KR101571870B1 - 슬러리 제거 장치 및 이를 포함하는 유리판 연마 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치는, 유리판 상에 존재하는 연마액 슬러리를 제거하는 장치로서, 상기 유리판 상에 세척액을 분사하는 세척액 분사 유닛; 및 상기 유리판 상에 에어를 분사하는 것으로서 적어도 2 이상의 에어 분사구를 구비하는 에어 분사 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유리판을 연마하는 과정에서 유리판 상에 남게 되는 연마액 슬러리를 효과적으로 제거함으로써 이후의 공정이 원활하게 이루어질 수 있으며 전체적인 유리판 연마 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

슬러리 제거 장치 및 이를 포함하는 유리판 연마 시스템{Slurry removal device and Polishing system for glass plate comprising the same}
본 발명은 슬러리 제거 장치 및 이를 포함하는 유리판 연마 시스템에 관한 것으로서, 구체적으로는 유리판 연마에 사용되는 연마액 슬러리를 유리판으로부터 효과적으로 제거할 수 있는 슬러리 제거 장치 및 이를 포함하는 유리판 연마 시스템에 관한 것이다.
각종 디스플레이의 기판에 적용되는 유리판은 화상을 정확히 구현하기 위하여 표면의 평탄도를 일정 수준으로 유지하는 것이 매우 중요하다. 따라서, 플로트 챔버를 통해 성형된 플로트 유리판의 표면에 존재하는 미세한 요철 또는 기복은 연마 공정에 의하여 제거되어야 한다.
상기 유리판은 표면적이 매우 넓기 때문에 연마를 위해서는 유리판을 평면상에 위치시킬 필요가 있으며, 일반적으로는 유리판용 캐리어(carrier)를 마련하여, 이 유리판용 캐리어 위에 유리판이 적재된 상태에서 유리판이 연마된다.
그리고, 유리판이 연마되는 중에 유리판과 캐리어와의 사이에 슬립이 일어나서 유리판에 스크래치가 발생하는 것을 방지하기 위하여, 캐리어의 상면에는 통상적으로 고무재질의 패드가 부착된다.
도 1을 참조하면, 유리판 연마 공정은 대략적으로 캐리어의 상면에 패드를 라미네이팅하는 단계(S1), 공정라인 상에 캐리어를 투입하는 단계(S2), 패드 상에 유리판을 위치시키는 단계(S3), 유리판의 표면을 연마하는 단계(S4), 연마가 완료된 유리판을 취출하는 단계(S5) 및 캐리어 상에서 패드를 박리시키는 단계(S6)를 포함할 수 있다.
상기 단계 S4는 유리판 상에 연마액을 분사하면서 연마 패드가 부착된 연마 장치를 이용하여 유리판의 표면을 연마하는 단계에 해당하는데, 이러한 연마 공정이 끝난 후 다음 공정을 위해 캐리어를 이동시키기 전에 또는 이동 과정에서 유리판 상에 존재하는 연마액 슬러리를 제거할 필요가 있다.
한편, 상기 단계 S4는, 복수회의 연마 공정을 포함할 수 있는데, 이 경우에도 마찬가지로 특정 연마 공정이 종료된 후 다음 연마 공정을 수행하기 전에 연마액 슬러리를 제거할 필요가 있다.
이러한 연마액 슬러리를 제거하기 위한 공정을 통해 유리판 상의 연마액이 신속하고 깔끔하게 제거되어야 다음 공정이 원활하게 이루어질 수 있으며 전체적인 유리판 연마 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
따라서, 연마 단계를 통해 유리판 상에 남게 되는 연마액 슬러리를 신속하고 깔끔하게 제거할 수 있는 슬러리 제거 장치에 대한 개발이 요구되는 실정이다.
