KR101522664B1 - 진공 흡착 플레이트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공흡착 플레이트에 관한 것으로, 본 발명은 상면 중앙에 진공발생장치와 연결되는 흡입포트가 관통 형성되는 흡입패널; 체결부재에 의해 상기 흡입패널의 하부에 밀착 결합되며, 저면으로부터 상향 흡착대상물을 선택적으로 흡착시키는 흡착홀이 형성되고 상면으로부터 진공분배공간이 함몰 형성되며, 상기 흡착홀 상부에 상기 진공분배공간과 연통시키는 연통공간이 형성되어 상기 흡입패널의 하측에 밀착 결합되는 흡착패널; 및 상기 진공발생장치의 작동시 상기 흡착홀로부터 유입되는 공기가 유입되도록 하부가 개방 형성되어 상부 외면에 내측으로부터 흡입연통공이 관통되어 선택적으로 승강되는 승강부재와, 상기 흡착패널의 상기 연통공간 내에 결합고정되도록 하부 외면에 나선이 형성되고 개방된 하부를 통하여 상기 승강부재의 상단이 내측 공간의 상면과 일정간극을 가지도록 상기 승강부재의 외면에 형성된 단턱 상에 탄성부재가 개재되어 상기 승강부재가 하측으로부터 삽입된 후 구속링에 의해 구속되며, 상기 흡입연통공을 경유한 공기가 선택적으로 상기 진공분배공간 측으로 유입되도록 상면 중앙에 흡입연통홀이 관통 형성되는 고정부재로 구성된 흡착제어유닛을 포함하여 이루어지는 구성을 통하여, 흡착대상물이 접촉되지 않는 흡착패널의 일부 흡착홀을 선택적으로 폐쇄되도록 함으로써 진공압력 누설을 방지하여 진공압력의 손실이 없게 할 수 있으며, 이에 따라 크기 및 흡착위치와 상관없이 다양한 크기의 흡착대상물을 안정적으로 진공흡착할 수 있도록 한 진공흡착 플레이트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

Description

진공 흡착 플레이트{Vacuum suction plate}
본 발명은 진공 흡착 플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 흡착대상물이 접촉되지 않는 흡착패널의 일부 흡착홀을 선택적으로 폐쇄되도록 함으로써 진공압력 누설을 방지하여 진공압력의 손실이 없도록 하여 크기 및 흡착위치와 상관없이 다양한 흡착대상물을 안정적으로 진공흡착할 수 있도록 한 진공 흡착 플레이트에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 디스플레이 패널로 이용되는 PDP, LCD, LED, 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리(글래스)와 같은 취성의 마더 글래스 패널(Mother Glass Panel 또는 "모 기판"이라 하며, 이하 '글래스 패널'이라 함)을 소정 크기로 절단함으로써 얻어진다.
상기 글래스 패널의 절단공정은, 글래스 패널보다 경도가 높은 다이아몬드 등으로 이루어진 공구(스크라이빙 휠)를 이용하여 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙(Scribing) 공정과, 상기 글래스 패널을 가압하여 휨 모멘트를 가하거나 스크라이빙 라인의 크랙 주위를 가열 또는 냉각시켜 절단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
이와 같은 글래스 패널의 절단공정을 수행하기 위한 스테이지는 진공흡착 스테이지를 포함하고 있어, 글래스 패널을 흡착시킨 상태에서 회전이동 또는 직선이동을 통해 정렬작업을 수행하거나 직접 스크라이빙 또는 브레이킹 작업을 수행할 수 있게 되어 있다.
이때, 상기 진공흡착 스테이지는 진공흡착 플레이트의 상면에 상기 글래스 패널을 안착시킨 상태에서 상기 진공흡착 플레이트에 연결된 진공펌프(vacuum pump) 등 진공발생장치를 작동시켜서 상기 글래스 패널을 진공흡착방식으로 흡착 고정하는 것이 일반적이다.
