KR102201598B1 - A Linear Type Evaporator with a Mixing Zone - Google Patents

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Abstract

본 발명은 혼합영역이 포함된 선형 증발원에 관한 것으로, 본 발명의 선형 증발원은 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하며, 상기 분배통로는 상기 연결통로에 연통되어 증착 물질이 공급되는 인입구와, 상기 증착 물질을 기판 상에 분사하는 배출구와, 상기 배출구를 통해 분사되는 증착 물질이 상기 분배관 내에서 균일하게 분포되도록 상기 증착 물질을 혼합시키기 위한 혼합영역을 포함함으로써, 증착 물질이 균일하게 혼합된 상태로 노즐을 통해 분사될 수 있는 효과가 있다. The present invention relates to a linear evaporation source including a mixed region, wherein the linear evaporation source of the present invention has a crucible for accommodating a deposition material, and a connection passage that communicates with the outlet of the crucible to pass the deposition material evaporated from the crucible. A connection pipe, a distribution pipe communicating with the connection passage of the connection pipe and forming a distribution passage for diverging and discharging the deposition material introduced from the connection passage into a plurality of paths, and a deposition material in the crucible, the connection pipe or the distribution pipe And a heating member for heating, wherein the distribution passage is in communication with the connection passage to supply a deposition material, an outlet for spraying the deposition material onto the substrate, and the deposition material sprayed through the discharge port By including a mixing region for mixing the deposition material so as to be uniformly distributed in the distribution pipe, there is an effect that the deposition material can be sprayed through the nozzle in a uniformly mixed state.

Description

혼합영역이 포함된 선형 증발원{A Linear Type Evaporator with a Mixing Zone}A Linear Type Evaporator with a Mixing Zone}

본 발명은 혼합영역이 포함된 선형 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도가니에서 증발되는 증착 물질을 균일하게 혼합할 수 있는 혼합영역을 분배관 내부에 구비함으로써, 증착 물질이 균일하게 혼합된 상태로 노즐을 통해 분사될 수 있는 혼합영역이 포함된 선형 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation source including a mixing region, and more particularly, a mixing region capable of uniformly mixing the evaporation material evaporated in a crucible is provided inside the distribution pipe, so that the evaporation material is uniformly mixed. It relates to a linear evaporation source including a mixing region that can be sprayed through a nozzle.

일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.In general, in manufacturing an organic device (OLED: Organic Light Emitted Device), the most important process is a process of forming an organic thin film, and vacuum deposition is mainly used to form such an organic thin film.

이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점증발원과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 포인트 소스 또는 점증발원으로 알려진 증발원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증발원이 사용된다. 이러한 선형 증발원은 도가니 내에 원료 물질을 저장하고, 저장된 원료 물질을 증발시켜 기판을 향해 분사하는 서로 이격된 복수의 노즐 또는 분배공을 구비한다.In such vacuum deposition, a substrate such as glass and an evaporation source such as a point source or a point evaporation source containing a raw material in the form of a powder are placed opposite to each other in the chamber, and the raw material in the form of a powder contained in the evaporation source is The evaporated raw material is sprayed to form an organic thin film on one surface of the substrate. In recent years, as substrates have become large-area, a linear evaporation source that secures uniformity of a thin film of a large-area substrate is used instead of an evaporation source known as a point source or a point source. The linear evaporation source stores a raw material in a crucible, and includes a plurality of nozzles or distribution holes spaced apart from each other for evaporating the stored raw material and spraying it toward the substrate.

이와 관련한 종래의 기술로서, 한국등록특허 제10-0758694호, 한국등록특허 제10-0862340호에는 상방으로 개방되고 일렬로 배치된 복수의 개구부를 상면에 구비하고 내부에는 증착 물질을 담는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열부를 갖는 선형 증발원이 개시되어 있다. As a related art, in Korea Patent Registration No. 10-0758694 and Korea Registration Patent No. 10-0862340, a crucible that has a plurality of openings open upward and arranged in a row is provided on the upper surface and contains a deposition material therein, A linear evaporation source having a heating section for heating the crucible is disclosed.

상기와 같은 선행문헌에서는 도가니의 상면에 형성된 개구부를 통해 기판에 증착 물질을 직접 분사하는 구조였으므로, 도가니에서 증발된 증착 물질이 상기 개구부의 위치에 따라 불균일하게 분사되는 단점이 있었다. In the prior literature as described above, since the deposition material was directly sprayed onto the substrate through the opening formed on the upper surface of the crucible, there was a disadvantage in that the deposition material evaporated from the crucible was sprayed unevenly depending on the location of the opening.

또한, 상기 가열부가 도가니만 가열하여 증착 물질이 기화되므로, 증착 물질의 기화되는 압력이 낮고, 이에 따른 온도 및 증착 속도가 낮은 단점이 있었다. In addition, since the heating unit only heats the crucible to evaporate the evaporation material, there is a disadvantage in that the evaporation pressure of the evaporation material is low, and thus the temperature and deposition rate are low.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 도가니에서 증발되는 증착 물질이 노즐의 위치와 관계없이 균일하게 혼합되도록 하여 전체 박막의 균일도를 향상시키는 혼합영역이 포함된 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been devised to solve the above problems, and provides a linear evaporation source including a mixing region that improves the uniformity of the entire thin film by uniformly mixing the deposition material evaporated in the crucible regardless of the position of the nozzle. There is a purpose.

또한, 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시켜 증착 물질의 속도 및 온도를 상승시킬 수 있는 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다. Further, an object thereof is to provide a linear evaporation source capable of increasing the speed and temperature of the deposition material by increasing the vaporization pressure of the deposition material.

