KR101544272B1 - 디지털 메모리 특성 브러쉬 폴리에테르 블록 공중합체 고분자, 이의 제조방법 및 이를 이용하는 메모리 소자 - Google Patents

디지털 메모리 특성 브러쉬 폴리에테르 블록 공중합체 고분자, 이의 제조방법 및 이를 이용하는 메모리 소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디지털 메모리 특성을 가지는 폴리에테르 고분자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브러쉬 말단에 디지털 메모리 특성을 가지는 화합물이 형성되는 폴리에테르 브러쉬 고분자 물질과 그 합성, 및 발명된 고분자를 상부 전극과 하부 전극사이에서 고분자를 활성층으로 이용하여 제조되는 비휘발성 메모리 소자에 관한 것이다.

Description

디지털 메모리 특성 브러쉬 폴리에테르 블록 공중합체 고분자, 이의 제조방법 및 이를 이용하는 메모리 소자 {DIGITAL MEMORY PROPERTY BRUSH POLYETHER BLOCK COPOLYMERS FOR MEMORY DEVICE, PREPARATION THEREOF AND PRODUCTS COMPRISING THE POLYMER}
본 발명은 디지털 메모리 특성을 가지는 폴리에테르 고분자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브러쉬 말단에 디지털 메모리 특성을 가지는 화합물이 형성되는 폴리에테르 브러쉬 고분자 물질과 그 합성, 및 발명된 고분자를 상부 전극과 하부 전극사이에서 고분자를 활성층으로 이용하여 제조되는 비휘발성 메모리 소자에 관한 것이다.
최근 각종 스마트 카드, 휴대용 단말기, 전자 화폐, 디지털 카메라, 게임용 메모리, MP3 플레이어 등 디지털 매체의 이용이 급격하게 증가하고 있는 가운데, 처리 및 저장하여야 할 정보의 양 또한 급증하고 있어 각종 메모리 소자에 대한 수요가 급증하고 있다. 또한, 이 같은 대용량 정보를 고속으로 처리하고자 하는 기술적인 요구가 커지고 있는 가운데 차세대 메모리 소자 개발에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 차세대 메모리소자는 초대용량, 저소비전력, 고속 처리가 가능함과 동시에 기록된 정보가 전원이 꺼지더라도 기록된 정보가 사라지지 않는 비휘발성 메모리이어야만 한다. 지금까지 진행된 대부분의 비휘발성 메모리에 대한 연구는 실리콘 재료에 기반을 둔 플래시 메모리가 주류를 이루고 있으나 실리콘계 메모리 소자는 근본적인 한계에 직면해 있다. 예를 들면, 기존의 플래시 메모리는 기록/소거 횟수가 제한되고, 기록 속도가 느리며, 고집적의 메모리 용량을 얻기
위한 미세화 공정으로 인해서 메모리 칩의 제조 비용이 상승하고 물리적 특성에 인하여 더 이상 칩을 소형화 할 수 없는 한계에 직면해 있다.
이와 같이 기존의 플래시 메모리 기술의 한계가 드러남에 따라 기존의 실리콘 메모리 소자를 대체하기 위한 연구가 활발하게 진행 되고 있는 가운데, 차세대 메모리들은 반도체 내부의 기본 단위인 셀을 구성하는 물질에 따라서 분류되어, 강유전체 메모리, 강자성 메모리, 상변화 메모리, 나노 튜브 메모리, 홀로그래픽 메모리, 유기 메모리 등이 있다.
이들 가운데 고분자 메모리는 기존의 metal-oxide-semiconductor 기반 비휘발성 무기메모리 소자들이 유연성과 이동성이 부족하고, 적층이 어려워 저장 용량을 늘이기 어려운 근본적인 한계를 극복할 수 있다. 일 예로 스핀코팅, 잉크젯프린팅 등과 같은 방법으로 쉽게 박막을 형성할 수 있어서 메모리 소자 제작 공정이 단순하고, 저가에 메모리 소자 제작이 가능하며, 복수의 유기 박막층을 유리, 플라스틱, 금속 호일과 같은 여러 가지 기판에 형성할 수 있어 저장 밀도를 무한정 높일 수 있다는 장점을 가지고 있다.
이러한 고분자 메모리는 상하부 전극 사이에 유기고분자 물질을 이용하여 메모리층을 형성하고 여기에 전압을 인가하여 메모리층의 저항값의 쌍안정성을 이용하여 메모리 특성을 구현하는 것이다. 상부 전극과 하부 전극이 교차하는 지점에 형성되는 셀이 쌍안정성을 제공한다.
즉 고분자 메모리는 상하부 전극 사이에 존재하는 고분자 물질의 전기적 신호에 의해 저항이 가역적으로 변해서 데이터 “0”과 “1”을 기록하고 읽을 수 있는 형태의 메모리이다. 이러한 고분자 메모리는 기존의 플래시 메모리의 장점인 비휘발성은 구현하면서 단점으로 인식되어온 공정성, 제조비용, 집적도 문제를 극복할 수 있는 차세대 메모리로 큰 기대를 모으고 있다.
