KR101551351B1 - Method for Inspecting Lead Frame of LED - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엘이디 리드프레임 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 영상을 획득하여 리드프레임에 배치된 엘이디 칩의 불량 여부를 판단하여 해당 엘이디 칩에 마킹이 가능하도록 하는 엘이디 리드프레임 검사 방법에 관한 것이다. 검사 방법은 다수 개의 리드프레임이 수용된 매거진이 투입되어 각각의 리드프레임이 이송 경로에 로딩이 단계; 상기 각각의 리드프레임은 이송 경로를 따라 적어도 하나의 영역으로 분할이 되어 라인 스캔이 되어 영상 획득이 되는 단계; 상기 획득된 영상에 대한 불량 여부가 판정이 되어 각각의 리드프레임의 칩 패드에 표시가 되는 단계; 상기 표시 여부에 따라 각각의 리드프레임이 서로 다른 배출 경로를 따라 배출이 되는 단계; 및 상기 서로 다른 배출 경로를 따라 배출되는 리드프레임이 간지에 의하여 분리되어 적재가 되는 단계를 포함한다. The present invention relates to a method of inspecting an LED lead frame, and more particularly, to an LED lead frame inspecting method for obtaining an image and determining whether an LED chip disposed in a lead frame is defective and marking the LED chip. The inspection method includes loading a magazine containing a plurality of lead frames and loading each lead frame into a conveyance path; Wherein each of the lead frames is divided into at least one region along a transfer path to be subjected to line scan to acquire an image; Determining whether the image is defective or not and displaying on the chip pad of each lead frame; Each lead frame being discharged along a different discharge path according to the display; And separating the lead frames discharged along the different discharge paths by separators.

Description

엘이디 리드프레임 검사 방법{Method for Inspecting Lead Frame of LED}{Method for Inspecting Lead Frame of LED}

본 발명은 엘이디 리드프레임 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 영상을 획득하여 리드프레임에 배치된 칩 패드의 불량 여부를 판단하여 해당 칩 패드에 마킹이 가능하도록 하는 엘이디 리드프레임 검사 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of inspecting an LED lead frame, and more particularly, to an LED lead frame inspecting method for obtaining an image to determine whether or not a chip pad disposed in a lead frame is defective and marking the chip pad.

반도체 패키지의 주요 부품에 해당되는 프레임(Lead frame)은 반도체 칩과 외부 회로를 연결시키는 배선(lead)의 기능 및 패키지를 전자회로 기판에 고정시키는 프레임의 기능을 가진다. 또한 엘이디 리드 프레임은 엘이디 패키지로부터 빛을 반사시키는 기능을 가질 수 있으므로 반사도 특성이 엘이디의 광 출력 특성에 영향을 미칠 수 있다. A lead frame corresponding to a main component of the semiconductor package has a function of a lead for connecting the semiconductor chip and an external circuit, and a frame for fixing the package to the electronic circuit board. Also, since the LED lead frame may have a function of reflecting light from the LED package, the reflectance characteristic may affect the light output characteristic of the LED.

일반적으로 엘이디 리드프레임은 구리-철-인, 구리-니켈-규소 또는 철-니켈의 합금으로 만들어질 수 있고 기계적 강도, 전기 전도도, 열전도성, 열팽창 계수, 내산화성, 내열성 또는 부식 저항성과 관련된 물리적 또는 화학적 특성을 가질 필요가 있다. 그리고 이와 같은 엘이디 리드프레임에 발생된 결함은 엘이디 패키지의 전체 불량을 초래할 수 있으므로 미리 검사가 될 필요가 있다. In general, the LED leadframe can be made of an alloy of copper-iron-phosphorous, copper-nickel-silicon or iron-nickel and has physical properties such as mechanical strength, electrical conductivity, thermal conductivity, thermal expansion coefficient, oxidation resistance, heat resistance or corrosion resistance Or chemical properties. The defects generated in such an LED lead frame may lead to a total failure of the LED package, and therefore it is necessary to conduct inspection in advance.

엘이디 패키지 검사와 관련된 선행기술로 특허공개번호 제2010-0098884호 ‘엘이디 패키지 제조용 스트립 검사장치’가 있다. 상기 선행기술은 엘이디 패키지 제조용 스트립 검사 장치에 관한 것으로 검사할 스트립을 공급하기 위한 공급 측 매거진 유닛; 공급 측 매거진 유닛으로부터 공급된 스트립을 검사 위치와 마킹 위치와 언-로딩 위치로 순차적으로 이송시키는 이송 유닛; 검사 위치로 이송된 스트립의 표면을 스캔하여 각 엘이디 패키지의 불량 여부를 검사하고, 각 엘이디 패키지에 대한 불량여부 신호를 출력하는 검사 카메라 모듈; 검사 위치의 스트립이 마킹 위치로 이송되면 검사 카메라 모듈로부터 입력된 불량 신호에 해당하는 엘이디 패키지에 불량 마크를 표시하는 마커; 및 마킹 위치로부터 언-로딩 위치로 이송되는 스트립을 받아서 수납하는 배출 측 매거진 유닛을 포함하는 검사 장치를 개시한다. As a prior art related to the inspection of the LED package, Patent Publication No. 2010-0098884 has a strip inspection apparatus for manufacturing an LED package. The prior art relates to a strip inspection apparatus for manufacturing an LED package, comprising: a supply side magazine unit for supplying a strip to be inspected; A transfer unit for sequentially transferring the strip supplied from the supply side magazine unit to the inspection position, the marking position and the unloading position; An inspection camera module that scans the surface of the strip transferred to the inspection position to inspect whether each LED package is defective and outputs a defect signal to each LED package; A marker for displaying a bad mark on an LED package corresponding to a bad signal inputted from the inspection camera module when the strip of the inspection position is fed to the marking position; And a discharge-side magazine unit for receiving and storing a strip conveyed from the marking position to the unloading position.