이하, 도 1을 참고하여 종래기술에 따른 진공흡착 스테이지에 포함된 대표적인 진공흡착 플레이트(10)(이하, '배경기술 1'이라 함)에 관하여 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 배경기술 1의 진공흡착 플레이트(10)는 진공펌프 등 진공발생장치(미도시)와 연결되는 진공홀(14)이 형성된 베이스 플레이트(13)와, 상기 베이스 플레이트(13) 위에 얹혀지며 복수의 흡착공(11)이 형성되는 진공 플레이트(12)로 구성된다. 상기 진공 플레이트(12)와 상기 베이스 플레이트(14) 사이에는 상기 흡착공(11)과 상기 진공홀(14)이 함께 연통되는 진공분배공간(15)이 형성된다.
이에 따라, 진공펌프 등 진공발생장치(미도시)로부터 상기 베이스 플레이트(13)의 진공홀(14), 상기 진공분배공간(15), 및 상기 진공 플레이트(12)의 흡착공(11)을 통해 진공압이 연속적으로 전달되어 상기 진공 플레이트(12) 상에 배치된 글래스 패널(30)을 진공흡착하게 된다.
상기 진공분배공간(15)은 진공 플레이트(12)에 형성된 복수의 흡착공(11)에 진공압력이 균등하게 분배되도록 하는 역할을 담당한다.
그러나, 배경기술 1의 진공흡착 플레이트(10)는 진공 플레이트(12)와 베이스 플레이트(13)가 정해진 단일 크기의 글래스 패널(30)만을 흡착하도록 설계되어 있어 다양한 크기의 글래스 패널을 흡착하기 어려웠다.
즉, 복수의 흡착공(11)이 진공 플레이트(12) 상에 설치된 글래스 패널(30)에 의해 모두 폐쇄되지 않는 경우, 상기 글래스 패널(30)에 의해 폐쇄되지 않은 흡착공(11)을 통해 진공 압력이 누설되기 때문에 글래스 패널의 흡착이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.
이와 같은 문제점을 개선하기 위해, 도 2에 도시한 바와 같이, 진공 플레이트(12')와 베이스 플레이트(13') 사이에 형성된 진공분배공간(15')에 파티션(또는 격벽, 16')을 형성하여 다양한 크기의 글래스 패널(30')이 흡착되도록 하는 진공흡착 플레이트(10')(이하, '종래기술 2'라 함)가 제안되었다. 도면에서 구성부호 14'는 상기 베이스 플레이트(13')에 형성된 진공홀이다.
그러나, 종래기술 2에 따르면 각각의 진공분배공간(15')의 크기에 대응되는 글래스 패널(30')만을 흡착할 수밖에 없는 것으로, 여전히 다양한 글래스 패널의 크기 변경에 대한 적용이 곤란했다.
그러므로, 진공압력의 누설로 인한 진공압력 손실을 방지함과 동시에 글래스 패널과 같은 흡착대상물의 크기와 상관없이 다양한 크기의 흡착대상물을 안정적으로 진공흡착시킬 수 있도록 한 진공흡착 플레이트의 연구 및 개발이 요구되는 실정이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 흡착대상물이 접촉되지 않는 흡착패널의 일부 흡착홀로부터 유입되는 공기를 차단할 수 있으며, 이에 따라 진공압력 누설을 방지함으로써 진공압력의 손실이 없도록 하여 크기 및 흡착위치와 상관없이 다양한 흡착대상물을 안정적으로 진공흡착할 수 있도록 한 진공흡착 플레이트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 흡착면 상에 흡착되는 흡착대상물이 미끄러짐이 없이 안정적으로 흡착될 수 있도록 함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트는 상면 중앙에 진공발생장치와 연결되는 흡입포트가 관통 형성되는 흡입패널; 체결부재에 의해 상기 흡입패널의 하부에 밀착 결합되며, 저면으로부터 상향 흡착대상물을 선택적으로 흡착시키는 흡착홀이 형성되고 상면으로부터 진공분배공간이 함몰 형성되며, 상기 흡착홀 상부에 상기 진공분배공간과 연통시키는 연통공간이 형성되어 상기 흡입패널의 하측에 밀착 결합되는 흡착패널; 및 상기 진공발생장치의 작동시 상기 흡착홀로부터 유입되는 공기가 유입되도록 하부가 개방 형성되어 상부 외면에 내측으로부터 흡입연통공이 관통되어 선택적으로 승강되는 승강부재와, 상기 흡착패널의 상기 연통공간 내에 결합고정되도록 하부 외면에 나선이 형성되고 개방된 하부를 통하여 상기 승강부재의 상단이 내측 공간의 상면과 일정간극을 가지도록 상기 승강부재의 외면에 형성된 단턱 상에 탄성부재가 개재되어 상기 승강부재가 하측으로부터 삽입된 후 구속링에 의해 구속되며, 상기 흡입연통공을 경유한 공기가 선택적으로 상기 진공분배공간 측으로 유입되도록 상면 중앙에 흡입연통홀이 관통 형성되는 고정부재로 구성된 흡착제어유닛을 포함하는 구성으로 이루어진다.