유기 및 고분자 메모리의 일례로 미국 특허 공개 제 2004-27849호는 유기 활성층 사이에 금속 나노 클러스터를 적용한 유기 메모리 소자를 제안하고 있고, 또한 일본 특개소62-95882호는 유기 금속착제 전하 이동 (charge transger) 화합물인 CuTCNQ (7,7,8,8-tetracyano-p-quinodimethane)를 이용하는 유기 메모리 소자를 개시하고 있다. 그러나 이러한 소자 진공증착을 이용하여 메모리 소자의 유기 활성층을 형성하기 때문에 제조 공정이 복잡하고, 균일하게 금속 나노 클러스터를 소자 내에 형성하는 것이 어려운 문제점과 수율이 매우 낮고, 제조 비용이 상승하는 문제점이 있다. 한편, 고분자 이용한 비휘발성 메모리 소자에 있어서, 활성층으로 사용되는 화합물로는 알킬 그룹이 도입된 폴리싸이오펜 (polythiophene)계, 폴리아세틸렌(polyacetylene)계 및 폴리비닐카바졸(poly vinylcarbazole)계 고분자 화합물 등이 있다 (문헌 [H. S. Majumdar, A. Bolognesi, and A. J. Pal, Synthetic metal 140, 203-206 (2004)]; [M. P. Groves, C. F. Carvalho, and R. H. Prager, Materials Science and Engineering C, 3(3), 181-183 (1995)]; 및 Y. -S. Lai, C. -H., Tu and D. -L. Kwong, Applied Physics Letters, 87, 122101-122103 (2005)]참조). 폴리싸이오펜계 고분자의 경우에는 온/오프 상태를 나타내는 전압 값이 높다는 단점과 공기 중에서 불안정하며 온/오프 비율이 일정하지 않은 단점이 있으며, 폴리아세틸렌의 경우에는 메모리 소자로서의 가능성은 있지만 일반적으로 공액결합된 고분자 중 가장 공기 중에 산화되기 쉬운 고분자로 알려져 있기 때문에 실제로 디바이스 구현이 어렵다. 또한, 폴리비닐카바졸계 고분자의 경우에는 우수한 스위칭 특성을 보이는 것으로 보고되고 있으며 현재 활발히 연구 중인 것으로 알려져 있다 (문헌 [Y.
-S. Lai, C. -H., Tu and D. -L. Kwong, Applied Physics Letters, 87, 122101-122103 (2005)] 참조). 또한, 폴리아닐린도 메모리 소자재료로서 사용되어 왔으나, 유기용매에 대해 용해성이 낮은 문제가 있다 (문헌 [R. J. Tseng, J. Huang, J. Ouyang, R. B. Kaner, and Y. Yang, Nano Letters, 5, 1077-1080 (2005)]참조).
그러나, 이러한 제품들의 개발에도 불구하고 여전히 비휘발성 메모리 소자에 활성층으로 사용될 수 있는 새로운 고분자에 대한 요구가 계속되고 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 비휘발성 메모리 소자에 활성층으로 사용할 수 있는 새로운 고분자를 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 다른 과제는 비휘발성 메모리 소자에 활성층으로 사용할 수 있는 새로운 고분자의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 폴리에테르 고분자를 활성층으로 이용한 새로운 비휘발성 메모리 소자를 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 폴리에테르 고분자를 활성층으로 이용하여 비휘발성 메모리 소자를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 폴리에테르 브러쉬 고분자에 있어서, 적어도 일부의 브러쉬 말단에 하기 화학식(1)로 표현되는 정공 운반 물질군에서 선택되는 하나 이상의 관능기가 형성되며,
하기 화학식(1)에서 R은 -H, -CH3, -(CH2)nCH3. -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2, -(C6H6)CN, -(C6H6)2CN, -(C6H6)OH, -(C6H6)2OH, -(C6H6)COOH, -(C6H6)2COOH, -(C6H6)CHO, -(C6H6)2CHO, -(C6H6)NH2, -(C6H6)2NH2로 이루어진 군으로부터 선택되는 지방족 또는 방향족 유도체이며, 상기 n은 1~20인 것을 특징으로 한다.
Figure 112013092851216-pat00001
본 발명의 바람직한 실시에 있어서, 폴리에테르 브러쉬 고분자의 브러쉬 말단에 형성되는 정공운반을 위한 관능기는 하기 화학식(2)로 표현될 수 있다.
Figure 112013092851216-pat00002
본 발명에 있어서, 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 폴리에테르 고분자 주쇄에 다양한 링커를 통해 관능기가 도입되는 고분자를 의미한다
본 발명에 있어서, 폴리에테르 브러쉬 고분자는 브러쉬 말단의 1-99 %에 상기 화학식(1) 또는 화학식(2)의 관능기가 형성될 수 있으며, 적어도 일부의 다른 브러쉬 말단에는 -H, -CH3, -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2및 N3로 이루어지는 군으로부터 선택될 수 있다.
본 발명의 실시에 있어서, 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 주쇄가 블록 공중합체로 이루어지며, 상기 화학식(1) 또는 화학식(2)로 표현되는 관능기는 소정 블록에 형성된 브러쉬의 말단에 선택적으로 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 구체적으로 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 하기 화학식(3)으로 표현된다.
Figure 112013092851216-pat00003
(3)
상기식에서 ρ, σ는 R1, R2, R3, R4를 포함하는 탄소의 반복 단위를 나타내는 것으로 서로에 관계없이 1 내지 20의 값이고;
R1, R2, R3, R4, Y1, Y2은 서로에 관계없이 수소, 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬기이고;
m 및 n는 폴리에테르 단위체의 함량(mol %)을 나타낸 것으로, 0<m≤100 이고, 0≤n<100이며, m + n = 100이고;
Z1 및 Z2는 말단의 관능기와 폴리에테르 주쇄를 연결하는 링커로, -CH2ORO-, -CH2OROCO-, -CH2ORCOO-, -CH2OCORO-, -CH2ORNHCO-, -CH2OROCO(CH2)2OCO-, -CH2ORCO-, -CH2OROCO(CH2)2OCOR-, -CH2OCO(C6H6)2RO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO-, -CH2OCO(C6H6)2RCOO-, -CH2OCO(C6H6)2RNHCO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO(CH2)2OCO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO(CH2)2OCORO-, -CH2OCORO(C6H6)2-, -CH2OCOROCO(C6H6)2-, -CH2OCORCOO(C6H6)2-, -CH2OCORNHCO(C6H6)2, -CH2OCORO(C6H6)2ORO-, -CH2OCORO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCORO(C6H6)2ORCOO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORCOO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORCOO-, -CH2SRO-, -CH2SROCO-, -CH2SRCOO-, -CH2SRO-, -CH2SRNHCO-, -CH2SROCO(CH2)2OCO-, -CH2SRCO-, -CH2SROCO(CH2)2OCOR-, -CH2SO2RO-, -CH2SO2ROCO-, -CH2SO2RCOO-, -CH2SO2RNHCO-, -CH2SO2ROCO(CH2)2OCO-, -CH2SO2ROCO(CH2)2OCOR-, -CH2SO2RCO-, -CH2ORSRO-, -CH2ORSROCO-, -CH2ORSRCOO-, -CH2ORSRNHCO-, -CH2ORSROCO(CH2)2OCO-, -CH2ORSROCO(CH2)2OCOR-로 이루어진 군으로부터 선택되는 지방족 또는 방향족 유도체이며, 여기에서 R은 수소 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬기로 선택되며,
P는 상기 화학식 (1)에서 하나 이상 선택되는 관능기이며,
X는 -H, -CH3, -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2및 N3로 이루어지는 군으로부터 선택된다. 상기 브러쉬 고분자 화합물의 중량평균 분자량은 5,000 내지 5,000,000, 바람직하게는 5,000 내지 500,000이다.