엘이디 검사와 관련된 다른 선행기술로 특허공개번호 제2012-0054834호 ‘LED 비젼 검사 시스템’이 있다. 상기 선행기술은 검사 대상이 되는 LED 스트립 제품을 순차적으로 공급하는 로더 유닛; 상기 로더 유닛을 통해 공급된 LED 스트립 제품의 스트립 및 개별 칩에 대해 카메라를 이용하여 영상 촬영하여 외관 상태(액 흐름/액 과다/액 과소)와 실장이 된 칩 위치 및 와이어 휨 상태를 검사하는 검사 유닛; 검사 유닛에서 검사 완료된 제품의 양호/불량 결과 정보를 수신하여 레이저를 이용하여 불량이 발생한 각 칩에 불량 상태를 각인하는 검사 결과 각인 유닛; 상기 검사 결과 각인 유닛에서 배출되는 LED 스트립 제품의 배면 마킹을 위하여 뒤집어주는 자재 반전 유닛; 상기 자재 반전 유닛에서 뒤집어진 LED 스트립 제품의 배면에 제품 고유 번호를 레이저를 이용하여 각인하는 레이저 마킹 유닛; 상기 레이저 마킹 유닛에서 LED 스트립에 각인된 상태를 카메라를 이용하여 검사하는 마킹 검사 유닛; 및 상기 로더 유닛에서 공급되는 제품을 컨베이어 벨트를 이용하여 상기 검사 유닛 및 상기 검사 결과 각인 유닛, 상기 자재 반전 유닛, 상기 레이저 마킹 유닛 및 상기 마킹 검사 유닛에 순차적으로 이송시키는 이송 유닛을 포함하는 검사 시스템에 대하여 개시한다. Another prior art related to LED inspection is Patent Publication No. 2012-0054834 'LED Vision Inspection System'. The prior art includes a loader unit for sequentially supplying LED strip products to be inspected; The strips and individual chips of the LED strip supplied through the loader unit are photographed using a camera to inspect the appearance (liquid flow / excess liquid / underflow) and chip position and wire bending conditions unit; A test result imprinting unit for receiving the good / bad result information of the inspected product in the inspection unit and imprinting the defective condition on each chip in which the defect has occurred using the laser; A material reversing unit for inverting the LED strip product discharged from the imprinting unit for backside marking; A laser marking unit for marking a product unique number on the back surface of the inverted LED strip product in the material inversion unit using a laser; A marking inspection unit for inspecting the state stamped on the LED strip in the laser marking unit using a camera; And a transfer unit for sequentially transferring the product supplied from the loader unit to the inspection unit, the inspection unit, the material reversing unit, the laser marking unit and the marking inspection unit using a conveyor belt .

선행기술의 엘이디 검사와 관련된 방법은 리드프레임의 각각의 칩 패드를 검사할 수 있는 구체적인 방법에 대하여 개시하고 있지 아니하며 오차가 없이 정밀하게 연속적으로 검사가 가능하도록 하는 리드프레임 검사 방법에 대하여 개시하지 않는다. The method related to the LED inspection of the prior art does not disclose a specific method of inspecting each chip pad of the lead frame and does not disclose a lead frame inspection method that enables precise continuous inspection without any error .

본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

본 발명의 목적은 리드프레임에 발생된 스크래치 또는 각각의 칩 패드에 발생되는 결함의 정밀한 검사가 연속적으로 자동으로 이루어질 수 있도록 하는 엘이디 리드 프레임 검사 방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an LED lead frame inspecting method capable of automatically and precisely inspecting a scratch generated in a lead frame or a defect occurring in each chip pad continuously and automatically.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 방법은 다수 개의 리드프레임이 수용된 매거진이 투입되어 각각의 리드프레임이 이송 경로에 로딩이 단계; 상기 각각의 리드프레임이 이송 경로를 따라 적어도 하나의 영역으로 분할이 되어 라인 스캔이 되어 영상 획득이 되는 단계; 상기 획득된 영상에 대한 불량 여부가 판정이 되어 각각의 리드프레임의 칩 패드에 표시가 되는 단계; 상기 표시 여부에 따라 각각의 리드프레임이 서로 다른 배출 경로를 따라 배출이 되는 단계; 및 상기 서로 다른 배출 경로를 따라 배출되는 리드프레임이 간지에 의하여 분리되어 적재가 되는 단계를 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, the inspection method is characterized in that a magazine accommodating a plurality of lead frames is inserted and each of the lead frames is loaded on a conveyance path; Wherein each of the lead frames is divided into at least one region along a transfer path to be line scanned to acquire an image; Determining whether the image is defective or not and displaying on the chip pad of each lead frame; Each lead frame being discharged along a different discharge path according to the display; And separating the lead frames discharged along the different discharge paths by separators.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 적어도 하나의 영역으로 분할이 된 영역은 시간 간격을 두고 영상 획득이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the region divided into the at least one region is acquired at a time interval.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 획득된 영상에 대한 불량 여부는 칩 패드의 광학 특성에 의하여 결정이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, whether or not the obtained image is defective is determined by optical characteristics of the chip pad.

본 발명에 따른 검사 방법은 엘이디 리드프레임의 정밀한 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 연속적인 자동 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 생산성이 향상될 수 있도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 설계 변경을 통하여 다양한 형태의 엘이디 관련 장치의 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 검사 방법은 영역을 분할하여 서로 다른 위치에 배치된 광학 카메라에 의하여 영상을 획득하는 것에 의하여 간섭으로 인한 검사 오차가 감소되도록 한다는 장점을 가진다. The inspection method according to the present invention has an advantage that accurate inspection of the LED lead frame is possible. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that productivity can be improved by enabling continuous automatic inspection. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage in that various types of LED-related devices can be inspected through design changes. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that an inspection error due to interference is reduced by dividing a region and acquiring an image by an optical camera disposed at different positions.

도 1a는 본 발명의 검사 방법에 따른 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1b는 본 발명에 따른 검사 방법이 적용될 수 있는 리드프레임의 실시 예를 도시한 것이고 그리고 도 1c는 도 1b에 배치된 칩 패드와 불량 칩 패드의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 영상 획득 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 마킹 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
FIG. 1A shows an embodiment of a process according to an inspection method of the present invention.
FIG. 1B shows an embodiment of a lead frame to which the inspection method according to the invention can be applied, and FIG. 1C shows an embodiment of a chip pad and a bad chip pad arranged in FIG. 1B.
2A and 2B illustrate an embodiment of a testing apparatus for an inspection method according to the present invention.
3A shows an embodiment of an image acquisition module for an inspection method according to the present invention.
FIG. 3B illustrates an embodiment of a marking module for an inspection method according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1a는 본 발명에 따른 검사 방법에 따른 과정의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 1A shows an embodiment of a process according to an inspection method according to the present invention.

도 1a를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 다수 개의 리드프레임이 수용된 매거진이 투입되어(S11) 각각의 리드프레임이 이송 경로에 로딩이 단계(S13); 상기 각각의 리드프레임이 이송 경로를 따라 적어도 하나의 영역으로 분할이 되고 그리고 분할된 각각의 영역이 라인 스캔이 되어 영상 획득이 되는 단계(S14); 상기 획득된 영상에 대한 불량 여부가 판정이 되어(S15) 각각의 리드프레임의 칩 패드에 표시가 되는 단계(S16); 상기 표시 여부에 따라 각각의 리드프레임이 서로 다른 배출 경로를 따라 배출이 되는 단계(S17); 및 상기 서로 다른 배출 경로를 따라 배출되는 리드프레임이 간지에 의하여 분리되어 적재가 되는 단계(S18)를 포함한다. Referring to FIG. 1A, the inspection method according to the present invention includes loading a magazine containing a plurality of lead frames (S11) and loading each of the lead frames into a conveyance path (S13); Wherein each of the lead frames is divided into at least one region along a transfer path and each divided region is line scanned to acquire an image (S14); A step S16 of judging whether or not the obtained image is defective (S15) and displaying the result on a chip pad of each lead frame; A step (S17) of discharging each lead frame along a different discharge path according to the display state; And a step (S18) in which the lead frames discharged along the different discharge paths are separated and stacked by the separator.