본 발명은 상술한 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 유피판 연마 단계를 통해 유리판 상에 남게 되는 연마액 슬러리를 효과적으로 제거할 수 있는 슬러리 제거 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
다만, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 기재된 발명의 설명으로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치는, 유리판 상에 존재하는 연마액 슬러리를 제거하는 장치로서, 상기 유리판 상에 세척액을 분사하는 세척액 분사 유닛; 및 상기 유리판 상에 에어를 분사하는 것으로서 적어도 2 이상의 에어 분사구를 구비하는 에어 분사 유닛을 포함한다.
상기 2 이상의 에어 분사구는, 상기 유리판의 길이 방향을 따라 서로 다른 위치에 에어가 분사될 수 있도록 상호간에 나란하게 위치할 수 있다.
상기 에어 분사 유닛은, 상기 유리판의 진행 방향과 반대 방향을 향해 틸팅될 수 있다.
상기 에어 분사 유닛은, 상기 유리판의 폭 방향을 따라 연장된 회전축을 기준으로 하여 회전 가능하도록 설치된 회전형 분사 유닛일 수 있다.
상기 에어 분사 유닛은, 상기 유리판의 폭 방향을 따라 복수개 구비될 수 있다.
상기 에어 분사구는, 상기 유리판의 폭 방향을 따라 연장되는 슬릿 형태로 구현될 수 있다.
상기 에어 분사 유닛은, 에어의 분사 각도가 변화될 수 있도록 회동 가능하게 설치될 수 있다.
상기 세척액 분사 유닛은, 상기 에어 분사 유닛의 상부에 설치될 수 있다.
상기 슬러리 제거 장치는, 상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛과 상기 유리판 사이의 간격을 조절하는 간격 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 슬러리 제거 장치는, 상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛을 상기 유리판의 길이 방향을 따라 이동시키는 제1 수평 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 슬러리 제거 장치는, 상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛을 상기 유리판의 폭 방향을 따라 이동시키는 제2 수평 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 수평 이동 유닛은, 오실레이터일 수 있다.
상기 슬러리 제거 장치는, 상기 유리판의 상면을 연마하는 연마 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 연마 유닛은, 상기 유리판과 나란하게 위치하는 상정반; 및 상기 상정반이 회전 가능하도록 중심축을 이루는 스핀들을 포함할 수 있다.
상기 슬러리 제거 장치는, 상기 유리판을 수평 방향으로 이송시키는 이송 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상술한 기술적 과제는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리판 연마 시스템에 의해서도 해결될 수 있다. 이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 유리판 연마 시스템은, 상기 슬러리 제거 장치를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유리판을 연마하는 과정에서 유리판 상에 남게 되는 연마액 슬러리를 효과적으로 제거함으로써 이후의 공정이 원활하게 이루어질 수 있으며, 전체적인 유리판 연마 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 유리판 연마 공정의 개략적인 흐름을 예시적으로 나타내는 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 변형 예를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 변형 예를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도(도 7 및 도 8) 및 사시도(도 9)이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일부 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)를 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)는 에어 분사 유닛(11), 세척액 분사 유닛(12) 및 분사 유닛(11,12)을 고정시키는 분사 유닛 프레임(13)을 포함할 수 있으며, 유리판(G)을 수평 방향으로 이송시키는 이송 유닛(14)을 더 포함할 수도 있다.
상기 분사 유닛(11)은 유리판(G) 상에 존재하는 슬러리(S)를 제거하기 위해 유리판(G)을 향해 에어(Air)를 분사하는 것으로서, 적어도 2 이상의 에어 분사구(H1)를 구비한다.
이러한 2 이상의 에어 분사구(H1)는 유리판(G)의 길이 방향(도 2를 기준으로 할 때 좌/우 방향을 의미하는 것으로서 이하 동일함)을 따라 서로 다른 위치에 에어가 분사될 수 있도록 상호간에 나란하게 위치한다. 상기 에어 분사구(H1)가 이처럼 배치됨으로써 이동하는 유리판(G) 상의 동일한 위치에 대해 반복적인 세척이 이루어질 수 있으며, 이는 슬러리(S) 제거 공정의 효율성을 증대시킨다.