본 발명에 따른 자기조립성 폴리에테르 블록 공중합체의 대표적인 예로서 하기 화학식 4의 구조를 갖는 poly(hydroxyundecanylthiopropyl glycidyl ether)40-b-poly(glycidyl 11-((4'-(9H-carbazol-9-yl)-[1,1'-biphenyl]-4-yl)oxy) undecanoate)65 이 있다 (이하 PGPSUOH40-b-PGCBU65라 약칭함) 상기 식에서, m 및 n은 상기 화학식 3에서 정의한 바와 같다.
Figure 112013092851216-pat00004
(4)
본 발명은 일 측면에서, 화학식 3의 폴리에테르 브러쉬 블록 공중합체를 제조하는 방법으로서, 하기 화학식 (5)에 의해서 표현되는 폴리에테르 블록 공중합체를 제조하는 단계,
Figure 112013092851216-pat00005
(5)
여기서, ρ, σ, R1, R2, R3, R4, Y1, Y2, m 및 n은 화학식 (1)에서 정의한 바와 같으며;
상기 폴리에테르 블록 공중합체에서 측쇄에 부착된 관능기 B를 하기 화학식(6)으로 표현되는 화합물과 반응시키는 단계,
X-B’ (6)
여기서, X-는 상기 화학식(1)에 정의한 바와 같으며, 상기 B와 B’은 상호간의 반응에 의해서, 예를 들어 에스테르 반응에 의해서 상기 화학식 3의 링커 Z2를 이루는 잔기들이며;
상기 폴리에테르 블록 공중합체에서 측쇄에 부착된 관능기 A를 하기 화학식(7)으로
표현되는 화합물과 반응시키는 단계를 포함하는 방법을 제공하며,
P-A’(7)
여기서, 상기 A와 A’은 상호간의 반응에 의해서, 예를 들어 이중결합의 첨가 반응에 의해서 상기 화학식 3의 링커 Z1를 잔기이다.
본 발명의 바람직한 실시에 있어서, 상기 B는 -ROH이며, 바람직하게는 -CH2OH이며, 상기 X-B’은 하기 화학식(12)으로 표현될 수 있으며, 여기서 R은 탄소수 1-20의 알킬이다.
Figure 112013092851216-pat00006
(12)
본 발명의 바람직한 실시에 있어서, 상기 A는 말단에 알릴기가 형성된 관능기, 일예로 -CH2OCH-C=CH2로 표현되는 화합물이며, 상기 P-A’는 하기 화학식(13)의 화합물로 표현될 수 있으며, 여기서 R은 탄소수 1-20 알킬인 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
SH-R-OH (13)
이다.
본 발명의 바람직한 실시에 있어서, 상기 화학식(5)의 화합물은 하기 화학식(8)로 표현될 수 있으며, 여기서 R은 독립적으로 탄소수 1-20의 알킬이다.
Figure 112013092851216-pat00007
(8)
본 발명의 실시에 있어서, 상기 화학식(5)의 화합물은 하기 화학식(9) 화합물에서,
Figure 112013092851216-pat00008
(9)
여기서, X1과 X3, -RO-, -O-, -COO-, -NH-, -S-, -SOO-, -R-로 이루어지는 군으로부터 독립적으로 선택되는 링커로서 여기서 R은 탄소수 1-20의 알킬기이며, X2와 X4는 (7)에서 독립적으로 선택되는 보호기이며,
Figure 112013092851216-pat00009
(10)
일부의 보호기를 선택적으로 제거하여 제조될 수 있다.
본 발명의 실시에 있어서, 상기 화학식(9)의 폴리에테르 블록 공중합체 화합물은 하기 화학식(11)로 표현되는 화합물들을 순차적으로 블록 공중합하여 제조될 수 있다.
Figure 112013092851216-pat00010
(11)
여기서, Xa는 X1 또는 X3, Xb는 X2 또는 X4이며, n는 1-8의 정수이며, 포스파진 촉매하에서 개환된다.
본 발명은 다른 일 측면에서, 상기 화학식 3의 화합물을 이용한 유기 메모리 조사를 제공한다. 본 발명에 따른 유기 메모리 소자는 제 1전극, 상기 제 1전극 상에 형성된 활성층, 및 상기 활성층 상에 형성된 제 2 전극을 포함하며, 상기 활성층이 상기 화학식 3으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명의 유기 메모리 소자의 활성층은 상기의 폴리에테르 블록공중합체 고분자로 형성되는 두께 5 내지 100nm 이내의 막 형태로 구성된다.
본 발명은 또 다른 일 측면에서,
기판 상에 형성된 하부 전극 위에 상기 화학식 3으로 이루어진 활성층을 형성하는 단계; 상기 활성층을 나노 구조화하는 단계; 및 상기 활성층과 접촉하도록 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
본 발명의 실시에 있어서, 상기 나노 구조화는 활성층의 용매 어닐링을 통해서 이루어질 수 있으며, 이러한 나노 구조는 또한 활성층을 이루는 블록 공중합체에서 각 블록의 부피비에 따라서 변화된다. 상기 활성층은 폴리에테르 블록공중합체 고분자로 구성되고, 유기 메모리 제조 후 메모리 소자의 전극의 양단에 전압을 인가하면, 전극을 통해 전자와 홀이 활성층 안으로 유입되고, 활성층 내부에서 형성되는 필라멘트를 통해 전류가 운반된다. 이러한 메모리 소자에 전압을 인가하면 활성층의 저항값이 쌍안정성을 나타내어 메모리 특성을 보이게 된다. 그리고 활성층 고분자의 각 블록의 부피비에 따라 형성된 나노구조체들이 이러한 메모리 특성에 영향을 주게 된다.