또한, 증착 물질을 가열하는 히터를 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있도록 하는 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다. In addition, there is an object to provide a linear evaporation source for uniformly heating the deposition material by configuring a heater for heating the deposition material for each area.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하며, 상기 분배통로는 상기 연결통로에 연통되어 증착 물질이 공급되는 인입구와, 상기 증착 물질을 기판 상에 분사하는 배출구와, 상기 배출구를 통해 분사되는 증착 물질이 상기 분배관 내에서 균일하게 분포되도록 상기 증착 물질을 혼합시키기 위한 혼합영역을 포함하는 선형 증발원이 제공된다. In order to achieve the above objects, in the present invention, in the present invention, a crucible for accommodating a deposition material, a connecting pipe communicating with an outlet of the crucible to pass the deposition material evaporated from the crucible is formed, and the connecting tube A distribution pipe communicating with the connection passage to form a distribution passage for dividing and discharging the deposition material introduced from the connection passage into a plurality of paths, and a heating member for heating the deposition material in the crucible, the connection pipe or the distribution pipe And, the distribution passage is in communication with the connection passage so that the inlet through which the deposition material is supplied, an outlet through which the deposition material is sprayed on the substrate, and the deposition material sprayed through the outlet are uniformly distributed in the distribution tube. A linear evaporation source including a mixing region for mixing the deposition material is provided.

본 발명에서, 상기 혼합영역은 상기 분배관의 길이방향으로 길게 형성되는 공동(cavity)으로 이루어질 수 있다. In the present invention, the mixing region may be formed of a cavity formed long in the longitudinal direction of the distribution pipe.

또한, 상기 혼합영역은 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질이 상방향으로 이동하면서 혼합되기 용이하도록 적어도 일측면이 유선형으로 이루어질 수 있다. In addition, at least one side of the mixing region may be formed in a streamlined shape to facilitate mixing while the deposition material flowing in the connection passage moves upward.

이 경우, 상기 혼합영역의 일측면은 반구형으로 이루어지는 것도 가능하다. In this case, one side of the mixing region may have a hemispherical shape.

한편, 상기 분배통로의 인입구는 상기 연결관의 연결통로에서 상기 혼합영역을 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성될 수 있다. On the other hand, the inlet of the distribution passage may be formed in a trapezoidal shape gradually widening toward the top so as to connect the mixing region in the connection passage of the connection pipe.

본 발명에서, 상기 도가니는 원형으로 이루어지고, 상기 도가니의 내경은 상기 유출구의 직경보다 크게 형성되어 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시킬 수 있다. In the present invention, the crucible is formed in a circular shape, and the inner diameter of the crucible is formed larger than the diameter of the outlet, thereby increasing the vaporization pressure of the deposition material.

또한, 상기 연결관의 연결통로는 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다. In addition, the connection passage of the connection pipe may be formed in a form in which the width becomes narrower from the lower end to the upper end.

본 발명에 있어서, 상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치될 수 있다. In the present invention, the heating member is made of a heating block and may be installed inside the crucible, the connection pipe, or the distribution pipe.

이와 같은 상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와, 상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와, 상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어질 수 있다. The heating member may include a crucible heater formed in the crucible, a connector heater mounted on the connection pipe, and a distribution pipe heater mounted on the distribution pipe.

상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관이 히터로 인한 열변형을 최소화한다. Insulation is installed on the rear surface of the crucible heater, the connector heater, and the distribution tube heater, so that the crucible, the connector, or the distribution tube minimizes thermal deformation due to the heater.

한편, 상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분될 수 있다. Meanwhile, since the crucible heater includes an upper crucible heater and a lower crucible heater, the heater control area may be divided into two areas.

또한, 상기 분배관 히터는, 상기 인입구 측부에 설치되는 하부 분배관 히터와, 상기 혼합영역 측부에 설치되는 중앙 분배관 히터와, 상기 배출구 측부에 설치되는 상부 분배관 히터로 이루어질 수 있다. In addition, the distribution tube heater may include a lower distribution tube heater installed on the inlet side, a central distribution tube heater installed on the mixing region side, and an upper distribution tube heater installed on the outlet side.

본 발명에서, 상기 배출구는 증착 물질의 압력을 상대적으로 높이기 위해서 상기 연결관의 연결통로 폭보다 좁은 폭으로 이루어질 수 있다. In the present invention, the outlet may have a width narrower than the width of the connection passage of the connection pipe in order to relatively increase the pressure of the deposition material.

상기 배출구에는 증착 물질을 분사하는 복수개의 슬릿이 형성되는 노즐이 착탈식으로 끼워질 수 있다. A nozzle in which a plurality of slits for spraying a deposition material is formed may be detachably fitted to the outlet.

이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 분배관 내부에 증착 물질이 균일하게 혼합되도록 하는 혼합영역이 형성됨으로써, 유기 기화물이 균일하게 분포되어 기판 상에 분사될 수 있는 효과가 있다. According to the present invention described above, since a mixing region is formed in the distribution pipe so that the evaporation material is uniformly mixed, the organic vapor is uniformly distributed and sprayed onto the substrate.

또한, 상기 분배관이 직육면체 형상으로 구성되어 히터의 구성이 용이하여 유지보수가 편리하고, 증착 물질을 가열하는 히터를 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the distribution pipe is formed in a rectangular parallelepiped shape, the heater can be easily configured for convenient maintenance, and a heater for heating the deposition material is configured for each area to uniformly heat the deposition material.

또한, 원통형 도가니의 지름을 넓게 하여 충분히 필요한 용량을 제공할 수 있으므로, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있는 효과가 있다. In addition, since the diameter of the cylindrical crucible can be increased to provide a sufficient capacity, the height of the linear evaporation source can be reduced, thereby reducing the pass line of the device.

도 1은 본 발명의 혼합영역이 포함된 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 혼합영역이 포함된 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 정단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예를 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 적용된 노즐을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 평면도이다. 1 is a side cross-sectional view showing a first embodiment of a linear evaporation source including a mixing region of the present invention.
2 is a front cross-sectional view showing a first embodiment of a linear evaporation source including a mixing region of the present invention.
3 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a nozzle applied to a second embodiment of the present invention.
5 is a plan view showing a second embodiment of the present invention.