또한, 상기 에어 분사 유닛(11)은 유리판(G)의 진행 방향과 반대 방향을 향하도록 틸팅될 수 있다. 즉, 상기 에어 분사 유닛(11)의 에어 분사구(H1)는 다가오는 유리판(G)을 향해 비스듬하게 에어를 분사하도록 배치될 수 있는 것이다.
이 경우, 상기 유리판(G) 상의 슬러리(S)에 분사되는 에어의 상대 속도가 증가될 뿐만 아니라 유리판(G) 상면으로부터 떨어져 나간 슬러리(S)가 유리판(G)의 이동 방향과 반대 방향을 향해 밀려나게 되므로 슬러리(S)가 더욱 효율적으로 제거될 수 있다.
상기 세척액 분사 유닛(12)은 유리판(G) 상에 세척액을 분사하는 것으로서, 적어도 하나의 세척액 분사구(H2)를 구비한다. 상기 세척액 분사구(H2)를 통해 분사된 세척액은 유리판(G) 표면에 존재하는 슬러리가 유리판(G) 표면으로부터 쉽게 제거될 수 있도록 한다.
이러한 세척액 분사 유닛(12)은 에어 분사 유닛(11)과 마찬가지로 유리판(G)의 이동 방향과 반대 방향을 향해 틸팅될 수 있다.
또한, 상기 세척액 분사 유닛(12)은 에어 분사 유닛(11)보다 상부에 위치할 수 있는데, 이 경우 유리판(G) 상의 동일 지점에 대해 세척액이 먼저 분사되고, 그 이후에 에어가 분사될 수 있게 되므로 슬러리(S)가 더욱 효율적으로 제거될 수 있다.
상기 이송 유닛(14)은 유리판(G)을 수평 방향(도 2를 기준으로 볼 때 좌/우 방향을 의미하는 것으로서 이하 동일함)으로 이송시키는 역할을 한다. 이러한 이송 유닛(14)은, 예를 들어, 적어도 하나의 구동 롤러(14a) 및 구동 롤러(14a)의 외주면에 밀착되어 구동 롤러(14a)의 회전에 따라 움직이는 이송 밸트(14b)를 포함하는 형태로 구현될 수 있다.
다만, 상기 이송 유닛(14)의 형태가 이에 한정되는 것은 아니며, 유리판(G)의 연마를 위한 공정 라인 상에서 유리판(G)을 직접 또는 간접적으로 지지하면서 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 형태를 갖는 것이라면 제한 없이 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)에 적용될 수 있는 것이다.
한편, 상기 유리판(G)은 직접 이송 유닛(14) 상에 적재되어 이송될 수도 있으나, 캐리어(C) 상에 적재되어 이송될 수도 있다. 이 경우, 상기 유리판(G)의 보호를 위해 캐리어(C) 상면에 패드(P)를 부착하고 그 위에 유리판(G)을 적재하여 이송하는 것도 가능하다. 또한, 상기 캐리어(C)는 고정을 위해 하정반(B) 상에 적재될 수 있다.
다음은, 도 3을 참조하여 상기 에어 분사 유닛(11)의 변형예를 설명하기로 한다.
도 3은 도 2에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 변형 예를 나타내는 측면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 에어 분사 유닛(11)은 회전하면서 에어를 분사하는 회전형 분사 유닛의 형태를 가질 수 있다. 즉, 상기 에어 분사 유닛(11)은, 예를 들어, 유리판(G)의 폭 방향(앞서 정의한 유리판(G)의 길이 방향에 수직한 방향으로서 이하 동일함)을 따라 연장된 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하도록 설치될 수 있다.
이 경우, 에어 분사구(H1)는 에어 분사 유닛(11)의 외주면을 따라 형성될 수 있다. 또한, 상기 에어 분사 유닛(11)의 회전 방향(R)은, 유리판(G)과 대면하는 에어 분사구(H1)가 유리판(G)의 이동 방향과 반대 방향을 향해 이동하도록 설정될 수 있다. 상기 회전 방향(R)이 이와 같이 설정되는 경우, 슬러리에 분사되는 에어의 상대 속도가 증가되어 슬러리가 더욱 효과적으로 제거될 수 있다.