본 발명에 의해서 폴리에테르 브러쉬 고분자를 활성층으로 이용하는 유기 메모리 소자와 그 제조 방법이 제공되었다. 또한, 유기 메모리 소자의 활성층으로 사용할 수 있는 새로운 폴리에테르 브러쉬 고분자와 그 제조 방법이 제공되었다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 고분자 메모리 소자의 단면 개략도이다. 실시예 1의 경우, 1은 Al 전극, 2는 고분자 활성층, 3은 Al 전극, 4는 SiO2/Si 이다.
도 2는 실시예 1에서 제조된 고분자 메모리 소자의 두께가 10nm인 활성층의 고분자 블록 간의 부피비가 1:1인 고분자(PGPSUOH84-b-PGCBU37)의 전압에 따른 전류 변화를 나타낸 그래프이다.
도 3은포항 방사광 가속기의 9A 빔라인을 이용하여 고분자 박막 구조를 분석하는 스침각 입사 엑스선 산란(Grazing Incidence X-ray Scattering; GIXS) 장치를 이용하여 고분자 블록 간의 부피비가 1:1인 고분자(PGPSUOH84-b-PGCBU37)의 나노구조체를 측정한 2차원 이미지 결과이다.
(a)는 스침각 입사 소각 엑스선 산란 (Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering; GISAXS )결과
(b)는 스침각 입사 광각 엑스선 산란 (Grazing Incidence Wide Angle X-ray Scattering; GISAXS )결과
도 4는 상기 도 3의 결과를 기질의 수직한 방향으로 데이터를 추출하여 고분자 블록 간의 부피비가 1:1인 고분자(PGPSUOH84-b-PGCBU37)의 자기조립특성에 의한 나노 구조를 확인한 그래프 결과
(a)는 스침각 입사 소각 엑스선 산란 (Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering; GISAXS )결과
(b)는 스침각 입사 광각 엑스선 산란 (Grazing Incidence Wide Angle X-ray Scattering; GISAXS )결과
이하, 실시예를 통해서 본 발명을 상세하게 설명한다. 하기 실시예는 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니며, 발명을 예시하기 위한 것임을 유념하여야 한다.
<합성예 1>
Figure 112013092851216-pat00011
각기 다른 블록 부피비를 (AGE/EEGE = 107/13, 84/37, 40/65) 가지는 폴리에테르 블록 공중합체인 poly(allyl glycidyl ether-b-ethoxyethyl glycidyl ether) (PAGE-b-PEEGE)는 음이온 중합법을 이용하여 중합한다. 모든 중합 반응은 아르곤 기체하에 습도와 산소의 용량이 조절된 glovebox에서 중합한다. AGE/EEGE = 40/65의 블록 부피비를 가지는 블록 공중합체의 합성법을 대표적으로 나타내었다. 250mL의 둥근바닥 플라스크에 0.466mL(3.42mmol)의 페닐프로필알코올, 130.0mL의 톨루엔, 그리고 3.42mL(3.42mmol )의 t-Bu-P4 포스파진 촉매를 넣고 교반을 해준다. 이 용액에 41.0mL(345mmol)의 알릴 글라이시딜 에테르를 넣고 상온에서 20시간 교반하였다. 이후 여기에 6.63mL(44.5mmol)의 에톡시에틸 글라이시딜 에테르를 넣고 다시 상온에서 20시간 교반하였다. 이 반응물에 벤조익산(2.1g)을 넣어 반응을 종료시킨 후 테트라하이드로퓨란으로 묽여준다. 이 후 알루미나 컬럼을 이용하여 정제하고 용매를 날린 후에 40°C 진공 하에서 8시간 건조하여 폴리에테르 블록 공중합체(PAGE40-b-PEEGE65)를 제조하였다. Yield: 70 %. 1H NMR (300 MHz, CDCl3, δ (ppm)): 7.21-7.29 (m, 5H, aromatic protons from initiator), 5.88 (m, 40H, -OCH2CHC(Ha)Hb), 5.25 (d, 40H, -OCH2CHC(Ha)Hb ), 5.15 (d, 40H, -OCH2CHC(Ha )Hb), 4.69 (q, 65H, -OCH(CH3)O-EEGE), 4.0 (d, 80H, -OCH2 CHC(Ha)Hb), 3.43-3.69 (m, -OCH2 CH-, CH2 groups in main chain, -OCH2CH3-EEGE, Ph-CH2CH2CH2 O), 2.68 (t, 2H, Ph-CH2 CH2CH2O), 1.87 (m, 2H, Ph-CH2CH2 CH2O), 1.29 (d, 195H, -OCH(CH3 )O-EEGE), 1.20 (t, 195H, -OCH2CH3 -EEGE); 13C NMR (75 MHz, CDCl3, δ): 15.3, 19.8, 31.2, 32.3, 60.7, 64.8, 69.8, 70.0, 70.6, 72.2, 78.9, 99.7, 116.7, 125.7, 128.3, 128.4, 134.9, 141.9; IR (film, ν (cm-1)): 3100 (w), 2978 (s), 2930-2870 (s), 1650 (w), 1455 (m), 1380, 1340, 1300, 1270 (m), 1135-1060 (s), 1000 (m), 930 (m), 877(m).