본 발명에 따른 검사 방법은 예를 들어 도 1b에 제시된 것과 같은 리드프레임의 검사를 위하여 적용될 수 있다. 본 발명에 따른 방법은 리드프레임에 발생된 스크래치. 균열, 일부 파손 또는 칩 패드의 불량과 같은 것의 검사를 위한 것으로 기본적으로 획득된 얻어진 영상에 기초하여 불량을 판단하게 된다. 예를 들어 카메라와 같은 영상 획득 장치에 의하여 얻어진 영상은 제어 유닛으로 전송이 될 수 있고 그리고 표본 영상과 비교가 될 수 있다. 그리고 비교 결과에 따라 불량 여부가 판단이 될 수 있다. The inspection method according to the present invention can be applied, for example, for inspection of a lead frame as shown in FIG. 1B. A method according to the present invention is a scratch generated in a lead frame. The defect is judged based on the obtained image obtained basically for inspection of cracks, partial breakage or defective chip pad. For example, an image obtained by an image acquisition device such as a camera can be transmitted to a control unit and can be compared with a sample image. Then, it is judged whether there is a defect according to the comparison result.

본 발명에 따른 검사 방법에 의하여 판단될 수 있는 불량의 형태는 특별히 제한되지 않으며 이미지 대비 방법은 이 분야에서 공지된 임의의 방법에 따라 이루어질 수 있다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법에 의하여 검사가 가능한 리드프레임의 종류는 제한되지 않으며 적절한 설계 변경을 통하여 임의의 리드프레임의 검사에 적용될 수 있다. The type of defect that can be determined by the inspection method according to the present invention is not particularly limited, and the image contrast method can be performed according to any method known in the art. The type of the lead frame that can be inspected by the inspection method according to the present invention is not limited and can be applied to the inspection of any lead frame through appropriate design change.

다수 개의 리드프레임이 매거진에 수용이 될 수 있고 그리고 매거진의 이송 및 매거진으로부터 리드프레임의 인출에 의하여 리드프레임이 검사 영역에 투입이 될 수 있다. 매거진의 구조는 특별히 제한이 되지 않으며 자동 공급 및 배출이 가능하고 이와 동시에 매거진으로부터 각각의 리드프레임이 정해진 순서로 인출이 될 수 있는 임의의 구조가 될 수 있다. A plurality of lead frames can be accommodated in the magazine and the lead frame can be inserted into the inspection area by the transfer of the magazine and the withdrawal of the lead frame from the magazine. The structure of the magazine is not particularly limited and may be any structure capable of automatic feeding and discharging, and at the same time, each lead frame from the magazine can be drawn out in a predetermined order.

매거진은 적절한 경로를 통하여 검사 영역으로 공급이 될 수 있고(S11) 그리고 이송 과정에서 각각의 리드프레임이 클리닝이 될 수 있다(S12). 클리닝은 예를 들어 이온 주입(ion blowing)과 같은 제전 방식이 될 수 있다. 리드프레임에 존재하는 정전기는 리드프레임의 인출을 어렵게 하고, 정확한 이송 경로를 따라 이송을 곤란하게 만들거나 영상 획득 과정에서 간섭을 발생시킬 수 있다. 또한 리드프레임의 표면에 존재하는 이물질의 제거를 위한 에어 클리닝(air cleaning)이 행해질 수 있다. 다양한 클리닝 방법이 본 발명에 따른 클리닝 공정에 적용될 수 있다. The magazine can be supplied to the inspection area through an appropriate path (S11) and each lead frame can be cleaned in the transferring process (S12). The cleaning may be a static elimination method such as ion blowing. The static electricity present in the lead frame makes it difficult to pull out the lead frame, making it difficult to transport along an accurate feed path, or it can cause interference in the image acquisition process. Air cleaning may also be performed to remove foreign matter present on the surface of the lead frame. Various cleaning methods can be applied to the cleaning process according to the present invention.

클리닝 공정이 완료되면(S12), 각각의 리드프레임은 매거진으로부터 분리가 되어 이송 수단에 로딩이 될 수 있다(S13). 본 발명에 따르면, 리드프레임은 이송 컨베이어를 따라 이송이 될 수 있지만 바람직하게 이송 캐리어에 의하여 이송이 될 수 있다. 이송 캐리어는 리드프레임의 고정이 가능하면서 이와 동시에 예를 들어 모터와 같은 장치에 의하여 작동이 되는 이송 컨베이어를 따라 이송이 가능한 구조를 가질 수 있다. 다양한 구조를 가지는 캐리어가 본 발명에 따른 방법에 적용이 될 수 있다. When the cleaning process is completed (S12), each lead frame is separated from the magazine and can be loaded on the conveying means (S13). According to the invention, the leadframe can be conveyed along the conveying conveyor, but can preferably be conveyed by the conveying carrier. The conveying carrier can have a structure capable of being fixed along the conveying conveyor, which is capable of being fixed to the lead frame and which, at the same time, is operated by a device such as a motor. Carriers having various structures can be applied to the method according to the present invention.