이때, 상기 진공발생장치의 작동시, 상기 흡착홀이 흡착대상물에 의해 밀폐되지 않은 경우에는 상기 흡착홀을 통하여 유입되는 공기압에 의해 상기 승강부재가 상기 고정부재 내측에서 선택적으로 상기 탄성부재에 의해 탄성을 가지고 상향 가압되어 상기 승강부재의 상단이 상기 고정부재의 내측 상면에 밀착됨에 따라 상기 고정부재의 흡입연통홀을 밀폐시키는 한편, 상기 흡착홀이 흡착대상물에 의해 밀폐된 경우에는 상기 탄성부재의 탄성복원력에 의해 상기 승강부재가 하강 원위치로 이동되어 상기 흡착대상물을 밀착시키는 진공압력이 발생되도록, 상기 흡착제어유닛은 상기 고정부재의 개방된 하부를 통하여 상기 탄성부재가 압축되지 않은 상태로 상기 고정부재의 개방된 내측 상면과 상기 승강부재의 단턱 사이에 개재되도록 상기 승강부재가 삽입된 후에 상기 구속링이 억지끼움 방식으로 결합고정됨이 바람직하다.
또한, 상기 흡착제어유닛의 고정부재는 상기 연통공간에 결합고정된 상태에서 기밀이 유지되도록, 상부에 형성된 결합턱 상에 기밀유지링이 결착되어 상기 결합턱 이하부분이 상기 연통공간에 결합고정됨이 양호하다.
그리고 상기 흡착제어유닛의 승강부재는 상면이 상기 고정부재의 내측 상면에 밀착될 경우에 상기 흡입연통공을 통하여 유입된 공기가 상기 고정부재의 흡입연통홀 측으로 유입되는 것을 차단할 수 있도록, 상면에 일정두께를 갖는 기밀유지패드가 부착됨이 바람직하다.
더욱이, 상기 진공발생장치의 작동에 의해 발생하는 진공압력에 의해 흡착대상물의 흡착시 상기 흡착대상물이 미끄러짐 없이 흡착될 수 있도록, 상기 흡착패널은 상기 흡착홀 하단 둘레에 확관홈이 함몰 형성되는 한편 상기 확관홈 상에 슬립방지편이 결착 고정됨이 양호하다.
또한, 상기 진공발생장치의 작동시, 상기 흡착홀이 흡착대상물에 의해 밀폐되지 않은 경우 상기 흡착홀을 통하여 유입되는 공기압에 의해 상기 흡착제어유닛의 승강부재가 상기 고정부재의 내측에서 상기 탄성부재에 의해 탄성을 가지고 상향 가압된 상태에서 흡착력의 로스(loss)를 최소화하면서 다른 흡착대상물을 선택적으로 흡착시킬 수 있도록, 상기 승강부재는 상면 중앙에 내부공간과 연통되는 미세공이 더 형성될 수도 있다.
