격벽이 평형하게 설치되는 것이 바람직하다.The inlet guide 40 may have a barrier structure arranged on both sides of the inlet of the nozzle 50. It is preferable that the two barrier walls are provided in a balanced manner.

그리고, 입구 가이드(40)는 분배 통체(34)의 내측 상부면과 노즐(50)이 연결된 면에는 부착된 상태로 고정되고, 하부면은 적어도 일부분이 유입관(32)에서 유입되는 증발 물질이 원활하게 유입될 수 있도록 고정되지 않고 떠있는 구조로 배치되는 것이 바람직하다.The inlet guide 40 is fixedly attached to the inner upper surface of the distribution cylinder 34 and the surface to which the nozzle 50 is connected and the lower surface of the inlet guide 40 is fixed at least partially by evaporation material flowing from the inlet pipe 32 It is preferable to arrange them in a floating structure so that they can flow smoothly.

이러한 입구 가이드(40)는 실질적으로 노즐의 길이가 길어지는 효과를 갖게 되므로 증발 물질은 원하는 방향으로 보다 안정적으로 분사할 수 있게 된다.Since the inlet guide 40 has an effect of substantially lengthening the length of the nozzle, the evaporation material can be stably injected in a desired direction.

또한, 분배 통체(34)의 천장면에는 입구 가이드(40) 쪽 또는 노즐(50) 쪽으로 증발 물질을 유도하는 유도 가이드(45)가 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that an induction guide 45 for guiding the evaporation material toward the inlet guide 40 or the nozzle 50 is formed on the ceiling of the distribution cylinder 34.

이러한 유도 가이드(45)는 분배 통체(34)의 천장면에서 아래쪽으로 돌출된 구조로 형성되는 것이 바람직하고, 입구 가이드 또는 노즐(50)의 입구를 향하여 경사지게 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 유도 가이드(45)는 분배 통체(34) 내부로 유입된 증발 물질이 천장면에 상승할 때 증발 물질이 노즐(50) 쪽으로 유동하면서 분사될 수 있도록 안내하는 기능을 하게 된다. Preferably, the guide 45 is formed to protrude downward from the ceiling of the distribution cylinder 34 and is inclined toward the inlet of the inlet guide or nozzle 50. Therefore, the induction guide 45 functions to guide the evaporation material to be sprayed while flowing toward the nozzle 50 when the evaporation material flowing into the distribution cylinder 34 rises to the ceiling surface.

또한, 유도 가이드(45)는 분배 통체(34)의 천장면에 노즐(50) 입구를 중심으로 좌우 대칭되는 구조로 배치되는데, 도 5를 참조하면, 노즐(50) 입구의 센터를 잇는 중심선(k)을 중심으로 양쪽에 좌우 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다. 이때 중심선(k)의 좌우 양쪽에 배치되는 유도 가이드(45)의 간격은 도면에서는 3개씩을 예시하고 있으나, 이에 한정하지 않고, 실시 조건에 따라 적절한 간격과 개수를 설정하여 구성하는 것이 바람직하다.5, the induction guide 45 is arranged symmetrically with respect to the entrance of the nozzle 50 on the ceiling of the distribution cylinder 34. The induction guide 45 has a center line k are symmetrically disposed on both sides of the center. At this time, although three guide guides 45 arranged on both the left and right sides of the center line k are illustrated in the drawing, it is preferable that the guide members 45 are formed by setting appropriate intervals and numbers according to the conditions.

또한, 유도 가이드(45)는 도 6에 도시된 바와 같이 노즐(50) 입구로부터 먼 쪽에서 노즐(50) 입구로 갈수록 돌출 높이가 점차 낮아지도록 형성되는 것이 바람직하다. In addition, as shown in FIG. 6, it is preferable that the induction guide 45 is formed such that the protruding height gradually decreases from the inlet of the nozzle 50 toward the inlet of the nozzle 50.

이와 같이 유도 가이드(45)가 노즐(50) 입구를 중심으로 노즐(50) 방향으로 경사지게 형성됨과 아울러 노즐을 중심으로 좌우 대칭되게 배치되고, 또 노즐(50) 입구로 갈수록 돌출 높이가 낮아지도록 형성됨으로써 노즐(50) 입구에서 먼 쪽은 물론 전체적으로 분배 통체(34)의 내부에서 증발 물질의 유동 흐름이 노즐 방향으로 자연스럽게 유도되어 난류 발생을 최소화하면서 증발 물질이 보다 원활하게 노즐(50)로 유입될 수 있게 된다.The induction guide 45 is formed to be inclined toward the nozzle 50 about the inlet of the nozzle 50 and is arranged symmetrically with respect to the nozzle 50. The height of the induction guide 45 is reduced toward the inlet of the nozzle 50 The flow of the evaporation material is naturally induced in the direction of the nozzle in the distribution cylinder 34 as a whole as well as away from the inlet of the nozzle 50 to minimize the occurrence of turbulence and the evaporation material flows into the nozzle 50 more smoothly .