이송 캐리어에 의하여 리드프레임이 검사 영역으로 이동이 되면 영상이 획득될 수 있다(S14). 본 발명에 따르면, 리드프레임은 이송 방향 또는 리드프레임의 길이 방향을 따라 적어도 하나의 영역 또는 세 개의 영역으로 분할이 될 수 있고 그리고 각각의 영역에 대한 영상이 서로 다른 광학 카메라에 의하여 독립적으로 얻어질 수 있다. 서로 다른 영역은 리드프레임에 의하여 물리적으로 분리가 되거나 프로그램 형태로 인위적으로 형성될 수 있다. 이와 같이 라인 스캔이 되는 방향 또는 이송 방향을 따라 영역을 분할하여 각각 독립적으로 영상이 얻어지고 판정이 되는 것에 의하여 다양한 이점이 발생될 수 있다. 이와 같은 영역 분할은 카메라의 소형화가 가능하면서 설치 공간이 작아지도록 할 수 있다. 예를 들어 다수 개의 카메라가 이송 방향에 대하여 대각선 방향으로 배치가 될 수 있고 각각의 카메라로부터 정해진 영역에 대한 영상이 획득될 수 있다. 이와 같은 카메라의 배치는 서로 다른 시간에 서로 다른 영역이 라인 스캔이 되도록 하는 것에 의하여 간섭을 감소시킬 수 있다. 또한 이와 같이 배치된 분할된 영역에 대한 검사가 이루어지도록 하는 것은 제어 모듈에서 빠른 판정이 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 다양한 영역 분할 또는 각각의 영역에 대한 광학 카메라의 배치가 가능하고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. When the lead frame is moved to the inspection area by the transport carrier, an image can be obtained (S14). According to the present invention, the lead frame can be divided into at least one region or three regions along the transport direction or the longitudinal direction of the lead frame, and the image for each region can be independently obtained by different optical cameras . The different regions may be physically separated by the lead frame or artificially formed in a program form. As described above, various advantages can be generated by dividing the region along the direction of the line scan or the transfer direction, and independently obtaining the image and making the determination. This division of the area enables the camera to be downsized and the installation space to be reduced. For example, a plurality of cameras may be arranged in a diagonal direction with respect to the transport direction, and an image for a predetermined area from each camera may be obtained. Such an arrangement of the cameras can reduce interference by allowing different areas to be line scanned at different times. In addition, the inspection of the divided areas thus arranged has an advantage that it is possible to make a quick determination in the control module. It is possible to arrange various regions or optical cameras for each region, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

영상은 예를 들어 광학 카메라와 같은 이미지 획득 장치에 의하여 얻어질 수 있고(S14) 그리고 획득된 영상은 제어 모듈로 전송이 되어 불량 여부가 판정될 수 있다(S15). 예를 들어 제어 모듈에 표준 이미지가 준비될 수 있고 또한 다양한 유형의 불량에 대한 데이터가 저장될 수 있다. 예를 들어 얻어진 영상에서 색상, 조도 또는 투과도와 관련된 정보가 얻어질 수 있고 그리고 표준 이미지 또는 미리 결정된 색상, 조도 또는 투과도 범위와 비교될 수 있다. 그리고 정해진 범위를 벗어나는 영역에 대하여 불량 판정이 될 수 있다. 이와 같이 불량 여부는 얻어진 영상에 대한 광학 특성이 될 수 있지만 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 다양한 이미지 비교 방법이 본 발명에 따른 검사 방법에 적용될 수 있다. The image may be obtained, for example, by an image acquisition device such as an optical camera (S14), and the obtained image may be transmitted to the control module to determine whether it is defective (S15). For example, a standard image can be prepared in the control module and data for various types of defects can be stored. For example, information relating to color, illuminance or transmittance can be obtained in the obtained image and compared with a standard image or a predetermined color, illuminance or transmittance range. And a failure judgment may be made for an area outside the predetermined range. As described above, whether or not a defect is caused may be optical characteristics for the obtained image, but the present invention is not limited thereto. Various image comparison methods can be applied to the inspection method according to the present invention.

각각의 리드프레임에 대한 불량 여부가 판정이 되어 저장이 되면 관련 정보에 따라 리드프레임의 불량 섹터에 표시가 될 수 있다(S16). 그리고 표시되거나 또는 표시되지 않은 리드프레임은 픽업 위치로 이송이 될 수 있다(S17). 픽업 위치에서 예를 들어 로봇 암과 같은 장치에 의하여 각각의 리드프레임은 불량 여부에 따라 서로 다른 배출 경로로 분리가 될 수 있다(S18). 이후 분리된 리드프레임은 적절한 배출 경로를 따라 배출이 될 수 있다. If it is judged that each lead frame is defective and stored, the defective sector of the lead frame may be displayed according to the related information (S16). And the lead frame that is displayed or not displayed may be transferred to the pickup position (S17). At the pick-up position, each lead frame can be separated into different discharge paths depending on whether the lead frames are defective or not, for example, by a device such as a robot arm (S18). The separated lead frame can then be discharged along an appropriate discharge path.

아래에서 본 발명에 따른 검사 방법에서 리드프레임이 분할되는 실시 예에 대하여 설명이 된다. An embodiment in which the lead frame is divided in the inspection method according to the present invention will be described below.

도 1b는 본 발명에 따른 검사 방법이 적용될 수 있는 리드프레임(10)의 실시 예를 도시한 것이고 그리고 도 1c는 도 1b에 배치된 칩 패드와 불량 칩 패드의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 1B shows an embodiment of a lead frame 10 to which the inspection method according to the invention can be applied, and FIG. 1C shows an embodiment of a chip pad and a bad chip pad arranged in FIG. 1B.

도 1b 및 도 1c를 참조하면, 리드프레임(10)의 프레임(11)에 매트릭스 형상으로 칩 패드(111)가 배치될 수 있고 그리고 불량 섹터에 마킹이 될 수 있다. Referring to FIGS. 1B and 1C, the chip pads 111 may be arranged in a matrix form on the frame 11 of the lead frame 10, and the bad sectors may be marked.

다른 한편으로 칩 패드(111)는 베이스(111a) 및 본드(111b)로 이루어질 수 있고 다수 개의 광학 영역(LA1, LA2)으로 분할이 될 수 있다. On the other hand, the chip pad 111 may be composed of a base 111a and a bond 111b and may be divided into a plurality of optical areas LA1 and LA2.

도 1b에 도시된 것처럼, 리드프레임(10)은 이송 방향(T)을 따라 분리 라인(L1, L2)에 의하여 3개의 영역(A1, A2, A3)으로 분할이 될 수 있다. 각각의 영역(A, A2, A3)이 서로 다른 광학 카메라에 의하여 시간 차이를 두고 라인 스캔이 될 수 있다. 그리고 각각에 배치된 칩 패드(111)에 대하여 불량 마킹(112)이 될 수 있다. 본 명세서에서 시간 차이란 리드프레임의 길이 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 동일 라인에 위치하는 칩 패드에 대하여 서로 다른 시간에 영상이 얻어지는 것을 의미한다. The lead frame 10 may be divided into three regions A1, A2, and A3 by the separation lines L1 and L2 along the transport direction T, as shown in FIG. 1B. Each of the areas A, A2, and A3 can be line scanned with a time difference by different optical cameras. And may be a bad marking 112 for the chip pads 111 disposed in each of them. In this specification, the time difference means that images are obtained at different times for the chip pads located on the same line in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the lead frame.

도 1c를 참조하면, 불량 형상(DE1, DE2, DE3)에 따른 데이터가 저장될 수 있고 그리고 얻어진 영상의 각각이 표준 데이터와 비교가 될 수 있다. 그리고 매칭 수준에 따라 불량 여부가 결정될 수 있다. 이와 같은 매칭 수준은 위에서 설명이 된 것처럼 광학 특성에 기초할 수 있다. Referring to FIG. 1C, data according to the defective shapes DE1, DE2, DE3 can be stored and each of the obtained images can be compared with the standard data. Depending on the level of match, it can be determined whether it is bad or not. Such a level of matching can be based on optical properties as described above.