<합성예 2>
Figure 112013092851216-pat00012
합성예 1에서 얻은 폴리에테르 블록 공중합체 화합물 1.80g (에톡시에틸 글라이시딜 에테르 = 6.90mmol)을 테트라하이드로퓨란에 녹인 후에 6.90mmol의 염산을 넣어준 후 상온에서 5시간동안 교반해준다. 이후 이 용액에 중탄산나트륨을 넣어 중화시킨 후 감압 하에서 용매를 날려준다. 이렇게 얻은 화합물을 클로로포름에 녹인 후 녹지 않는 물질을 필터를 해서 걸러낸 후 클로로포름을 날리고 40°C 진공 하에서 8시간 건조하여 목적 화합물(PAGE40-b-PG65)을 얻었다. Yield: 87 %. 1H NMR (300 MHz, DMSO-d6 , δ (ppm)): 7.16-7.29 (m, 5H, aromatic protons from initiator), 5.88 (m, 40H, -OCH2CHC(Ha)Hb), 5.25 (d, 40H, -OCH2CHC(Ha)Hb ), 5.15 (d, 40H, ?OCH2CHC(Ha )Hb), 4.50 (br, 65H, -(CH2)OH), 4.00 (d, 80H, -OCH2 CHC(Ha)Hb), 3.43-3.69 (m, -OCH2 CH-, CH2 groups directly bonded to the main chain, Ph-CH2CH2CH2 O), 2.68 (t, 2H, Ph-CH2 CH2CH2O), 1.80 (m, 2H, Ph-CH2CH2 CH2O).
<합성예 3>
Figure 112013092851216-pat00013
100mL의 둥근 바닥 플라스크에 4.10g(16.5mmol)의 4-브로모페놀, 0.73g(18.3mmol)의 NaOH를 넣고 25mL의 아세톤으로 녹인다. 여기에 에틸 11-브로모언데카노에이트 4.48mL(17.3mmol)을 천천히 넣고 60 ℃에서 24시간동안 천천히 교반해준다. 이후 상온으로 용액을 식힌 후 클로로포름으로 추출하고 물로 씻어 준 후 MgSO4를 이용하여 물을 제거한다. 감압 가열을 이용해 용매를 제거한 후에 다이클로로메탄과 메탄올을 이용하여 재결정으로 정제하여 에틸 11-(4-브로모페녹시)언데카노에이트 화합물을 얻는다. Yield: 4.83 g (76%). 1H NMR (δ (ppm), 300 MHz, CDCl3): 1.25-1.29 (t, 3H, COOCH2CH3 ), 1.30-1.39 (m, 10H, -CH2 -), 1.45 (t, 2H, -CH2 -), 1.64 (t, 2H, -CH2 -), 1.78 (m, 2H, -CH2 -), 2.31 (t, 2H, CH2 COOCH2), 3.92 (t, 2H, OCH2 ), 4.14 (q, 2H, COOCH2 CH3), 6.78 (d, 2H, Ar), 7.37 (d, 2H, Ar).
두 번째 단계로 앞선 단계에서 얻어진 에틸 11-(4-브로모페녹시)언데카노에이트 4.83g(12.5mmol)을 88mL의 톨루엔으로 녹인 후 여기에 4.32g(15.0mmol)의 4-(9-카바졸릴)페닐 보로닉산 과 1.0g(0.88mmol)의 텍트라크스(트라이페닐포스파인)팔라듐(0)을 넣는다. 이 용액에 12.5mL의 물과 2.5mL의 에탄올에 녹인 1.33g의 Na2CO3 용액을 넣은 후 90℃ 에서 20시간동안 교반해준다. 교반 후 상온으로 온도를 내린 후 클로로포름으로 추출한다. 추출된 유기용매층을 brine으로 씻어준 후에 MgSO4를 이용하여 물을 제거한다. 감압 가열을 이용해 용매를 제거한 후에 다이클로로메탄과 헥산을 이용하여 재결정으로 정제하여 에틸 11-((4’-(9-카바졸릴)-[1,1’-바이페닐]-4-일)옥시)언데카노에이트를 얻는다. Yield: 4.96 g (72%). 1H NMR (δ (ppm), 300 MHz, CDCl3): 1.25-1.29 (t, 3H, COOCH2CH3 ), 1.30-1.39 (m, 10H, -CH2 -), 1.45 (t, 2H, -CH2 -), 1.64 (t, 2H, -CH2 -), 1.82 (m, 2H, -CH2 -), 2.31 (t, 2H, CH2 COOCH2), 4.03 (t, 2H, OCH2 ), 4.14 (q, 2H, COOCH2 CH3), 7.03 (d, 2H, Ar), 7.35 (m, 3H, Ar), 7.39-7.58 (m, 4H, Ar), 7.61 (m, 2H, Ar), 7.75 (q, 2H, Ar), 7.94 (d, 1H, Ar), 8.18 (t, 2H, Ar).
마지막 단계로 앞서 얻어진 화합물 4.96g(11.7mmol)을 테크라하이드로퓨란에 녹인 후KOH 1.97g(15mmol)과 5.25mL메탄올을 천천히 넣어준다. 이 후 35 ℃에서 7시간동안 교반해주고 상온으로 식혀준다. 여기에 0.5M 염산용액을 pH가 2가 될 때까지 넣어주고 클로로포름으로 추출을 진행한다. 추출된 유기 용매층을 MgSO4를 이용하여 물을 제거한 후 감압 가열을 이용해 용매를 제거한다. 3:2 볼륨비의 헥산과 에틸 아세테이트 전개용액으로 실리카겔 컬럼을 진행하여 정제한 후에 다이클로로메탄과 메탄올을 이용하여 재결정으로 다시 한번 정제하여 목적화합물을 얻는다. Yield: 4.0 g (66%). 1H NMR (δ (ppm), 300 MHz, CDCl3): 1.30-1.40 (m, 10H, -CH2 -), 1.47 (t, 2H, -CH2 -), 1.64 (t, 2H, -CH2 -), 1.82 (m, 2H, -CH2 -), 2.36 (t, 2H, CH2 COOCH2), 4.03 (t, 2H, OCH2 ), 7.03 (d, 2H, Ar), 7.30 (m, 2H, Ar), 7.32-7.50 (m, 4H, Ar), 7.61 (m, 4H, Ar), 7.78 (d, 2H, Ar), 8.17 (d, 2H, Ar).