이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 혼합영역이 포함된 선형 증발원의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the linear evaporation source including the mixing region according to the present invention as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 혼합영역이 포함된 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 측단면도이고, 도 2는 본 발명의 혼합영역이 포함된 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 정단면도이다. 1 is a side cross-sectional view showing a first embodiment of a linear evaporation source including a mixing region of the present invention, and FIG. 2 is a front sectional view showing a first embodiment of a linear evaporation source including a mixing region of the present invention.

본 발명의 선형 증발원은 도 1에서 보는 바와 같이, 증착 물질을 수용하는 도가니(10)와, 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로(22)가 형성되는 연결관(20)과, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)에 연통되어 상기 연결통로(22)에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로(32)가 형성되는 분배관(30)과, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, the linear evaporation source of the present invention communicates with a crucible 10 for receiving a deposition material and an outlet 12 of the crucible 10 to pass the deposition material evaporated from the crucible 10. The connection pipe 20 in which the connection passage 22 is formed, and the deposition material that is communicated with the connection passage 22 of the connection pipe 20 and flows into the connection passage 22 are branched and discharged into a plurality of paths. A distribution pipe 30 in which the distribution passage 32 is formed, and a heating member for heating the deposition material in the crucible 10, the connection pipe 20 or the distribution pipe 30 are included.

본 발명에서 상기 도가니(10)는 원통형 형상의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 원통형 도가니(10)는 그 지름을 크게 하여 충분히 필요한 용량을 제공할 수 있도록 하고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있는 장점이 있다. In the present invention, it is preferable to use the crucible 10 having a cylindrical shape. The cylindrical crucible 10 has the advantage of increasing its diameter to provide a sufficient capacity and reducing the height of the linear evaporation source to reduce the pass line of the apparatus.

상기 도가니(10)의 유출구(12)는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키도록 도가니(10)의 내경보다 작게 형성될 수 있다. The outlet 12 of the crucible 10 may be formed to be smaller than the inner diameter of the crucible 10 to increase the vaporization pressure of the deposition material.

종래에는 통상 도가니의 내경과 증착 물질이 배출되는 입구가 동일한 직경을 갖도록 형성되는 예가 많았으나, 본 발명에서는 도가니(10)의 크기를 키워 대용량의 증착 물질을 담을 수 있도록 함과 동시에 도가니(10)에서 배출되는 증착 물질의 기화압력을 증가시킬 수 있도록 도가니(10)의 유출구(12)의 직경을 작게 형성한 것이다. Conventionally, there have been many examples in which the inner diameter of the crucible and the inlet through which the deposition material is discharged are formed to have the same diameter, but in the present invention, the crucible 10 is increased in size to accommodate a large amount of deposition material and at the same time, the crucible 10 The diameter of the outlet 12 of the crucible 10 is made small so as to increase the vaporization pressure of the evaporation material discharged from the crucible.

여기서, 상기 도가니(10)의 유출구(12)는 도가니 내경에 대비하여 대략 50% 이하의 면적을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. Here, the outlet 12 of the crucible 10 is preferably formed to have an area of approximately 50% or less compared to the inner diameter of the crucible.

한편, 상기 연결관(20)은 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 상기 분배관(30)으로 이송시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 하단부가 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 동일한 직경으로 형성된다. On the other hand, the connector 20 is in communication with the outlet 12 of the crucible 10 and serves to transfer the deposition material evaporated from the crucible 10 to the distribution tube 30, the connector The lower end of the connection passage 22 of 20 is formed with the same diameter as the outlet 12 of the crucible 10.

여기서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)는 도 1에서 보는 바와 같이, 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다. 이는 연결관(20)을 통과하는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키기 위한 것으로, 바람직하게는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 50% 이하의 면적을 갖도록 형성된다. Here, the connection passage 22 of the connection pipe 20 may be formed in a form in which the width becomes narrower from the lower end to the upper end, as shown in FIG. 1. This is to increase the vaporized pressure of the evaporation material passing through the connection pipe 20, preferably formed so that the upper end of the connection passage 22 has an area of 50% or less compared to the lower end of the connection passage 22 do.

이와 같이, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)보다 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)가 작게 되면, 도가니(10)에서 발생된 증기가 연결관(20)의 상단부에 도달하는데 소요되는 시간까지의 변동에 의한 증발속도의 불안정성을 배제할 수 있다.In this way, when the conductance (CB) at the upper end of the connection passage 22 is smaller than the conductance (CA) at the lower end of the connection passage 22, the vapor generated from the crucible 10 reaches the upper end of the connection pipe 20. Instability of the evaporation rate due to fluctuations up to the time it takes can be excluded.

이와 같은 본 발명에서, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 1≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비가 1 이하이면 원활한 증기의 흐름이 저해되어 증착률이 적게 되고, 10보다 크면 외부로 열이 방출되어 피증착 기판에 악영향을 줄 수 있기 때문이다. In the present invention, the ratio of the conductance (CA) at the lower end of the connection passage 22 and the conductance (CB) at the upper end of the connection passage 22 of the connection pipe 20 is 1≦CA/CB≦10. I can. If the ratio of the conductance (CA) at the lower end of the connection passage 22 and the conductance (CB) at the upper end of the connection passage 22 is 1 or less, smooth vapor flow is inhibited and the deposition rate decreases, and if it is greater than 10, heat to the outside This is because is emitted and may adversely affect the substrate to be deposited.

가장 바람직하게는 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 2≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 이는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 적어도 50% 이하의 면적을 갖는 것이 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시켜 증착 물질의 속도 및 온도 상승의 효과가 있기 때문이다. Most preferably, a ratio of the conductance CA at the lower end of the connection passage 22 and the conductance CB at the upper end of the connection passage 22 of the connection pipe 20 may be 2≦CA/CB≦10. . This is because the fact that the upper end of the connection passage 22 has an area of at least 50% or less compared to the lower end of the connection passage 22 increases the vaporization pressure of the deposition material, thereby increasing the speed and temperature of the deposition material. .