다양한 형태의 불량 데이터가 준비될 수 있고 그에 따라 이 분야에서 공지된 임의의 방식에 따라 불량 여부의 판단이 가능하고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. Various types of bad data can be prepared, and accordingly, it is possible to judge whether or not it is bad according to any method known in the art, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

아래에서 본 발명에 따른 방법이 적용될 수 있는 검사 장치에 대하여 설명이 된다. Hereinafter, a test apparatus to which the method according to the present invention can be applied will be described.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 2A and 2B illustrate an embodiment of a testing apparatus for an inspection method according to the present invention.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 엘이디 리드프레임의 검사 장치(20)는 다수 개의 리드프레임이 수용된 매거진(M)의 이동을 위한 공급 가이드(211), 이동이 된 매거진(M)의 상하 이동을 위한 승강 유닛(212), 매거진(M)으로 각각의 리드프레임을 이동시키는 밀림 유닛(213) 및 밀림 유닛(113)에 의하여 이동되는 각각의 리드프레임이 적재되는 로더로 이루어진 공급 모듈(21); 공급 모듈(21)로부터 이송이 된 각각의 리드프레임에 대한 영상을 획득하기 위한 적어도 하나의 카메라를 가지는 영상 획득 모듈(22); 영상 획득 모듈(22)로부터 얻어진 검사 결과에 따라 상기 리드프레임에 배치된 특정 칩 패드에 마킹이 가능한 마킹 모듈(23); 및 마킹 모듈(23)로부터 이송된 상기 리드프레임을 검사 결과에 따라 분류하고 간지 유닛(245)에서 이송된 간지에 의하여 분리되어 배출 매거진에 정렬시키는 배출 모듈(24)을 포함하고, 상기 리드프레임은 캐리어(25)에 로딩이 되어 이송 컨베이어(26)를 따라 이송이 된다. 2A and 2B, an inspection device 20 of an LED lead frame includes a supply guide 211 for moving a magazine M accommodating a plurality of lead frames, a magazine M A supply module 21 consisting of a lifting unit 212 for lifting the lead frame, a lifting unit 213 for moving each lead frame to the magazine M, and a loader for lifting each lead frame moved by the lifting unit 113; An image acquisition module (22) having at least one camera for acquiring an image for each lead frame transferred from the supply module (21); A marking module (23) capable of marking a specific chip pad arranged on the lead frame according to the inspection result obtained from the image acquisition module (22); And a discharging module (24) for sorting the lead frame transferred from the marking module (23) according to the inspection result, and separating the sorted lead frames from the discharging magazine by the separator transferred from the separator unit (245) Is loaded on the carrier 25 and is conveyed along the conveying conveyor 26.

위에서 설명이 된 것처럼, 검사 장치(20)는 리드프레임에 발생된 스크래치. 균열, 일부 파손 또는 칩 패드의 불량과 같은 것의 검사를 위한 것으로 기본적으로 영상 획득 모듈(22)로부터 얻어진 영상에 기초하여 불량을 판단하게 된다. 영상 획득 모듈(22)에 의하여 얻어진 영상은 제어 유닛으로 전송이 될 수 있고 그리고 표본 영상과 비교가 될 수 있다. 그리고 비교 결과에 따라 불량 여부가 판단이 될 수 있다. 검사 장치(20)에 의하여 판단될 수 있는 불량의 형태는 특별히 제한되지 않으며 이미지 대비 방법은 이 분야에서 공지된 임의의 방법에 따라 이루어질 수 있다. 또한 검사 장치(20)에 의하여 검사가 가능한 리드프레임의 종류는 제한되지 않으며 적절한 설계 변경을 통하여 임의의 리드프레임의 검사에 적용될 수 있다. As described above, the inspection apparatus 20 can detect the scratches generated in the lead frame. Cracks, partial breakage or defective chip pads, and basically judges the defect based on the image obtained from the image acquisition module 22. [0050] The image obtained by the image acquisition module 22 can be transmitted to the control unit and compared with the sample image. Then, it is judged whether there is a defect according to the comparison result. The type of defect that can be determined by the inspection apparatus 20 is not particularly limited, and the image contrast method may be performed according to any method known in the art. The type of the lead frame that can be inspected by the inspection apparatus 20 is not limited and can be applied to inspection of any lead frame through appropriate design change.

리드프레임은 판형이 될 수 있고 다수 개의 리드프레임이 매거진(M)에 적층이 되는 방식으로 수용이 될 수 있다. 매거진(M)은 공급 모듈(21)에 형성된 공급 가이드(211)를 따라 이동이 될 수 있고 다수 개의 매거진(M)이 차례대로 이동이 될 수 있다. 검사 장치(10)는 밀폐 공간(R)에 설치될 수 있고 투입 모듈(21)의 일부가 외부로 노출에 노출이 되거나 개폐 가능한 도어에 의하여 노출이 되도록 할 수 있다. 외부에 설치된 제어 모듈에 의하여 전체 작동이 제어될 수 있다. The lead frame can be plate-shaped and can be accommodated in such a manner that a plurality of lead frames are stacked on the magazine M. [ The magazine M can be moved along the feed guide 211 formed in the feed module 21 and the plurality of magazines M can be moved in turn. The inspection apparatus 10 may be installed in the closed space R and a part of the insertion module 21 may be exposed to the outside or may be exposed by the door that can be opened or closed. The entire operation can be controlled by an externally installed control module.

공급 가이드(211)를 따라 이동이 된 매거진(M)에 대하여 클리닝 공정이 진행될 수 있다. 클리닝 공정은 각각의 리드프레임에 대하여 또는 매거진(M)에 대하여 행해질 수 있고 예를 들어 이온 주입(Ion Blowing) 공정이 이용될 수 있다. 클리닝이 된 매거진은 승강 유닛(212)에 의하여 정해진 위치로 이동이 될 수 있다. The cleaning process can be performed on the magazine M moved along the supply guide 211. [ The cleaning process may be performed for each lead frame or for the magazine M and for example an ion blowing process may be used. The magazine that has been cleaned can be moved to a position determined by the lift unit 212.