<합성예 4>
Figure 112013092851216-pat00014
합성예 2에서 얻은 폴리에테르 블록 공중합체 화합물 PAGE40-b-PG65 1.13 g(PG = 7.71 mmol)을 53mL의 클로로포름에 녹인 후 여기에 합성예 3에서 얻은 화합물 4.61g(8.87 mmol), EDC 2.55 g(13.3 mmol), DMAP 0.81g(6.65 mmol)을 넣고 30 ℃에서 24시간동안 교반해준다. 감압 가열을 이용해 용매를 제거한 후 클로로포름에 녹여 메탄올에서 여러 번 침전을 잡는다. 여러 번의 침천 정제를 후에 목적 화합물 PAGE40-b-PGCBU65을 얻는다. PAGE40-b-PGCBU65, yield: 72.0%. 1H NMR (300 MHz, CDCl3, δ (ppm)): 1.20-1.38 (br, 650H, -(CH2 )5-), 1.43 (br, 130H, -CH2 -), 1.60 (br, 130H, -CH2 -), 1.76 (br, 130H, -CH2 -, 1.87 (m, 2H, Ph-CH2CH2 CH2O), 2.31 (t, 130H, -COOCH2 (CH2)9-), 2.68 (t, 2H, Ph-CH2 CH2CH2O), 3.43-3.70 (m, -OCH2 CH-, CH2 -AGE groups directly bonded to the main chain, Ph-H2CH2CH2 O), 3.89-4.0 (br, 210H, -CH2 CHC(Ha)Hb, -CH2 OAr-GCBU), 4.06, 4.25 (br, 130H, CH2 -GCBU groups directly bonded to the main chain), 5.1-5.3 (m, 80H, -CH2CHC(Ha )Hb, -CH2CHC(Ha)Hb ), 5.88 (m, 40H, -CH2CHC(Ha)Hb), 6.91 (br, 130H, Ar-GCBU), 7.20 (br, 130H, Ar-GCBU), 7.38 (br, 260H, ArGCBU), 7.52 (br, 260H, Ar-GCBU), 7.67 (br, 130H, Ar-GCBU), 8.11 (br, 130H, Ar-GCBU).
<합성예 5>
Figure 112013092851216-pat00015
50mL쉬링크 플라스크에 합성예 4에서 얻은 화합물 PAGE40-b-PGCBU65 1.64 g(AGE = 1.55 mmol)을 넣고 11mL의 클로로포름, 디메틸포름아마이드 혼합용매(부피비 1:10)로 녹혀준다. 여기에 AIBN 0.19 g(1.16 mmol)과 11-머캅토-1-언데카놀 2.54 g(12.4 mmol)을 넣고 디캐싱 과정을 통해 용매의 산소와 습기를 제거한다. 이 용액을 75 ℃에서 24시간동안 교반해준다. 이 후 상온으로 식혀준 후 감압 과정을 통해 일부 용매를 제거하고 물과 메탄올 혼합용매에 침전을 잡아준다. 클로로포름으로 녹인 후 디에틸 에테르에 여러 번 침전을 시켜 정제하면 목적 화합물 PGPSUOH40-b-PGCBU65, 을 얻을 수 있다. Yield: 71 %. 1H NMR (300 MHz, CDCl3, δ (ppm)): 1.20-1.30 (br, 20H, -CH2 )5-, -CH2 )5-), 1.43 (br, 6H, -CH2 -), 1.58 (br, 6H, -CH2 -), 1.70-1.89 (br, 4H, -CH2 -), 2.31 (t, 2H, -COOCH2 (CH2)9-), 2.45-2.60 (m, 4H, -CH2CH2 SCH2 -), 3.43-3.70 (m, -OCH2 CH-, CH2 -GPSUOH groups directly bonded to the main chain, -OCH2 CH2CH2S-, -CH2CH2 OH, Ph-CH2CH2CH2 O), 3.80-3.98 (br, 2H, -CH2 OAr-GCBU), 4.06, 4.25 (br, 2H, CH2 -GCBU groups directly bonded to the main chain), 6.91 (br, 2H, Ar-GCBU), 7.20 (br, 2H, Ar-GCBU), 7.38 (br, 4H, Ar-GCBU), 7.49 (br, 4H, Ar-GCBU), 7.65 (br, 2H, Ar-GCBU), 8.11 (br, 2H, Ar-GCBU).
유기메모리 실시예
실리콘 기판 위에 열산화 반응(thermal oxidation)을 통해 절연막 SiO2를 형성시킨 후, 그 위에 전자빔(electron beam) 또는 열증착장치(thermal evaporator)를 이용하여 30 ~ 100 nm 두께를 가지는 Al 전극을 형성시켰다.
그 다음, 상기 합성예 5에서 제조된 고분자를 테트라하이드로퓨란 용매에 질량 퍼센트를 달리하여 용해시킨 후, 0.45 마이크로필터의 실린지 필터로 걸러 내어낸 용액을 위의 Al 전극에 스핀코팅 한다. 이렇게 형성된 고분자 활성층을 진공상태에서 40 ℃에서24시간 열처리하여 전극 위에 5~50nm 두께의 고분자 활성층을 가지는 박막을 만들었다. 이 때 활성층의 두께는 알파-스텝 프로파일러 (Alpha-Step profiler)와 타원 편광기 (Ellipsometry)를 이용하여 측정하였다. 이렇게 만들어진 고분자 활성층을 용매의 증기를 이용하여 나노구조체를 형성시켜준다. PGPSUOH40-b-PGCBU65 필름은 CS2 용매 증기에서 6 시간 동안, PGPSUOH84-b-PGCBU37 필름은 CS2 용매 증기에서 3 시간, PGPSUOH107-b-PGCBU13 필름은 톨루엔 용매 증기에서 6시간 처리하여 나노구조체를 형성한다. 이렇게 만들어진 고분자 활성층 위에 Al 전극을, 전자빔(electron beam) 또는 열증착장치(thermal evaporator)를 이용하여 50 nm 내지 100nm 두께로 증착시켜 메모리 소자를 완성하였다. 이 때 증착되는 전극의 두께는 석영 모니터 (quartz crystal monitor)를 통하여 조절하였다.