선형 증발원에서, 재료의 분배 및 가열의 불균일성을 배제하기 위한 중요한 설계 변수는 컨덕턴스로서, 소정의 증착 속도를 발생시키는데 필요한 압력은 구멍의 크기가 감소할수록 증가할 것이므로 증착 물질이 배출되는 구멍의 크기를 감소시켜 컨덕턴스를 줄일 필요가 있다. In a linear evaporation source, an important design variable to exclude the non-uniformity of the distribution and heating of the material is conductance, and the pressure required to generate a given deposition rate will increase as the size of the hole decreases, so the size of the hole through which the deposited material is discharged is reduced. It is necessary to reduce conductance by reducing it.

이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 상기 도가니(10)의 유출구(12)가 원형 도가니(10) 내경보다 50% 이하로 형성되어 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부도 하단부에 비해 50% 이하로 형성되어 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들게 되므로, 증착 물질이 도가니(10)에서 분배관(30)으로 배출되는 동안 배출구멍의 직경이 25% 이하로 축소되어 컨덕턴스가 크게 줄어들고 분사압력은 크게 높일 수 있는 구성을 갖는다. In such a linear evaporation source of the present invention, since the outlet 12 of the crucible 10 is formed to be 50% or less than the inner diameter of the circular crucible 10, the conductance is primarily reduced, and the connection passage 22 of the connection pipe 20 Since the upper part is formed to be less than 50% compared to the lower part, the conductance is secondarily reduced, so that the diameter of the discharge hole is reduced to 25% or less while the deposited material is discharged from the crucible 10 to the distribution pipe 30, resulting in a large conductance. It has a configuration that can be reduced and the injection pressure can be greatly increased.

한편, 상기 연결관(20)의 상부에는 분배관(30)이 설치되는데, 상기 분배관(30)은 박막이 증착될 기판(도시안함)의 일면과 대향하도록 이격 배치되는 것으로, 그 상측에 복수의 노즐(40) 또는 분배공이 형성되어 상기 도가니(10)에서의 증착 물질을 기판(도시안함) 상에 분사한다. On the other hand, a distribution pipe 30 is installed on the upper part of the connection pipe 20, and the distribution pipe 30 is disposed so as to face one surface of a substrate (not shown) on which a thin film is to be deposited. A nozzle 40 or a distribution hole is formed to spray the deposition material in the crucible 10 onto a substrate (not shown).

상기 노즐(40) 또는 분배공은 상기 분배관(30)의 상면을 관통하도록 형성되어, 기판 방향으로 증발된 원료 물질을 공급하는 역할을 한다. 이때, 기판의 중심부뿐만 아니라 기판의 주변부에도 원료 물질이 균일하게 도달되도록, 분배관(30)의 중심부에 위치된 노즐(40)은 기판면과 수직을 이루도록 형성되고, 분배관(30)의 주변부로 갈수록 상기 노즐(40)은 기판면의 외측을 향해 더욱 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.The nozzle 40 or the distribution hole is formed to penetrate the upper surface of the distribution pipe 30 and serves to supply the evaporated raw material toward the substrate. At this time, the nozzle 40 positioned in the center of the distribution pipe 30 is formed to be perpendicular to the substrate surface so that the raw material reaches the center of the substrate as well as the peripheral portion of the substrate evenly, and the peripheral portion of the distribution pipe 30 It is preferable that the nozzle 40 is formed to be more inclined toward the outside of the substrate surface as it goes to.

이러한 분배관(30)은 상기 노즐(40) 또는 분배공을 통해 기판의 일면에 증발된 원료 물질 예컨대, 유기물을 다수의 경로로 균일하게 분배하여 공급한다. 이를 위해, 본 발명은 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 균일하게 혼합할 수 있는 혼합영역(32b)을 분배관(30) 내부에 구비한 것을 특징으로 하는데, 본 발명에서는 상기 혼합영역(32b)을 분배통로(32)의 일부에 형성하였다. The distribution pipe 30 uniformly distributes and supplies a raw material, such as an organic material, evaporated to one surface of the substrate through the nozzle 40 or the distribution hole through a plurality of paths. To this end, the present invention is characterized in that a mixing region 32b capable of uniformly mixing the evaporation material evaporated from the crucible 10 is provided inside the distribution pipe 30. In the present invention, the mixing region 32b ) Was formed in a part of the distribution passage 32.

즉, 상기 분배통로(32)는 상기 연결통로(22)에 연통되어 증착 물질이 공급되는 인입구(32a)와, 상기 증착 물질을 기판 상에 분사하는 배출구(32c)와, 상기 배출구(32c)를 통해 분사되는 증착 물질이 상기 분배관(32) 내에서 균일하게 분포되도록 상기 증착 물질을 혼합시키기 위한 혼합영역(32b)을 포함한다.That is, the distribution passage 32 includes an inlet 32a communicating with the connection passage 22 to supply a deposition material, an outlet 32c for spraying the deposition material onto the substrate, and the outlet 32c. It includes a mixing region 32b for mixing the deposition material so that the deposition material sprayed through is uniformly distributed in the distribution pipe 32.

상기 혼합영역(32b)은 상기 인입구(32a)와 배출구(32c) 사이의 중간부분에 형성되는 것으로서, 도 1에서 보는 바와 같이, 소정의 공간을 갖는 공동(cavity)으로 이루어진다. 이와 같이 소정의 공간을 갖는 공동으로 이루어진 혼합영역(32b)은 상기 인입구(32a)를 통해 연결관(20)에서 유입된 증착 물질이 상방향으로 상승하면서 상기 혼합영역(32b)에서 섞일 수 있도록 하여, 균일하게 혼합된 증착 물질이 상기 배출구(32c)를 통해 배출될 수 있게 한다. The mixing region 32b is formed in an intermediate portion between the inlet 32a and the outlet 32c, and is formed of a cavity having a predetermined space as shown in FIG. 1. As such, the mixing region 32b made of a cavity having a predetermined space allows the deposition material introduced from the connection pipe 20 through the inlet 32a to rise upward and mix in the mixing region 32b. , Evaporation material uniformly mixed can be discharged through the outlet (32c).