승강 유닛(212)에 의하여 정해진 위치에 이동이 된 매거진(M)의 내부에 위치하는 각각의 리드프레임은 밀림 유닛(213)에 의하여 검사 과정으로 투입이 될 수 있다. 구체적으로 밀림 유닛(213)은 상하 이동이 가능하도록 설치되고 매거진 내부의 각각의 리드프레임을 차례대로 밀어낼 수 있는 구조를 가질 수 있다. 그리고 밀려난 리드프레임은 로더에 적재가 될 수 있다. 그리고 로더에 의하여 리드프레임은 투입 가이드(214)를 따라 이송이 되어 캐리어(25)에 의하여 이송 컨베이어(26)를 따라 이동이 될 수 있다. Each of the lead frames located inside the magazine M moved to the position determined by the elevating unit 212 can be inserted into the inspection process by the jumping unit 213. Specifically, the jamming unit 213 can be installed so as to be movable up and down, and can have a structure capable of sequentially pushing the respective lead frames inside the magazine. The pushed lead frame can then be loaded into the loader. And the load frame allows the lead frame to be transported along the insertion guide 214 and moved along the transport conveyor 26 by the carrier 25.

수용된 리드프레임이 모두 소진이 된 빈 매거진(M)은 배출 가이드(215)를 통하여 배출이 될 수 있고 그리고 다시 리드프레임으로 채워질 수 있다. 필요에 따라 매거진(M)의 간격을 조절하기 위한 폭 조절 유닛이 배출 가이드(215)에 설치될 수 있다. 공급 모듈(21)은 포함하는 각각의 장치는 프레임(F)에 설치될 수 있고 위에서 설명이 된 것처럼 장치 전체는 밀폐 공간(R)에 설치가 될 수 있다. The empty magazine M having exhausted the used lead frame can be discharged through the discharge guide 215 and can be filled with the lead frame again. A width adjusting unit for adjusting the interval of the magazine M may be installed in the discharge guide 215 as needed. Each of the devices including the supply module 21 can be installed in the frame F and the entire device can be installed in the closed space R as described above.

투입 모듈(21)로부터 공급이 되는 각각의 리드프레임은 캐리어(25)에 적재되어 이송 컨베이어(26)를 따라 영상 획득 모듈(22)로 이송이 될 수 있다. Each lead frame supplied from the input module 21 can be loaded on the carrier 25 and transferred along the transfer conveyor 26 to the image acquisition module 22. [

영상 획득 모듈(22)은 적어도 하나의 카메라가 배치된 카메라 유닛(221) 및 검사가 되는 리드프레임의 상태를 확인하기 위한 디스플레이(222)을 포함할 수 있다. 카메라 유닛(221)에 배치되는 각각의 카메라는 이송 컨베이어(26)의 연장 방향에 대하여 수직 방향으로 배치 위치가 서로 다르거나 또는 영상 획득을 위한 각도가 서로 다를 수 있다. 적어도 하나의 비전 카메라(vision camera)에 의하여 리드프레임의 서로 다른 위치 또는 서로 다른 각도에서 얻어진 영상은 제어 모듈로 전송이 될 수 있어 표준 이미지와 대비가 되어 불량 여부가 판단이 될 수 있다. 각각의 리드프레임은 고유 식별 번호를 가질 수 있고 그리고 각각의 리드프레임에 포함된 칩 패드도 또한 각각의 고유 식별 번호를 가질 수 있다. 그리고 만약 불량으로 판정이 되거나 또는 불량으로 의심이 되는 부분이 있다면 저장이 되고 그리고 관련 데이터가 마킹 모듈(23)로 전송이 될 수 있다. 또는 제어 모듈이 그에 따라 마킹 모듈(23)의 작동을 제어할 수 있다. The image acquisition module 22 may include a camera unit 221 in which at least one camera is disposed and a display 222 for confirming the status of a lead frame to be inspected. Each of the cameras disposed in the camera unit 221 may be disposed at different positions in a direction perpendicular to the extending direction of the conveying conveyor 26 or may have different angles for image acquisition. An image obtained at different positions or at different angles of the lead frame by at least one vision camera can be transmitted to the control module so that it can be compared with a standard image and thus a defect can be judged. Each lead frame may have a unique identification number and the chip pads included in each lead frame may also have a respective unique identification number. And if there is a part that is judged to be defective or suspected to be defective, it is stored and the relevant data can be transferred to the marking module 23. Or the control module can thereby control the operation of the marking module 23.

영상 획득 모듈(22)에 설치될 수 있는 카메라의 수 또는 배치 형태는 특별히 제한되지 않으며 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The number or arrangement of cameras that can be installed in the image acquisition module 22 is not particularly limited, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

영상 획득 모듈(22)에서 검사가 완료된 리드프레임은 이송 컨베이어(26)를 따라 이동이 되어 마킹 모듈(23)로 이송이 될 수 있다. 마킹 모듈(23)은 적어도 2개의 노즐을 가진 헤드 유닛(232) 및 헤드 유닛(232)의 위치를 결정하기 위한 위치 결정 유닛(231)을 포함할 수 있다. 위치 결정 유닛(231)은 이송 암을 따라 X-Y 평면을 따라 이동이 될 수 있고 그리고 헤드 유닛(232)은 제어 모듈로부터 전송된 불량 데이터에 기초하여 리드프레임의 정해진 위치에 마킹을 할 수 있다. 그리고 필요한 위치에 마킹이 된 리드프레임은 배출 모듈(24)로 이송이 될 수 있다. The lead frame having been inspected in the image acquiring module 22 can be moved along the conveying conveyor 26 and transferred to the marking module 23. The marking module 23 may include a head unit 232 having at least two nozzles and a positioning unit 231 for determining the position of the head unit 232. The positioning unit 231 may move along the XY plane along the transfer arm and the head unit 232 may mark the predetermined position of the lead frame based on the bad data transmitted from the control module. And the lead frame marked in the required position can be transferred to the discharge module 24. [

배출 모듈(24)은 리드프레임을 픽업하기 위하여 Z-축 방향을 따라 이동이 가능한 픽업 유닛(242)을 가지면서 X-Y 평면을 따라 이동이 가능한 배출 로봇(241), 불량 부분을 가지지 않는 리드프레임의 이송을 위한 제1 배출 가이드(243a) 및 불량 부분을 가진 리드프레임의 이송을 위한 제1 배출 가이드(243b) 및 각각의 리드프레임의 분리를 위한 간지(spacing paper)가 수용된 간지 유닛(245)을 포함할 수 있다. The discharging module 24 includes a discharging robot 241 having a pick-up unit 242 movable along the Z-axis direction to pick up the lead frame and movable along the XY plane, a lead frame A first discharge guide 243a for transferring a lead frame having a defective portion and a first discharge guide 243b for transferring a lead frame having a defective portion and a separator unit 245 accommodating spacing paper for separating the respective lead frames .