메모리 소자의 특성 시험
실시예에서 얻어진 유기 메모리 소자의 전기적 특성을 측정하기 위하여 반도체 분석기(Semiconductor Analyzer)에 연결된 프로브 스테이션 (Probe station)을 이용하였다. 고분자 활성층의 양단의 전극에 프로브 스테이션의 텅스텐 팁을 접촉하고 전압을 인가함에 따른 전류의 변화를 측정하여서 스위칭 특성을 보았다.
도 2의 Al 전극을 기반으로 하는 소자의 전압-전류 관계의 그래프에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 폴리에테르 블록 공중합체 고분자를 활성층으로 갖는 메모리 소자는 낮은 전압에서 낮은 전류 상태, 오프상태(Off-state)를 유지하다가 특정 전압 (±1~9 V) 부근에서 Turn-On 이 되어 높은 전류 상태, 온상태(On-state)를 유지하고 이후의 반복된 양방향 sweep 에서도 안정적으로 온상태(On-state)를 유지하는 경향성을 보여 주었다. 여기서 Turn-On 이 되는 현상은 메모리의 현상 중에서 ‘Write’ 현상에 해당하는 것이다. 이 소자들은 활성층의 나노구조체에 따라 한번 'Write'를 하면 지워('Erase')지지 않고 계속해서 온상태, 즉 'Write' 상태를 유지하는 특성인 Write-Once-Read-Many times (WORM) 현상이나 전원이 있는 상태에서만 'Write' 상태를 유지하는 특성인 dynamic random access memory (DRAM) 현상을 보여주었다. 또한 이 메모리 소자들은 두 가지 저항상태(On & Off) 상태에서, 예를 들어 0.5 V에서 On 상태인 경우 전류가 6.9 x 10-3 A 이며 Off 상태인 경우 2.3 x 10-10A, 온-오프 상태의 전류비(On-Off ratio)가 106-107 가량으로 상당히 안정적인 WORM과 DRAM 메모리 소자의 특성을 보여주었다. 즉, 메모리 소자의 특성을 결정짓는 가장 중요한 요소는 고분자 활성층인데, 본 발명에 따른 폴리에테르 블록 공중합체 고분자 활성층은 형성되는 나노구조체에 따라 각기 다른 메모리 특성을 가지며 데이터 저장 능력이 우수하다는 것을 확인 할 수 있었다.

Claims (20)

  1. 적어도 일부의 브러쉬 말단에 하기 화학식(1)로 표현되는 정공 운반 물질군에서 선택되는 하나 이상의 관능기가 형성되는 폴리에테르 블록 공중합체인 폴리에테르 브러쉬 고분자.
    Figure 112015033427212-pat00016

    여기서, 상기 화학식(1)에서 R은 -H, -CH3, -(CH2)nCH3. -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2, -(C6H6)CN, -(C6H6)2CN, -(C6H6)OH, -(C6H6)2OH, -(C6H6)COOH, -(C6H6)2COOH, -(C6H6)CHO, -(C6H6)2CHO, -(C6H6)NH2, -(C6H6)2NH2로 이루어진 군으로부터 선택되며, n은 1-20의 정수인 지방족 또는 방향족 유도체임.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화학식(1)의 관능기는 하기 화학식(2)로 표현되는 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자.
    Figure 112013092851216-pat00017
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 폴리에테르 브러쉬 고분자는 브러쉬 말단의 1-99 %에 상기 화학식(1)의 관능기가 형성되며, 적어도 일부의 다른 브러쉬 말단은 -H, -CH3, -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2및 N3로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자.
  5. 하기 화학식(3)으로 표현되는 폴리에테르 브러쉬 고분자.
    Figure 112015033427212-pat00018
    (3)
    상기식에서 ρ, σ는 R1, R2, R3, R4를 포함하는 탄소의 반복 단위를 나타내는 것으로 서로에 관계없이 1 내지 20의 값이고;
    R1, R2, R3, R4, Y1, Y2은 서로에 관계없이 수소, 탄소수 1 내지 20의 알킬기이고;
    m 및 n는 폴리에테르 단위체의 함량(mol %)을 나타낸 것으로, 0<m≤100 이고, 0≤n<100이며, m + n = 100이고;
    Z1 및 Z2는 말단의 관능기와 폴리에테르 주쇄를 연결하는 링커로, -CH2ORO-, -CH2OROCO-, -CH2ORCOO-, -CH2OCORO-, -CH2ORNHCO-, -CH2OROCO(CH2)2OCO-, -CH2ORCO-, -CH2OROCO(CH2)2OCOR-, -CH2OCO(C6H6)2RO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO-, -CH2OCO(C6H6)2RCOO-, -CH2OCO(C6H6)2RNHCO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO(CH2)2OCO-, -CH2OCO(C6H6)2ROCO(CH2)2OCORO-, -CH2OCORO(C6H6)2-, -CH2OCOROCO(C6H6)2-, -CH2OCORCOO(C6H6)2-, -CH2OCORNHCO(C6H6)2, -CH2OCORO(C6H6)2ORO-, -CH2OCORO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCORO(C6H6)2ORCOO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCOROCO(C6H6)2ORCOO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORCO-, -CH2OCORCOO(C6H6)2ORCOO-, -CH2SRO-, -CH2SROCO-, -CH2SRCOO-, -CH2SRO-, -CH2SRNHCO-, -CH2SROCO(CH2)2OCO-, -CH2SRCO-, -CH2SROCO(CH2)2OCOR-, -CH2SO2RO-, -CH2SO2ROCO-, -CH2SO2RCOO-, -CH2SO2RNHCO-, -CH2SO2ROCO(CH2)2OCO-, -CH2SO2ROCO(CH2)2OCOR-, -CH2SO2RCO-, -CH2ORSRO-, -CH2ORSROCO-, -CH2ORSRCOO-, -CH2ORSRNHCO-, -CH2ORSROCO(CH2)2OCO-, -CH2ORSROCO(CH2)2OCOR- 로 이루어진 군으로부터 선택되는 지방족 또는 방향족 유도체이며, 여기에서 R은 수소 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬기로 선택되며,
    X는 하기 화학식 (1)의 정공 운반 물질군에서 하나 이상 선택되는 관능기이며,
    P는 -H, -CH3, -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2및 N3로 이루어지는 군으로부터 선택되며,
    상기 브러쉬 고분자 화합물의 중량평균 분자량은 5,000 내지 5,000,000이며,
    Figure 112015033427212-pat00019

    여기서, 상기 화학식(1)에서 R은 -H, -CH3, -(CH2)nCH3. -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2, -(C6H6)CN, -(C6H6)2CN, -(C6H6)OH, -(C6H6)2OH, -(C6H6)COOH, -(C6H6)2COOH, -(C6H6)CHO, -(C6H6)2CHO, -(C6H6)NH2, -(C6H6)2NH2로 이루어진 군으로부터 선택되며, n은 1-20의 정수인 지방족 또는 방향족 유도체임.