한편, 상기 노즐(50)은 분배 통체(34)의 측면에 일정 정도 길게 연결되어 기판 지지대(12)를 향하여 상측 방향으로 절곡된 구조로 구성되는 것이 바람직하다.The nozzle 50 is preferably connected to the side surface of the distribution cylinder 34 for a predetermined length so as to be bent upward toward the substrate support 12.

이러한 노즐(50)은, 도 4를 참조하면, 노즐관(52) 끝단에 노즐 캡(54)을 씌워서 분사 각, 분사 형태 등을 개선할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4, the nozzle 50 is preferably configured to cover the nozzle cap 54 at the end of the nozzle tube 52 to improve the spray angle, spray shape, and the like.

도면에 예시된 본 실시예에서 각각의 분배 튜브(30)는 서로 반대 방향으로 기울어진 2개의 노즐(50)을 갖도록 구성되는데, 도 1 및 도 3을 참조하면, 다른 분배 튜브(30)와 인접한 노즐(50A)의 수직 방향에 대한 경사각(α) 보다 인접하지 아니한 노즐(50B)의 수직 방향에 대한 경사각(β)이 더 크게 형성되는 것이 바람직하다.Each of the distribution tubes 30 in this embodiment illustrated in the figures is configured to have two nozzles 50 that are inclined in opposite directions to each other, referring to FIGS. 1 and 3, It is preferable that the inclination angle beta with respect to the vertical direction of the nozzle 50B which is not adjacent to the inclination angle alpha with respect to the vertical direction of the nozzle 50A is formed larger.

이러한 노즐(50)의 각도 설정은 좌우 양쪽 끝에 위치된 노즐(50)의 경사각(β)을 더 크게 함으로서 전체적으로 기판(S)에 증발 물질을 균일하게 공급할 수 있도록 하기 위한 것이다.The setting of the angle of the nozzle 50 is intended to uniformly supply the evaporation material to the substrate S as a whole by making the inclination angle beta of the nozzle 50 located at both the left and right ends larger.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배 튜브를 아래에서 본 단면도이다.Figure 7 is a cross-sectional view of a distribution tube from below, according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배 튜브(30)는 앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 튜브에 구성된 입구 가이드(40)가 구성되지 않고, 노즐(50)의 입구까지 유도 가이드(45A)가 구성된다.Referring to FIG. 7, the distribution tube 30 according to another embodiment of the present invention is not constituted of the inlet guide 40 configured in the distribution tube according to the above-described embodiment of the present invention, Thereby forming an induction guide 45A.

본 실시예의 유도 가이드(45A)도 분배 통체(34)의 천장면에서 아래쪽으로 돌출되고, 노즐(50) 입구를 중심으로 노즐(50) 방향으로 경사지게 형성되며, 각 노즐(50)을 중심으로 좌우 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다. 또한 유도 가이드(45A)는 노즐(50)에서 먼 쪽에서 노즐(50) 입구로 갈수록 돌출 높이가 점차 낮아지도록 형성되는 것이 바람직하다.The guide 45A of the present embodiment also protrudes downward from the ceiling of the distribution cylinder 34 and is inclined in the direction of the nozzle 50 about the inlet of the nozzle 50, It is preferable to be disposed symmetrically. Also, it is preferable that the guide height of the induction guide 45A is gradually decreased from the nozzle 50 toward the inlet of the nozzle 50.

이외의 구성은 전술한 일 실시예의 구성과 동일 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.Other configurations may be configured similar to those of the above-described embodiment, and therefore, the same reference numerals are assigned to the same constituent elements, and a repetitive description thereof will be omitted.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분배 튜브를 아래에서 본 단면도이다. 도 9는 도 8의 D-D선 방향의 단면도이다.8 is a cross-sectional view of a distribution tube according to another embodiment of the present invention. 9 is a sectional view taken along the line D-D in Fig.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분배 튜브(30)는 앞서 설명한 실시예들과 달리, 유도 가이드(45B)가 분배 통체(34)에서 돌출되지 않고, 분배 통체(34)의 천장면에 홈 구조로 형성된다.8 and 9, the distribution tube 30 according to another embodiment of the present invention differs from the above-described embodiments in that the guide guide 45B does not protrude from the distribution cylinder 34, (34).

즉, 본 실시예의 유도 가이드(45B)는 도 9의 단면도에서와 같이 분배 통체(34)의 천장면에 일정 깊이의 홈 구조로 형성되는 것이다.That is, the guide 45B of the present embodiment is formed in a groove structure having a certain depth in the ceiling of the distribution cylinder 34 as shown in the sectional view of FIG.