여기서, 상기 혼합영역(32b)은 상기 연결통로(22)에서 유입되는 증착 물질이 상방향으로 이동하면서 혼합되기 용이하도록 적어도 일측면이 유선형으로 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 혼합영역(32b)의 타측면은 인입구(32a)와 배출구(32c)를 일직선으로 이어주도록 형성되고, 혼합영역(32b)의 일측면은 상방향으로 상승하는 증착 물질이 혼합영역(32b)을 통해 혼합되는 것이 용이하도록 유선형으로 이루어지어 증착 물질의 상향 기류가 원활하게 이루어지도록 하는 형상을 갖는 것이다. Here, it is preferable that at least one side of the mixing region 32b has a streamlined shape so that the deposition material flowing in the connection passage 22 moves upward and is easily mixed. That is, as shown in Fig. 1, the other side of the mixing area 32b is formed to connect the inlet 32a and the outlet 32c in a straight line, and one side of the mixing area 32b rises upward. The evaporation material is formed in a streamlined shape to facilitate mixing through the mixing region 32b, so that the evaporation material has a shape to smoothly flow upward.

이 경우, 상기 혼합영역(32b)의 일측면은 증착 물질의 혼합이 극대화 되도록 반구형으로 이루어지는 것도 가능하다. In this case, one side of the mixing region 32b may have a hemispherical shape to maximize mixing of the deposition material.

이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 원통형 도가니(10)에서 기화된 유기물이 상기 연결관(20)을 통과하면서 1차적으로 압력이 증가하는데, 이때 상기 반구형의 넓은 면적을 가진 혼합영역(32b)이 분배관(30)의 분배통로(32)에 구비되어 있으므로, 유기 기화물을 선형 분배관(30) 전체에 균일하게 분포시키고 섞이게 하기가 매우 용이하다. In the linear evaporation source of the present invention, as the organic matter vaporized in the cylindrical crucible 10 passes through the connector 20, the pressure first increases, and the mixed region 32b having a large area of the hemispherical shape is divided. Since it is provided in the distribution passage 32 of the pipe 30, it is very easy to uniformly distribute and mix organic vapors throughout the linear distribution pipe 30.

이와 같은 혼합영역(32b)은 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 분배관(30)의 길이방향으로 길게 형성된다. 본 발명의 상기 분배관(30)은 수평방향으로 길게 연장된 직육면체 형상으로서, 상기 혼합영역(32b)은 분배관(30)의 길이방향으로 길게 형성되어 전체 노즐(40) 또는 분배공에 균일하게 분포된 증착 물질을 제공하도록 한다. As shown in FIG. 2, the mixing region 32b is formed to be elongated in the longitudinal direction of the distribution pipe 30. The distribution pipe 30 of the present invention has a rectangular parallelepiped shape elongated in the horizontal direction, and the mixing region 32b is formed elongated in the longitudinal direction of the distribution pipe 30 to be uniformly applied to the entire nozzle 40 or the distribution hole. To provide a distributed deposition material.

한편, 상기 분배통로(32)의 인입구(32a)는 상기 연결관(20)의 연결통로(22)에서 상기 혼합영역(32b)을 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 인입구(32a)의 하단부는 상기 연결통로(22)의 상단부와 동일한 크기로 형성되고, 상기 인입구(32a)의 상단부는 상기 길이방향으로 형성된 혼합영역(32b)의 양단과 연결되도록 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이다. On the other hand, the inlet (32a) of the distribution passage (32) is preferably formed in a trapezoidal shape gradually widening toward the top so as to connect the mixing region (32b) in the connection passage (22) of the connection pipe (20). . That is, the lower end of the inlet 32a is formed to have the same size as the upper end of the connection passage 22, and the upper end of the inlet 32a has a trapezoidal shape to be connected to both ends of the mixing region 32b formed in the longitudinal direction. It is formed by

이와 같은 인입구(32a)의 형상은 기류가 원활하게 확산될 수 있도록 하기 위함으로써, 상기 인입구(32a)의 형상을 따라 기화된 증착 물질은 상기 연결통로(22)에서 혼합영역(32b)으로 확산되면서 상방향으로 증발된다. The shape of the inlet 32a is to allow the airflow to be smoothly diffused, so that the vaporized deposition material along the shape of the inlet 32a diffuses from the connection passage 22 to the mixing region 32b. Evaporates upward.

여기서, 상기 인입구(32a)의 사다리꼴 형상이 이루는 각도가 얼마냐에 따라서 기류의 확산 속도 등에 영향을 미칠 수 있다. 일반적인 유체일 경우 수평면을 기준으로 0°로 형성함도 가능하지만, 본 발명의 증착 물질은 기화된 기체상태이므로 원활한 확산을 위해 상기 인입구(32a) 하면의 경사 각도는 10°~ 20°가 바람직하다. Here, depending on the angle formed by the trapezoidal shape of the inlet 32a, the diffusion speed of the airflow may be affected. In the case of a general fluid, it is possible to form 0° with respect to the horizontal plane, but since the evaporation material of the present invention is in a vaporized gas state, the inclination angle of the lower surface of the inlet 32a is preferably 10° to 20° for smooth diffusion. .

상기 혼합영역(32b)의 일측면 유선형을 따라 혼합된 증착 물질은 상기 배출구(32c)를 통해 기판 상에 분사되는데, 본 발명에서, 상기 배출구(32c)는 증착 물질의 압력을 상대적으로 높이기 위해서 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 폭보다 좁은 폭으로 이루어질 수 있다. The deposition material mixed along the streamlined shape of one side of the mixing region 32b is sprayed onto the substrate through the discharge port 32c. In the present invention, the discharge port 32c is used to relatively increase the pressure of the deposition material. It may be made with a width narrower than the width of the connection passage 22 of the connection pipe 20.