다음은, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)에 적용된 에어 분사 유닛(10)의 구조를 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 도 2에 도시된 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 변형 예를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 상기 에어 분사 유닛(11)은 유리판(G)의 폭 방향을 따라 복수개 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 에어 분사 유닛(11)은 가능한 촘촘하게 설치되는 것이 효율적 세척의 측면에서 유리할 수 있다.
또한, 도 5를 참조하면, 상기 에어 분사 유닛(11)은, 도 4에 도시된 바와는 달리, 유리판(G)의 폭 방향을 따라 연장된 형태를 가질 수 있으며, 이에 따라 에어 분사구(H1) 역시 유리판(G)의 폭 방향을 따라 연장된 슬릿 형태를 갖도록 구현될 수 있다.
상기 에어 분사구(H1)가 이처럼 슬릿 형태를 갖는 경우, 유리판(G)의 폭 방향을 따라 연속적인 세척이 가능하게 되므로 좀 더 효율적인 세척이 가능하게 된다.
또한, 본 발명의 도면에서 구체적으로 도시하고 있지는 않으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 세척액 분사 유닛(12) 역시 도 4에 도시된 에어 분사 유닛(11)과 같이 유리판(G)의 폭 방향을 따라 복수개로 구비될 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 세척액 분사 유닛(12)에 구비된 세척액 분사구(H2)가, 도 5에 도시된 에어 분사 유닛(11)에 구비된 에어 분사구(H1)와 같이, 유리판(G)의 폭 방향을 따라 연장된 슬릿 형태로 구현될 수도 있다.
다음은, 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)에 적용된 에어 분사 유닛(11)의 틸팅(Tilting) 동작을 설명하기로 한다.
도 6은 도 1에 도시된 슬러리 제거 장치에 채용된 에어 분사 유닛의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)에 채용된 에어 분사 유닛(11)은 에어의 분사 각도가 조절될 수 있도록 회동 가능하게 설치될 수 있다.
즉, 상기 에어 분사 유닛(11)은 유리판(G)에 대한 에어의 입사 각도가 조절 가능하도록 제1 구동 유닛(M1)과 연결될 수 있다. 여기서, 상기 제1 구동 유닛(M1)은, 예를 들어, 유리판(G)의 폭 방향과 나란한 방향으로 연장된 회전축을 중심으로 하여 에어 분사 유닛(11)이 회동되도록 하는 모터일 수 있다.
한편, 상기 에어 분사 유닛(11)과 마찬가지로, 세척액 분사 유닛(12) 역시 회동 가능하도록 제2 구동 유닛(M2)과 연결된 형태로 구현될 수 있으며, 도면에 도시되지는 않았으나, 하나의 구동 유닛을 통해 에어 분사 유닛(11)과 세척액 분사 유닛(12)이 함께 회동되는 경우도 가능함은 물론이다.
다음은, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(20)를 설명하기로 한다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도(도 7 및 도 8) 및 사시도(도 9)이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(20)는, 도 2 내지 도 6을 통해 설명된 앞선 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10)와 비교하여, 분사 유닛(11,12)이 이동 가능한 구조를 갖는다는 점에서 차이가 있을 뿐, 그 밖의 사항들은 실질적으로 동일하다. 따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(20)를 설명함에 있어서는 분사 유닛(11,12)의 이동에 대해서 중점적으로 설명하기로 하며, 앞선 실시예에서와 중복되는 사항에 대해서는 그 구체적인 설명을 생략하기로 한다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(20)는, 에어 분사 유닛(11) 및 세척액 분사 유닛(12)이 유리판(G) 상에서 수직 방향(도 7에 도시된 화살표 방향 참조) 또는 수평 방향(도 8에 도시된 화살표 방향 또는 도 9에 도시된 화살표 방향 참조)으로 이동 가능한 구조를 가질 수 있다.