본 발명에 따른 진공흡착 플레이트의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 흡착패널의 하면에 일정간격을 가지고 상향 관통되는 흡착홀 상부에 다수의 단턱을 가지도록 확장 형성되어 흡착홀과 상기 흡착패널의 상면에 함몰 형성된 진공분배공간을 선택적으로 연통시키도록 연통공간이 형성되며, 연통공간 내에 흡착제어유닛이 설치됨으로써 흡착대상물이 접촉되지 않는 흡착패널의 일부 흡착홀로부터 유입되는 공기를 차단할 수 있으며, 이에 따라 진공압력 누설을 방지함으로써 진공압력의 손실이 없도록 하여 크기 및 흡착위치와 상관없이 다양한 흡착대상물을 안정적으로 진공흡착할 수 있다.
둘째, 흡착패널의 흡착홀 하단 둘레에 확관홈이 함몰 형성되어 확관홈 상에 슬립방지편이 결착됨으로써 흡착면 상에 흡착되는 흡착대상물이 미끄러짐이 없이 안정적으로 흡착될 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 진공흡착 플레이트를 도시한 단면도.
도 2는 도 1의 진공흡착 플레이트를 개선한 종래기술에 따른 진공흡착 플레이트를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트를 나타낸 단면구성도.
도 4는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트를 나타낸 평면구성도.
도 5는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 요부인 흡착제어유닛을 나타낸 요부 분리 사시구성도.
도 6은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트의 작동상태를 나타낸 작동상태 단면구성도.
도 7은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착제어유닛의 승강부재에 대한 다른 실시예를 나타낸 요부 사시구성도.
도 8은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착패널의 다른 실시예를 나타낸 저면 사시구성도.
도 9는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착제어유닛의 승강부재에 대한 다른 실시예를 나타낸 요부 사시구성도.
도 10은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 다른 실시예에 따른 흡착제어유닛의 승강부재가 적용된 작동상태를 나타낸 작동상태 단면구성도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트를 나타낸 단면구성도이며, 도 4는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트를 나타낸 평면구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 요부인 흡착제어유닛을 나타낸 요부 분리 사시구성도이며, 도 6은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트의 작동상태를 나타낸 작동상태 단면구성도이다.
도 7은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착제어유닛의 승강부재에 대한 다른 실시예를 나타낸 요부 사시구성도이며, 도 8은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착패널의 다른 실시예를 나타낸 저면 사시구성도이다.
먼저, 도 3 내지 6에서 보는 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공흡착 플레이트(1)는 크게 분류하자면 흡입패널(100), 흡착패널(300) 및 흡착제어유닛(500)을 포함하여 이루어진다.
구체적으로, 상기 흡입패널(100)은 상면 중앙에 진공발생장치(미도시)와 연결되는 흡입포트(110)가 관통 형성된다.
또한, 상기 흡착패널(300)은 체결부재(200)에 의해 상기 흡입패널(100)의 하부에 밀착 결합된다.
특히, 상기 흡착패널(300)은 저면으로부터 상향 흡착대상물(900)을 선택적으로 흡착시키는 흡착홀(310)이 형성되고 상면으로부터 진공분배공간(320)이 함몰 형성되며, 상기 흡착홀(310) 상부에 상기 진공분배공간(320)과 연통시키는 연통공간(330)이 형성되어 상기 흡입패널(100)의 하측에 밀착 결합되는 것이다.
그리고 상기 흡착제어유닛(500)은 승강부재(510)와 고정부재(550)로 구성되며, 이때 상기 승강부재(510)는 상기 진공발생장치의 작동시 상기 흡착홀(310)로부터 유입되는 공기가 유입되도록 하부가 개방 형성되어 상부 외면에 내측으로부터 흡입연통공(511)이 관통되어 선택적으로 승강되는 것이다.