한편, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에는 각각의 구성부품에 열을 제공하며, 그 내부에 저장되거나 통과되는 원료 물질을 기화시키는 역할을 하는 가열부재가 설치되는데, 본 발명에서 상기 가열부재는 히팅 블럭(heating block)으로 이루어지어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30) 내부에 설치된다. On the other hand, the crucible 10, the connection pipe 20, or the distribution pipe 30 is provided with a heating member that provides heat to each component and vaporizes the raw material stored or passed therein. , In the present invention, the heating member is made of a heating block and is installed inside the crucible 10, the connection pipe 20, or the distribution pipe 30.

이와 같은 본 발명의 가열부재는 종래의 열선과는 달리 히팅 블럭으로 설치되므로, 히터의 구성이 용이하여 유지보수가 편리하고, 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있다. Since the heating member of the present invention is installed as a heating block, unlike a conventional heating wire, the heater is easily configured for convenient maintenance, and it is configured for each area to uniformly heat the deposition material.

상기 가열부재는 상기 도가니(10)에 형성되는 도가니 히터(52)와, 상기 연결관(20)에 장착되는 연결관 히터(54)와, 상기 분배관(30)에 장착되는 분배관 히터(56)(58)로 이루어질 수 있다. The heating member includes a crucible heater 52 formed in the crucible 10, a connector heater 54 mounted on the connector 20, and a distribution tube heater 56 mounted on the distribution tube 30. ) (58).

상기 도가니 히터(52), 연결관 히터(54) 및 분배관 히터(56)(58)의 배면에는 단열재(62)가 설치되어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)이 상기 히터들로 인한 열변형을 최소화한다. The crucible heater 52, the connector heater 54, and the distribution pipe heater 56, 58 is installed on the rear surface of the insulation material 62, the crucible 10, the connection pipe 20 or the distribution pipe 30 It minimizes thermal deformation due to these heaters.

한편, 상기 도가니 히터(52)는 상부 도가니 히터(52b)와 하부 도가니 히터(52a)로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분된다. 이와 같이 2개의 영역으로 구분되는 도가니 히터(52)는 상기 도가니(10)에 수용되는 증착 물질을 보다 효율적으로 가열하게 되며, 증착 물질이 일정량 소모되더라도 상기 하부 도가니 히터(52a)가 남겨진 증착 물질을 효과적으로 가열할 수 있으므로 증착 물질의 사용효율을 향상시키는 장점이 있다. Meanwhile, the crucible heater 52 includes an upper crucible heater 52b and a lower crucible heater 52a, so that the heater control area is divided into two areas. The crucible heater 52 divided into two areas as described above more efficiently heats the deposition material accommodated in the crucible 10, and even if a certain amount of the deposition material is consumed, the lower crucible heater 52a removes the deposition material remaining. Since it can be heated effectively, there is an advantage of improving the use efficiency of the deposition material.

또한, 상기 분배관 히터(56)(58)는 분배관(30)의 일면과 타면, 양측으로 설치되는데, 상기 분배관(30)이 일방향으로 긴 직육면체의 형상으로 이루어져 있으므로, 예컨대 상기 분배관(30)의 전면과 후면에 각각 설치될 수 있다. In addition, the distribution pipe heaters 56 and 58 are installed on one side and the other side of the distribution pipe 30, and both sides, and the distribution pipe 30 is formed in a shape of a rectangular parallelepiped in one direction, for example, the distribution pipe ( 30) can be installed in the front and rear respectively.

이 경우, 일면에 설치되는 히터는 3개의 영역으로 구분된다. 즉, 상기 인입구(32a) 측부에 설치되는 하부 분배관 히터(56a)와, 상기 혼합영역(32b) 측부에 설치되는 중앙 분배관 히터(56b)와, 상기 배출구(32c) 측부에 설치되는 상부 분배관 히터(56c)로 이루어질 수 있다. In this case, the heater installed on one surface is divided into three areas. That is, the lower distribution pipe heater 56a installed on the side of the inlet 32a, the central distribution pipe heater 56b installed on the side of the mixing region 32b, and the upper portion installed on the side of the outlet 32c. It may be made of a pipe heater (56c).

각각의 하부 분배관 히터(56a), 중앙 분배관 히터(56b), 상부 분배관 히터(56c)는 상기 인입구(32a), 혼합영역(32b), 배출구(32c)의 높이에 대응되는 높이로 형성되는 것이 바람직하다. Each of the lower distribution pipe heater (56a), the central distribution pipe heater (56b), and the upper distribution pipe heater (56c) are formed at a height corresponding to the height of the inlet (32a), the mixing region (32b), and the outlet (32c) It is desirable to be.

본 발명에서는 중앙 분배관 히터(56b)가 하부 분배관 히터(56a) 또는 상부 분배관 히터(56c)보다 대용량으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 중앙 분배관 히터(56b)가 상기 혼합영역(32b)을 가열할 때 증착 물질을 좀 더 가열할 수 있도록 하기 위한 것으로, 상기 혼합영역(32b)은 인입구(32a)나 배출구(32c)에 비해 용적이 크게 이루어지어 단열팽창의 효과가 있게 되므로, 온도가 낮아질 수 있다. In the present invention, it is preferable that the central distribution pipe heater 56b has a larger capacity than the lower distribution pipe heater 56a or the upper distribution pipe heater 56c. This is to allow the central distribution pipe heater 56b to further heat the deposition material when heating the mixing region 32b, and the mixing region 32b is compared to the inlet 32a or the outlet 32c. Since the volume is made large, there is an effect of adiabatic expansion, so the temperature may be lowered.