마킹 모듈(23)로부터 캐리어(25)에 의하여 이송이 된 리드프레임은 픽업 유닛(242)에 의하여 픽업이 되어 불량 부분의 포함 여부에 따라 어느 하나의 배출 트레이(T1,T2)에 로딩이 될 수 있다. 배출 트레이(T1, T2)는 다수 개의 리드프레임을 수용할 수 있는 수용 박스를 가질 수 있고 그리고 제1 배출 가이드(243a) 및 제2 배출 가이드(243b)를 따라 이동이 가능한 구조를 가질 수 있다. 배출 트레이(T1, T2)가 정해진 위치로 이동이 되면 간지 유닛(245)으로부터 간지가 픽업이 되어 컬렉터(도시되지 않음)에 배치가 되고 그리고 다시 배출 트레이(T1, T2)로부터 하나의 리드프레임이 픽업이 되어 컬렉터에 수용이 될 수 있다. 이와 같은 방법으로 각각의 배출 트레이(T1, T2)에 수용된 리드프레임이 간지에 의하여 분리되어 컬렉터에 수용이 될 수 있다. The lead frame conveyed by the carrier 25 from the marking module 23 is picked up by the pick-up unit 242 and can be loaded into any one of the discharge trays T1 and T2 depending on whether or not the defective portion is included have. The discharge trays T1 and T2 may have a receiving box capable of accommodating a plurality of lead frames and may have a structure capable of moving along the first discharge guide 243a and the second discharge guide 243b. When the discharge trays T1 and T2 are moved to the predetermined positions, the separator is picked up from the separator unit 245 and placed in a collector (not shown). Then, one lead frame is again discharged from the discharge trays T1 and T2 It can be picked up and accommodated in the collector. In this way, the lead frames accommodated in the respective discharge trays T1 and T2 can be separated by the separator and accommodated in the collector.

검사 장치의 작동을 위하여 예를 들어 서보 모터, 에어실린더 또는 벨트와 같은 이 분야에서 공지된 장치가 사용될 수 있다. 그러므로 본 발명에 따른 검사 장치는 이와 같은 구동 또는 이송을 위한 장치의 종류 또는 배치 구조에 의하여 제한되지 않는다. Apparatuses known in the art such as, for example, servo motors, air cylinders or belts may be used for the operation of the inspection apparatus. Therefore, the inspection apparatus according to the present invention is not limited by the type or arrangement structure of the apparatus for driving or conveying.

아래에서 검사 장치(20)에 적용될 수 있는 각각의 장치에 대하여 설명이 된다. Each of the devices that can be applied to the inspection apparatus 20 will be described below.

도 3a는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 영상 획득 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. 3A shows an embodiment of an image acquisition module for an inspection method according to the present invention.

도 3a를 참조하면, 리드프레임은 캐리어(25)에 고정이 되어 이송 로드(33)를 따라 이송이 될 수 있고 카메라 유닛(221)은 고정 프레임(321)에 의하여 전방으로 돌출이 되어 캐리어(25)의 위쪽에 배치되는 적어도 하나의 비전 카메라(322)로 이루어질 수 있다. 3A, the lead frame is fixed to the carrier 25 and can be conveyed along the conveying rod 33, and the camera unit 221 is projected forward by the fixed frame 321, And at least one vision camera 322 disposed above the camera 322.

이송 로드(33)는 고정 플레이트(331) 및 고정 플레이트(331)에 상하 이동이 가능하도록 이송 방향을 따라 연장되는 로드 플레이트(332)로 이루어질 수 있다. 그리고 캐리어(25)는 로드 플레이트(332)에 이동이 가능하도록 고정되는 로딩 몸체(251) 및 로딩 몸체(251)의 앞쪽에 배치되어 리드프레임이 측면 방향을 따라 정렬이 될 수 있도록 하는 간격 조절 플레이트(252)로 이루어질 수 있다. The feed rod 33 may be composed of a fixed plate 331 and a rod plate 332 extending along the feeding direction so that the fixed plate 331 and the fixed plate 331 can be moved up and down. The carrier 25 includes a loading body 251 fixed to the rod plate 332 so as to be movable and a space adjusting plate 252 disposed in front of the loading body 251 to allow the lead frame to be aligned along the lateral direction. (252).

카메라는 적어도 하나가 될 수 있고 예를 들어 3개가 될 수 있고 길이 방향으로 서로 다른 위치에 배치될 수 있고 또한 길이 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 서로 다른 위치에 배치될 수 있다. 3개의 카메라는 라인 스캔이 되는 리드프레임의 서로 다른 부분의 영상 또는 서로 다른 각도의 영상을 얻을 수 있다. 예를 들어 3개의 카메라는 리드프레임 윗면, 리드프레임 몰드 및 리드프레임 아래면의 영상을 각각 얻을 수 있다. 대안으로 3대의 카메라는 위에서 설명이 된 것처럼 분할된 리드프레임의 서로 다른 영역에 대한 영상을 얻을 수 있다. The cameras may be at least one, for example three, and may be arranged at different positions in the longitudinal direction and at different positions in the direction perpendicular to the longitudinal direction. The three cameras can obtain images of different parts of the lead frame, which are line scans, or images of different angles. For example, three cameras can obtain the images of the top surface of the lead frame, the lead frame mold, and the bottom surface of the lead frame, respectively. Alternatively, the three cameras can obtain images of different regions of the divided lead frame as described above.

로드 플레이트(332)에 의하여 캐리어(25)의 상하 위치가 결정되면서 영상 획득을 위한 적합한 초점 거리가 결정될 수 있고 그리고 간격 조절 플레이트(252)에 의하여 리드프레임의 X-Y 평면 위치가 고정될 수 있다. 캐리어(25)가 로드 플레이트(332)를 따라 이송 컨베이어에 의하여 이동이 되면서 리드프레임이 라인 스캔이 되고 그리고 각각의 카메라에 의하여 서로 다른 영역 또는 서로 다른 각도의 영상이 획득이 되어 제어 모듈로 전송이 될 수 있다. 그리고 제어 모듈은 전송된 영상으로 리드프레임의 특정 위치의 결함 여부를 판단하게 된다. 이후 캐리어(25)는 마킹 모듈로 이송이 될 수 있다. A suitable focal length for image acquisition can be determined by determining the vertical position of the carrier 25 by the rod plate 332 and the position of the X-Y plane of the lead frame can be fixed by the spacing plate 252. [ The carrier 25 is moved along the load plate 332 by the conveying conveyor so that the lead frame is line scanned and images of different angles or angles are acquired by each camera and transmitted to the control module . Then, the control module determines whether a specific position of the lead frame is defective based on the transmitted image. The carrier 25 can then be transferred to the marking module.

도 3b는 본 발명에 따른 검사 방법을 위한 마킹 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 3B illustrates an embodiment of a marking module for an inspection method according to the present invention.