또한, 상기 고정부재(550)는 상기 흡착패널(300)의 상기 연통공간(330) 내에 결합고정되도록 하부 외면에 나선이 형성되고 개방된 하부를 통하여 상기 승강부재(510)의 상단이 내측 공간의 상면과 일정간극을 가지도록 상기 승강부재(510)의 외면에 형성된 단턱(513) 상에 탄성부재(520)가 개재되어 상기 승강부재(510)가 하측으로부터 삽입된 후 구속링(530)에 의해 구속 설치된다.
이러한 고정부재(550)는 상기 흡입연통공(511)을 경유한 공기가 선택적으로 상기 진공분배공간(320) 측으로 유입되도록 상면 중앙에 흡입연통홀(551)이 관통 형성된다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 진공흡착 플레이트(1)는 상기 진공발생장치의 작동시, 상기 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐되지 않은 경우에는 상기 흡착홀(310)을 통하여 유입되는 공기압에 의해 상기 승강부재(510)가 상기 고정부재(550) 내측에서 선택적으로 상기 탄성부재(520)에 의해 탄성을 가지고 상향 가압되어 상기 승강부재(510)의 상단이 상기 고정부재(550)의 내측 상면에 밀착됨에 따라 상기 고정부재(550)의 흡입연통홀(551)을 밀폐시키는 한편, 상기 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐된 경우에는 상기 탄성부재(520)의 탄성복원력에 의해 상기 승강부재(510)가 하강 원위치로 이동되어 상기 흡착대상물(900)을 밀착시키는 진공압력이 발생되는 것이다.
이를 위하여, 상기 흡착제어유닛(500)은 상기 고정부재(550)의 개방된 하부를 통하여 상기 탄성부재(520)가 압축되지 않은 상태로 상기 고정부재(550)의 개방된 내측 상면과 상기 승강부재(510)의 단턱(513) 사이에 개재되도록 상기 승강부재(510)가 삽입된 후에 상기 구속링(530)이 억지끼움 방식으로 결합고정되는 것이다.
더욱이, 도 7을 참조하면, 상기 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)는 상면이 상기 고정부재(550)의 내측 상면에 밀착될 경우에 상기 흡입연통공(511)을 통하여 유입된 공기가 상기 고정부재(550)의 흡입연통홀(551) 측으로 유입되는 것을 차단할 수 있도록, 상면에 일정두께를 갖는 기밀유지패드(515)가 부착될 수 있는 것이다.
또한, 상기 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)는 기밀유지를 위하여, 상기 기밀유지패드(515) 대신 상면 내측에 내경이 상기 고정부재(550)의 흡인연통홀(551)보다 큰 지름을 가지는 씰링홈(미도시)이 함몰 형성되어 상기 씰링홈(미도시) 상에 씰링부재(미도시), 예컨대 오링(O-ring) 등의 부재가 삽입 고정되는 구성으로 이루어질 수도 있다.
물론, 상기 승강부재(510)의 상면에는 기밀유지를 위하여, 상기 기밀유지패드(515) 대신에, 폴리우레탄 등의 미끄럼 방지를 위한 재질을 도포할 수도 있을 것이다.
한편, 상기 흡착제어유닛(500)의 고정부재(550)는 상기 연통공간(330)에 결합고정된 상태에서 기밀이 유지되도록, 상부에 형성된 결합턱(555) 상에 기밀유지링(557)이 결착되어 상기 결합턱(555) 이하부분이 상기 연통공간(330)에 결합고정됨이 바람직하다.
또한, 상기 흡착제어유닛(500)의 고정부재(550)는 상기 연통공간(330)에 결합고정된 상태에서 기밀이 유지되는 것이 중요하며, 이에 따라 상부에 형성된 결합턱(555) 상에 기밀유지링(557)이 결착되어 상기 결합턱(555) 이하부분이 상기 연통공간(330)에 결합고정됨이 바람직한 것이다.