따라서, 증착 물질의 원활한 기화를 위해서 보다 높은 온도로 혼합영역(32b)을 가열할 필요가 있는 것이다. Therefore, it is necessary to heat the mixed region 32b to a higher temperature for smooth vaporization of the evaporation material.

이와 같은 하부 분배관 히터(56a), 중앙 분배관 히터(56b), 상부 분배관 히터(56c)는 상기 인입구(32a), 혼합영역(32b), 배출구(32c)를 통과하는 증착 물질을 직접 가열하기 위해 설치되는 것으로, 상기 인입구(32a), 혼합영역(32b), 배출구(32c)에 근접하게 설치되는 것이 바람직하다.The lower distribution pipe heater 56a, the central distribution pipe heater 56b, and the upper distribution pipe heater 56c directly heat the deposition material passing through the inlet 32a, the mixing region 32b, and the outlet 32c. In order to be installed, it is preferable to be installed close to the inlet 32a, the mixing region 32b, and the outlet 32c.

한편, 상기 분배관(30)의 타면에 설치되는 히터(58)는 분배관(30)의 열을 유지시켜주기 위한 목적으로 설치되며, 따라서 한 개의 영역으로 설치됨도 가능하다. On the other hand, the heater 58 installed on the other surface of the distribution pipe 30 is installed for the purpose of maintaining the heat of the distribution pipe 30, and thus may be installed in one area.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예는 대용량의 도가니(10)를 적용하여 충분히 필요한 양만큼의 원료 물질을 제공할 수 있고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있다. The first embodiment of the present invention having such a configuration can provide a sufficiently required amount of raw material by applying a large-capacity crucible 10, and reduce the height of the linear evaporation source to reduce the pass line of the device. Can be lowered.

또한, 분배관(30) 내부에 증착 물질이 균일하게 혼합되도록 하는 혼합영역(32b)이 형성됨으로써, 유기 기화물이 균일하게 분포되어 기판 상에 분사될 수 있다. In addition, since the mixing region 32b for uniformly mixing the deposition material is formed in the distribution pipe 30, the organic vapor is uniformly distributed and sprayed onto the substrate.

한편, 첨부한 도 3은 본 발명의 제2 실시예를 도시한 측단면도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 적용된 노즐을 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 평면도이다. On the other hand, the accompanying Figure 3 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of the present invention, Figure 4 is a perspective view showing a nozzle applied to the second embodiment of the present invention, Figure 5 is a second embodiment of the present invention It is a plan view showing.

본 발명의 제2 실시예는 상기 배출구(32c)에 착탈식의 노즐(40)을 끼우는 구성을 갖는다. The second embodiment of the present invention has a configuration in which the detachable nozzle 40 is fitted to the outlet 32c.

상기 노즐(40)은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 배출구(32c)에 끼워지는 끼움편(44)이 하방향으로 돌출형성되고, 상기 끼움편(44)의 상부에는 상기 배출구(32c)를 폐쇄할 수 있는 폭을 갖는 노즐캡이 구성되어, 'T'자형 단면을 갖는 모양으로 이루어진다. As shown in FIGS. 4 and 5, the nozzle 40 has a fitting piece 44 fitted into the outlet 32c protruding downward, and the outlet ( A nozzle cap having a width capable of closing 32c) is configured, and has a shape having a'T'-shaped cross section.

상기 노즐캡에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수 개의 슬릿(42)이 형성되는데, 상기 슬릿(42)은 일정간격 또는 노즐캡의 중앙부보다 양단부에 더욱 촘촘하게 형성되는 것이 바람직하다. A plurality of slits 42 for spraying a deposition material are formed on the nozzle cap, and the slits 42 are preferably formed at predetermined intervals or more densely at both ends than at the center of the nozzle cap.

상기 끼움편(44)은 복수 개로 형성될 수 있다. The fitting piece 44 may be formed in plural.

즉, 분배관(30)의 길이방향으로 형성된 상기 배출구(32c)에 상기 노즐(40)이 끼워지어 고정력을 충분히 발휘할 수 있도록 복수 개의 끼움편(44)이 소정의 간격으로 형성되는 것이다. That is, a plurality of fitting pieces 44 are formed at predetermined intervals so that the nozzle 40 is fitted to the outlet 32c formed in the longitudinal direction of the distribution pipe 30 to sufficiently exert a fixing force.

이 경우, 상기 끼움편(44)은 상기 슬릿(42)과 번갈아가며 교대로 형성될 수 있다. 즉, 상기 끼움편(44)이 인접한 슬릿(42)의 사이사이에 형성되는 것이다. In this case, the fitting pieces 44 may be formed alternately with the slit 42. That is, the fitting piece 44 is formed between adjacent slits 42.

이와 같은 구조의 노즐(40)은 상기 복수개의 끼움편(44)이 배출구(32c)에 끼워지어 고정되므로 고정된 상태를 견고하게 유지할 수 있고, 착탈식으로 노즐(40)을 설치함으로써, 필요시에는 노즐(40)의 분리가 가능한 장점이 있다. The nozzle 40 having such a structure can maintain the fixed state firmly because the plurality of fitting pieces 44 are fitted and fixed in the outlet 32c, and by installing the nozzle 40 in a detachable manner, if necessary There is an advantage that the nozzle 40 can be separated.

따라서, 노즐(40) 또는 분배관(30)의 클리닝이 매우 용이하다. Therefore, it is very easy to clean the nozzle 40 or the distribution pipe 30.

이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 상기 도가니(10)에서 증발되는 원료 물질이 분배관(30)의 혼합영역(32b)에 유입되어 균일하게 혼합된 후 상기 분배관(30)의 배출구(32c)에 연통된 슬릿(42)을 통해 기판 상으로 분사되어 박막 두께의 균일도를 향상시킬 수 있다. In such a linear evaporation source of the present invention, the raw material evaporated from the crucible 10 is introduced into the mixing region 32b of the distribution pipe 30 and uniformly mixed, and then the raw material is uniformly mixed at the outlet 32c of the distribution pipe 30. The uniformity of the thickness of the thin film may be improved by spraying onto the substrate through the communicated slit 42.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by what is described in the claims, and that a person having ordinary knowledge in the field of the present invention can make various modifications and adaptations within the scope of the rights described in the claims. It is self-evident.