  6. 제5항에 있어서, 상기 화학식(1)의 관능기가 하기 화학식(2)로 표현되는 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자.
    Figure 112013092851216-pat00020
  7. 제5항에 있어서, 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 하기 화학식 4로 표현되는 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자.
    Figure 112013092851216-pat00021
    (4)
    여기서, m 및 n는 폴리에테르 단위체의 함량(mol %)을 나타낸 것으로, 0<m≤100 이고, 0≤n<100이며, m + n = 100.
  8. 하기 화학식 (5)에 의해서 표현되는 폴리에테르 블록 공중합체와,
    Figure 112015033427212-pat00022
    (5)
    여기서, ρ, σ는 R1, R2, R3, R4를 포함하는 탄소의 반복 단위를 나타내는 것으로 서로에 관계없이 1 내지 20의 값이고,
    R1, R2, R3, R4, Y1, Y2은 서로에 관계없이 수소, 탄소수 1 내지 20의 알킬기이고,
    m 및 n는 폴리에테르 단위체의 함량(mol %)을 나타낸 것으로, 0<m≤100 이고, 0≤n<100이며, m + n = 100이며;
    하기 화학식(6)으로 표현되는 화합물과 반응시키는 단계,
    X-B’ (6)
    여기서, 상기 X 는 청구항 1의 화학식(1)로 표현되는 관능기이며, B’는 B와 반응하여 청구항 5의 링커 Z2를 이루는 잔기이며;
    하기 화학식(7)로 표현되는 화합물과 반응시키는 단계,
    P-A’ (7)
    여기서 상기 P는 -H, -CH3, -COOH, -CHO, -OH, -NH2, -C6H6, -(C6H6)2및 N3로 이루어지는 군으로부터 선택되며, A와 A’는 상호 반응하여 링커 Z1을 이루는 잔기인 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 B는 -R-OH이며, A는 -R-O-R=C이며, 여기서 R은 각각 독립적으로 탄소수 1-20 알킬인 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 화학식(5)는 하기 화학식(8)의 화합물로 표현되며, 여기서 R은 탄소수 1-20의 알킬인 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
    Figure 112013092851216-pat00023
    (8)
  11. 제8항에 있어서, 상기 화학식 (6)의 X-B’는 하기 화학식(12)으로 표현되며, 여기서 R은 탄소수 1-20의 알킬인 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
    Figure 112013092851216-pat00024
    (12)
  12. 제8항에 있어서, 상기 화학식(7)의 P-A’는 하기 화학식(13)의 화합물로 표현되며, 여기서 R은 탄소수 1-10 알킬인 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
    SH-R-OH (13)
  13. 제8항에 있어서, 상기 화학식 (5)에 의해서 표현되는 폴리에테르 블록 공중합체는 하기 화학식(9) 화합물에서,
    Figure 112013092851216-pat00025
    (9)
    여기서, X1과 X3, -RO-, -O-, -COO-, -NH-, -S-, -SOO-, -R-로 이루어지는 군으로부터 독립적으로 선택되는 링커로서 여기서 R은 탄소수 1-20의 알킬기이며, X2와 X4는 (7)에서 독립적으로 선택되는 보호기이며,
    Figure 112013092851216-pat00026
    (10)
    일부의 보호기를 선택적으로 제거하여 제조되는 것을 특징으로 하는 폴리에테르 브러쉬 고분자 제조 방법.
  14. 상기 청구항 1-2 및 4-7중 어느 한 항에 따른 폴리에테르 브러쉬 고분자를 포함하는 활성층을 가지는 고분자 메모리 소자.
  15. 제14항에 있어서, 상기 고분자 메모리 소자는
    하부 전극; 상기 하부전극 위에 형성된 유기 활성층; 및 상기 유기 활성층 위에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 메모리 소자.
  16. 제14항에 있어서, 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 나노구조화된 것을 특징으로 하는 고분자 메모리 소자.
  17. 기판상에 형성된 하부 전극 위에 청구항 1-2 및 4-7 중 중 어느 한 항에 따른 폴리에테르 브러쉬 고분자를 포함하는 활성층을 형성하는 단계; 및
    상기 활성층과 접촉하도록 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 고분자 메모리 소자 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 폴리에테르 브러쉬 고분자는 나노구조화된 폴리에테르 브러쉬 고분자인 것을 특징으로 하는 고분자 메모리 소자 제조 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 나노 구조화는 활성층의 용매 어닐링을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 고분자 메모리 소자의 제조 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 고분자 메모리 소자의 양단에 전압을 가하여 활성층 안으로 전자와 홀을 유입시켜, 활성층 내부에 필라멘트를 통하여 전류가 흐르도록 하는 단계를 더 포함하는 고분자 메모리 소자의 제조 방법.
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