이때, 상기 고정부재(550)는 상기 흡입연통홀(551) 둘레를 따라 원주방향으로 일정간격을 가지고 외측단에 이르기까지 하향 함몰되어 분산홈(552)이 형성됨이 바람직하며, 상기 분산홈(552)을 통하여 상기 흡입연통홀(551)을 통하여 유입되는 공기를 상기 진공분배공간(320) 측으로 신속하게 분산시켜 상기 흡입포트(110) 측으로 유입되도록 할 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트(1)는 도 6에서 보는 바와 같이, 흡착대상물(900)이 밀착되지 않는 흡착홀(310)의 경우에는 상기 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)가 상승하여 상기 승강부재(510)의 상단이 상기 고정부재(550)의 흡입연통홀(551)을 밀폐시키게 된다.
다시 말하면, 상기 흡착대상물(900)이 밀착되지 않는 흡착홀(310)에 대하여 상기 흡입연통홀(551)을 밀폐시킴으로써 종래의 진공압력에 대한 누수를 방지할 수 있으며, 이를 통하여 흡착대상물(900)에 대한 안정적인 흡착이 이루어질 수 있는 것이다.
한편, 도 8을 참조하면, 진공발생장치의 작동에 의해 발생하는 진공압력에 의해 흡착대상물(900)의 흡착시 상기 흡착대상물(900)이 미끄러짐 없이 흡착될 수 있도록, 흡착패널(300)은 상기 흡착홀(310) 하단 둘레에 확관홈(350)이 함몰 형성되는 한편 상기 확관홈(350) 상에 슬립방지편(360)이 결착 고정되는 구성으로 이루어질 수도 있는 것이다.
이때, 상기 슬립방지편(360)은 고무재질 등의 마찰력을 극대화할 수 있는 재질로 제공됨이 바람직하다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트(1)에 의하면, 상기 흡착패널(300)의 하면에 일정간격을 가지고 상향 관통되는 흡착홀(310) 상부에 다수의 단턱을 가지도록 확장 형성되어 상기 흡착홀(310)과, 상기 흡착패널(300)의 상면에 함몰 형성된 진공분배공간(320)을 선택적으로 연통시키도록 연통공간(330)이 형성되며, 상기 연통공간(330) 내에 흡착제어유닛(500)이 결합 설치됨으로써 흡착대상물(900)이 접촉되지 않는 흡착패널(300)의 일부 흡착홀(310)로부터 유입되는 공기를 차단할 수 있다.
따라서, 진공압력 누설을 방지함으로써 진공압력의 손실이 없도록 하여 크기 및 흡착위치와 상관없이 다양한 흡착대상물(900)을 안정적으로 진공흡착할 수 있게 된다.
더욱이, 상기 흡착패널(300)의 흡착홀(310) 하단 둘레에 확관홈(350)이 함몰 형성되어 확관홈(350) 상에 슬립방지편(360)이 결착됨으로써 흡착면 상에 흡착되는 흡착대상물(900)이 미끄러짐이 없이 안정적으로 흡착될 수 있는 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 흡착제어유닛의 승강부재에 대한 다른 실시예를 나타낸 요부 사시구성도이며, 도 10은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트에서 다른 실시예에 따른 흡착제어유닛의 승강부재가 적용된 작동상태를 나타낸 작동상태 단면구성도이다.
도 9 및 10에서 보는 바와 같은 실시예는 도 3 내지 6에서 보는 바와 같은 실시예와는 승강부재(510)의 구성이 상면 중앙에 내부공간과 연통되도록 미세공(519)이 형성되는 점에서만 차이를 가지는 것으로 이하, 동일부호를 갖는 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 9 및 10에서 보는 바와 같은 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트는 진공발생장치의 작동시, 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐되지 않은 경우 상기 흡착홀(310)을 통하여 유입되는 공기압에 의해 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)가 고정부재(550)의 내측에서 탄성부재(520)에 의해 탄성을 가지고 상향 가압된 상태에서 흡착력의 로스(loss)를 최소화하면서 다른 흡착대상물을 선택적으로 흡착시킬 수 있도록, 상기 승강부재(510)는 상면 중앙에 내부공간과 연통되는 미세공(519)이 더 형성되는 구성으로 이루어질 수 있다.