10: 도가니 12: 유출구
20: 연결관 22: 연결통로
30: 분배관 32: 분배통로
32a: 인입구 32b: 혼합영역
32c: 배출구10: crucible 12: outlet
20: connector 22: connection passage
30: distribution pipe 32: distribution passage
32a: inlet 32b: mixed region
32c: outlet

Claims (15)

증착 물질을 수용하는 도가니;
상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관;
상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관; 및
상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재;
를 포함하며,
상기 도가니 및 상기 연결관 및 상기 분배관은,
개별적으로 볼 ‹š, 하부측 보다 상부측에 더 작은 내경을 가지고,
직육면체로 이루어진 상기 분배관을 절단시 상기 분배관의 중심 축을 지나면서 상기 직육면체의 단(短)변을 보이는 절단면을 볼 때, 상기 도가니로부터 상기 분배관을 향해 점진적으로 작아져 상기 증착물질의 증기 흐름을 유도하는 공동(cavity)을 가지고,
상기 분배관의 분배통로는,
상기 연결통로에 연통되어 증착 물질이 공급되는 인입구와,
상기 증착 물질을 기판 상에 분사하는 배출구와,
상기 배출구를 통해 분사되는 증착 물질이 상기 분배관 내에서 균일하게 분포되도록 상기 증착 물질을 혼합시키기 위한 혼합영역을 포함하고,
상기 분배관은,
상기 직육면체로 이루어진 상기 분배관을 절단시 상기 분배관의 상기 중심 축을 지나면서 상기 직육면체의 상기 단(短)변을 보이는 상기 절단면을 볼 때, 상기 인입구와 상기 혼합영역과 상기 배출구의 일측을 따라 형성되는 유선 형상과 함께, 상기 인입구와 상기 혼합영역과 상기 배출구의 타측을 따라 형성되는 직선 형상을 가지는 선형 증발원.A crucible containing a deposition material;
A connection pipe communicating with the outlet of the crucible to form a connection passage through which the evaporation material evaporated from the crucible passes;
A distribution pipe communicating with the connection passage of the connection pipe to form a distribution passage for diverging and discharging the deposition material introduced from the connection passage into a plurality of passages; And
A heating member for heating the deposition material in the crucible, the connection pipe, or the distribution pipe;
Including,
The crucible and the connection pipe and the distribution pipe,
Individually ball ‹š, with a smaller inner diameter on the upper side than on the lower side,
When cutting the distribution tube made of a rectangular parallelepiped, when viewing the cut surface showing the short side of the rectangular parallelepiped while passing through the central axis of the distribution tube, the vapor flow of the deposition material gradually decreases from the crucible toward the distribution tube Has a cavity that induces
The distribution passage of the distribution pipe,
An inlet through which the deposition material is supplied by communicating with the connection passage,
An outlet for spraying the deposition material onto the substrate,
And a mixing region for mixing the deposition material so that the deposition material sprayed through the discharge port is uniformly distributed in the distribution pipe,
The distribution pipe,
When cutting the distribution pipe made of the rectangular parallelepiped, when viewing the cut surface showing the short side of the rectangular parallelepiped while passing the central axis of the distribution tube, it is formed along one side of the inlet, the mixing region and the outlet A linear evaporation source having a straight line shape formed along the inlet, the mixing region, and the other side of the outlet with a streamlined shape. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 분배통로의 인입구는 상기 연결관의 연결통로에서 상기 혼합영역을 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.The method according to claim 1,
A linear evaporation source, characterized in that the inlet of the distribution passage is formed in a trapezoidal shape gradually widening toward an upper portion so as to connect the mixing region in the connection passage of the connection pipe. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method according to claim 1,
The heating member is a linear evaporation source, characterized in that made of a heating block and installed in the crucible, the connection pipe or the distribution pipe. 청구항 1 또는 청구항 8에 있어서,
상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와,
상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와,
상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method according to claim 1 or 8,
The heating member includes a crucible heater formed in the crucible,
A connector heater mounted on the connector,
Linear evaporation source, characterized in that consisting of a distribution pipe heater mounted on the distribution pipe. 청구항 9에 있어서,
상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method of claim 9,
Linear evaporation source, characterized in that the heat insulation is installed on the back of the crucible heater, the connector heater and the distribution tube heater. 청구항 9에 있어서,
상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어,
히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method of claim 9,
The crucible heater consists of an upper crucible heater and a lower crucible heater,
Linear evaporation source, characterized in that the heater control area is divided into two areas. 청구항 9에 있어서, 상기 분배관 히터는,
상기 인입구 측부에 설치되는 하부 분배관 히터와,
상기 혼합영역 측부에 설치되는 중앙 분배관 히터와,
상기 배출구 측부에 설치되는 상부 분배관 히터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method of claim 9, wherein the distribution pipe heater,
A lower distribution pipe heater installed on the side of the inlet,
A central distribution pipe heater installed on the side of the mixing region,
Linear evaporation source, characterized in that consisting of an upper distribution pipe heater installed on the outlet side. 청구항 12에 있어서,
상기 중앙 분배관 히터가 하부 분배관 히터 또는 상부 분배관 히터보다 대용량으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원. The method of claim 12,
The linear evaporation source, characterized in that the central distribution pipe heater is made of a larger capacity than the lower distribution pipe heater or the upper distribution pipe heater. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 배출구에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수개의 슬릿이 형성되는 노즐이 착탈식으로 끼워지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.

The method according to claim 1,
A linear evaporation source, characterized in that a nozzle in which a plurality of slits for spraying a deposition material is formed is detachably fitted to the outlet.
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