먼저, 도 7을 참조하면, 상기 슬러리 제거 장치(20)는 분사 유닛(11,12)과 유리판(G) 사이의 간격을 조절하는 간격 조절 유닛(15)을 포함할 수 있다.
상기 간격 조절 유닛(15)은, 예를 들어, 분사 유닛(11,12)과 직접 또는 간접적으로 연결되어 수직 왕복 운동을 가능하게 하는 액추에이터일 수 있다.
다음으로, 도 8을 참조하면, 상기 슬러리 제거 장치(20)는 분사 유닛(11,12)이 유리판(G)의 길이 방향을 따라 이동할 수 있도록 하는 제1 수평 이동 유닛(16)을 포함할 수 있다.
상기 제1 수평 운동 유닛(16)은, 예를 들어, 분사 유닛(11,12)과 직접 또는 간접적으로 연결되어 유리판(G)의 길이 방향을 따라 수평 왕복 운동을 가능하게 하는 액추에이터일 수 있다.
상기 제1 수평 운동 유닛(16)에 의해 에어 분사 유닛(11)이 유리판(G)의 이동 방향과 반대 방향을 향해 움직이면서 에어를 분사하는 경우, 슬러리에 대한 에어의 상대 속도가 더욱 증가됨으로써 세척력이 더욱 향상될 수 있으며, 공정 시간 또한 단축될 수 있다.
다음으로, 도 9를 참조하면, 상기 슬러리 제거 장치(20)는 분사 유닛(11,12)이 유리판(G)의 폭 방향을 따라 이동할 수 있도록 하는 제2 수평 이동 유닛(17)을 포함할 수 있다.
상기 제2 수평 운동 유닛(17)은, 예를 들어, 분사 유닛(11,12)과 직접 또는 간접적으로 연결되어 유리판(G)의 폭 방향을 따라 수평 왕복 운동을 가능하게 하는 액추에이터일 수 있다.
특히, 상기 제2 수평 운동 유닛(17)은, 유리판(G)의 폭 방향을 따라 소정의 진폭을 갖고 진동하는 오실레이터(Oscillator)일 수 있다. 이러한 오실레이터에 의해 분사 유닛(11,12)이 유리판(G)의 폭 방향으로 진동하는 경우 유리판(G)의 폭 방향을 따라 에어 및 세척액의 분사가 연속적으로 이루어짐으로써 세척의 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 슬러리 제거 장치(20)는 유리판(G)과 간격이 조절되는 형태, 유리판(G)의 길이 방향을 따라 이동할 수 있는 형태 및 유리판(G)의 폭 방향을 따라 움직일 수 있는 형태 중 어느 하나의 형태만을 가질 수도 있으나, 이들 중 적어도 2 이상이 조합된 형태로 구현될 수도 있음은 물론이다.
다음은, 도 10을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(30)를 설명하기로 한다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(30)는, 도 1 내지 도 9를 통해 설명된 앞선 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(10,20)와 비교하여, 연마 유닛(18)을 더 포함한다는 점에서 차이가 있을 뿐, 그 밖의 사항들은 실질적으로 동일한다. 따라서, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(30)를 설명함에 있어서는, 추가적 구성요소인 연마 유닛(18)에 대해서 중점적으로 설명하기로 하며, 앞선 실시예에서와 중복되는 사항에 대해서는 그 구체적인 설명을 생략하기로 한다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(30)는 유리판(G)의 상면을 연마하는 연마 유닛(18)을 포함하는 형태로 구현될 수 있다.