도 3b를 참조하면, 마킹 모듈(23)은 X-Y축을 따라 배치된 제1 및 제2 가이드(271a, 271b), 제1 가이드(271a)를 따라 이동이 가능하도록 이동 브래킷에 고정된 위치 결정 유닛(273) 및 노즐 헤드(272)로 이루어질 수 있다. 3B, the marking module 23 includes first and second guides 271a and 271b disposed along the XY axis, a positioning unit (not shown) fixed to the moving bracket so as to be movable along the first guide 271a, 273 and a nozzle head 272.

이송 컨베이어(26)를 따라 리드프레임이 적재된 상태로 이동이 되는 캐리어는 고정 유닛(274)에 고정이 될 수 있다. 캐리어가 고정이 되면 제어 모듈의 제어에 따라 제1 가이드(271a)가 제2 가이드(271b)를 따라 정해진 위치로 이동하게 되고 그리고 다시 이동 브래킷이 이동하게 된다. 그리고 위치 결정 유닛(273)에 의하여 노즐 헤드(272)가 상하로 이동이 되면서 리드프레임의 정해진 위치에 마킹이 될 수 있다. 노즐 헤드(272)는 적어도 하나의 노즐을 가질 수 있고 예를 들어 불량, 재검사 요구 또는 검사 실패와 같은 상태를 서로 다른 색상으로 표시할 수 있다. The carrier, which is moved along the transporting conveyor 26 in a state where the lead frame is loaded, can be fixed to the fixed unit 274. When the carrier is fixed, the first guide 271a moves to a predetermined position along the second guide 271b according to the control of the control module, and then the moving bracket moves again. Then, the nozzle head 272 moves up and down by the positioning unit 273, and can be marked at a predetermined position of the lead frame. The nozzle head 272 may have at least one nozzle and may display states such as, for example, defects, retest requests, or inspection failures in different colors.

마킹 모듈(23)은 다양한 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The marking module 23 may have various structures and the present invention is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 검사 방법은 엘이디 리드프레임의 검사의 정밀한 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 연속적인 자동 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 생산성이 향상될 수 있도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 설계 변경을 통하여 다양한 형태의 엘이디 관련 장치의 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 검사 방법은 영역을 분할하여 서로 다른 위치에 배치된 광학 카메라에 의하여 영상을 획득하는 것에 의하여 간섭으로 검사 오차가 감소되도록 한다는 장점을 가진다. The inspection method according to the present invention has an advantage that accurate inspection of the inspection of the LED lead frame is possible. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that productivity can be improved by enabling continuous automatic inspection. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage in that various types of LED-related devices can be inspected through design changes. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that an inspection error is reduced due to interference by dividing a region and acquiring an image by an optical camera disposed at different positions.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

10: 리드프레임 11: 프레임
20: 검사 장치 21: 공급 모듈
22: 영상 획득 모듈 23: 마킹 모듈
24: 배출 모듈 25: 캐리어
26: 이송 컨베이어 33: 이송 로드
111: 칩 패드 111a: 베이스
111b: 본드 211: 공급 가이드
212: 승강 유닛 213: 밀림 유닛
214: 투입 가이드 215: 배출 가이드
245: 간지 유닛 221: 카메라 유닛
222: 디스플레이 231: 위치 결정 유닛
232: 헤드 유닛 241: 배출 로봇
242: 픽업 유닛 251: 로딩 몸체
252: 간격 조절 플레이트 272: 노즐 헤드
273: 위치 결정 유닛 274: 고정 유닛
321: 고정 프레임 322: 비전 카메라
331: 고정 플레이트 332: 로드 플레이트
10: lead frame 11: frame
20: Inspection device 21: Supply module
22: image acquisition module 23: marking module
24: exhaust module 25: carrier
26: conveying conveyor 33: conveying rod
111: chip pad 111a: base
111b: Bond 211: Supply guide
212: lift unit 213:
214: Injection guide 215: Discharge guide
245: Kanji unit 221: Camera unit
222: display 231: positioning unit
232: Head unit 241: Discharge robot
242: pick-up unit 251: loading body
252: spacing plate 272: nozzle head
273: Positioning unit 274: Fixing unit
321: fixed frame 322: vision camera
331: Fixing plate 332: Rod plate

Claims (3)

각각이 매트릭스 형상으로 배치된 칩 패드를 가지는 다수 개의 리드프레임이 수용된 매거진이 이온 주입 공정에 의하여 클리닝이 되어 캐리어에 의하여 이송되는 단계;
상기 각각의 리드프레임이 이송 경로를 따라 적어도 하나의 영역으로 분할이 되어 라인 스캔이 되고 그리고 분할된 각각의 영역의 영상 획득이 되는 단계;
상기 획득된 영상에 대한 불량 여부가 판정이 되어 X-Y 평면을 따라 이동 간가능한 위치 결정 유닛에 의하여 결정된 위치에 따라 각각의 리드프레임의 상기 칩 패드에 표시가 되는 단계;
상기 표시 여부에 따라 각각의 리드프레임이 서로 다른 배출 경로를 따라 배출이 되는 단계; 및
상기 서로 다른 배출 경로를 따라 배출되는 리드프레임이 간지에 의하여 분리되어 적재가 되는 단계를 포함하고,
상기 적어도 하나의 영역의 라인 스캔을 위한 다수 개의 카메라는 이송 방향에 대하여 대각선으로 배치가 되고, 상기 매거진은 승강 유닛에 의하여 상하 이동이 되어 정해진 위치로 이동되고, 상기 매거진에 수용된 각각의 리드 프레임은 상하 이동이 가능한 밀림 유닛에 의하여 로더에 적재되어 상기 캐리어에 수용되는 것을 특징으로 하는 엘이디 리드프레임의 검사 방법.
A magazine containing a plurality of lead frames each having a chip pad arranged in a matrix form is cleaned and transported by a carrier by an ion implantation process;
Wherein each of the lead frames is divided into at least one region along a transfer path to be a line scan and image acquisition of each of the divided regions;
Determining whether the obtained image is defective and being displayed on the chip pad of each lead frame according to a position determined by a movable unit capable of moving along an XY plane;
Each lead frame being discharged along a different discharge path according to the display; And
And the lead frames being discharged along the different discharge paths are separated and stacked by the separator,
Wherein the plurality of cameras for line scan of the at least one area are arranged diagonally with respect to the conveying direction, the magazine is moved up and down by the elevating unit to a predetermined position, and each of the lead frames accommodated in the magazine Wherein the carrier is loaded on the loader by a vertically movable jig unit and is received in the carrier.
청구항 1에 있어서, 상기 다수 개의 카메라는 서로 다른 영상 획득 각도를 가지는 것을 특징으로 하는 엘이디 리드프레임의 검사 방법. The method of claim 1, wherein the plurality of cameras have different image acquisition angles. 삭제delete
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