다시 말하면, 본 발명에 따른 진공흡착 플레이트는 도 3 내지 6에서 보는 바와 같은 미세공이 없는 승강부재(510)가 적용된 타입으로 제작될 수 있으며, 다른 한편으로는 도 9 및 10에서 보는 바와 같은 미세공(519)이 있는 승강부재(510)가 적용된 타입으로 제작될 수도 있는 것이다.
이를 통하여, 상기 미세공(519)이 형성된 승강부재(510)는 흡착패널(300)의 상기 흡착홀(310) 중에서 다수 개의 흡착홀(310)에 대하여 흡착대상물(900)에 의해 밀폐된 후, 상기 흡착대상물(900)에 의해 밀폐되지 않은 흡착홀(310)에 다른 흡착대상물(미도시)을 추가로 흡착시키는 작업이 요구되는 공정에도 적용시킬 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 범위에 포함된다.
1: 진공흡착 플레이트
100: 흡입패널 110: 흡입포트
200: 체결부재 300: 흡착패널
310: 흡착홀 320: 진공분배공간
330: 연통공간 350: 확관홈
360: 슬립방지편 500: 흡착제어유닛
510: 승강부재 511: 흡입연통공
513: 단턱 515: 기밀유지패드
519: 미세공
520: 탄성부재 530: 구속링
550: 고정부재 551: 흡입연통홀
552: 분산홈 555: 결합턱
557: 기밀유지링 900: 흡착대상물

Claims (6)

  1. 상면 중앙에 진공발생장치(미도시)와 연결되는 흡입포트(110)가 관통 형성되는 흡입패널(100); 체결부재(200)에 의해 상기 흡입패널(100)의 하부에 밀착 결합되며, 저면으로부터 상향 흡착대상물(900)을 선택적으로 흡착시키는 흡착홀(310)이 형성되고 상면으로부터 진공분배공간(320)이 함몰 형성되며, 상기 흡착홀(310) 상부에 상기 진공분배공간(320)과 연통시키는 연통공간(330)이 형성되어 상기 흡입패널(100)의 하측에 밀착 결합되는 흡착패널(300); 및 상기 진공발생장치의 작동시 상기 흡착홀(310)로부터 유입되는 공기가 유입되도록 하부가 개방 형성되어 상부 외면에 내측으로부터 흡입연통공(511)이 관통되어 선택적으로 승강되는 승강부재(510)와, 상기 흡착패널(300)의 상기 연통공간(330) 내에 결합고정되도록 하부 외면에 나선이 형성되고 개방된 하부를 통하여 상기 승강부재(510)의 상단이 내측 공간의 상면과 일정간극을 가지도록 상기 승강부재(510)의 외면에 형성된 단턱(513) 상에 탄성부재(520)가 개재되어 상기 승강부재(510)가 하측으로부터 삽입된 후 구속링(530)에 의해 구속되며, 상기 흡입연통공(511)을 경유한 공기가 선택적으로 상기 진공분배공간(320) 측으로 유입되도록 상면 중앙에 흡입연통홀(551)이 관통 형성되는 고정부재(550)로 구성된 흡착제어유닛(500)을 포함하는 진공흡착 플레이트에 있어서,
    상기 진공발생장치의 작동시, 상기 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐되지 않은 경우 상기 흡착홀(310)을 통하여 유입되는 공기압에 의해 상기 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)가 상기 고정부재(550)의 내측에서 상기 탄성부재(520)에 의해 탄성을 가지고 상향 가압된 상태에서 흡착력의 로스(loss)를 최소화하면서 다른 흡착대상물을 선택적으로 흡착시킬 수 있도록,
    상기 승강부재(510)는 상면 중앙에 내부공간과 연통되는 미세공(519)이 더 형성됨을 특징으로 하는 진공흡착 플레이트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진공발생장치의 작동시, 상기 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐되지 않은 경우에는 상기 흡착홀(310)을 통하여 유입되는 공기압에 의해 상기 승강부재(510)가 상기 고정부재(550) 내측에서 선택적으로 상기 탄성부재(520)에 의해 탄성을 가지고 상향 가압되어 상기 승강부재(510)의 상단이 상기 고정부재(550)의 내측 상면에 밀착됨에 따라 상기 고정부재(550)의 흡입연통홀(551)을 밀폐시키는 한편, 상기 흡착홀(310)이 흡착대상물(900)에 의해 밀폐된 경우에는 상기 탄성부재(520)의 탄성복원력에 의해 상기 승강부재(510)가 하강 원위치로 이동되어 상기 흡착대상물(900)을 밀착시키는 진공압력이 발생되도록,