상기 연마 유닛(18)은, 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 그 일 예로서, 도 10에 도시된 바와 같이 유리판(G)의 상면과 나란하게 위치하는 상정반(18a), 상정반(18a)이 회전 가능하도록 중심 축을 이루는 스핀들(18b) 및 상정반(18a)과 유리판 하면(18a)에 부착되는 연마 패드(18c)를 포함하는 형태로 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 연마 유닛(18)은, 스핀들(18a)의 회전에 따른 연마 패드(18c)의 회전 운동에 의해, 또는 캐리어(C)를 지지하는 하정반(B)의 회전에 따른 연마 패드(18c)의 상대적인 회전 운동에 의해 유리판(G)의 상면을 연마시킬 수 있다.
슬러리의 제거 공정은 유리판(G)에 대한 연마 작업이 모두 끝난 후에 이루어지거나, 또는 하나의 연마 작업과 그 다음의 연마 작업 사이에 이루어질 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬러리 제거 장치(30)에 따르면, 이러한 연마 작업에 사용되는 연마 유닛(18)을 연마액 슬러리의 세척을 위한 분사 유닛(11,12)과 결합시킴으로써 하나의 장치(30)를 이용하여 두가지 공정(연마 및 슬러리 제거)이 모두 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 슬러리 제거 장치(10,20,30)는 연마 작업을 통해 유리판(G) 상에 남게되는 연마액 슬러리를 효율적으로 제거할 수 있는 구조를 가짐으로써 연속적인 연마 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
또한, 이러한 연마 작업의 효율성 향상은, 슬러리 제거 장치(10,20,30)를 포함하는 전체 연마 시스템의 작업 효율성 또한 향상시키는 결과를 가져올 수 있다.
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
10: 슬러리 제거 장치
11: 에어 분사 유닛 H1: 에어 분사구
12: 세척액 분사 유닛 H2: 세척액 분사구
13: 분사 유닛 프레임 14: 이송 유닛
14a: 구동 롤러 14b: 이송 밸트
M1: 제1 구동 유닛 M2: 제2 구동 유닛
G: 유리판 P: 패드
C: 캐리어 B: 하정반
15: 간격 조절 유닛 16: 제1 수평 이동 유닛
17: 제2 수평 이동 유닛 18: 연마 유닛
18a: 상정반 18b: 스핀들
18c: 연마 패드

Claims (16)

  1. 유리판 상에 존재하는 연마액 슬러리를 제거하는 장치로서,
    상기 유리판 상에 세척액을 분사하는 세척액 분사 유닛; 및
    상기 유리판 상에 에어를 분사하는 것으로서 적어도 2 이상의 에어 분사구를 구비하는 에어 분사 유닛을 포함하며,
    상기 에어 분사 유닛은,
    상기 유리판의 진행 방향과 반대 방향을 향해 틸팅된 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2 이상의 에어 분사구는,
    상기 유리판의 길이 방향을 따라 서로 다른 위치에 에어가 분사될 수 있도록 상호간에 나란하게 위치하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛은,
    상기 유리판의 폭 방향을 따라 연장된 회전축을 기준으로 하여 회전 가능하도록 설치된 회전형 분사 유닛인 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛은,
    상기 유리판의 폭 방향을 따라 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사구는,
    상기 유리판의 폭 방향을 따라 연장되는 슬릿 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛은,
    에어의 분사 각도가 변화될 수 있도록 회동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 세척액 분사 유닛은,
    상기 에어 분사 유닛의 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛과 상기 유리판 사이의 간격을 조절하는 간격 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛을 상기 유리판의 길이 방향을 따라 이동시키는 제1 수평 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사 유닛에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 에어 분사 유닛을 상기 유리판의 폭 방향을 따라 이동시키는 제2 수평 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 수평 이동 유닛은,
    오실레이터인 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 유리판의 상면을 연마하는 연마 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 연마 유닛은,
    상기 유리판과 나란하게 위치하는 상정반; 및
    상기 상정반이 회전 가능하도록 중심축을 이루는 스핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 유리판을 수평 방향으로 이송시키는 이송 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거 장치.
  16. 제1항, 제2항 및 제4항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 슬러리 제거 장치를 포함하는 유리판 연마 시스템.
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