이러한 유도 가이드(45B)도 앞서 설명한 실시예들과 같이 노즐(50) 입구를 중심으로 노즐(50) 방향으로 경사지게 형성되고, 각 노즐(50)을 중심으로 좌우 대칭되게 배치되게 형성되는 것이 바람직하다.The guide 45B may be formed to be inclined in the direction of the nozzle 50 about the inlet of the nozzle 50 and be symmetrically disposed about the respective nozzles 50 as in the previously described embodiments .

이와 같은 홈 구조를 갖는 유도 가이드(45B)도 증발 물질이 상승하여 분배 통체(34)의 천장면에 부딪힐 때 홈 구조의 가이드를 통해 노즐(50)의 입구 방향으로 증발 물질의 흐름을 유도하여 증발 물질이 노즐(50)로 원활하게 유입될 수 있도록 한다.The induction guide 45B having such a groove structure also induces a flow of the evaporation material in the inlet direction of the nozzle 50 through the guide of the groove structure when the evaporation material rises and hits the ceiling surface of the distribution cylinder 34 So that the evaporation material can smoothly flow into the nozzle (50).

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be implemented independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

10 : 증착 챔버 12 : 기판 지지대
20 : 증발원 25 : 도가니
30 : 분배 튜브 32 : 유입관
34 : 분배 통체 35 : 마운팅 돌기
36 : 열선 37 : 설치 브래킷
38 : 측정 홀 39 : 격자형 리브
40 : 입구 가이드 45, 45A, 45B : 유도 가이드
50 : 노즐 52 : 노즐관
54 : 노즐 캡10: deposition chamber 12: substrate support
20: evaporation source 25: crucible
30: distribution tube 32: inlet tube
34: dispensing cylinder 35: mounting projection
36: heat wire 37: mounting bracket
38: Measuring hole 39: Grating rib
40: entrance guide 45, 45A, 45B: guide guide
50: nozzle 52: nozzle tube
54: nozzle cap

Claims (10)

도가니와 노즐 사이에 설치되어 상기 도가니에서 증발된 물질을 다수의 노즐로 분배하는 분배 통체와;
상기 분배 통체의 천장면에 구비되어 상기 노즐 쪽으로 증발 물질을 유도하는 유도 가이드를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.A dispensing cylinder disposed between the crucible and the nozzle to distribute the evaporated material from the crucible to the plurality of nozzles;
And an induction guide provided in a ceiling of the distribution cylinder to guide the evaporation material toward the nozzle. 청구항 1에 있어서,
상기 분배 통체는 수직 단면적보다 수평 단면적이 더 크게 형성된 납작 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the dispensing cylinder is of a flat construction with a horizontal cross-section greater than a vertical cross-sectional area. 청구항 1에 있어서,
상기 유도 가이드는 상기 분배 통체의 천장에서 돌출된 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the guide is formed to protrude from a ceiling of the dispensing cylinder. 청구항 1에 있어서,
상기 유도 가이드는 상기 분배 통체의 천장에 홈 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the guide is formed in a groove structure in the ceiling of the dispensing cylinder. 청구항 1에 있어서,
상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구를 향하여 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the guide is disposed obliquely toward the nozzle inlet. 청구항 1에 있어서,
상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구를 중심으로 좌우 대칭되게 배치된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the guide is symmetrically disposed about the nozzle inlet. 청구항 3에 있어서,
상기 유도 가이드는 상기 노즐 입구로 갈수록 돌출 높이가 점차 낮아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method of claim 3,
Wherein the guide is formed such that the protrusion height gradually decreases toward the nozzle inlet. 청구항 1에 있어서,
상기 분배 통체에는 상기 노즐의 입구 앞쪽에 노즐 안쪽으로 증발 물질을 유도하는 입구 가이드가 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method according to claim 1,
Wherein the dispensing cylinder is provided with an inlet guide for guiding the evaporation material to the inside of the nozzle in front of the inlet of the nozzle. 청구항 8에 있어서,
상기 입구 가이드는 상기 노즐의 입구 양쪽에 나란히 세워진 격벽 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착 장비의 분배 튜브.The method of claim 8,
Wherein the inlet guide is constructed of a barrier rib structure arranged on both sides of the inlet of the nozzle. 증착 공간을 구성하는 증착 챔버와, 상기 증착 챔버의 내부 상측에 배치되어 기판을 지지하는 기판 지지대와, 상기 증착 챔버의 내부 하측에 배치되어 증발 물질을 가열하여 증발시키는 도가니와, 상기 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 분배 튜브를 포함하고;
상기 도가니 및 분배 튜브는 상기 증착 챔버 내에 복수개가 나란히 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비.
A crucible disposed at an inner lower side of the deposition chamber and heating the evaporation material to evaporate the mixture; and a crucible for heating the evaporation material, A dispensing tube as claimed in any one of the preceding claims;
Wherein a plurality of the crucibles and the distribution tubes are arranged in the deposition chamber in parallel.
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