    상기 흡착제어유닛(500)은 상기 고정부재(550)의 개방된 하부를 통하여 상기 탄성부재(520)가 압축되지 않은 상태로 상기 고정부재(550)의 개방된 내측 상면과 상기 승강부재(510)의 단턱(513) 사이에 개재되도록 상기 승강부재(510)가 삽입된 후에 상기 구속링(530)이 억지끼움 방식으로 결합고정됨을 특징으로 하는 진공흡착 플레이트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 흡착제어유닛(500)의 고정부재(550)는 상기 연통공간(330)에 결합고정된 상태에서 기밀이 유지되도록, 상부에 형성된 결합턱(555) 상에 기밀유지링(557)이 결착되어 상기 결합턱(555) 이하부분이 상기 연통공간(330)에 결합고정됨을 특징으로 하는 진공흡착 플레이트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흡착제어유닛(500)의 승강부재(510)는 상면이 상기 고정부재(550)의 내측 상면에 밀착될 경우에 상기 흡입연통공(511)을 통하여 유입된 공기가 상기 고정부재(550)의 흡입연통홀(551) 측으로 유입되는 것을 차단할 수 있도록, 상면에 일정두께를 갖는 기밀유지패드(515)가 부착됨을 특징으로 하는 진공흡착 플레이트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 진공발생장치의 작동에 의해 발생하는 진공압력에 의해 흡착대상물(900)의 흡착시 상기 흡착대상물(900)이 미끄러짐 없이 흡착될 수 있도록,
    상기 흡착패널(300)은 상기 흡착홀(310) 하단 둘레에 확관홈(350)이 함몰 형성되는 한편 상기 확관홈(350) 상에 슬립방지편(360)이 결착 고정됨을 특징으로 하는 진공흡착 플레이트.
  6. 삭제
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR102487076B1 (ko) * 2022-07-13 2023-01-11 (주)에스엠디에스피 진공 박스

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101591414B1 (ko) * 2015-07-28 2016-02-03 주식회사 삼인이엔지 진공흡착장치
KR102570475B1 (ko) * 2023-02-14 2023-08-24 (주)브이텍 진공 시스템용 체크밸브 조립체

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267271A (ja) * 2000-03-22 2001-09-28 Yoshioka Seiko:Kk 吸着装置
KR20060068394A (ko) * 2004-12-16 2006-06-21 주식회사 썬테크 진공패드

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267271A (ja) * 2000-03-22 2001-09-28 Yoshioka Seiko:Kk 吸着装置
KR20060068394A (ko) * 2004-12-16 2006-06-21 주식회사 썬테크 진공패드

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102085743B1 (ko) 2019-10-23 2020-03-06 서강옥 가공설비를 이용한 진공플레이트 가공방법
KR102174796B1 (ko) 2019-10-23 2020-11-05 서강옥 반도체 부품 또는 휴대폰 부품 생산용 진공플레이트 가공장치
KR102487076B1 (ko) * 2022-07-13 2023-01-11 (주)에스엠디에스피 진공 박스

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